CN1498062A - 压力装置及方法 - Google Patents

Abstract

一种压力装置及方法，该压力装置，具有由上侧及下侧壳体部件(2、3)构成的真空腔1。在真空腔(1)内配置具有加热板(14、17)的上侧及下侧加压块(12、13)。表面支撑有薄膜状材料的基板(10)被在上侧及下侧加压块之间进行加压。在上侧及下侧加压块(12、13)中至少一方设有加压体(20)。加压体(20)通过向其内部空间内导入加压流体而其上下面可以沿上下方向移动。基板(10)的加压通过加压体(20)的上下面的移动进行。由设成刚性结构状态的、上侧及下侧加压块(12、13)的驱动机构(1)支撑加压力的反力。其使薄膜状材料不会残留气泡地嵌入并密着在基板表面的较深的凹部或孔内，且使薄膜材料平坦化。

Description

压力装置及方法

技术领域

本发明涉及一种通过加热及加压，用于使薄膜状材料层叠、嵌入在基板上，或者使基板上的薄膜状材料平坦化的压力装置、尤其真空压力装置及压力方法。

背景技术

在印刷电路用基板上，由于形成导电性图形等原因而在其表面产生凹凸或孔。当在这样的基板的表面上贴附薄膜状的绝缘材料及感光材料之类的薄膜状材料时，若使用通常的层压机(laminater)，则容易在基板表面的凹部或孔中残留气泡，产生许多不良品。

因此，使用在真空中于基板表面贴附薄膜状材料的真空压力装置。

在使用真空压力装置之前，通过轻微按压使薄膜状材料保持在基板表面上。这种操作通常使用层压机进行。

以前，一般广泛使用的真空压力装置，具有由相互可以密封配合的上下壳体部件构成的真空腔(真空chamber)。表面上保持有薄膜状材料的基板以保持在上下两片薄膜带(film belt)之间的状态、插入上下一对加压块之间。一方的加压块的加压面由弹性体制成，被固定在一方的壳体部件的内侧，并具有加热器。另一方的加压块的加压面上具有弹性体的薄膜，固定在另一方的壳体部件的内侧，并同样具有加热器。

在基板插入后，上下壳体部件相互密封配合、构成真空腔。一边排出真空腔内部的气体，一边以将基板保持在薄膜带之间的状态、通过设置在上下加压块上的加热器对其进行加热。由加热器的热量软化基板上的薄膜状材料。

在基板被加热到规定的温度后，通过气体按压所述弹性体薄膜、以将该薄膜按在基板上。

表面上保持有薄膜状材料的基板，被夹入弹性体薄膜和加压面由弹性体制成的加压块之间、并被加压，软化的薄膜状材料大致紧密地贴附在基板上的凹凸面上。

所述的真空压力装置的最主要的功能是：能够高生产率地实现在基板表面较深的凹部或孔内也不会残留气泡且均匀地嵌入薄膜状材料，及考虑到对后续工序的影响，使嵌入后的薄膜状材料的表面平坦化。

为此，以下5点实为必须：

第1、在将薄膜状材料嵌入基板表面上的凹部或孔内之前充分排出该凹部或孔内的空气；

第2、为了使薄膜状材料具有最佳的柔软性(流动性)，而尽量快地将基板加热到规定的温度；

第3、为了适应近年来图形的细微化、孔数的增加及孔径的小径化，而可通过更大的加压力均匀地进行嵌入；

第4、考虑到装置的设置场所是净化间(clean room)，不能使用油等可能污染周围环境的材料；

第5、提供尽量小并且廉价的装置。

然而，现有的真空压力装置在所述的第1～第5点上尚有改善余地。

即，为了充分排出各种基板表面的凹部或孔内的空气，并且尽量快的加热薄膜状材料，而以密封配合上下壳体的状态，与根据基板的种类(大小、重量)而变化的薄膜带的易弯曲相适应，必须能够适当调整具有加热器的加压块与基板的距离。

