200903178 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種用以保持停止中之薄膜的前端部’ 而將該薄膜沿著輸送路輸送之薄膜輸送裝置及薄膜輸送方 法。 【先前技術】 例如，液晶面板用基板、印刷配線用基板及PDP用基 板、係將具有感光性樹脂層（感光材料層）的感光片（感 f 光性薄膜）貼附於基板表面所構成。感光片，係例如將感 光性樹脂層與保護薄膜依序疊層於可撓性塑膠支撐體上。 被使用於此種感光片體之貼附的製造裝置，通常採用 使玻璃基板或樹脂基板等的基板以既定的間隔隔開輸送到 疊層輥子間，同時將對應貼附於該基板之感光性樹脂層的 範圍之已剝離保護薄膜的感光片輸送到疊層輥子間的方 式。 例如，在日本專利特開平8 - 1 8 3 1 46號公報所揭示之 #.乾式光阻膜（dry resist film)的ft層方法，如第8圖所示， 沿著基板1的輸送方向依序配裝基板預熱部、疊層部、基 板冷卻部、基板上薄膜切斷部及薄膜去除部。該基板1係 透過基板預熱部的預熱加熱器2加熱到規定的溫度之後輸 送到疊層部。 在疊層部配裝有一對疊層輥子3a、3b，因爲基板1及 乾式光阻膜4被輸送到該疊層輥子3 a、3 b間，所以該乾式 光阻膜4會被熱壓接合於該基板1。此外乾式光阻膜4，係 護蓋薄膜5預先被剝離’而朝向基板1側被熱壓接合於未 200903178 圖示之保護層。 再者，被熱壓接合有乾式光阻膜4的基板1，係藉由 輸送輥子6輸送到基板冷卻部’透過基板冷卻機構7而予 以冷卻。藉由基板冷卻部冷卻乾式光阻膜4，使該乾式光 阻膜4的保護層硬化，同時提高與基板1的密接力。因此， 在下一段之基板上薄膜切斷部將乾式光阻膜4切斷之際， 可防止由於切斷之應力而發生保護層剝離的情形。 其次，將基板1彼此連結之乾式光阻膜4，在基板上 薄膜切斷部，藉由具備有刀具之基板上薄膜切斷機構8切 斷，同時該基板1被送到薄膜去除部。在此薄膜去除部， 基板1藉由加熱滾筒9再加熱之後，透過薄膜剝離機構10 與該基板1間連結而且在切斷步驟所形成之切斷面間的乾 式光阻膜4，會從該基板1去除。 在上述之習知技術，有僅將乾式光阻膜4朝箭頭符號 方向輸送的情況。例如，藉由自動運轉開始進行始疊層之 際，或在自動運轉中未供應基板1而將透過疊層輥子3a、 3b加熱之該乾式光阻膜4輸送1張分而去除時，或藉由手 動操作將該乾式光阻膜4排出而結束切斷作業時等。 在執行此種處理之情況，乾式光阻膜4係在藉由基板 上薄膜切斷機構8切斷的狀態下停止。而且，作業再開始 時’乾式光阻膜4的前端部，在配置於基板上薄膜切斷機 構8之上游側輸送輥子的旋轉作用下，被送到該基板上薄 膜切斷機構8之下游側的輸送輥子。 然而’乾式光阻膜4，因爲直接滑動接觸於輸送輥子， 所以會有發生基於剝離帶電等的靜電，使該乾式光阻膜4 200903178 與薄膜輸送用導引構件（未圖示）黏著之虞。依此，乾式 光阻膜4 ’無法良好的輸送而容易引起堵塞，例如，基板1 被阻止正常的輸送’而發生該基板1破損等之設備故障的 問題。 【發明內容】 本發明係爲了解決此種問題而完成者，目的在於提供 一種薄膜輸送裝置及薄膜輸送方法，其係以簡單的構成及 步驟，儘可能阻止薄膜的堵塞，保持停止中之薄膜的前端 部’可圓滑且確實地將該薄膜沿著輸送路輸送。 本發明係有關一種薄膜輸送裝置，其係用以保持停止 中之薄膜的前端部，而將該薄膜沿著輸送路輸送。 