WO2011096033A1 - 搬送装置 - Google Patents

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WO2011096033A1
WO2011096033A1 PCT/JP2010/006724 JP2010006724W WO2011096033A1 WO 2011096033 A1 WO2011096033 A1 WO 2011096033A1 JP 2010006724 W JP2010006724 W JP 2010006724W WO 2011096033 A1 WO2011096033 A1 WO 2011096033A1
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holding mechanism
connecting member
holding
display panel
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PCT/JP2010/006724
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French (fr)
Inventor
西岡忠司
Original Assignee
シャープ株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/06—Safety devices
    • B25J19/063—Safety devices working only upon contact with an outside object

Definitions

  • the present invention relates to a transfer device for transferring a workpiece such as a liquid crystal display panel.
  • Patent Document 1 discloses a transport device that holds the upper surface of a liquid crystal display panel by suction and hangs and transports the panel.
  • FIGS. 7 and 8 are side views showing a schematic configuration of the transport apparatus.
  • the transport device 100 includes a rail portion 101 that extends in the horizontal direction, a drive portion 102 that is guided by the rail portion 101 and is movable in the horizontal direction, and a vertical movement that is provided in the drive portion 102.
  • the arm portion 103 is extendable and retractable, the connecting portion 104 is formed at the lower end of the arm portion 103, the hand support portion 105 is attached and fixed to the connecting portion 104, and is supported in a state suspended from the hand support portion 105.
  • the hand part 106 is provided.
  • the hand support part 105 is directly fixed to the connecting part 104 by a set screw.
  • a plurality of suction portions 107 are provided at the lower end of the hand portion 106 for holding the upper surface of the liquid crystal display panel 108 by suction.
  • the transfer device 100 extends the arm unit 103 to lower the hand unit 106 and holds the liquid crystal display panel 108 by suction.
  • the hand portion 106 holding the liquid crystal display panel 108 is raised by contracting the arm portion 103.
  • the drive unit 102 is moved in the horizontal direction along the rail unit 101, and the arm unit 103 is extended at a desired position to lower the hand unit 106.
  • the liquid crystal display panel 108 is transported to a predetermined position by opening the suction unit 107.
  • Patent Document 2 discloses a protection device for protecting the connecting portion of the arm.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing the structure of the arm connecting portion protection device 110.
  • the protection device 110 has a boot 114 that covers the outer periphery of the arm connecting portion provided with a connecting member 113 and the like for connecting the arm members 111 and 112 so as to freely bend and extend and rotate.
  • the boot 114 has a protection portion 115 that covers the outer periphery of the arm connecting member, and left and right arm attachment portions 116 and 117 that are attached to the arm members 111 and 112 are formed at both ends of the protection portion 115.
  • At least a part of the protection part 115 is formed of a bellows or the like so as to be flexible, and a bearing 118 is disposed on at least one of the arm members 111 and 112 and the left and right arm attachment parts 116 and 117. Has been. This prevents the boot 114 from being damaged without impeding the rotation and bending / extending operation of the arm members 111 and 112 that are freely connected to each other.
  • the transfer device 100 that hangs and conveys the liquid crystal display panel described above, in order to advance the automation of the manufacturing process, the work such as the liquid crystal display panel 108 is moved at high speed or the hand unit 106 is highly accurate. It is desirable to drive.
  • the mechanism of the hand unit 106 and the like becomes expensive.
  • other peripheral devices 120 such as optical devices used for various measurements are arranged around the transport apparatus 100. However, these devices are also expensive. There are many.
  • the present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to appropriately protect the main structural mechanism and peripheral devices even when the transport device malfunctions. There is.
  • the present invention is directed to a transport device including a holding mechanism that holds a workpiece and a moving mechanism that moves the holding mechanism in a suspended state.
  • the holding mechanism is connected to the moving mechanism via a connecting mechanism, and the connecting mechanism includes a first support member attached and fixed to the moving mechanism, and a second support member attached and fixed to the holding mechanism. And a connecting member that connects the first supporting member and the second supporting member, and the mechanical strength of the connecting member is smaller than the mechanical strength of each of the first supporting member and the second supporting member.
  • the connecting member is divided by an external force applied to the second support member or the holding mechanism, and is configured to separate the first support member and the second support member from each other.
