KR102517909B1 - 리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 글라스기판이 자체하중에 의하여 처지는 것을 보완해주기 위한 리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 상측이 상기 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 볼샤프트; 및 상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터;를 포함하되, 상기 볼샤프트는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하는 지지볼; 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하기 때문에 글라스기판을 각종 챔버측으로 이동시키기 위하여 기판이송로봇핸드에 글라스기판이 위치하는 동안에 자체 하중에 의하여 처짐으로써 야기되는 글라스기판의 변형 발생을 억제시키어 글라스기판의 변형으로 인한 제품불량이 발생하는 것을 감소 내지 억제시킬 수 있는 기술이 개시된다.

Description

리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드{Lift Module and Substrate Transfer Robot Hand Using Thereof}
본 발명은 리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적의 글라스기판이 자체하중에 의해 하측으로 처지지 않도록 보완하여 주는 리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드에 관한 것이다.
통상 디스플레이장치를 생산하는데 있어서, 글라스기판에 대하여 다양한 증착공정을 실시하여 제조된다. 특히 디스플레이장치의 대면화 추세에 따라 글라스기판 또한 대면화되어 글라스기판의 크기와 자체하중 또한 증가하고 있다. 대면화 되어 큰 면적을 갖는 글라스기판은 자체하중이 크기 때문에 여러 공정을 거치는 동안에 글라스기판이 쳐짐으로 인한 변형이 발생되기도 한다.
글라스기판의 변형은 여러 공정을 거치는 동안 비교적 고온의 상태에 있기 때문에 처짐으로 인한 변형은 발생하기가 더욱 쉽다. 따라서 하나의 공정챔버에서 다음 차례의 공정챔버로 이송되는 동안에도 글라스기판이 처짐에 의한 변형이 발생하지 않도록 보완을 해주어야 하는 필요성이 대단히 크다.
이와 같은 글라스기판의 휨 변형을 억제 또는 예방하기 위한 다양한 기술이 제시되었는데, 이러한 종래의 기술들 중에는 대한민국 등록특허 제10-1208262호(발명의 명칭 : 글래스 검사 장치. 이하 선행기술1 이라 함.) 등이 있다.
선행기술 1에 따르면, 글라스기판을 검사하기 위하여 글라스기판을 이송시키는 과정에서 글라스기판이 처짐에 의한 변형이 발생하지 않도록 에어를 글라스기판에 분사시키는 것을 특징으로 하는 기술이 개시되어 있다.
그러나, 이러한 선행기술 1에 따르면, 대면적의 글라스기판 전면에 걸쳐서 고르게 에어를 분사시키기가 어려웠으며, 자칫 에어압의 불균형으로 인하여 되레 기판의 일부분이 휘어지는 변형을 야기시킬 수 있다는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 대면적의 글라스기판이 자체하중에 의해 처지지 않도록 보완해주는 리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리프트모듈은 상측이 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 볼샤프트; 및 상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터;를 포함하되, 상기 볼샤프트는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하는 지지볼; 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하는 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 리프터는 전기모터를 포함하며,상기 전기모터의 회전력에 의해 상기 지지파이프가 상승 또는 하강하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 지지볼은 상기 지지파이프의 상측단에서 회전할 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 지지볼은 실리콘 소재로 이루어진 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판이송로봇핸드는 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판을 상측으로 받쳐 올려주는 리프트모듈(lift module); 및 다수개의 상기 리프트모듈을 장착하고 있으며, 상기 리프트모듈을 매개로하여 상기 글라스기판을 지지하는 서포터(supporter);를 포함하되, 상기 서포터는 적어도 하나 이상 마련되어 있으며, 다수개의 상기 서포터 각각의 일측에서 서로 연결되게 결합된 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 다수개의 상기 서포터 중 일부 서포터에 장착되어 상기 글라스기판의 테두리부분을 받쳐주어 상기 글라스기판을 홀딩하는 엣지홀더;를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 다수개의 상기 서포터 각각의 타측단과 체결되어 상기 서포터를 보조하는 스트럿바;를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 리프트모듈은, 