JP6214861B2 - 基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法 - Google Patents

Description

この発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板など（以下、単に基板と称する）を処理する基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法に関する。

従来、この種の装置として、複数の処理部を備える装置がある。各処理部は、例えば、処理ユニットと、処理ユニットに基板を搬送する主搬送機構と、を備えている。このように構成される基板処理装置では、各処理部において基板処理を並行して行うことができる。よって、基板処理能力（スループット）を向上させることができる（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９−１０２９１号公報

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、処理部に対して点検、補修または修理などを行うために、処理部の電源を遮断する場合がある。電源を遮断する前には、予め、種々の準備作業を行う。例えば、処理液を送るポンプを停止させたり、各種の弁を閉じたりする。このように、電源を遮断するための準備作業が煩雑であるので、適切に電源を遮断しづらいという不都合がある。

また、メンテナンス対象が一部の処理部であっても、一部の処理部のみならず、全ての処理部の電源を遮断することになる。このため、基板処理能力が著しく低下してしまうという不都合がある。

この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、この発明の第１の目的は、処理部の電源を適切に遮断することができる基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法を提供することである。また、この発明の第２の目的は、基板処理能力が著しく低下することを抑制することができる基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法を提供することである。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、基板を処理する処理部と、処理部に電力を供給するための処理部用配線と、処理部用配線を開閉して、処理部の電源を投入・遮断する開閉器と、処理部を、電源の遮断が制限されている遮断制限状態から電源の遮断が許容された遮断可能状態に変更する制御部と、を備え、制御部はさらに、処理部が遮断可能状態であるときには開閉器の作動を許容し、処理部が遮断制限状態にあるときには開閉器の作動を禁止する基板処理装置である。

［作用・効果］本発明に係る基板処理装置によれば、処理部の電源を遮断するときには、まず、制御部が処理部を遮断可能状態に変更し、その後、開閉器が処理部用配線を開く。このように、処理部に対するソフトウエア的な処理と、ハードウエアである開閉器の作動の２段階によって、処理部の電源を遮断するので、処理部の電源を適切に遮断することができる。また、制御部が処理部を遮断可能状態に変更するので、ユーザーの負担を軽減することができる。さらに、処理部が遮断制限状態であるときには、開閉器の作動を禁止しているので、処理部の電源が遮断されることを確実に防ぐことができる。

上述した発明において、処理部は複数であり、処理部用配線は、各処理部に個別に電力を供給し、開閉器は、各処理部用配線を個別に開閉して、各処理部の電源を個別に投入・遮断し、制御部は、処理部を個別に遮断可能状態に変更させるとともに、遮断可能状態である処理部に対応した開閉器の作動を許容し、遮断制限状態である処理部に対応した開閉器の作動を禁止することが好ましい。これによれば、複数の処理部の電源を個別に遮断することができる。よって、一部の処理部に電力を供給しつつ、他の処理部への電力供給を停止することができる。これにより、例えば、一部の処理部において基板に処理を行いながら、他の処理部を停電させてメンテナンスを行うことができる。このように、基板処理装置の一部の処理部のみを部分的に稼動させることができるので、基板処理能力が著しく低下することを抑制することができる。

また、本発明は、基板を処理する複数の処理部と、各処理部に電力を個別に供給するための複数の処理部用配線と、各処理部用配線を個別に開閉し、各処理部の電源を個別に投入・遮断する複数の開閉器と、を備えている基板処理装置である。

［作用・効果］本発明に係る基板処理装置によれば、各開閉器を互いに独立に作動させることによって、一部の処理部の電源を投入しつつ、他の処理部の電源を遮断することができる。このように、基板処理装置の一部の処理部のみを部分的に稼動させることができるので、基板処理能力が著しく低下することを抑制することができる。

上述した発明において、処理部を個別に、電源の遮断が制限されている遮断制限状態から電源の遮断が許容された遮断可能状態に変更する制御部と、を備え、制御部はさらに、遮断可能状態である処理部に対応した開閉器の作動を許容し、遮断制限状態である処理部に対応した開閉器の作動を禁止することが好ましい。処理部の電源を遮断するときには、まず、制御部が処理部を遮断可能状態に変更し、その後、開閉器を作動させる。よって、処理部の電源を適切に遮断することができる。また、制御部が処理部を遮断可能状態に変更するので、ユーザーの負担を軽減することができる。さらに、処理部が遮断制限状態であるときには、開閉器の作動を禁止しているので、処理部の電源が遮断されることを確実に防ぐことができる。

上述した発明において、処理部を個別に遮断可能状態に変更させる指示を入力するための状態変更用入力部と、を備えていることが好ましい。状態変更用入力部の入力に基づいて、制御部は処理部を遮断可能状態に変更する。このような状態変更用入力部を備えているので、ユーザーは処理ユニットの状態を簡易に変更させることができる。

上述した発明において、開閉器を作動させるための開閉器用入力部をさらに備え、開閉器は、処理部が遮断可能状態であるときには開閉器用入力部の入力に従って作動し、処理部が遮断制限状態であるときには開閉器用入力部の入力に関わらず作動しないことが好ましい。開閉器用入力部を備えているので、ユーザーは開閉器を容易に作動させることができる。

上述した発明において、さらに、処理部用配線とは別個に設けられ、制御部に電力を供給するための制御電源用配線を備えていることが好ましい。開閉器がいずれの処理部用配線を開いても、制御部の電源が遮断されない。よって、たとえば、一部の処理部の電源を遮断した場合であっても、制御部は他の処理部を好適に制御することができる。また、たとえば、制御部は、停電状態の処理部に電源を投入するときに、その処理部を好適に制御することができる。

上述した発明において、さらに、処理部が遮断可能状態に変更されると、当該処理部の状態に関する情報を記憶する記憶部を備えていることが好ましい。仮に制御部の電源が遮断されても、記憶部は遮断可能状態に変更された処理部の状態に関する情報を保持している。このため、制御部の電源が再び投入されれば、制御部は、記憶部の情報を参照することによって、処理部を適切な状態に戻すことができる。

上述した発明において、基板を収容するカセットから処理部に基板を搬送するインデクサ部をさらに備え、制御部は、処理部を遮断可能状態に変更する前に、その処理部が基板に対して処理を実行中であるか否かを判断し、実行中であると判断したときには、その基板が収容されるカセット内の全ての基板に対して処理を完了した後に、処理部を遮断可能状態に変更することが好ましい。基板に対する処理品質が低下することを好適に防ぐことができる。また、カセット内の複数の基板間で処理品質がばらつくことを好適に防ぐことができる。

上述した発明において、処理部は、処理ユニットと、処理ユニットに基板を搬送する主搬送機構と、を有する基板処理列であることが好ましい。処理部は基板処理列であるので、基板を好適に処理することができる。

また、本発明は、基板を処理する処理部を有する基板処理装置の電源管理方法であって、処理部を、電源の遮断が許容された遮断可能状態に変更する工程と、変更する工程が完了した後に、遮断可能状態に変更した処理部のみの電源を遮断する工程と、を備えた基板処理装置の電源管理方法である。

［作用・効果］本発明に係る基板処理装置の電源管理方法によれば、遮断する工程に先だって、変更する工程を行う。これにより、処理部の電源を遮断する前に、処理部は遮断可能状態になっている。よって、処理部の電源を適切に遮断することができる。

上述した発明において、電源の遮断が制限された遮断制限状態である処理部に対しては遮断する工程の実行が禁止されていることが好ましい。処理部が遮断制限状態であるときには、処理部の電源が遮断されることを確実に防ぐことができる。

上述した発明において、処理部は複数であり、変更する工程は、各処理部を個別に遮断可能状態に変更し、遮断する工程では、各処理部の電源を個別に遮断することが好ましい。一部の処理部に電力を供給しながら、他の処理部に対して変更する工程および遮断する工程を実行することができる。これにより、一部の処理部のみを部分的に稼動させることができる。よって、基板処理能力が著しく低下することを抑制することができる。

上述した発明において、変更する工程では、さらに、遮断可能状態に変更する処理部の警報出力を停止させることが好ましい。遮断する工程の実行によって、処理部の電源が無電圧になることや、処理部との間で通信不能となることは、予定されていることであり、異常ではない。このため、これらの現象を知らせる警報等は、むしろ出力しないほうが望ましい。本発明によれば、このような警報出力を停止させるので、ユーザーの負担を軽減することができる。

上述した発明において、変更する工程を開始する前に、処理部が基板に対して処理を実行中であるか否かを判断し、実行中であると判断したときには、その処理を完了するまで待機する工程を備えていることが好ましい。待機する工程を備えているので、基板の処理品質が低下することを好適に防ぐことができる。

なお、本明細書は、次のような基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法に係る発明も開示している。

（１）遮断可能状態では、処理部が有する電動機器が休止していることが好ましい。これによれば、処理部の電源を安全に遮断することができる。

（２）遮断可能状態では、処理部が有する可動部材が退避位置で静止していることが好ましい。これによれば、処理部の電源を安全に遮断することができる。

（３）遮断可能状態では、処理部の警報出力が停止していることが好ましい。これによれば、処理部の電源を遮断したときに警報が出力されることを好適に防ぐことができる。

（４）遮断可能状態では、電動機器を安全方向に制御していることが好ましい。ここで、「安全方向に制御する」とは、電動機器を、電源を遮断したときに不具合が起こらない／起こりにくい状態に制御することを言う。これによれば、遮断する工程を安全に実行することができる。

たとえば、少なくともいずれかの電動機器は処理液を送るポンプであり、変更する工程はポンプを停止させることが好ましい。また、少なくともいずれかの電動機器は処理液用配管に設けられるバルブであり、変更する工程はバルブを閉じることが好ましい。また、少なくともいずれかの電動機器は吐出ノズルを移動させる移動機構であり、変更する工程は、吐出ノズルが退避位置で静止するように移動機構を制御することが好ましい。また、少なくともいずれかの電動機器は基板を回転させるモータを含み、変更する工程は、モータを停止させ、基板の回転を静止させることが好ましい。