  • the work is transported to a predetermined position by moving the holding mechanism that holds the work in a state of being suspended by the moving mechanism.
  • the holding mechanism and the moving mechanism are connected via a connecting mechanism, and the connecting mechanism connects the first support member attached and fixed to the moving mechanism and the second support member attached and fixed to the holding mechanism. It has a member.
  • the connecting member has a smaller mechanical strength than each of the first support member and the second support member.
  • the connecting member is divided, and the first support member and the second support member are separated from each other.
  • the connecting member when an external force is applied to the second support member or the holding mechanism, the connecting member is divided by the external force so that the first support member and the second support member are separated from each other. Even if the second support member or the holding mechanism collides with surrounding devices during the transfer of the workpiece due to the malfunction of the holding mechanism, the impact force can be absorbed by the connecting member.
  • the moving mechanism and peripheral devices can be appropriately protected.
  • FIG. 1 is a front view illustrating an appearance of the transport apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a front view showing a partially broken structure of the coupling mechanism.
  • FIG. 3 is a top view showing the appearance of the coupling mechanism.
  • FIG. 4 is an exploded front view showing the constituent members of the coupling mechanism in a partially broken view.
  • FIG. 5 is a top view showing the appearance of the connecting member.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing the structure of the connecting member.
  • FIG. 7 is a side view showing a schematic configuration of a transfer apparatus which is a related technique.
  • FIG. 8 is a side view showing a transfer device that has collided with a peripheral device as a related technique.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional arm connecting portion protection device.
  • Embodiment 1 of the Invention 1 to 6 show Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 1 is a front view showing an appearance of the transfer apparatus 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a front view showing a partially broken structure of the coupling mechanism 13.
  • FIG. 3 is a top view showing the appearance of the coupling mechanism 13.
  • FIG. 4 is an exploded front view showing the constituent members of the coupling mechanism 13 with a part broken away.
  • FIG. 5 is a top view showing the appearance of the connecting member 17.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing the structure of the connecting member 17.
  • the upper side in FIGS. 1, 2 and 4 is referred to as “upper side”, and the lower side in FIG. 1 is referred to as “lower side”.
  • the transport apparatus 1 includes a holding mechanism 11 that holds a liquid crystal display panel 10 as a work, and a moving mechanism 12 that moves the holding mechanism 11 in a suspended state. Yes.
  • the holding mechanism 11 is connected to the moving mechanism 12 via a connecting mechanism 13.
  • the liquid crystal display panel 10 is suspended and transported.
  • the moving mechanism 12 includes a rail portion 31 that extends in the horizontal direction, a drive portion 32 that is guided by the rail portion 31 so as to be movable in the horizontal direction, and an arm portion 33 that is provided in the drive portion 32 and can be vertically expanded and contracted. And have.
  • the drive unit 32 is configured to move along the rail unit 31 and to drive the arm unit 33 to extend and contract.
  • the arm portion 33 is formed as a cylindrical rod.
  • the holding mechanism 11 includes a plurality of hand portions 25 that hold the liquid crystal display panel 10 by suction.
  • a plurality of suction pads 26 for sucking and holding the upper surface of the liquid crystal display panel 10 are provided at the lower ends of the respective hand portions 25.
  • connection mechanism 13 includes a first support member 15 attached and fixed to the arm portion 33 of the moving mechanism 12, a second support member 16 attached and fixed to the holding mechanism 11, and the first support member 15 and the second support member. 16 and a connecting member 17 that connects 16.
  • the first support member 15 is made of a metal material, and as shown in FIGS. 2 to 4, a main body portion 35 formed of a disk-shaped member having a predetermined thickness, and projects from the center of the upper surface of the main body portion 35.
  • the boss portion 36 is formed.
  • the boss portion 36 and the main body portion 35 are integrally formed.
  • the boss 36 is inserted into a hole (not shown) formed at the lower end of the arm 33. As a result, the first support member 15 is attached to the arm portion 33.
  • the main body portion 35 of the boss portion 36 is formed with a first hole portion 37 opened on the upper surface side and a second hole portion 38 opened on the lower surface side at a position concentric with the first hole portion 37. Yes.
  • the first hole portion 37 and the second hole portion 38 communicate with each other, and penetrate the main body portion 35 in the thickness direction as a whole.
