WO2020162578A1 - 電子部品の製造方法 - Google Patents

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WO2020162578A1
WO2020162578A1 PCT/JP2020/004693 JP2020004693W WO2020162578A1 WO 2020162578 A1 WO2020162578 A1 WO 2020162578A1 JP 2020004693 W JP2020004693 W JP 2020004693W WO 2020162578 A1 WO2020162578 A1 WO 2020162578A1
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roller
green sheet
carrier film
electronic component
manufacturing
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French (fr)
Inventor
常雅 入江
橋本　憲
建 植村
Original Assignee
株式会社村田製作所
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30—Stacked capacitors

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing an electronic component, and more specifically, a step of preparing a long carrier film having a green sheet cut into a rectangular shape on its surface, and a step of peeling the green sheet from the carrier film.
  • the present invention relates to a method for manufacturing an electronic component including:
  • Patent Document 1 JP-A-8-162364.
  • the method of manufacturing an electronic component disclosed in Patent Document 1 includes a step of preparing a long carrier film having a green sheet cut into a rectangular shape on its surface, and a step of peeling the green sheet from the carrier film. Equipped with.
  • a method of manufacturing the electronic component disclosed in Patent Document 1 will be described with reference to FIGS.
  • a long carrier film (carrier tape) 102 having a long green sheet 101 formed on its main surface is provided between a punching table 103 and a transport unit 104. Supply.
  • the punching table 103 is formed with a vent hole (intake port) 103a for sucking the carrier film 102 and a heat source (electric heater) 103b for heating the punching table 103 itself.
  • the transport unit 104 has a pair of cutting blades (rectangular blades) 104a on both sides. Further, the transport unit 104 has a vent hole (intake port) 104b formed on the bottom surface.
  • the transport unit 104 is lowered toward the punching table 103.
  • the long green sheet 101 is cut by the cutting blade 104a, and the rectangular green sheet 105 is formed on the carrier film 102.
  • the punching table 103 is horizontally moved in a direction away from the transport unit 104 (leftward in FIG. 10C).
  • the green sheet 105 sucked by the ventilation holes 104b and held on the bottom surface of the transport unit 104 is peeled from the carrier film 102.
  • the punching table 103 is heated by the heat source 103b.
  • the reason for heating the punching table 103 can be considered as to the reason for heating the punching table 103.
  • the first reason is that the binder of the green sheet 105 is softened by the heat of the punching table 103 to facilitate cutting.
  • the heated punching table 103 heats the carrier film 102 and the green sheet 105 to facilitate the peeling of the green sheet 105 from the carrier film 102. That is, the ease of peeling the green sheet 105 from the carrier film 102 changes depending on the temperature of the green sheet 105. Specifically, at room temperature (for example, 25° C.) to the glass transition point (Tg) of the green sheet 105, the higher the temperature of the green sheet 105, the more the green sheet 105 is separated from the carrier film 102. Is easy (however, room temperature ⁇ Tg).
  • the punching table 103 is heated, the green sheet 105 is heated by the punching table 103, and the temperature of the green sheet 105 is brought close to the glass transition point (Tg). It is thought that this facilitates the peeling from the.
  • the third reason is considered to be that the thermo-compression bonding of the green sheet 105 is favorably performed in the laminating step to be performed later. That is, the green sheets 105 are laminated in a later laminating step and thermocompression bonded to produce a laminated body. However, if the green sheet 105 is kept at room temperature, the green sheet 105 to be laminated may take heat from the already laminated laminate in the laminating step, and the thermocompression bonding may not be performed well. Therefore, in the method of Patent Document 1, it is considered that the green sheet 105 is heated (preheated) by the punching table 103 to improve the thermocompression bonding in the laminating step.
  • Patent Document 1 The electronic component manufacturing method disclosed in Patent Document 1 has the following problems.
  • the green sheet 105 peeled from the carrier film 102 and held on the bottom surface of the transport unit 104 has different temperatures depending on the part, and a partial temperature variation occurs. There was a problem that it occurred. That is, since the green sheet 105 is stopped on the punching table 103 for a certain period of time for cutting, the green sheet 105 is heated by the punching table 103 and the overall temperature rises substantially uniformly. However, in the subsequent peeling step shown in FIG. 10C, the front end side (the right side in FIG. 10C) of the green sheet 105 is earlier than the rear end side (the left side in FIG. 10C). It leaves the punching table 103. Then, the temperature gradually decreases from the tip side. As a result, the temperature of the green sheet 105 held on the bottom surface of the transport unit 104 is low on the front end side and high on the rear end side, and a partial temperature variation occurs.
  • a partial variation in the adhesive force may occur in the thermocompression bonding in the laminating step which is a subsequent step. .. That is, in the thermocompression bonding in the laminating step, since the adhesive force changes depending on the temperature, the temperature is strictly controlled so as to keep the adhesive force between layers uniform.
  • a partial temperature variation occurs in the green sheet 105 held on the bottom surface of the transport unit 104, a partial variation in the adhesive force occurs, which deteriorates the quality of the manufactured laminated body or the manufactured laminated body. There were cases where the body became defective.
  • the carrier film 102 If the carrier film 102 is damaged, the carrier film 102 cannot be transported, which may make it impossible to manufacture electronic components.
  • wrinkles when wrinkles are generated on the carrier film 102, wrinkles may also be generated on the green sheet 105 formed thereon. Then, by stacking the green sheets 105 in which wrinkles are generated and thermocompressing them to manufacture a laminated body, the quality of the manufactured laminated body may deteriorate or the manufactured laminated body may become a defective product. there were.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and as a means thereof, a method for manufacturing an electronic component according to an embodiment of the present invention is a green sheet cut into a rectangular shape on the surface.
  • the carrier film after the green sheet is peeled is the first roller side.
  • the temperature of the surface of the second roller is kept higher than room temperature and lower than 120° C. by being bent and drawn to be collected and heated by a heat source provided inside the second roller. I shall.
  • the rectangular green sheet can be satisfactorily peeled from the carrier film.
  • the peeled green sheet is less likely to have partial temperature variations and wrinkles are less likely to occur, so that a high-quality laminated sheet is obtained in the subsequent laminating step.
  • the body can be made.
  • FIGS. 3F and 3G are cross-sectional views showing the steps performed in the first embodiment, which are continuations of FIG. 2E.
  • FIGS. 10A to 10C are cross-sectional views showing steps performed in the method of manufacturing an electronic component disclosed in Patent Document 1, respectively.
  • a long carrier film 2 having a long green sheet 1 formed on one main surface is prepared.
  • carrier film 2 prepare carrier film 2.
  • the material of the carrier film 2 is arbitrary, for example, PET can be used. Further, the length, width, thickness and the like of the carrier film 2 are arbitrary, and desired ones can be used.
  • dielectric ceramic powder, binder resin, solvent, etc. having a material and particle size according to the electronic component to be manufactured, and wet-mix these to prepare a ceramic slurry.
  • the ceramic slurry is applied on the carrier film 2 in a sheet form using a die coater, a gravure coater, a micro gravure coater, etc., and dried.
  • the thickness of the ceramic slurry to be applied is arbitrary and is appropriately set according to the desired thickness of the green sheet 1.
  • the long carrier film 2 having the long green sheet 1 formed on one main surface is completed.
  • a conductive paste is printed in a desired pattern on the main surface of the long green sheet 1 to form internal electrodes, if necessary.
