KR101715147B1 - 글라스기판처짐보완장치를 포함하는 버퍼챔버 - Google Patents

글라스기판처짐보완장치를 포함하는 버퍼챔버 Download PDF

Info

Publication number
KR101715147B1
KR101715147B1 KR1020150104780A KR20150104780A KR101715147B1 KR 101715147 B1 KR101715147 B1 KR 101715147B1 KR 1020150104780 A KR1020150104780 A KR 1020150104780A KR 20150104780 A KR20150104780 A KR 20150104780A KR 101715147 B1 KR101715147 B1 KR 101715147B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
support
ball
support plate
buffer chamber
Prior art date
Application number
KR1020150104780A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170012786A (ko
Inventor
강순석
Original Assignee
주식회사 선익시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 선익시스템 filed Critical 주식회사 선익시스템
Priority to KR1020150104780A priority Critical patent/KR101715147B1/ko
Publication of KR20170012786A publication Critical patent/KR20170012786A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101715147B1 publication Critical patent/KR101715147B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/062—Easels, stands or shelves, e.g. castor-shelves, supporting means on vehicles

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 글라스기판처짐보완장치 및 이를 이용한 버퍼챔버에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 글라스기판의 하측 면의 일부 부분에 상측단이 접하며, 상기 글라스기판을 받쳐주는 지지체; 상기 지지체의 하측단과 결합되며, 하나 이상의 상기 지지체를 지지하는 지지판; 및 상기 지지판의 하측에 마련되어 상기 지지판과 결합되며, 상기 지지판 또는 상기 지지체를 상측 또는 하측으로 이동시키는 리프트모듈;을 포함하며, 상기 지지판의 상측에는 하나 이상의 상기 지지체가 마련되어 있고, 상기 지지판의 하측에는 상기 리프트모듈이 하나 이상 마련되어 있기 때문에 버퍼챔버 내로 인입된 글라스기판이 자체하중에 의해 처지지 않도록 받쳐줄 수 있으며, 글라스기판의 변형을 억제하여 글라스기판의 변형으로 인한 제품불량이 발생하는 것을 감소 내지 억제시킬 수 있는 기술이 개시된다.

Description

글라스기판처짐보완장치를 포함하는 버퍼챔버{Buffer Chamber Including Correction Apparatus for Glass Deflection}
본 발명은 장치 및 이를 구비한 버퍼챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적의 글라스기판이 자체하중에 의해 하측으로 처지지 않도록 보완하여 주는 글라스기판처짐보완장치 및 이를 이용한 버퍼챔버에 관한 것이다.
통상 디스플레이장치를 생산하는데 있어서, 글라스기판에 대하여 다양한 증착공정을 실시하여 제조된다. 특히 디스플레이장치의 대면화 추세에 따라 글라스기판 또한 대면화되어 글라스기판의 크기와 자체하중 또한 증가하고 있다. 대면화 되어 큰 면적을 갖는 글라스기판은 자체하중이 크기 때문에 여러 공정을 거치는 동안에 글라스기판이 쳐짐으로 인한 변형이 발생되기도 한다.
글라스기판의 변형은 여러 공정을 거치는 동안 비교적 고온의 상태에 있기 때문에 처짐으로 인한 변형은 발생하기가 더욱 쉽다. 따라서 하나의 공정챔버에서 다음 차례의 공정챔버로 이송을 위한 대기를 하는 동안에도 글라스기판이 처짐에 의한 변형이 발생하지 않도록 보완을 해주어야 하는 필요성이 대단히 크다.
이와 같은 글라스기판의 휨 변형을 억제 또는 예방하기 위한 다양한 기술이 제시되었는데, 이러한 종래의 기술들 중에는 대한민국 등록특허 제10-1208262호(발명의 명칭 : 글래스 검사 장치. 이하 선행기술1 이라 함.) 등이 있다.
선행기술 1에 따르면, 글라스기판을 검사하기 위하여 글라스기판을 이송시키는 과정에서 글라스기판이 처짐에 의한 변형이 발생하지 않도록 에어를 글라스기판에 분사시키는 것을 특징으로 하는 기술이 개시되어 있다.
