JP7179208B2 - 積層装置 - Google Patents

Description

本発明は、基材と樹脂フィルムとを精密に積層することのできる積層装置に関するものであり、詳細には、基材（例えば、プリント回路基板やウエハ）の上に積層される樹脂フィルム表面を、より厳密なレベルで平坦にすることができる積層装置に関するものである。

従来、電子機器の小型化、高性能化に伴い、これらに搭載される電子回路基板には、多層化した高密度タイプのプリント回路基板（いわゆる「ビルドアップ基板」）が多用されるようになっている。このビルドアップ基板は、表面に配線等による凹凸を有する基材と、絶縁層としての樹脂フィルムとを交互に多段に積層（ラミネート）した積層体として製造されるものであり、その製造には積層装置が用いられる。

上記のビルドアップ基板の製造には、凹凸を有する基材に樹脂フィルムを平坦に積層することが重要となる。平坦でない部分があると、多段に積層されるなかで不要なスペースが増幅されてビルドアップ基板が嵩高くなり、電子機器の小型の要求に反するためである。凹凸を有する基材に樹脂フィルムを平坦に積層する積層装置としては、例えば、特許文献１のものがあげられる。このものは、真空プレス装置と平面プレス装置とを備えているため、形成された積層体（ビルドアップ基板等）の表面をより平坦にすることができる。

近年、さらに電子機器の小型化、高性能化が進み、これらに搭載される電子回路基板は、より一層の小型化が求められるようになってきている。それに伴い、積層体（ビルドアップ基板等）表面の平坦性がより求められており、積層装置による積層技術のさらなる向上が望まれている。

特許第４９２６８４０号公報

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、さらに高いレベルで表面が平坦化された積層体を製造することができる積層装置の提供をその目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明は、以下の[１]～[３]を要旨とする。
[１] 凹凸を有する基材の凹凸面にフィルムを積層する装置であって、減圧下で上記基材にフィルムを密着追従させて、上記基材の凹凸面に追従する凹凸面を有する第１の仮積層体を形成する真空積層手段と、上記第１の仮積層体を押圧して上記第１の仮積層体の凹凸面を略平坦化し、略平坦化された凹凸面を有する第２の仮積層体を形成する第１の平面プレス手段と、上記第２の仮積層体を第１の平面プレス手段と異なる条件で押圧して、上記第２の仮積層体の略平坦化された凹凸面をさらに平坦化し、積層体を形成する第２の平面プレス手段とを備え、上記第１の平面プレス手段が、対向する一対のプレスブロックを有し、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が熱盤と、板状体と、これらの間に配置される緩衝材とを有しており、上記第２の平面プレス手段が、対向する一対のプレスブロックと、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方に連結されたサーボモータとを有し、上記サーボモータの作動により上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が熱盤と板状体とを有し、これらの間に、緩衝材を有していないか、上記第１の平面プレス手段の緩衝材より緩衝効果の小さい緩衝材を有し、上記一対のプレスブロックが互いに接近する速度が０．００５～０．５ｍｍ／秒となるように、上記サーボモータの作動が制御されている積層装置。 ［２］ 上記第１の平面プレス手段の一対のプレスブロックが互いに接近する速度をＶ１とし、上記第２の平面プレス手段の一対のプレスブロックが互いに接近する速度をＶ２としたときに、Ｖ１およびＶ２が下記の式（１）を満たしている［１］記載の積層装置。 ０．０００８≦Ｖ２／Ｖ１≦０．０２ ・・・（１）
［３］ 上記第１の平面プレス手段の、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方に油圧シリンダまたはエアーシリンダが連結され、上記油圧シリンダまたはエアーシリンダの作動により上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能になっている［１］または［２］記載の積層装置。

すなわち、本発明の発明者らは、前記課題を解決するために工夫を重ねた。その結果、減圧下で基材にフィルムを密着追従させた仮積層体に対し、条件を変えて少なくとも二回の平面プレスを行い、しかもその二回目の平面プレスにおいて、対象物をプレスする際の速度が、従来よりも遅い所定の範囲に設定されている積層装置によれば、従来では達成できなかった極めて高いレベルにまで表面を平坦化することが可能であることを見い出し、本発明に到達した。

本発明の積層装置によれば、凹凸を有する基材の凹凸面にフィルムを積層するに際し、極めて高いレベルで表面が平坦化された積層体を製造することができる。

本発明の一実施の形態に係る積層装置の概略を説明する構成図である。 上記積層装置の真空積層手段の説明図である。 上記積層装置の第１の平面プレス手段の説明図である。 上記積層装置の第２の平面プレス手段の説明図である。 上記積層装置の各手段により得られる第２の仮積層体の凹凸度合いを説明する図である。 上記積層装置の各手段により得られる第１の仮積層体，第２の仮積層体，積層体の説明図である。 （ａ）は従来の積層体を説明する図であり、（ｂ）は本発明の積層体を説明する図である。 上記第２の平面プレス手段の変形例を説明する図である。 本発明の実施例で用いる基材を説明する図である。 本発明の実施例における銅密度の算出方法を説明する図である。 本発明の実施例における厚みの変化を示すグラフ図である。 （ａ）は本発明の実施例における積層体の距離基準点を説明する図であり、（ｂ）は本発明の実施例の樹脂厚みの変化を示すグラフ図である。

つぎに、本発明を実施するための形態について詳しく説明する。ただし、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。

図１は、本発明の１つの実施の形態に係る積層装置を示している。この積層装置は、配線（銅パターン１０５等）等による凹凸が設けられたビルドアップ基板用の基材１０４に、ラミネート用のフィルム１０６を積層するための装置であり、搬送用フィルム５，５'を一方側から繰り出し、他方側でこれを巻き取ることによりワーク１００を順次搬送する搬送手段４，４'を備えている。そして、この搬送用フィルム５，５'の矢印の流れ方向の上流（真空積層手段１）から下流（第２の平面プレス手段３）に向かって、真空積層手段１と、第１の平面プレス手段２と、第２の平面プレス手段３とが、この順に配設されている。
上記真空積層手段１は、基材１０４の表面が、銅パターン１０５の配置により凹凸面に形成され、その凹凸面にフィルム１０６が載置されたワーク１００を、減圧下で基材１０４の凹凸に沿ってフィルム１０６を密着追従させて、上記基材１０４の凹凸面に追従する凹凸面を有する第１の仮積層体１０１を形成する。
上記第１の平面プレス手段２は、上記真空積層手段１で形成された第１の仮積層体１０１を押圧して上記第１の仮積層体１０１の凹凸面を略平坦化し、略平坦化された凹凸面を有する第２の仮積層体１０２を形成する。
上記第２の平面プレス手段３は、上記第２の仮積層体１０２に対して、上記第１の平面プレス手段２と異なる条件で押圧を行うものであり、図４に示すとおり、その押圧においてサーボモータ５３を用い、かつ、上記第２の平面プレス手段３のプレスブロック４７が有する金属板（板状体）５１が上記第２の仮積層体１０２に当接する際の速度を、従来より遅い所定の速度に設定し、上記第２の仮積層体１０２の略平坦化された凹凸面をさらに平坦化し、積層体１０３を形成する。