（５）処理部の電源を遮断するときは、処理部が有する複数の電動機器の電源を一括して（まとめて）遮断することが好ましい。処理部の電源を簡易かつ確実に遮断することができる。

（６）待機する工程は、処理部に対する新たな基板の搬入を停止することが好ましい。これによれば、基板の処理品質が低下することを防ぎつつ、変更する工程を速やかに開始することができる。

（７）変更する工程を開始する前に、処理部が基板に対して処理を実行中であるか否かを判断し、実行中であると判断したときには、その基板が収容されるカセット内の全ての基板に対して処理を完了するまで待機する工程を備えていることが好ましい。基板に対する処理品質が低下することを好適に防ぐことができる。また、カセット内の複数の基板間で処理品質がばらつくことを好適に防ぐことができる。

（８）待機する工程は、新たなカセットから処理部に対して基板を搬入することを停止することが好ましい。これによれば、カセット内の各基板に対して略同じ品質で処理を施しつつ、変更する工程を速やかに開始することができる。

（９）変更する工程を完了した後であって遮断する工程を開始する前に、変更する工程が実行された処理部の状態に関する情報を記憶する工程をさらに備えていることが好ましい。記憶する工程を備えているので、処理部の状態に関する情報を喪失することがない。よって、処理部を適切な状態に維持することができる。

（１０）さらに、処理部の状態を報知する状態報知部を備えていることが好ましい。ユーザーが処理部の状態を好適に把握することができる。

（１１）状態報知部は、処理部の状態が、遮断可能状態、遮断制限状態、および、電力供給が停止している停電状態のいずれであるかを報知することが好ましい。ユーザーは、処理部の状態を的確に把握することができる。

（１２）記憶部は、さらに、処理部が遮断制限状態に変更されると、当該処理部の状態に関する情報を記憶することが好ましい。外部電源を喪失する等によって、処理部は遮断制限状態から直接、停電状態に陥ることがある。このような場合であっても、制御部は記憶部の情報を参照することによって、処理部を適切な状態に戻すことができる。

（１３）複数の処理部を有する基板処理装置の電源管理方法であって、各処理部の電源を個別に遮断する工程と、を備えている基板処理装置の電源管理方法である。

前記（１３）に記載の基板処理装置の電源管理方法によれば、一部の処理部の電力を投入しつつ、他の処理部の電源を遮断できる。これにより、一部の処理部のみを部分的に稼動させることができるので、基板処理能力が著しく低下することを抑制することができる。

本発明に係る基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法によれば、処理部を遮断可能状態に変更した後で処理部の電源を遮断するので、処理部の電源を適切に遮断することができる。また、本発明に係る基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法によれば、処理部の一部のみを部分的に稼動させることができるので、基板処理能力が著しく低下することを抑制することができる。

実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。 実施例２に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。 処理部の状態遷移図である。 処理部の電源を遮断するときの動作を示すフローチャートである。 処理部を遮断可能状態に変更する動作を示すフローチャートである。 処理部の電源を投入するときの動作を示すフローチャートである。 実施例３に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。 処理ユニットの配置を示す概略側面図である。 処理ユニットの配置を示す概略側面図である。 図７におけるａ−ａ矢視の各垂直断面図である。 実施例３に係る基板処理装置の電源の系統図である。 実施例３に係る基板処理装置の制御ブロック図である。 処理部を遮断可能状態に変更する動作を示すフローチャートである。

以下、図面を参照してこの発明の実施例１を説明する。
図１は、実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。実施例１に係る基板処理装置１は、複数の処理部３ａ、３ｂを備え、処理部３ａ、３ｂの一方のみを部分的に稼動することができる。以下、実施例１の構成を説明する。

基板処理装置１は、複数の処理部３ａ、３ｂを備えている。各処理部３ａ、３ｂは、それぞれ基板（例えば、半導体ウエハ）Ｗに処理を行う。各処理部３ａ、３ｂの構成は、種々の態様を採ることができる。たとえば、処理部３ａは、１または２以上の処理ユニットであってもよい。処理ユニットは、基板Ｗを１枚ずつ処理する処理ユニットであってもよいし、複数枚の基板Ｗを一括して処理する処理ユニットであってもよい。ちなみに、前者は、「枚葉式処理ユニット」等と呼ばれ、後者は、「バッチ式処理ユニット」と呼ばれる。あるいは、処理部３ａは、１または２以上の基板処理列であってもよい。ここで、基板処理列とは、処理ユニットと、基板Ｗを処理ユニットに搬送する主搬送機構を有するものをいう。処理部３ｂも、上述した構成を採ることができる。

基板処理装置１は、処理部３ａ、３ｂに個別に電力を供給するための複数の処理部用配線７ａ、７ｂを備えている。処理部用配線７ａ、７ｂの一次側は、両方とも外部電源５に電気的に接続されている。外部電源５は基板処理装置１の外部に設けられている。処理部用配線７ａ、７ｂの二次側は、処理部３ａ、３ｂにそれぞれ電気的に接続されている。

基板処理装置１は、複数の開閉器９ａ、９ｂをさらに備えている。各開閉器９ａ、９ｂは、各処理部用配線７ａ、７ｂの途中にそれぞれ設けられている。各開閉器９ａ、９ｂは、各処理部用配線７ａ、７ｂを個別に開閉して、各処理部３ａ、３ｂの電源を個別に投入・遮断する。各開閉器９ａ、９ｂは、互いに独立して作動可能である。開閉器９ａ、９ｂとしては、マグネットコンタクタ（電磁接触器）、電磁開閉器、ブレーカなどが例示される。

各開閉器９ａ、９ｂの双方が処理部用配線７ａ、７ｂを閉じると、各処理部３ａ、３ｂに電源が投入される。この場合、各処理部３ａ、３ｂは、それぞれ基板Ｗを処理できる。また、開閉器９ａが処理部用配線７ａを閉じ、開閉器９ｂが処理部用配線７ｂを開くと、処理部３ａに電源が投入され、処理部３ｂの電源が遮断される。この場合、処理部３ａは基板Ｗを処理しつつ、処理部３ｂに対して点検、補修または修理など（以下、適宜に「メンテナンス」という）を行うことができる。同様に、開閉器９ａが処理部用配線７ａを開き、開閉器９ｂが処理部用配線７ｂを閉じると、処理部３ａを停電させつつ、処理部３ｂを稼動させることができる。

このように、本実施例１に係る基板処理装置１およびその電源管理方法によれば、開閉器９ａ、９ｂを作動させることによって、処理部３ａ、３ｂの電源を個別に投入・遮断することができる。このため、処理部３ａ、３ｂの一方の電源を遮断する場合であっても、処理部３ａ、３ｂの他方を部分的に稼動させ続けることができる。よって、基板処理装置１の処理能力が著しく低下することを好適に抑制できる。

また、処理部３ａ、３ｂの両方の電源を遮断する場合に比べて、処理部３ａ、３ｂの一方の電源を遮断する場合には、電源を遮断するための準備や、電源を再投入し、処理部３を立ち上げるための復旧のために要する手間や時間を軽減することができる。これにより、処理部３ａ、３ｂが稼動していない時間をさらに低減でき、基板処理能力の低下を一層抑制できる。

以下、図面を参照してこの発明の実施例２を説明する。
図２は、実施例２に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。実施例２に係る基板処理装置１１は、処理部１３を遮断可能状態に変更した後に処理部１３の電源を遮断することができる。以下、実施例２の構成を説明する。

基板処理装置１１は、基板Ｗを処理する処理部１３を備えている。処理部１３は単一の処理ユニットである。以下では、適宜、「処理ユニット１３」と呼ぶ。本実施例２では、処理ユニット１３として、基板Ｗにレジスト感光剤（以下、適宜「レジスト」という）を塗布する塗布処理ユニットを例示する。以下では、まず、処理ユニット１３の構成を説明し、続いて、処理ユニット１３の電源系および制御系について説明する。

［処理部（処理ユニット）１３の構成］
処理ユニット１３は、保持部２１を備えている。保持部２１は、その上面で基板Ｗの下面を吸着することにより、単一の基板Ｗを略水平姿で保持する。保持部２１には、吸引用配管２３の二次側が連通接続されている。吸引用配管２３の一次側は真空吸引源に連通接続されている。吸引用配管２３の途中には、吸引用弁部材２５が取り付けられている。吸引用弁部材２５が開くと保持部２１の上面に吸引力が発生し、吸引用弁部材２５が閉じると保持部２１の上面の吸引力が無くなる。吸引用弁部材２５は電気的な制御によって作動する。

吸引用弁部材２５の詳細な構成は、図示を省略するが、種々の構成を採用できる。例えば、吸引用弁部材２５は、エア制御バルブと空気管と電磁弁とを備えてもよい。エア制御バルブは、吸引用配管２３に介在され、空気圧に応じて開閉する。空気管は、エア制御バルブに連通接続され、エア制御バルブに空気圧を与える。電磁弁は、空気管の途中に介在され、エア制御バルブに与える空気圧を調整する。この構成では、電磁弁の開度を電気的に制御することによって、エア制御バルブの開度を調整し、保持部２１の上面の吸引力を調整する。あるいは、吸引用弁部材２５は、吸引用配管２３に介在される電磁弁であってもよい。この構成では、電磁弁の開度を制御することによって、保持部２１の上面の吸引力を調整する。後述する他の弁部材４７等も同様である。

保持部２１にはモータ２７が連結されている。モータ２７は、保持部２１を略鉛直軸回りに回転駆動する。これにより、保持部２１に保持された基板Ｗが回転する。モータ２７は電気的な制御によって作動する。

