KR101265379B1 - 적층 장치와 이를 이용한 적층 방법 - Google Patents

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Abstract

서로 대향하는 한 쌍의 열반(23, 26)이 설치되고 이들 양 열반(23, 26) 중 적어도 한쪽이 다른쪽에 대하여 진퇴 가능한 진공 적층 장치(2)를 구비하고 있고, 그리고 상기 진공 적층 장치(2)에 의해 표리 양면 중 적어도 한쪽에 요철을 갖는 기재(8a)의 상기 요철면에 필름 형상 수지재를 적층하여 적층체(9)를 형성하는 적층 장치로서, 상기 필름 형상 수지재에 서로 대향하는 열반(23(26))의, 상기 필름 형상 수지재측의 면에, 필름 형상 수지재(8b)의 표면에 접촉되어 이를 가압하는 탄성 프레스판(24(27))을 설치하고 있으며, 이 때문에 기재(8a)의 요철의 간격이 미세해도 기재(8a)에 필름 형상 수지층을 밀착 추종시켜 기재(8a)와 필름 형상 수지층 사이에 기포가 잔존하지 않도록 할 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

적층 장치와 이를 이용한 적층 방법{LAMINATING APPARATUS AND METHOD OF LAMINATING THEREWITH}
본 발명은 프린트 회로 기재(基材) 등의 제조시에 사용되는 적층 장치 및 이를 이용한 적층 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프린트 회로 기재 등의 요철을 갖는 기재에 필름 형상 수지층을 밀착 추종시킴으로써 기재와 필름 형상 수지층 사이에 기포가 잔존하지 않도록 한, 빌드업 공법에 유용한 적층 장치와 이를 이용한 적층 방법에 관한 것이다.
최근 전자 기기의 소형화, 고성능화에 따라 프린트 회로 기재의 고밀도화, 다층화가 진행되고, MPU용 패키지 기판 등의 특수 용도로서 회로 기재의 두께가 두꺼운 제품도 증가하고 있다. 이와 같은 프린트 회로 기재의 다층화에서는 열경화형 수지 조성물 또는 감광성 수지 조성물을 전기 절연층으로서 사용하고, 미리 형성한 내층 회로 상에 상기 열경화형 수지 조성물 또는 감광성 수지 조성물을 도포하고, 또는 상기 열경화성 수지 조성물 또는 감광성 수지 조성물로 이루어진 필름 형상 수지층을 적층하도록 하고 있다. 또한, 상기 필름 형상 수지층의 한쪽면에는 통상 동박이나 지지체 필름(세퍼레이터 필름)이 적층되어 있고, 동박의 경우에는 그것을 하프에칭 또는 전면 에칭하고, 지지체 필름의 경우에는 그것을 박리하고, 계속해서 레이저 또는 자외선에 의한 펀칭을 하고, 다음에 구리 도금을 실시한 후, 다시 포토레지스트 필름을 사용하여 광에 의한 패터닝을 실시하여 회로로 형성하는 방법, 소위 빌드업 공법이 유효하게 사용된다.
상기 빌드업 공법에서는 요철을 갖는 기재 상에 필름 형상 수지층을 평탄하게 적층하는 기술이 중요하다. 이와 같은 기술로서는 다이어프램식 진공 적층 장치나 다이어프램식이 아닌 진공 적층 장치가 있다.
상기의 다이어프램식 진공 적층 장치로서는 도 31에 도시한 바와 같은 진공 프레스 장치가 있다. 이 진공 프레스 장치는, 진공 챔버(71)가, 지지 블럭(72)에 고정된 상측 하우징 부재(73)와 에어 실린더(74a)에 의해 승강 자유로운 하측 하우징 부재(75)로 구성되어 있고, 상기 상측 하우징 부재(73) 내에 상측 가압 블럭(76)이 배치되고, 상기 하측 하우징 부재(75) 내에 실린더 장치(74b)에 의해 승강 자유로운 하측 가압 블럭(77)이 배치되어 있다. 또한, 상기 상측 가압 블럭(76) 내에 히터 플레이트(78)가 수용되어 있고 또한 상기 히터 플레이트(78)의 가압면측이 다이어프램(79)으로 덮여 있고, 이에 의해 상기 상측 가압 블럭(76)의 내부 공간(다이어프램(79)으로 덮인 공간)이 밀폐 구조로 되고, 진공 상태로 하거나 가압 상태로 할 수 있도록 이루어져 있다. 또한, 동일하게 상기 하측 가압 블럭(77)내에도 히터 플레이트(80)가 수용되어 있고 또한 상기 히터 플레이트(80)의 가압면측이 다이어프램(81)으로 덮여 있고 이에 의해 상기 하측 가압 블럭(77)의 내부 공간(다이어프램(81)으로 덮인 공간)도 밀폐 구조로 되고, 진공 상태로 하거나 가압 상태로 할 수 있도록 이루어져 있다.
그리고, 기판(82)을 가열 가압할 때에는 기판(82)을 진공 챔버(71) 내의 중앙부에 위치시키고, 에어 실린더(74a)를 상승시켜 상측 하우징 부재(73)에 하측 하우징 부재(75)를 밀착시켜 형성되는 진공 챔버(71) 내를 감압하면서 히터 플레이트(78, 80)에 의해 기판(82) 표면에 유지된 필름 형상 재료를 가열하고, 그 상태에서 실린더 장치(74b)를 신장시켜 하측 가압 블럭(77)을 상승시켜, 기판(82)을 상하 양 가압 블럭(76, 77) 사이에 끼워 가압하고, 상기 가압시, 상하 양 가압 블럭(76, 77)의 내부 공간의 일방 또는 쌍방을 가압 상태로 하고, 다이어프램(79, 81) 중 일방 또는 쌍방에서 기판(82) 표면의 필름 형상 재료를 가압하도록 하고 있다(예를 들어, 일본 공개특허공보 2003-181697호 참조).
또한, 다이어프램식이 아닌 진공 적층 장치(비다이어프램식 진공 적층 장치)로서는 도 32에 도시한 바와 같은 적층 성형 장치가 제안되어 있다. 상기 적층 성형 장치는 진공 라미네이터(91)와 평탄화 프레스기(92)를 구비하고, 진공 라미네이터(91) 및 평탄화 프레스기(92)의 쌍방에 상하 한 쌍의 열반(93a, 93b, 94a, 94b)을 설치하고 있다. 그리고, 진공 라미네이터(91)에서는 진공 상태에서 적층재(95), 피적층재(96)를 양 열반(93a, 93b)에서 가열 가압하여 피적층재(96)를 적층재(95)에 적층하고 있고, 평탄화 프레스기(92)에서는 양 열반(94a, 94b)의 서로의 대향면에 완충재층을 통하여 탄성 변형 가능한 경면(鏡面)판(모두 도시하지 않음)을 설치하고, 적층재(95), 피적층재(96)를 양 경면판으로 가열 가압하여 적층재(95)의 표면을 평탄화하도록 하고 있다. 또한, 상기 진공 라미네이터(91)에서도 양 열반(93, 93b)의 서로의 대향면에 완충재층을 통하여 탄성 변형 가능한 거울면판(모두 도시하지 않음)을 설치하고, 진공 상태에서 적층재(95), 피적층재(96)를 양 거울면판으로 가열 가압하여 피적층재(96)를 적층재(95)에 적층하는 것도 개시되어 있다(예를 들어, 일본 공개특허공보 2002-120100호 참조).
(발명이 해결하고자 하는 과제)
그러나, 다이어프램식 진공 적층 장치에서는 다이어프램(79, 81)의 두께가 두꺼우므로(2~3㎜ 정도), 기판(82)의 요철의 간격이 미세(20㎛ 정도)하거나 요철이 깊은(40㎛ 이상) 경우에는, 기판(82)에 필름 형상 재료를 밀착 추종시키는 것이 어렵고, 기판(82)과 필름 형상 재료 사이에 기포가 잔존한다. 한편, 비다이어프램식 진공 적층 장치는 두께가 얇은 기재부터 두꺼운 기재까지 용이하게 강한 압력으로 가압할 수 있는 점에서 다이어프램식 진공 적층 장치보다 유리하지만, 상기 적층 성형 장치와 같이, 상하 한 쌍의 열반(93a, 93b)이나 거울면판으로 적층재(95), 피적층재(96)를 가압하므로, 다이어프램식 진공 적층 장치와 동일하게 피적층재(96)의 요철의 간격이 미세(20㎛ 정도)하거나 요철이 깊은(40㎛ 이상) 경우에는, 피적층재(96)에 적층재(95)를 밀착 추종시키기 어렵고, 피적층재(96)와 적층재(95) 사이에 기포가 잔존하는 경우가 있다.
본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 기재의 요철의 간격이 미세하거나 요철이 깊은 경우에도 기재에 필름 형상 수지층을 밀착 추종시켜 기재와 필름 형상 수지층 사이에 기포가 잔존하지 않도록 한 적층 장치와 이를 이용한 적층 방법의 제공을 그 목적으로 한다.
(과제를 해결하기 위한 수단)
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 서로 대향하는 한 쌍의 가열 수단이 부착된 열반(heat disc)이 설치되고, 이들 양 열반 중 적어도 한쪽이 다른쪽에 대해서 진퇴 가능한 진공 프레스 장치를 구비하고, 상기 진공 프레스 장치에 의해 표리 양면 중 적어도 한쪽에 요철을 갖는 기재의 상기 요철면에 필름 형상 수지재를 적층하여 적층체를 형성하는 적층 장치로서, 상기 필름 형상 수지재에 서로 대향하는 열반의, 상기 필름 형상 수지재측의 면에, 필름 형상 수지재를 가압하는 탄성 프레스판을 설치한 적층 장치를 제1 요지로 하고, 상기 적층 장치를 사용하여 표리 양면의 적어도 한쪽에 요철을 갖는 기재의 상기 요철면에 필름 형상 수지재를 적층하여 적층체를 형성하는 적층 방법을 제2 요지로 한다.
(발명의 효과)
즉, 본 발명의 적층 장치는 서로 대향하는 한 쌍의 가열 수단이 부착된 열반이 설치되고, 이들 양 열반 중 적어도 한쪽이 다른쪽에 대해 진퇴 가능한 진공 프레스 장치를 구비하고, 상기 진공 프레스 장치에 의해 표리 양면 중 적어도 한쪽에 요철을 갖는 기재의 상기 요철면에 필름 형상 수지재를 적층하여 적층체를 형성하는 적층 장치이다. 그리고, 상기 필름 형상 수지재에 서로 대향하는 열반의, 상기 필름 형상 수지재측의 면에, 필름 형상 수지재를 가압하는 탄성 프레스판을 설치하도록 하고 있다. 이와 같이, 본 발명의 적층 장치에서는 상기 탄성 프레스판을 사용하여 이것으로 필름 형상 수지재의 표면을 가압하고 있으므로, 상기 탄성 프레스판에 의해, 강한 압력으로 필름 형상 수지재의 표면을 가압할 수 있고, 상기 가압시 상기 탄성 프레스판의 탄성에 의해, 그 가압면(상기 필름 형상 수지재의 표면을 가압하는 면)을 기재의 요철면을 따라서 탄성 변형시킬 수 있다. 이 때문에, 기재의 요철의 간격이 미세하거나 요철이 깊은 경우라도, 상기 가압시에 필름 형상의 수지재를 기재에 밀착 추종시킬 수 있고, 상기 기재와 필름 형상 수지재 사이에 기포가 잔존하지 않는다. 한편, 본 발명의 적층 방법은 상기의 적층 장치를 사용한 방법이므로, 상기의 우수한 효과를 갖는다.
또한, 본 발명에서 상기 탄성 프레스판이 내열성 실리콘 고무 또는 내열성 불소 고무로 이루어진 경우에는 상기 탄성 프레스판이 내열성이 우수하고, 또한 상기 탄성 프레스판에 섬유층을 설치하거나 상기 탄성 프레스판을 스테인리스판 등의 판체에 가황 접착하여 사용함으로써, 상기 탄성 프레스판이 압축되었을 때 압축되는 가압 방향 및 상기 가압 방향에 대해서 직교하는 직교 방향으로의 상기 탄성 프레스판의 신장이 억제되고, 기재의 오목면 상의 필름 형상 수지재와 볼록면 상의 필름 형상 수지재에 대해서 균등하게 가압력이 전달되어 필름 형상 수지재의 기재로의 밀착 추종성이 개선됨과 동시에 강도적으로도 우수하고, 고온하에서 가압을 반복하여 실시해도, 상기 탄성 프레스판의 신장 변형을 억제할 수 있다.