但是，现有真空压力装置，是如上所述将加压块固定在壳体部件上的结构，因此，两者利用同一驱动装置同时进行上升及下降。

因此，在密封配合上下壳体的状态下，加压块的位置始终是一定的，不能够对应各种基板适当调整加压块的位置、即加热器的位置。

其结果，在基板与加压块之间的距离近的情况下，在基板表面的凹部或者孔部未进行充分排气之前，薄膜状材料被加热软化并密着在基板上，而残留有气泡。

相反，基板与加压块的距离远的情况下，薄膜状材料的加热软化很耗时间，生产率低。

另外，在将所述基板夹在弹性体薄膜与加压块之间、并通过由气体的压力按压的弹性体薄膜、加压基板的方式中，考虑到如上所述的加压块与基板的距离远的情况，弹性体薄膜必须充分伸长。

由此，因为弹性体薄膜的强度上不能使用较大的加压力进行加压，所以很难将薄膜状材料嵌入基板表面较深的凹部或者孔内。

并且，通过弹性体薄膜加压的情况下，嵌入基板后的薄膜表面产生与基板表面的凹凸相应的凹凸，因此，必须在后续工序中将薄膜表面平坦化，其结果，装置或者生产线的构成大型化。

另外，为了产生较大的加压力，也可以考虑不使用弹性体的薄膜，而将上下加压块设置在腔内，通过使用油缸或者滚珠丝杠等的马达驱动进行加压的方法，而前者必须使用可能污染周围环境的油，以及必须具有油泵等的设置空间，再加上装置的组装时必须进行管道、气体去除等操作，必须准备防止漏油及油飞溅的部件，而存在装置的大型化及高成本的问题。后者，为了在整个加压面上以均匀的压力进行加压，而加压块的刚性必须提高到所需程度以上，或者必须设置使压力均匀的缓冲材料，因此，存在装置的大型化及高成本的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题点而做出的，其目的在于提供一种即使在较深的凹部或孔内也可以不残留气泡地使薄膜状材料均匀嵌入，并且使嵌入后的薄膜状材料的表面平坦化，小型且廉价的真空压力装置。

为了实现上述目的，本发明之一的真空压力装置，是一种用于在基板上层叠、嵌入薄膜状材料，或者使基板上的薄膜状材料平坦化的真空压力装置，其特征在于：包括真空压力部；被设置在该真空压力部上，并具有上侧及下侧壳体部件的真空腔，该真空腔能够通过使该上侧及下侧壳体部件相互密封配合、排出内部气体而形成减压状态，并能够通过使该上侧及下侧壳体部件相互分离而形成基板的出入口用的开口；用于将表面保持有薄膜状材料的基板通过所述开口移入及移出所述真空腔的基板传送机构，该基板传送机构具有相互之间保持基板并可以移动的上下一对薄膜带；用于夹持由所述基板传送机构移入的基板并对其进行加热及加压的、设置在所述真空腔内的上侧及下侧加压块，该上侧及下侧加压块具有加热板，并且在至少一方上至少具备1个具有上下面及在该上下面之间形成的内部空间的加压体，且该加压体基于所述内部空间的内压使所述上下面的至少一方可以沿上下方向移动，并通过向所述内部空间内导入加压流体而可以产生上下方向的加压力；以及用于使该上侧及下侧加压块相互接近及远离的第1驱动机构；所述第1驱动机构具有可以形成用于支撑在由所述加压体加压基板时产生的所述加压力的反力的刚性结构的机构。

本发明之二的真空压力装置，其特征在于：还具有用于使所述真空腔的所述上侧及下侧壳体部件相互密封配合及分离的第2驱动机构，且该第2驱动机构可以相对所述第1驱动机构单独进行操作，所述第1驱动机构至少具有1个以密封状态贯穿所述上侧及下侧壳体部件的任意一方进行延伸的杆，且该杆的一端被安装到所述上侧及下侧加压块的任意一方上。