保持部２１の周囲には、飛散防止カップ３１が配備されている。飛散防止カップ３１は、基板Ｗの外周から周囲に飛散するレジスト等の処理液を受け止めて回収する。飛散防止カップ３１には、カップ昇降機構３３が連結されている。カップ昇降機構３３は、飛散防止カップ３１を上下方向に移動させる。これにより、飛散防止カップ３１は、処理位置と退避位置とにわたって昇降する。図２では、退避位置にある飛散防止カップ３１を実線で示し、処理位置にある飛散防止カップ３１を点線で示す。飛散防止カップ３１が処理位置にあるとき、飛散防止カップ３１は保持部２１に保持された基板Ｗの側方を覆う。飛散防止カップ３１が退避位置にあるとき、保持部２１に対して基板Ｗを搬送することができる。カップ昇降機構３３は電気的な制御により作動する。

保持部２１の上方には、ノズル４１が設けられている。ノズル４１は、基板Ｗにレジストを供給する。ノズル４１には、処理液配管４３の二次側が連通接続されている。処理液配管４３の一次側は、レジスト供給源に連通接続されている。処理液配管４３の途中には、ポンプ４５と吐出用弁部材４７が設けられている。ポンプ４５は、レジスト供給源からノズル４１へレジストを送る。吐出用弁部材４７が開くとレジストがノズル４１から吐出され、吐出用弁部材４７が閉じるとレジストの吐出が停止する。ポンプ４５および吐出用弁部材４７はそれぞれ、電気的な制御により作動する。

ノズル４１には、ノズル移動機構４９が連結されている。ノズル移動機構４９は、ノズル４１を処理位置と退避位置とにわたって移動させる。図２では、退避位置にあるノズル４１を実線で示し、処理位置にあるノズル４１を点線で示す。処理位置は、保持部２１に保持された基板Ｗの上方の位置であり、退避位置は、基板Ｗの上方から外れた位置である。ノズル移動機構４９は電気的な制御により作動する。

吸引用弁部材２５、カップ昇降機構３３、ポンプ４５および吐出用弁部材４７は、直流電源部５１に電気的に接続されている。モータ２７は、サーボ機構５３に電気的に接続されている。ノズル移動機構４９は、駆動回路５５に電気的に接続されている。そして、直流電源部５１は、交流電力を直流電力に変換し、直流電力によって吸引用弁部材２５、カップ昇降機構３３、ポンプ４５および吐出用弁部材４７を個別に駆動する。また、直流電源部５１は、駆動回路５５に直流電力を供給する。このため、直流電源部５１と駆動回路５５の間も、電気的に接続されている。駆動回路５５は直流電力によってノズル移動機構４９を駆動する。サーボ機構５３は、モータ２７を所望の速度で回転駆動する。

上述した吸引用弁部材２５、モータ２７、カップ昇降機構３３、ポンプ４５、吐出用弁部材４７、ノズル移動機構４９、直流電源部５１、サーボ機構５３および駆動回路５５は全て、電力によって動作する。以下では、これらを適宜に、「電動機器」と総称する。また、飛散防止カップ３１およびノズル４１は、それぞれこの発明における可動部材に相当する。

［電源系の構成］
基板処理装置１１は、処理ユニット１３に電力を供給するための処理部用配線６１を備えている。具体的には、処理部用配線６１の一次側は、外部電源５に電気的に接続されている。処理部用配線６１の二次側は、直流電源部５１およびサーボ機構５３に電気的に接続されている。これら直流電源部５１およびサーボ機構５３を介して、処理ユニット１３が有する他の電動機器に電力が供給される。

処理部用配線６１の途中には、マグネットコンタクタ６３が接続されている。マグネットコンタクタ６３は、処理部用配線６１を開閉して、処理ユニット１３の電源を投入し、かつ、遮断する。図２等においては、マグネットコンタクタ６３を適宜に「ＭＣ」と表記する。マグネットコンタクタ６３は、この発明における開閉器に相当する。

マグネットコンタクタ６３には、開閉器用入力部６５が電気的に接続されている。ユーザーは、開閉器用入力部６５を操作することによって、マグネットコンタクタ６３を作動させることができる。開閉器用入力部６５は、例えば、押しボタンなどの物理的なボタンが例示される。

ただし、マグネットコンタクタ６３の作動は、後述する制御部７１によって制限されている。具体的には、制御部７１がマグネットコンタクタ６３の作動を許容しているときには、開閉器用入力部６５の入力は有効である。他方、制御部７１がマグネットコンタクタ６３の作動を禁止しているときには、開閉器用入力部６５の入力は無効となる。すなわち、開閉器用入力部６５を操作しても、マグネットコンタクタ６３は作動しない。

基板処理装置１１は、さらに、制御部７１に電力を供給するための制御電源用配線６７を備えている。制御電源用配線６７の一次側は、外部電源５と電気的に接続されている。本実施例２では、制御電源用配線６７は、マグネットコンタクタ６３の一次側の位置で処理部用配線６１と結線されている。制御電源用配線６７の二次側は、制御部７１に接続されている。このように、制御電源用配線６７は、処理部用配線６１と別個に設けられているので、マグネットコンタクタ６３の作動によって制御部７１の電源は遮断されない。

［制御系の構成］
制御部７１は、上述した直流電源部５１、サーボ機構５３および駆動回路５５にそれぞれ電気的に接続されている。制御部７１は、これらを制御することによって、処理ユニット１３が有する電動機器を統括的に制御する。これにより、処理ユニット１３を稼動させたり、処理ユニット１３の状態を切り替える。

ここで、図３を参照して、処理ユニット１３の状態について説明する。図３は、処理ユニット１３の状態遷移図である。本実施例２では、処理ユニット１３の状態を、遮断制限状態、遮断可能状態および停電状態に区分している。

遮断可能状態とは、処理ユニット１３の電源の遮断が許容されている状態である。遮断可能状態においては、少なくとも、処理ユニット１３が有する電動機器が休止している。言い換えれば、遮断可能状態では、電動機器が安全方向に制御されている。このため、遮断可能状態では、処理ユニット１３が有する電動機器の電源を安全に遮断できる。たとえば、仮に電源が遮断された場合であっても、電動機器が損傷するおそれがなく、かつ、レジストの漏液が止まらない等の不具合が発生するおそれがない。

本実施例２の場合、遮断可能状態では、吸引用弁部材２５／吐出用弁部材４７が閉止し、モータ２７／ポンプ４５が停止し、飛散防止カップ３１が原点位置で静止するようにカップ昇降機構３３が制御され、ノズル４１が退避位置で静止するようにノズル移動機構４９が制御されている。

さらに、本実施例２では、遮断可能状態を、電動機器が休止していることに加え、処理ユニット１３の警報出力が停止している状態と規定している。警報とは、処理ユニット１３（電動機器）の電源の電圧異常、および、制御部７１と処理ユニット１３（電動機器）との通信異常などが例示される。

遮断制限状態とは、処理ユニット１３の電源の遮断が制限されている状態である。具体的には、遮断制限状態は、処理ユニット１３が遮断可能状態でなく、かつ、処理ユニット１３が電力供給を受けている状態である。

停電状態とは、処理ユニット１３の電源が遮断されている状態である。なお、制御部７１などへの電力供給が停止しているか否かは、処理ユニット１３の状態と関係ない。

遮断制限状態と遮断可能状態の間の変更は、制御部７１の制御によって実行される。遮断可能状態と停電状態の間の変更は、マグネットコンタクタ６３の作動によって実行される。

ここで、制御部７１は、処理ユニット１３が遮断可能状態であるときにはマグネットコンタクタ６３の作動を許容し、処理ユニット１３が遮断制限状態にあるときにはマグネットコンタクタ６３の作動を禁止する。また、制御部７１は、処理ユニット１３が停電状態にあるときはマグネットコンタクタ６３の作動を許容する。

このため、処理ユニット１３が遮断可能状態でなければ、ユーザーは処理ユニット１３の電源を遮断することができない。すなわち、処理ユニット１３が遮断制限状態から停電状態に変わるときは、必ず、遮断可能状態を経る。

制御部７１は、各種処理を実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）や、演算処理の作業領域となるＲＡＭ（Random-Access Memory）や、各種情報を記憶する固定ディスク等の記憶媒体等によって実現されている。記憶媒体には、処理レシピや駆動回路５５のパラメータなど、各種情報が記憶されている。

基板処理装置１１はさらに、タッチパネル７３と状態報知部７５と記憶部７７を備えている。上述した制御電源用配線６７は、制御部７１を介して、これらタッチパネル７３、状態報知部７５および記憶部７７にも電力を供給する。

タッチパネル７３は、制御部７１の制御に基づき、各種情報を表示する。また、ユーザーがタッチパネル７３を触れることによって、処理ユニット１３の状態を変更させる指示をタッチパネル７３に入力できる。本実施例２では、タッチパネル７３は、各種の指示を入力するためのボタン（GUI. Button）等を表示可能である。タッチパネル７３に入力された命令は、制御部７１に送られる。タッチパネル７３は、この発明における状態変更用入力部に相当する。

状態報知部７５は、制御部７１の制御に基づき、処理ユニット１３の状態をユーザーに対して報知する。本実施例２では、状態表示部７５は、処理ユニット１３の状態に応じて異なる色で点灯する。例えば、遮断制限状態には緑色、遮断可能状態には橙色、停電状態には赤色が、それぞれ対応付けられている。

記憶部７７は、処理ユニット１３の状態が変更されると、変更後の処理ユニット１３の状態に関する情報を記憶する。本実施例２では、処理ユニット１３が遮断制限状態と遮断可能状態との間で変更されると、処理ユニット１３の状態に関する情報を更新する。