또한, 본 발명에서 상기 탄성 프레스판이 섬유층을 갖는 경우에는 고온하에서 가압을 반복하여 실시해도, 상기 탄성 프레스판의 신장 변형을 억제할 수 있고, 기재에 대한 필름 형상 수지재의 추종성이나 밀착성에 우수하고, 상기 탄성 프레스판의 내구성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에서 상기 탄성 프레스판의 쇼어 A 경도가 40도 이상인 경우에는 상기 탄성 프레스판은 잘 신장하여 인장파열(引裂)되기 어려움과 동시에, 강한 인장파열 강도를 얻을 수 있고 한편 충분한 박리성도 얻을 수 있으며, 적층체가 탄성 프레스판으로부터 벗겨지기 쉬워진다. 또한, 박리성을 얻기 위해, 적층체와 접하는 탄성 프레스판의 표면에 엠보싱 가공 또는 화학적 이형 처리를 실시해도 좋다.
그리고, 본 발명에서 상기 탄성 프레스판의, 필름 형상 수지재에 접하는 표면이 조면화(粗面化)되어 있는 경우에는, 상기 탄성 프레스판에 의한 가압후, 상기 탄성 프레스판이 적층체 또는 후술하는 띠형상 필름을 사용하고 있는 경우에는 상기 띠형상 필름으로부터 벗겨지기 쉽다.
또한, 본 발명에서 상기 필름 형상 수지재에 서로 대향하는 열반과 탄성 프레스판 사이에 판 형상체를 설치하고, 상기 판 형상체와 탄성 프레스판을 접착 고정하고 있는 경우에는 고온하에서 가압을 반복하여 실시해도, 상기 판 형상체에 의해 탄성 프레스판의 신장 변형을 억제할 수 있고, 기재에 대한 필름 형상 수지재의 추종성이나 밀착성이 우수하고, 상기 탄성 프레스판의 내구성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에서 상기 열반과 상기 판 형상체 사이에 완충재를 설치하고 있는 경우에는 상기 열반, 판 형상체의 제작시의 크기 오차 등을 완충재의 완충 작용에 의해 흡수할 수 있고 상기 열반과 판 형상체의 부분 접촉 등을 없앨 수 있다.
또한, 본 발명에서 제1 띠형상 필름이 감긴 제1 필름 권선롤과, 상기 제1 필름 권선롤과 서로 대치하여 설치되고 제2 띠형상 필름이 권선된 제2 필름 권선 필름과, 상기 제1 및 제2 필름 권선롤에 권선된 제1 및 제2 띠형상 필름을 서로 대향 상태로 인출하여 상기 진공 프레스 장치의 양 열반 사이를 통과시켜 감는 제1 및 제2 필름 권취(卷取)롤과, 상기 양 필름 권선롤로부터 인출된 양 띠형상 필름 사이에 형성된 간극에, 기재의 적어도 한쪽면에 필름 형상 수지재가 가고정된 가적층체를 공급하는 공급 수단을 구비하고 있는 경우에는, 상기 양 띠형상 필름에 의해 가적층체를 진공 프레스 장치에 공급하여 적층체를 형성할 수 있음과 동시에, 적층체 형성시에 연화된 필름 형상 수지가 진공 프레스 장치의 양 열반 등에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 기재 중 적어도 한쪽면에 필름 형상 수지재가 가고정된 가적층체는 연속 띠형상의 필름 형상 수지재를 기재의 크기에 맞추어 잘라 기재에 가고정하는 오토시트컷 라미네이터(하쿠토오샤 제조 Mach630, Mach610, 히타치 인더스트리즈사 제조 TLD-6500, TLD-2400) 등을 사용하여 작성하고 본 발명의 적층 장치에 공급할 수 있다.
그리고, 본 발명에서 필름 형상 수지재를 띠형상으로 하여 이루어진 제1 띠형상 필름 형상 수지재가 권선된 제1 수지재 권선롤과, 상기 제1 수지재 권선롤과 서로 대치하여 설치되고 필름 형상 수지재를 띠형상으로 하여 이루어진 제2 띠형상 필름 형상 수지재가 권선된 제2 수지재 권선롤과, 상기 양 수지재 권선롤로부터 인출된 양 띠형상 필름 형상 수지재 사이에 형성되는 간극에 기재를 공급하는 공급 수단을 구비하고, 상기 제1 및 제2 수지재 권선롤로부터 인출된 제1 및 제2 띠형상 필름 형상 수지재를 서로 대향 상태에서 상기 진공 프레스 장치의 양 열반 사이에 안내하는 안내 수단인 제1 및 제2 안내롤과, 상기 기재를 사이에 끼운 제1 및 제2 띠형상 필름 형상 수지재를 상기 양 열반간에 도입하여 상기 동작에 의해 기재의 표리 양면에 상기 제1 및 제2 띠형상 필름 형상 수지재를 적층하여 이루어진 띠형상 적층체를 형성하는 진공 프레스 장치와, 상기 띠형상 적층체를 인장하는 수단(상기 띠형상 적층체를 감는 적층체 권취롤, 상기 띠형상 적층체를 인장하는 닙롤 또는 상기 띠형상 적층체를 척 기구로 끼워 인장하는 기구 등)을 구비하고 있는 경우에는, 상기 양 띠형상 필름 형상 수지재, 기재를 진공 프레스 장치에 연속적으로 공급하고, 복수의 적층체가 일련으로(연속하여 또는 간헐적으로) 연결된 띠형상 적층체를 형성할 수 있다. 본 발명에서는 기재의 한쪽면으로 필름 형상 수지재를 가고정할 필요가 없고, 기재의 적어도 한쪽면에 필름 형상 수지재가 가고정된 가적층체를 형성하기 위해 필요로 되는 상기 오토시트컷 라미네이터 등이 불필요해진다. 또한, 본 발명은 상기 제1 및 제2 안내롤에 한정되는 것은 아니고, 띠형상 재료의 인회(引回)를 동일하게 실시할 수 있는 것이면 어떠한 구조이어도 좋다. 후술하는 제3 안내롤에 관해서도 동일하게 본 발명의 구성이 안내롤에 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 발명에서 기재가 매엽(枚葉) 기판 또는 띠형상 기판인 경우에는 상기 양 띠형상 필름 형상 수지재, 기재를 진공 프레스 장치에 간헐적 또는 연속적으로 공급하여 적층체가 일련으로 연결된 띠형상 적층체를 형성할 수 있다.
또한, 본 발명에서 제1 띠형상 필름이 권선된 제1 필름 권선롤과, 제2 띠형상 필름이 권선된 제2 필름 권선롤과, 이들을 안내하는 제1 및 제2 안내 수단과, 상기 제1 및 제2 띠형상 필름을 권취하는 권취롤을 추가로 설치하고, 제1 및 제2 수지재 권선롤로부터 인출되고, 기재를 사이에 끼운 제1 및 제2 띠형상 필름 형상 수지재를, 상기 양 필름 권선롤로부터 인출된 양 띠형상 필름으로 끼운 상태에서 띠형상 적층체를 형성하고, 제1 및 제2 띠형상 필름을 상기 띠형상 적층체와는 별개로 권취하도록 한 경우에는, 띠형상 적층체 형성시에 연화된 필름 형상 수지가 진공 프레스 장치의 양 열반 등으로 부착하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에서 서로 대향하는 한 쌍의 열반이 설치되고, 이들 양 열반 중 적어도 한쪽이 다른쪽에 대하여 진퇴 가능한 평면 프레스 장치를 구비하고, 상기 평면 프레스 장치의 양 열반에서, 상기 진공 프레스 장치에 의해 형성된 적층체의 표리 양면을 가압하여 평활하게 하도록 구성한 경우에는, 평면 프레스 장치에 의해 적층체의 표리 양면을 평활하게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 적층 장치의 일 실시 형태를 도시한 구성도,
도 2는 가적층체의 단면도,
도 3은 적층체의 단면도,
도 4는 반송 필름 권선부를 도시한 구성도,
도 5는 반송 필름 권취부를 도시한 구성도,
도 6은 진공 적층 장치를 도시한 구성도,
도 7은 상기 진공 적층 장치의 주요부를 도시한 구성도,
도 8은 상기 진공 적층 장치의 다른 예를 도시한 구성도,
도 9는 상기 진공 적층 장치의 가동 진공틀의 작용을 도시한 단면도,
도 10은 상기 진공 적층 장치의 가동 진공틀의 작용을 도시한 단면도,
도 11은 상기 진공 적층 장치의 가동 진공틀의 작용을 도시한 단면도,
도 12는 평면 프레스 장치를 도시한 구성도,
도 13은 적층체의 단면도,
도 14는 탄성 프레스판의 일 예를 도시한 단면도,
도 15는 탄성 프레스판의 다른 예를 도시한 단면도,
도 16은 상기 진공 적층 장치의 작용을 도시한 구성도,
도 17은 상기 진공 적층 장치의 작용을 도시한 구성도,
도 18은 상기 진공 적층 장치의 작용을 도시한 구성도,
도 19는 본 발명의 적층 장치의 다른 실시 형태를 도시한 구성도,
도 20은 필름 권출부를 도시한 구성도,
도 21은 필름 권취부를 도시한 구성도,
도 22는 단차롤의 설명도,
도 23은 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시한 구성도,
도 24는 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시한 구성도,
도 25는 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시한 구성도,
도 26은 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시한 구성도,
도 27은 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시한 구성도,
도 28은 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시한 구성도,
도 29는 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시한 구성도,
도 30은 상기 진공 적층 장치의 변형예를 도시한 구성도,
도 31은 종래 예를 도시한 측면도 및
도 32는 다른 종래 예를 도시한 구성도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
2: 진공 적층 장치 8a: 기재
9: 적층체 23, 26: 열반
24, 27: 탄성 프레스판
다음에, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 단, 본 발명은 이 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 적층 장치의 일 실시 형태를 도시하고 있다. 이 실시 형태에서는 상기 적층 장치는 반송 필름 권출부(卷出部)(1), 진공 적층 장치(진공 프레스 장치)(2), 평면 프레스 장치(3) 및 반송 필름 권취부(4)로 구성되어 있고, 기판(도 2 및 도 3 참조)의 흐름 방향(도 1의 화살표 참조)의 상류로부터 하류를 향하여 이 순서로 배치되어 있다.
상기 반송 필름 권출부(1)는 도 4의 확대도에 도시한 바와 같이, 상측 반송 필름(제1 띠형상 필름)(5)이 권선된 상측 반송 필름 권선롤(제1 필름 권선롤)(11)과, 하측 반송 필름(제2 띠형상 필름)(6)이 권선되어 상측 반송 필름 권선롤(11)보다 하측에, 상측 반송 필름 권선롤(11)과 서로 대치하여 설치된 하측 반송 필름 권선롤(제2 필름 권선롤)(12)과, 상하 양 반송 필름 권선롤(11, 12) 사이에 설치된 반송 컨베이어(13)를 구비하고 있다. 그리고, 상측 반송 필름 권선롤(11)로부터 인출된 상측 반송 필름(5)은 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)의 서로 대향하는 상하 한 쌍의 열반(23, 26, 47, 51)(도 6 및 도 12의 확대도 참조) 사이를 통과한 후, 반송 필름 권취부(4)(도 5의 확대도 참조)의 상측 권취롤(제1 필름 권취롤)(14)에 감겨지고, 하측 반송 필름 권선롤(12)로부터 권출된 하측 반송 필름(6)도 동일하게, 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)의 서로 대향하는 상하 한 쌍의 열반(23, 26, 47, 51) 사이를 통과한 후 반송 필름 권취부(4)의 하측 권취롤(제2 필름 권취롤)(15)에 권취되도록 하고 있다. 또한, 상측 권취롤(14)을, 열반(23, 26, 47, 51)의 1회의 작동마다 간헐적으로 권취 구동하는 제1 구동 수단(제1 필름 구동 수단)(14b)과, 하측 권취롤(15)을 상기 상측 권취롤(14)과 동기하여 간헐적으로 권취 구동하는 제2 구동 수단(제2 필름 구동 수단)(15a)을 구비하고 있다. 또한, 본 발명에서 열반이라는 것은 가열 수단을 갖는 판을 말하고, 가열되어 열반이 되는 것을 의미한다.
상기 상하 양 반송 필름(5, 6)으로서는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름을 들 수 있고, 구체적으로는 유니치카사 제조의 「EMBLET PTH 시리즈」나, 다이아포일사 제조의 「매트필름 시리즈」가 사용된다. 또한, 상기 상하 양 반송 필름(5, 6)의 폭은, 가열 가압된 필름 형상 수지가 지지체 필름의 외측으로 배어나와 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)에 부착되는 것을 방지할 목적으로, 가적층체(7), 적층체(9)의 폭보다 10~40㎜ 정도 넓게 설정된다. 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)에 배어나온 필름 형상 수지가 부착되면, 부착된 필름 형상 수지가 후속 제품의 지지체 필름에 재부착된다. 배어나온 수지가 부착된 부분의 필름 형상 수지재(8b)의 두께는, 부착된 수지의 두께만큼 두꺼워져 제품이 불량이 된다. 이와 같은 상하 양 반송 필름(5, 6)은 0.5~150kN의 범위 내에서 장력을 부여받은 상태에서 주행된다. 또한, 상하 양 반송 필름(5, 6)의 반송 속도는 통상 1~20m/분의 범위 내로 설정된다.
