JP2010524201A5

JP2010524201A5 -

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Publication number: JP2010524201A5
Application number: JP2009554791A
Authority: JP
Filing date: 2008-03-24
Publication date: 2012-07-26

Description

本発明の利点は、以下の記述において一部分述べられ、かつ、一部分は記述から明らかであるか、または本発明の実行によって習得され得る。本発明の目的および利点は、添付された請求項および均等物において特に指摘された要素および組み合わせによって実現され、達成される。
例えば、本発明は以下の項目を提供する。
（項目１）
システムであって、
複数の半導体ウエハを格納する第１の真空チャンバと、機器フロントエンドモジュールインターフェースと、２つ以上のシャトルロックインターフェースとを含む、ウエハ移送ステーションを備えている、システム。
（項目２）
２つ以上のシャトルロックであって、該２つ以上のシャトルロックの各々は、上記２つ以上のシャトルロックインターフェースを使用して上記ウエハ移送ステーションに接続されたリニアウエハドライブと、垂直ドライブと、回転メカニズムと、プロセッシングチャンバインターフェースと、機器コントローラとを有する、２つ以上のシャトルロックと、
搬送モジュールコントローラであって、上記複数の半導体ウエハを移送するように各機器コントローラを制御する、搬送モジュールコントローラと
をさらに備えている、項目１に記載のシステム。
（項目３）
上記搬送モジュールコントローラは、クラスタツールコントローラからコマンドを受信する、項目１に記載のシステム。
（項目４）
上記プロセスチャンバインターフェースを使用して上記２つ以上のシャトルロックの各シャトルロックに接続されたプロセッシングチャンバをさらに備える項目２に記載のシステムであって、各シャトルロックは、上記ウエハ移送ステーションと該プロセッシングチャンバとの間に位置する、システム。
（項目５）
各プロセッシングチャンバインターフェースおよび上記２つ以上のシャトルロックインターフェースのシャトルロックインターフェースは、ゲート弁を含む、項目２に記載のシステム。
（項目６）
各シャトルロックは、真空ポンプを含む、項目４に記載のシステム。
（項目７）
上記リニアウエハドライブは、２つのエンドエフェクタを含み、該２つのエンドエフェクタの各エンドエフェクタは、独立して共通の直線方向に動く、項目２に記載のシステム。
（項目８）
上記機器コントローラは、上記リニアウエハドライブの動きであって、回転の動き、垂直の動き、および直線の水平の動きを含む、動き、ならびにスロット弁および窒素の流れの制御を制御する、項目２に記載のシステム。
（項目９）
ウエハホルダの２つ以上の層をさらに備える、項目１に記載のシステムであって、該ウエハホルダの各ウエハホルダは３つのウエハを保持する、システム。
（項目１０）
複数の空気弁をさらに備えている、項目１に記載のシステム。
（項目１１）
上記ウエハ移送ステーション内の圧力を制御するために使用される複数の窒素弁をさらに備える、項目１に記載のシステム。
（項目１２）
回転ドライブの周りに強磁性流体シールをさらに備える、項目１に記載のシステムであって、該回転ドライブは、２つ以上の層を指標を付された位置へと動かす、システム。
（項目１３）
垂直の支持柱の回りにローリングダイアフラムシールをさらに備えて、垂直軸真空シールを可能にし、かつ指標を付された位置への垂直の動きをもたらす、項目１に記載のシステム。
