JP2008124113A - 多層プリント配線板の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 積層シートに皺を生じさせずに、静電気による塵埃の付着もなく、十分なクッション性が得られる多層プリント配線板の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】積層シート２Ａ（２Ｂ，２Ｃ）を加圧および加熱する加圧および加熱冶具の基台Ｐｒと、難着性および可撓性を有する帯状のクッション材Ｃｓと、クッション材Ｃｓを巻装する巻装ローラーＲ１と、クッション材を伸張する巻取りローラーＲ２と、クッション材Ｃｓを前記積層シート２Ａ（２Ｂ，２Ｃ）に敷設するガイドローラーＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ５とを備える。
【選択図】 図２

Description

本発明は、導体箔により配線回路が形成された樹脂フィルムを複数重ね合わせて形成した積層シートを加圧および加熱することにより多層プリント配線板を形成する多層プリント配線板の製造方法及び製造装置に関する。

携帯情報端末やデジタルカメラなどの電子機器は、小型化、高性能化、薄型化が求められており、プリント配線板は、配線回路の高密度化、配線板の多層化等により、これら電子機器の小型化、高性能化、薄型化の要求に対応している。従来、多層プリント配線板の製造方法としては、銅等の導体箔により配線回路が形成された熱可塑性樹脂フィルムからなる基材を複数重ね合わせて形成した積層シートを加圧および加熱することにより上記基材同士を接着して多層プリント配線板を製造する方法が知られている。

多層プリント配線板は、例えば、銅箔等により配線パターンが形成された液晶ポリマーやポリイミド等の熱可塑性樹脂フィルムからなる基材にレーザー等により該基材の配線パターン層間を接続するためのバイアホール（ビアホール）を形成して、真空印刷等により導電ペースト等の導電材料を該バイアホールに充填した前記基材を複数重ね合わせて形成した積層シートを加圧および加熱して製造する。ここで、前記基材を複数重ね合わせる際には、前記基材それぞれに配された前記バイアホールが所定の位置で互いに一致するように重ね合わせる必要がある。一方、前記基材に配線パターンが形成された箇所は凸部となり、前記基材に配線パターンが形成されていない箇所は凹部となっているため、前記基材を重ね合わせて加圧する際には、前記基材同士の位置ずれが生じ易い。また、前述のように配線パターンは高密度化しており、かつ、基材は多層化しているため、この積層シートをいかにそれぞれの基材が位置ずれしないように加圧および加熱するかが、多層プリント配線板の歩留まり向上の最重要課題となっている。

このような観点から、従来、特許文献１のように、ポリアミド繊維布の片面または両面にテフロン（登録商標）のシートを貼り合わせたクッション材を前記積層シートに敷設した後、加圧および加熱冶具にて加圧および加熱する多層プリント配線板の製造方法が開示されている。また、特許文献２のように、加圧および加熱冶具と積層シートとの間に、該積層シートに向かって凸となるように湾曲した初期形状を有し弾性変形によって平板状となる金属製の薄板を介在させ、前記積層シートと前記金属製の薄板との間に、テフロン（登録商標）等からなる難着性および可撓性を有するクッション材のシートを設けて、前記加圧および加熱冶具にて加圧および加熱する多層プリント配線板の製造方法が開示されている。上記引用文献記載の多層プリント配線板の製造方法は、耐熱性があって硬くて平板状となる材質のシートに、耐熱性があって柔らかくて基材にくっつかない材質のクッション材を重ね合わせることで、前記クッション材が前記基材の加圧面の凸凹に合致した形状に変形することで前記積層シートを抱き込んだ状態となり、平板状のシートにて前記積層シートへの加圧力分布を均等にすることができるので、前記積層シートを加圧する際の位置ずれ防止に効果がある。
特開昭５４−９７７７６号公報 特開２００３−３０４０７１号公報