상측이 상기 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 지지체; 및 상기 지지체의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 지지체를 상승 또는 하강시키는 리프터;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 지지체는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접할 수 있도록 상측단에 지지볼이 구비된 볼샤프트인 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 볼샤프트는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하되, 상기 글라스기판의 하측 면에 형성된 소정의 패턴을 회피하여 접하는 지지볼; 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 지지볼은 상기 지지파이프의 상측단에서 회전할 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 지지볼은 실리콘 소재로 이루어진 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 상기 리프트모듈의 리프터에 의하여 상기 지지체가 상승 또는 하강하는 것을 컨트롤하는 리프트컨트롤러;를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 리프트컨트롤러는 다수개의 상기 리프트모듈 각각에 대하여 개별적으로 상기 지지체의 상승 또는 하강을 컨트롤하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
본 발명에 따른 리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드는 글라스기판을 이동시키기 위하여 기판이송로봇핸드의 상측에 위치하는 동안에 자체 하중에 의하여 처짐으로써 야기되는 글라스기판의 변형 발생을 억제하면서 안전하게 기판을 이송함으로써, 불량품 발생을 억제하며, 생산효율을 증진시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송로봇핸드를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송로봇핸드에 글라스기판이 위치한 모습을 개략적으로 나타낸 사시도 및 단면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송로봇핸드의 서포터 및 리프트모듈을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판이송로봇핸드를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
이하에서는 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시 예를 들어 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송로봇핸드를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송로봇핸드에 글라스기판이 위치한 모습을 개략적으로 나타낸 사시도 및 단면도이며, 도 3 및 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송로봇핸드의 서포터 및 리프트모듈 부분을 개략적으로 나타낸 도면이다.
먼저, 도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송로봇핸드(10)는 리프트모듈(100) 및 서포터(200)를 포함하여 이루어진다.
리프트모듈(100)은 글라스기판(20)의 하측면 일부 부분에 접하여 글라스기판(20)을 상측으로 받쳐 올려준다. 이러한 리프트모듈(100)은 다수개가 서포터(200)에 장착되어 있다. 리프트모듈(100)에 대한 좀 더 구체적인 설명은 서포터(200)에 대해 먼저 간략히 설명한 후 이어서 하기로 한다.
서포터(200)는 다수개의 리프트모듈(100)을 장착하고 있으며, 리프트모듈(100)을 매개로 하여 글라스기판(20)을 지지한다. 이러한 서포터(200)는 기판이송로봇핸드(10)에 있어서, 하나 또는 다수개가 마련될 수 있다. 다수개의 서포터(200)가 마련된 경우 다수개의 서포터(200) 각각의 일측에서 서로 연결되게 결합된다. 도 1 및 도 2에서는 3개의 서포터(201,202,203)가 각각의 일측에서 서로 연결되게 결합되어서 하나의 기판이송로봇핸드(10)에 포함되어 구성된 모습을 개략적으로 도시하고 있다.
참고로, 도시되지는 않았으나, 기판이송로봇핸드의 서포터가 한 개인 경우 또한 충분히 가능하다. 서포터가 한 개인 경우에도 다수개의 리프트모듈이 하나의 서포터에 장착된 것이 바람직하다.
그리고, 각각의 서포터(200)에 마련된 다수개의 리프트모듈(100)들은 다양한 배치형태를 가질 수도 있다. 즉, 도면에서 참조되는 바와 같이 하나의 서포터(200) 내에서 다수개의 리프트모듈(100)이 하나의 열을 지어 등간격으로 배치된 형태도 가능하며, 하나의 서포터 내에서 다수개의 리프트모듈이 둘 이상의 열을 지어 배치된 형태 또한 가능하다는 것이다.
또한 기판이송로봇핸드(10)에 의해 이송되는 글라스기판(20)에 형성된 패턴 등을 고려해야하는 경우, 패턴이 형성되지 않은 부분에 대응하여 리프트모듈(100)이 위치하도록 서포터(200)에 다수개의 리프트모듈(100)들이 소정의 배치형태를 갖춘 것 또한 바람직하다,
이와 같이 하나의 서포터(200) 내에서 마련되는 다수개의 리프트모듈(100)은 필요에 따라 적절한 배치형태를 갖출 수 있다는 것이다.
