KR20230136187A - 산업용 로봇 - Google Patents

산업용 로봇 Download PDF

Info

Publication number
KR20230136187A
KR20230136187A KR1020237028979A KR20237028979A KR20230136187A KR 20230136187 A KR20230136187 A KR 20230136187A KR 1020237028979 A KR1020237028979 A KR 1020237028979A KR 20237028979 A KR20237028979 A KR 20237028979A KR 20230136187 A KR20230136187 A KR 20230136187A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
housing
support member
arm support
opening
disposed
Prior art date
Application number
KR1020237028979A
Other languages
English (en)
Inventor
료타 호리우치
Original Assignee
니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤 filed Critical 니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤
Publication of KR20230136187A publication Critical patent/KR20230136187A/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J5/00—Manipulators mounted on wheels or on carriages
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B25J18/04—Arms extensible rotatable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0009—Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Abstract

암 지지 부재를 승강시키는 승강 기구와, 승강 기구가 내부에 배치되는 하우징을 구비하고, 하우징의 외부에 배치되는 암 지지 부재와 승강 기구를 연결하기 위한 개구부가 하우징의 측면에 형성되어 있는 산업용 로봇에 있어서, 하우징의 내부에서 발생한 진애가 개구부로부터 하우징의 외부로 유출되는 것을 방지하는 것이 가능함에도, 비용을 저감시키는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다. 이 산업용 로봇(1)에서는, 암 지지 부재(4)를 승강시키는 승강 기구(9)가 하우징(10)의 내부에 배치되어 있다. 하우징(10)의 측면에는, 하우징(10)의 외부에 배치되는 암 지지 부재(4)와 하우징(10)의 내부에 배치되는 승강 기구(9)를 연결하기 위한 개구부(10b)가 형성되어 있고, 암 지지 부재(4)에는, 개구부(10b)를 막기 위한 평판 형상의 커버 부재(14, 15)가 고정되어 있다.

Description

산업용 로봇
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.
종래, 클린 룸의 내부 등의 청정한 환경 하에서 반도체 웨이퍼 등을 반송하는 반송 로봇(기판 반송 장치)이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 반송 로봇은, 핸드 및 암을 지지하는 암 지지 부재와, 암 지지 부재를 지지하는 지주를 구비하고 있다. 암 지지 부재는, 지주를 따라 승강 가능하게 되어 있다. 지주의 내부에는, 암 지지 부재를 승강시키는 직선 안내 기구가 배치되어 있다. 지주의 측면에는, 지주의 외부에 배치되는 암 지지 부재와 지주의 내부에 배치되는 직선 안내 기구를 연결하기 위한 개구부가 형성되어 있다.
특허문헌 1에 기재된 반송 로봇에서는, 지주의 측면의 개구부는, 암 지지 부재가 승강하는 범위에서 형성되어 있다. 이 반송 로봇에서는, 지주의 내부에 있어서 직선 안내 기구 등으로부터 발생한 진애가 지주의 개구부로부터 지주의 외부로 유출되는 것을 방지하기 위해, 지주의 개구부는, 시일 벨트에 의해 덮여 있다. 시일 벨트는, 지주의 내부에 배치되어 있다. 지주의 내부에는, 시일 벨트를 안내하기 위한 롤러(풀리)가 설치되어 있다.
일본 특허 공개 제2008-28078호 공보
특허문헌 1에 기재된 반송 로봇은, 지주의 개구부를 막는 시일 벨트를 구비하고 있기 때문에, 이 반송 로봇에서는, 상술한 바와 같이, 지주의 내부에서 발생한 진애가 지주의 개구부로부터 지주의 외부로 유출되는 것을 방지하는 것이 가능하다. 한편, 이 반송 로봇에서는, 지주의 내부에서 발생한 진애가 지주의 개구부로부터 지주의 외부로 유출되는 것을 방지하기 위해, 시일 벨트 및 롤러가 필요해지기 때문에, 반송 로봇의 부품 개수가 증가하여, 반송 로봇의 비용이 높아진다.