次に、実施例２に係る基板処理装置１１の動作について図を参照しつつ説明する。以下では、処理ユニット１３の電源を遮断する動作と、処理ユニット１３に電源を投入する動作に分けて説明する。

［処理ユニット１３の電源を遮断する動作］
図４は、処理ユニット１３の電源を遮断するときの動作を示すフローチャートである。ここで、処理ユニット１３は遮断制限状態にあり、処理ユニット１３は基板Ｗに処理を行っているものとする。

＜ステップＳ０＞ 遮断制限状態
遮断制限状態では、マグネットコンタクタ６３は閉じており、外部電源５から処理ユニット１３に電力が供給されている。制御部７１は処理ユニット１３を稼動させている。すなわち、保持部２１に保持された基板Ｗを回転しつつ、ノズル４１からレジストと吐出して、基板Ｗにレジストを塗布する処理を行っている。制御部７１は、さらに、マグネットコンタクタ６３の作動を禁止している。状態報知部７５は、遮断制限状態に応じた緑色で発光し、処理ユニット１３が遮断制限状態であることを報知している。

＜ステップＳ１＞ 遮断変更指示を入力する
ユーザーが、タッチパネル７３に触れることによって、処理ユニット１３を遮断可能状態に変更する指示をタッチパネル７３に入力する。タッチパネル７３に入力された命令は、制御部７１に与えられる。

＜ステップＳ２＞ 処理を実行中か？（待機する工程）
制御部７１は、処理ユニット１３が基板Ｗに対する処理を実行中であるか否かを判断する。その結果、実行中である場合には、ステップＳ２に戻る。そして、実行中の処理が完了するまで、ステップＳ２の処理を繰り返す。そうでない場合には、ステップＳ３に進む。なお、遮断可能状態に変更する指示がタッチパネル７３に入力されると、制御部７１は、その後に基板Ｗが処理ユニット１３に搬入されないように制御する。

＜ステップＳ３＞ 遮断可能状態に変更する（変更する工程）
制御部７１は、処理ユニット１３の状態を遮断可能状態に変更する。

図５を参照する。図５は、処理ユニット１３を遮断可能状態に変更する動作を示すフローチャートである。

＜ステップＳ３．１−Ｓ３．６＞ 電動機器を休止させる
制御部７１は、各種電動機器を休止させる。具体的には、制御部７１は、吸引用弁部材２５および吐出用弁部材４７を閉止させ（ステップＳ３．１、Ｓ３．２）、モータ２７およびポンプ４５を停止させる（ステップＳ３．３、Ｓ３．４）。また、制御部７１は、飛散防止カップ３１が退避位置で静止するようにカップ昇降機構３３を制御し（ステップＳ３．５）、ノズル４１が退避位置で静止するようにノズル移動機構４９を制御する（ステップＳ３．６）。

＜ステップＳ３．７＞ 警報停止指示を入力する
ユーザーが、処理ユニット１３の警報出力を停止する指示をタッチパネル７３に入力する。タッチパネル７３に入力された命令は、制御部７１に送られる。

＜ステップＳ３．８＞ 警報停止命令を送信する
制御部７１は、処理ユニット１３に対して警報出力を停止させる命令を送信する。これにより、処理ユニット１３が有する直流電源部５１等の電動機器は、警報を出力しないように設定される。

＜ステップＳ３．９＞ 警報出力が停止されたか？
制御部７１は、処理ユニット１３の警報出力が停止されたか否かを判断する。その結果、停止されたと判断した場合には、処理ユニット１３を遮断可能状態に変更する処理が完了する。すなわち、処理ユニット１３は遮断可能状態に遷移する。そうでない場合は、ステップＳ３．７に戻り、処理ユニット１３の警報出力を停止させる処理を再び行う。

＜ステップＳ４＞ 状態を保存する
記憶部７７は、処理ユニット１３の状態に関する情報を保存する。状態に関する情報としては、単に遮断可能状態を示す情報であってもよいし、各種電動機器の状態を示す情報であってもよい。

＜ステップＳ５＞ マグネットコンタクタの作動を許容する
制御部７１は、マグネットコンタクタ６３の作動を許容する。これにより、開閉器用入力部６５の操作によってマグネットコンタクタ６３が作動可能となる。

＜ステップＳ６＞ 遮断可能状態を報知する
状態報知部７５の発光色が、遮断制限状態に応じた緑色から、遮断可能状態に応じた橙色に変わる。これにより、処理ユニット１３が遮断可能状態であることをユーザーに報知する。

＜ステップＳ７＞ 開閉器用入力部を操作する
ユーザーが、マグネットコンタクタ６３を開作動させるように開閉器用入力部６５を操作する。

＜ステップＳ８＞ マグネットコンタクタが開く（遮断する工程）
開閉器用入力部６５の入力に応じて、マグネットコンタクタ６３が処理部用配線６１を開く。処理ユニット１３の電源が遮断される。すなわち、処理ユニット１３が有する電動機器の電源が遮断される。処理ユニット１３の状態は、遮断可能状態から停電状態に遷移する。なお、制御部７１等には電力が供給されたままである。

＜ステップＳ９＞ 停電状態を報知する
状態報知部７５の発光色が、遮断可能状態に応じた橙色から、停電状態に応じた赤色に変わる。これにより、処理ユニット１３が停電状態であることをユーザーに報知する。

［処理ユニット１３の電源を投入する動作］
図６は、処理ユニット１３の電源を投入するときの動作を示すフローチャートである。ここで、処理ユニット１３は停電状態であるものとする。

＜ステップＳ１０＞ 停電状態
停電状態では、マグネットコンタクタ６３は開いており、処理ユニット１３には電力が供給されていない。制御部７１等には電力が供給されている。制御部７１は、マグネットコンタクタ６３の作動を許容している。状態報知部７５は赤色で点灯している。

＜ステップＳ１１＞ 開閉器用入力部を操作する
ユーザーが、マグネットコンタクタ６３を閉作動させるように開閉器用入力部６５を操作する。

＜ステップＳ１２＞ マグネットコンタクタが閉じる
開閉器用入力部６５の入力に応じて、マグネットコンタクタ６３が処理部用配線６１を閉じる。処理ユニット１３の電源が投入される。処理ユニット１３は、遮断可能状態に復帰する。

＜ステップＳ１３＞ 遮断可能状態を報知する
状態報知部７５は、赤色から橙色に変わり、処理ユニット１３が遮断可能状態であることをユーザーに報知する。

＜ステップＳ１４＞ 状態変更指示を入力する
ユーザーが、処理ユニット１３を起動させる指示をタッチパネル７３に入力する。処理ユニット１３を起動させる指示は、遮断制限状態に変更する指示の一種である。タッチパネル７３に入力された命令は、制御部７１に送られる。

＜ステップＳ１５＞ 遮断制限状態に変更する
制御部７１は、処理ユニット１３を遮断制限状態に変更させる。具体的には、制御部７１は吐出用弁部材４７を開放させる。これにより、処理ユニット１３は、遮断可能状態から外れて、遮断制限状態に移る。また、制御部７１は、駆動回路５５等のパラメータを改めて設定する。電源が遮断されると、駆動回路５５等は保持していたパラメータを喪失するからである。駆動回路５５等のパラメータの再設定により、ノズル移動機構４９は作動可能となる。

＜ステップＳ１６＞ 状態を保存する
記憶部７７は、処理ユニット１３の状態に関する情報を更新する。状態に関する情報としては、単に遮断制限状態を示す情報であってもよいし、各種電動機器の状態を示す情報であってもよい。

＜ステップＳ１７＞ マグネットコンタクタの作動を禁止する
制御部７１は、マグネットコンタクタ６３の作動を禁止する。これにより、開閉器用入力部６５の操作は無効となる。

＜ステップＳ１８＞ 遮断制限状態を報知する
状態報知部７５は、橙色から緑色に変わり、処理ユニット１３が遮断制限状態であることを報知する。

このように、本実施例２に係る基板処理装置１１およびその電源管理方法によれば、処理ユニット１３を遮断可能状態に変更した（ステップＳ３）後に、処理ユニット１３の電源を遮断する（ステップＳ６）。このように、処理ユニット１３に対するソフトウエア的な処理（ステップＳ３）と、ハードウエアであるマグネットコンタクタ６３の作動（ステップＳ６）の２段階によって、処理ユニット１３の電源を遮断する。このため、処理ユニット１３の電源を適切に遮断することができる。また、制御部７１が処理ユニット１３を遮断可能状態に変更するので、ユーザーの負担を軽減することができる。

また、処理ユニット１３が遮断制限状態であるときには、制御部７１はマグネットコンタクタ６３の作動を禁止している。このように、制御部７１とマグネットコンタクタ６３の間でインターロックを構成しているので、遮断制限状態の処理ユニット１３の電源が遮断されることを確実に防ぐことができる。たとえば、ユーザーが開閉器用入力部６５を誤って操作した場合であっても、処理ユニット１３の電源を遮断することはできない。

また、遮断可能状態では、処理ユニット１３が有する電動機器が休止しているので、処理ユニット１３の電源を安全に遮断することができる。換言すれば、遮断可能状態では、電動機器が安全方向に制御されているので、処理ユニット１３の電源を遮断したときにトラブルが発生することを好適に抑制することができる。

また、遮断可能状態では、保持部２１、飛散防止カップ３１およびノズル４１といった可動部材が退避位置で静止しているので、処理ユニット１３の電源を一層安全に遮断することができる。

また、遮断可能状態では、処理ユニット１３の警報出力が停止しているので、ユーザーが処理ユニット１３の電源を遮断させるときに、必要性に乏しい警報が出力されることがない。これにより、ユーザーの負担を軽減することができる。

また、単一のマグネットコンタクタ６３の作動によって、処理ユニット１３が有する電動機器の電源を一括して（まとめて）投入／遮断することができる。よって、複数の動力機器の電源を簡易に、かつ、漏れなく投入／遮断できる。