도 4의 확대도에 도시한 반입 컨베이어(공급 수단)(13)는 상기와 같이, 가적층체(7)를 받아 들여 상기 가적층체(7)를 상하 반송 필름(5, 6) 사이에 공급하는 작용을 한다. 가적층체(7)는 가적층체(7)의 투입측의 반송 방향과 직교하는 변을 필요에 따라서 에어 실린더(13b)에 의해 승강 가능한 가적층체 스토퍼(13a)에 상기 직교하는 변의 전체 또는 양단·중앙부 등의 복수 부분에서 접촉시켜 정지시킴으로써 상하 양 반송 필름(5, 6) 사이에 공급하기 전에 정확하게 위치 결정해도 좋다. 가적층체(7)는 요철을 갖는 기재(8a)(이하, 기재(8a)라고 약칭)와, 상기 기재(8a)의 요철면에, 이를 덮은 상태로 겹쳐져(예를 들어, 필름 형상 수지재(8b)의 각이나 외측의 변의 중앙부를 스폿 형상으로 또는 둘레 가장자리부의 1변을 라인 형상으로 가열·가압 또는 가압하여 접착 고정되어) 가고정된 필름 형상 수지재(8b)로 이루어져 있다(도 2 참조). 요철을 갖는 기재(8a)로서는 예를 들어, 구리, 땜납 등의 패턴 등을 실시한 프린트 기판이 사용되고, 또한 빌드업 공법 등에 사용되는 다적층 기판을 사용해도 좋다. 기재(8a)의 두께나 가로 세로의 크기는 특별히 한정되지 않지만, 두께는 0.1~10㎜의 범위 내의 것이 바람직하고, 가로 세로의 크기는 150∼800㎜의 범위내인 것이 바람직하다. 필름 형상 수지재(8b)(진공 적층 후에 필름 형상 수지층(8c)이 됨)로서는 점착성이나 접착성, 핫멜트성을 갖는 것이나, 유리 전이 온도 이상으로 연화되는 수지를 주성분으로 하는 수지 조성물이면 특별히는 제한되지는 않지만, 특히 전기 절연성을 갖는 것이 유용하다. 이와 같은 수지 조성물로서는 주로 에폭시 수지, 에폭시 수지로 이루어진 열경화성 수지 조성물, 에틸렌성 불포화 화합물 및 광중합 개시제로 이루어진 감광성 수지 조성물 등을 들 수 있다. 이 실시 형태에서는 상기 가적층체(7)는 표리 양면에 요철을 갖는 기재(8a)와, 상기 기재(8a)의 표리 양면의 요철면에 미리 가고정된 상하 한 쌍의 필름 형상 수지재(8b)(권심에 감긴 띠형상의 필름 형상 수지재(8b)를 상기 오토시트컷 라미네이터 등에 의해 단책(短冊) 시트 형상으로 자른 것)로 이루어져 있지만, 기재(8a)의 표리 양면의 한쪽에만 요철을 갖는 경우에는 요철을 갖는 면에만 필름 형상 수지재(8b)를 가고정하도록 해도 좋다.
다음에, 진공 적층 장치(2)는 상하 양 반송 필름(5, 6)에 의해 반송되어 온 가적층체(7)를 진공 상태에서 가열 가압하여, 기재(8a)에 필름 형상 수지층(8c)이 적층되어 이루어진 적층체(9)(도 3 참조)를 형성하는 것이며, 도 6의 확대도에 도시한 바와 같이, 프레스대(17)에 세워 설치된 복수개(도 6에서는 2개 밖에 도시하지 않음)의 지주(18)와, 이들 각 지주(18)에 볼트, 너트 등의 고정 수단(19)으로 고정된 상부 플레이트(20)와, 상기 각 지주(18)에 상하 이동 가능하게 부착된 하부 플레이트(21) 등을 구비하고 있다. 상기 하부 플레이트(21)는 조인트(28)를 통하여 유압 실린더 또는 에어 실린더(29)에 연결되어 있고, 상기 유압 실린더 또는 에어 실린더(29)의 작동에 의해(피스톤 로드(29a)의 상승 및 하강에 수반하여) 상하 이동하도록 하고 있다.
상부 플레이트(20)에는 평판 형상의 상측 단열재(22), 상측 열반(23), 진공 적층시에 가적층체(7)의 상측 필름 형상 수지재(8b)(도 2 참조)의 표면을 가압하는 고무제의 상측 탄성 프레스판(24)이 상측으로부터 이 순서로 고정되어 있고, 하부 플레이트(21)에는 평판 형상의 하측 단열재(25), 하측 열반(26), 진공 적층시에 가적층체(7)의 하측 필름 형상 수지재(8b)(도 2 참조)의 표면을 가압하는 고무제의 하측 탄성 프레스판(27)이 하측으로부터 이 순서로 고정되어 있다(도 7 참조).
또한, 상기 양 탄성 프레스판(24, 27)의 양 열반(23, 26)으로의 고정 방법은 특별히 한정되는 것은 아니고 틀체, 볼트, 칼라 등의 고정 수단(도시하지 않음)을 사용하는 방법이나 양 탄성 프레스판(24, 27)과 양 열반(23, 26) 사이를 시일한 상태에서 그 내부를 감압하여 양 탄성 프레스판(24, 27)을 양 열반(23, 26)에 흡착 고정하는 방법 등, 각종의 방법을 사용할 수 있다.
또한, 다른 고정 방법으로서 상기 양 탄성 프레스판(24, 27)과 양 열반(23, 26) 사이에 각각 금속판(24a, 27a)(도 8 참조)을 설치하고, 이들 양 금속판(24a, 27a)의 일측면에 양 탄성 프레스판(24, 27)을 가황 접착하고, 또한 타측면(탄성 프레스판(24, 27)이 가황 접착되고 있지 않은 측면)을 양 열반(23, 26)에 볼트, 칼라 등의 고정 수단(도시하지 않음)으로 고정하는 방법을 사용할 수도 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 양 열반(23, 26)과 양 금속판(24a, 27a) 사이를 시일한 상태에서 그 내부를 감압하여 양 금속판(24a, 27a)을 양 열반(23, 26)에 흡착 고정하는 방법 등을 적절하게 사용할 수 있다. 또한, 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 양 탄성 프레스판(24, 27)과 양 열반(23, 26) 사이에 설치한 양 금속판(24a, 27a)과 양 열반(23, 26) 사이에 각각 고무 탄성 등을 갖는 완충재(24b, 27b)를 설치하는 것이 바람직하고, 양 금속판(24a, 27a)의 양측면에 탄성 프레스판(24, 27)을 가황 접착하고, 일측면의 탄성 프레스판(24, 27)을 완충재(24b, 27b)로서 사용할 수도 있다. 상기와 같이 양 금속판(24a, 27a)의 양측면에 탄성 프레스판(24, 27)을 가황 접착하면, 탄성 프레스판(24 또는 27)이 이물 등에 의해 표면이 손상되었을 때, 손상된 탄성 프레스판(24, 27)이 가황 접착된 금속판(24a, 27a)을 본체로부터 분리하고, 손상된 탄성 프레스판(24, 27)을 완충재로서 사용하도록 표리를 반대로 부착하여 생산을 속행하는 것이 가능해져, 장치의 보전성의 면에서 바람직하다.
상측 단열재(2)는 상부 플레이트(20)의 하면에 볼트, 너트 등의 고정 수단(도시하지 않음)으로 고정되어 있다. 상측 열반(23)은 상측 단열재(22)에 볼트, 너트 등의 고정 수단(도시하지 않음)으로 고정되고, 상측 탄성 프레스판(24)은 상측 열반(23)의 하면에 직접적으로 접착 고정 등 되어 있다. 또한, 하측 단열재(25)는 하부 플레이트(21)의 상면에 볼트, 너트 등의 고정 수단(도시하지 않음)으로 고정되어 있다. 하측 열반(26)은 하측 단열재(25)에 볼트, 너트 등의 고정 수단(도시하지 않음)으로 고정되고, 하측 탄성 프레스판(27)은 하측 열반(26)의 상면에 직접적으로 접착 고정 등되어 있다. 또한, 상부(하부) 플레이트(20(21))와 상측(하측) 열반(23(26))을 직접 볼트, 너트 등의 고정 수단으로 고정하면 볼트, 너트 등을 통하여 상측(하측) 열반(23(26))의 열이 상부(하부) 플레이트(20(21))에 전도되기 쉬워져 바람직하지 않다.
상하 양 열반(23, 26)에는 그 내부에 탄성 프레스판(24, 27)을 가열하기 위한 온도 컨트롤 가능한 가열 수단이 적절하게 배치되어 있다. 상기 실시 형태에서 는 상기 가열 수단으로서, 상하 양 열반(23, 26)의 내부에 복수개의 시스 형상 히터(23a, 26a)가 병렬로 배치되어 있다. 후술하는 상하 양 열반(47, 51)도 동일한 구조이다.
또한, 진공 적층 장치(2)는 가동 진공틀(30)을 구비하고 있다. 상기 가동 진공틀(30)은, 도 9(이 도 9에서는 상하 양 단열재(22, 25), 상하 양 열반(23, 26), 상하 양 탄성 프레스판(24, 27), 금속판(24a, 27a), 완충재(24b, 27b)는 도시하지 않음. 도 10 및 도 11도 동일)에 도시한 바와 같이, 상부 플레이트(20)의 하면에 기밀 형상으로 고정된 거의 사각형 틀 형상의 상측 고정 틀부(31)와, 하부 플레이트(21)의 상면에 기밀 형상으로 고정된 가동틀(32)을 구비하고 있다. 상측 고정 틀부(31)에는 그 둘레측벽에 설치된 관통 구멍(31a)에 진공 형성용 노즐(33)이 고정되어 있고, 상기 진공 형성용 노즐(33)에 의해, 상하 양 플레이트(20, 21)의 밀봉 계합(契合)시에, 상측 고정틀부(31)와 가동틀(32) 사이에 형성되는 공간부(34)(도 10 참조) 내를 진공 형성하고, 상기 공간부(34)의 압력을 조정할(즉, 소정 압력의 진공 상태로 함) 수 있다. 또한, 진공 형성용 노즐(33)은 상측 고정 틀부(31)가 아니라, 상부 플레이트(20)에 관통 구멍을 설치하여 배치해도 좋고, 또한 복수 부분에 설치하면 효율 좋게 공간부(34)의 압력을 조정할 수 있다.
상기 가동틀(32)은 하부 플레이트(21)의 상면에 기밀 형상으로 고정된 거의 사각형 틀형상의 하측 고정틀부(35)와, 가동 틀부(36)와, 상기 가동 틀부(36)를 상하 이동 자유롭게 지지하는 스프링(37)을 구비하고 있다. 상기 하측 고정 틀부(35)의 상부는 그 전체 둘레가 외측으로 돌출 형성되어 있고, 상기 돌출 형성부 의 외주면의 전 둘레에 형성된 오목홈(35a)에 고리 형상의 시일 부재(38)가 끼워 맞추어 고정되어 있다. 시일 부재(38)의 형상은 립 패킹이 바람직하다.
상기 가동 틀부(36)는 하측 고정 틀부(35)의 돌출 형성부에 상하로 슬라이딩 자유롭게 외부에서 끼워져 있고, 이 상태에서 하측 고정 틀부(35)에 스프링(37)에 의해 지지되어 있다. 즉, 상기 가동 틀부(36)의 하면에 형성된 복수개(도 9~도 11에서는 2개 밖에 도시하지 않음)의 오목부(36a)에 스프링(37)의 상부가 삽입되어 있고, 이들 각 스프링(37)이 하측 고정 틀부(35)의 하단 돌출부(35b) 상에 배치되어 있다. 이에 의해, 상기 가동 틀부(36)가 하측 고정 틀부(35)에 스프링(37)을 통하여 상하 이동 자유롭게 지지되어 있다. 또한, 상기 가동 틀부(36)의 내주면이 하측 고정 틀부(35)의 시일 부재(38)에 기밀 형상으로 또한 슬라이딩 자유롭게 접촉되어 있다.
또한, 상기 가동 틀부(36)의 상면의 전체 둘레에 오목홈(36b)이 형성되어 있고, 상기 오목홈(36b)에 거의 사각형 환형상의 시일 부재(39)가 끼워 맞추어져 고정되어 있다. 상기 시일 부재(39)는 상하 양 플레이트(20, 21)의 밀봉 계합시에 상기 공간부(34) 내를 기밀 상태로 유지하는 작용을 한다. 또한, 상기 시일 부재(39)의 형상은 립 패킹이 바람직하다. 도 9~도 11에서 "40a, 40b"는 시일 부재이다.
