JP4627178B2 - ラミネート装置 - Google Patents

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Description

本発明は、シートを用いたラミネート装置に関するものである。より詳しく言えば、非粘着性の転写シート等のシートをガラス基板に載置するラミネート装置(ラミネータ)に関するものである。
液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタはフォトリソ工程で製造される他、ガラス基板に転写シートを載置し、レーザ光を照射してガラス基板上にブラックマトリックス等のパターンを形成して得られる方法がある。
レーザ転写を行う方法を記載した文献として例えば特許文献1がある。
特開平3−138160号公報
ところで、従来の転写装置は、巻き取り状の転写シートを取り出して、吸着部に吸着させるので、転写シートにしわが発生したり、転写シートと吸着部の間の空気が抜き取りにくいという問題があった。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、転写シートの取り扱いが容易で、転写シートにしわの発生等がなく、転写シートと吸着部の間の空気を容易に除去できるラミネート装置を提供することにある。
前述した目的を達成するために第1の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段を具備し、前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、前記吸着部の内周に間隙を設けたことを特徴とするラミネート装置である。
第2の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、を具備し、前記押圧手段は、ラミネートローラを含み、前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、前記吸着プレートの吸着部は、ローラ位置に応じて、吸着用部材の吸着位置を任意に変更可能であることを特徴とするラミネート装置である。
第3の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、を具備し、前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、前記空気除去手段は、前記吸着プレートの表面を凸形状に形成することにより、シートと基板の間に残留する空気を排出することを特徴とするラミネート装置である。
第4の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、を具備し、前記移動手段は、前記シートを吸着する吸着手段と、前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、を備え、前記吸着手段は、枠体の下部に設けられ、前記吸着手段は、前記シートの長さ方向の両端を吸着する1対の吸着パッドを有し、各吸着パッドの長さが、前記枠体に対して、前記枠体から下方向に沿って、伸縮可能であることを特徴とするラミネート装置である。
第5の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、を具備し、前記移動手段は、前記シートを吸着する吸着手段と、前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、を備え、前記吸着手段は、枠体の下部に設けられ、前記吸着手段は、前記シートの長さ方向の両端を吸着する1対の吸着パッドを有し、前記移動手段は、前記吸着手段の前記1対の吸着パッドの一方を、前記枠体に対して、前記枠体から下方向に伸長することにより、前記シートの一辺を前記吸着プレートに載置した後、前記シートの全体を前記吸着プレートに載置することを特徴とするラミネート装置である。
第6の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、を具備し、前記移動手段は、前記シートを吸着する吸着手段と、前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、を備え、前記移動手段は、前記シートの中央部を前記吸着プレートに載置した後、前記シートの保持を開放し全体を前記吸着プレートに載置することを特徴とするラミネート装置である。
第7の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、を具備し、前記押圧手段は、ラミネートローラに加えて、ラミネートローラのシートと相対する側で接触する少なくとも1つの押圧ローラを設け、前記ラミネートローラを押圧し、2つの前記押圧ローラを前記ラミネートローラの長さ方向と直角の方向に並列に並べて設置し、同一の押圧力発生機構によりラミネートローラを押圧することを特徴とするラミネート装置である。
