JP2000252161A - セラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層シート間に空気が入り込むことを防止し
つつ、セラミックグリーンシートを均一に積層するとと
もに、セラミックグリーンシートの破れや変形を招いた
りすることなく、セラミックグリーンシートからキャリ
アフィルムを剥離することが可能なセラミックグリーン
シートの積層方法及び積層装置を提供する。 【解決手段】 キャリアフィルム３上に保持されて搬送
されるセラミックグリーンシート１を、加熱ロール５に
よりキャリアフィルムを介して押圧、加熱することによ
り、テーブル２上の積層体（被圧着体）１０上に転写、
圧着した後、テーブル２を移動させてセラミックグリー
ンシート１が圧着された積層体１０を、圧着領域Ａに隣
接するキャリアフィルム３の剥離領域Ｂに搬送し、方向
転換用当接治具（剥離爪）６を支点として、キャリアフ
ィルム３を所定の剥離角（９０゜以上、１８０°未満）
で方向転換させることによりセラミックグリーンシート
１からキャリアフィルム３を剥離する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、積層セラミック
コンデンサのような積層セラミック電子部品の製造工程
などにおいて用いられるセラミックグリーンシートの積
層方法及びそれに用いられる積層装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサなどの積層セ
ラミック電子部品を製造する工程には、セラミックグリ
ーンシートを積層する工程が含まれている。

【０００３】ところで、従来のセラミックグリーンシー
トの積層方法には、 図７に示すように、テーブル５１上にベースフィルム
（キャリアフィルム）５２を介して支持された、セラミ
ックグリーンシートの積層体５３（電極５４が内部に配
設されている）上に、別のキャリアフィルム５２ａ上に
支持されたセラミックグリーンシート５５を、キャリア
フィルム５２ａ側から熱盤５６を押し当てて面プレスす
ることにより、積層体５３上に一層ずつ圧着する方法、 図８に示すように、テーブル５１上にキャリアフィル
ム５２を介して支持された、セラミックグリーンシート
の積層体５３（電極５４が内部に配設されている）上
に、別のキャリアフィルム５２ａ上に支持されたセラミ
ックグリーンシート５５を、キャリアフィルム５２ａ上
から熱ローラ５７を押し当てることにより、積層体５３
上に一層ずつ圧着する方法、 図９に示すように、ローラ６１，６２により搬送され
るキャリアフィルム５２に保持されたセラミックグリー
ンシート上に内部電極を印刷した印刷シート５５ａを吸
着板５８により吸着しながらキャリアフィルム５２より
剥離し、積層する面積よりわずかに大きな面積に切断し
た後、テーブル５１に吸着移載し、打ち抜きヘッド５９
により打ち抜いて、金型６０内に積層して積層体６３を
形成する方法などの種々の方法がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法
の場合、(ａ)熱盤を用いて面プレスすることによりセラ
ミックグリーンシートを積層体に圧着するようにしてい
るので、セラミックグリーンシートと積層体の間に入り
込んだ空気の逃げ場所がなく、積層シート間に残留して
デラミネーションなどの原因となる、(ｂ)プレス面内の
圧力ばらつきが大きく接着状態が不均一になる(ｃ)圧着
に必要な圧力を得るために必要な総圧が大きくなり、設
備の大型化を招く、(ｄ)キャリアフィルムの剥離は、熱
盤により面プレスを行った後、キャリアフィルムを垂直
に引き上げることにより行われるが、この方法の場合、
剥離のきっかけが不安定になるため、確実に剥離しよう
とすると大きな剥離力を与えなければならず、積層した
セラミックグリーンシートの破れや変形を生じやすいと
いうような問題点がある。

【０００５】また、上記の方法では、熱ロールが剥離
手段としても用いられており、剥離角θが小さいため、
大きな剥離力が必要となり、積層したセラミックグリー
ンシートの破れや変形を招きやすいという問題点があ
る。

【０００６】また、上記の方法では、セラミックグリ
ーンシートをキャリアフィルムから剥離し、テーブル５
１上で、打ち抜きヘッド５９により所定の形状に打ち抜
いた後、これを垂直方向に積層しているので、積層時に
積層シート間に空気が入り込みやすく、しわも生じやす
いというような問題点がある。

【０００７】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、大型設備を必要とせず、積層シート間に空気が入
り込むことを防止しつつ、キャリアフィルム上のセラミ
ックグリーンシートを均一に積層するとともに、積層さ
れたセラミックグリーンシートからキャリアフィルム
を、セラミックグリーンシートの破れや変形を招いたり
することなく確実に剥離することが可能なセラミックグ
リーンシートの積層方法及び積層装置を提供することを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）のセラミックグリーンシート
の積層方法は、キャリアフィルム上に保持されて搬送さ
れるセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロー
ルにより加熱するとともに、テーブル上のセラミックグ
リーンシート又はセラミックグリーンシートの積層体
（被圧着体）に押圧して、転写、圧着する圧着領域にお
いて、加熱ロールをセラミックグリーンシートの搬送方
向に対応する方向に、かつセラミックグリーンシートの
搬送速度と略同一の周速度で回転させるとともに、テー
ブルをセラミックグリーンシートの搬送方向と同一方向
に略同一速度で移動させることにより、キャリアフィル
ム上に保持されたセラミックグリーンシートをテーブル
上の被圧着体に転写、圧着し、テーブルをさらに同じ方
向に移動させることにより、前記セラミックグリーンシ
ートが圧着された被圧着体を、圧着領域に隣接するキャ
リアフィルムの剥離領域に搬送し、該剥離領域におい
て、さらにテーブルを同じ方向に移動させながら、剥離
手段を構成する方向転換用当接治具を支点（方向転換
点）として、キャリアフィルムを所定の角度（剥離角）
で方向転換させることにより、被圧着体に圧着されたセ
ラミックグリーンシートから剥離させることを特徴とし
ている。

