JP2000216072A - 表示自動制御方法および加工製造装置 - Google Patents
表示自動制御方法および加工製造装置Info
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- JP2000216072A JP2000216072A JP11012881A JP1288199A JP2000216072A JP 2000216072 A JP2000216072 A JP 2000216072A JP 11012881 A JP11012881 A JP 11012881A JP 1288199 A JP1288199 A JP 1288199A JP 2000216072 A JP2000216072 A JP 2000216072A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンソールが表示保護（表示停止）モードに
なっている時に装置に異常やアシスト要求が発生した場
合に、オペレータが何らかの理由でコンソールにアクセ
スすることが困難な場合、従来は即座に表示を復帰させ
ることが出来ず詳細情報を知るのに時間がかかり、対処
が遅くなるという問題があった。 【解決手段】 装置の状態に応じて表示装置の保護（停
止など）を自動的に禁止する。
なっている時に装置に異常やアシスト要求が発生した場
合に、オペレータが何らかの理由でコンソールにアクセ
スすることが困難な場合、従来は即座に表示を復帰させ
ることが出来ず詳細情報を知るのに時間がかかり、対処
が遅くなるという問題があった。 【解決手段】 装置の状態に応じて表示装置の保護（停
止など）を自動的に禁止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は表示自動制御方法に
関し、特に表示装置に対する表示停止等の保護動作の制
御方法に関する。さらに本発明は、同方法が適用される
加工製造装置、特に半導体露光装置に関する。
関し、特に表示装置に対する表示停止等の保護動作の制
御方法に関する。さらに本発明は、同方法が適用される
加工製造装置、特に半導体露光装置に関する。
【０００２】本発明の加工製造装置が加工または製造す
る対象物は、本発明の思想が適用できるかぎり特に限定
されない。
る対象物は、本発明の思想が適用できるかぎり特に限定
されない。
【０００３】
【従来の技術】半導体露光装置のコンソールは、オペレ
ータと装置制御部間のマンマシンインターフェース部で
ある。オペレータはコンソールの入力装置から装置制御
部に対して命令や設定を行ない、また装置制御部からの
さまざまな装置の情報をコンソールの表示装置から受け
取る。
ータと装置制御部間のマンマシンインターフェース部で
ある。オペレータはコンソールの入力装置から装置制御
部に対して命令や設定を行ない、また装置制御部からの
さまざまな装置の情報をコンソールの表示装置から受け
取る。
【０００４】以下に図１を用い、従来の半導体露光装置
について、そのコンソールおよびコンソールの表示装置
の表示保護機能を中心に説明する。１は半導体露光装
置、２は半導体露光装置のマンマシンインターフェース
部であるコンソール、３は装置制御部、４は装置本体
部、５はコンソールＣＰＵ、６はＣＲＴ、液晶ディスプ
レイ等の表示装置、７はキーボード、マウス、タッチパ
ネル等の入力装置、８はブザー、ランプ等の警報装置で
ある。
について、そのコンソールおよびコンソールの表示装置
の表示保護機能を中心に説明する。１は半導体露光装
置、２は半導体露光装置のマンマシンインターフェース
部であるコンソール、３は装置制御部、４は装置本体
部、５はコンソールＣＰＵ、６はＣＲＴ、液晶ディスプ
レイ等の表示装置、７はキーボード、マウス、タッチパ
ネル等の入力装置、８はブザー、ランプ等の警報装置で
ある。
【０００５】オペレータはコンソール２の入力装置７か
ら命令や設定などの情報を入力する。コンソールＣＰＵ
５はそれらの情報を装置制御部３に通知する。装置制御
部３はそれらの情報をもとに装置本体部４を制御する。
また、コンソールＣＰＵ５は装置制御部３から装置本体
部４や装置制御部３自身の情報を受け取り、オペレータ
に通知すべき情報を表示装置６に表示する。通知すべき
情報が緊急を要するもの例えば異常発生やアシスト要求
の場合は、コンソールＣＰＵ５は警報装置８のブザーや
ランプにより、その発生をオペレータに通知する。
ら命令や設定などの情報を入力する。コンソールＣＰＵ
５はそれらの情報を装置制御部３に通知する。装置制御
部３はそれらの情報をもとに装置本体部４を制御する。