그러나, 이러한 선행기술 1에 따르면, 대면적의 글라스기판 전면에 걸쳐서 고르게 에어를 분사시키기가 어려웠으며, 자칫 에어압의 불균형으로 인하여 되레 기판의 일부분이 휘어지는 변형을 야기시킬 수 있는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 대면적의 글라스기판이 자체하중에 의해 처지지 않도록 보완해주는 글라스기판처짐보완장치 및 이를 이용한 버퍼챔버를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 글라스기판처짐보완장치는 글라스기판의 하측 면의 일부 부분에 상측단이 접하며, 상기 글라스기판을 받쳐주는 지지체; 상기 지지체의 하측단과 결합되며, 하나 이상의 상기 지지체를 지지하는 지지판; 및 상기 지지판의 하측에 마련되어 상기 지지판과 결합되며, 상기 지지판 또는 상기 지지체를 상측 또는 하측으로 이동시키는 리프트모듈;을 포함하며, 상기 지지판의 상측에는 하나 이상의 상기 지지체가 마련되어 있고, 상기 지지판의 하측에는 상기 리프트모듈이 하나 이상 마련되어 있는 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 지지체는 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)접할 수 있도록 상측단에 지지볼이 구비된 볼샤프트이고, 상기 볼샤프트는 상기 글라스기판의 하측면에 접하되, 상기 글라스기판의 하측면에 형성된 소정의 패턴을 회피하여 점(point)으로 접하는 지지볼; 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩 시켜주는 지지파이프;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 지지볼은 상기 지지파이프의 상측단에서 회전할 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 지지볼은 실리콘 소재로 이루어진 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 글라스기판처짐보완장치를 이용한 버퍼챔버는 외부에 대하여 선택적으로 격리될 수 있는 대기공간을 제공하는 하우징; 상기 하우징 내부에 구비되며, 상기 하우징 내의 상기 대기공간 내로 인입된 글라스기판의 테두리 부분을 받쳐주는 글라스기판홀더; 및 상기 글라스기판홀더 또는 상기 글라스기판의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 하측 면의 일부 부분을 받쳐주어 상기 글라스기판의 처짐을 억제하는 글라스기판처짐보완장치;를 포함하되, 상기 하우징 내부에는 상기 글라스기판처짐보완장치가 다수개 마련되어 있고, 다수개의 상기 글라스기판처짐보완장치 중에서, 상기 대기공간으로 인입되는 상기 글라스기판의 하측면에 형성된 패턴에 대응하여 선택되는 하나 이상의 상기 글라스기판처짐보완장치가 상기 글라스기판의 상기 패턴을 회피하여 상기 글라스기판의 일부 부분에 접하여 받쳐주는 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 글라스기판처짐보완장치는, 상기 글라스기판의 하측 면의 일부 부분에 상측단이 접하며, 상기 글라스기판을 받쳐주는 지지체; 상기 지지체의 하측단과 결합되며, 하나 이상의 상기 지지체를 지지하는 지지판; 및 상기 지지판의 하측에 마련되어 상기 지지판과 결합되며, 상기 지지판 또는 상기 지지체를 상측 또는 하측으로 이동시키는 리프트모듈;을 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 지지판의 상측에는 하나 이상의 상기 지지체가 마련되어 있고, 상기 지지판의 하측에는 상기 리프트모듈이 하나 이상 마련되어 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 지지체는 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)접할 수 있도록 상측단에 지지볼이 구비된 볼샤프트인 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가 상기 볼샤프트는, 글라스기판의 하측 면에 접하되, 상기 글라스기판의 하측 면에 형성된 소정의 패턴을 회피하여 점(point) 접하는 지지볼; 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩 시켜주는 지지파이프; 를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 지지볼은 상기 지지파이프의 상측단에서 회전할 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 지지볼은 실리콘 소재로 이루어진 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
본 발명에 따른 글라스기판처짐보완장치 및 이를 이용한 버퍼챔버는 글라스기판이 공정챔버 간을 이동하기 위하여 버퍼챔버 내에서 대기하는 동안에 자체 하중에 의하여 처짐으로써 야기되는 글라스기판의 변형 발생을 억제시키어 불량품 발생을 억제하며, 생산효율을 증진시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 버퍼챔버를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 버퍼챔버를 개략적으로 나타낸 사시도 및 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 버퍼챔버에서 글라처짐보완장치의 지지체인 볼샤프트를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 버퍼챔버의 작동상태를 개략적으로 구분하여 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 글라스기판처짐보완장치의 지지판에 대한 다른 실시 형태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
이하에서는 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시 예를 들어 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 버퍼챔버를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 버퍼챔버를 개략적으로 나타낸 사시도 및 측단면도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 버퍼챔버에서 글라처짐보완장치의 지지체인 볼샤프트를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 4 내지 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 버퍼챔버의 작동상태를 개략적으로 구분하여 나타낸 도면이다.
