JP4926840B2 - 積層装置およびそれを用いた積層方法 - Google Patents

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本発明は、プリント回路基材等の製造の際に用いられる積層装置およびそれを用いた積層方法に関するものであり、さらに詳しくは、プリント回路基材等の凹凸を有する基材にフィルム状樹脂層を密着追従させることで基材とフィルム状樹脂層との間に気泡が残存しないようにした、ビルドアップ工法に有用な積層装置およびそれを用いた積層方法に関するものである。
近年、電子機器の小型化、高性能化に伴いプリント回路基材の高密度化、多層化が進行し、MPU用パッケージ基板等の特殊用途として回路基材の厚さが厚い製品も増加している。このようなプリント回路基材の多層化においては、熱硬化型樹脂組成物または感光性樹脂組成物を電気絶縁層として使用し、予め形成した内層回路の上に上記熱硬化型樹脂組成物または感光性樹脂組成物を塗布し、あるいは上記熱硬化型樹脂組成物または感光性樹脂組成物からなるフィルム状樹脂層を積層するようにしている。また、このフィルム状樹脂層の片面には、通常銅箔や支持体フィルム(セパレーターフィルム)が積層されており、銅箔の場合にはそれをハーフエッチングまたは全面エッチングし、支持体フィルムの場合にはそれを剥離し、ついでレーザーまたは紫外線による穴あけをし、つぎに銅メッキを施したのち、再度フォトレジストフィルムを用いて光によるパターニングを行い回路形成する方法、いわゆるビルドアップ工法が有効に用いられている。
上記のビルドアップ工法においては、凹凸を有する基材上にフィルム状樹脂層を平坦に積層する技術が重要である。このような技術としては、ダイアフラム式真空積層装置やダイアフラム式でない真空積層装置がある。
上記のダイアフラム式真空積層装置としては、図31に示すような真空プレス装置がある。この真空プレス装置は、真空チャンバ71が、支持ブロック72に固定された上側ハウジング部材73と、エアシリンダ74aにより昇降自在な下側ハウジング部材75とで構成されており、上記上側ハウジング部材73内に上側加圧ブロック76が配置され、上記下側ハウジング部材75内に、シリンダ装置74bにより昇降自在な下側加圧ブロック77が配置されている。また、上記上側加圧ブロック76内にヒータープレート78が収容されているとともに、このヒータープレート78の加圧面側がダイアフラム79で覆われており、これにより、上記上側加圧ブロック76の内部空間(ダイアフラム79で覆われた空間)が密閉構造とされ、真空状態にしたり加圧状態にしたりできるようになっている。また、同様に、上記下側加圧ブロック77内にもヒータープレート80が収容されているとともに、このヒータープレート80の加圧面側がダイアフラム81で覆われており、これにより、上記下側加圧ブロック77の内部空間(ダイアフラム81で覆われた空間)も密閉構造とされ、真空状態にしたり加圧状態にしたりできるようになっている。
そして、基板82を加熱加圧する際には、基板82を真空チャンバ71内の中央部に位置付けし、エアシリンダ74aを上昇させて上側ハウジング部材73に下側ハウジング部材75を密着させて形成される真空チャンバ71内を減圧しながらヒータープレート78,80により基板82表面に保持されたフィルム状材料を加熱し、その状態でシリンダ装置74bを伸長して下側加圧ブロック77を上昇させ、基板82を上下両加圧ブロック76,77間に挟んで加圧し、この加圧のときに、上下両加圧ブロック76,77の内部空間の一方もしくは双方を加圧状態にし、ダイアフラム79,81の一方もしくは双方で基板82表面のフィルム状材料を加圧するようにしている(例えば、特許文献1参照)。
また、ダイアフラム式でない真空積層装置(非ダイアフラム式真空積層装置)としては、図32に示すような積層成形装置が提案されている。この積層成形装置は、真空ラミネータ91と平坦化プレス機92とを備え、真空ラミネータ91および平坦化プレス機92の双方に上下一対の熱盤93a,93b,94a,94bを設けている。そして、真空ラミネータ91では、真空状態で積層材95,被積層材96を両熱盤93a,93bで加熱加圧して被積層材96を積層材95に積層しており、平坦化プレス機92では、両熱盤94a,94bの互いの対向面に緩衝材層を介して弾性変形可能な鏡面板(ともに図示せず)を設け、積層材95,被積層材96を両鏡面板で加熱加圧して積層材95の表面を平坦化するようにしている。また、上記の真空ラミネータ91においても、両熱盤93a,93bの互いの対向面に緩衝材層を介して弾性変形可能な鏡面板(ともに図示せず)を設け、真空状態で積層材95,被積層材96を両鏡面板で加熱加圧して被積層材96を積層材95に積層することも示されている(例えば、特許文献2参照)。
特開2003−181697号公報 特開2002−120100号公報
しかしながら、ダイアフラム式真空積層装置では、ダイアフラム79,81の厚みが厚い(2〜3mm程度)ため、基板82の凹凸の間隔が微細(20μm程度)もしくは凹凸が深い(40μm以上)場合は、基板82にフィルム状材料を密着追従させることが難しく、基板82とフィルム状材料との間に気泡が残存する。一方、非ダイアフラム式真空積層装置は、厚みの薄い基材から厚い基材まで容易に強い圧力で加圧することができる点でダイアフラム式真空積層装置より有利であるが、上記積層成形装置のように、上下一対の熱盤93a,93bや鏡面板で積層材95,被積層材96を加圧するため、ダイアフラム式真空積層装置と同様に、被積層材96の凹凸の間隔が微細(20μm程度)もしくは凹凸が深い(40μm以上)場合は、被積層材96に積層材95を密着追従させることが難しく、被積層材96と積層材95の間に気泡が残存することがある。
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであって、基材の凹凸の間隔が微細もしくは凹凸が深い場合でも、基材にフィルム状樹脂層を密着追従させて基材とフィルム状樹脂層の間に気泡が残存しないようにした積層装置およびそれを用いた積層方法の提供をその目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明は、相対向する一対の加熱手段付き熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である真空プレス装置を備え、この真空プレス装置により、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成する積層装置であって、上記フィルム状樹脂材に相対向する熱盤の、上記フィルム状樹脂材側の面に、緩衝材を介して板状体を設け、この板状体にフィルム状樹脂材を加圧する弾性プレス板を接着固定した積層装置を第1の要旨とし、上記積層装置を用い、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成する積層方法を第2の要旨とする。
すなわち、本発明の積層装置は、相対向する一対の加熱手段付き熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である真空プレス装置を備え、この真空プレス装置により、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成する積層装置である。そして、上記フィルム状樹脂材に相対向する熱盤の、上記フィルム状樹脂材側の面に、緩衝材を介して板状体を設け、この板状体にフィルム状樹脂材を加圧する弾性プレス板を接着固定するようにしている。このように、本発明の積層装置では、上記弾性プレス板を用い、これでフィルム状樹脂材の表面を加圧しているため、上記弾性プレス板により、強い圧力でフィルム状樹脂材の表面を加圧することができ、この加圧の際に、上記弾性プレス板の弾性により、その加圧面(上記フィルム状樹脂材の表面を加圧する面)を基材の凹凸面に沿って弾性変形させることができる。このため、基材の凹凸の間隔が微細もしくは凹凸が深い場合であっても、上記加圧の際にフィルム状樹脂材を基材に密着追従させることができ、この基材とフィルム状樹脂材との間に気泡が残存しない。
しかも、上記フィルム状樹脂材に相対向する熱盤と弾性プレス板との間に板状体を設け、この板状体と弾性プレス板を接着固定しているため、高温下において加圧を繰り返し行っても、上記板状体により弾性プレス板の伸張変形を抑制することができ、基材に対するフィルム状樹脂材の追従性や密着性に優れ、上記弾性プレス板の耐久性を向上させることができる。さらに、上記熱盤と上記板状体との間に緩衝材を設けているため、上記熱盤,板状体の作製時の寸法誤差等を緩衝材の緩衝作用により吸収することができ、上記熱盤と板状体との片当たり等をなくすことができる。
一方、本発明の積層方法は、上記の積層装置を用いた方法であるため、上記の優れた効果を奏する。
また、本発明において、上記弾性プレス板が、耐熱性シリコーンゴムもしくは耐熱性フッ素ゴムからなる場合には、上記弾性プレス板が耐熱性に優れ、さらに、上記弾性プレス板に繊維層設けるか上記弾性プレス板をステンレス板等の板体に加硫接着して使用することにより、上記弾性プレス板が圧縮された際に圧縮される加圧方向およびこの加圧方向に対し直交する直交方向への上記弾性プレス板の伸びが抑制され、基材の凹面上のフィルム状樹脂材と凸面上のフィルム状樹脂材に対して均等に加圧力が伝達されてフィルム状樹脂材の基材への密着追従性が改善されると同時に強度的にも優れ、高温下において加圧を繰り返し行っても上記弾性プレス板の伸張変形を抑制することができる。
さらに、本発明において、上記弾性プレス板が繊維層を有する場合には、高温下において加圧を繰り返し行っても、上記弾性プレス板の伸張変形を抑制することができ、基材に対するフィルム状樹脂材の追従性や密着性に優れ、上記弾性プレス板の耐久性を向上させることができる。
また、本発明において、上記弾性プレス板のショアーA硬度が40度以上である場合には、上記弾性プレス板は良く伸張して引き裂かれにくいと同時に、強い引き裂き強度を得ることができ、一方、充分な剥離性をも得ることができ、積層体が弾性プレス板から剥がれやすくなる。さらに剥離性を得るために、積層体と接する弾性プレス板の表面にエンボス加工もしくは化学的離形処理を施してもよい。
そして、本発明において、上記弾性プレス板の、フィルム状樹脂材に接する表面が粗面化されている場合には、上記弾性プレス板による加圧ののち、この弾性プレス板が積層体もしくは、後述する帯状フィルムを用いている場合には、この帯状フィルムから剥がれやすい。