また、コンソールＣＰＵ５は装置制御部３から装置本体
部４や装置制御部３自身の情報を受け取り、オペレータ
に通知すべき情報を表示装置６に表示する。通知すべき
情報が緊急を要するもの例えば異常発生やアシスト要求
の場合は、コンソールＣＰＵ５は警報装置８のブザーや
ランプにより、その発生をオペレータに通知する。
【０００６】表示装置６にはＣＲＴや液晶ディスプレイ
が使われ、それらの表示装置はブラウン管や液晶のバッ
クライト光源など、駆動時間に応じた寿命部品を持って
いる。表示装置の寿命部品の寿命は通常半導体露光装置
の製品寿命（７年）よりも短く、液晶バックライト光源
などは連続使用した場合２年程度の寿命しかないため、
露光装置の製品寿命中に数回の交換が必要となる。表示
装置の寿命部品が故障した場合には表示装置自体の交換
が必要であり、交換作業には少なくとも数時間、手配に
時間がかかれば数日の露光装置停止が必要となり、装置
稼働率を低下させることになる。
が使われ、それらの表示装置はブラウン管や液晶のバッ
クライト光源など、駆動時間に応じた寿命部品を持って
いる。表示装置の寿命部品の寿命は通常半導体露光装置
の製品寿命（７年）よりも短く、液晶バックライト光源
などは連続使用した場合２年程度の寿命しかないため、
露光装置の製品寿命中に数回の交換が必要となる。表示
装置の寿命部品が故障した場合には表示装置自体の交換
が必要であり、交換作業には少なくとも数時間、手配に
時間がかかれば数日の露光装置停止が必要となり、装置
稼働率を低下させることになる。
【０００７】半導体製造工場に設置される露光装置の稼
働時間に占めるオペレータのコンソール使用時間はごく
わずか、おそらく１０％以下であろうと推定される。ま
たオペレータがコンソールを使用していない時には、表
示機能は意味をなさない。よって、その間は表示を停止
することで寿命部品の寿命を製品寿命程度まで延ばす事
が可能であり、表示装置６の交換に因る装置稼働率の低
下を防いでいる。
働時間に占めるオペレータのコンソール使用時間はごく
わずか、おそらく１０％以下であろうと推定される。ま
たオペレータがコンソールを使用していない時には、表
示機能は意味をなさない。よって、その間は表示を停止
することで寿命部品の寿命を製品寿命程度まで延ばす事
が可能であり、表示装置６の交換に因る装置稼働率の低
下を防いでいる。
【０００８】具体的には、コンソールＣＰＵ５は一定時
間入力装置７からの入力が無いと、オペレータはコンソ
ール２を使用していないと判断し、表示装置６を停止す
る。この状態を表示保護モードと呼ぶ。
間入力装置７からの入力が無いと、オペレータはコンソ
ール２を使用していないと判断し、表示装置６を停止す
る。この状態を表示保護モードと呼ぶ。
【０００９】従来、この表示保護モードから通常表示モ
ードヘ復帰させるためには、オペレータが再び入力装置
７から何らかのアクセス、例えばキーボードを叩いた
り、マウスを動かしたり、タッチパネルを触ったりし
て、コンソールＣＰＵ５に対してコンソール２の使用を
示し、コンソールＣＰＵ５はこのような入力装置７から
のアクセスを検知することでコンソール２の使用が開始
されたと判断し、表示装置６を再び駆動していた。
ードヘ復帰させるためには、オペレータが再び入力装置
７から何らかのアクセス、例えばキーボードを叩いた
り、マウスを動かしたり、タッチパネルを触ったりし
て、コンソールＣＰＵ５に対してコンソール２の使用を
示し、コンソールＣＰＵ５はこのような入力装置７から
のアクセスを検知することでコンソール２の使用が開始
されたと判断し、表示装置６を再び駆動していた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】半導体露光装置に異常
やアシスト要求が発生した場合、装置制御部からその通
知を受けたコンソールＣＰＵはブザーやランプなどの警
報装置でオペレータに通知している。オペレータは警報
装置により装置に異常やアシスト要求が発生したことを
知るが、その内容全てを警報装置の簡略化された情報か
ら知る事はできない。より適切な対処をするためには、
表示装置上に表示される詳細情報が必要である。
やアシスト要求が発生した場合、装置制御部からその通
知を受けたコンソールＣＰＵはブザーやランプなどの警
報装置でオペレータに通知している。オペレータは警報
装置により装置に異常やアシスト要求が発生したことを
知るが、その内容全てを警報装置の簡略化された情報か
ら知る事はできない。より適切な対処をするためには、
表示装置上に表示される詳細情報が必要である。
【００１１】ところが、コンソールが表示保護モードに
なっている時に露光装置に異常やアシスト要求が発生し
