TWI395520B

TWI395520B - 疊層裝置及利用此疊層裝置之疊層方法

Info

Publication number: TWI395520B
Application number: TW096120598A
Authority: TW
Inventors: Ryoichi Yasumoto; Kazutoshi Iwata
Original assignee: Nichigo Morton Co Ltd
Priority date: 2006-06-07
Filing date: 2007-06-07
Publication date: 2013-05-01
Also published as: TW200818999A; KR20090016440A; KR101265379B1; CN101384416A; CN101384416B; WO2007142290A1

Description

疊層裝置及利用此疊層裝置之疊層方法

本發明係關於一種印刷電路基材等製造時使用之疊層裝置及使用此等之疊層方法，更詳言之，係關於一種疊層裝置及使用此等之疊層方法，藉由使膜狀樹脂層密接服貼在印刷電路基材等具有凹凸之基材，而使得基材與膜狀樹脂層之間不殘存氣泡，對建成法有用。

近年來，伴隨著電子裝置小、型化、高性能化，印刷電路基材之高密度化、多層化愈形進展，以電路基材厚度厚之製品作為MPU用封裝體基板等特殊用途者也增加。像這種印刷電路基材多層化之中，係將熱硬化型樹脂組合物或感光性樹脂組合物作為電絕緣層使用，在預先形成之內層電路之上，塗布上述熱硬化型樹脂組合物或感光性樹脂組合物，或將上述熱硬化型樹脂組合物或感光性樹脂組合物所構成之膜狀樹脂層予以疊層之方式進行。又，於此膜狀樹脂層之單面，通常疊層著銅箔或支持體膜(分隔膜)，於銅箔之情形，將其進行半蝕刻或全面蝕刻，於支持體膜之情形，將其剝離，接著以雷射或紫外光開孔，其次實施鍍銅後，再度使用光阻膜，以光進行圖案化而形成電路之方法，即所謂建成法，被有效地使用。

上述建成法之中，在具有凹凸之基材上，將膜狀樹脂層平坦地疊層之技術為重要的。像這種技術，有隔膜式真空疊層裝置或非隔膜式之真空疊層裝置。

上述隔膜式真空疊層裝置，有如圖31所示之真空壓製裝置。此真空壓製裝置中，真空室71由：固定於支持塊72之上側殼體構件73、藉由空氣缸筒74a而升降自如之下側殼體構件75，所構成，上述上側殼體構件73內，配置有上側加壓塊76，於上述下側殼體構件75內，配置有藉由缸筒裝置74b而升降自如之下側加壓塊77。又，上述上側加壓塊76內，收納有加熱板78，同時，此加熱板78之加壓面側，以隔膜79被覆，藉此，上述上側加壓塊76之內部空間(以隔膜79被覆之空間)成為密閉構造。能成為真空狀態或加壓狀態。又，同樣地，上述下側加壓塊77內亦收納有加熱板80，同時，此加熱板80之加壓面側以隔膜81被覆，藉此，上述下側加壓塊77之內部空間(以隔膜81被覆之空間)亦成為密閉構造，能成為真空狀態或加壓狀態。

並且，於將基板82予以加熱加壓時，將基板82定位於真空室71內之中央部，使空氣缸筒74a上升，於在上側殼體構件73使下側殼體構件75密接所形成之真空室71內於減壓狀態，以加熱板78、80對保持在基板82表面之膜狀材料進行加熱，於此狀態，將缸筒裝置74b伸長並使下側加壓塊77上升，將基板82夾持在上下兩加壓塊76、77之間並加壓，在此加壓時，使上下兩加壓塊76、77之內部空間其中之一或兩者成為加壓狀態，能以隔膜79、81其中之一或兩者，將基板82表面之膜狀材料予以加壓(例如，參照專利文獻1)。

又，就非為隔膜式之真空疊層裝置(非隔膜式真空疊層裝置)而言，有人提出如圖32之疊層成形裝置。此疊層成形裝置，具有真空疊層機91及平坦化壓製機(presser)92，在真空疊層機91及平坦化壓製機92兩者，設有上下一對熱盤93a、93b、94a、94b。並且，於真空疊層機91，於真空狀態將疊層材95、被疊層材96以兩熱盤93a、93b予以加熱加壓，而將被疊層材96疊層在疊層材95，於平坦化壓製機92，在兩熱盤94a、94b彼此相對的面隔著緩衝材層設置可彈性變形之鏡面板(皆未圖示)，將疊層材95、被疊層材96以兩鏡面板予以加熱加壓，而使疊層材95之表面平坦化。又，於上述真空疊層機91之中亦為，在兩熱盤93a、93b彼此相對之面，隔著緩衝材層設置可彈性變形之鏡面板(皆未圖示)，於真空狀態將疊層材95、被疊層材96以兩鏡面板予以加熱加壓，而將被疊層材96疊層於疊層材95(例如，參照專利文獻2)。

[專利文獻1]日本特開2003－181697號公報[專利文獻2]日本特開2002－120100號公報

然而，於隔膜式真空疊層裝置，由於隔膜79、81之厚度厚(2~3mm左右)，故於基板82之凹凸間隔微細(20 μm左右)或凹凸深(40 μm以上)之情形，難以使膜狀材料密接服貼在基板82，在基板82與膜狀材料之間會殘存氣泡。另一方面，非隔膜式真空疊層裝置，於能輕易地以強壓力對厚度薄之基材至厚之基材予以加壓之觀點，較隔膜式真空疊層裝置更為有利，但是如上述疊層成形裝置，由於係以上下一對熱盤93a、93b或鏡面板將疊層材95、被疊層材96予以加壓，故與隔膜式真空疊層裝置同樣，於被疊層材96之凹凸間隔微細(20 μm左右)或凹凸深(40 μm以上)之情形，難以使疊層材95密接服貼在被疊層材96，有時在被疊層材96與疊層材95之間會有氣泡殘存。

本發明有鑑於像這種事情而生，目的在於提供一種疊層裝置及使用此等之疊層方法，即使於基材之凹凸間隔微細或凹凸深之情形，仍能使膜狀樹脂層密接服貼於基材，並且於基材與膜狀樹脂層之間不殘存氣泡。

為了達成上述目的，本發明提供一種疊層裝置，具備真空壓製裝置，其設有一對相對向之附設加熱機構之熱盤，且該等熱盤其中至少其一可相對於另一者前進後退，藉由此真空壓製裝置，對於表背兩面其中至少其一具有凹凸之基材之上述凹凸面，疊層膜狀樹脂材料而形成疊層體，第1要旨為一種疊層裝置：與上述膜狀樹脂材料相對向之熱盤，在上述膜狀樹脂材料側之面，設有將膜狀樹脂材料予以加壓之彈性加壓板，第2要旨為一種疊層方法，係使用上述疊層裝置，在表背兩面其中至少其一具有凹凸之基材的上述凹凸面，疊層膜狀樹脂材料而形成疊層體。

亦即，本發明之疊層裝置，具備真空壓製裝置，其設有一對相對向之附設加熱機構之熱盤，該等熱盤其中至少其一可相對於另一者前進後退，藉由此真空壓製裝置，對於表背兩面其中至少其一具有凹凸之基材之上述凹凸面，疊層膜狀樹脂材料而形成疊層體。並且，與上述膜狀樹脂材料相對向之熱盤，在上述膜狀樹脂材料側之面，設有將膜狀樹脂材料予以加壓之彈性加壓板。以此方式，本發明之疊層裝置，使用上述彈性加壓板對於膜狀樹脂材料之表面予以加壓，因此，能藉由上述彈性加壓板以強壓力對於膜狀樹脂材料之表面加壓，且於加壓時，由於上述彈性加壓板之彈性，會使其加壓面(對上述膜狀樹脂材料之表面予以加壓之面)沿著基材之凹凸面而彈性變形。因此，即使基材之凹凸間隔微細或凹凸深之情形，亦能使上述加壓時膜狀樹脂材料密接服貼於基材，在此基材與膜狀樹脂材料之間不殘存氣泡。另一方面，本發明之疊層方法，由於使用上述疊層裝置，故能發揮上述優異效果。

又，本發明中，上述彈性加壓板由耐熱性矽酮橡膠或耐熱性氟橡膠所構成之情形，上述彈性加壓板耐熱性優異，再者，藉由在上述彈性加壓板設置纖維層或將上述彈性加壓板加硫黏接於不銹鋼板等板體後使用，能在上述彈性加壓板受壓製時，抑制上述彈性加壓板在受壓製之加壓方向及相對於此加壓方向成垂直之垂直方向伸長，能對於基材之凹面上之膜狀樹脂材料與凸面上之膜狀樹脂材料，均等地傳達加壓力，改善膜狀樹脂材料對於基材之密接服貼性，同時強度亦為優異，即使在高溫下反複加壓，亦能抑制上述彈性加壓板之伸張變形。

再者，本發明中，於上述彈性加壓板具有纖維層之情形，即使於高溫下反複施行加壓，亦能抑制上述彈性加壓板之伸張變形，膜狀樹脂材料對於基材之服貼性或密接性優異，能提高上述彈性加壓板之耐久性。

又，本發明中，上述彈性加壓板之ShoreA硬度為40度以上之情形，上述彈性加壓板良好地伸張且不易斷裂，同時能得到強斷裂強度，另一方面，能得到充分的剝離性，容易將疊層體從彈性加壓板剝離。再者，為了得到剝離性，可對於與疊層體接觸之彈性加壓板之表面，施以壓印加工或化學性離形處理。