また、本発明において、第1帯状フィルムが巻回された第1フィルム巻回ロールと、この第1フィルム巻回ロールと相対峙して設けられ第2帯状フィルムが巻回された第2フィルム巻回ロールと、上記第1および第2フィルム巻回ロールに巻回された第1および第2の帯状フィルムを相対向状態で引出して上記真空プレス装置の両熱盤間を通過させ巻き取る第1および第2のフィルム巻き取りロールと、上記両フィルム巻回ロールから引き出された両帯状フィルム間に形成される隙間に,基材の少なくとも片面にフィルム状樹脂材が仮止めされた仮積層体を供給する供給手段を備えている場合には、上記両帯状フィルムにより仮積層体を真空プレス装置に供給して積層体を形成することができると同時に、積層体形成時に軟化したフィルム状樹脂が真空プレス装置の両熱盤等へ付着することを防止できる。なお、基材の少なくとも片面にフィルム状樹脂材が仮止めされた仮積層体は、連続帯状のフィルム状樹脂材を基材のサイズに合わせてカットし基材に仮止めするオートシートカットラミネータ(伯東社製Mach630,Mach610、日立インダストリーズ社製TLD−6500,TLD−2400)等を用いて作成し、本発明の積層装置に供給することができる。
そして、本発明において、フィルム状樹脂材を帯状にしてなる第1の帯状フィルム状樹脂材が巻回された第1樹脂材巻回ロールと、この第1樹脂材巻回ロールと相対峙して設けられフィルム状樹脂材を帯状にしてなる第2の帯状フィルム状樹脂材が巻回された第2樹脂材巻回ロールと、上記両樹脂材巻回ロールから引き出された両帯状フィルム状樹脂材間に形成される隙間に基材を供給する供給手段を備え、上記第1および第2樹脂材巻回ロールから引き出された第1および第2の帯状フィルム状樹脂材を相対向状態で上記真空プレス装置の両熱盤間に案内する案内手段である第1および第2の案内ロールと、上記基材を間に挟んだ第1および第2の帯状フィルム状樹脂材を上記両熱盤間に導入しこの作動により基材の表裏両面に上記第1および第2の帯状フィルム状樹脂材を積層してなる帯状積層体を形成する真空プレス装置と、上記帯状積層体を引っ張る手段(上記帯状積層体を巻き取る積層体巻き取りロール、上記帯状積層体を引っ張るニップロールもしくは上記帯状積層体をチャック機構で挟持して引っ張る機構等)を備えている場合には、上記両帯状フィルム状樹脂材,基材を真空プレス装置に連続的に供給して、複数の積層体が一連に(連続してもしくは間欠的に)つながれた帯状積層体を形成することができる。本発明では、基材の片面へフィルム状樹脂材を仮止めする必要がなく、基材の少なくとも片面にフィルム状樹脂材が仮止めされた仮積層体を形成するために必要となる上記オートシートカットラミネータ等が不要となる。なお、本発明は、上記の第1および第2の案内ロールに限定されるものではなく、帯状材料の引き回しを同様に行えるものであれば、どのような機構でもよい。後述の第3案内ロールに関しても、同様に本発明の構成が案内ロールに限定されるものではない。
さらに、本発明において、基材が枚葉基板もしくは帯状基板である場合には、上記両帯状フィルム状樹脂材,基材を真空プレス装置に間欠的もしくは連続的に供給して、積層体が一連につながれた帯状積層体を形成することができる。
また、本発明において、第1帯状フィルムが巻回された第1フィルム巻回ロールと、第2帯状フィルムが巻回された第2フィルム巻回ロールと、これらを案内する第1および第2の案内手段と、上記第1および第2の帯状フィルムを巻き取る巻き取りロールとをさらに設け、第1および第2の樹脂材巻回ロールから引き出され、基材を間に挟んだ第1および第2の帯状フィルム状樹脂材を、上記両フィルム巻回ロールから引き出された両帯状フィルムで挟んだ状態で帯状積層体を形成し、第1および第2の帯状フィルムを上記帯状積層体とは別個に巻き取るようにした場合には、帯状積層体形成時に軟化したフィルム状樹脂が真空プレス装置の両熱盤等へ付着することを防止できる。
また、本発明において、相対向する一対の熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である平面プレス装置を備え、この平面プレス装置の両熱盤で、上記真空プレス装置により形成された積層体の表裏両面を加圧して平滑にするように構成した場合には、平面プレス装置により積層体の表裏両面を平滑にすることができる。
つぎに、本発明の実施の形態および参考の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。ただし、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。
図1は本発明の積層装置の参考の形態を示している。この参考の形態では、上記積層装置は、搬送フィルム巻き出し部1、真空積層装置(真空プレス装置)2、平面プレス装置3および搬送フィルム巻き取り部4で構成されており、基板(図2および図3参照)の流れ方向(図1の矢印参照)の上流から下流に向かってこの順で配設されている。
上記搬送フィルム巻き出し部1は、図4の拡大図に示すように、上側搬送フィルム(第1帯状フィルム)5が巻回された上側搬送フィルム巻回ロール(第1フィルム巻回ロール)11と、下側搬送フィルム(第2帯状フィルム)6が巻回され上側搬送フィルム巻回ロール11より下側に、上側搬送フィルム巻回ロール11と相対峙して、配設された下側搬送フィルム巻回ロール(第2フィルム巻回ロール)12と、上下両搬送フィルム巻回ロール11,12間に配設された搬入コンベア13とを備えている。そして、上側搬送フィルム巻回ロール11から引き出された上側搬送フィルム5は、真空積層装置2および平面プレス装置3の相対向する上下一対の熱盤23,26,47,51(図6および図12の拡大図参照)間を通ったのち搬送フィルム巻き取り部4(図5の拡大図参照)の上側巻き取りロール(第1フィルム巻き取りロール)14に巻き取られ、下側搬送フィルム巻回ロール12から巻き出された下側搬送フィルム6も同様に、真空積層装置2および平面プレス装置3の相対向する上下一対の熱盤23,26,47,51間を通ったのち搬送フィルム巻き取り部4の下側巻き取りロール(第2フィルム巻き取りロール)15に巻き取られるようにしている。また、上側巻き取りロール14を、熱盤23,26,47,51の一回の作動ごとに間欠的に巻き取り駆動する第1駆動手段(第1フィルム駆動手段)14bと、下側巻き取りロール15を上記上側巻き取りロール14と同期して間欠的に巻き取り駆動する第2駆動手段(第2フィルム駆動手段)15aとを備えている。なお、本発明において、熱盤とは、加熱手段を有する盤のことであり、加熱されて熱盤となるものを意味する。
上記上下両搬送フィルム5,6としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムがあげられ、具体的には、ユニチカ社製の「EMBLET PTHシリーズ」や、ダイアフォイル社製の「マットフィルムシリーズ」が使用される。また、上記上下両搬送フィルム5,6の幅は、加熱加圧されたフィルム状樹脂が支持体フィルムの外側へ滲み出して真空積層装置2および平面プレス装置3に付着することを防止する目的で、仮積層体7,積層体9の幅より10〜40mm程度広く設定される。真空積層装置2および平面プレス装置3に滲み出したフィルム状樹脂が付着すると、付着したフィルム状樹脂が後続の製品の支持体フィルムに再付着する。滲み出した樹脂が付着した箇所のフィルム状樹脂材8bの厚みは、付着した樹脂の厚み分だけ厚くなり製品が不良となる。このような上下両搬送フィルム5,6は、0.5〜150kNの範囲内で張力を付与された状態で走行させられる。また、上下両搬送フィルム5,6の搬送速度は、通常1〜20m/分の範囲内に設定される。
図4の拡大図に示す搬入コンベア(供給手段)13は、上記のように、仮積層体7を受け入れてこの仮積層体7を上下両搬送フィルム5,6間に供給する作用をする。仮積層体7は、仮積層体7の投入側の搬送方向と直交する辺を必要に応じてエアシリンダ13bにより昇降可能な仮積層体ストッパー13aに上記直交する辺の全体もしくは両端・中央部等の複数箇所で当接させて停止することにより上下両搬送フィルム5,6間に供給する前に正確に位置決めしてもよい。仮積層体7は、凹凸を有する基材8a(以下、基材8aと略す)と、この基材8aの凹凸面に、これを覆った状態で重ねられて(例えば、フィルム状樹脂材8bの角や外側の辺の中央部をスポット状にもしくは周縁部の1辺をライン状に加熱・加圧もしくは加圧する等して接着固定されて)仮止めされたフィルム状樹脂材8bとからなっている(図2参照)。凹凸を有する基材8aとしては、例えば銅,半田等のパターン等を施したプリント基板が用いられ、また、ビルドアップ工法等に用いられる多積層基板を用いてもよい。基材8aの厚みや縦横の大きさは、特に限定されないが、厚みは0.1〜10mmの範囲内のものが好ましく、縦横の大きさは150〜800mmの範囲内のものが好ましい。フィルム状樹脂材8b(真空積層後にフィルム状樹脂層8cになる)としては、粘着性や接着性,ホットメルト性を持つものや、ガラス転移温度以上で軟化する樹脂を主成分とする樹脂組成物であれば特には制限されないが、特に電気絶縁性を持つものが有用である。このような樹脂組成物としては、主にエポキシ樹脂,エポキシ樹脂からなる熱硬化性樹脂組成物,エチレン性不飽和化合物および光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物等があげられる。この実施の形態では、上記仮積層体7は、表裏両面に凹凸を有する基材8aと、この基材8aの表裏両面の凹凸面に予め仮止めされた上下一対のフィルム状樹脂材8b(巻き芯に巻かれた帯状のフィルム状樹脂材8bを上記オートシートカットラミネータ等により短冊シート状にカットしたもの)とからなっているが、基材8aの表裏両面の一方にだけ凹凸を有する場合には、凹凸を有する面にだけフィルム状樹脂材8bを仮止めするようにしてもよい。
つぎに、真空積層装置2は、上下両搬送フィルム5,6により搬送されてきた仮積層体7を真空状態で加熱加圧し、基材8aにフィルム状樹脂層8cが積層されてなる積層体9(図3参照)とするものであり、図6の拡大図に示すように、プレス台17に立設された複数本(図6では、2本しか図示せず)の支柱18と、これら各支柱18にボルト,ナット等の固定手段19で固定された上部プレート20と、上記各支柱18に上下移動可能に取り付けられた下部プレート21等を備えている。この下部プレート21は、ジョイント28を介して油圧シリンダもしくはエアーシリンダ29に連結されており、この油圧シリンダもしくはエアーシリンダ29の作動により(ピストンロッド29aの上昇および下降に伴って)上下移動するようにしている。