ラミネート装置は、吸着プレートに吸着された前記転写シートを押圧する押圧手段、前記所定の長さのシートを巻き取りから取り出す取出手段、取り出された前記所定長さのシートを切断する切断手段を更に具備する。前記取出手段は、前記転写シートをチャックするチャック機構と、前記チャック機構を移動させる移動機構と、を具備する。
前記切断手段は、前記転写シートをチャック台上に押圧して仮固定する押圧部と、前記転写シートを切断するカッタと、を具備する。
前記移動手段は、前記転写シートを吸着する吸着手段と、前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、を具備する。前記転写シートは非粘着性である。前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材を備える。
前記移動手段は、前記吸着プレート上に、切断された複数枚の転写シートを載置し、載置された複数枚の転写シートの合わせ部を接合するテープの如き接合手段を更に具備するようにしてもよい。
前記押圧手段は、ラミネートローラまたは重りであり、このローラは、移動速度が可変であり、押圧力も可変である。前記押圧手段は、ローラとバックアップローラ、風船と押圧板、透明板状部材、エアブローなどでもよい。前記吸着プレートは、表面が凸形状に形成されてもよい。
前記空気除去手段は、前記吸着用部材の内周部に設けた間隙および給着用部材を通して、転写シートと基板の間に残留する空気を排出する。また、前記空気除去手段は、前記押圧手段により、転写シートを押圧することにより、転写シートと基板の間の空気を排出する。また、吸着プレートの表面を凸形状に形成することにより、転写シートと基板の間の空気を排出するようにしてもよい。
さらに、ラミネートローラのよる押圧時に、吸着プレートの吸着部をローラの位置に応じて任意に変化させるようにすることにより、前記空気除去手段は、転写シートと基板の間に残留する空気を適切に排出することが可能になる。
ラミネート装置は、前記巻き取り状の転写シート及び前記巻き取りから取り出された転写シートの除電を行う除電バーを、更に備える。前記移動手段は、前記転写シートの片側を前記吸着プレートに載置した後、前記転写シートの全体を前記吸着プレートに載置するかあるいは、前記転写シートの中央部を前記吸着プレートに載置した後、前記転写シートの全体を前記吸着プレートに載置する。
前記吸着手段は、前記転写シートを吸着するための1対の吸着パッドを備え、各吸着パッドの長さは伸縮可能であることが好ましい。これにより、まず、前記転写シートの片側を前記吸着プレートに載置してから全体を吸着プレートに載置したり、転写シートの中央部をまず吸着プレートに載置することが可能になる。
さらに、前記押圧手段としてのラミネートローラは、さらに、ラミネートローラを押圧する押圧ローラを備えるようにしてもよい。押圧ローラは、その長さを、ラミネートローラと同一、あるいは短くしてもよく、また、複数の短い押圧ローラを直列に設置してもよい。また、2つの押圧ローラを並列に設置してもよい。
このように、押圧ローラを設置することにより、ラミネートローラを介して転写シートを押圧することにより、転写シートと基板の間に残留する空気を適切に排出することが可能になる。
本発明では、転写シートの取り扱いが容易で、転写シートにしわの発生等がなく、転写シートと吸着部の間の空気を容易に除去できるラミネート装置を提供できる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。まず、本発明の概要を説明する。図1は、本発明に用いられる転写シート1の断面図であり、図2は、転写シート1の平面図である。図1は図2のA1−A1断面を示す。
図1に示されるように、転写シート1は基材3上に剥離層5、樹脂層7が積層されてなる。基材3は、透明樹脂フィルムからなり、剥離層5は、UV硬化型アクリル樹脂からなり、樹脂層7は、熱硬化型アクリル樹脂からなる。
この転写シート1にレーザ光を照射すると、樹脂層7の樹脂がガラス基板11に転写され、所定のパターンが形成される。
図2に示すように、基材3の幅よりも剥離層5、樹脂層7の幅を狭くし、基材3上に剥離層5、樹脂層7の形成されていない側部9を形成する。
後述するラミネータ201等のチャック装置等で転写シート1をチャックする場合、側部9をチャックする。側部9を設けることにより樹脂層7等の塗布量を削減でき、コスト低減を図ることができる。
図3は、本発明の加工装置の概要を示すもので、図3(a)はラミネータ、図3(b)は描画部、図3(c)はピーラを示す。
図3(a)に示すように、巻き取り状の転写シート207から転写シート1を引き出し、所定の長さで切断してガラス基板11上に載置する。
図3(b)に示すように、ガラス基板11上に載置された転写シート1上に照射部63からレーザ光を照射することにより転写シート1上の樹脂成分等がガラス基板11に転写され、ブラックマトリックス等のパターンがガラス基板11上に形成される。
