JP2768309B2 - セラミックシート製造用の支持シート、及び該支持シートを使用する積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、効率のよいセラミック
シートの製造が行なえるセラミックシート製造用の支持
シート、及び該支持シートを使用する積層セラミックコ
ンデンサの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】セラミック積層板等の素材になるセラミ
ックシートは、支持シート上に、高誘電率の無機化合物
と有機バインダーとを含有する水系あるは有機溶剤系の
スラリーを塗布、乾燥することによってグリーンシート
層を形成した後、支持シートからグリーンシート層を分
離して得られたグリーンシートを燒結することによって
製造している。

【０００３】また、積層セラミックコンデンサは、上記
のセラミックシートの製造工程中のグリーンシート層面
又はグリーンシートに導電性回路を印刷することによっ
て製造している。

【０００４】すなわち、支持シート上に、高誘電率の無
機化合物と有機バインダーとを含有する水系あるは有機
溶剤系のスラリーを塗布、乾燥することによってグリー
ンシート層を形成した後、このグリーンシート層面に導
電性回路を印刷し、次いで、導電性回路を設けたグリー
ンシート層を支持シートから分離させて得たグリーンシ
ートを断裁し、これを所定枚数重ね合わせて熱圧によっ
て積層した後、更に所定のサイズにカットしたチップを
燒結する方法、又は、支持シート上に、高誘電率の無機
化合物と有機バインダーとを含有する水系あるは有機溶
剤系のスラリーを塗布、乾燥することによってグリーン
シート層を形成した後、支持シートからグリーンシート
層を分離して得たグリーンシートに導電性回路を印刷
し、次いで、断裁した後、これを所定枚数重ね合わせて
熱圧によって積層し、更に所定のサイズにカットしたチ
ップを燒結する方法によって製造している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、支持シート
上に、高誘電率の無機化合物と有機バインダーとを含有
する水系あるは有機溶剤系のスラリーを塗布、乾燥する
ことによってグリーンシート層を形成した後、このグリ
ーンシート層面に導電性回路を印刷した後、支持シート
からグリーンシート層を分離したグリーンシートを燒結
する積層セラミックコンデンサの製造方法は、支持シー
ト上に形成したグリーンシート層面に対して導電性回路
を印刷するものであるため、導電性回路の印刷工程で
は、グリーンシート層の伸びが支持シートによって抑え
られている。このため、導電性回路の印刷パターンにず
れが無く、精度の高い積層セラミックコンデンサが得ら
れる。

【０００６】しかしながら、この方法によるものは、支
持シート上に形成されているグリーンシート層面に対し
て導電性回路を印刷するものであるため、支持シートの
片面に対してだけしかグリーンシート層を形成すること
ができなく、グリーンシート層の生産効率が悪い。

【０００７】また、支持シート上に、高誘電率の無機化
合物と有機バインダーとを含有する水系あるは有機溶剤
系のスラリーを塗布、乾燥することによってグリーンシ
ート層を形成した後、支持シートからグリーンシート層
を分離したグリーンシートに導電性回路を印刷し、これ
を燒結する積層セラミックコンデンサの製造方法は、浸
漬による塗布方法を利用することにより、支持シートの
上，下の両面にグリーンシート層を同時に形成すること
ができるために、グリーンシート層の生産効率が高くな
る。

【０００８】しかしながら、この方法によるものは、グ
リーンシートの単体に対して導電性回路を印刷するもの
であるために、薄肉で伸び易い性質を有するグリーンシ
ートが導電性回路の印刷工程又は該印刷の乾燥工程での
張力によって伸び易く、積層セラミックコンデンサにし
た場合に、上，下の導電性回路の印刷パターンのずれが
大きく、精度の高いものが得られない。

【０００９】したがって本発明の目的は、精度の高い加
工を行なうことができ、しかも生産効率よくセラミック
シートを製造し得るセラミックシート製造用の支持シー
ト、及び該支持シートを使用する積層セラミックコンデ
ンサの製造方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的は以下の構成
による本発明のセラミックシート製造用の支持シート、
及び該支持シートを使用する積層セラミックコンデンサ
の製造方法によって達成される。

