KR101778940B1 - 탈포용 오토클레이브 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 필름이 부착된 제1기판을 수용하기 위한 제1수용홈을 갖는 제1안착부, 필름이 부착된 제2기판을 수용하기 위한 제2수용홈을 갖는 제2안착부, 상기 제1안착부와 상기 제2안착부의 사이에 위치하도록 설치된 중간본체, 및 상기 제1안착부를 지지하기 위해 상기 중간본체에 결합된 지지부를 포함하는 탈포용 오토클레이브 장치에 관한 것이다.

Description

탈포용 오토클레이브 장치{Autoclave Apparatus for Defoamation}
본 발명은 기판 및 필름 사이의 기포를 제거하기 위한 탈포용 오토클레이브 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(LCD, Liquid Crystal Display), 유기발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 전기영동표시장치(EPD, Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치, 및 태양전지 등은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정에는 기판(Substrate)에 필름(Film)을 부착하는 필름부착공정이 포함된다. 예컨대, 액정표시장치는 기판에 편광필름을 부착하는 필름부착공정을 거쳐 제조될 수 있다.
이와 같은 필름부착공정이 완료되면, 기판 및 필름 사이에 존재하는 기포를 제거하는 탈포공정이 이루어진다. 이러한 탈포공정을 수행함에 있어서, 탈포용 오토클레이브 장치가 이용된다. 탈포용 오토클레이브 장치는 필름부착공정을 통해 필름이 부착된 기판을 소정 시간 동안 고온, 고압으로 유지시킴으로써, 기판 및 필름 사이의 기포를 제거한다.
여기서, 디스플레이장치 및 태양전지 등은 점차적으로 대형화되면서 대형 기판 및 대형 필름에 대한 필름부착공정 및 탈포공정을 거쳐 제조되고 있다. 이에 따라, 소형 기판 및 소형 필름의 경우 필름부착공정을 수행한 후에 기포가 발생한 것만 선별하여 탈포공정을 수행하였으나, 대형 기판 및 대형 필름의 경우 필름부착공정을 수행한 후에 거의 전량에 대해 탈포공정을 수행하고 있는 실정이다. 이와 같이 탈포공정이 증가함에 따라 탈포공정 지연으로 인해 전체 제조 공정이 지연되고, 이는 디스플레이장치 및 태양전지 등에 대한 생산성 저하를 초래하게 된다. 따라서, 탈포공정에 대한 처리율을 높일 수 있는 탈포용 오토클레이브 장치에 대한 개발이 절실히 요구된다.
본 발명은 상술한 바와 같은 요구를 해결하고자 안출된 것으로, 기판 및 필름 사이의 기포를 제거하는 탈포공정에 대한 처리율을 높일 수 있는 탈포용 오토클레이브 장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치는 필름이 부착된 제1기판을 수용하기 위한 제1수용홈을 포함하고, 상기 제1수용홈에 수용된 제1기판을 지지하는 제1안착부; 필름이 부착된 제2기판을 수용하기 위한 제2수용홈을 포함하고, 상기 제2수용홈에 수용된 제2기판을 지지하는 제2안착부; 상기 제1안착부와 상기 제2안착부의 사이에 위치하도록 설치된 중간본체; 상기 제1안착부를 지지하기 위해 상기 중간본체에 결합된 지지부; 및 상기 제1기판과 상기 제2기판 각각에 대한 탈포공정이 수행되도록 상기 제1수용홈과 상기 제2수용홈 각각에 공정기체를 공급하는 기체공급부를 포함할 수 있다. 상기 중간본체는 상기 지지부가 상기 제1안착부를 지지하도록, 상기 제1수용홈에 공정기체가 공급됨에 따른 제1내부압력 및 상기 제2수용홈에 공정기체가 공급됨에 따른 제2내부압력을 이용하여 상기 지지부를 지지할 수 있다.
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치는 필름이 부착된 제1기판을 수용하기 위한 제1수용홈을 갖는 제1안착부; 상기 제1안착부의 하측에 위치하도록 설치되고, 필름이 부착된 제2기판을 수용하기 위한 제2수용홈을 갖는 제2안착부; 상기 제1안착부를 지지하기 위한 지지부; 상기 제1안착부와 상기 제2안착부의 사이에 위치하도록 설치되고, 상기 지지부가 상기 제1안착부를 지지하도록 상기 지지부를 지지하는 중간본체; 및 상기 제1기판과 상기 제2기판 각각에 대한 탈포공정이 수행되도록 상기 제1수용홈과 상기 제2수용홈 각각에 공정기체를 공급하는 기체공급부를 포함할 수 있다. 상기 중간본체는 상기 제1수용홈에 공정기체가 공급됨에 따른 제1내부압력 및 상기 제2수용홈에 공정기체가 공급됨에 따른 제2내부압력이 서로 상쇄되도록 상기 제1수용홈 및 상기 제2수용홈 각각에 공정기체를 공급할 수 있다.
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치는 필름이 부착된 제1기판을 수용하기 위한 제1수용홈을 갖는 제1안착부; 상기 제1안착부의 상측에 위치하도록 설치된 상부본체; 상기 제1안착부의 하측에 위치하도록 설치되고, 필름이 부착된 제2기판을 수용하기 위한 제2수용홈을 갖는 제2안착부; 상기 제2안착부의 하측에 위치하도록 설치된 하부본체; 상기 제1안착부와 상기 제2안착부의 사이에 위치하도록 설치된 중간본체; 및 상기 제1안착부를 지지하기 위해 상기 중간본체에 결합된 지지부를 포함할 수 있다. 상기 중간본체는 상기 지지부가 상기 제1안착부를 지지하도록 상기 지지부를 지지하되, 상기 상부본체 및 상기 하부본체 각각에 비해 더 얇은 두께로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 한번에 복수개의 기판에 대한 탈포공정을 수행할 수 있도록 구현됨으로써, 탈포공정에 대한 처리율을 높일 수 있으므로, 디스플레이장치 및 태양전지 등에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.
본 발명은 중간본체의 두께를 감소시킬 수 있도록 구현됨으로써, 작업공간에서 차지하는 높이를 줄여서 한정된 작업공간에서 더 많은 대수가 적층되어 설치될 수 있으므로, 탈포공정에 대한 처리율을 더 높일 수 있다.
