KR20170032942A - 글라스기판서포트장치 및 이를 구비한 진공챔버 - Google Patents

글라스기판서포트장치 및 이를 구비한 진공챔버 Download PDF

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Abstract

본 발명은 글라스기판이 자체하중에 의하여 처지는 것을 보완해주기 위한 글라스기판서포트장치 및 이의 진공챔버에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 글라스기판이 자체 하중에 의하여 처지는 것을 억제하기 위하여 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 리프트모듈블럭; 및 상기 리프트모듈블럭의 하측에 마련되며, 상기 리프트모듈블럭이 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐줄 수 있도록 상기 리프트모듈블럭의 위치를 설정하여 주는 포지셔닝어셈블리;를 포함하되, 상기 리프트모듈블럭은, 상측이 글라스기판의 하측면 일부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부분을 받쳐주는 볼샤프트; 상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터; 및 상기 리프터와 결합되며, 상기 볼샤프트 또는 상기 리프터가 흔들리지 않도록 지지해주는 블럭프레임;을 포함하기 때문에 글라스기판이 진공 챔버내에 위치하는 동안에 자체 하중에 의하여 처짐으로써 야기되는 글라스기판의 변형 발생을 억제시킴으로써 글라스기판의 변형으로 인한 제품불량이 발생하는 것을 감소 내지 억제시킬 수 있는 기술이 개시된다.

Description

글라스기판서포트장치 및 이를 구비한 진공챔버{Glass Substrate Support Apparatus and Vacuum Chamber Thereof}
본 발명은 글라스기판서포트장치 및 이를 구비한 진공챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적의 글라스기판이 자체하중에 의해 하측으로 처지지 않도록 보완하여 주는 글라스기판서포트장치 및 이의 진공챔버에 관한 것이다.
통상 디스플레이장치를 생산하는데 있어서, 글라스기판에 대하여 다양한 증착공정을 실시하여 제조된다. 특히 디스플레이장치의 대면화 추세에 따라 글라스기판 또한 대면화되어 글라스기판의 크기와 자체하중 또한 증가하고 있다. 대면화 되어 큰 면적을 갖는 글라스기판은 자체하중이 크기 때문에 여러 공정을 거치는 동안에 글라스기판이 쳐짐으로 인한 변형이 발생되기도 한다.
글라스기판의 변형은 여러 공정을 거치는 동안 비교적 고온의 상태에 있기 때문에 처짐으로 인한 변형은 발생하기가 더욱 쉽다. 따라서 하나의 공정챔버에서 다음 차례의 공정챔버로 이송되는 동안에도 글라스기판이 처짐에 의한 변형이 발생하지 않도록 보완을 해주어야 하는 필요성이 대단히 크다.
이와 같은 글라스기판의 휨 변형을 억제 또는 예방하기 위한 다양한 기술이 제시되었는데, 이러한 종래의 기술들 중에는 대한민국 등록특허 제10-1208262호(발명의 명칭 : 글래스 검사 장치. 이하 선행기술1 이라 함.) 등이 있다.
선행기술 1에 따르면, 글라스기판을 검사하기 위하여 글라스기판을 이송시키는 과정에서 글라스기판이 처짐에 의한 변형이 발생하지 않도록 에어를 글라스기판에 분사시키는 것을 특징으로 하는 기술이 개시되어 있다.
