CN114166952B - 一种吸附检测装置及吸附检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种吸附检测装置及吸附检测方法。吸附检测装置包括：承载体；柔性膜单元，柔性膜单元包括第一柔性膜、第二柔性膜、第三柔性膜和柔性连接体，第一柔性膜、腔顶壁、第一顶侧壁和第二顶侧壁围成第一调压腔，柔性连接体、第二柔性膜、第一柔性膜、第一底侧壁、中心区的底面和第一子边缘区的底面之间围成第二调压腔，第三柔性膜位于第二柔性膜和柔性连接体的底部，第三柔性膜、第二底侧壁、柔性连接体和第二柔性膜围成第三调压腔；控制模块，控制模块适于控制第一调压腔、第二调压腔和第三调压腔的压强。所述吸附检测装置改变了由弹簧控制气路通断的方式，避免了由于弹簧的弹性系数选取不当导致吸附晶圆失败，甚至引发晶圆碎片。

Description

一种吸附检测装置及吸附检测方法

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种吸附检测装置及吸附检测方法。

背景技术

集成电路制造工艺过程通常是指将导体、半导体、绝缘层以一定的工艺顺序沉积在特定的基板上(如硅基晶圆)。在制造工艺过程中，CMP(化学机械抛光)设备主要用于对晶圆在膜沉积工艺后的微观粗糙表面进行全局平坦化处理，其中抛光头起着十分关键的作用。抛光头为包含柔性膜的多气囊结构，各气囊可以处于正压、负压和标准大气压状态，它一方面能对晶圆施加抛光压力，另一方面也能吸附晶圆，晶圆被抛光头吸紧之后随着抛光头的移动从而在各抛光垫之间传递。现有抛光头气囊结构的气路中，气路的导通与断开由弹簧控制开关实现。这种方法的缺点在于：如果弹簧的弹性系数偏高会导致晶圆在触发气路开关时被压碎；如果弹簧的弹性系数偏低会导致气路在晶圆未触发气路开关之前被导通，进而导致吸片失败，甚至碎片。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有抛光头工作时晶圆容易发生碎片的缺陷，进而提供一种吸附检测装置及吸附检测方法。

本发明提供一种吸附检测装置，包括：承载体，所述承载体包括中心区和包围所述中心区的边缘区，所述边缘区中具有容置腔，所述容置腔具有第一侧壁、围绕所述第一侧壁的第二侧壁以及腔顶壁，所述第一侧壁包括连接的第一顶侧壁和第一底侧壁，所述第二侧壁包括连接的第二顶侧壁和第二底侧壁，所述边缘区包括位于所述容置腔和所述中心区之间的第一子边缘区；柔性膜单元，所述柔性膜单元包括第一柔性膜、第二柔性膜、第三柔性膜和柔性连接体，所述第一柔性膜和所述柔性连接体位于所述容置腔中，所述第一柔性膜、所述腔顶壁、所述第一顶侧壁和所述第二顶侧壁围成第一调压腔，所述柔性连接体位于所述第一柔性膜的底部且与部分所述第一柔性膜连接，所述第二柔性膜位于所述中心区和所述第一子边缘区的底部且与所述柔性连接体背向所述第一柔性膜的一侧连接，所述柔性连接体、所述第二柔性膜、所述第一柔性膜、所述第一底侧壁、所述中心区的底面和所述第一子边缘区的底面之间围成第二调压腔，所述第三柔性膜位于所述第二柔性膜和柔性连接体的底部，所述第三柔性膜、所述第二底侧壁、所述柔性连接体和所述第二柔性膜围成第三调压腔；控制模块，所述控制模块适于控制所述第一调压腔、所述第二调压腔和所述第三调压腔的压强。

可选的，所述第一柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量，所述第二柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量，所述柔性连接体的弹性模量大于所述第三柔性膜的弹性模量。

可选的，所述控制模块还包括：第一调压单元；第三调压单元；控制单元，所述控制单元适于控制所述第一调压单元调节所述第一调压腔中的压强，所述控制单元还适于控制所述第三调压单元调节所述第三调压腔中的压强。