본 발명은 제1수용홈에 대한 내부압력 및 제2수용홈에 대한 내부압력을 이용하여 중간본체가 지지부를 지지하도록 구현됨으로써, 기판들에 대한 탈포공정이 수행되는 과정에서 제1수용홈 및 제2수용홈 각각의 체적이 변경되는 것을 방지할 수 있으므로, 탈포공정이 완료된 기판들에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 대한 개략적인 사시도
도 2는 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치를 도 1의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개략적인 단면도
도 3은 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 있어서 제1안착부에 대한 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치의 일부를 도 1의 I-I 선을 기준으로 확대하여 나타낸 개략적인 단면도
도 5는 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 있어서 제2안착부에 대한 개략적인 사시도
도 6은 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 있어서 지지부 및 중간본체에 대한 개략적인 사시도
도 7은 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 있어서 기체공급부를 설명하기 위해 도 1의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개념적인 일부 단면도
이하에서는 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 대한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 액정표시장치(LCD), 유기발광표시장치(OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 전기영동표시장치(EPD) 등의 디스플레이장치, 및 태양전지 등을 제조하기 위한 제조 공정에 이용되는 것이다. 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제조 공정에 있어서 서로 부착된 기판 및 필름 사이에 존재하는 기포를 제거하는 탈포공정을 수행한다. 예컨대, 액정표시장치를 제조하기 위한 제조 공정인 경우, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 서로 부착된 기판 및 편광필름 사이에 존재하는 기포를 제거할 수 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 제1안착부(2), 제2안착부(3), 지지부(4), 및 중간본체(5)를 포함할 수 있다.
상기 제1안착부(2)는 필름이 부착된 제1기판을 지지하기 위한 것이다. 상기 제1기판은 디스플레이장치 및 태양전지 등을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 제1기판은 유리기판일 수 있다. 상기 제1기판은 복수개의 기판이 합착된 것일 수도 있다. 상기 필름은 상기 제1기판에 부착되는 것이다. 예컨대, 상기 필름은 편광필름, 광학필름 등일 수 있다. 상기 제1기판은 필름부착공정을 통해 상기 필름이 부착된 상태로 상기 제1안착부(2)에 안착됨으로써, 상기 제1안착부(2)에 의해 지지될 수 있다. 상기 제1안착부(2)는 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1기판을 지지할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 제1안착부(2)는 제1수용홈(21)을 포함한다. 상기 제1수용홈(21)은 상기 필름이 부착된 제1기판을 수용하기 위한 것이다. 상기 제1안착부(2)는 상기 제1수용홈(21)에 수용된 제1기판을 지지할 수 있다. 이 경우, 상기 제1기판은 상기 필름이 부착된 상태일 수 있다. 상기 제1수용홈(21)은 상기 제1안착부(2)의 상면으로부터 소정 깊이 함몰되어 형성될 수 있다. 상기 제1수용홈(21)은 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1기판을 수용할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제1수용홈(21)은 상기 필름이 부착된 제1기판에 비해 더 큰 면적을 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제1수용홈(21)은 상기 필름이 부착된 제1기판에 비해 더 두꺼운 두께를 갖도록 형성될 수 있다.
상기 제1안착부(2)는 상부본체(20)의 하측에 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 상부본체(20)는 상기 제1수용홈(21)을 가릴 수 있도록 상기 제1안착부(2)의 상측에 설치될 수 있다. 상기 상부본체(20)는 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1수용홈(21)을 가릴 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 제1안착부(2)는 상기 상부본체(20)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1안착부(2)는 상기 제1수용홈(21)이 상기 상부본체(20)의 외측에 위치하도록 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1수용홈(21)은 상기 상부본체(20)에 가려지지 않게 된다. 이 상태에서, 상기 탈포공정이 완료된 제1기판이 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제1안착부(2)로부터 이격되는 언로딩공정이 이루어질 수 있다. 또한, 상기 탈포공정이 수행될 제1기판이 상기 제1수용홈(21)에 수용되어 상기 제1안착부(2)에 안착되는 로딩공정이 이루어질 수 있다. 상기 탈포공정이 수행될 제1기판이 상기 제1안착부(2)에 안착되면, 상기 제1안착부(2)는 상기 제1수용홈(21)이 상기 상부본체(20)에 가려지도록 이동할 수 있다. 상기 제1안착부(2)는 제1구동부(미도시)에 의해 이동될 수 있다. 상기 제1구동부는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식, 캠(Cam) 등을 이용한 캠방식 등을 통해 상기 제1안착부(2)를 이동시킬 수 있다.
도 1 내지 도 4를 참고하면, 상기 제1안착부(2)에는 제1밀폐부재(30)가 결합될 수 있다.
상기 제1밀폐부재(30)는 상기 제1수용홈(21)을 밀폐시키기 위한 것이다. 상기 제1밀폐부재(30)는 상기 제1안착부(2)에 결합된 상태에서 상기 상부본체(20)에 접촉됨으로써, 상기 제1수용홈(21)을 밀폐시킬 수 있다. 이 상태에서 상기 필름이 부착된 제1기판에 대한 탈포공정이 수행될 수 있다. 상기 제1밀폐부재(30)는 상기 상부본체(20)의 하면에 접촉될 수 있다. 상기 제1안착부(2)는 상기 제1밀폐부재(30)가 결합되기 위한 제1결합부재(22)를 포함할 수 있다. 상기 제1결합부재(22)는 상기 제1수용홈(21)에 외측에 위치하도록 배치된다. 즉, 상기 제1수용홈(21)은 상기 제1결합부재(22)의 내측에 위치한다. 상기 제1밀폐부재(30)는 상기 제1수용홈(21)을 둘러싸도록 상기 제1결합부재(22)에 삽입되어 결합될 수 있다. 상기 제1밀폐부재(30)는 내측이 비어 있는 사각고리 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1수용홈(21)을 밀폐시킬 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 제1밀폐부재(30)는 상기 제1결합부재(22)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제1밀폐부재(30)는 내부에 기체가 공급됨에 따라 상기 상부본체(20) 쪽으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1밀폐부재(30)는 상기 상부본체(20)에 대한 밀착력이 증대됨으로써, 상기 제1수용홈(21)에 대한 밀폐력을 증대시킬 수 있다. 상기 제1밀폐부재(30)는 내부에 기체가 공급됨에 따라 팽창됨으로써 상기 상부본체(20)에 밀착되도록 이동할 수도 있다. 상기 제1밀폐부재(30)는 밀폐력을 가지면서도 신축(伸縮) 가능한 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제1밀폐부재(30)는 고무, 바이톤(Viton) 등으로 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 4를 참고하면, 상기 제1안착부(2)는 제1승강부(40)에 의해 승강될 수 있다. 상기 제1승강부(40)는 상기 중간본체(5)에 결합될 수 있다. 상기 제1승강부(40)는 상기 제1밀폐부재(30)가 상기 상부본체(20)에 접촉되도록 상기 제1안착부(2)를 상승시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1안착부(2)는 상기 지지부(4)로부터 이격될 수 있다. 상기 제1밀폐부재(30)는 상기 상부본체(20)에 접촉된 상태에서 내부에 기체가 공급됨에 따라 상기 상부본체(20) 쪽으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1안착부(2)는 상기 제1밀폐부재(30)에 밀려서 하강함에 따라 상기 지지부(4)에 의해 지지된다. 따라서, 상기 제1밀폐부재(30)는 상기 제1안착부(2) 및 상기 상부본체(20)에 의해 지지됨으로써, 상기 제1수용홈(21)을 밀폐시킬 수 있다. 이와 같이 상기 제1수용홈(21)이 상기 제1밀폐부재(30)에 의해 밀폐된 상태에서, 상기 제1수용홈(21)에 수용된 제1기판에 대한 탈포공정이 수행될 수 있다.
