JPH07164418A - セラミックグリーンシートの製造方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの製造方法Info
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- JPH07164418A JPH07164418A JP31526993A JP31526993A JPH07164418A JP H07164418 A JPH07164418 A JP H07164418A JP 31526993 A JP31526993 A JP 31526993A JP 31526993 A JP31526993 A JP 31526993A JP H07164418 A JPH07164418 A JP H07164418A
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- green sheet
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 リールから繰り出し、以後の工程において加
熱された場合であってもシートの収縮が生じ難い、寸法
安定性に優れたセラミックグリーンシートの製造方法を
得る。 【構成】 支持フィルム１上にてセラミックグリーンシ
ート３を成形した後、冷却装置４によりセラミックグリ
ーンシート３を冷却しつつ、該セラミックグリーンシー
ト３をリール５に巻回するセラミックグリーンシートの
製造方法。
熱された場合であってもシートの収縮が生じ難い、寸法
安定性に優れたセラミックグリーンシートの製造方法を
得る。 【構成】 支持フィルム１上にてセラミックグリーンシ
ート３を成形した後、冷却装置４によりセラミックグリ
ーンシート３を冷却しつつ、該セラミックグリーンシー
ト３をリール５に巻回するセラミックグリーンシートの
製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば積層セラミック
電子部品の製造に用いられるセラミックグリーンシート
の製造方法に関し、特に、セラミックグリーンシートを
リールに巻回するまでの工程が改良されたセラミックグ
リーンシートの製造方法に関する。
電子部品の製造に用いられるセラミックグリーンシート
の製造方法に関し、特に、セラミックグリーンシートを
リールに巻回するまでの工程が改良されたセラミックグ
リーンシートの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば積層コンデンサの製造に際して
は、先ず、ポリエチレンテレフタレートなどの合成樹脂
よりなる支持フィルム上において、セラミック粉末、バ
インダ樹脂及び溶媒等を含むセラミックスラリーを所望
の厚みに塗布し、乾燥させることにより、セラミックグ
リーンシートを成形する。次に、支持フィルム上にて成
形されたセラミックグリーンシートを、該支持フィルム
から剥離してリールに巻回する。
は、先ず、ポリエチレンテレフタレートなどの合成樹脂
よりなる支持フィルム上において、セラミック粉末、バ
インダ樹脂及び溶媒等を含むセラミックスラリーを所望
の厚みに塗布し、乾燥させることにより、セラミックグ
リーンシートを成形する。次に、支持フィルム上にて成
形されたセラミックグリーンシートを、該支持フィルム
から剥離してリールに巻回する。
【０００３】上記のようにリールに巻回された状態で用
意されたセラミックグリーンシートを該リールから引き
出し、所定の寸法の矩形形状のマザーのセラミックグリ
ーンシートを打ち抜き、複数枚のマザーのセラミックグ
リーンシートを得る。しかる後、マザーのセラミックグ
リーンシートの一方主面に導電ペーストを印刷し、加熱
・乾燥させる。次に、電極パターンの形成されたマザー
のセラミックグリーンシートを複数枚積層し、上下に電
極パターンの成形されていないマザーのセラミックグリ
ーンシートを適宜の枚数積層し、厚み方向に加圧して積
層体を得る。得られた積層体を、個々の積層コンデンサ
単位に切り出し、しかる後焼成し、焼結体を得る。この
ようにして得られた焼結体の両端面に外部電極を付与す
ることにより、積層コンデンサが得られる。
意されたセラミックグリーンシートを該リールから引き
出し、所定の寸法の矩形形状のマザーのセラミックグリ
ーンシートを打ち抜き、複数枚のマザーのセラミックグ
リーンシートを得る。しかる後、マザーのセラミックグ
リーンシートの一方主面に導電ペーストを印刷し、加熱
・乾燥させる。次に、電極パターンの形成されたマザー
のセラミックグリーンシートを複数枚積層し、上下に電
極パターンの成形されていないマザーのセラミックグリ
ーンシートを適宜の枚数積層し、厚み方向に加圧して積
層体を得る。得られた積層体を、個々の積層コンデンサ
単位に切り出し、しかる後焼成し、焼結体を得る。この
ようにして得られた焼結体の両端面に外部電極を付与す
ることにより、積層コンデンサが得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の製造方
法のようにリールに巻回されたセラミックグリーンシー
トを用意する場合、支持フィルムからセラミックグリー
ンシートを剥離するに際し、セラミックグリーンシート
には張力が加わる。その結果、セラミックグリーンシー
トが該張力により伸び、伸ばされた状態のままリールに
巻回されることになる。従って、巻回された状態におい
