DE202019101792U1 - Öffnungsvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Öffnungsvorrichtung (100) zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels (10) von einem Typ, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern (12) umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger (12) einen äußeren Trägerrahmen (40) aufweist, welcher sich in einer horizontalen Rahmenebene um eine innere Zone erstreckt, welche eine innere Öffnung umfasst und einen Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats (30) innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels definiert oder damit versehen ist,- wobei die Öffnungsvorrichtung einen Bewegungsmechanismus (101) aufweist, welcher dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger (12) eines solchen Substratträgerstapels (10), der eine Anzahl von Substratträgern umfasst, welche eine vorbestimmte erste maximale Anzahl von Substratträgern nicht überschreitet, relativ in Bezug auf einander entlang einer vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, so dass die Substratträger (12) aus einem gestapelten Zustand, in welchem die Substratträger aufeinander gestapelt sind und dadurch den Substratträgerstapel bilden, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung getragen ist, in einen ungestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger (12) ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung versetzt positioniert sind, mit derartigen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern von einer horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat (30) von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat (30) auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugänglich ist,- wobei der Bewegungsmechanismus (101) ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger (12) des Substratträgerstapels (10) zu bewegen, welche sich momentan in dem ungestapelten Zustand befinden, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation, so dass die Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel bilden,- wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger (12) von dem jeweiligen oberen Substratträger (12) von jedem jeweiligen Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels in der Öffnungsoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und- wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger (12) dem jeweiligen oberen Substratträger (12) jedes jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern der vertikal versetzten Substratträger in der Schließoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach oben, vertikal anzunähern.

Description

  • FELD DER ERFINDUNG
  • Diese Offenbarung betrifft im Allgemeinen die Handhabung, Lagerung, Behandlung und Verarbeitung von Substraten in einer Halbleiter-Produktion. Insbesondere betrifft diese Offenbarung die Handhabung, Lagerung, Behandlung und Verarbeitung von Substraten in der Form von unverarbeiteten oder vorverarbeiteten oder verarbeiteten Halbleiter-Wafern. Jedoch kann ein zu behandelndes oder zu lagerndes Substrat auch eine Maske oder Fotomaske (oder ein Retikel) oder ähnliches sein, welche/s Muster/Strukturinformationen enthält, welche zum Bilden von Strukturen an Halbleiter-Wafern in der Herstellung von Halbleitern oder Halbleiterschaltungen benötigt werden.
  • Diese Offenbarung betrifft ferner Substratträger, welche dazu dienen, ein Substrat in einem Substratsitz zu halten, und Substratträgerstapel, umfassend mehrere derartiger Substratträger, und eine Öffnungsvorrichtung zum Zugreifen auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen Substratträgers eines Substratträgerstapels, insbesondere für wenigstens eines aus einem Entladen eines Substrats von einem derartigen Sitz und einem Laden eines Substrats in/auf einen derartigen Sitz.
  • HINTERGRUND
  • Seit der Einführung des 300-mm-Wafer-Halbleitermaterials, sind einheitliche Halterungen mit frontaler Öffnung, sog. Front Opening Unified Pods, oder „FOUPs“, das Standard-Lagerungs- und Transport-Verfahren für Substrate und ähnliche Materialen geworden. FOUPs wurden verwendet, um Silikonwafer zur Verwendung in einer Halbleiterherstellung zu isolieren und zu halten. Halbleiter, welche in dem Design von digitalen Schaltungen, Mikroprozessoren und Transistoren fundamental sind, erfordern, dass diese Wafer in einem so einwandfreien Zustand verbleiben, wie es Lagerungseinheiten erlauben. Demgemäß erlauben FOUPs Wafern, zwischen anderen Maschinen, welche in der Verarbeitung und Vermessung von Wafern verwendet werden, transferiert zu werden.
