KR20070041503A - 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

Abstract

제조 장치(20)는 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 기판 반송 기구(45), 및 접합 기구(46)를 구비한다. 접합 기구(46)의 상류 근방에는 감광성 웹(22)의 경계 위치를 직접 검출하는 검출 기구(47)가 배치된다. 검출 기구(47)로부터 검출된 정보에 의거하여, 접합 위치 내의 경계 위치와 기판(24)의 상대 위치가 조정된다.

감광성 적층체의 제조 장치, 감광성 적층체의 제조 방법

Description

감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}

본 발명은 지지체 상에 순차적으로 적층된 감광 재료층과 보호 필름을 각각 포함하는 2개 이상의 긴 감광성 웹을 반송하고, 상기 보호 필름을 박리하여 감광 재료층을 노출시키고, 이 노출된 감광 재료층을 기판에 대하여 병렬로 접합함으로써 감광성 적층체를 제조하는 장치와 제조하는 방법에 관한 것이다.

예컨대, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, 및 PDP 패널용 기판은 감광 재료(감광성 수지)층을 가지고, 기판 표면에 부착되는 감광성 시트체(감광성 웹)를 구비한다. 감광성 시트체는 유연한 플라스틱 지지체 상에 순차적으로 적층되는 감광 재료층과 보호 필름을 포함한다.

이러한 감광성 시트체를 부착하는 부착 장치는 통상적으로 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정 간격으로 반송하고, 각 기판에 부착될 감광 재료층의 범위에 대응하는 길이로 감광성 시트체로부터 보호 필름을 박리하도록 작동한다.

예컨대, 일본 특허공개 평11-34280호 공보에 기재된 필름 부착 장치 및 방법에 의하면, 도 32에 도시된 바와 같이, 필름 롤(1)로부터 풀려진 적층체 필름(1a)은 가이드 롤(2a, 2b) 주위에 감겨져서 수평 필름 반송면을 따라 연장된다. 가이드 롤(2b)은 적층체 필름(1a)이 반송되는 길이에 따른 수의 펄스 신호를 출력하는 로터리 엔코더(rotary encoder)(3)와 결합되어 있다.

가이드 롤러(2a, 2b)로부터 수평 필름 반송면을 따라 연장된 적층체 필름(1a)은 흡착 롤(suction roll)(4) 주위에 감겨진다. 파셜 커터(partial cutter)(5)와 커버 필름 박리 장치(6)는 가이드 롤(2b)과 흡착 롤(4) 사이의 수평 필름 반송면을 따라 배치된다.

파셜 커터(5)는 한 쌍의 디스크 커터(5a, 5b)를 구비한다. 디스크 커터(5a, 5b)는 적층체 필름(1a)의 폭방향을 따라 이동 가능하여 커버 필름 배면 상의 감광성 수지층(도시되지 않음)과 함께 적층체 필름(1a)의 커버 필름(도시되지 않음)을 절단한다.

커버 필름 박리 장치(6)는 가압 롤러(8a, 8b) 사이의 커버 필름에 대하여 접착 테이프 롤(7)로부터 풀려진 접착 테이프(7a)를 강하게 압착하여 권회롤(9) 주위에 감는다. 커버 필름은 접착 테이프(7a)에 의해 감광성 수지층으로부터 박리되어 접착 테이프(7a)와 함께 권회롤(9) 주위에 감긴다.

기판 반송 장치(10)에 의해 순차적이고 간헐적으로 반송되는 복수의 기판(11)의 상면에 대하여 적층체 필름(1a)을 중첩하여 압착하는 한 쌍의 적층롤(12a, 12b)이 흡착 롤(4)의 하류측에 이어진다. 지지 필름 권회롤(13)은 적층롤(12a, 12b)의 하류측에 배치된다. 각 기판(11)에 부착된 투광성 지지 필름(도시되지 않음)이 박리되어 지지 필름 권회롤(13)에 의해 감긴다.

상기 종래 기술에 있어서, 로터리 엔코더(3)에 의해 발생되는 펄스의 수의 측정은 파셜 커터(5)가 적층체 필름(1a)의 절단을 개시하면 개시된다. 로터리 엔코더(3)로부터 측정된 펄스의 수치가 적층체 필름(1a) 상에서 절단될 소정 위치에 대응하는 수치에 도달하면 기판 반송 장치(10)가 구동된다. 따라서, 기판(11)은 적층체 필름(1a)과 동기하여 적층롤(12a, 12b) 사이로 반송된다. 이러한 방식으로, 적층체 필름(1a)이 각 기판(11)에 부착되기 위한 위치가 결정된다.

종래 기술에 있어서, 파셜 커터(5)가 절단을 개시하면 가이드 롤(2b) 상의 로터리 엔코더(3)에 의해 발생된 펄스의 수의 측정이 개시된다. 측정 수치에 의거하여, 파셜 커트 영역이 적층롤(12a, 12b) 사이의 소정 위치에 도달했다고 간주하고, 기판(11)이 반송된다.

그러나, 이러한 경우에 있어서, 파셜 커터(5)와 적층롤(12a, 12b) 사이의 길이가 상당히 길다. 따라서, 적층체 필름(1a)의 길이가 적층부로부터의 열에 의해 변화되거나 로터리 엔코더(3)가 슬라이딩될 우려가 있다. 따라서, 적층롤(12a, 12b)에 대하여 적층체 필름(1a)과 기판(11)의 정확한 위치 결정이 불가능하다.

본 발명은 간단한 공정 및 구성으로 긴 감광성 웹을 기판에 정확하게 접합함으로써 고품질의 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것을 주목적으로 한다.

본 발명에 의하면, 지지체와, 지지체 상에 배치된 감광 재료층과, 박리 부분 및 잔존 부분을 가지고 감광 재료층 상에 배치된 보호 필름을 포함하는 긴 감광성 웹을 송출(reel out)하는 웹 송출 기구; 박리 부분과 잔존 부분 사이의 경계 위치에서 웹 송출 기구에 의해 송출되는 긴 감광성 웹의 보호 필름에 폭방향으로 절단 가능한 가공 부위를 형성하는 가공 기구; 잔존 부분을 남기고 박리 부분을 긴 감광성 웹으로부터 박리시키는 박리 기구; 기판을 소정 온도로 가열하여 접합 위치에 반송하는 기판 반송 기구; 접합 위치에서 잔존 부분을 기판 사이에 배치함과 아울러 박리 부분이 박리되어서 노출된 감광 재료층을 기판에 접합시킨 접합 기판을 얻는 접합 기구; 접합 위치의 근방에 배치되어 긴 감광성 웹의 경계 위치를 직접 검출하거나 이 경계 위치에 대응해서 긴 감광성 웹에 형성된 마크(mark)부를 검출하는 검출 기구; 검출 기구에 의해 검출된 경계 위치 정보에 의거하여 접합 위치에 있어서의 경계 위치와 기판의 상대 위치를 조정하는 제어 기구를 포함하는 감광성 적층체의 제조 장치가 제공된다.

긴 감광성 웹과 기판의 상대 위치가 간단한 제어로 조정될 수 있기 때문에 검출 기구는 접합 위치의 상류 근방에 배치되는 것이 바람직하다.

가공 기구와 박리 기구 사이에는 긴 감광성 웹이 반송되는 속도와 형태를 변경하기 위한 레저버 기구(reservoir mechanism)가 배치되는 것이 바람직하다. 따라서, 긴 감광성 웹은 가공 기구를 통해 간헐적으로 반송된 후, 레저버 기구를 통해 박리 기구 이후로 연속적으로 반송된다.

또한, 박리 기구와 접합 기구의 사이에는 긴 감광성 웹에 텐션(tension)을 부여하는 텐션 제어 기구가 배치되는 것이 바람직하다. 따라서, 긴 감광성 웹의 스트레칭 조정이 가능하게 되어 경계 위치를 접합 위치에 용이하게 위치 조정할 수 있다.

또한, 접합 기구의 하류에는 긴 감광성 웹을 기판 사이에서 절단하는 절단 기구가 배치되는 것이 바람직하다.

접합 기구의 하류에는 접합 기판으로부터 지지체를 박리하는 지지체 박리 기구가 배치되는 것이 바람직하다. 지지체는 각 기판에 대응하는 길이로 절단된 후 자동적으로 박리되거나 연속적으로 감겨서 자동적으로 박리될 수 있다.

접합 기구는 소정 온도로 가열될 수 있는 한 쌍의 고무 롤러와 하나의 고무 롤러를 진퇴시키는 롤러 클램프부(roller clamp unit)를 포함하는 것이 바람직하다. 롤러 클램프부는 하나의 고무 롤러에 클램프압(clamp pressure)을 부여하는 실린더와 액츄에이터의 작용 하에 실린더를 진퇴시키는 캠을 포함하는 것이 바람직하다.