먼저, 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 버퍼챔버는 하우징(100), 글라스기판홀더(150) 및 글라스기판처짐보완장치(200) 를 포함하여 이루어진다.
하우징(100)은 외부에 대하여 선택적으로 격리될 수 있는 대기공간을 제공한다. 여기서 대기공간은 글라스기판(20)이 공정챔버로 인입되기 전에 버퍼챔버의 하우징(100) 내에서 대기하는 공간을 말한다. 글라스기판(20)에 대한 공정이 진행중인 때에 버퍼챔버의 하우징(100) 내부는 통상 진공상태이다.
버퍼챔버는 하나의 공정챔버와 다른 공정챔버 사이에 위치하여 글라스기판(20)이 공정챔버 사이를 이동할 수 있도록 매개하는 챔버이다. 따라서, 버퍼챔버의 하우징(100)이 선택적으로 격리될 수 있다는 것은 글라스기판(20)이 인입되거나 인출될 때 하우징(100)에 구비된 글라스기판(20)의 인입구(미도시) 또는 인출구(미도시)가 개방되고, 그 이외에는 닫혀지게 되어 하우징(100)의 대기공간이 외부로부터 격리된다는 것을 말한다.
참고로, 도면에는 글라스기판(20)의 인입구 및 출입구 그리고 진공펌핑라인 등은 설명의 편의상 생략되어 도시되었다.
하우징(100)에는 후술할 글라스기판홀더(150)와 글라스기판처짐보완장치(200)가 마련되어 있다.
글라스기판홀더(150)는 하우징(100) 내부에 구비된다. 그리고 하우징(100) 내의 대기공간으로 인입된 글라스기판(20)의 테두리 부분을 받쳐준다. 하우징(100)의 내부로 인입되는 글라스기판(20)은 여러 공정챔버를 거치면서 하측면에 소정의 패턴이 형성되어 있다. 따라서, 글라스기판(20)의 하측면에 형성된 패턴(미도시)에 손상을 주지 않으면서 글라스기판(20)을 홀딩하기 위하여 버퍼챔버의 하우징(100) 내부로 인입된 글라스기판홀더(150)는 도 1 내지 도 2에 도시된 것처럼 글라스기판(20) 하측면의 테두리부분이 글라스기판홀더(150)에 얹혀지게 되며, 글라스기판홀더(150)가 글라스기판(20)의 테두리 부분을 받쳐주게 된다.
글라스기판(20)의 크기가 대면적화 되면서 글라스기판(20)의 크기와 자체하중 또한 커지게 되어 글라스기판(20)의 처짐현상으로 인한 변형이 문제된다. 이를 해결하기 위하여 글라스기판처짐보완장치(200)가 하우징(100) 내에 구비된다.
글라스기판처짐보완장치(200)는 도 1 내지 도 3에서 참조되는 바와 같이 글라스기판홀더(150) 또는 글라스기판(20)의 하측에 마련된다. 그리고, 글라스기판(20)의 하측 면의 일부 부분을 받쳐주어 글라스기판(20)의 처짐을 억제한다.
이러한 글라스기판처짐보완장치(200)는 하우징(100) 내부에 다수개 마련된 것이 바람직하다.
그리고, 다수개의 글라스기판처짐보완장치(200) 중에서, 하우징(100) 내 대기공간으로 인입되는 글라스기판(20)의 하측면에 형성된 패턴에 대응하여 선택되는 하나 이상의 글라스기판처짐보완장치(200)가 글라스기판(20)의 하측면에 형성된 패턴을 회피하여 글라스기판(20)의 일부 부분에 접하여 받쳐준다. 즉, 글라스기판(20)에 형성된 패턴에서 패턴되지 않은 부분에 글라스기판처짐보완장치(200)가 접하여 받쳐준다는 것이다.