이와 같은 가동 진공틀(30)은 유압 실린더 또는 에어 실린더(29)(도 6 참조)의 작동에 의해 하부 플레이트(21)를 상승시킴으로써, 상측 고정틀부(31)의 하면과 가동 틀부(36)의 상면을 밀착시켜(도 10 참조), 그 내부 공간(상기 공간부(34))을 밀봉 공간으로 할 수 있다(즉, 상하 양 플레이트(20, 21)를 밀봉 계합시킬 수 있다). 또한, 상기 각 스프링(37)을 휘어지게 하면서 하부 플레이트(21)를 상승시킬 수 있고, 가동 틀부(36)의 하면을 하측 고정 틀부(35)의 하단 돌출부(35b)의 상면에 접촉시킬 때까지 하부 플레이트(21)를 상승시킬 수도 있다(도 11 참조).
다음에, 평면 프레스 장치(3)는 진공 적층 장치(2)로부터 상하 양 반송 필름(5, 6)에 의해 반송되어 온 적층체(9)를 상하 양 프레스 블럭(41, 42)(도 12 참조) 사이에 위치 결정시키고 이들 상하 양 프레스 블럭(41, 42)으로 가열 가압하여 적층체(9)의 표리 양면을 평활하게 하는(도 13 참조) 것이고, 도 12에 도시한 바와 같이, 프레스대(43)에 세워 설치된 복수개(도 12에서는 2개 밖에 도시하지 않음)의 지주(43a)와, 이들 각 지주(43a)에 볼트, 너트 등의 고정 수단(43b)으로 고정되는 상부 프레스 블럭(41)과, 상기 각 지주(43a)에 상하 이동 가능하게 부착되는 하부 프레스 블럭(42) 등을 구비하고 있다. 상기 하부 프레스 블럭(42)은 조인트(54)를 통하여 유압 실린더 또는 에어 실린더(55)에 연결되어 있고, 상기 유압 실린더 또는 에어 실린더(55)의 작동에 의해(피스톤 로드(55a)의 상승 및 하강에 수반하여) 상하 이동되도록 하고 있다.
상기 상하 양 프레스 블럭(41, 42)에 대해서 이 실시 형태에서는, 상부 프레스 블럭(41)은 상부 베이스층(44)에 평판 형상의 상측 단열재(46), 상측 열반(47), 평판 형상의 상측 완충재(48) 및 상측 플렉시블 금속판(49)이 상측으로부터 이 순서로 고정된 것으로 구성되어 있고, 하부 프레스 블럭(42)은 하부 베이스층(45)에 평판 형상의 하측 단열재(50), 하측 열반(51), 평판 형상의 하측 완충재(52) 및 하측 플렉시블 금속판(53)이 하측으로부터 이 순서로 고정된 것으로 구성되어 있다.
상측 단열재(46)는 상부 베이스층(44)의 하면에 볼트, 너트 등의 고정 수단(도시하지 않음)에 의해 고정되어 있다. 상측 열반(47)은 상측 단열재(46)에 볼트, 너트 등의 고정 수단(도시하지 않음)에 의해 고정되고, 상측 플렉시블 금속판(49)은 상측 완충재(48)를 통하여 상측 열반(47)에 볼트, 칼라 등의 고정 수단(도시하지 않음)으로 고정되어 있다. 또한, 하측 단열재(50)는 하부 베이스층(45)의 상면에 볼트, 너트 등의 고정 수단(도시하지 않음)에 의해 고정되어 있다. 하측 열반(51)은 하측 단열재(50)에 볼트, 너트 등의 고정 수단(도시하지 않음)으로 고정되고, 하측 플렉시블 금속판(53)은 하측 완충재(52)를 통하여 하측 열반(51)에 볼트, 칼라 등의 고정 수단(도시하지 않음)에 의해 고정되어 있다. 또한, 상부(하부) 베이스층(44(45))과 상측(하측) 열반(47(51))을 직접 볼트, 너트 등의 고정 수단으로 고정하면 볼트, 너트 등을 통하여 상측(하측) 열반(47(51))의 열이 상부(하부) 베이스부(44(45))로 전달되기 쉬워져 바람직하지 않다. 도면에서, "47a, 51a"는 상하 양 열반(47, 51)의 내부에 병렬 배치된 시스형상 히터이다.
다음에, 반송 필름 권취부(4)는, 도 5의 확대도에 도시한 바와 같이, 상측 반송 필름(5)이 권취되는 상측 권취롤(14)과, 하측 반송 필름(6)이 권취되고 상측 권취롤(14)보다 하측에 설치된 하측 권취롤(15)과, 상하 양 권취롤(14, 15) 사이에 설치된 배출 컨베이어(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 또한, 상기 배출 컨베이어는 설치되어 있지 않아도 좋다. 또한, 반송 필름 권취부(4)에서는 냉각팬(56) 등의 냉각 수단에 의해, 표리 양면이 평활해진 적층체(9)를 냉각하고, 적층체(9) 표면의, 연화된 필름 형상 수지층(8c)을 경화시켜 적층체(9) 표면을 변형시키기 어렵게 하고 또한 배어 나온 필름 형상 수지층(8c)과 반송 필름(5, 6)을 박리시키기 쉽게 할 수도 있다.
본 발명의 적층 장치는 상기와 같이, 진공 적층 장치(2)에서의, 상하 양 열반(23, 26)의, 가적층체(7)측의 면에 각각, 가적층체(7)의 필름 형상 수지재(8b)의 표면을 가압하는 탄성 프레스판(24, 27)을 설치한 것을 최대의 특징으로 하고 있다.
상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 구성 재료로서는 내열성 실리콘 고무, 내열성 불소 고무 등의 고무 재료나 탄성을 갖는 각종의 수지 재료가 사용되고, 내부 등에 섬유층을 설치한 것이 바람직하게 사용된다. 이 섬유층을 설치함으로써, 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 내구성을 향상시킬 수 있고, 고온하에서 가압을 반복하여 실시해도 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 신장 변형을 억제할 수 있고, 기재(8a)에 대한 필름 형상 수지재(8b), 필름 형상 수지층(8c)의 추종성이나 밀착성에 우수한 효과를 발휘한다. 한편, 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)에 섬유층을 설치하지 않은 경우에는 금속판(24a, 27a)에 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)을 가황 접착함으로써, 섬유층을 설치한 경우와 동일하게, 고온하에서 가압을 반복하여 실시해도 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 신장 변형을 억제할 수 있고, 기재(8a)에 대한 필름 형상 수지재(8b), 필름 형상 수지층(8c)의 추종성이나 밀착성이 우수한 효과를 발휘한다.
상기 섬유층으로서는 특별히 한정되지 않지만, 화학 섬유나 유리 섬유를 직 물 형상으로 짠 것이 바람직하게 사용되고, 예를 들어 고무제의 판형상 본체(61)의 내부에 화학 섬유를 직물 형상으로 짠 섬유층(62)을 1층 또는 복수층 설치하여 일체화하거나(도 14 참조), 고무제의 판형상 본체(61)의 표리 양면 중 적어도 한쪽에 상기 섬유층(62)을 1층 또는 복수층 설치하여 일체화(도 15 참조)함으로써 실시된다.
상기 금속판(24a, 27a)으로서는 특별히 한정되지 않지만, 스테인리스판이 녹 방지의 측면에서 바람직하게 사용되고, 두께는 특별히 한정되지 않지만 0.1~10㎜의 범위 내가 바람직하고 더욱 바람직하게는 1~5㎜의 범위내이다.
상기의 불소계 고무로서는 불화비닐리덴계 고무, 함불소실리콘 고무, 테트라플루오르에틸렌계 고무, 함불소비닐에테르계 고무, 함불소포스포니트릴계 고무, 함불소아크릴레이트계 고무, 함불소니트로소메탄계 고무, 함불소폴리에스테르 고무, 함불소트리아딘 고무 등을 들 수 있고, 시판품으로서는 예를 들어 긴요사 제조「긴요보드」시리즈, 크레하 에라스토마사 제조 「불소고무 시트 FB」 시리즈, 다이킨 고교사 제조 「다이에르」 시리즈, 듀폰사 제조 「비톤」 시리즈, 다우코닝사 제조 「실라스텍」 시리즈, 몬테디손사 제조 「테크노프론」 시리즈, 3M사 제조 「플루오레르」 시리즈, 「케르 F」 시리즈 등을 들 수 있다.
또한, 상기 섬유층의 섬유의 소재로서는 유리 섬유나 폴리에스테르나 그 밖의 극성 경질소재, 폴리에틸렌 등의 비극성 경질 소재, 폴리에스테르계 및 나일론계 등의 극성 연질 소재, 올레핀계 등의 무극성 연질 소재 등이 고무 재료와의 접착이 용이한 점에서 바람직하고, 폴리에스테르나 나일론이 강도 및 내열성이 우수한 점에서 바람직하다. 특히 바람직한 것은 고무 재료로서 내열성 불소 고무를 사용하여, 내부에 내열성 나일론제의 직물(내열성 나일론을 직물 형상으로 짜서 제작한 섬유층)을 설치한 것이고, 매우 강도 및 내열성이 우수하다. 시판품으로서는 예를 들어 긴요사 제조 「긴요보드」 시리즈, 그 중에서도 「F-200」이 바람직하다.
상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 경도에 대해서는 쇼어 A 경도가 40도 이상으로 설정되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)에는 상반되는 강한 인장파열 강도와 높은 박리성이 요구되고 있고, 상기 경도는 인장파열 강도와 박리성에 크게 영향을 주는 것이다. 상기 쇼어 A 경도가 40도 이상이면, 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)은 잘 신장하여 인장파열되기 어려움과 동시에, 가압 라미네이션에 견딜 수 있는 강한 인장파열 강도를 획득할 수 있다. 한편, 박리성에 관해서는 충분한 박리성이 수득되고, 적층체(9)가 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)으로부터 박리되기 쉬워진다. 이들 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 바람직한 경도는 50도 이상이고, 한층 더 바람직한 것은 60도 이상이다. 또한, 본 발명에서, 쇼어 A 경도라는 것은 JIS Z2246(2000)에 준거하여 측정되는 것이다.
또한, 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 두께는 0.1~10㎜의 범위 내의 것이 바람직하고, 0.5~3㎜의 범위 내의 것이 더욱 바람직하다. 상기 두께가 너무 얇으면, 섬유층의 조직이 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 표면에 나타나 필름 형상 수지층(8c)의 표면에 섬유층의 조직이 전사되는 경향이 있고, 너무 두꺼우면 상측 열반(23), 하측 열반(26)으로부터 필름 형상 수지층(8c)으로의 열전도가 나빠지고, 상측 열반(23), 하측 열반(26)의 온도 분포가 불균일해지는 경향이 있다. 또한, 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 표면은 조면화되어 있는 것이 바람직하고, 그 표면 거칠기(Rz)는 1㎛ 이상의 것이 바람직하고, 20~400㎛의 범위내의 것이 더욱 바람직하며, 또한 20~60㎛의 범위 내의 것이 가장 바람직하다. 상기 표면 거칠기(Rz)가 크면 클수록, 가열 가압 후에 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)이 필름 형상 수지층(8c) 또는 상하 양 반송 필름(5, 6)으로부터 떨어지기 쉽지만, 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)의 표면 거칠기가 필름 형상 수지층(8c)의 표면에 전사하여 적층체(9)의 표면 경면성(鏡面性)이 손상될 우려가 있고, 너무 작으면 필름 형상 수지층(8c) 또는 상하 양 반송 필름(5, 6)과의 밀착성이 너무 좋아져 가열 가압후에 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)이 필름 형상 수지층(8c)으로부터 벗겨지기 어려워지는 경향이 있다. 또한, 본 발명에서 표면 거칠기(Rz)라는 것은 JIS B0601(2001)에 준거하여 측정되는 것이다.
본 발명에서는 도 1의 적층 장치를 사용하여 다음과 같이 하여 적층체(9)를 제작한다. 우선, 기재(8a)의 요철면에 필름 형상 수지재(8b)를 가고정하여 이루어진 가적층체(7)를 미리 준비해 둔다. 다음에, 가적층체(7)를 반입 컨베이어(13)에 급송(給送)하고, 상기 반입 컨베이어(13)로부터 상하 양 반송용 필름(5, 6) 사이에 공급한다. 상기 공급된 가적층체(7)는 상하 양 반송용 필름(5, 6)에 협지되어 진공 적층 장치(2)에 반입된다.