ところで、従来、前記クッション材は、加圧および加熱による前記積層シートの過度の変形を避けるため、予め前記積層シートの寸法に合わせて加工した四角形の独立したフィルム状のシートを使用しており、薄くて変形し易いことから取り扱い難く、前記積層シートに前記クッション材を配置するだけでクッション材が変形して皺が寄り易い。前記クッション材に皺が寄ると、クッション性が欠如して前記基材の一部に応力が加わり、前記基材同士が位置ずれしたり、前記基材同士の密着性が不十分となり多層プリント配線板の歩留まりが低下する。また、前記フィルム状のシートは、通常、積み重ねて置いてあるため、前記フィルム状のシート同士が擦れて静電気を帯び易い。この静電気によって前記フィルム状のシートに付着した塵埃が前記積層シートに付着することで、前記積層シートに欠陥が発生し易くなり、多層プリント配線板の歩留まりが低下するという問題を有する。

そこで本発明は、積層シートに皺を生じさせずに、静電気による塵埃の付着もなく、十分なクッション性が得られる多層プリント配線板の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。

前述の目的を達成するために、本発明の多層プリント配線板の製造方法は、導体箔により配線パターンが形成された樹脂フィルムからなる基材を複数重ね合わせた積層シートを加圧および加熱手段により加圧および加熱することにより多層プリント配線板を形成する多層プリント配線板の製造方法であって、巻装手段に巻き付けられた難着性および可撓性を有する帯状のクッション材を伸張手段にて伸張させ、ガイド手段にて引き出しながら前記積層シートに敷設することを特徴とする。また、本発明の多層プリント配線板の製造装置は、導体箔により配線パターンが形成された樹脂フィルムからなる基材を複数重ね合わせた積層シートを加圧および加熱することにより多層プリント配線板を形成する多層プリント配線板の製造装置であって、前記積層シートを加圧および加熱する加圧・加熱冶具と、難着性および可撓性を有する帯状のクッション材と、該クッション材を巻装する巻装ローラーと、該クッション材を伸張する巻取りローラーと、該クッション材を前記積層シートに敷設するガイドローラーとを備えることを特徴とする。

本発明によれば、巻装手段である巻装ローラーに巻き付けられた難着性および可撓性を有する帯状のクッション材を伸張手段である巻取りローラーにて伸張させてガイドローラーにて引き出しながら前記積層シートに敷設することで、前記クッション材には皺がよらず、前記積層シートに皺を生じさせることがない。

本発明としては、前記ガイド手段にて前記クッション材を連続して引き出しながら、前記積層シートの両方の面に敷設することが好ましい。さらに、前記ガイド手段にて前記クッション材を連続して引き出しながら、前記クッション材と前記積層シートとを交互に敷設することが好ましい。

前記ガイド手段である前記ガイドローラーにて、前記クッション材を連続して引き出しながら、前記積層シートの両方の面に敷設したり、前記クッション材と前記積層シートとを交互に敷設することで、一括した敷設が可能になると共に、加圧および加熱後に前記クッション材を前記積層シートから剥がし易くもなる。

本発明として、前記巻装ローラーに前記クッション材を複数重ねるか、又は、一重巻きの前記巻装ローラーを複数用意して、前記クッション材を複数重ねて敷設することが好ましい。

本発明によれば、前記クッション材を複数重ねて敷設することで、例えば、硬さの異なるクッション材を前記積層シートに近接するに従って柔らかいクッション材となるように配置することで、加圧の際に前記積層シートに加わる衝撃を和らげることができ、前記積層シートの位置ずれを軽減することができる。

