JP2021181188A

JP2021181188A - 積層装置

Info

Publication number: JP2021181188A
Application number: JP2020087407A
Authority: JP
Inventors: 和敏岩田; Kazutoshi Iwata; 善明本間; Yoshiaki Homma; 健山口; Ken Yamaguchi; 太平松本; Tahei Matsumoto
Original assignee: Eternal Materials Co Ltd
Current assignee: Eternal Materials Co Ltd
Priority date: 2020-05-19
Filing date: 2020-05-19
Publication date: 2021-11-25
Anticipated expiration: 2040-05-19
Also published as: US20210362480A1; US11446913B2; TW202210310A; JP6929989B1; TWI787822B

Abstract

【課題】得られる積層体の厚みの均一性を向上させることにより、製品（積層体）の歩留まりの向上を図る積層装置を提供する。【解決手段】押圧手段が、進退可能の第１のプレスブロック１と、上記第１のプレスブロック１に対向して配置される第２のプレスブロック２と、上記第１のプレスブロック１の内側に取り付けられる第１の押圧ラバー３と、上記第２のプレスブロック２の内側に取り付けられる第２の押圧ラバー４とを備えており、上記第１の押圧ラバー３と第２の押圧ラバー４とが互いに対向しており、上記第１の押圧ラバー３の、上記第２の押圧ラバー４に対向する面にその周縁部を取り囲む凸枠１２が形成される積層装置とした。【選択図】図１

Description

本発明は、基材とフィルムとを積層する積層装置に関するものであり、詳細には、基材（例えば、プリント回路基板やウエハ）と樹脂フィルムを積層してなる積層体を製造するに際し、得られる積層体の厚みをより均一にすることができる積層装置に関するものである。

従来、配線等によって表面に凸部が設けられた基材と樹脂からなるフィルムを積層する装置においては、得られた積層体の厚みにばらつきがあると、これらを多層に重ねた際に品質不要の発生や無駄なスペースが生じて嵩高くなるため、得られる積層体の厚みを均一化する様々な工夫がなされている（例えば、特許文献１）。

このような工夫の一つとして、基材とフィルムを真空状態で積層する工程において、フィルム全面をむらなく押圧するため、上記押圧ラバーを上記フィルムの全面に押し当てることが行われている。

しかし、上記工程では、例えば、図１２（ａ）に示すように、表面に凸部５２が設けられた基材５１の上にフィルム５３（これらが未押圧の状態で重ねられたものを「ワーク５０」とすることがある）を積層するため、押圧ラバーを上記フィルム５３の全面に均一に押し当てると、図１２（ｂ）に示すように、押圧後に得られる積層体５４は、そのフィルム５３の端部が矢印で示すように外側に広がり、中央と端部とで厚みが異なってしまうことがある。得られる積層体５４の厚みのばらつきが許容範囲を超えると製品として用いることができなくなり、製品（積層体５４）の歩留まりの低下を招く。このため、その対策が強く求められている。

国際公開第２０１６／０６６５２０号

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、得られる積層体の厚みの均一性を向上させることにより、製品（積層体）の歩留まりの向上を図る積層装置の提供をその目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明は、以下の[１]〜[５]を要旨とする。
［１］基材およびフィルムを押圧する押圧手段を備えた積層装置であって、上記押圧手段が、進退可能の第１のプレスブロックと、上記第１のプレスブロックに対向して配置される第２のプレスブロックと、上記第１のプレスブロックの内側に取り付けられる第１の押圧ラバーと、上記第２のプレスブロックの内側に取り付けられる第２の押圧ラバーとを備えており、上記第１の押圧ラバーと第２の押圧ラバーとが互いに対向しており、上記第１の押圧ラバーの、上記第２の押圧ラバーに対向する面にその周縁部を取り囲む凸枠が形成されている積層装置。
［２］上記第２の押圧ラバーの、上記第１の押圧ラバーに対向する面の周縁部に凸枠が形成されている［１］記載の積層装置。
［３］上記第１の押圧ラバーの凸枠と上記第２の押圧ラバーの凸枠が、上記基材を介して当接するようになっている［２］記載の積層装置。
［４］上記押圧手段が、上記第１のプレスブロックを加熱可能な第１の熱源を備えている［１］〜［３］のいずれかの積層装置。
［５］上記押圧手段が、上記第２のプレスブロックを加熱可能な第２の熱源を備えている［１］〜［４］のいずれかの積層装置。