【００１１】すなわち本発明は、第１のプラスチックフ
ィルムと第２のプラスチックフィルムとが、５〜６０ｇ
／１００ｍｍ幅の接着強度で積層されているセラミック
シート製造用の支持シートからなる。

【００１２】又本発明は、第１のプラスチックフィルム
と第２のプラスチックフィルムとが接着剤層を介して積
層されており、接着剤層と第１のプラスチックフィルム
との接着強度、及び接着剤層と第２のプラスチックフィ
ルムとの接着強度が、それぞれ５〜６０ｇ／１００ｍｍ
幅にあるセラミックシート製造用の支持シートからな
る。

【００１３】上記のセラミックシート製造用の支持シー
トにおいては、第１のプラスチックフィルムと第２のプ
ラスチックフィルムとが、二軸延伸ポリプロピレン系樹
脂フィルムからなることが好ましい。

【００１４】更に本発明は、上記構成によるセラミック
シート製造用の支持シートの第１のプラスチックフィル
ム面及び第２のプラスチックフィルム面のそれぞれに対
して、高誘電率の無機化合物と有機バインダーとを含有
するスラリーを塗布、乾燥することによってグリーンシ
ート層を形成した後、第１のプラスチックフィルムにグ
リーンシート層が積層されている第１の積層シートと、
第２のプラスチックフィルムにグリーンシート層が積層
されている第２の積層シートとに分離し、更に、これら
の各積層シートのグリーンシート層面に導電性回路を印
刷し、次いで導電性回路を設けたグリーンシート層を分
離することによって得たグリーンシートを燒結する積層
セラミックコンデンサの製造方法からなる。

【００１５】又本発明は、第１のプラスチックフィルム
と第２のプラスチックフィルムとが接着剤層を介して積
層されている上記の構成のセラミックシート製造用の支
持シートの第１のプラスチックフィルム面及び第２のプ
ラスチックフィルム面のそれぞれに対して、高誘電率の
無機化合物と有機バインダーとを含有するスラリーを塗
布、乾燥することによってグリーンシート層を形成した
後、第１のプラスチックフィルムにグリーンシート層が
積層されている第１の積層シートと、第２のプラスチッ
クフィルムにグリーンシート層が積層されている第２の
積層シートと、接着剤層とに分離し、更に、前記の各積
層シートのグリーンシート層面に導電性回路を印刷し、
次いで導電性回路を設けたグリーンシート層を分離する
ことによって得たグリーンシートを燒結する積層セラミ
ックコンデンサの製造方法からなる。

【００１６】本発明のセラミックシート製造用の支持シ
ートは、例えば、既成の第１のプラスチックフィルムと
第２のプラスチックフィルムとの２枚のプラスチックフ
ィルムを接着剤によって貼合する方法、あるいは溶融樹
脂をフィルム状に押出し成形すると共に、この溶融状態
にある押出し樹脂フィルムの表，裏両面に既成のプラス
チックフィルムを圧接して貼合する所謂ポリサンド法等
によって得られる。

【００１７】上記のセラミックシート製造用の支持シー
トにおいて、第１のプラスチックフィルムと第２のプラ
スチックフィルムとは全面接着されていても、或は部分
接着されていてもよい。第１のプラスチックフィルムと
第２のプラスチックフィルムとを部分接着で接着する場
合には、支持シートの長さ方向の端縁部のみを接着し、
グリーンシート層形成用のスラリー中に支持シートを浸
漬させたときに、スラリーが第１のプラスチックフィル
ムと第２のプラスチックフィルムとの間に浸入すること
のないようにしておく方法、或は支持シートを第１のプ
ラスチックフィルムと第２のプラスチックフィルムとに
分離する際のきっかけになる部分を接着しないようにす
る方法等を採ることができる。

【００１８】本発明のセラミックシート製造用の支持シ
ートは、第１のプラスチックフィルムと第２のプラスチ
ックフィルムとが、５〜６０ｇ／１００ｍｍ幅の接着強
度で積層されているか、或は接着剤層と第１のプラスチ
ックフィルム、及び接着剤層と第２のプラスチックフィ
ルムとが、それぞれ５〜６０ｇ／１００ｍｍ幅、好まし
くは１０〜４０ｇ／１００ｍｍ幅の接着強度で積層され
てなるものである。このときの接着強度は、支持シート
を流れ方向（長さ方向）に沿って１００ｍｍ幅に切り出
した試料を、引張試験機にて３００ｍｍ／分の速度でＵ
−ピール試験したときの剥離強度である。

