JP2005254823A - 薄板積層装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 塵で汚染されることのない良質の薄板積層物を生産することのできる薄板積層装置を提供すること。
【解決手段】 2種の薄板(プレート又は絶縁板と、銅箔)を重ね合わせて、積層部(2)に搬送し、該積層部に順次積層して行く薄板積層装置であって、前記積層部の両側に集塵機の集塵口(42a)を上下動可能に設け、前記積層部が前記薄板の積層高さに応じて下降するときに該下降量に応じて前記両集塵口(42a)も下降させるようにした。これによりチャック装置のチャック部から重ね体の両端部を離脱するときに、埃やごみを発生するが、これらごみは直ちに吸い込まれ、良質の積層体を生産することができる。
【選択図】 図11

Description

本発明はプリント基板製造に用いて最適な薄板積層装置に関する。
近年、電子機器の発展と共にプリント基板の生産設備にはより高速化、高信頼性、高品質性が要求されている。従来、プリント基板の製造においては、前工程として、ステンレスでなり、厚さが1.5ないし2.0mm、幅が900ないし1450mm及び長さが1050ないし1280mmのプレートの積層工程と、厚さが12ないし70μm、幅が920ないし1470mm及び長さが1080ないし1300mmの銅箔の積層工程と、厚さが0.1ないし2.0mm、幅が900ないし1450mm及び長さが1050ないし1280mmの絶縁材上に上記銅箔と同厚、同寸法の銅箔を重合したものの積層工程は、この順番で3工程にわたって行われているが、この積層工程の短縮化を図ることにより、なおいっそうの高速化が望まれている。
出願人は上述の問題に鑑みてなされ、先に積層工程数を更に減少して高速化を図ることのできる薄板積層装置を提供することを目的として、第1薄板材を第1載置部に搬送する第1搬送手段と、前記第1載置部に第1の所定距離をおいて設けられた第2載置部に第2薄板材を搬送する第2搬送手段と、前記第1載置部と第2載置部とを結ぶ直線の延長線上に、前記第2載置部から前記第1の所定距離と等しい距離をおいて設けられた第3載置部と、前記第1載置部、第2載置部及び第3載置部とを結ぶ直線の延長線上にあり、前記第3載置部より第3の所定距離をおいて設けられた第4載置部に第3薄板材を搬送する第3搬送手段と、前記直線の延長線上にあり前記第4載置部より前記第3載置部に向かって第2の所定距離をおいて設けられた第5載置部に第4薄板材を搬送する第4搬送手段と、前記直線上で前記第5載置部より前記第3載置部に向かって前記第5載置部から前記第2の所定距離と等しい距離をおいて設けられた第6載置部と、前記第3載置部と第6載置部との中間に設けられた薄板積層部と、前記第1の所定距離に等しい距離をおいて一対の第1薄板支持部を有し、長方形の軌跡に沿って所定のタイミングで上下、左右に駆動される第1シャトルコンベヤと、前記第2の所定距離に等しい距離をおいて一対の第2薄板支持部を有し、長方形の軌跡に沿って所定のタイミングで上下、左右に駆動される第2シャトルコンベヤと、前記薄板積層部と前記第3載置部との間の距離に等しくかつ前記第6載置部との間の距離にも等しい距離をおいて一対の薄板保持部を有し、長方形の軌跡に沿って所定のタイミングで上下、左右に駆動される第3シャトルコンベヤとから成り、前記第1載置部、第2載置部及び第3載置部には一対の前記第1薄板支持部が、前記第1シャトルコンベヤの上下方向の移動及び前記長方形の上辺に沿う移動を許容できる切欠きを形成させており、かつ前記第4載置部、第5載置部及び第6載置部にも一対の前記第2薄板支持部が、前記第2シャトルコンベヤの上下方向の移動及び前記長方形の上辺に沿う移動を許容できる切欠きを形成させていることを特徴とする薄板積層装置を開発した(特願平4−351036号)。
然るに上記装置もその後改良してきたが、薄板、特に銅箔のような薄い薄板を積層処理しているので防塵に対し何らかの対策を施すことが望まれる。
特開平06−171814号公報(特願平4−351036号)
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、防塵して、塵で汚染されることのない薄板積層物を生産することのできる薄板積層装置を提供することを課題とする。