  • Frühere FOUPs dienten im Allgemeinen dazu, Wafer von der umgebenden Reinraumumgebung zu bewahren. In herkömmlichen Halbleiter-Projekten erlauben FOUPs Wafern, in die Vorrichtung über einen Beladezugang und eine vordere Öffnungstür einzutreten. Oft können Roboter-Handhabungsmechanismen die Wafer in den FOUP platzieren, wo sie durch Finnen an Ort und Stelle festgeklemmt werden und für eine spätere Verwendung gehalten werden. Jedoch sind FOUPs heute durch Verfahren und Systemdesigns behindert, welche ihren Inhalt kontaminieren können, Wafer verkratzen können und ein Beladen und ein Entladen von Substratwaferinhalten, als ein Ergebnis von facettenreicher Konstruktion, verzögern können. Daher gab es ein Bedürfnis für eine verbesserte Lösung, welche effizienter und genauer die gewünschten Aufgaben von FOUPs erfüllt.
  • Neue Arten von Vorrichtungen zum Lagern, Handhaben, Behandeln und Transportieren von Substraten in der Form von Halbleiter-Wafern wurden durch die TEC-SEM AG, Trägerwilen (CH) vorgeschlagen.
  • In der veröffentlichten Publikation WO 2014/107818 A2 , welche von der TEC-SEM AG stammt und am 17. Juli 2014 veröffentlicht wurde, wird ein Substratträger und ein Substratträgerstapel vorgeschlagen, welcher aus einer Mehrzahl von Substratträgern gebildet ist. Der vorgeschlagene Substratträgerstapel umfasst eine Mehrzahl von Substratträgern, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger einen äußeren Trägerrahmen aufweist, welcher sich in einer horizontalen Rahmenebene um eine innere Zone umfassend eine innere Öffnung herum erstreckt, und mit einem Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels bereitgestellt ist, wobei der innere Aufnahmeraum oder Abschnitte davon durch die inneren Öffnungen der Substratträger des Substratträgerstapels definiert ist/sind. Diese Substratträger weisen eine im Wesentlichen oder grob quadratische oder rechteckige Form auf. Die Offenbarung der WO 2014/107818 A2 ist hierin durch Bezug in ihrer Gesamtheit aufgenommen.
  • Die veröffentlichte Publikation US 2017/0372930 A1 , welche von der TEC-SEM AG stammt und am 28. Dezember 2017 veröffentlicht wurde, offenbart Substratträger dieser Art und Substratträgerstapel dieser Art, welche zusätzliche charakteristische Merkmale aufweisen, welche zu Vorteilen führen, insbesondere zum Ermöglichen von effektiven Spülbehandlungen von Substraten, welche innerhalb des Substratträgerstapels durch einen jeweiligen Sitz eines jeweiligen Substratträgers gehalten werden. Die Offenbarung der US 2017/0372930 A1 ist hierin durch Bezug in ihrer Gesamtheit aufgenommen.
  • Ältere Typen von Substratträgern weisen eine im Wesentlichen oder grob kreisförmige Form auf und Substratträgerstapel, welche derartige Substratträger umfassen, und zugeordnete Lager- und Öffnungsvorrichtungen sind sind aus der WO 2005/006407 A1 und der WO 2007/006166 A2 , welche auch von der TEC-SEM AG stammen, bekannt. Die Offenbarung der WO 2005/006407 A1 oder der entsprechenden Veröffentlichung US 2006/0151404 A1 und der WO 2007/006166 A2 oder der entsprechenden Veröffentlichung US 2010/0179681 A1 sind hierin durch Bezug in ihrer Gesamtheit aufgenommen.