  • the second support member 16 is made of a metal material, and is formed of a plate-like member as shown in FIGS.
  • the plurality of hand portions 25 are attached and fixed to the end portion of the second support member 16.
  • the second support member 16 has a third hole portion 41 opened on the upper surface side, and a fourth hole portion 42 opened on the lower surface side at a position concentric with the third hole portion 41. And are formed.
  • the third hole 41 and the fourth hole 42 communicate with each other, and penetrate the second support member 16 in the thickness direction as a whole.
  • the connecting member 17 is formed of a cylindrical member having a through hole 20 formed therein, and is formed of a resin material such as phenol resin, for example. Further, a thread 23 is formed on the inner peripheral surface of the through hole 20 of the connecting member 17.
  • the first end 21 of the connecting member 17 is inserted into the second hole 38 in the main body 35 of the first support member 15 and is inserted into the first hole 37.
  • the first support member 15 is fastened and fixed by a set screw 39. That is, the shaft 40 of the first set screw 39 is screwed into one end side of the through hole 20 as a screw hole.
  • the other end 22 of the connecting member 17 is inserted into the third hole 41 of the second support member 16 and fastened to the second support member 16 by the second set screw 43 inserted into the fourth hole 42. It is fixed. That is, the shaft 44 of the second set screw 43 is screwed into the other end side of the through hole 20 as a screw hole.
  • the first support member 15 and the second support member 16 are connected via the connecting member 17.
  • the tip of the first set screw 39 on the shaft 40 inside the connection member 17, the tip of the first set screw 39 on the shaft 40, and the second A predetermined gap 45 is formed between the tip of the set screw 43 and the shaft 44. At least a part of the gap 45 is arranged at a height position between the lower surface of the main body 35 and the upper surface of the second support member 16 in the first support member 15.
  • the mechanical strength of the connecting member 17 made of, for example, a resin material is smaller than the mechanical strength of each of the first support member 15 and the second support member 16 made of, for example, a metal material.
  • the connecting member 17 is divided by the external force applied to the second support member 16 or the holding mechanism 11 and is configured to separate the first support member 15 and the second support member 16 from each other.
  • the transport apparatus 1 moves the driving unit 32 of the moving mechanism 12 in the horizontal direction along the rail unit 31 and moves the hand unit 25 of the holding mechanism 11 to the receiving position of the liquid crystal display panel 10.
  • the drive unit 32 extends and drives the contracted arm unit 33 at the receiving position, and brings the hand unit 25 close to the liquid crystal display panel 10 disposed below the arm unit 33.
  • the drive unit 32 drives the arm unit 33 to contract and raises and lifts the liquid crystal display panel 10.
  • the transport device 1 moves the driving unit 32 in the horizontal direction along the rail unit 31, and causes the hand unit 25 holding the liquid crystal display panel 10 to be sucked and held on the liquid crystal display panel 10.
  • the driving unit 32 extends and drives the contracted arm unit 33 at the delivery position, and places the liquid crystal display panel 10 on a stage (not shown) below the driving unit 32.
  • the driving unit 32 drives the arm unit 33 to contract and raises the hand unit 25.
  • connection member 17 since the connecting member 17 has a smaller mechanical strength than each of the first support member 15 and the second support member 16, the external force applied to the second support member 16 or the holding mechanism 11 due to the collision described above.
  • the connection member 17 is divided, and the first support member 15 and the second support member 16 are separated from each other.
  • the impact force is absorbed by the division or breakage of the connecting member 17, and thus the main part of the transportation device.
  • the holding mechanism 11, the moving mechanism 12, and the peripheral devices, which are constituent mechanisms, are appropriately protected from the impact force caused by the collision.
  • the connecting member 17 has a mechanical strength smaller than each of the first support member 15 and the second support member 16, and at least a part of the gap 45 formed inside the connecting member 17 is Since the first support member 15 is disposed at a height position between the lower surface of the main body 35 and the upper surface of the second support member 16, the external force applied to the second support member 16 or the holding mechanism 11 due to the collision described above.
  • the connection member 17 itself can be divided, and the first support member 15 and the second support member 16 can be separated from each other.
  • the impact force can be absorbed by the division or breakage of the connecting member 17, so The holding mechanism 11 and the moving mechanism 12, which are constituent mechanisms, and peripheral devices can be appropriately protected from the impact force caused by the collision.
