KR20180004657A - 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 - Google Patents

시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 Download PDF

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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

[과제] 시트 박리 방법에 있어서 불량 영역이 되는 영역을 되도록 적게 한다.
[해결 수단] 시트 박리 방법은 장척 형상이며 또한 시트 형상의 기재(1)의 표면에 장척 형상의 제 1 시트가 부착되어 있는 것을 제 1 방향(81)으로 제 1 속도 이상의 속도로 반송하면서 제 1 시트(2)와 기재(1)가 다른 방향으로 갈라져서 진행하는 분기점(P2)에 있어서 제 1 시트(2)가 기재(1)로부터 계속해서 박리되는 제 1 공정과, 상기 제 1 공정이 행해지는 상태에서 기재(1)의 반송 속도가 상기 제 1 속도 미만이 되도록 감속 또는 정지하는 제 2 공정과, 기재(1)를 제 2 방향(82)으로 반송함으로써 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 1 방향(81)으로 변위시키는 제 3 공정과, 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 2 방향(82)으로 변위시키면서 분기점(P2)으로부터 본 상대적인 기재(1)의 반송 속도를 상기 제 1 속도 이상까지 올림으로써 상기 제 1 공정을 재개하는 제 4 공정을 포함한다.

Description

시트 박리 방법 및 시트 박리 장치{METHOD FOR PEELING SHEET AND APPARATUS FOR PEELING SHEET}
본 발명은 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치에 관한 것이다.
캐리어 필름을 세라믹 그린시트로부터 박리시키는 방법 및 장치가 일본 특허공개 2000-252161호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다. 특허문헌 1에서는 캐리어 필름상에 유지되어서 반송되는 세라믹 그린시트를 회전 가능한 가열 롤에 의해 가열함과 아울러 테이블상의 적층체에 압박하여 압착시키고 있다. 이렇게 하여 세라믹 그린시트가 압착한 적층체를 박리 영역으로 반송하는 한편, 방향 전환용 접촉 지그를 지점으로 하여 캐리어 필름을 소정의 각도로 방향 전환시킴으로써 캐리어 필름을 세라믹 그린시트로부터 박리시키고 있다.
일본 특허공개 2000-252161호 공보
특허문헌 1에서는 반송 방향으로 이동시킨 테이블을 원래 위치로 리턴시키는 등의 동작이 필요하며, 그 동작을 할 때에는 그 때까지 연속적으로 행해 온 적층 처리 등이 행해지지 않는다. 따라서, 반송 등의 동작이 간헐적이 될 수밖에 없다. 이렇게 간헐적으로 행해지는 동작을 이하 「간헐 동작」이라고 한다. 간헐 동작을 행할 경우, 박리 기구를 정지하거나 반송 속도를 떨어뜨리거나 할 필요가 있다. 반송 동작을 정지하거나 감속하거나 했을 경우, 통상 속도로 되돌리기 위해서 일정 시간을 요한다. 통상 속도로 되돌리기까지의 사이에 행해지는 박리에는 문제를 발생할 우려가 있다. 바꿔 말하면, 본래 예정되어 있는 반송 속도보다 낮은 속도로 박리가 행해짐으로써 박리의 상태가 본래 예정되어 있는 것과 달라져 문제가 발생할 수 있다.
특허문헌 1에서는 상술한 바와 같이 박리 공정 후에 테이블을 리턴시키는 공정이 있음으로써 박리 공정이 간헐 동작이 되는 예가 나타내어져 있다. 이러한 이유에 한하지 않고, 예를 들면 장척 형상의 캐리어 필름이 부착된 시트를 반송할 때에 박리 공정 전에 인쇄 공정(인쇄에 요하는 시간은 반송이 정지한다)이 존재할 경우 등과 같이 간헐 동작으로 행해질 수밖에 없는 종류의 공정을 행함으로써 박리 공정을 위한 반송의 진행이 간헐 동작이 되어 버리는 경우도 있을 수 있다.
특허문헌 1에는 캐리어 필름을 세라믹 그린시트로부터 박리하는 것에 대하여 기재되어 있지만 박리해서 얻고 싶은 것이 세라믹 그린시트인 경우에 한하지 않고 다른 종류의 시트인 경우도 포함하여 일반적으로 마찬가지의 문제는 문제가 될 수 있다.
장척 형상의 캐리어 필름이 부착된 시트를 반송하면서 박리를 행하고, 또한 반송이 간헐 동작이 될 경우 캐리어 필름이 부착된 시트에는 본래 예정되어 있는 반송 속도보다 낮은 속도로 캐리어 필름의 박리가 진행되는 영역이 발생한다. 이러한 영역에서는 문제가 발생해 있을 가능성이 있기 때문에 이들의 영역은 불량 영역인 것으로서 취급된다. 이들 불량 영역으로부터 박리되어서 얻어진 것은 제품으로서는 채용할 수 없다. 불량 영역의 증가는 제품 수율의 악화나 생산 비용의 증가를 초래한다.
그래서 본 발명은 불량 영역이 되는 영역을 되도록 적게 할 수 있는 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의거하는 시트 박리 방법은, 장척 형상 또는 시트 형상의 기재의 표면에 장척 형상의 제 1 시트가 부착되어 있는 것을 제 1 방향으로 제 1 속도 이상의 속도로 반송하면서 상기 제 1 시트와 상기 기재가 다른 방향으로 갈라져서 진행하는 분기점에 있어서 상기 제 1 시트가 상기 기재로부터 계속해서 박리되는 제 1 공정과, 상기 제 1 공정이 행해지는 상태로부터 상기 기재의 반송 속도가 상기 제 1 속도 미만이 되도록 감속 또는 정지하는 제 2 공정과, 상기 기재를 상기 제 1 방향과는 반대 방향인 제 2 방향으로 반송함으로써 상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 1 방향으로 변위시키는 제 3 공정과, 상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 1 방향과는 반대인 제 2 방향으로 변위시키면서 상기 분기점으로부터 본 상대적인 상기 기재의 반송 속도를 상기 제 1 속도 이상까지 올림으로써 상기 제 1 공정을 재개하는 제 4 공정을 포함한다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면 역반송에 의해 리턴된 부분을 입구 구간으로서 이용해서 반송 속도를 높여 박리를 재개하게 되므로 불량 영역의 비율을 작게 할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의거하는 실시형태 1에 있어서의 시트 박리 방법의 플로우 차트이다.
도 2는 본 발명에 의거하는 실시형태 1에 있어서의 시트 박리 방법에 의해 분기점에 있어서 제 1 시트가 기재로부터 박리되는 모양의 설명도이다.
도 3은 비교예에 있어서의 반송 거리와 반송 속도의 관계를 나타내는 모식적인 그래프이다.