  • the long green sheet is formed. 1 is cut into a rectangular green sheet 4. Specifically, first, the transport of the carrier film 2 is stopped. Next, the previously prepared cutting blades 3a and 3b are lowered to cut the long green sheet 1 into rectangular green sheets 4 having desired dimensions. At this time, the cutting blades 3a and 3b cut only the green sheet 1 and do not cut the carrier film 2. As a result, the rectangular green sheet 4 is formed on the long carrier film 2.
  • the carrier film 2 is intermittently conveyed, the cut rectangular green sheet 4 is sent out to the next step, and the long green sheet 1 of the elongated green sheet 1 is placed at the position where the cutting blades 3a and 3b are provided.
  • the part to be cut is arranged. The cutting of the long green sheet 1 into the rectangular green sheets 4 and the intermittent conveyance of the carrier film 2 are sequentially repeated.
  • the unused portion of the long green sheet 1 (rectangular green sheet 4
  • the green sheet 4 may be left uncut), but the unused portion is not shown in the drawing.
  • the carrier film 2 having the rectangular green sheet 4 formed thereon is conveyed between the first roller 5 and the second roller 6.
  • the carrier film 2 is on the first roller 5 side and the green sheet 4 is on the second roller 6 side.
  • the second roller 6 is a peeling roller for peeling and holding the green sheet 4.
  • the second roller 6 is not only a peeling roller but also a stacking roller.
  • the material of the first roller 5 is arbitrary, but for example, aluminum, carbon, SUS or the like can be used.
  • the diameter of the first roller 5 is smaller than the diameter of the second roller 6.
  • the diameter of the first roller 5 is arbitrary, but is, for example, about ⁇ 20 to ⁇ 100.
  • the first roller 5 does not have a heat source.
  • the first roller 5 may include a heat source and be kept at a constant temperature.
  • the material of the second roller 6 is arbitrary, but for example, aluminum, carbon, SUS or the like can be used.
  • the diameter of the second roller 6 is arbitrary, but is, for example, about ⁇ 200 to ⁇ 700.
  • the ratio of the diameter of the first roller 5 to the diameter of the second roller is about 1:2 to 1:35.
  • a plurality of ventilation holes 6a are formed in a region of about 1/3 of the outer circumference of the second roller 6.
  • the ventilation holes 6a are connected to predetermined ventilation pipes provided on the second roller 6, respectively.
  • the ventilation hole 6a is provided in a region corresponding to the length of the rectangular green sheet 4 and approximately 1/3 of the outer circumference of the second roller 6, but the region where the ventilation hole 6a is provided is provided.
  • the ventilation hole 6a may be provided in approximately 1/2 of the outer circumference, or the ventilation hole 6a may be provided in the entire circumference of the outer circumference.
  • FIG. 1C and the like show the vent holes 6 a provided along the outer circumference of the second roller 6, the vent holes 6 a are also provided in the width direction of the second roller 6. ..
  • the second roller 6 has a multi-chamber suction roller structure, and the state of the vent hole 6a is changed to the suction state and the exhaust state for each area of the surface of the second roller 6 and for each elapse of time. It can be in any state such as a state (blow state) or an atmosphere open state. Further, the suction state and the exhaust state can be made stronger and weaker for each area of the surface of the second roller 6.
  • the second roller 6 may have a suction function at a minimum, and may be a suction roller dedicated to suction instead of the multi-chamber suction roller.
  • the green sheet 4 is sucked by the ventilation holes 6a in the suction-holdable area A1. It is held on the surface of the second roller 6.
  • the suction-holdable area A1 is sandwiched between the first roller 5 and the second roller 6, so that the green sheet 4 formed on the carrier film 2 closes the ventilation hole 6a and the green sheet 4 is This is a region that is sucked by the ventilation holes 6a. After that, the green sheet 4 is continuously sucked by the ventilation holes 6 a and held on the surface of the second roller 6.
  • the suction-holdable area A1 is an area in which the pressed green sheet 4 closes the vent hole 6a, the green sheet 4 is sucked by the vent hole 6a, and the green sheet 4 is held by the second roller 6. The larger the area, the more reliably the green sheet 4 can be sucked and held.
  • the second roller 6 is provided with a heat source 6b for heating (preheating) the peeled green sheet 4.
  • a heat source 6b for heating (preheating) the peeled green sheet 4.
  • the type of the heat source 6b is arbitrary, for example, a resistance heating method such as a cartridge heater or a plate heater, an induction heating method, a dielectric heating method, a heat pump method using a heat medium, or the like can be used.
  • the heat source 6b heats the green sheet 4 in order to prevent the newly laminated green sheet 4 from taking heat from the already laminated laminate in the later laminating step. is there. That is, in thermocompression bonding in the laminating step, strict control of temperature and pressure is performed in order to keep the adhesive force between layers uniform. For example, when the preset temperature of thermocompression bonding in the laminating step is 80° C., the already laminated laminate and the green sheet 4 newly laminated on the laminate are, for example, 80° C. ⁇ 3° C. It is managed so that it falls within the range of.
  • the heat source 6b heats the green sheet 4 in order to bring the temperature of the newly laminated green sheet 4 to an appropriate temperature.
  • the surface of the second roller 6 is preferably maintained at a predetermined temperature higher than room temperature and lower than 120° C. by the heat source 6b.
  • the reason why the temperature is lower than 120° C. is to prevent the carrier film 2 from being damaged by heat.
  • the surface of the second roller 6 is maintained at a predetermined temperature higher than 40° C. and lower than 100° C. by the heat source 6b.
  • the reason why the temperature is higher than 40° C. is to effectively heat the green sheet 4.
  • the reason why the temperature is lower than 100° C. is to surely avoid the breakage of the carrier film 2.
  • room temperature refers to the temperature of the space where electronic components are manufactured, and the standard is approximately 25°C.
  • the rectangular green sheet 4 is peeled from the carrier film 2 by rotating the second roller 6 and held on the surface of the second roller 6.
  • the carrier film 2 is bent toward the first roller 5 and pulled to be collected. Bending the carrier film 2 to the first roller 5 side means that the carrier film is pulled with the tangent line L1 of the second roller 6 that passes through the point where the green sheet 4 and the carrier film 2 are separated by peeling the green sheet 4.
  • the peeling angle SA which is an angle formed between the peeling direction and the vertical direction, is larger than 0°.
  • the tangent line L1 is exactly the tangent line after the green sheet 4 is interposed on the surface of the second roller 6.
  • the peeling angle SA is set to approximately 45°.
  • the degree of peeling changes depending on the size of the peeling angle SA. That is, the larger the peeling angle SA is, the easier the peeling is, and the smaller the peeling angle SA is, the more difficult the peeling is. As shown in FIG. 4, peeling is easier when the peeling angle SA is 45° than when the peeling angle is 10°.
  • the size of the peeling angle SA is preferably adjusted as needed.
  • the second roller 6 is provided with the heat source 6b, and the green sheet 4 is heated. Therefore, for example, when the temperature of the green sheet 4 in contact with the second roller 6 rises sharply and exceeds the glass transition point (Tg) and the green sheet 4 becomes difficult to peel from the carrier film 2, the peeling is performed. It is preferable to adjust the angle SA to be large so that the peeling is easy.
  • the holding angle HA of the first roller 5 with respect to the carrier film 2 also affects the degree of difficulty of peeling the green sheet 4 from the carrier film 2.
  • the holding angle HA is an angle formed by a region in contact with the carrier film 2 on the outer periphery of the first roller 5 when viewed around the axis of the first roller 5.
  • peeling is easier when the holding angle HA is 180° than when the holding angle HA is 40°.
