CN108107163B - Inlay电子标签芯片封装实验机 - Google Patents
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- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 claims abstract description 49
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 14
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 7
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 16
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/832—Applying energy for connecting
- H01L2224/83201—Compression bonding
- H01L2224/83203—Thermocompression bonding, e.g. diffusion bonding, pressure joining, thermocompression welding or solid-state welding
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
本发明涉及INLAY电子标签芯片封装实验机,包括加工台,加工台上设置有载料载具、上热压头、下热压头、安装板、第一驱动机构、第二驱动机构,和调节安装板与第一驱动机构间距并检测压力的压力微调机构;还包括控制面板,上热压头、下热压头、第一驱动机构、第二驱动机构均与控制面板电连接并受其控制;通过载料载具夹载基板后,电子标签芯片放置到基板上,第一驱动机构驱动上热压头下行,第二驱动机构驱动下热压头上行,进行加热,加热温度和时间由控制面板进行控制,通过压力微调机构调节安装板与第一驱动机构之间距离并测试压力达到对压力的调节控制,单一设备即可进行电子标签封装测试,使用方便,结构简单,成本低,体型较小。
Description
技术领域
本发明涉及电子标签检测技术领域,更具体地说,涉及INLAY电子标签芯片封装实验机。
背景技术
RFID是目前应用于物联网的一项新兴通信技术,可通过无线电信号识别产品电子标签内的EPC码来识别特定目标,而无需识别系统与特定目标之间建立机械或光学接触,它的应用给物联网行业带来了革命性的变化,极大地节省了管理成本,提高了管理效率。
其中最重要的信息载体就是INLAY电子标签,批量生产前需要反复调试不同温度、时间、和压力,寻找合适的参数,确定使用的各向异性导电胶的最佳固化参数,解决INLAY电子标签芯片通过各向异性导电胶倒封装到天线基板上,需要一种对温度、时间、压力均能进行精准调整的测试设备。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种INLAY电子标签芯片封装实验机。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
构造一种INLAY电子标签芯片封装实验机,包括加工台,其中,所述加工台上设置有载料载具、上热压头、下热压头、安装固定所述上热压头的安装板、带动所述安装板纵向运行的第一驱动机构、带动所述下热压头纵向运行的第二驱动机构,和调节所述安装板与所述第一驱动机构间距并检测压力的压力微调机构;还包括控制面板,所述上热压头、所述下热压头、所述第一驱动机构、所述第二驱动机构均与所述控制面板电连接并受其控制。
本发明所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其中,所述压力微调机构为千分尺,且设置有至少两个;所述第一驱动机构活动端固定有横向板,所述横向板端部固定有与所述千分尺数量一致的纵向板,所述纵向板下端设置有固定连接所述千分尺壳体的固定块;所述安装板与多个所述千分尺的测杆均固定连接。
本发明所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其中,所述纵向板上设置有滑轨;所述滑轨上滑动连接设置有滑块,所述滑块与所述安装板固定连接。
本发明所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其中,所述固定块上固定有第一导杆;所述加工台上设置有与所述第一导杆对应的第一导套。
本发明所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其中,所述横向板下表面设置有第二导套;所述上热压头上端固定有与所述第二导套对应的第二导杆。
本发明所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其中,所述上热压头和所述下热压头均包括依次连接设置的热压头、隔热板和安装固定块;所述热压头内设置有发热芯。