상기 제1승강부(40)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식을 통해 상기 제1안착부(2)를 승강시킬 수 있다. 상기 제1승강부(40)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식, 캠 등을 이용한 캠방식 등을 통해 상기 제1안착부(2)를 승강시킬 수도 있다.
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제1승강부(40)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 제1승강부(40)들은 서로 이격된 위치에 위치하도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1승강부(40)들은 상기 제1안착부(2)의 서로 다른 부분에 접촉됨으로써, 상기 제1안착부(2)를 승강시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제1안착부(2)를 기울어짐 없이 승강시키도록 구현될 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 제1안착부(2)에는 제1가열장치가 설치될 수 있다. 상기 제1가열장치는 상기 제1안착부(2)의 내측에 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 제1가열장치는 상기 제1수용홈(21)에 수용된 제1기판을 가열함으로써, 상기 제1기판 및 필름 사이에 존재하는 기포에 대한 제거율을 높일 수 있다. 상기 제1가열장치는 봉형 히터, 판형 히터 등으로 구현될 수 있다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 제2안착부(3)는 필름이 부착된 제2기판을 지지하기 위한 것이다. 상기 제2기판은 디스플레이장치 및 태양전지 등을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 제2기판은 유리기판일 수 있다. 상기 제2기판은 복수개의 기판이 합착된 것일 수도 있다. 상기 제2기판 및 상기 제1기판은 동일한 종류의 기판일 수 있다. 상기 필름은 상기 제2기판에 부착되는 것이다. 예컨대, 상기 필름은 편광필름, 광학필름 등일 수 있다. 상기 제2기판에 부착된 필름 및 상기 제1기판에 부착된 필름은 동일한 종류의 필름일 수 이다. 상기 제2기판은 필름부착공정을 통해 상기 필름이 부착된 상태로 상기 제2안착부(3)에 안착됨으로써, 상기 제2안착부(3)에 의해 지지될 수 있다. 상기 제2기판이 상기 제2안착부(3)에 안착된 상태에서, 상기 제2기판 및 상기 필름 사이에 존재하는 기포를 제거하는 탈포공정이 수행될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 한번에 복수개의 기판에 대한 탈포공정을 수행할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 단위시간당 탈포공정을 수행할 수 있는 기판의 개수를 증대시킬 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정에 대한 처리율을 높일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 지연되는 것을 방지할 수 있으므로, 디스플레이장치 및 태양전지 등에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다. 상기 제2안착부(3)는 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2기판을 지지할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 제2안착부(3)는 상기 제1안착부(2)의 하측에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 복수개의 기판이 상하방향(Z축 방향)으로 적층되게 배치된 상태에서 복수개의 기판에 대한 탈포공정을 수행하므로, 설치면적의 증대 없이 복수개의 기판에 대한 탈포공정을 수행할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 한정된 작업공간에 대한 공간 활용도를 높여서 더 많은 대수로 설치될 수 있으므로, 상기 탈포공정에 대한 처리율을 더 높일 수 있고, 나아가 디스플레이장치 및 태양전지 등에 대한 생산성을 더 향상시키는데 기여할 수 있다.
상기 제2안착부(3)는 제2수용홈(31)을 포함한다. 상기 제2수용홈(31)은 상기 필름이 부착된 제2기판을 수용하기 위한 것이다. 상기 제2안착부(3)는 상기 제2수용홈(31)에 수용된 제2기판을 지지할 수 있다. 이 경우, 상기 제2기판은 상기 필름이 부착된 상태일 수 있다. 상기 제2수용홈(31)은 상기 제2안착부(3)의 상면으로부터 소정 깊이 함몰되어 형성될 수 있다. 상기 제2수용홈(31)은 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2기판을 수용할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제2수용홈(31)은 상기 필름이 부착된 제2기판에 비해 더 큰 면적을 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제2수용홈(31)은 상기 필름이 부착된 제2기판에 비해 더 두꺼운 두께를 갖도록 형성될 수 있다.
상기 제2안착부(3)는 상기 중간본체(5)에 결합될 수 있다. 상기 중간본체(5)는 상기 제2안착부(3) 및 상기 제1안착부(2)의 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 제2안착부(3)는 상기 중간본체(5)의 하측에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2수용홈(31)은 상기 중간본체(5)에 의해 가려질 수 있다.