本発明としては、前記巻装ローラーの近傍に、前記クッション材の静電気を除去する除電バーが配置されていることが好ましい。

前記除電バーを前記巻装ローラーの近傍に配置することで、前記クッション材の帯電をなくすことができ、静電気により塵埃が前記積層シートに付着する等を防止する。

本発明によれば、巻装ロールに巻き付けられたクッション材を引き出しながら敷設するので、上記基材にクッション材を配するときに、クッション材の皺を発生させずに敷設することができる。したがって、従来のようにクッション材に皺が生じることによるクッション性の欠如が防止されるとともに、従来、シート状のクッション材を上記積層シートから剥離するときに生じていた静電気の発生やそれによる塵埃の付着も防止することができる。また、巻装ローラーから引き出しながら敷設して、巻装ローラーに巻き取ることから、クッション材の敷設および除去作業が短時間で確実に行われることとなる。

以下、本発明の実施の形態を図面を引用しながら説明する。

（多層プリント配線板の構造）
図１は、本実施の形態の多層プリント配線板の加圧構成を示す断面模式図である。以下、本実施例では、便宜上、導体パターンフィルム２ａ，２ｂ，２ｃの３層として説明するが、２層や４層以上の場合も同様である。積層シート２Ａ（又は２Ｂ，２Ｃ）は、液晶ポリマー等の熱可塑性樹脂（絶縁性樹脂）の少なくとも片面に銅箔２ｅによる配線パターンが施された導体パターンフィルム２ａ，２ｂ，２ｃを積層するとともに、最上層の導体パターンフィルム２ｃ上に銅箔２ｅを配したものであり、この複数の導体層２ａ，２ｂ，２ｃの層間をバイアホールＢ，Ｂ，Ｂにより接続する。バイアホールＢ，Ｂ，Ｂ内には、層間接続材料である導電ペーストが充填されている。ここで、前記フィルム２ａ，２ｂ，２ｃを積層する際には、それぞれに配された前記バイアホールＢ，Ｂ，Ｂが所定の位置で互いに一致するように重ね合わせる。そして、所定の温度と圧力で加圧しながら加熱することにより、複数の樹脂フィルム２ａ，２ｂ，２ｃを同時に接着（熱圧着）するとともに、複数の積層シート２Ａ，２Ｂ，２Ｃを一括して接着する。積層シート２Ａ（又は２Ｂ，２Ｃ）を加圧および加熱するためには、図１に示すように、積層シート２Ａ（又は２Ｂ，２Ｃ）の上下の加圧面には、耐熱性があって難着性および可撓性を有するクッション材Ｃｓ，Ｃｓを敷設し、クッション材Ｃｓ，Ｃｓの外側の加圧面には、耐熱性があって平坦で硬いスペーサＳｔ，Ｓｔを敷設し、スペーサＳｔ，Ｓｔの外側の加圧面には、加圧および加熱冶具の基台Ｐｒ，Ｐｒを配置する。そして、基台Ｐｒ，Ｐｒを所定の圧力で加圧しながら加熱して多層プリント配線板を形成する。ここで、クッション材としては、テフロン（登録商標）やポリアミド、ポリイミドなどの樹脂からなるフィルムやシートが用いられ、特に多孔質のクッション材が好ましい。均等な加圧力分布となるからである。また、スペーサＳｔとしては、ステンレス板やニッケル板、アルミニウム板、アルミナ板などが用いられる。平坦で変形し難く、薄くて頑丈であるからである。

（従来の例）
図７は、多層プリント配線板の従来の製造方法を示す断面模式図である。
従来の製造方法は、図７に示すように、加圧および加熱冶具の基台Ｐｒの上にスペーサＳｔを置き、その上にクッション材Ｃｓｈを敷き、その上に積層シート２Ａを配置し、その上にクッション材Ｃｓｈを敷き、その上にスペーサＳｔを置く。この作業を順次繰り返して、積層シート２Ａ，２Ｂ，２Ｃをクッション材Ｃｓｈ，ＣｓｈとスペーサＳｔ，Ｓｔで挟んだ状態で段重ねして、最上段に加圧および加熱冶具の基台Ｐｒを配置し、複数の積層シート２Ａ，２Ｂ，２Ｃを一括して接着する。ここで、クッション材Ｃｓｈは、ロール状に巻装された生地を、積層シート２Ａ，２Ｂ，２Ｃの寸法に合わせて、予め、裁断加工した四角形の独立したフィルム状のシートを作業者がピンセットで掴んで敷いており、薄くて変形し易いことから取り扱い難く、皺が寄り易い。