以上の課題は、少なくとも2種の薄板を重ね合わせて、積層部に搬送し、該積層部に順次積層して行く薄板積層装置であって、前記積層部の両側に集塵機の集塵口を上下動可能に設け、前記積層部が前記薄板の積層高さに応じて下降するときに該下降量に応じて前記両集塵口も下降させるようにしたことを特徴とする薄板積層装置によって解決される。
以上の構成により積層部の処理が防塵して行われることができ、薄板を塵で損なうことなく、汚染されることのない薄板積層物を生産することのできる薄板積層装置を提供することができる。
以上述べたように本発明の薄板積層装置によれば、種々の塵で損なわれることなく薄板の良質の積層体を得ることができる。
図1、図2は本発明の実施の形態による薄板積層装置1の全体を示すがほぼ中央部に後に詳述する積層部2が配設され、図において左方にステンレスでなるプレートpを供給するプレート供給部3、この上方にはプレート側−銅箔供給部4が配設され、更に積層部2の右方には絶縁板供給部5、この左方には絶縁板側−銅箔供給部6が配設されている。銅箔供給部4、6の積層部2側には、それぞれ本発明にかかわるプレート側−銅箔位置決め部7、絶縁板側−銅箔位置決め部13、更にこれらの積層部2側には銅−プレート重ね部8、銅−絶縁板重ね部12及び搬送待機部10a、10bそしてこれらのこの下方にはプレート側シャトル装置9及び絶縁板側シャトル装置14が配設されている。
積層部2の上方に一つの位置決め部を有し、この左右でそれぞれ第二の位置決め部を有する第一チャック装置11A及び第二チャック装置11Bが配設されている。これら第一、第二チャック装置11A、11Bについても後に詳述する。積層部2の両側には更に銅−プレート重ね部8及び銅−絶縁板重ね部12及びこれらに所定ピッチ離れて搬送待機部10a、10b、が配設されているが、こららの上方の第一、第二チャック装置11A、11Bにより後述するようなタイミングでこれら重ね部8、12に重ねられている薄板が、搬送待機部10a、10bに転送された後、積層部2の上に搬送され、ここで積層部2に、本チャック装置11A、11Bにより保持された銅箔mとプレートpの重ね体または銅箔mと絶縁板zの重ね体を離脱する。
図1で明示されるように積層部2の両側には所定の間隔で配設された条材22を設けておりこれの間にシャトル装置9、14の板載置部9a、9b、14a、14bを通過させて、これらシャトル装置9、14を下降させた時にこの条材22の上にプレートp又は絶縁板z及び銅箔mとプレートpとの重ね体及び銅箔mと絶縁板zの重ね体を載置させるようにしている。
ステンレスで成るプレートpは図1において下方から一対のローラー21により搬送され、条材22の端部に近接し位置決めされて対向して停止される。銅箔供給部4においては図示しない供給装置により多数枚積層させた銅箔mを乗せ台HAに載置させており、これから本発明に係るプレート側銅箔位置決め部7に移送され、更にこれから銅プレート重ね部8に一枚ずつ搬送されてその下方に既に位置決めされたプレートpの上に載置される。プレート側シャトル9及び絶縁板側シャトル14は後述するようなタイミングで左右及び上下に移動するのであるが、この時、重ね部8、12でそれぞれ重ねられた銅−プレート重ね体又は銅−絶縁板重ね体は搬送待機部10a、10bに移された後チャック装置11A、11Bにより両側で保持されて積層部2の上方に位置決めして搬送され、ここで保持を解除して積層部2に既に積層されている銅プレートの重ね体又は銅絶縁板プレート重ね体の上に位置決めして重ねられる。
本発明の実施の形態にかかわる薄板積層装置1は全体的には以上のように構成されるが次に本発明にかかわる各部について詳細を説明する。
銅箔の位置決め部7について図2、図7を参照して構成を説明する。これは銅箔供給部4の右方に配設されており、連結部材31の両端部に対として後側真空パッド32及び前側真空パッド33が取りつけられている。その下端にはそれぞれパッド部32a、33aが図示するような上下位置関係で取りつけられていて、連結部材31の下方には位置決め面35が設けられており、これと左方の銅箔供給部4との間には約45度のシュート部36が形成されている。さらに位置決め面35の右端部にはシュート36と同様な角度のシュート37が設けられており、この下端と銅箔−プレート重ね部8との間に前進後退可能な本発明に係る滑走路形成部材140が図示するように配設されている。これはほぼ水平に近い傾斜角度である。位置決め部7は図2で示す位置と重ね部8の直上方の位置(図8、図9)とを交互にとる。
