JP7274027B1 - 積層装置およびこれに用いる真空積層装置、平面プレス積層装置 - Google Patents

Abstract

【課題】得られる積層体のボイド発生を抑制し、平坦性を高めた積層体を製造可能な積層装置を提供する。【解決手段】基材１０４と樹脂１０６とを減圧下で押圧して第１のプレ積層体１０１を形成する真空積層装置１と、上記第１のプレ積層体１０１を押圧して第１の積層体１０２を形成する第１の平面プレス積層装置２とを備え、上記真空積層装置１が、対向する一対のプレートブロック１１，１２を有し、上記一対のプレートブロック１１，１２の少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレートブロック１１，１２間で上記基材１０４と樹脂１０６とが押圧されるようになっており、上記進退可能なプレートブロック１２が、弾性プレス板を有し、上記一対のプレートブロック１１，１２間における、上記基材１０４と樹脂１０６に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定されるようになっている積層装置。【選択図】図１

Description

本発明は、基材と樹脂を積層する装置に関し、詳しくは、得られる積層体の基材と樹脂との密着性の向上を図り、平坦性のレベルを高く保ちながら、タクトタイムを短くし、短時間でより多くの積層体を製造することのできる積層装置に関するものである。

近年、電子機器の小型化、高性能化に伴い、これらに搭載される電子回路基板には、多層化した高密度タイプのプリント基板（いわゆる「ビルドアップ基板」）が多用されている。このビルドアップ基板は、表面に配線等による凹凸を有する基材と、絶縁層としての樹脂とを交互に多段に積層（ラミネート）した積層体として製造されるものであり、その製造には積層装置が用いられる。

上記ビルドアップ基板の製造には、凹凸を有する基材に対し、そのすべての凹部内に隙間なく樹脂を充填して基材と樹脂とを密着させること、および基材の凹凸面に樹脂を平坦に積層することが求められ、とりわけその密着性および平坦性レベルを従来よりも厳しい基準で満たすことが求められる。すなわち、樹脂材料の多様化に伴い流動性の低い樹脂が用いられる機会も増えてきており、また、ビルドアップ基板に関しては一層であれば許される表面の凹凸であっても、多層が積層される場合にはその凹凸が積み重なり、積層体として無視できない凹凸となって現われるためである。

したがって、得られる積層体の基材と樹脂との密着性および表面の平坦性をより高いレベルで実現するため、様々な提案がなされている。例えば、特許文献１では、積層に用いる樹脂を加熱して、樹脂の柔軟性を高めて基材の凹凸に柔軟に沿うようにして用い、樹脂との密着性を高め、表面を平坦にすることが提案されている。

一方、積層装置には、生産効率の点から、積層体を製造するためにかかる時間（タクトタイム）をできるだけ短くすることが求められる。
タクトタイムの短縮を図るためには、例えば、積層に用いる樹脂をより高い温度に加熱して、樹脂フィルムの流動性をより高め、基材の凹部に流し込みやすくすることが考えられる。

しかし、樹脂を設定された温度以上の高い温度で加熱すると、その樹脂の熱硬化が始まり、かえって流動性が損なわれてボイドが発生する傾向がみられ、得られる積層体の質が低下するおそれがある。

特許第４９２６８４０号公報

そこで、本発明ではこのような背景下において、得られる積層体の基材と樹脂との密着性の向上を図り、しかも、平坦性のレベルをより高めながら、タクトタイムを短くして、短時間でより多くの積層体を製造することのできる積層装置を提供することを目的とする。

しかるに、本発明者等はかかる事情に鑑み、積層装置の構成を鋭意検討した。その結果、得られる積層体において、ボイドの発生を抑制し、かつ、積層体表面の平坦性を高めるためには、真空積層装置と平面プレス積層装置とを備える積層装置において、上記真空積層装置および／または平面プレス積層装置における、進退可能なプレートブロックが、弾性プレス板または平面プレス板を有し、上記一対のプレートブロック間における、対象物に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定することで、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。

すなわち、本発明は、以下の［１］～［１０］の態様を有する。
［１］ 基材に樹脂を積層して積層体を形成する積層装置であって、上記積層装置が、上記基材と樹脂とを減圧下で押圧してプレ積層体を形成する真空積層装置と、上記プレ積層体を押圧して積層体を形成する第１の平面プレス積層装置とを備えており、上記真空積層装置が、対向する一対のプレートブロックを有し、上記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレートブロック間で上記基材と樹脂とが押圧されるようになっており、上記進退可能なプレートブロックが、弾性プレス板とを有しており、上記一対のプレートブロック間における、上記基材と樹脂に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定されるようになっている積層装置。
［２］ 基材に樹脂を積層して積層体を形成する積層装置であって、上記積層装置が、上記基材と樹脂とを減圧下で押圧してプレ積層体を形成する真空積層装置と、上記プレ積層体を押圧して積層体を形成する第１の平面プレス積層装置とを備えており、上記第１の平面プレス積層装置が、対向する一対のプレートブロックを有し、上記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレートブロック間で上記プレ積層体が押圧されるようになっており、上記進退可能なプレートブロックが、平面プレス板を有しており、上記一対のプレートブロック間における、上記プレ積層体に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定されている積層装置。
［３］ 上記真空積層装置のプレートブロックに油圧シリンダが連結され、上記油圧シリンダの作動により上記プレートブロックが進退可能になっており、上記油圧シリンダのシリンダの直径が２００ｍｍ以上に設定されている［１］記載の積層装置。
［４］ 上記第１の平面プレス積層装置のプレートブロックに油圧シリンダが連結され、上記油圧シリンダの作動により上記プレートブロックが進退可能になっており、上記油圧シリンダのシリンダの直径が２００ｍｍ以上に設定されている［２］記載の積層装置。
［５］ さらに、第２の平面プレス積層装置を備え、上記第２の平面プレス積層装置が、対向する一対のプレートブロックを有し、上記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、第１の平面プレス積層装置による押圧を経由し得られた積層体が、上記一対のプレートブロック間でさらに押圧されるようになっている［１］～［４］のいずれかに記載の積層装置。
［６］ 上記真空積層装置における弾性プレス板が、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレン酢酸ビニル共重合体、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴムからなる群から選ばれた少なくとも一つからなる［１］～［４］のいずれかに記載の積層装置。
［７］ ［１］または［３］記載の積層装置に用いられる真空積層装置であって、対向する一対のプレートブロックを有し、上記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレートブロック間で上記基材と樹脂とが押圧されるようになっており、上記進退可能なプレートブロックが、弾性プレス板とを有しており、上記一対のプレートブロック間における、上記基材と樹脂とに対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定されるようになっている真空積層装置。
［８］ ［５］記載の積層装置に用いられる真空積層装置であって、対向する一対のプレートブロックを有し、上記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレートブロック間で上記基材と樹脂とが押圧されるようになっており、上記進退可能なプレートブロックが、弾性プレス板を有しており、上記一対のプレートブロック間における、上記基材と樹脂に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定されるようになっている真空積層装置。
［９］ ［２］または［４］記載の積層装置に用いられる第１の平面プレス積層装置であって、上記第１の平面プレス積層装置が、対向する一対のプレートブロックを有し、上記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレートブロック間で上記プレ積層体が押圧されるようになっており、上記進退可能なプレートブロックが、平面プレス板を有しており、上記一対のプレートブロック間における、上記プレ積層体に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定されている第１の平面プレス積層装置。
［１０］ ［５］記載の積層装置に用いられる第１の平面プレス積層装置であって、上記第１の平面プレス積層装置が、対向する一対のプレートブロックを有し、上記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレートブロック間で上記プレ積層体が押圧されるようになっており、上記進退可能なプレートブロックが、平面プレス板を有しており、上記一対のプレートブロック間における、上記プレ積層体に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定されている第１の平面プレス積層装置。

本発明の積層装置によれば、基材と樹脂との密着性をより高めることができ、ボイドの発生を抑制することができる。また、タクトタイムの短縮を実現するとともに、得られる積層体の平坦性のレベルを高く保つことができる。
そして、本発明の真空積層装置、第１の平面プレス積層装置によれば、既設の積層装置の一部をこれらの装置に置き換えることにより、ボイドの発生が抑制され、平坦性の高い積層体を得ることができる。

本発明の一実施の形態に係る積層装置の概略を説明する構成図である。 上記積層装置の真空積層装置の説明図である。 上記積層装置の第１の平面プレス積層装置の説明図である。 上記積層装置における、真空積層装置および第１の平面プレス積層装置での押圧対象物の積層状態の変化を説明する図である。 本発明の他の実施の形態に係る積層装置の概略を説明する構成図である。 上記積層装置の真空積層装置の説明図である。 上記積層装置の第１の平面プレス積層装置の説明図である。 上記積層装置における、真空積層装置および第１の平面プレス積層装置での押圧対象物の積層状態の変化を説明する図である。 本発明の実施の形態のバリエーションを説明する構成図である。 本発明のさらに他の実施の形態に係る積層装置の概略を説明する構成図である。 上記積層装置の第２の平面プレス積層装置の説明図である。 本発明の実施の形態のバリエーションを説明する構成図である。 本発明の実施の形態のバリエーションを説明する構成図である。 実施例６の結果を示した図である。 実施例７の結果を示した図である。 比較例２の結果を示した図である。