상기 제2안착부(3)는 상기 중간본체(5)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2안착부(3)는 상기 제2수용홈(31)이 상기 중간본체(5)의 외측에 위치하도록 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제2수용홈(31)은 상기 중간본체(5)에 가려지지 않게 된다. 이 상태에서, 상기 탈포공정이 완료된 제2기판이 상기 제2수용홈(31) 및 상기 제2안착부(3)로부터 이격되는 언로딩공정이 이루어질 수 있다. 또한, 상기 탈포공정이 수행될 제2기판이 상기 제2수용홈(31)에 수용되어 상기 제2안착부(3)에 안착되는 로딩공정이 이루어질 수 있다. 상기 탈포공정이 수행될 제2기판이 상기 제2안착부(3)에 안착되면, 상기 제2안착부(3)는 상기 제2수용홈(31)이 상기 중간본체(5)에 가려지도록 이동할 수 있다. 상기 제2안착부(3)는 제2구동부(미도시)에 의해 이동될 수 있다. 상기 제2구동부는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식, 캠 등을 이용한 캠방식 등을 통해 상기 제2안착부(3)를 이동시킬 수 있다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 제2안착부(3)는 하부본체(50)의 상측에 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 하부본체(50)는 상기 탈포공정이 수행되는 작업공간의 바닥면에 의해 지지될 수 있다. 상기 하부본체(50)는 상기 바닥면에 의해 지지됨으로써, 상기 제1안착부(2), 상기 제2안착부(3), 상기 지지부(4), 및 상기 중간본체(5)를 지지하기 위한 지지력을 갖출 수 있다. 상기 하부본체(50), 상기 제1안착부(2), 상기 제2안착부(3), 상기 지지부(4), 및 상기 중간본체(5)는 상기 상하방향(Z축 방향)으로 적층되어 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
상기 하부본체(50), 상기 중간본체(5), 및 상기 상부본체(20)는 고정부(100, 도 2에 도시됨)에 의해 서로 고정되게 결합될 수 있다. 상기 고정부(100)는 상기 하부본체(50), 상기 중간본체(5), 및 상기 상부본체(20) 각각에 결합됨으로써, 상기 하부본체(50), 상기 중간본체(5), 및 상기 상부본체(20)를 고정할 수 있다. 상기 고정부(100)는 볼트 체결 등을 통해 상기 하부본체(50), 상기 중간본체(5), 및 상기 상부본체(20) 각각에 결합될 수 있다. 상기 고정부(100)는 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정을 위해 상기 제2안착부(3) 및 상기 제1안착부(2)가 이동하는 방향에 대해 수직한 방향 쪽에 위치하도록 배치될 수 있다. 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 고정부(100)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 하부본체(50), 상기 중간본체(5), 및 상기 상부본체(20)는 상기 고정부(100)들 사이에 위치하도록 배치될 수 있다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 제2안착부(3)에는 제2밀폐부재(60)가 결합될 수 있다.
상기 제2밀폐부재(60)는 상기 제2수용홈(31)을 밀폐시키기 위한 것이다. 상기 제2밀폐부재(60)는 상기 제2안착부(3)에 결합된 상태에서 상기 중간본체(5)에 접촉됨으로써, 상기 제2수용홈(31)을 밀폐시킬 수 있다. 이 상태에서 상기 필름이 부착된 제2기판에 대한 탈포공정이 수행될 수 있다. 상기 제2밀폐부재(60)는 상기 중간본체(5)의 하면에 접촉될 수 있다. 상기 제2안착부(3)는 상기 제2밀폐부재(60)가 결합되기 위한 제2결합부재(32)를 포함할 수 있다. 상기 제2결합부재(32)는 상기 제2수용홈(31)에 외측에 위치하도록 배치된다. 즉, 상기 제2수용홈(31)은 상기 제2결합부재(32)의 내측에 위치한다. 상기 제2밀폐부재(60)는 상기 제2수용홈(31)을 둘러싸도록 상기 제2결합부재(32)에 삽입되어 결합될 수 있다. 상기 제2밀폐부재(60)는 내측이 비어 있는 사각고리 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2수용홈(31)을 밀폐시킬 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 제2밀폐부재(60)는 상기 제2결합부재(32)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제2밀폐부재(60)는 내부에 기체가 공급됨에 따라 상기 중간본체(5) 쪽으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2밀폐부재(60)는 상기 중간본체(5)에 대한 밀착력이 증대됨으로써, 상기 제2수용홈(31)에 대한 밀폐력을 증대시킬 수 있다. 상기 제2밀폐부재(60)는 내부에 기체가 공급됨에 따라 팽창됨으로써 상기 중간본체(5)에 밀착되도록 이동할 수도 있다. 상기 제2밀폐부재(60)는 밀폐력을 가지면서도 신축 가능한 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제2밀폐부재(60)는 고무, 바이톤 등으로 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 제2안착부(3)는 제2승강부(70)에 의해 승강될 수 있다. 상기 제2승강부(70)는 상기 하부본체(50)에 결합될 수 있다. 상기 제2승강부(70)는 상기 제2밀폐부재(60)가 상기 중간본체(5)에 접촉되도록 상기 제2안착부(3)를 상승시킬 수 있다. 상기 제2밀폐부재(60)는 상기 중간본체(5)에 접촉된 상태에서 내부에 기체가 공급됨에 따라 상기 중간본체(5) 쪽으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2밀폐부재(60)는 상기 제2수용홈(31)을 밀폐시킬 수 있다. 이와 같이 상기 제2수용홈(31)이 상기 제2밀폐부재(60)에 의해 밀폐된 상태에서, 상기 제2수용홈(31)에 수용된 제2기판에 대한 탈포공정이 수행될 수 있다.
상기 제2승강부(70)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식을 통해 상기 제2안착부(3)를 승강시킬 수 있다. 상기 제2승강부(70)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식, 캠 등을 이용한 캠방식 등을 통해 상기 제2안착부(3)를 승강시킬 수도 있다.