た場合、オペレータが詳細情報を知るためには、装置ま
で来てさらにコンソールにアクセスをして、表示を復帰
させる必要がある。しかし、オペレータが荷物などを持
っていて両手が塞がっているなど、何らかの理由でコン
ソールにアクセスをすることが困難な場合、詳細情報を
知るのに時間がかかり、対処が遅くなるという問題があ
った。
なっている時に露光装置に異常やアシスト要求が発生し
た場合、オペレータが詳細情報を知るためには、装置ま
で来てさらにコンソールにアクセスをして、表示を復帰
させる必要がある。しかし、オペレータが荷物などを持
っていて両手が塞がっているなど、何らかの理由でコン
ソールにアクセスをすることが困難な場合、詳細情報を
知るのに時間がかかり、対処が遅くなるという問題があ
った。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の表示自動制御方法は、オペレータのコンソ
ールに対する最終操作時から所定時間後に表示装置を自
動的に保護するが、該表示装置が組み込まれた加工製造
装置の状態に応じて該表示装置の保護を自動的に禁止す
ることを特徴とする。
め、本発明の表示自動制御方法は、オペレータのコンソ
ールに対する最終操作時から所定時間後に表示装置を自
動的に保護するが、該表示装置が組み込まれた加工製造
装置の状態に応じて該表示装置の保護を自動的に禁止す
ることを特徴とする。
【００１３】また本発明の加工製造装置は、装置本体
部、装置制御部およびコンソール部より構成され、さら
に前記コンソール部はコンソールＣＰＵ、表示装置、入
力装置および警報装置から構成され、この加工製造装置
はオペレータの前記入力装置への最終操作時から所定時
間後に前記表示装置を自動的に保護する手段と、前記加
工製造装置の状態に応じて該表示装置の保護を自動的に
禁止する手段とを有することを特徴とする。
部、装置制御部およびコンソール部より構成され、さら
に前記コンソール部はコンソールＣＰＵ、表示装置、入
力装置および警報装置から構成され、この加工製造装置
はオペレータの前記入力装置への最終操作時から所定時
間後に前記表示装置を自動的に保護する手段と、前記加
工製造装置の状態に応じて該表示装置の保護を自動的に
禁止する手段とを有することを特徴とする。
【００１４】本発明において、オペレータがコンソール
またはその入力装置に対して最後に操作を行なってから
表示装置が自動的に保護されるまでの所定時間、つまり
保護機能が働くまでのオペレータのコンソール非操作時
間は、通常１０分程度である。前記表示装置の保護と
は、通常、表示装置の表示停止を意味する。また、前記
表示装置の保護を禁止すべき加工製造装置の状態とは、
通常、該加工製造装置の異常発生時あるいはアシスト要
求時である。前記表示装置の保護禁止状態は、オペレー
タから禁止終了命令が入力されるまで継続することがで
きる。あるいは、前記表示装置の保護禁止状態は、該禁
止状態をもたらした加工製造装置の状態が解消された
後、自動的に終了されてもよい。
またはその入力装置に対して最後に操作を行なってから
表示装置が自動的に保護されるまでの所定時間、つまり
保護機能が働くまでのオペレータのコンソール非操作時
間は、通常１０分程度である。前記表示装置の保護と
は、通常、表示装置の表示停止を意味する。また、前記
表示装置の保護を禁止すべき加工製造装置の状態とは、
通常、該加工製造装置の異常発生時あるいはアシスト要
求時である。前記表示装置の保護禁止状態は、オペレー
タから禁止終了命令が入力されるまで継続することがで
きる。あるいは、前記表示装置の保護禁止状態は、該禁
止状態をもたらした加工製造装置の状態が解消された
後、自動的に終了されてもよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明では半導体露光装置に異常
やアシスト要求等が発生した場合、装置制御部からその
通知を受けたコンソールＣＰＵは、必要であればブザー
やランプなどの警報装置でオペレータにその発生を通知
するのと同時に、表示装置の保護を禁止する。つまり、
表示装置の表示がなされている場合には、表示保護モー
ドへの移行を禁止するようにする。すでに表示保護モー
ドに移行して表示装置の表示が停止していた場合には自
動的に表示を復帰させる。
やアシスト要求等が発生した場合、装置制御部からその
通知を受けたコンソールＣＰＵは、必要であればブザー
やランプなどの警報装置でオペレータにその発生を通知
するのと同時に、表示装置の保護を禁止する。つまり、
表示装置の表示がなされている場合には、表示保護モー
ドへの移行を禁止するようにする。すでに表示保護モー