並且，本發明中，於上述彈性加壓板在與膜狀樹脂材料接觸之表面為粗糙化之情形，於以上述彈性加壓板加壓後，當此彈性加壓板使用疊層體或後述帶狀膜之情形，容易從此帶狀膜剝離。

又，本發明之中，於與述膜狀樹脂材料相對向之熱盤與彈性加壓板之間，設有板狀體，於將此板狀體與彈性加壓板黏接固定之情形，即使於高溫下反複施行加壓，亦能以上述板狀體來抑制彈性加壓板之伸張變形，膜狀樹脂材料對於基材之服貼性或密接性優異，能使上述彈性加壓板之耐久性提高。

再者，本發明中，於上述熱盤與上述板狀體之間設有緩衝材之情形，上述熱盤、板狀體製作時之尺寸誤差等能藉著緩衝材之緩衝作用而吸收，能消除上述熱盤與板狀體之不均勻接觸(partial loading)等。

又，本發明中，於具備：第1膜捲繞輥，捲繞有第1帶狀膜；第2膜捲繞輥，捲繞有與此第1膜捲繞輥相對向而設置之第2帶狀膜；第1及第2膜捲取輥，將捲繞在上述第1及第2膜捲繞輥之第1及第2帶狀膜以相對向狀態拉出並使通過上述真空壓製裝置之兩熱盤間而捲取；供給機構，對於從上述兩膜捲繞輥拉出之兩帶狀膜間所形成之間隙，供給膜狀樹脂材料暫時固定在基材至少單面之暫時疊層體；之情形，可藉由上述兩帶狀膜將暫時疊層體對真空壓製裝置供給並形成疊層體，同時疊層體形成時，能防止軟化的膜狀樹脂附著在真空壓製裝置之兩熱盤等。於將膜狀樹脂材料暫時固定在基材之至少單面而成之暫時疊層體，可使用將連續帶狀之膜狀樹脂材料配合基材之尺寸裁切並暫時固定在基材之自動片材裁切疊層機(伯東公司製Mach630、Mach610、日立Industries公司製TLD－6500、TLD－2400)等製作，並對於本發明之疊層裝置供給。

並且本發明之中，具備：第1樹脂材料捲繞輥，捲繞有使膜狀樹脂材料成為帶狀而成之第1帶狀膜狀樹脂材料；第2樹脂材料捲繞輥，捲繞有與此第1樹脂材料捲繞輥相對向而設置之膜狀樹脂材料成為帶狀之第2帶狀膜狀樹脂材料；對從上述兩樹脂材料捲繞輥拉出之兩帶狀膜狀樹脂材料間所形成之間隙，供給基材之供給機構；第1及第2引導輥，為將從上述第1及第2樹脂材料捲繞輥拉出之第1及第2帶狀膜狀樹脂材料，以相對向之狀態，引導到上述真空壓製裝置之兩熱盤間的引導機構；真空壓製裝置，將夾持上述基材在其間之第1及第2帶狀膜狀樹脂材料導入於上述兩熱盤間，並藉由此動作，在基材之表背兩面，形成將上述第1及第2帶狀膜狀樹脂材料予以疊層而成之帶狀疊層體；拉伸上述帶狀疊層體之機構(捲取上述帶狀疊層體之疊層體捲取輥、拉伸上述帶狀疊層體之夾壓輥，或將上述帶狀疊層體以夾頭機構夾持而拉伸之機構等)之情形；將上述兩帶狀膜狀樹脂材料、基材對於真空壓製裝置連續地供給，能將多數疊層體形成一連串地(連續或間歇地)相連的帶狀疊層體。本發明中，不需將膜狀樹脂材料暫時固定在基材之單面，也不需要為了形成在基材之至少單面暫時固定有膜狀樹脂材料之暫時疊層體所需的上述自動片材裁切疊層機等。又，本發明之中，不限於上述第1及第2引導輥，只要能同樣地使帶狀材料拉牽，則可使用任意機構。關於後述第3引導輥也同樣地，本發明之構成不限定於引導輥。

再者，本發明中，於基材為單片基板或帶狀基板之情形，上述前帶狀膜狀樹脂材料、基材，對於真空壓製裝置間歇地或連續地供給，能將疊層體形成一連串相連的帶狀疊層體。

又，本發明之中，尚設置有：第1膜捲繞輥，捲繞有第1帶狀膜；第2膜捲繞輥，捲繞有第2帶狀膜；引導該等之第1及第2引導機構；捲取上述第1及第2帶狀膜之捲取輥；將從第1及第2樹脂材料捲繞輥拉出並將基材夾持在其之間之第1及第2帶狀膜狀樹脂材料，於以從上述兩膜捲繞輥拉出之兩帶狀膜夾持之狀態，形成帶狀疊層體，於第1及第2帶狀膜與上述帶狀疊層體係分別捲取之情形，於帶狀疊層體形成時，能防止軟化的膜狀樹脂附著在真空壓製裝置之兩熱盤等。

又，本發明中，設置有平面壓製裝置，其具有相對向之一對熱盤，且該等兩熱盤中至少其一可相對於另一者前進後退。於以此平面壓製裝置之兩熱盤，對於由上述真空壓製裝置所形成之疊層體之表背兩面予以加壓使平滑之情形，能藉由平面壓製裝置使疊層體之表背兩面平滑化。

[據以實施發明之最佳形態]

其次，將本發明之實施形態，依據圖面詳加説明。惟本發明不限於此等實施形態。

圖1顯示本發明之疊層裝置之一實施形態。此實施形態中，上述疊層裝置由以下所構成：運送膜釋出部1、真空疊層裝置(真空壓製裝置)2、平面壓製裝置3及運送膜捲取部4；其排列順序係從基板(圖2及圖3參照)流向(參照圖1之箭頭)之上游朝向下游。

上述運送膜釋出部1，如圖4擴大圖所示，具備：上側運送膜捲繞輥(第1膜捲繞輥)11，捲繞有上側運送膜(第1帶狀膜)5；下側運送膜捲繞輥(第2膜捲繞輥)12，捲繞有下側運送膜(第2帶狀膜)6，在較上側運送膜捲繞輥11為下側，與上側運送膜機回輥11相對向而配置；及，運入輸送帶13，配置於上下兩運送膜捲繞輥11、12之間。並且，從上側運送膜捲繞輥11拉出之上側運送膜5，通過真空疊層裝置2及平面壓製裝置3之相對向的上下一對熱盤23、26、47、51(參照圖6及圖12擴大圖)間之後，捲取在運送膜捲取部4(參照圖5之擴大圖)之上側捲取輥(第1膜捲取輥)14，且從下側運送膜捲繞輥12釋出之下側運送膜6亦同樣，在通過真空疊層裝置2及平面壓製裝置3之相對向的上下一對熱盤23、26、47、51之間後，捲取在運送膜捲取部4之下側捲取輥(第2膜捲取輥)15。又，具有：第1驅動機構(第1膜驅動機構)14b，將上側捲取輥14以熱盤23、26、47、51之每一次作動，而間歇地捲取驅動；第2驅動機構(第2膜驅動機構)15a，將下側捲取輥15與上述上側捲取輥14同步而間歇地捲取驅動。又，本發明中，熱盤係指具有加熱機構之盤，其經過加熱成為熱盤。

上述上下兩運送膜5、6，例如聚對苯二甲酸乙二酯(PET)膜，具體而言，可使用Unitika公司製「EMBLET PTH系列」或Diafoil公司製「Mat film系列」。又，上述上下兩運送膜5、6之寬度，於防止經加熱加壓之膜狀樹脂滲出到支持體膜外側而附著在真空疊層裝置2及平面壓製裝置3之目的，暫時疊層體7，設定為較疊層體9之寬度寬10~40mm左右。如果滲出到真空疊層裝置2及平面壓製裝置3之膜狀樹脂附著，則附著的膜狀樹脂會再附著到後續製品之支持體膜。滲出之樹脂所附著之部位的膜狀樹脂材料8b厚度，會使所附著樹脂之厚度變厚該厚度，使製品不良。像這種上下兩運送膜5、6，係於施以0.5~150kN之範圍內的張力的狀態使前進。又，上下兩運送膜5、6之運送速度，通常設定在1~20m/min之範圍內。