すなわち、本発明の発明者らは、前記課題を解決するために研究を重ねた。その結果、樹脂等からなるフィルムの厚みを均一にするために、真空状態で積層するに際し、対向して配置される２枚の押圧ラバーの少なくとも一方の周縁部にこれを取り囲むように凸枠（枠状の凸部）を形成することが有用であることを見い出し、本発明に到達した。

本発明の積層装置によれば、押圧時のフィルムのはみ出しを、上記押圧ラバーに設けた凸枠によって効果的に防止することができるため、積層体の厚みの均一性を向上させることができる。その結果、製品（積層体）の歩留まりの向上を図ることができる。

本発明の一実施の形態に係る積層装置の概略を示す構成図である。上記積層装置の積層対象であるワークの平面図である。図２のＸ−Ｘ断面図である。（ａ）は上記積層装置の押圧ラバーの平面図であり、（ｂ）はそのＹ−Ｙ断面図である。上記積層装置の押圧ラバーの凸枠とワークとの関係を説明する説明図である。上記積層装置による、ワークを押圧する動作を説明する説明図である。上記積層装置によって得られる積層体の構成を説明する説明図である。本発明の他の実施の形態に係る積層装置の概略を示す構成図である。本発明のさらに他の実施の形態に係る積層装置の概略を示す構成図である。本発明の実施例および比較例で使用するワークの構成を説明する説明図である。（ａ）は本発明の実施例および比較例で得られる積層体の厚みを測定する箇所を示す平面図であり、（ｂ）はその側面図である。（ａ）は従来装置の積層対象であるワークの平面図であり、（ｂ）は従来装置で積層した積層体の状態を説明する説明図である。

つぎに、本発明を実施するための形態について詳しく説明する。ただし、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではない。

図１は、本発明の１つの実施の形態に係る積層装置Ｉを示している。この積層装置Ｉは、ビルドアップ基板用の基材と、上記基材の上に配置された各種素子や配線等を封止する樹脂組成物からなるフィルム等を真空状態で積層するための装置であり、進退可能の下側のプレスブロック１と、このプレスブロック１に対向して配置される上側のプレスブロック２と、上記下側のプレスブロック１の内側に取り付けられる下側の押圧ラバー３と、上記上側のプレスブロック２の内側に取り付けられる上側の押圧ラバー４とを備えている。そして、上記押圧ラバー３と押圧ラバー４とが互いに対向しており、これらの押圧ラバー３および押圧ラバー４の間に、上記基材およびフィルム等（図２のワーク５０参照）を配置し、上側の熱源５および下側の熱源６による加熱下で上記押圧ラバー３および押圧ラバー４でワーク５０を押圧して、基材とフィルムとが一体化した積層体を得るものである。なお、符号７は、上側の押圧ラバー４と熱源５との間に配置される緩衝材であり、符号８は、下側の押圧ラバー３と熱源６との間に配置される緩衝材である。

上記積層装置Ｉは、プレス台９に立設された複数本の支柱１０と、これら各支柱１０にボルト，ナット等の固定手段で固定された上側のプレスブロック２と、上記各支柱１０に昇降自在（進退可能）に取り付けられた下側のプレスブロック１とを備えている。これらのプレスブロック１，２および熱源５，６の周囲には、上記プレスブロック１，２と一体になって相対移動する可動真空枠（図示せず）が配置されており、この下側のプレスブロック１は油圧シリンダ１１に連結されており、この油圧シリンダ１１の作動により（油圧シリンダ１１の上昇および下降に伴って）下側のプレスブロック１が所定位置まで上昇すると、上記可動真空枠内が密封空間に形成され、この密封空間内を減圧することが可能になっている。したがって、上記押圧ラバー３，４は、真空状態でワーク５０を押圧できるようになっている。

まず、上記積層装置Ｉが対象とするワーク５０について説明する。図２に平面図を示し、図３に図２のＸ−Ｘ断面図を示すように、ワーク５０は、基材５１と、この上に配置される凸部５２と、封止用の樹脂組成物からなるフィルム５３とで形成されており、基材５１および凸部５２の上に、フィルム５３が未押圧の状態で重ねられたものである。

上記基材５１としては、特に限定されるものではないが、樹脂またはセラミック等の絶縁性の基板を用いることができる。すなわち、凸部５２として比較的大きな発光素子（ＬＥＤ）等の各種素子を配置できる基材や、凸部５２として比較的小さな銅等のパターンを施すことが可能な基材等を用いることが可能である。