그러나, 이러한 선행기술 1에 따르면, 대면적의 글라스기판 전면에 걸쳐서 고르게 에어를 분사시키기가 어려웠으며, 자칫 에어압의 불균형으로 인하여 되레 기판의 일부분이 휘어지는 변형을 야기시킬 수 있다는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 대면적의 글라스기판이 자체하중에 의해 처지지 않도록 보완하여 줄 수 있는 글라스기판서포트장치 및 이를 구비한 진공챔버를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치는 글라스기판이 자체 하중에 의하여 처지는 것을 억제하기 위하여 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 리프트모듈블럭; 및 상기 리프트모듈블럭의 하측에 마련되며, 상기 리프트모듈블럭이 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐줄 수 있도록 상기 리프트모듈블럭의 위치를 설정하여 주는 포지셔닝어셈블리;를 포함하되, 상기 리프트모듈블럭은, 상측이 글라스기판의 하측면 일부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부분을 받쳐주는 볼샤프트; 상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터; 및 상기 리프터와 결합되며, 상기 볼샤프트 또는 상기 리프터가 흔들리지 않도록 지지해주는 블럭프레임;을 포함하는 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 볼샤프트는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하는 지지볼; 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 포지셔닝어셈블리는, 상기 블럭프레임의 하측에서 상기 블럭프레임을 지지하며, 상기 글라스기판면에 평행한 X축방향으로 상기 리프터의 이동을 가이드하는 제1포지셔닝블럭; 상기 제1포지셔닝블럭에 장착되며, 상기 리프터를 상기 X축방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 제1포지셔닝모터; 상기 제1포지셔닝블럭의 하측에 위치하여 상기 제1포지셔닝블럭을 지지하며, 상기 X축방향에 수직인 Y축방향으로 상기 제1포지셔닝블럭의 이동을 가이드하는 제2포지셔닝블럭; 및 상기 제2포지셔닝블럭에 장착되며, 상기 제1포지셔닝블럭을 상기 Y축방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 제2포지셔닝모터;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 진공챔버는 글라스기판이 머무르는 공간을 제공하는 하우징; 상기 하우징 내에 마련되며, 상기 하우징 내로 인입된 상기 글라스기판을 홀딩시켜주는 글라스홀더; 및 상기 하우징 내에 구비되며, 상기 글라스홀더에 홀딩된 상기 글라스기판이 편평할 수 있도록 상기 글라스기판의 적어도 일부분을 받쳐주는 글라스기판서포트장치;를 포함하되, 상기 글라스기판서포트장치는, 상측이 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 볼샤프트; 상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터; 상기 리프터와 결합되며, 상기 볼샤프트 및 상기 리프터가 흔들리지 않도록 지지하여 주는 블럭프레임; 및 상기 블럭프레임과 결합되며, 상기 글라스기판의 하측면에 상기 볼샤프트가 접하는 위치를 설정하여주는 포지셔닝어셈블리;를 포함하는 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 하우징 내에 상기 글라스기판서포트장치가 다수 마련된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 다수개의 상기 글라스기판서포트장치 각각은 서로에 대하여 독립적으로 상기 글라스기판의 하측면 일부분에 상기 볼샤프트가 접할 위치를 설정할 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 다수개의 상기 글라스기판서포트장치의 리프터 각각은 서로에 대하여 독립적으로 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시킬 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 볼샤프트는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)로 접하는 지지볼; 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 포지셔닝어셈블리는, 상기 블럭프레임의 하측에서 상기 블럭프레임을 지지하며, 상기 글라스기판면에 평행한 X축방향으로 상기 블럭프레임의 이동을 가이드하는 제1포지셔닝블럭; 상기 제1포지셔닝블럭에 장착되며, 상기 블럭프레임을 상기 X축방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 제1포지셔닝모터; 상기 제1포지셔닝블럭의 하측에 위치하여 상기 제1포지셔닝블럭을 지지하며, 상기 X축방향에 수직인 Y축방향으로 상기 제1포지셔닝블럭의 이동을 가이드하는 제2포지셔닝블럭; 및 상기 제2포지셔닝블럭에 장착되며, 상기 제1포지셔닝블럭을 상기 Y축방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 제2포지셔닝모터;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 진공챔버는 글라스기판이 머무르는 공간을 제공하는 하우징; 상기 하우징 내에 마련되며, 상기 하우징 내로 인입된 상기 글라스기판을 홀딩시켜주는 글라스홀더; 및 상기 하우징 내에 구비되며, 상기 글라스홀더에 홀딩된 상기 글라스기판의 편평도를 유지하기 위하여 상기 글라스기판의 적어도 일부분을 받쳐주는 글라스기판서포트장치;를 포함하되, 상기 글라스기판서포트장치는, 상측이 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 볼샤프트; 상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터; 상기 글라스홀더의 하측에 위치하고, 상기 리프터가 장착되며, 상기 리프터를 지지하여 주는 지지프레임; 상기 지지프레임의 하측에 위치하며, 상기 지지프레임과 결합되어 상기 지지프레임을 받쳐주는 베이스플레이트; 및 상기 베이스플레이트의 하측에 구비되며, 상기 글라스기판의 하측 면상의 소정의 위치에 상기 볼샤프트가 접할 수 있도록 상기 글라스기판에 대해 평행한 방향으로 상기 베이스플레이트의 위치를 이동시키는 위치조정수단;을 포함하는 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 볼샤프트는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하는 지지볼; 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 다수개의 상기 글라스기판서포트장치의 리프터 각각은 서로에 대하여 독립적으로 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시킬 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
본 발명에 따른 글라스기판서포트장치 및 이의 진공챔버는 글라스기판이 진공챔버의 하우징 내에 위치하는 동안에 자체 하중에 의하여 처짐으로써 야기되는 글라스기판의 변형 발생을 억제하며, 생산효율을 증진시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치의 리프트모듈블럭을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치의 일부 부분의 단면을 개략적으로 나타낸 일부단면도이다.