  • the holding angle HA of the first roller 5 with respect to the carrier film 2 is preferably 30° or more and 180° or less. This is because if the holding angle HA is smaller than 30°, it becomes difficult to peel the green sheet 4 from the carrier film 2. This is because if the hugging angle HA exceeds 180°, it becomes difficult to convey the carrier film 2.
  • the second green roller 4 is further rotated to completely peel the rectangular green sheet 4 from the carrier film 2 and hold it on the surface of the second roller 6. ..
  • the step of laminating the rectangular green sheets 4 held on the surface of the second roller 6 is performed.
  • the second roller 6 also serves as the laminating roller.
  • the stacking process of the green sheets 4 is performed on the stacking stage 7 in which the heat source 7a is provided.
  • a laminated stage 7 on which a laminated body 8 in the process of being manufactured is mounted is prepared.
  • the tip of the green sheet 4 held by the second roller 6 and the tip of the green sheet 4 already laminated on the uppermost layer of the laminated body 8 are aligned.
  • the vent hole 6a of the second roller 6 is in a suction state, and the green sheet 4 is sucked and held by the surface of the second roller 6.
  • the laminated body 8 which is being manufactured is mounted on the laminated stage 7.
  • the laminated body 8 is not formed on the laminated stage 7. It doesn't exist.
  • the second roller 6 is rotated in a state where the second roller 6 is pressed in the direction of the laminating stage 7, and the laminating stage 7 is rotated in synchronization with the rotation.
  • Direction (rightward in FIG. 3(G)).
  • the second roller 6 has a multi-chamber suction roller structure, and the state of the vent hole 6a is changed to a suction state, an exhaust state (blow state), and an atmospheric release state for each region and for each elapsed time. You can switch to any of the states.
  • this function is used, and when the ventilation hole 6a passes through the lowermost portion of the second roller 6 as the second roller 6 rotates, the ventilation state is sequentially changed from the suction state to the exhaust state (or the atmosphere open state). Switch. That is, the vent hole 6a in the area A2 is in the suction state, and the vent hole 6a in the area A3 is in the exhaust state (or open to the atmosphere).
  • the green sheet 4 held by the second roller 6 is laminated on the uppermost layer of the laminated body 8 on the laminating stage 7 and is thermocompression bonded.
  • the laminated body 8 on the laminating stage 7 is heated to the set temperature for thermocompression bonding by the heat source 7a.
  • the newly laminated green sheet 4 is heated by the heat source 6b of the second roller 6 to the set temperature for thermocompression bonding.
  • the green sheet 4 is satisfactorily thermocompression-bonded to the uppermost layer of the laminated body 8 with a target adhesive force.
  • the second roller 6 which is a peeling roller also serves as a laminating roller, but the second roller 6 which is a peeling roller and the laminating roller are separately held by the second roller 6.
  • the green sheet 4 may be delivered to the laminating roller, the green sheet 4 may be laminated using the laminating roller, and the thermocompression bonding may be performed.
  • the laminated body 8 is divided into a plurality of individual unfired ceramic bodies.
  • the unfired ceramic body is fired with a predetermined profile to produce a ceramic body.
  • the conductive paste provided between the layers of the green sheet 4 is also fired to form internal electrodes between the layers of the ceramic body.
  • the rectangular green sheet 4 can be favorably peeled from the carrier film 2.
  • the green sheet 4 since the respective parts of the green sheet 4 are in contact with (holding) the heated second roller 6 for the same time, the green sheet 4 is partially covered. The temperature variation does not occur, the green sheet 4 is satisfactorily thermocompression-bonded in the laminating step, and the quality of the laminated body 8 does not deteriorate.
  • the time period during which the carrier film 2 is in contact with the heated second roller 6 is extremely short, and the carrier film 2 is indirectly contacted with the green sheet 4 interposed therebetween. Therefore, the carrier film 2 is not damaged by heat, and the production of electronic components is not disabled.
  • the time period during which the carrier film 2 is in contact with the heated second roller 6 is extremely short, and the carrier film 2 is indirectly contacted with the green sheet 4 interposed therebetween. Therefore, wrinkles do not occur on the carrier film 2, and wrinkles do not occur on the green sheet 4 due to the influence thereof, so that the quality of the laminated body 8 produced in the laminating step does not deteriorate.
  • the peeling process of the first embodiment is modified. Specifically, in the first embodiment, the first roller 5 made of aluminum was used in the peeling process. In the second embodiment, instead of this, as shown in FIG. 5, a first roller 25 having a rubber surface is used.
  • the other configurations of the second embodiment are the same as those of the first embodiment.
  • the first roller 5 comes into contact with the second roller 6 in a slightly deformed state with elasticity through the carrier film 2 on which the green sheet 4 is formed. Therefore, in the second embodiment, the area of the suction-holdable region A21 is larger than the area of the suction-holdable region A1 of the first embodiment. Therefore, in the second embodiment, the green sheet 4 can be peeled and held by the second roller 6 more reliably than in the first embodiment.
  • a configuration is added to the peeling process of the first embodiment.
  • two rollers that is, the first roller 5 and the second roller 6 are used, but in the third embodiment, one roller is added to the third roller 37.
  • the third roller 37 is provided behind the first roller 5 in the conveying path of the carrier film 2, and the carrier film 2 on which the green sheet 4 is formed is the same as the first roller 5 and the first roller 5. It is conveyed between the second roller 6 and between the third roller 37 and the second roller 6.
  • the carrier film 2 after the green sheet 4 is peeled off is bent and pulled toward the first roller 5 and the third roller 37, and is collected.
  • the other configurations of the third embodiment are the same as those of the first embodiment.
  • the area of the suction holdable area A31 is larger than that of the suction holdable area A1 of the first embodiment and the suction holdable area A21 of the second embodiment. Is very large. Therefore, in the third embodiment, the green sheet 4 can be peeled off and held by the second roller 6 more reliably than in the first and second embodiments.
  • the third roller 37 used in the third embodiment is replaced with the knife edge 48.
  • the knife edge 48 is a metal member having an acute edge that can change the transport direction of the carrier film 2.
  • the other configurations of the fourth embodiment are the same as those of the third embodiment.
  • the area of the suction-holdable area A41 is very large. Therefore, also in the fourth embodiment, the green sheet 4 can be peeled off and held by the second roller 6 more reliably than in the first and second embodiments.
  • the third roller 37 used in the third embodiment is replaced with the third roller 57 having a cooling function.
  • Other configurations of the fifth embodiment are the same as those of the third embodiment.
  • the third roller 57 can lower the temperatures of the carrier film 2 and the green sheet 4 by the cooling function. That is, as described above, when the temperature of the green sheet 4 is equal to or higher than the glass transition point (Tg), the higher the temperature of the green sheet 4, the more difficult the green sheet 4 is to be peeled from the carrier film 2.
  • the green sheet 4 held on the surface of the second roller 6 is heated by the heat source 6b in order to favorably perform the thermocompression bonding in the laminating step to be performed later.
  • the green sheet 4 held on the surface of the second roller 6 is usually at a temperature higher than the glass transition point (Tg).
  • the temperature of the green sheet 4 is temporarily increased by providing a cooling function to the third roller 57 arranged near the point where the green sheet 4 and the carrier film 2 are separated.
  • the green sheet 4 was partially lowered to approach the glass transition point (Tg) so that the green sheet 4 was easily peeled from the carrier film 2.
  • the third roller 57 since the third roller 57 has a cooling function and can lower the temperature of the green sheet 4, the green sheet 4 can be easily peeled from the carrier film 2.