도 4는 본 발명에 의거하는 실시형태 1에 있어서의 시트 박리 방법에 있어서의 반송 거리와 반송 송도의 관계를 나타내는 모식적인 그래프이다.
도 5는 본 발명에 의거하는 실시형태 1에 있어서의 시트 박리 방법의 제 2 공정을 종료한 상태의 설명도이다.
도 6은 본 발명에 의거하는 실시형태 1에 있어서의 시트 박리 방법의 제 3 공정을 종료한 상태의 설명도이다.
도 7은 본 발명에 의거하는 실시형태 2에 있어서의 시트 박리 장치의 개념도이다.
도 8은 본 발명에 의거하는 실시형태 2에 있어서의 시트 박리 장치로 반송을 위해 채용 가능한 기구의 제 1 예의 설명도이다.
도 9는 본 발명에 의거하는 실시형태 2에 있어서의 시트 박리 장치로 반송을 위해 채용 가능한 기구의 제 2 예의 설명도이다.
도 10은 본 발명에 의거하는 실시형태 2에 있어서의 시트 박리 장치로 반송을 위해 채용 가능한 기구의 제 3 예의 설명도이다.
도 11은 본 발명에 의거하는 실시형태 2에 있어서의 시트 박리 장치로 반송을 위해 채용 가능한 기구의 제 4 예의 설명도이다.
도 12는 본 발명에 의거하는 실시형태 3에 있어서의 시트 박리 방법의 제 1의 상태의 설명도이다.
도 13은 본 발명에 의거하는 실시형태 3에 있어서의 시트 박리 방법의 제 2 상태의 설명도이다.
도 14는 본 발명에 의거하는 실시형태 3에 있어서의 시트 박리 방법의 제 3 상태의 설명도이다.
도 15는 본 발명에 의거하는 실시형태 3에 있어서의 시트 박리 방법에 있어서의 시간과 속도의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 16은 본 발명에 의거하는 실시형태 3에 있어서의 시트 박리 방법의 제 4 상태의 설명도이다.
도 17은 본 발명에 의거하는 실시형태 4에 있어서의 시트 박리 장치의 개념도이다.
도면에 있어서 나타내는 치수비는 반드시 충실하게 현실 그대로를 나타내고 있다고는 할 수 없고, 설명의 편의를 위해 치수비를 과장해서 나타내고 있는 경우가 있다. 이하의 설명에 있어서 위 또는 아래의 개념으로 언급할 때에는 절대적인 위 또는 아래를 의미한다고는 할 수 없고, 도시된 자세 중에서의 상대적인 위 또는 아래를 의미하는 경우가 있다.
본래 예정되어 있는 반송 속도보다 낮은 속도로 박리가 행해짐으로써 박리의 상태가 본래 예정되어 있는 것과 다른 결과로서 발생해 버리는 문제의 일례로서는, 예를 들면 이하와 같은 것을 들 수 있다. 예를 들면, 세라믹 그린시트를 관통하도록 도체 비아를 형성하기 위해서 기재로서의 캐리어 필름이 세라믹 그린시트를 지지하고 있는 상태에서 기재 및 세라믹 그린시트를 일괄해서 관통하도록 형성된 관통 구멍에 도체 페이스트를 충전한 후, 기재를 세라믹 그린시트로부터 박리하는 경우를 상정한다. 어느 정도 이상의 속도로 캐리어 필름의 박리가 행해졌을 경우에는 박리 후에도 세라믹 그린시트의 관통 구멍의 내부에 도체 페이스트가 올바르게 남는다. 그러나 지나치게 낮은 속도로 캐리어 필름의 박리가 행해졌을 경우에는 캐리어 필름의 관통 구멍의 내부에 있는 도체 페이스트에 끌려서 세라믹 그린시트의 관통 구멍으로부터 필요 이상으로 도체 페이스트가 탈락해 버린다는 사태가 일어날 수 있다. 따라서, 적용 가능한 박리 속도에 하한이 존재한다. 이것은 어디까지나 문제의 일례이며, 박리 속도가 일정 이상이 아니면 문제가 발생하는 사례는 이 밖에도 여러 가지로 존재한다.
이하에서는 정상적으로 박리가 행해지기 위해 필요한 최저한의 속도를 「제 1 속도」로 하여 취급하고 있다.
(실시형태 1)
(시트 박리 방법)
도 1을 참조하여 본 발명에 의거하는 실시형태 1에 있어서의 시트 박리 방법에 대하여 설명한다. 본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법의 플로우 차트를 도 1에 나타낸다.
본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법은 장척 형상 또는 시트 형상의 기재의 표면에 장척 형상의 제 1 시트가 부착되어 있는 것을 제 1 방향으로 제 1 속도 이상으로 반송하면서 상기 제 1 시트와 상기 기재가 다른 방향으로 갈라져서 진행하는 분기점에 있어서 상기 제 1 시트가 상기 기재로부터 계속해서 박리되는 제 1 공정(S1)과, 상기 제 1 공정이 행해지는 상태로부터 상기 기재의 반송 속도가 상기 제 1 속도 미만이 되도록 감속 또는 정지하는 제 2 공정(S2)과, 상기 기재를 상기 제 1 방향과는 반대 방향인 제 2 방향으로 반송함으로써 상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 제 1 방향으로 변위시키는 제 3 공정(S3)과, 상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 제 1 방향과는 반대인 제 2 방향으로 변위시키면서 상기 분기점으로부터 본 상대적인 상기 기재의 반송 속도를 상기 제 1 속도 이상까지 올림으로써 제 1 공정(S1)을 재개하는 제 4 공정(S4)을 포함한다.
제 1 공정(S1)에서는 도 2에 나타내는 바와 같이 장척 형상 또한 시트 형상의 기재(1)의 표면에 장척 형상의 제 1 시트(2)가 부착되어 있는 것(이하 「기재가 부착된 제 1 시트」라고 한다)이 제 1 방향(81)으로 반송되어 있고, 분기점(P2)에 있어서 제 1 시트(2)가 기재(1)로부터 계속해서 박리된다. 도 2에 나타낸 예에서는 박리 롤(21, 22)에 의해 제 1 시트(2)와 기재(1)가 다른 방향으로 갈라져서 진행하고 있다. 본 실시형태에서는 기재가 부착된 제 1 시트를 보다 상류에서 행해지는 전 공정(예를 들면 도체 페이스트의 인쇄 공정)으로부터 계속해서 반송하고 있고, 이전 공정에서 간헐 동작(예를 들면 인쇄 동작)을 행하고 있는 것을 상정하고 있다. 전 공정에서 간헐 동작을 행하고 있음으로써 후에 계속되는 이 박리 공정에 있어서도 간헐 동작이 발생하고 있다. 또한, 본 발명은 상술한 바와 같은 상황의 것에 한하지 않고, 박리 공정의 후의 공정이 간헐 동작이 됨으로써 박리 공정에 간헐 동작이 발생하는 것이어도 좋다. 또한, 박리 공정 그 자체가 어떠한 이유로 간헐 동작을 행해야만 하는 경우이어도 좋다.