そして、上記搬送手段４および４'により、ワーク１００、第１の仮積層体１０１、第２の仮積層体１０２、積層体１０３は、全て、搬送用フィルム５および５'の間に挟まれて、搬送されるようになっている。そして、搬送手段４は、ワーク１００を工程に搬入するための搬入用コンベア７を有している。また、搬送手段４'は、第２の平面プレス手段３により平坦化された積層体１０３を冷却するためのファン６，６'を有している。そして、搬送手段４'において、巻き取られる搬送用フィルム５，５'の間から、完成した積層体１０３が搬送ラインから取り出されるようになっている。
以下、各手段１～３について詳細に説明する。

[真空積層手段１]
上記真空積層手段１は、搬入用コンベア７により搬入され、搬送用フィルム５，５'により搬送されてきた基材１０４の凹凸面にフィルム１０６が載置されたワーク１００を、上部プレート１１と下部プレート１２との間に位置決めし、減圧状態の空間部２６内で加熱加圧して、基材１０４の凹凸に沿ってフィルム１０６を密着追従させることにより、第１の仮積層体１０１を形成するものである。
この真空積層手段１は、図２に示すように、プレス台８に立設された複数本（図２では、２本しか図示せず）の支柱９と、これら各支柱９にボルト，ナット等の固定器具１０で固定された上部プレート１１と、上記各支柱９に上下移動可能に取り付けられた下部プレート１２等を備えている。この下部プレート１２は、ジョイント１３を介して油圧シリンダ１４に連結されており、この油圧シリンダ１４の作動により（ピストンロッド１４ａの上昇および下降に伴って）上下移動するようになっている。なお、この実施の形態では、下部プレート１２に油圧シリンダ１４が連結されているが、油圧シリンダ１４に代えてエアーシリンダ等の別の昇降機構を用いてもよい。しかし、油圧シリンダ１４を用いると、コンパクトでありながら高圧が得られる点で好ましい。

上記上部プレート１１には、平板状の上側断熱材１５，上側熱盤１６，上側緩衝材、上側弾性プレス板１７が上からこの順に固定されており、下部プレート１２には、平板状の下側断熱材１９，下側熱盤２０，下側緩衝材、下側弾性プレス板２１が下からこの順に固定されている。なお、上側緩衝材および下側緩衝材は図示を省略している。

これら上下の両熱盤１６，２０には、その内部に、弾性プレス板１７，２１を加熱するための温度コントロール可能な加熱器具が適宜の配置で設けられている。この実施の形態では、上記加熱器具として、上下の両熱盤１６，２０の内部に、複数本のシース状ヒーターがそれぞれ配置されている。なお、この実施の形態では、熱盤１６，２０の内部にシース状ヒーターを配置しているが、シース状ヒーターに代えて他の熱源を用いてもよい。

また、上記真空積層手段１は、可動真空枠２３を備えている。この可動真空枠２３は、上部プレート１１の下面に気密状に固定された略四角形枠状の上側固定枠部２４と、下部プレート１２の上面に気密状に固定された可動枠２５とを備えている。上側固定枠部２４には、真空引き用ノズル（図示せず）が連結されており、上下の両プレート１１，１２の密封契合時に、この真空引き用ノズルにより、上側固定枠部２４と可動枠２５間に形成される密封された空間部２６（図１参照）内を真空引きし、この空間部２６の圧力を調整する（すなわち、所定圧力による減圧状態とする）ことができる。なお、真空引き用ノズルは、上側固定枠部２４ではなく、上部プレート１１に連結してもよく、さらに複数箇所に設けると効率よく空間部２６の圧力を調整することができる。

[第１の平面プレス手段]
上記第１の平面プレス手段２（図１に戻る）は、上記真空積層手段１から搬送用フィルム５，５'により搬送されてきた第１の仮積層体１０１を上側プレスブロック２７および下側プレスブロック２８（図３参照）間に位置決めし、上側プレスブロック２７および下側プレスブロック２８で加熱加圧して第１の仮積層体１０１の表面を略平坦化するものである。この実施の形態では、図３に示すように、プレス台２９に立設された複数本（図３では、２本しか図示せず）の支柱３０と、これら各支柱３０にボルト，ナット等の固定器具３１で固定される上側プレスブロック２７と、上記各支柱３０に上下移動可能に取り付けられる下側プレスブロック２８等を備えている。この下側プレスブロック２８は、ジョイント３２を介して油圧シリンダ３３に連結されており、この油圧シリンダ３３の作動により（ピストンロッド３３ａの上昇および下降に伴って）上下移動されるようになっている。
すなわち、下側プレスブロック２８が上側プレスブロック２７に対して所定速度Ｖ１で進みながら上記第１の仮積層体１０１を挟んで加熱加圧し、上記第１の仮積層体１０１の凹凸面を略平坦化するものである。

上記下側プレスブロック２８が上側プレスブロック２７に対して進む速度Ｖ１は、５～１２ｍｍ／秒であることが好ましく、５．８～１０．７ｍｍ／秒であることがより好ましく、６．８～８．３ｍｍ／秒であることがさらに好ましい。
すなわち、上記速度Ｖ１が上記範囲の上限を超えると、上記第１の仮積層体１０１にこれらのプレスブロックが当接する際の衝撃荷重がかかり、その凹凸面の略平坦化を充分に行うことができない傾向がみられ、上記速度Ｖ１が上記範囲の下限を下回ると、タクトタイムが長くなりすぎ、生産性が悪くなる傾向がみられる。
なお、上記Ｖ１は、上記下側プレスブロック２８の下側フレキシブル金属板（板状体）４３が第１の仮積層体１０１に当接する際における速さを示している。

上記上側プレスブロック２７は、上部ベース層３４に、平板状の上側断熱材３５，上側熱盤３６，平板状の上側緩衝材３７および上側フレキシブル金属板（板状体）３８が上からこの順に固定された構成になっており、上記下側プレスブロック２８は、下部ベース層３９に、平板状の下側断熱材４０，下側熱盤４１，平板状の下側緩衝材４２および下側フレキシブル金属板（板状体）４３が下からこの順に固定された構成になっている。