그리고 패턴이 다르게 형성된 글라스기판(20)이 인입되면, 패턴이 다르게 형성된 글라스기판(20)에서 패턴이 형성되지 않은 부분을 접하여 받쳐줄 수 있는 글라스기판처짐보완장치(200)가 선택되어 작동한다. 이를 위해 글라스기판처짐보완장치(200)는 다수개 구비되며, 글라스기판(20)의 하측면에 형성된 패턴에 따라 패턴이 형성되지 않은 부분에 접하여 글라스기판(20)을 받쳐줄 수 있는 글라스기판처짐보완장치(200)가 선택되어 작동한다는 것이다.
이러한 글라스기판처짐보완장치(200)는 지지체(300), 지지판(230) 및 리프트모듈(210)을 포함하여 이루어진다.
지지체(300)는 글라스기판(20)의 하측 면의 일부 부분에 상측단이 접하며, 글라스기판(20)을 받쳐준다. 여기서 하측면의 일부 부분은 글라스기판(20)의 하측면에서 패턴이 형성되지 않은 부분인 것이 매우 바람직하다. 즉, 패턴이 형성되지 않은 부분에 지지체(300)의 상측단이 접하여 글라스기판(20)을 받쳐주는 것이 바람직하다는 것이다.
그리고, 지지판(230)의 상측에 이러한 지지체(300)가 하나 이상 마련되는 것이 바람직하다.
이러한 지지체(300)로서 바람직한 예로서, 도 3에 도시된 바와 같은 볼샤프트(300)를 들을 수 있다. 도 3은 지지판(230)의 상측에 결합된 볼샤프트(300)을 개략적으로 나타낸 것으로 볼샤프트(300)에 포함되는 지지볼(310), 스프링부재(330) 및 지지파이프(350)이 개략적으로 도시되었다.
이러한 볼샤프트(300)는 글라스기판(20)의 하측 면에 점(point)으로 접할 수 있도록 상측단에 지지볼(310)이 구비된 것이 바람직하다. 지지체인 볼샤프트(300)가 글라스기판(20)에 접하는 면적을 최소화하기 위하여 지지볼(310)의 외면이 글라스기판(20)의 하측면에 접하게 되는데, 구(sphere)가 평면에 접할 경우 접하는 부분이 점(point)와 같으므로 지지볼(310)이 글라스기판(20)의 하측 면 부분에 점(point)으로 접하게 된다.
이러한 볼샤프트(300)는 지지볼(310), 스프링부재(330) 및 지지파이프(350)를 포함하는 것이 바람직하다.
지지볼(310)은 글라스기판(20)의 하측 면에 접하되, 글라스기판(20)의 하측 면에 형성된 소정의 패턴을 회피하여 점(point)으로 접하여 글라스기판(20)이 자체하중에 의해 아래로 처지는 것을 억제되도록 한다.
이와 같은 지지볼(310)은 스프링부재(330) 및 지지파이프(350)의 상측단에 위치한다.
스프링부재(330)는 지지볼(310)의 하측에 마련되어 지지볼(310)을 탄력적으로 받쳐준다. 즉, 지지볼(310)이 글라스기판(20)의 하측면에 접할 때 글라스기판(20)에 충격이 가지 않도록 탄력적으로 완충하는 역할을 스프링부재(330)가 하게 된다는 것이다.
이러한 스프링부재(330)는 상측에 지지볼(310)을 받쳐주며, 하측단은 도 3에 도시된 단면도에서 참조되는 바와 같이 지지파이프(350)에 접한다. 여기서, 지지파이프(350)가 관통된 형태인 경우 스프링부재(330)의 하측단이 지지판(230)에 접하는 형태 또한 충분히 가능하다.
지지파이프(350)는 지지체인 볼샤프트(300)의 몸체(body)역할을 한다. 지지파이프(350)는 내측이 비어 있다. 이 빈 공간의 상측단에 지지볼(310)이 위치하며, 지지볼(310) 하측으로 위치되는 스프링부재(330)를 내재하고 있다. 따라서, 지지볼(310)과 스프링부재(330)를 안정적으로 지지해주는 몸체역할을 한다.