  • the connecting member 17 is constituted by a cylindrical member, and one end side thereof is fastened and fixed to the first support member 15 while the other end side is fastened and fixed to the second support member 16.
  • the connecting member 17 that can be separated by the external force while connecting the 15 and the second support member 16 can be suitably obtained.
  • first support member 15 and the second support member 16 are made of a metal material, and the connecting member 17 is made of a resin material, their mechanical strength can be easily made different.
  • the liquid crystal display can be performed while protecting the main structural mechanism and peripheral devices of the transfer device 1.
  • the panel 10 can be conveyed suitably.
  • the connecting member 17 is made of a resin material.
  • the connecting member 17 may be made of other materials as long as it has a lower mechanical strength than the first support member 15 and the second support member 16. Good.
  • the shape of the connecting member 17 is not limited to the cylindrical member as described above, and if the mechanical strength of the connecting member 17 is sufficiently low, a solid configuration without the gap 45 may be adopted. Is possible.
  • the holding mechanism 11 is not limited to a mechanism that vacuum-sucks the workpiece such as the liquid crystal display panel 10 as described above, and may be a mechanism that clamps and holds the workpiece.
  • liquid crystal display panel not only the liquid crystal display panel but also other display panels such as an organic EL display panel and general substrates such as a glass substrate can be applied as the work conveyed by the holding mechanism 11.
  • the present invention is useful for a transport device that transports a workpiece such as a liquid crystal display panel.

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Abstract

　搬送装置は、ワークを保持する保持機構を吊り下げた状態で移動させる移動機構を備える。保持機構と移動機構とを連結する連結機構は、移動機構に取付固定された第１支持部材と、保持機構に取付固定された第２支持部材と、第１及び第２支持部材を連結する連結部材とを有している。連結部材の機械的強度は、第１及び第２支持部材よりもそれぞれ小さく、連結部材は、第２支持部材又は保持機構に加わった外力によって分断され、第１及び第２支持部材を互いに分離するように構成されている。