그래서, 본 발명의 과제는, 암 지지 부재를 승강시키는 승강 기구와, 승강 기구가 내부에 배치되는 하우징을 구비하고, 하우징의 외부에 배치되는 암 지지 부재와 승강 기구를 연결하기 위한 개구부가 하우징의 측면에 형성되어 있는 산업용 로봇에 있어서, 하우징의 내부에서 발생한 진애가 개구부로부터 하우징의 외부로 유출되는 것을 방지하는 것이 가능함에도, 비용을 저감시키는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.
상기한 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇은, 암과, 암을 지지하는 암 지지 부재와, 암 지지 부재를 승강 가능하게 보유 지지하는 본체부를 구비하고, 본체부는, 암 지지 부재를 승강시키기 위한 승강 기구와, 승강 기구가 내부에 배치되는 하우징을 구비하고, 암 지지 부재는, 하우징의 외부에 배치되고, 하우징의 측면에는, 하우징의 외부에 배치되는 암 지지 부재와 하우징의 내부에 배치되는 승강 기구를 연결하기 위한 개구부가 형성되고, 암 지지 부재, 또는 암 지지 부재와 함께 승강함과 함께 하우징의 내부에 배치되는 승강 부재에는, 개구부를 막기 위한 평판 형상의 커버 부재가 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 산업용 로봇에서는, 암 지지 부재, 또는 암 지지 부재와 함께 승강함과 함께 하우징의 내부에 배치되는 승강 부재에, 하우징의 측면에 형성되는 개구부를 막기 위한 평판 형상의 커버 부재가 고정되어 있다. 그 때문에, 본 발명에서는, 저렴한 평판 형상의 커버 부재를 사용하여, 하우징의 측면의 개구부를 막고, 하우징의 내부에서 발생한 진애가 개구부로부터 하우징의 외부로 유출되는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 하우징의 내부에서 발생한 진애가 개구부로부터 하우징의 외부로 유출되는 것을 방지하는 것이 가능함에도, 산업용 로봇의 비용을 저감시키는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 커버 부재는, 암 지지 부재에 고정되어 있고, 하우징의 외부에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 커버 부재의 설치 스페이스를 하우징의 내부에 마련할 필요가 없다. 따라서, 하우징의 내부에 배치되는 각종 부품의 배치의 자유도를 높이는 것이 가능해짐과 함께 하우징을 소형화하는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 암 지지 부재에는, 커버 부재로서, 개구부의 상측 부분을 막기 위한 제1 커버 부재와, 개구부의 하측 부분을 막기 위한 제2 커버 부재가 고정되고, 제1 커버 부재의 상단은, 하우징에 대하여 암 지지 부재가 상한 위치까지 이동했을 때, 본체부의 상단보다도 하측에 배치되고, 제2 커버 부재의 하단은, 하우징에 대하여 암 지지 부재가 하한 위치까지 이동했을 때, 본체부의 하단보다도 상측에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 암 지지 부재와 함께 승강하는 제1 커버 부재 및 제2 커버 부재가 암 지지 부재에 고정되고 있어도, 상하 방향으로 산업용 로봇이 대형화되는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
이상과 같이, 본 발명에서는, 암 지지 부재를 승강시키는 승강 기구와, 승강 기구가 내부에 배치되는 하우징을 구비하고, 하우징의 외부에 배치되는 암 지지 부재와 승강 기구를 연결하기 위한 개구부가 하우징의 측면에 형성되어 있는 산업용 로봇에 있어서, 하우징의 내부에서 발생한 진애가 개구부로부터 하우징의 외부로 유출되는 것을 방지하는 것이 가능함에도, 산업용 로봇의 비용을 저감시키는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 산업용 로봇의 정면도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 산업용 로봇으로부터 커버 부재를 분리한 상태의 정면도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 암 지지 부재와 연결 부재의 연결 부분의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.
