JP2001144311A - 薄膜太陽電池セル直列接続形成装置 - Google Patents
薄膜太陽電池セル直列接続形成装置Info
- Publication number
- JP2001144311A JP2001144311A JP32738899A JP32738899A JP2001144311A JP 2001144311 A JP2001144311 A JP 2001144311A JP 32738899 A JP32738899 A JP 32738899A JP 32738899 A JP32738899 A JP 32738899A JP 2001144311 A JP2001144311 A JP 2001144311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive paste
- solar cell
- film solar
- film substrate
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザパターニング後の導電ペースト印刷パ
ターンの、レーザーパターンとの対応上の位置精度の向
上を図り、品質の高い薄膜太陽電池が製造可能な薄膜太
陽電池セル直列接続形成装置を提供する。 【解決手段】 フィルム基板１０上の所定パターンをレ
ーザの罫書きにより形成して単位セルに分離し、導電ペ
ースト塗布印刷により複数セルを電気的に直列接続する
ものにおいて、巻き出しロール１と巻き取りロール２と
を含む基板搬送手段と、基板搬送経路内に配設されたレ
ーザパターニング手段と、このレーザによる罫書き線の
基板上の幅方向位置を検知するための位置検知手段６
と、この位置検知手段の検知情報に基づいて所定位置に
移動可能な導電ペースト塗布用ペン７を有する導電ペー
スト塗布手段とを備えたものとする。
ターンの、レーザーパターンとの対応上の位置精度の向
上を図り、品質の高い薄膜太陽電池が製造可能な薄膜太
陽電池セル直列接続形成装置を提供する。 【解決手段】 フィルム基板１０上の所定パターンをレ
ーザの罫書きにより形成して単位セルに分離し、導電ペ
ースト塗布印刷により複数セルを電気的に直列接続する
ものにおいて、巻き出しロール１と巻き取りロール２と
を含む基板搬送手段と、基板搬送経路内に配設されたレ
ーザパターニング手段と、このレーザによる罫書き線の
基板上の幅方向位置を検知するための位置検知手段６
と、この位置検知手段の検知情報に基づいて所定位置に
移動可能な導電ペースト塗布用ペン７を有する導電ペー
スト塗布手段とを備えたものとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、フィルム基板上
に、金属電極層，光電変換層および透明電極層を順次重
ねて形成し、かつ所定のパターンをレーザの罫書きによ
り形成して単位セルに分離し、さらに導電ペーストの塗
布印刷により複数セルを電気的に直列接続してなる薄膜
太陽電池を形成するための薄膜太陽電池セル直列接続形
成装置に関する。
に、金属電極層，光電変換層および透明電極層を順次重
ねて形成し、かつ所定のパターンをレーザの罫書きによ
り形成して単位セルに分離し、さらに導電ペーストの塗
布印刷により複数セルを電気的に直列接続してなる薄膜
太陽電池を形成するための薄膜太陽電池セル直列接続形
成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、環境保護の立場から、クリーンな
エネルギーの研究開発が進められている。中でも、太陽
電池はその資源（太陽光）が無限であること、無公害で
あることから注目を集めている。
エネルギーの研究開発が進められている。中でも、太陽
電池はその資源（太陽光）が無限であること、無公害で
あることから注目を集めている。
【０００３】薄膜太陽電池は、薄型で軽量、製造コスト
の安さ、大面積化が容易であることなどから、今後の太
陽電池の主流となると考えられる。
の安さ、大面積化が容易であることなどから、今後の太
陽電池の主流となると考えられる。
【０００４】従来の薄膜太陽電池はガラス基板を用いて
いたが、軽量化、施工性、量産性においてプラスチック
フィルムおよび金属フィルムを用いたフレキシブルタイ
プの太陽電池の研究開発がすすめられている。このフレ
キシブル性を生かし、ロールツーロール方式やステッピ
ングロール方式の製造方法により大量生産が可能となっ
た。
いたが、軽量化、施工性、量産性においてプラスチック
フィルムおよび金属フィルムを用いたフレキシブルタイ
プの太陽電池の研究開発がすすめられている。このフレ