上部プレート20には、平板状の上側断熱材22,上側熱盤23,真空積層時に仮積層体7の上側フィルム状樹脂材8b(図2参照)の表面を加圧するゴム製の上側弾性プレス板24が上側からこの順に固定されており、下部プレート21には、平板状の下側断熱材25,下側熱盤26,真空積層時に仮積層体7の下側フィルム状樹脂材8b(図2参照)の表面を加圧するゴム製の下側弾性プレス板27が下側からこの順に固定されている(図7参照)。
なお、上記両弾性プレス板24,27の両熱盤23,26への固定方法は、特に限定されるものではなく、枠体,ボルト,カラー等の固定手段(図示せず)を用いる方法や、両弾性プレス板24,27と両熱盤23,26間をシールした状態でその内部を減圧して両弾性プレス板24,27を両熱盤23,26に吸着固定する方法等、各種の方法を用いることができる。
また、別の固定方法として、上記両弾性プレス板24,27と両熱盤23,26との間にそれぞれ金属板24a,27a(図8参照)を設け、これら両金属板24a,27aの一側面に両弾性プレス板24,27を加硫接着するとともに、他側面(弾性プレス板24,27を加硫接着していない側面)を両熱盤23,26にボルト,カラー等の固定手段(図示せず)で固定する方法を用いることもできる。しかし、これに限定されず、両熱盤23,26と両金属板24a,27a間をシールした状態でその内部を減圧して両金属板24a,27aを両熱盤23,26に吸着固定する方法等を適宜用いることができる。
上側断熱材22は、上部プレート20の下面にボルト,ナット等の固定手段(図示せず)で固定されている。上側熱盤23は、上側断熱材22にボルト,ナット等の固定手段(図示せず)で固定され、上側弾性プレス板24は、上側熱盤23の下面に直接に接着固定等されている。また、下側断熱材25は、下部プレート21の上面にボルト,ナット等の固定手段(図示せず)で固定されている。下側熱盤26は、下側断熱材25にボルト,ナット等の固定手段(図示せず)で固定され、下側弾性プレス板27は、下側熱盤26の上面に直接に接着固定等されている。なお、上部(下部)プレート20(21)と上側(下側)熱盤23(26)を直接ボルト,ナット等の固定手段で固定すると、ボルト,ナット等を介して上側(下側)熱盤23(26)の熱が上部(下部)プレート20(21)に伝導しやすくなり、好ましくない。
上下両熱盤23,26には、その内部に、弾性プレス板24,27を加熱するための温度コントロール可能な加熱手段が適宜配置されている。この実施の形態では、上記加熱手段として、上下両熱盤23,26の内部に複数本のシース状ヒーター23a,26aが並列配置されている。後述する上下両熱盤47,51も、同様構造である。
また、真空積層装置2は、可動真空枠30を備えている。この可動真空枠30は、図9(この図9では、上下両断熱材22,25、上下両熱盤23,26、上下両弾性プレス板24,27、金属板24a,27a、緩衝材24b,27bは図示せず。図10および図11も同じ)に示すように、上部プレート20の下面に気密状に固定された略四角形枠状の上側固定枠部31と、下部プレート21の上面に気密状に固定された可動枠32とを備えている。上側固定枠部31には、その周側壁に穿設された貫通穴31aに真空引き用ノズル33が固定されており、この真空引き用ノズル33により、上下両プレート20,21の密封契合時に、上側固定枠部31と可動枠32間に形成される空間部34(図10参照)内を真空引きし、この空間部34の圧力を調整する(すなわち、所定圧力の真空状態とする)ことができる。なお、真空引き用ノズル33は、上側固定枠部31ではなく、上部プレート20に貫通穴を設けて配置してもよく、さらに複数箇所に設けると効率よく空間部34の圧力を調整することができる。
上記可動枠32は、下部プレート21の上面に気密状に固定された略四角形枠状の下側固定枠部35と、可動枠部36と、この可動枠部36を上下移動自在に支受するスプリング37とを備えている。上記下側固定枠部35の上部は、その全周が外側に突出形成されており、この突出形成部の外周面の全周に形成された凹溝35aに環状のシール部材38が嵌合固定されている。シール部材38の形状は、リップパッキンが好適である。
上記可動枠部36は、下側固定枠部35の突出形成部に上下に摺動自在に外嵌されており、この状態で下側固定枠部35にスプリング37により支受されている。すなわち、上記可動枠部36の下面に形成された複数個(図9〜図11では、2個しか図示せず)の凹部36aにスプリング37の上部が挿入されており、これら各スプリング37が、下側固定枠部35の下端突出部35b上に載置されている。これにより、上記可動枠部36が下側固定枠部35にスプリング37を介して上下移動自在に支受されている。また、上記可動枠部36の内周面が、下側固定枠部35のシール部材38に気密状でかつ摺動自在に当接している。
また、上記可動枠部36の上面の全周に凹溝36bが形成されており、この凹溝36bに略四角形環状のシール部材39が嵌合固定されている。このシール部材39は、上下両プレート20,21の密封契合時に上記空間部34内を気密状に保持する作用をする。また、このシール部材39の形状は、リップパッキンが好適である。図9〜図11において、40a,40bはシール部材である。
このような可動真空枠30は、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ29(図6参照)の作動により下部プレート21を上昇させることで、上側固定枠部31の下面と可動枠部36の上面とを密着させて(図10参照)その内部空間(上記空間部34)を密封空間とすることができる(すなわち、上下両プレート20,21を密封契合させることができる)。さらに、上記各スプリング37を撓ませながら下部プレート21を上昇させることができ、可動枠部36の下面を下側固定枠部35の下端突出部35bの上面に当接させるまで下部プレート21を上昇させることもできる(図11参照)。
つぎに、平面プレス装置3は、真空積層装置2から上下両搬送フィルム5,6により搬送されてきた積層体9を上下両プレスブロック41,42(図12参照)間に位置決めし、これら上下両プレスブロック41,42で加熱加圧して積層体9の表裏両面を平滑にする(図13参照)ものであり、図12に示すように、プレス台43に立設された複数本(図12では、2本しか図示せず)の支柱43aと、これら各支柱43aにボルト,ナット等の固定手段43bで固定される上プレスブロック41と、上記各支柱43aに上下移動可能に取り付けられる下プレスブロック42等を備えている。この下プレスブロック42は、ジョイント54を介して油圧シリンダもしくはエアーシリンダ55に連結されており、この油圧シリンダもしくはエアーシリンダ55の作動により(ピストンロッド55aの上昇および下降に伴って)上下移動されるようにしている。
上記上下両プレスブロック41,42について、この実施の形態では、上プレスブロック41は、上部ベース層44に平板状の上側断熱材46,上側熱盤47,平板状の上側緩衝材48および上側フレキシブル金属板49が上側からこの順に固定されたもので構成されており、下プレスブロック42は、下部ベース層45に平板状の下側断熱材50,下側熱盤51,平板状の下側緩衝材52および下側フレキシブル金属板53が下側からこの順に固定されたもので構成されている。
上側断熱材46は、上部ベース層44の下面にボルト,ナット等の固定手段(図示せず)により固定されている。上側熱盤47は、上側断熱材46にボルト,ナット等の固定手段(図示せず)により固定され、上側フレキシブル金属板49は上側緩衝材48を介して上側熱盤47にボルト,カラー等の固定手段(図示せず)で固定されている。また、下側断熱材50は、下部ベース層45の上面にボルト,ナット等の固定手段(図示せず)により固定されている。下側熱盤51は、下側断熱材50にボルト,ナット等の固定手段(図示せず)で固定され、下側フレキシブル金属板53は下側緩衝材52を介して下側熱盤51にボルト,カラー等の固定手段(図示せず)により固定されている。なお、上部(下部)ベース層44(45)と上側(下側)熱盤47(51)とを直接ボルト,ナット等の固定手段で固定すると、ボルト,ナット等を介して上側(下側)熱盤47(51)の熱が上部(下部)ベース層44(45)に伝導しやすくなり、好ましくない。図において、47a,51aは上下両熱盤47,51の内部に並列配置されたシース状ヒーターである。
つぎに、搬送フィルム巻き取り部4は、図5の拡大図に示すように、上側搬送フィルム5が巻き取られる上側巻き取りロール14と、下側搬送フィルム6が巻き取られ上側巻き取りロール14より下側に配設された下側巻き取りロール15と、上下両巻き取りロール14,15間に配設された排出コンベア(図示せず)とを備えている。なお、この排出コンベアは、配設されていなくてもよい。また、搬送フィルム巻き取り部4では、冷却ファン56等の冷却手段により、表裏両面が平滑にされた積層体9を冷却し、積層体9表面の、軟化したフィルム状樹脂層8cを硬化させて積層体9表面を変形させにくくするとともに、滲み出したフィルム状樹脂層8cと搬送フィルム5,6とを剥離させやすくすることもできる。
上記図1の積層装置を用い、つぎのようにして積層体9を作製する。まず、基材8aの凹凸面にフィルム状樹脂材8bを仮止めしてなる仮積層体7を予め準備しておく。ついで、仮積層体7を搬入コンベア13に送給し、この搬入コンベア13から上下両搬送用フィルム5,6間に供給する。この供給された仮積層体7は上下両搬送用フィルム5,6に挟持されて真空積層装置2に搬入される。
この真空積層装置2では、つぎのようにして真空積層工程を行う。まず、上記仮積層体7を上下両搬送用フィルム5,6で真空積層装置2内に搬送して所定の位置(圧締位置)に位置決めする(図1および図16参照、この図16では、上下両搬送用フィルム5,6は図示せず。図17および図18も同じ)。ついで、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ29を作動して下部プレート21を上昇させ、上部プレート20の上側固定枠部31の下面と下部プレート21の可動枠部36の上面とを密着させて上下両プレート20,21を密封契合する(図10および図17参照)。