また、開閉器用入力部６５を備えているので、ユーザーはマグネットコンタクタ６３を容易に作動させることができる。

また、タッチパネル７３を備えているので、ユーザーは処理ユニット１３の状態を簡易に変更させることができる。

また、遮断可能状態に変更する指示がタッチパネル７３に入力されたときに処理ユニット１３が基板Ｗに対して処理を実行中である場合には、その処理を完了するまで待機し（ステップＳ２）、処理が完了した後に処理ユニット１３の状態を変更する（ステップＳ３）。このため、その基板Ｗの処理品質の低下を好適に防止できる。

また、遮断可能状態に変更する指示がタッチパネル７３に入力された後は、処理ユニット１３への基板Ｗの搬入を停止する。よって、速やかに遮断可能状態に変更する処理を開始できる。

また、記憶部７７を備えているので、仮に外部電源５が喪失した場合であっても、記憶部７７は処理ユニット１３の状態に関する情報を保持している。よって、外部電源５が復旧すれば、制御部７１は、記憶部７７の情報を参照することによって、処理ユニット１３の直前の状態を把握することができ、処理ユニット１３を適切な状態に戻すことができる。

また、状態報知部７５を備えているので、ユーザーは処理ユニット１３の状態を好適に把握することができる。また、状態報知部７５は、遮断可能状態、遮断制限状態および停電状態に応じてそれぞれ異なる発光色で点灯する。よって、ユーザーは、処理ユニット１３の状態を的確に把握することができる。

また、制御電源用配線６７を備えているので、マグネットコンタクタ６３が作動に関わらず、制御部７１に電力を供給し続けることができる。よって、停電状態の処理ユニット１３に電源を投入する場合であっても、制御部７１は好適に処理ユニット１３を制御することができる。

以下、図面を参照してこの発明の実施例３を説明する。
実施例３に係る基板処理装置８１は、処理部８５ａ、８５ｂの一方のみを部分的に稼動することができ、かつ、処理部８５ａ、８５ｂの電源を個別に、かつ、適切に遮断することができる。以下、実施例３の構成を説明する。

図７は、実施例３に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図８と図９は基板処理装置が有する処理ユニットの配置を示す概略側面図であり、図１０は、図７におけるａ−ａ矢視の各垂直断面図である。

基板処理装置８１は、インデクサ部（以下、「ＩＤ部」と呼ぶ）８３と複数の処理部８５ａ、８５ｂとインターフェイス部（以下、「ＩＦ部」と呼ぶ）８７とを備えている。処理部８５ａ、８５ｂは、上下方向に並ぶように積層されている。ＩＤ部８３は、各処理部８５ａ、８５ｂの一側方に隣接するように設けられている。ＩＦ部８７は、各処理部８５ａ、８５ｂの他側方に隣接するように設けられている。ＩＦ部８７は、さらに、本装置８１とは別体の外部装置である露光機ＥＸＰに隣接している。各処理部８５ａ、８５ｂは、それぞれ基板Ｗを処理する。以下、ＩＤ部８３、処理部８５ａ、８５ｂ、ＩＦ部８７について順に説明する。

［ＩＤ部８３］
ＩＤ部８３は、カセットＣと各処理部８５ａ、８５ｂとの間で基板Ｗを搬送する。ＩＤ部８３は、載置台８４とＩＤ用搬送機構ＴＩＤを備えている。載置台８４は、複数（４個）のカセットＣを載置可能である。カセットＣは複数の基板Ｗを収容する。ＩＤ用搬送機構ＴＩＤは、水平方向および鉛直方向に移動可能に構成され、カセット載置台８４に載置されたカセットＣおよび処理部８５ａ、８５ｂに対して基板Ｗを搬送する。

［処理部（基板処理列）８５ａ、８５ｂ］
各処理部８５ａ、８５ｂは、ＩＤ部８３とＩＦ部８７の間にわたって基板Ｗを往復搬送しつつ、基板Ｗにレジスト膜等を形成し、かつ、露光された基板Ｗを現像する。各処理部８５ａ、８５ｂは、それぞれ単一の基板処理列である。基板処理列は、処理ユニットと、処理ユニットに基板Ｗを搬送する主搬送機構と、を有する。以下では、処理部８５ａ、８５ｂを、適宜に「基板処理列８５ａ、８５ｂ」と呼ぶ。

各基板処理列８５ａ、８５ｂの構成は、略同じである。以下では、基板処理列８５ａ、８５ｂを特に区別しない場合は、単に「基板処理列８５」と記載し、各基板処理列８５ａ、８５ｂの構成をまとめて説明する。

基板処理列８５は、複数（２基）の主搬送機構Ｔ１、Ｔ２を備えている。各主搬送機構Ｔ１、Ｔ２は、ＩＤ部８３とＩＦ部８７とを結ぶ方向に並ぶように配置されている。各主搬送機構Ｔ１、Ｔ２は、水平方向および鉛直方向に移動可能に構成され、双方向に基板Ｗを受け渡すことができる。主搬送機構Ｔ１は、さらにＩＤ用搬送機構ＴＩＤとの間で基板Ｗを受け渡す。主搬送機構Ｔ２は、さらにＩＦ部８７（後述するＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１）と基板Ｗを受け渡す。

ＩＤ用搬送機構ＴＩＤと主搬送機構Ｔ１の間には、基板Ｗを載置する載置部ＰＡＳＳ１が配置されている。同様に、主搬送機構Ｔ１と主搬送機構Ｔ２の間、および、主搬送機構Ｔ２とＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１の間には、それぞれ基板Ｗを載置する載置部ＰＡＳＳ２およびＰＡＳＳ３が配置されている。各載置部ＰＡＳＳ１乃至ＰＡＳＳ３は、搬送機構同士が基板Ｗを受け渡すときに利用される。

載置部ＰＡＳＳ１は、図１０に示すように、載置部ＰＡＳＳ１Ａ、ＰＡＳＳ１Ｂを有する。載置部ＰＡＳＳ１Ａ、ＰＡＳＳ１Ｂは、基板Ｗの搬送方向によって使い分けられる。たとえば、載置部ＰＡＳＳ１Ａには、ＩＤ用搬送機構ＴＩＤから主搬送機構Ｔ１へ搬送される基板Ｗが載置され、載置部ＰＡＳＳ１Ｂには、主搬送機構Ｔ１からＩＤ用搬送機構ＴＩＤへ搬送される基板Ｗが載置される。載置部ＰＡＳＳ２、ＰＡＳＳ３も同様である。

図７に示すように、主搬送機構Ｔ１が基板Ｗの搬送を負担する処理ユニットは、大きく液処理ユニットＵｃと熱処理ユニットＵｈ１に分けられる。液処理ユニットＵｃは主搬送機構Ｔ１の一側方に配置され、熱処理ユニットＵｈ１は主搬送機構Ｔ１の他側方に配置されている。

液処理ユニットＵｃの構成は、基本的に、実施例２で例示した処理ユニット１３と共通している。すなわち、液処理ユニットＵｃは、基板Ｗを保持する保持部や、基板Ｗに処理液を供給するノズル等を備えている。さらに、液処理ユニットＵｃは、保持部を回転させるモータ、ノズルに処理液を送るポンプ、ノズルを移動させるノズル移動機構等、および、これらモータ、ポンプ、ノズル移動機構等を駆動するサーボ機構や直流電源部等を備えている。このように、液処理ユニットＵｃは、各種の電動機器によって構成されており、電力によって稼動する。

熱処理ユニットＵｈ１は、基本的に、基板Ｗを載置する載置台や電熱ヒーター等を備えている。熱処理ユニットＵｈ１も、電力によって稼動する。

図８に示すように、液処理ユニットＵｃは、具体的には、反射防止膜用塗布処理ユニットＢＡＲＣと、レジスト膜用塗布処理ユニットＲＥＳＩＳＴである。反射防止膜用塗布処理ユニットＢＡＲＣは、基板Ｗに反射防止膜材料を塗布し、反射防止膜を形成する処理を行う。レジスト膜用塗布処理ユニットＲＥＳＩＳＴは、基板Ｗにレジストを塗布し、レジスト膜を形成する処理を行う。

図９に示すように、熱処理ユニットＵｈ１は、具体的には、加熱ユニットＨＰ、冷却ユニットＣＰ、加熱冷却ユニットＰＨＰおよびアドヒージョン処理ユニットＡＨＬである。加熱ユニットＨＰは基板Ｗを加熱する。冷却ユニットＣＰは基板Ｗを冷却する。加熱冷却ユニットＰＨＰは、加熱処理と冷却処理を続けて行う。アドヒージョン処理ユニットＡＨＬは、基板Ｗと被膜の密着性を向上させるためにヘキサメチルシラザン（ＨＭＤＳ）の蒸気雰囲気で熱処理する。

図７を参照する。主搬送機構Ｔ２が基板Ｗの搬送を負担する処理ユニットは、大きく現像処理ユニットＤＥＶと熱処理ユニットＵｈ２とエッジ露光ユニットＥＥＷに分けられる。現像処理ユニットＤＥＶは、主搬送機構Ｔ２の一側方に配置され、熱処理ユニットＵｈ２およびエッジ露光ユニットＥＥＷは主搬送機構Ｔ２の他側方に配置されている。

現像処理ユニットＤＥＶは、基板Ｗに現像処理を行う。現像処理ユニットＤＥＶは、液処理ユニットの一種であり、現像処理ユニットＤＥＶの構成は、基本的に、実施例２で例示した処理ユニット１３と共通している。現像処理ユニットＤＥＶは、各種の電動機器を有し、電力によって稼動する。