キシブル性を生かし、ロールツーロール方式やステッピ
ングロール方式の製造方法により大量生産が可能となっ
た。
【０００５】上記の薄膜太陽電池は、フレキシブルな電
気絶縁性フィルム基板上に第１電極としての金属電極
層、薄膜半導体層（例えば、非晶質シリコン）からなる
光電変換層および第２電極としての透明電極層が積層さ
れてなる光電変換素子（または太陽電池セル）が複数形
成されている。ある光電変換素子の第１電極と隣接する
光電変換素子の第２電極を電気的に接続することを繰り
返すことにより、最初の光電変換素子の第１電極と最後
の光電変換素子の第２電極とに必要な電圧を出力させる
ことができる。例えば、インバータにより交流化し商用
電力源として交流１００Ｖを得るためには、薄膜太陽電
池の出力電圧は１００Ｖ以上が望ましく、実際には数１
０個以上の素子が直列接続される。
気絶縁性フィルム基板上に第１電極としての金属電極
層、薄膜半導体層（例えば、非晶質シリコン）からなる
光電変換層および第２電極としての透明電極層が積層さ
れてなる光電変換素子（または太陽電池セル）が複数形
成されている。ある光電変換素子の第１電極と隣接する
光電変換素子の第２電極を電気的に接続することを繰り
返すことにより、最初の光電変換素子の第１電極と最後
の光電変換素子の第２電極とに必要な電圧を出力させる
ことができる。例えば、インバータにより交流化し商用
電力源として交流１００Ｖを得るためには、薄膜太陽電
池の出力電圧は１００Ｖ以上が望ましく、実際には数１
０個以上の素子が直列接続される。
【０００６】このような光電変換素子とその直列接続
は、金属電極層，光電変換層および透明電極層の成膜と
各層のパターニング工程およびパターニングにより分離
された単位部分の電気的接続工程を経て形成される。電
気的接続工程としては、フィルム基板をステップ状に搬
送し、あらかじめ決められたパターニングに応じた所定
の位置において導電性ペーストを塗布する方法およびそ
の装置が公知である（特開昭６３−２１６３８５号公報
および特開平８−１１６０８１号公報参照）。
は、金属電極層，光電変換層および透明電極層の成膜と
各層のパターニング工程およびパターニングにより分離
された単位部分の電気的接続工程を経て形成される。電
気的接続工程としては、フィルム基板をステップ状に搬
送し、あらかじめ決められたパターニングに応じた所定
の位置において導電性ペーストを塗布する方法およびそ
の装置が公知である（特開昭６３−２１６３８５号公報
および特開平８−１１６０８１号公報参照）。
【０００７】また、前記パターニング用の装置として
は、レーザにより分離線を罫書きする加工装置が公知で
ある（特許第２８９６０９０号の登録掲載公報参照）。
この装置は、可とう性基板を送り出しロ−ルから巻き取
りロ−ルへ搬送するために基板に接触して回動可能の搬
送ロ−ルと、少なくとも一つの搬送ロ−ルに基板をはさ
んで対向してその軸方向に移動可能のレ−ザ光射出口と
を備えると共に、基板縁部の位置の検知手段と、この検
知手段よりの信号により少なくとも一つの搬送ロ−ルの
軸の搬送方向に垂直面内での傾きを変える基板位置制御
手段とを備えたものである。
は、レーザにより分離線を罫書きする加工装置が公知で
ある（特許第２８９６０９０号の登録掲載公報参照）。
この装置は、可とう性基板を送り出しロ−ルから巻き取
りロ−ルへ搬送するために基板に接触して回動可能の搬
送ロ−ルと、少なくとも一つの搬送ロ−ルに基板をはさ
んで対向してその軸方向に移動可能のレ−ザ光射出口と
を備えると共に、基板縁部の位置の検知手段と、この検
知手段よりの信号により少なくとも一つの搬送ロ−ルの
軸の搬送方向に垂直面内での傾きを変える基板位置制御
手段とを備えたものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、これまでの
薄膜太陽電池のセル直列接続形成方法においては、下記
のような問題点があった。従来は、前述のようにレーザ
パターニングにより分離されたセルの単位部分に対し
て、あらかじめ決められたパターニングに応じた所定の
位置において導電性ペーストを塗布するパターン印刷に
よって電気的に直列接続を行うわけであるが、レーザパ
ターニング後に、フィルム基板は比較的高温の製膜プロ
セスを経るために、常温において熱収縮による熱変形が
生じ、あらかじめ決められた印刷パターンで印刷する
と、所望のパターン位置とのずれが生ずる問題があっ
た。熱収縮による熱変形を、計算上最初から見込んだ印
刷パターン設計は可能ではあるが、現実には、ヒータと
フィルムの当り具合や、わずかの温度変動など様々な要
因によって熱変形は一定ではなく、品質管理が困難とな