【０００９】キャリアフィルム上に保持されて搬送され
るセラミックグリーンシートを、加熱ロールにより、キ
ャリアフィルムを介してテーブル上の被圧着体に押圧す
ることにより、キャリアフィルム上のセラミックグリー
ンシートを被圧着体に転写、圧着した後、テーブルを移
動させて、セラミックグリーンシートが圧着された被圧
着体を、圧着領域に隣接するキャリアフィルムの剥離領
域に搬送し、剥離手段を構成する方向転換用当接治具を
支点（方向転換点）として、キャリアフィルムを所定の
剥離角で方向転換させることにより、積層シート間に空
気が入り込むことを防止しつつ、セラミックグリーンシ
ートを均一に積層することが可能になるとともに、積層
されたシートとキャリアフィルムとを、大きな剥離力を
必要とせず、セラミックグリーンシートの破れや変形を
招いたりすることなしに確実に剥離することが可能にな
る。

【００１０】また、請求項２のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記テーブルとして、往復動可能なテ
ーブルが用いられており、圧着領域において、キャリア
フィルム上に保持されて搬送されてきたセラミックグリ
ーンシートが転写、圧着された被圧着体を、前記テーブ
ルを移動させて、圧着領域から剥離領域に搬送するとと
もに、剥離領域において、キャリアフィルムを、被圧着
体に圧着されたセラミックグリーンシートから剥離した
後、前記テーブルを移動させて、キャリアフィルムが剥
離された被圧着体を圧着領域に戻すことにより、(ａ)前
記セラミックグリーンシートの被圧着体への転写、圧
着、(ｂ)前記セラミックグリーンシートが圧着された被
圧着体の剥離領域への搬送、及び(ｃ)前記キャリアフィ
ルムの剥離の工程を繰り返して行い、複数のセラミック
グリーンシートを順次積層することを特徴としている。

【００１１】前記テーブルとして往復動可能なテーブル
を用い、圧着領域と剥離領域の間の被圧着体の搬送を、
往復動可能なテーブルによって行うことにより、設備の
構成やセラミックグリーンシートを積層する場合の諸工
程を簡略化して、効率よくセラミックグリーンシートを
積層することが可能になり、本願発明をより実効あらし
めることができる。

【００１２】また、請求項３のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記剥離角が９０゜以上、１８０°未
満の範囲にあることを特徴としている。

【００１３】キャリアフィルムを９０゜以上、１８０°
未満の角度（剥離角）で方向転換させることにより、大
きな剥離力を必要とせずに確実にキャリアフィルムを剥
離することが可能になる。

【００１４】また、請求項４のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記被圧着体に加熱・圧着されたセラ
ミックグリーンシート及びキャリアフィルムを冷却した
後、前記剥離領域でキャリアフィルムを剥離させること
を特徴としている。

【００１５】被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグ
リーンシート及びキャリアフィルムを冷却することによ
り、キャリアフィルムとセラミックグリーンシートの間
の接着力（付着力）を低下させ、かつ、セラミックグリ
ーンシートどうし及びセラミックグリーンシートと電極
との接着力を向上させることが可能になり、大きな剥離
力を必要とせずに、さらに確実にキャリアフィルムを剥
離させることが可能になる。すなわち、セラミックグリ
ーンシートどうし及びセラミックグリーンシートと電極
が接着している部分のバインダーの強度が向上して、接
着力が向上する。一方、セラミックグリーンシートとキ
ャリアフィルムは剥離しやすい状態となるため、キャリ
アフィルムをセラミックグリーンシートから剥離しやす
くなる。

【００１６】また、請求項５のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記キャリアフィルムを方向転換させ
る際にキャリアフィルムに当接する、剥離手段の方向転
換用当接治具を冷却することを特徴としている。

【００１７】キャリアフィルムに当接する、剥離手段の
方向転換用当接治具を冷却することにより、剥離部にお
けるキャリアフィルムとセラミックグリーンシートの接
着力（付着力）を低下させ、かつ、セラミックグリーン
シートどうし及びセラミックグリーンシートと電極との
接着力を向上させて、剥離を確実に生じさせることが可
能になり、より安定した剥離を行うことが可能になる。

【００１８】また、請求項６のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記剥離角が３０〜１８０°の範囲に
あることを特徴としている。

【００１９】被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグ
リーンシート及びキャリアフィルムの冷却、あるいは剥
離手段の方向転換用当接治具の冷却を行った場合、キャ
リアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離しや
すくなる。したがって、冷却を行わない場合よりも剥離
角を小さくすることが可能になり（すなわち、３０〜９
０゜の範囲でも剥離可能となり）、さらに安定した剥離
を行うことが可能になる。

