CN111725118A - 翻转装置 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例提供了一种翻转装置，用于对半导体设备中的基板进行夹持翻转，其包括：装置框架、第一工作台、第二工作台及驱动机构；装置框架内具有容置空间；第一工作台设置于容置空间内，且与装置框架固定设置，第一工作台用于承载基板；第二工作台设置于容置空间内，且与第一工作台相对，第二工作台可相对第一工作台运动以将基板夹持于二者之间；驱动机构与装置框架传动连接，用于驱动装置框架旋转，以带动第一工作台、第二工作台以及夹持在二者之间的基板翻转。本申请实施例实现了基板翻转过程平稳，且确保基板不会脱落以及发生位移，从而提高安全性及产品良率。
Description
技术领域
本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，本申请涉及一种翻转装置。
背景技术
目前，随着科技的发展柔性显示屏时代已经到来，相比与传统的刚性显示屏，柔性显示屏不仅体积轻薄可实现弯曲和折叠，而且功耗较低。但是相对于刚性显示屏来说，它的生产工艺更为复杂。在柔性显示屏生产过程中，柔性基板存放在卡夹中，机械手将柔性基板从卡夹中取出放入半导体设备中进行工艺。由于某些工艺的特殊要求，在柔性基板进入半导体设备前需要对其进行180度翻转。
现有翻转机构主要适用于刚性显示屏的刚性基板，机械手将刚性基板传送至吸盘组件的上方，升降平台上升以将刚性基板顶起，以便于刚性基板与机械手分开，然后待机械手撤出后升降平台下降，刚性基板落到吸盘组件上。然后,对吸盘组件施加真空压力以将刚性基板吸附固定，由旋转组件带动吸盘组件转动使刚性基板完成180度翻转，升降平台再运动至刚性基板下方，接收完成翻转动作的刚性基板。现有技术中如果刚性基板翻转时真空气源出现故障，刚性基板则有脱落风险；另外,若刚性基板翻转速度快，会使刚性基板和吸盘组件发生位移。进一步的，升降平台在刚性基板翻转过程中需要下降至安全区域，待刚性基板完成翻转后再运动至刚性基板下方，不仅大幅降低工作效率，而且增加应用成本。
发明内容
本申请针对现有方式的缺点，提出一种翻转装置，用以解决现有技术中存在的基板在翻转过程易脱落、位移以及工作效率低且成本较高的技术问题。
本申请实施例提供了一种翻转装置，用于对半导体设备中的基板进行夹持翻转，包括：装置框架、第一工作台、第二工作台及驱动机构；所述装置框架内具有容置空间；所述第一工作台设置于所述容置空间内，且与所述装置框架固定设置，所述第一工作台用于承载所述基板；所述第二工作台设置于所述容置空间内，且与所述第一工作台相对，所述第二工作台可相对所述第一工作台运动以将所述基板夹持于二者之间；所述驱动机构与所述装置框架传动连接，用于驱动所述装置框架旋转，以带动所述第一工作台、所述第二工作台以及夹持在二者之间的所述基板翻转。
于本申请的一实施例中，所述翻转装置还包括伸缩机构，所述第二工作台通过所述伸缩机构设置于所述框架上，所述伸缩机构用于驱动所述第二工作台向所述第一工作台运动以夹持所述基板。
于本申请的一实施例中，所述第一工作台包括第一平台框架和设置在所述第一平台框架上的多个第一吸附组件，且多个所述第一吸附组件的第一吸附面平齐；所述第二工作台包括第二平台框架和设置在所述第二平台框架上的多个第二吸附组件，且多个所述第二吸附组件的第二吸附面平齐；所述第一吸附面与所述第二吸附面相对。
于本申请的一实施例中，所述第一吸附组件包括具有真空腔体的刚性吸附件和第一支撑杆，所述刚性吸附件通过所述第一支撑杆固定在所述第一平台框架上。
于本申请的一实施例中，所述第二吸附组件包括柔性真空吸盘和第二支撑杆，所述柔性真空吸盘通过所述第二支撑杆设置于所述第二平台框架上。
于本申请的一实施例中，所述伸缩机构包括固定板、连接板、导向杆及驱动源；所述固定板设置于所述装置框架上，所述连接板设置于所述第二工作台上，多个所述导向杆穿设于所述固定板上，并且一端与所述连接板固定连接，用于对所述第二工作台运动方向进行引导；所述驱动源设置于所述固定板上，用于通过所述连接板带动所述第二工作台运动。
于本申请的一实施例中，所述驱动源包括气缸或者液压缸。
于本申请的一实施例中，所述装置框架的相对两侧还设置有旋转轴，所述驱动机构通过所述旋转轴与所述装置框架连接。
于本申请的一实施例中，所述驱动机构还包括伺服电机和连轴器，所述伺服电机的输出轴通过所述连轴器与所述旋转轴连接。