この密封契合ののち、空間部34を減圧状態にする。具体的には、真空引き用ノズル33(図9参照)により空間部34を真空ポンプ(図示せず)で減圧する(図17参照)。上記空間部34の圧力は200Pa以下、好ましくは100Pa以下の真空状態にする。上記圧力が大きすぎると、基板8aとフィルム状樹脂材8bとの間にマイクロボイドが残存し、積層後のフィルム状樹脂層8cを後工程で熱硬化する際に、マイクロボイドが残存した箇所の表面が陥没して製品が不良となる傾向がある。
つぎに、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ29を作動し、下部プレート21を上昇させ、上下両弾性プレス板24,27で仮積層体7を挟圧して加熱・加圧し(図18参照)、基材8aの表裏両面にフィルム状樹脂材8bを貼り合わせて積層体9を作製する。上記圧力の調整は、具体的には、空間部34を減圧したまま下側弾性プレス板27の圧力を調節すればよく、上下両弾性プレス板24,27で仮積層体7の上下両フィルム状樹脂材8bを押圧し、基材8aとフィルム状樹脂材8bとを圧締するのである。このようにして仮積層体7が真空積層されて積層体9となる。この積層体9の表面は、基材8aの凹凸にフィルム状樹脂層8cが密着追従しているものの、基材8aの凹凸が反映して平滑ではない。
上記加熱・加圧の際には、上側熱盤23および下側熱盤26の温度を30〜185℃にすることが好ましく、より好ましくは70〜140℃である。上記温度が低すぎると、基材8aにフィルム状樹脂層8cを充填することができず、追従性が悪くマイクロボイドが残存する傾向がある。一方、上記温度が高すぎると、フィルム状樹脂材8bが熱分解硬化を起し分解ガスによる追従性が低下してマイクロボイドが発生する傾向がある。このような温度コントロールの方法としては特に限定されないが、上下両熱盤23,26に内蔵されるシース状ヒーター23a,26a等で調整される。
上記の加熱・加圧において、加圧条件は、0.1〜2MPaの範囲内に設定され、好適には0.4〜1.5MPaである。
上記の加熱・加圧工程が終了した後に、真空引き用ノズル33により上記空間部34の真空状態を解放して常圧に戻し、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ29を作動し、下部プレート21を下降させる。そののち、積層体9は上下両搬送用フィルム5,6に挟持され、次工程の平面プレス装置3に搬入される。
この平面プレス装置3では、つぎのようにして平面プレス工程を行う。まず、上記積層体9を上下両搬送用フィルム5,6で平面プレス装置3内に搬送して所定の位置(プレス位置)に位置決めする。ついで、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ55を作動して下プレスブロック42を上昇させ、上下両フレキシブル金属板49,53で積層体9を挟圧するようにして加熱加圧し、積層体9のフィルム状樹脂層8cの表面を平滑にする。
つぎに、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ55を作動し、下プレスブロック42を下降させる。そののち、積層体9は、上下両搬送用フィルム5,6で平面プレス装置3から排出され、搬送フィルム巻き取り部4において、空冷ファン56により冷却されたのちに上下両搬送用フィルム5,6から剥離され、排出コンベアで排出される。
上記の平面プレス工程において、加熱温度は、30〜200℃、好適には70〜140℃に設定され、加圧条件は、0.1〜2MPa、好適には0.5〜1.5MPaに設定される。
上記のように、この参考の形態では、真空積層装置2に設けた両熱盤23,26にそれぞれ弾性プレス板24,27を固定し、これら両弾性プレス板24,27を用いてフィルム状樹脂材8bの表面を加圧しているため、上記両弾性プレス板24,27により強い圧力でフィルム状樹脂材8bの表面を加圧することができ、この加圧の際に、上記両弾性プレス板24,27の弾性により、その加圧面(上記フィルム状樹脂材8bの表面を加圧する面)を基材8aの凹凸面に沿って弾性変形させることができる。このため、基材8aの凹凸の間隔が微細もしくは凹凸が深い場合であっても、上記加圧の際にフィルム状樹脂材8bを基材8aに密着追従させることができ、この基材8aとフィルム状樹脂材8bとの間に気泡が残存しない。しかも、この実施の形態では、平面プレス装置3を備えているため、この平面プレス装置3により、上記真空積層装置2で形成された積層体9の表裏両面を加圧して平滑にすることができる。
つぎに、本発明の積層装置の一実施の形態を説明する。この実施の形態では、上記参考の形態における真空積層装置2に代えて、図8に示す真空積層装置を用いており、それ以外は上記参考の形態と同様の構成をしており、同様の効果を奏する。すなわち、真空積層装置2において、図8に示すように、上記両弾性プレス板24,27と両熱盤23,26との間に設けさせた両金属板24a,27aと、両熱盤23,26との間にそれぞれ、ゴム弾性等を有する緩衝材24b,27bを設け、両金属板24a,27aの両側面に弾性プレス板24,27を加硫接着している。このため、一側面の弾性プレス板24,27を緩衝材24b,27bとして使用することもできる。上記のように両金属板24a,27aの両側面に弾性プレス板24,27を加硫接着すると、弾性プレス板24もしくは27が異物等により表面が傷ついてしまったときには、傷ついた弾性プレス板24,27が加硫接着された金属板24a,27aを本体から取り外し、傷ついた弾性プレス板24,27を緩衝材として使用するように表裏逆に取り付けて生産を続行することが可能となり、装置の保全性の面で好ましい。
本発明の積層装置は、上記のように、真空積層装置2における、上下両熱盤23,26の、仮積層体7側の面にそれぞれ、仮積層体7のフィルム状樹脂材8bの表面を加圧する弾性プレス板24,27を設けたことを最大の特徴としている。
上下両弾性プレス板24,27の構成材料としては、耐熱性シリコーンゴム,耐熱性フッ素ゴム等のゴム材料や、弾性を有する各種の樹脂材料が用いられ、内部等に繊維層を設けたものが好適に用いられる。この繊維層を設けることにより、上下両弾性プレス板24,27の耐久性を向上させることができ、高温下において加圧を繰り返し行っても上下両弾性プレス板24,27の伸張変形を抑制することができ、基材8aに対するフィルム状樹脂材8b,フィルム状樹脂層8cの追従性や密着性に優れた効果を発揮する。一方、上下両弾性プレス板24,27に繊維層を設けない場合には、金属板24a,27aに上下両弾性プレス板24,27を加硫接着することにより、繊維層を設けた場合と同様に、高温下において加圧を繰り返し行っても上下両弾性プレス板24,27の伸張変形を抑制することができ、基材8aに対するフィルム状樹脂材8b,フィルム状樹脂層8cの追従性や密着性に優れた効果を発揮する。
上記繊維層としては、特に限定されないが、化学繊維やガラス繊維を布状に織ったものが好適に用いられ、例えば、ゴム製の板状本体61の内部に、化学繊維を布状に織った繊維層62を1層もしくは複数層設けて一体化したり(図14参照)、ゴム製の板状本体61の表裏両面の少なくとも一方に上記繊維層62を1層もしくは複数層設けて一体化したり(図15参照)することが行われる。
上記金属板24a,27aとしては、特に限定されないが、ステンレス板が防錆の点から好適に用いられ、厚みは特に限定されないが、0.1〜10mmの範囲内が好ましく、さらに好ましくは1〜5mmの範囲内である。
上記のフッ素系ゴムとしては、フッ化ビニリデン系ゴム、含フッ素シリコーンゴム、テトラフルオロエチレン系ゴム、含フッ素ビニルエーテル系ゴム、含フッ素フォスフォニトリル系ゴム、含フッ素アクリレート系ゴム、含フッ素ニトロソメタン系ゴム、含フッ素ポリエステルゴム、含フッ素トリアジンゴム等があげられ、市販品としては例えば、金陽社製「キンヨーボード」シリーズ、クレハエラストマー社製「フッソゴムシートFB」シリーズ、ダイキン工業社製「ダイエル」シリーズ、デュポン社製「ビトン」シリーズ、ダウコーニング社製「シラステック」シリーズ、モンテディソン社製「テクノフロン」シリーズ、3M社製「フルオレル」シリーズ、「ケル−F」シリーズ等があげられる。
また、上記繊維層の繊維の素材としては、ガラス繊維や、ポリエステルやその他の極性硬質素材、ポリエチレン等の非極性硬質素材、ポリエステル系およびナイロン系等の極性軟質素材、オレフィン系等の無極性軟質素材等がゴム材料との接着が容易である点から好ましく、ポリエステルやナイロンが強度および耐熱性に優れている点から好ましい。特に好ましいのは、ゴム材料として耐熱性フッ素ゴムを用い、内部に耐熱性ナイロン製の布(耐熱性ナイロンを布状に織って作製した繊維層)を設けたものであり、非常に強度および耐熱性に優れている。市販品としては、例えば金陽社製「キンヨーボード」シリーズ、中でも「F−200」が好ましい。
上下両弾性プレス板24,27の硬度については、ショアーA硬度が40度以上に設定されていることが好ましい。すなわち、上下両弾性プレス板24,27には、相反する強い引き裂き強度と高い剥離性とが求められており、上記硬度は、引き裂き強度と剥離性とに大きく影響するものである。上記ショアーA硬度が40度以上であると、上下両弾性プレス板24,27は良く伸張して引き裂かれにくいと同時に、加圧ラミネーションに耐える強い引き裂き強度を獲得することができる。一方、剥離性に関しては、充分な剥離性が得られ、積層体9が上下両弾性プレス板24,27から剥がれやすくなる。これら上下両弾性プレス板24,27の好ましい硬度は50度以上であり、さらには60度以上である。なお、本発明において、ショアーA硬度とはJIS Z2246(2000)に準処して測定されるものである。