以下、本発明を実施するための形態の例に基づいて本発明を説明する。ただし、本発明が、次に説明する実施の形態に限定されるものではない。

なお、本発明において「Ｘ～Ｙ」（Ｘ，Ｙは任意の数字）と表現する場合、特にことわらない限り「Ｘ以上Ｙ以下」の意とともに、「好ましくはＸより大きい」あるいは「好ましくはＹより小さい」の意も包含する。
また、「Ｘ以上」（Ｘは任意の数字）あるいは「Ｙ以下」（Ｙは任意の数字）と表現した場合、「Ｘより大きいことが好ましい」あるいは「Ｙ未満であることが好ましい」旨の意図も包含する。
さらに、「Ｘおよび／またはＹ（Ｘ，Ｙは任意の構成）」とは、ＸおよびＹの少なくとも一方を意味するものであって、Ｘのみ、Ｙのみ、ＸおよびＹ、の３通りを意味するものである。

図１は、本発明の一実施の形態である積層装置を示している。この積層装置は、銅パターン１０５等の配線等による凹凸が設けられたビルドアップ基板用の基材１０４に、樹脂１０６等からなる絶縁層を積層するための装置であり、搬送用フィルム４，４'を一方側から繰り出し、他方側でこれを巻き取ることにより、押圧対象物であるワーク１００を順次搬送する搬送装置３，３'を備えている。そして、この搬送用フィルム４，４'の矢印の流れに沿って、真空積層装置１と、第１の平面プレス積層装置２とが、この順に配設されている。

上記真空積層装置１は、基材１０４の両面が、それぞれ銅パターン１０５の配置により凹凸面に形成され、その凹凸面に樹脂１０６が載置されたワーク１００を押圧することにより、上記樹脂１０６を上記基材１０４上の銅パターン１０５で形成された凹凸に隙間を作ることなく密着追従させた第１のプレ積層体１０１を形成するための装置である。
上記第１の平面プレス積層装置２は、上記真空積層装置１で形成された第１のプレ積層体１０１をさらに押圧することにより、上記第１のプレ積層体１０１表面の凹凸面が平坦化された第１の積層体１０２を形成するための装置である。

ワーク１００、第１のプレ積層体１０１、第１の積層体１０２は、搬送用フィルム４および４'の間に挟まれて、搬送装置３から搬送装置３’に向かって搬送されるようになっている。そして、搬送装置３は、ワーク１００を工程に搬入するための搬入用コンベア７を有している。また、搬送装置３'は、第１の平面プレス積層装置２により平坦化された第１の積層体１０２を冷却するためのファン６，６'を有している。そして、搬送装置３'において、巻き取られる搬送用フィルム４，４'の間から、完成した第１の積層体１０２が搬送ラインから取り出されるようになっている。

本発明の積層装置が対象とするワーク１００において、絶縁層として用いる樹脂１０６の形状は特に限定するものではなく、薄いフィルム状であってもよいし、粉末状であってもよい。しかし、本発明の積層装置は、従来の積層装置での積層が困難であった粉末状の樹脂、ポリイミドのような高い耐熱性を有し加熱による追従性を期待できない樹脂等を主成分とする樹脂材料や、少ない量の樹脂材料を用いて表面の平坦化を図る場合に対しても、内部にボイドを生じさせることがなく、表面の平坦性に優れる積層体を得ることができることから、これらの粉末状樹脂を用いたワーク１００の積層に用いることが好適である。
以下、各装置１～３について詳細に説明する。

[真空積層装置１]
上記真空積層装置１は、搬送装置３の搬入用コンベア７と、搬送用フィルム４，４’によって搬送されてきたワーク１００を、上側プレートブロック１１と下側プレートブロック１２との間に位置決めし、減圧状態の空間部２６内で上記ワーク１００に対して５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａ以上の力で押圧して、凹凸を有する基材１０４の凹部内に樹脂１０６を隙間なく充填し、基材１０４上に形成された凹凸に沿って樹脂１０６を密着させることにより、第１のプレ積層体１０１を形成するものである。

上記真空積層装置１の構成をより詳しく説明する。この真空積層装置１は、図２に示すように、プレス台８の四隅に立設された４本（図２では、２本しか図示せず）の支柱９と、これら各支柱９にボルト，ナット等の固定部材で固定された上側プレートブロック１１と、上記各支柱９に進退（上下移動）可能に取り付けられた下側プレートブロック１２等を備えている。この下側プレートブロック１２は、ジョイント１３を介して油圧シリンダ１４に連結されており、この油圧シリンダ１４の作動により進退（上下移動）するようになっている。したがって、上記支柱９をプレス台８の四隅に配置することで、上記プレートブロック１２の平行を保ったまま進退させることができ、従来よりも強い力で押圧しても、ワーク１００全面に均一な押圧ができ、得られる第１のプレ積層体１０１の厚みばらつきの低減を図ることができる（図４を参照）。

上記上側プレートブロック１１には、平板状の上側熱盤１６，上側緩衝材１７、上側弾性プレス板１８が上からこの順に固定されており、下側プレートブロック１２には、平板状の下側熱盤２０，下側緩衝材２１、下側弾性プレス板２２が下からこの順に固定されている。

上記緩衝材１７，２１は、押圧時の弾性プレス板１８，２２の変形に対応して変形することで、上記弾性プレス板１８，２２をワーク１００の凹凸に沿わせた状態で押圧可能にするものである。上記緩衝材１７，２１の材質、厚み等は、通常、上記弾性プレス板１８，２２に合わせて適宜選択される。

上記緩衝材１７，２１は、単層であっても複層からなっていてもよく、なかでも３層以上の複層からなることがより好ましく、３～７層からなるものがさらに好ましい。
上記緩衝材１７，２１を複層とする場合には、より均一な押圧が可能となる点から、繊維とゴム層とを有する複層体からなるものが好ましく用いられ、とりわけ、繊維層／ゴム層／繊維層のように、繊維層が最表面になるように各層が配置された複層体がより好ましい。上記緩衝材１７，２１は、緩衝効果を調整する等の理由により、複数の緩衝材１７，２１を上下に重ねて用いてもよい。その場合、上記緩衝材１７，２１の層数は、重ねられた緩衝材に含まれる層数の合計とする。

上記緩衝材１７，２１の繊維層としては、例えば、化学繊維、ガラス繊維等を布状に織ったものが好適に用いられる。上記繊維としては、例えば、ガラス繊維や、ポリエステル、アラミドやその他の極性硬質素材、ポリエチレン等の非極性硬質素材、ポリエステル系およびナイロン系等の極性軟質素材、オレフィン系等の無極性軟質素材が、ゴムとの接着が容易である点から好ましく用いられ、強度および耐熱性に優れている点から、ポリエステル、ナイロン、アラミドがより好ましく用いられる。

上記緩衝材１７，２１のゴム層としては、例えば、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、ニトリルゴム（ＮＢＲ）等の硫黄加硫ゴムと、シリコーンゴム（ＳＩ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、ニトリルゴム（ＨＮＢＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）等の過酸化物加硫ゴム等があげられる。
なかでも、２３０℃までの耐熱性を有するものが好ましく、とりわけ、フッ素ゴム、なかでもフッ化ビニリデンゴムが好ましく用いられる。また、エチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、エピクロルヒドリンゴム（ＣＯ，ＥＣＯ，ＧＥＣＯ）等も用いることができる。
これらは単独でもしくは２種以上併せて用いることができる。
なお、本発明においては、ゴムが硬化することを総称して「加硫」とすることとし、架橋によって硬化するものも加硫に含まれる。

上記緩衝材１７，２１の厚みは、特に限定するものではないが、０．１～５ｍｍであることが好ましく、０．２～３ｍｍであることがより好ましい。上記緩衝材１７，２１が複層体である場合、各層の厚みの合計（総厚み）が上記範囲内にあることが好ましい。

上記弾性プレス板１８，２２は、押圧時にワーク１００に当接する部材であり、均一な力でワーク１００を押圧できるように、通常、その厚みばらつきは少なければ少ないほどよいとされている。しかし、本発明においては、５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａもの強い力で押圧するため、厚みばらつきに起因する不均一な押圧を抑制することができる。そのため、上記弾性プレス板１８，２２の厚みばらつきは、特に限定するものではなく、例えば、０．２５ｍｍ以下に設定されていれば十分であり、好ましくは０．２ｍｍ以下であり、より好ましくは０．１ｍｍ以下、さらに好ましくは０．０５ｍｍ以下に設定されるものである。
上記厚みばらつきは、複数箇所（この例では５箇所）の厚みをマイクロメーターによって測定し、測定値の最大値と最小値の差を示すものである。

上記弾性プレス板１８，２２としては、表面のショアＡ硬度（デュロメータ硬さ）が１０～８０度の範囲にあるものが好ましく、２０～７０度の範囲にあるものがより好ましく、４０～６０度の範囲にあるものがさらに好ましい。硬すぎるとワークの表面に現れた凹凸に対応して変形できない傾向があり、柔らかすぎるとワークに対して損失なく押圧することが困難になり、設定値より低い押圧となる傾向がみられる。また、繰り返し使用に対する耐久性が損なわれる傾向がみられる。
また、上記弾性プレス板１８，２２の厚みは、通常、０．２～２０ｍｍであり、好ましくは０．２～１０ｍｍ、より好ましくは０．５～５ｍｍである。厚過ぎても所定以上の効果が得られない傾向があり、薄すぎるとワークの表面に現れた凹凸に対応して変形できない傾向がある。