(산업용 로봇의 구성)
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇(1)의 사시도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)의 정면도이다. 도 3은, 도 2에 나타내는 산업용 로봇(1)으로부터 커버 부재(14, 15)를 분리한 상태의 정면도이다. 도 4는, 도 1에 나타내는 암 지지 부재(4)와 연결 부재(11)의 연결 부분의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」으로 한다.)은, 반도체 웨이퍼 등의 반송 대상물을 반송하기 위한 수평 다관절형의 로봇이다. 로봇(1)은, 클린 룸의 내부 등의 청정한 환경 하에서 반송 대상물을 반송한다. 로봇(1)은, 암(3)과, 암을 지지하는 암 지지 부재(4)와, 암 지지 부재(4)를 승강 가능하게 보유 지지하는 본체부(5)를 구비하고 있다. 이하의 설명에서는, 상하 방향에 직교하는 도 1 등의 X방향을 「전후 방향」이라고 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 도 1 등의 Y방향을 「좌우 방향」이라고 한다. 또한, 전후 방향의 일방측인 도 1 등의 X1 방향측을 「전방」측이라고 하고, 그 반대 방향인 도 1 등의 X2 방향측을 「후방」측이라고 한다.
암(3)은, 기단측이 암 지지 부재(4)에 회동 가능하게 연결되는 제1 암부(7)와, 제1 암부(7)의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부(8)로 구성되어 있다. 즉, 암(3)은, 2개의 암부에 의해 구성되어 있다. 제1 암부(7)의 기단측은, 암 지지 부재(4)의 전단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 암부(8)의 선단측에는, 반송 대상물이 탑재되는 핸드(도시 생략)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 암(3)은, 3개 이상의 암부에 의해 구성되어 있어도 된다.
본체부(5)는, 암 지지 부재(4)를 승강시키기 위한 승강 기구(9)와, 승강 기구(9)가 내부에 배치되는(즉, 승강 기구(9)가 수용되는) 하우징(10)과, 암 지지 부재(4)와 승강 기구(9)를 연결하는 연결 부재(11)(도 4 참조)를 구비하고 있다. 암 지지 부재(4)는, 하우징(10)의 외부에 배치되어 있다. 또한, 암 지지 부재(4)는, 하우징(10)의 전방측에 배치되어 있다. 즉, 암 지지 부재(4)는, 본체부(5)의 전방측에 배치되어 있다. 암 지지 부재(4)의 좌우 방향의 양단부는, 연결 부재(11)에 고정되는 피고정부(4a)로 되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 암 지지 부재(4)의 승강량은, 비교적 적게 되어 있다. 예를 들어, 암 지지 부재(4)의 승강량은, 40㎜ 정도로 되어 있다.
하우징(10)은, 하우징(10)의 전방측면을 구성하는 전방면부(10a)를 구비하고 있다. 전방면부(10a)는, 얇은 평판 형상으로 형성되어 있고, 전방면부(10a)의 두께 방향은, 전후 방향과 일치하고 있다. 전방면부(10a)에는, 하우징(10)의 외부에 배치되는 암 지지 부재(4)와 하우징(10)의 내부에 배치되는 승강 기구(9)를 연결하기 위한 개구부(10b)가 형성되어 있다. 즉, 하우징(10)의 측면(전방측면)에는, 개구부(10b)가 형성되어 있다. 개구부(10b)는, 전방면부(10a)의 좌우 방향의 양단부에 형성되어 있다. 즉, 전방면부(10a)에는, 2개의 개구부(10b)가 형성되어 있다. 개구부(10b)는, 전후 방향으로 전방면부(10a)를 관통하고 있다. 또한, 개구부(10b)는, 상하 방향으로 가늘고 긴 직사각 형상으로 형성되어 있다.
연결 부재(11)는, 암 지지 부재(4)가 고정되는 고정부(11a)와, 하우징(10)의 내부에 배치되는 승강부(11b)를 구비하고 있다. 고정부(11a)는, 승강부(11b)에 연결되어 있고, 승강부(11b)와 일체로 되어 있다. 고정부(11a)는, 승강부(11b)의 좌우 방향의 양단부로부터 전방측으로 돌출되어 있다. 또한, 고정부(11a)는, 전후 방향으로 개구부(10b)를 통과하도록 개구부(10b)에 배치되어 있다. 고정부(11a)의 전단은, 전방면부(10a)의 전방면보다도 전방측에 배치되어 있다. 고정부(11a)의 전단에는, 암 지지 부재(4)의 피고정부(4a)의 후방면이 고정되어 있다. 연결 부재(11)는, 암 지지 부재(4)와 함께 승강한다. 본 형태의 승강부(11b)는, 암 지지 부재(4)와 함께 승강함과 함께 하우징(10)의 내부에 배치되는 승강 부재로 되어 있다.
