JP2734833B2 - 積層電子部品の製造方法 - Google Patents
積層電子部品の製造方法Info
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- JP2734833B2 JP2734833B2 JP3256407A JP25640791A JP2734833B2 JP 2734833 B2 JP2734833 B2 JP 2734833B2 JP 3256407 A JP3256407 A JP 3256407A JP 25640791 A JP25640791 A JP 25640791A JP 2734833 B2 JP2734833 B2 JP 2734833B2
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- carrier film
- film
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサ等積層電子部品の製造方法に関し、特にその製造工
程の内、セラミックグリーンシートに電極パターンを印
刷して乾燥する工程における技術に関する。
ンサ等積層電子部品の製造方法に関し、特にその製造工
程の内、セラミックグリーンシートに電極パターンを印
刷して乾燥する工程における技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ＩＣ回路素子として設計された
コンデンサの一つに、積層構造をなす積層セラミックコ
ンデンサがある。その製造方法については、先ず、セラ
ミック誘電体原料（ＴｉＯ2 、ＢａＴｉＯ3 等を主たる
成分とするもの）を薄いシート状に成形したセラミック
グリーンシートの表面に対し、金属導体を含むペースト
を使用し、所定の電極パターン（積層状態において、コ
ンデンサの内部電極になるもの）を印刷した後、乾燥す
る。次に、この乾燥シートを数層から数十層積み重ねて
圧着した後、所定のチップサイズにカットする。続い
て、カットされた各チップを１５００℃程度で焼結させ
た後、各チップの外側面部分に外部電極を設けて、製品
となす。
コンデンサの一つに、積層構造をなす積層セラミックコ
ンデンサがある。その製造方法については、先ず、セラ
ミック誘電体原料（ＴｉＯ2 、ＢａＴｉＯ3 等を主たる
成分とするもの）を薄いシート状に成形したセラミック
グリーンシートの表面に対し、金属導体を含むペースト
を使用し、所定の電極パターン（積層状態において、コ
ンデンサの内部電極になるもの）を印刷した後、乾燥す
る。次に、この乾燥シートを数層から数十層積み重ねて
圧着した後、所定のチップサイズにカットする。続い
て、カットされた各チップを１５００℃程度で焼結させ
た後、各チップの外側面部分に外部電極を設けて、製品
となす。
【０００３】また、上記した積層コンデンサに限らず、
積層インダクタやその他の積層電子部品についても、当
然のことながら、上述したのと同様な一連の工程によっ
て製造される。ところで、上述したセラミックグリーン
シートの成形については、次のようにして行われてい
る。即ち、長尺状のキャリヤフィルムを走行させ、例え
ば、ドクターブレード法によって、その表面に対してセ
ラミックスラリー（シート原料に溶媒や結合剤等を加え
て混合調整したもののこと）を所定厚みに塗布した後、
これを乾燥し、該キャリヤフィルムと共にリールに巻き
取る。これは、成形するセラミックグリーンシートの厚
みが一般に１０〜数１０μｍと、非常に薄いものである
から、該キャリヤフィルムによって裏打ち補強した状態
で、次工程における加工に供しようとするものである。
積層インダクタやその他の積層電子部品についても、当
然のことながら、上述したのと同様な一連の工程によっ
て製造される。ところで、上述したセラミックグリーン
シートの成形については、次のようにして行われてい
る。即ち、長尺状のキャリヤフィルムを走行させ、例え
ば、ドクターブレード法によって、その表面に対してセ
ラミックスラリー（シート原料に溶媒や結合剤等を加え
て混合調整したもののこと）を所定厚みに塗布した後、
これを乾燥し、該キャリヤフィルムと共にリールに巻き
取る。これは、成形するセラミックグリーンシートの厚
みが一般に１０〜数１０μｍと、非常に薄いものである
から、該キャリヤフィルムによって裏打ち補強した状態
で、次工程における加工に供しようとするものである。
【０００４】一方、かかるセラミックグリーンシート上
に電極パターンとしての導電性膜を形成することについ
ては、次のようにして行われている。即ち、キャリヤフ
ィルムと共にリールに巻き取られたセラミックグリーン
シートを繰り出しながら走行させ、その表面に対し、導
電性ペーストによる電極パターンのスクリーン印刷が行
われる。続いて、電極パターンが印刷されたセラミック
グリーンシートは、乾燥された後冷却されて、再び巻取
りリールに巻取られる。そして、ここで巻き取られた乾