상기 진공 적층 장치(2)에서는 다음과 같이 하여 진공 적층 공정을 실시한다. 우선, 상기 가적층체(7)를 상하 양 반송용 필름(5, 6)으로 진공 적층 장치(2) 내에 반송하여 소정의 위치(압체(壓締) 위치)에 위치 결정한다(도 1 및 도 16 참조, 상기 도 16에서는 상하 양 반송용 필름(5, 6)은 도시하지 않음. 도 17 및 도 18도 동일). 다음에, 유압 실린더 또는 에어 실린더(29)를 작동하여 하부 플레이트(21)를 상승시키고, 상부 플레이트(20)의 상측 고정틀부(31)의 하면과 하부 플레이트(21)의 가동틀부(36)의 상면을 밀착시켜 상하 양 플레이트(20, 21)를 밀봉 계합한다(도 10 및 도 17 참조).
상기 밀봉 계합 중, 공간부(34)를 감압 상태로 한다. 구체적으로는 진공 형성용 노즐(33)(도 9 참조)에 의해 공간부(34)를 진공 펌프(도시하지 않음)로 감압한다(도 17 참조). 상기 공간부(34)의 압력은 200Pa 이하, 바람직하게는 100Pa 이하의 진공 상태로 한다. 상기 압력이 너무 커지면, 기재(8a)와 필름 형상 수지재(8b) 사이에 미세공동(micro-void)이 잔존하고 적층후의 필름 형상 수지층(8c)을 후공정에서 열경화할 때 미세공동이 잔존한 부분의 표면이 함몰되어 제품이 불량해지는 경향이 있다.
다음에, 유압 실린더 또는 에어 실린더(29)를 작동하여, 하부 플레이트(21)를 상승시키고, 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)으로 가적층체(7)를 함께 압축(挾壓)하여 가열·가압하고(도 18 참조), 기재(8a)의 표리 양면에 필름 형상 수지재(8b)를 접합하여 적층체(9)를 제작한다. 상기 압력의 조정은 구체적으로는 공간부(34)를 감압한 채로 하측 탄성 프레스판(27)의 압력을 조절하면 좋고, 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)으로 가적층체(7)의 상하 양 필름 형상 수지재(8b)를 억압하고, 기재(8a)와 필름 형상 수지재(8b)를 압체하는 것이다. 이렇게 하여 가적층체(7)가 진공 적층되어 적층체(9)가 된다. 상기 적층체(9)의 표면은 기재(8a)의 요철에 필름 형상 수지층(8c)이 밀착 추종하고 있지만, 기재(8a)의 요철이 반영되어 평활하지는 않다.
상기 가열·가압시에는 상측 열반(23) 및 하측 열반(26)의 온도를 30~185℃로 하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 70~140℃이다. 상기 온도가 너무 낮으면, 기재(8a)에 필름 형상 수지층(8c)를 충전할 수 없고, 추종성이 나쁘고 미세공동이 잔존하는 경향이 있다. 한편, 상기 온도가 너무 높아지면, 필름 형상 수지재(8b)가 열분해 경화를 일으켜 분해 가스에 의한 추종성이 저하되어 미세공동이 발생하는 경향이 있다. 이와 같은 온도 제어의 방법으로서는 특별히 한정되지 않지만, 상하 양 열반(23, 26)에 내장되는 시스 형상 히터(23a, 26a) 등으로 조정된다.
상기의 가열·가압에서 가압 조건은 0.1~2㎫의 범위 내로 설정되고, 바람직하게는 0.4~1.5㎫이다.
상기의 가열·가압 공정이 종료된 후에 진공 형성용 노즐(33)에 의해 상기 공간부(34)의 진공 상태를 해방하여 상압으로 되돌리고, 유압 실린더 또는 에어 실린더(29)를 작동하여, 하부 플레이트(21)를 하강시킨다. 그 중, 적층체(9)는 상하 양 반송용 필름(5, 6)에 협지되어 다음 공정의 평면 프레스 장치(3)에 반입된다.
상기 평면 프레스 장치(3)에서는 다음과 같이 하여 평면 프레스 공정을 실시한다. 우선, 상기 적층체(9)를 상하 양 반송용 필름(5, 6)으로 평면 프레스 장치(3) 내에 반송하여 소정의 위치(프레스 위치)에 위치 결정한다. 다음에, 유압 실린더 또는 에어 실린더(55)를 작동하여 하부 프레스 블럭(42)을 상승시키고, 상하 양 플렉시블 금속판(49, 53)으로 적층체(9)를 함께 압축하도록 하여 가열 가압하고, 적층체(9)의 필름 형상 수지층(8c)의 표면을 평활하게 한다.
다음에, 유압 실린더 또는 에어 실린더(55)를 작동하여, 하부 프레스 블럭(42)을 하강시킨다. 그 중, 적층체(9)는 상하 양 반송용 필름(5, 6)의 평면 프레스 장치(3)로부터 배출되고, 반송 필름 권취부(4)에서, 냉각 팬(56)에 의해 냉각된 후에 상하 양 반송용 필름(5, 6)으로부터 박리되어 배출 컨베이어로 배출된다.
상기의 평면 프레스 공정에서 가열 온도는 30~200℃, 바람직하게는 70~140℃으로 설정되고, 가압 조건은 0.1~2㎫, 바람직하게는 0.5~1.5㎫로 설정된다.
상기와 같이 이 실시 형태에서는 진공 적층 장치(2)에 설치한 양 열반(23, 26)에 각각 탄성 프레스판(24, 27)을 고정하고, 이들 양 탄성 프레스판(24, 27)을 사용하여 필름 형상 수지재(8b)의 표면을 가압하고 있으므로, 상기 양 탄성 프레스판(24, 27)에 의해 강한 압력으로 필름 형상 수지재(8b)의 표면을 가압할 수 있고, 상기 가압시에 상기 양 탄성 프레스판(24, 27)의 탄성에 의해, 그 가압면(상기 필름 형상 수지재(8b)의 표면을 가압하는 면)을 기재(8a)의 요철면을 따라서 탄성 변형시킬 수 있다. 이 때문에, 기재(8a)의 요철의 간격이 미세하거나 요철이 깊은 경우에도 상기 가압시에 필름 형상 수지재(8b)를 기재(8a)에 밀착 추종시킬 수 있고 상기 기재(8a)와 필름 형상 수지재(8b) 사이에 기포가 잔존하지 않는다. 또한, 상기 실시 형태에서는 평면 프레스 장치(3)를 구비하고 있으므로, 상기 평면 프레스 장치(3)에 의해 상기 진공 적층 장치(2)에서 형성된 적층체(9)의 표리 양면을 가압하여 평활하게 할 수 있다.
도 19는 본 발명의 적층 장치의 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 이 실시 형태에서는 상기 실시 형태와 같이, 가적층체(7)를 반입 컨베이어(13)에 의해 1개씩 상하 양 반송 필름(5, 6) 사이에 반입하여 진공 적층 장치(2)에 공급하는 것은 아니다. 이를 대신하여 띠형상 기판(10c)을 사용하고, 그에 따라 상측 띠형상 필름 형상 수지재(10a), 하측 띠형상 필름 형상 수지재(10b)를 사용하고 또한 이를 권선한 각 권선롤(11a~11c)과, 이들 각 권선롤(11a~11c)로부터 인출된 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 및 띠형상 기판(10c)을 진공 적층 장치(2)에 도입하여 얻어진 띠형상 적층체(9a)(띠형상 기판(10c)의 표면에 상측 띠형상 필름 형상 수지재(10a)가, 이면에 하측 띠형상 필름 형상 수지재(10b)가 각각 적층된 것)를 권취하는 적층체 권취롤(14a)을 설치하고 있다. 이에 의해, 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 및 띠형상 기판(10c)을 진공 적층 장치(2), 평면 프레스 장치(3)에 연속적으로 공급하도록 하고 있다.
상기 실시 형태의 적층 장치는 필름 권출부(1a), 진공 적층 장치(2), 평면 프레스 장치(3) 및 필름 권취부(4a)로 구성되어 있고, 진공 적층 장치(2), 평면 프레스 장치(3)는 상기 실시 형태와 동일한 구조이고 동일하게 기능한다. 또한, 이 실시 형태에서는 가적층체(7)를 사용하고 있지 않으므로, 오토시트컷 라미네이터 및 반입 컨베이어(13)를 사용하고 있지 않다.
상기 필름 권출부(1a)는 상기 실시 형태(의 반송 필름 권선부(1))와 동일하게 상측 반송 필름 권선롤(11) 및 하측 반송 필름 권선롤(12)을 구비하고 있을 뿐만 아니라, 이들 상하 양 반송 필름 권선롤(11, 12)에 추가로, 상측 띠형상 필름 형상 수지재(10a)가 권선된 상측 수지재 권선롤(11a)과, 하측 띠형상 필름 형상 수지재(10b)가 권선되어 상측 수지재 권선롤(11a)보다 하측에(상측 수지재 권선롤(11a)과 서로 대치하여) 설치된 하측 수지재 권선롤(11b)과, 띠형상 기판(10c)이 권선된 띠형상 기판 권선롤(11c)을 구비하고 있다. 또한, 상기 적층 장치는 상측 수지재 권선롤(11a)로부터 인출된 상측 띠형상 필름 형상 수지재(10a)를 상기 진공 프레스 장치(2)의 양 열반(23, 26) 사이에 안내하는 제1 안내롤(12a)과, (이 제1 안내롤(12a) 보다 하측에 상기 제1 안내롤(12a)과 서로 대치하여 설치되고) 하측 수지재 권선롤(11b)로부터 인출된 하측 띠형상 필름 형상 수지재(10b)를 상측 띠형상 필름 형상 수지재(10a)와 서로 대향하는 상태에서 상기 양 열반(23, 26) 사이에 안내하는 제2 안내롤(12b)을 구비하고 있다. 또한, 상기 적층 장치는 띠형상 기판 권선롤(11c)로부터 인출된 띠형상 기판(10c)을 상기 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 사이에 위치 결정하여 상기 양 열반(23, 26) 사이에 안내하는 제3 안내롤(12c)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 적층 장치는 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 및 띠형상 기판(10c)을 상기 양 열반(23, 26) 사이에 도입하고, 상기 양 열반(23, 26)을 작동시켜 형성한 띠형상 적층체(9a)를 권취하는 적층체 권취롤(14a)을 구비하고 있다.
여기에서, 상기 필름 권출부(1a)로부터는, 도 19로부터 밝혀진 바와 같이, 각 권선롤(11, 12, 11a~11c)로부터 인출되는 상하 양 반송 필름(5, 6), 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 및 띠형상 기판(10c)(도 20 참조)이, 상측으로부터 하측을 향하여 상측 반송 필름(5), 상측 띠형상 필름 형상 수지재(10a), 띠형상 기판(10c), 하측 띠형상 필름 형상 수지재(10b), 하측 반송 필름(6)의 순서로 나열된 상태에서 송출된다. 이 때문에, 상하 반송 필름 권선롤(11, 12)보다 기판의 흐름 방향(도 19의 화살표 참조)의 상류측(도 19에서는 우측)에 상하 수지재 권선롤(11a, 11b)을 배치하여 상하 양 반송 필름(5,6) 사이에 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)를 위치 결정하도록 하고, 또한 상하 양 수지재 권선롤(11a, 11b) 보다 상기 흐름 방향의 상류측(도 19에서는 우측)에 띠형상 기판 권선롤(11c)을 배치하여 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 사이에 띠형상 기판(10c)을 위치 결정하도록 하고 있다. 또한, 상하 양 수지재 권선롤(11a, 11b)을 상하 반송 필름 권선롤(11, 12)보다 기판의 흐름 방향(도 19의 화살표 참조)의 하류측에 설치해도 좋다.
또한, 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)의 수지면(띠형상 기판(10c)에 서로 대향하는 면)이 커버 필름(도시하지 않음)으로 보호되고, 사용시에 커버 필름을 벗길 필요가 있는 경우에는 상하 양 수지재 권선롤(11a, 11b)의 근방에, 커버 필름을 권취하기 위한 권취롤(도시하지 않음)을 설치한다. 상기 권취롤의 구동 수단은 특별히 한정되지 않고, 전용 모터 등의 구동 수단을 설치해도 좋고, 권취롤 외주와 상하 양 수지재 권선롤(11a, 11b)의 외주를 접촉시켜 상하 양 수지재 권선롤(11a, 11b)의 회전을 권취롤에 전달하여 권취하도록 해도 좋다.