접합 기구의 상류 근방에는 긴 감광성 웹을 미리 소정 온도로 예비 가열하기 위한 예비 가열부가 배치되는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 지지체와 이 지지체 상에 배치된 감광 재료층과, 박리 부분 및 잔존 부분을 가지고 감광 재료층 상에 배치된 보호 필름을 포함하는 긴 감광성 웹의 송출 공정; 박리 부분과 잔존 부분 사이의 경계 위치에서 송출되는 긴 감광성 웹의 보호 필름에 폭방향으로 절단 가능한 가공 부위 형성 공정; 잔존 부분을 남기고 박리 부분을 긴 감광성 웹으로부터 박리시키는 공정; 긴 감광성 웹의 경계 위치를 직접 검출하거나 이 경계 위치에 대응하여 긴 감광성 웹에 형성된 마크부를 검출함으로써 경계 위치 정보를 얻는 공정; 소정 온도로 가열되어 있는 기판을 접합 위치를 향해 반송하는 공정; 얻어진 경계 위치 정보에 의거하여 접합 위치에 있어서의 경계 위치와 기판의 상대 위치를 조정하는 공정; 및 접합 위치에서 잔존 부분을 기판 사이에 배치함과 아울러, 박리 부분이 박리되어서 노출된 감광 재료층을 기판에 접합하여 접합 기판을 얻는 공정을 포함하는 감광성 적층체의 제조 방법도 제공된다.

본 발명에 의하면, 접합 위치 근방에서 긴 감광성 웹의 경계 위치 또는 이 경계 위치에 대응하여 긴 감광성 웹 상에 배치된 마크부를 직접 검출하기 때문에, 경계 위치를 접합 위치에 대하여 고정밀도로 위치 결정할 수 있다. 얻어진 경계 위치 정보에 의거하여 경계 위치와 기판의 상대 위치가 조정되기 때문에, 간단한 공정 및 구성으로 긴 감광성 웹의 감광 재료층을 기판의 소망하는 부위에 대하여 정확하게 접합하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 고품질의 감광성 적층체를 효율적으로 얻을 수 있다.

본 발명의 목적, 특징, 및 장점은 본 발명의 바람직한 실시형태가 예시적으로 도시된 첨부도면과 관련된 이하의 상세한 설명으로부터 더욱 명확해질 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 제조 장치의 개략측면도이다.

도 2는 상기 제조 장치에 사용되는 긴 감광성 웹의 부분 확대 단면도이다.

도 3은 상기 긴 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 부분 평면도이다.

도 4는 상기 제조 장치의 접합 기구의 정면 부분 평면도이다.

도 5는 상기 제조 장치의 관통부의 요부를 설명하는 단면도이다.

도 6은 초기 개시 상태를 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 7은 상기 감광성 웹으로부터 보호 필름을 박리한 경우의 부분 측면도이다.

도 8은 고무 롤러 사이에 유리 기판이 진입한 상태를 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 9는 상기 고무 롤러의 회전 개시 상태를 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 10은 제 1 유리 기판 상의 적층 종료시의 동작을 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 11은 상기 고무 롤러와 기판 반송 롤러의 회전 동작을 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 12는 상기 유리 기판에 감광성 수지층이 전사된 상태의 부분 단면도이다.

도 13은 상기 기판 반송 롤러가 접합 기판의 단말로부터 이격되는 동작을 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 14는 상기 접합 기판 사이의 상기 긴 감광성 웹을 절단하는 동작을 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 15는 정지 상태를 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 16은 종료 상태를 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 17은 상기 감광성 웹의 선단이 적소에 배치되는 동작을 나타내는 상기 제조 장치의 부분 개략도이다.

도 18은 상기 유리 기판에 대하여 상기 감광성 수지층이 진행되는 경우의 평 면도이다.

도 19는 상기 유리 기판에 대하여 상기 감광성 수지층이 지연되는 경우의 평면도이다.

도 20은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 21은 상기 유리 기판에 소정 길이의 상기 감광성 수지층이 부착된 상태의 평면도이다.

도 22는 상기 유리 기판에 소정 길이보다 긴 상기 감광성 수지층이 부착된 상태의 평면도이다.

도 23은 상기 유리 기판에 소정 길이보다 짧은 상기 감광성 수지층이 부착된 상태의 평면도이다.

도 24는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 25는 제 3 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 프리 박리부(pre-peeler)의 확대 단면도이다.

도 26은 상기 프리 박리부의 동작을 나타내는 확대 단면도이다.

도 27은 상기 유리 기판 상에 부착된 상기 감광성 수지층의 위치가 검출되는 동작의 예시도이다.

도 28은 종래 필름 부착 장치의 개략 측면도이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 감광성 적층체의 제조 장치(20)의 개략 측면도이다. 상기 제조 장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터의 제작 공 정에서, 긴 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사하는 작업을 행한다.

도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 감광성 웹(22)의 단면도이다. 이 감광성 웹(22)은 유연한 베이스 필름(지지체)(26), 유연한 베이스 필름(26) 상에 배치된 감광성 수지층(감광 재료층)(28), 및 감광성 수지층(28) 상에 배치된 보호 필름(30)의 적층 구조로 이루어진다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제조 장치(20)는 감광성 웹(22)을 롤 형상으로 권회한 감광성 웹 롤(22a)을 수용하고, 이 감광성 웹 롤(22a)로부터 상기 감광성 웹(22)을 송출하는 송출 기구와, 송출된 상기 감광성 웹(22)의 보호 필름(30)에 폭방향으로 절단 가능한 경계 위치에 있는 부분 절단 부위(가공 부위)(34)를 형성하는 가공 기구(36)와, 각기 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다.

상기 제조 장치(20)에 있어서, 라벨 접착 기구(40)의 하류에는 감광성 웹(22)의 반송 모드를 간헐적 반송 모드로부터 연속 반송 모드로 변경하는 레저버 기구(42), 감광성 웹(22)으로부터 소정 길이의 보호 필름(30)을 박리하는 박리 기구(44), 소정 온도로 가열된 유리 기판(24)을 접합 위치로 반송하는 기판 반송 기구(45), 및 보호 필름(30)을 박리함으로써 노출된 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 접합하는 접합 기구(46)가 배치된다.

접합 기구(46)에 있어서의 접합 위치의 상류 근방에는 감광성 웹(22)의 경계 위치에 있는 부분 절단 부위(34)를 직접 검출하는 검출 기구(47)가 배치된다. 접합 기구(46)의 하류에는 인접 유리 기판(24) 사이의 감광성 웹(22)을 절단하는 기판간 웹 절단 기구(48)가 배치된다. 기판간 웹 절단 기구(48)의 상류에는 제조 장치(20)가 운전을 개시하여 종료될 때 사용되는 웹 선단 절단 기구(48a)가 배치된다.

송출 기구(32)의 하류 근방에는 거의 사용된 감광성 웹(22)의 후단과 새로 사용되는 감광성 웹(22)의 선단을 접합하는 접합 베이스(49)가 배치된다. 접합 베이스(49)의 하류에는 감광성 웹 롤(22a)의 불규칙한 감김에 의한 감광성 웹(22)의 폭방향의 차이를 제어하기 위해 필름 단부 위치 검출기(51)가 이어진다. 감광성 웹(22)의 필름 단부 위치 조정은 송출 기구(32)를 폭방향으로 이동시켜서 행한다. 그러나, 롤러와 조합된 위치 조정 기구에 의해 감광성 웹(22)의 필름 단부가 조정될 수 있다. 송출 기구(32)는 감광성 웹 롤(22a)을 지지하고, 감광성 웹(22)을 반송하는 2개 또는 3개의 언릴링 축(unreeling shaft)으로 이루어진 다중 축 기구를 포함할 수 있다.

가공 기구(36)는 송출 기구(32) 내에 수용된 감광성 웹 롤(22a)의 직경을 산출하기 위한 개별 롤러 쌍(50)의 하류에 배치된다. 가공 기구(36)는 단일 원형 블레이드(circular balde)(52)를 구비하고, 이 원형 블레이드(52)는 감광성 웹(22)의 폭방향으로 주행하여 감광성 웹(22)의 소정 위치에 부분 절단 부위(34)를 형성한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 부분 절단 부위(34)는 적어도 보호 필름(30)을 절단할 필요가 있다. 실질적으로, 이 보호 필름(30)을 확실하게 절단하기 위해 감광성 수지층(28) 또는 베이스 필름(26)까지 절단하기에 충분하도록 원형 블레이 드(52)의 절단 깊이가 설정된다. 원형 블레이드(52)는 회전하지 않도록 고정된 상태로 감광성 웹(22)의 폭방향으로 이동하여 부분 절단 부위(34)를 형성하거나, 감광성 웹(22) 상에서 슬라이딩 없이 회전하면서 폭방향으로 이동하여 부분 절단 부위(34)를 형성할 수 있다. 원형 블레이드(52)는 레이저빔이나 초음파 절단기, 나이프 블레이드, 또는 푸싱 블레이드(pushing blade)(톰슨 블레이드) 등으로 대체될 수 있다.