上記上側断熱材３５は、上部ベース層３４の下面にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）により固定されている。上側熱盤３６は、上部ベース層３４により固定され、上側フレキシブル金属板（板状体）３８は上側緩衝材３７を介して上側熱盤３６にボルト，カラー等の固定手段（図示せず）で固定されている。また、下側断熱材４０は、下部ベース層３９の上面にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）により固定されている。下側熱盤４１は、下部ベース層３９に共締めにより固定され、下側フレキシブル金属板（板状体）４３は下側緩衝材４２を介して下側熱盤４１にボルト，カラー等の固定手段（図示せず）により固定されている。図において、３６ａ，４１ａは上下両熱盤３６，４１の内部に並列配置されたシース状ヒーターである。なお、この実施の形態では、熱盤３６，４１の内部にシース状ヒーター３６ａ，４１ａを配置しているが、シース状ヒーター３６ａ，４１ａに代えて他の熱源を用いてもよい。

上記緩衝材３７，４２としては、表面のショアＡ硬度（デュロメータ硬さ）が６０度以上であるものが好ましく、６５～７５度であることがより好ましい。表面ショアＡ硬度が上記範囲内であると、押圧後のフィルム１０６の膜厚がより均一になるためである。なお、本発明において、ショアＡ硬度は、ＪＩＳ Ｋ６２５３に準拠し、タイプＡデュロメータを用いて測定されたものである。ショアＡ硬度は、緩衝材を構成するゴムや合成樹脂等からなる試験片を作製し、各試験片に対して測定されたものでもよい。

また、上記緩衝材３７，４２の厚みは、通常０．２～２０ｍｍであり、好ましくは０．２～１０ｍｍ、より好ましくは０．５～３ｍｍである。緩衝材３７，４２の厚みが上記範囲内であると、緩衝効果を充分に発揮することができ、第１の仮積層体１０１表面の凹凸により追従させた状態で押圧することができる。このため、第１の仮積層体１０１表面の凹凸の段差を全体的になだらかにすることができる。なお、上記緩衝材３７，４２は、互いに厚みが異なっていてもよいし、同じであってもよい。

上記緩衝材３７，４２の材質は、通常、紙、ゴム、合成樹脂、繊維等を用いることができる。なかでもゴムが好ましく、特にフッ素系ゴムが好ましい。フッ素系ゴムとしては、例えば、フッ化ビニリデン系ゴム、含フッ素シリコーンゴム、テトラフルオロエチレン系ゴム、含フッ素ビニルエーテル系ゴム、含フッ素フォスフォニトリル系ゴム、含フッ素アクリレート系ゴム、含フッ素ニトロソメタン系ゴム、含フッ素ポリエステルゴム、含フッ素トリアジンゴム等があげられる。なお、上記緩衝材３７，４２は、耐熱性樹脂、ガラス繊維シートや金属箔シート等を内部に含むものであってもよいし、例えば、ゴムと繊維のように異なる材質のものが組み合わせられたものであってもよい。また、上記緩衝材３７，４２は、互いに材質が異なっていてもよいし、同じであってもよい。

上記フレキシブル金属板（板状体）３８，４３の厚みは、通常、０．１～１０ｍｍであり、好ましくは１～２ｍｍである。フレキシブル金属板（板状体）３８，４３の厚みが上記範囲内であると、機械強度を担保しながらフレキシブル性を発揮することができ、上記緩衝材３７，４２が第１の仮積層体１０１に追従する際の、上記緩衝材３７，４２の変形に充分に追従することができる。

上記フレキシブル金属板（板状体）３８，４３の材質としては、通常、ステンレス、鉄、アルミニウム、アルミニウム合金等が用いられ、なかでも耐錆性に優れる点からステンレスが好ましく用いられる。また、上記フレキシブル金属板（板状体）３８，４３の表面がバフ研磨等により鏡面研磨されていると、得られる第２の仮積層体１０２の表面をより鏡面にできるため好ましい。

なお、この実施の形態では、下側プレスブロック２８に油圧シリンダ３３が連結されているが、油圧シリンダ３３に代えてエアーシリンダ等の別の昇降機構を用いてもよいし、サーボモータを用いてもよい。しかし、油圧シリンダ３３を用いると、コンパクトでありながら高圧が得られる点で好ましい。

[第２の平面プレス手段]
上記第２の平面プレス手段３（図１に戻る）は、第１の平面プレス手段２から搬送用フィルム５，５'により搬送されてきた第２の仮積層体１０２を上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７（図４参照）間に位置決めし、これら上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７で加熱加圧して第２の仮積層体１０２の略平坦化された凹凸面をさらに平坦化するものである。この実施の形態では、図４に示すように、基本的な構成は、第１の平面プレス手段２（図３参照）と同様であり、プレス台４４に立設された複数本の支柱４５（図４では四隅４本のうち２本しか図示せず）と、これら各支柱４５にボルト，ナット等の固定器具で固定された上側プレスブロック４６と、上記各支柱４５に昇降自在に取り付けられた下側プレスブロック４７とを備える。
すなわち、下側プレスブロック４７が上側プレスブロック４６に対して所定速度Ｖ２で進みながら上記第２の仮積層体１０２を挟んで加熱加圧し、上記第２の仮積層体１０２の略平坦化された凹凸面をさらに平坦化するものである。

上記下側プレスブロック４７の下側の空間には、ねじ軸５２ａとナット（ボールナット）５２ｂとからなるボールねじ５２と、ねじ軸５２ａに繋がるサーボモータ５３とからなる昇降機構が形成されている。なお、上記サーボモータ５３の回転数は、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）からの指令信号およびフィードバックされたプレスブロック４６，４７間の距離情報に基づき、サーボアンプ（図示省略）によってコントロールされている。すなわち、下側プレスブロック４７は、ジョイント（図示省略）等を介してボールねじ５２のナット５２ｂに接続されている。このため、上記構成により、ねじ軸５２ａに繋がるサーボモータ５３の回転動作を制御することにより、この下側プレスブロック４７を、昇降自在により厳格に制御することができる。

さらに、上記下側プレスブロック４７の下側の空間には、下側プレスブロック４７と上側プレスブロック４６との間の距離を計測するリニアスケール５４が配設されている。このリニアスケール５４は、上側プレスブロック４６に固定されたスケール５４ａと、下側プレスブロック４７に取り付けられ下側プレスブロック４７に同期して上下にスライド移動するエンコーダヘッド５４ｂを有しており、上記サーボモータ５３の回転動作に伴って昇降する下側プレスブロック４７と上側プレスブロック４６との距離（間隙）を、間接的に測定している。本発明において、サーボモータとは、サーボ機構を備えたモータを意味し、その用途には制限がない。