상기 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)로서는 상기 실시형태에서 사용한 필름 형상 수지재(8b)와 완전히 동일한 것(상기 실시 형태에서는 단책 시트 형상으로 형성되어 있지만, 이 실시 형태에서는 긴 형태로 형성되어 있다)이 사용 가능하고, 권심(도시하지 않음)에 감겨진 띠형상 필름 형상 수지재(8b)를 사용할 수 있다. 또한, 상기 띠형상 기판(10c)으로서는 롤 형상으로 하여 띠형상 기판 권선롤(11c)에 부착 가능하고, 또한 적층체 권취롤(14a)에 권취 가능한 정도로 유연성을 갖는 것이 사용되고, 예를 들어 가요성을 갖는 복수의 기재(8a)가 가요성을 갖는 필름으로 연결된 것이나, 가요성을 갖는 긴 베이스 필름에 회로 배선 등이 복수 부분에 형성된 것(회로 배선 등이 형성된 부분이 기재(8a)가 된다)을 사용해도 좋다. 띠형상 기판(10c)의 두께나 길이는 특별히 한정되지 않지만, 두께는 0.02~2㎜의 범위 내의 것이 바람직하고, 길이는 10~1000m의 범위 내의 것이 바람직하다. 또한, 상기 상하 양 반송 필름(5, 6)은 상기 실시 형태에서 사용한 반송 필름과 동일한 것이 사용 가능하다. 이와 같은 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b), 띠형상 기판(10c) 및 상하 양 반송 필름(5, 6)은 0.5~150kN의 범위내에서 장력을 부여받은 상태에서 주행되고, 반송 속도는 통상 1~20m/분의 범위 내로 설정된다.
상기 필름 권취부(4a)는 상기 실시 형태(의 반송 필름 권취부(4))와 동일하게 상측 권취롤(14), 하측 권취롤(15), 제1 구동 수단 및 제2 구동 수단을 구비하고 있을 뿐만 아니라, 이들에 추가로 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)를 경유하여 제작된 띠형상 적층체(9a)(복수의 유연한 적층체(9)가 일련으로 연결된 것)를 권취하는 적층체 권취롤(14a)을 구비하고 있다. 상기 적층체 권취롤(14a)은 상하 양 권취롤(14, 15)보다 상기 흐름 방향의 하류측(도 19에서는 좌측)에 배치되어 있고, 상하 양 반송 필름(5, 6) 사이에 띠형상 적층체(9a)가 위치 결정되도록 하고 있다. 또한, 상기 필름 권취부(4a)는 적층체 권취롤(14a)을 상기 상하 양 권취롤(14, 15)과 동기하여 간헐적으로 권취 구동하는 적층체 구동 수단(14c)(도 21 참조)을 구비하고 있다. 또한, 이 실시 형태에서는 배출 컨베이어는 설치되어 있지 않다.
상기 상측 반송 필름 권선롤(11)로부터 권출된 상측 반송 필름(5)은 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)를 통과한 후 필름 권취부(4a)의 상측 권취롤(14)에 권취되고, 하측 반송 필름 권선롤(12)로부터 권출된 하측 반송 필름(5)도 동일하게, 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)를 통과한 후 필름 권취부(4a)의 하측 권취롤(15)에 권취된다. 또한, 각 권선롤(11a~11c)로부터 권출된 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 및 띠형상 기판(10c)은 각 안내롤(12a~12c)을 경유하여 진공 적층 장치(2), 평면 프레스 장치(3)에 도입되고 일체의 띠형상 적층체(9a)가 되어 적층체 권취롤(14a)에 권취된다.
또한, 진공 적층 장치(2)에서는 상하 양 반송 필름(5, 6), 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 및 띠형상 기판(10c)이 진공 상태에서 가열 가압되고, 상하 양 반송 필름(5, 6) 사이에서 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)와 띠형상 기판(10c)이 적층된 띠형상 적층체(9a)가 형성된다. 또한, 평면 프레스 장치(3)에서는 진공 적층 장치(2)로부터 반송되어 온 상하 반송 필름(5, 6), 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 및 띠형상 기판(10c)이 가열 가압되고, 상하 양 반송 필름(5, 6) 사이에서 상기 띠형상 적층체(9a)의 표리 양면이 평활화된다.
이 실시 형태에서는 수득되는 띠형상 적층체(9a)에는 1개의 기재(8a)와 이에 적층되는 상하 양 필름 형상 수지재(8b)로 구성되는 1개의 제품이 길이 방향으로 연속하여 형성되어 있다. 따라서, 띠형상 적층체(9a)는 후공정에서 1개의 제품단위로 절단된다. 1개의 제품을 효율 좋게 얻기 위해서는 제품간의 거리가 짧은 편이 바람직하다. 이 실시 형태에서는 진공 적층 장치(2)와 평면 프레스 장치(3) 사이에 거리가 있으므로, 상기 거리분에 상당하는 띠형상 적층체(9a)의 공간에는 제품을 형성할 수 없다. 그것을 해소하기 위해, 도 22에 도시한 바와 같이, 상기 양 장치(2, 3) 사이에 단차롤(15b)을 설치하고, 상기 단차롤(15b)에 의해 진공 적층 장치(2)의 열반(23, 26)의 작동의 1 사이클에 상당하는 거리분의 띠형상 적층체(9a)를 휘게 하여 유지시키면, 인접하는 제품간의 거리를 짧게 할 수 있다. 이에 의해, 진공 적층 장치(2)와 평면 프레스 장치(3) 사이의 거리에 기초하는 낭비가 해소된다. 또한, 진공 적층 장치(2)와 평면 프레스 장치(3)를 소정의 간격(상기 열반(23, 26)의 작동의 1사이클에 상당하는 거리)을 두고 설치해도 좋다.
상기와 같이, 이 실시 형태에서는 상기 실시 형태와 동일한 작용·효과를 갖는다. 또한, 상기 실시 형태에서는 고가의 오토시트컷 라미네이터 등의 부대 설비가 필요한 데에 대해, 이 실시 형태에서는 고가의 부대 설비가 불필요한 이점을 갖고 있다. 또한, 기재(8a)의 절연층(베이스 필름)의 두께가 100㎛ 이하인 경우에 절연층을 단책 시트 형상으로 자르면 오히려 말리거나 또는 강도가 부족하므로 가적층체(7)의 형성이나 반송이 곤란해지지만, 상기 실시 형태에서는 띠형상으로 하여 장력을 부여한 상태에서 띠형상 기판(10c)을 취급함으로써 상기 절연층의 두께가 100㎛ 이하인 경우에도, 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 및 띠형상 기판(10c)을 적층하여 평활화하는 것이 가능해진다.
도 23은 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 이 실시 형태에서는, 도 19에 도시한 실시 형태에서, 상하 양 반송 필름 권선롤(11, 12), 상하 양 권취롤(14, 15) 및 양 구동 수단을 구비하고 있지 않다. 그 이외의 부분은 도 19에 도시한 실시 형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 이 실시 형태에서도 도 19에 도시한 실시 형태와 동일한 작용·효과를 갖는다.
도 24는 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 이 실시 형태에서는 도 19에 도시한 실시 형태에서 띠형상 적층체(9a)를 권취하는 적층체 권취롤(14a)을 구비하고 있지 않다. 또한, 띠형상 적층체(9a)의 구동 수단(14c)을 도 24에 도시한 위치에 설치하고 있다. 그 이외의 부분은 도 19에 도시한 실시 형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 이 실시 형태에서도 도 19에 도시한 실시 형태와 동일한 작용·효과를 갖는다. 또한, 이 실시 형태에서는 본 발명의 적층 장치로부터 인출된 띠형상 적층체(9a)는 1개의 기재(8a)와 이에 적층되는 상하 양 필름 형상 수지재(8b)로 구성되는 1개의 제품이 길이 방향으로 연속하여 형성되어 있고, 띠형상 적층체(9a)는 본 발명의 적층 장치에 인접하여 배치된 절단 장치(도시하지 않음)에 의해 1개의 제품단위로 절단된다. 또한, 도시하지 않지만 절단 장치를 띠형상 적층체(9a)의 구동 수단(14c)의 하류의 본 발명의 적층 장치 내에 배치해도 좋다.
도 25는 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 이 실시 형태에서는 도 19에 도시한 실시 형태에서 띠형상 적층체(9a)를 권취하는 적층체 권취롤(14a)을 구비하고 있지 않다. 또한, 띠형상 적층체(9a)의 구동 수단(14c)을 도 25에 도시한 위치에 설치하고, 또한 상하 양 반송 필름 권선롤(11, 12), 상하 양 권취롤(14, 15) 및 양 구동 수단을 구비하고 있지 않다. 그 이외의 부분은 도 19에 도시한 실시 형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 이 실시 형태에서도 도 19에 도시한 실시 형태와 동일한 작용·효과를 갖는다. 이 실시 형태는 본 발명의 적층 장치에 의해 상측 띠형상 필름 형상 수지재(10a), 하측 띠형상 필름 형상 수지재(10b)가 가열·가압되었을 때, 이들 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)의 단부로부터 수지가 녹아 배어 나와 본 발명의 적층 장치에 부착되지 않는 경우에 사용된다. 구체적으로는 감광성 폴리이미드 필름 등에 대해서 바람직하게 사용된다.
도 26은 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 이 실시 형태에서는 도 19에 도시한 실시 형태에서 띠형상 기판(10c) 대신, 기재(매엽 기판)(8a)를 사용하여, 진공 적층 장치(2)에 공급하는 구성이다. 그에 따라서, 도 19에 도시한 권선롤(11c)을 대신하여 반입 컨베이어(13)를 구비함으로써, 기재(매엽 기판)(8a)를 반입 컨베이어(13)로 1개씩 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 사이에 반입하여 진공 적층 장치(2)에 공급할 수 있다. 그 이외의 부분은 도 19에 도시한 실시 형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 이 실시 형태에서도 도 19에 도시한 실시 형태와 동일한 작용·효과를 갖는다. 또한, 이 실시 형태에서는 기재(매엽 기판)(8a)에 대해서 고가인 오토시트컷 라미네이터 등의 부대 설비를 사용하지 않고, 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)를 적층할 수 있다.
도 27은 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 이 실시 형태에서는 도 19에 도시한 실시 형태에서 띠형상 적층체(9a)를 권취하는 적층체 권취롤(14a)을 구비하고 있지 않다. 또한, 띠형상 적층체(9a)의 구동 수단(14c)은 도 27에 도시한 위치에 설치하고, 또한 띠형상 기판(10c) 대신 기재(매엽 기판)(8a)를 사용하여, 진공 적층 장치(2)에 공급하는 구성이다. 그에 따라서 도 19에 도시한 권선롤(11c)을 대신하여 반입 컨베이어(13)를 구비함으로써, 기재(8a)를 반입 컨베이어(13)로 1개씩 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 사이에 반입하여 진공 적층 장치(2)에 공급할 수 있다. 그 이외의 부분은 도 19에 도시한 실시 형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 이 실시 형태에서도 도 19에 도시한 실시 형태와 동일한 작용·효과를 갖는다. 이 실시 형태에서는 기재(8a)에 대해서 고가인 오토시트컷 라미네이터 등의 부대 설비를 사용하지 않고 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)를 적층할 수 있다. 또한, 본 발명의 적층 장치로부터 인출된 띠형상 적층체(9a)는 1개의 기재(매엽 기판)(8a)와 이에 적층되는 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)로 구성되고, 길이 방향으로 연속된 띠형상 적층체(9a)는 본 발명의 적층 장치에 인접하여 배치된 절단 장치(도시하지 않음)에 의해 1개의 제품단위로 절단된다. 또한, 도시하지 않지만 절단 장치를 띠형상 적층체(9a)의 구동 수단(14c)의 하류의 본 발명의 적층 장치 내에 배치해도 좋다.
도 28은 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 이 실시 형태에서는 도 19에 도시한 실시 형태에서, 띠형상 기판(10c) 대신 기재(매엽 기판)(8a)를 사용하여, 진공 적층 장치(2)에 공급하는 구성이다. 그에 따라, 도 19에 도시한 권선롤(11c)를 대신하여 반입 컨베이어(13)를 구비함으로써, 기재(매엽 기판)(8a)를 반입 컨베이어(13)에서 1개씩 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 사이에 반입하여 진공 적층 장치(2)에 공급할 수 있다. 또한, 도 19에 대해서 상하 양 반송 필름 권선롤(11, 12), 상하 양 권취롤(14, 15) 및 양 구동 수단을 구비하고 있지 않다. 그 이외의 부분은 도 19에 도시한 실시 형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 이 실시 형태에서도 도 19에 도시한 실시 형태와 동일한 작용·효과를 갖는다. 또한, 이 실시 형태에서는 기재(매엽 기판)(8a)에 대해서 고가인 오토시트컷 라미네이터 등의 부대 설비를 사용하지 않고, 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)를 적층할 수 있다. 또한, 이 실시 형태에서는 본 발명의 적층 장치에 의해 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)가 가열·가압되었을 때, 이들 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)의 단부로부터 수지가 녹아 배어나와 본 발명의 적층 장치에 부착되지 않는 경우에 사용된다. 구체적으로는 감광성 폴리이미드 필름 등에 대해서 바람직하게 사용된다.