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제2승강부(70)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 제2승강부(70)들은 서로 이격된 위치에 위치하도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강부(70)들은 상기 제2안착부(3)의 서로 다른 부분에 접촉됨으로써, 상기 제2안착부(3)를 승강시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제2안착부(3)를 기울어짐 없이 승강시키도록 구현될 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 제2안착부(3)에는 제2가열장치가 설치될 수 있다. 상기 제2가열장치는 상기 제2안착부(3)의 내측에 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 제2가열장치는 상기 제2수용홈(31)에 수용된 제2기판을 가열함으로써, 상기 제2기판 및 필름 사이에 존재하는 기포에 대한 제거율을 높일 수 있다. 상기 제2가열장치는 봉형 히터, 판형 히터 등으로 구현될 수 있다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 제2안착부(3)는 받침부(80, 도 4에 도시됨)에 의해 지지될 수 있다. 상기 받침부(80)는 상기 하부본체(50)에 결합될 수 있다. 상기 제2밀폐부재(60)가 상기 중간본체(5)에 접촉된 상태에서 내부에 기체가 공급됨에 따라 상기 중간본체(5) 쪽으로 이동하는 경우, 상기 제2안착부(3)는 상기 제2밀폐부재(60)에 밀려서 하강함에 따라 상기 받침부(80)에 지지될 수 있다. 따라서, 상기 제2밀폐부재(60)는 상기 제2안착부(3) 및 상기 중간본체(5)에 의해 지지됨으로써, 상기 제2수용홈(31)을 밀폐시킬 수 있다. 이와 같이 상기 제2수용홈(31)이 상기 제2밀폐부재(60)에 의해 밀폐된 상태에서, 상기 제2수용홈(31)에 수용된 제2기판에 대한 탈포공정이 수행될 수 있다.
상기 받침부(80)는 캠부재(81, 도 4에 도시됨) 및 이동부재(82, 도 4에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 캠부재(81)는 상기 제2안착부(3)를 지지하기 위한 것이다. 상기 캠부재(81)는 상기 이동부재(82)가 이동함에 따라 회전할 수 있다. 이에 따라, 상기 캠부재(81)에 형성된 캠면(811)이 향하는 방향이 변경될 수 있다. 상기 캠면(811)은 평면(平面)을 이루도록 형성될 수 있다. 상기 캠부재(81)는 상기 캠면(811)을 제외한 나머지 부분이 곡면을 이루도록 형성될 수 있다.
상기 이동부재(82)는 상기 캠부재(81)를 회전시키기 위한 것이다. 상기 이동부재(82)는 상기 하부본체(50)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 이동부재(82)는 작동부(미도시)에 의해 이동될 수 있다. 상기 작동부가 상기 이동부재(82)를 이동시키면, 상기 이동부재(82)에 결합된 캠부재(81)가 회전하면서 상기 캠면(811)이 향하는 방향이 변경될 수 있다. 상기 작동부는 상기 하부본체(50)에 결합될 수 있다. 상기 작동부는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 통해 상기 이동부재(82)를 이동시킬 수 있다.
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 캠부재(81)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 캠부재(81)들은 서로 이격된 위치에 위치하도록 상기 이동부재(82)에 결합된다. 상기 이동부재(82)가 이동함에 따라, 상기 캠부재(81)들 각각에 형성된 캠면(811)들이 향하는 방향이 변경될 수 있다. 상기 캠부재(81)들은 상기 제2안착부(3)의 서로 다른 부분에 접촉됨으로써, 상기 제2안착부(3)를 지지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 이루어지는 과정에서 상기 제2안착부(3)에 부분적으로 처짐이 발생하는 것을 방지함으로써, 상기 탈포공정이 완료된 제2기판에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
도 1 내지 도 6을 참고하면, 상기 지지부(4)는 상기 제1안착부(2)를 지지하기 위한 것이다. 상기 지지부(4)는 상기 중간본체(5)에 결합될 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 중간본체(5)에 의해 지지됨으로써, 상기 제1안착부(2)를 지지하기 위한 지지력을 갖출 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 제1안착부(2) 및 상기 중간본체(5)의 사이에 위치하도록 상기 중간본체(5)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 지지부(4)는 상기 제1안착부(2)의 하측에 위치할 수 있다.
상기 지지부(4)는 상기 중간본체(5)에 고정되게 결합되어서 상기 제1안착부(2)를 지지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 캠부재(81), 상기 이동부재(82), 및 상기 작동부를 통해 동작하는 받침부(80)를 이용하여 상기 제1안착부(2)를 지지하는 구조와 대비할 때, 상기 중간본체(5)에 고정되게 결합된 지지부(4)를 이용하여 상기 제1안착부(2)를 지지함으로써 다음과 같은 장점을 갖는다.
첫째, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 받침부(80)를 이용하여 상기 제1안착부(2)를 지지하는 구조와 대비할 때, 더 간결한 구조로 상기 제1안착부(2)에 대한 지지력을 구현할 수 있는 장점이 있다.
둘째, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 받침부(80)를 이용하여 상기 제1안착부(2)를 지지하는 구조와 대비할 때, 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하는 높이를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 상기 작업공간에서 차지하는 높이를 줄일 수 있으므로, 한정된 작업공간에서 더 많은 대수가 적층되어 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 작업공간에 대한 공간 활용도를 더 높임으로써, 상기 탈포공정에 대한 처리율을 더 높일 수 있고, 나아가 디스플레이장치 및 태양전지 등에 대한 생산성을 더 향상시키는데 기여할 수 있는 장점이 있다.
셋째, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 받침부(80)를 이용하여 상기 제1안착부(2)를 지지하는 구조와 대비할 때, 상기 제1안착부(2)에 대한 지지력을 구현하기 위한 제조비용을 줄일 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 받침부(80)를 이용하여 상기 제1안착부(2)를 지지하는 구조와 대비할 때, 상기 작동부가 없으므로 상기 작동부를 동작시키기 위한 전력 소모가 발생하지 않는다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 받침부(80)를 이용하여 상기 제1안착부(2)를 지지하는 구조와 대비할 때, 상기 탈포공정을 수행하기 위한 공정비용을 줄일 수 있는 장점이 있다.
상기 지지부(4)는 상기 제1밀폐부재(30)가 상기 상부본체(20)에 접촉된 상태에서 내부에 기체가 공급됨에 따라 상기 상부본체(20) 쪽으로 이동하면, 상기 제1밀폐부재(30)에 밀려서 하강하는 제1안착부(2)에 접촉됨으로써 상기 제1안착부(2)를 지지할 수 있다. 이 경우, 상기 지지부(4)는 상기 제1밀폐부재(30)가 상기 제1수용홈(21)을 견고하게 밀폐시키도록 상기 제1안착부(2)를 지지할 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 중간본체(5)의 상면으로부터 상측방향으로 돌출되도록 상기 중간본체(5)에 결합될 수 있다. 상기 지지부(4)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1안착부(2)를 지지할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 지지부(4) 및 상기 중간본체(5)는 일체로 형성될 수도 있다.