上記弾性プレス板１８，２２の材質は、特に限定するものではないが、２３０℃までの耐熱性を有するものが好ましい。ワーク１００に用いる樹脂１０６の種類によっては、適度の加熱によってタクトタイムをより短縮することができる。
上記弾性プレス板１８，２２の材質としては、例えば、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、ニトリルゴム（ＮＢＲ）等の硫黄加硫ゴム、シリコーンゴム（ＳＩ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ）、アクリルゴム（ＡＣＭ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、ニトリルゴム（ＨＮＢＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）等の過酸化物加硫ゴム等があげられる。
また、エチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、エピクロルヒドリンゴム（ＣＯ，ＥＣＯ，ＧＥＣＯ）等も用いることができる。
これらは単独でもしくは２種以上併せて用いることができる。

上記上側熱盤１６および下側熱盤２０には、その内部に、弾性プレス板１８，２２を加熱するための加熱部材が適宜の配置で設けられている。しかし、上記熱盤１６，２０は必須の構成ではない。
すなわち、本発明の積層装置では、過剰な加熱を行わなくても十分な積層ができる。一方で、積層に用いる樹脂１０６の材質によっては加熱を行うことがタクトタイムの短縮となることがあるため、熱盤１６，２０を設けることが好ましい。熱盤１６，２０を設ける場合、上記加熱部材は特に限定するものではないが、例えば、内部に、複数本のシース状ヒーターが配置されたもの等があげられる。

また、熱盤１６，２０を設ける場合、熱盤１６，２０の温度コントロールを行う温度制御システムを備えることが好ましい。上記温度制御システムを備えると、雰囲気温度に影響されず、一定の温度下で押圧することが可能となるため、押圧ごとの厚みばらつきが生じることを抑制することができる。また、ワーク１００を押圧する度に押圧条件を検討したり、変更したりする必要がなくなるため、効率がよい。
上記温度制御システムは、熱盤１６，２０の温度制御ができる限りどのようなものであってもよいが、例えば、熱盤１６，２０の温度を測定する温度センサ、コンピュータに接続されたコントローラ等を有し、上記温度センサにより得た温度情報と、予め設定した温度との差異を算出し、設定した温度になるように加熱部材の電源をオンオフするようなものがあげられる。

また、上記真空積層装置１は、減圧状態の空間部２６（図１を参照）をつくるための可動真空枠２３を備えている。この可動真空枠２３は、上側プレートブロック１１の下面に気密状に固定された略四角形枠状の上側固定枠部２４と、下側プレートブロック１２の上面に気密状に固定された可動枠部２５とを備えている。
上側固定枠部２４には、真空引き用ノズル（図示せず）が連結されており、上下の両プレートブロック１１，１２を閉じた状態で、この真空引き用ノズルにより、上側固定枠部２４と可動枠部２５間に形成される密封された空間部２６内を真空引きし、この空間部２６の圧力を調整する（すなわち、所定圧力の減圧状態とする）ことができる。ワーク１００押圧時における上記空間部２６の圧力は、０．１～２ｈＰａであることが好ましく、０．２～１ｈＰａであることがより好ましい。
なお、真空引き用ノズルは、上側固定枠部２４ではなく、上側プレートブロック１１に連結してもよく、さらに複数箇所に設けてもよい。真空引き用ノズルを複数箇所に設けると、より高精度で空間部２６の圧力を調整することができる。

そして、この実施の形態では、下側プレートブロック１２に、下側プレートブロック１２を進退させるための油圧シリンダ１４が連結され、ワーク１００に対して油圧プレスが行われるようになっている。しかし、所定の押圧力を実現できる限りどのような昇降機構を用いてもよい。このような昇降機構としては、例えば、油圧シリンダ１４のほか、電動モータ等があげられる。なかでも、小型化しても強い押圧が可能である点で、油圧シリンダ１４を用いた油圧プレスが行われることが好ましい。
上記油圧シリンダ１４は、そのストローク長さＬ₁が２３０ｍｍ以下に設定されているものが好ましく、１５０～２００ｍｍの範囲に設定されているものがさらに好ましい。油圧シリンダ１４のストローク長さが上記範囲内に設定されていると、従来よりも強い押圧力でありながら、従来の積層装置と同程度の装置寸法を実現可能であるため、従来装置との置き換えが可能となり、必要な装置のみを準備すればよいため、配置に余分な費用とスペースを必要とせず好適である。
また、上記油圧シリンダ１４は、その径が２００ｍｍ以上に設定されているものが好ましく、２００～２７０ｍｍの範囲に設定されているものがさらに好ましい。油圧シリンダ１４のシリンダ径が上記範囲内に設定されていると、従来よりも強い押圧力を実現しやすくなる傾向がみられる。

上記一対のプレートブロック１１，１２間における、ワーク１００（基材１０４と樹脂１０６）に対する押圧力は、５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定することが重要であり、なかでも２．０～３．５ＭＰａの範囲にあることが好ましく、２．５～３．５ＭＰａの範囲にあることがより好ましい。なお、本発明に用いる油圧シリンダ１４は、通常、１．６７ＭＰａ未満での押圧を行うことも可能である。
ワーク１００に対する押圧力が上記範囲内にあると、ワーク１００に当接する部材である弾性プレス板１８，２２の厚みばらつきの制御を厳密に行わなくても、基材１０４表面に設けられた銅パターン１０５による凹凸に、樹脂１０６をより密着させた状態で追従させることができ、ボイドのない第１のプレ積層体１０１を短時間で形成することができる。

本実施の形態の積層装置には、上記一対のプレートブロック１１，１２間における押圧力のコントロールを行う押圧制御システムを備えることが好ましい。上記押圧制御システムを備えると、一定の押圧力を有する昇降機構であれば、特に限定されることなく使用できるようになる。また、押圧力を所望の範囲により設定しやすくなるため、例えば、押圧時の温度情報に照らして最適な押圧力を与える等、より高いレベルでの積層を実現することができる。

上記押圧制御システムは、上記一対のプレートブロック１１，１２間における押圧力のコントロールができる限りどのようなものであってもよいが、例えば、油圧シリンダ１４の油圧を検知するセンサ、油圧シリンダ１４の位置を検知するセンサ、コンピュータに接続されたコントローラ等を有し、上記センサにより得た情報から、予め設定した押圧力を付与するようにコントロールされた油圧ポンプの電磁弁の開閉を制御するものがあげられる。

[第１の平面プレス積層装置２]
上記第１の平面プレス積層装置２（図１に戻る）は、上記真空積層装置１から搬送用フィルム４，４’により搬送されてきた第１のプレ積層体１０１を上下両プレートブロック２７，２８間に位置決めし、これら上下両プレートブロック２７，２８で押圧して第１のプレ積層体１０１の表面を平滑化し、第１の積層体１０２とするものである。
この実施の形態では、図３に示すように、プレス台２９に立設された４本（図３では、２本しか図示せず）の支柱３０と、これら各支柱３０にボルト，ナット等の固定部材で固定される上側プレートブロック２７と、上記各支柱３０に上下移動（進退）可能に取り付けられる下側プレートブロック２８等を備えている。
この下側プレートブロック２８は、ジョイント３１を介して油圧シリンダ３２に連結されており、この油圧シリンダ３２の作動により上下移動される（進退する）ようになっている。

上記上下両プレートブロック２７，２８のうち、上側プレートブロック２７は、平板状の上側熱盤３４，平板状の上側緩衝材３５および上側フレキシブル金属板（平面プレス板）３６が上からこの順に固定された構成になっており、下側プレートブロック２８は、平板状の下側熱盤３８，平板状の下側緩衝材３９および下側フレキシブル金属板（平面プレス板）４０が下からこの順に固定された構成になっている。

上記上側熱盤３４および下側熱盤３８には、その内部に、フレキシブル金属板３６，４０を加熱するための加熱部材が適宜の配置で設けられている。しかし、上記熱盤３４，３８は必須の構成ではない。
すなわち、本発明の積層装置では、加熱を行わなくても十分な積層ができる。一方で、積層に用いる樹脂１０６の材質によっては加熱を行うことがタクトタイムの短縮となることがある。熱盤３４，３８を設ける場合、上記加熱部材は特に限定するものではないが、例えば、内部に、複数本のシース状ヒーターが配置されたもの等があげられる。

また、熱盤３４，３８を設ける場合、熱盤３４，３８の温度コントロールを行う温度制御システムを備えることが好ましい。上記温度制御システムを備えると、雰囲気温度に影響されず、一定の温度下で押圧することが可能となるため、押圧ごとの厚みばらつきが生じることを抑制することができる。また、第１のプレ積層体１０１を押圧する度に押圧条件を検討したり、変更したりする必要がなくなるため、効率がよい。
上記温度制御システムは、熱盤３４，３８の温度制御ができる限りどのようなものであってもよいが、例えば、熱盤３４，３８の温度を測定する温度センサ、コンピュータに接続されたコントローラ等を有し、上記温度センサにより得た温度情報と、予め設定した温度との差異を算出し、設定した温度になるように加熱部材の電源をオンオフするようなものがあげられる。

上記緩衝材３５，３９としては、表面のショアＡ硬度（デュロメータ硬さ）が６０度以上であるものが好ましく、６５～７５度であることがより好ましい。表面ショアＡ硬度が上記範囲内であると、押圧後の樹脂１０６の膜厚がより均一になるためである。
なお、本発明において、ショアＡ硬度は、ＪＩＳ Ｋ６２５３に準拠し、タイプＡデュロメータを用いて測定されたものである。ショアＡ硬度は、緩衝材３５，３９を構成するゴムや合成樹脂等からなる試験片を作製し、各試験片に対して測定されたものでもよい。