도 29는 본 발명의 적층 장치의 또 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 이 실시 형태에서는 도 19에 도시한 실시 형태에서, 띠형상 적층체(9a)를 권취하는 적층체 권취롤(14a)을 구비하고 있지 않다. 또한, 띠형상 적층체(9a)의 구동 수단(14c)은 도 29에 도시한 위치에 설치하고, 또한 띠형상 기판(10c) 대신 기재(매엽 기판)(8a)를 사용하여, 진공 적층 장치(2)에 공급하는 구성이다. 그에 따라 도 19에 도시한 권선롤(11c)을 대신하여 반입 컨베이어(13)를 구비함으로써, 기재(매엽 기판)(8a)를 반입 컨베이어(13)로 1개씩 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 사이에 반입하여 진공 적층 장치(2)에 공급할 수 있다. 또한, 도 19에 대해서 상하 양 반송 필름 권선롤(11, 12), 상하 양 권취롤(14, 15) 및 양 구동 수단을 구비하고 있지 않다. 그 이외의 부분에는 도 19에 도시한 실시 형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 이 실시 형태에서도 도 19에 도시한 실시 형태와 동일한 작용·효과를 갖는다. 또한, 이 실시형태에서는 기재(매엽 기판)(8a)에 대해서 고가인 오토시트컷 라미네이터 등의 부대설비를 사용하지 않고 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)를 적층할 수 있다. 또한, 본 발명의 적층 장치로부터 인출된 띠형상 적층체(9a)는 1개의 기재(매엽 기판)(8a)와 이에 적층되는 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)로 구성되고, 길이 방향으로 간헐적으로 형성된 띠형상 적층체(9a)는, 본 발명의 적층 장치에 인접하여 배치된 절단 장치(도시하지 않음)에 의해 1개의 제품단위로 절단된다. 또한, 도시하지 않지만 절단 장치를 띠형상 적층체(9a)의 구동 수단(14c)의 하류의 본 발명의 적층 장치 내에 배치해도 좋다. 또한, 이 실시형태는 본 발명의 적층 장치에 의해 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)가 가열·가압되었을 때, 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)의 단부로부터 수지가 녹아 배어 나와 본 발명의 적층 장치에 부착되지 않는 경우에 사용된다. 구체적으로는 감광성 폴리이미드 필름 등에 대해서 바람직하게 사용된다.
또한, 도 1에서는 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)를 병설한 연속 적층 장치로 되어 있지만 이에 한정되는 것은 아니고, 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)를 독립하여 사용해도 좋다. 또한, 도 1에서는 가적층체(7), 적층체(9)의 반송이나 필름 형상 수지재(8b), 필름 형상 수지층(8c)로부터의 배어 나옴을 제거하기 위해 상하 양 반송 필름(5, 6)을 병용하고 있지만, 이와 같은 상하 양 반송 필름(5, 6)의 장력 및 반송 속도를 제어 조절하기 위해, 반송 필름 권출부(1)가 진공 적층 장치(2)의 가적층체(7)의 반입구 부근에, 반송 필름 권취부(4)가 평면 프레스 장치(3)의 적층체(9)의 반출구 부근에 각각 배치되어 있다. 또한, 도 19, 도 24, 도 26 및 도 27에서는 띠형상 적층체(9a)로부터 수지의 배어 나옴을 제거하기 위해 상하 양 반송 필름(5, 6)을 병용하고 있지만, 이와 같은 상하 양 반송 필름(5, 6)의 장력 및 반송 속도를 제어 조절하기 위해 필름 권출부(1a)가 진공 적층 장치(2)의 필름 입구 부근에, 필름 권취부(4a)가 평면 프레스 장치(3)의 필름 출구 부근에 각각 배치되어 있다.
또한, 상기 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)에서 상부 플레이트(20), 상부 프레스 블럭(41)이 상하 이동 가능하고, 하부 플레이트(21), 하부 프레스 블럭(42)이 고정된 것을 사용해도 좋지만, 상부 플레이트(20), 상부 프레스 블럭(41)의 승강 기구에 의해 발생하는 이물 먼지의 관점에서 도 1, 도 19 및 도 24~도 29의 구성이 바람직하다.
또한, 도 1, 도 19, 도 24, 도 26 및 도 27에서는 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)에서 처리할 때 모두 상하 양 반송 필름(5, 6)을 사용하는 경우를 도시하고 있지만, 이들 상하 양 반송 필름(5, 6)을 진공 적층 장치(2)로 처리할 때만 사용하거나, 평면 프레스 장치(3)로 처리할 때에만 사용해도 좋다. 또한, 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)에 각각 별개로 상하 양 반송 필름(5, 6)이 설치되어 있어도 좋다.
도 30은 상기 각 실시 형태에서 사용한 진공 적층 장치(2)의 변형예를 도시하고 있다. 이 예에서는 상기 진공 적층 장치(2)에 가동 진공틀(30)을 설치하지 않고, 상부 플레이트(20)의 하면에 거의 사각형 틀형상의 상측 고정 틀부(63)가 기밀 상태로 고정되고, 하부 플레이트(21)에 거의 사각형 틀형상의 하측 고정 틀부(64)가 고정되어 있다. 또한, 이 예에서는 상측 고정 틀부(63)에 진공 형성용 노즐(33)이 고정되어 있지 않고, 하부 플레이트(21)에 하측 고정 틀부(64)를 따라서 진공 형성용 관통 구멍(65)을 설치하고, 상기 진공 형성용 관통 구멍(65)을 통하여 공간부(34) 내의 공기를 진공 형성하도록 하고 있다.
또한, 이 예에서는 하부 플레이트(21)를 승강 자유롭게 지지하는 유압 실린더 또는 에어 실린더(66)와, 하측 열반(26)에 하측 단열재(25)를 통하여 고정된 지지판(67)을 승강 자유롭게 지지하는 유압 실린더 또는 에어 실린더(68)를 설치하고, 유압 실린더 또는 에어 실린더(66)로 하부 플레이트(21)를 상하 이동시키고, 유압 실린더 또는 에어 실린더(68)에서 하측 열반(26)을 상하 이동시키도록 하고 있다. 도면에서, "69"는 상기 하측 고정 틀부(64)의 상면에 고정된 환형상 시일 부재이고, 진공 적층시에 공간부(34) 내를 기밀 상태로 유지하는 작용을 한다. 그 이외의 부분은 상기 각 실시 형태에서 사용한 진공 적층 장치(2)와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 이 예의 진공 적층 장치(2)를 사용한 경우에도, 상기 각 실시 형태의 적층 장치와 동일한 작용·효과를 갖는다.
또한, 상기의 양 적층 장치를 이용하여, 본 발명의 적층 방법을 실시하기에 앞서 미세 점착롤이나 초음파 클리너 등의 클리닝 장치를 배치하고, 이들에 의해 기재(8a)의 표면이나 상하 양 반송 필름(5, 6)의 표면을 클리닝해도 좋다.
또한, 진공 적층 장치(2)의 앞이나 평면 프레스 장치(3)의 뒤에는 반입 컨베이어(13), 배출 컨베이어(도시하지 않음)가 배치되고, 반입 컨베이어(13)에 의해 가적층체(7)가 상하 양 반송 필름(5, 6)에 공급되고, 배출 컨베이어에 의해 상하 양 반송 필름(5, 6)으로부터 박리된 적층체(9)가 배출되지만, 이들 양 컨베이어(13)를 대신하여 회전롤군이나 무단 벨트(endless belt)를 사용해도 좋다. 또한, 양 컨베이어(13)의 소재는 오염되기 어렵고 먼지가 발생하지 않는 것이 좋다. 또한, 상기 양 컨베이어(13)의 크기는 길이 0.3~3m의 범위 내에서, 바람직하게는 0.5~1.5m이면 좋고, 또한 그 반송 속도는 통상 1~25m/분의 범위내이다.
평면 프레스 장치(3)로부터 적층체(9)가 배출될 때, 후공정에서의 억압 흔적(타격 흔적)을 방지하기 위해, 배출 직후에 실온 정도로 냉각 고화되는 것이 바람직하고, 이와 같은 냉각 방법에 대해서는 특별히 한정되지 않고, 자연 방열에 의해 냉각시켜도 좋지만, 평면 프레스 장치(3)의 직후에 냉각 장치를 설치해도 좋다. 상기 냉각 장치는 공업적으로는 냉동기, 공기의 단열 팽창을 이용하여 얻은 냉기를 이용하는 냉각팬이나 냉풍 에어 나이프, 냉수가 관을 통과하게 한 냉각롤 등이 사용된다.
상기 냉각시에, 상하 양 반송 필름(5, 6)에 협지시킨 상태에서 적층체(9)를 냉각하는 것이 더욱 바람직하고, 평면 프레스 장치(3)에서 반송된 적층체(9)를 상하 양 반송 필름(5, 6)에 협지한 상태로 냉각하고, 냉각 후에 후방측의 배출 컨베이어에 배출하는 것이 바람직하다.
배출 컨베이어의 입구에는 평면 프레스 장치(3)에서의 가열 가압 처리 후, 적층체(9)와 상하 양 반송 필름(5, 6)을 벗겨내기 위한 박리롤 등의 박리 장치, 예를 들어 튀어 오름 방지 장치(도시하지 않음)를 설치하면 바람직하다. 평면 프레스 장치(3) 뒤에, 압체된 적층체(9)를 저장하기 위한 스토커나, 적층체(9)의 표면 평활성의 향상을 위해 추가로 가압 장치 등을 적절하게 배치해도 좋다. 또한, 정전기 대책을 위해 상하 양 반송 필름(5, 6)의 필름 라인이나 각 부분에 정전기방지바 등을 설치해도 좋다.
또한, 도 19에서 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 및 상하 양 수지재 권선롤(11a, 11b)을 대신하여 띠형상 기판 권선롤(11c)을 오토시트컷 라미네이터 상류에 배치하고 띠형상 기판 권선롤(11c)로부터 인출한 띠형상 기판(10c)을 오토시트컷 라미네이터에 삽입 통과시키고 단책 시트 형상으로 잘린 필름 형상 수지재(8b)를 띠형상 기판(10c)에 가고정하여 진공 적층 장치(2)에 공급해도 좋고, 띠형상 기판(10c) 및 띠형상 기판 권선롤(11c)을 대신하여, 도 26, 도 27에 도시한 바와 같이, 기재(8a)를 반입 컨베이어(13)에 의해 1개씩 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 사이에 반입하여 진공 적층 장치(2)에 공급해도 좋다. 또한, 도 30에서 띠형상 기판(10c) 및 띠형상 기판 권선롤(11c)을 대신하여, 도 28, 도 29에 도시한 바와 같이, 기재(매엽 기판)(8a)를 반입 컨베이어(13)에 의해 1개씩 상하 양 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b) 사이에 반입하여 진공 적층 장치(2)에 공급해도 좋다.
본 발명은 프린트 기판 이외의 다른 용도, 예를 들어 LCD 기판 상에 점착제부착 편광판이나 점착제 부착 위상차판을 붙일 때, 탭 테이프에 각종 기재를 접합할 때, 각종 전자 기판에 다이싱 테이프 등이나 핫멜트 수지가 부착된 필름, 예를 들어 IC 카드 등을 접합할 때에도 유효한 장치나 방법이다. 또한, 본 발명의 진공 프레스 장치를 사용함으로써, 요철을 갖는 기재에 필름 형상 수지재를 밀착 추종시킴과 동시에, 기재의 요철에 유래하는 필름 형상 수지재의 표면의 요철을 평탄화하는 것이 가능하고, 본 발명의 진공 프레스 장치에서 적층한 제품을 추가로 평면 프레스 장치에서 평활화하는 용도에서는 필름 형상 수지재의 표면이 상기와 같이 평탄화되므로 평면 프레스 시간이 단축됨과 동시에, 필름 형상 수지재 주위로부터의 수지의 배어 나옴이 억제되어 필름 형상 수지재 주변부의 수지 두께 균일성이 개선된다.
실시예
이하, 실시예를 들어 본 발명을 더 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 그 요지를 벗어나지 않는 한, 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다.
〔실시예 1〕
도 1에 도시한 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)를 사용했다. 진공 적층 장치(2)의 상하 양 플레이트(20, 21)의 열반(23, 26)에 의해 공간부(34)를 미리 110℃로 조정해 두었다. 우선, 에폭시 수지로 이루어진 열경화성 수지 조성물(유리 전이 온도 80℃)과 폴리에틸렌테레프탈레이트 지지 필름으로 이루어진 필름 형상 수지재(8b)를 표리 양면에 요철을 갖는 기재(8a)의 표리 양면에 설치하고, 양 필름 형상 수지재(8b)(수지층의 두께 38㎛)의 수지면이 상기 기재(8a)의 요철면(요철의 두께 18㎛, 요철의 간격 20㎛)에 접하도록 오토시트컷 라미네이터에 의해 가고정하여 가적층체(7)를 준비했다.
다음에, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름으로 이루어진 상하 양 반송 필름(5, 6)(두께 38㎛, 표면 거칠기 0.5㎛)으로 상기 가적층체(7)를 진공 적층 장치(2) 내의 압체 위치에 반송한 후 하부 플레이트(21)를 상승시키고, 상부 플레이트(20)와 밀봉 계합한 후, 감압 조작에 들어갔다.