Description

搬送装置
　本発明は、例えば液晶表示パネル等のワークを搬送する搬送装置に関するものである。
　一般に、例えば液晶表示パネル等の表示パネルを、その製造工程において吸着又はクランプにより保持しつつ搬送する搬送装置が知られている。例えば特許文献１には、液晶表示パネルの上面を吸着保持し、当該パネルを吊り下げて搬送する搬送装置が開示されている。
　ここで、液晶表示パネルを吊り下げて搬送する搬送装置について、図７及び図８を参照して説明する。図７及び図８は、搬送装置の概略構成を示す側面図である。
　図７に示すように、搬送装置１００は、水平方向に延びるレール部１０１と、レール部１０１に案内されて水平方向に移動可能に設けられた駆動部１０２と、駆動部１０２に設けられて上下に伸縮可能なアーム部１０３と、アーム部１０３の下端に形成された連結部１０４と、連結部１０４に取付固定されたハンド支持部１０５と、ハンド支持部１０５に吊り下げられた状態で支持されたハンド部１０６とを備えている。
　ハンド支持部１０５は、止めネジによって直接に連結部１０４に取付固定されている。ハンド部１０６の下端には、液晶表示パネル１０８の上面を吸着保持するための複数の吸着部１０７が設けられている。
　そうして、搬送装置１００は、アーム部１０３を伸張させることによりハンド部１０６を下降させて液晶表示パネル１０８を吸着保持する。次に、アーム部１０３を収縮させることにより、液晶表示パネル１０８を吸着保持しているハンド部１０６を上昇させる。続いて、駆動部１０２をレール部１０１に沿って水平方向に移動させ、所望の位置において、アーム部１０３を伸張させてハンド部１０６を下降させる。その後、吸着部１０７を開放することにより液晶表示パネル１０８を所定の位置に搬送する。
　ところで、特許文献２には、アームの連結部を保護するための保護装置が開示されている。図９は、アーム連結部の保護装置１１０の構造を示す断面図である。
　保護装置１１０は、屈伸及び回転が自在に各アーム部材１１１，１１２を連結する連結部材１１３等が配設されたアーム連結部の外周を覆うブーツ１１４を有している。このブーツ１１４は、アーム連結部材の外周を覆う保護部１１５を有し、この保護部１１５の両端部には各アーム部材１１１，１１２に取り付けられる左右アーム取付部１１６，１１７が形成されている。
　そして、少なくとも保護部１１５の一部が蛇腹等で可撓性を有して形成され、各アーム部材１１１，１１２と左右アーム取付部１１６，１１７との間の少なくとも一方にはベアリング１１８が配設されている。そのことにより、回転及び屈伸が自在に連結されたアーム部材１１１，１１２の回転及び屈伸作動を阻害することなく、且つ、ブーツ１１４を損傷させないようにしている。
特開平１１－２５４３６６号公報 特開平０８－２９４８９３号公報
　ここで、上述の液晶表示パネルを吊り下げて搬送する搬送装置１００については、製造工程の自動化を進めるために、上記液晶表示パネル１０８等のワークを高速に移動させたり、高精度にハンド部１０６を駆動することが望ましい。
　ところが、上記ハンド部１０６及び駆動部１０２等を高速で移動しながらも高精度に駆動可能な構成とすると、これらのハンド部１０６等の機構が高価なものとなってしまう。また、通常、搬送装置１００の周辺には、図８に示すように、各種の計測に用いられる光学式機器等の他の周辺機器１２０が配置されているが、これらの機器も高価であることが多い。
　このような装置構成において、搬送装置は、その駆動部等が誤動作することによって、高価な上記ハンド部等が、他の周辺機器に衝突して破損する虞がある。このような誤動作の原因としては、作業者が搬送先の位置や移動速度等の設定値を誤って入力してしまったり、搬送装置の制御ソフト自体に誤りがあることが考えられる。
　一方、上記特許文献２に開示されているように、２つの部材を屈伸及び回転自在に連結する連結部材を設けることにより、上記衝突によってハンド部等が受ける衝撃を緩和することが考えられる。ところが、このような連結部材を設けた場合であっても、ハンド部等を保護できる誤動作の範囲は、最大限でも図９における幅Ａの範囲に限定されてしまう。
　本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、搬送装置が誤動作した場合であっても、その主要な構成機構、及び周辺機器を適切に保護しようとすることにある。
　上記の目的を達成するために、本発明は、ワークを保持する保持機構と、上記保持機構を吊り下げた状態で移動させる移動機構とを備えた搬送装置を対象としている。