可选的，还包括：位于所述容置腔外部的边缘区中的第一气路、第二气路和第三气路，所述第一气路的一端与所述第一调压腔连通，所述第一气路的另一端与所述第一调压单元连接；所述第二气路的一端与所述第二调压腔连通，所述第二气路的另一端与大气环境连通；所述第三气路的一端与所述第三调压腔连通，所述第三气路的另一端与所述第三调压单元连接。

可选的，所述控制模块还包括：第一压力检测单元，所述第一压力检测单元适于检测所述第一调压腔中的压强；第二压力检测单元，所述第二压力检测单元适于检测所述第二调压腔中的压强；第三压力检测单元，所述第三压力检测单元适于检测所述第三调压腔中的压强；所述控制单元适于至少根据所述第二压力检测单元检测到的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况。

本发明还提供一种吸附检测方法，采用所述的吸附检测装置，包括：对所述第三调压腔充气，使得所述第三柔性膜按压在晶圆上；对所述第三调压腔充气之后，对所述第一调压腔抽气使得所述第一调压腔收缩，以带动所述柔性膜单元向上移动直至所述第二柔性膜与所述承载体的中心区和第一子边缘区贴合；对所述第一调压腔抽气之后，对所述第三调压腔抽气；对所述第三调压腔抽气的过程中，至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况。

可选的，对所述第三调压腔抽气的过程中，所述柔性连接体朝向所述第二底侧部形变；至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的所述第二调压腔的压强从大气压变为小于大气压且保持在小于大气压状态，则判断对晶圆吸附成功。

可选的，至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况还包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的第二调压腔的压强始终等于大气压，则判断对晶圆吸附失败。

可选的，对所述第三调压腔抽气的过程中，所述柔性连接体朝向所述第二底侧部形变之后，所述柔性连接体朝向所述第二底侧部的形变恢复；至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况还包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的第二调压腔的压强由大气压变小后，又恢复至大气压，则判断对晶圆吸附失败。

可选的，所述控制模块还包括：第二压力检测单元，所述第二压力检测单元适于检测所述第二调压腔中的压强；第一调压单元和第三调压单元；控制单元；对所述第三调压腔充气的步骤为：所述控制单元控制所述第三调压单元对所述第三调压腔充气；对所述第一调压腔抽气使得所述第一调压腔收缩的步骤为：所述控制单元控制所述第一调压单元对所述第一调压腔抽气；至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况的步骤为：所述控制单元至少根据所述第二压力检测单元检测到的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况。

本发明技术方案，具有如下优点：

本发明提供的吸附检测装置，包括：所述第一柔性膜、所述腔顶壁、所述第一顶侧壁和所述第二顶侧壁围成第一调压腔，所述柔性连接体、所述第二柔性膜、所述第一柔性膜、所述第一底侧壁、所述中心区的底面和所述第一子边缘区的底面之间围成第二调压腔，所述第三柔性膜、所述第二底侧壁、所述柔性连接体和所述第二柔性膜围成第三调压腔；控制模块，所述控制模块适于控制所述第一调压腔、所述第二调压腔和所述第三调压腔的压强。本发明提供的吸附检测装置改变了现有技术中由弹簧控制气路通断的方式，避免了由于弹簧的弹性系数偏高导致晶圆在触发气路开关时被压碎，或者弹性系数偏低导致气路在晶圆未触发气路开关之前被导通，进而导致吸附晶圆失败，甚至引发晶圆碎片。

进一步，所述第一柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量，所述第二柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量，所述柔性连接体的弹性模量大于所述第三柔性膜的弹性模量。在所述第一调压腔、所述第二调压腔和所述第三调压腔中压强发生变化时，使用不同弹性模量柔性材料可以实现不同的形变方式，进而对所述第一调压腔、所述第二调压腔和所述第三调压腔中压强产生相应的反馈。具体的，所述第一柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量意味着所述柔性连接体比所述第一柔性膜更容易发生形变，所述第二柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量意味着所述柔性连接体比所述第二柔性膜更容易发生形变，所述柔性连接体的弹性模量大于所述第三柔性膜的弹性模量意味着所述第三柔性膜比所述柔性连接体更容易发生形变。