  • Gemäß diesen Patentveröffentlichungen, welche von der TEC-SEM AG stammen, wird auf den Sitz eines jeweiligen Substratträgers des Substratträgerstapels für wenigstens eines aus einem Laden eines Substrats auf den Sitz und einem Entladen eines Substrats von dem Sitz mittels einer Öffnungsvorrichtung zugegriffen, welche einen Bewegungsmechanismus aufweist, welcher auf ausgewählte Substratträger des Substratträgerstapels einwirkt. Der Bewegungsmechanismus ist dazu eingerichtet, einen Belade- und Entladespalt zwischen zwei benachbarten Substratträgern derart zu öffnen, dass ein jeweiliges Substrat auf den Substratsitz des unteren der beiden benachbarten Substratträger geladen werden kann oder dass ein jeweiliges Substrat von diesem Substratsitz entladen werden kann. Nur ein solcher Belade- und Entladespalt zwischen zwei benachbarten Substratträgern kann zur gleichen Zeit innerhalb des Substratträgerstapels geöffnet werden. Durch Öffnen eines derartigen Belade- und Entladespalts in dem Substratträgerstapel wird typischerweise ein unterer Teil-Substratträgerstapel und ein oberer Teil-Substratträgerstapel entstehen. Zum Zugreifen des Sitzes des obersten Substratträgers des Substratträgerstapels wird üblicherweise ein derartiger Belade- und Entladespalt zwischen dem obersten Substratträger und einer Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels geöffnet werden, falls solch eine Abdeckungseinheit bereitgestellt ist. Zum Zugreifen des Sitzes auf den untersten Substratträgers des Substratträgerstapels wird ein derartiger Belade- und Entladespalt zwischen dem untersten Substratträger und dem vertikal als nächstes benachbarten Substratträger des Substratträgerstapels geöffnet werden. Der unterste Substratträger wird üblicherweise auf einer Basiseinheit des Substratträgerstapels ruhen, falls solch eine Basiseinheit bereitgestellt ist.
  • Da nur ein solcher Belade- und Entladespalt in dem Substratträgerstapel zur gleichen Zeit geöffnet werden kann, ist der Prozess eines Entladens und eines Ladens von Substraten auf und von Substratträgern eher langsam. Dies ist für die Verwendung von solchen Substratträgern und Substratträgerstapeln in der Halbleiter-Produktion, für die Handhabung, Lagerung, insbesondere die Zwischenlagerung, die Behandlung und die Verarbeitung von unverarbeiteten oder vorverarbeiteten oder verarbeiteten Halbleiter-Wafern nachteilig, da im Allgemeinen ein hoher Durchsatz von solchen Substraten aus Effizienzgründen erforderlich ist. Solch eine Öffnungsvorrichtung, wie beschrieben, könnte ein Flaschenhals sein, welcher den Durchsatz von solchen Substraten in der Halbleiter-Produktion begrenzt.
  • Jedoch wurde durch die TEC-SEM AG eine neue und wesentlich verbesserte Öffnungsvorrichtung entwickelt, welche diese Begrenzung und diesen Nachteil der früheren Art von Öffnungsvorrichtung behebt. Die neue Öffnungsvorrichtung arbeitet gemäß einem anderen Konzept. Die neue Öffnungsvorrichtung weist einen Bewegungsmechanismus auf, welcher dazu eingerichtet ist, die Substratträger des Substratträgerstapels, welche eine definierte Anzahl von Substratträgern aufweisen, aus einem gestapelten Zustand, in welchem kein Belade- und Entladespalt zwischen dem oberen Substratträger und dem unteren Substratträger von jedem Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels vorliegt, in einen ungestapelten Zustand zu bringen, in welchem ein jeweiliger Belade- und Entladespalt zwischen dem oberen Substratträger und dem unteren Substratträger jedes Paares von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels geöffnet ist. In dem ungestapelten Zustand kann auf alle Sitze der Substratträger zum Beladen und Entladen zugegriffen werden, wodurch ein höherer Durchsatz von Substraten erlaubt wird. Der Bewegungsmechanismus ist ferner dazu eingerichtet, die Substratträger von dem ungestapelten Zustand zurück in den gestapelten Zustand zu bringen.