ては、伸ばされた際の応力が開放されず、伸ばされた状
態のまま安定することになる。
法のようにリールに巻回されたセラミックグリーンシー
トを用意する場合、支持フィルムからセラミックグリー
ンシートを剥離するに際し、セラミックグリーンシート
には張力が加わる。その結果、セラミックグリーンシー
トが該張力により伸び、伸ばされた状態のままリールに
巻回されることになる。従って、巻回された状態におい
ては、伸ばされた際の応力が開放されず、伸ばされた状
態のまま安定することになる。
【０００５】他方、上記のようにして巻回されたセラミ
ックグリーンシートをリールから繰り出し、適当な寸法
に打ち抜き、電極パターンを印刷した後加熱・乾燥する
と、該加熱により上記応力が開放され、セラミックグリ
ーンシートが収縮する。このセラミックグリーンシート
の収縮量は上記応力の大きさ、加熱・乾燥条件等により
一定ではない。従って、セラミックグリーンシートの寸
法がばらつきがちとなり、かつ電極パターンを高精度に
印刷したとしても、最終的に得られたマザーのセラミッ
クグリーンシートにおける電極位置精度がばらつくとい
う問題があった。
ックグリーンシートをリールから繰り出し、適当な寸法
に打ち抜き、電極パターンを印刷した後加熱・乾燥する
と、該加熱により上記応力が開放され、セラミックグリ
ーンシートが収縮する。このセラミックグリーンシート
の収縮量は上記応力の大きさ、加熱・乾燥条件等により
一定ではない。従って、セラミックグリーンシートの寸
法がばらつきがちとなり、かつ電極パターンを高精度に
印刷したとしても、最終的に得られたマザーのセラミッ
クグリーンシートにおける電極位置精度がばらつくとい
う問題があった。
【０００６】本発明の目的は、加熱・乾燥に際しての収
縮が少なく、寸法ばらつきの少ないセラミックグリーン
シートを安定に供給することを可能とするセラミックグ
リーンシートの製造方法を提供することにある。
縮が少なく、寸法ばらつきの少ないセラミックグリーン
シートを安定に供給することを可能とするセラミックグ
リーンシートの製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、支持フィルム
上にてセラミックグリーンシートを成形する工程と、前
記セラミックグリーンシートを、含有されているバイン
ダ樹脂のガラス転移点±５℃の温度に冷却しつつ、前記
支持フィルムから剥離する工程と、前記セラミックグリ
ーンシートをリールに巻回する工程とを備える、セラミ
ックグリーンシートの製造方法である。
上にてセラミックグリーンシートを成形する工程と、前
記セラミックグリーンシートを、含有されているバイン
ダ樹脂のガラス転移点±５℃の温度に冷却しつつ、前記
支持フィルムから剥離する工程と、前記セラミックグリ
ーンシートをリールに巻回する工程とを備える、セラミ
ックグリーンシートの製造方法である。
【０００８】
【作用】セラミックグリーンシートの伸びは含まれてい
るバインダ樹脂の作用による。そこで、本発明では、セ
ラミックグリーンシートを支持フィルムから剥離する際
に、上記バインダ樹脂のガラス転移点ｔｇ±５℃の温度
までセラミックグリーンシートを冷却することにより、
セラミックグリーンシートが伸び難くされている。よっ
て、巻回されたセラミックグリーンシートをリールから
繰り出し、後の工程において加熱・乾燥したとしても、
巻回に際して伸ばされていないため、収縮が生じ難い。
るバインダ樹脂の作用による。そこで、本発明では、セ
ラミックグリーンシートを支持フィルムから剥離する際
に、上記バインダ樹脂のガラス転移点ｔｇ±５℃の温度
までセラミックグリーンシートを冷却することにより、
セラミックグリーンシートが伸び難くされている。よっ
て、巻回されたセラミックグリーンシートをリールから
繰り出し、後の工程において加熱・乾燥したとしても、
巻回に際して伸ばされていないため、収縮が生じ難い。
【０００９】
【発明の効果】本発明のセラミックグリーンシートの製
造方法では、支持フィルムからセラミックグリーンシー
トを剥離するに際し、セラミックグリーンシートが冷却
されるので、伸びが抑制された状態でセラミックグリー
ンシートがリールに巻回される。よって、セラミックグ
リーンシートをリールから繰り出し、後工程において加
熱・乾燥等を行ったとしても、セラミックグリーンシー
トの収縮が生じ難い。
造方法では、支持フィルムからセラミックグリーンシー
トを剥離するに際し、セラミックグリーンシートが冷却
されるので、伸びが抑制された状態でセラミックグリー
ンシートがリールに巻回される。よって、セラミックグ
リーンシートをリールから繰り出し、後工程において加
熱・乾燥等を行ったとしても、セラミックグリーンシー
トの収縮が生じ難い。
【００１０】よって、寸法安定性に優れたセラミックグ
リーンシートを提供することができ、例えば積層コンデ
ンサなどのセラミック積層電子部品の製造方法に用いた
場合には、セラミックグリーンシートの寸法ばらつきや
電極位置精度のばらつきの少ないセラミック積層電子部
品を安定に供給することができ、静電容量などの特性の
安定なセラミック電子部品を提供することが可能とな
る。
リーンシートを提供することができ、例えば積層コンデ
ンサなどのセラミック積層電子部品の製造方法に用いた
場合には、セラミックグリーンシートの寸法ばらつきや
電極位置精度のばらつきの少ないセラミック積層電子部