【００２０】また、請求項７のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記剥離手段を構成する方向転換用当
接治具とキャリアフィルムの当接部近傍（剥離部）の静
電気を除去しながら、キャリアフィルムを剥離させるこ
とを特徴としている。

【００２１】剥離手段を構成する方向転換用当接治具と
キャリアフィルムの当接部近傍の静電気を除去すること
により、キャリアフィルムとセラミックグリーンシート
の接着力が低下するため、さらに円滑にキャリアフィル
ムをセラミックグリーンシートから剥離することが可能
になり、本願発明をより実効あらしめることができる。

【００２２】また、本願発明（請求項８）のセラミック
グリーンシートの積層装置は、表面にセラミックグリー
ンシートを保持するキャリアフィルムを連続的に一方向
に搬送する搬送手段と、セラミックグリーンシート又は
セラミックグリーンシートの積層体（被圧着体）を支持
し、キャリアフィルム上に保持されて搬送されるセラミ
ックグリーンシートが被圧着体に転写、圧着される圧着
領域と、被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシー
トからキャリアフィルムを剥離させる剥離領域を移動す
るテーブルと、セラミックグリーンシートの搬送方向に
対応する方向に、かつセラミックグリーンシートの搬送
速度と略同一の周速度で回転し、キャリアフィルム上に
保持されたセラミックグリーンシートを加熱するととも
に、キャリアフィルムを介してテーブル上の被圧着体に
押圧することにより、セラミックグリーンシートをテー
ブル上の被圧着体に転写、圧着する加熱ロールと、前記
剥離領域において、キャリアフィルムを方向転換させる
ための支点（方向変換点）となる方向転換用当接治具を
キャリアフィルムに当接させ、キャリアフィルムを所定
の角度（剥離角）で方向転換させることにより、前記被
圧着体に圧着されたセラミックグリーンシートからキャ
リアフィルムを剥離させる剥離手段とを具備することを
特徴としている。

【００２３】前記テーブルと、搬送手段と、加熱ロール
と、剥離手段とを備えた構成とすることにより、本願請
求項１のセラミックグリーンシートの積層方法を確実に
実施して、セラミックグリーンシートを効率よく積層す
ることが可能になる。なお、剥離手段を構成する方向転
換用当接治具としては、爪状の部材（剥離爪）やロール
状の部材（剥離ロール）など種々の形態のものを用いる
ことが可能である。

【００２４】また、請求項９のセラミックグリーンシー
トの積層装置は、前記剥離角が９０゜以上、１８０°未
満の範囲にあることを特徴としている。

【００２５】剥離角を９０゜以上、１８０°未満とする
ことにより、大きな剥離力を必要とせず、セラミックグ
リーンシートの破れや変形を招くことなしに、確実にキ
ャリアフィルムを剥離することが可能になる。

【００２６】また、請求項１０のセラミックグリーンシ
ートの積層装置は、キャリアフィルムを剥離させる前
に、前記被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグリー
ンシートとキャリアフィルムを冷却する冷却手段を備え
ていることを特徴としている。

【００２７】被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグ
リーンシート及びキャリアフィルムを冷却する冷却手段
を備えた構成とすることにより、請求項４の積層セラミ
ック電子部品の製造方法を確実に実施して、キャリアフ
ィルムを確実にセラミックグリーンシートから剥離する
ことが可能になり、セラミックグリーンシートを効率よ
く積層することが可能になる。

【００２８】また、請求項１１のセラミックグリーンシ
ートの積層装置は、前記剥離手段の、前記キャリアフィ
ルムを方向転換させる際にキャリアフィルムに当接する
方向転換用当接治具を冷却する冷却手段を備えているこ
とを特徴としている。

【００２９】剥離手段の、キャリアフィルムを方向転換
させる際にキャリアフィルムに当接する方向転換用当接
治具を冷却する冷却手段を備えた構成とすることによ
り、剥離部におけるキャリアフィルムとセラミックグリ
ーンシートの接着力（付着力）を低下させ、かつ、セラ
ミックグリーンシートどうし及びセラミックグリーンシ
ートと電極との接着力を向上させて、剥離を確実に生じ
させることが可能になり、より安定した剥離を行うこと
が可能になる。

【００３０】また、請求項１２のセラミックグリーンシ
ートの積層装置は、前記剥離角が３０〜１８０°の範囲
にあることを特徴としている。

【００３１】被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグ
リーンシート及びキャリアフィルムの冷却、剥離手段の
方向転換用当接治具の冷却を行うようにした場合、キャ
リアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離しや
すくなる。したがって、冷却を行わない場合よりも剥離
角を小さくすることが可能になり（すなわち、３０〜９
０゜の範囲でも剥離可能となり）、さらに安定した剥離
を行うことが可能になる。

【００３２】また、請求項１３のセラミックグリーンシ
ートの積層装置は、前記剥離手段を構成する方向転換用
当接治具とキャリアフィルムの当接部近傍（剥離部）の
静電気を除去する静電気除去手段を備えていることを特
徴としている。

【００３３】剥離手段を構成する方向転換用当接治具と
キャリアフィルムの当接部近傍の静電気を除去する静電
気除去手段を備えた構成とすることにより、さらに円滑
にキャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥
離することが可能になり、本願発明をより実効あらしめ
ることができる。

【００３４】なお、静電気除去手段としては、例えば、
イオンブロアー、軟Ｘ線などを用いることが可能であ
る。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。

【００３６】［実施形態１］図１は本願発明の一実施形
態にかかるセラミックグリーンシートの積層装置の要部
構成を示す図である。このセラミックグリーンシートの
積層装置は、図１に示すように、セラミックグリーンシ
ート１の積層体（被圧着体）１０を支持し、圧着領域Ａ
と剥離領域Ｂを往復動するように構成されたテーブル２
と、表面に電極９が印刷されたセラミックグリーンシー
ト１を保持するキャリアフィルム３を連続的に搬送する
搬送手段４と、キャリアフィルム３上のセラミックグリ
ーンシート１の位置を検知するためのイメージセンサ１
５と、キャリアフィルム３上に保持されて搬送されるセ
ラミックグリーンシート１を、回転しながらキャリアフ
ィルム３を介して加熱するとともに、テーブル２上のセ
ラミックグリーンシート１の積層体１０に押圧して圧着
する加熱ロール５と、セラミックグリーンシート１を積
層体１０に圧着する圧着領域Ａに隣接するキャリアフィ
ルム３の剥離領域Ｂにおいて、キャリアフィルム３を方
向転換させるための支点となる方向転換用当接治具（剥
離爪）６をキャリアフィルム３に当接させ、キャリアフ
ィルム３を剥離角θ（図２(ｃ)）以上の角度で方向転換
させることにより、積層体１０に圧着したセラミックグ
リーンシート１から剥離させるように構成された剥離手
段７と備えている。なお、キャリアフィルム３は、剥離
爪６により積層体１０の最上層のセラミックグリーンシ
ート１から剥離された後、搬送用のローラ８を経て、搬
送手段４により巻き上げられるように構成されている。

【００３７】次に、上記のように構成されたセラミック
グリーンシートの積層装置の動作を、図２を参照しつつ
説明する。 まず、テーブルに、電極の形成されていないセラミッ
クグリーンシート、すなわち、最外層用のセラミックグ
リーンシートを載せる。 次に、図２(ａ)に示すように、加熱ロール５により、
キャリアフィルム３を介して、キャリアフィルム３に保
持された電極付のセラミックグリーンシート１を押圧
し、テーブル２上の最外層用のセラミックグリーンシー
ト（被圧着体）１ａ上に転写、圧着する。なお、このと
き、加熱ロール５を電極付のセラミックグリーンシート
１の搬送方向（矢印Ｙの方向）に対応する方向に、電極
付のセラミックグリーンシート１の搬送速度と略同一の
周速度で回転させるとともに、テーブル２を電極付のセ
ラミックグリーンシート１の搬送方向（Ｙ方向）と同一
方向に略同一速度で移動させることにより、キャリアフ
ィルム３上に保持された電極付のセラミックグリーンシ
ート１をテーブル２上の最外層用のセラミックグリーン
シート（被圧着体）１ａに転写、圧着する。 その後、図２(ｂ)，(ｃ)に示すように、テーブル２を
さらに矢印Ｙの方向に移動させるとともに、方向転換用
当接治具（剥離爪）６及びローラ８により、キャリアフ
ィルム３を所定の剥離角θ（図２(ｃ)）となるように方
向転換させながら搬送することにより、最外層用のセラ
ミックグリーンシート１ａに圧着された電極付のセラミ
ックグリーンシート１からキャリアフィルム３を剥離さ
せる。 それから、テーブル２を圧着領域Ａ（図１）に戻し
て、上記及びを繰り返し、さらに最外層用のセラミ
ックグリーンシートを積層することにより、セラミック
グリーンシートの積層体が完成する。

【００３８】なお、この実施形態における各種の条件は
以下の通りとした。 (ａ)キャリアフィルム サイズ：幅１２０mm×厚み０．０５mm 材質 ：ＰＥＴ製フィルム (ｂ)積層に供したカット済みの電極付のセラミックグリ
ーンシート サイズ：１００mm×１００mm×０．０１mm（厚み） 電極 ：印刷済み (ｃ)加熱ロール ・直径 ：１５０mm ・加熱方式 ：ヒータ加熱 ・加熱温度範囲：８０〜１８０℃の範囲で可変。セラミ
ックグリーンシートのバインダーの含有率や種類などに
より調整する（すなわち、バインダーのガラス転移点
（Ｔｇ）〜（Ｔｇ＋１００℃）の範囲とする）。 ・荷重 ：５０〜１０００Ｎ／cmの範囲で可変。
シリンダの圧力で調整。バインダーの含有率や種類など
により調整する。 ・材質 ：ステンレス ・加熱ロールの周速度：１０mm／s（ただし、下記のテ
ーブルの移動速度及びキャリアフィルム（セラミックグ
リーンシート）の搬送速度に同調させる。 (ｄ)テーブルの移動速度 １０mm／s (ｅ)キャリアフィルム（セラミックグリーンシート）の
搬送速度 １０mm／ｓ (ｆ)剥離手段 ・剥離角 ：１３５゜ただし、９０゜以上、１８０
°未満の範囲で可変 ・剥離爪の材質：ステンレス