図3(c)に示すように、ガラス基板11から転写シート1を剥ぎ取る。このようにして、ガラス基板11上にブラックマトリックスのパターンが形成される。
(ラミネータ201)
図4に示されるように、ラミネータ(ラミネート装置)201は巻取り状の転写シート207、ガイドローラ209、ラミネートローラ211等からなる。巻取り状の転写シート207は、転写シート1が巻かれたものである。ステージ57上に直方体形状の1対の支持板203が対向して設けられ、またステージ57に直方体形状の1対の支持板213が設けられる。支持板203、203の間に転写シート1が巻かれたローラ207とガイドローラ209が回転可能に設けられる。支持板213、213の間にラミネートローラ211が設けられる。また、後述するようにチャック機構、カッタ、吸着パッド等が備えられる。
ガラス基板11を搭載した吸着プレート73がラミネート開始位置まで移動すると、巻取り状の転写シート207がチャック機構により引き出され、所定の長さでカッタにより切断され、切断された転写シート1が吸着パッドに吸着されつつガラス基板11上に載置され、吸着プレート73の吸着用部材95で転写シート1が吸着される。その後、ラミネートローラ211で転写シート1を押圧し転写シート1とガラス基板11との間のエアー等を除去しラミネートする。
吸着プレート73は平板状の定盤91の上面の周囲に吸着用部材95を設けたものである。
図5に示すように、吸着用部材95は定盤91の上面の周囲に口の字型に設けられる。吸着用部材95は多数の孔を有する。
図6に示すように、図示しない真空ポンプで吸引すると、吸着用部材95に転写シート1が吸着される。吸着用部材95と定盤91との間には間隙96が設けられているので、転写シート1とガラス基板11との間にエアー等が存在しても間隙96、吸着用部材95を介してそのエアーが吸収される。
図5に示されるように、吸着用部材95は部分ごとに吸着が可能であり、例えば図5に示す下辺の吸着用部材95aでは吸着範囲99a、99b、99c、99dが設定され、この部分が独立して吸着を行う。また、右辺の吸着用部材95bでは、吸着範囲99e、……、99hが設定され、この部分が独立して吸着を行う。
吸着用部材95を部分ごとに独立して吸着できるようにすることにより、転写シート1とガラス基板11の間に残留している空気を、転写シート1の一端から、あるいは中央部から順に排出しながら、転写シート1を吸着プレート73に吸着することが可能になる。
ガラス基板11を定盤91上に載置する。そして、押圧ピン等によりガラス基板の位置決めが行われる。
図7は、ラミネータ201の概略構成図である。
ラミネータ201は巻き取り状の転写シート207、ガイドローラ209、チャック231、チャック台233、押圧部235、カッタ237、枠体239等からなる。
巻き取り状の転写シート207は、チャック231及び図示しない他のチャックにより取り出される。チャック231は当初は点線で示す位置にあり、転写シート1を挟むとY1方向に移動し、枠体239の下方まで転写シート1を移動させる。
転写シート1が図7に示されるように所定の長さだけ引き出されると、押圧部235が下降し、チャック台233と押圧部235により転写シート1が挟まれる。この状態でカッタ237が下降し、転写シート1を切断する。カッタ237は溝234の一辺に沿って紙面に垂直方向に移動し、転写シート1を切断する
枠体239の下部には吸着パッド243a、243bが設けられ、上部には昇降機構241が設けられる。枠体239は昇降機構241により昇降可能である。吸着パッド243a、243bは枠体239に対して伸縮自在に設けられる。
巻き取り状の転写シート207の上部には除電バー245aが設けられ、転写シート1が取り出される部分にも除電バー245bが設けられる。除電バー245a、245bは転写シート1に発生する静電気等を取り除く。除電バー245a、245b以外に他の除電バーを取り付けてもよい。
除電バー245は、このほか、例えば、ラミネートローラ211の上部にも設けてもよい。除電バー245により、転写シート1に発生する静電気を除去し、塵等が転写シート1やラミネート装置201に付くのを抑えることが可能である。
次に、このラミネータ201の概略動作について説明する。図7に示すように、チャック231により転写シート1を挟み、チャック231がY1方向に移動することにより転写シート1が枠体239の下方まで引き出される。
次に、図8に示すように、押圧部235が下降し、転写シート1がチャック台と押圧部235との間で固定される。カッタ237が下降し、転写シート1を切断し、溝234の一辺に沿って紙面垂直方向に移動することにより転写シート1が所定の長さ分切断される。吸塵部236は、チャック台233を介して溝234に到る。溝234に設けられた吸塵部236から、転写シート1の切断時に発生した塵を吸入して回収する。