  • Die Technologie, welche der US 2017/0372930 A1 zu Grunde liegt, die Technologie, welche der neuen Öffnungsvorrichtung zu Grunde liegt und die neue Öffnungsvorrichtung umfasst, und weitere verwandte Technologie, welche durch die TEC-SEM AG entwickelt wurden, wurde durch die Murata Machinery, Ltd., Kyoto (JP) zusammen mit dem zugehörigen geistigen Eigentum der TEC-SEM AG erworben, umfassend die koreanische Patentanmeldung 10 2017 0029 119 , welche am 5. Januar 2018 als KR 10 2018 0002 001 A veröffentlicht wurde, die koreanische Patentanmeldung 10 2017 0029 130 , welche am 5. Januar 2018 als 10 2018 0002 003 A veröffentlicht wurde, die koreanische Patentanmeldung 10 2017 0029 136 , welche am 5. Januar 2018 als KR 10 2018 0002 004 A veröffentlicht wurde, und die koreanische Patentanmeldung 10 2017 0029 137 , welche am 5. Januar 2018 als KR 10 2018 0002 005 A veröffentlicht wurde, welche zu der gleichen Patentfamilie gehören, und alle anderen Patentpublikationen dieser Patentfamilie. Demgemäß ist die Murata Machinery, Ltd. der rechtliche Nachfolger der TEC-SEM AG und der Erfinder der TEC-SEM AG für diese Patentanmeldungen und die darin offenbarten Erfindungen.
  • Hierin werden das erfindungsgemäße Konzept und die konstruktiven Details von bevorzugten Ausführungsformen der neuen Öffnungsvorrichtung und ein darauf bezogenes Verfahren offenbart, beschrieben und beansprucht.
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine verbesserte Öffnungsvorrichtung zum Zugreifen auf einen oder mehrere Substratsitze eines jeweiligen Substratträgers eines Substratträgerstapels bereitzustellen, was einen effizienteren Zugriff auf die Substratsitze und damit einen höheren Durchsatz erlaubt als es gemäß den Ansätzen des Standes der Technik möglich war.
  • ÜBERSICHT
  • Zum Erreichen dieser Aufgabe, schlägt die vorliegende Erfindung eine Öffnungsvorrichtung zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels vor, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern der Mehrzahl von Substratträgern ein unterer Substratträger einen oberen Substratträger trägt, wobei jeder der Mehrzahl von Substratträgern mit einem Substratsitz versehen ist, um ein Substrat aufzunehmen und zu tragen. Die Öffnungsvorrichtung umfasst ein Gehäuse; und einen Bewegungsmechanismus, welcher einen Schlitten, welcher den Substratträgerstapel trägt und relativ zu dem Gehäuse in der vertikalen Richtung bewegbar ist, Eingriffsformationen, welche durch das Gehäuse gehaltert sind, und einen Aktuator umfasst, welcher mit den Eingriffsformationen interagiert. Der Bewegungsmechanismus bewegt die Substratträger in Bezug aufeinander in der vertikalen Richtung in einer Öffnungsoperation, dass die Substratträger von einem gestapelten Zustand, in welchem die Substratträger aufeinander gestapelt sind und den Substratträgerstapel definieren, welcher in der Öffnungsvorrichtung getragen ist, in einen ungestapelten Zustand bewegt werden, in welchem die Substratträger in geöffneten Positionen mit vertikalen Abständen zwischen den vertikal benachbarten Substratträgern ungestapelt sind, was den Substratsitzen der Substratträger ermöglicht, von einer horizontalen Richtung aus zugreifbar zu sein, um ein Substrat von den Substratsitzen zu entladen und/oder ein Substrat auf die Substratsitze zu laden. Wenn die Substratträger in dem ungestapelten Zustand sind, bewegt der Bewegungsmechanismus die Substratträger in Bezug aufeinander in der vertikalen Richtung in einer Schließoperation, so dass die Substratträger aus dem ungestapelten Zustand in den gestapelten Zustand bewegt werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel definieren. In der Öffnungsoperation bewegt der Bewegungsmechanismus den unteren Substratträger nach unten, um den unteren Substratträger von dem oberen Substratträger des jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern vertikal zu distanzieren; und in der Schließoperation bewegt der Bewegungsmechanismus den unteren Substratträger nach oben, um den unteren Substratträger in Richtung des oberen Substratträgers des jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern zu bewegen.