【００３９】上記実施形態のセラミックグリーンシート
の積層方法（積層装置）においては、加熱ロールを用い
てセラミックグリーンシートを圧着するようにしている
ので、圧着時に、キャリアフィルムに保持されたセラミ
ックグリーンシートと、テーブル上のセラミックグリー
ンシートどうしが線接触となり、前述の従来の面プレス
（面接触）の場合のように、圧着状態が不均一になるこ
とを防止することが可能になる。

【００４０】また、セラミックグリーンシートを加熱ロ
ールに沿わせて圧着することにより、しわなどの発生を
防止して、セラミックグリーンシート間に空気がかみこ
まれることを抑制することができる。

【００４１】また、セラミックグリーンシートを加熱ロ
ールで加熱しながら圧着するようにしているので、セラ
ミックグリーンシートどうし及びセラミックグリーンシ
ートと電極とを確実に接着させることができるようにな
る。

【００４２】さらに、鋭角の剥離爪を用い、剥離角を９
０゜以上、１８０°未満とすることにより、小さな剥離
力でセラミックグリーンシートが破れたり変形したりす
ることを抑制しながらキャリアフィルムを確実に剥離す
ることができる。また、剥離力が小さくて済むことか
ら、セラミックグリーンシートどうしがキャリアフィル
ムの剥離時に剥がれないようにするために大きな力で圧
着するということが不要になり、圧着条件を緩和できる
ため、大きな力で圧着した場合に生じるようなセラミッ
クグリーンシートの変形を防止することが可能になる。
逐次プレスを行う場合、プレス回数が多くなるほど、積
層体下層の変形が大きくなるが、本願発明によれば、変
形を小さくすることが可能になる。

【００４３】また、圧着と剥離という手段を明確に分離
したことにより、圧着と剥離を確実に行うことが可能に
なる。一方、圧着領域と剥離領域を近接した位置に配設
しており、テーブルを一つの方向に移動させるだけで、
圧着と剥離を一連の動作で行うことが可能になり、生産
性を低下させることがない。

【００４４】また、圧着と剥離を別の装置で行うように
した場合、圧着後に時間が経過すると接着力が変動して
しまうという問題点があるが、上記実施形態の積層装置
では、一定時間経過後に（すなわち、テーブルが所定距
離移動した時点で）必ずキャリアフィルムが剥離される
ことになるため、一定の剥離力で安定した剥離を行うこ
とが可能になる。

【００４５】［実施形態２］この実施形態のセラミック
グリーンシートの積層装置は、図３(ａ)に示すように、
積層体（被圧着体）１０に加熱・圧着された後の電極付
セラミックグリーンシート１及びキャリアフィルム３
を、約５〜２０℃に冷却するための冷却手段（冷却ロー
ル）１１を備えている。

【００４６】冷却ロール１１は、水冷方式で、直径が５
０mmのものが４個用いられている。また、各冷却ロール
１１は、５０Ｎ／cmの荷重を加えることができるように
構成されている。

【００４７】また、この実施形態では、剥離手段７の方
向転換用当接治具として、剥離板６ａが用いられてお
り、剥離角θは約３０゜に設定されている。

【００４８】すなわち、この実施形態のセラミックグリ
ーンシートの積層装置においては、上述のように、加熱
・圧着された後の電極付セラミックグリーンシート１及
びキャリアフィルム３を冷却する冷却手段１１を備えて
おり、キャリアフィルム３が剥離しやすくなることか
ら、前記実施形態においては、剥離爪６を用いて剥離角
を１３５゜としたのに対して、方向転換用当接治具とし
て、剥離板６ａを用い、剥離角を３０゜としたものであ
る。

【００４９】なお、この実施形態では、ロール状の冷却
手段１１を用いているが、図４に示すように、直方体形
状の冷却手段（冷却ブロック）１１ａを用いることも可
能である。

【００５０】上述のように、加熱・圧着された後の電極
付セラミックグリーンシート１及びキャリアフィルム３
を冷却する冷却手段１１を備えた構成とすることによ
り、剥離板６ａを用いることが可能になるとともに、剥
離角θを３０゜とした場合にも、キャリアフィルムを確
実に剥離させることが可能になり、剥離工程でのセラミ
ックグリーンシートの破れや変形などをより確実に抑制
防止して、さらに効率よく積層体（積層ブロック）を形
成することが可能になる。なお、剥離板の代わりに、剥
離ロールを用いることも可能であり、また、剥離角を９
０゜以上、１８０°未満の範囲で任意に選択することが
可能である。図３(ｂ)は、図３(ａ)の剥離板６ａの代わ
りに剥離ロール６ｂを用いて剥離角を約３０゜とした例
を示しており、図３(ｃ)は、剥離ロール６ｂを用いて剥
離角を約１８０゜とした例を示している。

【００５１】［実施形態３］この実施形態のセラミック
グリーンシートの積層装置は、図５に示すように、、剥
離爪６を５〜２０℃に冷却するための剥離爪冷却手段１
２を備えている。なお、この実施形態のセラミックグリ
ーンシートの積層装置は、全体の構成が実施形態１及び
２のセラミックグリーンシートの積層装置と同じである
ことから、重複を避けるため、その説明を省略する。

【００５２】この実施形態のセラミックグリーンシート
の積層装置では、剥離爪冷却手段１２により剥離爪６を
冷却するようにしているので、キャリアフィルム３を剥
離させるその箇所におけるキャリアフィルム３とセラミ
ックグリーンシート１の接着力（付着力）を低下させ、
かつ、セラミックグリーンシートどうし及びセラミック
グリーンシートと電極との接着力を向上させて、剥離を
確実に生じさせることが可能になり、より安定した剥離
を行うことができる。