　そして、上記保持機構は、上記移動機構に連結機構を介して連結され、上記連結機構は、上記移動機構に取付固定された第１支持部材と、上記保持機構に取付固定された第２支持部材と、上記第１支持部材及び第２支持部材を連結する連結部材とを有し、上記連結部材の機械的強度は、上記第１支持部材及び第２支持部材のそれぞれの機械的強度よりも小さくなっており、上記連結部材は、上記第２支持部材又は上記保持機構に加わった外力によって分断され、上記第１支持部材及び第２支持部材を互いに分離するように構成されている。
　　　－作用－
　次に、本発明の作用について説明する。
　本発明に係る搬送装置によれば、ワークを保持する保持機構が、移動機構によって吊り下げられた状態で移動されることにより、ワークが所定位置に搬送される。保持機構と移動機構とは、連結機構を介して連結され、当該連結機構が、移動機構に取付固定された第１支持部材と、保持機構に取付固定された第２支持部材とを連結する連結部材を有している。連結部材は、第１支持部材及び第２支持部材のそれぞれよりも小さい機械的強度を有している。
　そのため、搬送装置の誤作動により、例えばワークの搬送中に第２支持部材又は保持機構が周囲の機器に衝突して、その第２支持部材又は保持機構に外力が加わった場合、その外力によって上記連結部材が分断され、第１支持部材及び第２支持部材が互いに分離することとなる。
　したがって、ワークの搬送中に第２支持部材又は保持機構が周囲の機器に衝突したとしても、その衝撃力が連結部材によって吸収されるため、搬送装置の主要な構成機構である保持機構及び移動機構や、周辺機器を適切に保護することが可能となる。
　本発明によれば、第２支持部材又は保持機構に外力が加わった場合、その外力によって連結部材が分断され、第１支持部材及び第２支持部材が互いに分離されるようにしたので、搬送装置の誤作動により、ワークの搬送中に第２支持部材又は保持機構が周囲の機器に衝突したとしても、その衝撃力を連結部材によって吸収できるため、搬送装置の主要な構成機構である保持機構及び移動機構や、周辺機器を適切に保護することができる。
図１は、本実施形態１の搬送装置の外観を示す正面図である。 図２は、連結機構の構造を一部破断して示す正面図である。 図３は、連結機構の外観を示す上面図である。 図４は、連結機構の構成部材を一部破断して示す分解正面図である。 図５は、連結部材の外観を示す上面図である。 図６は、連結部材の構造を示す断面図である。 図７は、関連技術である搬送装置の概略構成を示す側面図である。 図８は、関連技術である周辺機器に衝突した搬送装置を示す側面図である。 図９は、従来のアーム連結部の保護装置の構造を示す断面図である。
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
　《発明の実施形態１》
　図１～図６は、本発明の実施形態１を示している。
　図１は、本実施形態１の搬送装置１の外観を示す正面図である。図２は、連結機構１３の構造を一部破断して示す正面図である。図３は、連結機構１３の外観を示す上面図である。また、図４は、連結機構１３の構成部材を一部破断して示す分解正面図である。図５は、連結部材１７の外観を示す上面図である。図６は、連結部材１７の構造を示す断面図である。
　本実施形態１では、図１、図２及び図４における上側を「上側」とし、同図で下側を「下側」と称する。
　本実施形態１の搬送装置１は、図１に示すように、ワークとしての液晶表示パネル１０を保持する保持機構１１と、保持機構１１を吊り下げた状態で移動させる移動機構１２とを備えている。保持機構１１は、移動機構１２に連結機構１３を介して連結されている。そうして、この液晶表示パネル１０を吊り下げて搬送するように構成されている。
　移動機構１２は、水平方向に延びるレール部３１と、レール部３１に案内されて水平方向に移動可能に設けられた駆動部３２と、駆動部３２に設けられて上下に伸縮可能なアーム部３３とを有している。駆動部３２は、レール部３１に沿って移動すると共に、アーム部３３を伸縮駆動するように構成されている。アーム部３３は円柱状のロッドに形成されている。
　保持機構１１は、液晶表示パネル１０を吸着保持する複数のハンド部２５によって構成されている。各ハンド部２５の下端には、液晶表示パネル１０の上面を吸着保持するための複数の吸着パッド２６がそれぞれ設けられている。
　連結機構１３は、移動機構１２のアーム部３３に取付固定された第１支持部材１５と、保持機構１１に取付固定された第２支持部材１６と、上記第１支持部材１５及び第２支持部材１６を連結する連結部材１７とを有している。
　第１支持部材１５は、金属材料によって構成され、図２～図４に示すように、所定の厚みを有する円板状の部材により形成された本体部３５と、本体部３５の上面中央に突出して形成されたボス部３６とを有している。ボス部３６と本体部３５とは一体に形成されている。
　ボス部３６は、上記アーム部３３の下端に形成された穴部（図示省略）に嵌挿されるようになっている。そのことにより、第１支持部材１５がアーム部３３に装着されている。