如圖4擴大圖所示，運入輸送帶(供給機構)13，如上所述，作用為接受暫時疊層體7，並將此暫時疊層體7對於上下兩運送膜5、6之間供給。暫時疊層體7，可藉由將與該暫時疊層體7投入側之與運送方向垂直之邊，視需要，藉由使能以空氣缸筒13b升降之暫時疊層體止動器13a在上述垂直之邊全體或兩端、中央部等多數部位抵接而停止，以使得供給予上下兩運送膜5、6間之前，正確地定位。暫時疊層體7，係將具有凹凸之基材8a(以下，簡稱為基材8a)，與以重疊在此基材8a之凹凸面之狀態(例如，將膜狀樹脂材料8b之角或外側邊之中央部，以點狀或將周緣部之1邊以線狀加熱加壓或加壓等而黏接固定)暫時固定之膜狀樹脂材料8b所構成(參照圖2)。具有凹凸之基材8a，例如可使用施用銅、焊錫等圖案等之印刷基板，又，也可使用建成法等使用之多疊層基板。基材8a之厚度或縱橫尺寸，不特別限定，厚度以0.1~10mm之範圍內為佳、縱橫尺寸以150~800nm之範圍內較佳。膜狀樹脂材料8b(真空疊層後成為膜狀樹脂層8c)，只要是具有黏著性或黏接性、熱融性，或以於玻璃轉移溫度以上軟化之樹脂作為主成分之樹脂組合物，則不特別限制，尤以帶有電絕緣性者為有用。像這種樹脂組合物，主要有環氧樹脂、環氧樹脂所構成之熱硬化性樹脂組合物、乙烯性不飽和化合物及光聚合起始劑所構成之感光性樹脂組合物等。此實施形態之中，上述暫時疊層體7，由表背兩面具有凹凸之基材8a，以及預先暫時固定於此基材8a之表背兩面之凹凸面之上下一對膜狀樹脂材料8b(將捲繞在捲繞心軸之帶狀膜狀樹脂材料8b以上述自動片材裁切疊層機等，裁切成為短冊片材狀者)所構成，於基材8a之表背兩面之中僅有一者具有凹凸之情形，亦可僅將膜狀樹脂材料8b暫時固定在具有凹凸之面。

其次，真空疊層裝置2，將以上下兩運送膜5、6運送過來的暫時疊層體7，以真空狀態加熱加壓，成為在基材8a疊層有膜狀樹脂層8c而成之疊層體9(參照圖3)，如圖6之擴大圖所示，真空疊層裝置2具有：立設於壓製台17之多根(圖6僅顯示2根)支柱18；上部板20，以螺栓、螺帽等固定機構19固定於該等各支柱18；及下部板21，以可上下移動之方式安裝於上述各支柱18；等。此下部板21，通過接頭28而連接在油壓缸筒或空氣缸筒29，藉由此油壓缸筒或空氣缸筒29之作動(伴隨著活塞桿29a之上升及下降)能上下移動。

於上部板20，從上側起依序地固定：平板狀之上側絕熱材料22、上側熱盤23、於真空疊層時將暫時疊層體7之上側膜狀樹脂材料8b(參照圖2)之表面予以加壓之橡膠製上側彈性加壓板24，於下部板21，自下側起依序固定：平板狀之下側絕熱材料25、下側熱盤26、真空疊層時將暫時疊層體7之下側膜狀樹脂材料8b(圖2參照)之表面予以加壓之橡膠製下側彈性加壓板27(參照圖7)。

又，上述兩彈性加壓板24、27固定在兩熱盤23、26之固定方法，不特別限定，可使用框體、螺栓、軸環等固定機構(未圖示)之方法，或於將兩彈性加壓板24、27與兩熱盤23、26之間密封之狀態，使其內部減壓，而將兩彈性加壓板24、27吸附固定在兩熱盤23、26之方法等各種方法。

又，就其他的固定方法而言，在上述兩彈性加壓板24、27與兩熱盤23、26之間，各設置金屬板24a、27a(參照圖8)，將兩彈性加壓板24、27加硫黏接在該等兩金屬板24a、27a之一側面，同時將兩熱盤23、26以螺栓、軸環等固定機構(未圖示)固定在另一側面(未將彈性加壓板24、27加硫黏接之側面)之方法。但是，不限於此，亦可適當採用於將兩熱盤23、26與兩金屬板24a、27a之間於密封狀態，使其內部減壓，而將兩金屬板24a、27a吸附固定在兩熱盤23、26之方法等。又，如圖8所示，較佳為在設於上述兩彈性加壓板24、27與兩熱盤23、26之間之兩金屬板24a、27a，與兩熱盤23、26之間，各設置具有橡膠彈性等之緩衝材24b、27b，將彈性加壓板24、27加硫黏接於兩金屬板24a、27a之兩側面，並且可將彈性加壓板24、27之一側面作為緩衝材24b、27b使用。如上所述，如果將彈性加壓板24、27加硫黏接在兩金屬板24a、27a之兩側面，則於彈性加壓板24或27由於異物等而傷到表面時，可將加硫黏接有損傷的彈性加壓板24、27的金屬板24a、27a從本體取下，並以損傷的彈性加壓板24、27作為緩衝材使用之方式，表背反向安裝而繼續生產，於裝置之保全性方面較佳。

上側絕熱材料22，以螺栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定在上部板20之下表面。上側熱盤23，以螺栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定在上側絕熱材料22，上側彈性加壓板24，直接地黏接固定在上側熱盤23下表面。又，下側絕熱材料25，以螺栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定於下部板21之上表面。下側熱盤26，以螺栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定於下側絕熱材料25，下側彈性加壓板27，直接地黏接固定於下側熱盤26之上表面。又，如果將上部(下部)板20(21)與上側(下側)熱盤23(26)，直接地以螺栓、螺帽等固定機構固定，則上側(下側)熱盤23(26)之熱容易通過螺栓、螺帽等而傳導到上部(下部)板20(21)，故不佳。

於上下兩熱盤23、26，其內部適當地配置用以將彈性加壓板24、27加熱之可控溫之加熱機構。此實施形態中，就上述加熱機構而言，上下兩熱盤23、26之內部平行配置著多條鞘(sheath)狀加熱器23a、26a。後述上下兩熱盤47、51，亦為同樣構造。

又，真空疊層裝置2，具備可動真空框30。此可動真空框30，如圖9(在圖9中，未圖示上下兩絕熱材料22、25、上下兩熱盤23、26、上下兩彈性加壓板24、27、金屬板24a、27a、緩衝材24b、27b。圖10及圖11亦同)所示，具有：大致四角形棒狀之上側固定框部31，以氣密狀固定在該上部板20之下表面，以及上表面之可動框32，以氣密狀固定在下部板21。於上側固定框部31，真空抽吸用噴嘴33固定在穿設於該上側固定框部之周側壁的貫通孔31a，藉由此真空抽吸用噴嘴33，在上下兩板20、21密封契合時，對於形成在上側固定框部31與可動框32之間之空間部34(參照圖10)內進行真空抽吸，可調整此空間部34之壓力(亦即，成為選定壓力之真空狀態)。又，真空抽吸用噴嘴33，不僅可配置在上側固定框部31，也可在上部板20設置貫通孔而配置。再者，如果設置於多數部位，則能有效率地調整空間部34之壓力。

上述可動框32，具備：大致四角形框狀之下側固定框部35，氣密狀地固定於下部板21之上表面；可動框部36；及彈簧37，將此可動框部36以上下移動自如方式支持著。上述下側固定框部35之上部，其全周突出於外側而形成，此突出形成部之外周面全周所形成之凹溝35a，嵌合固定有環狀密封構件38。密封構件38之形狀，以唇形襯墊較佳。

上述可動框部36，以上下滑動自如地外嵌於下側固定框部35之突出形成部，於此狀態，藉由彈簧37支持於下側固定框部35。亦即，彈簧37之上部插入在上述可動框部36之下表面所形成之多個(圖9~圖11中，僅圖示2個)凹部36a，該等各彈簧37，載置於下側固定框部35之下端突出部35b上。藉此，上述可動框部36藉由彈簧37，以上下移動自如方式支持於下側固定框部35。又，上述可動框部36之內周面，以氣密狀且滑動自如地抵接於下側固定框部35之密封構件38。

又，上述可動框部36之上表面之全周形成有凹溝36b，此凹溝36b嵌合固定有大致四角形環狀之密封構件39。此密封構件39之作用為：於上下兩板20、21密封契合時，使上述空間部34內保持氣密狀。又，此密封構件39之形狀，以唇形襯墊較佳。圖9~圖11之中，40a、40b為密封構件。

像這種可動真空框30，藉由油壓缸筒或空氣缸筒29(參照圖6)之作動，使下部板21上升，使得上側固定框部31之下表面與可動框部36之上表面密接(參照圖10)，能使其內部空間(前述空間部34)成為密封空間(亦即，能使上下兩板20、21密封契合)。再者，於使上述各彈簧37彎曲之狀態，能使下部板21上升，亦可使下部板21上升至可動框部36之下表面抵接於下側固定框部35之下端突出部35b之上表面(參照圖11)。

其次，平面壓製裝置3，係將從真空疊層裝置2藉由上下兩運送膜5、6運送過來的疊層體9，定位在上下兩壓製塊41、42(參照圖12)之間，以該等上下兩壓製塊41、42進行加熱加壓，使得疊層體9之表背兩面平滑化者(參照圖13)，如圖12所示，具有：立設於壓製台43之多根(圖12中僅顯示2根)支柱43a；上壓製塊41，以螺栓、螺帽等固定機構43b固定於該等各支柱43a；下壓製塊42，以可上下移動地安裝於上述各支柱43a；等。此下壓製塊42，通過接頭54而與油壓缸筒或空氣缸筒55連結，藉由此油壓缸筒或空氣缸筒55之作動(活塞桿55a之上升及下降)，能上下移動。

關於上述上下兩壓製塊41、42，此實施形態中，上壓製塊41在上部基底層44，自上側起依序地固定：平板狀之上側絕熱材料46、上側熱盤47、平板狀之上側緩衝材48及上側可撓性金屬板49，下壓製塊42在下部基底層45，自下側起依序地固定：平板狀之下側絕熱材料50、下側熱盤51、平板狀之下側緩衝材52及下側可撓性金屬板53。