于本申请的一实施例中，所述翻转装置用于夹持翻转的基板包括柔性显示基板或者刚性显示基板。
本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：
本申请实施例通过在装置框架的容置空间内设置相对的第一工作台及第二工作台，并且第二工作台能够相对于第一工作台运动以夹持固定基板，再由驱动机构驱动装置框架翻转以带动基板实现翻转。由于两个工作台对基板进行夹持固定，使得基板在翻转过程中比较平稳，以及确保基板不会脱落以及发生位移，从而提高安全性及产品良率；由于两个工作台的夹持作用，能有效防止柔性基板及刚性基板脱落的情况发生，因此能够同时兼容柔性基板及刚性基板，从而提高翻转装置的适用范围。进一步的，由于不需要安装升降平台，传输装置可以在基板翻转完成后直接由第二工作台上取走基板，因此不仅能提高工作效率，而且由于结构简单可靠，能有效降低应用及维护成本。
本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1为本申请实施例提供的一种翻转装置的结构示意图；
图2为本申请实施例提供的一种第一工作台的结构示意图；
图3为本申请实施例提供的一种第二工作台的结构示意图；
图4为本申请实施例提供的一种装置框架与伸缩机构配合的结构示意图；
图5A为本申请实施例提供的一种翻转装置的待机状态的结构示意图；
图5B为本申请实施例提供的一种翻转装置的夹持状态的结构示意图；
图5C为本申请实施例提供的一种翻转装置的翻转状态的结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。
本申请实施例提供了一种翻转装置，用于对半导体设备中的基板进行夹持翻转，该翻转装置的结构示意图如图1所示，包括：装置框架1、第一工作台2、第二工作台3及驱动机构4；装置框架1具有容置空间11；第一工作台2设置于容置空间11内，且与装置框架1固定设置，第一工作台2用于承载基板；第二工作台3设置于容置空间11内，且与第一工作台2相对，第二工作台3可相对第一工作台2运动以将基板夹持于二者之间；驱动机构4与装置框架1传动连接，用于驱动装置框架1旋转，以带动第一工作台2、第二工作台3以及夹持在二者之间的基板翻转。
如图1所示，装置框架1具体由多个铝合金材质制成的杆状结构组成，多个杆状结构组合为立方体结构，并且合围成容置空间11。第一工作台2设置于容置空间11内并且与装置框架1的一个侧边连接，第一工作台2可以用于承载基板。第二工作台3同样设置于容置空间11的内部并且与装置框架1的另一侧边连接，且装置框架1中与第一工作台2连接的一侧与装置框架1中与第一工作台3连接的另一侧,二者相对,也即第一工作台2及第二工作台3相对的设置于容置空间11内部，第二工作台3能够相对于第一工作台2运动以将基板夹持于二者之间。但是由于装置框架1整体会发生翻转，因此本申请实施例并不以此为限，例如第一工作台2也可以与装置框架1的顶部连接，而第二工作台3可以与装置框架1的底部连接。驱动机构4与装置框架1的一侧连接，例如驱动机构4设置于装置框架1一侧的中部位置，用于驱动装置框架1翻转。在实际应用时，传输装置可以将基板输送至容置空间11内，并且放置于第一工作台2上，然后第二工作台3相对于第一工作台2运动以将基板夹持固定，然后驱动机构4通过驱动装置框架1翻转以带动基板实现180度翻转，但是本申请实施例并不限定具体翻转角度，本领域技术员可以根据实际情况自行调整设置。
本申请实施例通过在装置框架的容置空间内设置相对的第一工作台及第二工作台，并且第二工作台能够相对于第一工作台运动以夹持固定基板，再由驱动机构驱动装置框架翻转以带动基板实现翻转。由于两个工作台对基板进行夹持固定，使得基板在翻转过程中比较平稳，以及确保基板不会脱落以及发生位移，从而提高安全性及产品良率；由于两个工作台的夹持作用，能有效防止柔性基板及刚性基板脱落的情况发生，因此能够同时兼容柔性基板及刚性基板，从而提高翻转装置的适用范围。进一步的，由于不需要安装升降平台，传输装置可以在基板翻转完成后直接由第二工作台上取走基板，因此不仅能提高工作效率，而且由于结构简单可靠，能有效降低应用及维护成本。
需要说明的是，本申请实施例并不限定装置框架1的材质及具体结构，例如其还可以采用其它轻质金属材质制成的其它形状，同样能实现结构简单且轻量化的需求，因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中，翻转装置还包括伸缩机构5，第二工作台3通过伸缩机构5设置于装置框架1上，伸缩机构5用于驱动第二工作台3向第一工作台2运动以夹持基板。