  • a laminated ceramic capacitor was manufactured as an electronic component, but the type of electronic component to be manufactured is arbitrary, and other types of electronic components such as a laminated ceramic thermistor, a laminated ceramic inductor, a laminated ceramic composite component, etc. May be
  • the second roller 6 which is a peeling roller also serves as a laminating roller, but the second roller 6 which is a peeling roller and the laminating roller are separately held by the second roller 6.
  • the green sheet 4 may be delivered to the laminating roller, the green sheet 4 may be laminated using the laminating roller, and the thermocompression bonding may be performed.
  • a relay roller used for delivering the green sheet 4 may be provided between the second roller 6 which is a peeling roller and the dedicated laminating roller.
  • the temperature of the surface of the second roller is maintained higher than 40° C. and lower than 100° C. by being heated by the heat source provided inside the second roller. You may do it.
  • the reason why the temperature is higher than 40° C. is to effectively heat the green sheet.
  • the reason why the temperature is lower than 100° C. is to prevent the carrier film from being damaged.
  • the first roller may be a rubber roller whose surface is made of rubber.
  • the first roller comes into contact with the second roller in a slightly deformed state with elasticity through the carrier film on which the green sheet is formed. Therefore, the area of the suction-holdable area becomes large, and the green sheet can be more reliably peeled off and held by the second roller.
  • a third roller is provided behind the first roller, and the carrier film on which the green sheet is formed is provided between the first roller and the second roller and between the third roller and the third roller. You may make it convey between a 2nd roller. In this case, since the area of the suction-holdable area becomes very large, it becomes possible to more reliably peel and hold the green sheet by the second roller.
  • the third roller may be cooled and the carrier film and the green sheet may be cooled by the third roller.
  • the temperature of the green sheet heated by the heat source of the second roller can be lowered, the green sheet can be easily peeled from the carrier film.
  • a knife edge is provided behind the first roller, and the carrier film on which the green sheet is formed is provided between the first roller and the second roller and between the knife edge and the second roller. You may make it convey between a roller. Also in this case, since the area of the suction-holdable region becomes very large, it becomes possible to more reliably peel and hold the green sheet by the second roller.
  • a laminating process for laminating green sheets may be provided.
  • This laminating step can be performed using, for example, the second roller.
  • this laminating step can be carried out using a dedicated laminating roller.

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Abstract

矩形状のグリーンシート４をキャリアフィルム２から良好に剥離することができる電子部品の製造方法を提供する。　矩形状に切断されたグリーンシート４が形成された長尺状のキャリアフィルム２を準備する準備工程と、キャリアフィルム２を、第１ローラ５と、表面に通気孔６ａが形成された第２ローラ６との間に搬送させ、グリーンシート４を、通気孔６ａによって吸引してキャリアフィルム２から剥離し、第２ローラ６の表面に保持する剥離工程と、を備え、剥離工程において、グリーンシート４が剥離された後のキャリアフィルム２は、第１ローラ５側に曲げて牽引されて回収され、第２ローラ６の表面の温度は、熱源６ｂによって加熱されることによって、室温よりも高く、かつ、１２０℃よりも低く維持されるものとする。

Description

電子部品の製造方法
　本発明は、電子部品の製造方法に関し、更に詳しくは、矩形状に切断されたグリーンシートが表面に形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する工程と、グリーンシートをキャリアフィルムから剥離する工程とを備えた電子部品の製造方法に関する。
　従来から広く実施されている電子部品の製造方法が、特許文献１（特開平８-１６２３６４号公報）に開示されている。特許文献１に開示された電子部品の製造方法は、矩形状に切断されたグリーンシートが表面に形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する工程と、グリーンシートをキャリアフィルムから剥離する工程とを備えている。特許文献１に開示された電子部品の製造方法を、図１０（Ａ）～（Ｃ）を参照して説明する。