次に、図9に示すように、吸着パッド243a、243bが下降し、転写シート1を吸着するとともにチャック231は転写シート1を開放し、押圧部235、カッタ237も上昇する。この状態で転写シート1は吸着パッド243a、243bにより吸着される。
次に、図10に示すように、昇降機構241により枠体239が下降し、吸着プレート73のガラス基板11と転写シート1との間隔が所定の距離になると枠体239が停止する。
次に、図11に示すように、吸着パッド243aが下降し、吸着を停止することにより、転写シート1の一端が吸着プレート73上に載置される。そして、転写シート1が載置された部分の吸着用部材95が部分的に吸着を行う。その後、吸着プレート243bも吸着を停止することにより、転写シート1が吸着プレート73上に落下し、吸着用部材95の他の部分も吸着を開始するので転写シート1が吸着プレート73に吸着される。
また、図12に示すように、転写シート1は多少撓ませた状態で吸着パッド243a、243bで転写シート1を吸着し、枠体239を下降させてもよい。転写シート1の中央部が吸着プレート73上のガラス基板11に接触する時点で枠体239を停止させ、吸着パッド243による吸着も停止させる。転写シート1は吸着プレート73上に落下し、吸着プレート91の吸着用部材95が転写シート1を吸着する。
転写シート1を撓ませた状態で吸着プレート73に接触させることにより、転写シート1と吸着プレート73との間のずれを生ずることがなく、また転写シート1のしわも防ぐことができる。
その後、図13に示すように、吸着プレート73上に転写シート1が吸着された状態で、ラミネートローラ211が吸着プレート73上を加圧を行いながら回転移動し、転写シート1とガラス基板11との間のエアーを抜き出す。ラミネートローラ211の移動速度及び加圧力は変更可能である。
またこのとき、分割された吸着用部材の吸引箇所をラミネートローラの走行位置と合わせることによってエア残りを少なくする。
このように、ラミネータ201では、巻き取り状の転写シート207を取り出し、所定の長さに切断して吸着プレート73に吸着させるので、吸着プレート73に吸着される状態では転写シート1がシート状であり、取り扱いが容易である。また、ラミネートローラ211により吸着プレート73上の転写シート1に加圧を行うことにより、ガラス基板11と転写シート1との間のエアー抜きを行うことができる。
なお、ラミネータ201は種々の変形が可能である。例えば、図14に示すように、吸着プレート73上に2枚の転写シートを吸着させ、合わせ目をテープ251で貼り付けてもよい。
また、転写シート1とガラス基板11との間のエアーを除去する構成として以下のようなものがある。
図15は、風船273を用いた例であり、吸着プレート73上に転写シート1を吸着させ、風船273を転写シート1上に載置し、風船273を押圧板271で押圧することにより転写シート1を加圧し、転写シート1とガラス基板11との間のエアー抜きを行う。
図16に示されるように、透明なガラス板275を転写シート1上に載置し、ガラス板275で転写シート1を押圧することによりエアー抜きを行ってもよい。透明なガラス板275をを用いることによって、レーザ照射を行う場合、ガラス板275を載置したままガラス板275の上からレーザ光を照射することができる。
風船27および押圧板271、あるいは、ガラス板275による転写シート1の押圧は、ラミネート装置201の構成が簡単である。
図17は、定盤91上に凸形状の凸部277を形成し、吸着用部材95も凸形状とする。凸部277上にガラス基板11を載置し、その上に転写シート1を載せ、吸着用部材95により転写シート1の吸着を行う。
凸部277を設けることにより、転写シート1をガラス基板11上に載置する際、まず、凸部に転写シート1の中央部が載置され、順に両側が載置されていくので、転写シート1とガラス基板11の間に残留する空気が排出されやすい。
また、描画部で描画を行うとき、転写シート1にレーザ光が照射される部分にエアーブローを行い、転写シート1とガラス基板11との間のエアー抜きを行うようにしてもよい。
図18は、転写シート1の押圧をラミネートローラ211およびバックアップローラ(押圧ローラ)212を使用する場合のラミネート装置201の構成図である。
ラミネートローラ211の上側部分に接するように、バックアップローラ212が設置され、バックアップローラ212は、下方への押圧力を発生する押圧力発生機構291に接続されている。押圧力発生機構291は、例えば、エアシリンダあるいは重り等である。
バックアップローラ212を、押圧力発生機構291による押圧力でラミネートローラ211を押圧しながら、ラミネートローラ211の移動と同期して移動させることにより、ラミネートローラ211による転写シート1の押圧力が増し、転写シート1とガラス基板11の間の空気をより的確に排出することが可能になる。
