JP2003012211A - 搬送集積装置および集積方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 断裁されたシャドウマスク製品を配設した金
属シートあるいはシャドウマスク製品単体等のワークシ
ートを搬送用のコンベアから受け取り、所定の集積部に
集積する際の集積方法で、タクトタイムが従来よりもか
からない集積方法と、これを実施するための搬送集積装
置を提供する。 【解決手段】 ワークシートを１枚毎、吸着して集積部
の位置まで搬送し、そこで吸着を解除して、集積部にワ
ークシートを積み重ねるもので、３本の条状の吸着部を
設けた吸着ハンドを備え、且つ、３本の吸着部の中間の
吸着部の吸着解除タイミングを他の２本に吸着部よりも
所定時間だけ早く制御できる吸着解除タイミング制御部
を備えているもので、ワークシートを集積部に搬送し、
そこで吸着を解除して、集積部にワークシートを積み重
ねる際、３本の吸着部の中間の吸着部の吸着解除タイミ
ングを他の２本の吸着部よりも所定時間だけ早くし、ワ
ークシートの落下形状を下に凸の形状にして、ワークシ
ートを落下させて積み重ねるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンベアによって
連続的に搬送されている所定の形状サイズの可撓性の板
状のワークシートをコンベアから受け取り、搬送して、
且つ集積部にワークシートを積み重ねるための搬送集積
装置と、集積方法に関し、特に、ワークシートが磁性体
からなるシャドウマスク製品単体ないしシャドウマスク
製品を配設した金属シートである場合の、搬送集積装置
と、集積方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、カラーＴＶ（ブラウン管）用のシ
ャドウマスクは、使用量の拡大に伴い量産化が進み、且
つ、その使用目的によっては、ファイン化、大型化等が
求められている。このようなシャドウマスクは、一般に
は、帯状に連続する金属板材６００を素材（図５
（ａ））として用い、フォトエッチング加工一貫ライン
で加工されており、簡単には、帯を張った状態であるフ
ープ状にして、帯状に連続する金属板材６００を連続な
いし間欠的に移動させながら、製版、エッチングして、
各シャドウマスクの製品部（これをシャドウマスクと言
う）６１１の外周部が金属板材６００に保持されるよう
にして、且つ、該金属板材６００にシャドウマスク６１
１を面付けした状態にして外形加工される。（図５
（ｂ）） そして、この後、図５（ｃ）に示すように、一旦、金属
板材６００を断裁し、断裁された金属シートから不要の
金属板部６１２を分離し、各シャドウマスク６１１（図
５（ｄ））を得るトリミング方法（オフライン方式）が
一般には採られている。金属板材６００から断裁された
金属シートは、図５（ｃ）（ロ）に示すように、シャド
ウマスク１個（単面付け）の外側に不要の金属板部６１
２を付けた状態のもの（金属シート６１０Ａ）、あるい
は、図５（ｃ）（イ）に示すように、図５（ｃ）（ロ）
のものを複数個１つのシートにした状態のもの（金属シ
ート６１０）である。

【０００３】このような金属シートを得るための断裁工
程は、フォトエッチング加工による外形加工に引き続い
て行われ、断裁された金属シートはコンベアのベルトに
載せられ搬送され、吸着部を持つ搬送部により吸着搬送
され所定の集積位置にて離して積み重ねる、集積方法が
採られていた。図４に示すように、吸着ハンド４１０を
用い、その真空吸着部４１１にてコンベア位置にて、金
属シート４２０の端部を吸着し、この状態で所定の高さ
まで上昇し、レール（図示していない）等により、集積
箇所まで略水平移動した後、集積面高さから所定の距離
内の所定の高さまで吸着ハンド４１０を下げ、そこで各
吸着部４１１による吸着を一斉に解除し、金属シート４
２０を落とし集積部に積み重ねていた。この集積方法の
場合、金属シート（以下ワークとも言う）が、搬送部の
吸着部から放たれ、金属シートが着地する際には前後に
ずれるばたつきを伴なうため、これを極力小さくするた
め、金属シートを放つ位置（以下、リリース位置とも言
う）と金属シート集積面の距離を縮めて、金属シートを
放っていた。金属シートが搬送部の吸着部から放たれ、
着地する際に、前後にずれるばたつきを起こすのは、金
属シート着地の際に金属シート下に空気を取り込んでし
まい、金属シートが上下にずれてしまうことに起因する
もので、実作業では、このずれを極力小さくするために
金属シートリリース位置と金属シート集積面の距離を縮
めるので、タクトタイムがかかり問題となっていた。