가공 기구(36)는 감광성 웹(22)의 반송 방향(화살표 A 방향)으로 소정 간격으로 이격되어 2대가 설치되고 잔존 부분(30b)이 사이에 삽입된 두 개의 부분 절단 부위(34)를 동시에 형성할 수 있다.

보호 필름(30) 내에 형성된 두개의 인접한 부분 절단 부위(34)는 두개의 인접한 유리 기판(24) 사이의 간격을 설정하는 기능을 한다. 예컨대, 이 부분 절단 부위(34)는 유리 기판(24)의 각 에지로부터 내측으로 10㎜씩 이격된 위치에 있는 보호 필름(30) 내에 형성된다. 부분 절단 부위(34) 사이에 삽입되어 유리 기판(24) 사이로 노출된 보호 필름(30) 부분은 후술되는 접합 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 프레임(frame)으로서 부착하는 경우에 마스크로서 기능한다.

라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 남기기 위해 전방 박리 부분(30aa)과 후방 박리 부분(30ab)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 초기에 박리되는 전방 박리 부분(30aa)과 이어서 박리되는 후방 박리 부분(30ab)은 잔존 부분(30b)의 양측에 각각 배치된다.

도 3에 도시된 바와 같이, 각 접착 라벨(38)은 직사각 스트립 형상으로 구성되고, 보호 필름(30)과 동일한 재료로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 접착제가 없는 비접착부(또는 약한 접착부)(38a)를 구비함과 아울러, 이 비접착부(38a)의 반대측(접착측)의 길이방향 양측, 즉, 접착 라벨(38)의 길이방향 양단부에 있어서 전방 박리 부분(30aa)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와 후방 박리 부분(30ab)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 구비한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 소정 간격으로 최대 5개의 접착 라벨(38)을 부착하는 흡착 패드(54a ~ 54e)를 구비한다. 흡착 패드(54a ~ 54e)에 의해 감광성 웹(22)에 접착 라벨(38)이 부착되는 위치에는 감광성 웹(22)을 아래쪽으로부터 유지하기 위한 지지 베이스(56)가 승강 가능하게 배치된다.

레저버 기구(42)는 상류측으로의 감광성 웹(22)의 간헐적 반송 모드와 하류측으로의 감광성 웹(22)의 연속 반송 모드의 속도 차이를 흡수한다. 레저버 기구(42)는 텐션 변동을 방지하기 위해 회전 및 요동이 가능한 2개의 댄서 롤러(60)로 구성되는 댄서 롤러부(61)를 구비한다. 댄서 롤러부(61)는 웹의 소망하는 레저버량에 따라 하나의 롤러 또는 3개 이상의 롤러를 포함할 수 있다.

레저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 감광성 웹(22)이 공급되는 측의 텐션 변동을 저감하고, 적층시의 텐션을 안정화시키기 위한 흡입관 드럼(62)을 구비한다. 박리 기구(44)는 흡입관 드럼(62)의 근방에 배치된 박리 롤러(63)도 구비한다. 감광성 웹(22)으로부터 예각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔 존 부분(30b)을 제외하고 보호 필름 권회부(64)에 의해 감긴다.

박리 기구(44) 하류측에는 감광성 웹(22)에 텐션을 부여하는 텐션 제어 기구(66)가 배치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)를 구비하고 이 실린더(68)의 구동 하에 텐션 댄서(70)가 요동 변위함으로써 이 텐션 댄서(70)가 롤링 접촉하는 감광성 웹(22)의 텐션이 조정된다. 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라 사용될 수 있고, 사용되지 않을 수도 있다.

검출 기구(47)는 레이저 센서나 포토 센서 등의 광전 센서(72)를 구비하여 부분 절단 부위(34)의 쐐기형 홈이나 보호 필름(30)의 상이한 두께에 의한 단차, 또는 이들의 조합에 의한 감광성 웹(22)에 있어서의 변화를 직접 검출한다. 광전 센서(72)로부터 검출된 신호는 보호 필름(30) 내의 경계 위치를 나타내는 경계 위치 신호로서 사용된다. 광전 센서(72)는 백업 롤러(73)에 대향하여 배치된다. 대안으로, 광전 센서(72)를 대신하여 비접촉 변위계나 CCD 카메라 등의 화상 검사 수단 등을 이용할 수 있다.

검출 기구(47)에 의해 검출되는 부분 절단 부위(34)의 위치 데이터는 실시간으로 통계 처리 및 그래프화가 가능하다. 검출 기구(47)에 의해 검출된 위치 데이터가 과도한 변형이나 치우침을 나타내면, 상기 제조 장치(20)는 경보를 생성할 수 있다.

상기 제조 장치(20)는 경계 위치 신호를 생성하기 위해 다른 시스템을 사용할 수 있다. 이 다른 시스템에 의하면, 부분 절단 부위(34)는 직접 검출되지 않지만, 마크가 감광성 웹(22)에 부착된다. 예컨대, 부분 절단 부위(34)에 대응해서 가 공 기구(36) 근방에 구멍 또는 오목부를 형성하거나, 감광성 웹(22)이 레이저 빔이나 아쿠아 제트(aqua jet)에 의해 길게 잘라지거나 잉크젯 또는 프린터에 의해 마킹될 수 있다. 감광성 웹(22) 상의 마크가 검출되어 검출된 신호가 경계 위치 신호로서 사용된다.

기판 반송 기구(45)는 유리 기판(24)을 샌드위칭하여 가열하기 위해 배치된 복수의 기판 가열부(예컨대, 히터)(74) 및 화살표 C로 표시된 방향으로 유리 기판(24)을 반송하기 위한 반송부(76)를 구비한다. 기판 가열부(74) 내의 유리 기판(24)의 온도는 상시 감시된다. 유리 기판(24)의 감시된 온도가 비정상인 경우, 반송부(76)는 정지되어 경보를 발생하고, 비정상 정보를 발신하여 비정상 유리 기판(24)이 후속 공정에서 거절 및 배출되고, 품질관리 또는 생산관리 등에 활용될 수도 있다. 반송부(76)에는 공기 부상 플레이트(air-floated plate)(도시되지 않음)가 설치되어 유리 기판(24)이 부상되어 화살표 C 방향으로 반송된다. 그 대신에, 반송부(76)는 롤러 컨베이어에 의해 유리 기판(24)을 반송할 수 있다.

유리 기판(24)의 온도 측정은 접촉식(예컨대, 열전쌍을 사용함)이나 비접촉식으로 기판 가열부(74) 내에서, 더욱 바람직하게는 접합 위치 직전에서 행하는 것이 바람직하다.

기판 가열부(74)의 상류에는 복수의 유리 기판(24)이 수용되는 기판 스토리지 프레임(71)이 배치된다. 기판 스토리지 프레임(71)에 수용된 유리 기판(24)은 로보트(75)의 핸드(hand)부(75a)에 설치된 흡착 패드(79)에 의해 끌어당겨져서 기판 가열부(74)에 삽입된다.

기판 가열부(74)의 하류에는 유리 기판(24)의 선단에 접하여 이 유리 기판(24)을 유지하는 스토퍼(77)와 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출하는 위치 센서(78)가 배치된다. 위치 센서(78)는 유리 기판(24)이 접합 위치를 향하는 도중에 유리 기판 선단을 검출한다. 위치 센서(78)가 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출한 후, 유리 기판(24)이 소정 거리로 반송되어 접합 기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 위치결정된다. 위치 센서(78)가 복수로 설치되어 각 위치에 있어서의 유리 기판(24)의 도착 타이밍을 감시하고, 기판 반송 개시시의 슬라이딩 등에 의한 지연을 체크하는 것이 바람직하다. 도 1에 있어서, 유리 기판(24)은 반송되는 동안 기판 가열부에 의해 가열된다. 그러나, 유리 기판(24)은 배치 가열 오븐(batch heating oven)으로 가열되어 로보트에 의해 반송될 수 있다.

접합 기구(46)는 소정 온도로 가열될 수 있는 수직으로 이격된 한 쌍의 적층 고무 롤러(80a, 80b)를 구비한다. 접합 기구(46)는 고무 롤러(80a, 80b)와 롤링 접촉으로 유지된 한 쌍의 백업 롤러(82a, 82b)도 각각 구비한다. 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)에 의해 고무 롤러(80b)에 가압된다.