　また、ボス部３６の本体部３５には、上面側に開口された第１孔部３７と、第１孔部３７と同心位置において下面側に開口された第２孔部３８とが形成されている。第１孔部３７と第２孔部３８とは互いに連通しており、全体として本体部３５をその厚み方向に貫通している。
　第２支持部材１６は、金属材料によって構成され、図１，図２及び図４に示すように、板状の部材によって形成されている。第２支持部材１６の端部には、上記複数のハンド部２５が取付固定されている。
　また、図２に示すように、第２支持部材１６には、上面側に開口された第３孔部４１と、第３孔部４１と同心位置において下面側に開口された第４孔部４２とが形成されている。第３孔部４１と第４孔部４２とは互いに連通しており、全体として第２支持部材１６をその厚み方向に貫通している。
　連結部材１７は、図４～図６に示すように、内部に貫通孔２０が形成された筒状部材によって構成され、例えばフェノール樹脂等の樹脂材料によって形成されている。また、連結部材１７の貫通孔２０における内周面には、ねじ山２３が形成されている。
　図２及び図４に示すように、連結部材１７の一端側２１は、第１支持部材１５の本体部３５における第２孔部３８に嵌挿され、第１孔部３７に差し込まれた第１止めネジ３９によって第１支持部材１５に締結固定されている。すなわち、第１止めネジ３９の軸４０が、ネジ孔としての貫通孔２０の一端側に螺合している。
　一方、連結部材１７の他端側２２は、第２支持部材１６の第３孔部４１に嵌挿され、第４孔部４２に差し込まれた第２止めネジ４３によって第２支持部材１６に締結固定されている。すなわち、第２止めネジ４３の軸４４が、ネジ孔としての貫通孔２０の他端側に螺合している。このことにより、第１支持部材１５及び第２支持部材１６は、連結部材１７を介して連結されている。
　ここで、図２に示すように、第１支持部材１５及び第２支持部材１６が連結された状態で、連結部材１７の内部には、第１止めネジ３９の軸４０における先端と、第２止めネジ４３の軸４４における先端との間に、所定の隙間４５が形成されている。そして、隙間４５の少なくとも一部が、第１支持部材１５における本体部３５の下面と、第２支持部材１６の上面との間の高さ位置に配置されるようになっている。
　そして、上述のように、例えば樹脂材料からなる連結部材１７の機械的強度は、例えば金属材料からなる第１支持部材１５及び第２支持部材１６のそれぞれの機械的強度よりも小さくなっている。そうして、連結部材１７は、第２支持部材１６又は保持機構１１に加わった外力によって分断され、第１支持部材１５及び第２支持部材１６を互いに分離するように構成されている。
　　－搬送動作－
　次に、上記搬送装置１の搬送動作について説明する。
　搬送装置１は、移動機構１２の駆動部３２をレール部３１に沿って水平方向に移動させ、保持機構１１のハンド部２５を液晶表示パネル１０の受け取り位置に移動させる。駆動部３２は、上記受け取り位置において収縮状態のアーム部３３を伸張駆動し、その下方に配置されている液晶表示パネル１０にハンド部２５を近付ける。
　そして、ハンド部２５下端の吸着パッド２６によって、液晶表示パネル１０の上面を真空力によって吸着保持する。その後、駆動部３２はアーム部３３を収縮駆動し、液晶表示パネル１０を上昇させて吊り上げる。
　続いて、搬送装置１は、駆動部３２をレール部３１に沿って水平方向に移動させ、液晶表示パネル１０を吸着保持しているハンド部２５を、当該液晶表示パネル１０に次の処理が行われる受け渡し位置へ移動させる。駆動部３２は、上記受け渡し位置において収縮状態のアーム部３３を伸張駆動し、その下方のステージ（図示省略）に液晶表示パネル１０を載置する。次に、吸着パッド２６から液晶表示パネル１０を開放した後に、駆動部３２はアーム部３３を収縮駆動させてハンド部２５を上昇させる。
　ここで、仮に搬送装置１が誤作動して、ハンド部２５の移動中に第２支持部材１６又はハンド部２５（保持機構１１）が周辺機器（図示省略）に衝突した場合について説明する。
　この場合、連結部材１７が第１支持部材１５及び第２支持部材１６のそれぞれよりも小さい機械的強度を有しているため、上記衝突によって第２支持部材１６又は保持機構１１に加わった外力により、連結部材１７が分断され、第１支持部材１５及び第２支持部材１６が互いに分離することとなる。
　したがって、液晶表示パネル１０の搬送中に第２支持部材１６又は保持機構１１が周辺機器に衝突したとしても、その衝撃力が連結部材１７の分断又は破損によって吸収されるため、搬送装置の主要な構成機構である保持機構１１及び移動機構１２や周辺機器は、上記衝突による衝撃力から適切に保護されることとなる。
　　－実施形態１の効果－
