JP2007245438A - フィルム貼付方法とその装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】柔軟性を有するフィルムを使用してもフィルム切断時のフィルムの伸縮に起因する皺の発生がなく、基板と貼り付けたフィルムの間に気泡を生じることがないようにしたい。
【解決手段】フィルム供給ロール15から繰り出される積層フィルム3を仮付部10で基板2へ仮り付けした後に、基板2の先端部を先頭として基板2と積層フィルム3を加圧して貼り付ける本貼付部50側に移動させるときに、基板2の主面から離れたところに位置するガイドローラ13により積層フィルム3が基板2に接触しないようにして積層フィルム3を基板2側に供給し、積層フィルム3が基板2に貼り付ける所望の長さになったところで積層フィルム3を切断し、本貼付部50において切断された所望の長さの積層フィルム3の貼り付けを行う。
【選択図】図2
Description
50において基板2Aにおける積層フィルム3を基板1と全面的に貼り合せて基板2Bを得る。基板2Bはさらに下流側の露光装置などに送られ、必要な処理が施される。
18に巻き取られる。それにより、積層フィルム3は、剥離部材17の下流において感光性樹脂層と透光性支持フィルムの2層積層構成となっている。
(2A)の先端を把持する。そのために、アーム33は基板クランパ34が互いに接近して基板2(2A)の先端を把持するためのエアシリンダを内蔵している。また、アーム
33は、アーム33自身を上下に移動させるためのエアシリンダも内蔵している。基板2
(2A)の先端を把持するエアシリンダで把持した基板2(2A)を、アーム33を動かすエアシリンダで上方に移動させるので、基板2Aは先端部が搬送路面から上方に浮いた状態となる。
2Aに仮付けした積層フィルム3を貼り付け、基板2Bとして下流に搬送する。本貼付中には各プレス板55,58の内蔵ヒータを暖め、感光性樹脂層の粘着性を向上させることと加圧により、確実な貼り付けをするようになっている。
2Aを下流に向けて搬送し、フィルム送出ローラ16はフィルム供給ロール15から基板クランプ機構30による基板2Aの搬送速度より若干早い速度で積層フィルム3を引き出して、基板2A側に供給する。
(搬送)に伴う積層フィルム3の移動にあわせて軽快に回転し、積層フィルム3の円滑な供給を遂行している。
11で構成される搬送路面から浮かせた状態のまま下流側に基板2Aを搬送しているので、下側の積層フィルム3はその搬送中に搬送ローラ11や大口径ガイドローラ13上を移動して行くだけで、基板2Aの下主面から僅かに離れた状態にあり、加圧され貼り付くことはない。
2Bを上下両チャンバ52,57外に引き出す。このとき、フィルムガイド73も下流側に移動するので、図1と図4を比べると分かる様に両フィルム61,62の下流側はフィルムガイド73により下流側に突出する。
Claims (8)
- 仮付部において支持フィルムと粘着性フィルムが積層された積層フィルムにおける先端部を該粘着性フィルムが該基板側となるようにして該基板における少なくとも一方の主面の先端部に仮付けし、本貼付部において該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付けるフィルム貼付方法において、
該仮付部においてフィルム供給ロールから繰り出される該積層フィルムの該基板への仮付け後に、該基板の該先端部を先頭として該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付ける該本貼付部側に移動させるときに該基板の該主面から離れたところに位置するガイドローラにより該積層フィルムが該基板に接触しないようにして該積層フィルムを該基板側に供給し、該積層フィルムが該基板に貼り付ける所望の長さになったところで該積層フィルムを切断し、該本貼付部において切断された所望の長さの積層フィルムの貼り付けを行うことを特徴とするフィルム貼付方法。 - 請求項1のフィルム貼付方法において、該基板を該本貼付部側に移動させるときの該積層フィルムの該基板側への供給の速度を該基板の該本貼付部側に移動の速度より早くして該積層フィルムに殆ど張力が掛からないようにしていることを特徴とするフィルム貼付方法。
- 請求項1のフィルム貼付方法において、該基板の下側主面に該積層フィルムを貼り付ける場合には、該基板を該本貼付部側に移動させるときに該基板の先頭部を搬送路面より浮かせた状態で把持していることを特徴とするフィルム貼付方法。
- 請求項1のフィルム貼付方法において、本貼付部において該基板と該積層フィルムを減圧下において加圧加熱して貼り付けることを特徴とするフィルム貼付方法。
- 請求項3のフィルム貼付方法において、該積層フィルムの先端部を仮付けし該先頭部が搬送路面より浮かされた該基板は、該基板の全長分が該仮付部から本貼付部側に移動された後に該先頭部が該搬送路面上に戻されることを特徴とするフィルム貼付方法。
- 仮付部において支持フィルムと粘着性フィルムが積層された積層フィルムにおける先端部を該粘着性フィルムが該基板側となるようにして該基板における少なくとも一方の主面の先端部に仮付けし、本貼付部において該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付けるフィルム貼付装置において、
該仮付部と該本貼付部の間にフィルム供給ロールから繰り出され先端部を該基板の先端部に仮付けした該積層フィルムを該基板とともにそれらの該先端部を先頭として該本貼付部側に搬送する基板クランプ機構と該基板が該本貼付部側に移動するときに該基板の搬送路面上における該基板の該主面から離れたところに位置して該積層フィルムが該基板に接触しないようにして該積層フィルムを該基板側に供給するガイドローラを備え、さらに該仮付部は該積層フィルムが該基板に貼り付ける所望の長さになったところで該積層フィルムを切断するカッタを備え、該本貼付部において切断された所望の長さの積層フィルムの貼り付けを行うことを特徴とするフィルム貼付装置。 - 請求項6のフィルム貼付装置において、該基板クランプ機構は該基板を該本貼付部側に移動させるときに該基板の先頭部を該搬送路面から浮かせた状態で移動させるようになされていることを特徴とするフィルム貼付装置。
- 請求項6のフィルム貼付装置において、該本貼付部は該基板と該積層フィルムを減圧下において加圧加熱して貼り付けるものであることを特徴とするフィルム貼付装置。
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