本发明之三的真空压力装置，其特征在于：所述上侧及下侧加压块分别被固定在所述真空腔的所述上侧及下侧壳体部件上，所述真空腔的所述上侧及下侧壳体部件通过所述第1驱动机构进行相互密封配合及分离。

本发明之四的真空压力装置，其特征在于：所述第1驱动机构具有曲轴，和用于使该曲轴旋转的驱动装置，和一端枢接在所述曲轴的偏心轴上、另一端连接在导引所述上侧及下侧加压块的一方上下移动的导引板上的连接杆，且所述曲轴旋转使所述连接杆的上端至少位于曲轴旋转的上死点或者上死点附近、形成所述刚性结构。

本发明之五的真空压力装置，其特征在于：所述上侧及下侧加压块的加压面由平滑加工过的刚性表面构成。

本发明之六的真空压力装置，其特征在于：所述加压体被配置在所述加热板上的不与基板相对向的一侧。

本发明之七的压力装置，是用于在基板上层叠、嵌入薄膜状材料，或者使基板上的薄膜状材料平坦化的压力装置，其特征在于：包括压力部；用于将表面保持有薄膜状材料的基板移入及移出所述压力部的基板传送机构，该基板传送机构具有相互之间保持基板并可以移动的上下一对薄膜带；用于夹持由所述基板传送机构移入的基板并对其进行加热及加压的、配置在所述压力部的上侧及下侧加压块，该上侧及下侧加压块具有加热板，并且在至少一方上至少具备1个具有上下面及在该上下面之间形成的内部空间的加压体，且该加压体基于所述内部空间的内压使所述上下面的至少一方可以沿上下方向移动，并通过向所述内部空间内导入加压流体而可以产生上下方向的加压力；以及用于使该上侧及下侧加压块相互接近及远离的第1驱动机构；所述第1驱动机构具有可以形成用于支撑在由所述加压体加压基板时产生的所述加压力的反力的刚性结构的机构。

本发明之八的压力方法，是用于在基板上层叠、嵌入薄膜状材料，或者使基板上的薄膜状材料平坦化的压力方法，其特征在于：使构成真空腔的上侧及下侧壳体部件相互分离、在其之间形成开口，将表面保持有薄膜状材料的基板保持在上下一对薄膜带之间，通过使该薄膜带移动，而通过所述开口将基板移入所述真空腔内，并将基板定位在所述真空腔内设置的上侧及下侧加压块之间，通过使所述上侧及下侧壳体部件相互密封配合、并进行内部排气，而使所述真空腔内成为减压状态，通过机械的驱动机构使所述真空腔内的所述上侧及下侧加压块相互接近，通过设置在该上侧及下侧加压块上的加热板加热基板，而使保持在基板表面上的薄膜状材料软化，保持在基板表面上的薄膜状材料软化后，启动构成所述机械的驱动机构的机械元件，使该机械的驱动机构形成用于支撑在由所述上侧及下侧块加压基板时受到的加压力的反力的刚性结构，在所述上侧及下侧加压块中至少一方上设置有加压体，该加压体具有上下面及在该上下面之间形成的内部空间，且基于该内部空间的内压可以使所述上下面的至少一方沿上下方向运动，并通过向所述加压体的所述内部空间内导入加压流体，而使所述上下面的至少一方沿上下方向移动，据此，对表面保持有软化的薄膜状材料的基板以夹持在所述上侧及下侧加压块之间的状态进行加压。

附图说明

图1是本发明的一实施例的真空压力装置的局部剖开侧视图。

图2(a)是图1的真空压力装置一个过程的侧视图，其表示通过上下薄膜带将基板移入真空腔内，并定位在上下加压块之间的状态。(b)是表示同样状态的上下加压块的放大侧视图。

图3(a)是图1的真空压力装置的一个过程的侧视图，其表示关闭真空腔，并排出真空腔内部气体的状态。(b)是表示同样状态的上下加压块的放大侧视图。

图4(a)是图1的真空压力装置的一个过程的侧视图，其表示由驱动装置使下侧加压块上升到适当位置，并加热基板使薄膜状材料软化的状态。(b)是表示同样状态的上下加压块的放大侧视图。