上側絕熱材料46以螺栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定於上部基底層44之下表面。上側熱盤47以螺栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定在上側絕熱材料46，上側可撓性金屬板49隔著上側緩衝材48以螺栓、軸環等固定機構(未圖示)固定在上側熱盤47。又，下側絕熱材料50以螺栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定於下部基底層45之上表面。下側熱盤51以螺栓、螺帽等固定機構(未圖示)固定於下側絕熱材料50。下側可撓性金屬板53隔著下側緩衝材52以螺栓、軸環等固定機構(未圖示)固定在下側熱盤51。又，如果將上部(下部)基底層44(45)與上側(下側)熱盤47(51)直接以螺栓、螺帽等固定機構予以固定，則上側(下側)熱盤47(51)之熱容易通過螺栓、螺帽等而傳導到上部(下部)基底層44(45)，故不佳。圖中，47a、51a為平行配置在上下兩熱盤47、51之內部之鞘狀加熱器。

其次，運送膜捲取部4，如圖5之擴大圖所示，具備：上側捲取輥14，能捲上側運送膜5；下側捲取輥15，配置在下側運送膜6被捲取之上側捲取輥14更為下側；配置於上下兩捲取輥14、15之間之排出輸送帶(未圖示)。又，不配置此排出輸送帶亦可。又，於運送膜捲取部4，藉由冷卻風扇56等冷卻機構，將表背兩面經平滑之疊層體9予以冷卻，使疊層體9表面之經軟化膜狀樹脂層8c硬化，使得疊層體9表面不易變形，同時亦能容易將滲出之膜狀樹脂層8c與運送膜5、6予以剝離。

本發明之疊層裝置，如上所述，最大特徵在於：在真空疊層裝置2之中，上下兩熱盤23、26位在靠暫時疊層體7側之面，各設置有將暫時疊層體7之膜狀樹脂材料8b之表面予以加壓之彈性加壓板24、27。

上下兩彈性加壓板24、27之構成材料，可使用耐熱性矽酮橡膠、耐熱性氟橡膠等橡膠材料或具有彈性之各種樹脂材料，使用內部等設有纖維層亦為較佳。藉由設置此纖維層，能提高上下兩彈性加壓板24、27之耐久性，即使於高溫下反複施行加壓亦能抑制上下兩彈性加壓板24、27之伸張變形，能發揮膜狀樹脂材料8b、膜狀樹脂層8c對於基材8a之服貼性或密接性優異效果。另一方面，於上下兩彈性加壓板24、27未設有纖維層之情形，藉由將上下兩彈性加壓板24、27加硫黏接於金屬板24a、27a，與設有纖維層之情形同樣，即使於高溫下反複施行加壓，亦能抑制上下兩彈性加壓板24、27之伸張變形，能發揮膜狀樹脂材料8b、膜狀樹脂層8c對於基材8a之服貼性或密接性優異效果。

上述纖維層不特別限定，較佳為使用將化學纖維或玻璃纖維紡織為布狀者，例如，可於橡膠製板狀本體61之內部，設置1或多層將化學纖維紡織為布狀之纖維層62而一體化者(參照圖14)，或在橡膠製板狀本體61之表背兩面其中至少其一，設置1或多層上述纖維層62而一體化者(參照圖15)。

上述金屬板24a、27a不特別限定，以不銹鋼板在防銹之觀點，為較佳，厚度不特別限定，以0.1~10mm之範圍內為佳、更佳為1~5mm之範圍內。

上述氟系橡膠，例如：偏氟乙烯系橡膠、含氟矽酮橡膠、四氟乙烯系橡膠、含氟乙烯醚系橡膠、含氟磷腈系橡膠、含氟丙烯酸酯系橡膠、含氟亞硝基甲烷系橡膠、含氟聚酯橡膠、含氟三橡膠等，市販品例如：金陽公司製「Kinyoboard」系列、Kurehae elastomer公司製「氟橡膠片材FB」系列、Daikin工業公司製「Daueru」系列、杜邦公司製「Viton」系列、道康寧公司製「喜拉司得克(音譯)」系列、Montedison公司製「TECNOFLON」系列、3M公司製「富魯歐雷魯(音譯)」系列、「卡努－F」系列等。

又，上述纖維層之纖維材料，以玻璃纖維或聚酯或其他極性硬質材料、聚乙烯等非極性硬質材料、聚酯系及尼龍系等極性軟質材料、烯烴系等無極性軟質材料等，於與橡膠材料之黏接容易之觀點為較佳，聚酯或尼龍在強度及耐熱性優異之觀點，為較佳。尤佳者為橡膠材料使用耐熱性氟橡膠，並於內部設置耐熱性尼龍製布(將耐熱性尼龍紡織成布狀而製作之纖維層)者，強度及耐熱性非常地優異。市販品例如金陽公司製「Kinyoboard」系列，其中以「F－200」較佳。

關於上下兩彈性加壓板24、27之硬度，以將ShoreA硬度設定為40度以上較佳。亦即，對於上下兩彈性加壓板24、27要求相反之強抗斷裂強度及高剝離性，上述硬度對於抗斷裂強度與剝離性影響重大。上述ShoreA硬度如果為40度以上，則上下兩彈性加壓板24、27可良好地伸張而不易斷裂，同時能獲得耐加壓疊層之強抗斷裂強度。另一方面，關於剝離性，能得到充分的剝離性，疊層體9容易從上下兩彈性加壓板24、27剝離。該等上下兩彈性加壓板24、27之較佳硬度為50度以上，更佳為60度以上。又，本發明中，ShoreA硬度係依照JIS Z2246(2000)測定。

又，上下兩彈性加壓板24、27之厚度以0.1~10mm之範圍內為佳，更佳為0.5~3mm之範圍內。上述厚度如果太薄，則纖維層之紋理會顯現在上下兩彈性加壓板24、27之表面，會有纖維層的紋理複製到膜狀樹脂層8c之表面的傾向，而如果太厚，從上側熱盤23、下側熱盤26對膜狀樹脂層8c之熱傳導會變差，上側熱盤23、下側熱盤26之溫度分佈會有變得不均勻之傾向。又，上下兩彈性加壓板24、27之表面以經過粗糙化為佳，表面粗糙度Rz以1 μm以上為佳，再者以20~400 μm之範圍內為佳，又更佳為20~60 μm之範圍內。上述表面粗糙度Rz愈大，則加熱加壓後，上下兩彈性加壓板24、27容易從膜狀樹脂層8c或上下兩運送膜5、6分離，但是上下兩彈性加壓板24、27之表面粗糙度會複製到膜狀樹脂層8c之表面而有損及疊層體9之表面鏡面性之傾向，而如果太小，則與膜狀樹脂層8c或上下兩運送膜5、6之密接性會變得太好，加熱加壓後，上下兩彈性加壓板24、27不易從膜狀樹脂層8c剝離。又，本發明中，表面粗糙度Rz，係依照JIS B0601(2001)測定。

本發明之中，使用圖1之疊層裝置，以如下方式製作疊層體9。首先，事先準備將膜狀樹脂材料8b暫時固定於基材8a之凹凸面而成之暫時疊層體7。接著，將暫時疊層體7供給予運入輸送帶13，並且從此運入輸送帶13供給到上下兩運送用膜5、6之間。此被供給之暫時疊層體7被夾持在上下兩運送用膜5、6，並運入真空疊層裝置2。

此真空疊層裝置2，以如下方式進行真空疊層步驟。首先，將上述暫時疊層體7以上下兩運送用膜5、6，運送到真空疊層裝置2內，並定位在選定位置(加壓固定位置)(參照圖1及圖16，此圖16中，上下兩運送用膜5、6未圖示。圖17及圖18亦同)。接著，使油壓缸筒或空氣缸筒29作動，使下部板21上升，使上部板20之上側固定框部31下表面與下部板21之可動框部36上表面密接，將上下兩板20、21予以密封契合(參照圖10及圖17)。

此密封契合之後，使空間部34成為減壓狀態。具體而言，以真空抽吸用噴嘴33(參照圖9)，將空間部34以真空泵浦(未圖示)予以減壓(參照圖17)。將上述空間部34壓力減壓至200Pa以下、較佳為100Pa以下之真空狀態。上述壓力如果太大，則基板8a與膜狀樹脂材料8b之間會殘留微小空隙，疊層後之膜狀樹脂層8c在後步驟熱硬化時，殘存有微小空隙之部位的表面會凹陷，使製品有不良之傾向。

其次，將油壓缸筒或空氣缸筒29作動，使下部板21上升，以上下兩彈性加壓板24、27夾壓暫時疊層體7並進行加熱、加壓(參照圖18)，將膜狀樹脂材料8b貼合於基材8a之表背兩面，製作成疊層體9。上述壓力之調整，具體而言，於使空間部34為減壓之狀態，調整下側彈性加壓板27之壓力即可，以上下兩彈性加壓板24、27將暫時疊層體7之上下兩膜狀樹脂材料8b予以推壓，並將基材8a與膜狀樹脂材料8b加壓固定。以此方式，暫時疊層體7被施以真空疊層而成為疊層體9。此疊層體9之表面，雖然膜狀樹脂層8c密接服貼於基材8a之凹凸，但是反映出基材8a之凹凸，並非為平滑的。