（項目１４）
システムであって、該システムは、
ロボットと移送チャンバインターフェースとを含む機器フロントエンドモジュールと、
該移送チャンバインターフェースを使用して該機器フロントエンドモジュールに接続される移送チャンバであって、シャトルロックインターフェースを含む、移送チャンバと、
該シャトルロックインターフェースを使用して該移送チャンバに接続されるシャトルロックであって、プロセスチャンバインターフェースとリニアウエハドライブとを含む、シャトルロックと、
プロセッシングチャンバインターフェースを使用して該シャトルロックに接続されるプロセッシングチャンバとを備え、
該リニアウエハドライブは、該移送チャンバと該プロセッシングチャンバとの間でウエハを動かす、
システム。
（項目１５）
上記シャトルロックは、垂直ドライブと、回転メカニズムと、機器コントローラとをさらに含む、項目１４に記載のシステム。
（項目１６）
上記機器コントローラは、上記リニアウエハドライブの動きであって、回転の動き、垂直の動き、および直線の水平の動きを含む、動き、ならびに真空隔離弁、複数のゲート弁、および窒素の流れの制御を制御する、項目１５に記載のシステム。
（項目１７）
装置であって、
ベースプレートを有する真空筐体と、
第１のエンドエフェクタであって、第１の半導体ウエハを該ベースプレートより上の第１の平面に保持する、第１のエンドエフェクタと、
第２のエンドエフェクタであって、該第２のエンドエフェクタは、第２の半導体ウエハを該第１の平面より上の第２の平面に保持し、該第１のエンドエフェクタおよび該第２のエンドエフェクタは、独立して共通の直線方向に動く、第２のエンドエフェクタと
を備えている、装置。
（項目１８）
上記真空筐体の第１の側面に第１のゲート弁と、該真空筐体の第２の側面に第２のゲート弁とをさらに備えている、項目１７に記載の装置。
（項目１９）
上記第２の側面は、上記第１の側面の反対側にある、項目１８に記載の装置。
（項目２０）
上記ベースプレートに接続された第１のベアリングレールアセンブリをさらに備える、項目１７に記載の装置であって、上記第１のエンドエフェクタは、該第１のベアリングレールアセンブリに接続されて、該第１のエンドエフェクタは、上記直線方向に移動することが可能となり、かつ第１のゲート弁を通して上記第１のウエハを移送することが可能となる、装置。
（項目２１）
上記ベースプレートに接続された第２のベアリングレールアセンブリをさらに備える、項目２０に記載の装置であって、上記第２のエンドエフェクタは、該第２のベアリングレールアセンブリに接続されて、該第２のエンドエフェクタは、上記直線方向に移動することが可能となり、かつ第１のゲート弁を通して上記第２のウエハを移送することが可能となる、装置。
（項目２２）
上記第１のエンドエフェクタおよび上記第２のエンドエフェクタが、ゼロ度と１８０度との間で回転することを可能にする回転ドライブをさらに備えている、項目２０に記載の装置。
（項目２３）
垂直ドライブをさらに備える、項目１７に記載の装置であって、該垂直ドライブは部材を含み、該部材は、上記真空筐体内に延在して、上記第１のエンドエフェクタおよび上記第２のエンドエフェクタを指標を付された位置へと垂直に動かす、装置。
（項目２４）
機器コントローラをさらに備える、項目１７に記載の装置であって、該機器コントローラは、上記第１のエンドエフェクタ、上記第２のエンドエフェクタ、回転ドライブ、および垂直ドライブの動きを制御し、該動きは、回転の動き、垂直の動き、および直線の水平の動きを含む、装置。
（項目２５）
上記機器コントローラは、スロット弁、窒素弁、第１のゲート弁、および第２のゲート弁をさらに制御する、項目２４に記載の装置。