　まず、図１０（Ａ）に示すように、主面に長尺状のグリーンシート１０１が形成された長尺状のキャリアフィルム（キャリアテープ）１０２を、打抜きテーブル１０３と搬送ユニット１０４との間に供給する。
　打抜きテーブル１０３には、キャリアフィルム１０２を吸引するための通気孔（吸気口）１０３ａと、打抜きテーブル１０３自体を加熱する熱源（電熱ヒータ）１０３ｂとが形成されている。
　搬送ユニット１０４には、両側に１対のカット刃（矩形刃）１０４ａが形成されている。また、搬送ユニット１０４には、底面に通気孔（吸気口）１０４ｂが形成されている。
　次に、図１０（Ｂ）に示すように、搬送ユニット１０４を、打抜きテーブル１０３に向かって降下させる。この結果、カット刃１０４ａによって、長尺状のグリーンシート１０１が切断され、キャリアフィルム１０２上に矩形状のグリーンシート１０５が形成される。
　次に、図１０（Ｃ）に示すように、打抜きテーブル１０３を、搬送ユニット１０４から離れる方向（図１０（Ｃ）における左方向）に水平移動させる。この結果、通気孔１０４ｂに吸引されて搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５が、キャリアフィルム１０２から剥離される。
　上述したとおり、特許文献１の製造方法においては、打抜きテーブル１０３が熱源１０３ｂによって加熱される。打抜きテーブル１０３を加熱する理由については、いくつかの理由を考えることができる。
　１つ目の理由として、グリーンシート１０５のバインダを打抜きテーブル１０３の熱により軟化させ、切断を容易にすることがあげられる。
　２つ目の理由として、加熱された打抜きテーブル１０３によって、キャリアフィルム１０２とグリーンシート１０５とを加熱し、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離を容易にしていると考えられる。すなわち、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離の容易さは、グリーンシート１０５の温度に依存して変化する。具体的には、室温（たとえば２５℃）から、グリーンシート１０５のガラス転移点（Ｔｇ）までの温度においては、グリーンシート１０５の温度が高くなればなるほど、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離が容易になる（ただし、室温＜Ｔｇとする）。一方、グリーンシート１０５のガラス転移点（Ｔｇ）よりも高い温度においては、グリーンシート１０５の温度が高くなればなるほど、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離が難しくなる。特許文献１の方法においては、打抜きテーブル１０３を加熱し、打抜きテーブル１０３によってグリーンシート１０５を加熱し、グリーンシート１０５の温度をガラス転移点（Ｔｇ）に近づけることによって、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離を容易にしているものと考えられる。
　３つ目の理由として、後に実施される積層工程において、グリーンシート１０５の加熱圧着を良好におこなうためであると考えられる。すなわち、グリーンシート１０５は、後の積層工程において、積層され、加熱圧着されて積層体が作製される。しかしながら、グリーンシート１０５が常温のままであると、積層工程において、積層されるグリーンシート１０５が既に積層された積層体から熱を奪い、加熱圧着が良好におこなわれない虞がある。そこで、特許文献１の方法においては、打抜きテーブル１０３によってグリーンシート１０５を加熱（予熱）し、積層工程における加熱圧着を良好にしているものと考えられる。
特開平８-１６２３６４号公報
　特許文献１に開示された電子部品の製造方法には、次のような問題があった。
　まず、特許文献１に開示された製造方法には、キャリアフィルム１０２から剥離され、搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５が、部分によって異なる温度になってしまい、部分的な温度バラツキが発生するという問題があった。すなわち、グリーンシート１０５は、切断のために、一定の時間、打抜きテーブル１０３上に停止するため、打抜きテーブル１０３によって加熱されて、全体の温度がほぼ均一に上昇する。しかしながら、その後の図１０（Ｃ）に示す剥離工程においては、グリーンシート１０５の先端側（図１０（Ｃ）における右側）が、後端側（図１０（Ｃ）における左側）よりも、先に打抜きテーブル１０３から離れる。そして、先端側から順に温度が低下していく。この結果、搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５の温度は、先端側において低く、後端側において高くなり、部分的な温度バラツキが発生する。
　そして、搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５に部分的な温度バラツキが発生すると、後の工程である積層工程の加熱圧着において、部分的な接着力のバラツキが発生する場合があった。すなわち、積層工程の加熱圧着は、温度によって接着力が変化するため、層間の接着力を均一に保つように、厳格に温度管理をしておこなわれる。しかしながら、搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５に部分的な温度バラツキが発生すると、部分的な接着力のバラツキが発生し、作製された積層体の品質が低下したり、作製され積層体が不良品になったりする場合があった。
　また、特許文献１に開示された製造方法には、キャリアフィルム１０２が、熱源１０３ｂによって加熱された打抜きテーブル１０３上に、一定の長い時間、停止するため、熱によって、キャリアフィルム１０２が破損したり、キャリアフィルム１０２に皺が発生したりする問題があった。
　そして、キャリアフィルム１０２が破損すると、キャリアフィルム１０２の搬送ができなくなり、電子部品の製造が不能になってしまう場合があった。
　また、キャリアフィルム１０２に皺が発生すると、その上に形成されたグリーンシート１０５にも皺が発生してしまう場合があった。そして、皺の発生したグリーンシート１０５を積層し、加熱圧着して積層体を作製することによって、作製された積層体の品質が低下したり、作製され積層体が不良品になったりする場合があった。
　本発明は、上述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その手段として、本発明の一実施態様にかかる電子部品の製造方法は、矩形状に切断されたグリーンシートが表面に形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する準備工程と、グリーンシートが形成されたキャリアフィルムを、第１ローラと、表面に通気孔が形成された第２ローラとの間に搬送させ、グリーンシートを、通気孔によって吸引してキャリアフィルムから剥離し、第２ローラの表面に保持する剥離工程と、を備え、剥離工程において、グリーンシートが剥離された後のキャリアフィルムは、第１ローラ側に曲げて牽引されて回収され、第２ローラの表面の温度は、第２ローラの内部に設けられた熱源によって加熱されることによって、室温よりも高く、かつ、１２０℃よりも低く維持されるものとする。
　本発明の電子部品の製造方法によれば、矩形状のグリーンシートをキャリアフィルムから良好に剥離することができる。
　また、本発明の電子部品の製造方法によれば、剥離されたグリーンシートに、部分的な温度バラツキが発生し難く、また、皺が発生し難いため、後の積層工程において、品質の高い積層体を作製することができる。
図１（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態において実施される工程を示す断面図である。 図２（Ｄ）、（Ｅ）は、図１（Ｃ）の続きであり、それぞれ、第１実施形態において実施される工程を示す断面図である。 図３（Ｆ）、（Ｇ）は、図２（Ｅ）の続きであり、それぞれ、第１実施形態において実施される工程を示す断面図である。 剥離角度ＳＡの違いによる、キャリアフィルム２からグリーンシート４を剥離する難易度の違いを示す説明図である。 抱き角度ＨＡの違いによる、キャリアフィルム２からグリーンシート４を剥離する難易度の違いを示す説明図である。 第２実施形態において実施される工程を示す断面図である。 第３実施形態において実施される工程を示す断面図である。 第４実施形態において実施される工程を示す断面図である。 第５実施形態において実施される工程を示す断面図である。 図１０（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、特許文献１に開示された電子部品の製造方法において実施される工程を示す断面図である。