【０００４】尚、最近では、フォトエッチング加工工程
に続き、シャドウマスク製品を得るトリミングをインラ
イン方式で行なう方法も採られるようになってきたが、
この方法においても、上記と同様な方法により集積する
場合、タクトタイムがかかり問題となっていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来
の、シャドウマスクをフォトエッチング加工により作製
する場合、断裁されたシャドウマスク製品を配設した金
属シートあるいはシャドウマスク製品単体を搬送用のコ
ンベアから受け取り、所定の集積部に集積する際の集積
方法においては、位置集積される精度の面から、金属シ
ートリリース位置と金属シート集積面の距離を縮めるこ
とが必要で、タクトタイムがかかり問題となっており、
この対応が求められていた。本発明は、これに対応する
もので、シャドウマスクをフォトエッチング加工により
作製する場合、断裁されたシャドウマスク製品を配設し
た金属シートあるいはシャドウマスク製品単体を搬送用
のコンベアから受け取り、所定の集積部に集積するが、
この集積の際、タクトタイムが従来よりもかからない集
積方法と、これを実施するための搬送集積装置を提供し
ようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の搬送集積装置
は、コンベアによって連続的に搬送されている所定の形
状サイズの可撓性の板状のワークシートをコンベアから
受け取り、搬送して、且つ集積部にワークシートを積み
重ねるための搬送集積装置であって、ワークシートを１
枚毎、吸着して集積部の位置まで搬送し、そこで吸着を
解除して、集積部にワークシートを積み重ねるもので、
３本の条状の吸着部を設けた吸着ハンドを備え、且つ、
３本の吸着部の中間の吸着部の吸着解除タイミングを他
の２本に吸着部よりも所定時間だけ早く制御できる吸着
解除タイミング制御部を備えているもので、ワークシー
トを集積部に搬送し、そこで吸着を解除して、集積部に
ワークシートを積み重ねる際、３本の吸着部の中間の吸
着部の吸着解除タイミングを他の２本の吸着部よりも所
定時間だけ早くし、ワークシートの落下形状を下に凸の
形状にして、ワークシートを落下させて積み重ねるもの
であることを特徴とするものである。そして、上記にお
いて、ワークシートは磁性体からなる金属シートであ
り、吸着部は、ワークシートの吸着、吸着の解除を磁石
による磁力制御により行なうものであることを特徴とす
るものであり、ワークシートはシャドウマスク製品単体
ないしシャドウマスク製品を配設した金属シートである
ことを特徴とするものである。尚、ここで、条状の吸着
部とは、その吸着面を連続して１直線状のものあるいは
間欠に１直線状にしたものを言う。

【０００７】本発明の集積方法は、コンベアによって連
続的に搬送されている所定の形状サイズの可撓性の板状
のワークシートをコンベアから受け取り、搬送して、且
つ集積部にワークシートを積み重ねる際の、集積方法で
あって、３本の条状の吸着部を設けた吸着ハンドを用
い、ワークシートを１枚毎、吸着して集積部の位置まで
搬送し、そこで吸着を解除して、集積部にワークシート
を積み重ねるもので、集積部にワークシートを積み重ね
る際、３本の吸着部の中間の吸着部の吸着解除タイミン
グを他の２本の吸着部よりも所定時間だけ早くし、ワー
クシートの落下形状を下に凸の形状にして、ワークシー
トを落下させて積み重ねることを特徴とするものであ
る。そして、上記において、ワークシートは磁性体から
なる金属シートであり、吸着部は、ワークシートの吸
着、吸着の解除を磁石による磁力制御により行なうもの
であることを特徴とするものであり、ワークシートはシ
ャドウマスク製品単体ないしシャドウマスク製品を配設
した金属シートであることを特徴とするものである。