如图1所示，第二工作台3可以通过伸缩机构5设置于装置框架1上。在实际应用过程中，传输装置可将基板直接放置第一工作台2上，此时伸缩机构5驱动第二工作台3向第一工作台2运动以配合夹持基板。采用上述设计，由于仅在第二工作台3与装置框架1之间设置有伸缩机构5，使得本申请实施例结构简单，从而大幅降低应用及维护成本，进而有效提高本申请实施例的经济效益。但是本申请实施例并不以此为限，例如伸缩机构5可以设置于第一工作台2与装置框架1之间，用于驱动第一工作台2运动，或者第一工作台2及第二工作台3均通过伸缩机构5设置于装置框架1上，因此本领域技术人员可以根据实际情况自行调节设置。
于本申请的一实施例中，第一工作台2包括第一平台框架20和设置在第一平台框架20上的多个第一吸附组件21，且多个第一吸附组件21的第一吸附面平齐设置；第二工作台3包括第二平台框架30和设置在第二平台框架30上的多个第二吸附组件31，且多个第二吸附组件31的第二吸附面平齐设置；第一吸附面与第二吸附面相对。
如图1至图3所示，第一平台框架20具体采用铝合金材质制成的板状结构。第一平台框架20具体通过第一支撑架22与装置框架1连接，第一支撑架22同样采用铝合金材质制成，其主要作用在于支撑及定位第一平台框架20。第一平台框架20、第一支撑架22及装置框架1之间的连接方式为螺栓连接或者铆接等方式，但是本申请实施例并不以此为限。多个第一吸附组件21均匀分布于第一平台框架20上，并且多个第一吸附组件21的第一吸附面均沿水平方向平齐设置。第二平台框架30具体采用铝合金材质制成的板状结构。第二平台框架30通过伸缩机构5与装置框架1连接，第二平台框架30与伸缩机构5之间的连接方式为螺栓连接或铆接等方式，但是本申请实施例并不以此为限。多个第二吸附组件31均匀分布于第二平台框架30上，并且多个第二吸附组件31的第二吸附面同样沿水平方向平齐设置。第一吸附组件21的第一吸附面与第二吸附组件31的第二吸附面相对设置，以用于分别吸附基板的正反两面。采用上述设计，由于设置有第一吸附组件21及第二吸附组件31，能进一步提高夹持基板的稳定性，从而有效防止基板脱落及位移。此外,当传输装置向第一工作台2上放置基板时，由于第一吸附组件21的吸附作用，使得基板更加容易由传输装置上分离，避免由于静电等原因导致基板与传输装置之间粘连，因此不仅能提高本申请实施例的易用性，还能有效提高工作效率。
于本申请的一实施例中，第一吸附组件21包括具有真空腔体的刚性吸附件211和第一支撑杆212，刚性吸附件211通过第一支撑杆212固定在第一平台框架20上。
如图1至2所示，刚性吸附件211具体采用超高分子聚乙烯制成的真空腔体，刚性吸附件211的顶面即为第一吸附面，该第一吸附面上可以均布有多个气孔以便于吸附基板。采用上述材质不仅能有效延长刚性吸附件21的寿命，而且还能避免对基板造成磨损。第一支撑杆212可以采用铝合金材质制成的杆状结构，多个第一支撑杆212均匀分布于第一平台框架20上，多个刚性吸附件211分别位于多个第一支撑杆212的顶部上，两者之的可以采用粘接或螺栓等连接方式。采用上述设计，不仅使得本申请实施例结构简单，而且能有效防止传输装置与第一工作台2发生干涉。进一步的，刚性吸附件211的气管可以经由第一支撑杆212内部导出，从而使得第一工作台2的结构更加简单易用。
于本申请的一实施例中，第二吸附组件31包括柔性真空吸盘311和第二支撑杆312，柔性真空吸盘311通过第二支撑杆312设置于第二平台框架30上。
如图1及图3所示，柔性真空吸盘311具体采用硅胶或橡胶材质制成的吸盘结构，柔性真空吸盘311的底部边缘构成第二吸附面。采用该设计，使得第二工作台3在下压的过程中，柔性真空吸盘311可以起到一定的缓冲作用，从而避免损伤基板。第二支撑杆312同样可以采用铝合金材质制成的杆状结构，多个第二支撑杆312均匀分布于第二平台框架30上，多个柔性真空吸盘311分别位于多个第二支撑杆312的顶部上，两者之的可以采用粘接或卡接等连接方式。采用该设计，不仅使得本申请实施例结构简单，而且能有效防止传输装置与第二工作台3发生干涉。进一步的，柔性真空吸盘311的气管可以经由第二支撑杆312内部导出，从而使得第二工作台3的结构更加简单易用。