기재(1)의 반송 거리와 반송 속도의 관계를 모식적인 그래프로 하여 설명한다.
비교를 위해 본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법과는 달리, 제 3 공정(S3)을 행하지 않는 경우를 도 3에 나타낸다. 도 3에 나타낸 것은 어디까지나 비교예이다. 이 비교예에서는 제 1 공정(S1) 및 제 2 공정(S2)을 행하지만 제 3 공정(S3) 및 제 4 공정(S4)을 행하지 않는다. 구간(301)에서는 기재(1)가 가속하고 있다. 구간(302)에서는 기재(1)는 제 1 속도 이상의 속도로 반송되어 있다. 이 상태에서는 분기점(P2)에 있어서 박리가 계속되고 있다. 이 공정은 제 1 공정(S1)에 상당한다. 구간(303)에서는 기재(1)가 감속하고 있다. 이 공정은 제 2 공정(S2)에 상당한다. 그 후, 속도 0이 되어 있는 점이 있지만 이 시점에서 기재(1)는 완전히 정지되어 있다. 구간(306)에서는 기재(1)는 다시 가속하여 제 1 속도를 초과하고, 구간(307)에서는 다시 기재(1)는 제 1 속도를 초과하는 일정 속도로 반송되어 분기점(P2)에 있어서 박리가 계속되는 상태가 된다. 이 경우, 도 3에 있어서의 영역(A)은 제 1 속도를 초과하는 일정 속도로 반송되면서 박리가 행해지고 있으므로 박리하여 얻어진 제 1 시트(2)는 제품으로서 채용할 수 있지만, 영역(B)은 제 1 속도를 밑도는 속도로 박리가 행해지고 있으므로 불량 영역이 된다. 이렇게 간헐 동작을 반복하면 영역(A)과 영역(B)이 교차로 반복됨으로써 박리해서 얻어지는 제 1 시트(2) 상에는 불량 영역이 일정의 비율로 발생해 버린다.
이에 대하여 본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법으로는 도 4에 나타내는 바와 같다. 구간(301)에서는 기재(1)가 가속하고 있다. 구간(302)에서는 제 1 공정(S1)으로서 기재(1)는 제 1 방향(81)으로 제 1 속도 이상의 속도로 반송되고, 분기점(P2)에 있어서 박리가 계속되고 있다. 구간(303)에서는 공정(S2)으로서 기재(1)의 반송 속도가 제 1 속도 미만이 되도록 감속하고 있다. 그리고 최종적으로는 속도 0이 되어 있다. 그 후, 구간(304, 305)에 있는 바와 같이 기재(1)는 제 2 방향(82)으로 반송된다. 이것이 제 3 공정(S3)에 상당한다. 도 4에 나타내는 P는 가공 피치를 나타낸다. 여기에 나타내는 바와 같이 제 3 공정(S3)은 기재(1)를 제 2 방향(82)으로 반송함으로써 행해진다. 이렇게 행해지는 제 3 공정(S3)에 대하여 이하에 상세하게 설명한다.
예를 들면, 구간(303)과 구간(304)의 경계의 시점에서 도 5에 나타내는 상태에 있는 것으로 한다. 이것은 제 2 공정(S2)을 종료한 상태이다. 이 상태에 이르기까지는 기재(1)는 제 1 방향(81)으로 반송되어 있었지만 이 시점에서는 정지해 있어 기재(1)의 반송 속도는 0이다. 도 5에는 기준점(P0), 박리점(P1), 분기점(P2)이 나타내어져 있다. 기준점(P0)은 설명의 편의를 위해 기재(1) 위의 특정 위치에 정해진 표지로서의 점이며, 기재(1)가 이동하면 기준점(P0)도 이동한다. 박리점(P1)이란 기재(1)와 제 1 시트(2) 사이의 박리가 이미 이루어진 구간과 아직 박리되지 않은 구간의 경계가 되는 점을 의미한다. 이 시점까지는 박리 롤(21, 22)에 의해 규정되는 분기점(P2)에 있어서 박리가 계속되고 있었으므로 박리점(P1)과 분기점(P2)은 일치되어 있다. 이 상태로부터 도 6에 나타내는 바와 같이 기재(1)를 제 2 방향(82)로 반송한다. 이렇게 함으로써 기준점(P0)과 박리점(P1) 사이의 거리는 일정하게 유지된 채 기준점(P0) 및 박리점(P1)은 제 2 방향(82)으로 이동한다. 분기점(P2)은 기재(1)의 움직임에 관계없이 박리 롤(21, 22)의 위치에 의해 정해지는 것이므로 분기점(P2)의 위치는 바뀌지 않고, 결과적으로 도 6에 나타내는 바와 같이 분기점(P2)은 박리점(P1)으로부터 멀어져 간다. 기재(1) 자체는 제 2 방향(82)으로 이동하지만 기재(1)로부터 보면 분기점(P2)이 제 1 방향(81)으로 변위한다. 도 4에 나타내는 구간(304, 305)에 있어서는 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 1 방향(81)으로 변위시키고 있다고 할 수 있고, 이것은 제 3 공정(S3)에 상당한다. 이렇게 해서 구간(305)을 종료한 시점에서는 도 6에 나타내는 바와 같이 된다. 이 시점에서 박리점(P1)과 분기점(P2) 사이의 거리는 최대로 되어 있다.
이어서, 제 4 공정(S4)으로서 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 2 방향(82)으로 변위시키면서 기재(1)의 반송 속도를 제 1 속도 이상까지 올림으로써 제 1 공정(S1)을 재개한다. 이것은 도 4에 있어서의 구간(306)에 상당한다. 제 4 공정(S4)에서는 기재(1)는 제 1 방향(81)로 반송되면서 가속한다. 이에 의해 기준점(P0)과 박리점(P1) 사이의 거리는 일정하게 유지된 채 기준점(P0) 및 박리점(P1)은 제 1 방향(81)으로 이동한다. 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 2 방향(82)으로 변위한다. 분기점(P2)은 박리점(P1)에 접근하고, 최종적으로는 분기점(P2)은 다시 박리점(P1)과 일치하게 된다. 여기까지의 사이에 반송 속도는 제 1 속도 이상이 된다. 도 4에 있어서의 구간(307)에서는 다시 제 1 공정(S1)이 행해진다. 구간(307)의 시작에 달하는 곳까지가 제 4 공정(S4)이다.