도 4에 도시된 바와 같이, 롤러 클램프부(83)는 구동 모터(93)를 구비하고, 이 구동 모터(93)의 구동축에 연결된 감속기(93a)의 구동축(93b)에 볼 나사(94)가 동축적으로 연결된다. 볼 나사(94)에는 너트 부재(95)가 나사결합되어 있고, 이 너트 부재(95)는 슬라이드 베이스(96)에 고정된다. 감광성 웹(22)의 폭방향(화살표 B 방향)으로 슬라이드 베이스(96)의 양단에는 테이퍼진 캠(97a, 97b)이 고정 장착된다. 테이퍼진 캠(97a, 97b)의 높이는 화살표 B1 방향을 향하여 높아지도록 설정된 다. 테이퍼진 캠(97a, 97b) 상에는 롤러(98a, 98b)가 배치되어 있고, 이 롤러(98a, 98b)는 가압 실린더(84a, 84b)의 하부에 각각 유지되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 고무 롤러(80a)의 근방에는 감광성 웹(22)이 고무 롤러(80a)에 접촉되는 것을 방지하기 위해 접촉 방지 롤러(86)가 이동 가능하게 배치된다. 접합 기구(46)의 상류 근방에는 감광성 웹(22)을 소정 온도로 예비 가열하는 예비 가열부(87)가 배치된다. 예비 가열부(87)는 적외선 바 히터(infrared bar heater) 또는 가열 수단을 구비한다.

유리 기판(24)은 접합 기구(46)로부터 기판간 웹 절단 기구(48)를 통해 화살표 C 방향으로 연장된 반송로(88)를 따라 반송된다. 반송로(88)에는 필름 반송 롤러(90)와 기판 반송 롤러(92)가 그 사이에 웹 절단 기구(48a)를 포함하여 배치된다. 고무 롤러(80a, 80b)와 기판 반송 롤러(92) 사이의 간격은 유리 기판(24) 하나의 길이 이하로 설정되는 것이 바람직하다.

제조 장치(20)에서는, 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66), 및 검출 기구(47)가 접합 기구(46) 상에 배치된다. 이것과 반대로, 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66), 및 검출 기구(47)가 접합 기구(46) 아래쪽에 배치되어 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되고, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 하면에 접합될 수 있다. 대안으로서 제조 장치(20)의 기구 전체가 직선으로 배열될 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제조 장치(20)는 적층 공정 제어부(100)에 의해 전체적으로 제어된다. 상기 제조 장치(20)는 각 기능부마다 예컨대, 적층 제어부(102) 또는 기판 가열 제어부(104) 등을 구비한다. 이 제어부들은 공정내 네트워크에 의해 연결되어 있다. 적층 공정 제어부(100)는 공장 네트워크에 연결되어 있고, 공장 CPU(도시되지 않음)로부터의 지시 정보(조건 설정 또는 생산 정보)에 의거한 생산 관리나 가동 관리 등의 생산을 위한 정보 처리를 행한다.

기판 가열 제어부(104)는 상류 공정으로부터 유리 기판(24)을 수신하여 이 유리 기판(24)을 소망하는 온도까지 가열해서 접합 기구(46)에 공급하는 동작, 및 이 유리 기판(24)에 관한 정보처리 등을 제어한다.

적층 제어부(102)는 공정 전체의 마스터로서, 각 기능부의 제어를 행한다. 적층 제어부(102)는 검출 기구(47)에 의해 검출된 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)의 위치 정보에 의거하여 예컨대, 기판 반송 기구(45)를 제어하는 제어 기구를 구성하고 있다.

제조 장치(20) 내부는 분할벽(110)에 의해 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)으로 분할된다. 제 1 클린룸(112a)에는 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 및 텐션 제어 기구(66)가 수용된다. 제 2 클린룸(112b)에는 검출 기구(47)와 검출 기구(47)에 이어지는 다른 구성요소가 수용된다. 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)은 관통부(114)를 통해 연통된다.

도 5에 도시된 바와 같이, 관통부(114)는 제 1 클린룸(112a)에 배치된 제진부(115)와 제 2 클린룸(112b)에 배치된 기밀부(116)를 구비한다.

제진부(115)는 감광성 웹(22)의 양면에 대향하여 배치되는 한 쌍의 흡인 노즐(117a)과 상기 흡인 노즐(117a) 내에 각각 배치된 배출 노즐(118)을 구비한다. 배출 노즐(118)은 감광성 웹(22)으로 공기를 배출하여 감광성 웹(22)으로부터 먼지 입자를 제거하고, 흡인 노즐(117a)은 배출된 공기와 제거된 먼지 입자를 흡인한다. 바람직하게는, 배출 노즐(118)로부터의 공기는 전기적 중화(또는 정전기 방지) 공기가 될 수 있다.

기밀부(116)는 감광성 웹(22)의 양면에 대향하여 배치되는 한 쌍의 흡인 노즐(117b)를 구비한다. 흡인 노즐(117b)에 의해 공기를 흡인하여 관통부(114)를 밀봉한다. 제진부(115)와 기밀부(116)의 위치를 전환하거나 복수의 제진부(115)와 복수의 기밀부(116)를 조합할 수 있다. 감광성 수지층(28)이 노출된 감광성 웹(22)의 측면에 대향하는 쪽에는 배출 노즐(118)을 배치하지 않고 흡인 노즐(117a)만을 배치할 수 있다.

제조 장치(20) 내부는 분할벽(110)을 설치함으로써 접합 기구(46)에서의 가열에 의한 열기가 상승하여 감광성 웹(22)으로의 열영향, 예컨대, 표면의 주름, 변형, 열수축, 또는 스트레칭(stretching)을 방지한다. 분할벽(110)은 먼지 입자가 발생하거나 낙하하기 쉬운 상부[제 1 클린룸(112a)]와 하부[제 2 클린룸(112b)]를 차단함으로써 접합 기구(46)의 청결을 확보한다. 제 2 클린룸(112b)의 압력을 제 1 클린룸(112a)의 압력보다 고압으로 설정하여 제 2 클린룸(112b)으로 먼지 입자가 유입되는 것을 저지하는 것이 바람직하다.

제 2 클린룸(112b)의 상부에는 청결한 공기를 하류쪽으로 공급하기 위한 공 기 공급부(도시되지 않음)가 배치된다.

본 발명에 의한 제조 방법을 수행하는 제조 장치(20)의 동작을 이하 상세히 설명한다.

우선, 초기에, 적소에 감광성 웹(22)의 선단을 배치하기 위해 송출 기구(32)에 수용된 감광성 웹 롤(22a)로부터 감광성 웹(22)이 언릴링된다. 감광성 웹(22)은 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 및 접합 기구(46)를 통해 필름 반송 롤러(90)로 전달된다.

부분 절단 부위(34)가 광전 센서(72)에 의해 검출되면, 필름 반송 롤러(90)는 광전 센서(72)로부터 검출된 신호에 의거하여 회전된다. 감광성 웹(22)은 필름 반송 롤러(90)에 의해 접합 위치로 소정 간격을 두고 반송된다. 부분 절단 부위(34)는 접합 위치에 대응하여 위치 결정된다. 대안으로, 접합 위치의 하류에서 부분 절단 부위(34)를 검출하고, 감광성 웹(22)을 소정 위치에 정지시킬 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(86)가 하강하여 감광성 웹(22)이 고무 롤러(80a)에 접촉되는 것을 방지한다. 유리 기판(24)은 접합 위치의 직전에서 대기하고 있다. 감광성 웹(22)은 제조 장치(20)의 초기 상태에 있게 된다.

적층 모드에 있어서의 제조 장치(20)를 구성하는 각 기능부의 동작을 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 가공 기구(36)에 있어서, 원형 블레이드(52)가 감광성 웹(22)을 폭방향으로 이동하여 보호 필름(30), 감광성 수지층(28), 및 베이스 필름(26)을 절단함으로써 부분 절단 부위(34)를 형성한다(도 2 참조). 이어서, 감 광성 웹(22)은 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)의 치수에 대응하여 화살표 A 방향(도 1 참조)으로 반송된 후, 정지되어서 원형 블레이드(52)에 의해 다른 부분 절단 부위(34)가 형성된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22)에는 잔존 부분(30b)이 사이에 삽입된 전방 박리 부분(30aa)과 후방 박리 부분(30ab)이 제공된다.

이어서, 감광성 웹(22)은 라벨 접착 기구(40)에 반송되어서 보호 필름(30)의 소정 접합 위치가 지지 베이스(56) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에 있어서, 소정 수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54b ~ 54e)에 의해 흡착 유지되어 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 통해 전방 박리 부분(30aa)과 후방 박리 부분(30ab)에 일체로 접착된다(도 3 참조).

예컨대, 5개의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22)은 공급된 감광성 웹(22)이 겪게 되는 텐션 변동으로부터 레저버 기구(42)에 의해 격리된 후, 박리 기구(44)로 연속적으로 반송된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 박리 기구(44)에 있어서, 감광성 웹(22)의 베이스 필름(26)이 흡입관 드럼(62)으로 흡착 유지되고, 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 감광성 웹(22)으로부터 박리된다. 보호 필름(30)은 예각의 박리각으로 박리되어 보호 필름 권회부(64)에 의해 감긴다(도 1 참조).