図19は、バックアップローラ212の配置方法を示す図で、図18のラミネート装置201をA方向から見た平面図である。バックアップローラ212は、図19(a)に示すように、ラミネートローラ211よりも短くしてもよいし、同図(b)に示すように、ラミネートローラ211と同じ長さにしてもよい。すなわち、バックアップローラ212により、ラミネートローラ211の全体を押圧する場合には、図19(a)のように長さをラミネートローラ211と同一にすればよく、また、中心部の押圧力が足りない場合には、ラミネートローラ211よりも短いバックアップローラを設置して、ラミネートローラ211の中央部を押圧するようにする。
また、図19(c)に示すように、短い押圧ローラ212を複数個、ラミネートローラ211の上部に直列に設置するようにしてもよい。
一方、図20は、バックアップローラ212の更なる配置方法の例である。
同図に示すように、2つのバックアップローラ212aおよび212bを並列にラミネートローラ211の上部に配置し、これらのバックアップローラ212を一つの押圧力発生装置291により押圧しながら、ラミネートローラ211と同一の速度で移動させる。
図18に示したようなラミネートローラ211の上部に1つのバックアップローラ212を配置する方法は、バックアップローラ212が1本で構成が簡単だが、バックアップローラ212の中心と、ラミネートローラ211の中心が垂直の位置になるように制御する必要がある。
一方、図20に示したような2本の並列なバックアップローラ212aおよび212bを用いると、ローラ212の数が2つになるが、中心位置を合わせる制御が簡単になるという利点がある。
2本の並列のバックアップローラ212aおよび212bを用いる場合、図19に示したバックアップローラ212の配置の例と同様に、ラミネートローラ211よりも短い2本のバックアップローラ212aおよび212bを並列に配置してもよいし、また、ラミネートローラ211の長さと同じ長さのバックアップローラ212aおよび212bを並列に並べて配置してもよい。また、短いバックアップローラ212を複数個直列に並べたものを2組並列に並べて配置してもよい。
尚、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の改変が可能であり、それらも、本発明の技術範囲に含まれる。例えば、本実施の形態では転写シートをガラス基板にラミネートするラミネート装置およびラミネート方法について開示したが、これは転写シートに限定されるものではなく、ロール状にまきつけたシートならばどんなものでもよい。
転写シート1の断面図 転写シート1の平面図 加工装置51の処理の概要を示す図 ステージ51、吸着プレート73、描画部60、ラミネータ201に着目した加工装置51の斜視図 吸着プレート73の平面図 吸着プレート73の端部の構成図 ラミネータ201の構成を示す図 ラミネータ201の動作を示す図 ラミネータ201の動作を示す図 ラミネータ201の動作を示す図 ラミネータ201の動作を示す図 ラミネータ201の動作を示す図 ラミネータ201の動作を示す図 吸着プレート73上に2枚の転写シートを載置する場合の説明図 ラミネータ201の転圧装置の他の実施の形態を示す図 ラミネータ201の転圧装置の他の実施の形態を示す図 吸着プレート73の他の実施の形態を示す図 バックアップローラ212を使用する場合のラミネート装置201の構成図 バックアップローラ212の配置例 バックアップローラ212の配置例 バックアップローラ212の配置例 バックアップローラ212のもう一つの配置例
符号の説明
1………転写シート
11………ガラス基板
73………吸着プレート
95………吸着用部材
201………ラミネータ
207………ローラ
231………チャック
233………チャック台
235………押圧部
237………カッタ
239………枠体
241………昇降機構
243………吸着パッド

Claims (32)

  1. 吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
    定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段具備し、
    前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、前記吸着部の内周に間隙を設けたことを特徴とするラミネート装置。
  2. 吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
    定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
    前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、
    を具備し、
    前記押圧手段は、ラミネートローラを含み、