结合上述实施例，第一吸附组件21为刚性结构，能提高对柔性基板及刚性基板的承载性，而第二吸附组件31向采用柔性结构，能避免伸缩机构5的冲击力造成基板损坏，从而有效提高本申请实施例的安全性及兼容性。但是本申请实施例并不以此为限，例如第一吸附组件及第二吸附组件的结构及性质还可以互换，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中，伸缩机构5包括固定板51、连接板52、导向杆53及驱动源54；固定板51设置于装置框架1上，连接板52设置于第二工作台3上，多个导向杆53穿设于固定板51上，并且一端与连接板52固定连接，用于对第二工作台3运动方向进行引导；驱动源54设置于固定板51上，用于通过连接板52带动第二工作台3运动。
如图1及图4所示，固定板51及连接板52均采用铝合金材质制成的板状结构，其中固定板51采用螺栓连接或铆接的方式设置于装置框架1的顶部，而连接板52同样采用螺栓连接或铆接的方式设置于第二工作台3的第二平台框架30顶部。多个导向杆53均采用铝合金材质制成的圆柱形结构，四个导向杆53分别固定设置于连接板52靠近四角的位置上，并且对应的穿设于固定板51上，用于对第二工作台3的运动方向进行引导。驱动源54设置于固定板51上，并且与连接板52传动连接。驱动源位于装置框架1的顶部外侧，能大幅节省装置框架1内部空间，从而提高拆装维护的便捷性。在多个导向杆53限位导向作用下，驱动源54通过连接板52带动第二工作台3沿竖直方向运动，以使得第二工作台3在夹持基板时压力更加均匀，从而避免损坏基板，进而有效提高产品的良率。
需要说明的是，本申请实施例并不限定伸缩机构5的具体实施方式，例如其可以包括有直线导轨以及滑块，第二工作台3通过滑块滑设于直线导轨上，再由驱动源54驱动同样能实现上述技术效果。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中，如图1所示，驱动源54包括气缸或者液压缸。可选地，驱动源54的通过浮动接头与连接板52活动连接。采用上述设计，驱动源54采用浮动接头53与连接板52连接，不仅便于驱动源54与连接板52的安装，而且浮动接头还能吸收伸缩机构5的误差，使得结构设计更加合理易用，从而有效降低故障率且延长使用寿命。
于本申请的一实施例中，装置框架1的相对两侧还设置有旋转轴12，驱动机构4通过旋转轴12与装置框架1连接。这里涉及的装置框架1的相对两侧,区别于装置框架1的与第一工作台3以及与第一工作台3连接的两侧.
如图1及、图4及图5C所示，翻转装置还可以包括有一支架6，支架6具体采用金属材质制成的支撑结构。装置框架1的左右两侧还设置有旋转轴12，两个旋转轴12均通过轴承设置于支架6的顶部，装置框架1可位于支架6中间位置，并且能自由翻转。驱动机构4可以设置于装置框架1的右侧，或者驱动机构4也可以设置于装置框架1左侧，本申请实施例并不以此为限。驱动机构4与旋转轴12连接，驱动机构4通过驱动旋转轴12以带动整个装置框架1翻转，从而实现带动基板翻转的目的。采用上述设计，不仅使得本申请实施例结构简单，而且能有效降低应用及维护成本。
需要说明的是，本申请实施例并非必须包括有支架6，例如翻转装置可以直接设置于其它工作台或者半导体设备上。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调节设置。
于本申请的一实施例中，如图1所示，驱动机构4还包括伺服电机41和连轴器42，伺服电机41的输出轴411通过连轴器42与旋转轴12连接。伺服电机41的输出轴411通过连轴器42与旋转轴12连接，连轴器42用于吸收振动、补偿径向和角向偏差，从而提高装置框架1的翻转精度。进一步的，由于伺服电机41的控制精度较高，因此能大幅提升翻转精度。
于本申请的一实施例中，翻转装置用于夹持翻转的基板包括柔性显示基板或者刚性显示基板。
在实际应用中，结合参照如图1至图5C所示，当翻转装置处于待机状态下，伸缩机构5呈收缩状态，第一工作台2和第二工作台3分开，传输装置200可以将柔性的基板100送入容置空间11内，并且放置于第一工作台2上，具体如图5A所示。传输装置200与基板100脱离后，第一工作台2立即施加真空，第一吸附组件21将基板100吸附并固定在第一工作台2上，同时伸缩机构5的驱动第二工作台3下降以将基板100夹持并固定，此时翻转装置处于夹持状态，具体如图5B所示。当第一工作台2与第二工作台3完成对基板100的夹持后，通过驱动机构4带动装置框架1执行翻转动作，此时翻转装置处于翻转状态，具体如图5C所示。当装置框架1完成翻转后，第一工作台2释放真空，并且伸缩机构5驱动第二工作台3下降，以使得第二工作台3与第一工作台2分离，此时基板100被吸附固定在第二工作台3上，传输装置200伸入到基板100的下方，然后第二工作台3释放真空，使基板100落在传输装置200上以取走基板100。由于刚性基板翻转流程与柔性基板翻转流程类似，因此不再赘述。