도 4의 (a) 내지 (b)는 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치의 포지션어셈블리에 포함되는 제1포지셔닝블럭을 개략적으로 평면, 단면, 측면 및 사시도로 나타낸 도면이다.
도 5의 (a) 내지 (b)는 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치의 포지션어셈블리에 포함되는 제2포지셔닝블럭을 개략적으로 평면, 단면, 측면 및 사시도로 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 진공챔버에서 다수개의 기판서포트장치가 하우징 내에 마련된 형태를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치가 마련된 진공챔버의 일부분의 단면을 개략적으로 나타낸 단면사시도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치가 마련된 진공챔버의 단면을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
이하에서는 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시 예를 들어 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치의 리프트모듈블럭을 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치의 일부 부분의 단면을 개략적으로 나타낸 일부단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치의 포지션어셈블리에 포함되는 제1포지셔닝블럭 및 제1포지셔닝모터를 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치의 포지션어셈블리에 포함되는 제2포지셔닝블럭 및 제2포지셔닝모터를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 5를 먼저 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 글라스기판서포트장치(20)는 리프트모듈블럭 및 포지셔닝어셈블리를 포함하여 이루어진다.
여기서 리프트모듈블럭은 글라스기판이 자체 하중에 의하여 처지는 것을 억제하기 위하여 글라스기판의 일부 부분을 받쳐 준다. 이러한 리프트모듈블럭은 볼샤프트, 리프터 및 블럭프레임을 포함하여 이루어진다.
볼샤프트(120)는 글라스기판(G)의 하측면 일부분에 접하여 글라스기판(G)의 일부분을 받쳐준다. 여기서, 하측면의 일부 부분은 글라스기판(G)의 하측 면에서 패턴이 형성되지 않은 부분인 것이 바람직하다. 이러한 볼샤프트(120)는 지지볼(121), 스프링부재(120) 및 지지파이프(125)를 포함한다.
지지볼은(121) 글라스기판(G)의 하측 면에 점으로 접한다. 이러한 지지볼(121)은 지지파이프(125)의 상측단에서 회전할 수 있어서 글라스기판(G)의 하측면에 스크래치를 내지 않으므로 바람직하다. 그리고 지지볼(121)이 실리콘소재로 이루어진 경우 자체적으로도 완충효과를 발휘할수 있으므로 바람직하다.
스프링부재(123)는 도면에 도시된 바와 같이 지지볼(121)의 하측에 마련되며, 지지볼(121)을 탄력적으로 받쳐준다. 즉, 스프링부재(123)는 지지볼(121)이 글라스기판(G)의 하측면에 접할 때 글라스기판(G)에 충격이 가지 않도록 탄력적으로 완충한다.
지지파이프(125)는 지지볼(121)이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜준다. 지지파이프(125)의 상측단에 지지볼(121)이 위치하며, 내측의 빈 공간에 스프링부재(123)가 내재되어 있다. 지지파이프(125)의 상측단에서의 내경이 지지볼(121)의 외경보다 작게 형성되면 지지볼(121)이 스프링부재(123)에 의해 지지파이프(125)로부터 튕겨 나가지 않고 지지파이프(125)의 상단에 있을 수 있으므로 바람직하다.
지지파이프(125)의 외주면의 일부 부분에는 도 3 에서 참조되는 바와 같이 리프트가이더(126)가 형성되고, 블록프레임(140)에 리프트가이더(126)에 대응되는 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 리프트가이더(126)는 리프터(130)에 의해 볼샤프트(120)가 안정적으로 상승 또는 하강할 수 있도록 가이드해준다.