【００５３】［実施形態４］この実施形態のセラミック
グリーンシートの積層装置は、図６に示すように、剥離
手段７を構成する剥離爪６とキャリアフィルム３の当接
部近傍の静電気を除去する静電気除去手段１３を備えて
いる。なお、ここでは、静電気除去手段として、例え
ば、イオンブロアー、軟Ｘ線などを用いることが可能で
ある。なお、全体の構成は、上記実施形態１のセラミッ
クグリーンシートの積層装置（図１）と同じであること
から、重複を避けるため、説明を省略する。

【００５４】この実施形態のセラミックグリーンシート
の積層装置においては、キャリアフィルム３の剥離を行
う剥離部の静電気を除去するための静電気除去手段１３
を備えているので、静電気の影響を受けることなく、さ
らに効率よくキャリアフィルムを剥離することが可能に
なる。

【００５５】本願発明は、上記実施形態に限定されるも
のではなく、キャリアフィルムとともにセラミックグリ
ーンシートを搬送する搬送手段の構成、テーブルの動作
態様、加熱ロールの加熱条件や押圧条件、方向転換用当
接治具の具体的な形状などをはじめとする剥離手段の構
成、セラミックグリーンシート及びキャリアフィルムを
冷却する冷却手段や方向転換用当接治具を冷却する冷却
手段の構成、剥離部の静電気を除去する静電気除去手段
の構成などに関し、発明の要旨の範囲内において種々の
応用、変形を加えることが可能である。

【００５６】

【発明の効果】上述のように、本願（請求項１）のセラ
ミックグリーンシートの積層方法は、キャリアフィルム
上に保持されて搬送されるセラミックグリーンシート
を、加熱ロールにより、キャリアフィルムを介してテー
ブル上のセラミックグリーンシート又はセラミックグリ
ーンシートの積層体（被圧着体）に押圧することによ
り、キャリアフィルム上のセラミックグリーンシートを
被圧着体に転写、圧着した後、テーブルを移動させて、
セラミックグリーンシートが圧着された被圧着体を、圧
着領域に隣接するキャリアフィルムの剥離領域に搬送
し、剥離手段を構成する方向転換用当接治具を支点（方
向転換点）として、キャリアフィルムを所定の剥離角で
方向転換させるようにしているので、積層シート間に空
気が入り込むことを防止しつつ、セラミックグリーンシ
ートを均一に積層することが可能になるとともに、積層
されたシートとキャリアフィルムとを、大きな剥離力を
必要とせず、セラミックグリーンシートの破れや変形を
招いたりすることなしに確実に剥離することが可能にな
る。

【００５７】また、請求項２のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、テーブルとして往復動可能なテ
ーブルを用い、圧着領域と剥離領域の間の被圧着体の搬
送を、往復動可能なテーブルによって行うことにより、
設備の構成やセラミックグリーンシートを積層する場合
の諸工程を簡略化して、効率よくセラミックグリーンシ
ートを積層することが可能になり、本願発明をより実効
あらしめることができる。

【００５８】また、請求項３のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、キャリアフィルムを９０゜以
上、１８０°未満の角度で方向転換させる、すなわち、
剥離角を９０゜以上、１８０°未満とした場合、大きな
剥離力を必要とせずに確実にキャリアフィルムを剥離す
ることが可能になり、本願発明をより実効あらしめるこ
とができる。

【００５９】また、請求項４のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、被圧着体に加熱・圧着されたセ
ラミックグリーンシート及びキャリアフィルムを冷却す
るようにした場合、キャリアフィルムとセラミックグリ
ーンシートの間の接着力（付着力）を低下させ、かつ、
セラミックグリーンシートどうし及びセラミックグリー
ンシートと電極との接着力を向上させることが可能にな
るため、大きな剥離力を必要とせずに、さらに確実にキ
ャリアフィルムを剥離させることが可能になる。

【００６０】また、請求項５のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、キャリアフィルムに当接する、
剥離手段の方向転換用当接治具を冷却するようにした場
合、剥離部におけるキャリアフィルムとセラミックグリ
ーンシートの接着力（付着力）を低下させ、かつ、セラ
ミックグリーンシートどうし及びセラミックグリーンシ
ートと電極との接着力を向上させて、剥離を確実に生じ
させることが可能になり、より安定した剥離を行うこと
が可能になる。

【００６１】また、被圧着体に加熱・圧着されたセラミ
ックグリーンシート及びキャリアフィルムの冷却、ある
いは剥離手段の方向転換用当接治具の冷却を行った場
合、キャリアフィルムをセラミックグリーンシートから
剥離しやすくなるので、請求項６のセラミックグリーン
シートの積層方法のように、冷却を行わない場合よりも
剥離角を小さくすることが可能になり（すなわち、３０
〜９０゜でも剥離することが可能になり）、さらに安定
した剥離を行うことが可能になる。

【００６２】また、請求項７のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、剥離手段を構成する方向転換用
当接治具とキャリアフィルムの当接部近傍の静電気を除
去するようにした場合、キャリアフィルムとセラミック
グリーンシートの接着力が低下するため、さらに円滑に
キャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離
することが可能になり、本願発明をより実効あらしめる
ことができる。