上述加熱加壓時，上側熱盤23及下側熱盤26之溫度以定為30~185℃為佳、更佳為70~140℃。上述溫度如果太低，則膜狀樹脂層8c無法充填在基材8a，服貼性不佳，有殘存微小空隙之傾向。另一方面，如果上述溫度太高，則膜狀樹脂材料8b會發生熱分解硬化，分解氣體造成服貼性降低，會有產生微小空隙之傾向。像這種溫度控制之方法，不特別限定，可利用內建於上下兩熱盤23、26之鞘狀加熱器23a、26a等來調整。

上述加熱加壓之中，加壓條件設定在0.1~2MPa之範圍內，較佳為0.4~1.5MPa。

上述加熱加壓步驟結束後，以真空抽吸用噴嘴33釋放上述空間部34之真空狀態，返回常壓，並作動油壓缸筒或空氣缸筒29，使下部板21下降。之後，將疊層體9夾持於上下兩運送用膜5、6，並運入於次步驟之平面壓製裝置3。

於此平面壓製裝置3，以如下方式進行平面壓製步驟。首先，將上述疊層體9以上下兩運送用膜5、6運送到平面壓製裝置3內，並定位在選定位置(壓製位置)。接著，作動油壓缸筒或空氣缸筒55使下壓製塊42上升，以上下兩可撓性金屬板49、53夾壓疊層體9之方式進行加熱加壓，使疊層體9之膜狀樹脂層8c表面平滑化。

其次，作動油壓缸筒或空氣缸筒55，使下壓製塊42下降。之後，將疊層體9藉由上下兩運送用膜5、6從平面壓製裝置3排出，於運送膜捲取部4，以氣冷風扇56冷卻之後，從上下兩運送用膜5、6剝離，以排出輸送帶排出。

上述平面壓製步驟之中，加熱溫度設定為30~200℃，較佳為70~140℃，加壓條件設定為0.1~2MPa，較佳為設定在0.5~1.5MPa。

如上所述，此實施形態中，將彈性加壓板24、27各固定於設置在真空疊層裝置2之兩熱盤23、26，使用該等兩彈性加壓板24、27將膜狀樹脂材料8b之表面予以加壓，因此能藉由上述兩彈性加壓板24、27，以強壓力對於膜狀樹脂材料8b之表面進行加壓，於此加壓時，藉由上述兩彈性加壓板24、27之彈性，能使加壓面(將上述膜狀樹脂材料8b之表面予以加壓之面)沿著基材8a之凹凸面而彈性變形。因此，即使基材8a之凹凸間隔微細或凹凸深之情形，亦能使上述加壓時膜狀樹脂材料8b密接服貼於基材8a，在此基材8a與膜狀樹脂材料8b之間不殘存氣泡。而且此實施形態中，由於具備平面壓製裝置3，因此，藉由此平面壓製裝置3，能將以上述真空疊層裝置2形成之疊層體9之表背兩面予以加壓並使平滑化。

圖19顯示本發明之疊層裝置之其他實施形態。此實施形態中，如上述實施形態，並非將暫時疊層體7藉由運入輸送帶13，逐一地運入上下兩運送膜5、6之間而供給真空疊層裝置2。而是，改用帶狀基板10c，並伴隨於此，使用上側帶狀膜狀樹脂材料10a、下側帶狀膜狀樹脂材料10b，同時設有：各捲繞輥11a~11c(參照圖20)，將上側帶狀膜狀樹脂材料10a、下側帶狀膜狀樹脂材料10b捲繞；以及疊層體捲取輥14a，將從該等各捲繞輥11a~11c拉出之上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b及帶狀基板10c導入於真空疊層裝置2而得到之帶狀疊層體9a(在帶狀基板10c之表面疊層上側帶狀膜狀樹脂材料10a，在背面疊層下側帶狀膜狀樹脂材料10b)予以捲取。藉此，能將上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b及帶狀基板10c對於真空疊層裝置2、平面壓製裝置3，連續地供給。

此實施形態之疊層裝置，由膜等釋出部1a、真空疊層裝置2，平面壓製裝置3及膜等捲取部4a所構成，真空疊層裝置2、平面壓製裝置3與上述實施形態為相同構造，且功能相同。又，此實施形態中，由於未使用暫時疊層體7，故不使用自動片材裁切疊層機及運入輸送帶13。

上述膜等釋出部1a，與上述實施形態(之運送膜捲繞部1)同樣，不僅具備上側運送膜捲繞輥11及下側運送膜捲繞輥12，而且除該等上下兩運送膜捲繞輥11、12以外，尚包含：上側樹脂材料捲繞輥11a，捲繞有上側帶狀膜狀樹脂材料10a；下側樹脂材料捲繞輥11b，配置在較捲繞有下側帶狀膜狀樹脂材料10b之上側樹脂材料捲繞輥11a更為下側(與上側樹脂材料捲繞輥11a相對向)；及帶狀基板10c捲繞之帶狀基板捲繞輥11c。又，此疊層裝置，具備：第1引導輥12a，將從上側樹脂材料捲繞輥11a拉出之上側帶狀膜狀樹脂材料10a引導到上述真空壓製裝置2之兩熱盤23、26之間；第2引導輥12b，將從(在較第1引導輥12a更為下側，與此第1引導輥12a相對向而配置)下側樹脂材料捲繞輥11b拉出之下側帶狀膜狀樹脂材料10b以與上側帶狀膜狀樹脂材料10a相對向之狀態，引導至上述兩熱盤23、26之間。又，此疊層裝置，具備：第3引導輥12c，將從帶狀基板捲繞輥11c拉出之帶狀基板10c定位在上述上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之間，而引導至上述兩熱盤23、26之間。並且，此疊層裝置，具備疊層體捲取輥14a，其將上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b及帶狀基板10c導入至上述兩熱盤23、26之間，並使上述兩熱盤23、26作動，將形成之帶狀疊層體9a予以捲取。

在此，如圖19所示，從各捲繞輥11、12、11a~11c拉出之上下兩運送膜5、6、上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b及帶狀基板10c，從上述膜等釋出部1a起，自上側朝向下側，以上側運送膜5、上側帶狀膜狀樹脂材料10a、帶狀基板10c、下側帶狀膜狀樹脂材料10b、下側運送膜6之順序依序地送出。因此，能將上下兩樹脂材料捲繞輥11a、11b配置於較上下運送膜捲繞輥11、12在基板之流向(參照圖19之箭頭)之更上游側(圖19之右側)，將上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b定位在上下兩運送膜5、6之間，並且將帶狀基板捲繞輥11c配置於較上下兩樹脂材料捲繞輥11a、11b在流向之更上流側(圖19之右側)，而將帶狀基板10c定位在上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之間。又，上下表面樹脂材料捲繞輥11a、11b亦可配置在較上下運送膜捲繞輥11、12在基板流向(參照圖19之箭頭)之更下游側。

又，上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之樹脂面(與帶狀基板10c相對向之面)以被覆膜(未圖示)保護，使用時需要剝離被覆膜之情形，在上下兩樹脂材料捲繞輥11a、11b附近，設置用以捲取被覆膜之捲取輥(未圖示)。此捲取輥之驅動機構不特別限定，可設置專用馬達等驅動機構，亦可使捲取輥外周與上下兩樹脂材料捲繞輥11a、11b之外周接觸，而將上下兩樹脂材料捲繞輥11a、11b之旋轉傳達給捲取輥而能捲取。

上述上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b，可使用與上述實施形態中所用膜狀樹脂材料8b完全相同之物(上述實施形態中，形成短冊片材狀，但此實施形態中，形成長尺狀)，可使用捲繞在捲繞心材(未圖示)之帶狀膜狀樹脂材料8b。又，上述帶狀基板10c，可形成輥狀而安裝在帶狀基板捲繞輥11c，且可使用具有能捲取在疊層體捲取輥14a程度之柔軟性者，例如，將具有可撓性之多數基材8a以具有可撓性性之膜連結者，或在具有可撓性之長尺狀基底膜多數部位形成有電路配線等(形成有電路配線等之部分，成為基材8a)。帶狀基板10c之厚度或長度，不特別限定，厚度以0.02~2mm之範圍內為佳，長度以10~1000m之範圍內較佳。又，上述上下兩運送膜5、6，可使用與上述實施形態中使用之運送膜相同之物。像這種上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b、帶狀基板10c及上下兩運送膜5、6，於被施以0.5~150kN之範圍內張力的狀態使前進，運送速度通常設定為1~20m/min之範圍內。

上述膜等捲取部4，與上述實施形態(運送膜捲取部4)同樣，不僅具備上側捲取輥14、下側捲取輥15、第1驅動機構及第2驅動機構，並且在該等以外，具備疊層體捲取輥14a，其將經由真空疊層裝置2及平面壓製裝置3製作之帶狀疊層體9a(多數柔軟疊層體9相連結者)予以捲取。此疊層體捲取輥14a，較上下兩捲取輥14、15，配置在上述流向之更為下游例(圖19之左側)，且帶狀疊層體9a定位在上下兩運送膜5、6之間。又，此膜等捲取部4a，具備疊層體驅動機構14c(參照圖21)，將疊層體捲取輥14a與上述上下兩捲取輥14、15同步地間歇地捲取驅動。又，此實施形態中，不配置排出輸送帶。