지지파이프(350)의 상측단은 지지볼(310)의 상측 일부분이 노출되도록 되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 지지파이프(350)의 상측단에서의 내경이 지지볼(310)의 외경보다 작게 형성되어 있는 것이 바람직하다는 것이다. 이와 같이 형성되면 도 3의 단면도에서 참조되는 바와 같이 지지볼(310)이 스프링부재(330)의 탄력에 의해 외부로 튕겨져 나가지 않도록 지지파이프(350)가 지지볼(310)을 홀딩시켜줄 수 있으므로 바람직하다는 것이다. 이와 같이 지지볼(310)이 지지파이프(350)의 상측단에서 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜줄 수 있다.
그리고, 지지볼(310)은 지지파이프(350)의 상측단에서 회전할 수 있는 것이 바람직하다. 버퍼챔버내에 글라스기판(20)에 대한 얼라인장치(미도시)가 구비된 경우에는 얼라인시켜주는 과정에서 글라스기판(20)의 이동이 있게 된다. 이러한 때 지지체가 글라스기판(20)에 접하고 있는 경우 글라스기판(20)의 얼라인 이동으로 인하여 글라스기판(20)의 하측 면에 스크래치를 발생시킬 수도 있게 된다.
따라서, 글라스기판(20)의 얼라인에 따른 이동이 있게 되더라도 글라스기판(20)의 하측면에 스크래치를 내지 않도록 볼샤프트(300)의 지지볼(310)이 회전할 수 있는 것이 바람직하다.
지지볼(310)이 지지파이프(350)의 상측단에서 어느방향으로든 회전할 수 있으면 글라스기판(20)의 얼라인에 따른 위치이동이 있게 되더라도 글라스기판(20)의 하측면에 스크래치 발생을 억제시킬 수 있으므로 바람직하다.
그리고, 이러한 지지볼(310)은 실리콘 소재로 이루어진 것이 바람직하다. 실리콘 소재로 이루어지면, 지지볼(310) 자체적으로 어느 정도의 완충효과를 발휘할 수 있으며, 표면경도가 강한 것도 아니기 때문에 글라스기판(20)의 하측면에 대한 스크래치가 유발될 가능성이 더더욱 저감될 수 있으므로 바람직하다는 것이다.
지지판(230)은 지지체(300)의 하측단과 결합된다. 즉, 지지판(230)은 지지체인 볼샤프트(300)의 하측단과 결합되어 지지체인 볼샤프트(300)를 지지하여 준다. 그리고, 지지판(230)은 도면에서 참조되는 바와 같이 하나 이상의 지지체(300)를 지지한다. 즉, 하나의 지지판(230)에는 하나 이상의 지지체(300)가 결합되어 지지될 수 있다는 것이다.
참고로, 도 1 내지 도 6을 참고하여 지지판에 관한 설명함에 있어서, 별도로 분리된 지지판을 구분하여 정확히 설명하는 경우 구체적인 도면부호 231, 232, 233, 234를 사용하여 설명하지만, 굳이 구분없이 총괄적으로 지지판에 대하여 설명을 하는 경우 지지판에 대한 도면부호는 230으로 하였음을 밝혀둔다.
지지판(230)은 하우징(100) 내에 복수개가 구비될 수 있다. 물론 하나의 지지판(230)이 구비된 형태도 가능하나, 다수개의 지지판(230)(즉, 물리적으로 독립되어 구분되는 다수개의 지지판(도 2에서 도면부호 231, 232 참조))이 마련되면 인입되는 글라스기판(20)에 형성된 패턴에 대응하여 선택적으로 작동될 수 있다. 즉, 글라스기판(20)에 형성된 패턴에 대응하여 작동되는 지지판(230)이 하나이므로 다수개의 지지판(230)이 마련되면, 글라스기판(20)에 형성된 패턴의 형태에 따라 구분되는 글라스기판(20)에 각기 대응할 수 있으므로 바람직하다는 것이다.
리프트모듈(210)은 지지판(230)의 하측에 마련되며, 지지판(230)과 리프트모듈(210)이 결합되어 있다. 그리고 리프트모듈(210)은 지지판(230) 또는 지지체(300)를 상측 또는 하측으로 이동시켜준다. 이러한 리프트모듈(210)은 하나의 지지판(230)에 대하여 하나 또는 다수개가 구비될 수 있다. 즉, 도 2에서는 하나의 지지판(231)에 하나의 리프트모듈(210)이 구비되어 있고, 다른 하나의 지지판(232)에는 두 개의 리프트모듈(210)이 구비된 모습을 개략적으로 나타내었다. 도 2에 도시된 바와 같이 리프트모듈(210)은 하나의 지지판(230, 231, 232)에 대하여 하나 또는 다수개가 구비될 수 있다는 것이다.