　以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。
　［第１実施形態］
　図１（Ａ）～図３（Ｇ）を参照しながら、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法について説明する。なお、製造する電子部品の種類は任意であるが、本実施形態においては、一例として積層セラミックコンデンサを製造する。
　最初に、図１（Ａ）に示す、一方の主面に長尺状のグリーンシート１が形成された長尺状のキャリアフィルム２を作製する。
　まず、キャリアフィルム２を用意する。キャリアフィルム２の材質は任意であるが、たとえば、ＰＥＴを使用することができる。また、キャリアフィルム２の長さ、幅、厚みなどの寸法は任意であり、所望のものを使用することができる。
　次に、製造する電子部品に応じた材質、粒径などからなる誘電体セラミックスの粉末、バインダ樹脂、溶剤などを用意し、これらを湿式混合してセラミックスラリーを作製する。
　次に、キャリアフィルム２上に、セラミックスラリーを、ダイコータ、グラビアコーター、マイクログラビアコーターなどを用いてシート状に塗布し、乾燥させる。なお、塗布するセラミックスラリーの厚みは任意であり、所望するグリーンシート１の厚みにより、適宜、設定する。以上により、一方の主面に長尺状のグリーンシート１が形成された長尺状のキャリアフィルム２が完成する。
　次に、図示は省略するが、必要に応じて、内部電極を形成するために、長尺状のグリーンシート１の主面に、導電性ペーストを所望のパターンに印刷する。
　次に、図１（Ｂ）に示すように、一方の主面に長尺状のグリーンシート１が形成された長尺状のキャリアフィルム２を間欠的に搬送しながら、長尺状のグリーンシート１を矩形状のグリーンシート４に切断する。具体的には、まず、キャリアフィルム２の搬送を停止させる。次に、予め用意されたカット刃３ａ、３ｂを下降させ、長尺状のグリーンシート１を所望の寸法の矩形状のグリーンシート４に切断する。このとき、カット刃３ａ、３ｂは、グリーンシート１だけを切断し、キャリアフィルム２を切断しないようにする。この結果、長尺状のキャリアフィルム２上に、矩形状のグリーンシート４が形成される。
　次に、キャリアフィルム２を間欠的に搬送し、切断された矩形状のグリーンシート４を次の工程に送り出すとともに、カット刃３ａ、３ｂの設けられた位置に、長尺状のグリーンシート１の次に切断すべき部分を配置させる。以上の長尺状のグリーンシート１の矩形状のグリーンシート４への切断と、キャリアフィルム２の間欠的な搬送とを、順次、繰り返す。
　なお、先に切断された矩形状のグリーンシート４と次に切断された矩形状のグリーンシート４との間のキャリアフィルム２上に、長尺状のグリーンシート１の不使用部分（矩形状のグリーンシート４として切断しなかった部分）が残る場合があるが、図においては、かかる不使用部分の図示を省略している。
　次に、図１（Ｃ）に示すように、矩形状のグリーンシート４が形成されたキャリアフィルム２を、第１ローラ５と第２ローラ６との間に搬送させる。このとき、キャリアフィルム２を第１ローラ５側にし、グリーンシート４を第２ローラ６側にする。第２ローラ６は、グリーンシート４を剥離し、保持するための剥離ローラである。なお、本実施形態においては、後述するように、第２ローラ６は、剥離ローラであるだけではなく、積層ローラを兼ねている。
　第１ローラ５の材質は任意であるが、たとえば、アルミ、カーボン、ＳＵＳなどを使用することができる。第１ローラ５の直径は、第２ローラ６の直径よりも小さい。第１ローラ５の直径は任意であるが、たとえば、φ２０～φ１００程度とする。
　本実施形態においては、第１ローラ５は熱源を備えていない。ただし、第１ローラ５は、熱源を備え、一定の温度に保たれるものであっても良い。
　第２ローラ６の材質は任意であるが、たとえば、アルミ、カーボン、ＳＵＳなどを使用することができる。第２ローラ６の直径は任意であるが、たとえば、φ２００～φ７００程度とする。第１ローラ５の直径と第２ローラの直径との比は、１：２～１：３５程度とする。
　本実施形態においては、第２ローラ６の外周のおおよそ１／３の領域に、複数の通気孔６ａが形成されている。通気孔６ａは、それぞれ、第２ローラ６に設けられた所定の通気管に接続されている。なお、本実施形態においては、矩形状のグリーンシート４の長さに適合させて、第２ローラ６の外周のおおよそ１／３の領域に通気孔６ａを設けたが、通気孔６ａを設ける領域の広さは任意であり、たとえば、外周のおおよそ１／２に通気孔６ａを設けても良く、外周の全周に通気孔６ａを設けても良い。なお、図１（Ｃ）等においては、第２ローラ６の外周に沿って設けられた通気孔６ａが示されているが、通気孔６ａは第２ローラ６の幅方向にも設けられている。
　本実施形態においては、第２ローラ６がマルチチャンバーサクションローラ構造を備えており、第２ローラ６の表面の領域ごとに、また時間の経過ごとに、通気孔６ａの状態を、吸引状態、排気状態（ブロー状態）、大気開放状態などの任意の状態にすることができる。また、吸引状態や排気状態は、第２ローラ６の表面の領域ごとに、強弱を付けることができる。ただし、第２ローラ６は、最低限、吸引機能を備えていれば良く、マルチチャンバーサクションローラではなく、吸引専用のサクションローラであっても良い。
　第１ローラ５と第２ローラ６との間に搬送された、矩形状のグリーンシート４が形成されたキャリアフィルム２は、吸引保持可能領域Ａ１において、グリーンシート４が通気孔６ａによって吸引され、第２ローラ６の表面に保持される。吸引保持可能領域Ａ１は、第１ローラ５と第２ローラ６との間に挟まれたことにより、キャリアフィルム２上に形成されたグリーンシート４によって通気孔６ａが塞がれ、グリーンシート４が通気孔６ａによって吸引される領域である。その後、グリーンシート４は、引き続き通気孔６ａによって吸引され、第２ローラ６の表面に保持される。吸引保持可能領域Ａ１は、押圧されたグリーンシート４が通気孔６ａを塞ぎ、グリーンシート４が通気孔６ａによって吸引され、グリーンシート４が第２ローラ６に保持される起因となる領域であるため、面積が大きいほど、グリーンシート４を確実に吸引し、保持することができる。
　また、第２ローラ６には、剥離したグリーンシート４を加熱（予熱）するために、熱源６ｂが設けられている。熱源６ｂの種類は任意であるが、たとえば、カートリッジヒータ、プレートヒータなどの抵抗加熱方式、誘導加熱、誘電加熱方式、熱媒を利用したヒートポンプ方式などを使用することができる。
　第２ローラ６において、熱源６ｂによってグリーンシート４を加熱するのは、後の積層工程において、新たに積層されるグリーンシート４が、既に積層された積層体から熱を奪わないようにするためである。すなわち、積層工程における加熱圧着においては、層間の接着力を均質に保つために、厳格に温度と圧力との管理が実施される。たとえば、積層工程における加熱圧着の設定温度が８０℃である場合には、既に積層された積層体、および、積層体の上に新たに積層されるグリーンシート４は、たとえば、８０℃±３℃の範囲に収まるように管理される。熱源６ｂは、新たに積層されるグリーンシート４の温度を適切な温度にするために、グリーンシート４を加熱しているのである。
　熱源６ｂによって、第２ローラ６の表面は、好ましくは、室温よりも高く、かつ、１２０℃よりも低い、所定の温度に維持される。１２０℃よりも低くするのは、熱によって、キャリアフィルム２が破損しないようにするためである。また、より好ましくは、第２ローラ６の表面は、熱源６ｂによって、４０℃よりも高く、かつ、１００℃よりも低い、所定の温度に維持される。４０℃よりも高くするのは、グリーンシート４を効果的に加熱するためである。１００℃より低くするのは、キャリアフィルム２の破損を確実に回避するためである。
　なお、本件出願書類において、室温とは、電子部品を製造している空間の温度をいい、概ね２５℃を目安としている。
　続いて、図２（Ｄ）に示すように、第２ローラ６を回転させることによって、矩形状のグリーンシート４をキャリアフィルム２から剥離し、第２ローラ６の表面に保持してゆく。
　このとき、キャリアフィルム２は、第１ローラ５側に曲げて牽引されて回収される。キャリアフィルム２を第１ローラ５側に曲げるとは、グリーンシート４を剥離することによってグリーンシート４とキャリアフィルム２とが分離する点を通る第２ローラ６の接線Ｌ１と、キャリアフィルムが牽引される方向との間に形成される角度である剥離角度ＳＡが、０°よりも大きいことをいう。ただし、接線Ｌ１は、正確には、第２ローラ６の表面にグリーンシート４を介在させたうえでの接線である。