图5(a)是图1的真空压力装置的一个过程的侧视图，其表示以枢接在下侧加压块上的连接杆的上端成为上死点的方式使曲轴移动，向加压体内导入压缩空气，加压基板的状态。(b)是表示同样状态的上下加压块的放大侧视图。

图6是表示本发明的其他实施例的局部剖开侧视图。

图中：1-真空腔，2-上侧壳体部件，3-下侧壳体部件，4-支撑块，5-下侧支撑部件，6-支柱，7-驱动装置，8-导引机构，9-密封部件，10-基板，11-开口，12-上侧加压块，13-下侧加压块，14-加热板，15-隔热材，16-加压板，17-加热板，18-加压板，19-杆，20-加压体，21-隔热材，22-板，23-支撑板，24-导引机构，25-曲轴，26-驱动装置，27-薄膜带，28-薄膜带，29-薄膜带卷出部，30-薄膜带卷取部，31-辊，32-给排气口，33-密封机构，34-真空压力部，35-滚珠丝杠，36-偏心轴，37-连接杆，38-辊式输送机(rollerconveyer)，39-旋转轴，40-安装轴。

具体实施方式

图1是表示本发明的一实施例的真空压力装置的局部剖开的侧视图。

在真空压力装置的真空压力部34上设置有真空腔1。真空腔1由上侧壳体部件2及下侧壳体部件3构成。

上侧壳体部件2安装在支撑块4上。另外，在真空压力部34上设置有作为基座的下侧支撑部件5，支撑块4与下侧支撑部件5通过上端固定在支撑块4上、下端固定在下侧支撑部件5上的支柱6相互连接。

在作为形成真空腔1的另一方部件的下侧壳体部件3的下表面上，枢接有如气缸装置之类的驱动装置7。并且，在下侧壳体部件3上，安装有可靠地使该下侧壳体部件3沿支柱6上下运动的导引机构8。驱动装置7与导引机构8形成使所述上侧壳体部件2及下侧壳体部件3相互密封配合及分离的驱动机构。

在下侧壳体部件3的上端周缘部处设置有环状的密封部件9。若通过所述驱动机构驱动下侧壳体部件3上升，则密封部件9与上侧壳体部件2的下侧周缘部密封配合，真空腔内部处于密封状态。在这种状态下，从真空腔1上设置的排气口(未图示)排出内部气体，而可以使真空腔内处于减压状态。

另一方面，若通过所述驱动机构驱动下侧壳体部件3下降，则密封部件9与上侧壳体部件2的下周缘部相互分离，形成作为基板10的出入口的开口11。

在图示实施例中，下侧壳体部件3可动，而上侧壳体部件2也可以设成可动的结构。

在真空腔1内设置有用于夹持基板进行加热及加压的上侧加压块12与下侧加压块13。上侧加压块12具有加热板14，并通过隔热材15安装到上侧壳体部件2上。在上侧加压块12的基板10一侧的面、即加压面一侧，安装有平滑加工作为加压面的表面的刚体的加压板16。

另外，下侧加压块13也具有加热板17，在基板一侧的面、即加压面一侧，安装有平滑加工作为加压面的表面的刚体的加压板18。

与上侧加压块12被安装在上侧壳体部件2上不同，下侧加压块13没有被安装在下侧壳体部件3上。下侧加压块13通过隔热材21及板22被安装在贯穿下侧壳体部件3进行延伸的杆19的上端。因为在下侧壳体部件3与杆19之间设置有密封机构33，所以杆19以密封状态贯穿下侧壳体部件3进行延伸，成为可以保持真空腔1的气密性的结构。