(작용·효과)
본 실시형태에서는 제 3 공정(S3)에 있어서 구간(304, 305)(도 4 참조)에 나타내어지는 바와 같이 기재(1)를 역반송하고 있고, 제 4 공정(S4)에 있어서 구간(306)에 나타내어지는 바와 같이 기재(1)를 재가속할 때에는 이미 박리해서 역반송에 의해 리턴된 부분을 가속 구간으로서 이용해서 반송 속도를 올리고 있다. 이렇게 반송 속도를 올려서 박리가 재개된다. 따라서, 도 4에서는 도 3에 비교해서 영역(B)이 작아져 있다. 바꿔 말하면 불량 영역의 비율이 작아져 있다.
본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법에 의하면 이렇게 하여 불량 영역이 되는 영역을 적게 할 수 있다.
실시형태 1에서 설명한 시트 박리 방법은, 예를 들면 이하에 설명하는 시트 박리 장치에 의해 실시할 수 있다.
(실시형태 2)
(시트 박리 장치)
도 7을 참조하여 본 발명에 의거하는 실시형태 2에 있어서의 시트 박리 장치에 대하여 설명한다
본 실시형태에 있어서의 시트 박리 장치(101)는 도 7에 나타내는 바와 같이 장척 형상 또는 시트 형상의 기재(1)의 표면에 장척 형상의 제 1 시트(2)가 부착되어 있는 것을 반송하는 반송 장치(40)와, 제 1 시트(2)와 기재(1)를 다른 방향으로 갈라서 진행시킴으로써 분기점(P2)에 있어서 제 1 시트(2)를 기재(1)로부터 박리시키는 분기 진행 장치(13)를 구비한다. 반송 장치(40)는 기재(1)를 제 1 방향(81)으로 제 1 속도 이상의 속도로 반송하는 정상 반송 제어부(41)와, 기재(1)의 반송 속도가 상기 제 1 속도 미만이 되도록 감속 또는 정지하도록 반송 상황을 제어하는 간헐 동작 제어부(43)와, 기재(1)를 제 1 방향(81)과는 반대 방향인 제 2 방향(82)으로 반송함으로써 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 1 방향(81)으로 변위시키도록 반송 상황을 제어하는 역반송 제어부(42)와, 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 1 방향(81)과는 반대 방향인 제 2 방향(82)으로 변위시키면서 분기점(P2)으로부터 본 상대적인 기재(1)의 반송 속도를 상기 제 1 속도 이상까지 올림으로써 정상 반송 제어부(41)에 의한 반송을 기초로 제 1 시트(2)를 기재(1)로부터 박리시키는 상태를 재개하는 재개 제어부(44)를 구비한다. 여기에서는 몇 개의 종류의 제어부에 대하여 언급했지만 이들 제어부는 각각 물리적인 별체라고는 할 수 없다. 예를 들면, 하나의 장치가 복수의 종류의 제어부의 역할을 겸하고 있을 수도 있다.
반송 장치(40)는 권출 롤(11)을 구비한다. 권출 롤(11)이 화살표(92) 방향으로 회전함으로써 기재(1)와 제 1 시트(2)가 겹쳐져 일체가 된 것, 즉, 기재에 부착된 제 1 시트가 분기 진행 장치(13)를 향해서 공급된다. 분기 진행 장치(13)는 박리 롤(21, 22)과 권취 롤(23)을 구비한다. 권취 롤(23)은 박리한 기재(1)를 회수하기 위한 것이다. 권취 롤(23)이 화살표(91a) 방향으로 회전함으로써 기재(1)는 제 1 방향(81)으로 반송된다. 이 때, 권취 롤(12)이 화살표(91b) 방향으로 회전함으로써 분기점(P2)에서 박리된 제 1 시트(2)는 계속해서 반송되고, 권취 롤(12)에 의해 회수된다.
권출 롤(11)은, 예를 들면 역반송 제어부(42)의 제어에 의해 화살표(93) 방향으로 회전하는 것도 가능하다. 권출 롤(11)이 이렇게 회전함으로써 기재에 부착된 제 1 시트는 제 2 방향(82)으로 반송된다. 이렇게 함으로써 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 1 방향(81)으로 변위시킬 수 있다.
시트 박리 장치(101)는 분기 진행 장치(13)를 사이에 두도록 배치된 박리 전 가공기(51) 및 박리 후 가공기(52)를 구비한다. 박리 전 가공기(51) 및 박리 후 가공기(52) 중 적어도 한쪽이 간헐 동작을 행한다. 시트 박리 장치(101)는 박리 전 가공기(51) 및 박리 후 가공기(52)의 양쪽을 구비하고 있다고는 할 수 없고, 이들 중 어느 한쪽만을 구비하고 있어도 좋다. 시트 박리 장치(101)는 간헐 동작을 행하는 박리 전 가공기(51)를 구비하고 있어도 좋다. 시트 박리 장치(101)는 간헐 동작을 행하는 박리 후 가공기(52)를 구비하고 있어도 좋다.
본 실시형태에서는 기재(1), 제 1 시트(2) 또는 기재가 부착된 제 1 시트의 반송은 롤의 회전에 의해 행해지고 있었다. 그 외에, 반송을 위한 기구로서는 도 8에 나타내는 바와 같은 기구도 채용 가능하다. 도 8에 나타낸 예에서는 클립(31)에 의해 대상물을 반송하고 있다. 이러한 반송을 위한 기구는 롤과 병용해서 부가적으로 사용되어도 좋고, 일부의 롤을 바꿔 놓도록 사용되어도 좋다. 이하, 도 9~도 11에 나타내는 기구에 대해서도 마찬가지이다.
반송을 위한 기구는 도 9에 나타내는 바와 같이 2개의 롤(24, 25)을 사용한 기구이어도 좋다. 도 9에서는 롤(24, 25)에 의해 대상물을 끼워 넣은 상태에서 롤(24, 25)을 회전시킴으로써 대상물을 반송하고 있다.
반송을 위한 기구는 도 10에 나타내는 바와 같이 석션 롤(26)에 의한 기구이어도 좋다. 도 10에 나타낸 예에서는 석션 롤(26)에 의해 대상물을 흡인한 상태에서 석션 롤(26)을 회전시킴으로써 대상물을 반송하고 있다. 석션 롤(26)의 외주면에는 대상물을 흡인할 수 있는 기구가 설치되어 있다.
반송을 위한 기구는 도 11에 나타내는 바와 같이 흡착 스테이지(32)에 의한 기구이어도 좋다. 도 11에 나타낸 예에서는 흡착 스테이지(32)에 의해 대상물을 흡인한 상태에서 흡착 스테이지(32)를 평행 이동함으로써 대상물을 반송하고 있다.