上記基材５１の上に形成される凸部５２は、特に限定されるものではないが、例えば、発光素子（ＬＥＤ）のように、ある程度厚み（高さ）があるものにおいて、本発明の効果をより発揮できる。このような凸部５２の厚み（高さ）としては、０．１ｍｍ以上であり、上限は通常１．０ｍｍである。もちろん、銅等のパターン等の比較的厚み（高さ）が薄い（低い）ものであってもよい。

上記フィルム５３は、通常、封止用樹脂組成物からなるものであり、その材料は特に限定されるものではないが、耐湿性、耐熱衝撃性に優れる熱硬化性樹脂組成物からなるものを用いることができ、例えば、熱硬化性樹脂に、安定剤、硬化剤、色素、滑剤等を配合したものを用いることができる。上記熱硬化性樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等からなるものがあげられる。また、粘着性や絶縁性、接着性、ホットメルト性に優れる性質を有する樹脂組成物からなるものが好ましく用いられ、例えば、エポキシ樹脂等があげられる。

また、上記フィルム５３の厚みは、通常０．０１〜０．３ｍｍであるが、従来、フィルムの厚みが厚いほどプレス時にその厚みの均一性を保つことが容易でなかったところ、本発明によれば厚みの均一性に優れるため、比較的厚いものにおいて、本発明の効果をより発揮でき好適である。すなわち、上記フィルム５３の厚みが０．１ｍｍ以上であることが好ましく、より好ましくは０．１〜０．２０ｍｍである。もちろん、上記範囲以下の厚みのものであってもよい。なお、上記フィルム５３は、通常、上記基材５１より小さいサイズに形成されている。

つぎに、積層装置Ｉについて説明する（図１参照）。ここで、下側のプレスブロック１および上側のプレスブロック２は、基本的な構成が共通するため、以下、下側のプレスブロック１について説明する。

上記下側のプレスブロック１に配置される押圧ラバー３は、押圧時にワーク５０に当接するものである。そして、上記押圧ラバー３は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、押圧面の周縁部を取り囲むように枠状の凸部（凸枠１２）が押圧面（押圧ラバー４に対向する面）に形成されている。この点が本発明の最大の特徴である。

上記押圧ラバー３は、耐熱性および弾力強度を考慮して、通常、シリコーンゴム、フッ素ゴム、アクリルゴム等からなるものが用いられ、より好ましくはシリコーンゴムが用いられる。また、通常、上記押圧ラバー３は周縁部にこれを取り囲むように凸枠１２が一体的に形成されることから、ＪＩＳＫ６２５３準拠のタイプＡデュロメータで３０〜９０の硬さであることが好ましく、より好ましくは４０〜６０である。すなわち、硬すぎると、押圧時に押圧ラバー３の上記凸枠１２が変形せず、押圧ラバー３の内面がワーク５０表面まで届かず、しっかりと押圧できない傾向がみられ、柔らかすぎると、フィルム５３の染み出す圧力に負けてしまい、染み出しを防止できない傾向がみられる。

上記凸枠１２の高さＨは、得られる積層体の厚みｈ（図３参照）より０．１ｍｍ以上高いことが好ましく、上記厚みｈ＋０．１〜０．４ｍｍの範囲にあることがより好ましい。上記範囲より低いと枠部分が充分な圧力で押圧することができず、フィルム５３の染み出す圧力に負けてしまい、染み出しを防止できない傾向がみられ、逆に高いと押圧ラバー３の内面がワーク５０表面まで届かず、しっかりと押圧できない傾向がみられる。また、上記凸枠１２の幅Ｗは、強度と耐久性のバランスの点から１０ｍｍ以上であることが好ましく、２０ｍｍ以上あることが好ましい。上記幅Ｗの上限は、通常、３０ｍｍである。

そして、上記凸枠１２は、ワーク５０の形状に合わせて形成することが好ましく、より好ましくは図５に示すように、ワーク５０のフィルム５３より長さＮだけ外側に形成することが好ましい。上記長さＮは、フィルム５３の厚みおよび凸部５２の高さによるものの、通常、３ｍｍ以下であることが好ましく、２ｍｍ以下であることがより好ましい。上記範囲内であると、押圧時におけるフィルム５３の染み出しをより抑制することができ、製品として良質な積層体を得ることができる。また、上記フィルム５３の染み出しを効果的に防止するため、上記凸枠１２は、図５において鎖線Ｍで示すように、その上面にワーク５０の基材５１の端部が位置するように形成することが好ましい。なお、図５においては、熱源６の図示を省略している。