在下侧加压块13的加压板18的不与基板对向的面一侧、即下侧，设置有加压体20。加压体20，在图示实施例中是柔软的扁平的袋状方式，具有上下面及形成在该上下面之间的内部空间。加压体20的上下面中至少一方基于内部空间的内压可以沿上下方向移动。在加压体20上，至少在一处设置与内部空间连通的给排气口32，通过该给排气口32导入或排出压缩空气之类的加压流体，而使上下面的至少一方上下移动。而且，加压体20，通过向内部空间中导入加压流体，而能够产生上下方向的加压力。在图示实施例中，导入加压流体的加压体20能够在与加压板18相连触的面上产生加压力。

上端支撑下侧加压块13的杆19的下端安装在导引板23上。在导引板23上安装有用于可靠地使该下侧加压块13沿支柱6上下运动的导引机构24。另外，在下侧支撑部件5上固定有例如马达之类的驱动装置26，在该驱动装置26上可旋转地连接有滚珠丝杠35。在滚珠丝杠35上可旋转地枢接有至少1个曲轴25。并且，设置有一端枢接在曲轴25的偏心轴36上、另一端可旋转动地连接在导引板23上的至少一个连接杆37。一旦操作驱动装置26，使滚珠丝杠35的旋转，则曲轴25旋转，通过连接杆37、导引板23及杆19使下侧加压块13上下运动。杆19在图示实施例中设有多个，但是只要至少设置一个即可。

驱动装置26、滚珠丝杠35、曲轴25、连接杆37、导引板23、导引机构24、及杆19等各机械元件，构成使下侧加压块13接近或远离上侧加压块12的机械的驱动机构，称之为第1驱动机构。与此相对，将由用于使上侧壳体部件2与下侧壳体部件3相互密封配合及分离的所述驱动装置7及导引机构8形成的驱动机构称为第2驱动机构。第1驱动机构与第2驱动机构可以相互分别进行工作。

在真空压力装置的真空压力部34的前后配置有薄膜带卷出部29及薄膜带卷取部30。薄膜带卷出部29及薄膜带卷取部30用于进行在其相互之间保持并传送基板10的上下一对薄膜带27及28的卷出及卷取。薄膜带27及28贯穿上侧及下侧壳体部件2及3相互分离、打开的状态的真空腔1进行延伸。

表面上支撑薄膜状材料的基板10，通过辊式输送机被从前一工序运送到薄膜带卷出部29上，并被放入薄膜带27及28之间。通过薄膜带卷出部29及薄膜带卷取部30的作用给予其适当的拉力并移动的薄膜带27及28，能够将保持在其之间的基板10通过开口11移入到真空腔1内。同样，能够从真空腔1移出基板10。在薄膜带卷出部29及薄膜带卷取部30之间适当的位置上，设置有多个用于导引薄膜带的辊31。这样，薄膜带27、28、薄膜卷出部29、辊31、及薄膜带卷取部30形成用于使表面上保持薄膜状材料的基板10相对真空腔1移入移出的基板传送机构。

参照图2～图5对本发明的真空压力装置的作用进行说明。图2至图5是按顺序表示基板的加热及加压过程的状态的图，在图2至图5的各图中，(a)是表示真空压力部整体的侧视图，(b)是表示同一过程的状态的上侧及下侧加压块部的放大侧视图。(a)及(b)均为局部剖视图。

首先，如图2所示，通过驱动机构7使下侧壳体部件3下降，打开真空腔1并形成基板移入移出口用的开口11。表面上保持有薄膜状材料的基板10，以保持在两片薄膜带27及28之间的状态，通过这些薄膜带的移动而移送到真空腔1内。薄膜带27、28在基板10到达上侧及下侧加压块12、13的中心部位时停止。

如图3所示，一旦基板10定位在上侧及下侧加压块12、13的中心部，则通过驱动装置7使下侧壳体部件3上升，关闭真空腔1。这样使真空腔呈密闭状态，然后通过排气口(未图示)进行排气，使真空腔1内处于减压状态。因为薄膜带27及28很薄，所以即使关闭时真空腔1内夹有薄膜带27及28，也能够充分保持气密性。