(작용·효과)
본 실시효과에 있어서의 시트 박리 장치에 의하면 실시형태 1에서 설명한 시트 박리 방법을 용이하게 행할 수 있다. 따라서, 불량 영역이 되는 영역을 되도록 적게 할 수 있다.
(실시형태 3)
(시트 박리 방법)
도 12~도 16을 참조하여 본 발명에 의거하는 실시형태 3에 있어서의 시트 박리 방법에 대하여 설명한다.
본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법은 장척 형상 또는 시트 형상의 기재의 표면에 장척 형상의 제 1 시트가 부착되어 있는 기재가 부착된 제 1 시트를 제 1 방향이 하류가 되는 방향으로 배치한 상태에서 상기 제 1 시트 및 상기 기재 중 한쪽에 지그를 접촉시켜 상기 한쪽이 상기 지그를 따라 절곡된 상태에서 상기 지그가 상기 기재로부터 보아 상대적으로 상기 제 1 방향과는 반대 방향인 제 2 방향으로 제 1 속도 이상으로 이동함으로써 상기 제 1 시트와 상기 기재가 다른 방향으로 갈라져서 진행하는 분기점에 있어서 상기 제 1 시트가 상기 기재로부터 계속해서 박리되는 제 A1 공정과, 상기 제 A1 공정이 행해지는 상태로부터 상기 기재로부터 본 상기 지그가 상대적인 이동 속도가 상기 제 1 속도 미만이 되도록 감속 또는 정지하는 제 A2 공정과, 상기 지그를 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 1 방향으로 변위시킴으로써 상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 1 방향으로 변위시키는 제 A3 공정과, 상기 기재가 부착된 제 1 시트를 상기 제 1 방향으로 반송하는 제 A4 공정과, 상기 지그가 상기 기재로부터 보아 상대적으로 상기 제 2 방향으로 이동을 개시하여 상대적으로 상기 제 2 방향으로 제 1 속도 이상이 되도록 가속함으로써 상기 제 A1 공정을 재개하는 제 A5 공정을 포함한다.
본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법에서는 도 12에 나타내는 바와 같이 기재(1)에 지그(16)를 접촉시켜서 기재(1)를 절곡한 상태를 준비한다. 이 상태에서 기재(1)는 스테이지(15)에 대해서 상대적으로 정지하고 있다. 실제로 이 시점에서는 기재(1)는 반송되는 일 없이 정지하고 있어도 좋다. 이에 의해 기재(1)의 반송은 간헐 동작이 되어 있다. 이렇게 정지한 상태에서는, 예를 들면 스테이지(15)의 상면에 어떠한 흡착 기능을 형성해 두어서 스테이지(15)가 기재(1)를 고정하는 것으로 해도 좋다. 도 12에서는 설명의 편의를 위해 기준점(P0)이 나타내어져 있다. 도 12에서는 박리가 시작되기 직전의 상태를 나타내고 있고, 박리점(P1)과 분기점(P2)은 각각의 위치에 있다. 이렇게 각각의 위치에 있는 이유는 후술하는 설명에 의해 명백해진다. 분기점(P2)은 스테이지(15)의 도면 중 우측단 부근에 위치하고 있다. 이어서, 지그(16)를 제 2 방향(82)으로 이동시킨다. 분기점(P2)을 경계로 기재(1)와 제 1 시트(2)로 다른 방향으로 장력이 가해지고 있고, 지그(16)가 이동함으로써 박리가 진행되고, 박리가 완료된 기재(1)는 도면 중 좌측 위를 향해 진행한다. 지그(16)는, 예를 들면 지면 안측 바로 앞 방향으로 연장되는 삼각 기둥이어도 좋다. 지그(16)는 가속되어 기재(1)로부터 보았을 때의 지그(16)의 제 2 방향(82)을 향하는 속도는 도중에 제 1 속도 이상이 된다. 지그(16)가 제 2 방향(82)으로 이동함으로써 분기점(P2)은 제 2 방향(82)으로 변위하고, 어느 하나의 박리점(P1)에 도달한다. 이렇게 해서 도 13에 나타내는 상태에 이른다. 도 13에서는 박리점(P1)과 분기점(P2)은 일치하고 있다.
도 13의 상태로부터 지그(16)가 제 1 속도 이상의 속도로 제 2 방향(82)으로 더 이동함으로써 박리점(P1) 및 분기점(P2)은 서로 일치한 상태 그대로 제 2 방향(82)으로 변위한다. 이 때 제 1 시트(2)로부터의 기재(1)의 박리가 진행된다. 이렇게 해서 제 1 속도 이상으로 박리가 진행되는 공정이 제 A1 공정에 상당한다. 그 후, 지그(16)는 속도를 떨어뜨려 스테이지(15)의 도면 중 좌측단 부근에서 정지한다. 이렇게 감속하여 정지하는 과정이 제 A2 공정에 상당한다. 이렇게 해서 도 14에 나타내는 상태가 된다.
도 13~도 14에 나타내는 상태에서는 박리점(P1)은 분기점(P2)과 일치하고 있다. 제 1 시트(2)는 스테이지(15)의 상면에 접촉하고 있다. 기재(1) 및 제 1 시트(2)에는 각각 화살표로 나타내는 방향으로 장력이 가해져 있다. 도 14에서는 1회분의 박리가 이미 종료된 시점의 상태를 나타내고 있다.
도 15의 그래프에 있어서는 기재(1)의 반송의 모양을 파선으로 나타내고, 지그(16)의 이동의 모양을 실선으로 나타내고 있다. 도 12~도 14에 있어서의 지그(16)의 움직임은 도 15에 있어서의 꺾인 선(503)에 상당한다. 도 15에 나타낸 예에서는 꺾인 선(503)이 끝나고 나서 꺾인 선(502)이 시작될 때까지 잠시 틈이 비어 있지만 여기는 사이를 벌리지 않고 연속해서 동작시켜도 좋다.