【０００８】

【作用】本発明の搬送集積装置は、上記のような構成に
することによって、コンベアによって連続的に搬送され
る所定の形状サイズの各可撓性の板状のワークシートを
コンベアから受け取り、搬送して、且つ集積部にワーク
シートを積み重ねるための搬送集積装置であって、ワー
クシートを集積部に集積する際、タクトタイムが従来よ
りもかからない搬送集積装置の提供を可能としている。
具体的には、ワークシートを１枚毎、吸着して集積部の
位置まで搬送し、そこで吸着を解除して、集積部にワー
クシートを積み重ねるもので、３本の条状の吸着部を設
けた吸着ハンドを備え、且つ、３本の吸着部の中間の吸
着部の吸着解除タイミングを他の２本に吸着部よりも所
定時間だけ早く制御できる吸着解除タイミング制御部を
備えているもので、ワークシートを集積部に搬送し、そ
こで吸着を解除して、集積部にワークシートを積み重ね
る際、３本の吸着部の中間の吸着部の吸着解除タイミン
グを他の２本の吸着部よりも所定時間だけ早くし、ワー
クシートの落下形状を下に凸の形状にして、ワークシー
トを落下させて積み重ねるものであることにより、これ
を達成している。即ち、ワークシートリリース時、３本
の条状の吸着部の吸着解除のタイミングをずらし、ワー
クの落下形状を下に凸の形状にさせることで、ワークシ
ートも着地時にワークシート下に空気を取り込まず、従
来の場合よりも集積面から離れた高い位置からワークシ
ートをリリースしてもずれることなく高精度な集積を実
現できるため、従来の場合よりも集積面から離れた高い
位置からワークシートをリリースでき、これにより、従
来よりタクトタイムがかからないものとしている。特
に、ワークシートが磁性体からなる、シャドウマスク製
品を配設した金属シートあるいはシャドウマスク製品単
体で、吸着部は、ワークシートの吸着、吸着の解除を磁
石による磁力制御により行なう場合、ワークシートの吸
着、吸着の解除を確実に制御でき、量産にも対応でき
る。

【０００９】本発明の集積方法は、上記のような構成に
することによって、コンベアによって連続的に搬送され
る所定の形状サイズの各可撓性の板状のワークシートを
コンベアから受け取り、搬送して、且つ集積部にワーク
シートを積み重ねる際の、集積方法であって、タクトタ
イムが従来よりもかからない集積方法の提供を可能とし
ている。特に、ワークシートが磁性体からなる、シャド
ウマスク製品を配設した金属シートあるいはシャドウマ
スク製品単体で、吸着部は、ワークシートの吸着、吸着
の解除を磁石による磁力制御により行なう場合、ワーク
シートの吸着、吸着の解除を確実に制御でき、量産にも
対応できる。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の搬送集積装置の実施の形
態の１例の概略構成図で、図２は図１のＡ２−Ａ３側か
らみた図、図３は吸着ヘッド部の動作を説明するための
図である。図１〜図３中、１１０は吸着ヘッド部、１１
１、１１１ａは吸着部（鉄プレート）、１１２、１１２
ａ、１１２ｂは永久磁石、１１３は磁石固定部、１１３
ａはガイド用孔、１１４は磁石固定部、１１５は固定
軸、１１７はガイド、１２１はガイド軸、１２２は固定
部、１２３は（ガイド軸１２１との）嵌合部、１２５は
ヘッド保持部、１２６は固定部、１３１はガイド軸、１
３２は昇降用ネジ部、１４０はモータ、１４１はネジ
部、１４２は固定部、１４３はガイド軸受け、１５０は
固定部、１５５はレール、１６０はシリンダー、１６１
はシリンダー軸、１７０は金属シート、１８０は合紙、
１９０は集積台（集積部とも言う）である。尚、図１
中、Ａ１部が吸着解除タイミング制御部である。また、
図１では、全体を見易くするため、シリンダー１６０や
吸着部１１１の保持については省いて示している。

【００１１】本発明の搬送集積の実施の形態の１例を図
１に基づいて説明する。本例の搬送集積装置は、コンベ
ア（図示していない）によって連続的に搬送されてい
る、シャドウマスクを有する磁性体からなる金属シート
１７０（図５（ｃ）に相当するもので、ワークシートと
も言う）を、コンベアから受け取り、搬送して、且つ集
積部にワークシートを積み重ねるための搬送集積装置
で、金属シート（１７０）を１枚毎、吸着して集積台１
９０の位置まで搬送し、そこで吸着を解除して、集積台
１９０に金属シート１７０を積み重ねるものであり、３
本の条状の吸着部１１１を設けた吸着ハンド１１０を備
えたものである。そして、３本の吸着部１１１の中間の
吸着部１１１ａの吸着解除タイミングを他の２本の吸着
部よりも所定時間だけ早く制御できる吸着解除タイミン
グ制御部Ａ１を備えているもので、金属シート１７０を
集積台１９０の位置まで搬送し、そこで吸着を解除し
て、集積台１９０上に金属シート１７０を積み重ねる
際、３本の吸着部１１１の中間の吸着部１１１ａの吸着
解除タイミングを他の２本の吸着部よりも所定時間だけ
早くし、金属シート１７０の落下形状を下に凸の形状に
して、金属シート１７０を落下させて積み重ねるもので
ある。