る問題があった。
薄膜太陽電池のセル直列接続形成方法においては、下記
のような問題点があった。従来は、前述のようにレーザ
パターニングにより分離されたセルの単位部分に対し
て、あらかじめ決められたパターニングに応じた所定の
位置において導電性ペーストを塗布するパターン印刷に
よって電気的に直列接続を行うわけであるが、レーザパ
ターニング後に、フィルム基板は比較的高温の製膜プロ
セスを経るために、常温において熱収縮による熱変形が
生じ、あらかじめ決められた印刷パターンで印刷する
と、所望のパターン位置とのずれが生ずる問題があっ
た。熱収縮による熱変形を、計算上最初から見込んだ印
刷パターン設計は可能ではあるが、現実には、ヒータと
フィルムの当り具合や、わずかの温度変動など様々な要
因によって熱変形は一定ではなく、品質管理が困難とな
る問題があった。
【０００９】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、本発明の課題は、レーザパタ
ーニング後の導電ペースト印刷パターンの、レーザーパ
ターンとの対応上の位置精度の向上を図り、品質の高い
薄膜太陽電池が製造可能な薄膜太陽電池セル直列接続形
成装置を提供することにある。
るためになされたもので、本発明の課題は、レーザパタ
ーニング後の導電ペースト印刷パターンの、レーザーパ
ターンとの対応上の位置精度の向上を図り、品質の高い
薄膜太陽電池が製造可能な薄膜太陽電池セル直列接続形
成装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め、請求項１の発明は、フィルム基板上に、金属電極
層，光電変換層および透明電極層を順次重ねて形成し、
かつ所定のパターンをレーザの罫書きにより形成して単
位セルに分離し、さらに導電ペーストの塗布印刷により
複数セルを電気的に直列接続してなる薄膜太陽電池を形
成するための薄膜太陽電池セル直列接続形成装置におい
て、フィルム基板巻き出しロールと巻き取りロールとを
含むフィルム基板搬送手段と、フィルム基板搬送経路内
に配設されたレーザパターニング手段と、このレーザパ
ターニング手段によって罫書きされた罫書き線のフィル
ム基板上の幅方向位置を検知するための位置検知手段
と、この位置検知手段の位置検知情報に基づいて所定位
置に移動可能な導電ペースト塗布用ペン（以下、インキ
ペンともいう。）を有する導電ペースト塗布手段とを備
えたものとする。
め、請求項１の発明は、フィルム基板上に、金属電極
層，光電変換層および透明電極層を順次重ねて形成し、
かつ所定のパターンをレーザの罫書きにより形成して単
位セルに分離し、さらに導電ペーストの塗布印刷により
複数セルを電気的に直列接続してなる薄膜太陽電池を形
成するための薄膜太陽電池セル直列接続形成装置におい
て、フィルム基板巻き出しロールと巻き取りロールとを
含むフィルム基板搬送手段と、フィルム基板搬送経路内
に配設されたレーザパターニング手段と、このレーザパ
ターニング手段によって罫書きされた罫書き線のフィル
ム基板上の幅方向位置を検知するための位置検知手段
と、この位置検知手段の位置検知情報に基づいて所定位
置に移動可能な導電ペースト塗布用ペン（以下、インキ
ペンともいう。）を有する導電ペースト塗布手段とを備
えたものとする。
【００１１】前述のように、フィルム基板においてレー
ザパターニング後に熱変形が生じても、フィルム基板上
の幅方向位置の検知結果に基づき、前工程で罫書いたパ
ターニング線に追従した導電ペーストの塗布が可能とな
る。従って、レーザーパターンとの対応上の導電ペース
トパターンの位置精度が向上する。
ザパターニング後に熱変形が生じても、フィルム基板上
の幅方向位置の検知結果に基づき、前工程で罫書いたパ
ターニング線に追従した導電ペーストの塗布が可能とな
る。従って、レーザーパターンとの対応上の導電ペース
トパターンの位置精度が向上する。
【００１２】二次元的なパターニング精度が必要となる
場合には、請求項１記載のものにおいて、位置検知手段
に代えて、レーザパターニング手段によって罫書きされ
た罫書き線の形状や色を認識するための画像認識手段を
備え、この画像認識手段の画像認識情報に基づいて所定
位置に移動可能な導電ペースト塗布用ペンを有する導電
ペースト塗布手段を備えたものとする（請求項２）のが
好適である。
場合には、請求項１記載のものにおいて、位置検知手段
に代えて、レーザパターニング手段によって罫書きされ
た罫書き線の形状や色を認識するための画像認識手段を
備え、この画像認識手段の画像認識情報に基づいて所定
位置に移動可能な導電ペースト塗布用ペンを有する導電
ペースト塗布手段を備えたものとする（請求項２）のが