도 15에 있어서 꺾인 선(501)에 나타내는 바와 같이 기재(1)는 정지되어 있는 상태로부터 가속해서 일정 속도에 이르고, 그대로 일정 시간만큼 전진하고, 그 후 감속하여 정지한다. 이 때, 꺾인 선(502)에 나타내는 바와 같이 지그(16)는 기재(1)를 항상 웃도는 속도가 되도록 가속하여 기재(1)의 속도보다 빠른 속도로 일정 시간만큼 전진한다. 따라서, 기재(1)의 진행을 앞지르는 상태로 제 1 방향(81)으로 이동한다. 이 모양을 도 16에 나타낸다. 기재(1)는 제 1 방향(81)으로 반송되지만 지그(16)는 이것을 앞지르는 속도로 화살표(96)에 나타내는 바와 같이 제 1 방향(81)으로 진행한다. 이에 의해 분기점(P2)은 박리점(P1)으로부터 멀어진다. 여기에서, 기재(1)가 제 1 방향(81)으로 반송되는 것은 제 A4 공정에 상당한다. 도 14로부터 도 16으로 이행할 때에 기재(1)는 제 1 방향(81)으로 반송되므로 기준점(P0)과 박리점(P1)의 거리가 일정하게 유지된 채 기준점(P0) 및 박리점(P1)은 스테이지(15)의 상면을 따라 제 1 방향(81)으로 이동하고 있다. 거의 동시에 지그(16)가 보다 빠른 속도로 진행함으로써 기재(1)로부터 보아 상대적으로 분기점(P2)은 박리점(P1)보다 제 1 방향(81)으로 이동하고 있다. 이렇게 분기점(P2)을 박리점(P1)보다 제 1 방향(81)으로 이동시키는 것은 제 A3 공정에 상당한다. 제 A3 공정이 행해지는 시기와 제 A4 공정이 행해지는 시기는 일부 또는 전부가 겹쳐져 있어도 좋다.
여기에서는 지그(16)가 기재(1)를 앞지르기 때문에 지그(16)의 속도가 기재(1)의 반송 속도보다 빠른 것으로서 설명했지만 지그(16)가 기재(1)의 반송 속도보다 빠른 속도로 진행하는 것은 필수는 아니다. 지그(16)의 진행 속도가 기재(1)의 반송 속도보다 빠르지 않아도, 예를 들면 지그(16)가 기재(1)보다 빠른 시기로부터 진행을 개시하는 것 또는, 예를 들면 지그(16)가 기재(1)보다 느린 시기까지 진행을 계속하는 것, 또는 이들의 양쪽에 의해서도 분기점(P2)을 박리점(P1)보다 제 1 방향(81)으로 이동시킬 수 있다.
이렇게 해서 도 12에 나타낸 상태로 되돌아온다. 다만, 도 12에 비교하여 박리점(P1) 및 분기점(P2)은 스테이지(15)로부터 보아 상대적으로 원래 위치로 되돌아오고 있지만 기준점(P0)은 스테이지(15)로부터 보아 상대적으로 제 1 방향(81)으로 이미 일정 거리만큼 변위된 위치에 있어 기준점(P0)은 당초의 위치로는 되돌아오지 않는다. 기준점(P0)의 위치가 다른 점을 제외하면 도 12에 나타내어진 바와 같은 상태로 되돌아온다. 원래 도 12에 있어서 박리점(P1)과 분기점(P2)이 따로 따로인 위치에 있었던 것은 도 12보다 이전에 제 A3 공정이 행해진 결과이다. 도 12에 나타내는 상태에서 지그(16)가 기재(1)로부터 보아 상대적으로 제 2 방향(82)으로 이동을 개시하여 상대적으로 제 2 방향(82)으로 제 1 속도 이상이 되도록 가속함으로써 제 A1 공정이 재개된다. 이렇게 제 A1 공정의 재개에 이르게 하는 공정이 제 A5 공정에 상당한다. 이렇게 사이클을 반복함으로써 기재(1)는 일정한 길이씩 제 1 방향(81)으로 보내져 지그(16)가 제 2 방향(81)으로 이동할 때마다 박리는 일정 길이씩 진행된다.
(작용·효과)
본 실시형태에서는 기재(1) 자체를 역방향으로 반송시키지 않아도 지그(16)의 이동에 의해 분기점(P2)으로부터 본 상대적인 기재(1)의 반송 속도를 제 1 속도 이상까지 올릴 수 있고, 제 1 속도 이상에서의 박리를 행할 수 있다. 박리의 속도가 감속하고 있었던 구간에 대해서는 제 1 속도 미만에서의 박리가 행해진 것이 되지만 스테이지(15)를 따른 지그(16)의 왕복 이동에 의해 다음 회의 가속 시의 가속 구간으로서 이용되므로 불량 영역을 적게 할 수 있다.
(실시형태 4)
(시트 박리 장치)
도 17을 참조하여 본 발명에 의거하는 실시형태 4에 있어서의 시트 박리 장치에 대하여 설명한다.
본 실시형태에 있어서의 시트 박리 장치(102)는 도 17에 나타내는 바와 같이 지그 제어 장치(20)와 반송 장치(40)를 구비한다. 지그 제어 장치(20)는 장척 형상 또는 시트 형상의 기재(1)의 표면에 장척 형상의 제 1 시트(2)가 부착되어 있는 기재가 부착된 제 1 시트를 제 1 방향이 하류가 되는 방향으로 배치한 상태로 유지하고, 제 1 시트(2) 및 기재(1) 중 한쪽에 지그(16)를 접촉시켜서 상기 한쪽이 지그(16)를 따라 절곡된 상태에서 지그(16)가 기재(1)로부터 보아 상대적으로 제 1 방향(81)과는 반대 방향인 제 2 방향(82)으로 이동함으로써 제 1 시트(2)와 기재(1)가 다른 방향으로 갈라져서 진행하는 분기점(P2)에 있어서 제 1 시트(2)가 기재(1)로부터 박리된다. 반송 장치(40)는 상기 기재가 부착된 제 1 시트를 제 1 방향(81)으로 반송한다. 지그 제어 장치(20)는 분기점(P2)을 결정하는 지그(16)와 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 1 방향(81)으로 변위시키도록 지그(16)를 변위시키는 지그 전진 제어부(45)와, 분기점(P2)을 기재(1)에 있어서 상대적으로 제 2 방향(82)으로 제 1 속도 이상으로 변위시킬 수 있는 지그 후퇴 제어부(46)를 구비한다.
권출 롤(11)은 화살표(92) 방향으로 회전함으로써 기재가 부착된 제 1 시트를 공급한다. 반송 장치(40)는 기재(1)를 제 1 방향(81)으로 반송하는 반송 제어부(41a)와 기재(1)의 반송을 정지시키는 정지 제어부(43a)를 구비한다. 지그(16)는 화살표(95)를 따라 왕복 이동할 수 있다. 권취 롤(14)은 화살표(94) 방향으로 회전함으로써 기재(1)를 회수한다.
제 1 시트(2)는 롤(24, 25)에 의해 제 1 방향(81)으로 반송되어 절단날(17)에 의해 소망의 길이씩 절단된다. 개별 사이즈로 절단된 후의 제 1 시트(2r)는 흡착 장치(18)에 의해 흡착 유지되어 트레이(19) 내로 이송된다. 트레이(19) 내에는 제 1 시트(2r)가 겹쳐 쌓여있다.