　したがって、この実施形態１によると、仮に搬送装置１が誤作動して、ハンド部２５の移動中に第２支持部材１６又はハンド部２５（保持機構１１）が周辺機器に衝突した場合であっても、連結部材１７が第１支持部材１５及び第２支持部材１６のそれぞれよりも小さい機械的強度を有し、しかも、連結部材１７の内部に形成されている隙間４５の少なくとも一部が、第１支持部材１５における本体部３５の下面と、第２支持部材１６の上面との間の高さ位置に配置されているため、上記衝突によって第２支持部材１６又は保持機構１１に加わった外力により、連結部材１７自体を分断させ、第１支持部材１５及び第２支持部材１６を互いに分離させることができる。
　すなわち、液晶表示パネル１０の搬送中に第２支持部材１６又は保持機構１１が周辺機器に衝突したとしても、その衝撃力を連結部材１７の分断又は破損によって吸収できるため、搬送装置１の主要な構成機構である保持機構１１及び移動機構１２や周辺機器を、上記衝突による衝撃力から適切に保護することができる。
　さらに、連結部材１７を筒状部材によって構成し、その一端側を第１支持部材１５に締結固定する一方、他端側を第２支持部材１６に締結固定するようにしたので、第１支持部材１５及び第２支持部材１６を連結しながらも上記外力によって分離可能な連結部材１７を好適に得ることができる。
　さらにまた、第１支持部材１５及び第２支持部材１６を金属材料によって構成する一方、連結部材１７を樹脂材料によって構成したので、これらの機械的強度を容易に相違させることができる。
　加えて、第２支持部材１６に液晶表示パネル１０を吸着保持する複数のハンド部２５を取付固定するようにしたので、上記搬送装置１の主要な構成機構や周辺機器を保護しつつ、液晶表示パネル１０を好適に搬送することができる。
　《その他の実施形態》
　上記実施形態１では、連結部材１７を樹脂材料によって構成したが、第１支持部材１５及び第２支持部材１６のそれぞれよりも機械的強度が低い部材であれば、他の材料によって構成してもよい。
　また、連結部材１７の形状も上述のように筒状部材に限定されることはなく、連結部材１７の機械的強度が十分に低ければ、上記隙間４５を有しない中実の構成とすることも可能である。
　また、保持機構１１は、上述のように液晶表示パネル１０等のワークを真空吸着する機構に限らず、ワークをクランプして保持するような機構であってもよい。
　また、液晶表示パネルに限らず、有機ＥＬ表示パネル等の他の表示パネルや、ガラス基板等の基板一般を、上記保持機構１１によって搬送されるワークとして適用することができる。
　以上説明したように、本発明は、例えば液晶表示パネル等のワークを搬送する搬送装置について有用である。
　　　　　　１　　　搬送装置 
　　　　　１０　　　液晶表示パネル 
　　　　　１１　　　保持機構 
　　　　　１２　　　移動機構 
　　　　　１３　　　連結機構 
　　　　　１５　　　第１支持部材 
　　　　　１６　　　第２支持部材 
　　　　　１７　　　連結部材 
　　　　　２５　　　ハンド部 
　　　　　３１　　　レール部 
　　　　　３２　　　駆動部 
　　　　　３３　　　アーム部 
　　　　　３５　　　本体部 
　　　　　３６　　　ボス部 　

Claims (5)

  1. 　ワークを保持する保持機構と、
    　上記保持機構を吊り下げた状態で移動させる移動機構とを備えた搬送装置であって、
    　上記保持機構は、上記移動機構に連結機構を介して連結され、
    　上記連結機構は、上記移動機構に取付固定された第１支持部材と、上記保持機構に取付固定された第２支持部材と、上記第１支持部材及び第２支持部材を連結する連結部材とを有し、
    　上記連結部材の機械的強度は、上記第１支持部材及び第２支持部材のそれぞれの機械的強度よりも小さくなっており、
    　上記連結部材は、上記第２支持部材又は上記保持機構に加わった外力によって分断され、上記第１支持部材及び第２支持部材を互いに分離するように構成されている
    ことを特徴とする搬送装置。
  2. 　請求項１に記載された搬送装置において、
    　上記連結部材は、筒状部材によって構成され、当該連結部材の一端側が上記第１支持部材に締結固定される一方、当該連結部材の他端側が上記第２支持部材に締結固定されている
    ことを特徴とする搬送装置。
  3. 　請求項１又は２に記載された搬送装置において、
    　上記第１支持部材及び上記第２支持部材は、金属材料により構成され、
    　上記連結部材は、樹脂材料によって構成されている
    ことを特徴とする搬送装置。
  4. 　請求項１乃至３の何れか１つに記載された搬送装置において、
    　上記第２支持部材には、上記ワークを吸着保持する複数のハンド部が取付固定されている
    ことを特徴とする搬送装置。
  5. 　請求項１乃至４の何れか１つに記載された搬送装置において、
    　上記ワークは、表示パネルである
    ことを特徴とする搬送装置。
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