また、上下両弾性プレス板24,27の厚みは0.1〜10mmの範囲内のものが好ましく、さらには0.5〜3mmの範囲内のものが好ましい。上記厚みが薄すぎると、繊維層の織り目が上下両弾性プレス板24,27の表面に現れてフィルム状樹脂層8cの表面に繊維層の織り目が転写してしまう傾向があり、厚すぎると、上側熱盤23,下側熱盤26からフィルム状樹脂層8cへの熱伝導が悪くなり、上側熱盤23,下側熱盤26の温度分布が不均一となる傾向がある。また、上下両弾性プレス板24,27の表面は粗面化されていることが好ましく、その表面粗さRzは1μm以上のものが好ましく、さらには20〜400μmの範囲内のものが好ましく、さらに20〜60μmの範囲内のものがもっとも好ましい。上記表面粗さRzが大きければ大きいほど、加熱加圧後に上下両弾性プレス板24,27がフィルム状樹脂層8cもしくは上下両搬送フィルム5,6から離間しやすいが、上下両弾性プレス板24,27の表面粗さがフィルム状樹脂層8cの表面に転写して積層体9の表面鏡面性が損なわれる傾向があり、小さすぎると、フィルム状樹脂層8cもしくは上下両搬送フィルム5,6との密着性が良くなりすぎ、加熱加圧後に上下両弾性プレス板24,27がフィルム状樹脂層8cから剥がれにくくなる傾向がある。なお、本発明において、表面粗さRzとはJIS B0601(2001)に準処して測定されるものである。
図19は本発明の積層装置の他の参考の形態を示している。この参考の形態では、上記実施の形態および参考の形態のように、仮積層体7を搬入コンベア13により1個ずつ上下両搬送フィルム5,6間に搬入して真空積層装置2に供給するのではない。それに代えて、帯状基板10cを用い、それに伴い、上側帯状フィルム状樹脂材10a,下側帯状フィルム状樹脂材10bを用いるとともに、これらを巻回した各巻回ロール11a〜11c(図20参照)と、これら各巻回ロール11a〜11cから引き出した上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bおよび帯状基板10cを真空積層装置2に導入して得られた帯状積層体9a(帯状基板10cの表面に上側帯状フィルム状樹脂材10aが、裏面に下側帯状フィルム状樹脂材10bがそれぞれ積層されたもの)を巻き取る積層体巻き取りロール14aを設けている。これにより、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bおよび帯状基板10cを真空積層装置2,平面プレス装置3に連続的に供給するようにしている。
この参考の積層装置は、フィルム等巻き出し部1a,真空積層装置2,平面プレス装置3およびフィルム等巻き取り部4aで構成されており、真空積層装置2,平面プレス装置3は上記実施の形態および参考の形態と同様の構造であり、同様に機能する。なお、この参考の形態では、仮積層体7を用いていないため、オートシートカットラミネータおよび搬入コンベア13を使用していない。
上記フィルム等巻き出し部1aは、上記実施の形態および参考の形態(の搬送フィルム巻回部1)と同様に、上側搬送フィルム巻回ロール11および下側搬送フィルム巻回ロール12を備えているだけでなく、これら上下両搬送フィルム巻回ロール11,12に加えて、上側帯状フィルム状樹脂材10aが巻回された上側樹脂材巻回ロール11aと、下側帯状フィルム状樹脂材10bが巻回され上側樹脂材巻回ロール11aより下側に(上側樹脂材巻回ロール11aと相対峙して)配設された下側樹脂材巻回ロール11bと、帯状基板10cが巻回された帯状基板巻回ロール11cとを備えている。また、この積層装置は、上側樹脂材巻回ロール11aから引き出された上側帯状フィルム状樹脂材10aを上記真空プレス装置2の両熱盤23,26間に案内する第1案内ロール12aと、(この第1案内ロール12aより下側にこの第1案内ロール12aと相対峙して配設され)下側樹脂材巻回ロール11bから引き出された下側帯状フィルム状樹脂材10bを上側帯状フィルム状樹脂材10aと相対向する状態で上記両熱盤23,26間に案内する第2案内ロール12bとを備えている。また、この積層装置は、帯状基板巻回ロール11cから引出された帯状基板10cを上記上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bの間に位置決めして上記両熱盤23,26間に案内する第3案内ロール12cを備えている。そして、この積層装置は、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bおよび帯状基板10cを上記両熱盤23,26間に導入し、上記両熱盤23,26を作動させて形成した帯状積層体9aを巻き取る積層体巻き取りロール14aを備えている。
ここで、上記フィルム等巻き出し部1aからは、図19から明らかなように、各巻回ロール11,12,11a〜11cから引き出される上下両搬送フィルム5,6、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bおよび帯状基板10cが、上側から下側に向かって上側搬送フィルム5,上側帯状フィルム状樹脂材10a,帯状基板10c,下側帯状フィルム状樹脂材10b,下側搬送フィルム6の順に並んだ状態で送り出される。このため、上下搬送フィルム巻回ロール11,12より基板の流れ方向(図19の矢印参照)の上流側(図19では、右側)に上下両樹脂材巻回ロール11a,11bを配置して上下両搬送フィルム5,6間に上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bを位置決めするようにし、さらに上下両樹脂材巻回ロール11a,11bより上記流れ方向の上流側(図19では、右側)に帯状基板巻回ロール11cを配置して上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10b間に帯状基板10cを位置決めするようにしている。なお、上下両樹脂材巻回ロール11a,11bを上下搬送フィルム巻回ロール11,12より基板の流れ方向(図19の矢印参照)の下流側に設けてもよい。
また、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bの樹脂面(帯状基板10cに相対向する面)がカバーフィルム(図示せず)で保護され、使用に際してカバーフィルムを剥がす必要がある場合には、上下両樹脂材巻回ロール11a,11bの近傍に、カバーフィルムを巻き取るための巻き取りロール(図示せず)を設ける。この巻き取りロールの駆動手段は特に限定されず、専用のモーター等の駆動手段を設けてもよいし、巻き取りロール外周と上下両樹脂材巻回ロール11a,11bの外周を接触させて上下両樹脂材巻回ロール11a,11bの回転を巻き取りロールに伝達して巻き取るようにしてもよい。
上記上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bとしては、上記実施の形態および参考の形態で用いたフィルム状樹脂材8bと全く同じ物(上記実施の形態および参考の形態では、短冊シート状に形成されているが、この参考の形態では、長尺に形成されている)が使用可能であり、巻き芯(図示せず)に巻かれた帯状フィルム状樹脂材8bを用いることができる。また、上記帯状基板10cとしては、ロール状にして帯状基板巻回ロール11cに取り付け可能で、かつ積層体巻き取りロール14aに巻き取り可能な程度に柔軟性を有するものが用いられ、例えば、フレキシブル性を有する複数の基材8aがフレキシブル性を有するフィルムで連結されたものや、フレキシブル性を有する長尺のベースフィルムに回路配線等が複数箇所に形成されたもの(回路配線等が形成された部分が、基材8aとなる)を用いてもよい。帯状基板10cの厚みや長さは、特に限定されないが、厚みは0.02〜2mmの範囲内のものが好ましく、長さは10〜1000mの範囲内のものが好ましい。また、上記上下両搬送フィルム5,6は、上記実施の形態および参考の形態で用いた搬送フィルムと同一の物が使用可能である。このような上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10b、帯状基板10cおよび上下両搬送フィルム5,6は、0.5〜150kNの範囲内で張力を付与された状態で走行させられ、搬送速度は、通常1〜20m/分の範囲内に設定される。
上記フィルム等巻き取り部4aは、上記実施の形態および参考の形態(の搬送フィルム巻き取り部4)と同様に、上側巻き取りロール14,下側巻き取りロール15,第1駆動手段および第2駆動手段を備えているだけでなく、これらに加えて、真空積層装置2および平面プレス装置3を経由して作製された帯状積層体9a(複数の柔軟な積層体9が一連につながれたもの)を巻き取る積層体巻き取りロール14aを備えている。この積層体巻き取りロール14aは、上下両巻き取りロール14,15より上記流れ方向の下流側(図19では、左側)に配置されており、上下両搬送フィルム5,6間に帯状積層体9aが位置決めされるようにしている。また、このフィルム等巻き取り部4aは、積層体巻き取りロール14aを上記上下両巻き取りロール14,15と同期して間欠的に巻き取り駆動する積層体駆動手段14c(図21参照)を備えている。なお、この参考の形態では、排出コンベアは配設されていない。
上記上側搬送フィルム巻回ロール11から巻き出された上側搬送フィルム5は、真空積層装置2および平面プレス装置3を通ったのちフィルム等巻き取り部4aの上側巻き取りロール14に巻き取られ、下側搬送フィルム巻回ロール12から巻き出された下側搬送フィルム6も同様に、真空積層装置2および平面プレス装置3を通ったのちフィルム等巻き取り部4aの下側巻き取りロール15に巻き取られる。また、各巻回ロール11a〜11cから巻き出された上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bおよび帯状基板10cは、各案内ロール12a〜12cを経由して真空積層装置2,平面プレス装置3に導入され、一体の帯状積層体9aとなって積層体巻き取りロール14aに巻き取られる。
なお、真空積層装置2では、上下両搬送フィルム5,6、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bおよび帯状基板10cが真空状態で加熱加圧され、上下両搬送フィルム5,6間で、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bと帯状基板10cとが積層された帯状積層体9aが形成される。また、平面プレス装置3では、真空積層装置2から搬送されてきた上下両搬送フィルム5,6、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bおよび帯状基板10cが加熱加圧され、上下両搬送フィルム5,6間で上記帯状積層体9aの表裏両面が平滑にされる。