(작용·효과)
본 실시형태에 있어서의 시트 박리 장치에 의하면, 실시형태 3에서 설명한 시트 박리 방법을 용이하게 행할 수 있다. 따라서 불량 영역이 되는 영역을 되도록이면 적게 할 수 있다.
(실시형태 5)
(시트 박리 방법)
본 발명에 의거하는 실시형태 5에 있어서의 시트 박리 방법에 대하여 설명한다. 본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법은 실시형태 1 등에서 설명한 시트 박리 방법과 마찬가지의 공정을 포함하지만 이하의 점에서 다르다. 본 발명에 의거하는 실시형태 5에 있어서의 시트 박리 방법에서는 제 1 공정(S1)을 행하는 장소보다 상류측 및 하류측 중 적어도 한쪽에 기재(1) 및 제 1 시트(2) 중 적어도 한쪽에 대하여 간헐 동작으로 처리해야 할 제 5 공정을 행하는 제 1 설비가 존재하고, 제 2 공정(S2)을 행하는 타이밍에 있어서는 상기 제 1 설비에 있어서 상기 제 5 공정을 병행해 행한다. 도 7 및 도 17에 나타낸 각 예에서는 제 1 공정(S1)을 행하는 장소보다 상류측에 박리 전 가공기(51)가 배치되고, 하류측에 박리 후 가공기(52)가 배치되어 있었지만 박리 전 가공기(51) 및 박리 후 가공기(52) 중 적어도 한쪽이 제 1 설비에 해당해도 좋다.
(작용·효과)
본 실시형태에서는 제 1 설비에 있어서 간헐 동작으로 처리해야 할 제 5 공정을 행하면서 그 간헐 동작에 동기하도록 제 2 공정(S2)을 행하게 된다. 제 5 공정과 동기하도록 제 2 공정(S2)을 행한 후에는 제 3 공정(S3), 제 4 공정(S4)이 행해지므로 실시형태 1에서 설명한 바와 같이 이미 박리되어 역반송에 의해 리턴된 부분을 사용하여 반송 속도를 올릴 수 있다. 그 결과, 불량 영역이 되는 영역을 되도록 적게 할 수 있다.
실시형태 3 등에서 설명한 시트 박리 방법에 대해서도 마찬가지의 것을 말할 수 있다. 즉, 상기 제 A1 공정을 행하는 장소보다 상류측 및 하류측 중 적어도 한쪽에 상기 기재 및 상기 제 1 시트 중 적어도 한쪽에 대하여 간헐 동작으로 처리해야 할 제 A6 공정을 행하는 제 1 설비가 존재하고, 상기 제 A2 공정을 행하는 타이밍에 있어서는 상기 제 1 설비에 있어서 상기 제 A6 공정을 병행해 행하는 것으로 해도 좋다.
(실시형태 6)
(시트 박리 방법)
본 발명에 의거하는 실시형태 6에 있어서의 시트 박리 방법에 대하여 설명한다. 본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법은 실시형태 1 등에서 설명한 시트 박리 방법과 마찬가지의 공정을 포함하지만 이하의 점에서 다르다. 본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법에서는 제 1 공정(S1)을 행하는 장소보다 상류측 및 하류측 중 적어도 한쪽에 기재(1) 및 제 1 시트(2) 중 적어도 한쪽에 대하여 제 1 공정(S1)으로부터 제 4 공정(S4)과는 다른 타이밍의 간헐 동작 또는 연속 동작으로 처리되는 제 6 공정(S6)을 행하는 제 2 설비가 존재한다. 상기 제 2 설비가 소재하는 장소와 제 1 공정(S1), 제 2 공정(S2), 제 3 공정(S3) 및 제 4 공정(S4)이 행해지는 장소 사이에는 상기 기재의 흐름을 일시적으로 동작을 멈출 수 있는 버퍼 기구가 배치되어 있다. 상기 버퍼 기구를 통해서 기재(1) 및 제 1 시트(2) 중 적어도 한쪽의 운반이 행해진다. 버퍼 기구는, 예를 들면 컴펜세이터 롤, 댄서 롤 등 중 어느 하나를 포함하는 기구이어도 좋다. 버퍼 기구는, 예를 들면 기재(1) 중 제 2 설비에 의한 제 6 공정(S6)을 종료한 영역을 일시적으로 축적하고, 그 후 제 1 공정(S1)을 행하는 장소를 향해서 공급하는 기구이어도 좋다.
(작용·효과)
본 실시형태에서는 다른 타이밍의 간헐 동작 또는 연속 동작으로 처리해야 할 제 6 공정(S6)을 행하는 제 2 설비가 존재하지만 버퍼 기구가 배치되어 있으므로 제 1 공정(S1), 제 2 공정(S2), 제 3 공정(S3) 및 제 4 공정(S4)은 제 2 설비에 있어서의 제 6 공정(S6)의 동작의 타이밍으로부터 독립적으로 소망의 타이밍의 간헐 동작으로 행할 수 있다. 그 결과, 불량 영역이 되는 영역을 되도록 적게 할 수 있다.
또한, 상기 실시형태 중 복수를 적당하게 조합하여 채용해도 좋다.
또한, 이번에 개시한 상기 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 나타내어지고, 특허 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경을 포함하는 것이다.
1:기재 2:제 1 시트
2r:(개별 사이즈로 절단한 후의)대상물 11:권출 롤
12:권취 롤 13:분기 진행 장치
14:(박리한 기재를 위한)권취 롤 15:스테이지
16:지그 17:절단날
18:흡착 장치 19:트레이
20:지그 제어 장치 21, 22:박리 롤
23:(박리한 기재를 위한)권취 롤 24, 25:롤
26:석션 롤 31:클립
32:흡착 스테이지 41:정상 반송 제어부
41a:반송 제어부 42:역송 제어부
43:간헐 동작 제어부 43a:정지 제어부
44:재개 제어부 45:지그 전진 제어부
46:지그 후퇴 제어부 51:박리 전 가공기
52:박리 후 가공기 81:제 1 방향
82:제 2 방향
91a, 91b, 92, 93, 94, 95, 96, 97:화살표
101, 102:시트 박리 장치
301, 302, 303, 304, 305, 306, 307, 308:구간
501, 502, 503:꺾인 선 P0:기준점
P1:박리점 P2:분기점

Claims (7)

  1. 장척 형상이며 또는 시트 형상의 기재의 표면에 장척 형상의 제 1 시트가 부착되어 있는 것을 제 1 방향으로 제 1 속도 이상의 속도로 반송하면서 상기 제 1 시트와 상기 기재가 다른 방향으로 갈라져서 진행하는 분기점에 있어서 상기 제 1 시트가 상기 기재로부터 계속해서 박리되는 제 1 공정과,
    상기 제 1 공정이 행해지는 상태로부터 상기 기재의 반송 속도가 상기 제 1 속도 미만이 되도록 감속 또는 정지하는 제 2 공정과,
    상기 기재를 상기 제 1 방향과는 반대 방향인 제 2 방향으로 반송함으로써 상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 1 방향으로 변위시키는 제 3 공정과,
    상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 2 방향으로 변위시키면서 상기 분기점으로부터 본 상대적인 상기 기재의 반송 속도를 상기 제 1 속도 이상까지 올림으로써 상기 제 1 공정을 재개하는 제 4 공정을 포함하는 시트 박리 방법.