また、上記緩衝材３５，３９の厚みは、通常０．２～２０ｍｍであり、好ましくは０．２～１０ｍｍ、より好ましくは０．５～３ｍｍである。緩衝材３５，３９の厚みが上記範囲内であると、緩衝効果を充分に発揮し、押圧面に均一な力を与えることができるため、第１のプレ積層体１０１表面の凹凸に追従させた状態で押圧することができる。
なお、上記上側緩衝材３５および下側緩衝材３９は、互いに厚みが異なっていてもよいし、同じであってもよい。

上記緩衝材３５，３９の材質は、通常、紙、ゴム、合成樹脂、繊維等を用いることができる。なかでもゴムが好ましく、特にフッ素系ゴムが好ましい。フッ素系ゴムとしては、例えば、フッ化ビニリデン系ゴム、含フッ素シリコーンゴム、テトラフルオロエチレン系ゴム、含フッ素ビニルエーテル系ゴム、含フッ素フォスフォニトリル系ゴム、含フッ素アクリレート系ゴム、含フッ素ニトロソメタン系ゴム、含フッ素ポリエステルゴム、含フッ素トリアジンゴム等があげられる。
なお、上記緩衝材３５，３９は、耐熱性樹脂、ガラス繊維シートや金属箔シート等を内部に含むものであってもよいし、例えば、ゴムと繊維のように異なる材質のものを組み合せたものであってもよい。また、上記上側緩衝材３５および下側緩衝材３９は、互いに材質が異なっていてもよいし、同じであってもよい。

上記平面プレス板として用いられるフレキシブル金属板３６，４０の厚みは、通常、０．１～１０ｍｍであり、好ましくは１～３ｍｍである。フレキシブル金属板３６，４０の厚みが上記範囲内であると、従来よりも強い押圧力が与えられても機械強度を担保することができ、上記緩衝材３５，３９が第１のプレ積層体１０１に追従する際の、上記緩衝材３５，３９の変形に十分に追従することができる。

上記フレキシブル金属板３６，４０の材質としては、通常、ステンレス、鉄、アルミニウム、アルミニウム合金等が用いられ、なかでも耐錆性に優れる点からステンレスが好ましく用いられる。また、上記フレキシブル金属板３６，４０の表面がバフ研磨等により鏡面研磨されていると、得られる第１の積層体１０２の表面をより鏡面に仕上げることができる。

そして、この実施の形態では、下側プレートブロック２８に油圧シリンダ３２が連結されており、上記第１のプレ積層体１０１に対する押圧力は、通常、５００ｍｍ四方面積あたり１．６ＭＰａ以下であり、０．３～１．６ＭＰａの範囲に設定されることが好ましい。また、油圧シリンダ３２に代えてエアーシリンダ、サーボプレス等の別の昇降機構を用いてもよい。

上記第１の平面プレス積層装置２による押圧は、大気下で行っても、減圧下で行ってもよい。大気下で行う場合は、タクトタイムを短くすることができ、また、減圧下での押圧を行うための構成を備えなくてもよいため、低コスト化を図ることができる。
一方、減圧下で押圧を行う場合は、上記第１の平面プレス積層装置２に減圧下での押圧を行うための構成を設ける必要があるが、真空環境を利用して、ボイド発生の低減が可能になる他、柔軟性の低い樹脂を用いる場合であっても第１のプレ積層体１０１表面の凹凸をより平坦化し、得られる積層体の表面の平坦性をより高めることができる。

［搬送装置]
搬送装置３，３'（図１に戻る）は、工程の始点に位置する上下の搬送用フィルム繰出し機５５，５５'、および、工程にワーク１００を搬入するための搬入用コンベア７と、工程の終点に配置された搬送用フィルム巻取り機５６，５６'、ワーク１００等を搬送する搬送用フィルム４，４'を工程各所で支承する複数のガイドローラー等と、を備えている。

そして、搬入用コンベア７から所定間隔で工程に供給された枚葉状のワーク１００は、各搬送用フィルム繰出し機５５，５５'から繰り出された上下の搬送用フィルム４，４'の間に、所定の間隔で挟み込まれ、これら搬送用フィルム４，４'の流れ（走行）と同期した状態で、上記各ガイドローラーに案内されながら、真空積層装置１の上下のプレートブロック１１，１２の間、第１の平面プレス積層装置２の上下のプレートブロック２７，２８の間と、得られた第１の積層体１０２を冷却するためのファン６，６'との間を経由する。第１の積層体１０２が冷却された後、上下の搬送用フィルム４，４'が離型し、第１の積層体１０２が搬送ラインから取り出されるようになっている。

第１の積層体１０２が取り出された上下の搬送用フィルム４，４'は、それぞれ、搬送用フィルム巻取り機５６，５６'に巻き取られる。巻き取られた搬送用フィルム４，４'は、通常廃棄されるが、必要に応じて再利用してもよい。
上記搬送装置３，３’を備えていると、積層効率がより高くなり、タクトタイムを短くすることができる。

上記の積層装置によると、上記真空積層装置１のプレートブロック１１，１２が、緩衝材１７，２１と、弾性プレス板１８，２２とを有しており、上記弾性プレス板１８，２２が、厚みばらつきが０．２５ｍｍ以下に設定されたゴムからなり、上記一対のプレートブロック１１，１２間における、上記基材１０４と樹脂１０６に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定されるようになっているため、図４に示すように、上記真空積層装置１内において、樹脂１０６の状態が変化して、基材１０４の凹凸の凹部内に樹脂１０６を隙間なく充填することができる。その結果、基材１０４の凹凸に樹脂１０６が密着追従し、ボイドの発生が抑制された第１のプレ積層体１０１を得ることができる。なお、図４において、符号１で示す範囲は、上記真空積層装置１内におけるワーク１００の状態変化を示している。
そして、上記ボイドの発生が抑制された第１のプレ積層体１０１は、第１の平面プレス積層装置２内で、上記第１の平面プレス積層装置２のフレキシブル金属板（平面プレス板）３６，４０（図３参照）の平坦面によって、図４の符号２で示すように、平坦性を保ったまま上記第１のプレ積層体１０１に押圧されるため、表面の凹凸がさらに消失し、しかも樹脂１０６のはみ出し量が少ない第１の積層体１０２を得ることができる。なお、図４において、符号２で示す範囲は、上記第１の平面プレス積層装置２内における第１のプレ積層体１０１の状態変化を示している。

このように、この実施の形態では、まず、高圧力で押圧して第１のプレ積層体１０１をボイドの発生を抑制しながら短時間で作製するため、得られる第１の積層体１０２のボイドの発生を抑制しながら、短時間でより多くの第１の積層体１０２を製造することができる。このため、樹脂１０６として、従来のフィルムタイプの樹脂だけでなく、粉末タイプの樹脂であっても、ボイドの発生が抑制され、しかも表面の平坦性のレベルが極めて高い積層を行うことできる。さらに、タクトタイムの短縮化のために、従来、樹脂１０６をより過剰な高温で加熱する傾向がみられたところ、そのような加熱が必要でないため、樹脂１０６が熱硬化することなく、流動性を損なわせることがない。
なお、図４の各図は、いずれも工程および装置を模式的に示したものであり、説明に必要でない部分の記載を省略している。

つぎに、本発明の他の実施の形態を図５に示す。
図５に示す積層装置は、図１で示す積層装置と同様に、銅パターン１０５等の配線等による凹凸が設けられたビルドアップ基板用の基材１０４に、樹脂１０６からなる絶縁層を積層するための装置であり、搬送用フィルム４，４’を一方側から繰り出し、他方側でこれを巻き取ることによりワーク１００を順次搬送する搬送装置３，３’を備えている。
そして、この搬送用フィルム４，４’の矢印の流れに沿って、真空積層装置６０と、第１の平面プレス積層装置６１とが、この順に配設されている。

上記真空積層装置６０は、基材１０４の両面が、それぞれ銅パターン１０５の配置により凹凸面に形成され、その凹凸面に樹脂が載置されたワーク１００に対する押圧力が、通常、５００ｍｍ四方面積あたり１．６７ＭＰａ未満に設定されており、減圧下で上記ワーク１００を油圧シリンダ６２で押圧することにより、上記樹脂１０６を上記基材１０４表面の凹凸に隙間を作ることなく密着追従させた第２のプレ積層体１０７を形成するものである。
上記第１の平面プレス積層装置６１は、上記真空積層装置６０で形成された第２のプレ積層体１０７に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定され、かつ、進退可能な下側プレートブロック８２が、緩衝材９２とフレキシブル金属板（平面プレス板）９３とを有しているため、上記第２のプレ積層体１０７を押圧することによって、上記第２のプレ積層体１０７において、上記基材１０４の凹凸に沿って樹脂１０６が充填され、表面に凹凸が表れている場合や、上記基材１０４の凹部内に樹脂１０６が十分に充填できていない場合であっても、樹脂１０６を基材１０４の凹部の隅々まで充填されて上記第２のプレ積層体１０７表面の凹凸面が平坦化され、厚みが均一化した第１の積層体１０２を形成するものである。
なお、図５において、他の部分は図１と同様であり、同様の符号を付してその説明を省略する。
以下、各装置について詳細に説明する。