次に積層部2の詳細について図2、図11〜図13を参照して説明する。図12に明示されるように本積層部2はリフター40の上端部にロ−ラ20bを介して支持された支持台41を備えておりこの上に明示せずともクッション材を取りつけている。更にこの両側には本発明に関わる一対の集塵装置42A、42Bが支持台41の上下動に連動して上下動する構成となっている。支持台41はこの上に後述するようにプレートpと銅箔mとの重ね体Qと銅箔mと絶縁板zの重ね体Sを交互にチャック装置11A、11Bの保持、離脱の繰り返しにより順次積層していくのであるがこの積層高さに応じてチャック装置11A、11Bとの整合を取るべく上下動し、これに応じて集塵装置42A、42Bは積層の初期にはクッション材のレベルに対向するように位置し、積層していって高さが増大するにつれて下動し最上段の積層体の両側に対向設置するように駆動される。
ここで積層部20及びチャック装置11Aをそれらの関連構成を含めて図11乃至図13を参照して説明する。チャック装置11A、11Bは同一の構成であるので、一方の装置11Aについてのみ説明する。連結部材11aの両側に図12で示すように6個のチャック部11b、11bを備えているが、これらは軸11cの周りに回動可能に設けられており、シリンダ11d、11dによりそのロッド11g、11gがチャック部11bの下端部との間で銅箔mとプレートpとの重ね体Qの両縁部を図11で示すように挟圧させるようにしている。また中央部にはシリンダ11eによりそのロッド11fが積層部20の支持板41の上に重ね体Qを当接させて停止したときにロッド11fを重ね体Qの中間部を押圧させる構成としている。また支持板41はローラ20bの上に安定に載置されており、所定の高さにまで薄板を積層させた後、チャック装置11A、11Bを干渉しない位置に移動させた後、これらローラ20bに載せてこれら転動により次工程へとこの積層体を搬送するようにしている。
積層部20においては、前述したように両側に集塵装置42A、42Bを配設させているが、この上端部にダクトdを取り付けており、これらの上端部には図13に明示するようにスリット状の開口42aを形成させている。この開口42aは細長く積み重ね体Qの両縁部に対向している。またダクトdは図11、図12で明示するように2カ所設けられているが、これにガイド部材fを取り付けており、シリンダ装置hの駆動によりダクトdは上下動するが、これをガイド体e(図13)により正確に垂直方向に直線的にガイドするように構成している。またこのガイド体eはダクトの上限位置と下限位置を規制する構成となっている。
次に図2及び図14〜図28を参照して、更に本発明の実施の形態に係る絶縁板分離すなわち、剥離装置100について説明する。絶縁板側の銅箔供給部6の右側には多数枚の絶縁板zが台101上に積層して蓄えられているが、これは図21、図22に明示されるように、絶縁板zが一枚毎にaだけずらして積まれている。絶縁板zは0.2ミリの箔体を5枚重ねてプレス加工して一体化して成るが、これが図21、図22に示すように積載されている。図2〜図5において、剥離装置は全体として100で示されているが、図15に示すように架台51a、51bの上に各種ガイド部材及び駆動部を内蔵する駆動機構70が設けられており、右側の架台51aにはモータ52が取り付けられており、これにベルト及びプーリを介して後述する各部材を左右に駆動させる構成としている。
絶縁板の両側には一対の押え装置53A及び53Bが配設されており、この先端部には一対のつかみ部54a、54bがシリンダ55a、55bにより開閉及び前後動し得る構成とされている。図16においてこれら押え装置53A、53Bの下方には剥離部材56aが配設されており、これはガイド装置71により左右に移動可能であるが、図14においては左方位置をとっている。これら右方位置及び左方位置の中間に箔押え・搬出装置57A及び57Bが設けられており、この先端部には図25、図26で示すように、一対の箔押えパッド58a、58bを備えている。更にこの後方には剥離された最上段の絶縁板zを図25、図26において左方へと押し進める係合部59が設けられている。剥離部材56には図21に明示されるように、更に平板状で先端が下方に屈曲した剥離板56aを備えている。
以上、本発明の実施形態による構成について説明したが、次にこの作用について説明する。
図1及び図2、図7〜図10に示されるように、左方のプレート供給部3においては、図示しない積層部から一枚ずつステンレスで成るプレートがローラ21により搬入され、所定の位置で位置決めされて停止する。この上方の銅箔供給部4においては、銅箔mが多数積層されているが、これから位置決め部7における後側真空パッド32のパッド部32aにより前端部が吸着されて一枚だけ図において右方へと移送される。銅箔mはシュート36に沿って滑走し、位置決め面35で位置決めされて停止する。