그리고, 리프트모듈(210)은 하우징(100)과도 결합되어있다. 리프팅모듈(210)이 하우징(100)에 대하여 고정적으로 결합되고, 리프팅모듈(210)의 상측단에 지지판이 결합된다. 따라서, 하우징(100)의 바닥면으로부터 소정의 높이만큼 지지판(230)이 리프트모듈(210)에 의해 상승하거나 하강하게 된다. 이러한 리프트모듈(210)은 외부로부터 전기를 공급받아 작동되는 모터와 기어봉들의 조합으로 이루어진다.
이와 같은 글라스기판처짐보완장치(200) 및 이를 이용한 버퍼챔버의 작동에 대하여 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이 글라스기판(20)이 버퍼챔버의 하우징(100) 내로 인입된 때에는 글라스기판처짐보완장치(200)가 글라스기판홀더(150)보다 낮은 위치에 있다. 좀 더 구체적으로 다시 말하자면, 볼샤프트(300)의 상측단이 글라스기판홀더(150)보다 낮은 위치에 있다는 것이다.
여기서 지지판(230)은 설명의 편의상 제1지지판(231), 제2지지판(232)으로 구분하여 설명하기로 한다. 앞서 언급한 바와 같이 지지판(230)은 물리적으로 분리되어 각기 독립적으로 리프트모듈(210)에 의해 작동될 수 있는 지지판(230)이 다수개 구비될 수 있음을 설명하였다.
도 4 내지 도 5에 도시된 제1지지판(231)과 제2지지판(232)의 상측모양은 도 1 및 도 2를 참조하여 알 수 있다. 내측의 작은 사각형상의 지지판(231)이 제1지지판(231)이며, 외측의 사각형상의 지지판(232)이 제2지지판(232)이다.
하우징(100)에 인입된 글라스기판(20)의 하측면에 형성된 패턴의 형상에서 패턴이 형성되지 않은 부분에 볼샤프트(300)의 지지볼(310)이 접하여야 한다. 이를 위해 볼샤프트(300)는 하나의 지지판(230)에서 글라스기판(20)의 패턴이 형성되지 않은 부분에 대응되는 위치에 결합되어 있다.
인입된 글라스기판(20)의 하측면에 형성된 패턴의 형상에 대응하여 패턴이 형성되지 않은 부분을 접할 수 있는 볼샤프트(300)가 마련된 지지판(230)이 상승하게 된다. 도 5의 (a)에서 참조되는 바와 같이, 인입된 글라스기판(20)에 대응되는 지지판이 제1지지판(231)인 경우, 제1지지판(231)이 리프트모듈(211)에 의하여 상승하여 제1지지판(231)에 결합되어 있는 볼샤프트(300)가 글라스기판(20)의 하측면 부분에 접하면서 글라스기판(20)이 처지지 않도록 받쳐주게 된다. 이때 볼샤프트(300)가 접하는 부분은 글라스기판(20)의 하측면에서 패턴이 형성되지 않은 지점이다.
도 5의 (b)에서 참조되는 바와 같이, 인입된 글라스기판(20)의 하측면에서 패턴이 형성되지 않은 부분의 위치가 제2지지판(232)에 결합된 볼샤프트(300)의 위치에 대응되는 경우, 제2지지판(232)에 결합된 리프트모듈(212)이 작동을 하여 제2지지판(232)을 상승시킨다. 이 때 글라스기판(20)에 대응되지 않는 제1지지판(231)은 상승하지 않는다. 제2지지판(232)이 상승하면 제2지지판(232)에 결합된 볼샤프트(300)의 지지볼(310)이 글라스기판(20)의 하측면에서 패턴이 형성되지 않은 부분에 접하게 된다.
이와 같이 인입된 글라스기판(20)의 하측면에 형성된 패턴에 따라 리프트모듈(211, 212), 지지판(231, 232) 및 볼샤프트(300)가 선택되어 작동할 수 있다.