品を安定に供給することができ、静電容量などの特性の
安定なセラミック電子部品を提供することが可能とな
る。
【００１１】
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ、実施例を説
明することにより、本発明を明らかにする。
明することにより、本発明を明らかにする。
【００１２】図１は、本発明の一実施例を説明するため
の模式的側面図である。本実施例では、まず、ポリエチ
レンテレフタレート等の合成樹脂フィルムよりなる支持
フィルム１を図示の矢印方向に搬送させる。次に、シー
ト成形部２において、上記支持フィルム１上にセラミッ
クスラリーを所定の厚みに塗布し、乾燥させることによ
り、セラミックグリーンシート３を成形する。
の模式的側面図である。本実施例では、まず、ポリエチ
レンテレフタレート等の合成樹脂フィルムよりなる支持
フィルム１を図示の矢印方向に搬送させる。次に、シー
ト成形部２において、上記支持フィルム１上にセラミッ
クスラリーを所定の厚みに塗布し、乾燥させることによ
り、セラミックグリーンシート３を成形する。
【００１３】セラミックグリーンシート３の成形方法に
ついては、ドクターブレード法、ロールコーターを用い
た方法など適宜の方法を採用することができる。また、
使用するセラミックスラリーについても、種々のセラミ
ック粉末、有機バインダ及び充填剤に溶剤を混合してな
る適宜の組成のものを用いることができ、特に限定され
るものではない。
ついては、ドクターブレード法、ロールコーターを用い
た方法など適宜の方法を採用することができる。また、
使用するセラミックスラリーについても、種々のセラミ
ック粉末、有機バインダ及び充填剤に溶剤を混合してな
る適宜の組成のものを用いることができ、特に限定され
るものではない。
【００１４】次に、セラミックグリーンシート３を支持
フィルム１から剥離するに際し、剥離される部分Ａ近傍
に冷却装置４を配置し、冷風を吹き付ける。冷風の温度
は、セラミックグリーンシート３の表面温度が、含有さ
れているバインダ樹脂のガラス転移点ｔｇ±５℃の温度
になるように選ばれる。なお、冷却装置４による冷却は
冷風に限ることはなく、冷却パイプの当接等任意に選ば
れる。該冷風の吹き付けにより、セラミックグリーンシ
ート３を冷却し、リール（ローラ）５に巻回する。リー
ル５は、図示の矢印で示すように時計方向に回転されて
おり、該リール５によりセラミックグリーンシート３を
巻回するに際し、セラミックグリーンシート３にはその
長さ方向に張力が加えられる。しかしながら、本実施例
では、上記冷風の吹き付けにより、セラミックグリーン
シート３が冷却されているため、該セラミックグリーン
シート３は巻回に際しての張力によりさほど伸びない。
フィルム１から剥離するに際し、剥離される部分Ａ近傍
に冷却装置４を配置し、冷風を吹き付ける。冷風の温度
は、セラミックグリーンシート３の表面温度が、含有さ
れているバインダ樹脂のガラス転移点ｔｇ±５℃の温度
になるように選ばれる。なお、冷却装置４による冷却は
冷風に限ることはなく、冷却パイプの当接等任意に選ば
れる。該冷風の吹き付けにより、セラミックグリーンシ
ート３を冷却し、リール（ローラ）５に巻回する。リー
ル５は、図示の矢印で示すように時計方向に回転されて
おり、該リール５によりセラミックグリーンシート３を
巻回するに際し、セラミックグリーンシート３にはその
長さ方向に張力が加えられる。しかしながら、本実施例
では、上記冷風の吹き付けにより、セラミックグリーン
シート３が冷却されているため、該セラミックグリーン
シート３は巻回に際しての張力によりさほど伸びない。
【００１５】従って、リール５に巻回されたセラミック
グリーンシートから、マザーのセラミックグリーンシー
トを打ち抜き、電極ペーストの塗布後に加熱・乾燥した
としても、セラミックグリーンシートの収縮が生じ難
い。
グリーンシートから、マザーのセラミックグリーンシー
トを打ち抜き、電極ペーストの塗布後に加熱・乾燥した
としても、セラミックグリーンシートの収縮が生じ難
い。
【００１６】次に、具体的な実験例につき説明する。セ
ラミック粉末に、バインダ樹脂としてポリ酢酸ビニル、
溶剤として純水を混合してなるセラミックスラリーを用
いて約２０μｍの厚みに成形し、セラミックグリーンシ
ート３を得た。次に、上記セラミックグリーンシート３
を剥離するに際し、図１に示した冷却装置４から吹き付
ける冷風の温度を種々変更することにより、種々のセラ
ミックグリーンシート３をリール５に巻回した。なお、
比較のために、冷却装置４を動作させないで、すなわち
従来法と同様にして、リール５にセラミックグリーンシ
ート３を巻回した。
ラミック粉末に、バインダ樹脂としてポリ酢酸ビニル、
溶剤として純水を混合してなるセラミックスラリーを用
いて約２０μｍの厚みに成形し、セラミックグリーンシ
ート３を得た。次に、上記セラミックグリーンシート３
を剥離するに際し、図１に示した冷却装置４から吹き付
ける冷風の温度を種々変更することにより、種々のセラ
ミックグリーンシート３をリール５に巻回した。なお、
比較のために、冷却装置４を動作させないで、すなわち
従来法と同様にして、リール５にセラミックグリーンシ
ート３を巻回した。
【００１７】次に、上記のようにして用意したリール５
に巻回された複数種のセラミックグリーンシートを、リ
ール５から繰り出し、それぞれ８０×６０ｍｍの矩形形
状に打ち抜き、８０℃の温度に加熱した後の収縮量を測