    前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、
    前記吸着プレートの吸着部は、ローラ位置に応じて、吸着用部材の吸着位置を任意に変更可能であることを特徴とするラミネート装置。
  3. 吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
    定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
    前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、
    を具備し、
    前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、
    前記空気除去手段は、前記吸着プレートの表面を凸形状に形成することにより、シートと基板の間に残留する空気を排出することを特徴とするラミネート装置。
  4. 吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
    所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、
    前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
    を具備し、
    前記移動手段は、
    前記シートを吸着する吸着手段と、
    前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、
    を備え、
    前記吸着手段は、枠体の下部に設けられ、
    前記吸着手段は、前記シートの長さ方向の両端を吸着する1対の吸着パッドを有し、各吸着パッドの長さが、前記枠体に対して、前記枠体から下方向に沿って、伸縮可能であることを特徴とするラミネート装置。
  5. 吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
    所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、
    前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
    を具備し、
    前記移動手段は、
    前記シートを吸着する吸着手段と、
    前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、
    を備え、
    前記吸着手段は、枠体の下部に設けられ、
    前記吸着手段は、前記シートの長さ方向の両端を吸着する1対の吸着パッドを有し、
    前記移動手段は、前記吸着手段の前記1対の吸着パッドの一方を、前記枠体に対して、前記枠体から下方向に伸長することにより、前記シートの一辺を前記吸着プレートに載置した後、前記シートの全体を前記吸着プレートに載置することを特徴とするラミネート装置。
  6. 吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
    所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、
    前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
    を具備し、
    前記移動手段は、
    前記シートを吸着する吸着手段と、
    前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、
    を備え、
    前記移動手段は、前記シートの中央部を前記吸着プレートに載置した後、前記シートの保持を開放し全体を前記吸着プレートに載置することを特徴とするラミネート装置。
  7. 吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
    定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
    前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、
    を具備し、
    前記押圧手段は、ラミネートローラに加えて、ラミネートローラのシートと相対する側で接触する少なくとも1つの押圧ローラを設け、前記ラミネートローラを押圧し、
    2つの前記押圧ローラを前記ラミネートローラの長さ方向と直角の方向に並列に並べて設置し、同一の押圧力発生機構によりラミネートローラを押圧することを特徴とするラミネート装置。
  8. 前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段を更に具備することを特徴とする請求項1、4乃至6のいずれかに記載のラミネート装置。