（本発明の第１の実施の形態）
図２は、本発明を適用した多層プリント配線板の製造装置を示す断面模式図である。以下、本実施例では、便宜上、積層シートを２Ａ，２Ｂ，２Ｃの３段重ねとして説明するが、１段や２段重ね、或いは４段重ね以上の場合も同様である。多層プリント配線板の製造装置Ｚ１ａ（又はＺ１ｂ）は、上記積層シート２Ａ，２Ｂ，２Ｃを加圧および加熱する加圧および加熱冶具の基台Ｐｒ，Ｐｒと、上記帯状のクッション材Ｃｓが巻装された巻装ローラーＲ１と、巻装ローラーＲ１から引き出されたクッション材Ｃｓを伸張する巻取りローラーＲ２と巻装ローラーＲ１からクッション材Ｃｓを引き出して折り返すガイドローラＧ１〜Ｇ５とを備える。ガイドローラＧ１〜Ｇ５は、横移動及び昇降動作可能に構成されている。クッション材Ｃｓは、多孔質のテフロン（登録商標）シートを使用し、その厚みは２０μｍ〜１００μｍとした。ただし、クッション材Ｃｓの材質とその厚みは設計条件に応じて適宜調整するものであり、例えばクッション材Ｃｓの材質はポリアミドやポリイミドでも良いし、その厚みも上記範囲に限定されるものではない。また、図２に示す製造装置Ｚ１ａでは、巻装ローラーＲ１と巻取りローラーＲ２は、基台Ｐｒ，Ｐｒの片側に配置されているが、図３に示す製造装置Ｚ１ｂのように、基台Ｐｒ，Ｐｒを巻装ローラーＲ１と巻取りローラーＲ２とで挟むように配置しても良い。そして、巻装ローラーＲ１の近傍には、除電バー（除電器）Ｅｐが配置され、クッション材Ｃｓに帯電する静電気を中和除去している。また、引き出されたクッション材Ｃｓを所定の長さで切断するカッターＣｔｔが配置されている。

ここで、除電バー（除電器）Ｅｐとは、イオナイザーとも呼ばれて市販されており、プラスチック等の帯電しやすい物質に帯電する静電気と逆極性のイオンを放出することにより帯電する静電気を中和することで除去する装置である。