この参考の形態では、得られる帯状積層体9aには、1個の基材8aとこれに積層される上下両フィルム状樹脂材8bとで構成される1個の製品が、長手方向に連続して形成されている。したがって、帯状積層体9aは、後工程において、1個の製品ごとに切断される。1個の製品を効率よく得るためには、製品間の距離が短いほうが好ましい。この参考の形態では、真空積層装置2と平面プレス装置3との間に距離があるため、この距離分に相当する帯状積層体9aのスペースには、製品を形成することができない。それを解消するため、図22に示すように、上記両装置2,3間に段差ロール15aを設け、この段差ロール15aにより、真空積層装置2の熱盤23,26の作動の1サイクルに相当する距離分の帯状積層体9aを撓ませて保持させると、隣り合う製品間の距離を短くすることができる。これにより、真空積層装置2と平面プレス装置3との間の距離にもとづく無駄が解消される。また、真空積層装置2と平面プレス装置3とを所定の間隔(上記熱盤23,26の作動の1サイクルに相当する距離)をあけて設置してもよい。
上記のように、この参考の形態では、上記実施の形態および参考の形態と同様の作用・効果を奏する。しかも、上記実施の形態および参考の形態では、高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備が必要であるのに対し、この参考の形態では、高価な付帯設備が不要である利点を有している。しかも、基材8aの絶縁層(ベースフィルム)の厚みが100μm以下の場合に、絶縁層を短冊シート状にカットすると反ってカールしたり、あるいは強度が不足するため、仮積層体7の形成や搬送が困難になるが、この参考の形態では、帯状にして張力を付与した状態で帯状基板10cを取り扱うことにより上記絶縁層の厚みが100μm以下の場合にも、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bおよび帯状基板10cを積層し平滑化することが可能となる。
図23は本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示している。この参考の形態では、図19に示す参考の形態において、上下両搬送フィルム巻回ロール11,12、上下両巻き取りロール14,15および両駆動手段を備えていない。それ以外の部分は、図19に示す参考の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この参考の形態でも、図19に示す参考の形態と同様の作用・効果を奏する。
図24は本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示している。この参考の形態では、図19に示す参考の形態において、帯状積層体9aを巻き取る積層体巻き取りロール14aを備えていない。また、帯状積層体9aの駆動手段14cを図24に示す位置に設けている。それ以外の部分は、図19に示す参考の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この参考の形態でも、図19に示す参考の形態と同様の作用・効果を奏する。また、この参考の形態においては、本発明の積層装置から引き出された帯状積層体9aは、1個の基材8aとこれに積層される上下両フィルム状樹脂材8bとで構成される1個の製品が、長手方向に連続して形成されており、帯状積層体9aは、本発明の積層装置に隣接して配置された切断装置(図示せず)により1個の製品ごとに切断される。なお、図示しないが切断装置を帯状積層体9aの駆動手段14cの下流の本発明の積層装置内に配置してもよい。
図25は本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示している。この参考の形態では、図19に示す参考の形態において、帯状積層体9aを巻き取る積層体巻き取りロール14aを備えていない。また、帯状積層体9aの駆動手段14cを図25に示す位置に設け、さらに上下両搬送フィルム巻回ロール11,12、上下両巻き取りロール14,15および両駆動手段を備えていない。それ以外の部分は、図19に示す参考の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この参考の形態でも、図19に示す参考の形態と同様の作用・効果を奏する。この参考の形態は、本発明の積層装置により上側帯状フィルム状樹脂材10a,下側帯状フィルム状樹脂材10bが加熱・加圧された際に、これら両帯状フィルム状樹脂材10a,10bの端部から樹脂が溶けて滲み出し本発明の積層装置に付着しない場合に用いられる。具体的には、感光性ポリイミドフィルム等に対して好適に用いられる。
図26は本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示している。この参考の形態では、図19に示す参考の形態において、帯状基板10cの代わりに、基材(枚葉基板)8aを用い、真空積層装置2に供給する構成である。それに伴い、図19に示す巻回ロール11cに代えて搬入コンベア13を備えることにより、基材(枚葉基板)8aを搬入コンベア13で1個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10b間に搬入して真空積層装置2に供給することができる。それ以外の部分は、図19に示す参考の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この参考の形態でも、図19に示す参考の形態と同様の作用・効果を奏する。しかも、この参考の形態では、基材(枚葉基板)8aに対して高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備を用いずに、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bを積層することができる。
図27は本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示している。この参考の形態では、図19に示す参考の形態において、帯状積層体9aを巻き取る積層体巻き取りロール14aを備えていない。また、帯状積層体9aの駆動手段14cは図27に示す位置に設け、さらに帯状基板10cの代わりに基材(枚葉基板)8aを用い、真空積層装置2に供給する構成である。それに伴い、図19に示す巻回ロール11cに代えて搬入コンベア13を備えることにより、基材8aを搬入コンベア13で1個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10b間に搬入して真空積層装置2に供給することができる。それ以外の部分は、図19に示す参考の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この参考の形態でも、図19に示す参考の形態と同様の作用・効果を奏する。この参考の形態では、基材8aに対して高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備を用いずに上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bを積層することができる。さらに、本発明の積層装置から引き出された帯状積層体9aは、1個の基材(枚葉基板)8aとこれに積層される上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bとで構成され、長手方向に連続した帯状積層体9aは、本発明の積層装置に隣接して配置された切断装置(図示せず)により1個の製品ごとに切断される。また、図示しないが切断装置を帯状積層体9aの駆動手段14cの下流の本発明の積層装置内に配置してもよい。
図28は本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示している。この参考の形態では、図19に示す参考の形態において、帯状基板10cの代わりに基材(枚葉基板)8aを用い、真空積層装置2に供給する構成である。それに伴い、図19に示す巻回ロール11cに代えて搬入コンベア13を備えることにより、基材(枚葉基板)8aを搬入コンベア13で1個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10b間に搬入して真空積層装置2に供給することができる。さらに、図19に対して上下両搬送フィルム巻回ロール11,12、上下両巻き取りロール14,15および両駆動手段を備えていない。それ以外の部分は、図19に示す参考の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この参考の形態でも、図19に示す参考の形態と同様の作用・効果を奏する。しかも、この参考の形態では、基材(枚葉基板)8aに対して高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備を用いずに、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bを積層することができる。さらに、この参考の形態では、本発明の積層装置により上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bが加熱・加圧された際に、これら両帯状フィルム状樹脂材10a,10bの端部から樹脂が溶けて滲み出し本発明の積層装置に付着しない場合に用いられる。具体的には、感光性ポリイミドフィルム等に対して好適に用いられる。