好適である。
【００１３】また、導電ペースト塗布工程の時間を短縮
するためには、請求項３の発明のように、請求項１また
は２に記載のものにおいて、導電ペースト塗布手段は、
フィルム基板の幅方向に移動可能な複数個の導電ペース
ト塗布用ペンを備えたものとすることが望ましい。
するためには、請求項３の発明のように、請求項１また
は２に記載のものにおいて、導電ペースト塗布手段は、
フィルム基板の幅方向に移動可能な複数個の導電ペース
ト塗布用ペンを備えたものとすることが望ましい。
【００１４】さらにまた、請求項１ないし３のいずれか
に記載のものにおいて、フィルム基板搬送経路内の導電
ペースト塗布手段の後段に、塗布された導電性ペースト
を乾燥焼成するための乾燥炉を備えたものとする（請求
項４）のが、量産性の観点から望ましい。
に記載のものにおいて、フィルム基板搬送経路内の導電
ペースト塗布手段の後段に、塗布された導電性ペースト
を乾燥焼成するための乾燥炉を備えたものとする（請求
項４）のが、量産性の観点から望ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】図面に基づき、本発明の実施の形
態について以下に述べる。
態について以下に述べる。
【００１６】図１は、この発明の薄膜太陽電池セル直列
接続形成装置の実施例を概念的に示す構成図である。こ
の実施例においては、連続的にフィルム基板１０を巻き
出すための巻き出しロール１と、巻き取りロール２と、
テンションコントロール用ロール３とを含むフィルム基
板搬送手段と、その搬送経路内において、フィルム基板
上に形成された金属電極層、光電変換層、透明電極層な
どを、レーザパターニング手段用ロール４上でフィルム
基板１０の幅方向に移動可能な複数のレーザヘッド５を
有し所定のパターンをレーザの罫書きにより形成するパ
ターニング手段と、このレーザパターニング手段５によ
って罫書きされた罫書き線のフィルム基板上の幅方向位
置を検知するための位置検知手段（もしくは罫書き線の
形状や色を認識するための画像認識手段）６と、この位
置検知手段もしくは画像認識手段６の情報に連動して独
立に移動可能な複数のインキペン７により、ロール上で
導電性ペーストを塗布する導電ペースト塗布手段と、さ
らに導電性ペーストの印刷パターンを乾燥焼成するため
の乾燥炉８とを備える。
接続形成装置の実施例を概念的に示す構成図である。こ
の実施例においては、連続的にフィルム基板１０を巻き
出すための巻き出しロール１と、巻き取りロール２と、
テンションコントロール用ロール３とを含むフィルム基
板搬送手段と、その搬送経路内において、フィルム基板
上に形成された金属電極層、光電変換層、透明電極層な
どを、レーザパターニング手段用ロール４上でフィルム
基板１０の幅方向に移動可能な複数のレーザヘッド５を
有し所定のパターンをレーザの罫書きにより形成するパ
ターニング手段と、このレーザパターニング手段５によ
って罫書きされた罫書き線のフィルム基板上の幅方向位
置を検知するための位置検知手段（もしくは罫書き線の
形状や色を認識するための画像認識手段）６と、この位
置検知手段もしくは画像認識手段６の情報に連動して独
立に移動可能な複数のインキペン７により、ロール上で
導電性ペーストを塗布する導電ペースト塗布手段と、さ
らに導電性ペーストの印刷パターンを乾燥焼成するため
の乾燥炉８とを備える。
【００１７】位置検知手段としては、透過型のセンサが
好適である。また、画像認識手段としては、ＣＣＤカメ
ラと形状および色、濃淡の認識が可能なパターン認識回
路を備えたものが好適である。基板の搬送方向のパター
ニング位置は、例えば基板にあらかじめ開けられた基準
位置用の孔を基準にして搬送長を制御することにより、
制御することができる。
好適である。また、画像認識手段としては、ＣＣＤカメ
ラと形状および色、濃淡の認識が可能なパターン認識回
路を備えたものが好適である。基板の搬送方向のパター
ニング位置は、例えば基板にあらかじめ開けられた基準
位置用の孔を基準にして搬送長を制御することにより、
制御することができる。
【００１８】また、図１において、ロール４の前段にレ
ーザ罫書き位置出し用の図示しない位置センサを設ける
こともできる。
ーザ罫書き位置出し用の図示しない位置センサを設ける
こともできる。
【００１９】図２は請求項３の発明に関わるインキペン
の設置状態の概念図を示す。図２によれば、ロール４の
中心軸と平行なアーム９をガイドとして、複数個のイン
キペン７がロールと平行にフィルム基板の幅方向に移動
することが可能な構成となっている。
の設置状態の概念図を示す。図２によれば、ロール４の