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 지지부(4)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 지지부(4)들은 서로 이격된 위치에 배치되도록 상기 중간본체(5)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(4)들은 상기 제1안착부(2)의 서로 다른 부분에 접촉됨으로써, 상기 제1안착부(2)를 지지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 이루어지는 과정에서 상기 제1안착부(2)에 부분적으로 처짐이 발생하는 것을 방지함으로써, 상기 탈포공정이 완료된 제1기판에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. 상기 제1승강부(40)는 상기 지지부(4)들 사이에 위치하도록 상기 중간본체(5)에 결합될 수 있다.
도 1 내지 도 6을 참고하면, 상기 중간본체(5)는 상기 지지부(4)를 지지하기 위한 것이다. 상기 중간본체(5)는 상기 지지부(4)가 상기 제1안착부(2)를 지지하도록 상기 지지부(4)를 지지할 수 있다. 상기 중간본체(5)는 상기 제1안착부(2) 및 상기 제2안착부(3)의 사이에 위치하도록 설치된다. 상기 중간본체(5)는 상기 고정부(100)에 결합됨으로써, 상기 제1안착부(2) 및 상기 제2안착부(3)의 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 중간본체(5)는 상기 제2수용홈(31)을 가릴 수 있도록 상기 제2안착부(3)의 상측에 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 중간본체(5)는 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2수용홈(31)을 가릴 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 중간본체(5)는 상기 상부본체(20) 및 상기 하부본체(50) 각각에 비해 더 얇은 두께(T1, 도 4에 도시됨)로 형성될 수 있다. 이 경우, 두께는 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하는 것이다. 즉, 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로, 상기 중간본체(5)의 두께(T1)는 상기 상부본체(20)의 두께(T2, 도 4에 도시됨)에 비해 더 얇다. 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로, 상기 중간본체(5)의 두께(T1)는 상기 하부본체(50)의 두께(T3, 도 4에 도시됨)에 비해 더 얇다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 이룰 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 중간본체(5)가 상기 상부본체(20) 및 상기 하부본체(50) 각각에 비해 더 얇은 두께(T1)로 형성됨으로써, 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하는 높이를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 상기 작업공간에서 차지하는 높이를 줄일 수 있으므로, 한정된 작업공간에서 더 많은 대수가 적층되어 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 작업공간에 대한 공간 활용도를 더 높임으로써, 상기 탈포공정에 대한 처리율을 더 높일 수 있고, 나아가 디스플레이장치 및 태양전지 등에 대한 생산성을 더 향상시키는데 기여할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 중간본체(5)가 상기 상부본체(20) 및 상기 하부본체(50) 각각에 비해 더 얇은 두께(T1)로 형성됨으로써, 상기 중간본체(5) 자체의 무게를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 전체적인 무게를 감소시킬 수 있으므로, 운반작업 및 조립작업 등에 대한 용이성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 중간본체(5)에 자중(自重)으로 인해 부분적으로 처짐이 발생함에 따라 상기 제2수용홈(31)의 체적이 변동되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 탈포공정이 완료된 제2기판에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
상기 중간본체(5)는, 상기 상부본체(20) 및 상기 하부본체(50) 각각의 두께(T2, T3)를 N이라 정의할 때, 1/2N 이하 1/6N 이상의 두께(T1)로 형성될 수 있다. 상기 중간본체(5)가 1/2N 초과의 두께(T1)로 형성된 경우, 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하는 높이 감소 및 상기 중간본체(5) 자체의 무게 감소를 통한 작용 효과가 저하될 뿐만 아니라, 상기 중간본체(5)에 부분적으로 더 많은 처짐이 발생할 수 있다. 상기 중간본체(5)가 1/6N 미만의 두께(T1)로 형성된 경우, 상기 중간본체(5)는 상기 지지부(4)가 상기 제1안착부(2)를 지지할 수 있도록 상기 지지부(5)를 충분한 지지력으로 지지하기 어렵다. 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 중간본체(5)가 1/2N 이하 1/6N 이상의 두께(T1)로 형성됨으로써, 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하는 높이 감소 및 상기 중간본체(5) 자체의 무게 감소를 통한 작용 효과를 향상시킬 수 있고, 상기 지지부(5)를 충분한 지지력으로 지지할 수 있다.
도 1 내지 도 7을 참고하면, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 기체공급부(6, 도 7에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 기체공급부(6)는 상기 제1기판 및 상기 제2기판 각각에 대한 탈포공정이 수행되도록 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31) 각각에 공정기체를 공급할 수 있다. 상기 제1기판 및 상기 제2기판 각각에는 필름이 부착되어 있다. 공정기체는 공기일 수 있다. 상기 기체공급부(6)는 상기 제1수용홈(21)이 제1내부압력으로 되도록 상기 제1수용홈(21)에 공정기체를 공급할 수 있다. 이 경우, 상기 제1수용홈(21)에서는 상기 제1내부압력 및 상기 제1가열장치로부터 제공되는 열을 이용하여 상기 제1기판 및 필름의 사이에 존재하는 기포가 제거되는 탈포공정이 이루어질 수 있다. 상기 기체공급부(6)는 상기 제2수용홈(31)이 제2내부압력으로 되도록 상기 제2수용홈(31)에 공정기체를 공급할 수 있다. 이 경우, 상기 제2수용홈(31)에서는 상기 제2내부압력 및 상기 제2가열장치로부터 제공되는 열을 이용하여 상기 제2기판 및 필름의 사이에 존재하는 기포가 제거되는 탈포공정이 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 중간본체(5)는 상기 제1내부압력 및 상기 제2내부압력을 이용함으로써, 상기 지지부(4)가 상기 제1안착부(2)를 지지하도록 상기 지지부(4)를 지지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 중간본체(5)가 상기 상부본체(20) 및 상기 하부본체(50) 각각에 비해 더 얇은 두께(T1)로 형성되더라도, 상기 중간본체(5)가 부분적으로 휘어지지 않으면서 충분한 지지력으로 상기 지지부(4)를 지지할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제1기판 및 상기 제2기판 각각에 대한 탈포공정이 수행되는 과정에서 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31) 각각의 체적이 변경되는 것을 방지함으로써, 상기 탈포공정이 완료된 제1기판 및 제2기판에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. 상기 제1안착부(2)가 상기 중간본체(5)의 상측에 위치하고, 상기 제2안착부(4)가 상기 중간본체(5)의 하측에 위치한 경우, 상기 중간본체(5)는 상기 제2내부압력에 의해 지지되어서 상기 제1내부압력에 의해 가압되는 지지부(4)를 지지할 수 있다.