他方、シャトル装置9の載置部であるフォーク部9aはシャトル装置9が図において左方へ所定ピッチ移動するときにローラ21上に位置決めされて停止している一枚のプレートpを下方からすくいあげるべく下方に進入し、シャトル装置9の所定ピッチの上昇によりこれをローラ21から離脱させフォーク部9aに載せ、次いで所定ピッチ右方へ移動する。これによりプレート位置決め部の直上方にもたらされ、更にシャトル装置9の下動によりここに載置される(図5)。
なお、このときシャトル装置9の右方への移動により先に移送されていたプレートpは重ね合わせ部8に転送して載置される(図2、図3)。ここで位置決め部7で位置決めされている銅箔mは前側真空パッド33のパッド部33aによりその前端部が吸着されて、位置決め部7が右方へ及び下方に所定ピッチ移動するときに銅箔mの後端部は、シュート37を滑走し(図8)、すでに位置決めされて停止しているプレートpの上に位置決めして重ねられて停止する(図9)。
本発明によれば、シュート37の下端と重ね部8との間には非常に傾斜の小さい滑走路形成部材140が前後動可能に設けられているが、これが銅箔mの後端部がシュート37の下端を通過する前に前進する。従って後端部はシュート37を滑走した後、この滑走路形成部材140を滑走する。従ってこの上を滑走して重ね部8にもたらされるのであるが、従来は図10に示すようにこの滑走路形成部材140はないために、0.2mmと薄い銅箔mは下段を通過するときにシュート37と重ね部8との間の空隙及びこの上方との間の気流による圧力差もあってその後端部maが丸まっていたがこのような現象がなくなりスムーズにプレートpの上を摺接しながら正確に位置決めされる。この後、位置決め部7は図7で示すように実線で示す位置へと所定ピッチ移動する。
シャトル装置9はこの重ね体を上方移動により受け取って所定ピッチ右へ移動して待機部10aに至る。ここでチャック装置11Aがこの直上方にもたらされ、その両端のチャック部が閉運動をして銅箔mとプレートpとの重ね体Qを保持する。この後右方へ所定ピッチ、チャック装置11Aが移動することにより積層部2の直上方に至る。次いでそのチャック部11bを開運動させて直下に位置させ所定の高さでレベル調整させたリフター40で支持されている支持板40の上に銅とプレートとの重ね体Qが載せられる。なおこのときに中央部の押えロッド11fが下方に移動し、重ね体Qの中央部をクッション材(重ね体Qは今、最下部におかれるとする)に押し付けた後、チャック部11bが開運動するので安定にクッション材の上に保持される。更にこの両側には集塵装置42A、42Bが位置決めして固持されているので、その重ね体Qの両端部がチャック装置11Aから離脱するときにクッション材に衝接するが、集塵機42A、42Bの吸込みにより小さなごみ或いは埃がたつことなく、クッション材の上に載置される。
以上は図1及び図2において左方の銅箔mとプレートpとの重ね機構を説明したが、次に積層部2の右方に位置する絶縁板zと銅箔mとの重ね機構の作用について説明する。
絶縁板供給部5には多数枚の絶縁板zが堆積されているが、これから剥離装置100により一枚ずつ最上段の絶縁板zが下段の絶縁板zから剥離されて次工程へと供給される。図15及び図21において、まず押え装置53Aの押え爪54a、54b、押さえロッド54cが下動し、2段目の絶縁板zの縁部を押さえロッド54cで押圧する(図22)。この後、シリンダ55bを駆動して爪部54a、54bを図22に示すように前進させ、絶縁板zの左端部を挟む位置(図23)をとり、次にシリンダ55aの働きによりこの絶縁板zの端部を挟み込んだまま上昇位置をとる(図23、図24)。この後、剥離部材56aは図24に示すように右方向に移動する。これにより最上段の絶縁板zと2段目の絶縁板zとの間とが密接していたが、これを剥離していく。
この途上、押え装置57A、57Bが2段目の絶縁板zの長辺部を押え込む。剥離部材56aが図14において右方位置へと移動していくが、その途上、押え装置57A、57Bが内蔵する搬送機構101により図25の位置から図26の位置へ移動し、剥離部材56aが図26に示すように通過した後下方へと移動し、この後、図27、図28で示すようにそのV字型の係合部としての爪部59で絶縁板zの長辺部を押動し、これによって図28に示すように最上部の絶縁板zだけを図28において第1の待機部Aへと位置決めして搬入する。