ドに移行して表示装置の表示が停止していた場合には自
動的に表示を復帰させる。
【００１６】こうすることにより、オペレータはコンソ
ールへのアクセスが困難な場合でも、異常やアシスト要
求の詳細情報を素早く確認して迅速に対処できる。
ールへのアクセスが困難な場合でも、異常やアシスト要
求の詳細情報を素早く確認して迅速に対処できる。
【００１７】表示保護モードへの移行の禁止状態は、異
常やアシスト要求発生原因が解消された後は、オペレー
タから表示保護モードへの移行の許可命令を入力される
まで継続される。あるいは、異常やアシスト要求発生原
因が解消された後、自動的に表示保護モードへの移行を
許可状態にしても良い。
常やアシスト要求発生原因が解消された後は、オペレー
タから表示保護モードへの移行の許可命令を入力される
まで継続される。あるいは、異常やアシスト要求発生原
因が解消された後、自動的に表示保護モードへの移行を
許可状態にしても良い。
【００１８】半導体露光装置の場合、その異常（エラ
ー）およびアシスト要求としては以下のものが挙げられ
る。エラー 装置故障： 故障箇所と対応策が示される。 ユーティリティー異常： 電源、エア、バキューム、冷
却水等のユーティリティー異常の発生が示される。
ー）およびアシスト要求としては以下のものが挙げられ
る。エラー 装置故障： 故障箇所と対応策が示される。 ユーティリティー異常： 電源、エア、バキューム、冷
却水等のユーティリティー異常の発生が示される。
【００１９】アシスト要求 アライメントアシスト要求： ウエハアライメントが出
来なかった場合、マニュアルアライメントによるアシス
トが要求される。 ウエハアシスト要求： ウエハ搬送中の異常が示され、
不良ウエハのピックアップやフォローが要求される。 消耗部品交換： ランプ、ガス、モーター、表示器等の
交換時期を感知、推定し、消耗部品の交換が要求され
る。 ジョブ終了： ジョブの終了が示され、ウエハカセット
交換等による次のジョブ開始が要求される。
来なかった場合、マニュアルアライメントによるアシス
トが要求される。 ウエハアシスト要求： ウエハ搬送中の異常が示され、
不良ウエハのピックアップやフォローが要求される。 消耗部品交換： ランプ、ガス、モーター、表示器等の
交換時期を感知、推定し、消耗部品の交換が要求され
る。 ジョブ終了： ジョブの終了が示され、ウエハカセット
交換等による次のジョブ開始が要求される。
【００２０】
【実施例】実施例１ 図１を参照して本発明の一実施形態を説明する。図１
中、１は半導体露光装置、２は半導体露光装置のマンマ
シンインターフェース部であるコンソール、３は装置制
御部、４は装置本体部、５はコンソールＣＰＵ、６はＣ
ＲＴ、液晶ディスプレイ等の表示装置、７はキーボー
ド、マウス、タッチパネル等の入力装置、８はブザー、
ランプ等の警報装置である。
中、１は半導体露光装置、２は半導体露光装置のマンマ
シンインターフェース部であるコンソール、３は装置制
御部、４は装置本体部、５はコンソールＣＰＵ、６はＣ
ＲＴ、液晶ディスプレイ等の表示装置、７はキーボー
ド、マウス、タッチパネル等の入力装置、８はブザー、
ランプ等の警報装置である。
【００２１】オペレータはコンソール２の入力装置７か
ら命令や設定などの情報を入力する。コンソールＣＰＵ
５はそれらの情報を装置制御部３に通知する。装置制御
部３はそれらの情報をもとに装置本体部４を制御する。
また、コンソールＣＰＵ５は装置制御部３から装置本体
部４や装置制御部３自身の情報を受け取り、オペレータ
に通知すべき情報を表示装置６に表示する。通知すべき
情報が緊急を要するもの、例えば異常発生やアシスト要
求の場合は、コンソールＣＰＵ５は警報装置８のブザー
やランプにより、その発生をオペレータに通知する。
ら命令や設定などの情報を入力する。コンソールＣＰＵ
５はそれらの情報を装置制御部３に通知する。装置制御
部３はそれらの情報をもとに装置本体部４を制御する。
また、コンソールＣＰＵ５は装置制御部３から装置本体
部４や装置制御部３自身の情報を受け取り、オペレータ
に通知すべき情報を表示装置６に表示する。通知すべき
情報が緊急を要するもの、例えば異常発生やアシスト要
求の場合は、コンソールＣＰＵ５は警報装置８のブザー
やランプにより、その発生をオペレータに通知する。
【００２２】コンソールＣＰＵ５は一定時間入力装置７
からの入力が無いと、オペレータがコンソール２を使用
していないと判断し、表示装置６を停止して表示保護モ
ードに移行する。オペレータが再び入力装置７に何らか
のアクセスをすると、コンソールＣＰＵ５はコンソール
の使用が開始されたと判断して、表示装置６を再び駆動
する。