図29は本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示している。この参考の形態では、図19に示す参考の形態において、帯状積層体9aを巻き取る積層体巻き取りロール14aを備えていない。また、帯状積層体9aの駆動手段14cは図29に示す位置に設け、さらに帯状基板10cの代わりに基材(枚葉基板)8aを用い、真空積層装置2に供給する構成である。それに伴い、図19に示す巻回ロール11cに代えて搬入コンベア13を備えることにより、基材(枚葉基板)8aを搬入コンベア13で1個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10b間に搬入して真空積層装置2に供給することができる。さらに、図19に対して上下両搬送フィルム巻回ロール11,12、上下両巻き取りロール14,15および両駆動手段を備えていない。それ以外の部分は、図19に示す参考の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この参考の形態でも、図19に示す参考の形態と同様の作用・効果を奏する。しかも、この参考の形態では、基材(枚葉基板)8aに対して高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備を用いずに上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bを積層することができる。さらに、本発明の積層装置から引き出された帯状積層体9aは、1個の基材(枚葉基板)8aとこれに積層される上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bとで構成され、長手方向に間欠的に形成された帯状積層体9aは、本発明の積層装置に隣接して配置された切断装置(図示せず)により1個の製品ごとに切断される。また、図示しないが切断装置を帯状積層体9aの駆動手段14cの下流の本発明の積層装置内に配置してもよい。さらに、この参考の形態は、本発明の積層装置により上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bが加熱・加圧された際に、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bの端部から樹脂が溶けて滲み出し本発明の積層装置に付着しない場合に用いられる。具体的には、感光性ポリイミドフィルム等に対して好適に用いられる。
なお、図1では、真空積層装置2および平面プレス装置3を併設した連続積層装置になっているが、これに限定するものではなく、真空積層装置2および平面プレス装置3を独立して使用してもよい。また、図1では、仮積層体7,積層体9の搬送やフィルム状樹脂材8b,フィルム状樹脂層8cからのしみだしを取り除くために上下両搬送フィルム5,6を併用しているが、このような上下両搬送フィルム5,6の張力および搬送速度を制御調節するために、搬送フィルム巻き出し部1が真空積層装置2の仮積層体7の搬入口付近に、搬送フィルム巻き取り部4が平面プレス装置3の積層体9の搬出口付近にそれぞれ配置されている。また,図19,図24,図26および図27では、帯状積層体9aからの樹脂のしみだしを取り除くために上下両搬送フィルム5,6を併用しているが、このような上下両搬送フィルム5,6の張力および搬送速度を制御調節するために、フィルム等巻き出し部1aが真空積層装置2のフィルム入口付近に、フィルム等巻き取り部4aが平面プレス装置3のフィルム出口付近にそれぞれ配置されている。
また、上記真空積層装置2および平面プレス装置3において、上部プレート20,上プレスブロック41が上下移動可能で、下部プレート21,下プレスブロック42が固定されたものを用いてもよいが、上部プレート20,上プレスブロック41の昇降機構より発生する異物塵埃の点から、図1,図19および図24〜図29の構成が好ましい。
また、図1,図19,図24,図26および図27では、真空積層装置2および平面プレス装置3で処理する際にいずれも上下両搬送フィルム5,6を用いる場合を示しているが、これら上下両搬送フィルム5,6を真空積層装置2で処理する際にだけ用いたり、平面プレス装置3で処理する際にだけ用いてもよい。また、真空積層装置2および平面プレス装置3にそれぞれ別々に上下両搬送フィルム5,6が設置されていてもよい。
図30は上記各実施の形態および参考の形態で用いた真空積層装置2の変形例を示している。この例では、上記真空積層装置2に可動真空枠30を設けておらず、上部プレート20の下面に略四角形枠状の上側固定枠部63が気密状に固定され、下部プレート21に略四角形枠状の下側固定枠部64が固定されている。また、この例では、上側固定枠部63に真空引き用ノズル33が固定されておらず、下部プレート21に下側固定枠部64に沿って真空引き用貫通穴65を設け、この真空引き用貫通穴65を介して空間部34内の空気を真空引きするようにしている。
また、この例では、下部プレート21を昇降自在に支受する油圧シリンダもしくはエアーシリンダ66と、下側熱盤26に下側断熱材25を介して固定された支受板67を昇降自在に支受する油圧シリンダもしくはエアーシリンダ68とを設け、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ66で下部プレート21を上下移動させ、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ68で下側熱盤26を上下移動させるようにしている。図において、69は上記下側固定枠部64の上面に固定された環状のシール部材であり、真空積層時に空間部34内を気密状に保持する作用をする。それ以外の部分は上記各実施の形態および参考の形態で用いた真空積層装置2と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この例の真空積層装置2を用いた場合にも、上記各実施の形態および参考の形態の積層装置と同様の作用・効果を奏する。
なお、前記の両積層装置を用い、本発明の積層方法を行うに先立って微粘着ロールや超音波クリーナー等のクリーナー装置を配置し、これらにより基板8aの表面や上下両搬送フィルム5,6の表面をクリーニングしてもよい。
また、真空積層装置2の前や平面プレス装置3の後には、搬入コンベア13,排出コンベア(図示せず)が配置され、搬入コンベア13により仮積層体7が上下両搬送フィルム5,6に供給され、排出コンベアにより、上下両搬送フィルム5,6から剥離した積層体9が排出されるが、これら両コンベア13に代えて回転ロール群やエンドレスベルトを用いてもよい。また、両コンベア13の素材は汚れにくく発塵しないものがよい。また、上記両コンベア13のサイズは、長さ0.3〜3mの範囲内で、好ましくは0.5〜1.5mであればよく、また、その搬送速度は通常1〜25m/分の範囲内である。
平面プレス装置3から積層体9が排出されるとき、後工程での押し跡(打痕跡)を防止するために、排出直後に室温程度に冷却固化されることが好ましく、このような冷却方法については特に限定されず、自然放熱により冷却してもよいが、平面プレス装置3の直後に冷却装置を設けてもよい。この冷却装置は工業的には、冷凍機、空気の断熱膨張を利用して得た冷気を利用する冷却ファンや冷風エアーナイフ、冷水を通管した冷却ロール等が用いられる。
この冷却に際して、上下両搬送フィルム5,6に挟持させた状態で積層体9を冷却するのがさらに好ましく、平面プレス装置3より搬送された積層体9を上下両搬送フィルム5,6に挟持したまま冷却し、冷却後に後側の排出コンベアに排出するのが好ましい。
排出コンベアの入口には、平面プレス装置3での加熱加圧処理後、積層体9と上下両搬送フィルム5,6とを剥がすための剥離ロール等の剥離装置、例えば跳ね上がり防止装置(図示せず)を設置すると好適である。平面プレス装置3の後に、圧締された積層体9を貯蔵するためのストッカーや、積層体9の表面平滑性の向上のためにさらに加圧装置等を適宜配置してもよい。なお、静電気対策のために上下両搬送フィルム5,6のフィルムラインや各所に除電バー等を設置してもよい。
また、図19において、上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10bおよび上下両樹脂材巻回ロール11a,11bに代えて、帯状基板巻回ロール11cをオートシートカットラミネータ上流に配置して帯状基板巻回ロール11cから引き出した帯状基板10cをオートシートカットラミネータに挿通し短冊シート状にカットされたフィルム状樹脂材8bを帯状基板10cに仮止めして真空積層装置2に供給してもよいし、帯状基板10cおよび帯状基板巻回ロール11cに代えて、図26,図27に示すように、基材8aを搬入コンベア13により1個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10b間に搬入して真空積層装置2に供給してもよい。また、図30において、帯状基板10cおよび帯状基板巻回ロール11cに代えて、図28,図29に示すように、基材(枚葉基板)8aを搬入コンベア13により1個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材10a,10b間に搬入して真空積層装置2に供給してもよい。
本発明は、プリント基板以外の他用途、例えばLCD基板の上に粘着剤付き偏光板や粘着剤付き位相差板を張り合わすとき、タブテープに各種基材を貼り合わすとき、各種電子基板にダイシングテープ等やホットメルト樹脂の付着したフィルム、例えばICカード等を貼り合わすときにも、有効な装置や方法である。さらに、本発明の真空プレス装置を用いることにより、凹凸を有する基材にフィルム状樹脂材を密着追従させると同時に、基材の凹凸に由来するフィルム状樹脂材の表面の凹凸を平坦化することが可能であり、本発明の真空プレス装置で積層した製品をさらに平面プレス装置で平滑化する用途においては、フィルム状樹脂材の表面が上記のとおり平坦化されるために平面プレス時間が短縮されると同時に、フィルム状樹脂材周囲からの樹脂の滲み出しが抑制されてフィルム状樹脂材周辺部の樹脂厚均一性が改善される。
以下、実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
〔実施例1〕
図1に示す真空積層装置2および平面プレス装置3を用いた。ただし、上下弾性プレス板24,27は図8に示す構成のものを用いた。真空積層装置2の上下両プレート20,21の熱盤23,26により空間部34を予め110℃に調整しておいた。まず、エポキシ樹脂からなる熱硬化性樹脂組成物(ガラス転移温度80℃)とポリエチレンテレフタレート支持フィルムとからなるフィルム状樹脂材8bを、表裏両面に凹凸を有する基板8aの表裏両面に配設し、両フィルム状樹脂材8b(樹脂層の厚み38μm)の樹脂面が上記基板8aの凹凸面(凹凸の厚み18μm、凹凸の間隔20μm)に接するようにオートシートカットラミネータにより仮止めして仮積層体7を用意した。
つぎに、ポリエチレンテレフタレートフィルムからなる上下両搬送フィルム5,6(厚み38μm、表面粗さ0.5μm)で上記仮積層体7を真空積層装置2内の圧締位置に搬送したのち、下部プレート21を上昇させ、上部プレート20と密封契合したのち、減圧操作に入った。