薄膜輸送裝置具備：單元本體，係收容有切斷薄膜的 切斷機構、被配置於該切斷機構之輸送方向上游側的上游 側薄膜輸送輥子對、及被配置於該切斷機構之輸送方向下 游側的下游側薄膜輸送輥子對；驅動機構，當以該下游側 薄膜輸送輥子對夾持藉由該切斷機構切斷之該薄膜的前端 部時，在該薄膜停止狀態下，使該單元本體沿著與該輸送 路於與輸送方向相反的反輸送方向移動；以及扭矩電動 機，當該單元本體向該反輸送方向移動時，對該上游側薄 膜輸送輥子對及該下游側薄膜輸送輥子對賦予用於將該薄 膜向該輸送方向送出於薄膜輸送方向的旋轉扭矩。 又，本發明係有關一種薄膜輸送方法，其係用以保持 停止中之薄膜的前端部，而將該薄膜沿著輸送路輸送。 薄膜輸送方法具有：移動步驟，係在使該薄膜停止狀 態下，使薄膜輸送輥子對一面向薄膜輸送方向旋轉一面使 200903178 其在與輸送方向相反的反輸送方向移動；以及送出步驟， 係以該薄膜輸送輥子對夾持該薄膜的前端部，同時在該薄 膜輸送輥子對的旋轉作用下，將該薄膜朝該輸送方向送出。 在本發明中’係在使薄膜停止狀態下，使薄膜輸送輥 子對一面向薄膜輸送方向旋轉一面使其在與輸送方向相反 的反輸送方向移動。因此，與將薄膜朝薄膜輸送輥子對輸 送的情況比較’可維持該薄膜於所期望之平面形狀，而可 及時地阻止該薄膜的堵塞。依此，以簡單的構成及步驟， 即可確實地保持薄膜的前端部，而可沿著該薄膜的輸送路 圓滑且良好地輸送。 從附上之圖面及協同如次之適當實施形態例的說明， 相信可明瞭上述之目的、特徵及優點。 【實施方式】 第1圖係組裝有關本發明之實施形態的薄膜輸送裝置 之感光性疊層體製造系統20的槪略構成圖。此製造系統20 係在液晶或有機EL用濾色器等的製作步驟，進行將既定的 寬度尺寸所形成之長狀感光性薄膜2 2的感光性樹脂層2 8 (後述）熱轉印（疊層）於玻璃基板24的作業。 第2圖係使用於該製造系統2 0之長狀感光性薄膜2 2 的剖面圖。此長狀感光性薄膜22，係疊層可撓性基底薄膜 (支撐體）26，與感光性樹脂層（感光材料層）28，和保 護薄膜3 0所構成。 如第1圖所示，製造系統20係具備：收容將長狀感光 性薄膜2 2捲繞成輥子狀的感光性薄膜輥子2 3且可從該感 光性薄膜輥子23將該長狀感光性薄膜22送出的薄膜輸出 200903178 機構32 ;可在被送出之該長狀感光性薄膜22之保護薄膜 30及感光性樹脂層28之寬度方向切斷形成2個部位的屬境 界部分之半切部位34a、34b(參考第2圖）的加工機構36; 以及將一部份具有非黏著部3 8 a之黏著標籤3 8 (參考第3 圖）黏著於該保護薄膜30的標籤黏著機構40。 在標籤黏著機構40的下游配裝有：轉向機構42 ’用以 將長狀感光性薄膜22由間歇輸送變更爲連續輸送；剝離機 構44，從該長狀感光性薄膜22將保護薄膜30以既定的長 度間隔剝離。 在剝離機構44的下游配裝有：基板供應機構45，將玻 璃基板24加熱到規定的溫度狀態下供應於貼附位置；貼附 機構46,將藉由保護薄膜30之剝離而露出的感光性樹脂層 28 —體貼附於該玻璃基板24 ;有關本實施形態的薄膜輸送 裝置48。 在薄膜輸出機構32的下游附近配裝有：貼附台49，使 大致用完的長狀感光性薄膜22的後端，貼附於新使用之長 狀感光性薄膜22的前端。在貼附台49的下游配裝有：薄 膜端末位置檢測器5 3，用以控制由於捲繞感光性薄膜輥子 23之偏差以致造成寬度方向的偏差。 加工機構3 6，係被配置在輥子對5 0的下游，用以算出 被收容捲繞在薄膜送出機構32之感光性薄膜輥子23的輥 子徑。