からの入力が無いと、オペレータがコンソール２を使用
していないと判断し、表示装置６を停止して表示保護モ
ードに移行する。オペレータが再び入力装置７に何らか
のアクセスをすると、コンソールＣＰＵ５はコンソール
の使用が開始されたと判断して、表示装置６を再び駆動
する。
【００２３】さて、半導体露光装置１に異常やアシスト
要求が発生した場合、装置制御部３はコンソールＣＰＵ
５に通知する。コンソールＣＰＵ５は警報装置のブザー
やランプにより異常やアシスト要求の発生をオペレータ
に通知する。
要求が発生した場合、装置制御部３はコンソールＣＰＵ
５に通知する。コンソールＣＰＵ５は警報装置のブザー
やランプにより異常やアシスト要求の発生をオペレータ
に通知する。
【００２４】同時にコンソールＣＰＵ５は表示保護モー
ドへの移行を禁止し、コンソール２の使用の有無に関わ
らず表示装置６の表示は停止しないようにする。すでに
表示保護モードに移行して表示が停止していた場合は、
自動的に表示を復帰させる。表示保護モードへの移行の
禁止は、原因となった異常やアシスト要求が解除された
後、オペレータによって表示保護モードへの移行許可の
命令が行なわれるまで継続する。
ドへの移行を禁止し、コンソール２の使用の有無に関わ
らず表示装置６の表示は停止しないようにする。すでに
表示保護モードに移行して表示が停止していた場合は、
自動的に表示を復帰させる。表示保護モードへの移行の
禁止は、原因となった異常やアシスト要求が解除された
後、オペレータによって表示保護モードへの移行許可の
命令が行なわれるまで継続する。
【００２５】オペレータは警報装置により異常やアシス
ト要求の発生を知り、表示装置上に表示されている詳細
情報を即座に確認する事ができるため迅速な対処が可能
となる。
ト要求の発生を知り、表示装置上に表示されている詳細
情報を即座に確認する事ができるため迅速な対処が可能
となる。
【００２６】実施例２ 半導体露光装置１に異常やアシスト要求が発生した場
合、コンソールＣＰＵ５は表示保護を禁止するが、原因
となった異常やアシスト要求が解除された後、自動的に
表示保護モードへの移行禁止状態を解除する。
合、コンソールＣＰＵ５は表示保護を禁止するが、原因
となった異常やアシスト要求が解除された後、自動的に
表示保護モードへの移行禁止状態を解除する。
【００２７】
【発明の効果】本発明では、半導体露光装置に異常やア
シスト要求が発生した場合、表示保護モードへの移行は
禁止され、また、すでに表示保護モードに移行して表示
がされていなくても、自動的に表示保護モードが解除さ
れ、詳細情報が表示される。
シスト要求が発生した場合、表示保護モードへの移行は
禁止され、また、すでに表示保護モードに移行して表示
がされていなくても、自動的に表示保護モードが解除さ
れ、詳細情報が表示される。
【００２８】そのため、もしオペレータがコンソールに
アクセスする事が困難な状態であっても、オペレータは
詳細情報を即座に知る事ができ、迅速な対処が可能とな
り、装置の稼働効率が向上する。
アクセスする事が困難な状態であっても、オペレータは
詳細情報を即座に知る事ができ、迅速な対処が可能とな
り、装置の稼働効率が向上する。
【図１】 半導体露光装置の機能ブロック図である。
１：半導体露光装置、２：半導体露光装置のマンマシン
インターフェース部であるコンソール、３：装置制御
部、４：装置本体部、５：コンソールＣＰＵ、６：ＣＲ
Ｔ、液晶ディスプレイ等の表示装置、７：キーボード、
マウス、タッチパネル等の入力装置、８：ブザー、ラン
プ等の警報装置。
インターフェース部であるコンソール、３：装置制御
部、４：装置本体部、５：コンソールＣＰＵ、６：ＣＲ
Ｔ、液晶ディスプレイ等の表示装置、７：キーボード、
マウス、タッチパネル等の入力装置、８：ブザー、ラン
プ等の警報装置。
Claims (10)
- 【請求項１】 オペレータのコンソールに対する最終操
作時から所定時間後に表示装置を自動的に保護するが、
該表示装置が組み込まれた加工製造装置の状態に応じて
該表示装置の保護を自動的に禁止することを特徴とする
表示自動制御方法。 - 【請求項２】 前記表示装置の保護とは、表示装置の表
示停止であることを特徴とする請求項１記載の表示自動
制御方法。 - 【請求項３】 前記表示装置の保護を禁止すべき加工製
造装置の状態とは、該加工製造装置の異常発生時あるい
はアシスト要求時であることを特徴とする請求項１また
は２記載の表示自動制御方法。 - 【請求項４】 前記表示装置の保護禁止状態は、オペレ
ータから禁止終了命令が入力されるまで継続することを