真空引き用ノズル33から空気を真空ポンプ(図示せず)で吸引して吸引開始30秒の後の空間部34を100Paとし、厚み2mm,サイズ(縦×横)63cm×63cmの上下両弾性プレス板24,27で仮積層体7を1MPaの圧力で20秒間加圧した。上下両弾性プレス板24,27として、ショアーA硬度60度、厚み4mm,表面粗さRz3μmの含フッ素シリコーンゴムを平面度3μmのステンレス板(SUS630H,厚み2mm)の片面に加硫接着し、含フッ素シリコーンゴムを加硫接着していない側の面に、金陽社製「キンヨーボードF200」を緩衝材〔サイズ(縦×横)63cm×63cm〕として上下両熱盤23,26に固定して用い、上下両熱盤23,26の内部にそれぞれシースヒーター23a,26aを9本内蔵した。
つぎに、空間部34を大気圧に戻し、下部プレート21を下降させて、圧締された仮積層体7(すなわち、積層体9)を上下両搬送フィルム5,6により真空積層装置2から排出して平面プレス装置3に搬送した。
つぎに、平面プレス装置3により積層体9のプレスを行った。上下両フレキシブル金属板49,53として、プレス面の平面度が3μmのステンレス板(SUS630H,厚み3mm)を用い、上下両緩衝材48,52として、フッ化ビニリデン系ゴム(フッ化ビニリデン,六フッ化プロピレン,四フッ化エチレンの共重合体)を♯1500のサンドペーパーで表面処理して、厚み2.5mm,表面粗さRz15μm,ショアーA硬度70度に調整したものを用いた。また、上下両熱盤47,51の内部にシースヒーター47a,51aを9本内蔵し、下部プレート45として、厚み80mmの鉄製のものを用いた。
まず、平面プレス装置3の上下両プレート44,45の熱盤47,51を120℃に調整し、下部プレート45を上昇させ、上下両フレキシブル金属板49,53で積層体9を1.5MPaの圧力で50秒間加熱プレスした。
この条件で基材8aを真空積層装置2の熱盤23,26の中央部に置き30万回運転後に、上記条件で得られた積層体9について追従性,膜厚均一性,表面鏡面性,しわの発生の評価を以下の要領で行った。
[追従性]
積層体9の表面を観察し、基板8aの凹凸に沿ってフィルム状樹脂層8cが積層されているかどうか250倍顕微鏡で観察した。
○……凹凸に沿ってフィルム状樹脂層8cが充填されており、マイクロボイドもなく追従している。
×……凹凸に沿ってフィルム状樹脂層8cが充填されていない、または、マイクロボイドがある。
[膜厚均一性]
積層体9をクロスセクション法で、垂直切断面を電子顕微鏡にて観察して、基板8aの凸面上に積層される樹脂層の厚みを測定し、それぞれの厚みの差を以下のように評価した。
○……0.5μm未満
×……0.5μmを超える
[表面鏡面性]
積層体9のフィルム状樹脂層8c面を斜め45度の角度で基板8aに当たった蛍光灯の反射光を目視で観察し、以下のように評価した。
○……鏡面に近い状態である
×……鏡面にはならず
[しわの発生]
積層体9の表面を観察し、フィルム状樹脂層8cの表面にしわが発生していないかどうか観察した。
○……しわは発生していない
×……しわが発生した
〔実施例
実施例の条件で用いた両フィルム状樹脂材8bの樹脂層の厚み68μm、基材8aの凹凸の厚み50μm、凹凸の間隔50μmである以外は実施例と同じ条件で積層体9を形成し、追従性,膜厚均一性,表面鏡面性,しわの発生を同様に評価した。
〔比較例1〕
図1に示す真空積層装置2,平面プレス装置3に代えて、1台の平面プレス装置3を用いて積層体9を形成し、追従性,膜厚均一性,表面鏡面性,しわの発生を同様に評価した。
〔比較例2〕
真空積層装置2の上下両弾性プレス板24,27として、繊維層を含まないショアーA硬度60度、厚み4mm,表面粗さRz3μmの含フッ素シリコーンゴムを使用した以外は、実施例と同じ条件で積層体9を形成し、追従性,膜厚均一性,表面鏡面性,しわの発生を同様に評価した。
実施例1,2および比較例1,2の評価結果を下記の表1に示す。
上記の表1により、追従性,膜厚均一性,表面鏡面性およびしわの発生において、実施例1および2のほうが比較例1より優れていることが判る。
本発明の積層装置の参考の形態を示す構成図である。 仮積層体の断面図である。 積層体の断面図である。 搬送フィルム巻回部を示す構成図である。 搬送フィルム巻き取り部を示す構成図である。 真空積層装置を示す構成図である。 上記真空積層装置の要部を示す構成図である。 本発明の積層装置の一実施の形態における真空積層装置を示す構成図である。 上記真空積層装置の可動真空枠の作用を示す断面図である。 上記真空積層装置の可動真空枠の作用を示す断面図である。 上記真空積層装置の可動真空枠の作用を示す断面図である。 平面プレス装置を示す構成図である。 積層体の断面図である。 弾性プレス板の一例を示す断面図である。 弾性プレス板の他の例を示す断面図である。 上記真空積層装置の作用を示す構成図である。 上記真空積層装置の作用を示す構成図である。 上記真空積層装置の作用を示す構成図である。 本発明の積層装置の他の参考の形態を示す構成図である。 フィルム等巻き出し部を示す構成図である。 フィルム等巻き取り部を示す構成図である。 段差ロールの説明図である。 本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示す構成図である。 本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示す構成図である。 本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示す構成図である。 本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示す構成図である。 本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示す構成図である。 本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示す構成図である。 本発明の積層装置のさらに他の参考の形態を示す構成図である。 上記真空積層装置の変形例を示す構成図である。 従来例を示す側面図である。 他の従来例を示す構成図である。
2 真空積層装置
8a 基材
9 積層体
23,26 熱盤
24,27 弾性プレス板

Claims (13)

  1. 相対向する一対の加熱手段付き熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である真空プレス装置を備え、この真空プレス装置により、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成する積層装置であって、上記フィルム状樹脂材に相対向する熱盤の、上記フィルム状樹脂材側の面に、緩衝材を介して板状体を設け、この板状体にフィルム状樹脂材を加圧する弾性プレス板を接着固定したことを特徴とする積層装置。
  2. 上記弾性プレス板が、耐熱性シリコーンゴムもしくは耐熱性フッ素ゴムからなる請求項1記載の積層装置。
  3. 上記弾性プレス板が繊維層を有する請求項1または2記載の積層装置。
  4. 上記弾性プレス板のショアーA硬度が40度以上である請求項1〜3のいずれか一項に記載の積層装置。
  5. 上記弾性プレス板の、フィルム状樹脂材に接する表面が粗面化されている請求項1〜4のいずれか一項に記載の積層装置。
  6. 第1帯状フィルムが巻回された第1フィルム巻回ロールと、この第1フィルム巻回ロールと相対峙して設けられ第2帯状フィルムが巻回された第2フィルム巻回ロールと、上記第1および第2フィルム巻回ロールに巻回された第1および第2の帯状フィルムを相対向状態で引出して上記真空プレス装置の両熱盤間を通過させ巻き取る第1および第2のフィルム巻き取りロールと、上記両フィルム巻回ロールから引き出された両帯状フィルム間に形成される隙間に,基材の少なくとも片面にフィルム状樹脂材が仮止めされた仮積層体を供給する供給手段を備えている請求項1〜のいずれか一項に記載の積層装置。
  7. 第1および第2のフィルム巻き取りロールを、両熱盤の一回ごとの作動に合わせて間欠駆動する巻き取りロール駆動手段を備えている請求項記載の積層装置。
  8. フィルム状樹脂材を帯状にしてなる第1の帯状フィルム状樹脂材が巻回された第1樹脂材巻回ロールと、この第1樹脂材巻回ロールと相対峙して設けられフィルム状樹脂材を帯状にしてなる第2の帯状フィルム状樹脂材が巻回された第2樹脂材巻回ロールと、上記両樹脂材巻回ロールから引き出された両帯状フィルム状樹脂材間に形成される隙間に基材を供給する供給手段を備え、上記第1および第2樹脂材巻回ロールから引き出された第1および第2の帯状フィルム状樹脂材を相対向状態で上記真空プレス装置の両熱盤間に案内する第1および第2の案内手段と、上記基材を間に挟んだ第1および第2の帯状フィルム状樹脂材を上記両熱盤間に導入しこの作動により基材の表裏両面に上記第1および第2の帯状フィルム状樹脂材を積層してなる帯状積層体を形成する真空プレス装置と、上記帯状積層体を引っ張る手段を備えている請求項1〜のいずれか一項に記載の積層装置。
  9. 基材が、枚葉基板もしくは帯状基板である請求項記載の積層装置。
  10. 上記帯状積層体を引っ張る手段を、両熱盤の一回ごとの作動に合わせて間欠駆動する手段を備えている請求項または記載の積層装置。
  11. 第1帯状フィルムが巻回された第1フィルム巻回ロールと、第2帯状フィルムが巻回された第2フィルム巻回ロールと、これらを案内する第1および第2の案内手段と、上記第1および第2の帯状フィルムを巻き取る巻き取りロールとをさらに設け、第1および第2の樹脂材巻回ロールから引き出され、基材を間に挟んだ第1および第2の帯状フィルム状樹脂材を、上記両フィルム巻回ロールから引き出された両帯状フィルムで挟んだ状態で帯状積層体を形成し、第1および第2の帯状フィルムを上記帯状積層体とは別個に巻き取るようにした請求項10のいずれか一項に記載の積層装置。
  12. 相対向する一対の熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である平面プレス装置を備え、この平面プレス装置の両熱盤で、上記真空プレス装置により形成された積層体の表裏両面を加圧して平滑にするように構成した請求項1〜11のいずれか一項に記載の積層装置。
  13. 請求項1〜12のいずれか一項に記載の積層装置を用い、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成することを特徴とする積層方法。
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