［真空積層装置６０］
上記真空積層装置６０は、図６に示すように、プレス台６３に立設された複数本（図６では、２本しか図示せず）の支柱６４と、これら各支柱６４にボルト，ナット等の固定部材で固定された上側プレートブロック６５と、上記各支柱６４に上下移動可能に取り付けられた下側プレートブロック６６等を備えている。この下側プレートブロック６６は、ジョイント６７を介して油圧シリンダ６２に連結されており、この油圧シリンダ６２の作動により上下移動するようになっている。
なお、この実施の形態では、下側プレートブロック６６に油圧シリンダ６２が連結されているが、油圧シリンダ６２に代えてエアーシリンダ等の別の昇降機構を用いてもよい。しかし、油圧シリンダ６２を用いると、コンパクトでありながら高圧が得られる点で好ましい。

上記真空積層装置６０の押圧力は、特に限定するものではなく、図２の真空積層装置１と同様の、５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定されるものであってもよいし、１．６７ＭＰａ未満であってもよい。

上記上側プレートブロック６５には、平板状の上側熱盤６９，上側緩衝材７０、上側弾性プレス板７１が上からこの順に固定されており、下側プレートブロック６６には、平板状の下側熱盤７３，下側緩衝材７４、下側弾性プレス板７５が下からこの順に固定されている。

これら上下の両熱盤６９，７３には、その内部に、弾性プレス板７１，７５を加熱するための加熱部材が適宜の配置で設けられている。しかし、上記熱盤６９，７３は必須の構成ではない。
すなわち、本発明の積層装置では、過剰な加熱を行わなくても十分な積層ができる。一方で、積層に用いる樹脂１０６の材質によっては加熱を行うことがタクトタイムの短縮となることがあるため、熱盤６９，７３を設けることが好ましい。熱盤６９，７３を設ける場合、上記加熱部材は特に限定するものではないが、例えば、内部に、複数本のシース状ヒーターが配置されたもの等があげられる。
上記熱盤６９，７３は任意の構成であるが、これらを備える場合には、６０～１８０℃になるよう加熱部材により加熱することが好ましく、より好ましくは９０～１３０℃で加熱することである。

上記弾性プレス板７１，７５は、特に限定するものではないが、例えば、図２に示す真空積層装置１と同様に厚みばらつきが０．２５ｍｍ以下に設定されたゴムからなるものがあげられる。

また、上記真空積層装置６０は、可動真空枠７６を備えている。この可動真空枠７６は、上側プレートブロック６５の下面に気密状に固定された略四角形枠状の上側固定枠部７７と、下側プレートブロック６６の上面に気密状に固定された可動枠部７８とを備えている。上側固定枠部７７には、真空引き用ノズル（図示せず）が連結されており、上下の両プレートブロック６５，６６の密封契合時に、この真空引き用ノズルにより、上側固定枠部７７と可動枠部７８間に形成される密封された空間部７９（図５参照）内を真空引きし、この空間部７９の圧力を調整する（すなわち、所定圧力の減圧状態とする）ことができる。なお、真空引き用ノズルは、上側固定枠部７７ではなく、上側プレートブロック６５に連結してもよく、さらに複数箇所に設けると効率よく空間部７９の圧力を調整することができる。

［第１の平面プレス積層装置６１］
上記第１の平面プレス積層装置６１（図５に戻る）は、上記真空積層装置６０から搬送用フィルム４，４'により搬送されてきた第２のプレ積層体１０７を上下両プレートブロック８１，８２間に位置決めし、これら上下両プレートブロック８１，８２で押圧して第２のプレ積層体１０７の表面を平滑化し、第１の積層体１０２とするものである。
この実施の形態では、図７に示すように、プレス台８３に立設された４本（図７では、２本しか図示せず）の支柱８４と、これら各支柱８４にボルト，ナット等の固定部材で固定される上側プレートブロック８１と、上記各支柱８４に上下移動（進退）可能に取り付けられる下側プレートブロック８２等を備えている。
この下側プレートブロック８２は、動力源および油圧ポンプ（油圧ユニット）に連結された油圧シリンダ８０を有しており、この油圧シリンダ８０の作動によって進退（上下移動）するようになっている。

上記上下両プレートブロック８１，８２のうち、上側プレートブロック８１は、平板状の上側熱盤８７、平板状の上側緩衝材８８、上側フレキシブル金属板８９が上からこの順に固定された構成になっており、下側プレートブロック８２は、平板状の下側熱盤９１、平板状の下側緩衝材９２、下側フレキシブル金属板９３が下からこの順に固定された構成になっている。

上記緩衝材８８，９２は、押圧時のフレキシブル金属板８９，９３の変形に対応して変形することで、上記フレキシブル金属板８９，９３を第２のプレ積層体１０７の凹凸に沿わせた状態で押圧可能にするものである。上記緩衝材８８，９２の材質、厚み、厚みばらつきの許容範囲は、通常、上記フレキシブル金属板８９，９３に合わせて適宜選択される。

上記フレキシブル金属板（板状体）８９，９３の材質としては、通常、ステンレス、鉄、アルミニウム、アルミニウム合金等が用いられ、なかでも耐錆性に優れる点からステンレスが好ましく用いられる。また、上記フレキシブル金属板（板状体）８９，９３の表面がバフ研磨等により鏡面研磨されていると、第２のプレ積層体１０７の表面をより鏡面にできるため好ましい。
上記フレキシブル金属板８９，９３の厚みは、通常、０．２～２０ｍｍであり、好ましくは０．２～１０ｍｍ、より好ましくは０．５～３ｍｍである。上記範囲内に厚みがあると、機械強度を担保しながらフレキシブル性を発揮することができ、上記緩衝材８８，９２が第２のプレ積層体１０７に追従する際の、上記緩衝材８８，９２の変形に充分に追従することができる。

これら上下の両熱盤８７，９１には、その内部に、フレキシブル金属板８９，９３を加熱するための加熱部材が適宜の配置で設けられている。しかし、上記熱盤８７，９１は必須の構成ではない。
すなわち、本発明の積層装置では、過剰な加熱を行わなくても十分な積層ができる。一方で、積層に用いる樹脂１０６の材質によっては加熱を行うことがタクトタイムの短縮となることがあるため、熱盤８７，９１を設けることが好ましい。熱盤８７，９１を設ける場合、上記加熱部材は特に限定するものではないが、例えば、内部に、複数本のシース状ヒーターが配置されたもの等があげられる。

また、熱盤８７，９１を設ける場合、熱盤８７，９１の温度コントロールを行う温度制御システムを備えることが好ましい。上記温度制御システムを用いると、雰囲気温度に影響されず、一定の温度下で押圧することが可能となるため、押圧ごとの厚みばらつきが生じることを抑制することができる。また、押圧の度に押圧条件を検討したり、変更したりする必要がなくなるため効率がよい。
上記温度制御システムは、熱盤８７，９１の温度制御ができる限りどのようなものであってもよいが、例えば、熱盤８７，９１の温度を測定する温度センサ、コンピュータに接続されたコントローラ等を有し、上記温度センサにより得た温度情報と、予め設定した温度との差異を算出し、設定した温度になるように加熱部材の電源をオンオフするようなものがあげられる。

この実施の形態では、下側プレートブロック８２の動力として、油圧ポンプに連結された油圧シリンダ８０を用いているが、第２のプレ積層体１０７に対する押圧力を５００ｍｍ四方面積あたり１．６７ＭＰａ以上に設定できるものであれば、油圧ポンプに連結された油圧モータ等の、別の昇降機構を用いてもよい。小型化しても強い押圧が可能である点で、油圧ポンプに連結された油圧シリンダを用いることが好ましい。
上記油圧シリンダ８０は、そのストローク長さＬ₂が２３０ｍｍ以下に設定されているものが好ましく、１５０～２００ｍｍの範囲に設定されているものがより好ましい。油圧シリンダ８０のストローク長さＬ₂が上記範囲内に設定されていると、従来の積層装置と同程度の装置寸法を実現可能であるため、従来装置との置き換えが可能となり、必要な装置のみを準備すればよいため、配置に余分な費用とスペースを必要とせず好適である。
また、上記油圧シリンダ８０は、その径が２００ｍｍ以上に設定されているものが好ましく、２００～２７０ｍｍの範囲に設定されているものがさらに好ましい。油圧シリンダ８０のシリンダ径が上記範囲内に設定されていると、従来よりも強い押圧力を実現しやすくなる傾向がみられる。

上記一対のプレートブロック８１，８２間における、第２のプレ積層体１０７に対する押圧力は、５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定することが重要であり、なかでも２．０～３．５ＭＰａの範囲にあることが好ましく、２．５～３．５ＭＰａの範囲にあることがより好ましい。なお、本発明に用いる油圧シリンダ８０は、通常、５００ｍｍ四方面積あたり１．６７ＭＰａ未満での押圧を行うことも可能である。
第２のプレ積層体１０７に対する押圧力が上記範囲内にあると、上記第２のプレ積層体１０７において、上記基材１０４の凹部内に樹脂１０６が十分に充填できていない場合であっても、樹脂１０６を基材１０４の凹部の隅々まで充填できるとともに、上記第２のプレ積層体１０７表面の凹凸面が平坦化され、厚みが均一化した第１の積層体１０２を形成することができる。