特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の表示自動制御
方法。 - 【請求項５】 前記表示装置の保護禁止状態は、該禁止
状態をもたらした加工製造装置の状態が解消された後、
自動的に終了されることを特徴とする請求項１〜３いず
れかに記載の表示自動制御方法。 - 【請求項６】 装置本体部、装置制御部およびコンソー
ル部より構成され、さらに前記コンソール部はコンソー
ルＣＰＵ、表示装置、入力装置および警報装置から構成
される加工製造装置であって、オペレータの前記入力装
置への最終操作時から所定時間後に前記表示装置を自動
的に保護する手段と、前記加工製造装置の状態に応じて
該表示装置の保護を自動的に禁止する手段とを有するこ
とを特徴とする加工製造装置。 - 【請求項７】 前記表示装置の保護とは、表示装置の表
示停止であることを特徴とする請求項６に記載の加工製
造装置。 - 【請求項８】 前記表示装置の保護を禁止すべき加工製
造装置の状態とは、該加工装置の異常発生時あるいはア
シスト要求時であることを特徴とする請求項６または７
記載の加工製造装置。 - 【請求項９】 前記表示装置の保護禁止状態は、オペレ
ータから禁止終了命令が入力されるまで継続することを
特徴とする請求項６〜８いずれかに記載の加工製造装
置。 - 【請求項１０】 前記表示装置の保護禁止状態は、該禁
止状態をもたらした加工製造装置の状態が解消された
後、自動的に終了されることを特徴とする請求項６〜８
いずれかに記載の加工製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11012881A JP2000216072A (ja) | 1999-01-21 | 1999-01-21 | 表示自動制御方法および加工製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11012881A JP2000216072A (ja) | 1999-01-21 | 1999-01-21 | 表示自動制御方法および加工製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000216072A true JP2000216072A (ja) | 2000-08-04 |
Family
ID=11817760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11012881A Pending JP2000216072A (ja) | 1999-01-21 | 1999-01-21 | 表示自動制御方法および加工製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000216072A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011100968A (ja) * | 2009-10-05 | 2011-05-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、半導体デバイスの製造方法及び装置状態遷移方法 |
-
1999
- 1999-01-21 JP JP11012881A patent/JP2000216072A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011100968A (ja) * | 2009-10-05 | 2011-05-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、半導体デバイスの製造方法及び装置状態遷移方法 |
| US8457774B2 (en) | 2009-10-05 | 2013-06-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus, control method of the substrate processing apparatus, manufacturing method of semiconductor device and apparatus state shifting method |
| TWI461869B (zh) * | 2009-10-05 | 2014-11-21 | Hitachi Int Electric Inc | 基板處理裝置暨其控制方法、狀態遷移方法與保養方法，半導體元件之製造方法，狀態遷移程式之儲存記錄媒體與執行之電腦，及控制器 |
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