上記プレスブロック１の内側に取り付けられる押圧ラバー３は、すでに述べたように、緩衝材８を介して熱源６によって加熱されるようになっており（図１参照）、ワーク５０への押圧は、通常、加熱状態で行われる。そして、上記積層装置Ｉは、上記熱源６に備えられた加熱制御を行うよう設定された制御システム（図示せず）を有している。上記熱源６としては、例えば、カートリッジヒーター、シートヒーター等を用いることができる。

上記押圧ラバー３と上記熱源６との間に配置される緩衝材８は、押圧時にかかる圧力を分散等するものであり、通常、ゴム、プラスチック、布、紙等からなるものが用いられる。なかでも、押圧して得られる積層体の厚みをより均一にできる点から、ゴムからなるものが好ましく用いられ、とりわけシリコーン系ゴムが好ましく用いられる。なお、上記緩衝材８は、耐熱性樹脂、ガラス繊維シート、金属箔シート等を内部に含むものであってもよい。これらを内部に含んでいると耐久性が高まるため好ましい。

上記緩衝材８の厚みは、通常、０．１〜２０ｍｍであり、０．２〜１０ｍｍであることが好ましく、より好ましくは０．２〜４ｍｍである。緩衝材８の厚みが上記の範囲内であると、弾性強度に優れるだけでなく、端部の変形を防止できるため好ましい。また、上記緩衝材８の表面のショアＡ硬度が６０以上であることが好ましく、とりわけ６５〜８０であることが好ましい。上記ショアＡ硬度とは、ＪＩＳＫ６２５３準拠のタイプＡデュロメータに準拠して測定されるものである。

すでに述べたとおり、上記プレスブロック１の反対側（対向する側）の上側のプレスブロック２も同様の構成を有している。そして、図６に示すように、上記プレスブロック１の上昇に伴って、これらのプレスブロック１，２の内側に取り付けられる押圧ラバー３，４の間で上記ワーク５０を加熱および加圧状態で押圧することにより、目的とする積層体５５（図７参照）を得ることができる。なお、図６においては、熱源５，６の図示を省略している。

すなわち、上記構成によると、封止用樹脂組成物としてフィルム５３を用いているため、液状の封止用樹脂組成物を用いるものに比べて、押圧工程での汚染を防止することができ、しかもハンドリングがし易いことから、封止樹脂層（フィルム５３）の厚みの制御が容易となるとともに、押圧にかかる時間を短縮することができる。そして、押圧により外側に押し出されるフィルム５３の端部を押圧ラバー３の凸枠１２で押し留めることができるため、複雑な構成を必要とすることなく得られる積層体５５の中央部と端部の厚みの均一化を図ることができる。したがって、本発明の積層装置は、得られる積層体５５の厚みのばらつきを抑え、製品（積層体５５）の歩留まりおよび製造効率の向上を図ることができる。

なお、上記押圧手段における押圧条件は、例えば以下のとおり設定することができる。上記押圧ラバー３，４によるワーク５０の押圧は、対象となるワーク５０（基材５１およびフィルム５３）の種類にもよるが、例えば、真空度２ｈＰａ以下の真空下で、通常、４〜２０ｋｇｆ／ｃｍ²の力で油圧プレス（油圧シリンダ１１の上昇動作）が行われ、好ましくは１０〜１７ｋｇｆ／ｃｍ²であり、より好ましくは１５ｋｇｆ／ｃｍ²である。このときの熱源５，６の温度は、フィルム５３等の種類にもよるが、通常、６０〜１８０℃であり、好ましくは９０〜１３０℃である。

また、上記押圧工程においてワーク５０を押圧する時間は、対象となるワーク５０（基材５１およびフィルム５３）の種類にもよるが、通常、０．１秒〜６０分間であり、好ましくは０．５秒〜１０分間であり、より好ましくは１秒〜１分間である。上記押圧時間が上記時間内であると、得られる積層体５５の厚みの均一性と製造効率とのバランスに優れるようになる。