加工機構36，係具備一對僅隔開距離Μ (參考第2 圖）的圓刀刃52a、52b。圓刀刃52a、52b，係行走於長狀 感光性薄膜22的寬度方向，夾著保護薄膜3 0之殘留部分B 於既定的2處位置形成半切部位34a、34b(參考第2圖）。 200903178 半切部位34a、34b，係至少有必要切斷保護薄膜3〇及 感光性樹脂層28 ’實際上圓刀刃52a ' 52b之切入深度被設 定能切入到可撓性基底薄膜26。圓刀刃52a、52b係採用不 需旋轉而在固定的狀態下，朝長狀感光性薄膜2 2的寬度方 向移動而形成半切部位34a、34b的方式，或不需在該感光 性薄膜22上滑動而一面旋轉一面向該寬度方向移動而形 成半切部位34a、3 4b的方式。 半切部位34a、34b ’係在感光性樹脂層28貼附於玻璃 基板24時，例如，被設定成從該玻璃基板24的兩端部分 別向內側各侵入1 〇 m m的位置。此外，玻璃基板2 4間之保 護薄膜30的殘留部分B，係於後述的貼附機構46中將感 光性樹脂層2 8框緣狀地貼附於該玻璃基板2 4時作爲光罩 發揮作用。 標籤黏著機構40,爲了對應玻璃基板24間以留下保護 薄膜30的殘留部分B，係供應連結半切部位34b側的剝離 部分A與半切部位34a側的剝離部分A之黏著標籤38。 如第3圖所示，黏著標籤3 8係構成長方形，例如，以 與保護薄膜30同一樹脂材料形成。黏著標籤38係於中央 部具有不塗抹黏著劑之非黏著部（含微黏著）3 8 a，同時在 此非黏著部3 8 a的兩側，亦即，在該黏著標籤3 8之長度方 向兩端部，具有接合於前方之剝離部分A的第1接合部 3 8b，與接合於後方之剝離部分A的第2接合部38c。 如第1圖所示，標籤黏著機構40 ’係具備能將最多7 張之黏著標籤3 8以既定間隔隔開予以貼附之吸附襯墊 54a~54g，同時在藉由該吸附襯墊54a〜54g之該黏著標籤 -10- 200903178 3 8的貼附位置，配置用以從下方保持長狀感光性褒 之升降自如的承台5 6。 轉向機構42爲了吸收上游側之感光性的間歇輸 下游側之該長狀感光性薄膜2 2的連續輸送之速度差 箭頭符號方向具備可擺動自如的跳動輥子60。 被配置在轉向機構42之下游的剝離機構44，係 斷長狀感光性薄膜22之送出側的張力變動，使疊層 力穩定的吸入筒62。在吸入筒62的附近，配置有剝 63，同時藉由該剝離輥子63從長狀感光性薄膜22 的剝離角剝離之保護薄膜3 0，除了殘留部分B以外 捲撓於保護薄膜捲繞部64。 在剝離機構44的下游側，配裝有張力控制機構 將張力賦予長狀感光性薄膜22。張力控制機構66， 缸68的驅動作用下，藉由張力跳動輥子70的擺動 可調整長狀感光性薄膜22的張力。此外張力控制機 係依照需要使用即可，亦可刪除。 基板供應機構45，係具備以夾持玻璃基板24的 裝之基板加熱部（例如，加熱器）74、將該玻璃基ί 箭頭符號Υ方向輸送的輸送部76、檢出在該玻璃· 之後端部的停止位置之停止位置檢出感測器7 8。在 熱部74，則經常監視著玻璃基板24的溫度，當異常 止輸送部7 6或發生警報’同時發出異常資訊的信息 的玻璃基板24在後而步驟作NG排出，可有效運用 管理或生產管理等。在輸送部76，配裝有未圖示之 起板，使玻璃基板24浮起而朝箭頭符號Υ方向輸1 I膜22 送，與 ，而於 具備遮 時之張 離輥子 以銳角 ，其餘 66，可 係在汽 變位， 構6 6， 方式配 臣24朝 塞板24 基板加 時，停 使異常 於品質 空氣浮 ^。玻璃 -11 - 200903178 基板24的輸送，亦可用輕子輸送機進行。 