상술한 바와 같이, 개구부(10b)는, 상하 방향으로 가늘고 긴 직사각 형상으로 형성되어 있다. 개구부(10b)는, 암 지지 부재(4)의 상하 방향으로의 이동이 가능해지도록, 상하 방향에 있어서의 고정부(11a)의 가동 범위의 대략 전역에 형성되어 있다. 개구부(10b)의 상단은, 암 지지 부재(4)가 소정의 기준 위치에 배치되어 있을 때의 피고정부(4a)의 상단 및 고정부(11a)의 상단보다도 상측에 배치되어 있다. 개구부(10b)의 하단은, 암 지지 부재(4)가 기준 위치에 배치되어 있을 때의 피고정부(4a)의 하단 및 고정부(11a)의 하단보다도 하측에 배치되어 있다.
또한, 암 지지 부재(4)의 피고정부(4a)의 일부분이, 전후 방향으로 개구부(10b)를 통과하도록 개구부(10b)에 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 이 피고정부(4a)의 일부분의 후단은, 전방면부(10a)의 후방면보다도 후방측에 배치되어 있고, 이 피고정부(4a)의 일부분의 후단은, 승강부(11b)의 전방면에 고정되어 있다. 또한, 이 경우에는, 연결 부재(11)는, 고정부(11a)를 구비하고 있지 않다. 또한, 이 경우에는, 개구부(10b)는, 암 지지 부재(4)의 상하 방향으로의 이동이 가능해지도록, 개구부(10b)에 배치되는 피고정부(4a)의 일부분의, 상하 방향에 있어서의 가동 범위의 대략 전역에 형성되어 있다. 본 명세서에서는, 이 경우라도, 하우징(10)의 외부에 암 지지 부재(4)가 배치되어 있는 것으로 한다.
승강 기구(9)는, 암 지지 부재(4)를 승강시키는 구동 기구와, 암 지지 부재(4)를 상하 방향으로 안내하는 가이드 기구를 구비하고 있다. 구동 기구는, 예를 들어 볼 나사와, 볼 나사의 나사축을 회전시키는 모터를 구비하고 있다. 볼 나사의 나사축은, 상하 방향을 축방향으로 하여 배치됨과 함께 하우징(10)에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다. 가이드 기구는, 예를 들어 상하 방향을 축방향으로 하여 배치되는 가이드축과, 가이드축에 걸림 결합하는 가이드 부시를 구비하고 있다. 가이드축은, 하우징(10)에 고정되어 있다.
볼 나사의 너트 부재 및 가이드 부시는, 승강부(11b)에 고정되어 있다. 또한, 구동 기구는, 승강부(11b)에 일부분이 고정되는 벨트와, 벨트가 걸쳐지는 풀리와, 풀리를 회전시키는 모터를 구비하고 있어도 된다. 또한, 가이드 기구는, 상하 방향을 길이 방향으로 하여 배치되는 가이드 레일과, 승강부(11b)에 고정됨과 함께 가이드 레일에 걸림 결합하는 가이드 블록을 구비하고 있어도 된다.
암 지지 부재(4)에는, 개구부(10b)를 막기 위한 평판 형상의 커버 부재(14, 15)가 고정되어 있다. 구체적으로는, 암 지지 부재(4)에는, 개구부(10b)의 상측 부분을 막기 위한 커버 부재(14)와, 개구부(10b)의 하측 부분을 막기 위한 커버 부재(15)가 고정되어 있다. 커버 부재(14, 15)는, 하우징(10)의 외부에 배치되어 있다. 본 형태의 커버 부재(14)는, 제1 커버 부재가 되어 있고, 커버 부재(15)는, 제2 커버 부재가 되어 있다.