なお、この実施の形態では、押圧ラバー３，４の両方に、凸枠１２，１３を形成したが、例えば、ワーク５０が基材５１の片方の面だけに凸部５２が形成されたものであり、この凸部５２が形成された面のみにフィルム５３を積層する場合には、その面に対応する側（積層する側）の押圧ラバーのみに凸枠（凸枠１２または１３）を形成すればよい。

また、上記凸枠１２は、押圧ラバー３に一体的に形成されているが、耐熱性、弾力強度等を有する別部材で形成してもよい。ただし、コストおよび耐久性の点で、これらを一体的に作製することが好ましい。

さらに、この実施の形態では、下側の押圧ラバー３および上側の押圧ラバー４の両方に、それぞれ熱源５，６が設けられているが、基材のいずれか一方の面にのみフィルムを積層する場合であれば、下側の押圧ラバー３および上側の押圧ラバー４のいずれか一方にのみ熱源を設け、下側の押圧ラバー３および上側の押圧ラバー４のいずれか一方のみを加熱するようにしてもよい。また、フィルムの種類によっては熱源５，６を設けなくてもよい。しかし、加熱の効率および熱源の温度制御の点から、上下両方の押圧ラバーに熱源を設けることが好ましい。

そして、この実施の形態では、下側の押圧ラバー３および上側の押圧ラバー４の形状を、平面視が矩形になるようにしているが、押圧ラバー３，４の形状はこれに限られるものではなく、ワーク５０の形状に応じて、平面視で円形、楕円形、多角形等の形状に設計することができる。上記押圧ラバー３，４の凸枠１２，１３の形状も同様に、ワーク５０のフィルム５３の形状に応じて設計することができる。

また、下側のプレスブロック１に配置される上記押圧ラバー３と、上側のプレスブロック２に配置される押圧ラバー４の材料、厚み、研磨の度合いは、同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

そして、下側のプレスブロック１に配置される緩衝材８と、上側のプレスブロック２に配置される緩衝材７は、同じ材料からなっていてもよいし、互いに異なる材料からなっていてもよい。したがって、上記緩衝材７，８の厚み、表面のショアＡ硬度も、同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。さらに、上記押圧ラバー３および押圧ラバー４で押圧時の圧力を充分に分散できる等の場合には、これらを設けなくてもよい。

さらに、この実施の形態では、プレスブロック１の上下移動（進退）を油圧プレス（油圧シリンダ１１）の作動により行っているが、プレスブロック１の上下移動（進退）は、油圧プレス（油圧シリンダ１１）により行うものに限られない。例えば、油圧シリンダ１１に代えて、サーボモータやエアシリンダ等を用いても行うことができる。また、サーボプレス（サーボモータ）による押圧は、プレスブロック１の位置制御を行うことで油圧プレスと同様に制御することができる。ただし、製造コストの低減と、積層装置の小型化を図る点からは油圧プレス（油圧シリンダ１１）を用いることが好ましい。

また、この実施の形態では、下側のプレスブロック１を上下移動（進退）させているが、サーボモータ等の位置を変更し、上側のプレスブロック２を上下移動（進退）させるようにしてもよいし、プレスブロック１，２の両方を上下移動（進退）させるようにしてもよい。しかし、積層体５５の厚みをより厳密に制御できる点において、いずれか一方のプレスブロックのみが上下移動（進退）することが好ましい。

［他の実施の形態］
上記実施の形態では、押圧手段のみが設けられた積層装置Ｉを示しているが、本発明の積層装置は、例えば、図８に示すように、ワーク５０を押圧手段までフィルム搬送するフィルム搬送手段を設けた積層装置IIとしてもよい。なお、図８においては、押圧手段の押圧ラバー３，４に設ける凸枠１２，１３の記載を省略している。

上記フィルム搬送手段は、例えば、積層工程の始点に位置する上下の搬送用フィルム繰り出し機２０と、ワーク５０を搬入するための搬入用コンベア部２１と、積層工程の終点に位置する搬送用フィルム巻取り機２２と、ワーク５０および積層体５５を搬送する搬送用フィルム２３等を備えている。

上記搬入用コンベア部２１から供給されるワーク５０は、フィルム繰り出し機２０から繰り出された上下の搬送用フィルム２３の間に挟み込まれ、保持される。そして、ワーク５０は、搬送用フィルム２３の走行と同期した状態で、押圧手段により搬送用フィルム２３ごと押圧されて積層体５５となり、搬送用フィルム２３による保持が解除されて取り出される。なお、図８の符号２４は上記積層体５５を冷却するための冷却ファンである。