図３は、本発明を適用した多層プリント配線板の製造方法を示す断面模式図である。まず、基台Ｐｒの上にスペーサＳｔを配置して、巻装ローラーＲ１に巻装されたクッション材Ｃｓを巻取りローラーＲ２にて引き出して、伸張する（図３（ａ））。ここで、巻装ローラーＲ１の近傍に配された除電バーＥｐが引き出されるクッション材Ｃｓの静電気を除去するので、引き出されたクッション材Ｃｓには静電気の発生が抑制されている。次に、第１のガイドローラーＧ１が引き出されたクッション材Ｃｓを押し下げて、引き出されたクッション材ＣｓをスペーサＳｔに敷設する（図３（ｂ））。クッション材Ｃｓは、伸張された状態で敷設されるので、皺が発生しない。そして、積層シート２Ａを敷設されたクッション材Ｃｓの上に配する。次に、第２のガイドローラーＧ２が巻取りローラーＲ２に向かって横移動して、クッション材ＣｓをガイドローラーＧ１とＧ２にて折り返した状態で引き出す（図３（ｃ））。そして、第２のガイドローラーＧ２が引き出されたクッション材Ｃｓを押し下げて、引き出されたクッション材Ｃｓを積層シート２Ａに敷設する。そして、積層シート２Ａの上にスペーサＳｔを配置する（図３（ｄ））。次に、ガイドローラーＧ３が引き出されたクッション材Ｃｓを押し下げて、スペーサＳｔに敷設する（図３（ｅ））。そして、積層シート２Ｂを敷設されたクッション材Ｃｓの上に配する。以下、同様にガイドローラーＧ４が横移動してクッション材Ｃｓを引き出し（図３（ｆ））、ガイドローラーＧ４がクッション材Ｃｓを押し下げて敷設し（図３（ｇ））、ガイドローラーＧ５がクッション材Ｃｓを押し下げて敷設し、積層シート２Ｂの上にスペーサＳｔを配置する（図３（ｈ））。ガイドローラＧ１，Ｇ３，Ｇ５は、昇降可能であり、引き出されたクッション材Ｃｓを敷設する。また、ガイドローラＧ２，Ｇ４は、横移動及び昇降可能であり、横移動してクッション材Ｃｓを引き出すとともに、引き出されたクッション材Ｃｓを敷設する際に隙間が生じないように押し下げる。このようにして、ガイドローラーＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ５により、巻装ローラーＲ１に巻き付けられたクッション材Ｃｓを連続的に折り返えしながら引き出して隙間なく敷設することで、クッション材には皺が発生することなく敷設することができる。なお、所定の長さに引き出されたクッション材Ｃｓは、カッターＣｔｔにより切断されるが、クッション材Ｃｓは、所定の張力を得て引き出されているので、カッターＣｔｔによる切断も容易である。ここで、ガイドローラーＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ５は、上述の動作に限定されるものではなく、横移動と昇降動作、或いは前後移動と昇降動作を組み合わせることで、同様の作業ができる。また、ガイドローラーが横移動と前後移動と昇降動作することで、２つのガイドローラーＧ１とＧ２のみでも、同様の作業ができる。また、積層シート２Ａ（又は２Ｂ，２Ｃ）の積み重ね段数に応じて、ガイドローラーＧ１，Ｇ２，・・・の数を増減しても良い。

そして、上記のようにスペーサＳｔとクッション材Ｃｓと積層シート２Ａ（又は２Ｂ，２Ｃ）とクッション材ＣｓとスペーサＳｔとを重ね合わせて、加圧および加熱冶具の基台Ｐｒ，Ｐｒで挟んで加圧しながら加熱する。例えば、加圧および加熱冶具として、熱プレス機を使用して、当該熱プレス機を、数十〜数百Ｐａ程度の真空度まで減圧された真空室に配置し、加熱および加圧工程を真空中で実施する。すると、複数の積層シート２Ａ，２Ｂ，２Ｃのそれぞれの樹脂フィルム（熱可塑性樹脂）２ａ，２ｂ，２ｃが相互に熱融着して一体化するとともに、ビアホールＢ内の導電ペーストが相互に熱融着して一体化することで層間接続が行なわれ、多層プリント配線板が効率的かつ速やかに得られる。最終的には、上記のように製造された多層プリント配線板は、スペーサＳｔとクッション材Ｃｓが除去され、多層プリント配線板２Ａ，２Ｂ，２Ｃとして使用される。