中心軸と平行なアーム９をガイドとして、複数個のイン
キペン７がロールと平行にフィルム基板の幅方向に移動
することが可能な構成となっている。
【００２０】上記図１および図２に示す構成により、前
述のように、フィルム基板が変形した場合でも、前工程
で罫書いたレーザパターニングに追従した導電性ペース
トの塗布を行うことができ、これを乾燥炉８において乾
燥焼成することにより、品質が安定しかつ量産性の高い
薄膜太陽電池セル直列接続形成装置を提供することがで
きる。
述のように、フィルム基板が変形した場合でも、前工程
で罫書いたレーザパターニングに追従した導電性ペース
トの塗布を行うことができ、これを乾燥炉８において乾
燥焼成することにより、品質が安定しかつ量産性の高い
薄膜太陽電池セル直列接続形成装置を提供することがで
きる。
【００２１】図３は、この発明の薄膜太陽電池セル直列
接続形成装置によって製造した薄膜太陽電池の構成の一
例を示す。図３（ａ）は薄膜太陽電池の上面図、図３
（ｂ）は断面図である。この太陽電池の構成は、詳細説
明は省略するが一部新規の構成部分を含むもので、この
発明の薄膜太陽電池セル直列接続形成装置の好ましい適
用対象の一例である。図３により、薄膜太陽電池の構成
とセル直列接続形成手順について、以下に述べる。
接続形成装置によって製造した薄膜太陽電池の構成の一
例を示す。図３（ａ）は薄膜太陽電池の上面図、図３
（ｂ）は断面図である。この太陽電池の構成は、詳細説
明は省略するが一部新規の構成部分を含むもので、この
発明の薄膜太陽電池セル直列接続形成装置の好ましい適
用対象の一例である。図３により、薄膜太陽電池の構成
とセル直列接続形成手順について、以下に述べる。
【００２２】ポリイミド、アラミド、ＰＥＴ（ポリエチ
レンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレ
ート）などの比較的耐熱性の高いプラスチック基板１１
上に、この発明の装置を用いて、印刷ペーストライン１
２をフィルム搬送方向（紙面上下方向）に連続的に形成
する。この印刷ペーストの材質としては、耐熱性のある
もの、脱ガス成分の少ないものであれば何でも良いが、
例えば、ポリイミド系、ポリイミドアミド系樹脂などを
バインダーとし、導電性材料として銀、Al、Ni、カーボ
ンなどを含む導電性ペーストが適している。
レンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレ
ート）などの比較的耐熱性の高いプラスチック基板１１
上に、この発明の装置を用いて、印刷ペーストライン１
２をフィルム搬送方向（紙面上下方向）に連続的に形成
する。この印刷ペーストの材質としては、耐熱性のある
もの、脱ガス成分の少ないものであれば何でも良いが、
例えば、ポリイミド系、ポリイミドアミド系樹脂などを
バインダーとし、導電性材料として銀、Al、Ni、カーボ
ンなどを含む導電性ペーストが適している。
【００２３】その後、金属電極層１３をロールツーロー
ル方式においてスパッタリングにより形成し、この発明
の装置により、図１には図示しない位置センサにより印
刷ペーストライン１２を認識しながらそのサイドに罫書
き線１４を形成する。その後、非晶質シリコンなどの光
電変換層１５、透明電極層１９を形成し、位置１６にお
いて光電変換層１５、透明電極層１９を罫書き、位置１
７において透明電極層１９を罫書く。透明電極層１９の
罫書きには、波長が短い短波長レーザを用いることがで
きる。その後、位置１６において、罫書き線のフィルム
基板上の幅方向位置を検知するための位置検知手段の情
報に基づいて印刷ペーストライン１２のエッジに塗布開
始点を一致させて、透明電極層上に集電を行うための印
刷電極２０を塗布し、さらに位置１６内にインキペンを
用いて導電性ペーストを塗布充填する。その後、導電性
ペーストを乾燥焼成する。
ル方式においてスパッタリングにより形成し、この発明
の装置により、図１には図示しない位置センサにより印
刷ペーストライン１２を認識しながらそのサイドに罫書
き線１４を形成する。その後、非晶質シリコンなどの光
電変換層１５、透明電極層１９を形成し、位置１６にお
いて光電変換層１５、透明電極層１９を罫書き、位置１
７において透明電極層１９を罫書く。透明電極層１９の
罫書きには、波長が短い短波長レーザを用いることがで
きる。その後、位置１６において、罫書き線のフィルム
基板上の幅方向位置を検知するための位置検知手段の情
報に基づいて印刷ペーストライン１２のエッジに塗布開
始点を一致させて、透明電極層上に集電を行うための印
刷電極２０を塗布し、さらに位置１６内にインキペンを