図９に示すように、熱処理ユニットＵｈ２は、加熱ユニットＨＰ、冷却ユニットＣＰである。なお、加熱冷却ユニットＰＨＰに対しては、ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１が基板Ｗの搬送を負担する。エッジ露光ユニットＥＥＷは、基板Ｗの周縁を露光する。エッジ露光ユニットＥＥＷは、基板Ｗを保持する保持部と、保持部を回転するモータと、基板Ｗに光を照射する光照射部等を備えており、電力によって稼動する。

［ＩＦ部８７］
図７を参照する。ＩＦ部８７は、基板処理列８５ａ、８５ｂと露光機ＥＸＰに対して基板Ｗを搬送する。ＩＦ部８７は基板Ｗを搬送する複数のＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１、ＴＩＦ２を備えている。ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１とＩＦ用搬送機構ＴＩＦ２は、互いに基板Ｗを受け渡す。ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１は、さらに基板処理列８５ａ、８５ｂに対して基板Ｗを搬送する。ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ２は、さらに露光機ＥＸＰに対して基板Ｗを搬送する。

ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１、ＴＩＦ２の間には、基板Ｗを載置し、冷却する載置部ＰＡＳＳ−ＣＰが配置されている。載置部ＰＡＳＳ−ＣＰの下方には、基板Ｗを載置する載置部（図示省略）と、基板Ｗを一時的に収容するバッファ部（図示省略）が積層されている。載置部ＰＡＳＳ−ＣＰは、ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１からＩＦ用搬送機構ＴＩＦ２へ搬送される基板Ｗが載置される。不図示の載置部には、ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ２からＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１へ搬送される基板Ｗが載置される。不図示のバッファ部は、載置部ＰＡＳＳ−ＣＰ等に基板Ｗを予定通り載置できないときに、使用される。

［電源系の構成］
次に本装置の電源について説明する。図１１は、実施例３に係る基板処理装置の電源の系統図である。図示するように、基板処理装置８１は、メインブレーカー９０と、処理部用配線９１ａ、９１ｂと、マグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂと、開閉器用入力部９５ａ、９５ｂとを備えている。

メインブレーカー９０の一次側は、外部電源５に電気的に接続されている。メインブレーカー９０の二次側には、処理部用配線９１ａ、９１ｂが接続されている。処理部用配線９１ａ、９１ｂは、それぞれ基板処理列８５ａ、８５ｂに電力を個別に供給する。具体的には、処理部用配線９１ａは、基板処理列８５ａが有する各主搬送機構Ｔ１、Ｔ２および各処理ユニットに電力を供給する。処理部用配線９１ｂも同様である。

マグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂは、処理部用配線９１ａ、９１ｂの途中に接続され、各処理部用配線９１ａ、９１ｂを個別に開閉する。マグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂは、それぞれこの発明における開閉器に相当する。

各開閉器用入力部９５ａ、９５ｂは、それぞれマグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂを個別に作動させる。開閉器用入力部９５ａ、９５ｂは、ＩＤ部８３の一側部に配置されている（図８参照）。

ただし、後述する制御部１０１がマグネットコンタクタ９３ａの作動を禁止している場合、マグネットコンタクタ９３ａに対応する開閉器用入力部９５ａの入力は無効となる。制御部１０１がマグネットコンタクタ９３ａの作動を許容している場合のみ、開閉器用入力部９５ａの入力は有効となる。開閉器用入力部９５ｂの場合も同様である。

メインブレーカー９０の二次側には、さらに、ＩＤ部用配線９７とＩＦ部用配線９８と制御電源用配線９９が接続されている。ＩＤ部用配線９７、ＩＦ部用配線９８および制御電源用配線９９は、それぞれ、ＩＤ部８３、ＩＦ部８７および制御部１０１に電力を供給する。

［制御系の構成］
図１２を参照して、本装置の制御系について説明する。図１３は、実施例３に係る基板処理装置の制御ブロック図である。

図示するように、基板処理装置８１は、制御部１０１とタッチパネル１０３と状態報知部１０５ａ、１０５ｂと記憶部１０７を備えている。

制御部１０１は、ＩＤ部８３、基板処理列８５ａ、８５ｂおよびＩＦ部８７を統括的に制御する。基板処理列８５ａ、８５ｂについては、制御部１０１は、各基板処理列８５ａ、８５ｂが有する主搬送機構Ｔ１、Ｔ２および各処理ユニットを制御する。処理ユニットについては、制御部１０１は、各処理ユニットが有する各種の電動機器を制御する。制御部１０１は、基板処理列８５ａ、８５ｂの状態を個別に変更することができる。

本実施例３においても、各基板処理列８５ａ、８５ｂの状態を、遮断制限状態、遮断可能状態および停電状態の３つに区分している。遮断制限状態と遮断可能状態の間の変更は、制御部１０１の制御によって実行される。遮断可能状態と停電状態の間の変更は、マグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂの作動によって実行される。

また、制御部１０１は、遮断可能状態である基板処理列８５ａ、８５ｂに対応したマグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂの作動を許容し、遮断制限状態にある基板処理列８５ａ、８５ｂに対応したマグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂの作動を禁止する。

タッチパネル１０３は、ＩＤ部８３の一側部に配置されている（図８参照）。タッチパネル１０３は、制御部１０１から送信される各種情報を表示する。また、タッチパネル１０３は、基板処理列８５ａ、８５ｂの状態を個別に変更させるための指示を受け付ける。

タッチパネル１０３は、さらに、基板処理列８５ａ、８５ｂを手動運転させるための指示を受け付ける。これにより、各基板処理列８５ａ、８５ｂの全部または一部を、試験的に運転させることができる。これにより、基板処理列８５等の動作確認、処理品質の検証等を行うことができる。タッチパネル１０３は、この発明における状態変更用入力部に相当する。

これに対応して、本実施例３では、遮断可能状態では手動運転を禁止している。すなわち、本実施例３では、遮断可能状態を、基板処理列８５が有する電動機器が休止しており、基板処理列８５の警報出力が停止しており、かつ、基板処理列８５の手動運転を禁止している状態と規定している。

状態報知部１０５ａ、１０５ｂは、ＩＤ部８３の一側部に配置されている（図８参照）。各状態報知部１０５ａ、１０５ｂは、各基板処理列８５ａ、８５ｂの状態をそれぞれ報知する。具体的には、各状態報知部１０５ａ、１０５ｂは、緑色、橙色および赤色で点灯することによって、それぞれ、遮断制限状態、遮断可能状態および停電状態を報知する。状態報知部１０５ａ、１０５ｂを特に区別しない場合は、適宜に「状態報知部１０５」と記載する。

次に、実施例３に係る基板処理装置８１の動作について図を参照しつつ説明する。以下では、基板処理列８５ａ、８５ｂの両方が稼動する動作、基板処理列８５ａ、８５ｂの一方の電源を遮断する動作と、基板処理列８５ａ、８５ｂの一方の電源を投入する動作に分けて説明する。

［基板処理列８５ａ、８５ｂが稼動する動作］
以下では、ＩＤ部８３からＩＦ部８７への搬送と、ＩＦ部８７からＩＤ部８３への搬送とに分けて説明する。なお、各基板処理列８５ａ、８５ｂは遮断制限状態にあるものとする。

［ＩＤ部８３からＩＦ部８７への搬送］
ＩＤ用搬送機構ＴＩＤは、カセットＣから基板Ｗを搬出し、基板処理列８５ａ、８５ｂに交互に搬送する。

主搬送機構Ｔ１は、ＩＤ部８３から受け取った基板Ｗを、液処理ユニットＵｃおよび熱処理ユニットＵｈ１に所定の順番で搬送する。各種処理ユニットが所定の処理を行うことにより、反射防止膜およびレジスト膜を形成する塗布処理が基板Ｗに施される。主搬送機構Ｔ１は、塗布処理が施された基板Ｗを主搬送機構Ｔ２に渡す。主搬送機構Ｔ２は、受け取った基板Ｗをエッジ露光ユニットＥＥＷに搬送する。エッジ露光ユニットＥＥＷは、基板Ｗの周縁部を露光する。主搬送機構Ｔ２は、エッジ露光処理が施された基板ＷをＩＦ部８７に搬出する。

ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１は、各基板処理列８５ａ、８５ｂから交互に基板Ｗを受け取り、ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ２に渡す。ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ２は、受け取った基板Ｗを露光機ＥＸＰに搬出する。

［ＩＦ部８７からＩＤ部８３への搬送］
ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ２は、露光機ＥＸＰから露光済みの基板Ｗを受け取り、ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１に渡す。ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１は、受け取った基板Ｗを加熱冷却ユニットＰＨＰに搬送する。加熱冷却ユニットＰＨＰは、基板Ｗに露光後加熱処理（Post Exposure Bake）を行う。ＩＦ用搬送機構ＴＩＦ１は、露光後加熱処理が施された基板Ｗを各基板処理列８５ａ、８５ｂに搬出する。

各基板処理列８５ａ、８５ｂにおいて、主搬送機構Ｔ２が、ＩＦ部８７から基板Ｗを受け取り、現像処理ユニットＤＥＶおよび熱処理ユニットＵｈ２に所定の順番で搬送する。これにより、基板Ｗを現像する現像処理等が行われる。主搬送機構Ｔ２は、現像処理が施された基板Ｗを主搬送機構Ｔ１に渡す。主搬送機構Ｔ１は、受け取った基板ＷをＩＤ部８３に搬出する。

ＩＤ用搬送機構ＴＩＤは、基板処理列８５ａ、８５ｂから基板Ｗを交互に受け取り、カセットＣに搬入する。

［基板処理列８５ａ、８５ｂの一方の電源を遮断する動作］
以下では、基板処理列８５ａ、８５ｂの双方が遮断制限状態にあるときに、基板処理列８５ａのみの電源を遮断する動作を例に採って説明する。この場合、基板処理列８５ａの動作順序は、図４のフローと略同じとなる。したがって、便宜上、図４を参照して説明する。