여기서, 리프트모듈(100)에 대하여 좀 더 자세히 설명하기로 한다.
리프트모듈(100)은 기본적으로 지지체(120) 및 리프터(140)를 포함하여 이루어진 것이 바람직하다. 지지체(120)는 상측이 글라스기판(20)의 하측면 일부 부분에 접하여 글라스기판(20)의 일부 부분을 받쳐준다. 그리고, 리프터(140)는 지지체(120)의 하측에 마련되며, 글라스기판(20)의 일부 부분이 처지거나 늘어지지 않도록 지지체(120)를 소정의 높이만큼 상승시키거나 반대로 하강시켜 주는 것이다.
이러한 지지체(120)로서 다양한 형태가 있을 수 있는데, 볼샤프트(120)가 지지체(120)인 것 또한 바람직하다. 볼샤프트(120)는 글라스기판(20)의 하측 면에 점(point)으로 접할 수 있도록 상측단에 지지볼(121)이 구비된 형태가 바람직하다.
지지체인 볼샤프트(120)가 글라스기판(20)에 접하는 면적을 최소화하기 위하여 지지볼(121)의 외면이 글라스기판(20)의 하측면에 접하게 되는데, 구(sphere)가 평면에 접할 경우 접하는 부분이 점(point)와 같으므로 지지볼(121)이 글라스기판(20)의 하측 면 부분에 점(point)으로 접하게 된다.
이러한 볼샤프트(120)는 지지볼(121), 스프링부재(123) 및 지지파이프(125)를 포함하여 이루어진 것 또한 바람직하다.
지지볼(121)은 도 3 및 도 4에서 참조되는 바와 같이 둥근 구(sphere)형태인 것이 바람직하며, 글라스기판(20)의 하측 면에 점(point)으로 접하게 된다.
그리고, 글라스기판(20)의 하측면에 소정의 패턴이 형성된 경우, 지지볼(121)이 글라스기판(20)의 하측 면에 형성된 소정의 패턴을 회피하여 접하는 것이 바람직하다. 이러한 지지볼(121)은 실리콘 소재로 이루어진 것이 바람직하며, 글라스기판(20)의 하측면에 실리콘소재로 된 지지볼(121)이 접할 때 지지볼(121) 자체적으로 어느 정도의 완충효과를 발휘할 수 있으며, 실리콘소재로 된 지지볼(121)의 표면경도가 매우 강한 것도 아니기 때문에 글라스기판(20)의 표면에 스크래치 등과 같은 손상을 주지 않을 수 있으므로 바람직하다.
그리고 지지볼(121)은 도 4에서 참조되는 바와 같이 지지파이프(125)의 상측단에 위치하며, 지지파이프(125)의 상측단에서 자유롭게 회전할 수 있는 것이 바람직하다.
지지볼(121)이 글라스기판(20)의 일부분에 점(point)으로 접할 수 있으며, 글라스기판(20)의 얼라인 등에 따른 위치이동이 어느 정도 있게 되더라도 지지볼(121)이 자유롭게 회전할 수 있으므로, 글라스기판(20)의 하측 표면에 접촉으로 인한 스크래치 등과 같은 손상을 주는 것을 억제 내지 예방할 수 있게 된다.
스프링부재(123)는 지지파이프(125)의 내측 공간에 마련되되, 지지볼(121)의 하측에 마련된다. 이러한 스프링부재(123)는 탄력적으로 지지볼(121)을 받쳐준다.
지지볼(123)이 글라스기판(20)의 하측면에 접할 때 글라스기판(20)에 충격이 가지 않도록 탄력적으로 완충하는 역할을 스프링부재(123)가 하게 된다는 것이다.