玻璃基板24的溫度測定’在基板加熱部74內或在即 將貼附位置之前進行較理想。作爲測定方法，除接觸式（例 如’熱偶）之外’非接觸式亦可。 貼附機構46，具備有被配裝於上下，同時被加熱至既 定溫度的橡膠輥子（壓著輥子）80a、80b。在橡膠輥子80a、 80b，有加壓輥子82a、82b滑動接觸。一方之加壓輥子82b， 係被構成輥子夾緊部83之加壓汽缸84按壓於橡膠輥子 Γ 80b° 玻璃基板2 4 ’係從貼附機構4 6透過朝箭頭符號γ方 向延伸的輸送路88輸送。在此輸送路88,配裝有薄膜輸送 輥子90a、90b及基板輸送輥子92。橡膠輥子80a、8 0b與 基板輸送輥子9 2之間隔，被設定爲丨片份玻璃基板24之 長度以下較理想。 如第4圖所示，薄膜輸送裝置48,係具備單元本體94, 該單元本體94，係藉由驅動機構96而可朝輸送方向（箭頭 符號Υ方向）及反輸送方向（箭頭符號ζ方向）移動。驅 動機構96，係具備裝設在架台98之電動機100，被連結在 該電動機100而朝水平方向延伸之滾珠螺桿102係旋轉自 如地被支撐在架台98。滾珠螺桿1 02，係螺合於被設置在 單元本體94下面的螺帽部1〇4，同時該單元本體94，係可 進退地載置於導引軌道105。此外驅動機構96亦利用裝設 在單元本體94之自走式驅動部來構成。 在單元本體94內，收容有切斷各玻璃基板24間之長 狀感光性薄膜22的基板間切斷機構106。此切斷機構106 -12- 200903178 具備有將長狀感光性薄膜22往寬度方向切斷之7： 和與該刀具108對向而升降自如的薄膜壓件Π01 在切斷機構106之輸送方向（箭頭符號Y方 游側，配置第1薄膜輸送輥子對1 1 2 a及第2薄膜 對112b，同時在該切斷機構106之輸送方向的下 置有第3薄膜輸送輥子對112c。 第1薄膜輸送輥子對112&~第3薄膜輸送輥3 係具備驅動輥子1 1 4 a、1 1 4 b及1 1 4 C、從動I昆子1 > 及 116c。在驅動輥子 1 14a~l 14c 連結有扭$ 1 18a〜1 18c，其爲了將長狀感光性薄膜22往輸送戈 而於薄膜輸出方向（箭頭符號C方向）賦予旋轉 動輥子U6a〜116c，係藉由汽缸120a〜120c，而可 子1 14a ~1 14c接近或離開方向變位。 在第1薄膜輸送輥子對112a與第3薄膜輸 112c之間’沿著輸送路88配裝有導引板122a、 切斷機構106。在配置於切斷機構1〇6之下游側 1 2 2b上’對應於長狀感光性薄膜22會滑動接觸的 附有帶材料1 2 4。帶材料1 2 4，係例如，於聚酯帆 基甲酸乙醋’同時於表面形成網目狀的微細凹凸 板122b的上方，依照需要配裝有除電棒126。 在第3薄膜輸送輥子對丨丨2 c的下游附近，配 輥子128。旋轉輥子128，係藉由電動機13〇而被方: 同時可在汽缸丨32的作用下升降，將被排出之長 薄膜22(以下’亦稱排出薄膜22a)從輸送路88 岐的聚集路1 3 4。 J 具 1 0 8， ) 向）的上 輸送輥子 游側，配 1 對 112c， 16a、 116b :巨電動機 『向送出， 扭矩。從 對驅動輥 送輥子對 1 22b夾著 的導引板 上面部貼 布塗層胺 。在導引 裝有旋轉 I轉驅動， 狀感光性 導引至分 -13- 200903178 在聚集路134，配裝有將排出薄膜22a輸送到聚集箱 (聚集部位）136之薄膜輸送機構138。薄膜輸送機構138, 分別藉由電動機140a、140b，具備有在周圍行走的導引帶 142a、142b。