커버 부재(14, 15)는, 직사각 형상으로 형성된 금속판이다. 즉, 커버 부재(14, 15)는, 직사각 형상의 판금이다. 커버 부재(14, 15)는, 커버 부재(14, 15)의 두께 방향과 전후 방향이 일치하도록 암 지지 부재(4)에 고정되어 있다. 또한, 커버 부재(14, 15)는, 나사에 의해 암 지지 부재(4)에 고정되어 있다. 커버 부재(14, 15)는, 암 지지 부재(4) 및 연결 부재(11)와 함께 승강한다.
커버 부재(14)는, 암 지지 부재(4)의 좌우 방향의 양측에 있어서 피고정부(4a)의 상단부에 고정되어 있다. 커버 부재(14)는, 피고정부(4a)의 상단부로부터 상측을 향해 연신되어 있고, 커버 부재(14)의 상단은, 피고정부(4a)의 상단보다도 상측에 배치되어 있다. 커버 부재(14)는, 개구부(10b)의, 피고정부(4a) 및 고정부(11a)보다도 상측의 부분을 전방측으로부터 덮고 있고, 개구부(10b)의, 피고정부(4a) 및 고정부(11a)보다도 상측의 부분을 막고 있다. 커버 부재(14)의 상단은, 하우징(10)에 대하여 암 지지 부재(4)가 상한 위치까지 이동했을 때, 본체부(5)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다(도 2의 이점쇄선 참조). 즉, 전후 방향으로 보았을 때, 하우징(10)에 대하여 암 지지 부재(4)가 상한 위치까지 이동해도, 커버 부재(14)는, 본체부(5)의 외형의 범위 내에 들어가 있다.
커버 부재(15)는, 암 지지 부재(4)의 좌우 방향의 양측에 있어서 피고정부(4a)의 하단부에 고정되어 있다. 커버 부재(15)는, 피고정부(4a)의 하단부로부터 하측을 향해 연신되어 있고, 커버 부재(15)의 하단은, 피고정부(4a)의 하단보다도 하측에 배치되어 있다. 커버 부재(15)는, 개구부(10b)의, 피고정부(4a) 및 고정부(11a)보다도 하측의 부분을 전방측으로부터 덮고 있고, 개구부(10b)의, 피고정부(4a) 및 고정부(11a)보다도 하측의 부분을 막고 있다. 커버 부재(15)의 하단은, 하우징(10)에 대하여 암 지지 부재(4)가 하한 위치까지 이동했을 때, 본체부(5)의 하단보다도 상측에 배치되어 있다(도 2의 이점쇄선 참조). 즉, 전후 방향으로 보았을 때, 하우징(10)에 대하여 암 지지 부재(4)가 하한 위치까지 이동해도, 커버 부재(15)는, 본체부(5)의 외형의 범위 내에 들어가 있다.
(본 형태의 주된 효과)
이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 하우징(10)의 측면에 형성되는 개구부(10b)를 막기 위한 평판 형상의 커버 부재(14, 15)가 암 지지 부재(4)에 고정되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 저렴한 평판 형상의 커버 부재(14, 15)를 사용하여, 하우징(10)의 개구부(10b)를 막아, 하우징(10)의 내부에서 승강 기구(9) 등으로부터 발생한 진애가 개구부(10b)로부터 하우징(10)의 외부로 유출되는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 하우징(10)의 내부에서 발생한 진애가 개구부(10b)로부터 하우징(10)의 외부로 유출되는 것을 방지하는 것이 가능함에도, 로봇(1)의 비용을 저감시키는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 커버 부재(14, 15)는, 하우징(10)의 외부에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 커버 부재(14, 15)의 설치 스페이스를 하우징(10)의 내부에 마련할 필요가 없다. 따라서, 본 형태에서는, 하우징(10)의 내부에 배치되는 각종 부품의 배치의 자유도를 높이는 것이 가능해짐과 함께 하우징(10)을 소형화하는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 전후 방향으로 보았을 때, 하우징(10)에 대하여 암 지지 부재(4)가 상한 위치까지 이동해도, 커버 부재(14)는, 본체부(5)의 외형의 범위 내에 들어가 있다. 또한, 본 형태에서는, 전후 방향으로 보았을 때, 하우징(10)에 대하여 암 지지 부재(4)가 하한 위치까지 이동해도, 커버 부재(15)는, 본체부(5)의 외형의 범위 내에 들어가 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 암 지지 부재(4)와 함께 승강하는 커버 부재(14, 15)가 암 지지 부재(4)에 고정되어 있어도, 상하 방향으로 로봇(1)이 대형화되는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
(다른 실시 형태)
상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.