本发明提供的吸附检测方法，采用所述的吸附检测装置，包括：对所述第三调压腔充气，使得所述第三柔性膜按压在晶圆上；对所述第三调压腔充气之后，对所述第一调压腔抽气使得所述第一调压腔收缩，以带动所述柔性膜单元向上移动直至所述第二柔性膜与所述承载体的中心区和第一子边缘区贴合；对所述第一调压腔抽气之后，对所述第三调压腔抽气；对所述第三调压腔抽气的过程中，至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的所述第二调压腔的压强从大气压变为小于大气压且保持在小于大气压状态，则判断对晶圆吸附成功；当柔性连接体和第一底侧壁之间的第二调压腔的压强始终等于大气压，则判断对晶圆吸附失败；当柔性连接体和第一底侧壁之间的第二调压腔的压强由大气压变小后，又恢复至大气压，则判断对晶圆吸附失败。本发明提供的吸附检测方法可以仅通过所述第二调压腔中的压强达到实时监测晶圆吸附情况的目的，流程简单高效；在气路控制过程中不使用弹簧控制，克服了现有抛光头工作时晶圆容易发生碎片的缺陷。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实施例中吸附检测装置的结构示意图；

图2为本实施例的吸附检测装置中承载体的结构示意图；

图3为本实施例的吸附检测装置中柔性膜单元的结构示意图；

图4为本实施例的吸附检测装置中承载体与柔性膜单元组合的结构示意图；

图5为本实施例的吸附检测装置中控制模块的控制方式示意图；

图6为另一个实施例中吸附检测装置的结构示意图；

图7为本实施例中吸附检测方法的流程示意图；

图8至图11为本实施例吸附检测方法过程中的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种吸附检测装置，所述吸附检测装置的结构示意图如图1所示，包括：承载体1，所述承载体1包括如图2所示的中心区11和包围所述中心区11的边缘区12，所述边缘区12中具有容置腔120，所述容置腔120具有第一侧壁121、围绕所述第一侧壁121的第二侧壁122以及腔顶壁123，所述第一侧壁121包括连接的第一顶侧壁1211和第一底侧壁1212，所述第二侧壁122包括连接的第二顶侧壁1221和第二底侧壁1222，所述边缘区12包括位于所述容置腔120和所述中心区11之间的第一子边缘区124；柔性膜单元2，所述柔性膜单元2包括如图3所示的第一柔性膜21、第二柔性膜22、第三柔性膜23和柔性连接体24，所述第一柔性膜21和所述柔性连接体24位于所述容置腔120中，所述第一柔性膜21、所述腔顶壁123、所述第一顶侧壁1211和所述第二顶侧壁1221围成如图4所示的第一调压腔31，所述柔性连接体24位于所述第一柔性膜21的底部且与部分所述第一柔性膜21连接，所述第二柔性膜22位于所述中心区11和所述第一子边缘区124的底部且与所述柔性连接体24背向所述第一柔性膜21的一侧连接，所述柔性连接体24、所述第二柔性膜22、所述第一柔性膜21、所述第一底侧壁1212、所述中心区11的底面和所述第一子边缘区124的底面之间围成如图4所示的第二调压腔32，所述第三柔性膜23位于所述第二柔性膜22和柔性连接体24的底部，所述第三柔性膜23、所述第二底侧壁1222、所述柔性连接体24和所述第二柔性膜22围成如图4所示的第三调压腔33；如图5所示的控制模块5，所述控制模块5适于控制所述第一调压腔31、所述第二调压腔32和所述第三调压腔33的压强。本实施例提供的吸附检测装置改变了现有技术中由弹簧控制气路通断的方式，避免了由于弹簧的弹性系数偏高导致晶圆在触发气路开关时被压碎，或者弹性系数偏低导致气路在晶圆未触发气路开关之前被导通，进而导致吸附晶圆失败，甚至引发晶圆碎片。