在聚集箱136內設置有帶電黏著防止材料144, 同時在底面形成傾斜面1 46。 在單元本體94內，於第3薄膜輸送輥子對112c的出 口附近，配置有第1薄膜檢出感測器1 48，同時在薄膜輸送 機構138的下部側，配裝有第2薄膜檢出感測器150。第1 f 薄膜檢出感測器1 4 8及第2薄膜檢出感測器1 5 0，例如，爲 透過型之光感測器，透過被ON (被遮光）而檢出長狀感光 性薄膜22的存在。 如第1圖所示，在製造系統20，雖將薄膜送出機構32、 加工機構3 6、標籤黏著機構40、轉向機構42、剝離機構 44及張力控制機構66配置於貼附機構46的上方，但與此 相反，亦可從該薄膜送出機構32至該張力控制機構66，配 置於該貼附機構46的下方，使長狀感光性薄膜22的上下 f 形成相反，而建構成將感光性樹脂層28貼附於玻璃基板24 的下側，又，亦可將長狀感光性薄膜22的輸送路建構成直 線狀。 在製造系統20內，係藉由間隔壁1 60隔間成第1無塵 室162a與第2無塵室16 2b。第1無塵室162a與第2無塵 室162b，係藉由貫通部164予以連通。製造系統20內，係 藉由控制部166予以控制。 茲就構成如此之製造系統20的動作，以與本實施形態 之輸送方法的關連性作說明。 -14 - 200903178 首先，從安裝在薄膜送出機構32之感光性薄膜滾筒23 送出長狀感光性薄膜22。長狀感光性薄膜22係被輸送到加 工機構3 6。 在加工機構3 6，圓刀刃5 2 a、5 2b係朝長狀感光性薄膜 22的寬度方向移動，而將該長狀感光性薄膜22從保護薄膜 30切入感光材料層28乃至基底薄膜26。藉此，形成僅隔 開保護薄膜30之殘留部分B的寬度Μ之半切部位34a、 3 4b，在長狀感光性薄膜22，係夾著該殘留部分B設置有 前方的剝離部分A與後方的剝離部分A(參考第2圖 接著，長狀感光性薄膜22,被輸送到標籤黏著機構40, 而保護薄膜30之既定的貼附部位被配置在承台56上。在 標籤黏著機構40，既定張數的黏著標籤38藉由吸附襯墊 54b〜54g吸附保持。而且，各黏著標籤38跨越保護薄膜30 的殘留部分B，將前方的剝離部分A與後方的剝離部分A 接合成一體（參考第3圖）。 例如，接著有7張黏著標籤3 8的長狀感光性薄膜22， 如第1圖所示，藉由轉向機構42防止送出側的張力變動之 後，連續地輸送到剝離機構44。在剝離機構44，長狀感光 性薄膜22之可撓性基底薄膜26被吸入筒62吸附保持，同 時保護薄膜30留下殘留部分B而從該長狀感光性薄膜22 剝離。該保護薄膜30，係藉由剝離輥子63剝離而被保護薄 膜捲繞部64捲繞（參考第1圖）。 在剝離機構44的作用下，保護薄膜30留下殘留部分B 而從可撓性基底薄膜26剝離之後，長狀感光性薄膜22，係 透過張力控制機構66進行張力調整。 -15- 200903178 接著，由於長狀感光性薄膜22被輸送到貼附機構46， 可進行感光性樹脂層28對玻璃基板24之熱轉印處理（疊 層）。在貼附機構46，橡膠輥子80a、80b預先被設定在隔 開的狀態。而且在橡膠輥子80a、80b間的既定位置，長狀 感光性薄膜22之半切部位34a被定位的狀態下，該長狀感 光性薄膜22之輸送暫時被停止。 更，由構成基板供應機構45之基板加熱部74加熱到 既定溫度之玻璃基板24的前端部，當透過輸送部76被搬 入橡膠輥子80a、80b間時，在加壓汽缸84的作用下加壓 輥子82b及橡膠輥子80b會上升。