리프터(130)는 볼샤프트(120)의 하측에 마련된다. 그리고 글라스기판(G)의 일부분이 처지지 않도록 볼샤프트(120)를 상승 또는 하강시켜준다. 즉, 글라스기판(G)면에 대하여 수직인 방향(Z방향)으로 볼샤프트(120)를 상승시키거나 하강시킨다는 것이다. 이러한 리프터(130)의 예로서 도 3에 도시된 바와 같이 전기모터(130)의 경우 회전축(135)이 회전함에 따라 회전축(135)에 나사결합된 볼샤프트(120)가 상승 또는 하강할 수 있다.
블럭프레임(140)은 리프터(130)와 결합되며, 볼샤프트(120) 또는 리프터(130)가 흔들리지 않도록 지지해준다. 블럭프레임(140)의 하측에는 도 1 내지 도 2에서 참조되는 바와 같이 나사홀(147)이 형성된 제1링커(146)가 블럭프레임(140)의 하측에 형성되어 있다. 제1링커(146)를 통해 블럭프레임(140)과 포지셔닝어셈블리의 제1포지셔닝블럭(240)가 결합되며, 블럭프레임(140)이 포지셔닝어셈블리에 의해 위치이동을 할 수 있게 된다.
포지셔닝어셈블리는 리프트모듈블럭의 하측(좀 더 구체적으로는 블록프레임(140)의 하측)에 마련되며, 리프트모듈블럭이 글라스기판(G)의 일부 부분을 받쳐줄 수 있도록 리프트모듈블럭의 위치를 설정하여 준다.
여기서, 포지셔닝어셈블리가 설정하여 주는 리프트모듈블럭의 위치를 좀 더 구체적으로 설명하자면, 글라스기판(G)의 면에 평행한 가상의 면 상의 위치로서, 리프트모듈블럭이 글라스기판(G) 면상의 소정의 위치를 받쳐주기 위하여 볼샤프트(120)가 글라스기판(G)에 접할 수 있는 XY평면좌표상의 위치를 말한다
이러한 포지셔닝어셈블리는 제1포지셔닝블럭(240), 제1포지셔닝모터(230), 제2포지셔닝블럭(340) 및 제2포지셔닝모터(330)를 포함한다.
도 4에서 참조되는 바와 같이, 제1포지셔닝블럭(240)은 블록프레임(140)의 하측에서 블록프레임(140)을 지지하며, 글라스기판(G)면에 평행한 X축방향으로 블록프레임(140)의 위치이동을 가이드한다. 이를 위해 제1포지셔닝블럭(240)에는 제1가이드홈(242)이 형성되어 있으며, 제1가이드홈(242)에 블록프레임(140)의 제1링커(146)가 삽입되어 있다. 여기서, 블럭프레임(140)의 하측면이 제1포지셔닝블럭(240)의 상측면과 접하며, 블럭프레임(140)이 안정적으로 지지되어 위치이동될 수 있다. 그리고, 제1포지셔닝모터(230)의 회전력에 의해 제1기어봉(235)이 회전하면서 블럭프레임(140)이 위치이동될 수 있도록 제1포지셔닝모터(230)의 제1기어봉(235)이 제1링커(146)의 나사홀(147)과 나사결합을 이룬다. 따라서, 제1기어봉(235)의 회전에 의해 블럭프레임(140)이 제1가이드홈(242)의 방향에 따라 제1포지셔닝블럭(240)의 상측면(244)에서 미끄러지듯이 위치이동된다.
그리고, 제1기어봉(235)을 회전시켜주는 제1포지셔닝모터(230)는 제1포지셔닝블럭(240)에 장착되며, 블럭프레임(140)의 지지를 받는 리프터(130)를 X축방향으로 이동시키기 위한 구동력을 제공한다.
제2포지셔닝블럭(340)은 제1포지셔닝블럭(240)의 하측에 위치하여 제1포지셔닝블럭(240)을 지지하며, X축방향에 수직인 Y축방향으로 제1포지셔닝블럭(240)의 이동을 가이드한다. 이를 위하여 제1포지셔닝블럭(240)의 하측에는 제2링커(246)가 형성되어 있으며, 제2링커(246)에는 나사홀(247)이 형성되어 있다. 그리고, 제2포지셔닝블럭(340)의 상측에는 제2가이드홈(342)이 형성되어 있다. 이 제2가이드홈(342)에 제2링커(246)가 삽입되며, 제1포지셔닝블럭(240)이 제2가이드홈(342)을 따라 위치이동을 할 수 있게 된다.