本实施例中，所述第一柔性膜21的弹性模量大于所述柔性连接体24的弹性模量，所述第二柔性膜22的弹性模量大于所述柔性连接体24的弹性模量，所述柔性连接体24的弹性模量大于所述第三柔性膜23的弹性模量。在所述第一调压腔31、所述第二调压腔32和所述第三调压腔33中压强发生变化时，使用不同弹性模量柔性材料可以实现不同的形变方式，进而对所述第一调压腔31、所述第二调压腔32和所述第三调压腔33中压强产生相应的反馈。具体的，所述第一柔性膜21的弹性模量大于所述柔性连接体24的弹性模量意味着所述柔性连接体24比所述第一柔性膜21更容易发生形变，所述第二柔性膜22的弹性模量大于所述柔性连接体24的弹性模量意味着所述柔性连接体24比所述第二柔性膜22更容易发生形变，所述柔性连接体24的弹性模量大于所述第三柔性膜23的弹性模量意味着所述第三柔性膜23比所述柔性连接体24更容易发生形变。

在一个实施例中，所述控制模块5还包括：第一调压单元531；第三调压单元533；控制单元52，所述控制单元52适于控制所述第一调压单元531调节所述第一调压腔31中的压强，所述控制单元52还适于控制所述第三调压单元533调节所述第三调压腔33中的压强。

在一个实施例中，还包括：位于所述容置腔120外部的边缘区12中的第一气路41、第二气路42和第三气路43，所述第一气路41的一端与所述第一调压腔31连通，所述第一气路41的另一端与所述第一调压单元531连接；所述第二气路42的一端与所述第二调压腔32连通，所述第二气路42的另一端与大气环境连通；所述第三气路43的一端与所述第三调压腔33连通，所述第三气路43的另一端与所述第三调压单元533连接。

在另一个实施例中，如图6所示，第一气路41’与第二气路42’相连通后共用一个调压单元。还可以在承载体1的中心区11形成一个阻尼孔6连通大气环境与第二调压腔32’。阻尼孔6适于在第二调压腔32’中压强缓慢变化时，维持第二调压腔32’中压强可以恢复到大气压；当第二调压腔32’中压强迅速变化时，则由于内外压强差过大，而不再导通，此时所述第二调压腔32’内压强不再能维持在大气压。

在一个实施例中，所述控制模块5还包括：第一压力检测单元511，所述第一压力检测单元511适于检测所述第一调压腔31中的压强；第二压力检测单元512，所述第二压力检测单元512适于检测所述第二调压腔32中的压强；第三压力检测单元513，所述第三压力检测单元513适于检测所述第三调压腔33中的压强；所述控制单元52适于至少根据所述第二压力检测单元512检测到的压强判断所述第三柔性膜23对晶圆的吸附情况。

实施例2

本实施例提供一种吸附检测方法，采用如图1中所示的吸附检测装置，所述吸附检测方法的流程示意图如图7所示，包括如下步骤：

步骤S1：对所述第三调压腔33充气，使得所述第三柔性膜23按压在晶圆上；

步骤S2：对所述第三调压腔33充气之后，对所述第一调压腔31抽气使得所述第一调压腔31收缩，以带动所述柔性膜单元2向上移动直至所述第二柔性膜22与所述承载体1的中心区11和第一子边缘区124贴合；

步骤S3：对所述第一调压腔31抽气之后，对所述第三调压腔33抽气；

步骤S4：对所述第三调压腔33抽气的过程中，至少根据所述第二调压腔32中的压强判断所述第三柔性膜23对晶圆的吸附情况。

下面结合图8至图11详细进行介绍。

参考图8，对所述第三调压腔33充气，使得所述第三柔性膜23按压在晶圆7上，所述晶圆7放置在载物台8上。对所述第三调压腔33充气，则所述第三调压腔33的压强大于初始时的大气压，使得所述第三柔性膜23按压在晶圆7上。此时所述第三调压腔33内压强大于所述第一调压腔31内压强(大气压)，所述第三调压腔33内压强大于所述第二调压腔32内压强(大气压)。当所述第一柔性膜21的弹性模量大于所述柔性连接体24的弹性模量，且所述第二柔性膜22的弹性模量大于所述柔性连接体24的弹性模量时，所述柔性连接体24优先产生如图8所示的形变。

参考图9，对所述第三调压腔33充气之后，对所述第一调压腔31抽气使得所述第一调压腔31收缩，以带动所述柔性膜单元2向上移动直至所述第二柔性膜22与所述承载体1的中心区11和所述第一子边缘区124贴合，导致所述第二调压腔32成为由所述第一侧壁121、所述第一柔性膜21、所述柔性连接体24和部分所述第二柔性膜22形成的封闭腔体，所述第二调压腔32不再与大气环境连通。此时所述第三调压腔33内压强大于所述第二调压腔32内压强(大气压)，所述第二调压腔32内压强(大气压)大于所述第一调压腔31内压强。