　本実施形態においては、剥離角度ＳＡを、おおよそ、４５°に設定している。剥離角度ＳＡの大きさによって、剥離の難易度が変化する。すなわち、剥離角度ＳＡが大きくなるほど剥離し易くなり、剥離角度ＳＡが小さくなるほど剥離し難くなる。図４に示すように、剥離角度ＳＡが４５°であるときの方が、剥離角度が１０°であるときよりも剥離し易い。
　剥離角度ＳＡの大きさは、必要に応じて調整することが好ましい。本実施形態においては、第２ローラ６に熱源６ｂが設けられ、グリーンシート４が加熱される。そこで、たとえば、第２ローラ６に接したグリーンシート４の温度が急激に上昇し、ガラス転移点（Ｔｇ）を超え、グリーンシート４がキャリアフィルム２から剥離し難くなるような場合には、剥離角度ＳＡを大きくして、剥離し易くなるように調整することが好ましい。
　また、第１ローラ５のキャリアフィルム２に対する抱き角度ＨＡも、グリーンシート４のキャリアフィルム２からの剥離の難易度に影響を与える。なお、抱き角度ＨＡとは、第１ローラ５の軸を中心として見た、第１ローラ５の外周のキャリアフィルム２が接している領域のなす角度である。抱き角度ＨＡは、大きくなるほど剥離し易くなり、小さくなるほど剥離し難くなる。図５に示すように、抱き角度ＨＡが１８０°であるときの方が、抱き角度ＨＡが４０°であるときよりも剥離し易い。第１ローラ５のキャリアフィルム２に対する抱き角度ＨＡは、３０°以上、１８０°以下程度が好ましい。抱き角度ＨＡが３０°より小さいと、グリーンシート４をキャリアフィルム２から剥離し難くなるからである。抱き角度ＨＡが１８０°を超えると、キャリアフィルム２の搬送が難しくなるからである。
　続いて、図２（Ｅ）に示すように、第２ローラ６を更に回転させることによって、矩形状のグリーンシート４を、キャリアフィルム２から完全に剥離させ、第２ローラ６の表面に保持させる。
　次に、第２ローラ６の表面に保持された矩形状のグリーンシート４の積層工程を実施する。なお、上述したとおり、本実施形態においては、第２ローラ６が積層ローラを兼ねている。また、グリーンシート４の積層工程は、内部に熱源７ａが設けられた積層ステージ７上でおこなう。
　まず、図３（Ｆ）に示すように、作製途中の積層体８が搭載された積層ステージ７を用意する。次に、第２ローラ６の最下部において、第２ローラ６に保持されたグリーンシート４の先端と、積層体８の最上層に既に積層されたグリーンシート４の先端との位置合わせをおこなう。この時点では、第２ローラ６の通気孔６ａは吸引状態にあり、グリーンシート４は第２ローラ６の表面に吸引されて保持されている。なお、図３（Ｆ）においては、積層ステージ７に作製途中の積層体８が搭載されているが、１層目のグリーンシート４を積層する際には、積層ステージ７上に積層体８は存在していない。
　次に、図３（Ｇ）に示すように、第２ローラ６を積層ステージ７の方向に加圧した状態で、第２ローラ６を回転させ、それに同期させて、積層ステージ７を回転と同じ方向（図３（Ｇ）における右方向）に移動させる。上述したとおり、第２ローラ６は、マルチチャンバーサクションローラ構造を備えており、通気孔６ａの状態を、領域ごとに、また時間の経過ごとに、吸引状態、排気状態（ブロー状態）、大気開放状態のいずれかに切り替えることができる。この工程においては、この機能が使用され、通気孔６ａは、第２ローラ６の回転にともない、第２ローラ６の最下部を通過すると、順次、吸引状態から排気状態（又は大気開放状態）に切り替わる。すなわち、領域Ａ２にある通気孔６ａは吸引状態にあり、領域Ａ３にある通気孔６ａは排気状態（又は大気開放状態）にある。この結果、第２ローラ６の回転と積層ステージ７の移動にともなって、第２ローラ６に保持されたグリーンシート４が、積層ステージ７上の積層体８の最上層に積層され、加熱圧着される。
　このとき、積層ステージ７上の積層体８は、熱源７ａによって加熱圧着の設定温度に加熱されている。また、新たに積層されるグリーンシート４は、第２ローラ６の熱源６ｂによって加熱圧着の設定温度に加熱されている。この結果、グリーンシート４は、目標どおりの接着力で積層体８の最上層に良好に加熱圧着される。
　以上の矩形のグリーンシート４の積層、加熱圧着を所望の回数繰り返し、積層体８を完成させる。
　なお、本実施形態においては、剥離ローラである第２ローラ６が積層ローラを兼ねているが、剥離ローラである第２ローラ６と積層ローラとを別々にして、第２ローラ６に保持されたグリーンシート４を積層ローラに受け渡し、積層ローラを使ってグリーンシート４を積層し、加熱圧着するようにしても良い。
　次に、必要に応じて、積層体８を複数の個片の未焼成セラミック素体に分割する。
　次に、未焼成セラミック素体を、所定のプロファイルで焼成し、セラミック素体を作製する。このとき、グリーンシート４の層間に設けられた導電性ペーストも焼成され、セラミック素体の層間に内部電極が形成される。
　次に、セラミック素体の表面に外部電極を形成して、本実施形態にかかる電子部品（積層セラミックコンデンサ）が完成する。
　本発明の電子部品の製造方法によれば、矩形状のグリーンシート４をキャリアフィルム２から良好に剥離することができる。
　また、本発明の電子部品の製造方法によれば、グリーンシート４の各部が、加熱された第２ローラ６に接している（保持されている）時間が等しいため、グリーンシート４に部分的な温度バラツキが発生せず、積層工程でグリーンシート４は良好に加熱圧着され、積層体８の品質が低下することがない。
　また、本発明の電子部品の製造方法によれば、キャリアフィルム２が、加熱された第２ローラ６に接している時間が極めて短く、かつ、グリーンシート４を間に挟んで間接的に接しているため、キャリアフィルム２が熱によって破損することがなく、電子部品の製造が不能になることがない。
　また、本発明の電子部品の製造方法によれば、キャリアフィルム２が、加熱された第２ローラ６に接している時間が極めて短く、かつ、グリーンシート４を間に挟んで間接的に接しているため、キャリアフィルム２に皺が発生することがなく、その影響によってグリーンシート４に皺が発生することもないため、積層工程で作製された積層体８の品質が低下することがない。
　［第２実施形態］
　第１実施形態の構成の一部に変更を加えて、第２実施形態にかかる電子部品の製造方法を実施した。図６を参照して説明する。
　第２実施形態は、第１実施形態の剥離工程に変更を加えた。具体的には、第１実施形態では、剥離工程に、アルミ製の第１ローラ５を使用していた。第２実施形態では、これに代えて、図５に示すように、表面がゴム製の第１ローラ２５を使用した。第２実施形態のその他の構成については第１実施形態と同じにした。
　第２実施形態においては、第１ローラ５が、グリーンシート４が形成されたキャリアフィルム２を介して、弾性をもって、若干、変形した状態で第２ローラ６に接する。そのため、第２実施形態においては、吸引保持可能領域Ａ２１の面積が、第１実施形態の吸引保持可能領域Ａ１の面積よりも大きい。そのため、第２実施形態においては、第１実施形態よりも、より確実に、第２ローラ６によってグリーンシート４を剥離し、保持することができる。
　［第３実施形態］
　第１実施形態に構成を追加して、第３実施形態にかかる電子部品の製造方法を実施した。図７を参照して説明する。
　第３実施形態は、第１実施形態の剥離工程に構成を追加した。具体的には、第１実施形態では、第１ローラ５と第２ローラ６との２つのローラを使用していたが、第３実施形態では、これらに、更に第３ローラ３７をもう１つ追加した。図６に示すように、第３ローラ３７は、キャリアフィルム２の搬送路において、第１ローラ５よりも後ろに設けられ、グリーンシート４が形成されたキャリアフィルム２は、第１ローラ５と第２ローラ６との間、および、第３ローラ３７と第２ローラ６との間に搬送される。なお、第３実施形態においては、グリーンシート４が剥離された後のキャリアフィルム２は、第１ローラ５および第３ローラ３７側に曲げて牽引されて回収されている。第３実施形態のその他の構成については第１実施形態と同じにした。
　第３実施形態においては、第３ローラ３７を追加したことにより、第１実施形態の吸引保持可能領域Ａ１や、第２実施形態の吸引保持可能領域Ａ２１に比べて、吸引保持可能領域Ａ３１の面積が非常に大きくなっている。そのため、第３実施形態においては、第１実施形態や第２実施形態よりも、更に確実に、第２ローラ６によってグリーンシート４を剥離し、保持することができる。
　［第４実施形態］
　第３実施形態の構成の一部に変更を加えて、第４実施形態にかかる電子部品の製造方法を実施した。図８を参照して説明する。
　第４実施形態では、第３実施形態で使用した第３ローラ３７を、ナイフエッジ４８に置換えた。ナイフエッジ４８とは、キャリアフィルム２の搬送方向を変えることができる、鋭角のエッジを備えた金属部材である。第４実施形態のその他の構成については、第３実施形態と同じにした。