  • Es wird weiter vorgeschlagen, dass der Bewegungsmechanismus die Substratträger einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels in Bezug aufeinander in der vertikalen Richtung derart bewegt, dass die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe von dem gestapelten Zustand in den ungestapelten Zustand bewegt werden, in welchem die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in geöffneten Positionen mit vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern ungestapelt sind, was es den Substratsitzen der ausgewählten Substratträger-Untergruppe ermöglicht, von der horizontalen Richtung aus zugreifbar zu sein, um ein Substrat von den Substratsitzen zu entladen und/oder ein Substrat auf die Substratsitze zu laden. Wenn die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in dem ungestapelten Zustand sind, bewegt der Bewegungsmechanismus die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in Bezug aufeinander in der vertikalen Richtung in einer Schließoperation derart, dass die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe aus dem ungestapelten Zustand in den gestapelten Zustand bewegt werden, in welchem die Substratträger aufeinander gestapelt sind, um den Substratträgerstapel zusammen mit einem oder mehreren Substratträgern zu definieren, welche nicht zu der ausgewählten Substratträger-Untergruppe gehören.
  • Vorzugsweise ist der Schlitten zwischen einer oberen Betriebsposition und einer unteren Betriebsposition bewegbar. Diesbezüglich ist vorgesehen, dass sich der Schlitten nach unten in Richtung der unteren Betriebsposition bewegt, um die Öffnungsoperation auszuüben, und sich nach oben in Richtung der oberen Betriebsposition bewegt, um die Schließoperation auszuüben; und dass die obere Betriebsposition eine Position des Schlittens ist, in welcher der Substratträgerstapel in der Lage ist, auf den Schlitten geladen zu werden und/oder von dem Schlitten entladen zu werden.
  • Es wird weiter vorgeschlagen, dass die Eingriffsformationen durch das Gehäuse an festen vertikalen Positionen gehalten sind und mit Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers eingreifen; und dass die Eingriffsformationen in einen Fang- und Haltezustand, in welchem die Eingriffsformationen mit den Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers eingreifen, und in einen Freigabe- und Durchlasszustand bewegbar sind, in welchem die Eingriffsformationen nicht mit den Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers eingegriffen sind.
  • Weiter wird vorgeschlagen, dass in der Öffnungsoperation der Bewegungsmechanismus die Eingriffsformationen selektiv betätigt, um sich in den Fang- und Haltezustand in einer mit der Bewegung des Schlitten nach unten koordinierten Weise derart zu bewegen, dass ein oberster Substratträger des Substratträgerstapels, welcher noch auf dem Schlitten geladen ist, nachfolgend durch die Eingriffsformationen gefangen und gehalten wird, welche mit den Gegen-Eingriffsformationen des obersten Substratträgers eingreifen, so dass der oberste Substratträger innerhalb der Öffnungsvorrichtung in einer vertikal geöffneten Position gehalten wird.
  • Ferner wird vorgeschlagen, dass in der Schließoperation der Bewegungsmechanismus die Eingriffsformationen selektiv betätigt, um sich in den Freigabe- und Durchlasszustand in einer mit der Bewegung des Schlittens nach oben koordinierten Weise derart zu bewegen, dass ein unterster Substratträger, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung durch die Eingriffsformationen gehalten wird, nachfolgend durch die Eingriffsformationen freigegeben wird, welche von den Gegen-Eingriffsformationen des untersten Substratträgers außer Eingriff treten, so dass der unterste Substratträger auf den Schlitten platziert wird.
  • Die Eingriffsformationen können in dem Fang- und Haltezustand in einer Fang- und Halteposition positioniert sein, in welcher die Eingriffsformationen vertikal mit den Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers überlappen; und die Eingriffsformationen können in dem Freigabe- und Durchlasszustand in einer Freigabe- und Durchlassposition positioniert sein, in welcher die Eingriffsformationen vertikal nicht mit den Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers überlappen.