從上述上側運送膜捲繞輥11釋出之上側運送膜5，通過真空疊層裝置2及平面壓製裝置3之後，被捲取到膜等捲取部4a之上側捲取輥14，從下側運送膜捲繞輥12釋出之下側運送膜6亦同樣，通過真空疊層裝置2及平面壓製裝置3之後，被捲取在膜等捲取部4a之下側捲取輥。又，從各捲繞輥11a~11c釋出之上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b及帶狀基板10c，經由各引導輥12a~12c，導入於真空疊層裝置2、平面壓製裝置3，成為一體的帶狀疊層體9a，並捲取在疊層體捲取輥14a。

又，於真空疊層裝置2，上下兩運送膜5、6、上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b及帶狀基板10c於真空狀態被加熱加壓，在上下兩運送膜5、6之間，形成上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b與帶狀基板10c疊層而成之帶狀疊層體9a。又，於平面壓製裝置3，從真空疊層裝置2運送過來的上下兩運送膜5、6、上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b及帶狀基板10c被加熱加壓，於上下兩運送膜5、6之間，上述帶狀疊層體9a之表背兩面被平滑化。

此實施形態中，得到之帶狀疊層體9a，1個基材8a與疊層於其上疊層之上下兩膜狀樹脂材料8b所構成之1個製品，係在長邊方向連續形成。因此，帶狀疊層體9a，在後步驟之中，逐個製品地被切斷。為了有效率地得到1個製品，製品間之距離愈短愈佳。此實施形態中，由於在真空疊層裝置2與平面壓製裝置3之間有距離，在相當於此距離量之帶狀疊層體9a之空間，無法形成製品。為解決此現象，如圖22所示，在上述兩裝置2、3之間設置調整輥15b藉此調整輥15b使相當於真空疊層裝置2之熱盤23、26之1個循環作動距離量之帶狀疊層體9a撓曲並保持之，則能使相鄰製品間之距離縮短。藉此，能消除由於真空疊層裝置2與平面壓製裝置3之間的距離造成之浪費。又，亦可將真空疊層裝置2與平面壓製裝置3隔著選定間隔(相當於上述熱盤23、26之1循環作動之距離)設置。

如上所述，此實施形態中，發揮與上述實施形態同樣之作用、效果。而且相對於上述實施形態中需要昂貴的自動片材裁切疊層機等附帶設備，此實施形態中，具有不需要昂貴附帶設備之優點。而且，基材8a之絕緣層(基底膜)之厚度為100 μm以下之情形，如果將絕緣層裁切成短冊片材狀，會翹曲而捲曲，或強度不足，因此暫時疊層體7之形成運送變得困難，但是在此實施形態中，藉由使成為帶狀而於施以張力之狀態來操作帶狀基板10c，即使於上述絕緣層之厚度為100 μm以下之情形，亦能疊層上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b及帶狀基板10c並使平滑化。

圖23顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態。此實施形態不具有在圖19所示實施形態中之上下兩運送膜捲繞輥11、12、上下兩捲取輥14、15及兩驅動機構。其餘部分，與圖19所示實施形態相同，相同之部分標以相同的符號。此實施形態亦與圖19所示實施形態發揮同樣之作用、效果。

圖24顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態。此實施形態中，不具備圖19所示實施形態中之捲取帶狀疊層體9a之疊層體捲取輥10a。又，帶狀疊層體9a之驅動機構14c設置於圖24所示位置。其餘部分，與圖19所示實施形態相同，同樣之部分標以相同的符號。此實施形態亦與圖19所示實施形態發揮同樣作用、效果。又，此實施形態之中，從本發明之疊層裝置拉出之帶狀疊層體9a，由1個基材8a與疊層於其上之上下兩膜狀樹脂材料8b所構成之1個製品，係在長邊方向連續形成，且帶狀疊層體9a藉由與本發明之疊層裝置鄰接配置之切斷裝置(未圖示)逐個製品地切斷。又，雖未圖示，但切斷裝置亦可配置在帶狀疊層體9a之驅動機構14c下游之本發明之疊層裝置內。

圖25顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態。此實施形態之中，不具備圖19所示實施形態中之捲取帶狀疊層體9a之疊層體捲取輥14a。又，帶狀疊層體9a之驅動機構14c定位在圖25所示位置，且不具備上下兩運送膜捲繞輥11、12、上下兩捲取輥14、15以及兩驅動機構。其餘部分，與圖19所示實施形態相同，同樣部分標以相同符號。此實施形態亦與圖19所示實施形態發揮同樣作用、效果。此實施形態，可使用於當藉由本發明疊層裝置將上側帶狀膜狀樹脂材料10a、下側帶狀膜狀樹脂材料10b加熱、加壓時，樹脂不從該等兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之端部溶解並滲出並附著在本發明疊層裝置之情形。具體而言，對感光性聚醯亞胺膜等適用。

圖26顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態。此實施形態中，將圖19所示實施形態中之帶狀基板10c改為使用基材(單片基板)8a，對真空疊層裝置2供給。伴隨於此，藉由將圖19所示捲繞輥11c改為使用運入輸送帶13，能將基材(單片基板)8a以運入輸送帶13逐一地運入上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之間，而供給予真空疊層裝置2。其餘部分與圖19所示實施形態相同，同樣之部分標以相同的符號。此實施形態亦與圖19所示實施形態發揮同樣作用、效果。而且，此實施形態中，對於基材(單片基板)8a不使用昂貴的自動片材裁切疊層機等附帶設備，能將上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b予以疊層。

圖27顯示本發明之疊層裝置之另一實施形態。此實施形態中，不具備圖19所示實施形態中之捲取帶狀疊層體9a之疊層體捲取輥14a。又，帶狀疊層體9a之驅動機構14c定位在圖27所示位置，又，將帶狀基板10c改為使用基材(單片基板)8a，對於真空疊層裝置2供給。伴隨於此，將圖19所示捲繞輥11c改為具備運入輸送帶13，能將基材8a以運入輸送帶13逐一地運入上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之間，而供給予真空疊層裝置2。其餘部分，與圖19所示實施形態相同，相同之部分標以相同的符號。此實施形態亦與圖19所示實施形態發揮同樣之作用、效果。此實施形態中，對於基材8a不使用昂貴的自動片材裁切疊層機等附帶設備，而能將上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b予以疊層。再者，從本發明之疊層裝置拉出之帶狀疊層體9a，係1個基材(單片基板)8a與疊層於其上之上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b所構成，在長邊方向為連續形成之帶狀疊層體9a藉由與本發明之疊層裝置鄰接配置之切斷裝置(未圖示)，而切斷為逐個製品。又，雖未圖示，但切斷裝置亦可配置在帶狀疊層體9a之驅動機構14c下游之本發明疊層裝置內。

圖28顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態。此實施形態中，將圖19所示實施形態中之帶狀基板10c改為使用基材(單片基板)8a，對於真空疊層裝置2供給。伴隨於此，藉由使圖19所示捲繞輥11c改為具備運入輸送帶13，能將基材(單片基板)8a以運入輸送帶13逐一地運入上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之間，而供給予真空疊層裝置2。再者，相對於圖19，不具備上下兩運送膜捲繞輥11、12、上下兩捲取輥14、15及兩驅動機構。其餘部分，與圖19所示實施形態相同，相同之部分標以相同的符號。此實施形態亦與圖19所示實施形態發揮同樣之作用、效果。而且此實施形態中，不對於基材(單片基板)8a使用昂貴的自動片材裁切疊層機等附帶設備，而能疊層上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b。再者，此實施形態中，可使用於當以本發明之疊層裝置將上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b加熱、加壓時，樹脂不從該等兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之端部溶解滲出並附著在本發明疊層裝置之情形。具體而言，適於對感光性聚醯亞胺膜等使用。

圖29顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態。此實施形態中，不具備圖19所示實施形態中之捲取帶狀疊層體9a之疊層體捲取輥14a。又，帶狀疊層體9a之驅動機構14c定位在圖29所示位置，再者，帶狀基板10c改為使用基材(單片基板)8a，對於真空疊層裝置2供給。伴隨於此，藉由將圖19所示捲繞輥11c改為具備運入輸送帶13，能將基材(單片基板)8a以運入輸送帶13逐一地運入上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之間，而供給予真空疊層裝置2。再者，相對於圖19，不具備上下兩運送膜捲繞輥11、12、上下兩捲取輥14、15及兩驅動機構。其餘部分，與圖19所示實施形態相同，相同之部分標以相同的符號。此實施形態亦與圖19所示實施形態，發揮同樣作用、效果。而且此實施形態中，對於基材(片材基板)8a不使用昂貴的自動片材裁切疊層機等附帶設備，而能將上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b予以疊層。再者，從本發明之疊層裝置拉出之帶狀疊層體9a，係由1個基材(單片基板)8a與疊層於其上之上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b所構成，在長邊方向間歇地形成之帶狀疊層體9a，藉由與本發明之疊層裝置鄰接配置之切斷裝置(未圖示)而切成逐個製品。又，雖未圖示，切斷裝置亦可配置在帶狀疊層體9a之驅動機構14c下游之本發明疊層裝置內。再者，此實施形態，可使用在藉由本發明疊層裝置將上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b加熱加壓時，樹脂不從上下兩帶狀膜狀樹脂材料上10a、10b之端部溶解滲出並附著在本發明疊層裝置之情形。具體而言，對感光性聚醯亞胺膜等適用。