이러한 스프링부재(123)는 상측에 지지볼(121)을 받쳐주며, 하측단은 도 4에서 참조되는 바와 같이 지지파이프(125)에 접한다. 도 4에서는 스프링부재(123)의 예로서 코일스프링(123)을 도시하였다. 참고로, 지지파이프(125)가 관통된 형태인 경우 스프링부재(330)의 하측단이 리프터(140)의 중심회전축(145)에 에 접하는 형태 또한 충분히 있을 수 있다.
지지파이프(125)는 상측단에 지지볼(121)이 위치하고, 내측의 빈 공간에 스프링부재(123)를 내재한다. 그리고, 앞서 언급한 바와 같이, 지지볼(121)이 지지파이프(125)로부터 위치이탈이 되지 않도록 홀딩시켜 준다.
지지파이프(125)는 지지체(120)인 볼샤프트(120)의 몸체(body)역할을 한다. 지지파이프(125)는 내측이 비어 있다. 이 빈 공간의 상측단에 지지볼(121)이 위치하며, 지지볼(121) 하측으로 위치되는 스프링부재(123)를 내재하고 있다. 따라서, 지지볼(121)과 스프링부재(123)를 안정적으로 지지해주는 몸체역할을 한다.
지지파이프(125)의 상측단은 지지볼(121)의 상측 일부분이 노출되도록 되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 지지파이프(125)의 상측단에서의 내경이 지지볼(121)의 외경보다 작게 형성되어 있는 것이 바람직하다는 것이다.
이와 같이 형성되면 도 4에서 참조되는 바와 같이 지지볼(121)이 스프링부재(123)의 탄력에 의해 외부로 튕겨져 나가지 않도록 지지파이프(125)가 지지볼(121)을 홀딩시켜줄 수 있으므로 바람직하다는 것이다. 이와 같이 지지볼(121)이 지지파이프(125)의 상측단에서 위치이탈되지 않도록 지지파이프(125)의 상측단에서 지지볼(121)을 홀딩시켜줄 수 있다.
지지파이프(125)의 외주면의 일부 부분에는 도 3 및 도 4에서 참조되는 바와 같이 리프트가이더(126)가 형성되어 있는 것 또한 바람직하다.
리프트가이더(126)는 리프터(140)에 의해 볼지지체(120)가 수직으로 안정적으로 상승 또는 하강할 수 있도록 가이드해준다.
지지파이프(125)의 외주면에 리프트가이더(126)가 형성된 경우, 도 3 및 도4에서 참조되는 바와 같이 리프트가이더(126)가 형성된 지지파이프(125)를 포함하는 볼샤프트(120)가 서포터(200)에 장착된 것이 바람직하다.
그리고, 리프터(140)는 볼샤프트(120)를 상승 또는 하강시키기 위한 것으로, 이러한 리프터(140)의 예로서 전기모터(140)을 들을 수 있다. 리프터(140)인 전기모터(140)의 모터회전축(145)가 외부로부터 전력을 공급받아서 회전하면, 모터회전축(145)이 회전하면서 지지파이프(125)를 통해 볼샤프트(120)를 상승 또는 하강시킨다.
이를 위해 지지파이프(125)와 모터회전축(145) 사이에는 도 4에 개략적으로 도시된 바와 같이 암나사와 숫나사와 같은 형태의 기어연결이 되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 전기모터(140)와 볼샤프트(120)을 포함하여 이루어진 리프트모듈(100)이 다수개가 서포터(200)에 장착되고,서포터(200)의 상측에 위치한 글라스기판(20)이 부위별로 처진 정도에 따라 각각의 리프트모듈(100)이 볼샤프트(120)를 적정수준으로 상승시킴으로써 글라스기판(20)이 전면적(全面的)으로 평평하게 되도록 하여 글라스기판(20)이 처지는 등의 형태변형이 일어나지 않도록 한다.
한 편, 이처럼 기본적으로 리프트모듈(100) 및 서포터(200)을 포함하는 기판이송로봇핸드(10)에 엣지홀더(300)이 더 포함된 것 또한 바람직하다.
엣지홀더(300)은 다수개의 서포터(200) 중에서 일부 서포터(200)에 장착되며, 글라스기판(20)의 테두리 부분을 받쳐주어 글라스기판(20)을 홀딩한다.