本実施の形態の積層装置には、上記一対のプレートブロック８１，８２間における押圧力のコントロールを行う押圧制御システムを備えることが好ましい。上記押圧制御システムを備えると、一定の押圧力を有する昇降機構であれば、特に限定されることなく使用できるようになる。また、押圧力を所望の範囲により設定しやすくなるため、例えば、押圧時の温度情報に照らして最適な押圧力を与える等、より高いレベルでの積層を実現することができる。

上記押圧制御システムは、上記一対のプレートブロック８１，８２間における押圧力のコントロールができる限りどのようなものであってもよいが、例えば、油圧ポンプからの油圧を検知するセンサ、油圧シリンダ８０の位置を検知するセンサ、コンピュータに接続されたコントローラ等を有し、上記センサにより得た情報から、予め設定した押圧力を付与するようにコントロールされた油圧ポンプ８０の電磁弁の開閉を制御するものがあげられる。

上記第１の平面プレス積層装置６１による押圧は、大気下で行っても、減圧下で行ってもよい。大気下で行う場合は、タクトタイムを短くすることができ、また、減圧下での押圧を行うための構成を備えなくてもよいため、低コスト化を図ることができる。
一方、減圧下で押圧を行う場合は、上記第１の平面プレス積層装置２に減圧下での押圧を行うための構成を設ける必要があるが、真空環境を利用して、ボイド発生の低減が可能になる他、柔軟性の低い樹脂を用いる場合であっても第１のプレ積層体１０１表面の凹凸をより平坦化し、得られる積層体の表面の平坦性をより高めることができる。

上記の積層装置によると、真空積層装置６０の進退可能なプレートブロック６６が、下側緩衝材７４と、下側弾性プレス板７５とを有しており、上記下側弾性プレス板７５がゴムからなり、上記一対のプレートブロック間において、ワーク１００を真空下で押圧するようになっているため、図８に示すように、上記真空積層装置６０内において、樹脂１０６の状態が変化して、基材１０４の凹凸に樹脂１０６が密着追従した第２のプレ積層体１０７を得ることができる。なお、図８において、符号６０で示す範囲は、上記真空積層装置６０内におけるワーク１００の状態変化を示している。
そして、上記第２のプレ積層体１０７は、第１の平面プレス積層装置６１内で、図８の符号２で示すように、上記第１の平面プレス積層装置６１のフレキシブル金属板９３の平坦面によって、平坦性を保ったまま上記第２のプレ積層体１０７に、５００ｍｍ四方面積あたり１．６７～３．９７ＭＰａの範囲に設定された力で押圧されるため、表面の凹凸がさらに消失し、表面が平坦化して鏡面化され、しかも樹脂１０６のはみ出し量が少ない第１の積層体１０２を得ることができる。なお、図８において、符号６１で示す範囲は、上記第１の平面プレス積層装置６１内における第２のプレ積層体１０７の状態変化を示している。

このように、この実施の形態では、まず、基材１０４の凹凸に樹脂１０６が密着追従した第２のプレ積層体１０７を作製し、これを高圧力で押圧して第１の積層体１０２を短時間で作製するため、得られる第１の積層体１０２の平坦性のレベルを高く保ちながら、タクトタイムが短くなり、短時間でより多くの第１の積層体１０２を製造することができる。また、仮に、上記第２のプレ積層体１０７において、上記基材１０４の凹部内に樹脂１０６が十分に充填できていない場合であっても、樹脂１０６を基材１０４の凹部の隅々まで充填することができる。このため、樹脂１０６として、従来のフィルムタイプだけでなく、粉末タイプであっても、ボイドの発生が抑制され、しかも表面の平坦性のレベルが極めて高い積層を行うことできる。さらに、タクトタイムの短縮化のために、従来、樹脂１０６を過剰な加熱を行うことが必要であったところ、そのような加熱が不要となるため、樹脂１０６の熱硬化による悪影響を受けず、本来の特性を十分に発揮させることができる。
なお、図８の各図は、いずれも工程および装置を模式的に示したものであり、説明に必要でない部分の記載を省略している。

さらに、本発明の積層装置は、例えば、図９（ａ），（ｂ）に示すように、真空積層装置１および第１の平面プレス積層装置６１のいずれかが特徴的な構成を有しているものであっても、図９（ｃ）に示すように、真空積層装置１および第１の平面プレス積層装置６１の両方が特徴的な構成を有しているものであってもよい（本発明の特徴を有する装置部分を破線で囲っている）。

また、本発明の積層装置は、装置全体を新たに製造して得られるものであってもよいし、既存の装置と組み合わせて得られるものであってもよい。
すなわち、図９（ａ）～（ｃ）に示す例において、既存の積層装置の真空積層装置および／または第１の平面プレス積層装置に代えて、本発明に用いる部分（破線で囲って示す）を用いるようにしてもよい。

さらに、本発明の他の実施の形態を図１０に示す。このものは、図１に示す積層装置の第１の平面プレス積層装置２の下流に、さらに第２の平面プレス積層装置１１０を設け、上記第１の平面プレス積層装置２を経由した第１の積層体１０２を、上記第１の平面プレス積層装置２と異なる条件で上記第２の平面プレス積層装置１１０で押圧して、さらに凹凸面が平坦化された第２の積層体１０８を形成するものである。

上記第２の平面プレス積層装置１１０では、図１１に示すように、上側プレートブロック１１１および下側プレートブロック１１２の内側（プレス側）には、ヒーターを内蔵する熱盤１１４，１１８が取り付けられており、さらにその内側（プレス側）に、金属板（平面プレス板）１１６，１２０が配設されている。そして、第１の平面プレス積層装置２を経由して形成された第１の積層体１０２を、これら金属板（平面プレス板）１１６，１２０の間で押圧することにより、第１の積層体１０２の厚みが均一化され、かつ、表面が鏡面化され、平坦面に形成された第２の積層体１０８とすることができる。

図１１に示すように、上記第２の平面プレス積層装置１１０には、上記プレートブロック１１１，１１２の熱盤１１４，１１８の内側（プレス側）に、緩衝材が配置されていない。したがって、金属板（板状体）１１６，１２０の平坦性をより確実に、第１の積層体１０２に伝えることができ、表面がより鏡面性のある平坦面に仕上げられた第２の積層体１０８を得ることができる。
ただし、基材１０４およびフィルム１０６等の種類によっては、熱盤１１４，１１８と金属板（板状体）１１６，１２０との間に緩衝材を設けてもよく、その場合、上記第１の平面プレス積層装置６１に用いた緩衝材よりも緩衝効果の小さい緩衝材であることが好ましい。緩衝効果の大小は、通常、緩衝材の材質および厚みによって決定されるが、本発明においては、それ以外に、追従性を緩衝効果の指標のひとつとして用いる。すなわち、追従性の高い緩衝材を、緩衝効果が大きいとすることができる。

上記第２の平面プレス積層装置１１０に緩衝材を設ける場合、表面のショアＡ硬度が６０度以上であるものが好ましく、６５～７５度であるものがより好ましい。緩衝材の表面ショアＡ硬度が上記範囲内であると、得られる第２の積層体１０８の樹脂１０６の厚みがより均一になる傾向がみられる。

また、上記緩衝材を設ける場合、その厚みは、通常０．２～２０ｍｍであり、好ましくは０．２～３ｍｍ、より好ましくは０．２～１ｍｍである。そして、上記緩衝材が、上記第１の平面プレス積層装置６１の緩衝材８８，９２より緩衝効果の小さいものであると、金属板（平面プレス板）１１６，１２０の平坦性をより確実に伝えることができ、表面がより平坦面に形成された第２の積層体１０８を得ることができる。なお、緩衝材の材質は、第１の平面プレス積層装置６１と同様のものを用いることができるが、合成樹脂、および合成樹脂と他の材質とが組み合わせられたものであることが好ましい。

上記プレートブロック１１１，１１２の内側（プレス側）に取り付けられる金属板（板状体）１１６，１２０の厚みは、通常、０．１～１０ｍｍであり、好ましくは０．５～７ｍｍ、より好ましくは１～５ｍｍ、さらに好ましくは２～５ｍｍである。金属板（板状体）１１６，１２０の厚みが上記範囲内であると、機械強度に優れるため、第１の積層体１０２の厚みをより均一化することができ、表面がより平坦面に形成された第２の積層体１０８とすることができる。また、金属板（板状体）１１６，１２０の表面をバフ研磨等により鏡面研磨すると、第２の積層体１０８の表面を均一な鏡面に仕上げることができるため、より好ましい。

上記金属板（板状体）１１６，１２０の材質としては、通常、ステンレス、鉄、アルミニウム、アルミニウム合金等が用いられ、耐錆性に優れる点からステンレスが好ましい。
また、上記金属板（板状体）１１６，１２０は、フレキシブル性を有していてもよいし、有していなくてもよい。ただし、緩衝材を用いる場合には、その緩衝効果が発揮され過ぎないようにフレキシブル性が少ないものが好ましい。

上記下側プレートブロック１１２の下側の空間には、サーボモータ１２１等からなる昇降部が設けられている。上記サーボモータ１２１の回転数は、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）からの指令信号およびフィードバックされたプレートブロック１１１，１１２間の距離情報に基づき、サーボアンプ（図示省略）によってコントロールされている。このため、サーボモータ１２１の回転動作を制御することにより、この下側プレートブロック１１２を昇降自在に制御することができる。