그리고, 도 5에서 참조되는 바와 같이, 제2포지셔닝모터(330)의 회전력에 의해 제2기어봉(335)이 회전하면서 제1포지셔닝블럭(240)이 위치이동될 수 있도록 제2포지셔닝모터(330)의 제2기어봉(335)이 제2링커(246)의 나사홀(247)과 나사결합을 이룬다. 따라서, 제2기어봉(335)의 회전에 의해 제1포지셔닝블럭(240)이 제2가이드홈(342)의 방향에 따라 제2포지셔닝블럭(340)의 상측면(344)에서 미끄러지듯이 위치이동하게 된다.
제1포지셔닝블럭(240)의 위치이동이 이루어질 수 있도록 제2기어봉(335)을 회전시켜주는 제2포지셔닝모터(330)는 제2포지셔닝블럭(340)에 장착되며, 제1포지셔닝블럭(240)을 Y축방향으로 이동시키는 구동력을 제공한다.
다음으로, 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 글라스기판서포트장치가 구비된 진공챔버에 대해서 설명하기로 한다. 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 진공챔버는 하우징, 글라스홀더 및 글라스기판서포트장치를 포함한다.
챔버벽(11)과 바닥(12)으로 이루어지는 하우징(11,12)은 글라스기판(G, 도 2참조)이 머무르는 공간을 제공한다. 즉, 외부와 격리되어 진공이 설정된 공간(11,12)을 형성하며 이 공간내에 글라스기판(G, 도 2참조))이 위치하게 된다. 글라스홀더(미도시)는 하우징(11, 12) 내에 마련된다. 그리고 하우징(11, 12) 내로 인입된 글라스기판을 홀딩시켜준다.
글라스기판서포트장치(20)는 글라스홀더와 마찬가지로 하우징(11, 12) 내에 구비된다. 그리고 글라스홀더에 홀딩된 글라스기판이 편평할 수 있도록 글라스기판의 적어도 일부분을 하측에서 받쳐준다. 이러한 글라스기판서포트장치(20)는 볼샤프트, 리프터, 블럭프레임 및 포지셔닝어셈블리를 포함하여 이루어지며, 앞서 글라스서포트장치(20)에 대하여 설명한 바와 같다.
이러한 글라스기판서포트장치(20)가 진공챔버내에 다수개 마련된 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 도 6에 예시적으로 도시된 바와 같이 다수개의 글라스기판서포트장치(20)가 일정한 형태로 규칙적으로 배열된 것이 바람직하다.
이와 같이 다수개의 글라스기판서포트장치(20)가 규칙적으로 배열되면, 대면적의 글라스기판이 처지지 않도록 글라스기판 하측면 상의 여러 일부 부분에서 적절하게 받쳐줄 수 있으므로 글라스기판의 처짐을 억제 내지 예방할 수 있으므로 바람직하다. 한 편 다음과 같은 다른 실시 형태 또한 가능하다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 진공챔버는 하우징(11,12), 글라스홀더(30) 및 글라스기판서포트장치를 포함한다. 여기서 하우징(11,12) 및 글라스홀더(30)는 앞서 설명한 바와 별 차이가 없으며, 글라스기판서포트장치에서 조금 차이가 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 진공챔버의 글라스기판서포트장치는 볼샤프트(720), 리프터(730), 지지프레임(600), 베이스플레이트(500) 및 위치조정수단(400)을 포함한다. 여기서 볼샤프트(720)와 리프터(730)는 앞서 설명한 바와 대동소이하다.
지지프레임(600)은 글라스홀더(30)의 하측에 위치한다. 그리고 지지프레임(600)에 리프터(730)가 장착되며, 지지프레임(600)에 의해 리프터(730)가 지지된다.
베이스플레이트(500)는 지지프레임(600)의 하측에 위치하고 있으며, 지지프레임(600)과 결합되어 지지프레임(600)을 받쳐준다.