【００１９】上記の接着強度が５ｇ／１００ｍｍ幅未満
になると、支持シートの運搬等の取扱い途中、或は支持
シートに対してグリーンシート層を形成する際の塗工剤
の塗工、乾燥等の途中工程等で、第１のプラスチックフ
ィルムと第２のプラスチックフィルムとが分離してしま
う恐れがある。又、上記の接着強度が６０ｇ／１００ｍ
ｍ幅を超えると、支持シートに対してグリーンシート層
を形成した後に、第１のプラスチックフィルムにグリー
ンシート層が積層されている第１の積層シートと、第２
のプラスチックフィルムにグリーンシート層が積層され
ている第２の積層シートとに分離する工程での分離作業
が容易でなくなる。

【００２０】本発明のセラミックシート製造用の支持シ
ートにおける５〜６０ｇ／１００ｍｍ幅の接着強度は、
疑似接着といわれる軽い接着力であって、かかる接着強
度は、第１のプラスチックフィルムと第２のプラスチッ
クフィルムとを接着剤で接着する際の接着剤中の硬化剤
の量をコントロールする方法、第１のプラスチックフィ
ルムと第２のプラスチックフィルムとを接着剤で接着す
る際に、離形表面を有するプラスチックフィルムや接着
予定面を予め離形処理したプラスチックフィルムを使用
する方法、或はポリサンド法によって第１のプラスチッ
クフィルムと第２のプラスチックフィルムとを溶融押出
し樹脂層を介して積層する際の樹脂の溶融押出し温度を
低くする方法等によって得られる。

【００２１】本発明のセラミックシート製造用の支持シ
ートにおいて、第１のプラスチックフィルムと第２のプ
ラスチックフィルムとが接着剤層を介して積層されてい
るものの場合には、第１のプラスチックフィルムと第２
のプラスチックフィルムとを分離したときに、接着剤層
が第１のプラスチックフィルムと第２のプラスチックフ
ィルムとの両方あるいはいずれかの一方に残るようにな
る。このときには第１のプラスチックフィルムにグリー
ンシート層が積層されている第１の積層シートと、第２
のプラスチックフィルムにグリーンシート層が積層され
ている第２の積層シートとに分離した後、これを巻き取
ったときに、プラスチックフィルムに付着している接着
剤がグリーンシート層面と接触する。このため、接着剤
層を構成する接着剤の種類によっては、グリーンシート
層が接着剤層に取られる問題を生ずる。

【００２２】したがって、第１のプラスチックフィルム
と第２のプラスチックフィルムとが接着剤層を介して積
層されている支持シートにおいては、請求項２の発明の
支持シートのように、接着剤層と第１のプラスチックフ
ィルムとの接着強度、及び接着剤層と第２のプラスチッ
クフィルムとの接着強度が、それぞれ５〜６０ｇ／１０
０ｍｍ幅にあるようにし、しかも、第１のプラスチック
フィルムと第２のプラスチックフィルムとを接着剤層か
ら分離する際に、接着剤層が部分的にプラスチックフィ
ルム側に取られることのないような強度を有する接着剤
層であって、又、第１のプラスチックフィルムと第２の
プラスチックフィルムとを分離させた後の接着剤層自体
を独立して巻き取ることができるような強度の接着剤層
にすることが好ましい。

【００２３】第１のプラスチックフィルムや第２のプラ
スチックフィルムとしては、例えばポリエチレンフィル
ム、ポリプロピレンフィルム、シリコーン樹脂を塗工し
たポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリイミドフ
ィルム、弗素樹脂系フィルム等が挙げられるが、二軸延
伸ポリプロピレンフィルムが、適度の耐熱性と離形性と
を兼備し、しかも安価であり、また使用後の廃棄処理が
容易である等の点から最も好ましい。

【００２４】本発明の支持シートを使用する積層セラミ
ックコンデンサの製造方法におけるグリーンシート層の
形成方法、グリーンシート層面に対する導電性回路の印
刷方法、及び導電性回路が印刷されているグリーンシー
トを燒結することによって積層セラミックコンデンサを
得る方法等は、従来の手法をそのまま使用して行なえ
る。