（本発明の第２の実施の形態）
多層プリント配線板の製造装置Ｚ２は、図４に示すように、２枚のクッション材Ｃｓ１，Ｃｓ２を巻き付けた複数の巻装ローラーＲ１ａ，Ｒ１ｂと、巻取りローラーＲ２ａ，Ｒ２ｂが備わっており、クッション材Ｃｓ１とＣｓ２を２枚同時に敷設することができる。例えば、積層シート２Ａに接する側（内側）のクッション材Ｃｓ１には、柔らかい多孔質のテフロン（登録商標）シートを使用して、スペーサＳｔに接する側（外側）のクッション材Ｃｓ２には、内側のクッション材Ｃｓ１より硬くてステンレス製スペーサＳｔより柔らかいポリイミドシートを使用することで、フィルム同士の段差の大きな積層シート２Ａを加圧する際に加わる衝撃を和らげることができ、積層シート２Ａのフィルム同士の位置ずれを軽減することができる。なお、クッション材Ｃｓ１，Ｃｓ２を、例えば多孔質のテフロン（登録商標）シートを２枚使用するなど、同じ材料を使用しても衝撃吸収効果がある。ここで、複数のクッション材Ｃｓ１，Ｃｓ２は、同じ材料でも良いし、異なる材料でも良く、積層シート２Ａの構成に応じて、クッション材Ｃｓ１，Ｃｓ２の材料と厚みの組み合わせを適宜調整することができる。さらには、クッション材を内側から外側の順に、テフロン（登録商標）シート、ポリイミドシート、銅箔シートとしても良い。ここで、１つの巻装ローラーＲ１に複数のクッション材Ｃｓ１，Ｃｓ２を同時に引き出しながら敷設する装置Ｚ１ａ（又はＺ１ｂ）でも良いが、装置Ｚ２では、予め巻装ローラーＲ１ａ，Ｒ１ｂに巻装されたクッション材Ｃｓ１，Ｃｓ２を使用するため、巻装の手間が省ける。

（本発明の第３の実施の形態）
多層プリント配線板の製造装置Ｚ３は、図５に示すように、予めクッション材ＣｓをガイドローラーＧ１，Ｇ２，・・・に引っ掛けておき、ガイドローラーＧ１，Ｇ２，・・・の順にクッション材Ｃｓを押し下げて敷設する。ガイドローラーＧ１，Ｇ２，・・・は、昇降動作のみ行うため、製造設備の構成が簡略化できる。

（本発明の第４の実施の形態）
多層プリント配線板の製造装置Ｚ４は、図６に示すように、巻装ローラーＲ１とクッション材Ｃｓと巻取りローラーＲ２の組み合わせを積層シート２Ａの上下にそれぞれ１組ずつ配置して、積層シート２Ａの上下の加圧面にそれぞれクッション材Ｃｓ，Ｃｓを敷設する。製造装置Ｚ４は、ガイドローラーＧ１，Ｇ２，・・・を有せず、巻取りローラーＲ２が巻装ローラーＲ１に巻装されたクッション材Ｃｓを引き出して伸張させており、巻取りローラーＲ２が伸張手段とガイド手段とを兼ねている。製造装置Ｚ４は、ガイドローラーＧ１，Ｇ２，・・・を有さないため、製造設備をコンパクトにできる。また、製造装置Ｚ４は、積層シート２Ａの上下の加圧面に同時にクッション材Ｃｓを敷設することも可能である。なお、ここでは、巻装ローラーＲ１とクッション材Ｃｓと巻取りローラーＲ２の組み合わせを積層シート２Ａの上下にそれぞれ１組ずつ配置したが、巻装ローラーＲ１とクッション材Ｃｓと巻取りローラーＲ２の組み合わせの１組のみで構成し、積層シート２Ａの一方片面に、前記巻装ローラーＲ１に巻装されたクッション材Ｃｓを引き出しながら敷設した後、更に、前記積層シート２Ａの他方片面にも上記クッション材Ｃｓを引き出しながら敷設することも可能である。

以上、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば、ここでは、積層シート２Ａは、液晶ポリマー等の熱可塑性樹脂の少なくとも片面に銅箔２ｅによる配線パターンが施された導体パターンフィルム２ａ，２ｂ，２ｃを積層するとともに、最上層の導体パターンフィルム２ｃ上に銅箔２ｅを配したものであり、この複数の導体層２ａ，２ｂ，２ｃの層間をバイアホールＢ，Ｂ，Ｂにより接続するとしたが、実装部品を埋め込むキャビティー形成用基板を備えた積層シートでも良いし、基板同士をエポキシ接着剤等で接着する積層基板へも本発明が応用可能である。このように、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能であることは言うまでもない。