参考图10，对所述第一调压腔31抽气之后，对所述第三调压腔33抽气。对所述第三调压腔33抽气会使所述第三柔性膜23和所述晶圆7之间形成如图10所示的负压空间9，在大气压作用下，所述晶圆7被吸附。由于所述第二调压腔32为封闭腔体，封闭时的压强为大气压，对所述第三调压腔33抽气会导致柔性连接体24的两侧出现压强差，使所述柔性连接体24向所述第三调压腔33一侧发生形变，而所述第二调压腔32则由于体积膨胀导致所述第二调压腔32内压强小于大气压。此时所述第二调压腔32内压强大于所述第三调压腔33内压强，所述第三调压腔33内压强大于所述第一调压腔31内压强。

参考图11，当所述晶圆7在被吸附后掉落或者所述晶圆7未被吸附时，则如图10中的负压空间9不再存在，会直接与大气接触，导致所述第三柔性膜23形变加剧，这部分形变可以抵消所述柔性连接体24向所述第三调压腔33一侧的形变，即所述第二调压腔32的体积基本不变，进而恢复到刚形成封闭腔体时的状态，仍然保持大气压。

在一个实施例中，对所述第三调压腔33抽气的过程中，所述柔性连接体24朝向所述第二底侧部形变；至少根据所述第二调压腔32中的压强判断所述第三柔性膜23对晶圆7的吸附情况包括：当柔性连接体24和第一底侧壁1212之间的所述第二调压腔32的压强从大气压变为小于大气压且保持在小于大气压状态，则判断对晶圆7吸附成功。

在一个实施例中，至少根据所述第二调压腔32中的压强判断所述第三柔性膜23对晶圆7的吸附情况还包括：当柔性连接体24和第一底侧壁1212之间的第二调压腔32的压强始终等于大气压，则判断对晶圆7吸附失败。这个过程表示晶圆7未被吸附。

在一个实施例中，对所述第三调压腔33抽气的过程中，所述柔性连接体24朝向所述第二底侧部形变之后，所述柔性连接体24朝向所述第二底侧部的形变恢复；至少根据所述第二调压腔32中的压强判断所述第三柔性膜23对晶圆7的吸附情况还包括：当柔性连接体24和第一底侧壁1212之间的第二调压腔32的压强由大气压变小后，又恢复至大气压，则判断对晶圆7吸附失败。当柔性连接体24和第一底侧壁1212之间的第二调压腔32的压强由大气压变小时，晶圆7被吸附成功；当柔性连接体24和第一底侧壁1212之间的第二调压腔32的压强又恢复至大气压时，表示晶圆7在被吸附后掉落。

在一个实施例中，由于实际生产时所述第一调压腔31、所述第二调压腔32和所述第三调压腔33内的压强存在各种正常或者异常情况，尽管至少根据所述第二调压腔32中的压强就可以判断所述第三柔性膜23对晶圆7的吸附情况，但仍要分别对所述第一调压腔31、所述第二调压腔32和所述第三调压腔33内的压强进行实时监测，当监测到压强出现异常时，则及时停止运转。

在一个实施例中，所述控制模块5还包括：第二压力检测单元512，所述第二压力检测单元512适于检测所述第二调压腔32中的压强；第一调压单元531和第三调压单元533；控制单元52；对所述第三调压腔33充气的步骤为：所述控制单元52控制所述第三调压单元533对所述第三调压腔33充气；对所述第一调压腔31抽气使得所述第一调压腔31收缩的步骤为：所述控制单元52控制所述第一调压单元531对所述第一调压腔31抽气；至少根据所述第二调压腔32中的压强判断所述第三柔性膜23对晶圆7的吸附情况的步骤为：所述控制单元52至少根据所述第二压力检测单元512检测到的压强判断所述第三柔性膜23对晶圆7的吸附情况。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种吸附检测方法，其特征在于，包括：