이러한 선택작업은 사용자가 버퍼챔버를 오퍼레이팅하면서 할 수도 있다. 즉, 인입되는 글라스기판(20)의 하측면에 형성된 패턴이 A타입이라고 할 경우 A타입에 대응되는 글라스기판처짐보완장치(200)가 작동하도록 선택스위치를 넣어서 작동시킬 수도 있다.
또는,자동화에 의해, 글라스기판(20)의 테두리에 바코드 같은 수단이 마련되어 있어서, 이 바코드가 글라스기판(20)에 형성된 패턴의 타입을 알려준다면, 이 바코드를 통해 현재 인입된 글라스기판(20)의 패턴타입에 대응되는 리프트모듈(210), 지지판(230) 및 볼샤프트(300)를 작동시킬 수도 있다.
도 6에서는 도 1 내지 도 2에서 참조되는 지지판(230, 231, 232)과 다른 실시형태를 예시적으로 도시하였다. 도 6에 도시된 바와 같이 글라스기판(20)의 하측면에 형성되는 패턴에 대응하여 볼샤프트(300)가 패턴이 형성되지 않은 지점에 접하여 받쳐줄 수 있도록 볼샤프트(300)의 배열과 지지판의 형태가 다양하게 결정될 수 있다.
버퍼챔버에 인입되는 글라스기판(20)이 하측면에 형성된 패턴의 타입에 따라서 A타입과 B타입의 2가지 종류만 있는 경우, A타입의 패턴이 형성된 글라스기판(20)이 인입되면, A타입의 패턴이 형성된 글라스기판(20)에서 패턴이 형성되지 않은 부분을 받쳐줄 수 있는 제1지지판(233)이 상승하여 제1지지판(233)의 볼샤프트(300)가 글라스기판(20)을 받쳐주게 된다.
B타입의 패턴이 형성된 글라스기판(20)이 인입되면, B타입의 패턴이 형성된 글라스기판(20)에서 패턴이 형성되지 않은 부분을 받쳐줄 수 있는 제2지지판(234)이 상승하여 제2지지판(234)의 볼샤프트(300)가 글라스기판(20)을 받쳐주게 된다.
이와 같이 버퍼챔버내로 인입되는 글라스기판에 형성되어 있는 패턴 형태에 대응하여 기판처짐보완장치가 선택적으로 작동할 수 있으므로, 글라스기판의 하측면에 형성된 패턴에 손상을 주지 않는다. 그리고, 버퍼챔버의 하우징 내에서 글라스기판이 대기하는 동안에 기판처짐보완장치에 의해 글라스기판의 처짐이 예방 내지 억제된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판처짐보완장치 및 이를 이용한 버퍼챔버는, 글라스기판이 공정챔버 간을 이동하기 위하여 버퍼챔버 내에서 대기하는 동안에 자체 하중에 의하여 처짐으로써 야기되는 글라스기판의 변형 발생을 억제시키어 불량품 발생을 억제하며, 생산효율을 증진시킬 수 있는 장점이 있다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
20 : 글라스기판 100 : 하우징
150 : 글라스기판홀더 200 : 글라스기판처짐보완장치
210, 211,212 : 리프트모듈
230, 231, 232, 233, 234 : 지지판
300 : 볼샤프트 310 : 지지볼
330 : 스프링부재 350 : 지지파이프

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 외부에 대하여 선택적으로 격리될 수 있는 대기공간을 제공하는 하우징;
    상기 하우징 내부에 구비되며, 상기 하우징 내의 상기 대기공간 내로 인입된 글라스기판의 테두리 부분을 받쳐주는 글라스기판홀더; 및
    상기 글라스기판홀더 또는 상기 글라스기판의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 하측 면의 일부 부분을 받쳐주어 상기 글라스기판의 처짐을 억제하는 글라스기판처짐보완장치;를 포함하되,
    상기 하우징 내부에는 상기 글라스기판처짐보완장치가 다수개 마련되어 있고,
    다수개의 상기 글라스기판처짐보완장치 중에서,
    상기 대기공간으로 인입되는 상기 글라스기판의 하측면에 형성된 패턴에 대응하여 선택되는 하나 이상의 상기 글라스기판처짐보완장치가 상기 글라스기판의 상기 패턴을 회피하여 상기 글라스기판의 일부 부분에 접하여 받쳐주는 것을 특징으로 하는 버퍼챔버.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 글라스기판처짐보완장치는,
    상기 글라스기판의 하측 면의 일부 부분에 상측단이 접하며, 상기 글라스기판을 받쳐주는 지지체;
    상기 지지체의 하측단과 결합되며, 하나 이상의 상기 지지체를 지지하는 지지판; 및
    상기 지지판의 하측에 마련되어 상기 지지판과 결합되며, 상기 지지판 또는 상기 지지체를 상측 또는 하측으로 이동시키는 리프트모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼챔버.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 지지판의 상측에는 하나 이상의 상기 지지체가 마련되어 있고,
    상기 지지판의 하측에는 상기 리프트모듈이 하나 이상 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 버퍼챔버.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 지지체는 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접할 수 있도록 상측단에 지지볼이 구비된 볼샤프트인 것을 특징으로 하는 버퍼챔버.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 볼샤프트는,
    상기 글라스기판의 하측 면에 접하되, 상기 글라스기판의 하측 면에 형성된 소정의 패턴을 회피하여 점(point) 접하는 지지볼;
    상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및
    상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩 시켜주는 지지파이프; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼챔버.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 지지볼은 상기 지지파이프의 상측단에서 회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 버퍼챔버.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 지지볼은 실리콘 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 버퍼챔버.