위치조정수단(400)은 베이스플레이트(500)의 하측과 챔버바닥(12) 사이에 구비된다. 그리고 글라스기판(G)의 하측면상의 소정의 위치에 볼샤프트(720)가 접할 수 있도록 글라스기판(G)에 대해 평행한 방향으로 베이스플레이트(500)의 위치를 이동시켜준다.
이러한 위치조정수단(400)으로는 다양한 예가 있을 수 있는데, 도 7 및 도 8에서는 모터와 레일을 이용한 것(400)을 예시적으로 도시하였다. 이러한 위치조정수단(400)에 의해 베이스플레이트(500)는 X축방향 또는 Y축방향으로 위치이동되며, 베이스플레이트(500)의 위치이동에 의해 지지프레임(600), 리프터(730) 및 볼샤프트(720) 또한 함께 위치가 이동된다.
따라서, 적절한 위치로 이동이 이루어진 후에 리프터(730)가 볼샤프트(720)를 상승 또는 하강시킴으로써 글라스기판(G)이 처지지 않도록 글라스기판의(G) 일부 부분을 받쳐주게 된다.
앞서 설명한 실시 예에서의 진공챔버에서와 같이 리프터가 다수개가 구비되었다는 점에서는 같다. 하지만, 본 실시 예에서의 진공챔버에서는 다수개의 리프터의 위치이동은 동시에 함께 이루어지며, 위치의 이동거리 또는 이동방향 또한 동일하다는 점에서 다소 다르다. 하지만, 앞서 설명한 실시 예에서와 같이 다수개의 리프터 각각은 서로에 대하여 독립적으로 볼샤프트를 상승 또는 하강 시킬 수 있으므로 각각의 리프터가 위치한 지점에서 글라스기판이 처지지 않도록 필요한 만큼 볼샤프트를 상승 또는 하강시켜준다.
이상에서 살펴 본 바와 같이 글라스기판서포트장치 및 이를 구비한 진공챔버는 글라스기판이 자체하중에 의하여 처지지 않도록 다수개의 리프트모듈 각각이 글라스기판의 일부 부분에 대하여 받쳐줄 수 있다. 그리고, 글라스기판을 받쳐주는 과정에서 지지볼이 접촉면적을 최소화하면서 탄력있게 글라스기판을 받쳐주므로, 글라스기판의 하측면에 스크래치 등과 같은 손상을 주지 않는다. 또한, 글라스기판다수개의 글라스기판서포트장치 각각이 독립적으로 위치이동을 하거나 볼샤프트를 적절한 수준으로 상승시키므로 글라스기판의 처짐이 예방 내지 억제된다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
G : 글라스기판 110 : 지지볼
120 : 볼샤프트
121 : 지지볼 123 : 스프링부재
125 : 지지파이프
130 : 리프터 140 : 블럭프레임
230 : 제1포지셔닝모터 235 : 제1기어봉
240 : 제1포지셔닝블럭 330 : 제2포지셔닝모터
335 : 제2기어봉 340 : 제2포지셔닝블럭

Claims (12)

  1. 글라스기판이 자체 하중에 의하여 처지는 것을 억제하기 위하여 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 리프트모듈블럭; 및
    상기 리프트모듈블럭의 하측에 마련되며, 상기 리프트모듈블럭이 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐줄 수 있도록 상기 리프트모듈블럭의 위치를 설정하여 주는 포지셔닝어셈블리;를 포함하되,
    상기 리프트모듈블럭은,
    상측이 글라스기판의 하측면 일부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부분을 받쳐주는 볼샤프트;
    상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터; 및
    상기 리프터와 결합되며, 상기 볼샤프트 또는 상기 리프터가 흔들리지 않도록 지지해주는 블럭프레임;을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스기판서포트장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 볼샤프트는,
    상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하는 지지볼;
    상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및
    상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스기판서포트장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 포지셔닝어셈블리는,
    상기 블럭프레임의 하측에서 상기 블럭프레임을 지지하며, 상기 글라스기판면에 평행한 X축방향으로 상기 리프터의 이동을 가이드하는 제1포지셔닝블럭;
    상기 제1포지셔닝블럭에 장착되며, 상기 리프터를 상기 X축방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 제1포지셔닝모터;
    상기 제1포지셔닝블럭의 하측에 위치하여 상기 제1포지셔닝블럭을 지지하며, 상기 X축방향에 수직인 Y축방향으로 상기 제1포지셔닝블럭의 이동을 가이드하는 제2포지셔닝블럭; 및
    상기 제2포지셔닝블럭에 장착되며, 상기 제1포지셔닝블럭을 상기 Y축방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 제2포지셔닝모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스기판서포트장치.