【００１２】本例では、吸着ヘッド１１０は、ヘッド保
持部１２５と一体的に固定されたシリンダー軸１６１に
より、ガイド軸１２１に沿い、その位置を上下に移動で
きるようになっており、吸着ヘッド１１０とヘッド保持
部１２５との相対位置はシリンダー軸１６１の上下移動
のみにより決まる。そして、吸着ヘッド１１０を保持す
るヘッド保持部１２５自体も、モータ１４０の駆動によ
り上下移動できるようになっている。

【００１３】吸着部１１１は、磁性体からなり、永久磁
石１１２により磁化されるもので、永久磁石１１２と所
定離れている場合には磁化は弱くあるいは磁化されず、
磁性体からなる金属シート１７０を吸着することはでき
ないが、永久磁石１１２と接している状態では、磁化は
強く、磁性体からなる金属シート１７０を吸着すること
ができる。本例では、図１のように永久磁石１１２と接
し、強く磁化された状態で、磁性体からなる金属シート
１７０を吸着し、永久磁石１１２と離され、弱く磁化さ
れた状態あるいは磁化されていない状態では、金属シー
ト１７０を吸着できない。吸着する金属シート１７０に
合せ、永久磁石１１２や吸着部１１１の材質を選ぶ。ま
た、吸着部１１１は、永久磁石１１２に接していない
で、且つ、金属シート１７０にも接していない場合に
は、磁石から所定距離だけ離れた位置に略水平におかれ
るように、固定部１２５により保持されている。

【００１４】磁石固定部１１３、１１４は、永久磁石１
１２を保持するもので、磁石固定部１１４は、直接、固
定軸１１５に固定されており、固定部１１４と固定軸１
１５とは、シルンダー軸１６１により、一体的に、ガイ
ド軸１２１に沿い、上下移動される。そして、固定部１
１４と一体となった永久磁石１１２ａは、固定部１１４
とともにシリンダー軸１６１により上下移動される。一
方、固定部１１３にはガイド用孔１１３ａが設けられ、
この孔１１３ａに沿い、ガイド１１７が上下移動できる
ようになっており、ガイド１１７と一体になった磁石１
１２ｂがガイド１１７の移動範囲で上下移動できるよう
になっている。本例の装置では、シリンダー１６０のシ
リンダー軸の上下移動のみで、永久磁石１１２と吸着部
１１１との距離を制御するものであり、このようになっ
ていることにより、図１の金属シート１７０を保持して
いる状態から、シリンダー１６０のシリンダー軸１６１
を上方向に動かし、吸着部１１１からそれぞれの永久磁
石１１２を離す際、３本の吸着部１１１の中間の吸着部
１１２ａ以外の２つの吸着部を離すタイミングを、ガイ
ド１１７の移動範囲に対応して、中間の吸着部１１２ａ
より遅らせることができる。即ち、中間の吸着部１１２
ａ以外の２つの吸着部１１２ｂを離すタイミングを、中
間の吸着部１１２ａより遅らせることにより、金属シー
ト１７０の落下形状を下に凸の形状にさせることでき、
これにより、金属シート１７０はその下に空気を取り込
まず、従来の場合よりも集積面から離れた高い位置から
金属シート１７０をリリースしてもずれることなく高精
度な集積を実現できる。このため、従来の場合よりも集
積面から離れた高い位置から金属シートをリリースで
き、これにより、従来よりタクトタイムがかからなくで
きる。固定部１１３、１１４の水平方向位置、吸着部１
１１の水平方向位置は可変になっており（これらの機構
は図示せず、省略）、これにより、各種品種やサイズに
対応できる。

【００１５】固定部１５０は、モータ１４０やこれを固
定する固定部１４２やガイド受け１４３を一体的に固定
するもので、本例では、レールに保持され、所定の高さ
位置にある。そして、レール１５５を介して、コンベア
（図示していない）位置と集積台の位置間を略水平方向
に移動できるようになっている。固定部の水平方向移動
により、吸着ヘッド１１０や金属シート１７０は、コン
ベア（図示していない）と集積台１９０の位置を往復で
きるようになっている。モータ１４０は、そのネジ部１
４１と嵌合する昇降用ネジ部１３２を回転させ、昇降用
ネジ部１３２と一体となった固定部１２５等を上下移動
させる。

