JP5270108B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
図1は、本発明に係る基板処理装置の平面図である。また、図2は基板処理装置の液処理部の正面図であり、図3は熱処理部の正面図であり、図4は基板載置部の周辺構成を示す図である。なお、図1および以降の各図にはそれらの方向関係を明確にするためZ軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を適宜付している。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態の基板処理装置は、露光後加熱処理を行う加熱部PHP7〜PHP12の構成が若干相違する点を除いては第1実施形態と同様の構成を備えている。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。第3実施形態の基板処理装置は、現像処理ブロック4の熱処理タワー42の構成が第1実施形態と相違する。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記各実施形態において、1基の送り専用搬送ロボットによってレジスト膜が形成された露光前の基板Wを基板載置部PASS9から直接露光ユニットEXPに送り出すようにしても良いし、1基の戻り専用搬送ロボットによって露光後の基板Wを露光ユニットEXPから露光後加熱処理を行う処理部に搬送するようにしても良い。すなわち、送り専用搬送ロボットはレジスト膜が形成された露光前の基板Wのみを搬送するものであれば基数は任意のものとすることができ、同様に戻り専用搬送ロボットも露光後の基板Wのみを搬送するものであれば基数は任意のものとすることができる。
2 バークブロック
3 レジスト塗布ブロック
4 現像処理ブロック
5 インターフェイスブロック
12 基板移載機構
21,31,41,42 熱処理タワー
100 ホストコンピュータ
400 熱処理ユニット
410 ローカル搬送機構
BR 受渡ロボット
BRC1〜BRC3,SC1〜SC3 塗布処理ユニット
CP,CP1〜CP14 クールプレート
EXP 露光ユニット
HP,HP1〜HP11 ホットプレート
MC メインコントローラ
PASS1〜PASS9 基板載置部
PHP1〜PHP12 加熱部
RBR 戻り搬送ロボット
RPASS 戻り基板載置部
SBR 送り搬送ロボット
SD1〜SD5 現像処理ユニット
SPASS 送り基板載置部
TC 搬送ロボットコントローラ
TR1〜TR4 搬送ロボット
W 基板
Claims (4)
- レジスト膜の形成処理を行った基板を露光装置に渡すとともに、当該露光装置から受け取った露光後の基板に現像処理を行う基板処理装置であって、
基板上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成部と、
露光後の基板に対して露光後加熱処理を行う複数の露光後加熱部と、
レジスト膜の形成処理が終了した基板のみを搬送して前記露光装置に送り出す送り専用搬送ロボットと、
前記露光装置から露光後の基板のみを受け取って前記複数の露光後加熱部のいずれかに搬送する戻り専用搬送ロボットと、
前記露光装置における露光処理が完了してから前記複数の露光後加熱部のいずれかに露光後の基板を搬送するまでの時間が一定となるように前記戻り専用搬送ロボットを制御する搬送制御手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置において、
露光後加熱処理の終了した基板を冷却する冷却部と、
前記複数の露光後加熱部のいずれかから前記冷却部に露光後加熱処理の終了した基板のみを搬送する移載専用搬送ロボットと、
をさらに備え、
前記搬送制御手段は、前記露光装置における露光処理が完了してから前記複数の露光後加熱部のいずれかにおける露光後加熱処理を経て前記冷却部に露光後の基板を搬送するまでの時間が一定となるように前記戻り専用搬送ロボットおよび前記移載専用搬送ロボットを制御することを特徴とする基板処理装置。 - レジスト膜の形成処理を行うとともに露光後の基板に現像処理を行うユニット配置部と、前記ユニット配置部に隣接して配置され、露光装置と前記ユニット配置部との間で基板の受け渡しを行うインターフェイスと、を備えた基板処理装置であって、
前記ユニット配置部は、露光後の基板に対して露光後加熱処理を行う複数の露光後加熱部を備え、
前記インターフェイスは、
レジスト膜の形成処理が終了した基板のみを前記ユニット配置部から受け取って前記露光装置に送り出す送り専用搬送ロボットと、
前記露光装置から露光後の基板のみを受け取って前記複数の露光後加熱部のいずれかに搬送する戻り専用搬送ロボットと、
を備え、
前記露光装置における露光処理が完了してから前記複数の露光後加熱部のいずれかに露光後の基板を搬送するまでの時間が一定となるように前記戻り専用搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3記載の基板処理装置において、
前記ユニット配置部は、
露光後加熱処理の終了した基板を冷却する冷却部と、
前記複数の露光後加熱部のいずれかから前記冷却部に露光後加熱処理の終了した基板のみを搬送する移載専用搬送ロボットと、
をさらに備え、
前記搬送制御手段は、前記露光装置における露光処理が完了してから前記複数の露光後加熱部のいずれかにおける露光後加熱処理を経て前記冷却部に露光後の基板を搬送するまでの時間が一定となるように前記戻り専用搬送ロボットおよび前記移載専用搬送ロボットを制御することを特徴とする基板処理装置。
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