上記リニアスケール５４としては、例えば、磁気ヘッドを有する磁気式や、発光・受光素子を有する光学式等のいずれのタイプのリニアスケール（リニアエンコーダ）等を用いてもよい。さらに、リニアスケール５４に代えて、両プレスブロック４６，４７の間隙を、直接的または間接的に、接触または非接触で計測できる他の様式の距離計を用いてもよい。

なお、上記リニアスケール５４は、下側プレスブロック４７と上側プレスブロック４６との間隙を直接計測できるように配設することも可能である。しかし、リニアスケール５４を上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７の間に配設すると、熱盤４８，４９から熱の影響を受けるおそれがあり、熱に対する考慮なしでは、正確な間隙を測定することが困難になるおそれがある。このため、リニアスケール５４は、熱盤４８，４９から離れた位置、例えば、この例のように、下側プレスブロック４７の下側に配設し、下側プレスブロック４７と上側プレスブロック４６との間隙を間接的に計測することが好ましい。

そして、上記第２の平面プレス手段３は、ＰＬＣからの指令信号および上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７間の距離情報のフィードバックに基づき、サーボモータ５３の回転動作を制御するサーボアンプ（図示省略）を備えている。また、上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７の間隙は、ＰＬＣに組み込まれた指令信号（押圧間隙制御プログラム）のみに基づくのではなく、リニアスケール５４から得られる距離信号を考慮して設定する押圧間隙制御手段により制御されている。
すなわち、ＰＬＣからの指令信号により動作するサーボモータ５３の回転動作は、リニアスケール５４から送られる上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７間の距離情報がフィードバックされることにより制御されている。この例では、ＰＬＣからの指令信号によりサーボモータ５３を回転させて下側プレスブロック４７を上昇させており、上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７の間隙（リニアスケールから送られる上側プレスブロック４６，下側プレスブロック４７間の距離情報）が予め設定した値になると、設定した値になったとの情報がＰＬＣに組み込まれた指令信号にフィードバックされ、サーボモータ５３の回転が遅くなる、または停止するようになっている。これにより、下側プレスブロック４７の停止位置をより正確に設定することができ、上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７の間隙をより正確に設定することができる。

そして、上記第２の平面プレス手段３においては、上記下側プレスブロック４７が上側プレスブロック４６に対して進む速度Ｖ２が、０．００５～０．５ｍｍ／秒であることが必要であり、０．００８～０．２ｍｍ／秒であることが好ましく、０．０１～０．１ｍｍ／秒であることがより好ましい。この速度は、一般常識からすると非常に遅い速度である。このように遅くすると、フィルム１０６の樹脂の流れがコントロールされて、略平坦化された凹凸面を高いレベルでさらに平坦化することができる。
すなわち、上記速度Ｖ２が上記範囲の上限を超えると、フィルム１０６の樹脂が第２の仮積層体１０２の凹部の隅々までいきわたらず、わずかに凹部が残る傾向がみられる。また、フィルム１０６の端部から上記樹脂がはみ出し、得られる積層体１０３の端部の厚みが薄くなるおそれがある。一方、上記速度Ｖ２が上記範囲の下限を下回ると、加熱により溶融したフィルム１０６の樹脂を上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７で抑え込む圧力に達する前に上記フィルム１０６の樹脂が流動してしまい、得られる積層体１０３の厚みムラが発生するおそれがある。
なお、上記速度Ｖ２は、上記下側プレスブロック４７の金属板（板状体）５１が第２の仮積層体１０２に当接する際における速さを示している。

また、上記速度Ｖ２の、第２の仮積層体１０２表面の凹凸度合いＷ（図５参照）に対する割合（Ｖ２／Ｗ）は、０．０３５～３であることが好ましく、０．０７５～１．９であることがより好ましく、０．１１～１．２であることがさらに好ましい。
上記凹凸度合いＷは、図５に示すとおり、第２の仮積層体１０２の略平坦化された凹凸面の凹凸差を示すものである。上記凹凸度合いＷは、上記略平坦化された凹凸面において、下記の式（２）で算出される銅密度Ｔの高い箇所Ｑ１の厚みをＨ１とし、銅密度Ｔの低い箇所Ｑ２の厚みをＨ２としたときにＨ１－Ｈ２で示されるものであり、その値は下記の式（３）によって算出することができる。
ここで、上記銅密度Ｔは、図１０に示すように、銅ライン１０８の幅をＬとし、隣り合う銅ライン１０８のピッチをＳとしたときに、下記の式（２）に基づいて算出されるものである。
銅密度Ｔ＝Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）・・・（２）
凹凸度合いＷ＝ｈ２×（Ｔ１－Ｔ２）・・・（３）
そして、上記厚みＨ１およびＨ２は、下記の式によって算出される。
Ｈ１＝（Ｔ１×ｈ２）＋ｈ１
Ｈ２＝（Ｔ２×ｈ２）＋ｈ１
（ただし、Ｔ１は箇所Ｑ１の銅密度であり、Ｔ２は箇所Ｑ２の銅密度であり、ｈ１は積層前のフィルム１０６の厚みであり、ｈ２は銅ライン１０８の厚みである。）

上記凹凸度合いＷは、通常、０．００２～０．０４ｍｍの範囲にあり、好ましくは０．００３６～０．０２９８ｍｍの範囲にある。なお、第２の仮積層体１０２表面の凹凸度合いＷは、全面が同じ（均一）であってもよいし、部分的に異なっていてもよい。
そして、上記第２の仮積層体１０２表面の凹凸度合いＷが部分的に異なる場合には、凹凸度合いＷが高い（数値が大きい）ものを上記Ｖ２の凹凸度合いＷに対する割合（Ｖ２／Ｗ）の算出に用いるものとする。また、第２の仮積層体１０２の凹凸度合いＷが一方の面と他方の面とで異なる場合にも、凹凸度合いＷが高い（数値が大きい）ものを上記Ｖ２の凹凸度合いＷに対する割合（Ｖ２／Ｗ）の算出に用いるものとする。

さらに、上記下側プレスブロック４７が上側プレスブロック４６に対して進む速度Ｖ２の、前記第１の平面プレス手段２における、上記下側プレスブロック２８が上側プレスブロック２７に対して進む速度Ｖ１に対する割合（Ｖ２／Ｖ１）は、０．０００８～０．０２の範囲にあることが好ましく、０．０００９～０．０１７の範囲にあることがより好ましく、０．００１２～０．０１４の範囲にあることがさらに好ましい。
すなわち、Ｖ１に対するＶ２の割合（Ｖ２／Ｖ１）が上記の範囲内にあると、微細な凹凸に対してもその表面を平坦化することができ、表面が鏡面化された積層体１０３を得ることができる。

