JP2012073300A - 基板貼合装置及び基板貼合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空チャンバ1内に、一方の基板P2を支持する支持部3と、基板P2に対向する位置に、他方の基板P1を保持する保持部2とを備え、真空チャンバ1内の圧力を検出する圧力検出部と、真空チャンバ1内の減圧時に、圧力検出部によって検出される圧力の変化に基づいて、基板P1の保持部2からの離脱による異常の有無を判定する判定部と、を有する。
【選択図】図1
Description
以上の態様では、真空室内の圧力低下速度が、正常な場合よりも速い場合若しくは異常の場合の速度と近似している場合に、異常と判定することができる。
以上の態様では、真空室内の圧力変化の波形に、不規則な乱れがある場合若しくは異常の場合の波形に近似している場合に、異常と判定することができる。
以上の態様では、真空室内の圧力変化曲線と傾きに、正常時の変化がない場合若しくは異常時の変化と近似する変化がある場合、異常と判定することができる。
以上の態様では、正常時の最終的な到達圧力と異なる場合、若しくは異常時の最終的な到達圧力と近似する場合、異常と判定することができる。
以上の態様では、保持部からの基板の離脱により、真空吸着部が開放されることにより、真空室内の急激な圧力上昇がある場合に、異常と判定することができる。
[A.実施形態の構成]
まず、本実施形態の基板貼合装置(以下、本装置と呼ぶ)の構成を、図1及び図2を参照して説明する。本装置は、たとえば、一対の基板P1、P2を接着剤Rを介して貼り合せる装置である。接着剤Rとしては、たとえば、紫外線硬化型の樹脂を用いる。
[1.貼り合わせ手順]
以上のような本実施形態による基板の貼り合わせ手順を、図1及び図2とともに、図3のフローチャートを参照して説明する。まず、図1(A)に示すように、真空チャンバ1の上部容器11が上昇して下部容器12から分かれ、大気開放された状態となっている。
上記の異常判定処理の具体例を、以下に説明する。なお、図4は、真空チャンバ内の減圧開始から停止までの圧力を実際に検出したグラフである。実線は、基板P1の落下が起きたチャンバC1の圧力変化、点線は、正常時のチャンバC2の圧力変化を示す。特に、比較部140による比較対象とすべきは、一点鎖線で囲まれた部分の圧力変化である。なお、二重線は、保持部2の下降開始時を示す。
比較部140による比較対象として、圧力低下速度を用いた一例を、説明する。たとえば、正常な貼り合わせが行われる場合には、十分な真空(減圧状態)に到達した後に、基板P1を基板P2に押し当てることができる。
基板P1が落下してしまった後も、真空室内の排気を継続すると、図1(C)に示すように、上下の基板P1、P2に挟まれた接着剤Rの側面から、内側に閉じ込められたアウトガスGが不規則に吐き出される。このため、真空室内の圧力変化を検出した波形に、不規則な乱れが生じる。たとえば、図4では、チャンバC2の圧力波形と比較して、チャンバC1の圧力波形には、不規則に乱れた部分がある。
保持部2が基板P1を保持する保持装置としては、貼り合わせ時の真空室内圧力が低い場合には、真空吸着(チャック)装置では、保持できない。しかし、基板P1の供給、搬出時の保持のため、真空吸着機能と他の保持装置の機能とを併用した装置を用いることも多い。
上述のように、正常な貼り合わせが行われた場合、基板P1と基板P2に押し当てたときに、初めて接着剤の表面が基板P1で覆われる。このため、そのタイミングで、接着剤表面からのアウトガスGが急激に減少し、その時点までの圧力変化曲線と傾きが変わる。
図4に示すように、基板P1の落下があった場合、最終的な到達圧力は、正常時よりも低くなる。このため、比較部140による比較対象を、検出圧力の最終的な到達圧力、正常時の最終的な到達圧力として設定する。そして、判定部150が、比較部140により比較された検出圧力の最終的な到達値を、正常時と比較した値が所定のしきい値よりも低い場合に、基板P1が落下したと判定できる。なお、この到達圧力による判定は、上述の各種判定との組み合わせにより、判定精度を高めることができる。