用いて導電性ペーストを塗布充填する。その後、導電性
ペーストを乾燥焼成する。
【００２４】上記により、各金属電極層１３と隣接する
透明電極層１９とが導電性ペーストにより順次電気的に
接続され、全体として複数個の太陽電池セルの直列接続
が形成される。
透明電極層１９とが導電性ペーストにより順次電気的に
接続され、全体として複数個の太陽電池セルの直列接続
が形成される。
【００２５】
【発明の効果】この発明によれば、フィルム基板上に、
金属電極層，光電変換層および透明電極層を順次重ねて
形成し、かつ所定のパターンをレーザの罫書きにより形
成して単位セルに分離し、さらに導電ペーストの塗布印
刷により複数セルを電気的に直列接続してなる薄膜太陽
電池を形成するための薄膜太陽電池セル直列接続形成装
置において、フィルム基板巻き出しロールと巻き取りロ
ールとを含むフィルム基板搬送手段と、フィルム基板搬
送経路内に配設されたレーザパターニング手段と、この
レーザパターニング手段によって罫書きされた罫書き線
のフィルム基板上の幅方向位置を検知するための位置検
知手段（もしくは罫書き線の形状や色を認識するための
画像認識手段）と、この位置検知手段または画像認識手
段の情報に基づいて所定位置に移動可能な導電ペースト
塗布用ペンを有する導電ペースト塗布手段とを備えたも
のとすることにより、レーザパターニング後の導電ペー
スト印刷パターンの、レーザーパターンとの対応上の位
置精度の向上を図り、品質の高い薄膜太陽電池が製造可
能な薄膜太陽電池セル直列接続形成装置を提供すること
ができる。
金属電極層，光電変換層および透明電極層を順次重ねて
形成し、かつ所定のパターンをレーザの罫書きにより形
成して単位セルに分離し、さらに導電ペーストの塗布印
刷により複数セルを電気的に直列接続してなる薄膜太陽
電池を形成するための薄膜太陽電池セル直列接続形成装
置において、フィルム基板巻き出しロールと巻き取りロ
ールとを含むフィルム基板搬送手段と、フィルム基板搬
送経路内に配設されたレーザパターニング手段と、この
レーザパターニング手段によって罫書きされた罫書き線
のフィルム基板上の幅方向位置を検知するための位置検
知手段（もしくは罫書き線の形状や色を認識するための
画像認識手段）と、この位置検知手段または画像認識手
段の情報に基づいて所定位置に移動可能な導電ペースト
塗布用ペンを有する導電ペースト塗布手段とを備えたも
のとすることにより、レーザパターニング後の導電ペー
スト印刷パターンの、レーザーパターンとの対応上の位
置精度の向上を図り、品質の高い薄膜太陽電池が製造可
能な薄膜太陽電池セル直列接続形成装置を提供すること
ができる。
【図１】この発明の薄膜太陽電池セル直列接続形成装置
の実施例の概念的構成図
の実施例の概念的構成図
【図２】この発明の実施例に関わるインキペンの設置状
態の構成図
態の構成図
【図３】この発明の装置により製造した薄膜太陽電池の
構成の一例
構成の一例
１：巻き出しロール、２：巻き取りロール、３：テンシ
ョンコントロール用ロール、４：レーザパターニング手
段用ロール、５：レーザヘッド、６：位置検知手段また
は画像認識手段、７：インキペン、８：乾燥炉、９：ア
ーム。
ョンコントロール用ロール、４：レーザパターニング手
段用ロール、５：レーザヘッド、６：位置検知手段また
は画像認識手段、７：インキペン、８：乾燥炉、９：ア
ーム。
Claims (4)
- 【請求項１】 フィルム基板上に、金属電極層，光電変
換層および透明電極層を順次重ねて形成し、かつ所定の
パターンをレーザの罫書きにより形成して単位セルに分
離し、さらに導電ペーストの塗布印刷により複数セルを
電気的に直列接続してなる薄膜太陽電池を形成するため
の薄膜太陽電池セル直列接続形成装置であって、フィル
ム基板巻き出しロールと巻き取りロールとを含むフィル
ム基板搬送手段と、フィルム基板搬送経路内に配設され
たレーザパターニング手段と、このレーザパターニング
手段によって罫書きされた罫書き線のフィルム基板上の
幅方向位置を検知するための位置検知手段と、この位置
検知手段の位置検知情報に基づいて所定位置に移動可能
な導電ペースト塗布用ペンを有する導電ペースト塗布手
段とを備えたことを特徴とする薄膜太陽電池セル直列接
続形成装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のものにおいて、位置検知
手段に代えて、レーザパターニング手段によって罫書き
された罫書き線の形状や色を認識するための画像認識手
段を備え、この画像認識手段の画像認識情報に基づいて
所定位置に移動可能な導電ペースト塗布用ペンを有する
導電ペースト塗布手段を備えたことを特徴とする薄膜太