  4. 글라스기판이 머무르는 공간을 제공하는 하우징;
    상기 하우징 내에 마련되며, 상기 하우징 내로 인입된 상기 글라스기판을 홀딩시켜주는 글라스홀더; 및
    상기 하우징 내에 구비되며, 상기 글라스홀더에 홀딩된 상기 글라스기판이 편평할 수 있도록 상기 글라스기판의 적어도 일부분을 받쳐주는 글라스기판서포트장치;를 포함하되,
    상기 글라스기판서포트장치는,
    상측이 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 볼샤프트;
    상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터;
    상기 리프터와 결합되며, 상기 볼샤프트 및 상기 리프터가 흔들리지 않도록 지지하여 주는 블럭프레임; 및
    상기 블럭프레임과 결합되며, 상기 글라스기판의 하측면에 상기 볼샤프트가 접하는 위치를 설정하여주는 포지셔닝어셈블리;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 하우징 내에 상기 글라스기판서포트장치가 다수 마련된 것을 특징으로 하는 진공챔버.
  6. 제 5항 에 있어서,
    다수개의 상기 글라스기판서포트장치 각각은 서로에 대하여 독립적으로 상기 글라스기판의 하측면 일부분에 상기 볼샤프트가 접할 위치를 설정할 수 있는 것을 특징으로 하는 진공챔버.
  7. 제 5항에 있어서,
    다수개의 상기 글라스기판서포트장치의 리프터 각각은 서로에 대하여 독립적으로 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 진공챔버.
  8. 제 4항에 있어서,
    상기 볼샤프트는,
    상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)로 접하는 지지볼;
    상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및
    상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버.
  9. 제 4항에 있어서,
    상기 포지셔닝어셈블리는,
    상기 블럭프레임의 하측에서 상기 블럭프레임을 지지하며, 상기 글라스기판면에 평행한 X축방향으로 상기 블럭프레임의 이동을 가이드하는 제1포지셔닝블럭;
    상기 제1포지셔닝블럭에 장착되며, 상기 블럭프레임을 상기 X축방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 제1포지셔닝모터;
    상기 제1포지셔닝블럭의 하측에 위치하여 상기 제1포지셔닝블럭을 지지하며, 상기 X축방향에 수직인 Y축방향으로 상기 제1포지셔닝블럭의 이동을 가이드하는 제2포지셔닝블럭; 및
    상기 제2포지셔닝블럭에 장착되며, 상기 제1포지셔닝블럭을 상기 Y축방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 제2포지셔닝모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버.
  10. 글라스기판이 머무르는 공간을 제공하는 하우징;
    상기 하우징 내에 마련되며, 상기 하우징 내로 인입된 상기 글라스기판을 홀딩시켜주는 글라스홀더; 및
    상기 하우징 내에 구비되며, 상기 글라스홀더에 홀딩된 상기 글라스기판의 편평도를 유지하기 위하여 상기 글라스기판의 적어도 일부분을 받쳐주는 글라스기판서포트장치;를 포함하되,
    상기 글라스기판서포트장치는,
    상측이 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 볼샤프트;
    상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터;
    상기 글라스홀더의 하측에 위치하고, 상기 리프터가 장착되며, 상기 리프터를 지지하여 주는 지지프레임;
    상기 지지프레임의 하측에 위치하며, 상기 지지프레임과 결합되어 상기 지지프레임을 받쳐주는 베이스플레이트; 및
    상기 베이스플레이트의 하측에 구비되며, 상기 글라스기판의 하측 면상의 소정의 위치에 상기 볼샤프트가 접할 수 있도록 상기 글라스기판에 대해 평행한 방향으로 상기 베이스플레이트의 위치를 이동시키는 위치조정수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 볼샤프트는,
    상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하는 지지볼;
    상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및
    상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버.
  12. 제 10항에 있어서,
    다수개의 상기 글라스기판서포트장치의 리프터 각각은 서로에 대하여 독립적으로 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 진공챔버.
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