  • Es wird vorgeschlagen, dass die Eingriffsformationen zwischen der Fang- und Halteposition und der Freigabe- und Durchlassposition verschwenkt werden; und dass die Eingriffsformationen jeweils einen Hülsenabschnitt, welcher um eine vertikale Schwenkachse schwenkt, und einen Eingriffsabschnitt umfassen, welcher radial von dem Hülsenabschnitt vorsteht und mit der Gegen-Eingriffsformation in Eingriff tritt.
  • Vorteilhaft kann die Öffnungsvorrichtung eine Sensoranordnung aufweisen, wobei die Sensoranordnung einen Sensor umfasst, welcher erfasst, ob alle der Eingriffsformationen in dem Fang- und Haltezustand sind, und/oder ob alle der Eingriffsformationen in dem Freigabe- und Durchlasszustand sind.
  • Vorteilhaft kann man vorsehen, dass der Aktuator eine Kraft auf die Eingriffsformationen anwendet, wobei die Kraft wenigstens eines umfasst aus: einer Betätigungskraft, welche die Eingriffsformation aus einer Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, in eine Fang- und Halteposition bewegt, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht; eine Betätigungskraft, welche die Eingriffsformation von der Fang- und Halteposition in die Freigabe- und Durchlassposition bewegt; eine Haltekraft, welche die Eingriffsformation in der Freigabe- und Durchlassposition hält; und eine Haltekraft, welche die Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition hält.
  • Zweckmäßig kann der Aktuator eine Mehrzahl von individuell und selektiv betreibbaren Aktuatoren umfasst, welche die Kraft auf die Eingriffsformationen anwenden.
  • Der Aktuator kann einen Betätigungselementabschnitt umfassen, welcher sich longitudinal zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position in der horizontalen Richtung bewegt. Diesbezüglich kann weiter vorgesehen sein, dass der Betätigungselementabschnitt die Kraft auf die Eingriffsformation anwendet, wenn der Betätigungselementabschnitt eine Betätigungsbewegung ausführt, umfassend wenigstens eines aus einer Bewegung in der vertikalen Richtung und einer Bewegung in Richtung eines aus der ersten Position und der zweiten Position, wobei sich der Betätigungselementabschnitt in der vertikalen Richtung bewegt, wenn sich der Aktuator in der vertikalen Richtung bewegt.
  • Die Öffnungsvorrichtung kann ferner eine Sensoranordnung umfassen. Hierzu wird weiter vorgeschlagen, dass die Sensoranordnung einen Sensor umfasst, welcher erfasst, ob die Öffnungsvorrichtung in einen oder mehrere einer Mehrzahl von Zuständen übergeht, umfassend: einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem kein Substratträgerstapel an dem Schlitten geladen ist und der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem der Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist und der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem der Schlitten in der unteren Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem der Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist und den gestapelten Zustand annimmt, und einen Zustand, in welchem die Substratträger des Substratträgerstapels ungestapelt sind und innerhalb der Öffnungsvorrichtung in den vertikal geöffneten Position gehalten sind.
  • Der Bewegungsmechanismus kann eine vertikale Antriebseinheit umfassen, umfassend einen Riemenantrieb, welcher mit dem Schlitten gekoppelt ist und selektiv betreibbar ist, um den Schlitten nach unten zu bewegen, um die Öffnungsoperation auszuüben, und den Schlitten nach oben zu bewegen, um die Schließoperation auszuüben.
  • Ferner wird vorgeschlagen, dass das Gehäuse einen ersten Belade- und Entladezugang an einer ersten Seite des Gehäuses umfasst, wobei der erste Belade- und Entladezugang einen Zugriff auf die Substratsitze der Substratträger in dem ungestapelten Zustand von einer ersten horizontalen Richtung aus ermöglicht, um ein Substrat von den Substratsitzen zu entladen, und/oder um ein Substrat auf die Substratsitze zu laden; und das Gehäuse einen zweiten Belade- und Entladezugang an der ersten Seite des Gehäuses oder an einer zweiten Seite des Gehäuses umfasst, welche der ersten Seite des Gehäuses entgegengesetzt ist, wobei der zweite Belade- und Entladezugang einen Zugriff auf den Schlitten in der oberen Betriebsposition von der ersten horizontalen Richtung oder einer zweiten horizontalen Richtung aus ermöglicht, welche der ersten horizontalen Richtung entgegengesetzt ist, um einen Substratträgerstapel von dem Schlitten zu entladen, und/oder um einen Substratträgerstapel auf den Schlitten zu laden.