上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７の内側（プレス側）には、断熱材を介してヒーターを内蔵する熱盤４８，４９がそれぞれ取り付けられており、さらにその内側（プレス側）に、金属板（板状体）５０，５１が配設されている。
しかし、上記上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７の熱盤４８，４９の内側（プレス側）には、いずれも緩衝材が配置されていない。
したがって、熱盤４８，４９の内側（プレス側）の平坦性をより確実に、第２の仮積層体１０２に伝えることができ、表面がより鏡面性のある平坦面に形成された積層体１０３を得ることができる。
ただし、基材１０４およびフィルム１０６等の種類によっては、熱盤４８，４９と金属板（板状体）５０，５１との間に緩衝材を設けてもよく、その場合、緩衝効果の小さい緩衝材であることが好ましい。緩衝効果の大小は、通常、緩衝材の材質および厚みによって決定されるが、本発明においては、それ以外に、追従性を緩衝効果の指標のひとつとして用いる。すなわち、追従性の高い緩衝材を、緩衝効果が大きいとすることができる。

なお、上記第２の平面プレス手段３に緩衝材を設ける場合、その緩衝材は、表面のショアＡ硬度が６０度以上であることが好ましく、６５～７５度であることがより好ましい。緩衝材の表面ショアＡ硬度が上記範囲内であると、押圧後のフィルム（ラミネート）の膜厚がより均一になるためである。

また、上記緩衝材を設ける場合、その厚みは、通常０．２～２０ｍｍであり、好ましくは０．２～３ｍｍ、より好ましくは０．２～１ｍｍである。そして、上記緩衝材が、上記第１の平面プレス手段２の緩衝材３７，４２より緩衝効果の小さいものであると、熱盤４８，４９の内側（プレス側）の平坦性をより確実に伝えることができ、表面がより平坦面に形成された積層体１０３を得ることができる。そして、緩衝材の材質は、第１の平面プレス手段２と同様のものを用いることができるが、合成樹脂、および合成樹脂と他の材質が組み合わせられたものが好ましい。

上記上側プレスブロック４６および下側プレスブロック４７の内側（プレス側）に取り付けられる金属板（板状体）５０，５１の厚みは、通常、０．１～１０ｍｍであり、好ましくは０．５～７ｍｍ、より好ましくは１～５ｍｍ、さらに好ましくは２～５ｍｍである。金属板（板状体）５０，５１の厚みが上記範囲内であると、機械強度に優れるため、第２の仮積層体１０２の厚みをより均一化することができ、表面がより平坦面に形成された積層体１０３とすることができる。また、金属板（板状体）５０，５１の表面をバフ研磨等により鏡面研磨すると、積層体１０３の表面を均一な鏡面にできるのでより好ましい。

上記金属板（板状体）５０，５１の材質としては、通常、ステンレス、鉄、アルミニウム、アルミニウム合金等が用いられ、耐錆性に優れる点からステンレスが好ましい。また、上記金属板（板状体）５０，５１は、フレキシブル性を有していてもよいし、有していなくてもよい。ただし、緩衝材を用いる場合には、その緩衝効果が発揮され過ぎないようにフレキシブル性が少ないものが好ましい。

[搬送手段]
搬送手段４、４'（図１に戻る）は、工程の始点に位置する上下の搬送用フィルム繰出し機５５，５５'、および、工程にワーク１００を搬入するための搬入用コンベア７と、工程の終点に配置された搬送用フィルム巻取り機５６，５６'、ワーク１００等を搬送する搬送用フィルム５，５'を工程各所で支承する複数のガイドローラー等と、を備えている。

そして、搬入用コンベア７から所定間隔で工程に供給された枚葉状のワーク１００は、各搬送用フィルム繰出し機５５，５５'から繰り出された上下の搬送用フィルム５，５'の間に、所定の間隔で断続的に（間欠的に）挟み込まれ、これら搬送用フィルム５，５'の流れ（走行）と同期した状態で、上記各ガイドローラーに案内されながら、真空積層手段１の上下のプレート１１，１２の間、第１の平面プレス手段２の上側プレスブロック２７，下側プレスブロック２８の間および第２の平面プレス手段３の上側プレスブロック４６，下側プレスブロック４７の間と、得られた積層体１０３を冷却するためのファン６，６'の間を経由する。積層体１０３が冷却された後、上下の搬送用フィルム５，５'が離型し、積層体１０３が搬送ラインから取り出されるようになっている。

積層体１０３が取り出された上下の搬送用フィルム５，５'は、それぞれ、搬送用フィルム巻取り機５６，５６'に巻き取られる。巻き取られた搬送用フィルム５，５'は、通常廃棄されるが、必要に応じて再利用してもよい。

この構成によると、真空積層手段１と、油圧シリンダ３３，厚い緩衝材（緩衝効果が大きい）３７，４２、薄いフレキシブルな金属板（板状体）３８，４３を有する第１の平面プレス手段２と、サーボモータ５３，分厚い金属板（板状体）５０，５１を有し，緩衝材を有していない第２の平面プレス手段３とを備えているため、図６に示すとおり、まず、準備したワーク１００に対し、真空積層手段１を経由させることにより、基材１０４の凹凸（銅パターン１０５）にフィルム１０６を密着追従させた第１の仮積層体１０１を得ることができる。
上記第１の仮積層体１０１は、基材１０４の凹凸（銅パターン１０５）がそのまま表面に現れている。つぎに、上記第１の仮積層体１０１を第１の平面プレス手段２を経由させるため、表面の凹凸に沿った状態で第１の仮積層体１０１が押圧され、表面の凹凸が略平坦化された第２の仮積層体１０２を得ることができる。
さらに、すでに表面の凹凸がなだらかに略平坦化された上記第２の仮積層体１０２を、さらに緩衝材を有しておらず、サーボモータを備えた第２の平面プレス手段３によって、押圧するため、表面が平坦化された積層体１０３を得ることができる。
なお、図６は、工程および手段を模式的に示したものであり、説明に必要でない部分の記載を省略している。