本発明を適用した多層プリント配線板の加圧構成の一例を示す断面模式図である。 本発明を適用した多層プリント配線板の製造装置の一実施例を示す断面模式図である。 本発明を適用した多層プリント配線板の製造方法の一実施例を示す断面模式図である。 本発明を適用した多層プリント配線板の製造装置の他の実施例を示す断面模式図である。 本発明を適用した多層プリント配線板の製造装置の他の実施例を示す断面模式図である。 本発明を適用した多層プリント配線板の製造装置の他の実施例を示す断面模式図である。 多層プリント配線板の従来の製造方法を示す断面模式図である。

符号の説明

Ｚ１ａ，Ｚ１ｂ，Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４ 多層プリント配線板の製造装置、
２Ａ，２Ｂ，２Ｃ 積層シート（多層プリント配線板）、
２ａ，２ｂ，２ｃ 導体パターンフィルム、
２ｅ 導体箔、
Ｂ バイアホール、
Ｃｓ，Ｃｓ１，Ｃｓ２，Ｃｓｈ クッション材、
Ｓｔ スペーサ、
Ｐｒ （加圧・加熱冶具の）基台、
Ｒ１，Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ 巻装ローラー（巻装手段）、
Ｒ２，Ｒ２ａ，Ｒ２ｂ 巻取りローラー（伸張手段）、
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ５ ガイドローラー（ガイド手段）、
Ｅｐ 除電バー（除電器）、
Ｃｔｔ カッター

Claims (9)

1. 導体箔により配線パターンが形成された樹脂フィルムからなる基材を複数重ね合わせた積層シートを挟んで加圧および加熱手段により加圧および加熱することにより多層プリント配線板を形成する多層プリント配線板の製造方法であって、
   巻装手段に巻き付けられた難着性および可撓性を有する帯状のクッション材を伸張手段にて伸張させ、ガイド手段にて引き出しながら前記積層シートに敷設することを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
2. 前記ガイド手段にて前記クッション材を連続して引き出しながら、前記積層シートの両方の面に敷設することを特徴とする請求項１記載の多層プリント配線板の製造方法。
3. 前記ガイド手段にて前記クッション材を連続して引き出しながら、前記クッション材と前記積層シートとを交互に敷設することを特徴とする請求項１又は２記載の多層プリント配線板の製造方法。
4. 前記巻装ローラーに前記クッション材を複数重ねるか、又は、一重巻きの前記巻装ローラーを複数用意して、前記クッション材を複数重ねて敷設することを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の多層プリント配線板の製造方法。
5. 導体箔により配線パターンが形成された樹脂フィルムからなる基材を複数重ね合わせた積層シートを加圧および加熱することにより多層プリント配線板を形成する多層プリント配線板の製造装置であって、
   難着性および可撓性を有する帯状のクッション材と、該クッション材を巻装する巻装ローラーと、該クッション材を伸張する巻取りローラーと、該クッション材を前記積層シートに敷設するガイドローラーとを備えることを特徴とする多層プリント配線板の製造装置。
6. 前記ガイドローラーにて、前記クッション材を連続して引き出しながら、前記積層シートの両方の面に敷設することを特徴とする請求項５記載の多層プリント配線板の製造装置。
7. 前記ガイドローラーにて、前記クッション材を連続して引き出しながら、前記クッション材と前記積層シートとを交互に敷設することを特徴とする請求項５又は６記載の多層プリント配線板の製造装置。
8. 前記巻装ローラーに前記クッション材を複数重ねるか、又は、一重巻きの前記巻装ローラーを複数用意して、前記クッション材を複数重ねて敷設することを特徴とする請求項５から７いずれか１項記載の多層プリント配線板の製造装置。
9. 前記巻装ローラーの近傍に、前記クッション材の静電気を除去する除電バーが配置されていることを特徴とする請求項５から８いずれか１項記載の多層プリント配線板の製造装置。
   
   
   

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