陽電池セル直列接続形成装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載のものにおい
て、導電ペースト塗布手段は、フィルム基板の幅方向に
移動可能な複数個の導電ペースト塗布用ペンを備えたこ
とを特徴とする薄膜太陽電池セル直列接続形成装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載のも
のにおいて、フィルム基板搬送経路内の導電ペースト塗
布手段の後段に、塗布された導電性ペーストを乾燥焼成
するための乾燥炉を備えたことを特徴とする薄膜太陽電
池セル直列接続形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32738899A JP2001144311A (ja) | 1999-11-17 | 1999-11-17 | 薄膜太陽電池セル直列接続形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32738899A JP2001144311A (ja) | 1999-11-17 | 1999-11-17 | 薄膜太陽電池セル直列接続形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001144311A true JP2001144311A (ja) | 2001-05-25 |
Family
ID=18198604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32738899A Pending JP2001144311A (ja) | 1999-11-17 | 1999-11-17 | 薄膜太陽電池セル直列接続形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001144311A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009148086A1 (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-10 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| WO2013145682A1 (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-03 | 川崎重工業株式会社 | パターニング用レーザ加工装置 |
| JP2014056578A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Rtr-Tech Technology Co Ltd | タッチパネル及びその製造方法 |
| KR101385730B1 (ko) * | 2011-12-14 | 2014-04-16 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 태양 전지 모듈의 제조 방법 및 제조 장치 |
-
1999
- 1999-11-17 JP JP32738899A patent/JP2001144311A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009148086A1 (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-10 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| JPWO2009148086A1 (ja) * | 2008-06-06 | 2011-11-04 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| CN102317029A (zh) * | 2008-06-06 | 2012-01-11 | 芝浦机械电子株式会社 | 激光加工装置及激光加工方法 |
| KR101385730B1 (ko) * | 2011-12-14 | 2014-04-16 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 태양 전지 모듈의 제조 방법 및 제조 장치 |
| WO2013145682A1 (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-03 | 川崎重工業株式会社 | パターニング用レーザ加工装置 |