상기 기체공급부(6)는 상기 제1내부압력 및 상기 제2내부압력이 서로 상쇄되도록 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31) 각각에 공정기체를 공급할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제1기판 및 상기 제2기판 각각에 대한 탈포공정이 수행되는 과정에서 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31) 각각이 고압으로 변경되더라도, 상기 중간본체(5)에 휘어짐, 처짐 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이 경우, 상기 기체공급부(6)는 상기 제1내부압력 및 상기 제2내부압력이 서로 동일하도록 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31) 각각에 공정기체를 공급할 수 있다.
상기 기체공급부(6)는 기체공급모듈(200, 도 7에 도시됨)에 연결될 수 있다. 상기 기체공급부(6)는 상기 기체공급모듈(200)로부터 공정기체를 공급받아서 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31) 각각에 공정기체를 공급할 수 있다. 상기 기체공급부(6)는 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31) 각각에 연결되게 설치될 수 있다.
상기 기체공급부(6)는 제1공급부재(61, 도 7에 도시됨) 및 제2공급부재(62, 도 7에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1공급부재(61)는 상기 제1수용홈(21)에 연결되는 것이다. 상기 제1공급부재(61)는 상기 제1수용홈(21)에 연통되도록 상기 상부본체(20)에 결합됨으로써, 상기 제1수용홈(21)에 연결될 수 있다. 이 경우, 상기 상부본체(20)에는 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제1수용홈(21)을 서로 연통되게 연결시키기 위한 제1연통공이 형성될 수 있다. 상기 제1공급부재(61)는 상기 기체공급모듈(200)로부터 공급된 공정기체를 상기 제1연통공을 통해 상기 제1수용홈(21)에 분사함으로써, 상기 제1수용홈(21)에 공정기체를 공급할 수 있다. 상기 제1공급부재(61)는 상기 제1안착부(2)의 상측에 위치하도록 설치될 수 있다.
상기 제2공급부재(62)는 상기 제2수용홈(31)에 연결되는 것이다. 상기 제2공급부재(62)는 상기 제2수용홈(31)에 연통되도록 상기 중간본체(5)에 결합됨으로써, 상기 제2수용홈(31)에 연결될 수 있다. 이 경우, 상기 중간본체(5)에는 상기 제2공급부재(62) 및 상기 제2수용홈(31)을 서로 연통되게 연결시키기 위한 제2연통공(51, 도 7에 도시됨)이 형성될 수 있다. 상기 제2공급부재(62)는 상기 기체공급모듈(200)로부터 공급된 공정기체를 상기 제2연통공(51)을 통해 상기 제2수용홈(31)에 분사함으로써, 상기 제2수용홈(31)에 공정기체를 공급할 수 있다. 상기 제2공급부재(62)는 상기 제1안착부(2) 및 상기 제2안착부(3)의 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2공급부재(62)는 상기 제2안착부(3)의 상측에 위치하도록 설치될 수 있다.
상기 기체공급부(6)는 연결부재(63, 도 7에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 연결부재(63)에는 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제2공급부재(62)가 각각 연통되게 결합될 수 있다. 상기 연결부재(63)는 일측이 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제2공급부재(62) 각각에 연통되게 결합됨으로써, 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제2공급부재(62) 각각에 연결될 수 있다. 상기 연결부재(63)는 타측이 상기 기체공급모듈(200)에 결합됨으로써, 상기 기체공급모듈(200)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 연결부재(63)는 상기 기체공급모듈(200)로부터 공급되는 공정기체를 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제2공급부재(62) 각각에 전달할 수 있다. 따라서, 상기 기체공급모듈(200)로부터 공급되는 공정기체는, 상기 연결부재(63)를 통해 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제2공급부재(62) 각각에 서로 동일한 유량으로 분배되므로, 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31) 각각에 서로 동일한 유량으로 공급될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 연결부재(63)를 이용하여 상기 제1수용홈(21)에 대한 제1내부압력 및 상기 제2수용홈(31)에 대한 제2내부압력을 서로 동일한 압력으로 유지시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 완료된 제1기판 및 상기 탈포공정이 완료된 제2기판의 품질에 대한 균일성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 완료된 기판들 간의 품질 편차를 줄임으로써, 상기 탈포공정에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제2공급부재(62)가 개별적으로 상기 기체공급모듈(200)에 연결된 경우와 대비할 때, 상기 제1내부압력 및 상기 제2내부압력을 서로 동일하게 조절하기 위한 제어의 용이성을 향상시킬 수 있다. 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제2공급부재(62)가 각각 상기 연결부재(63)를 통해 공정기체를 공급받으므로, 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제2공급부재(62)에 서로 동일한 유량의 공정기체가 공급되기 때문이다.