このように、本発明の他の実施の形態である積層装置IIでは、所定の間隔で連続的に押圧手段にワーク５０を供給することができるため、効率よく積層体５５を製造することができる。

［さらに他の実施の形態］
また、本発明の積層装置は、例えば、図９に示すように、押圧手段の下流（後の工程）に、さらに平面プレス手段を設けた積層装置IIIとしてもよい。なお、図９においては、押圧手段の押圧ラバー３，４に設ける凸枠１２，１３の記載を省略している。

上記平面プレス手段は、例えば、プレス台２５に立設された複数の支柱２６と、これらの支柱２６に固定された上側のプレスブロック２７と、上記支柱２６に上下移動可能（進退可能）に取り付けられた下側のプレスブロック２８とを備えている。この下側のプレスブロック２８は、ボールねじ２９を介してサーボモータ３０に連結されており、このサーボモータ３０の作動により（ボールねじ２９におけるシャフト回転に伴うナットの上昇および下降に伴って）上下移動（進退）が可能になっている。

上記上下プレスブロック２７，２８の内側（プレス側）には、ヒーター３１，３２が取り付けられており、そのさらに内側（プレス側）に、緩衝材３３，３４を介してフレキシブル金属板３５，３６が配設されている。

上記フレキシブル金属板３５，３６は、通常、耐熱性およびフレキシブル性に優れた金属からなるものが用いられる。このような金属としては、例えば、ステンレス、鉄、アルミニウム、これらの合金等があげられ、耐錆性に優れる点からステンレスが好ましく用いられる。また、その厚みは、通常、０．１〜１０ｍｍであり、好ましくは１〜７ｍｍである。上記フレキシブル金属板の厚みが好ましい範囲にあると、得られる積層体の厚みをより均一にできる。さらに、上記フレキシブル金属板３５，３６の表面が鏡面に研磨されていると、得られる積層体の厚みをより均一にできるため好ましい。

上記緩衝材３３，３４は、押圧時にかかる圧力を分散等するものであり、通常、ゴム、プラスチック、布、紙等からなるものが用いられる。押圧して得られる積層体の厚みをより均一にできる点から、ゴムからなるものが好ましく用いられ、とりわけシリコーン系ゴムが好ましく用いられる。なお、上記緩衝材３３，３４は、耐熱性樹脂、ガラス繊維シート、金属箔シート等を内部に含むものであってもよい。これらを内部に含んでいると耐久性が高まるため好ましい。

上記緩衝材３３，３４の厚みは、通常、０．１〜２０ｍｍであり、０．２〜１０ｍｍであることが好ましく、より好ましくは０．２〜４ｍｍである。緩衝材３３，３４の厚みが上記の範囲内であると、弾性強度に優れるだけでなく、端部の変形を防止できるため好ましい。また、上記緩衝材３３，３４の表面のショアＡ硬度が６０以上であることが好ましく、とりわけ６５〜８０であることが好ましい。上記ショアＡ硬度とは、ＪＩＳＫ６２５３準拠のタイプＡデュロメータに準拠して測定されるものである。

このように、本発明のさらに他の実施の形態である積層装置IIIでは、押圧手段による押圧の後に、平面プレス手段によりさらにその表面を押圧するため、得られる積層体５５の表面をより平滑にし、その厚みをより均一にすることができる。

本発明の積層装置を用いた実施例を比較例と併せて説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。

［実施例１］
図９に示す積層装置IIIによって、図１０に示すワークα（下記に詳細を示す基材５１と凸部５２とフィルム５３）の積層を行い、図１１（ａ），（ｂ）に示す積層体βを作製した。
すなわち、まず、押圧手段における熱源５，６の温度を１３０℃に設定し、押圧ラバー３，４により１５ｋｇｆ／ｃｍ²の力で６０秒間押圧し、積層体β’を得た。
ついで、上記積層体β’を平面プレス手段により、ヒーター３１，３２の温度を９０℃に設定し、フレキシブル金属板３５，３６間の距離を２．３０ｍｍに設定して６０秒間プレスを行い、表面をより平滑にした積層体βを得た。
＜押圧手段＞
上記押圧ラバー３，４はシリコーン系ゴムからなり、その硬度はＪＩＳＫ６２５３準拠のタイプＡデュロメータで６０の硬さである。また、凸枠１２，１３は押圧ラバー３，４成形時に一体的に形成されたものであり、その硬度は押圧ラバー３，４と同様に６０の硬さである。上記凸枠１２，１３は押圧時にワークαにおいてフィルム５３より１ｍｍ外側に当接する配置で設けられている。また、上記凸枠１２，１３の高さＨは１．５ｍｍ、幅Ｗは２０ｍｍに形成されている。
＜平面プレス手段＞
フレキシブル金属板３５,３６は（ステンレス）からなり、その厚みは２ｍｍである。また、緩衝材は使用していない。
＜基材５１＞
縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み１．１ｍｍのガラス板。
＜凸部５２＞
縦７ｍｍ、横７ｍｍ、高さ０．７８ｍｍのシリコンチップであり、上記基材５１上に、１０ｍｍピッチ（隣同士が３ｍｍ明けた状態）で、縦２４列、横２４列（合計５７６個）に整列している。
＜フィルム５３＞
縦２４３ｍｍ、横２４３ｍｍ、厚み０．６ｍｍのエポキシ樹脂系のフィルム（モールド樹脂材）。