さらに、下側プレートブロック１１２の下側の空間には、下側プレートブロック１１２とプレス台２９との間の距離を計測するリニアスケール１２２が配設されている。このリニアスケール１２２は、プレス台２９に固定されたスケール１２３と、プレートブロック１１２に取り付けられプレートブロック１１２に同期して上下移動するエンコーダヘッド１２４を有しており、上記サーボモータ１２１の回転動作に伴って昇降する下側プレートブロック１１２と上側プレートブロック１１１との距離（間隙）を、間接的に測定している。本発明において、サーボモータとは、サーボ機構を備えたモータを意味し、その用途には制限がない。

上記リニアスケール１２２としては、例えば、磁気ヘッドを有する磁気式や、発光・受光素子を有する光学式等のいずれのタイプのリニアスケール（リニアエンコーダ）等を用いてもよい。さらに、リニアスケール１２２に代えて、プレートブロック１１１，１１２の間隙を、直接的または間接的に、接触または非接触で計測できる他の様式の距離計を用いてもよい。

上記リニアスケール１２２は、下側プレートブロック１１２と上側プレートブロック１１１との間隙を直接計測できるように配設することも可能である。しかし、リニアスケール１２２をプレートブロック１１１，１１２の間に配設すると、熱盤１１４，１１８から熱の影響を受けるおそれがあり、熱に対する考慮なしでは、正確な間隙を測定することが困難になるおそれがある。このため、リニアスケール１２２は、熱盤１１４，１１８から離れた位置、例えば、この例のように、下側プレートブロック１１２の下側に配設し、下側プレートブロック１１２とプレス台２９の間の距離を計測するようにし、下側プレートブロック１１２と上側プレートブロック１１１との間隙を間接的に計測することが好ましい。

上記第２の平面プレス積層装置１１０は、ＰＬＣからの指令信号およびプレートブロック１１１，１１２間の距離情報のフィードバックに基づき、サーボモータ１２１の回転動作を制御するサーボアンプ（図示省略）を備えている。また、プレートブロック１１１，１１２の間隙は、ＰＬＣに組み込まれた指令信号（押圧間隙制御プログラム）のみに基づくのではなく、リニアスケール１２２から得られる距離信号を考慮して設定する押圧間隙制御システムにより制御されている。すなわち、ＰＬＣからの指令信号により動作するサーボモータ１２１の回転動作は、リニアスケール１２２から送られるプレートブロック１１１，１１２間の距離情報がフィードバックされることにより制御されている。この例では、ＰＬＣからの指令信号によりサーボモータ１２１を回転させてプレートブロック１１２を上昇させており、プレートブロック１１１，１１２の間隙（リニアスケール１２２から送られるプレートブロック１１１，１１２間の距離情報）が予め設定した値になると、設定した値になったとの情報がＰＬＣに組み込まれた指令信号にフィードバックされ、サーボモータ１２１の回転が遅くなるまたは停止するようになっている。これにより、プレートブロック１１２の停止位置をより正確に設定することができ、プレートブロック１１１，１１２の間隙をより正確に設定することができる。

上記第２の平面プレス積層装置１１０は、サーボモータ１２１ではなく、油圧シリンダ等の他の押圧装置を用いてプレスを行ってもよい。また、油圧シリンダによって押圧を行う場合は、押圧力を制御できる制御システムを有することが好ましい。

この実施の形態においては、第１の平面プレス積層装置２および第２の平面プレス積層装置１１０における押圧時の温度、押圧力を、基材１０４および樹脂１０６の材質に応じて適宜選択することができる。なかでも、第２の積層体１０８の仕上がり（平坦性、鏡面性）に優れる点で、第１の平面プレス積層装置２の押圧条件を、第２の平面プレス積層装置１１０の押圧条件に対し、高温かつ低圧力とすることが好ましい。また、第２の平面プレス積層装置１１０の押圧時間を、第１の平面プレス積層装置２の押圧時間に対し長くすることが好ましい。

上記実施の形態では、図１の積層装置の下流に第２の平面プレス積層装置１１０を設けた例を示したが（図１２（ａ）参照）、図１２（ｂ）に示すように、図５の積層装置の下流に第２の平面プレス積層装置１１０を設けてもよい。また、図１３に示すように、真空積層装置１と第１の平面プレス積層装置６１とを備えたものに、第２の平面プレス積層装置１１０を設けてもよい（本発明の特徴を有する部分を破線で囲っている）。

本発明を以下の実施例によりさらに説明する。ただし、下記に示す実施例に本発明が限定解釈されるものではない。
なお、例中、「％」とあるのは、質量基準を意味する。

［実施例１］
図１に示す積層装置を用いた。
フィルム状（厚み２２．５μｍ）のエポキシ系の樹脂１０６を、表面に凹凸（銅パターン１０５）を有する基材１０４（凸部の厚み１８μｍ、α部の銅パターン残銅率８０％、β部の銅パターン残銅率３０％、γ部の銅パターン残銅率０％）に載置したワーク１００を作製した。上記樹脂１０６は、高周波向けの低誘電正接の特性を有するものの、加熱による樹脂流動性に難を有している。
真空積層装置１の上側熱盤１６、下側熱盤２０により空間部２６を予め１１０℃に調整し、吸引開始３０秒後の空間部２６の圧力を１００Ｐａ以下とし、厚み３ｍｍかつ厚みばらつきが０．２ｍｍのシリコーンゴムからなる上側弾性プレス板１８および下側弾性プレス板２２の間でワーク１００を、５００ｍｍ四方面積あたり２．５ＭＰａで３０秒間押圧し、第１のプレ積層体１０１を作製した。上記真空積層装置１の上側緩衝材１７，下側緩衝材２１として、いずれも表面に布が配置されるように５層［アラミド繊維（繊維層）／シリコーンゴム（ゴム層）／アラミド繊維（繊維層）／シリコーンゴム（ゴム層）／アラミド繊維（繊維層）］に積層された、厚み２．６ｍｍの積層体を用いた。また、上記真空積層装置１の油圧シリンダ１４のシリンダのストローク長さは（２００ｍｍ）であった。
第１の平面プレス積層装置２において、上側フレキシブル金属板（平面プレス板）３６，下側フレキシブル金属板（平面プレス板）４０として、厚み２ｍｍのステンレス板状体を用い、上側緩衝材３５，下側緩衝材３９として、厚み２．５ｍｍのフッ化ビニリデン系ゴム（ＶＤＦ）を用いた。そして、上側熱盤３４，下側熱盤３８を１２０℃に調整し、油圧シリンダ３２によって下側プレートブロック２８を上昇させ、上側フレキシブル金属板（平面プレス板）３６，下側フレキシブル金属板（平面プレス板）４０で第１のプレ積層体１０１を、５００ｍｍ四方面積あたり０．８ＭＰａの圧力で４０秒間加熱プレスし、第１の積層体１０２を作製した。

［実施例２］
図５に示す積層装置を用いた。
実施例１と同じ樹脂１０６を、表面に凹凸（銅パターン１０５）を有する基材１０４（凸部の厚み１８μｍ、α部の銅パターン残銅率８０％、β部の銅パターン残銅率３０％、γ部の銅パターン残銅率０％）に載置したワーク１００を作製した。
真空積層装置６０の上側熱盤６９、下側熱盤７３により空間部７９を予め１５０℃に調整し、吸引開始３０秒後の空間部７９の圧力を１００Ｐａ以下とし、厚み３ｍｍかつ厚みばらつきが０．２ｍｍのシリコーンゴムからなる上側弾性プレス板７１および下側弾性プレス板７５の間でワーク１００を、５００ｍｍ四方面積あたり１ＭＰａで３０秒間押圧し、第２のプレ積層体１０７を作製した。上記真空積層装置６０の上側緩衝材７０，下側緩衝材７４は、実施例１の真空積層装置１と同じ５層の積層体を用いている。
第１の平面プレス積層装置６１において、上側フレキシブル金属板（平面プレス板）８９，下側フレキシブル金属板（平面プレス板）９３として、厚み２ｍｍのステンレス板状体を用い、上側緩衝材８８，下側緩衝材９２として、厚み２．５ｍｍのフッ化ビニリデン系ゴム（ＶＤＦ）を用いた。そして、上側熱盤８７，下側熱盤９１を１２０℃に調整し、油圧シリンダ８０によって下側プレートブロック８２を上昇させ、上側フレキシブル金属板（平面プレス板）８９，下側フレキシブル金属板（平面プレス板）９３で第２のプレ積層体１０７を、５００ｍｍ四方面積あたり２ＭＰａで４０秒間押圧し、第１の積層体１０８を作製した。第１の平面プレス積層装置６１の油圧シリンダ８０のシリンダのストローク長さは２００ｍｍであった。

［実施例３］
図１０に示す積層装置を用いた。
すなわち、実施例１（図１）の積層装置の下流に、第２の平面プレス積層装置１１０を設けた以外は、実施例１と同様にして第２の積層体１０８を作製した。
第２の平面プレス積層装置１１０は、緩衝材を備えておらず、熱盤１１４，１１８を１００℃に調整し、サーボモータ１２１によって下側プレートブロック１１２を上昇させ、プレス面の平面度が１０μｍ以内に設定されたステンレス板状体（厚み２ｍｍ）からなるフレキシブル金属板（平面プレス板）１１６，１２０間の距離が、第２のプレ積層体１０７の厚みより２０μｍ少なくなるように設定し、４０秒間プレスして、第２の積層体１０８を作製した。