【００１６】次に、本発明の搬送集積装置の特徴的な、
吸着リリース動作の１例を図３に基づいて説明する。
尚、これを以って、本発明の集積方法の実施の形態の１
例とする。図１の金属シート１７０を吸着した状態から
吸着を解除して、金属シート１７０を集積台１９０に積
み上げる動作について説明する。先ず、コンベア（図示
していない）から金属シート１７０を受け取り、レール
１５５により水平移動され、搬送され、集積部の位置で
停止し、図１のように金属シート１７０を吸着している
状態となる。（図３（ａ）） この状態で、吸着ヘッド１１０や集積台１９０を上下移
動せず、吸着リリースを行なうが、はじめ、ガイド１１
７はガイド孔１１３ａの下側いっぱいにきている。シリ
ンダー１６０のシリンダー軸１６１を上方向移動させ、
固定部１１４と固定軸１１５を、一体として、上方向
に上げる。固定部１１３のガイド孔１１３ａによるガイ
ド１１７移動範囲においては、固定部１１４に一体とな
り永久磁石１１２ａは上方向に移動するが、固定部１１
３の永久磁石１１２は動かない。シリンダー軸１６１の
上方向移動が、ガイド孔１１３ａによるガイド１１７移
動範囲を超えると、ガイド１１７はガイド孔１１３ａの
上側いっぱいにきているため、固定部１１３も上側に上
がるようになり、固定部１１３に一体となった永久磁石
１１２ｂも上側に移動し、吸着部から離れるようにな
る。固定部１１３の永久磁石１１２ｂが吸着部１１１か
ら離れると、金属シート１７０が吸着部１１１から離れ
る。（図３（ｃ）） これにより、ガイド１１７が固定部１１３の下側いっぱ
いから上側いっぱいまでに達する時間をＴ０とすると、
中間の吸着部１１２ａが金属シート１７０を離してから
Ｔ０後に中間の吸着部を挟む２つの吸着部１１２ｂが金
属シート１７０を離すこととなり、金属シート１７０の
落下形状は下に凸形状となる。この後、金属シート１７
０は、落下して、集積台１９０上に積まれることとなる
（図３（ｄ））が、金属シート１７０の落下形状が下に
凸形状となるため、落下の際、金属シート１７０の下側
に空気を巻き込むことがなく、その落下位置精度を良い
ものとできる。

【００１７】次に、本例の搬送集積装置による金属シー
トの搬送と吸着の１例を挙げる。図３（ｄ）の状態で、
レール１５５により、コンベア（図示していない）まで
略水平に移動する。ここで、シリンダー１６０と一体の
固定部１２５を、モータ１４０の駆動にて、所定幅だけ
降下させ停める。吸着部１１１と金属シート１７０とは
若干離れた状態となる。この状態で、シリンダー１６０
のシリンダー軸１６１を降下させ、ガイド１１７が固定
部１１３の下側いっぱいまできた状態で停める。次い
で、更に、シリンダー１６０と一体の固定部１２５を、
モータ１４０の駆動にて、所定幅だけ若干降下させ、金
属シート１７０を吸着部１１１にて吸着した後、シリン
ダー１６０と一体の固定部１２５を、モータ１４０の駆
動にて、所定幅だけ上昇させ、元の位置に戻し、レール
１５５に沿い集積部へと移動する。このようにして、金
属シートの搬送と吸着が行われるが、これは１例でこれ
に限定はされない。

【００１８】本例の搬送集積装置においては、金属シー
トが磁性体であり、吸着部１１１の吸着を永久磁石を利
用した磁力による吸着としたが、これに限定されない。
電磁石を用いて吸着するようにしても良いし、真空制御
による吸着でも良いが、いずれも吸着リリースのタイミ
ングを制御するタイミング制御機構を備えることが必要
である。

【００１９】

【発明の効果】本発明は、上記のように、コンベアによ
って連続的に搬送される所定の形状サイズの各可撓性の
板状のワークシートをコンベアから受け取り、搬送し
て、且つ集積部にワークシートを積み重ねるための搬送
集積方法で、タクトタイムが従来よりもかからない集積
方法の提供と、これを実施するための搬送集積装置の提
供を可能とした。本発明は、ワークシートがシャドウマ
スクであり、シャドウマスクのフォトエッチング加工に
続いて断裁までを行なうシャドウマスク生産ラインにお
いては、特に有効で、これにより、従来品質を維持しな
がら、集積タクトタイムの短縮の他に、ワークシートの
集積度の向上が期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送集積装置の実施の形態の１例の概
略構成図