本发明所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其中,所述载料载具包括载具主体,所述载具主体上设置有真空吸附盘,所述真空吸附盘上设置有与所述下热压头对应的通孔;所述载具主体上设置有分别夹持待检测工件两端的固定夹持件和活动夹持件;所述载具主体上设置有带动所述活动夹持件朝向或背离所述固定夹持件移动的第三驱动机构。
本发明所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其中,所述加工台上设置有滑动座,所述滑动座上设置有滑槽;所述载具主体两端均设置有多个轴承滑轮;所述滑槽两侧内壁均设置有与所述轴承滑轮配合的凹槽;所述滑动座上设置有带动所述载料载具沿所述滑槽运动的第四驱动机构。
本发明所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其中,所述固定夹持件和所述活动夹持件均包括与所述载具主体固定的夹持固定块、一端与夹持固定块转动连接的夹持活动块,和将所述夹持活动块与所述夹持固定块锁紧的锁紧手柄;所述夹持固定块上设置有与所述真空吸附盘配合的压持片;位于所述固定夹持件上的所述压持片端部设置有与所述通孔配合的凹形通槽;所述活动夹持件上的所述夹持固定块上设置有导柱,所述真空吸附盘上设置有与所述导柱配合的导向孔。
本发明所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其中,所述加工台上还设置有便于将工件放置在所述载料载具上的显示放大机构。
本发明的有益效果在于:通过载料载具夹载基板后,电子标签芯片放置到基板上,第一驱动机构驱动上热压头下行,第二驱动机构驱动下热压头上行,进行加热,加热温度和时间由控制面板进行控制,通过压力微调机构调节安装板与第一驱动机构之间距离并测试压力达到对压力的调节控制,单一设备即可进行电子标签封装测试,使用方便,结构简单,成本低,体型较小;通过上热压头和下热压头同时进行加热,保证压力的同时使得工件能够上下同时受热,保证温度均匀性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明,下面描述中的附图仅仅是本发明的部分实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他附图:
图1是本发明较佳实施例的INLAY电子标签芯片封装实验机外部结构示意图;
图2是本发明较佳实施例的INLAY电子标签芯片封装实验机内部结构示意图;
图3是本发明较佳实施例的INLAY电子标签芯片封装实验机上热压头结构示意图;
图4是本发明较佳实施例的INLAY电子标签芯片封装实验机下热压头结构示意图;
图5是本发明较佳实施例的INLAY电子标签芯片封装实验机载料载具结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本发明的部分实施例,而不是全部实施例。基于本发明的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明的保护范围。
本发明较佳实施例的INLAY电子标签芯片封装实验机如图1所示,同时参阅图2-图5,包括加工台1,加工台1上设置有载料载具2、上热压头3、下热压头4、安装固定上热压头3的安装板30、带动安装板30纵向运行的第一驱动机构5、带动下热压头4纵向运行的第二驱动机构6,和调节安装板30与第一驱动机构5间距并检测压力的压力微调机构7;还包括控制面板8,上热压头3、下热压头4、第一驱动机构5、第二驱动机构6均与控制面板8电连接并受其控制;通过载料载具2夹载基板后,电子标签芯片放置到基板上,第一驱动机构5驱动上热压头3下行,第二驱动机构6驱动下热压头4上行,进行加热,加热温度和时间由控制面板8进行控制,通过压力微调机构7调节安装板30与第一驱动机构5之间距离并测试压力达到对压力的调节控制,单一设备即可进行电子标签封装测试,使用方便,结构简单,成本低,体型较小。
如图1、图2和图3所示,压力微调机构7为千分尺7,且设置有至少两个;第一驱动机构5活动端固定有横向板50,横向板50端部固定有与千分尺7数量一致的纵向板51,纵向板51下端设置有固定连接千分尺7壳体的固定块510;安装板30与多个千分尺7的测杆均固定连接;第一驱动机构5通过横向板50、纵向板51、固定块510和千分尺7与安装板30进行连接,带动上热压头3上下移动,以控制热压时间,通过调节千分尺7的调节螺母可以对安装板30与第一驱动机构5之间间距进行微调,同时根据千分尺7上读数可计算增加或减少的压力值,实现控制上热压头3对产品压力的微调。
如图1和图2所示,纵向板51上设置有滑轨511;滑轨511上滑动连接设置有滑块512,滑块512与安装板30固定连接;保证对安装板30进行微调时,安装板30不会出现抖动或偏移,进而保证热压精度。
如图1和图2所示,固定块510上固定有第一导杆513;加工台1上设置有与第一导杆513对应的第一导套10;保证在第一驱动机构5带动横向板50、纵向板51、固定块510、千分尺7以及安装板30整体下行时位置精度。