なお、図示しなかったが、図1及び図2において絶縁板供給部5と位置決め部6との間には転送手段が設けられており、これは一対の爪部を設け、上述のように剥離装置100から所定距離押し出された最上段の絶縁板zの左端縁部を挟み込み、図1及び図2において左方へと所定距離この挟み込んだ絶縁板zを搬送し、待機部Aに載置させる。
他方、銅箔供給部6から1枚の銅箔mが左方のプレート−銅箔重ね機構と同様に位置決め部13に供給され、位置決めされて待機しているが、シャトル装置14の所定ピッチ左方への移動により、第1の待機部Aに載置されている絶縁板zを位置決め部13の直下方に転送し、更にシャトル装置14のこのときの左方への所定ピッチの移動により、先に載置されていた絶縁板zは重ね合わせ部12に位置決めされて銅箔mの重ね合わせに待機する。上述したように位置決め部13から一枚の銅箔mが待機している絶縁板zの上に正確に位置決めされて重ね合わせられる。この場合にもシュートと重ね合わせ部との間に滑走路形成部材が前進することにより従来見られていた後端部のカール現象がなくなる。よって上述したように絶縁板zの上に正確に位置決めして銅箔mが重ね合わされる。
次にチャック装置11Bが図2に示す位置から図3に示すように待機部10bの直上方に至る。すなわち、シャトル装置14の左方への所定ピッチの移動により待機部10bへ転送された銅箔mと絶縁板zとの重ね体Sの直上方にくる。そのチャック部11bを銅箔mと絶縁板zとの重ね体Sとの両端部をつかみ保持する(図5)。次いで積層部2の直上方へと所定ピッチ移動する(図6)。積層部2には既に左方から銅箔とプレートとの重ね体Pが台20aの上に載置されているが、更にこの上に絶縁板zと銅箔mとの重ね体Sが載置される。このときにもこの両側には集塵機42A、42Bの集塵口42aが位置決め配置しているので、これによりチャック装置11Bもチャック部11bからその重ね体Sの両端部を離脱するときに埃やごみが発生するのが、これを直ちに吸い込んで良質の積層体を生産するものである。以下、同様にして左方から銅箔とプレートとの重ね体P、次いで右方から絶縁部と銅箔の重ね体Sが積層部2に重ねられていく。集塵機42A、42Bはこの重ね高さに応じて下降し、よって重ね体P、Qを積層部2に供給する毎にたっていた埃やごみは発生することがなくなった。
図14乃至図28は剥離装置100の詳細を示すが、図16においては図14の一部の拡大図を示し、押え装置53Aは上述したように一対の爪部54a、54bを備えているが(図21〜図24も参照)、この側方に剥離部材56aを設けている。また図17においてはガイド装置70の詳細を示し、断面が方形のガイドレール71は、架台51a、51bに固定されている。
図17において取付板gの下部にはガイドレール71の突部71aと摺動自在に嵌合する部材を介して図16にも示すように左右に直線的にガイドされるが、これに剥離本体取付板f´を固定させており、更にこの垂直壁部に剥離本体56を固定させ、この端部に剥離部材56aを形成させている。また、上述の押さえ装置53Aはガイドロッドnに沿って一点鎖線で示すように図17において右方へと移動可能に構成されている。
図21においては、押え装置53Aの爪54a、54bの詳細が示されているが、下側の爪54bの下方には球状の押え部54cを設けている。これが絶縁板供給部における最上段の絶縁板z1 と2段目の絶縁板z2 とは長さaだけずらして積まれているが、これがまず下方に移動し、図22で示すように2段目の絶縁板z2 を下方に押し、3段目以降の絶縁板z3 、z4 ・・・を押え込み、この後、爪54a、54bだけが右方に移動することにより、最上段の絶縁板z1 と、先端部を押え込まれている2段目の絶縁板z2 とを図示するように分離する。この後図24で示すように剥離部材56aが右方へと前進するが、この前に爪部54a、54bを閉鎖し、図23で示すように最上段の絶縁板z1 を挟み込む。この状態で剥離部材56aは右方へと更に前進する。よって絶縁板z1 の長辺縁部は確実に2段目の絶縁板z2 から剥離する。この状態で上述したように押え装置57A、57Bが2段目の絶縁板z2 の縁部を押え込み、図27、図28で示すように押動係合部材59が前進し、最上段の絶縁板z1 のみを押動させる。図27において搬送手段としてのシリンダー101が押動係合部材59を図において左方へと移動させるのであるが部材59の先端部にV字形状の溝59aが形成されておりまた部材59の上面、下面には薄板59b、59cが固定されており図27、図28で示すように最上段の絶縁板zはこれらにより保持されてすなわち位置決めされた状態で押動させられる。この後、図1で図示されていないが引出し装置によりその一対の把持が押し出した最上段の絶縁板z1 の縁部をつかみ、シャトル装置14の右側載置部の上方に位置する待機部へと搬送させる。以下、同様にして2段目、3段目の絶縁板z2 、z3 ・・・を順次、所定のタクトで待機部へと押動させる構成としている。