因此，玻璃基板24及長 狀感光性薄膜22，以既定的按壓力被夾進橡膠輥子80a、 80b間。此外橡膠輥子80a、80b被加熱到規定的疊層溫度。 其次，橡膠輥子80a、80b會旋轉，玻璃基板24及長 狀感光性薄膜22朝箭頭符號Y方向輸送。藉此，感光性樹 脂層28被加熱熔融而熱轉印（疊層）於玻璃基板24。 此外，作爲疊層條件，速度爲1.0m / min〜10.0m / min， 橡膠輥子80a、80b的溫度爲80 °C〜140 °C，該橡膠輥子80a、 8 0b的硬度爲40度〜90度，該橡膠輥子80a、8 Ob的按壓（線 壓）爲 50N / cm~400N/cm。 當對玻璃基板24結束1張份長狀感光性薄膜22的疊 層時，橡膠輥子80a、80b的旋轉會被停止，一方面，被疊 層有長狀感光性薄膜22之屬玻璃基板24的感光性疊層體 170的前端部，係藉由基板運送輥子92夾住。此時，在橡 膠輥子80a、80b間的既定位置，被配置半切部位34b。 而且，橡膠輥子80b，退避於離開橡膠輥子80a的方向 -16- 200903178 而解除被夾，同時基板輸送輥子92的旋轉以低速再開始。 感光性疊層體170，係朝箭頭符號Y方向僅輸送對應於保 護薄膜3 0的殘留部分B的寬度Μ之距離，下一個半切部 位34a被輸送到橡膠輥子80a之下方附近的既定位置後， 橡膠輥子80a、80b的旋轉被停止。 一方面，在該狀態下，藉由基板供應機構45將下一個 玻璃基板24朝向貼附位置輸送。藉由反覆以上的動作，可 連續地製造感光性疊層體1 7 0。 f : 被以貼附機構46進行層之感光性疊層體170，係透過 收容於單元本體94內之切斷機構106切斷玻璃基板24間 之長狀感光性薄膜22而分離。被分離後之感光性疊層體 170，裝設有可撓性基底薄膜26，此可撓性基底薄膜26與 玻璃基板24間的保護薄膜30同時被剝離之後，供應於下 一個處理步驟。 可是，在上述的製造系統20，有僅將長狀感光性薄膜 22沿著輸送路88輸送的情况。例如，在利用自動運轉開始 疊層時，將規定張數分的長狀感光性薄膜22廢棄於聚集箱 ϋ 1 36之同時，藉由切斷機構1 06予以切斷，而將長狀感光性 薄膜22的前端部對應於該切斷機構1 06而配置的情況。 一方面，在爲了中斷自動運轉而暫時停止疊層處理， 將疊層後之玻璃基板24交出後，立即開始自動運轉的情况 亦是问樣。 又，在上述自動運轉中，玻璃基板24未從基板供應機 構45供應於貼附機構46時，將藉由橡膠輥子80a加熱之 長狀感光性薄膜22，例如，有爲了除去1張分而輸送的情 -17- 200903178 況。 再者，透過手動操作將長狀感光性薄膜22排出到聚集 箱136後，藉由切斷機構106將長狀感光性薄膜22切斷的 情況。 而且，進行此種處理時，長狀感光性薄膜22，係在藉 由切斷機構1 06切斷的狀態下停止。因此，如第5圖所示， 該長狀感光性薄膜22的前端部，係被配置於第2薄膜輸送 輥子對1 1 2b與第3薄膜輸送輥子對1 1 2c之間。 因此，在本實施形態，在使長狀感光性薄膜22停止的 狀態下，單元本體94係在構成驅動機構96之電動機100 的旋轉作用下，開始朝反輸送方向（箭頭符號Z方向）移 動。在那時，如第6圖所示，第1薄膜輸送輥子對112a〜 第3薄膜輸送輥子對112c，係藉由扭矩電動機118a〜118c 被驅動，使各驅動輥子114a~114c朝箭頭符號C方向（薄 膜輸送方向）被旋轉驅動。