  • Es wird in diesem Zusammenhang daran gedacht, dass die erste Seite des Gehäuses und die zweite Seite des Gehäuses einer ersten Seite des Schlittens bzw. einer zweiten Seite des Schlittens entsprechen; und dass die Eingriffsformationen einen ersten Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen an einer dritten Seite des Schlittens und einen zweiten Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen an einer vierten Seite des Schlittens umfassen.
  • Zweckmäßig kann die Öffnungsvorrichtung ferner umfassend einen Haltehaken umfassen; wobei der zweite Belade- und Entladezugang mit dem Haltehaken versehen ist, welcher zu einer Halteposition bewegbar ist, in welcher der Haltehaken einen Substratträgerstapel innerhalb des Gehäuses in einem vertikalen Abstand über dem Schlitten hält; und der Haltehaken zu einer Freigabeposition, in einer Belade-Operation, bewegbar ist, in welcher der Haltehaken den Substratträgerstapel freigibt, um den Substratträgerstapel auf den Schlitten zu laden. Es kann vorteilhaft ein Sensor vorgesehen sein, welcher erfasst, ob der Substratträgerstapel durch den Haltehaken gehalten wird.
  • Betreffend den angesprochenen Aktuator wird daran gedacht, dass der Aktuator mit dem Schlitten verbunden ist, um sich mit dem Schlitten in der vertikalen Richtung zu bewegen.
  • Ferner stellt die Erfindung eine Öffnungsvorrichtung zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels bereit, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welcher in einer vertikalen Richtung aufeinander gestapelt angeordnet sind, und Substratsitze zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels aufweisen, gekennzeichnet durch einen Bewegungsmechanismus, welcher dazu eingerichtet und betreibbar ist, alle Substratträger oder eine definierte Untergruppe der Substratträger relativ in Bezug aufeinander entlang einer vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, um einen ungestapelten Zustand anzunehmen und an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung positioniert zu sein, mit solchen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern oder von der definierten Untergruppe von Substratträgern für wenigstens eines aus einem Beladen und einem Entladen eines jeweiligen Substrats zugänglich sind, und welcher ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger, welche momentan in dem ungestapelten Zustand sind, relativ in Bezug aufeinander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation zu bewegen, um einen gestapelten Zustand wieder anzunehmen, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, benachbarte Substratträger durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers in der Öffnungsoperation nach unten vertikal zu distanzieren, und benachbarte Substratträger durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers in der Schließoperation nach oben vertikal anzunähern.
  • Überdies stellt die Erfindung eine Reinraumeinrichtung für wenigstens eines aus einem Lagern, Handhaben, Zuführen und Verarbeiten eines Substrats bereit wobei die Reinraumeinrichtung umfasst: eine Öffnungsvorrichtung nach der Erfindung wie vorangehend bereitgestellt; einen ersten Roboter, welcher den Substratträgerstapel in die Öffnungsvorrichtung lädt und den Substratträgerstapel aus der Öffnungsvorrichtung entlädt; und einen zweiten Roboter, welcher auf den Substratsitz des Substratträgers zugreift, welcher in dem Substratträgerstapel umfasst ist.
  • Vorteile der vorgehend angesprochenen Erfindungsgegenstände und Weiterbildungsvorschläge und weitere Weiterbildungsmöglichkeiten derselben ergeben sich aus den im Folgenden definierten und erläuterten weiteren Erfindungsgegenständen und den sich auf diese beziehenden Weiterbi ldungsvorsch lägen.