Claims

テーブルプレートを有する筐体を備えているリニアドライブアセンブリであって、該筐体は、
該テーブルプレートより上にある第１の面において半導体ウエハを保持する第１のエンドエフェクタと、
該第１の面より上にある第２の面において半導体ウエハを保持する第２のエンドエフェクタと
を有しており、該第１および第２のエンドエフェクタは、共通の直線状の軸に沿って独立に動くように構成され、該第１および第２のエンドエフェクタのうちのそれぞれ１つのエンドエフェクタが、
（ａ）該共通の直線状の軸に沿って駆動されるように構成された中間ステージと、
（ｂ）該中間ステージより上に位置するエンドエフェクタステージと、
（ｃ）該中間ステージに接続された第１のプーリおよび第２のプーリであって、該第１のプーリおよび該第２のプーリは、該中間ステージが駆動されるときに該中間ステージと共に動くようにされている、第１のプーリおよび第２のプーリと、
（ｄ）該第１のプーリおよび該第２のプーリの周りに接続されたベルトであって、該ベルトに対する第１の接続が該エンドエフェクタステージに結合され、該ベルトに対する第２の接続は、該テーブルプレートに対して固定された取り付け台に結合され、該ベルトの第１の接続および第２の接続が、該第１のプーリと該第２のプーリとの間で行われる、ベルトと
によって規定され、
該共通の直線状の軸に沿った該中間ステージの動きは、該エンドエフェクタステージを該共通の直線状の軸に沿って動かし、該第１のプーリおよび該第２のプーリならびに該ベルトは、該エンドエフェクタステージに、該中間ステージの動きに対する該エンドエフェクタステージの動きを増幅させる、リニアドライブアセンブリ。
前記テーブルプレートに接続された回転ドライブをさらに備え、該回転ドライブは、前記第１のエンドエフェクタおよび前記第２のエンドエフェクタが、０度〜１８０度の間で回転することを可能にする、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
前記第１のエンドエフェクタおよび前記第２のエンドエフェクタのそれぞれをさらに備え、該第１のエンドエフェクタおよび該第２のエンドエフェクタのそれぞれは、
前記中間ステージと前記テーブルプレートとの間の第１のベアリングレールアセンブリと、
該中間ステージと前記エンドエフェクタステージとの間の第２のベアリングレールアセンブリと
を含み、
該第１のベアリングレールアセンブリおよび該第２のベアリングレールアセンブリは、前記共通の直線状の軸に沿った該中間ステージおよび該エンドエフェクタステージのそれぞれの動きを促進する、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
前記第１のプーリおよび前記第２のプーリならびに前記ベルトは、前記中間ステージの動きに対する前記エンドエフェクタステージの動きの増幅の度合いを規定するように寸法設定される、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
前記増幅の度合いは２倍であり、その結果、前記中間ステージの動きの単位に対して、２つの動きの単位が前記エンドエフェクタステージに課せられる、請求項４に記載のリニアドライブアセンブリ。
垂直ドライブをさらに備え、該垂直ドライブは、前記第１のエンドエフェクタおよび前記第２のエンドエフェクタをインデックス付けされた位置まで垂直方向に動かすように前記筐体内に拡張する部材を含む、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
機器コントローラをさらに備え、該機器コントローラは、前記第１のエンドエフェクタ、前記第２のエンドエフェクタ、回転ドライブおよび垂直ドライブの動きを制御し、該動きは、回転運動、垂直の動きおよび直線状の水平方向の動きを含む、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
テーブルプレートより上にある面で半導体ウエハを保持し、共通の直線状の軸に沿って動くように構成されたエンドエフェクタを備えるリニアドライブアセンブリであって、該エンドエフェクタは、
（ａ）該共通の直線状の軸に沿って駆動されるように構成された中間ステージと、
（ｂ）該中間ステージより上に位置するエンドエフェクタステージと、
（ｃ）該中間ステージに接続された第１のプーリおよび第２のプーリであって、該第１のプーリおよび該第２のプーリは、該中間ステージが駆動されるときに該中間ステージと共に動くようにされている、第１のプーリおよび第２のプーリと、
（ｄ）該第１のプーリおよび該第２のプーリの周りに接続されたベルトであって、該ベルトに対する第１の接続が該エンドエフェクタステージに結合され、該ベルトに対する第２の接続は、該テーブルプレートに対して固定された取り付け台に結合され、該ベルトの第１の接続および第２の接続が、該第１のプーリと該第２のプーリとの間で行われる、ベルトと
によって規定され、
該共通の直線状の軸に沿った該中間ステージの動きは、該エンドエフェクタステージを該共通の直線状の軸に沿って動かし、該第１のプーリおよび該第２のプーリならびに該ベルトは、該エンドエフェクタステージに、該中間ステージの動きに対する該エンドエフェクタステージの動きを増幅させる、リニアドライブアセンブリ。
前記テーブルプレートに接続された回転ドライブをさらに備え、該回転ドライブは、前記エンドエフェクタが、０度〜１８０度の間で回転することを可能にする、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
前記エンドエフェクタをさらに備え、該エンドエフェクタは、
前記中間ステージと前記テーブルプレートとの間の第１のベアリングレールアセンブリと、
該中間ステージと前記エンドエフェクタステージとの間の第２のベアリングレールアセンブリと
を含み、
該第１のベアリングレールアセンブリおよび該第２のベアリングレールアセンブリは、前記共通の直線状の軸に沿った該中間ステージおよび該エンドエフェクタステージのそれぞれの動きを促進する、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
前記第１のプーリおよび前記第２のプーリならびに前記ベルトは、前記中間ステージの動きに対する前記エンドエフェクタステージの動きの増幅の度合いを規定するように寸法設定される、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
前記増幅の度合いは２倍であり、その結果、前記中間ステージの動きの単位に対して、２つの動きの単位が前記エンドエフェクタステージに課せられる、請求項１１に記載のリニアドライブアセンブリ。
垂直ドライブをさらに備え、該垂直ドライブは、前記エンドエフェクタをインデックス付けされた位置まで垂直方向に動かす部材を含む、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
機器コントローラをさらに備え、該機器コントローラは、前記エンドエフェクタ、回転ドライブおよび垂直ドライブの動きを制御し、該動きは、回転運動、垂直の動きおよび直線状の水平方向の動きを含む、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
前記テーブルプレートに接続され、前記エンドエフェクタよりも垂直方向上に規定された第２のエンドエフェクタをさらに備え、該第２のエンドエフェクタは、前記共通の直線状の軸に沿って動くように構成されている、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
前記エンドエフェクタおよび前記第２のエンドエフェクタのそれぞれが、前記共通の直線状の軸に沿って互いに対向する方向に動く、請求項１５に記載のリニアドライブアセンブリ。