因此，在第1薄膜輸送輥子對 1 12a及第2薄膜輸送輥子對1 12b，係在驅動輥子1 14a〜1 14b 停止中之長狀感光性薄膜22上不滑動而旋轉著，可防止剝 離帶電。 一方面，單元本體94朝箭頭符號Z方向移動時，旋轉 輥子128及導引帶142a、142b分別被旋轉驅動。又，薄膜 壓件1 1 0係暫時上升，以防止與長狀感光性薄膜22接觸。 藉由單元本體94朝箭頭符號Z方向移動，第3薄膜輸 送輥子對112c，一面旋轉一面夾持長狀感光性薄膜22的前 端部。因此，長狀感光性薄膜22的前端部，係相對於第3 薄膜輸送輥子對112c，朝箭頭符號Y方向相對地被拉出。 -18- 200903178 在此，配置在第3薄膜輸送輥子對ii2c之出口附近的 第1薄膜檢出感測器148被遮光（on)時，從該第1薄膜檢 出感測器1 4 8的遮光時序藉由未圖示之計時器進行計時。 而且’在僅經過規定的時間後，旋轉輥子1 2 8在汽缸1 3 2 的作用下下降（參考第7圖）。 此外，該計時器具有藉由設定使旋轉輥子1 2 8下降之 時序，具有使長狀感光性薄膜2 2之前端部突出量維持適當 的範圍內之機能，另一方面亦具有基於該長狀感光性薄膜 22之堵塞而進行設備之停止用的異常檢出機構的機能。 在旋轉輥子1 2 8下降的時序，停止單元本體9 4朝箭頭 符號Z方向的移動，同時薄膜輸送輥子90a、9Ob被驅動， 使長狀感光性薄膜2 2開始朝箭頭符號Y方向輸送。旋轉輥 子128，在排出薄膜22a被切斷機構106切斷後，當第1薄 膜檢出感測器148已OFF (透過）時，藉由汽缸132使其 上升。 一方面，藉由旋轉輥子128而從輸送路88被送到聚集 路134之排出薄膜22a的前端部，被輸送到導引帶142a、 142b間。因此，排出薄膜22a在導引帶142a、142b之導引 作用下，被送到聚集箱1 36內，同時可沿著此聚集箱1 36 內之傾斜面1 4 6的傾斜良好地聚集。那時，在聚集箱1 3 6 之內面側，設置有帶電黏著防止材料1 44，可將排出薄膜 22a在該聚集箱136內以所期望的聚集姿勢確實地聚集。 在導引帶142a、142b的下部側，設置有第2薄膜檢出 感測器1 5 0。藉由此第2薄膜檢出感測器1 5 0，檢出規定量 之排出薄膜22a被輸送到導引帶142a、142b間時，經由薄 -19- 200903178 膜輸送輥子90a、90b之薄膜的輸送，會暫時被停止。因爲 規定量以上之排出薄膜22a輸送到導引帶142a、142b間 時，該排出薄膜22a會發生從聚集箱136擠出等不妥之事。 此種情況，在本實施形態中，將前端部對應於切斷機 構106而配置之排出薄膜22a排出聚集箱136時，此排出 薄膜22a在停止的狀態下，一面使第1薄膜輸送輥子對 1 12a〜第3薄膜輸送輥子對112c朝薄膜輸送方向旋轉，— 面使單元本體94朝反輸送方向（箭頭符號Z方向）移動。 因此，使單元本體94在停止狀態下，於第1薄膜輸送 輥子對112a及第2薄膜輸送輥子對112b之旋轉作用下， 與將排出薄膜22a朝箭頭符號Y方向輸送的情况比較，可 良好地防止剝離帶電等，同時可維持該排出薄膜22a於所 期望的平面形狀。因此，可將排出薄膜22a的前端部，藉 由第3薄膜輸送輥子對112c確實地把持，而盡可能地阻止 該排出薄膜22a的堵塞。 藉此，薄膜輸送機構48可獲得以簡單的構成及步驟， 確實地保持排出薄膜22a的前端部，將該排出薄膜22a從 輸送路88沿著聚集路134圓滑且確實輸送的效果。此外， 上述之處理，在僅輸送長狀感光性薄膜22 (排出薄膜22a ) 之動作的是必要各種狀況下同樣地被進行。 