상술한 형태에 있어서, 커버 부재(14, 15)는, 연결 부재(11)의 승강부(11b)에 고정되어 있고, 하우징(10)의 내부에 배치되어 있어도 된다. 또한, 커버 부재(14) 및 커버 부재(15)의 어느 한쪽이 암 지지 부재(4)의 피고정부(4a)에 고정되어, 하우징(10)의 외부에 배치됨과 함께, 커버 부재(14) 및 커버 부재(15)의 어느 다른 한쪽이 승강부(11b)에 고정되어, 하우징(10)의 내부에 배치되어 있어도 된다. 이것들의 경우라도, 저렴한 평판 형상의 커버 부재(14, 15)를 사용하여, 하우징(10)의 개구부(10b)를 막고, 하우징(10)의 내부에서 승강 기구(9) 등으로부터 발생한 진애가 개구부(10b)로부터 하우징(10)의 외부로 유출되는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
상술한 형태에 있어서, 하우징(10)에 대하여 암 지지 부재(4)가 상한 위치까지 이동했을 때, 커버 부재(14)의 상단이 본체부(5)의 상단으로부터 상측으로 비어져 나와도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 하우징(10)에 대하여 암 지지 부재(4)가 하한 위치까지 이동했을 때, 커버 부재(15)의 하단이 본체부(5)의 하단으로부터 하측으로 비어져 나와도 된다.
상술한 형태에 있어서, 커버 부재(14, 15)에 의해 개구부(10b)를 막을 수 있는 것이라면, 커버 부재(14, 15)는, 직사각 형상 이외의 사각 형상으로 형성되어 있어도 되고, 사각형 이외의 다각 형상 등으로 형성되어 있어도 된다. 또한, 커버 부재(14, 15)는, 수지 등의 금속 이외의 재료로 형성되어 있어도 된다. 또한, 본 발명의 구성이 적용되는 산업용 로봇은, 수평 다관절형의 로봇 이외의 로봇이어도 된다.
1: 로봇(산업용 로봇)
3: 암
4: 암 지지 부재
5: 본체부
9: 승강 기구
10: 하우징
10b: 개구부
11b: 승강부(승강 부재)
14: 커버 부재(제1 커버 부재)
15: 커버 부재(제2 커버 부재)

Claims (3)

  1. 암과, 상기 암을 지지하는 암 지지 부재와, 상기 암 지지 부재를 승강 가능하게 보유 지지하는 본체부를 구비하고,
    상기 본체부는, 상기 암 지지 부재를 승강시키기 위한 승강 기구와, 상기 승강 기구가 내부에 배치되는 하우징을 구비하고,
    상기 암 지지 부재는, 상기 하우징의 외부에 배치되고,
    상기 하우징의 측면에는, 상기 하우징의 외부에 배치되는 상기 암 지지 부재와 상기 하우징의 내부에 배치되는 상기 승강 기구를 연결하기 위한 개구부가 형성되고,
    상기 암 지지 부재, 또는 상기 암 지지 부재와 함께 승강함과 함께 상기 하우징의 내부에 배치되는 승강 부재에는, 상기 개구부를 막기 위한 평판 형상의 커버 부재가 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  2. 제1항에 있어서, 상기 커버 부재는, 상기 암 지지 부재에 고정되어 있고, 상기 하우징의 외부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  3. 제2항에 있어서, 상기 암 지지 부재에는, 상기 커버 부재로서, 상기 개구부의 상측 부분을 막기 위한 제1 커버 부재와, 상기 개구부의 하측 부분을 막기 위한 제2 커버 부재가 고정되고,
    상기 제1 커버 부재의 상단은, 상기 하우징에 대하여 상기 암 지지 부재가 상한 위치까지 이동했을 때, 상기 본체부의 상단보다도 하측에 배치되고,
    상기 제2 커버 부재의 하단은, 상기 하우징에 대하여 상기 암 지지 부재가 하한 위치까지 이동했을 때, 상기 본체부의 하단보다도 상측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
KR1020237028979A 2021-02-26 2022-02-16 산업용 로봇 KR20230136187A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2021-030385 2021-02-26
JP2021030385A JP2022131436A (ja) 2021-02-26 2021-02-26 産業用ロボット
PCT/JP2022/006085 WO2022181405A1 (ja) 2021-02-26 2022-02-16 産業用ロボット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230136187A true KR20230136187A (ko) 2023-09-26

Family