＜ステップＳ０＞ 遮断制限状態
マグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂはともに閉じている。制御部１０１は、マグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂの作動を禁止している。状態報知部１０５ａ、１０５ｂはそれぞれ緑色で点灯しており、基板処理列８５ａ、８５ｂの両方が遮断制限状態であることを報知している。

＜ステップＳ１＞ 状態変更指示を入力する
ユーザーが、遮断可能状態に変更する基板処理列として、基板処理列８５ａを指定する指示をタッチパネル１０３に入力する。

＜ステップＳ２＞ 処理を実行中か？（待機する工程）
制御部１０１は、基板処理列８５ａが基板Ｗに対する処理を実行中か否かを判断する。その結果、実行中であると判断した場合には、ステップＳ２に戻る。そして、処理中の基板Ｗが収容されるカセットＣに対するジョブが完了するまで、ステップＳ２の処理を繰り返す。ここで、ジョブとは、カセットＣ単位で設定される基板Ｗの処理をいう。よって、当該カセットＣ内の全ての基板Ｗに対する処理が完了まで、ステップＳ２を繰り返す。実行中でないと判断した場合には、ステップＳ３に進む。

なお、遮断可能状態に変更する指示がタッチパネル１０３に入力されると、制御部１０１は、その後に新たなジョブが開始されないように制御する。具体的には、処理を実行中の基板Ｗが収容されるカセットＣとは異なるカセットＣから、基板処理列８５ａに基板Ｗを新たに搬入することを停止させる。

＜ステップＳ３＞ 遮断可能状態に変更する（変更する工程）
制御部１０１は、基板処理列８５ａの状態を遮断可能状態に変更する。

図１３を参照する。図１３は、基板処理列８５を遮断可能状態に変更する動作を示すフローチャートである。

＜ステップＳ３．１１＞ 電動機器を休止させる
制御部１０１は、基板処理列８５ａが有する各種電動機器を休止させる。

＜ステップＳ３．１２＞ 警報停止指示を入力する
ユーザーが、基板処理列８５ａの警報出力を停止する指示をタッチパネル１０３に入力する。

＜ステップＳ３．１３＞ 警報停止命令を送信する
制御部１０１は、基板処理列８５ａに対して警報出力を停止させる命令を送信する。これにより、基板処理列８５ａは、警報を出力しないように設定される。

＜ステップＳ３．１４＞ 警報出力が停止されたか？
制御部１０１は、基板処理列８５ａの警報出力が停止されたか否かを判断する。その結果、停止されたと判断した場合には、ステップＳ３．１５に進む。そうでない場合は、再び、ステップＳ３．１２に戻る。

＜ステップＳ３．１５＞ 手動運転を禁止する
制御部１０１は、基板処理列８５ａの手動運転を禁止する。これにより、ユーザーが、基板処理列８５ａに対して手動運転を行う指示をタッチパネル１０３に入力しても、タッチパネル１０３の入力は無効となる。これにより、基板処理列８５ａの状態が、遮断制限状態から遮断可能状態に変わる。なお、基板処理列８５ｂは、遮断制限状態のままである。

＜ステップＳ４＞ 状態を保存する
記憶部１０７は、基板処理列８５ａの状態に関する情報を保存する。

＜ステップＳ５＞ マグネットコンタクタの作動を許容する
制御部１０１は、マグネットコンタクタ９３ａの作動を許容する。

＜ステップＳ６＞ 遮断可能状態を報知する
状態報知部１０５ａは、緑色から橙色に変わり、基板処理列８５ａが遮断可能状態であることを報知する。なお、状態報知部１０５ｂは緑色のままである。

＜ステップＳ７＞ 開閉器用入力部を操作する
ユーザーが、マグネットコンタクタ９３ａを開作動させるように開閉器用入力部９５ａを操作する。

＜ステップＳ８＞ マグネットコンタクタが開く（遮断する工程）
開閉器用入力部９５ａの入力に応じて、マグネットコンタクタ９３ａが処理部用配線９１ａを開く。基板処理列８５ａの電源が遮断される。これにより、基板処理列８５ａは、遮断可能状態から停電状態に変わる。基板処理列８５ｂは、依然として、遮断制限状態のままである。

＜ステップＳ９＞ 停電状態を報知する
状態報知部１０５ａは、橙色から赤色に変わり、基板処理列８５ａが停電状態であることを示す。

［基板処理列８５の電源を投入する動作］
以下では、基板処理列８５ａが停電状態であり、基板処理列８５ｂが遮断制限状態にあるときに、基板処理列８５ａのみの電源を投入する動作を例に採って説明する。この場合、基板処理列８５ａの動作順序は、図６のフローと略同じとなる。したがって、便宜上、図６を参照して説明する。

＜ステップＳ１０＞ 停電状態
マグネットコンタクタ９３ａは開いており、基板処理列８５ａには電力が供給されていない。制御部１０１は、マグネットコンタクタ９３ａの作動を許容している。状態報知部１０５ａは赤色で点灯し、基板処理列８５ａが停電状態であることを示している。他方、マグネットコンタクタ９３ｂは閉じており、制御部１０１は、マグネットコンタクタ９３ｂの作動を禁止しており、状態報知部１０５ｂは緑色で点灯している。

＜ステップＳ１１＞ 開閉器用入力部を操作する
ユーザーが、マグネットコンタクタ９３ａを閉作動させるように開閉器用入力部９５ａを操作する。

＜ステップＳ１２＞ マグネットコンタクタが閉じる
開閉器用入力部９５ａの入力に応じて、マグネットコンタクタ９３ａが処理部用配線９１ａを閉じる。基板処理列８５ａの電源が投入され、基板処理列８５ａは遮断可能状態に復帰する。なお、基板処理列８５ｂは遮断制限状態のままである。

＜ステップＳ１３＞ 遮断可能状態を報知する
状態報知部１０５ａは、赤色から橙色に変わり、基板処理列８５ａが遮断可能状態であることを示す。

＜ステップＳ１４＞ 状態変更指示を入力する
ユーザーが、基板処理列８５ａを起動させる指示をタッチパネル１０３に入力する。

＜ステップＳ１５＞ 遮断制限状態に変更する
制御部１０１は、基板処理列８５ａを遮断制限状態に変更させる。具体的には、液処理ユニットＵｃや現像処理ユニットＤＥＶに設けられる吐出用弁部を開放させたり、各種処理ユニットが有する駆動回路のパラメータを設定する。

＜ステップＳ１６＞ 状態を保存する
記憶部１０７は、基板処理列８５ａの状態に関する情報を更新する。

＜ステップＳ１７＞ マグネットコンタクタの作動を禁止する
制御部１０１は、マグネットコンタクタ９３ａの作動を禁止する。これにより、開閉器用入力部９５ａが操作されても、マグネットコンタクタ９３ａは作動しない。

＜ステップＳ１８＞ 遮断制限状態を報知する
状態報知部１０５ａは、橙色から緑色に変わり、基板処理列８５ａが遮断制限状態であることを報知する。

このように、実施例３に係る基板処理装置８１およびその電源管理方法によれば、実施例１および実施例２で説明した効果を奏する。すなわち、基板処理列８５ａ、８５ｂの電源を個別に遮断することができるので、一部の基板処理列８５のみを部分的に稼動させることができる。これにより、基板処理能力が著しく低下することを抑制することができる。また、基板処理列８５ａ、８５ｂを個別に遮断可能状態に変更した（ステップＳ３）後に、遮断可能状態に変更した基板処理列８５の電源のみを遮断する（ステップＳ６）ので、一部の基板処理列８５の電源のみを適切に遮断することができる。

また、本実施例３では、遮断可能状態では、基板処理列８５の手動運転が禁止されているので、一層安全に基板処理列８５の電源を遮断することができる。

また、制御部１０１は、基板処理列８５ａ、８５ｂの少なくともいずれかが遮断制限状態である場合には、その基板処理列８５に対応するマグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂの作動を個別に禁止することができる。

また、制御電源用配線９９を備えているので、マグネットコンタクタ９３ａ、９３ｂが作動に関わらず、制御部１０１に電力を供給し続けることができる。よって、停電状態の基板処理列８５に電源を投入する場合であっても、制御部１０１は好適に基板処理列８５を制御することができる。また、一部の基板処理列８５の電源を遮断した場合であっても、制御部１０１は他の基板処理列８５を好適に制御することができる。

また、遮断可能状態に変更する基板処理列８５を指定する指示がタッチパネル１０３に入力されたときに指定された基板処理列８５が基板Ｗに対して処理を実行中である場合には、その基板Ｗが収容されるカセットＣ内の全ての基板Ｗに対して処理を完了するまで待機する（ステップＳ２）。よって、基板Ｗに対する処理品質が低下することを好適に防ぐことができる。また、カセットＣ内の複数の基板Ｗ間で処理品質がばらつくことを好適に防ぐことができる。

また、基板処理列８５を遮断可能状態に変更する指示がタッチパネル１０３に入力された後は、その基板処理列８５に対して新たなカセットＣから基板Ｗを搬入することを停止する。このため、カセットＣ内の各基板Ｗに対して略同じ品質で処理を施しつつ、その基板処理列８５を遮断可能状態に変更する処理を変更する工程を速やかに開始できる。

この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例２乃至３では、ユーザーがタッチパネル７３、１０３に入力する指示に基づいて、処理部１３、８５を遮断可能状態に変更したが、これに限られない。例えば、予め設定されているスケジュールに基づいて、制御部７１、１０１が自動的に処理部１３、８５ａ、８５ｂを遮断可能状態に変更してもよい。これによれば、メンテナンスを定期的に行うことができる。あるいは、処理部１３、８５またはＩＤ部８３、ＩＦ部８７において異常または故障を検知したときに、制御部７１、１０１が自動的に処理部１３、８５を遮断可能状態に変更してもよい。