KR1020150104780A 2015-07-24 2015-07-24 글라스기판처짐보완장치를 포함하는 버퍼챔버 KR101715147B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150104780A KR101715147B1 (ko) 2015-07-24 2015-07-24 글라스기판처짐보완장치를 포함하는 버퍼챔버

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150104780A KR101715147B1 (ko) 2015-07-24 2015-07-24 글라스기판처짐보완장치를 포함하는 버퍼챔버

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170012786A KR20170012786A (ko) 2017-02-03
KR101715147B1 true KR101715147B1 (ko) 2017-03-14

Family

ID=58156374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150104780A KR101715147B1 (ko) 2015-07-24 2015-07-24 글라스기판처짐보완장치를 포함하는 버퍼챔버

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101715147B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007251073A (ja) 2006-03-20 2007-09-27 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板支持部材
KR101484533B1 (ko) * 2013-08-27 2015-01-28 주식회사 테라세미콘 기판 지지 장치

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100968814B1 (ko) * 2008-05-14 2010-07-08 세메스 주식회사 리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치
KR20150066285A (ko) * 2013-12-06 2015-06-16 세메스 주식회사 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007251073A (ja) 2006-03-20 2007-09-27 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板支持部材
KR101484533B1 (ko) * 2013-08-27 2015-01-28 주식회사 테라세미콘 기판 지지 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170012786A (ko) 2017-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102071727B1 (ko) 연마 세정 기구, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR100917304B1 (ko) 기판처리장치
JP2009146932A (ja) 基板搬送装置、基板搬送方法及び真空処理装置
KR20010108426A (ko) 퍼리미터 웨이퍼 승강 장치 및 방법
CN101740453A (zh) 基板夹持部件、具有该部件的基板加工装置及方法
KR101127048B1 (ko) 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법
KR20150000417A (ko) 기판 유지 장치 및 기판 세정 장치
US20120258414A1 (en) Substrate support instrument, and vertical heat treatment apparatus and driving method thereof
KR100332546B1 (ko) 기판 반송 장치
KR20090130038A (ko) 기판 반송장치
KR102123825B1 (ko) 얼라인모듈
KR101209654B1 (ko) 트레이 틸트 장치
KR101516575B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 및 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체
KR101715147B1 (ko) 글라스기판처짐보완장치를 포함하는 버퍼챔버
CN103806085B (zh) 衬底支撑模块
KR102245805B1 (ko) 다이 이젝터 및 이를 포함하는 다이 픽업 장치
KR102267946B1 (ko) 반도체 패키지 및 반도체 스트립 이송 장치
KR102538847B1 (ko) 진공척
KR101833482B1 (ko) 기판 척킹 장치 및 이를 이용한 기판 척킹 방법
KR20110105147A (ko) 기판 정렬 장치
JP4711771B2 (ja) 搬送装置および真空処理装置
KR20170020601A (ko) 리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드
TW202125688A (zh) 基板處理方法及基板處理裝置
KR20170032942A (ko) 글라스기판서포트장치 및 이를 구비한 진공챔버
JP3615042B2 (ja) 基板搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200302

Year of fee payment: 4