燥シートについては、次工程である積層工程においてキ
ャリヤフィルムから剥離され、電極膜形成シートとして
積層される。
に電極パターンとしての導電性膜を形成することについ
ては、次のようにして行われている。即ち、キャリヤフ
ィルムと共にリールに巻き取られたセラミックグリーン
シートを繰り出しながら走行させ、その表面に対し、導
電性ペーストによる電極パターンのスクリーン印刷が行
われる。続いて、電極パターンが印刷されたセラミック
グリーンシートは、乾燥された後冷却されて、再び巻取
りリールに巻取られる。そして、ここで巻き取られた乾
燥シートについては、次工程である積層工程においてキ
ャリヤフィルムから剥離され、電極膜形成シートとして
積層される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、通
常、グリーンシートは長尺状のキャリヤフィルムによっ
て裏打ちされた状態で取り扱われ、これを走行させなが
ら電極パターンの印刷及び乾燥（加熱処理）が行われる
ようになっている。この場合、かかる長尺状のキャリヤ
フィルムを走行させるにあたっては、蛇行や皺の発生を
防止するために、該キャリヤフィルムの送り方向に対し
て引張力（テンション）が加えられるようになっている
（具体的には、段差ローラを使用したテンションコント
ロールが行われている）。
常、グリーンシートは長尺状のキャリヤフィルムによっ
て裏打ちされた状態で取り扱われ、これを走行させなが
ら電極パターンの印刷及び乾燥（加熱処理）が行われる
ようになっている。この場合、かかる長尺状のキャリヤ
フィルムを走行させるにあたっては、蛇行や皺の発生を
防止するために、該キャリヤフィルムの送り方向に対し
て引張力（テンション）が加えられるようになっている
（具体的には、段差ローラを使用したテンションコント
ロールが行われている）。
【０００６】一方、乾燥処理状態下においては、該キャ
リヤフィルムは加熱されているため、かなり軟化した状
態にある。このため、その走行方向に対しては引っ張ら
れて伸び、その幅方向に対しては収縮するといった問題
が発生する。そして、このようなキャリヤフィルムにお
ける寸法変化が発生した場合には、せっかく印刷した電
極パターンが、その図形変形を引き起こす結果を招いて
しまうことになる。従って、一般に乾燥工程において
は、加工上の諸条件の管理をかなり慎重に行う必要があ
る。
リヤフィルムは加熱されているため、かなり軟化した状
態にある。このため、その走行方向に対しては引っ張ら
れて伸び、その幅方向に対しては収縮するといった問題
が発生する。そして、このようなキャリヤフィルムにお
ける寸法変化が発生した場合には、せっかく印刷した電
極パターンが、その図形変形を引き起こす結果を招いて
しまうことになる。従って、一般に乾燥工程において
は、加工上の諸条件の管理をかなり慎重に行う必要があ
る。
【０００７】このような問題に対しては、ピンテンター
のような巾出し装置の導入も考えられないでもないが、
装置の複雑化を招くことになるし、加工コストアップの
原因をつくることにもなってしまう。また、たとえこの
ような装置を導入したとしてもキャリヤフィルムの寸法
変化を完全に防止しきれるものではない。他の実用的な
対策方法として、キャリヤフィルム自体の熱的特性を改
善する方法も考えられている。このような方法によれ
ば、既存の設備を変更することなく、上記のような問題
の解決を図ることができる。その一例として、約１００
℃の温度雰囲気中において、無緊張条件の下でのフィル
ムの熱収縮率を約０．１％に改善したフィルムが紹介さ
れている。しかしながら、このような熱的特性の改善が
なされたキャリヤフィルムを使用した場合においても、
加熱状態下にあり、更に引張られるという緊張条件下に
あっては、その特性を十分に発揮することができない。
これは、あくまで無緊張条件の下での熱的特性の改善で
あるから、緊張下においての対応策にはなり得ないので
ある。
のような巾出し装置の導入も考えられないでもないが、
装置の複雑化を招くことになるし、加工コストアップの
原因をつくることにもなってしまう。また、たとえこの
ような装置を導入したとしてもキャリヤフィルムの寸法
変化を完全に防止しきれるものではない。他の実用的な
対策方法として、キャリヤフィルム自体の熱的特性を改
善する方法も考えられている。このような方法によれ
ば、既存の設備を変更することなく、上記のような問題
の解決を図ることができる。その一例として、約１００
℃の温度雰囲気中において、無緊張条件の下でのフィル
ムの熱収縮率を約０．１％に改善したフィルムが紹介さ
れている。しかしながら、このような熱的特性の改善が
なされたキャリヤフィルムを使用した場合においても、
加熱状態下にあり、更に引張られるという緊張条件下に
あっては、その特性を十分に発揮することができない。
これは、あくまで無緊張条件の下での熱的特性の改善で