【００６３】また、本願発明（請求項８）のセラミック
グリーンシートの積層装置は、テーブルと、搬送手段
と、加熱ロールと、剥離手段とを備えており、本願請求
項１のセラミックグリーンシートの積層方法を確実に実
施して、セラミックグリーンシートを効率よく積層する
ことが可能になる。

【００６４】また、請求項９のセラミックグリーンシー
トの積層装置のように、剥離角を９０゜以上、１８０°
未満とした場合、大きな剥離力を必要とせず、セラミッ
クグリーンシートの破れや変形を招くことなしに、確実
にキャリアフィルムを剥離することが可能になる。

【００６５】また、請求項１０のセラミックグリーンシ
ートの積層装置のように、被圧着体に加熱・圧着された
セラミックグリーンシート及びキャリアフィルムを冷却
する冷却手段を備えた構成とすることにより、請求項４
の積層セラミック電子部品の製造方法を確実に実施し
て、キャリアフィルムを確実にセラミックグリーンシー
トから剥離することが可能になり、セラミックグリーン
シートを効率よく積層することが可能になる。

【００６６】また、請求項１１のセラミックグリーンシ
ートの積層装置のように、剥離手段の、キャリアフィル
ムを方向転換させる際にキャリアフィルムに当接する方
向転換用当接治具を冷却する冷却手段を備えた構成とし
た場合、剥離部におけるキャリアフィルムとセラミック
グリーンシートの接着力（付着力）を低下させ、かつ、
セラミックグリーンシートどうし及びセラミックグリー
ンシートと電極との接着力を向上させて、剥離を確実に
生じさせることが可能になり、より安定した剥離を行う
ことが可能になる。

【００６７】被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグ
リーンシート及びキャリアフィルムの冷却、剥離手段の
方向転換用当接治具の冷却を行うようにした場合、キャ
リアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離しや
すくなるため、請求項１２のセラミックグリーンシート
の積層装置のように、冷却を行わない場合よりも剥離角
を小さくすることが可能になり（すなわち、３０〜９０
゜でも剥離が可能となり）、さらに安定した剥離を行う
ことが可能になる。

【００６８】また、請求項１３のセラミックグリーンシ
ートの積層装置のように、剥離手段を構成する方向転換
用当接治具とキャリアフィルムの当接部近傍（剥離部）
の静電気を除去する静電気除去手段を備えた構成とした
場合、さらに円滑にキャリアフィルムをセラミックグリ
ーンシートから剥離することが可能になり、本願発明を
より実効あらしめることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの積層装置の要部構成を示す
図である。

【図２】(ａ)，(ｂ)，(ｃ)は本願発明の一実施形態（実
施形態１）にかかるセラミックグリーンシートの積層装
置の動作を説明する図である。

【図３】(ａ)，(ｂ)，(ｃ)はいずれも、本願発明の他の
実施形態（実施形態２）にかかるセラミックグリーンシ
ートの積層装置の要部構成を模式的に示す図である。

【図４】本願発明の他の実施形態（実施形態２）にかか
るセラミックグリーンシートの積層装置の変形例を示す
図である。

【図５】本願発明のさらに他の実施形態（実施形態３）
にかかるセラミックグリーンシートの積層装置の要部構
成を示す図である。

【図６】本願発明のさらに他の実施形態（実施形態４）
にかかるセラミックグリーンシートの積層装置の要部構
成を示す図である。

【図７】従来のセラミックグリーンシートの積層装置を
示す図である。

【図８】従来の他のセラミックグリーンシートの積層装
置を示す図である。

【図９】従来のさらに他のセラミックグリーンシートの
積層装置を示す図である。

【符号の説明】

１ セラミックグリーンシート １ａ 最外層用のセラミックグリーンシート ２ テーブル ３ キャリアフィルム ４ 搬送手段 ５ 加熱ロール ６ 方向転換用当接治具（剥離爪） ６ａ 剥離板 ６ｂ 剥離ロール ７ 剥離手段 ８ ローラ ９ 電極 １０ 積層体（積層ブロック） １１ 冷却手段（冷却ロール） １１ａ 冷却手段（冷却ブロック） １２ 剥離爪冷却手段 １３ 静電気除去手段 １５ イメージセンサ Ａ 圧着領域 Ｂ 剥離領域 θ 剥離角

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5E001 AB03 AH00 AH05 AJ02 5E082 AB03 BC38 FG06 FG26 LL02 MM11 MM12 MM13 MM17 MM22 MM24 PP10

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアフィルム上に保持されて搬送され
   るセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロール
   により加熱するとともに、テーブル上のセラミックグリ
   ーンシート又はセラミックグリーンシートの積層体（以
   下、「被圧着体」という）に押圧して、転写、圧着する
   圧着領域において、加熱ロールをセラミックグリーンシ
   ートの搬送方向に対応する方向に、かつセラミックグリ
   ーンシートの搬送速度と略同一の周速度で回転させると
   ともに、テーブルをセラミックグリーンシートの搬送方
   向と同一方向に略同一速度で移動させることにより、キ
   ャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシー
   トをテーブル上の被圧着体に転写、圧着し、 テーブルをさらに同じ方向に移動させることにより、前
   記セラミックグリーンシートが圧着された被圧着体を、
   圧着領域に隣接するキャリアフィルムの剥離領域に搬送
   し、 該剥離領域において、さらにテーブルを同じ方向に移動
   させながら、剥離手段を構成する方向転換用当接治具を
   支点（方向転換点）として、キャリアフィルムを所定の
   角度（剥離角）で方向転換させることにより、被圧着体
   に圧着されたセラミックグリーンシートから剥離させる
   ことを特徴とするセラミックグリーンシートの積層方
   法。
2. 【請求項２】前記テーブルとして、往復動可能なテーブ
   ルが用いられており、 圧着領域において、キャリアフィルム上に保持されて搬
   送されてきたセラミックグリーンシートが転写、圧着さ
   れた被圧着体を、前記テーブルを移動させて、圧着領域
   から剥離領域に搬送するとともに、 剥離領域において、キャリアフィルムを、被圧着体に圧
   着されたセラミックグリーンシートから剥離した後、 前記テーブルを移動させて、キャリアフィルムが剥離さ
   れた被圧着体を圧着領域に戻すことにより、 (ａ)前記セラミックグリーンシートの被圧着体への転
   写、圧着、 (ｂ)前記セラミックグリーンシートが圧着された被圧着
   体の剥離領域への搬送、及び (ｃ)前記キャリアフィルムの剥離の工程を繰り返して行
   い、複数のセラミックグリーンシートを順次積層するこ
   とを特徴とする請求項１記載のセラミックグリーンシー
   トの積層方法。
3. 【請求項３】前記剥離角が９０゜以上、１８０°未満の
   範囲にあることを特徴とする請求項１又は２記載のセラ
   ミックグリーンシートの積層方法。
4. 【請求項４】前記被圧着体に加熱・圧着されたセラミッ
   クグリーンシートとキャリアフィルムを冷却した後、前
   記剥離領域でキャリアフィルムを剥離させることを特徴
   とする請求項１又は２記載のセラミックグリーンシート
   の積層方法。
5. 【請求項５】前記キャリアフィルムを方向転換させる際
   にキャリアフィルムに当接する、剥離手段の方向転換用
   当接治具を冷却することを特徴とする請求項１，２又は
   ４記載のセラミックグリーンシートの積層方法。
6. 【請求項６】前記剥離角が３０〜１８０°の範囲にある
   ことを特徴とする請求項４又は５記載のセラミックグリ
   ーンシートの積層方法。
7. 【請求項７】前記剥離手段を構成する方向転換用当接治
   具とキャリアフィルムの当接部近傍（剥離部）の静電気
   を除去しながら、キャリアフィルムを剥離させることを
   特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のセラミック
   グリーンシートの積層方法。
8. 【請求項８】表面にセラミックグリーンシートを保持す
   るキャリアフィルムを連続的に一方向に搬送する搬送手
   段と、 セラミックグリーンシート又はセラミックグリーンシー
   トの積層体（被圧着体）を支持し、キャリアフィルム上
   に保持されて搬送されるセラミックグリーンシートが被
   圧着体に転写、圧着される圧着領域と、被圧着体に圧着
   されたセラミックグリーンシートからキャリアフィルム
   を剥離させる剥離領域を移動するテーブルと、 セラミックグリーンシートの搬送方向に対応する方向
   に、かつセラミックグリーンシートの搬送速度と略同一
   の周速度で回転し、キャリアフィルム上に保持されたセ
   ラミックグリーンシートを加熱するとともに、キャリア
   フィルムを介してテーブル上の被圧着体に押圧すること
   により、セラミックグリーンシートをテーブル上の被圧
   着体に転写、圧着する加熱ロールと、 前記剥離領域において、キャリアフィルムを方向転換さ
   せるための支点（方向変換点）となる方向転換用当接治
   具をキャリアフィルムに当接させ、キャリアフィルムを
   所定の角度（剥離角）で方向転換させることにより、前
   記被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシートから
   キャリアフィルムを剥離させる剥離手段とを具備するこ
   とを特徴とするセラミックグリーンシートの積層装置。
9. 【請求項９】前記剥離角が９０゜以上、１８０°未満の
   範囲にあることを特徴とする請求項８記載のセラミック
   グリーンシートの積層装置。
10. 【請求項１０】キャリアフィルムを剥離させる前に、前
    記被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグリーンシー
    トとキャリアフィルムを冷却する冷却手段を備えている
    ことを特徴とする請求項８記載のセラミックグリーンシ
    ートの積層装置。
11. 【請求項１１】前記剥離手段の、前記キャリアフィルム
    を方向転換させる際にキャリアフィルムに当接する方向
    転換用当接治具を冷却する冷却手段を備えていることを
    特徴とする請求項８又は１０記載のセラミックグリーン
    シートの積層装置。
12. 【請求項１２】前記剥離角が３０〜１８０°の範囲にあ
    ることを特徴とする請求項１０又は１１記載のセラミッ
    クグリーンシートの積層装置。
13. 【請求項１３】前記剥離手段を構成する方向転換用当接
    治具とキャリアフィルムの当接部近傍（剥離部）の静電
    気を除去する静電気除去手段を備えていることを特徴と
    する請求項８〜１２のいずれかに記載のセラミックグリ
    ーンシートの積層装置。