  2. 장척 형상이며 또한 시트 형상의 기재의 표면에 장척 형상의 제 1 시트가 부착되어 있는 기재가 부착된 제 1 시트를 제 1 방향이 하류가 되는 방향으로 배치한 상태에서 상기 제 1 시트 및 상기 기재 중 한쪽에 지그를 접촉시켜서 상기 한쪽이 상기 지그를 따라 절곡된 상태에서 상기 지그가 상기 기재로부터 보아 상대적으로 상기 제 1 방향과는 반대 방향인 제 2 방향으로 제 1 속도 이상으로 이동함으로써 상기 제 1 시트와 상기 기재가 다른 방향으로 갈라져서 진행하는 분기점에 있어서 상기 제 1 시트가 상기 기재로부터 계속해서 박리되는 제 A1 공정과,
    상기 제 A1 공정이 행해지는 상태로부터 상기 기재로부터 본 상기 지그가 상대적인 이동 속도가 상기 제 1 속도 미만이 되도록 감속 또는 정지하는 제 A2 공정과,
    상기 지그를 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 1 방향으로 변위시킴으로써 상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 1 방향으로 변위시키는 제 A3 공정과,
    상기 기재가 부착된 제 1 시트를 상기 제 1 방향으로 반송하는 제 A4 공정과,
    상기 지그가 상기 기재로부터 보아 상대적으로 상기 제 2 방향으로 이동을 개시하여 상대적으로 상기 제 2 방향으로 제 1 속도 이상이 되도록 가속함으로써 상기 제 A1 공정을 재개하는 제 A5 공정을 포함하는 시트 박리 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 공정을 행하는 장소보다 상류측 및 하류측 중 적어도 한쪽에 상기기재 및 상기 제 1 시트 중 적어도 한쪽에 대하여 간헐 동작으로 처리해야 할 제 5 공정을 행하는 제 1 설비가 존재하고, 상기 제 2 공정을 행하는 타이밍에 있어서는 상기 제 1 설비에 있어서 상기 제 5 공정을 병행해 행하는 시트 박리 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 A1 공정을 행하는 장소보다 상류측 및 하류측 중 적어도 한쪽에 상기 기재 및 상기 제 1 시트 중 적어도 한쪽에 대하여 간헐 동작으로 처리해야 할 제 A6 공정을 행하는 제 1 설비가 존재하고, 상기 제 A2 공정을 행하는 타이밍에 있어서는 상기 제 1 설비에 있어서 상기 제 A6 공정을 병행해 행하는 시트 박리 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 공정을 행하는 장소보다 상류측 및 하류측 중 적어도 한쪽에 상기기재 및 상기 제 1 시트 중 적어도 한쪽에 대하여 상기 제 1~제 4 공정과는 다른 타이밍의 간헐 동작 또는 연속 동작으로 처리되는 제 6 공정을 행하는 제 2 설비가 존재하고, 상기 제 2 설비가 소재하는 장소와 상기 제 1 공정, 상기 제 2 공정, 상기 제 3 공정 및 상기 제 4 공정이 행해지는 장소 사이에는 상기 기재의 흐름을 일시적으로 동작을 멈출 수 있는 버퍼 기구가 배치되어 있으며, 상기 버퍼 기구를 통해 상기 기재 및 상기 제 1 시트 중 적어도 한쪽의 운반이 행해지는 시트 박리 방법.
  6. 장척 형상이며 또한 시트 형상의 기재의 표면에 장척 형상의 제 1 시트가 부착되어 있는 것을 반송하는 반송 장치와,
    상기 제 1 시트와 상기 기재를 다른 방향으로 갈라서 진행시킴으로써 분기점에 있어서 상기 제 1 시트를 상기 기재로부터 박리시키는 분기 진행 장치를 구비하고,
    상기 반송 장치는,
    상기 기재를 제 1 방향으로 제 1 속도 이상의 속도로 반송하는 정상 반송 제어부와,
    상기 기재의 반송 속도가 상기 제 1 속도 미만이 되도록 감속 또는 정지하도록 반송 상황을 제어하는 간헐 동작 제어부와,
    상기 기재를 상기 제 1 방향과는 반대 방향인 제 2 방향으로 반송함으로써 상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 1 방향으로 변위시키도록 반송 상황을 제어하는 역반송 제어부와,
    상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 2 방향으로 변위시키면서 상기 분기점으로부터 본 상대적인 상기 기재의 반송 속도를 상기 제 1 속도 이상까지 올림으로써 상기 정상 반송 제어부에 의한 반송을 기초로 상기 제 1 시트를 상기 기재로부터 계속해서 박리시키는 상태를 재개하는 재개 제어부를 구비하는 시트 박리 장치.
  7. 장척 형상이며 또한 시트 형상의 기재의 표면에 장척 형상의 제 1 시트가 부착되어 있는 기재가 부착된 제 1 시트를 제 1 방향이 하류가 되는 방향으로 배치한 상태로 유지하고, 상기 제 1 시트 및 상기 기재 중 한쪽에 지그를 접촉시켜 상기 한쪽이 상기 지그를 따라 절곡된 상태에서 상기 지그가 상기 기재로부터 보아 상대적으로 상기 제 1 방향과는 반대 방향인 제 2 방향으로 이동함으로써 상기 제 1 시트와 상기 기재가 다른 방향으로 갈라져서 진행하는 분기점에 있어서 상기 제 1 시트가 상기 기재로부터 박리되는 지그 제어 장치와,
    상기 기재가 부착된 제 1 시트를 상기 제 1 방향으로 반송하는 반송 장치를 구비하고,
    상기 지그 제어 장치는,
    상기 분기점을 결정하는 지그와,
    상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 1 방향으로 변위 시키도록 상기 지그를 변위시키는 지그 전진 제어부와,
    상기 분기점을 상기 기재에 있어서 상대적으로 상기 제 2 방향으로 제 1 속도 이상으로 변위시킬 수 있는 지그 후퇴 제어부를 구비하는 시트 박리 장치.
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