상기 연결부재(63)가 상기 제1공급부재(61) 및 상기 제2공급부재(62) 각각에 연결된 경우, 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31)은 서로 동일한 체적을 갖도록 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 제1수용홈(21) 및 상기 제2수용홈(31)은 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 동일한 두께로 형성될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 탈포용 오토클레이브 장치 2 : 제1안착부
3 : 제2안착부 4 : 지지부
5 : 중간본체 6 : 기체공급부
21 : 제1수용홈 22 : 제1결합부재
31 : 제2수용홈 32 : 제2결합부재
51 : 제2연통공 61 : 제1공급부재
62 : 제2공급부재 63 : 연결부재
20 : 상부본체 30 : 제1밀폐부재
40 : 제1승강부 50 : 하부본체
60 : 제2밀폐부재 70 : 제2승강부
80 : 받침부 100 : 고정부
200 : 기체공급모듈

Claims (12)

  1. 필름이 부착된 제1기판을 수용하기 위한 제1수용홈을 포함하고, 상기 제1수용홈에 수용된 제1기판을 지지하는 제1안착부;
    필름이 부착된 제2기판을 수용하기 위한 제2수용홈을 포함하고, 상기 제1안착부의 하측에 위치하도록 설치되어서 상기 제2수용홈에 수용된 제2기판을 지지하는 제2안착부;
    상기 제1안착부와 상기 제2안착부의 사이에 위치하도록 설치된 중간본체;
    상기 제1안착부를 지지하기 위해 상기 중간본체에 결합된 복수개의 지지부;
    상기 제1기판과 상기 제2기판 각각에 대한 탈포공정이 수행되도록 상기 제1수용홈과 상기 제2수용홈 각각에 공정기체를 공급하는 기체공급부; 및
    상기 중간본체가 상기 제1안착부와 상기 제2안착부의 사이에서 상기 제2안착부의 상측에 위치하도록 상기 중간본체를 고정하는 고정부를 포함하고,
    상기 중간본체는 상기 지지부들이 상기 제1안착부를 지지하도록, 상기 제1수용홈에 공정기체가 공급됨에 따른 제1내부압력 및 상기 제2수용홈에 공정기체가 공급됨에 따른 제2내부압력을 이용하여 상기 지지부들을 지지하며,
    상기 지지부들은 상기 제1안착부의 하측에서 상기 제1안착부의 서로 다른 부분을 지지하도록 서로 이격된 위치에서 상기 중간본체에 고정되게 결합된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기체공급부는 상기 제1내부압력 및 상기 제2내부압력이 서로 동일하도록 상기 제1수용홈 및 상기 제2수용홈 각각에 공정기체를 공급하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1안착부의 상측에 위치하도록 설치된 상부본체를 포함하고,
    상기 기체공급부는 상기 제1수용홈에 연통되도록 상기 상부본체에 결합되는 제1공급부재, 상기 제2수용홈에 연통되도록 상기 중간본체에 결합되는 제2공급부재, 및 공정기체를 공급하는 기체공급모듈에 연결된 연결부재를 포함하고,
    상기 제1공급부재 및 상기 제2공급부재는 각각 상기 연결부재에 연통되도록 결합되고,
    상기 연결부재는 상기 기체공급모듈로부터 공급되는 공정기체를 상기 제1공급부재 및 상기 제2공급부재 각각에 전달하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1수용홈 및 상기 제2수용홈은 서로 동일한 체적을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1안착부는 상기 중간본체의 상측에 위치하도록 설치되고,
    상기 제2안착부는 상기 중간본체의 하측에 위치하도록 설치되며,
    상기 중간본체는 상기 제2내부압력에 의해 지지되어서 상기 제1내부압력에 의해 가압되는 지지부를 지지하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
  6. 필름이 부착된 제1기판을 수용하기 위한 제1수용홈을 갖는 제1안착부;
    상기 제1안착부의 하측에 위치하도록 설치되고, 필름이 부착된 제2기판을 수용하기 위한 제2수용홈을 갖는 제2안착부;
    상기 제1안착부를 지지하기 위한 복수개의 지지부;
    상기 제1안착부와 상기 제2안착부의 사이에 위치하도록 설치되고, 상기 지지부들이 상기 제1안착부를 지지하도록 상기 지지부들을 지지하는 중간본체;
    상기 제1기판과 상기 제2기판 각각에 대한 탈포공정이 수행되도록 상기 제1수용홈과 상기 제2수용홈 각각에 공정기체를 공급하는 기체공급부; 및
    상기 중간본체가 상기 제1안착부와 상기 제2안착부의 사이에서 상기 제2안착부의 상측에 위치하도록 상기 중간본체를 고정하는 고정부를 포함하고,
    상기 기체공급부는 상기 제1수용홈에 공정기체가 공급됨에 따른 제1내부압력 및 상기 제2수용홈에 공정기체가 공급됨에 따른 제2내부압력이 서로 상쇄되도록 상기 제1수용홈 및 상기 제2수용홈 각각에 공정기체를 공급하며,
    상기 지지부들은 상기 제1안착부의 하측에서 상기 제1안착부의 서로 다른 부분을 지지하도록 서로 이격된 위치에서 상기 중간본체에 고정되게 결합된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
  7. 제1항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제1안착부의 상측에 위치하도록 설치된 상부본체, 및 상기 제2안착부의 하측에 위치하도록 설치된 하부본체를 포함하고,
    상기 중간본체는 상기 상부본체 및 상기 하부본체 각각에 비해 더 얇은 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
  8. 제1항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제1안착부의 상측에 위치하도록 설치된 상부본체, 및 상기 제2안착부의 하측에 위치하도록 설치된 하부본체를 포함하고,
    상기 제1안착부에는 상기 상부본체에 접촉되어서 상기 제1수용홈을 밀폐시키는 제1밀폐부재가 결합되며,
    상기 제2안착부에는 상기 중간본체에 접촉되어서 상기 제2수용홈을 밀폐시키는 제2밀폐부재가 결합되는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
  9. 제1항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제1안착부의 상측에 위치하도록 설치된 상부본체, 상기 제2안착부의 하측에 위치하도록 설치된 하부본체, 상기 제1안착부를 승강시키기 위한 제1승강부, 상기 제2안착부를 승강시키기 위한 제2승강부, 및 상기 제2안착부를 지지하기 위한 받침부를 포함하고,
    상기 제1승강부는 상기 중간본체에 결합되어서 상기 제1안착부를 승강시키며,
    상기 제2승강부는 상기 하부본체에 결합되어서 상기 제2안착부를 승강시키고,
    상기 받침부는 상기 하부본체에 결합되어서 상기 제2안착부를 지지하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
  10. 필름이 부착된 제1기판을 수용하기 위한 제1수용홈을 갖는 제1안착부;
    상기 제1안착부의 상측에 위치하도록 설치된 상부본체;
    상기 제1안착부의 하측에 위치하도록 설치되고, 필름이 부착된 제2기판을 수용하기 위한 제2수용홈을 갖는 제2안착부;
    상기 제2안착부의 하측에 위치하도록 설치된 하부본체;
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    상기 중간본체는 상기 지지부들이 상기 제1안착부를 지지하도록 상기 지지부들을 지지하되, 상기 상부본체 및 상기 하부본체 각각에 비해 더 얇은 두께로 형성되며,
    상기 지지부들은 상기 제1안착부의 하측에서 상기 제1안착부의 서로 다른 부분을 지지하도록 서로 이격된 위치에서 상기 중간본체에 고정되게 결합된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.
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