提供吸附检测装置；

所述吸附检测装置包括：

承载体，所述承载体包括中心区和包围所述中心区的边缘区，所述边缘区中具有容置腔，所述容置腔具有第一侧壁、围绕所述第一侧壁的第二侧壁以及腔顶壁，所述第一侧壁包括连接的第一顶侧壁和第一底侧壁，所述第二侧壁包括连接的第二顶侧壁和第二底侧壁，所述边缘区包括位于所述容置腔和所述中心区之间的第一子边缘区；

柔性膜单元，所述柔性膜单元包括第一柔性膜、第二柔性膜、第三柔性膜和柔性连接体，所述第一柔性膜和所述柔性连接体位于所述容置腔中，所述第一柔性膜、所述腔顶壁、所述第一顶侧壁和所述第二顶侧壁围成第一调压腔，所述柔性连接体位于所述第一柔性膜的底部且与部分所述第一柔性膜连接，所述第二柔性膜位于所述中心区和所述第一子边缘区的底部且与所述柔性连接体背向所述第一柔性膜的一侧连接，所述柔性连接体、所述第二柔性膜、所述第一柔性膜、所述第一底侧壁、所述中心区的底面和所述第一子边缘区的底面之间围成第二调压腔，所述第三柔性膜位于所述第二柔性膜和柔性连接体的底部，所述第三柔性膜、所述第二底侧壁、所述柔性连接体和所述第二柔性膜围成第三调压腔；

控制模块，所述控制模块适于控制所述第一调压腔、所述第二调压腔和所述第三调压腔的压强；

对所述第三调压腔充气，使得所述第三柔性膜按压在晶圆上；

对所述第三调压腔充气之后，对所述第一调压腔抽气使得所述第一调压腔收缩，以带动所述柔性膜单元向上移动直至所述第二柔性膜与所述承载体的中心区和第一子边缘区贴合；

对所述第一调压腔抽气之后，对所述第三调压腔抽气；

对所述第三调压腔抽气的过程中，至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况。

2.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，所述第一柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量，所述第二柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量，所述柔性连接体的弹性模量大于所述第三柔性膜的弹性模量。

3.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，对所述第三调压腔抽气的过程中，所述柔性连接体朝向所述第二底侧部形变；

至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的所述第二调压腔的压强从大气压变为小于大气压且保持在小于大气压状态，则判断对晶圆吸附成功。

4.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况还包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的第二调压腔的压强始终等于大气压，则判断对晶圆吸附失败。

5.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，对所述第三调压腔抽气的过程中，所述柔性连接体朝向所述第二底侧部形变之后，所述柔性连接体朝向所述第二底侧部的形变恢复；

至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况还包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的第二调压腔的压强由大气压变小后，又恢复至大气压，则判断对晶圆吸附失败。

6.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，所述控制模块还包括：第二压力检测单元，所述第二压力检测单元适于检测所述第二调压腔中的压强；第一调压单元和第三调压单元；控制单元；

对所述第三调压腔充气的步骤为：所述控制单元控制所述第三调压单元对所述第三调压腔充气；

对所述第一调压腔抽气使得所述第一调压腔收缩的步骤为：所述控制单元控制所述第一调压单元对所述第一调压腔抽气；

至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况的步骤为：所述控制单元至少根据所述第二压力检测单元检测到的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况。

7.如权利要求6所述的吸附检测方法，其特征在于，所述吸附检测装置还包括：位于所述容置腔外部的边缘区中的第一气路、第二气路和第三气路，所述第一气路的一端与所述第一调压腔连通，所述第一气路的另一端与所述第一调压单元连接；所述第二气路的一端与所述第二调压腔连通，所述第二气路的另一端与大气环境连通；所述第三气路的一端与所述第三调压腔连通，所述第三气路的另一端与所述第三调压单元连接。

8.如权利要求6所述的吸附检测方法，其特征在于，所述控制模块还包括：第一压力检测单元，所述第一压力检测单元适于检测所述第一调压腔中的压强；第二压力检测单元，所述第二压力检测单元适于检测所述第二调压腔中的压强；第三压力检测单元，所述第三压力检测单元适于检测所述第三调压腔中的压强；

所述控制单元适于至少根据所述第二压力检测单元检测到的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况。