应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：
本申请实施例通过在装置框架的容置空间内设置相对的第一工作台及第二工作台，并且第二工作台能够相对于第一工作台运动以夹持固定基板，再由驱动机构驱动装置框架翻转以带动基板实现翻转。由于两个工作台对基板进行夹持固定，使得基板在翻转过程中比较平稳，以及确保基板不会脱落以及发生位移，从而提高安全性及产品良率；由于两个工作台的夹持作用，能有效防止柔性基板及刚性基板脱落的情况发生，因此能够同时兼容柔性基板及刚性基板，从而提高翻转装置的适用范围。进一步的，由于不需要安装升降平台，传输装置可以在基板翻转完成后直接由第二工作台上取走基板，因此不仅能提高工作效率，而且由于结构简单可靠，能有效降低应用及维护成本。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
Claims (10)
1.一种翻转装置，用于对半导体设备中的基板进行夹持翻转，其特征在于，包括：装置框架、第一工作台、第二工作台及驱动机构；
所述装置框架内具有容置空间；
所述第一工作台设置于所述容置空间内，且与所述装置框架固定设置，所述第一工作台用于承载所述基板；
所述第二工作台设置于所述容置空间内，且与所述第一工作台相对，所述第二工作台可相对所述第一工作台运动以将所述基板夹持于二者之间；
所述驱动机构与所述装置框架传动连接，用于驱动所述装置框架旋转，以带动所述第一工作台、所述第二工作台以及夹持在二者之间的所述基板翻转。
2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述翻转装置还包括伸缩机构，所述第二工作台通过所述伸缩机构设置于所述框架上，所述伸缩机构用于驱动所述第二工作台向所述第一工作台运动以夹持所述基板。
3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述第一工作台包括第一平台框架和设置在所述第一平台框架上的多个第一吸附组件，且多个所述第一吸附组件的第一吸附面平齐；所述第二工作台包括第二平台框架和设置在所述第二平台框架上的多个第二吸附组件，且多个所述第二吸附组件的第二吸附面平齐；所述第一吸附面与所述第二吸附面相对。
4.根据权利要求3所述的翻转装置，其特征在于，所述第一吸附组件包括具有真空腔体的刚性吸附件和第一支撑杆，所述刚性吸附件通过所述第一支撑杆固定在所述第一平台框架上。
5.根据权利要求3所述的翻转装置，其特征在于，所述第二吸附组件包括柔性真空吸盘和第二支撑杆，所述柔性真空吸盘通过所述第二支撑杆设置于所述第二平台框架上。
6.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述伸缩机构包括固定板、连接板、导向杆及驱动源；所述固定板设置于所述装置框架上，所述连接板设置于所述第二工作台上，多个所述导向杆穿设于所述固定板上，并且一端与所述连接板固定连接，用于对所述第二工作台运动方向进行引导；所述驱动源设置于所述固定板上，用于通过所述连接板带动所述第二工作台运动。
7.根据权利要求6所述的翻转装置，其特征在于，所述驱动源包括气缸或者液压缸。
8.根据权利要求1至7的任一所述的翻转装置，其特征在于，所述装置框架的相对两侧还设置有旋转轴，所述驱动机构通过所述旋转轴与所述装置框架连接。
9.根据权利要求8所述的翻转装置，其特征在于，所述驱动机构还包括伺服电机和连轴器，所述伺服电机的输出轴通过所述连轴器与所述旋转轴连接。
10.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述翻转装置用于夹持翻转的基板包括柔性显示基板或者刚性显示基板。
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