이 때, 감광성 웹(22)은 흡입관 드럼(62)에 의해 강하게 유지되어 있고, 이 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 박리할 때의 충격이 하류의 감광성 웹(22)에 전달되지 않는다. 따라서, 접합 기구(46)에 박리 충격이 전달되지 않기 때문에 유리 기판(24)의 적층 부분에 줄무늬의 불량 부분의 발생이 효과적으로 저지된다.

박리 기구(44)에 의해 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(66)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 검출 기구(47)의 광전 센서(72)에 의해 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출된다.

감광성 웹(22)은 부분 절단 부위(34)의 검출 정보에 의거하여 필름 반송 롤러(90)의 회전 작용에 의해 접합 기구(46)로 소정 길이가 반송된다. 이 때, 접촉 방지 롤러(86)이 감광성 웹(22) 상에서 대기하고 있고, 고무 롤러(80b)가 감광성 웹(22) 아래쪽에 배치되어 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 유리 기판(24)은 기판 반송 기구(45)에 의해 예비 가열된 상태로 접합 위치에 반송된다. 이 유리 기판(24)은 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)의 접합 부분에 대응해서 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 임시로 배치된다.

이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 구동 모터(93)에 연결된 감속기(93a)에 의해 볼 나사(94)가 소정 방향으로 회전하면, 볼 나사(94)에 나사결합된 너트 부재(95)와 일체로 슬라이드 베이스(96)가 화살표 B2 방향으로 이동한다. 따라서, 테이퍼진 캠(97a, 97b)은 롤러(98a, 98b)와의 접촉면이 높아져서 롤러(98a, 98b)가 상방으로 변위된다. 따라서, 가압 실린더(84a, 84b)가 상승하고, 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)를 상승시킴으로써 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리 기판(24)이 소정 프레싱 압력으로 샌드위칭된다. 이 때, 프레싱 압력은 가압 실린더(84a, 84b)의 공기압에 의해 조정된다. 고무 롤러(80a)가 회전되어 유리 기판(24)에 감광성 수지층(28)이 가열 용융에 의해 전사(적층)된다.

반송 속도가 1.0m/min ~ 10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 100℃ ~ 150℃, 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40 ~ 90, 고무 롤러(80a, 80b)의 압력(선압)이 50N/㎝ ~ 400N/㎝인 조건하에서 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24) 상에 적층된다.

도 9에 도시된 바와 같이, 유리 기판(24)의 선단이 필름 반송 롤러(90)의 근방에 도달하면, 이 필름 반송 롤러(90)가 유리 기판(24)으로부터 이격되는 방향으로 이동한다. 유리 기판(24)으로부터 전방(화살표 C 방향)으로 돌출하는 감광성 웹(22)의 선단이 웹 절단 기구(48a)에 대하여 소정 위치에 도달하면, 웹 절단 기구(48a)가 구동되어 감광성 웹(22)의 선단이 절단된다. 웹 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)의 선단을 절단할 때, 운전이 종료된 때, 및 감광성 웹(22)의 절단에 문제가 발생한 때를 제외하고는 대기 위치로 복귀된다. 웹 절단 기구(48a)는 제조 장치(20)의 통상의 운전시에는 사용되지 않는다.

도 10에 도시된 바와 같이, 고무 롤러(80a, 80b)에 의해 유리 기판(24)에 대한 감광성 웹(22)의 적층이 종료되면, 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지되고, 감광성 웹(22)이 적층된 유리 기판(24)[이하, 접합 기판(24a)으로도 칭함]이 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램핑(clamping)된다.

고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 대피하여 접합 기판(24a)의 클램핑이 해제된다. 구체적으로는, 도 4에 도시된 바와 같이, 구동 모터(93)에 연결된 감속기(93a)가 상기 방향의 역방향으로 회전 구동되어 볼 나 사(94) 및 너트 부재(95)에 의해 슬라이드 베이스(96)가 화살표 B1 방향으로 이동한다. 따라서, 테이퍼진 캠(97a, 97b)이 롤러(98a, 98b)에 접촉하는 면의 높이가 낮아져 가압 실린더(84a, 84b)가 하강한다. 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)가 하강하여 접합 기판(24a)의 클램핑이 해제된다.

이어서, 기판 반송 롤러(92)의 회전이 개시되어 접합 기판(24a)이 화살표 C 방향으로 소정 거리로 반송된다. 두개의 인접한 유리 기판(24) 사이로 이동될 감광성 웹(22)의 위치(22b)는 고무 롤러(80a)의 아래로 이동한다. 기판 반송 기구(45)에 의해 다음 유리 기판(24)이 접합 위치로 반송된다. 다음 유리 기판(24)의 선단이 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 배치되면, 고무 롤러(80b)가 상승하고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 다음 유리 기판(24)과 감광성 웹(22)이 클램핑된다. 동시에, 기판 반송 롤러(92)가 접합 기판(24a)을 클램핑한다. 고무 롤러(80a, 80b) 및 기판 반송 롤러(92)가 회전되어 접합 기판(24a)이 화살표 C 방향으로 반송된다(도 11 참조).

이 때, 도 12에 도시된 바와 같이, 각각의 단부가 잔존 부분(30b)에 의해 커버된다.

도 13에 도시된 바와 같이, 기판 반송 롤러(92)가 제 1 접합 기판(24a)의 반송 방향 후단부에 도달하면, 기판 반송 롤러(92)를 구성하는 상부 롤러가 상승하여 클램핑이 해제되고, 하부 롤러와 반송로(88)의 다른 롤러가 연속적으로 회전하여 접합 기판(24a)을 반송한다. 제 2 접합 기판(24a)의 후단부가 고무 롤러(80a, 80b)의 근방에 도달하면, 고무 롤러(80a, 80b) 및 기판 반송 롤러(92)의 회전이 정지된 다. 기판 반송 롤러(92)의 상부 롤러가 하강하여 제 2 접합 기판(24a)을 클램핑하고, 고무 롤러(80b)가 하강하여 클램핑을 해제한다. 이어서, 기판 반송 롤러(92)가 회전하여 제 2 접합 기판(24a)이 반송된다. 인접한 두개의 유리 기판(24) 사이로 이동될 감광성 웹(22)의 위치(22b)는 고무 롤러(80a)의 아래로 이동하고, 감광성 웹(22)은 제 3 유리 기판(24) 상에 반복적으로 적층된다.

도 14에 도시된 바와 같이, 두개의 인접한 접합 기판(24a) 사이의 위치가 기판간 웹 절단 기구(48)에 대응하는 위치에 도달하면, 기판간 웹 절단 기구(48)는 접합 기판(24a)과 동일한 반송 속도로 화살표 C 방향으로 이동하면서, 접합 기판(24a) 사이에서 감광성 웹(22)을 절단한다. 그 후, 기판간 웹 절단 기구(48)가 대기 위치로 복귀되고, 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 박리되어 감광성 적층체(106)가 제조된다.

적층 처리가 일시적으로 정지되면, 도 15에 도시된 바와 같이, 필름 반송 롤러(90) 및 고무 롤러(80b)가 클램핑 해제 위치에 배치되고, 접촉 방지 롤러(86)가 하강하여 감광성 웹(22)이 고무 롤러(80a)에 접촉하는 것을 방지한다.

제조 장치(20)의 운전이 종료되면, 기판 반송 롤러(92)가 회전하여 접합 기판(24a)이 화살표 C 방향으로 반송되고, 웹 절단 기구(48a)가 감광성 웹(22)을 클램핑한다. 필름 반송 롤러(90)가 회전하면서 감광성 웹(22)을 클램핑한 상태로 웹 절단 기구(48a)가 감광성 웹(22)의 폭방향으로 주행하여 감광성 웹(22)을 절단한다.

따라서, 도 16에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22)은 고무 롤러(80a, 80b) 사이를 통과하여 필름 반송 롤러(90)에 의해 샌드위칭되고, 접촉 방지 롤러(86)가 하강하여 감광성 웹(22)이 고무 롤러(80a)로부터 이격되어 지지된다. 웹 절단 기구(48a)는 접합 기판(24a)의 클램핑을 해제하고 기판의 대기 위치에 배치된다.

기판간 웹 절단 기구(48) 및 웹 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)을 절단할 때, 감광성 웹(22)과 동기하여 화살표 C 방향으로 이동한다. 그러나, 기판간 웹 절단 기구(48) 및 웹 절단 기구(48a)가 감광성 웹(22)의 폭방향으로만 주행하여 감광성 웹(22)을 절단할 수 있다. 웹이 정지된 동안 톰슨 블레이드에 의한 절단, 또는 웹의 이동중에 로터리 블레이드에 의한 절단도 가능하다.