あるから、緊張下においての対応策にはなり得ないので
ある。
【０００８】本発明は、かかる問題を解決するためにな
されたものであり、セラミックグリーンシート上に精度
よく電極パターンを形成せしめ、所要の積層成分となす
ことを可能とする積層電子部品の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
されたものであり、セラミックグリーンシート上に精度
よく電極パターンを形成せしめ、所要の積層成分となす
ことを可能とする積層電子部品の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、長尺状のキャ
リヤフィルムによって裏打ちされたセラミックグリーン
シートを送り方向に引張力を加えながら走行させ、その
表面に、電極パターンを印刷した後、乾燥せしめて電極
膜形成シートとなす積層電子部品の製造方法において、
前記キャリアフィルムとして、乾燥時にその走行方向に
対して加えられる引張力に見合うだけの熱収縮を行うフ
ィルムを用いることを特徴としている。
リヤフィルムによって裏打ちされたセラミックグリーン
シートを送り方向に引張力を加えながら走行させ、その
表面に、電極パターンを印刷した後、乾燥せしめて電極
膜形成シートとなす積層電子部品の製造方法において、
前記キャリアフィルムとして、乾燥時にその走行方向に
対して加えられる引張力に見合うだけの熱収縮を行うフ
ィルムを用いることを特徴としている。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、長尺状のキャリヤフィルム
により裏打ちされたセラミックグリーンシートが走行せ
られ、その表面に対して、電極パターンが印刷される。
これに連続して、印刷済みシートは乾燥に付され、電極
膜を形成した長尺状の乾燥シートを得る。
により裏打ちされたセラミックグリーンシートが走行せ
られ、その表面に対して、電極パターンが印刷される。
これに連続して、印刷済みシートは乾燥に付され、電極
膜を形成した長尺状の乾燥シートを得る。
【００１１】ここで、キャリヤフィルムを走行させるに
あたっては、蛇行や皺の発生を防止するために、その走
行方向に対して引張力が付与されている。また、乾燥状
況下にあっては、キャリヤフィルムは同時に加熱作用を
受けている。このため、キャリヤフィルムはその走行方
向に伸び、これと直交する幅方向に収縮する傾向にある
が、キャリヤフィルムとして、走行方向に対して加えら
れる引張力に抗して所要量の熱収縮を行うフィルムを用
いているので、走行方向に対する収縮は勿論のこと、幅
方向の収縮についても極力最小限に抑えられる。
あたっては、蛇行や皺の発生を防止するために、その走
行方向に対して引張力が付与されている。また、乾燥状
況下にあっては、キャリヤフィルムは同時に加熱作用を
受けている。このため、キャリヤフィルムはその走行方
向に伸び、これと直交する幅方向に収縮する傾向にある
が、キャリヤフィルムとして、走行方向に対して加えら
れる引張力に抗して所要量の熱収縮を行うフィルムを用
いているので、走行方向に対する収縮は勿論のこと、幅
方向の収縮についても極力最小限に抑えられる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に従って具体
的に説明する。図１は本発明にかかる積層電子部品に使
用する電極パターン形成シートの製造方法を示す製造工
程説明図である。図面からも明らかなように、この製造
工程は、表面にセラミックグリーンシートが形成された
キャリヤフィルム１が巻かれた巻出しリール２からキャ
リヤフィルム１が矢印Ａで示す方向に繰り出された後、
走行せられ、この間に、印刷処理部３、乾燥処理部４、
冷却処理部５の各処理を施された後、矢印Ｂで示す方向
に再び巻取りリール６に巻き取られる一連の工程からな
る。
的に説明する。図１は本発明にかかる積層電子部品に使
用する電極パターン形成シートの製造方法を示す製造工
程説明図である。図面からも明らかなように、この製造
工程は、表面にセラミックグリーンシートが形成された
キャリヤフィルム１が巻かれた巻出しリール２からキャ
リヤフィルム１が矢印Ａで示す方向に繰り出された後、
走行せられ、この間に、印刷処理部３、乾燥処理部４、
冷却処理部５の各処理を施された後、矢印Ｂで示す方向
に再び巻取りリール６に巻き取られる一連の工程からな
る。
【００１３】キャリヤフィルム１としては、後に詳述す
るように、導電性ペーストを乾燥する温度で、長さ方向
に熱収縮するフィルムが用いられる。また、キャリヤフ
ィルム１の走行については、巻出しリール２から繰り出
された後にテンションコントロール装置７により、ま
た、巻取りリール６に巻き取られる前にテンションコン
トロール装置８によって、夫々走行方向に対するテンシ
ョンコントロールが行われている。これは、長尺状をな
すキャリヤフィルム１を長い距離にわたって走行させる
際に、蛇行や皺が発生することを防止するためである。
特に、印刷処理部３によって一旦湿った状態となったキ
ャリヤフィルム１が乾燥処理部４によって乾燥状態とな
る迄の一連の工程においては、キャリヤフィルム１の走
行を安定させるため、かかるテンションコントロールは
必ず行わなければならないものとなっている。
るように、導電性ペーストを乾燥する温度で、長さ方向
に熱収縮するフィルムが用いられる。また、キャリヤフ
ィルム１の走行については、巻出しリール２から繰り出
された後にテンションコントロール装置７により、ま
た、巻取りリール６に巻き取られる前にテンションコン
トロール装置８によって、夫々走行方向に対するテンシ
ョンコントロールが行われている。これは、長尺状をな
すキャリヤフィルム１を長い距離にわたって走行させる
際に、蛇行や皺が発生することを防止するためである。
特に、印刷処理部３によって一旦湿った状態となったキ
ャリヤフィルム１が乾燥処理部４によって乾燥状態とな
る迄の一連の工程においては、キャリヤフィルム１の走
行を安定させるため、かかるテンションコントロールは
必ず行わなければならないものとなっている。
【００１４】なお、テンションコントロール装置７、８
としては、通常、図で示すように段差ロール７０及び８
０を上下（矢印Ｄで示す）させることにより、走行する
キャリヤフィルム１のテンションコントロールを行うよ
うになっている。印刷処理部３では、通常、スクリーン
印刷が行われる。即ち、電極パターンを開口部として形
成したスクリーン３０が使用され、スキージ３１を両矢
印Ｃで示す方向に走行させることにより、導電性ペース
ト３２がキャリヤフィルム１に裏打ちされたセラミック
グリーンシートの表面に対して精度良く印刷される。な
お、かかるスクリーン印刷を行うにあたっては、キャリ
ヤフィルム１はその走行状態を、印刷時において静止す
るように調整される。
としては、通常、図で示すように段差ロール７０及び８
０を上下（矢印Ｄで示す）させることにより、走行する
キャリヤフィルム１のテンションコントロールを行うよ
うになっている。印刷処理部３では、通常、スクリーン
印刷が行われる。即ち、電極パターンを開口部として形
成したスクリーン３０が使用され、スキージ３１を両矢
印Ｃで示す方向に走行させることにより、導電性ペース
ト３２がキャリヤフィルム１に裏打ちされたセラミック
グリーンシートの表面に対して精度良く印刷される。な
お、かかるスクリーン印刷を行うにあたっては、キャリ
ヤフィルム１はその走行状態を、印刷時において静止す
るように調整される。
【００１５】乾燥処理部４では、印刷処理部３で印刷さ
れたセラミックグリーンシートに対して、通常、熱風吹
きつけ乾燥が行われる。即ち、箱型乾燥炉４０内を走行
するキャリヤフィルム１の表裏両面に対して、その上下
方向から温度及び風量をコントロールされた熱風を吹き
つけることによりキャリヤフィルム１の乾燥が行われ
る。なお、乾燥にあたっては、導電性ペースト３２が印
刷された側であるキャリヤフィルム１の表面に対する方
が、その裏面に対するよりも多くの熱量が付与されるよ
うに、また、先立ってスクリーン印刷がなされるにあた
って、上述したように、キャリヤフィルム１の走行状態
が間歇送りになっていることを十分考慮して乾燥処理が
なされる。
れたセラミックグリーンシートに対して、通常、熱風吹
きつけ乾燥が行われる。即ち、箱型乾燥炉４０内を走行
するキャリヤフィルム１の表裏両面に対して、その上下
方向から温度及び風量をコントロールされた熱風を吹き
つけることによりキャリヤフィルム１の乾燥が行われ
る。なお、乾燥にあたっては、導電性ペースト３２が印
刷された側であるキャリヤフィルム１の表面に対する方
が、その裏面に対するよりも多くの熱量が付与されるよ
うに、また、先立ってスクリーン印刷がなされるにあた
って、上述したように、キャリヤフィルム１の走行状態
が間歇送りになっていることを十分考慮して乾燥処理が
なされる。
【００１６】冷却処理部５は、乾燥処理部４における箱
型乾燥炉４０を通過したキャリヤフィルム１に対して、
室温に近い状態に迄冷却させるためのものであり、通常
は、簡単な冷却ファン５０が使用される。前記キャリヤ
フィルム１としては、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテ
レフタレート）のような２軸延伸フィルムが使用され
る。このようなタイプのフィルムにおいては、その製造
の際に、加熱処理が施されるのと同時に延伸処理が行わ
れ、その状態のままで冷却固定される。このため、再び
加熱処理が施された場合には、キャリヤフィルム１が軟
化するに伴い、先に延伸された方向とは逆方向に熱収縮
（０．０１〜０．１％程度）をひき起こす特性が発現さ
れるのである。
型乾燥炉４０を通過したキャリヤフィルム１に対して、
室温に近い状態に迄冷却させるためのものであり、通常
は、簡単な冷却ファン５０が使用される。前記キャリヤ
フィルム１としては、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテ
レフタレート）のような２軸延伸フィルムが使用され
る。このようなタイプのフィルムにおいては、その製造
の際に、加熱処理が施されるのと同時に延伸処理が行わ
れ、その状態のままで冷却固定される。このため、再び
加熱処理が施された場合には、キャリヤフィルム１が軟
化するに伴い、先に延伸された方向とは逆方向に熱収縮
（０．０１〜０．１％程度）をひき起こす特性が発現さ
れるのである。
【００１７】従って、このような特性を利用して乾燥処
理部４における乾燥操作をコントロールする。即ち、テ
ンションコントロール装置７、８によってコントロール
される引張力に見合うだけの熱収縮率をもつキャリヤフ
ィルム１を選択すれば、かかる引張力に抗して、キャリ
ヤフィルム１がその走行方向に熱収縮するため、走行方
向に伸びることが抑制される。これに伴い、幅方向に熱
収縮することも抑制される。その結果、印刷処理部３に
おいて印刷された電極パターンの図形については、続く
乾燥処理部４において変形されることなく（実験では、
寸法変形率として収縮率が０．０１％以下の値を得るこ
とができた）、セラミックグリーンシート上に形成され
ることになる。
理部４における乾燥操作をコントロールする。即ち、テ
ンションコントロール装置７、８によってコントロール
される引張力に見合うだけの熱収縮率をもつキャリヤフ
ィルム１を選択すれば、かかる引張力に抗して、キャリ
ヤフィルム１がその走行方向に熱収縮するため、走行方
向に伸びることが抑制される。これに伴い、幅方向に熱
収縮することも抑制される。その結果、印刷処理部３に
おいて印刷された電極パターンの図形については、続く
乾燥処理部４において変形されることなく（実験では、
寸法変形率として収縮率が０．０１％以下の値を得るこ
とができた）、セラミックグリーンシート上に形成され
ることになる。
【００１８】
【発明の効果】以上の本発明によれば、既存のラインを
使用して、印刷した状態における電極パターンの図形
を、そのままの状態でセラミックグリーンシート上に、
正確に形成させることができる。従って、仮に、かかる
電極パターンが、積層セラミックコンデンサに使用する
ものであるとすれば、そのコンデンサ容量のバラツキを
極力無くすことができることとなり、品質の格段の向上
を図ることが可能となる。
使用して、印刷した状態における電極パターンの図形
を、そのままの状態でセラミックグリーンシート上に、
正確に形成させることができる。従って、仮に、かかる
電極パターンが、積層セラミックコンデンサに使用する
ものであるとすれば、そのコンデンサ容量のバラツキを
極力無くすことができることとなり、品質の格段の向上
を図ることが可能となる。
【００１９】また、セラミックグリーンシートを乾燥処
理する際、その裏打ち材であるキャリヤフィルムに対し
ては、十分なるテンションを与えることができるため、
加工中において、蛇行や皺の発生を極力抑えることがで
き、連続して安定な加工状態を保持することが可能とな
るメリットもある。
理する際、その裏打ち材であるキャリヤフィルムに対し
ては、十分なるテンションを与えることができるため、
加工中において、蛇行や皺の発生を極力抑えることがで
き、連続して安定な加工状態を保持することが可能とな
るメリットもある。
【図１】本発明にかかる積層部品に使用する電極パター
ン形成シートの製造方法を示す製造工程説明図である。
ン形成シートの製造方法を示す製造工程説明図である。
１ キャリヤフィルム ３ 印刷処理部 ４ 乾燥処理部 ７、８ テンションコントロール装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−89313（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−202705（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−184764（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−198824（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−218726（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−270532（ＪＰ，Ａ) 特公 昭49−39881（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (1)
- 【請求項１】 長尺状のキャリヤフィルムによって裏打
ちされたセラミックグリーンシートを送り方向に引張力
を加えながら走行させ、その表面に、電極パターンを印
刷した後、乾燥せしめて電極膜形成シートとなす積層電
子部品の製造方法において、 前記キャリアフィルムとして、乾燥時にその走行方向に
対して加えられる引張力に見合うだけの熱収縮を行うフ
ィルムを用いることを特徴とする積層電子部品の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3256407A JP2734833B2 (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | 積層電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3256407A JP2734833B2 (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | 積層電子部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0592406A JPH0592406A (ja) | 1993-04-16 |
| JP2734833B2 true JP2734833B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=17292253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3256407A Expired - Lifetime JP2734833B2 (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | 積層電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2734833B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08170506A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Isuzu Motors Ltd | 内燃機関の動弁装置 |
| JP3870785B2 (ja) | 2002-01-07 | 2007-01-24 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2004087561A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 多層基板製造工程集約機 |
| JP4730109B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2011-07-20 | Ｔｄｋ株式会社 | 印刷乾燥方法、電子部品の製造方法および印刷乾燥装置 |
| KR101034818B1 (ko) * | 2009-04-07 | 2011-05-16 | 대한고열공업(주) | 연성 시트의 패턴 성형 장치 및 방법 |
| JP6358074B2 (ja) * | 2014-01-31 | 2018-07-18 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法及び電子部品の製造装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4939881A (ja) * | 1972-08-23 | 1974-04-13 | ||
| JPS59184764A (ja) * | 1983-04-05 | 1984-10-20 | 松下電器産業株式会社 | セラミツクグリ−ンシ−ト |
| JPS62202705A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-09-07 | 株式会社 麗光 | セラミックフィルムの製造法 |
| JPS6489313A (en) * | 1987-09-29 | 1989-04-03 | Nec Corp | Manufacture of green sheet |
| JP2611413B2 (ja) * | 1989-01-27 | 1997-05-21 | ダイアホイルヘキスト株式会社 | 高強度ポリエステルフィルムの製造方法 |
| JP2602945B2 (ja) * | 1989-02-20 | 1997-04-23 | 帝人株式会社 | 極薄フイルム |
| JP2611425B2 (ja) * | 1989-04-13 | 1997-05-21 | ダイアホイルヘキスト株式会社 | 低収縮ポリエステルフィルムの製造方法 |
-
1991
- 1991-10-03 JP JP3256407A patent/JP2734833B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0592406A (ja) | 1993-04-16 |
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