このとき、上記第２の平面プレス手段３において、その一対のプレスブロック４６，４７が互いに接近する速度が従来のとおりであると、概ね平坦化されるものの、表面の凹凸の程度によっては、図７（ａ）に示すように、フィルム１０６の樹脂の流動が凹部まで充分に届かず、得られる積層体１０３の凹部を平坦に仕上げることができない傾向がみられる。また、プレスによりフィルム１０６の端部から樹脂が染み出し、染み出した樹脂の分だけ積層体１０３の端部の厚みが薄くなる傾向がみられる。
これに対し、本発明の積層装置では、上記第２の平面プレス手段３において、その一対のプレスブロック４６，４７が互いに接近する速度を所定の範囲内になるよう制御して押圧するため、図７（ｂ）に示すように、フィルム１０６の樹脂の流動性がよくなり、略平坦化された凹凸面に微細な凹凸が残っていたとしても、その凹部にまで充分に届けることができ、すみずみまで平坦化することができる。また、プレスによりフィルム１０６の端部から樹脂が染み出すことがなく、端部まで厚みが均一化された積層体１０３を得ることができる。
なお、一対のプレスブロック４６，４７が互いに接近するとは、プレスブロック４６，４７が相対的に接近することを意味する。

すなわち、本発明は、特に上記第２の平面プレス手段３において、生産性の点からプレスにかかる時間を少なくするために、可能な限りプレス速度を速めることが好ましいという技術常識を打破し、あえて通常より遅い所定の速度でプレスするものである。

なかでも、第１の平面プレス手段２の一対のプレスブロックが互いに接近する速度Ｖ１と、第２の平面プレス手段３の一対のプレスブロックが互いに接近する速度Ｖ２とが、下記の式（１）を満たすように設定されていると、まず、第１の平面プレス手段２において、第２の仮積層体１０２の略平坦化された凹凸面の凹凸の程度を所定の範囲内のものとすることができ、第２の平面プレス手段３において、その凹凸の程度が所定の範囲内に制御された略平坦化された凹凸面を有する第２の仮積層体１０２に対してプレスすることができるため、略平坦化された凹凸面の、その凹部内に樹脂を無理なく移動させることができるため、得られる積層体１０３の表面がより平坦化し、全体の厚みばらつきを少なくすることができる。
０．０００８≦Ｖ２／Ｖ１≦０．０２ ・・・（１）

よって、従来、基材の凹凸面において、部分ごとに凹凸の程度が異なる場合には、その表面の凹凸の程度が全面的に均一である場合に比べてその表面を平坦化し、全体の厚みばらつきを少なくすることが困難であったが、本発明の積層装置によれば、基材の凹凸面に凹凸度合Ｗの異なる凹凸が混在していても、その表面を高いレベルで平坦化することができ、厚みばらつきの少ない積層体１０３を得ることができる。

つぎに、本発明の他の実施の形態について説明する。このものは、図１に示す積層装置において、第２の平面プレス手段３に代えて、第２の平面プレス手段５７を備えたものであり、その他の構成は図１に示す積層装置と同様である。

上記第２の平面プレス手段５７は、図４に示す第２の平面プレス手段３と基本的な構成は同一（サーボモータ５３によるプレスブロックの昇降）であるが、図８に示すとおり、熱盤４８と金属板（板状体）５０との間に上側緩衝材５８を備え、熱盤４９と金属板（板状体）５１との間に下側緩衝材５９を備えていることが異なっている。

そして、上記第２の平面プレス手段５７は、上側緩衝材５８および下側緩衝材５９が、上記第１の平面プレス手段２のものより緩衝効果が小さいものとなっている。上記緩衝材５８および下側緩衝材５９の材質は、上記第１の平面プレス手段２における緩衝材３７，４２と同様のものを用いることができるが、なかでも、合成樹脂および合成樹脂と他の材質とを組み合わせられたものが好ましく用いられる。

この構成によるものも、図１に示す積層装置と同様の効果を奏する。しかも、第２の平面プレス手段５７が緩衝効果の小さい緩衝材（上側緩衝材５８および下側緩衝材５９）を備えているため、第２の仮積層体１０２の凹部にフィルム１０６の樹脂を滑らかに移動させることができるため、全体としてその表面の凹凸を平坦化することができ、厚みにムラのない積層体１０３を得ることができる。
すなわち、第２の仮積層体１０２の凸部の樹脂を凹部へ移動させるためには、第２の平面プレス手段３のように緩衝材を有しないものの方が力を直接伝えることができ、より確実に表面の平坦化を図ることができる。しかし、その場合、第２の仮積層体１０２の凹凸の程度によっては平坦化できない箇所が生じる恐れがあり、平坦化できた箇所との差が明確になる傾向がみられる。
これに対し、第２の平面プレス手段５７のように緩衝材５８，５９を有していると、その全面に均一的な力を与えることができるため、全体としてその表面の凹凸を平坦化できる傾向がみられる。

上記で説明した本発明の実施の形態においては、第１の平面プレス手段２および第２の平面プレス手段３（または５７）における押圧時の温度、圧力等を、基材１０４およびフィルム１０６の材質に応じて適宜選択することができる。なかでも、積層体１０３の仕上がり（平坦性、鏡面性）に優れる点で、第１の平面プレス手段２の押圧条件を、第２の平面プレス手段３（または５７）の押圧条件に対し、高温かつ低圧力とすることが好ましい。また、第２の平面プレス手段３（または５７）の押圧時間を、第１の平面プレス手段２の押圧時間に対し長くすることが好ましい。

なお、上記実施の形態においては、いずれも第１の平面プレス手段２および第２の平面プレス手段３（または５７）が、対向する一対のプレスブロックのうち、下側プレスブロックのみが進退可能に設定され、上側プレスブロックは進退できないように設定されている。しかし、下側プレスブロックと同様に上側プレスブロックも進退可能に設定されていてもよい。一対のプレスブロックの両方ともが進退可能に設定されていると、プレス時間を短縮することができる。その場合、上記Ｖ１およびＶ２は、互いのプレスブロック（下側プレスブロックおよび上側プレスブロック）が互いに接近する速度となる。
ただし、一対のプレスブロックのいずれか一方を固定していると、プレスブロックの速度制御をより精度よく行うことができるため、得られる積層体１０３の平坦化のレベルをより高めることができる。

以下、本発明について、実施例をあげて具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、これら実施例に限定されるものではない。