제조 장치(20)가 초기 상태에서 동작하는 경우, 도 17에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(86)가 아래쪽 위치에 배치되고, 고무 롤러(80b)는 고무 롤러(80a)로부터 이격된다. 이어서, 필름 반송 롤러(90)가 회전되어 감광성 웹(22)이 웹 폐기 컨테이너(도시되지 않음)로 배출된다. 이 때, 웹 절단 기구(48a)에 의해 감광성 웹(22)이 소정 길이로 절단된다.

검출 기구(47)가 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 검출하면, 감광성 웹(22)이 검출된 위치로부터 소정 길이로 반송된다. 구체적으로는, 접촉 방지 롤러(86)가 상승되면, 부분 절단 부위(34)가 고무 롤러(80a, 80b)에 의한 적층 위치에 도달하는 위치까지 감광성 웹(22)이 반송된다. 이에 따라, 감광성 웹(22)의 선단이 적소에 배치된다.

제 1 실시형태에 있어서, 접합 기구(46)의 상류 근방에서 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출 기구(47)에 의해 직접 검출된다. 검출 기구(47)로부터 고무 롤러(80a, 80b)에 의해 부분 절단 부위(34)가 정지되는 지점까지의 거리는 감광성 웹(22)이 적층되는 가장 짧은 길이보다 짧아야 한다. 이것은 검출된 부분 절단 부위(34)의 정보가 피드백을 통해 다음 적층 처리에 사용되기 때문이다.

검출 기구(47)는 후술하는 바와 같이 2종류의 측량을 수행한다. 제 1 측량에 의하면, 고무 롤러(80a, 80b)가 유리 기판(24)을 클램핑하고, 고무 롤러(80a, 80b)의 회전 시작으로부터의 기판 반송량을 고무 롤러 구동용 모터(도시되지 않음)와 결합된 엔코더에 의해 측량한 펄스의 수와, 설정상의 부분 절단 부위(34) 검출 타이밍의 펄스의 수와 비교하여 부분 절단 부위(34)의 어긋남을 측량한다. 설정상의 검출 타이밍의 펄스 수에 도달하기 전에 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출되면, 펄스 수 사이의 차이가 나타내는 거리만큼 부분 절단 부위(34)가 유리 기판(24)의 소정 위치보다 전방으로 벗어나 있다고 판단된다. 반대로, 설정상의 검출 타이밍의 펄스 수에 도달한 후에 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출되면, 부분 절단 부위(34)는 유리 기판(24)의 소정 위치보다 후방으로 벗어나 있다고 판단된다.

제 2 측량에 의하면, 부분 절단 부위(34)의 검출로부터 다음 부분 절단 부위(34)의 검출까지 고무 롤러(80a, 80b) 구동용 모터와 결합된 엔코더에 의해 생성된 펄스의 수를 측량하여 감광성 웹(22)의 적층 길이(H)를 측량한다. 각 감광성 웹(22)의 통상의 조건하에서의 적층 길이에 상당하는 설정상의 펄스의 수와 실제로 측량된 펄스의 수를 비교한다. 실제로 측량된 펄스의 수가 설정상의 펄스의 수보다 많으면, 펄스 수의 차이가 나타내는 거리만큼 가열 등의 영향으로 감광성 웹(22)이 스트레칭되는 것으로 판단된다. 실제로 측량된 펄스의 수가 설정상의 펄스의 수보다 적으면, 감광성 웹(22)이 짧아지는 것으로 판단된다.

도 18에 도시된 바와 같이, 제 1 측량 결과에 의거하여 유리 기판(24)의 접합 범위(P1-P2)에 대하여 감광성 수지층(28)의 선단 위치가 동일 거리 또는 거의 동일 거리로 변위(진행)되는 것으로 검출되면, 유리 기판(24)과 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)의 상대위치가 조정된다.

구체적으로는, 광전 센서(72)에 의해 검출된 부분 절단 부위(34)가 소정 위치로부터 진행된 것으로 판단되면, 도 10에 도시된 바와 같이, 적층된 후의 감광성 웹(22)의 비접합 부위를 설정상의 거리와 진행된 거리 사이의 차이가 나타내는 거리만큼 기판 반송 롤러(92)가 반송한다. 따라서, 부분 절단 부위(34)가 위치 조정되어 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 배치된다. 그 후, 유리 기판(24)은 정상적인 반송 제어에 의해 고무 롤러(80a, 80b) 사이로 반송되어 유리 기판(24)에 감광성 수지층(28)이 정상 위치, 즉, 유리 기판(24)의 소정 접합 범위(P1 - P2)에 감광성 수지층(28)이 접합된다.

도 19에 도시된 바와 같이, 광전 센서(72)에 의해 검출된 부분 절단 부위(34)가 유리 기판(24)의 접합 범위(P1 - P2)로부터 지연된 것으로 판단되면, 적층 후의 감광성 웹(22)의 비접합 부위를 설정상의 거리와 지연된 거리의 합이 나타내는 거리만큼 기판 반송 롤러(92)가 반송한다.

기판 반송 롤러(92)에 의한 접합 기판(24a)의 반송 거리를 조정하는 방법 외에 기판 반송 기구(45)를 제어하여 유리 기판(24)의 정지 위치를 어긋난 만큼만 진 행 또는 지연시켜서 조정하는 방법을 사용할 수 있다.

제 2 측량 결과에 의거하여 광전 센서(72)에 의해 검출된 부분 절단 부위(34) 사이의 거리, 즉, 유리 기판(24)에 접합되는 감광성 수지층(28)의 접합 길이(H)를 측량한다. 접합 범위보다 상기 길이(H)가 길면, 가공 기구(36)에 의해 부분 절단 부위(34)의 위치가 변경되어 부분 절단 부위(34) 사이의 거리, 즉, 상기 길이(H)가 그 차이만큼 감소된다. 접합 범위보다 상기 길이(H)가 짧으면, 가공 기구(36)에 의해 부분 절단 부위(34)의 위치가 변경되어 부분 절단 부위(34) 사이의 거리, 즉, 상기 길이(H)가 그 차이만큼 증가된다. 이러한 방식으로, 감광성 수지층(28)의 접합 길이가 소정 길이로 조정된다.

텐션 제어 기구(66)를 구성하는 텐션 댄서(70)에 의한 감광성 웹(22)으로의 텐션을 조정함으로써 감광성 웹(22)의 스트레칭량을 변경시키는 것도 가능하다.

따라서, 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 접합 위치에 대하여 고정밀도로 위치 결정할 수 있고, 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 소망하는 부위에 대하여 정확하게 접합하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 간단한 공정 및 구성으로 고품질의 감광성 적층체(106)를 효율적으로 제조할 수 있다.

도 20은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 제조 장치(120)의 개략 구성도이다. 제 1 실시형태에 의한 제조 장치(20)와 동일한 제 2 실시형태에 의한 제조 장치(120)의 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 첨부하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 20에 도시된 바와 같이, 제조 장치(120)는 검출 기구(47a), 기판간 웹 절 단 기구(48)의 하류측에 배치되는 냉각 기구(122), 및 이 냉각 기구(122)의 하류측에 배치되는 베이스 박리 기구(124)를 구비한다. 검출 기구(47a)는 광전 센서(72a, 72b)를 구비하고, 광전 센서(72a, 72b)는 소정 거리(L)로 이격되어 있고, 각각 백업 롤러(73a, 73b)에 대향하여 배치된다.

냉각 기구(122)는 기판간 웹 절단 기구(48)을 통해 접합 기판(24a) 사이의 감광성 웹(22)이 절단된 후, 이 접합 기판(24a)에 냉풍을 공급하여 냉각 처리를 실시한다. 구체적으로는, 냉풍의 온도는 10℃, 풍량은 1.0m/min ~ 2.0m/min으로 설정된다. 대안으로, 냉각 기구(122)를 사용하지 않고 감광성 적층체 스토리지 프레임(132)(후술됨)으로 접합 기판(24a)을 자연 냉각할 수 있다.

냉각 기구(122)의 하류에 배치되는 베이스 박리 기구(124)는 접합 기판(24a)를 하방으로부터 흡착하는 복수의 흡착 패드(126)를 구비한다. 이 흡착 패드(126)에 접합 기판(24a)이 흡착 유지된 상태로 로보트 핸드(128)에 의해 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)을 접합 기판(24a)으로부터 박리한다. 흡착 패드(126)의 상류, 하류, 및 양측방에는 접합 기판(24a)의 적층 부분 전체에 4방향의 측면에서 이온 에어를 분사하는 제전 블로워(electric neutralizing blower)(도시되지 않음)가 배치된다. 먼지를 제거하기 위해 접합 기판(24a)을 지지하는 테이블을 수직으로, 경사지게, 또는 뒤집는 동안 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 접합 기판(24a)으로부터 박리될 수 있다.