［実施例４］
実施例３の第１の平面プレス積層装置２に代えて、実施例２で用いた第１の平面プレス積層装置６１を用いた以外は実施例３と同様にして、第２の積層体１０８を作製した。

［実施例５］
実施例４において、ワーク１００の押圧時間を１０秒間にした以外は実施例４と同様にして第２の積層体１０８を作製した。

［比較例１］
図１に示す積層装置において、真空積層装置１に代えて、図６に示す真空積層装置６０を用いた積層装置を使用し、この真空積層装置６０における構成および押圧条件は実施例２と同様にして第１の積層体１０２を作製した。
すなわち、この比較例１では、真空積層装置６０および第１の平面プレス積層装置２のいずれも、プレートブロック間の押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．６７ＭＰａ未満である。

実施例１～５、比較例１で得られた第１の積層体１０２または第２の積層体１０８について、「ボイド発生の有無」および「厚みのばらつき」を下記に示す指標を用いて評価を行った。

［ボイド発生の有無］
各積層体（１０２または１０８）に対し、表面側から２５０倍顕微鏡により観察し、内部にボイドが発生しているか否かを確認した。その結果を後記の表１に併せて示す。
◎（とても良い）：ボイドの発生が全くない。
〇（良い）：ボイドがごく少数発生しているが、悪影響を受けない。
×（悪い）：ボイドが多数発生している。

［厚みのばらつき］
各積層体（１０２または１０８）の、上記銅パターン（残銅率）が異なる部位（α部、β部、γ部）に対応する箇所の厚みを測定し、最大厚みと最小厚みの差を算出し、その値を下記の指標に当てはめ評価した。その結果を後記の表１に併せて示す。
◎（とても良い）：５μｍ以下。
〇（良い）：５μｍを超え１０μｍ以下。
△（可）：１０μｍを超え１５μｍ以下。
×（悪い）：１５μｍを超える。

表１に示すとおり、実施例１は、真空積層装置１の一対のプレートブロック１１，１２間における押圧力が、５００ｍｍ四方面積あたり２．５ＭＰａであるため、得られる積層体にはボイドの発生が全く見られなかった。
実施例２においては、真空積層装置１の一対のプレートブロック１１，１２間における押圧力が、５００ｍｍ四方面積あたり１．０ＭＰａであるため、実施例１より高温で処理したにもかかわらず、わずかであるがボイドが発生していた。しかし、第１の平面プレス積層装置６１の一対のプレートブロック８１，８２間における押圧力が、５００ｍｍ四方面積あたり２．０ＭＰａであるため、得られる積層体の厚みのばらつきが少なくなっていた。
そして、実施例３～５では、さらに第２の平面プレス積層装置１１０を設けているため、得られる積層体の厚みのばらつきがほとんどなく、しかもボイド発生の抑制にも優れていた。とりわけ実施例４、５ではさらに優れた積層体が得られ、厚みばらつき、ボイド発生のいずれも効果的に抑制されていた。
また、実施例５における真空積層装置においては、その押圧時間を従来の１／３程度にまで短縮できていた。

これらに対し、比較例１では、真空積層装置６０および第１の平面プレス積層装置２のいずれも、プレートブロック間の押圧力が、５００ｍｍ四方面積あたり１ＭＰａ、０．８ＭＰａと、従来どおりであるため、得られる積層体の厚みがばらつき、ボイドの発生もみられた。

［実施例６］
つぎに、緩衝材の差異による押圧の均一性を評価するため、まず、実施例１の真空積層装置１を用い、温度１１０℃、真空時間３０秒、押圧力５００ｍｍ四方面積あたり２．５ＭＰａ、押圧時間２０秒の条件で下記のワークの押圧を行い、第１のプレ積層体１３０を作製した。
ワーク：厚み２２．５μｍのフィルム状のエポキシ系の樹脂が、５００ｍｍ四方のＣｕパターン形成済み基板（基板には同一のＣｕパターンが形成された４０ｍｍ四方のテストクーポンが１１×１１の配置で面付されている）上の載置されたもの。

［実施例７］
実施例６の真空積層装置１の緩衝材に代えて、厚み２．６ｍｍのシリコーンゴム単層からなる緩衝材を用いた以外は実施例６と同様にして、ワークの押圧を行い、第１のプレ積層体１３１を作製した。

［比較例２］
実施例７の押圧条件を、温度１５０℃、真空時間３０秒、押圧力５００ｍｍ四方面積あたり１．０ＭＰａ、押圧時間３０秒に変更した以外は、実施例７と同様にして、ワークの押圧を行い、第１のプレ積層体１３２を作製した。

実施例６，７、比較例２で得られた、真空積層装置１での押圧が終わったワーク（第１のプレ積層体１３０，１３１，１３２）を取り出し、それぞれを外側から２５０倍顕微鏡により観察し、内部にボイドが発生しているか否かを確認した。その結果を図１４～図１６に示す。これらの図において、枠内の数字は各クーポン内に存在したボイドの数を示している。

図１４に示すように、実施例６はボイドの発生が全く見られないことから、ワークに対する押圧が均一に行われたことがわかる。また、図１５に示すように、実施例７は部分的にボイドの発生が見られ、ワークに対する押圧が不均一であったことがわかる。ただし、この程度のボイドであれば、例えば、真空積層装置１での押圧時の温度を調整したり、つぎの平面プレス積層装置２における押圧したりすることで無くすことができる。
一方、図１６に示すように、比較例２では、ワークに対する押圧がより不均一となっている。しかも、押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり１．０ＭＰａと従来どおりの押圧となっているため、ボイドの発生数が多く、また、１５０℃の高温条件で押圧しているため、一旦発生したボイドを温度の調整で低減することができず、つぎの平面プレス積層装置２における押圧でも低減することができないものであった。

本発明は、基材と樹脂とを精密に積層できる積層装置として利用することができる。

１ 真空積層装置
２ 第１の平面プレス積層装置
１１ プレートブロック
１２ プレートブロック
２１ 緩衝材
２２ 弾性プレス板
１０１ 第１のプレ積層体
１０２ 第１の積層体
１０４ 基材
１０６ 樹脂

Claims (10)

1. 基材に樹脂を積層して積層体を形成する積層装置であって、
   前記積層装置が、前記基材と樹脂とを減圧下で押圧してプレ積層体を形成する真空積層装置と、前記プレ積層体を押圧して積層体を形成する第１の平面プレス積層装置とを備えており、
   前記真空積層装置が、対向する一対のプレートブロックを有し、前記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、前記一対のプレートブロック間で前記基材と樹脂とが押圧されるようになっており、
   前記進退可能なプレートブロックが、弾性プレス板と緩衝材とを有し、前記緩衝材が、繊維層とゴム層とを有する３層以上の複層体からなり、
   前記一対のプレートブロック間における、前記基材と樹脂とに対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり２．５～３．９７ＭＰａの範囲に設定されるようになっている積層装置。
2. 基材に樹脂を積層して積層体を形成する積層装置であって、
   前記積層装置が、前記基材と樹脂とを減圧下で押圧してプレ積層体を形成する真空積層装置と、前記プレ積層体を押圧して積層体を形成する第１の平面プレス積層装置とを備えており、
   前記真空積層装置が、対向する一対のプレートブロックを有し、前記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、前記一対のプレートブロック間で前記基材と樹脂とが押圧されるようになっており、
   前記進退可能なプレートブロックが、弾性プレス板と緩衝材とを有し、前記緩衝材が、繊維層とゴム層とを有する３層以上の複層体からなり、
   前記第１の平面プレス積層装置が、対向する一対のプレートブロックを有し、前記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、前記一対のプレートブロック間で前記プレ積層体が押圧されるようになっており、
   前記進退可能なプレートブロックが、平面プレス板を有しており、
   前記一対のプレートブロック間における、前記プレ積層体に対する押圧力が５００ｍｍ四方面積あたり２．５～３．９７ＭＰａの範囲に設定されるようになっている積層装置。
3. 前記真空積層装置のプレートブロックに油圧シリンダが連結され、前記油圧シリンダの作動により前記プレートブロックが進退可能になっており、前記油圧シリンダのシリンダの直径が２００ｍｍ以上に設定されている請求項１記載の積層装置。
4. 前記第１の平面プレス積層装置のプレートブロックに油圧シリンダが連結され、前記油圧シリンダの作動により前記プレートブロックが進退可能になっており、前記油圧シリンダのシリンダの直径が２００ｍｍ以上に設定されている請求項２記載の積層装置。
5. さらに、第２の平面プレス積層装置を備え、
   前記第２の平面プレス積層装置が、対向する一対のプレートブロックを有し、前記一対のプレートブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、第１の平面プレス積層装置による押圧を経由し得られた積層体が、前記一対のプレートブロック間でさらに押圧されるようになっている請求項１～４のいずれか一項に記載の積層装置。
6. 前記真空積層装置における弾性プレス板がフッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレン酢酸ビニル共重合体、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴムからなる群から選ばれた少なくとも一つからなる請求項１～４のいずれか一項に記載の積層装置。
7. 請求項１または３記載の積層装置に用いられる真空積層装置。
8. 請求項５記載の積層装置に用いられる真空積層装置。
9. 請求項２または４記載の積層装置に用いられる第１の平面プレス積層装置。
10. 請求項５記載の積層装置に用いられる第１の平面プレス積層装置。

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