【００２５】

【実施例】以下、本発明のセラミックシート製造用の支
持シート、及び該支持シートを使用する積層セラミック
コンデンサの製造方法の具体的な構成を、実施例に基づ
いて説明する。

【００２６】実施例１ 厚さ５０μｍの二軸延伸ポリプロピレンフィルムからな
る第１のプラスチックフィルムの一方の面に、二液タイ
プのウレタン系接着剤を４ｇ／ｍ² に塗布した後、この
接着剤の塗布面に厚さ５０μｍの二軸延伸ポリプロピレ
ンフィルムからなる第２のプラスチックフィルムを圧着
することにより、セラミックシート製造用の支持シート
を得た。この支持シートの第１のプラスチックフィルム
と接着剤層との間の接着強度、及び接着剤層と第２のプ
ラスチックフィルムとの間の接着強度は、それぞれ８ｇ
／１００ｍｍ幅である。

【００２７】実施例２ 実施例１の支持シートの巻き取りロールから支持シート
を巻き出し、これを高誘電率の無機化合物と有機バイン
ダーとを含有するスラリー中に連続して浸漬させ、さら
に乾燥することにより、支持シートにおける第１のプラ
スチックフィルム面と第２のプラスチックフィルム面と
のそれぞれに、厚さ３０μｍのグリーンシート層を形成
した後、第１のプラスチックフィルムにグリーンシート
層が積層されている第１の積層シートと、第２のプラス
チックフィルムにグリーンシート層が積層されている第
２の積層シートと、接着剤層とに分離し、３者をそれぞ
れ別々の巻き取りロールに巻き取った。

【００２８】次いで巻き取りロールから、第１のプラス
チックフィルムにグリーンシート層が積層されている第
１の積層シートと、第２のプラスチックフィルムにグリ
ーンシート層が積層されている第２の積層シートとを巻
き出し、これらの各積層シートのグリーンシート層面に
導電性塗料による内部電極回路を、パターンピッチ１５
０ｍｍで印刷し、乾燥した。

【００２９】かくして得られた積層シートにおけるグリ
ーンシート層面の内部電極回路のパターンのピッチを顕
微鏡で読み取り、内部電極回路のパターンの所定ピッチ
（１５０ｍｍ）からのズレ（伸び）を連続した１００枚
について測定したところ、伸びの平均値が２５０μｍ、
バラツキが３５μｍであり、内部電極回路のパターンの
ピッチの精度として十分に満足できるものであった。

【００３０】引き続いて、第１のプラスチックフィルム
及び第２のプラスチックフィルムから、表面に内部電極
回路が印刷されているグリーンシート層を分離したグリ
ーンシートを１５０ｍｍ幅に断裁した後、これを１０枚
重ね合わせて熱圧によって積層し、更に４ｍｍ×４ｍｍ
にカットして得たチップを燒結し、次いで外部電極の付
与、及びリード線の取り付けを行なうことにより、積層
セラミックコンデンサを得た。

【００３１】比較例１ 厚さ５０μｍの二軸延伸ポリプロピレンフィルムからな
る第１のプラスチックフィルムの一方の面に、実施例１
で使用した二液タイプのウレタン系接着剤よりも硬化剤
の量の多い二液タイプのウレタン系接着剤を４ｇ／ｍ²
に塗布した後、この接着剤の塗布面に厚さ５０μｍの二
軸延伸ポリプロピレンフィルムからなる第２のプラスチ
ックフィルムを圧着することにより、セラミックシート
製造用の支持シートを得た。この支持シートの第１のプ
ラスチックフィルムと接着剤層との間の接着強度、及び
接着剤層と第２のプラスチックフィルムとの接着強度
は、それぞれ６５ｇ／１００ｍｍ幅である。

【００３２】この支持シートの第１のプラスチックフィ
ルム面及び第２のプラスチックフィルム面のそれぞれに
対して、高誘電率の無機化合物と有機バインダーとを含
有するスラリーを塗布、乾燥することにより、厚さ３０
μｍのグリーンシート層を形成した後、第１のプラスチ
ックフィルムにグリーンシート層が積層されている第１
の積層シートと、第２のプラスチックフィルムにグリー
ンシート層が積層されている第２の積層シートと、接着
剤層とに分離させるためのきっかけを作ったが、接着剤
層が切れてしまったり、又、無理な分離操作の際の振動
によってプラスチックフィルム上のグリーンシート層が
浮き上がってしまったりしたため、それぞれを単体とし
て巻き取ることができなかった。