定した。結果を表１に示す。なお、表１に示すシート収
縮量は、セラミックグリーンシートの長さ方向１ｍｍに
対する収縮量を示す。
に巻回された複数種のセラミックグリーンシートを、リ
ール５から繰り出し、それぞれ８０×６０ｍｍの矩形形
状に打ち抜き、８０℃の温度に加熱した後の収縮量を測
定した。結果を表１に示す。なお、表１に示すシート収
縮量は、セラミックグリーンシートの長さ方向１ｍｍに
対する収縮量を示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】表１から明らかなように、セラミックグリ
ーンシートを（バインダ樹脂のガラス転移点）＋５℃以
下に冷却することにより、シート収縮量を著しく小さく
し得ることがわかる。他方、セラミックグリーンシート
の表面温度を、粘弾性が急激に小さくなる温度（バイン
ダ樹脂のガラス転移点）−５℃よりも低くした場合に
は、収縮量こそ小さくなるものの、キャリアフィルム２
からの剥離が困難となった。従って、上記実験例で使用
したセラミックグリーンシート及び支持フィルムでは、
冷却装置４による冷却温度範囲は、（バインダ樹脂のガ
ラス転移点）±５℃であることがわかる。
ーンシートを（バインダ樹脂のガラス転移点）＋５℃以
下に冷却することにより、シート収縮量を著しく小さく
し得ることがわかる。他方、セラミックグリーンシート
の表面温度を、粘弾性が急激に小さくなる温度（バイン
ダ樹脂のガラス転移点）−５℃よりも低くした場合に
は、収縮量こそ小さくなるものの、キャリアフィルム２
からの剥離が困難となった。従って、上記実験例で使用
したセラミックグリーンシート及び支持フィルムでは、
冷却装置４による冷却温度範囲は、（バインダ樹脂のガ
ラス転移点）±５℃であることがわかる。
【図１】実施例のセラミックグリーンシートの製造方法
を説明するための模式的側面図。
を説明するための模式的側面図。
１…支持フィルム ２…シート成形部 ３…セラミックグリーンシート ４…冷却装置 ５…リール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 米田 康信 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内
Claims (1)
- 【請求項１】 支持フィルム上にてセラミックグリーン
シートを成形する工程と、 前記セラミックグリーンシートを、含有されているバイ
ンダ樹脂のガラス転移点±５℃の温度に冷却しつつ、前
記支持フィルムから剥離する工程と、 前記セラミックグリーンシートをリールに巻回する工程
とを備える、セラミックグリーンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31526993A JP3175451B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | セラミックグリーンシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31526993A JP3175451B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | セラミックグリーンシートの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07164418A true JPH07164418A (ja) | 1995-06-27 |
| JP3175451B2 JP3175451B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=18063392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31526993A Expired - Fee Related JP3175451B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | セラミックグリーンシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3175451B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020162578A1 (ja) * | 2019-02-08 | 2020-08-13 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法 |
-
1993
- 1993-12-15 JP JP31526993A patent/JP3175451B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020162578A1 (ja) * | 2019-02-08 | 2020-08-13 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法 |
| JPWO2020162578A1 (ja) * | 2019-02-08 | 2021-11-04 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3175451B2 (ja) | 2001-06-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |