TWI809735B - 產業用機器人 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種產業用機器人，其具備使臂支持部件升降之升降機構和內部配置有升降機構之筐體，用於連結配置於筐體的外部之臂支持部件和升降機構之開口部形成於筐體的側面，前述產業用機器人即便可防止筐體的內部產生的塵埃從開口部流出至筐體的外部，亦可降低成本。在該產業用機器人（1）中，使臂支持部件（4）升降之升降機構（9）配置於筐體（10）的內部。在筐體（10）的側面形成有用於連結配置於筐體（10）的外部之臂支持部件（4）和配置於筐體（10）的內部之升降機構（9）之開口部（10b），在臂支持部件（4）上固定有用於塞住開口部（10b）之平板狀的罩部件（14、15）。

Description

產業用機器人
本發明係關於一種搬送半導體晶片等搬送對象物之產業用機器人。
先前，已知有一種在無塵室的內部等清潔的環境下搬送半導體晶片等之搬送機器人（基板搬送裝置）（例如，參照專利文獻1）。專利文獻1所記載之搬送機器人具備支持手及臂之臂支持部件和支持臂支持部件之支柱。臂支持部件能夠沿著支柱升降。在支柱的內部配置有使臂支持部件升降之直線引導機構。在支柱的側面形成有用於連結配置於支柱的外部之臂支持部件和配置於支柱的內部之直線引導機構之開口部。
於專利文獻1所記載之搬送機器人中，支柱的側面的開口部形成於臂支持部件升降之範圍。在該搬送機器人中，為了防止在支柱的內部產生自直線引導機構等的塵埃從支柱的開口部流出至支柱的外部，支柱的開口部被密封帶所覆蓋。密封帶配置於支柱的內部。在支柱的內部設置有用於引導密封帶之輥（滑輪）。
[現有技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本特開2008－28078號公報
[發明所要解決的問題] 在專利文獻1所記載之搬送機器人中，由於具備塞住支柱的開口部之密封帶，故在該搬送機器人中，如上所述，能夠防止於支柱的內部產生的塵埃從支柱的開口部流出至支柱的外部。又，在該搬送機器人中，為了防止支柱的內部產生的塵埃從支柱的開口部流出至支柱的外部，需要密封帶及輥，故搬送機器人的零件數量增加，搬送機器人的成本變高。
於是，本發明之課題在於提供一種產業用機器人，其具備使臂支持部件升降之升降機構和於內部配置升降機構之筐體，用於連結配置於筐體的外部之臂支持部件和升降機構之開口部形成於筐體的側面，前述產業用機器人即便可防止筐體的內部產生的塵埃從開口部流出至筐體的外部，亦可降低成本。
[解決問題的技術手段] 為了解決上述問題，本發明之產業用機器人具備臂、支持臂之臂支持部件、以及將臂支持部件保持為可升降之本體部，本體部具備使臂支持部件升降之升降機構和內部配置有升降機構之筐體，臂支持部件配置於筐體的外部，在筐體的側面形成有連結配置於筐體的外部之臂支持部件和配置於筐體的內部之升降機構之開口部，在臂支持部件或與臂支持部件一起升降且配置於筐體的內部之升降部件上固定有用於塞住開口部之平板狀的罩部件。
本發明之產業用機器人中，在臂支持部件或與臂支持部件一起升降且配置於筐體的內部之升降部件上固定有用於塞住形成於筐體的側面上的開口部之平板狀的罩部件。因此，在本發明中，使用廉價的平板狀的罩部件塞住筐體的側面的開口部，能夠防止筐體的內部產生的塵埃從開口部流出至筐體的外部。故而，在本發明中，即便可防止筐體的內部產生的塵埃從開口部流出至筐體的外部，亦可降低產業用機器人的成本。
在本發明中，理想的是，罩部件固定於臂支持部件，配置於筐體的外部。藉此，無需將罩部件的設置空間設置於筐體的內部。因此，能夠提高配置於筐體的內部之各種零件的配置的自由度，且能夠使筐體小型化。
在本發明中，理想的是，在臂支持部件上，作為罩部件，固定有用於塞住開口部的上側部分之第1罩部件和用於塞住開口部的下側部分之第2罩部件，當臂支持部件相對於筐體移動至上限位置時，第1罩部件的上端配置於比本體部的上端還靠下側，當臂支持部件相對於筐體移動至下限位置時，第2罩部件的下端配置於比本體部的下端還靠上側。若如此構成，則即使與臂支持部件一起升降之第1罩部件及第2罩部件固定於臂支持部件，亦能夠防止產業用機器人在上下方向上大型化。
[發明的效果] 如上所述，在本發明中，產業用機器人具備使臂支持部件升降之升降機構和內部配置有升降機構之筐體，用於連結配置於筐體的外部之臂支持部件和升降機構之開口部形成於筐體的側面，前述產業用機器人即便可防止筐體的內部產生的塵埃從開口部流出至筐體的外部，亦可降低產業用機器人的成本。
以下，參照圖式對本發明的實施形態進行說明。
（產業用機器人之構成）
圖1係本發明的實施形態之產業用機器人1之立體圖。圖2係圖1所示之產業用機器人1之前視圖。圖3係從圖2所示之產業用機器人1卸下罩部件14、15的狀態之前視圖。圖4係用於說明圖1所示臂支持部件4和連結部件11的連結部分的構成之概略圖。
本形態之產業用機器人1（以下，設為「機器人1」。）係用於搬送半導體晶片等搬送對象物之水平多關節型的機器人。機器人1在無塵室的內部等清潔的環境下對搬送對象物進行搬送。機器人1具備臂3、支持臂之臂支持部件4、以及將臂支持部件4保持為可升降之本體部5。在以下的說明中，將與上下方向正交之圖1等中的Ｘ方向設為「前後方向」，將與上下方向和前後方向正交之圖1等中的Ｙ方向設為「左右方向」。又，將前後方向的一方側即圖1等中的Ｘ1方向側設為「前」側，將其反對方向即圖1等中的Ｘ2方向側設為「後」側。
臂3由基端側可轉動地與臂支持部件4連結之第1臂部7和基端側可轉動地與第1臂部7的前端側連結之第2臂部8構成。即，臂3由2個臂部構成。第1臂部7的基端側與臂支持部件4的前端側可轉動地連結著。在第2臂部8的前端側，可轉動地連結有裝載搬送對象物之手（省略圖示）。此外，臂3亦可由3個以上之臂部構成。
本體部5具備用於使臂支持部件4升降之升降機構9、內部配置有升降機構9之（即，升降機構9被收容）筐體10、以及連結臂支持部件4和升降機構9之連結部件11（參照圖4）。臂支持部件4配置於筐體10的外部。又，臂支持部件4配置於筐體10的前側。即，臂支持部件4配置於本體部5的前側。臂支持部件4的左右方向的兩端部係固定於連結部件11上的被固定部4a。此外，本形態中，臂支持部件4的升降量變得比較小。例如，臂支持部件4的升降量係大約40mm。
筐體10具備構成筐體10的前側面之前表面部10a。前表面部10a形成薄的平板狀，前表面部10a的厚度方向與前後方向一致。
在前表面部10a形成有用於連結配置於筐體10的外部之臂支持部件4和配置於筐體10的內部之升降機構9之開口部10b。即，在筐體10的側面（前側面）形成有開口部10b。開口部10b形成於前表面部10a的左右方向上的兩端部。即，在前表面部10a形成有2個開口部10b。開口部10b在前後方向上貫通前表面部10a。又，開口部10b形成為於上下方向上細長的長方形狀。
連結部件11具備固定臂支持部件4之固定部11a和配置於筐體10的內部之升降部11b。固定部11a與升降部11b連接著，與升降部11b係一體。固定部11a從升降部11b的左右方向的兩端部向前側突出。又，固定部11a以於前後方向上通過開口部10b的方式配置於開口部10b。固定部11a的前端配置於比前表面部10a的前表面還靠前側。臂支持部件4的被固定部4a的後表面固定於固定部11a的前端。連結部件11與臂支持部件4一起升降。本形態的升降部11b係與臂支持部件4一起升降且配置於筐體10的內部之升降部件。
如上所述，開口部10b形成於上下方向上細長的長方形形狀。開口部10b以臂支持部件4能夠在上下方向上移動的方式形成於下方向上的固定部11a的可動範圍的大概全域。開口部10b的上端配置於比臂支持部件4配置於規定基準位置之際被固定部4a的上端及固定部11a的上端還靠上側。開口部10b的下端配置於比臂支持部件4配置於基準位置之際的被固定部4a的下端及固定部11a的下端還靠下側。
此外，臂支持部件4的被固定部4a的一部分亦能夠以於前後方向上通過開口部10b的方式配置於開口部10b。在該情況下，該被固定部4a的一部分的後端配置於比前表面部10a的後表面還靠後側，該被固定部4a的一部分的後端固定於升降部11b的前表面。又，在該情況下，連結部件11不具備固定部11a。又，在該情況下，開口部10b形成於配置在開口部10b的被固定部4a的一部分的上下方向上的可動範圍的大概全域，以使臂支持部件4能夠在上下方向上移動。在本說明書中，即使在該情況下，臂支持部件4亦配置於筐體10的外部。
升降機構9具備使臂支持部件4升降之驅動機構和沿上下方向引導臂支持部件4之引導機構。驅動機構例如，具備滾珠絲杠和使滾珠絲杠的絲杠軸旋轉之電動機。滾珠絲杠的絲杠軸以上下方向為軸向配置且由筐體10可轉動地保持。引導機構例如，具備以上下方向為軸向配置之引導軸和與引導軸卡合之引導套管。引導軸固定於筐體10。
滾珠絲杠的螺母部件及引導套管固定於升降部11b。此外，驅動機構亦可具備一部分固定於升降部11b之帶、架設帶之滑輪、以及使滑輪旋轉之電動機。又，引導機構亦可具備以上下方向為長邊方向配置之導向軌道和固定於升降部11b且與導向軌道卡合之導向塊。
在臂支持部件4固定有用於塞住開口部10b之平板狀的罩部件14、15。具體來說，在臂支持部件4固定有用於塞住開口部10b的上側部分之罩部件14和用於塞住開口部10b的下側部分之罩部件15。罩部件14、15配置於筐體10的外部。本形態的罩部件14係第1罩部件，罩部件15係第2罩部件。
罩部件14、15係形成為長方形狀之金屬板。即，罩部件14、15係長方形形狀的板金。罩部件14、15以罩部件14、15的厚度方向和前後方向一致的方式固定於臂支持部件4。又，罩部件14、15藉由螺絲固定於臂支持部件4。罩部件14、15與臂支持部件4及連結部件11一起升降。
罩部件14在臂支持部件4的左右方向的兩側固定於被固定部4a的上端部。罩部件14從被固定部4a的上端部朝向上側延伸，罩部件14的上端配置於比被固定部4a的上端還靠上側。罩部件14由前側覆蓋開口部10b的比被固定部4a及固定部11a還靠上側的部分，塞住開口部10b的比被固定部4a及固定部11a還靠上側的部分。當臂支持部件4相對於筐體10移動至上限位置時，罩部件14的上端配置於比本體部5的上端還靠下側（參照圖2中的雙點劃線）。即，從前後方向觀察時，即使臂支持部件4相對於筐體10移動至上限位置，罩部件14亦收容於本體部5的外形之範圍內。
罩部件15在臂支持部件4的左右方向的兩側固定於被固定部4a的下端部。罩部件15由被固定部4a的下端部朝向下側延伸，罩部件15的下端比被固定部4a的下端配置於還靠下側。罩部件15由前側覆蓋開口部10b的比被固定部4a及固定部11a還靠下側的部分，塞住開口部10b的比被固定部4a及固定部11a還靠下側的部分。當臂支持部件4相對於筐體10移動至下限位置時，罩部件15的下端配置於比本體部5的下端還靠上側（參照圖2中的雙點劃線）。即，由前後方向觀察時，即使臂支持部件4相對於筐體10移動至下限位置，罩部件15收容於本體部5的外形之範圍內。
（本形態之主要效果）
如以上所說明，在本形態中，用於塞住形成於筐體10的側面之開口部10b之平板狀的罩部件14、15固定於臂支持部件4。因此，在本形態中，使用廉價的平板狀的罩部件14、15，塞住筐體10的開口部10b，能夠防止在筐體10的內部產生自升降機構9等的塵埃從開口部10b流出至筐體10的外部。故而，本形態中，即便可防止筐體10的內部產生的塵埃從開口部10b流出至筐體10的外部，亦可降低機器人1的成本。
在本形態中，罩部件14、15配置於筐體10的外部。因此，在本形態中，無需將罩部件14、15的設置空間設置於筐體10的內部。故而，在本形態中，能夠提高配置於筐體10的內部之各種零件的配置的自由度且使筐體10小型化。
在本形態中，從前後方向觀察時，即使臂支持部件4相對於筐體10移動至上限位置，罩部件14亦收容於本體部5的外形之範圍內。又，在本形態中，從前後方向觀察時，即使臂支持部件4相對於筐體10移動至下限位置，罩部件15亦收容於本體部5的外形之範圍內。因此，在本形態中，即使與臂支持部件4一起升降之罩部件14、15固定於臂支持部件4，亦能夠防止機器人1在上下方向上大型化。
（其他實施形態）
上述之形態係本發明之較佳形態的一例，但不限於此，在不變更本發明的主旨之範圍內能夠進行各種變形實施。
在上述形態中，罩部件14、15固定於連結部件11的升降部11b，亦可配置於筐體10的內部。又，罩部件14及罩部件15中的任意一方固定於臂支持部件4的被固定部4a，配置於筐體10的外部且罩部件14及罩部件15中的任意另一方固定於升降部11b，亦可配置於筐體10的內部。即使在這些情況下，使用廉價的平板狀的罩部件14、15，塞住筐體10的開口部10b，能夠防止在筐體10的內部產生自升降機構9等的塵埃從開口部10b流出至筐體10的外部。
上述形態中，當臂支持部件4相對於筐體10移動至上限位置時，罩部件14的上端亦可從本體部5的上端向上側懸垂。又，在上述形態中，當臂支持部件4相對於筐體10移動至下限位置時，罩部件15的下端亦可從本體部5的下端向下側懸垂。
上述形態中，只要能由罩部件14、15塞住開口部10b即可，罩部件14、15亦可以形成為長方形以外的四邊形形狀，亦可以形成為四邊形以外的多邊形形狀等。又，罩部件14、15亦可以用樹脂等金屬以外的材料形成。又，本發明之構成適用之產業用機器人亦可以係水平多關節型的機器人以外的機器人。
1:機器人（產業用機器人） 3:臂 4:臂支持部件 4a:固定部 5:本體部 7:第1臂部 8:第2臂部 9:升降機構 10:筐體 10a:前表面部 10b:開口部 11:連結部件 11a:固定部 11b:升降部（升降部件） 14:罩部件（第1罩部件） 15:罩部件（第2罩部件） X、X1、X2、Y:方向
圖1係本發明的實施形態之產業用機器人之立體圖。 圖2係圖1所示之產業用機器人的前視圖。 圖3係從圖2所示之產業用機器人卸下罩部件之狀態的前視圖。 圖4係用於說明圖1所示之臂支持部件和連結部件的連結部分的構成之概略圖。
1:機器人(產業用機器人)
3:臂
4:臂支持部件
4a:固定部
5:本體部
7:第1臂部
8:第2臂部
9:升降機構
10:筐體
10a:前表面部
10b:開口部
14:罩部件(第1罩部件)
15:罩部件(第2罩部件)
X、X1、Y:方向

Claims (3)

  1. 一種產業用機器人，其特徵在於，具備： 臂、支持前述臂之臂支持部件、以及將前述臂支持部件保持為可升降之本體部， 前述本體部具備使前述臂支持部件升降之升降機構和內部配置有前述升降機構之筐體， 前述臂支持部件配置於前述筐體的外部， 在前述筐體的側面形成有連結配置於前述筐體的外部之前述臂支持部件和配置於前述筐體的內部之前述升降機構之開口部， 在前述臂支持部件或與前述臂支持部件一起升降且配置於前述筐體的內部之升降部件上固定有用於塞住前述開口部之平板狀的罩部件。
  2. 如請求項1所述之產業用機器人，其中， 前述罩部件固定於前述臂支持部件上，且配置於前述筐體的外部。
  3. 如請求項2所述之產業用機器人，其中， 在前述臂支持部件上，作為前述罩部件，固定有用於塞住前述開口部的上側部分之第1罩部件和用於塞住前述開口部的下側部分之第2罩部件， 當前述臂支持部件相對於前述筐體移動至上限位置時，前述第1罩部件的上端配置於比前述本體部的上端還靠下側， 當前述臂支持部件相對於前述筐體移動至下限位置時，前述第2罩部件的下端配置於比前述本體部的下端還靠上側。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017119325A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 日本電産サンキョー株式会社 水平多関節ロボットおよび製造システム
JP2019123024A (ja) * 2018-01-12 2019-07-25 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
TW202007619A (zh) * 2018-07-31 2020-02-16 日商日本電產三協股份有限公司 搬送系統

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4240079B2 (ja) 2006-07-20 2009-03-18 株式会社安川電機 防塵機構を備えた基板搬送装置
JP6630162B2 (ja) * 2016-01-22 2020-01-15 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2018089765A (ja) * 2016-12-07 2018-06-14 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP7191564B2 (ja) * 2018-07-03 2022-12-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP7108492B2 (ja) * 2018-08-06 2022-07-28 株式会社ディスコ 保護部材形成装置
JP7339771B2 (ja) * 2019-05-17 2023-09-06 株式会社ディスコ 保護部材形成装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017119325A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 日本電産サンキョー株式会社 水平多関節ロボットおよび製造システム
JP2019123024A (ja) * 2018-01-12 2019-07-25 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
TW202007619A (zh) * 2018-07-31 2020-02-16 日商日本電產三協股份有限公司 搬送系統

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Publication number Publication date
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CN116888723A (zh) 2023-10-13
EP4299262A1 (en) 2024-01-03
KR20230136187A (ko) 2023-09-26
WO2022181405A1 (ja) 2022-09-01
TW202234564A (zh) 2022-09-01

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