【００３３】比較例２ 厚さ５０μｍの二軸延伸ポリプロピレンフィルムの上，
下の両面に対して、実施例２と同様にして、高誘電率の
無機化合物と有機バインダーとを含有するスラリーを塗
布、乾燥することにより、厚さ３０μｍのグリーンシー
ト層を形成した後、二軸延伸ポリプロピレンフィルムの
上のグリーンシート層と、二軸延伸ポリプロピレンフィ
ルムと、二軸延伸ポリプロピレンフィルムの下のグリー
ンシート層とに分離し、３者をそれぞれ別々に巻き取っ
た。

【００３４】次いで、巻き取りロールから巻き戻したグ
リーンシートに対して、導電性塗料による内部電極回路
を、パターンピッチ１５０ｍｍで印刷し、乾燥した。こ
の内部電極回路のパターンのピッチを顕微鏡で読み取
り、内部電極回路のパターンの所定ピッチ（１５０ｍ
ｍ）からのズレ（伸び）を連続した１００枚について測
定したところ、伸びの平均値が８５０μｍ、バラツキが
１４０μｍであり、内部電極回路のパターンのピッチ精
度としては不十分であった。

【００３５】実施例３ 厚さ５０μｍの二軸延伸ポリプロピレンフィルムからな
る第１のプラスチックフィルムと、同じく厚さ５０μｍ
の二軸延伸ポリプロピレンフィルムからなる第２のプラ
スチックフィルムとの間に、ポリエチレン樹脂の溶融押
出しフィルム（厚さ１５μｍ）を介在させるポリサンド
法により、セラミックシート製造用の支持シートを得
た。この支持シートの第１のプラスチックフィルムと接
着剤層であるポリエチレン樹脂フィルムとの間の接着強
度、及び接着剤層であるポリエチレン樹脂フィルムと第
２のプラスチックフィルムとの接着強度は、それぞれ２
６ｇ／１００ｍｍ幅である。

【００３６】実施例４ 実施例３の支持シートの第１のプラスチックフィルム面
及び第２のプラスチックフィルム面のそれぞれに対し
て、実施例２と同様にして、高誘電率の無機化合物と有
機バインダーとを含有するスラリーを塗布、乾燥するこ
とにより、厚さ３０μｍのグリーンシート層を形成した
後、第１のプラスチックフィルムにグリーンシート層が
積層されている第１の積層シートと、第２のプラスチッ
クフィルムにグリーンシート層が積層されている第２の
積層シートと、接着剤層であるポリエチレンフィルムと
に分離し、３者をそれぞれ別々に巻き取った。

【００３７】次いで、巻き取りロールから、第１のプラ
スチックフィルムにグリーンシート層が積層されている
第１の積層シートと、第２のプラスチックフィルムにグ
リーンシート層が積層されている第２の積層シートとを
巻き出し、これらの各積層シートのグリーンシート層面
に導電性塗料による内部電極回路を、パターンピッチ１
５０ｍｍで印刷し、乾燥した。

【００３８】かくして得られた積層シートにおけるグリ
ーンシート層面の内部電極回路のパターンのピッチを顕
微鏡で読み取り、内部電極回路のパターンの所定ピッチ
（１５０ｍｍ）からのズレ（伸び）を連続した１００枚
について測定したところ、伸びの平均値が２７５μｍ、
バラツキが４１μｍであり、内部電極回路のパターンの
ピッチの精度として十分に満足できるものであった。

【００３９】引き続いて、第１のプラスチックフィルム
及び第２のプラスチックフィルムから、表面に内部電極
回路が印刷されているグリーンシート層を分離したグリ
ーンシートを、実施例２の手法と同様に処することによ
り、積層セラミックコンデンサを得た。