基板10，因为被下侧薄膜带所支撑，所以在真空腔1内不接触下侧加压块13而保持悬浮状态。具有加热板17的下侧加压块13被配置成可以与基板10保持充分的间隔，因此在充分排出真空腔1内的气体之前，薄膜状材料不会软化。从而，基板10的凹部或孔中封入气泡的可能性极小。

在对真空腔1内进行减压的同时，加压体20内部也从给排气口32进行排气，成为与真空腔1内相同的减压状态。

本实施例的加压体20，具有形成内部空间的扁平结构，因此，能够起到隔热部件的效果，使从下侧加压块13的加热板17传来的热量不会传到板22以下的装置构成部件。从而，可以省去隔热材21。

在真空腔1内被充分减压、排气后，如图4所示，操作驱动装置26使下侧加压块13向基板10上升，接近上侧加压块12。以将下侧加压块13定位在适当的高度的状态，通过分别设在上侧及下侧加压块12、13上的加热板14、17加热基板，充分软化基板表面上支撑的薄膜状材料。

驱动下侧加压块13的第1驱动机构(驱动装置26等)可以与驱动下侧壳体部件3的第2驱动机构(驱动装置7等)分别进行操作。从而，与因大小及重量不同而不同的基板10的高度位置相对应，可以使加热板14、17相对基板10接近到最佳的距离，能够尽量快地将基板10上的薄膜状材料加热到规定的温度，并使其适度软化。

也可以使用马达作为驱动装置26。这种情况下，如与油缸等相比，可以提高其往返停止的精度，因此，能够使下侧加压块13相对加热时的基板10的距离保持稳定，并能够减小温度的误差。

如图5(a)所示，在薄膜状材料充分软化后，通过驱动装置26进一步使曲轴25旋转，连接杆37的上端至少位于上死点或者上死点附近的位置。在这种状态下，曲轴25的旋转轴39、连接杆37的偏心轴36、以及连接杆37的向上端的导引板23的安装轴40，大致排列在竖直线上。从而，构成第1驱动机构的曲轴25、连接杆37等各机械元件，形成刚性结构，用以支撑在上侧及下侧加压块12、13加压基板10时受到这些块的加压力的反力。

以第1驱动机构形成上述刚性结构的状态下，从给排气口32向加压体20的内部空间导入压缩空气。据此，加压体20的上面向上方移动，推起加热板17及加压板18。其结果，在表面上保持软化的薄膜状材料的基板10被夹持在上侧加压块12与下侧加压块13之间、进行加压。压缩空气的压力在加压体20的内部空间内的各个方向均匀传送，因此，与通过油缸等其他驱动机构的加压相比，容易实现向整个加压面均匀地施加压力。

另外，如上所述，在加压体20加压基板10时产生的加压力的反力、即在基板10加压时受到的上侧及下侧加压块12、13的加压力的反力，由形成为第1驱动机构的刚性结构进行支撑，因此，加压板20能够以比较大的力加压基板10。例如可以使用与利用油缸装置的加压的情况相同的较大的加压力。

在基板10上软化的薄膜状材料由于与加压面光滑的加压板16、18相接触进行加压，故被密着、层叠在基板10表面上，使之嵌入基板10的凹部或孔内，并且使其表面平坦化。

由加压体20对基板10的加压，可以仅仅进行一次，也可以将真空腔1内维持在减压状态下反复进行。

在进行多次加压时，与仅仅进行一次加压的情况相比，发现即使合计的加压时间短，也倾向在基板10与薄膜状材料之间得到更好的所期望的密着性。

在基板10上密着层叠薄膜状材料的同时使薄膜状材料的表面平坦化，然后从给排气口32排出加压体20的内部空间内的加压空气，使加压体20沿上下方向收缩、结束加压。

之后，通过第1驱动机构使下侧加压块13下降。

接着，解除真空腔1内的减压状态，通过第2驱动机构(驱动装置7等)使下侧壳体部件3下降。由此，再次形成将基板移出移入用的开口11，通过两片薄膜带27、28的移动从真空腔1内移出基板10。