| CN104080571A (zh) * | 2012-03-27 | 2014-10-01 | 川崎重工业株式会社 | 图形加工用激光加工装置 |
| JP2014056578A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Rtr-Tech Technology Co Ltd | タッチパネル及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7095090B2 (en) | Photoelectric conversion device | |
| US8288776B2 (en) | Hybrid electric device using piezoelectric polymer substrate | |
| US5821597A (en) | Photoelectric conversion device | |
| US20160001496A1 (en) | Methods and apparatus for the fabrication of pattern arrays in making touch sensor panels | |
| WO2007106699A1 (en) | Roll-to-roll manufacturing of electronic and optical materials | |
| CN1143834A (zh) | 光化学电池 | |
| GB2376565A (en) | Method of forming an electronic device | |
| CN111128707B (zh) | 元件制造方法及转印基板 | |
| US20090301550A1 (en) | Focused acoustic printing of patterned photovoltaic materials | |
| KR20230012990A (ko) | 전극 제조 장치, 축전 디바이스 제조 장치, 액체 토출 장치, 전극 제조 방법 및 기록 매체 | |
| JP2001144311A (ja) | 薄膜太陽電池セル直列接続形成装置 | |
| US10930919B2 (en) | Method of manufacturing battery electrode and electrode manufacturing apparatus | |
| JP2009224777A (ja) | 直列接続されたセルを備える光起電モジュールの分割線を形成するための方法および装置 | |
| US10756225B2 (en) | Method for manufacturing a photovoltaic module and photovoltaic module thus obtained | |
| JP2009076714A (ja) | 薄膜太陽電池の製造方法 | |
| US12103276B2 (en) | Pattern transfer sheet, method of monitoring pattern transfer printing, and pattern transfer printing system | |
| TWI761900B (zh) | 大型成膜基板及其製造方法、分割成膜基板及其製造方法、分割成膜基板之生產管理方法及生產管理系統 | |
| JP2004001465A (ja) | パターン部材の製造方法及び製造装置 | |
| JPH0592406A (ja) | 積層電子部品の製造方法 | |
| JP2003071375A (ja) | 剥離フィルムの製造方法 | |
| JPH1012904A (ja) | 薄膜半導体装置の製造方法 | |
| WO2024128789A1 (ko) | 전극 제조 장치 및 방법 | |
| JP5928085B2 (ja) | 太陽電池用集電シートの製造方法 | |
| JPH10305375A (ja) | レーザ加工装置および方法 | |
| JP2752187B2 (ja) | 光起電力装置の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040217 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060619 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060622 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061019 |