まず、図１０に示すように、銅密度の異なる銅パターン１０５が形成された４０ｍｍ×４０ｍｍの大きさのピース１０７を準備した。そして、図９に示すとおり、５００ｍｍ×５００ｍｍの基材１０４の表面に、上記ピース１０７をランダムに配置して凹凸面を有する基材を作製した。
なお、図９の各ピース１０７に付した数字は「Ｐｉｅｃｅ Ｎｏ．」であり、後記の表２および図１１の「Ｐｉｅｃｅ Ｎｏ．」に対応するものである。
また、上記銅パターン１０５の銅密度（％）は、上記銅密度Ｔを％表示にしたものであり、図１０に示すように、銅ライン１０８の幅をＬとし、隣り合う銅ライン１０８のピッチをＳとしたときに、下記の式に基づいて算出したものである。
銅密度（％）＝Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）×１００
そして、準備した凹凸面を有する基材１０４の凹凸面に、厚み（ｈ１）２２．５μｍエポキシ樹脂系のフィルム１０６を載置して、プレス対象であるワーク１００を作製した。なお、上記銅ライン１０８の厚み（ｈ２）は１８μｍである。

［実施例１］
上記ワーク１００に対して、図１に示す積層装置を用い、以下のとおり積層体１０３を作製した。
まず、真空積層手段１の上側熱盤１６、下側熱盤２０により空間部２６を予め１１０℃に調整し、吸引開始３０秒後の空間部２６の圧力を１００Ｐａ以下とし、厚み２ｍｍの上側弾性プレス板１７，下側弾性プレス板２１でワーク１００を１ＭＰａの圧力で２０秒間加圧し、第１の仮積層体１０１を作製した。
ついで、第１の平面プレス手段２において、上側フレキシブル金属板（板状体）３８，下側フレキシブル金属板（板状体）４３として、ステンレス板状体（ＳＵＳ６３０Ｈ，２ｍｍ）を用い、上側緩衝材３７，下側緩衝材４２として、厚み２．５ｍｍのフッ素ビニリデン系ゴムを用いた。そして、上側熱盤３６，下側熱盤４１を１２０℃に調整し、油圧シリンダ３３によって下側プレスブロック２８を上昇させ、上記下側フレキシブル金属板（板状体）４３が７．５ｍｍ／秒の速度で上記第１の仮積層体１０１に当接するように設定した。そして、上側フレキシブル金属板（板状体）３８，下側フレキシブル金属板（板状体）４３で第１の仮積層体１０１を０．８ＭＰａの圧力で３０秒間加熱プレスし、第２の仮積層体１０２を作製した。
そして、第２の平面プレス手段３において、熱盤４８，４９を１００℃に調整し、厚み２ｍｍの金属板（板状体）５０と厚み２ｍｍの金属板（板状体）５１間の距離が、第２の仮積層体１０２の厚みより２０μｍ少なくなるように設定した。そして、サーボモータ５３によって下側プレスブロック４７を上昇させ、上記金属板（板状体）５１が０．０１ｍｍ／秒の速度で上記第２の仮積層体１０２に当接するようにサーボモータ５３の作動を制御し、第２の仮積層体１０２を６０秒間プレスして、積層体１０３を作製した。

［実施例２］
図１に示す積層装置において、第２の平面プレス手段３に代えて、第２の平面プレス手段５７（図８を参照）を用いた積層装置を使用し、その第２の平面プレス手段５７において、上記金属板（板状体）５１が０．１ｍｍ／秒の速度で上記第２の仮積層体１０２に当接するようにサーボモータ５３の作動を制御した以外は、実施例１と同様にして積層体１０３を作製した。
上記第２の平面プレス手段５７は、第２の平面プレス手段３の金属板（板状体）５０と熱盤４８との間、および金属板（板状体）５１と熱盤４９との間に緩衝材５８,５９として厚み０．５ｍｍのフッ素ビニリデン系ゴムを用いたものである。

［実施例３］
第２の平面プレス装置３において、上記金属板（板状体）５１が０．１ｍｍ／秒の速度で上記第２の仮積層体１０２に当接するようにサーボモータ５３の作動を制御した以外は、実施例１と同様にして積層体１０３を作製した。

［比較例１］
第２の平面プレス手段３において、上記金属板（板状体）５１が１ｍｍ／秒の速度で上記第２の仮積層体１０２に当接するようにサーボモータ５３の作動を制御した以外は、実施例１と同様にして積層体１０３を作製した。

［比較例２］
第２の平面プレス手段３において、上記金属板（板状体）５１が０．００３ｍｍ／秒の速度で上記第２の仮積層体１０２に当接するようにサーボモータ５３の作動を制御した以外は、実施例１と同様にして積層体１０３を作製した。

［比較例３］
図１に示す積層装置において、第２の平面プレス手段３に代えて、第１の平面プレス手段２'（図３を参照）を用いた積層装置を使用した。この比較例３においては、上記第１の平面プレス手段２'が有する上側緩衝材３７，下側緩衝材４２として、厚み０．５ｍｍのフッ素ビニリデン系ゴムを用いている。すなわち、上記第１の平面プレス手段２'は、上記第１の平面プレス手段２より緩衝効果の小さい緩衝材を有している。
そして、上記第１の平面プレス手段２'において、上側熱盤３６，下側熱盤４１を１２０℃に調整し、油圧シリンダ３３によって下側プレスブロック２８を上昇させ、上記下側フレキシブル金属板（板状体）４３が７．５ｍｍ／秒の速度で第２の仮積層体１０２に当接するように設定した。そして、上側フレキシブル金属板（板状体）３８，下側フレキシブル金属板（板状体）４３で上記第２の仮積層体１０２を０．８ＭＰａの圧力で３０秒間加熱プレスした。それ以外は、実施例１と同様にして積層体１０３を作製した。

実施例１～３、比較例１～３で得られた積層体１０３について、各ピース１０７（図９で示す「Ｐｉｅｃｅ Ｎｏ．」ごと）に、その厚みをそれぞれ測定した。上記測定は、上記ピース１０７の中央（重心）で行った。そして、測定した結果からそれらの最大厚み、最小厚み、厚みの平均、厚みのレンジ（最大厚みから最小厚みを引いたもの）を算出し、下記の表１にそれぞれ示す。また、実施例１および比較例３については、測定した各ピース１０７の厚みの変化を図１１に示した。
なお、実施例１については、測定した部位ごとの厚みについても後記の表２にそれぞれ示した。この表２から、最小厚みを示すピース１０７は、Ｐｉｅｃｅ Ｎｏ．１７、６０、６１、６４であり、最大厚みを示すピース１０７は、Ｐｉｅｃｅ Ｎｏ．３５、３７であることがわかる。

つぎに、得られた積層体１０３について、フィルム１０６の端部からの樹脂の染み出し量を調べるため、図１２（ａ）に示すように、フィルム１０６の端部（距離基準点）から図中の白矢印で示す方向に染み出した樹脂の距離（ｍｍ）をそれぞれ測定し、下記の表１に併せて記載した。