如图1、图2和图3所示,横向板50下表面设置有第二导套500;上热压头3上端固定有与第二导套500对应的第二导杆31;保证对安装板30进行微调时,上热压头3不会出现抖动或偏移,进而保证热压精度。
如图1、图2、图3和图4所示,上热压头3和下热压头4均包括依次连接设置的热压头400、隔热板401和安装固定块402;热压头400内设置有发热芯(图中未显示);避免热量向上或向下传导,便于精确控制热压温度。
如图1、图2和图5所示,载料载具2包括载具主体20,载具主体20上设置有真空吸附盘21,真空吸附盘21上设置有与下热压头3对应的通孔210;载具主体20上设置有分别夹持待检测工件两端的固定夹持件22和活动夹持件23;载具主体20上设置有带动活动夹持件23朝向或背离固定夹持件22移动的第三驱动机构(图中未显示);基板放置在真空吸附盘21后,由固定夹持件22和活动夹持件23分别固定基板两端,第三驱动机构带动活动夹持进行移动,保持基板平展,而后真空吸附盘21运行吸附基板;保证测试时工件位置精度,不会出现移位情况。
如图1、图2和图5所示,加工台1上设置有滑动座11,滑动座11上设置有滑槽;载具主体20两端均设置有多个轴承滑轮200;滑槽两侧内壁均设置有与轴承滑轮配合的凹槽;滑动座11上设置有带动载料载具2沿滑槽运动的第四驱动机构;带动载具移动平稳性高,便于其搭载工件后精确到达测试位置。
如图5所示,固定夹持件22和活动夹持件23均包括与载具主体20固定的夹持固定块220、一端与夹持固定块220转动连接的夹持活动块221,和将夹持活动块221与夹持固定块220锁紧的锁紧手柄222;夹持固定块220上设置有与真空吸附盘21配合的压持片223;位于固定夹持件22上的压持片223端部设置有与通孔210配合的凹形通槽224;活动夹持件23上的夹持固定块220上设置有导柱225,真空吸附盘21上设置有与导柱225配合的导向孔;基板放置后,两端均由夹持固定块220和夹持活动块221进行夹持,并有锁紧手柄222锁紧夹持固定块220和夹持活动块221,同时两个压持片223对基板上表面两端进行压持,稳定性好,基板取下和安放均十分方便;通过导柱225和导向孔,保证活动夹持件23活动时的稳定性,进而保证基板被拉平整时精确度。
如图1和图2所示,加工台1上还设置有便于将工件放置在载料载具2上的显示放大机构(图中未显示);显示放大机构可为放大镜,通过人手持进行定位,也可通过固定放大镜进行定位;还可为显微镜、CCD相机等电镜;保证电子标签准确放置在基板上准确位置。
应当理解的是,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (8)
1.一种INLAY电子标签芯片封装实验机,包括加工台,其特征在于,所述加工台上设置有载料载具、上热压头、下热压头、安装固定所述上热压头的安装板、带动所述安装板纵向运行的第一驱动机构、带动所述下热压头纵向运行的第二驱动机构,和调节所述安装板与所述第一驱动机构间距并检测压力的压力微调机构;还包括控制面板,所述上热压头、所述下热压头、所述第一驱动机构、所述第二驱动机构均与所述控制面板电连接并受其控制;所述压力微调机构为千分尺,且设置有至少两个;所述第一驱动机构活动端固定有横向板,所述横向板端部固定有与所述千分尺数量一致的纵向板,所述纵向板下端设置有固定连接所述千分尺壳体的固定块;所述安装板与多个所述千分尺的测杆均固定连接;所述上热压头和所述下热压头均包括依次连接设置的热压头、隔热板和安装固定块;所述热压头内设置有发热芯。
2.根据权利要求1所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其特征在于,所述纵向板上设置有滑轨;所述滑轨上滑动连接设置有滑块,所述滑块与所述安装板固定连接。
3.根据权利要求1所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其特征在于,所述固定块上固定有第一导杆;所述加工台上设置有与所述第一导杆对应的第一导套。
4.根据权利要求1所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其特征在于,所述横向板下表面设置有第二导套;所述上热压头上端固定有与所述第二导套对应的第二导杆。
5.根据权利要求1所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其特征在于,所述载料载具包括载具主体,所述载具主体上设置有真空吸附盘,所述真空吸附盘上设置有与所述下热压头对应的通孔;所述载具主体上设置有分别夹持待检测工件两端的固定夹持件和活动夹持件;所述载具主体上设置有带动所述活动夹持件朝向或背离所述固定夹持件移动的第三驱动机构。
6.根据权利要求5所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其特征在于,所述加工台上设置有滑动座,所述滑动座上设置有滑槽;所述载具主体两端均设置有多个轴承滑轮;所述滑槽两侧内壁均设置有与所述轴承滑轮配合的凹槽;所述滑动座上设置有带动所述载料载具沿所述滑槽运动的第四驱动机构。