【００４０】

【発明の作用、効果】本発明のセラミックシート製造用
の支持シートは、第１のプラスチックフィルムと第２の
プラスチックフィルムとが、容易に分離する接着強度で
積層されてなるものであるため、支持シートの上，下の
両面に対して、それぞれ高誘電率の無機化合物と有機バ
インダーとを含有するスラリーを塗布、乾燥することに
よってグリーンシート層を形成した後に、第１のプラス
チックフィルムにグリーンシート層が積層されている第
１の積層シートと、第２のプラスチックフィルムにグリ
ーンシート層が積層されている第２の積層シートとに容
易に分離させることができる。

【００４１】したがって、本発明のセラミックシート製
造用の支持シートによれば、該支持シートの上，下の両
面にそれぞれグリーンシート層を形成した後に、プラス
チックフィルムに積層されている状態のグリーンシート
層に対して内部電極の印刷等の所定の加工を行なうこと
ができる、すなわちグリーンシート層の伸びを抑えた状
態でグリーンシート層面への加工が行なえる。

【００４２】このため、本発明のセラミックシート製造
用の支持シートによれば、セラミックシートの製造効率
が高く、しかも精度の高い加工を行なうことができる。

【００４３】又、本発明の積層セラミックコンデンサの
製造方法は、上記のセラミックシート製造用の支持シー
トの特性を利用するものであるため、内部電極回路のパ
ターンのピッチの精度の高い積層セラミックコンデンサ
を、効率良く製造し得る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｇ 4/12 ３６４ Ｈ０１Ｇ 4/12 ３６４ (72)発明者 森本 克彦 滋賀県甲賀郡甲西町大字朝国字平山65番 地 本州製紙株式会社滋賀工場内 (56)参考文献 特開 平５−329994（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B32B 1/00 - 35/00 B28B 13/00 - 13/06

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のプラスチックフィルムと第２の
   プラスチックフィルムとが、５〜６０ｇ／１００ｍｍ幅
   の接着強度で積層されていることを特徴とするセラミッ
   クシート製造用の支持シート。
2. 【請求項２】 第１のプラスチックフィルムと第２の
   プラスチックフィルムとが接着剤層を介して積層されて
   おり、接着剤層と第１のプラスチックフィルムとの接着
   強度、及び接着剤層と第２のプラスチックフィルムとの
   接着強度が、それぞれ５〜６０ｇ／１００ｍｍ幅にある
   ことを特徴とするセラミックシート製造用の支持シー
   ト。
3. 【請求項３】 第１のプラスチックフィルムと第２の
   プラスチックフィルムとが、二軸延伸ポリプロピレン系
   樹脂フィルムである請求項１又は請求項２に記載のセラ
   ミックシート製造用の支持シート。
4. 【請求項４】 請求項１、請求項２、又は請求項３に
   記載のセラミックシート製造用の支持シートの第１のプ
   ラスチックフィルム面及び第２のプラスチックフィルム
   面のそれぞれに対して、高誘電率の無機化合物と有機バ
   インダーとを含有するスラリーを塗布、乾燥することに
   よってグリーンシート層を形成した後、第１のプラスチ
   ックフィルムにグリーンシート層が積層されている第１
   の積層シートと、第２のプラスチックフィルムにグリー
   ンシート層が積層されている第２の積層シートとに分離
   し、更に、これらの各積層シートのグリーンシート層面
   に導電性回路を印刷し、次いで導電性回路を設けたグリ
   ーンシート層を分離することによって得たグリーンシー
   トを燒結することを特徴とする積層セラミックコンデン
   サの製造方法。
5. 【請求項５】 請求項２、又は請求項３に記載のセラ
   ミックシート製造用の支持シートの第１のプラスチック
   フィルム面及び第２のプラスチックフィルム面のそれぞ
   れに対して、高誘電率の無機化合物と有機バインダーと
   を含有するスラリーを塗布、乾燥することによってグリ
   ーンシート層を形成した後、第１のプラスチックフィル
   ムにグリーンシート層が積層されている第１の積層シー
   トと、第２のプラスチックフィルムにグリーンシート層
   が積層されている第２の積層シートと、接着剤層とにそ
   れぞれ分離し、更に、前記の各積層シートのグリーンシ
   ート層面に導電性回路を印刷し、次いで導電性回路を設
   けたグリーンシート層を分離することによって得たグリ
   ーンシートを燒結することを特徴とする積層セラミック
   コンデンサの製造方法。