また、実施例１および比較例３における各積層体１０３については、その端部（距離基準点）から図中の黒矢印で示す方向に所定距離離れた任意の箇所におけるフィルム１０６の樹脂の厚みをそれぞれ測定した。その結果を図１２（ｂ）に示す。
図１２（ｂ）の結果から、フィルム１０６の樹脂の染み出しがほとんど無かった実施例１では、フィルム１０６の樹脂厚みは端部近傍に至るまでほぼ均一であるのに対し、フィルム１０６の樹脂の染み出し量が多かった比較例３では端部に近づくにつれてフィルム１０６の樹脂厚みが減少し、フィルム１０６の樹脂厚みは最大で２２μｍも異なることがわかった。

これらの結果から、実施例１～３のものは、第２の平面プレス手段３における金属板（板状体）５１が通常より遅い速度（０．０１ｍｍ／秒）で第２の仮積層体１０２に当接しているため、基材の凹凸の程度（銅パターン１０５の銅密度）が箇所によって異なっていても、いずれの箇所においてもフィルム１０６の樹脂がスムーズに流動し、凸部上にある樹脂を凹部へ無理なく確実に移動させることができ、微細な凹凸もなくなり、その結果、表面がより高いレベルで平坦化された積層体１０３を得ることができた。とりわけ、実施例１および実施例３では、第２の平面プレス手段３として、金属板と熱盤との間に緩衝材を有していないものを採用したため、ワーク１００に銅密度の高低による厚み差があっても、全体を充分に平坦化することができていた。
また、第２の平面プレス手段３における金属板（板状体）５１と第２の仮積層体１０２との当接が通常より遅い速度で行われたため、上記第２の仮積層体１０２内の樹脂がその端部からはみ出るという不具合が生じることを防止できた。
これに対し、第２の平面プレス手段３（または第１の平面プレス手段２'）における金属板（板状体）５１（またはフレキシブル金属板４３）が第２の仮積層体１０２に当接する速度が本発明で規定する範囲から外れている比較例１～３は、厚みのばらつきがいずれも実施例１～３に劣っていた。すなわち、第２の平面プレス手段３の駆動手段として、サーボモータ５３を採用しても、その当接する速度が本発明で規定する範囲の上限を超えていると、フィルム１０６の樹脂の流動を充分に行うことができず（比較例１）、その当接する速度が本発明で規定する範囲の下限未満であれば、フィルム１０６の樹脂の流動にムラが生じるため（比較例２）、いずれも得られる積層体１０３を充分に平坦化することができなかった。特に、比較例２では、厚みのムラの程度が大きく、目視でも厚みのムラが生じたことが判明できるほどであった。
しかも、比較例１～３では、凹凸に沿わずに偏った厚みの樹脂が外側に染み出すため、染み出した樹脂の距離も長いことからもわかるとおり、得られた積層体１０３の端部と中央部とでは厚みが異なっていた。

積層体１０３の厚みのムラを解消するには、基材上の凹部を埋めるために、フィルム（樹脂）１０６の厚みが厚い方が有利である。例えば、凸部の厚みが１８μｍの基材上に厚み４０μｍのフィルム（樹脂）を積層するものに対し、厚み２２．５μｍのフィルム（樹脂）を積層するものは、その平坦化は困難である。なお、凸部の厚みに対するフィルム（樹脂）の厚みの比は、前者が２．２２であるのに対し、後者は１．２５である。
すなわち、ワーク１００を理想的（フィルムが基材の凹部に抵抗なくそのまま当接するように）に押圧すると仮定した場合、前者は基材の凸部の上に２２μｍ（４０μｍ－１８μｍ）の厚みのフィルム（樹脂）が載ることになる。これに対し、後者は基材の凸部の上に４．５μｍ（２２．５μｍ－１８μｍ）の厚みのフィルム（樹脂）が載ることになるため、これらは、基材の凹部に充填できる樹脂量が単純計算で４倍異なるため、その平坦化の困難性も異なるものとなる。本発明は、フィルム（樹脂）１０６の厚みが従来に比べて薄いもの（例えば３０μｍ以下）であっても、積層体１０３に対してレベルの高い平坦化を可能にするものである。

上記実施例においては、本発明における具体的な形態について示したが、上記実施例は単なる例示にすぎず、限定的に解釈されるものではない。当業者に明らかな様々な変形は、本発明の範囲内であることが企図されている。

本発明は、基材と樹脂フィルムとを精密に積層できる積層装置として利用することができる。

１ 真空積層手段
２ 第１の平面プレス手段
３ 第２の平面プレス手段
１０１ 第１の仮積層体
１０２ 第２の仮積層体
１０３ 積層体
１０４ 基材
１０６ フィルム

Claims (3)

1. 凹凸を有する基材の凹凸面にフィルムを積層する装置であって、減圧下で上記基材にフィルムを密着追従させて、上記基材の凹凸面に追従する凹凸面を有する第１の仮積層体を形成する真空積層手段と、上記第１の仮積層体を押圧して上記第１の仮積層体の凹凸面を略平坦化し、略平坦化された凹凸面を有する第２の仮積層体を形成する第１の平面プレス手段と、上記第２の仮積層体を第１の平面プレス手段と異なる条件で押圧して、上記第２の仮積層体の略平坦化された凹凸面をさらに平坦化し、積層体を形成する第２の平面プレス手段とを備え、
   上記第１の平面プレス手段が、対向する一対のプレスブロックを有し、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が熱盤と、板状体と、これらの間に配置される緩衝材とを有しており、
   上記第２の平面プレス手段が、対向する一対のプレスブロックと、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方に連結されたサーボモータとを有し、上記サーボモータの作動により上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能に設定され、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が熱盤と板状体とを有し、これらの間に、緩衝材を有していないか、上記第１の平面プレス手段の緩衝材より緩衝効果の小さい緩衝材を有し、上記一対のプレスブロックが互いに接近する速度が０．００５～０．５ｍｍ／秒となるように、上記サーボモータの作動が制御されていることを特徴とする積層装置。
2. 上記第１の平面プレス手段の一対のプレスブロックが互いに接近する速度をＶ１とし、 上記第２の平面プレス手段の一対のプレスブロックが互いに接近する速度をＶ２としたときに、Ｖ１およびＶ２が下記の式（１）を満たしている請求項１記載の積層装置。
   ０．０００８≦Ｖ２／Ｖ１≦０．０２ ・・・（１）
3. 上記第１の平面プレス手段の、上記一対のプレスブロックの少なくとも一方に油圧シリンダまたはエアーシリンダが連結され、上記油圧シリンダまたはエアーシリンダの作動により上記一対のプレスブロックの少なくとも一方が他方に対し進退可能になっている請求項１または２記載の積層装置。

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