7.根据权利要求5所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其特征在于,所述固定夹持件和所述活动夹持件均包括与所述载具主体固定的夹持固定块、一端与夹持固定块转动连接的夹持活动块,和将所述夹持活动块与所述夹持固定块锁紧的锁紧手柄;所述夹持固定块上设置有与所述真空吸附盘配合的压持片;位于所述固定夹持件上的所述压持片端部设置有与所述通孔配合的凹形通槽;所述活动夹持件上的所述夹持固定块上设置有导柱,所述真空吸附盘上设置有与所述导柱配合的导向孔。
8.根据权利要求1所述的INLAY电子标签芯片封装实验机,其特征在于,所述加工台上还设置有便于将工件放置在所述载料载具上的显示放大机构。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810104190 | 2018-02-02 | ||
CN201810104190X | 2018-02-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108107163A CN108107163A (zh) | 2018-06-01 |
CN108107163B true CN108107163B (zh) | 2024-04-16 |
Family
ID=62205815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810167587.3A Active CN108107163B (zh) | 2018-02-02 | 2018-02-28 | Inlay电子标签芯片封装实验机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108107163B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109801869B (zh) * | 2019-01-18 | 2020-10-09 | 广州明森科技股份有限公司 | 一种高效的电子标签封装工艺及设备 |
CN111563572B (zh) * | 2020-05-15 | 2023-09-08 | 中山恒达智能科技有限公司 | 一种电子标签及其芯片封装结构 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005086145A (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-31 | Sharp Corp | 熱圧着装置および表示装置の製造方法 |
JP2005203691A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Shinkawa Ltd | ダイボンディング方法及びその装置 |
CN103592981A (zh) * | 2013-11-14 | 2014-02-19 | 华中科技大学 | 一种适于柔性电子标签封装过程的多参数协同控制方法 |
CN104681468A (zh) * | 2015-02-11 | 2015-06-03 | 上海博应信息技术有限公司 | 一种rfid电子标签倒封装热压装置 |
CN207800554U (zh) * | 2018-02-02 | 2018-08-31 | 巨心物联网实验室(深圳)有限公司 | Inlay电子标签芯片封装实验机 |
-
2018
- 2018-02-28 CN CN201810167587.3A patent/CN108107163B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005086145A (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-31 | Sharp Corp | 熱圧着装置および表示装置の製造方法 |
JP2005203691A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Shinkawa Ltd | ダイボンディング方法及びその装置 |
CN103592981A (zh) * | 2013-11-14 | 2014-02-19 | 华中科技大学 | 一种适于柔性电子标签封装过程的多参数协同控制方法 |
CN104681468A (zh) * | 2015-02-11 | 2015-06-03 | 上海博应信息技术有限公司 | 一种rfid电子标签倒封装热压装置 |
CN207800554U (zh) * | 2018-02-02 | 2018-08-31 | 巨心物联网实验室(深圳)有限公司 | Inlay电子标签芯片封装实验机 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN108107163A (zh) | 2018-06-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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