도 1 내지 도 2에서 참조되는 바와 같이 3개의 서포터(201,202,203) 중에서 가장 외측에 위치한 서포터(201,203)의 외측변 부분에 엣지홀더(300)가 마련되어 글라스기판(20)의 테두리 부분을 받쳐준다. 여기서 서포터(201,203)에 마련되는 엣지홀더(300)는 하나 또는 다수개 마련될 수도 있으며, 다수개의 엣지홀더(300)이 마련되는 경우에는 엣지홀더(300)이 서로 등간격을 두고 배치된 형태 또한 바람직하다.
참고로, 서포터(200)가 한 개인 경우에는 하나의 서포터(200)의 양 측변에 엣지홀더(300)가 다수 마련될 수도 있다.
그리고, 기판이송로봇핸드(20)에는 리프트컨트롤러(미도시)가 더 포함될 수도 있다. 리프트컨트롤러(미도시)는 리프트모듈(100)의 리프터(140)에 의하여 지지체(120)가 상승 또는 하강하는 것을 컨트롤한다.
여기서, 더욱 바람직하게는 리프트컨트롤러는 다수개의 리프트모듈(100) 각각에 대하여 개별적으로 지지체인 볼샤프트(120)의 상승 또는 하강을 컨트롤하는 것이 바람직하다.
이와 같이 리프컨트롤러에 의해 각각의 리프트모듈(100)의 작동을 개별적으로 제어하는 것 또한 바람직하다고 할 수 있다.
한 편 이상에서 설명한 바와 같은 기판이송로봇핸드에 스트럿바가 더 포함된 형태 또한 바람직하다. 여기서, 도 5를 참조하여 스트럿바가 더 포함되는 형태에 대하여 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판이송로봇핸드를 개략적으로 나타낸 사시도면이다. 도 5에서 참조되는 바와 같은 기판이송로봇핸드는 앞서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 기판이송로봇핸드(10)에 스트럿바(400)가 더 포함된 형태이다.
도 5에서 참조되는 바와 같이 다수개의 서포터(201,202, 203) 각각의 일측 단이 서로 연결되게 결합된 상태에서, 스트럿바(400)는 다수개의 서포터(201,202,203) 각각의 타측단과 체결되어 서포터(201,202,203)을 보조한다. 다수개의 서포터(201,202,203) 각각의 타측단은 대면화되어 비교적 무거워진 글라스기판을 지속적 반복적으로 장기간 지지하다보면 타단측이 조금씩 늘어지게 되거나 각각의 서포터가 변형되는 정도가 달라지는 뒤틀림 등과 같은 형태변형이 생길 가능성도 다소 있을 것이다.
이러한 점들을 예방 내지 억제하기 위하여 스트럿바(400)가 다수개의 서포터(201,202,203) 각각의 타단 측에서 결합될 수도 있다. 스트럿바(400)에 의해 다수개의 스트럿바(400)의 타단 측의 형태변형이 발생될 수도 있는 가능성을 최대한 억제 내지 예방할 수 있게 되며, 특히 뒤틀림 등과 같은 변형에 대한 내구성이 증진 내지 증대되므로 스트럿바(400)를 더 포함하는 실시형태 또한 바람직하다고 할 수 있다.