  9. 前記所定の長さのシートを巻き取りから取り出す取出手段を更に具備することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のラミネート装置。
  10. 前記シートの取り出し時にシートの張力を調整する張力調整手段を更に具備することを特徴とする請求項記載のラミネート装置。
  11. 取り出された前記所定長さのシートを切断する切断手段を更に具備することを特徴とする請求項9又は10に記載のラミネート装置。
  12. 前記取出手段は、
    前記シートをチャックするチャック機構と、
    前記チャック機構を移動させる移動機構と、
    を具備することを特徴とする請求項9、10、11のいずれかに記載のラミネート装置。
  13. 前記切断手段は、
    前記シートをチャック台上に押圧して仮固定する押圧部と、
    前記シートを切断するカッタと、
    前記カッタが走行するカッタ溝と、
    を具備することを特徴とする請求項11記載のラミネート装置。
  14. 前記カッタ溝に、前記シート切断時の塵吸引用の吸塵部を具備することを特徴とする請求項13記載のラミネート装置。
  15. 所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段を備え、
    前記移動手段は、
    前記シートを吸着する吸着手段と、
    前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、
    を具備することを特徴とする請求項1、2、3、7のいずれかに記載のラミネート装置。
  16. 前記シートは非粘着性であることを特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載のラミネート装置。
  17. 前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備えることを特徴とする請求項4乃至7のいずれかに記載のラミネート装置。
  18. 前記押圧手段は、ラミネートローラ、重り少なくとも一つであることを特徴とする請求項3、8のいずれかに記載のラミネート装置。
  19. 前記ラミネートローラは、移動速度が可変であることを特徴とする請求項2、7、18のいずれかに記載のラミネート装置。
  20. 前記押圧手段は、押圧力が可変であることを特徴とする請求項2、7、18、19のいずれかに記載のラミネート装置。
  21. 前記押圧手段は、ラミネートローラに加えて、ラミネートローラのシートと相対する側で接触する少なくとも1つの押圧ローラを設け、前記ラミネートローラを押圧することを特徴とする請求項2、18、19、20のいずれかに記載のラミネート装置。
  22. 前記押圧手段が、前記シート上に載置する風船と、前記風船を押圧する押圧板であることを特徴とする請求項3、8のいずれかに記載のラミネート装置。
  23. 前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段を更に具備し、
    前記押圧手段が、重りとしての板材であることを特徴とする請求項に記載のラミネート装置。
  24. 前記押圧手段が、エアブローであることを特徴とする請求項3、8のいずれかに記載のラミネート装置。
  25. 前記空気除去手段は、前記吸着プレートの前記間隙および前記吸着用部材を通して、シートと基板の間に残留する空気を排出することを特徴とする請求項に記載のラミネート装置。
  26. 前記空気除去手段は、前記押圧手段により、シートと基板の間に残留する空気を排出することを特徴とする請求項2、3、7、8のいずれかに記載のラミネート装置。
  27. 前記押圧手段は、ラミネートローラを含み、
    前記ラミネートローラを除電するための除電装置を具備することを特徴とする請求項2、3、7、8のいずれかに記載のラミネート装置。
  28. 前記巻き取り状のシート及び前記巻き取りから取り出されたシートの除電を行う除電バーを、更に備えることを特徴とする請求項に記載のラミネート装置。
  29. 前記押圧ローラの長さは、前記ラミネートローラの長さと同一であることを特徴とする請求項7、21のいずれかに記載のラミネート装置。
  30. 前記押圧ローラの長さは、前記ラミネートローラの長さより短く、ラミネートローラの一部を押圧することを特徴とする請求項7、21のいずれかに記載のラミネート装置。
  31. 前記ラミネートローラの長さよりも短い押圧ローラをラミネートローラの長さ方向に直列に複数個並べて設置し、前記複数の押圧ローラにより前記ラミネートローラを押圧することを特徴とする請求項7、21のいずれかに記載のラミネート装置。
  32. 前記板材は、透明であることを特徴とする請求項23記載のラミネート装置。
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