此外，导入加压体内的加压流体并不仅限于压缩空气。另外，从给排气口32排出加压流体，使加压体20收缩、完成加压的时间，也可以在解除真空腔1内的减压状态之后。

加压体20只要是基于内部空间的内压使上下面可动而产生加压力的机构即可，除了如图所示的袋体的方式以外，也可以是活塞及缸体的组合方式。

另外，加压体可以设在上侧加压块12上，也可以设在上侧及下侧加压块12、13两方上。另外，在一个加压块上也可以设置多个加压体。

其次，参照图6对本发明的真空装置的其他实施例进行说明。图6是其他实施例的真空装置的局部剖开的侧视图。本实施例与前述实施例的不同点在于：使上侧壳体部件2与上侧加压块12、及下侧壳体部件3与下侧加压块13分别结合为一体，将上侧加压块12与下侧加压块13相互接近及远离的第1驱动机构，与使上侧壳体部件2及下侧壳体部件3相互密封配合及分离的第2驱动机构共用。即，上侧及下侧壳体部件2、3的密封配合及分离也是通过第1驱动机构进行，省去了第2驱动机构。

即使在这种情况下，如果是使加压体的上下面在足够大的范围内可以上下移动的结构，则通过控制导入加压体内的加压流体的压力及流量可以改变加压体上下面的可移动量，而可以适当调整下侧加压块13与基板10的距离，因此，可以得到与前述实施例相同的效果，并且只需要一个驱动机构从而有利于降低成本。

另外，该实施例中，下侧壳体部件3兼有前述实施例中导引板23的功能。

并且，虽然本实施例中设置真空腔1，但是即使不设置真空腔1的压力装置也可以具有同样的加压方式。

(发明效果)

根据本发明的压力装置，通过利用具有通过导入内部空间内的加压流体使上下面可以沿上下方向移动的加压体的加压块对基板进行加压，进而，通过与使真空腔开闭的驱动机构可以分别操作地设置驱动加压块的驱动机构，而容易任意改变真空腔内的排气时间与加热基板的时间，另外，因为能够适当调节具有加热器的加热块与基板的距离，所以能够高生产率地将薄膜状材料嵌入基板表面的凹部或孔部中并且不会残留气泡。

另外，加压操作通过在加压体中导入加压流体进行，因此，与油缸等相比，容易实现加压面上压力的平均分布，并且，因为不需要油泵等，可以实现装置的小型化。

另一方面，在加压时能够利用刚性结构支撑加压力的反力，因此，能够利用较大的加压力加压基板。

并且，加压面由平滑的板构成，因此，将薄膜状材料不会残留气泡地嵌入基板表面的凹部或孔部中的同时，可以使嵌入后的薄膜材料的表面平坦化。

Claims (8)

1.一种真空压力装置，用于在基板上层叠、嵌入薄膜状材料，或者使基板上的薄膜状材料平坦化，其特征在于：包括

真空压力部；

被配置在该真空压力部上、并具有上侧及下侧壳体部件的真空腔，该真空腔能够通过使该上侧及下侧壳体部件相互密封配合并排出内部气体而形成减压状态，并能够通过使该上侧及下侧壳体部件相互分离而形成基板的出入口用的开口；

用于将表面保持有薄膜状材料的基板通过所述开口移入及移出所述真空腔的基板传送机构，该基板传送机构具有相互之间保持基板并可以移动的上下一对薄膜带；

用于夹持由所述基板传送机构移入的基板并对其进行加热及加压的、配置在所述真空腔内的上侧及下侧加压块，该上侧及下侧加压块具有加热板，并且在至少一方上至少具备1个具有上下面及在该上下面之间形成的内部空间的加压体，且该加压体基于所述内部空间的内压可以使所述上下面的至少一方沿上下方向移动，并通过向所述内部空间内导入加压流体而可以产生上下方向的加压力；以及