又，藉由使用第1薄膜檢出感測器14 8及第1薄膜檢 出感測器1 5 0，可具有以下所示之各種機能。 首先，在第1薄膜檢出感測器148與第2薄膜檢出感 測器150 —起檢出排出薄膜22a時（ON)，使單元本體94停 止朝箭頭符號Z方向的移動，同時使薄膜輸送輥子90 a、90b -20- 200903178 驅動而得以進行該排出薄膜2 2 a之輸送動作。 又，在僅第1薄膜檢出感測器148爲ON的情況，進行 回歸原點的動作，檢出第2薄膜檢出感測器150是否爲 〇N。而且，即使僅經過一定時間，第2薄膜檢出感測器1 50 仍然不是ON的情況，判斷在聚集路134之排出薄膜22a 發生堵塞異常。 且又，即使僅經過一定時間，第1薄膜檢出感測器148 爲OFF (透過）且第2薄膜檢出感測器150爲ON (遮光） 的情況時，判斷於聚集路134之排出薄膜22a發生堵塞異 常。 又，將排出薄膜22a輸送至導引帶142a、142b側之輸 送動作進行後，即使僅經過一定時間，第1薄膜檢出感測 器148與第2薄膜檢出感測器150分別在其時序未ON的情 况，判斷於該排出薄膜22a發生堵塞異常。 更，在聚集箱136的上部可配置執行排出薄膜堵塞檢 出及箱滿檢出用的感測器1 72。該感測器1 72係在排出薄膜 22a之排出動作中爲ON (遮光），在該排出薄膜22a之輸 送完畢後進行基板間的切割，而在藉由來自計時器之時序 未能OFF (透過）時發出警報。此外，來自計時器之時序， 係設定爲經由第3薄膜輸送輥子對112c及導引帶142a、 142b’而排出薄膜22a之後端落到聚集箱136之程度的時 間。 又’在本實施形態，係對應排出薄膜22a依靜電而接 觸部分，執行靜電對策。例如，在導引板122b的上面，設 置有靜電對策的帶材料124,可阻止排出薄膜22a的靜電吸 -21 - 200903178 附。 【圖式簡單說明】 第1圖係有關本發明之實施形態而將薄膜輸送裝置組 裝之感光性積層體的製造系統之槪略構成圖。 第2圖係被使用於該製造系統之長狀感光性薄膜的剖 面圖。 第3圖係黏著標籤黏著於長狀感光性薄膜之狀態的說 明圖。 第4圖係該薄膜輸送裝置之槪略構成說明圖。 第5圖係該薄膜輸送裝置之動作說明圖。 第6圖係該薄膜輸送裝置之動作說明圖。 第7圖係該薄膜輸送裝置之動作說明圖。 第8圖係有關習技術之乾式光阻膜之疊層方法的說明 圖。 【主要元件符號說明】 20 製造系統 22 長狀感光性薄膜 24 玻璃基板 26 可撓性基底薄膜 28 感光性樹脂層 30 保護薄膜 34a' 34b 半切部位 36 加工機構 45 基板供應機構 46 貼附機構 -22- 200903178 48 薄 膜 輸 送 機 構 94 單 元 本 體 96 驅 動 機 構 100、 130' 140a ' 140b 電 動 機 106 切 斷 機 構 108 切 斷 器 110 薄 膜 壓 件 1 1 2a〜 1 12c 薄 膜 輸 送 輥 子 對 1 1 4a~ 1 14c 驅 動 輥 子 1 1 6a 〜 116c 從 動 輥 子 1 1 8a~ 118c 扭 矩 電 動 機 1 20a~ 120c 、 132 汽 缸 122a ' 122b 導 引 板 124 帶 材 料 128 旋 轉 輥 子 134 聚 集 路 136 聚 集 箱 138 薄 膜 輸 送 機 構 142a、 142b 導 引 帶 146 傾 斜 面 148、 150 薄 膜 檢 出 感 測 器 23-