図18〜図28は剥離装置100の作用の詳細を示すが、図18、図19において押圧搬送装置57A(57Bと同一であるので一方のみで説明する。)は先端部に一対の押え部材59c、59c、ガイド板59b、これらの間にV字形状の溝を有する押動係合部材59を備えており、これらはシリンダ101により一体的に駆動される。図25は最上段の絶縁板z1 がまだ剥離されていない状態を示し、上述したように剥離部材56aが図26に示すように剥離してくると、シリンダ101により前進され、次いで図27に示すようにシリンダ96が駆動されて押動係合部材59は下方に移動し、2段目の絶縁板z2 を押え込む。次いで図28で示すように、シリンダ101の更なる駆動により、押動部材59のV溝59aが最上段の絶縁板z1 を図28に示すように、図において左方へと押動させる。よって上述のように待機部へと位置決めさせて停止させる。
以上のようにして本発明の実施の形態による薄板積層装置1によれば、従来よりも大きなスループット(生産効率)で銅箔mとステンレスで成るプレートpとの重ね体と更にこの上に銅箔mと絶縁板zとで成る重ね体Sとを交互にほこりや塵をたてずに積んでいく。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
例えば以上の実施の形態では、積層部2の両側からプレートと銅箔との重ね体P及び絶縁板と銅箔との重ね体Qを順次積層していくのに用いられたが、これに限ることなく、片方から例えば左方からプレートと銅箔との重ね合わせ体のみを積層部2で積層していくのにも適用可能である。更に薄板は銅箔や絶縁板やプレートに限定することなく、他の材質の薄板であってもよい。更に本実施の形態では、積層部の両側からそれぞれの重ね体を順次積層していたが、更にこれと直角方向で両側から積層部2に約2倍の速さで積層していくのにも本発明は適用可能である。
本発明の実施の形態による薄板積層装置の全体を示す平面図である。 同側面図である。 同作用を示す図。 同作用を示す図。 同作用を示す図。 同作用を示す図。 図1及び図2における銅箔の位置決め部の詳細を示す側面図である。 同作用を示す図。 同作用を示す図。 従来の銅箔位置決め部の詳細を示す側面図。 同装置における中央部に位置する積層部の詳細を示す正面図である。 同側面図。 図12における[13]−[13]線方向拡大断面図。 図1及び図2に於ける剥離装置の全体を示す平面図。 同側面図。 図14に於ける一部の拡大平面図。 図16に於ける[17]−[17]線方向断面図。 剥離装置の他要部を示す拡大平面図。 同作用を示す拡大平面図。 更に同作用を示す拡大平面図。 剥離装置における要部の拡大断面図。 同作用を示す拡大断面図。 更に同作用を示す拡大側面図。 更に同作用を示す拡大断面図。 剥離装置に於ける更に他要部の拡大断面図。 同作用を示す拡大断面図。 更に同作用を示す拡大断面図。 更に同作用を示す拡大断面図。
符号の説明
1 薄板積層装置
2 積層部
7 プレ−ト側−銅箔位置決め部
13 絶縁板側−銅箔位置決め部
33 真空パッド
40 リフタ−
42A,42B 集塵装置
53A,53B 押え装置
56a 剥離部材
59 押動係合部材
100 剥離装置
140 滑走路形成部材

Claims (2)

  1. 少なくとも2種の薄板を重ね合わせて、積層部に搬送し、該積層部に順次積層して行く薄板積層装置であって、前記積層部の両側に集塵機の集塵口を上下動可能に設け、前記積層部が前記薄板の積層高さに応じて下降するときに該下降量に応じて前記両集塵口も下降させるようにしたことを特徴とする薄板積層装置。
  2. 前記積層部は平らな支持底面を有し、この上にクッション材を載置させ、前記薄板が該クッション材の上に積層されて行くことを特徴とする請求項1に記載の薄板積層装置。
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