又，圖1之中，係併設有真空疊層裝置2及平面壓製裝置3之連續疊層裝置，但不限於此，真空疊層裝置2及平面壓製裝置3可以獨立使用。又，圖1之中，為了運送暫時疊層體7、疊層體9或避免從膜狀樹脂材料8b、膜狀樹脂層8c之滲出，併用上下兩運送膜5、6，但是，為了控制調節像這種上下兩運送膜5、6之張力及運送速度，運送膜釋出部1a配置在真空疊層裝置2之暫時疊層體7之運入口附近，運送膜捲取部4配置在平面壓製裝置3之疊層體9之運出口附近。又圖19、圖24、圖26及圖27，為了避免樹脂從帶狀疊層體9a滲出，併用上下兩運送膜5、6，但是為了控制調節像這種上下兩運送膜5、6之張力及運送速度，將膜等釋出部1a配置在真空疊層裝置2之膜入口附近，膜等捲取部4a配置在平面壓製裝置3之膜出口附近。

又，在上述真空疊層裝置2及平面壓製裝置3之中，可使用上部板20、上壓製塊41可上下移動，下部板21、下壓製塊42可固定者，但是，上部板20，由上壓製塊41之升降機構所產生之異物塵埃之觀點，以圖1、圖19及圖24~圖29之構成較佳。

又，圖1、圖19、圖24、圖26及圖27之中，顯示以真空疊層裝置2及平面壓製裝置3處理時都使用上下兩運送膜5、6之情形，但是亦可僅將該等上下兩運送膜5、6用在以真空疊層裝置2處理時，或僅用在以平面壓製裝置3處理時。又，也可在真空疊層裝置2及平面壓製裝置3各自地設置上下兩運送膜5、6。

圖30顯示使用在上述各實施形態中之真空疊層裝置2之變形例。此例之中，在上述真空疊層裝置2未設置可動真空框30，大致四角形框狀之上側固定框部63以氣密狀地固定在上部板20之下表面，大致四角形棒狀之下側固定框部64固定於下部板21。又，此例之中，真空抽吸用噴嘴33未固定在上側固定框部63，在下部板21，沿著下側固定框部64設置真空抽吸用貫通孔65，通過此真空抽吸用貫通孔65，能將空間部34內之空氣進行真空抽吸。

又，此例之中，設置：油壓缸筒或空氣缸筒66，將下部板21以升降自如地方式支持；及油壓缸筒或空氣缸筒68，將在下側熱盤26通過下側絕熱材料25而固定之支持板67以升降自如地方式支持；以油壓缸筒或空氣缸筒66使下部板21上下移動，並以油壓缸筒或空氣缸筒68使下側熱盤26上下移動。圖中，69為固定在上述下側固定框部64之上表面的環狀密封構件，作用在於真空疊層時保持空間部34內為氣密。其餘部分與上述各實施形態中所使用之真空疊層裝置2相同，相同之部分標以相同符號。此例之使用真空疊層裝置2之情形，亦與上述各實施形態之疊層裝置發揮相同作用、效果。

又，亦可在使用前述兩疊層裝置實施本發明疊層方法之前，配置微黏著輥或超音波清潔器等清潔裝置，以該等來清潔基板8a之表面或上下兩運送膜5、6之表面。

又，係在真空疊層裝置2前或平面壓製裝置3後，配置運入輸送帶13、排出輸送帶(未圖示)，藉由運入輸送帶13將暫時疊層體7提供給上下兩運送膜5、6，並藉由排出輸送帶，將從上下兩運送膜5、6剝離之疊層體9排出，但是也可將該等兩輸送帶13改為使用旋轉輥群或環狀(endless)輸送帶。又，兩輸送帶13材料以不易髒汙，不易起塵埃者為較好。又，關於上述兩輸送帶13之尺寸，長度以0.3~3m之範圍內，較佳為0.5~1.5m即可，又，其運送速度通常為1~25m/min之範圍內。

疊層體9從平面壓製裝置3排出時，為了防止在後步驟之壓痕(打痕)，以排出後立即冷卻至室溫左右並固化為佳，關於像這種冷卻方法不特別限定，以自然放熱冷卻亦可，但亦可於緊接於平面壓製裝置3之後設置冷卻裝置。此冷卻裝置可使用工業上之冷凍機、利用空氣絕熱膨脹得到之冷空氣的冷卻風扇或冷風氣刀、管中通冷水之冷卻輥等。

於此冷卻時，較佳為將疊層體9以上下兩運送膜5、6夾持之狀態冷卻，又較佳為將藉由平面壓製裝置3運送之疊層體9以夾持於上下兩運送膜5、6之狀態冷卻，並於冷卻後排出至後側排出輸送帶。

於排出輸送帶之入口，較佳為設置以平面壓製裝置3進行加熱加壓處理後，將疊層體9與上下兩運送膜5、6剝離之剝離輥等剝離裝置，例如防止彈起裝置(未圖示)。於平面壓製裝置3後，亦可適當配置用以儲存經加壓固定之疊層體9的貯藏部，或為提高疊層體9之表面平滑性，亦可尚適當配置加壓裝置等。又，為了對付靜電，可在上下兩運送膜5、6之膜線或各處設置除電棒等。

又，圖19之中，可將上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b及上下兩樹脂材料捲繞輥11a、11b，改為將帶狀基板捲繞輥11c配置於自動片材裁切疊層機上游，將從帶狀基板捲繞輥11c拉出之帶狀基板10c插通於自動片材裁切疊層機，並將裁切成短冊片材狀之膜狀樹脂材料8b暫時固定在帶狀基板10c，而供給予真空疊層裝置2，亦可將帶狀基板10c及帶狀基板捲繞輥11c改為如圖26、圖27所示，將基材8a藉由運入輸送帶13逐一地運入上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之間，而供給予真空疊層裝置2。又，圖30之中，可將帶狀基板10c及帶狀基板捲繞輥11c改為如圖28、圖29所示，將基材(單片基板)8a藉由運入輸送帶13逐一地運入上下兩帶狀膜狀樹脂材料10a、10b之間，並供給予真空疊層裝置2。

本發明，在印刷基板以外之用途，例如在LCD基板之上貼合附黏著劑之偏光板或附黏著劑之相位差板時，在自動化黏合構裝捲帶(TAB－TAPE)上貼合各種基材時、在各種電子基板貼合切割貼布等或附有熱融樹脂之膜，例如IC卡等時，亦為有效之裝置或方法。再者，藉由使用本發明之真空壓製裝置，能使膜狀樹脂材料密接服接於具有凹凸之基材，同時能使來自於基材之凹凸之膜狀樹脂材料之表面之凹凸平坦化，能使以本發明真空壓製裝置所疊層之製品進一步以平面壓製裝置平滑化之用途中，為了使膜狀樹脂材料表面如上所述平坦化之平面壓製時間縮短，同時抑制樹脂從膜狀樹脂材料周圍滲出，能改善膜狀樹脂材料周邊部之樹脂厚均勻性。

[實施例]

以下舉實施例對本發明更具體説明，但是只要不超出本發明要旨，則不限於以下實施例。

[實施例1]

使用圖1所示之真空疊層裝置2及平面壓製裝置3。藉由真空疊層裝置2之上下兩板20、21之熱盤23、26，將空間部34預先調整為110℃。首先，將由環氧樹脂所構成之熱硬化性樹脂組合物(玻璃轉移溫度80℃)與聚對苯二甲酸乙二酯支持膜所構成膜狀樹脂材料8b，配置在表背兩面具有凹凸之基板8a之表背兩面，藉由自動片材裁切疊層機暫時固定，以使兩膜狀樹脂材料8b(樹脂層之厚度38 μm)之樹脂面接觸上述基板8a之凹凸面(凹凸之厚度18 μm、凹凸間隔20 μm)，準備暫時疊層體7。

其次，以聚對苯二甲酸乙二酯膜所構成之上下兩運送膜5、6(厚度38 μm、表面粗糙度0.5 μm)，將上述暫時疊層體7運送到真空疊層裝置2內之加壓固定位置後，使下部板21上升，與上部板20密封契合之後，進入減壓操作。

將空氣從真空抽吸用噴嘴33以真空泵浦(未圖示)抽吸，使抽吸開始30秒後之空間部34設定為100Pa，以厚度2mm、尺寸(縱×橫)63cm×63cm之上下兩彈性加壓板24、27，將暫時疊層體7以1MPa壓力加壓20秒。就上下兩彈性加壓板24、27而言，將金陽公司製「kinyoboard F200」直接固定在上下兩熱盤23、26使用，並在上下兩熱盤23、26之內部，各內建9根鞘加熱器23a、26a。

其次，使空間部34回到大氣壓，使下部板21下降，將經加壓固定之暫時疊層體7(亦即，疊層體9)藉由上下兩運送膜5、6從真空疊層裝置2排出，而運送到平面壓製裝置3。

其次，藉由平面壓製裝置3進行疊層體9之壓製。就上下兩可撓性金屬板49、53而言，使用壓製面平面度為3 μm之不銹鋼板(SUS630H，厚度3mm)，就上下兩緩衝材48、52而言，使用將偏氟乙烯系橡膠(偏氟乙烯、六氟化丙烯、四氟化乙烯之共聚物)以#1500之砂紙進行表面處理，製備為厚度2.5mm，表面粗糙度Rz15 μm，ShoreA硬度70度者。又，於上下兩熱盤47、51之內部，內建9根鞘加熱器47a、51a，下部板45使用厚度80mm之鐵製品。