베이스 박리 기구(124)의 하류에는 복수의 감광성 적층체(106)가 수용되는 감광성 적층체 스토리지 프레임(132)이 배치된다. 베이스 박리 기구(124)로 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 박리된 감광성 적층체(106)는 로보트(134)의 핸드(134a) 상의 흡착 패드(136)에 의해 흡착되고, 베이스 박리 기구(124)로부터 테이크 아웃되어 감광성 적층체 스토리지 프레임(132)에 수용된다.

기판 스토리지 프레임(71) 및 감광성 적층체 스토리지 프레임(132)에는 유리 기판(24) 또는 감광성 적층체(106)가 투입 및 테이크 아웃되는 측면을 제외한 3방향 측면에 제진 팬부(dedusting fan unit)[또는 덕트부(duct unit)](137)이 부설된다. 팬부(137)는 기판 스토리지 프레임(71) 및 감광성 적층체 스토리지 프레임(132) 내에 청결하고 전기적으로 중화된 공기를 불어넣는다.

적층 공정 제어부(100)에는 적층 제어부(102) 및 기판 가열 제어부(104)와 베이스 박리 제어부(138)도 연결되어 있다. 베이스 박리 제어부(138)는 접합 기구(46)로부터 공급되는 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리하고, 하류공정에 감광성 적층체(106)를 배출하는 동작의 제어를 행한다. 또한, 베이스 박리 제어부(138)는 접합 기판(24a) 및 감광성 적층체(106)에 관한 정보를 핸들링한다.

제 2 실시형태에 의한 검출 기구(47a)에 있어서, 우선, 상류측의 광전 센서(72a)가 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 검출한 후, 하류측의 광전 센서(72b)가 부분 절단 부위(34)를 검출한다. 백업 롤러(73a, 73b) 사이의 거리(L)는 유리 기판(24)에 접합되는 감광성 수지층(28)의 접합 길이에 대응한다.

상류측 광전 센서(72a)에 의해 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출되는 시간과 하류측 광전 센서(72b)에 의해 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출되는 시간 사이의 차이로부터 실제의 감광성 수지층(28)의 접합 길이가 정확하게 산출된다. 산출된 감광성 수지층(28)의 실제 접합 길이에 의거하여 유리 기판(24)의 중앙부에 감광성 수지층(28)의 접합 위치가 설정되도록 감광성 웹(22)의 반송 속도가 조정된다.

따라서, 제 2 실시형태에 있어서, 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34) 사이의 거리, 즉, 유리 기판(24)에 접합되는 감광성 수지층(28)의 길이(H)가 정확하게 검출되어 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 중앙부에 접합된다(도 21 참조).

도 22에 도시된 바와 같이, 검출 기구(47a)에 의해 검출된 감광성 수지층(28)의 길이(H1)가 정규 길이(H)보다 긴 경우에는 감광성 수지층(28)의 양단이 접합 길이(L)의 단부로부터 외측으로 등거리로 이격되도록 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 중앙부에 접합된다.

도 23에 도시된 바와 같이, 감광성 수지층(28)의 길이(H2)가 정규 길이(H)보다 짧은 경우에는 감광성 수지층(28)의 양단이 접합 길이(L)의 단부로부터 내측으로 등거리로 이격되도록 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 중앙부에 접합된다. 이러한 경우에 있어서, 감광성 수지층(28) 접합 위치의 목표 어긋남은 감광성 수지층(28)이 접합 길이(L)의 단부로부터 내측으로 등거리로 이격되지 않는 경우에 발생하는 어긋남의 약 1/2가 된다.

또한, 제 2 실시형태에 의하면, 부분 절단 부위(34)는 송출 기구(32)로부터 언릴링된 감광성 웹(22)에 형성되고, 잔존 부분(30b)을 남기고 보호 필름(30)을 박리한 후, 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)을 적층하여 감광성 수지층(28)을 전사하 고, 베이스 박리 기구(124)에 의해 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)을 박리하여 감광성 적층체(106)를 제조한다. 이에 따라, 감광성 적층체(106)가 용이하게 자동적으로 제조될 수 있다.

도 24는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 제조 장치(140)의 개략 구성도이다. 제 1 실시형태에 의한 제조 장치(20)와 동일한 제 3 실시형태에 의한 제조 장치(140)의 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 첨부하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

제조 장치(140)는 트러블 정지시의 웹 절단이나 불량품을 배출하기 위한 분리 등의 작업 이외에는 통상 사용되지 않는 기판간 웹 절단 기구(48)를 포함한다. 제조 장치(140)는 웹 절단 기구(48a)의 하류에 배치된 냉각 기구(122)와 자동 베이스 박리 기구(142)를 구비한다. 베이스 자동 박리 기구(142)는 각 유리 기판(24)이 소정 간격씩 이격되어 접합되어 있는 긴 베이스 필름(26)을 연속해서 박리하는 기능을 한다. 베이스 자동 박리 기구(142)는 프리 박리부(prepeeler)(144), 비교적 직경이 작은 박리 롤러(146), 권회롤러(148), 및 자동 접합부(150)를 구비한다.

도 25 및 도 26에 도시된 바와 같이, 프리 박리부(144)는 닙 롤러 어셈블리(nip roller assembly)(152, 154)와 박리 바(peeling bar)(156)를 구비한다. 닙 롤러 어셈블리(152, 154)는 유리 기판(24)의 반송 방향으로 진퇴 가능하다. 닙 롤러 어셈블리(152, 154)는 승강 가능한 상측 롤러(152a, 154a)와 하측 롤러(152b, 154b)를 구비한다. 상측 롤러(152a, 154a)가 하강하면, 상측 롤러(152a, 154a)와 하측 롤러(152b, 154b)는 그 사이에 유리 기판(24)을 조이게 된다. 박리 바(156)는 인접한 유리 기판(24) 사이에서 승강 가능하다. 상측 롤러(152a, 154a)는 가압 바 또는 가압 핀으로 대체될 수 있다.

박리 롤러(146)에 의해 또는 박리 롤러(146) 직전의 위치에서 감광성 웹(22)이 30℃ ~ 120℃ 정도까지 재가열된다. 감광성 웹(22)이 재가열되면, 베이스 필름(26)이 박리되는 경우에 컬러 재료층의 박리가 저지되어 고품질의 적층면을 얻을 수 있다. 온수에 의해 가열되는 롤러 등의 가열 롤러로서도 기능하는 박리 롤러(146)에 의해 재가열이 수행될 수 있다. 대안으로, 바 히터(bar heater) 또는 IR 히터를 부설하여 재가열을 수행할 수 있다.

베이스 자동 박리 기구(142)의 하류에는 유리 기판(24)에 실제로 접합되는 감광성 수지층(28)의 영역 위치를 측정하는 측정부(158)가 배치된다. 이 측정부(158)는 CCD 등으로 이루어진 이격된 복수의 카메라(160)를 구비한다. 도 27에 도시된 바와 같이, 측정부(158)는 예컨대, 감광성 수지층(28)이 접합되는 유리 기판(24)의 네 코너(K1 ~ K4)의 화상을 촬영하기 위해 4대의 카메라를 구비한다. 대안으로, 측정부(158)는 네 코너(K1 ~ K4)를 대신하여 가로 및 세로 측면의 화상을 촬영하기 위해 2대 이상의 카메라를 구비할 수 있다.

측정부(158)는 유리 기판(24)의 단부면을 검출하기 위해 컬러 센서 또는 레이저 센서를 포함하거나 유리 기판(24)의 단부면을 검출하기 위해 LED 센서, 포토다이오드 센서 또는 라인 센서의 조합을 포함할 수 있다. 각 단부의 직선도를 검출하기 위해 각 단부면의 화상을 촬영하는데 2대 이상의 센서를 사용하는 것이 바람직하다.

감광성 웹(22) 자체에 기인하는 표면 불균일, 제조 설비에 기인하는 적층 필름 농도 불균일, 주름, 줄무늬 패턴, 먼지 입자, 및 이물질 등의 감광성 적층체(106)의 표면 결함을 검출하기 위해 표면 검사부(도시되지 않음)를 사용할 수 있다. 이러한 표면 결함이 검출되면, 제조 장치(140)는 경보를 발하고, 결함품을 배출하며, 검출된 표면 결함에 의거하여 후속 공정을 관리한다.

제 3 실시형태에 의하면, 감광성 웹(22)이 적층된 접합 기판(24a)은 냉각 기구(122)에 의해 냉각되어 프리 박리부(144)로 이송된다. 프리 박리부(144)에 있어서, 닙 롤러 어셈블리(152, 154)는 인전한 두개의 유리 기판(24)의 후단과 선단을 조인 상태에서 닙 롤러 어셈블리(152)가 유리 기판(24)과 같은 속도로 화살표 C 방향으로 이동하고, 닙 롤러 어셈블리(154)의 화살표 C 방향으로의 이동 속도가 감속된다.