이와 같이 기판이송로봇핸드에 홀딩되는 글라스기판이 자체하중에 의하여 처지지 않도록 다수개의 리프트모듈 각각이 글라스기판의 일부 부분에 대하여 받쳐줄 수 있으며, 이 과정에서 지지볼이 접촉면적을 최소화하면서 탄력있게 글라스기판을 받쳐주므로, 글라스기판의 하측면에 스크래치 등과 같은 손상을 주지 않는다. 그리고, 글라스기판이 기판이송로봇핸드에 의해 이송되는 동안에 리프트모듈에 의해 글라스기판의 처짐이 예방 내지 억제된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드는, 글라스기판을 각종 챔버측으로 이동시키기 위하여 기판이송로봇핸드에 글라스기판이 위치하는 동안에 자체 하중에 의하여 처짐으로써 야기되는 글라스기판의 변형 발생을 억제시키어 불량품 발생을 억제하며, 생산효율을 증진시킬 수 있는 장점이 있다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
10 : 기판이송로봇핸드 20 : 글라스기판
100 : 리프트모듈
120 : 볼샤프트
121 : 지지볼 123 : 스프링부재
125 : 지지파이프
140 : 전기모터 145 : 회전축
200, 201, 202, 203 : 서포터
300 : 엣지홀더 400 : 스트럿바

Claims (14)

  1. 상측이 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 볼샤프트; 및
    상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터;를 포함하되,
    상기 볼샤프트는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하는 지지볼과, 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재와, 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프와, 상기 지지파이프의 외주면 일부 부분에 길이방향으로 돌출형성되어 상기 리프터에 의해 볼샤프트가 수직으로 안정적으로 상승 또는 하강할 수 있도록 가이드해주는 리프트가이더를 포함하며,
    상기 리프터는, 전기모터를 포함하고, 상기 전기모터의 모터회전축이 외부로부터 전력을 공급받아서 회전하면 모터회전축이 회전하면서 상기 지지파이프를 통해 볼샤프트를 상승 또는 하강시키도록 상기 지지파이프와 모터회전축 사이에 나사형태의 기어연결이 되어 상기 전기모터의 회전력에 의해 상기 지지파이프가 상승 또는 하강하는 것을 특징으로 하는 리프트모듈.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 지지볼은 상기 지지파이프의 상측단에서 회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 리프트모듈.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 지지볼은 실리콘 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 리프트모듈.
  5. 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판을 상측으로 받쳐 올려주는 리프트모듈(lift module); 및
    다수개의 상기 리프트모듈을 장착하고 있으며, 상기 리프트모듈을 매개로하여 상기 글라스기판을 지지하는 적어도 하나 이상의 서포터(supporter);를 포함하되,
    상기 서포터가 다수개 포함되는 경우, 상기 서포터 각각의 일측에서 서로 연결되게 결합되고,
    상기 리프트모듈은 상측이 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 볼샤프트와, 상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터를 포함하되,
    상기 볼샤프트는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하는 지지볼과, 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재와, 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프와, 상기 지지파이프의 외주면 일부 부분에 길이방향으로 형성되어 상기 리프터에 의해 볼샤프트가 수직으로 안정적으로 상승 또는 하강할 수 있도록 가이드해주는 리프트가이더를 포함하고,
    상기 리프터는, 전기모터를 포함하고, 상기 전기모터의 모터회전축이 외부로부터 전력을 공급받아서 회전하면 모터회전축이 회전하면서 상기 지지파이프를 통해 볼샤프트를 상승 또는 하강시키도록 상기 지지파이프와 모터회전축 사이에 나사형태의 기어연결이 되어 상기 전기모터의 회전력에 의해 상기 지지파이프가 상승 또는 하강하는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇핸드.
  6. 제 5항에 있어서,
    다수개의 상기 서포터 중 일부 서포터에 장착되어 상기 글라스기판의 테두리부분을 받쳐주어 상기 글라스기판을 홀딩하는 엣지홀더;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇핸드.
  7. 제 5항에 있어서,
    다수개의 상기 서포터 각각의 타측단과 체결되어 상기 서포터를 보조하는 스트럿바;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇핸드.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제 5항에 있어서,
    상기 지지볼은 상기 지지파이프의 상측단에서 회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇핸드.
  12. 제 5항에 있어서,
    상기 지지볼은 실리콘 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판이송로봇핸드.
  13. 제 5항에 있어서,
    상기 리프트모듈의 리프터에 의하여 상기 볼샤프트가 상승 또는 하강하는 것을 컨트롤하는 리프트컨트롤러;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇핸드.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 리프트컨트롤러는 다수개의 상기 리프트모듈 각각에 대하여 개별적으로 상기 볼샤프트의 상승 또는 하강을 컨트롤하는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇핸드.
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