　第４実施形態においても、吸引保持可能領域Ａ４１の面積が非常に大きくなっている。そのため、第４実施形態においても、第１実施形態や第２実施形態よりも、更に確実に、第２ローラ６によってグリーンシート４を剥離し、保持することができる。
　［第５実施形態］
　第３実施形態の構成の一部に変更を加えて、第５実施形態にかかる電子部品の製造方法を実施した。図９を参照して説明する。
　第５実施形態では、第３実施形態で使用した第３ローラ３７を、冷却機能を備えた第３ローラ５７に置換えた。第５実施形態のその他の構成については、第３実施形態と同じにした。
　第３ローラ５７は、冷却機能によって、キャリアフィルム２およびグリーンシート４の温度を下げることができる。すなわち、上述したとおり、グリーンシート４の温度がガラス転移点（Ｔｇ）以上である場合には、グリーンシート４の温度が高くなればなるほど、グリーンシート４はキャリアフィルム２から剥離し難くなる。一方、第２ローラ６の表面に保持されたグリーンシート４は、後に実施される積層工程の加熱圧着を良好におこなうために、熱源６ｂによって加熱されている。そして、第２ローラ６の表面に保持されたグリーンシート４は、通常、ガラス転移点（Ｔｇ）よりも高い温度になっている。そこで、第５実施形態においては、グリーンシート４とキャリアフィルム２とが分離する点の近くに配置された第３ローラ５７に冷却機能をもたせることによって、グリーンシート４の温度を、一時的に、かつ、部分的に下げ、ガラス転移点（Ｔｇ）に近づけることによって、グリーンシート４のキャリアフィルム２からの剥離を容易にするようにした。
　第５実施形態においては、第３ローラ５７が冷却機能を備えており、グリーンシート４の温度を下げることができるため、グリーンシート４をキャリアフィルム２から容易に剥離することができる。
　以上、第１実施形態～第５実施形態にかかる電子部品の製造方法について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更をなすことができる。
　たとえば、上記実施形態においては、電子部品として積層セラミックコンデンサを作製したが、作製する電子部品の種類は任意であり、積層セラミックサーミスタ、積層セラミックインダクタ、積層セラミック複合部品など、他の種類の電子部品であってもよい。
　また、上記実施形態においては、剥離ローラである第２ローラ６が積層ローラを兼ねているが、剥離ローラである第２ローラ６と積層ローラとを別々にして、第２ローラ６に保持されたグリーンシート４を積層ローラに受け渡し、積層ローラを使ってグリーンシート４を積層し、加熱圧着するようにしても良い。また、この場合において、剥離ローラである第２ローラ６と、専用の積層ローラとの間に、グリーンシート４の受け渡しに使用する中継ローラを設けても良い。
　本発明の一実施態様にかかる電子部品の製造方法は、「課題を解決するための手段」の欄に記載したとおりである。
　この電子部品の製造方法において、第２ローラの表面の温度が、第２ローラの内部に設けられた熱源によって加熱されることによって、４０℃よりも高く、かつ、１００℃よりも低く維持されるようにしても良い。４０℃よりも高くするのは、グリーンシートを効果的に加熱するためである。１００℃より低くするのは、キャリアフィルムの破損を確実に回避するためである。
　また、第１ローラが、表面がゴムによって作製されたゴムローラーであっても良い。この場合には、第１ローラが、グリーンシートが形成されたキャリアフィルムを介して、弾性をもって、若干、変形した状態で第２ローラに接する。そのため、吸引保持可能領域の面積が大きくなり、より確実に、第２ローラによってグリーンシートを剥離し、保持することが可能になる。
　また、キャリアフィルムの搬送路において、第１ローラよりも後ろに第３ローラが設けられ、グリーンシートが形成されたキャリアフィルムを、第１ローラと第２ローラとの間、および、第３ローラと第２ローラとの間に搬送させるようにしても良い。この場合には、吸引保持可能領域の面積が非常に大きくなるため、更に確実に、第２ローラによってグリーンシートを剥離し、保持することが可能になる。
　この場合において、第３ローラが冷却され、第３ローラによってキャリアフィルムおよびグリーンシートが冷却されるようにしても良い。この場合には、第２ローラの熱源によって加熱されたグリーンシートの温度を下げることができるため、グリーンシートをキャリアフィルムから容易に剥離することができる。
　また、キャリアフィルムの搬送路において、第１ローラよりも後ろにナイフエッジが設けられ、グリーンシートが形成されたキャリアフィルムを、第１ローラと第２ローラとの間、および、ナイフエッジと第２ローラとの間に搬送させるようにしても良い。この場合にも、吸引保持可能領域の面積が非常に大きくなるため、更に確実に、第２ローラによってグリーンシートを剥離し、保持することが可能になる。
　剥離工程の後に、グリーンシートを積層する積層工程を備えても良い。この積層工程は、たとえば、第２ローラを使用して実施することができる。あるいは、この積層工程は、専用の積層ローラを使用して実施することができる。
１・・・長尺状のグリーンシート
２・・・キャリアフィルム
３ａ、３ｂ・・・カット刃
４・・・矩形状のグリーンシート
５、２５・・・第１ローラ
６・・・第２ローラ
６ａ・・・通気孔
６ｂ・・・熱源
３７、５７・・・第３ローラ
４８・・・ナイフエッジ
Ａ１、Ａ２１、Ａ３１、Ａ４１、Ａ５１・・・吸引保持可能領域
Ａ２・・・通気孔６ａが吸引状態にある領域
Ａ３・・・通気孔６ａが排気状態（又は大気開放状態）にある領域
Ｌ１・・・第２ローラ６の接線
ＳＡ・・・剥離角度
ＨＡ・・・抱き角度

Claims (10)

  1. 　電子部品の製造方法であって、
    　矩形状に切断されたグリーンシートが表面に形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する準備工程と、
    　前記グリーンシートが形成された前記キャリアフィルムを、第１ローラと、表面に通気孔が形成された第２ローラとの間に搬送させ、前記グリーンシートを、前記通気孔によって吸引して前記キャリアフィルムから剥離し、前記第２ローラの表面に保持する剥離工程と、を備え、
    　前記剥離工程において、
    　前記グリーンシートが剥離された後の前記キャリアフィルムは、前記第１ローラ側に曲げて牽引されて回収され、
    　前記第２ローラの表面の温度は、前記第２ローラの内部に設けられた熱源によって加熱されることによって、室温よりも高く、かつ、１２０℃よりも低く維持される、電子部品の製造方法。
  2. 　前記第２ローラの表面の温度が、前記第２ローラの内部に設けられた熱源によって加熱されることによって、４０℃よりも高く、かつ、１００℃よりも低く維持される、請求項１に記載された電子部品の製造方法。
  3. 　前記第１ローラが、表面がゴムによって作製されたゴムローラーである、請求項１または２に記載された電子部品の製造方法。
  4. 　前記キャリアフィルムの搬送路において、前記第１ローラよりも後ろに第３ローラが設けられ、
    　前記グリーンシートが形成された前記キャリアフィルムを、前記第１ローラと前記第２ローラとの間、および、前記第３ローラと前記第２ローラとの間に搬送させる、請求項１ないし３のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
  5. 　前記第３ローラが冷却され、前記第３ローラによって前記キャリアフィルムおよび前記グリーンシートが冷却される、請求項４に記載された電子部品の製造方法。
  6. 　前記キャリアフィルムの搬送路において、前記第１ローラよりも後ろにナイフエッジが設けられ、
    　前記グリーンシートが形成された前記キャリアフィルムを、前記第１ローラと前記第２ローラとの間、および、前記ナイフエッジと前記第２ローラとの間に搬送させる、請求項１ないし３のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
  7. 　前記剥離工程の後に、前記グリーンシートを積層する積層工程を備えた、請求項１ないし６のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
  8. 　前記積層工程が、前記第２ローラを使用して実施される、請求項７に記載された電子部品の製造方法。
  9. 　前記積層工程が、専用の積層ローラを使用して実施される、請求項７に記載された電子部品の製造方法。
  10. 　製造される電子部品が積層セラミックコンデンサである、請求項１ないし９のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
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