따라서, 도 26에 도시된 바와 같이, 유리 기판(24) 사이의 감광성 웹(22)은 닙 롤러 어셈블리(152, 154) 사이에 고정된다. 이어서, 박리 바(156)가 상승하여 감광성 웹(22)을 상방으로 가압하고, 인접한 두개의 유리 기판(24)의 선단 및 후단으로부터 보호 필름(30)이 박리된다.

베이스 자동 박리 기구(142)에 있어서, 권회롤(148)이 회전하여 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 연속적으로 감는다. 트러블 정지시의 감광성 웹(22)의 절단 및 불량품 분리시의 절단 후에, 감광성 웹(22)의 적층이 개시되는 접합 기판(24a) 상의 베이스 필름(26)의 선단과 권회롤(148)에 감긴 베이스 필름(26)의 후단은 자동 접합부(150)에 의해 자동적으로 접합된다.

베이스 필름(26)이 박리된 유리 기판(24)은 측정부(158)에 대응하는 검사 스테이션(inspecting station)에 배치된다. 검사 스테이션에 있어서, 유리 기판(24)이 위치 결정 고정된 상태로 4대의 카메라(160)에 의해 유리 기판(24)과 감광성 수지층(28)의 화상을 캡쳐한다. 캡쳐된 화상이 처리되어 접합 위치(a ~ d)가 연산된다.

검사 스테이션에 있어서, 유리 기판(24)을 정지시키기 않고 반송할 수 있고, 유리 기판(24)의 횡단부는 카메라 또는 화상 스캐닝에 의해 검출될 수 있고, 유리 기판(24)의 종단부는 타이밍 센서에 의해 검지될 수 있다. 이어서, 카메라나 화상 스캐닝 및 상기 센서에 의해 생성된 검출 데이터에 의거하여 유리 기판(24)을 측정할 수 있다.

제 3 실시형태에 의하면, 감광성 웹(22)이 유리 기판(24)에 적층된 후, 두개의 인접한 접합 기판(24a) 사이의 감광성 웹(22)은 절단되지 않는다. 그 대신, 박리 롤러(146)에 의해 접합 기판(24a)이 가압되는 동안 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 연속적으로 박리되어 회전하는 권회롤(148) 주위에 감긴다. 또한, 박리된 베이스 필름(26)이 용이하게 처리된다.

제 3 실시형태에 의하면, 제 2 실시형태와 동일한 장점을 얻게 된다. 예컨대, 감광성 적층체(106)가 효율적이고 자동적으로 제조될 수 있다. 또한, 제조 장치(140)가 간단한 구조로 이루어진다.

본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명했지만, 청구범위의 범위로부터 벗어나지 않은 다양한 변경과 수정이 이루어질 수 있다는 것이 이해되어야 한다.

Claims (15)

1. 지지체(26), 상기 지지체(26) 상에 배치된 감광 재료층(28), 및 상기 감광 재료층(28) 상에 배치되고 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b)을 구비하는 보호 필름(30)을 포함하는 긴 감광성 웹(22)을 송출하는 웹 송출 기구(32);

   상기 웹 송출 기구(32)에 의해 송출된 상기 긴 감광성 웹(22)의 상기 보호 필름에 있어서 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b) 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 가공 부위(34)를 형성하는 가공 기구(36);

   상기 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 긴 감광성 웹(22)으로부터 상기 박리 부분(30aa)을 박리하는 박리 기구(44);

   소정 온도로 가열된 기판(24)을 접합 위치로 반송하는 기판 반송 기구(45);

   상기 접합 위치에서 상기 잔존 부분(30b)을 상기 기판(24) 사이에 배치하고, 상기 박리 부분(30aa)이 박리되어 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 접합하여 접합 기판(24a)을 얻는 접합 기구(46);

   상기 접합 위치 근방에 배치되어 상기 긴 감광성 웹(22)의 상기 경계 위치를 직접 검출하거나 상기 경계 위치에 대응하여 상기 긴 감광성 웹(22)에 배치된 마크부를 검출하는 검출 기구(47); 및

   상기 검출 기구(47)에 의해 검출된 경계 위치 정보에 의거하여 상기 접합 위치에 있어서의 상기 경계 위치와 상기 기판(24)의 상대 위치를 조정하는 제어 기구(102)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 접합 위치의 상류 근방에 상기 검출 기구(47)가 배치되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 가공 기구(36)와 상기 박리 기구(44) 사이에 배치되어 상기 긴 감광성 웹(22)이 반송되는 속도와 상태를 변경하는 레저버 기구(42)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
4. 제 1 항 ~ 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 박리 기구(44)와 상기 접합 기구(46) 사이에 배치되어 상기 긴 감광성 웹(22)에 텐션을 부여하는 텐션 제어 기구(66)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
5. 제 1 항 ~ 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 접합 기구(46)의 하류에 배치되어 상기 기판(24) 사이의 상기 긴 감광성 웹(22)을 절단하는 절단 기구(48)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
6. 제 1 항 ~ 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 접합 기구(46)의 하류에 배치되어 상기 접합 기판(24a)으로부터 상기 지지체(26)를 박리하는 지지체 박리 기구(124)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 접합 기구(46)는,

   소정 온도로 가열되는 한 쌍의 고무 롤러(80a, 80b), 및

   상기 고무 롤러(80b) 중 하나를 진퇴시키는 롤러 클램프부(83)를 포함하고;

   상기 롤러 클램프부(83)는,

   상기 고무 롤러(80b) 중 하나에 클램핑 압력을 부여하는 실린더(84a), 및

   액츄에이터(93)에 의해 구동 가능하여 상기 실린더(84a)를 진퇴시키는 캠(97a)을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 접합 기구(46)의 상류 근방에 배치되어 상기 긴 감광성 웹(22)을 소정 온도로 예비 가열하는 예비 가열부(87)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
9. 지지체(26), 상기 지지체(26) 상에 배치된 감광 재료층(28), 및 상기 감광 재료층(28) 상에 배치되고 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b)을 구비한 보호 필름(30)을 포함하는 긴 감광성 웹(22)을 송출하는 공정;

   송출된 상기 긴 감광성 웹(22)의 보호 필름(30)에 있어서 상기 박리 부분(30aa)과 상기 잔존 부분(30b) 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 가공 부위(34)를 형성하는 공정;

   상기 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 긴 감광성 웹(22)으로부터 상기 박리 부분(30aa)을 박리하는 공정;

   상기 긴 감광성 웹(22)의 상기 경계 위치를 직접 검출하거나 상기 경계 위치에 대응하여 상기 긴 감광성 웹(22)에 배치된 마크부를 검출하여 경계 위치 정보를 얻는 공정;

   소정 온도로 가열된 기판(24)을 접합 위치로 반송하는 공정;

   얻어진 상기 경계 위치 정보에 의거하여 상기 접합 위치에 있어서의 상기 경계 위치와 상기 기판(24)의 상대 위치를 조정하는 공정; 및

   상기 잔존 부분(30b)을 상기 기판(24) 사이에 배치하고, 상기 박리 부분(30aa)이 박리된 상기 감광 재료층(28)을 상기 접합 위치에서 상기 기판(24)에 접합하여 접합 기판(24a)을 얻는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 경계 위치 정보는 상기 접합 위치의 상류 근방에서 얻어지는 것을 특징 으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
11. 제 9 항에 있어서,

    상기 가공 기구(36)를 통해 상기 긴 감광성 웹(22)을 간헐적으로 반송하는 공정; 및

    상기 공정 후에, 레저버 기구(42)를 통해 상기 긴 감광성 웹(22)을 상기 박리 기구(44) 이후로 연속해서 반송하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
12. 제 9 항 ~ 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 박리 부분(30aa)을 박리하는 공정과 상기 감광 재료층(28)의 노출 영역을 접합하는 공정 사이에 상기 긴 감광성 웹(22)에 텐션을 부여하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
13. 제 9 항 ~ 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 감광 재료층(28)의 노출 영역을 접합하는 공정 이후에 상기 기판(24) 사이의 상기 긴 감광성 웹(22)을 절단하는 공정; 및

    상기 공정 후에, 상기 지지체(26)를 상기 접합 기판(24a)으로부터 박리하여 감광성 적층체(106)를 얻는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
14. 제 9 항 ~ 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 감광 재료층(28)의 노출 영역을 접합하는 공정 이후에 상기 지지체(26)를 상기 접합 기판(24a)으로부터 연속적으로 또는 간헐적으로 박리하여 감광성 적층체(106)를 얻는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
15. 제 9 항 ~ 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 감광 재료층(28)의 노출 영역을 접합하는 공정 이전에 상기 긴 감광성 웹(22)을 소정 온도로 예비 가열하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.

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