以上のような本実施形態によれば、真空室内の圧力の変化に基づいて、保持部2からの基板P1の落下を検出することができるので、真空室に窓を設けたり、作業者が、常時窓から監視する必要がない。また、一般的な貼合装置の真空室に設けられている圧力センサを利用すれば、新たに特別な検出器を追加する必要がない。このように、簡易且つ安価な構造で、基板P1の落下を確実に検出できる。
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。たとえば、上記の実施形態では、検出圧力変化情報と正常時の圧力変化情報との相違によって、異常を判定する例を挙げた。しかし、検出圧力変化情報と異常時の圧力変化情報との近似(しきい値内にあるか否か等)によって、異常を判定してもよい。
2…保持部
3…支持部
4…圧力検出部
5…入力部
6…出力部
7…駆動部
11…上部容器
12…下部容器
100…制御装置
110…記憶部
120…算出部
130…抽出部
140…比較部
150…判定部
160…指示部
Claims (13)
- 真空室内において、少なくとも一対の基板を、双方若しくは一方の基板に付着された接着剤を介して貼り合わせる基板貼合装置において、
前記真空室内に、
一方の基板を支持する支持部と、
前記支持部に支持された基板に対向する位置に、他方の基板を保持する保持部と、
前記支持部及び前記保持部の少なくとも一方を駆動することにより、一対の基板を貼り合わせる駆動部と、
を備え、
前記真空室内の圧力を検出する圧力検出部と、
前記真空室内の減圧時に、前記圧力検出部によって検出される圧力の変化に基づいて、前記他方の基板の前記保持部からの離脱による異常の有無を判定する判定部と、
を有することを特徴とする基板貼合装置。 - 前記圧力の変化が正常か異常かの判定の基準となる基準情報を記憶する基準情報記憶部と、
前記圧力検出部によって検出される圧力の変化と、前記基準情報とを比較する比較部と、
を有し、
前記判定部は、前記比較部の比較結果に基づいて、異常の有無を判定するように設定されていることを特徴とする請求項1記載の基板貼合装置。 - 前記基準情報は、所定の圧力低下速度を含むことを特徴とする請求項2記載の基板貼合装置。
- 前記基準情報は、所定の圧力変化の波形を含むことを特徴とする請求項2記載の基板貼合装置。
- 前記基準情報は、所定の圧力変化曲線及びその傾きを含むことを特徴とする請求項2記載の基板貼合装置。
- 前記圧力変化情報は、所定の最終的な到達圧力を含むことを特徴とする請求項2記載の基板貼合装置。
- 前記保持部は、真空吸着部を有し、
前記圧力変化情報は、所定の圧力上昇を含むことを特徴とする請求項2記載の基板貼合装置。 - 真空室内において、少なくとも一対の基板を、双方若しくは一方の基板に付着された接着剤を介して貼り合わせる基板貼合方法において、
真空室内において、
支持部が、一方の基板を支持し、
保持部が、他方の基板を保持し、
真空室内の減圧時における圧力の変化に基づいて、保持部からの基板の離脱による異常の有無を判定することを特徴とする基板貼合方法。 - 真空室内の圧力低下速度が、正常な場合よりも速い場合に、異常と判定することを特徴とする請求項8記載の基板貼合方法。
- 真空室内の圧力変化の波形に、不規則な乱れがある場合に、異常と判定することを特徴とする請求項8記載の基板貼合方法。
- 真空室内の圧力変化曲線と傾きに、正常時の変化がない場合に、異常と判定することを特徴とする請求項8記載の基板貼合方法。
- 前記圧力変化情報は、正常時若しくは異常時の最終的な到達圧力を含むことを特徴とする請求項8記載の基板貼合方法。
- 保持部が、真空吸着部を有し、
真空室内の急激な圧力上昇がある場合に、異常と判定することを特徴とする請求項8記載の基板貼合方法。
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