［比較例１］
押圧ラバー３，４として、凸枠１２，１３が形成されていないもの（従来装置）を用いた以外は、実施例１と同様の装置を用い、同条件にて基材５１、凸部５２、フィルム５３を押圧し、目的とする積層体を得た。

上記実施例１および比較例１で得られた積層体について、図１１の平面図に丸印Ｐで示す部分（５行×５列の計２５箇所）の厚みを、マイクロメータを用いて測定した。すなわち、凸部５２が基材５１において外側に配置されたものである場合は凸部５２の外側の部分の厚みｈを測定し、凸部５２が基材５１の中央近傍に配置されている場合は凸部５２の真上部分の厚みｈを測定した。測定した結果を下記の表１，２に示す。なお、表１，２において、上記丸印Ｐで示すそれぞれの箇所を、左から右に向かってＡ〜Ｅで示す行と、上から下に向かって１〜５で示す列とを用いて特定している。また、そのばらつきは、各々の行または列における最大値と最小値との差で示している。

実施例１の厚みの平均は２．３９０ｍｍであり、ばらつきの平均は０．００９ｍｍであった。

比較例１の厚みの平均は２．３４２ｍｍであり、ばらつきの平均は０．０２１ｍｍであった。

上記表１，２に示すように、実施例１の積層体βでは、厚みのばらつきの平均が０．００９ｍｍと極めて少なくなっているのに対し、比較例１の積層体では、厚みのばらつきの平均が０．０２１ｍｍであり、実施例１の２倍以上のばらつきがみられた。したがって、本発明の積層装置は、得られる積層体の厚みをその縁部の間際までより均一にすることができ、製品の歩留まりを高められることがわかった。

本発明の積層装置は、得られる積層体の厚みの均一性を向上させることができ、その結果、製品（積層体）の歩留まりの向上を図ることができるため、ビルドアップ基板、ＬＥＤ等の発光素子を実装した基板等の、仕上りの厚みの制御が求められる製品（積層体）の製造に適する。

１プレスブロック
２プレスブロック
３押圧ラバー
４押圧ラバー
１２凸枠

国際公開第２０１６／１９９６８７号

Claims

基材およびフィルムを押圧する押圧手段を備えた積層装置であって、
上記押圧手段が、進退可能の第１のプレスブロックと、上記第１のプレスブロックに対向して配置される第２のプレスブロックと、上記第１のプレスブロックの内側に取り付けられる第１の押圧ラバーと、上記第２のプレスブロックの内側に取り付けられる第２の押圧ラバーとを備えており、
上記第１の押圧ラバーと第２の押圧ラバーとが互いに対向しており、
上記第１の押圧ラバーの、上記第２の押圧ラバーに対向する面にその周縁部を取り囲む凸枠が形成されていることを特徴とする積層装置。
上記第２の押圧ラバーの、上記第１の押圧ラバーに対向する面の周縁部に凸枠が形成されている請求項１記載の積層装置。
上記第１の押圧ラバーの凸枠と上記第２の押圧ラバーの凸枠が、上記基材を介して当接するようになっている請求項２記載の積層装置。
上記押圧手段が、上記第１のプレスブロックを加熱可能な第１の熱源を備えている請求項１〜３のいずれか一項に記載の積層装置。
上記押圧手段が、上記第２のプレスブロックを加熱可能な第２の熱源を備えている請求項１〜４のいずれか一項に記載の積層装置。