진공 형성용 노즐(33)로부터 공기를 진공 펌프(도시하지 않음)로 흡인하여 흡인 개시 30초 후의 공간부(34)를 100Pa로 하고 두께 2㎜, 크기(세로×가로) 63㎝×63㎝의 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)으로 가적층체(7)를 1㎫의 압력으로 20초간 가압했다. 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)으로, 긴요사 제조 「긴요 보드 F200」를 상하 양 열반(23, 26)에 직접 고정하여 사용하고, 상하 양 열반(23, 26)의 내부에 각각 시스히터(23a, 26a)를 9개 내장했다.
다음에, 공간부(34)를 대기압으로 되돌리고 하부 플레이트(21)를 하강시켜, 압체된 가적층체(7)(즉, 적층체(9))를 상하 양 반송 필름(5, 6)에 의해 진공 적층 장치(2)로부터 배출하여 평면 프레스 장치(3)에 반송했다.
다음에, 평면 프레스 장치(3)에 의해 적층체(9)의 프레스를 실시했다. 상하 양 플렉시블 금속판(49, 53)으로, 프레스면의 평면도가 3㎛의 스테인리스판(SUS630H, 두께 3㎜)을 사용하고, 상하 양 완충재(48, 52)로서 불화비닐리덴계 고무(불화비닐리덴, 육불화 프로필렌, 사불화에틸렌의 공중합체)를 #1500의 샌드페이퍼로 표면 처리하여, 두께 2.5㎜, 표면 거칠기 Rz 15㎛, 쇼어 A 경도 70도로 조정한 것을 사용했다. 또한, 상하 양 열반(47, 51)의 내부에 시스히터(47a, 51a)를 9개 내장하고, 하부 플레이트(45)로 두께 80㎜의 철제의 것을 사용했다.
우선, 평면 프레스 장치(3)의 상하 양 플레이트(44, 45)의 열반(47, 51)을 120℃로 조정하고, 하부 플레이트(45)를 상승시키고 상하 양 플렉시블 금속판(49, 53)으로 적층체(9)를 1.5㎫의 압력으로 50초간 가열 프레스했다.
그 중, 하부 플레이트(45)를 하강시켜 적층체(9)를 상하 양 반송 필름(5, 6)으로 반송하여 평면 프레스 장치(3)로부터 배출했다. 얻어진 적층체(9)에 대해서 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성, 주름 발생의 평가를 이하의 요령으로 실시했다.
[추종성]
적층체(9)의 표면을 관찰하여, 기재(8a)의 요철을 따라서 필름 형상 수지층(8c)이 적층되어 있는지의 여부를 250배 현미경으로 관찰했다.
○…요철을 따라서 필름 형상 수지층(8c)이 충전되어 있고, 미세공동도 없고 추종하고 있다.
×…요철을 따라서 필름 형상 수지층(8c)이 충전되어 있지 않거나 또는 미세공동이 있다.
[막두께 균일성]
적층체(9)를 크로스섹션법으로 수직 절단면을 전자 현미경으로 관찰하여 기재(8a)의 볼록면 상에 적층되는 수지층의 두께를 측정하고, 각각의 두께의 차를 이하와 같이 평가했다.
○…0.5㎛ 미만
×…0.5㎛를 초과
[표면 경면성]
적층체(9)의 필름 형상 수지층(8c)면을 대각선 45도의 각도로 기재(8a)에 닿는 형광등의 반사광을 육안으로 관찰하여 이하와 같이 평가했다.
○…경면에 가까운 상태이다
×…경면이 되지는 않음
[주름의 발생]
적층체(9)의 표면을 관찰하여 필름 형상 수지층(8c)의 표면에 주름의 발생 여부를 관찰했다.
○…주름이 발생하지 않음
×…주름이 발생함
〔실시예 2〕
실시예 1의 조건에서 기재(8a)를 진공 적층 장치(2)의 열반(23, 26)의 중앙 부에 놓고 30만회 운전후에 실시예 1의 조건으로 얻어진 적층체(9)에 대해서 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성, 주름 발생을 동일하게 평가했다.
〔실시예 3〕
실시예 2의 조건에서, 진공 적층 장치(2)의 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)으로서 쇼어 A 경도 60도, 두께 4㎜, 표면 거칠기 Rz 3㎛의 함불소 실리콘 고무를 평면도 3㎛의 스테인리스판(SUS630H, 두께 2㎜)의 한쪽면에 가황 접착하고, 함불소 실리콘 고무를 가황 접착하지 않은 측의 면에, 긴요사 제조 「긴요 보드 F200」를 완충재〔크기(세로×가로)63㎝×63㎝〕로 하여 상하 양 열반(23, 26)에 고정한 이외에는, 동일한 조건으로 적층체(9)를 형성하고 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성, 주름의 발생을 동일하게 평가했다.
〔실시예 4〕
도 19에 도시한 진공 적층 장치(2) 및 평면 프레스 장치(3)를 사용하여, 연속 띠형상의 에폭시 수지로 이루어진 열경화성 수지 조성물(유리 전이 온도 80℃)과 폴리에틸렌테레프탈레이트 지지 필름으로 이루어진 연속 띠형상 필름 형상 수지재(10a, 10b)를 표리 양면에 요철을 갖는 띠형상 기판(10c)(띠형상 기판(10c)의 절연층은 70㎛의 폴리이미드 필름, 요철의 두께 18㎛, 요철의 간격 20㎛)을, 도 20에 도시한 바와 같이, 삽입 통과한 이외에는 실시예 2의 조건으로 연속 띠형상 적층체(9a)를 형성하고 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성, 주름의 발생을 동일하게 평가했다.
〔실시예 5〕
실시예 2의 조건에서 사용한 양 필름 형상 수지재(8b)의 수지층의 두께 68㎛, 기재(8a)의 요철의 두께 50㎛, 요철의 간격 50㎛인 이외에는 실시예 2와 동일한 조건으로 적층체(9)를 형성하고 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성, 주름의 발생을 동일하게 평가했다.
〔실시예 6〕
실시예 3의 조건에서 사용한 양 필름 형상 수지재(8b)의 수지층의 두께 68㎛, 기재(8a)의 요철의 두께 50㎛, 요철의 간격 50㎛인 이외에는 실시예 3과 동일한 조건으로 적층체(9)를 형성하고 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성, 주름의 발생을 동일하게 평가했다.
〔실시예 7〕
실시예 4의 조건에서 사용한 연속 띠형상 양 필름 형상 수지재(10a, 10b)의 두께 68㎛, 띠형상 기판(10c)(띠형상 기판(10c)의 절연층은 70㎛의 폴리이미드필름, 요철의 두께 50㎛, 요철의 간격 50㎛)인 이외에는 실시예 4와 동일한 조건으로 연속 띠형상 적층체(9a)를 형성하고 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성, 주름 발생을 동일하게 평가했다.
〔비교예 1〕
도 1에 도시한 진공 적층 장치(2), 평면 프레스 장치(3)를 대신하여 1대의 평면 프레스 장치(3)를 사용하여 적층체(9)를 형성하고 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성, 주름의 발생을 동일하게 평가했다.
〔비교예 2〕
진공 적층 장치(2)의 상하 양 탄성 프레스판(24, 27)으로서 섬유층을 포함하지 않는 쇼어 A 경도 60도, 두께 4㎜, 표면 거칠기 Rz 3㎛의 함불소 실리콘 고무를 사용한 이외에는 실시예 2와 동일한 조건으로 적층체(9)를 형성하고 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성, 주름 발생을 동일하게 평가했다.
실시예 1~7 및 비교예 1, 2의 평가 결과를 하기의 표 1에 나타낸다.
추종성 막두께 균일성 표면 경면성 주름 발생
실시예 1
실시예 2
실시예 3
실시예 4
실시예 5
실시예 6
실시예 7
비교예 1 × × × ×
비교예 2 × × ×
상기 표 1에 의해 추종성, 막두께 균일성, 표면 경면성 및 주름 발생에 있어서, 실시예 1~7 쪽이 비교예 1 보다 우수한 것을 알 수 있다.

Claims (15)

  1. 서로 대향하는 한 쌍의 가열 수단이 부착된 열반이 설치되고, 이들 양 열반 중 적어도 한쪽이 다른쪽에 대해 진퇴 가능한 진공 프레스 장치를 구비하고, 상기 진공 프레스 장치에 의해 표리 양면 중 적어도 한쪽에 요철을 갖는 기재의 요철면에 필름 형상 수지재를 적층하여 적층체를 형성하는 적층 장치로서,
    상기 필름 형상 수지재에 서로 대향하는 열반의 상기 필름 형상 수지재측의 면에, 필름 형상 수지재를 가압하는 탄성 프레스판을 설치하며,
    상기 탄성 프레스판의 상기 열반측의 면에 판 형상체를 접착 고정하며,
    상기 열반과 상기 판 형상체 사이에 완충재를 설치한 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성 프레스판이 내열성 실리콘 고무 또는 내열성 불소 고무로 이루어진 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 탄성 프레스판이 섬유층을 갖는 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 탄성 프레스판의 쇼어 A 경도가 40도 이상인 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 탄성 프레스판의, 필름 형상 수지재에 접하는 표면이 조면화되어 있는 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    제1 띠형상 필름이 권선된 제1 필름 권선롤과, 상기 제1 필름 권선롤과 서로 대치하여 설치되고 제2 띠형상 필름이 권선된 제2 필름 권선롤과, 상기 제1 및 제2 필름 권선롤에 권선된 제1 및 제2 띠형상 필름을 서로 대향 상태로 인출하여 상기 진공 프레스 장치의 양 열반 사이를 통과시켜 권취하는 제1 및 제2 필름 권취롤과, 상기 양 필름 권선롤로부터 인출된 양 띠형상 필름 사이에 형성되는 간극에, 기재 중 적어도 한쪽면에 필름 형상 수지재가 가고정된 가적층체를 공급하는 공급 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    제1 및 제2 필름 권취롤을, 양 열반의 1회마다의 작동에 맞추어 간헐 구동하는 권취롤 구동 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    필름 형상 수지재를 띠형상으로 하여 이루어진 제1 띠형상 필름 형상 수지재가 권선된 제1 수지재 권선롤과, 상기 제1 수지재 권선롤과 서로 대치하여 설치되고 필름 형상 수지재를 띠형상으로 하여 이루어진 제2 띠형상 필름 형상 수지재가 권선된 제2 수지재 권선롤과, 상기 양 수지재 권선롤로부터 인출된 양 띠형상 필름 형상 수지재 사이에 형성되는 간극에 기재를 공급하는 공급 수단을 구비하고, 상기 제1 및 제2 수지재 권선롤로부터 인출된 제1 및 제2 띠형상 필름 형상 수지재를 서로 대향 상태로 상기 진공 프레스 장치의 양 열반 사이에 안내하는 제1 및 제2 안내 수단과, 상기 기재를 사이에 끼운 제1 및 제2 띠형상 필름 형상 수지재를 상기 양 열반 사이에 도입하여 기재의 표리 양면에 상기 제1 및 제2 띠형상 필름 형상 수지재를 적층하여 이루어진 띠형상 적층체를 형성하는 진공 프레스 장치와, 상기 띠형상 적층체를 인장하는 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    기재가 매엽 기판 또는 띠형상 기판인 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 띠형상 적층체를 인장하는 수단을, 양 열반의 1회 마다의 작동에 맞추어 간헐 구동하는 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  13. 제 10 항에 있어서,
    제1 띠형상 필름이 권선된 제1 필름 권선롤과, 제2 띠형상 필름이 권선된 제2 필름 권선롤과, 제1 띠형상 필름 및 제2 띠형상 필름을 안내하는 제1 및 제2 안내 수단과, 상기 제1 및 제2 띠형상 필름을 권취하는 권취롤을 추가로 설치하고, 제1 및 제2 수지재 권선롤로부터 인출되고, 기재를 사이에 끼운 제1 및 제2 띠형상 필름 형상 수지재를, 상기 양 필름 권선롤로부터 인출된 양 띠형상 필름으로 끼운 상태에서 띠형상 적층체를 형성하고, 제1 및 제2 띠형상 필름을 상기 띠형상 적층체와는 별개로 권취되도록 한 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  14. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    서로 대향하는 한 쌍의 열반이 설치되고, 이들 양 열반 중 적어도 한쪽이 다른쪽에 대하여 진퇴 가능한 평면 프레스 장치를 구비하고, 상기 평면 프레스 장치의 양 열반으로, 상기 진공 프레스 장치에 의해 형성된 적층체의 표리 양면을 가압하여 평활해지도록 구성한 것을 특징으로 하는 적층 장치.
  15. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 적층 장치를 사용하여, 표리 양면 중 적어도 한쪽에 요철을 갖는 기재의 상기 요철면에 필름 형상 수지재를 적층하여 적층체를 형성하는 것을 특징으로 하는 적층 방법.
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