（２）上述した実施例２、３では、それぞれ遮断可能状態を規定したが、次のように遮断可能状態を規定してもよい。すなわち、遮断可能状態を、処理部１３、８５が有する電動機器が休止している状態と規定してもよい。あるいは、遮断可能状態を、処理部１３、８５が有する電動機器が休止しており、かつ、基板処理列８５の手動運転を禁止している状態と規定してもよい。

（３）上述した実施例２、３では、開閉器用入力部６５／９５ａ、９５ｂによって、マグネットコンタクタ６３／９３ａ、９３ｂを作動させるが、これに限られない。例えば、ユーザーが直接、マグネットコンタクタ６３／９３ａ、９３ｂを操作するように変更してもよい。

（４）上述した実施例２、３では、マグネットコンタクタ６３／９３ａ、９３ｂを例示したが、これに限られない。処理部用配線６１／処理部９１ａ、９１ｂを開閉できる各種のスイッチに変更することができる。たとえば、電磁開閉器や、ブレーカに変更してもよい。

（５）上述した実施例２、３では、マグネットコンタクタ６３／９３ａ、９３ｂを作動させる指示と、処理部１３／８５ａ、８５ｂを遮断可能状態に変更する指示とを、それぞれ別体の入力部（すなわち、開閉器用入力部６５／９５ａ、９５ｂとタッチパネル７３／１０３）で受け付けていたが、これに限られない。例えば、両方の指示を同じ入力部で受け付けるように変更してもよい。例えば、両方の指示を入力するためのタッチパネルを採用してもよい。

（６）上述した実施例２、３では、状態報知部７５、１０５ａ、１０５ｂの報知態様は、光であったが、これに限られない。例えば、文字情報や音声情報などによってユーザーに報知してもよい。

（７）上述した実施例１、３では、２つの処理部３ａ、３ｂ（８５ａ、８５ｂ）を備える装置１（８１）であったが、これに限られない。すなわち、３以上の処理部を備えるように変更してもよい。

（８）上述した実施例２では、処理部１３は単一の処理ユニット１３であったが、これに限られない。処理部１３を、複数の処理ユニットで構成してもよい。同様に、実施例３では、処理部８５ａ、８５ｂは、それぞれ単一の基板処理列８５ａ、８５ｂであったが、これに限られない。すなわち、処理部８５ａ、８５ｂの少なくとも一方を、複数の基板処理列で構成してもよい。

（９）上述した実施例２では、処理ユニット１３の処理内容は、レジスト塗布であったが、これに限られない。処理ユニット１３の処理内容は、例えば、洗浄処理、熱処理または現像処理など種々の処理に変更してもよい。同様に、実施例３では、基板処理列８５の処理内容は、基板Ｗにレジスト膜等を形成し、かつ、露光された基板Ｗを現像するものであったが、これに限られない。基板処理列８５ａ、８５ｂの各処理内容は、種々の処理に変更してもよい。また、基板処理列８５ａ、８５ｂの間で処理内容が異なっていてもよい。

（１０）上述した実施例３では、基板処理列８５は２基の主搬送機構Ｔ１、Ｔ２を備えていたが、これに限られない。例えば、１基の主搬送機構を備える基板処理列に変更してもよいし、３基以上の主搬送機構を備える基板処理列に変更してもよい。

（１１）上述した実施例２、３では、処理部１３／８５ａ、８５ｂの状態を、それぞれ遮断制限状態、遮断可能状態および停電状態に区分していたが、これに限られない。処理部１３／８５ａ、８５ｂの状態を、４以上の区分に分けてもよい。

（１２）上述した各実施例および各変形実施例の各構成を適宜に組み合わせるように変更してもよい。

１、１１、８１ …基板処理装置
３ａ、３ｂ、１３、８５、８５ａ、８５ｂ …処理部（処理ユニット、基板処理列）
７ａ、７ｂ、６１、９１ａ、９１ｂ …処理部用配線
９ａ、９ｂ …開閉器
６３、９３ａ、９３ｂ …マグネットコンタクタ
６５、９５ａ、９５ｂ …開閉器用入力部
６７、９９ …制御電源用配線
７１、１０１ …制御部
７３、１０３ …タッチパネル
７５、１０５（１０５ａ、１０５ｂ） …状態報知部
７７、１０７ …記憶部
８３ …インデクサ部（ＩＤ部）
８７ …インターフェイス部（ＩＦ部）
Ｔ１、Ｔ２ …主搬送機構
Ｕｃ …液処理ユニット
ＢＡＲＣ …反射防止膜用塗布処理ユニット
ＲＥＳＩＳＴ …レジスト膜用塗布処理ユニット
ＤＥＶ …現像処理ユニット
Ｕｈ１、Ｕｈ２ …熱処理ユニット
Ｗ …基板

Claims (12)

1. 基板を処理する処理部と、
   処理部に電力を供給するための処理部用配線と、
   処理部用配線を開閉して、処理部の電源を投入・遮断する開閉器と、
   開閉器と電気的に接続され、ユーザーによって操作され、開閉器を作動させるための開閉器用入力部と、
   処理部を、電源の遮断が制限されている遮断制限状態から電源の遮断が許容された遮断可能状態に変更する制御部と、
   を備え、
   制御部はさらに、処理部が遮断可能状態であるときには開閉器の作動を許容し、処理部が遮断制限状態にあるときには開閉器の作動を禁止し、
   処理部が遮断可能状態であるときには、ユーザーによる開閉器用入力部の操作は有効であり、開閉器は開閉器用入力部の入力に従って作動し、
   処理部が遮断制限状態であるときには、ユーザーによる開閉器用入力部の操作は無効であり、開閉器は開閉器用入力部の入力に関わらず作動しない
   基板処理装置。
2. 請求項１に記載の基板処理装置において、
   処理部は複数であり、
   処理部用配線は、各処理部に個別に電力を供給し、
   開閉器は、各処理部用配線を個別に開閉して、各処理部の電源を個別に投入・遮断し、
   制御部は、処理部を個別に遮断可能状態に変更させるとともに、遮断可能状態である処理部に対応した開閉器の作動を許容し、遮断制限状態である処理部に対応した開閉器の作動を禁止する基板処理装置。
3. 請求項１または２に記載の基板処理装置において、
   処理部を個別に遮断可能状態に変更させる指示を入力するための状態変更用入力部と、
   を備え、
   制御部は、状態変更用入力部に入力された指示に基づいて、処理部を個別に遮断制限状態から遮断可能状態に変更する基板処理装置。
4. 請求項３に記載の基板処理装置において、
   ユーザーが処理部を個別に指定して遮断可能状態に変更させる指示を状態変更用入力部に入力した場合、制御部は、指定された処理部の電動機器を休止させてから、指定された処理部を遮断制限状態から遮断可能状態に変更し、
   開閉器用入力部は物理的なボタンである基板処理装置。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載の基板処理装置において、
   さらに、処理部用配線とは別個に設けられ、制御部に電力を供給するための制御電源用配線を備えている基板処理装置。
6. 請求項１乃至５のいずれかに記載の基板処理装置において、
   さらに、処理部が遮断可能状態に変更されると、当該処理部の状態に関する情報を記憶する記憶部を備えている基板処理装置。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載の基板処理装置において、
   基板を収容するカセットから処理部に基板を搬送するインデクサ部をさらに備え、
   制御部は、処理部を遮断可能状態に変更する前に、その処理部が基板に対して処理を実行中であるか否かを判断し、実行中であると判断したときには、その基板が収容されるカセット内の全ての基板に対して処理を完了した後に、処理部を遮断可能状態に変更する処理を開始する基板処理装置。
8. 請求項１乃至７のいずれかに記載の基板処理装置において、
   処理部は、処理ユニットと、処理ユニットに基板を搬送する主搬送機構と、を有する基板処理列である基板処理装置。
9. 基板を処理する処理部を有する基板処理装置の電源管理方法であって、
   制御部が、処理部を、電源の遮断が制限されている遮断制限状態から電源の遮断が許容された遮断可能状態に変更する工程と、
   制御部が、遮断可能状態に変更された処理部用の開閉器の作動を許容し、作動が許容される開閉器と電気的に接続されている開閉器用入力部に対するユーザーの操作を有効とする工程と、
   操作が有効な開閉器用入力部をユーザーが操作する工程と、
   操作が有効な開閉器入力部に電気的に接続されている開閉器が、ユーザーによる開閉器用入力部の操作に従って作動して、遮断可能状態である処理部の電源を遮断する工程と、
   を備え、
   制御部は、遮断制限状態である処理部の電源を遮断するための開閉器の作動を禁止し、作動が禁止された開閉器と電気的に接続されている開閉器用入力部に対するユーザーの操作を無効とし、
   遮断制限状態である処理部の電源を遮断するための開閉器は開閉器用入力部の入力に関わらず作動しない基板処理装置の電源管理方法。
10. 請求項９に記載の基板処理装置の電源管理方法において、
    処理部は複数であり、
    変更する工程では、各処理部を個別に遮断可能状態に変更し、
    遮断する工程では、各処理部の電源を個別に遮断し、
    開閉器用入力部は物理的なボタンである基板処理装置の電源管理方法。
11. 請求項９または１０に記載の基板処理装置の電源管理方法において、
    変更する工程では、さらに、遮断可能状態に変更される処理部の警報出力を停止させる基板処理装置の電源管理方法。
12. 請求項９乃至１１のいずれかに記載の基板処理装置の電源管理方法において、
    変更する工程を開始する前に、処理部が基板に対して処理を実行中であるか否かを判断し、実行中であると判断したときには、その処理を完了するまで待機する工程を備えている基板処理装置の電源管理方法。

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