ID=83049282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020237028979A KR20230136187A (ko) 2021-02-26 2022-02-16 산업용 로봇

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP4299262A1 (ko)
JP (1) JP2022131436A (ko)
KR (1) KR20230136187A (ko)
CN (1) CN116888723A (ko)
TW (1) TWI809735B (ko)
WO (1) WO2022181405A1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008028078A (ja) 2006-07-20 2008-02-07 Yaskawa Electric Corp 防塵機構を備えた基板搬送装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6628603B2 (ja) * 2015-12-28 2020-01-08 日本電産サンキョー株式会社 水平多関節ロボットおよび製造システム
JP6630162B2 (ja) * 2016-01-22 2020-01-15 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2018089765A (ja) * 2016-12-07 2018-06-14 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2019123024A (ja) * 2018-01-12 2019-07-25 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP7191564B2 (ja) * 2018-07-03 2022-12-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP7208733B2 (ja) * 2018-07-31 2023-01-19 日本電産サンキョー株式会社 搬送システム
JP7108492B2 (ja) * 2018-08-06 2022-07-28 株式会社ディスコ 保護部材形成装置
JP7339771B2 (ja) * 2019-05-17 2023-09-06 株式会社ディスコ 保護部材形成装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008028078A (ja) 2006-07-20 2008-02-07 Yaskawa Electric Corp 防塵機構を備えた基板搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
TWI809735B (zh) 2023-07-21
JP2022131436A (ja) 2022-09-07
CN116888723A (zh) 2023-10-13
EP4299262A1 (en) 2024-01-03
WO2022181405A1 (ja) 2022-09-01
TW202234564A (zh) 2022-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101443457B1 (ko) 반송 로봇
JP4971063B2 (ja) 搬送装置
TWI643797B (zh) 基板搬送機器人及基板搬送裝置
KR101531721B1 (ko) 산업용 로보트
KR102612257B1 (ko) 수평 다관절 로봇 및 제조 시스템
KR20150039681A (ko) 기판 세정 장치 및 기판 처리 장치
JP5006411B2 (ja) 基板搬送装置
KR101741093B1 (ko) 로봇
KR20230136187A (ko) 산업용 로봇
KR101277031B1 (ko) 로드 포트 장치
CN114378838B (zh) 工业用机器人
KR102612256B1 (ko) 제조 시스템
US20240131682A1 (en) Industrial robot
KR102539037B1 (ko) 산업용 로봇
JP2019123024A (ja) 産業用ロボット
KR101515908B1 (ko) 기판이송장치
JP2017127956A (ja) 産業用ロボット
KR100358512B1 (ko) 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치
JP5239845B2 (ja) 基板搬送ロボット、基板搬送装置および半導体製造装置
JP2012056034A (ja) ロボットアーム装置
KR102575400B1 (ko) 산업용 로봇
KR20230123877A (ko) 수평 다관절 로봇
KR20210109332A (ko) 기판 이송장치
KR100372895B1 (ko) 반도체 기판용 반송 로봇과, 이를 구비한 반도체 기판처리 시스템
JP2000216214A (ja) 基板処理装置