首先，將平面壓製裝置3之上下兩板44、45之熱盤47、51調整成120℃，使下部板45上升，以上下兩可撓性金屬板49、53將疊層體9以1.5MPa之壓力進行50秒加熱壓製。

之後，使下部板45下降，將疊層體9以上下兩運送膜5、6運送並從平面壓製裝置3排出。對於得到之疊層體9，依以下基準評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性，皺紋產生性。

[服貼性]觀察疊層體9之表面，並以50倍顯微鏡觀察膜狀樹脂層8c是否沿著基板8a之凹凸疊層。

○…膜狀樹脂層8c沿著凹凸而充填，沒有微小空隙地服貼。

×…膜狀樹脂層8c未沿著凹凸而充填，或有微小空隙。

[膜厚均勻性]將疊層體9以橫切法切開，以電子顯微鏡觀察垂直切斷面，測定疊層在基板8a凸面上之樹脂層厚度，將各厚度之差以如下方式評價

○...不滿0.5 μm。

×...超過0.5 μm。

[表面鏡面性]將疊層體9之膜狀樹脂層8c面以斜45度之角度照射到基板8a後之日光燈反射光以目視觀察，並依如下方式評價。

○...接近鏡面之狀態。

×...不成鏡面。

[皺紋產生性]觀察疊層體9之表面，並觀察在膜狀樹脂層8c之表面是否有產生皺紋。

○...沒有產生皺紋。

×...產生皺紋。

[實施例2]

以實施例1之條件將基材8a放置在真空疊層裝置2之熱盤23、26中央部，運轉30萬次之後，與實施例1條件得到之疊層體9，同樣地評價服貼性、膜厚均一性、表面鏡面性、皺紋產生性。

[實施例3]

以實施例2之條件，並就真空疊層裝置2之上下兩彈性加壓板24、27而言，將ShoreA硬度60度、厚度4mm、表面粗糙度Rz3 μm之含氟矽酮橡膠加硫黏接在平面度3 μm之不銹鋼板(SUS680H、厚度2mm)單面，並於未將含氟矽酮橡膠加硫黏接之側的面，以金陽公司製「KinyoboardF200」作為緩衝材〔尺寸(縱×橫)63cm×63cm〕，固定在上下兩熱盤23、26，除了以外，以相同條件形成疊層體9，同樣地評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。

[實施例4]

使用圖19所示之真空疊層裝置2及平面壓製裝置3，將連續帶狀之環氧樹脂所構成之熱硬化性樹脂組合物(玻璃轉移溫度80℃)與聚對苯二甲酸乙二酯支持膜所構成之連續帶狀膜狀樹脂材料10a、10b，如圖20所示插通於表背兩面具有凹凸之帶狀基板10c(帶狀基板10c之絕緣層為70 μm之聚醯亞胺膜、凹凸之厚度18 μm、凹凸間隔20 μm)，除此以外，以實施例2之條件形成連續帶狀疊層體9a，同樣地評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。

[實施例5]

除了實施例2之條件使用之兩膜狀樹脂材料8b之樹脂層厚度68 μm、基材8a之凹凸之厚度50 μm、凹凸間隔50 μm以外，與實施例2以相同條件形成疊層體9，並同樣地評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。

[實施例6]

以實施例3之條件，並使用兩膜狀樹脂材料8b之樹脂層厚度68 μm、基材8a之凹凸厚度50 μm、凹凸間隔50 μm，除此以外與實施例3以相同條件形成疊層體9，並同樣地評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。

[實施例7]

以實施例4之條件，並使用之連續帶狀兩膜狀樹脂材料10a、10b之厚度68 μm、帶狀基板10c(帶狀基板10c之絕緣層為70 μm之聚醯亞胺膜、凹凸厚度50 μm、凹凸間隔50 μm)以外，與實施例4以相同條件形成連續帶狀疊層體9a，並同樣地評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。

[比較例1]

將圖1所示真空疊層裝置2、平面壓製裝置3，改為使用1台平面壓製裝置3形成疊層體9，並同樣地評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。

[比較例2]

就真空疊層裝置2之上下兩彈性加壓板24、27而言，使用不含纖維層之ShoreA硬度60度、厚度4mm，表面粗糙度Rz3 μm之含氟矽酮橡膠，除此以外與實施例2以相同條件形成疊層體9，並同樣地評價服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性。

實施例1~7及比較例1、2之評價結果如下表1所示。

由上表1可判斷，關於服貼性、膜厚均勻性、表面鏡面性、皺紋產生性，實施例1~7較比較例1更為優異。

1．．．運送膜釋出部

1a．．．釋出部

2．．．真空疊層裝置(真空壓製裝置)

3．．．平面壓製裝置

4．．．運送膜捲取部

4a．．．捲取部

5．．．上側運送膜(第1帶狀膜)

6．．．下側運送膜(第2帶狀膜)

7．．．暫時疊層體

8a．．．基材

8b．．．膜狀樹脂材料

8c．．．膜狀樹脂層

9．．．疊層體

9a．．．帶狀疊層體

10a．．．上側帶狀膜狀樹脂材料

10b．．．下側帶狀膜狀樹脂材料

10c．．．帶狀基板

11a~11c．．．捲繞輥

12．．．下側運送膜捲繞輥(第2膜捲繞輥)

12a．．．第1引導輥

12b．．．第2引導輥

12c．．．第3引導輥

13．．．運入輸送帶(供給機構)

13a．．．暫時疊層體止動器

13b．．．空氣缸筒

14．．．捲取輥

14a．．．捲取輥

14b．．．第1驅動機構(第1膜驅動機構)

14c．．．疊層體驅動機構

15．．．下側捲取輥(第2膜捲取輥)

15a．．．第2驅動機構(第2膜驅動機構)

15b．．．調整輥

17．．．壓製台

18．．．支柱

19．．．固定機構

20．．．上部板

21．．．下部板

22．．．上側絕熱材料

23、26、47、51．．．熱盤

23a、26a．．．加熱器

24．．．彈性加壓板

24a、27a．．．金屬板

25．．．下側絕熱材料

27．．．彈性加壓板

28．．．接頭

29．．．油壓缸筒或空氣缸筒

29a．．．活塞桿

30．．．可動真空框

31．．．上側固定框部

31a．．．貫通孔

32．．．可動框

33．．．真空抽吸用噴嘴

34．．．空間部

35．．．下側固定框部

35a．．．凹溝

35b．．．下端突出部

36．．．可動框部

36a．．．凹部

36b．．．凹溝

37．．．彈簧

38．．．環狀密封構件

39．．．密封構件

40a、40b．．．密封構件

41、42．．．壓製塊

43．．．壓製台

43a．．．支柱

43b．．．固定機構

44．．．上部基底層

45．．．下部基底層

46．．．上側絕熱材料

47a、51a．．．加熱器

48．．．上側緩衝材

49．．．上側可撓性金屬板

50．．．下側絕熱材料

52．．．下側緩衝材

53．．．下側可撓性金屬板

54．．．接頭

55．．．油壓缸筒或空氣缸筒

55a．．．活塞桿

61．．．板狀本體

62．．．纖維層

63．．．上側固定框部

64．．．下側固定框部

65．．．真空抽吸用貫通孔

66．．．油壓缸筒或空氣缸筒

67．．．支持板

68．．．油壓缸筒或空氣缸筒

69．．．環狀密封構件

71．．．真空室

72．．．支持塊

73．．．上側殼體構件

74a．．．空氣缸筒

74b．．．缸筒裝置

75．．．下側殼體構件

76．．．上側加壓塊

77．．．下側加壓塊

78．．．加熱板

79．．．隔膜

80．．．加熱板

81．．．隔膜

82．．．基板

91．．．真空疊層機

92．．．平坦化壓製機

93a、93b、94、94b．．．熱盤

95．．．疊層材

96．．．被疊層材

圖1顯示本發明疊層裝置之一實施形態構成。

圖2顯示暫時疊層體之剖面圖。

圖3顯示疊層體之剖面圖。

圖4顯示運送膜捲繞部之構成。

圖5顯示運送膜捲取部之構成。

圖6顯示真空疊層裝置之構成。

圖7顯示上述真空疊層裝置之要部構成。

圖8顯示上述真空疊層裝置之其他例之構成。

圖9顯示上述真空疊層裝置之可動真空框之作用剖面圖。

圖10顯示上述真空疊層裝置之可動真空框之作用剖面圖。

圖11顯示上述真空疊層裝置之可動真空框之作用剖面圖。

圖12顯示平面壓製裝置構成。

圖13顯示疊層體之剖面圖。

圖14顯示彈性加壓板之一剖面圖例。

圖15顯示彈性加壓板之其他剖面圖例。

圖16顯示上述真空疊層裝置作用之構成。

圖17顯示上述真空疊層裝置作用之構成。

圖18顯示上述真空疊層裝置作用之構成。

圖19顯示本發明之疊層裝置之其他實施形態構成。

圖20顯示膜等釋出部構成。

圖21顯示膜等捲取部構成。

圖22顯示調整輥説明圖。

圖23顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態構成。

圖24顯示本發明之疊層裝置之又另一實施形態構成。

圖25顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成。

圖26顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成。

圖27顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成。

圖28顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成。

圖29顯示本發明之疊層裝置又另一實施形態之構成。

圖30顯示上述疊層裝置之變形構成圖例。

圖31顯示習知例之側面圖。

圖32顯示另一習知例之構成。