【図２】図１のＡ２−Ａ３側からみた図

【図３】吸着ヘッド部の動作を説明するための図

【図４】従来の集積方法を説明するための図

【図５】シャドウマスクの製造方法と分離を説明するた
めの図

【符号の説明】

１１０ 吸着ヘッド部 １１１、１１１ａ 吸着部（鉄プレート） １１２、１１２ａ、１１２ｂ 永久磁石 １１３ 磁石固定部 １１３ａ ガイド用孔 １１４ 磁石固定部 １１５ 固定軸 １１７ ガイド １２１ ガイド軸 １２２ 固定部 １２３ （ガイド軸１２１との）
嵌合部 １２５ ヘッド保持部 １２６ 固定部 １３１ ガイド軸 １３２ 昇降用ネジ部 １４０ モータ １４１ ネジ部 １４２ 固定部 １４３ ガイド軸受け １５０ 固定部 １５５ レール １６０ シリンダー １６１ シリンダー軸 １７０ 金属シート １８０ 合紙 １９０ 集積台（集積部とも言
う） Ａ１部 吸着解除タイミング制
御部 ４１０ 吸着ハンド ４１１ 真空吸着部 ４２０ 金属シート ４２５ 合紙 ４３０ 集積台 ４４０ コンベア ６００ 金属板材 ６１０、６１０Ａ 金属シート ６１１ シャドウマスクの製品
部（これをシャドウマスクと言う） ６１１Ａ 開孔形成領域 ６１２ 不要の金属板部 ６１４ トリミング線部

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F072 AA28 GD05 KA01 KD05 KD12 KD22 KD27 3F106 CA02 CA12 CA22 LA15 LB10

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 コンベアによって連続的に搬送されてい
   る所定の形状サイズの可撓性の板状のワークシートをコ
   ンベアから受け取り、搬送して、且つ集積部にワークシ
   ートを積み重ねるための搬送集積装置であって、ワーク
   シートを１枚毎、吸着して集積部の位置まで搬送し、そ
   こで吸着を解除して、集積部にワークシートを積み重ね
   るもので、３本の条状の吸着部を設けた吸着ハンドを備
   え、且つ、３本の吸着部の中間の吸着部の吸着解除タイ
   ミングを他の２本に吸着部よりも所定時間だけ早く制御
   できる吸着解除タイミング制御部を備えているもので、
   ワークシートを集積部に搬送し、そこで吸着を解除し
   て、集積部にワークシートを積み重ねる際、３本の吸着
   部の中間の吸着部の吸着解除タイミングを他の２本の吸
   着部よりも所定時間だけ早くし、ワークシートの落下形
   状を下に凸の形状にして、ワークシートを落下させて積
   み重ねるものであることを特徴とする搬送集積装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、ワークシートは磁性
   体からなる金属シートであり、吸着部は、ワークシート
   の吸着、吸着の解除を磁石による磁力制御により行なう
   ものであることを特徴とする搬送集積装置。
3. 【請求項３】 請求項２において、ワークシートはシャ
   ドウマスク製品単体ないしシャドウマスク製品を配設し
   た金属シートであることを特徴とする搬送集積装置。
4. 【請求項４】 コンベアによって連続的に搬送されてい
   る所定の形状サイズの可撓性の板状のワークシートをコ
   ンベアから受け取り、搬送して、且つ集積部にワークシ
   ートを積み重ねる際の、集積方法であって、３本の条状
   の吸着部を設けた吸着ハンドを用い、ワークシートを１
   枚毎、吸着して集積部の位置まで搬送し、そこで吸着を
   解除して、集積部にワークシートを積み重ねるもので、
   集積部にワークシートを積み重ねる際、３本の吸着部の
   中間の吸着部の吸着解除タイミングを他の２本の吸着部
   よりも所定時間だけ早くし、ワークシートの落下形状を
   下に凸の形状にして、ワークシートを落下させて積み重
   ねることを特徴とする集積方法。
5. 【請求項５】 請求項４において、ワークシートは磁性
   体からなる金属シートであり、吸着部は、ワークシート
   の吸着、吸着の解除を磁石による磁力制御により行なう
   ものであることを特徴とする集積方法。
6. 【請求項６】 請求項５において、ワークシートはシャ
   ドウマスク製品単体ないしシャドウマスク製品を配設し
   た金属シートであることを特徴とする集積方法。