用于使该上侧及下侧加压块相互接近及远离的第1驱动机构；

所述第1驱动机构具有可以形成用于支撑在由所述加压体加压基板时产生的所述加压力的反力的刚性结构的机构。

2.如权利要求1所述的真空压力装置，其特征在于：还具有用于使所述真空腔的所述上侧及下侧壳体部件相互密封配合及分离的第2驱动机构，且该第2驱动机构可以相对所述第1驱动机构单独进行操作，所述第1驱动机构至少具有1个以密封状态贯穿所述上侧及下侧壳体部件的任意一方进行延伸的杆，且该杆的一端被安装到所述上侧及下侧加压块的任意一方上。

3.如权利要求1所述的真空压力装置，其特征在于：所述上侧及下侧加压块分别被固定在所述真空腔的所述上侧及下侧壳体部件上，所述真空腔的所述上侧及下侧壳体部件通过所述第1驱动机构进行相互密封配合及分离。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的真空压力装置，其特征在于：所述第1驱动机构具有曲轴，和用于使该曲轴旋转的驱动装置，和一端枢接在所述曲轴的偏心轴上、另一端连接在导引所述上侧及下侧加压块的一方上下移动的导引板上的连接杆，且所述曲轴旋转使所述连接杆的上端至少位于曲轴旋转的上死点或者上死点附近、形成所述刚性结构。

5.如权利要求1～4中任意一项所述的真空压力装置，其特征在于：所述上侧及下侧加压块的加压面由平滑加工过的刚性表面构成。

6.如权利要求1～5中任意一项所述的真空压力装置，其特征在于：所述加压体被配置在所述加热板上的不与基板相对向的一侧。

7.一种压力装置，用于在基板上层叠、嵌入薄膜状材料，或者使基板上的薄膜状材料平坦化，其特征在于：包括

压力部；

用于将表面保持有薄膜状材料的基板移入及移出所述压力部的基板传送机构，该基板传送机构具有相互之间保持基板并可以移动的上下一对薄膜带；

用于夹持由所述基板传送机构移入的基板并对其进行加热及加压的、配置在所述压力部的上侧及下侧加压块，该上侧及下侧加压块具有加热板，并且在至少一方上至少具备1个具有上下面及在该上下面之间形成的内部空间的加压体，且该加压体基于所述内部空间的内压可以使所述上下面的至少一方沿上下方向移动，并通过向所述内部空间内导入加压流体而可以产生上下方向的加压力；以及

用于使该上侧及下侧加压块相互接近及远离的第1驱动机构；

所述第1驱动机构具有可以形成用于支撑在由所述加压体加压基板时产生的所述加压力的反力的刚性结构的机构。

8.一种压力方法，用于在基板上层叠、嵌入薄膜状材料，或者使基板上的薄膜状材料平坦化，其特征在于：

使构成真空腔的上侧及下侧壳体部件相互分离、在其之间形成开口，将表面保持有薄膜状材料的基板保持在上下一对薄膜带之间，利用使该薄膜带移动，而通过所述开口将基板移入所述真空腔内，并将基板定位在所述真空腔内设置的上侧及下侧加压块之间，

通过使所述上侧及下侧壳体部件相互密封配合、并进行内部排气，而使所述真空腔内成为减压状态，

通过机械的驱动机构使所述真空腔内的所述上侧及下侧加压块相互接近，

通过设置在该上侧及下侧加压块上的加热板加热基板，而使保持在基板表面上的薄膜状材料软化，

保持在基板表面上的薄膜状材料软化后，启动构成所述机械的驱动机构的机械元件，使该机械的驱动机构形成用于支撑在由所述上侧及下侧块加压基板时受到的加压力的反力的刚性结构，

在所述上侧及下侧加压块中至少一方上设置有加压体，该加压体具有上下面及在该上下面之间形成的内部空间，且基于该内部空间的内压可以使所述上下面的至少一方沿上下方向运动，并通过向所述加压体的所述内部空间内导入加压流体，而使所述上下面的至少一方沿上下方向移动，据此，对表面保持有软化的薄膜状材料的基板以夹持在所述上侧及下侧加压块之间的状态进行加压。

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