JP4056978B2 - ダイボンディング方法及びその装置 - Google Patents
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Description
2 ダイ
3 ウェハ保持テープ
10 基板
11 熱圧着シート
12 ダイ
14 ヒートブロック
20 コレット
21 コレットヘッド
30 赤外線ランプ
31 温風ヒータ
34 赤外線レーザ
35 反射ミラー
36 加熱手段
40 赤外線温度センサー
41 電圧又は電流制御回路
42 設定温度記憶部
Claims (5)
- 熱圧着シートがダイ下面に貼り付けられている熱圧着シート付ダイを基板又は該基板上に搭載されたダイ上に搭載するダイボンディング方法において、前記熱圧着シートを下面側から非接触で加熱する赤外線レーザを有し、この赤外線レーザのレーザー光路に配設した反射ミラー又はプリズムにより光路変更して前記熱圧着シートを加熱する工程と、前記熱圧着シート付ダイを基板又は該基板上に搭載されたダイ上に搭載する工程とを有することを特徴とするダイボンディング方法。
- 熱圧着シートがダイ下面に貼り付けられている熱圧着シート付ダイを基板又は該基板上に搭載されたダイ上に搭載するダイボンディング方法において、前記熱圧着シートを下面側から非接触で加熱する赤外線レーザを有し、この赤外線レーザのレーザー光路に配設した反射ミラー又はプリズムにより光路変更して前記熱圧着シートを加熱する工程と、前記赤外線レーザにより加熱された前記熱圧着シートの温度を赤外線温度センサーにより測定する工程と、前記熱圧着シート付ダイを基板又は該基板上に搭載されたダイ上に搭載する工程とを有することを特徴とするダイボンディング方法。
- 前記赤外線レーザは、電圧又は電流制御回路によって制御され、前記熱圧着シートの温度が前記電圧又は電流制御回路の設定温度記憶部に記憶された設定温度になると、前記赤外線レーザによる加熱を停止することを特徴とする請求項1又は2記載のダイボンディング方法。
- 熱圧着シートがダイ下面に貼り付けられている熱圧着シート付ダイを基板又は該基板上に搭載されたダイ上に搭載するダイボンディング装置において、前記熱圧着シート付ダイを基板又は該基板上に搭載されたダイ上に搭載する前に前記熱圧着シートを下面側から非接触で加熱する赤外線レーザを有し、この赤外線レーザのレーザー光路に配設した反射ミラー又はプリズムにより光路変更して前記熱圧着シートを加熱することを特徴とするダイボンディング装置。
- 熱圧着シートがダイ下面に貼り付けられている熱圧着シート付ダイを基板又は該基板上に搭載されたダイ上に搭載するダイボンディング装置において、前記熱圧着シート付ダイを基板又は該基板上に搭載されたダイ上に搭載する前に前記熱圧着シートを下面側から非接触で加熱する赤外線レーザと、この赤外線レーザにより加熱された熱圧着シートの温度を測定する赤外線温度センサーとを有し、前記赤外線レーザのレーザー光路に配設した反射ミラー又はプリズムにより光路変更して前記熱圧着シートを加熱することを特徴とするダイボンディング装置。
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