  • Zum Erreichen der genannten Aufgabe, schlägt die vorliegende Erfindung ferner eine Öffnungsvorrichtung zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels eines Typs vor, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger einen äußeren Trägerrahmen aufweist, welcher sich in einer horizontalen Rahmenebene um eine innere Zone erstreckt, welche eine innere Öffnung umfasst und einen Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels definiert oder damit versehen ist. Die vorgeschlagene Öffnungsvorrichtung weist einen Bewegungsmechanismus auf, welcher dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger eines solchen Substratträgerstapels zu bewegen, der eine Anzahl von Substratträgern umfasst, welche eine vorbestimmte erste maximale Anzahl von Substratträgern nicht überschreitet, relativ in Bezug auf einander entlang einer vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation, so dass die Substratträger aus einem gestapelten Zustand, in welchem die Substratträger aufeinander gestapelt sind und dadurch den Substratträgerstapel bilden, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung getragen ist, in einen ungestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung versetzt positioniert sind, mit derartigen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern von einer horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugänglich sind.
  • Der Bewegungsmechanismus ist ferner dazu eingerichtet und betreibbar, die Substratträger des Substratträgerstapels zu bewegen, welche sich momentan in dem ungestapelten Zustand befinden, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation, so dass die Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel bilden.
  • Der Bewegungsmechanismus ist ferner dazu eingerichtet und betreibbar, den jeweiligen unteren Substratträger von dem jeweiligen oberen Substratträger von jedem jeweiligen Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels in der Öffnungsoperation vertikal zu distanzieren, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach unten.
  • Der Bewegungsmechanismus ist ferner dazu eingerichtet und betreibbar, den jeweiligen unteren Substratträger dem jeweiligen oberen Substratträger jedes jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern der vertikal versetzten Substratträger in der Schließoperation vertikal anzunähern, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach oben.
  • Demgemäß ist in dem geöffneten oder ungestapelten Zustand ein jeweiliger Belade- und Entladespalt zwischen allen vertikalen als Nächstes benachbarten Substratträgern geöffnet, wodurch ein sequenzieller oder sogar gleichzeitiger Zugang zu mehreren ausgewählten Substratsitzen zum Beladen und Entladen erlaubt wird, umfassend ein Beladen und ein Entladen für Sortieraufgaben. Jegliches notwendiges Entladen und Beladen, welches an bestimmten Verarbeitungsstufen in Bezug auf die Substratträger in dem ungestapelten Zustand notwendig ist, kann durchgeführt werden ohne weitere relative Bewegungen zwischen den Substratträgern, so dass ein höherer Durchsatz erreicht werden kann.
  • Vorzugsweise können die vertikalen Abstände zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand gleichbeabstandet sein. Dies erlaubt, viele gleiche Teile für die Konstruktion der Öffnungsvorrichtung zu verwenden und macht die Regelung/Steuerung einer Roboteranordnung für einen Zugriff auf Sitze zum Beladen und Entladen einfacher.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet, einen Substratträgerstapel aufzunehmen und zu öffnen, welcher Substratträger mit einem äußeren Trägerrahmen einer im Allgemeinen quadratischen oder grob quadratischen Form oder einer im Allgemeinen rechteckigen oder grob rechteckigen Form umfasst. Insbesondere können Substratträger und Substratträgerstapel, wie aus US 2017/0372930 A1 durch die Öffnungsvorrichtung gemäß der Erfindung aufgenommen und behandelt werden. Anstelle des Ausdrucks „Öffnungsvorrichtung“ kann auch kurz der Ausdruck „Öffner“ verwendet werden.
  • Die Öffnungsvorrichtung kann dazu eingerichtet sein, einen Substratträgerstapel eines Typs aufzunehmen und zu öffnen, welcher eine Abdeckungseinheit umfasst, welche auf die Mehrzahl von Substratträgern derart gestapelt ist, dass der oberste Substratträger der Substratträger die Abdeckungseinheit trägt, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar sein kann, den obersten Substratträger des Substratträgerstapels relativ in Bezug auf die Abdeckungseinheit entlang der vertikalen Achse in der Öffnungsoperation zum Erreichen des ungestapelten Zustands zu bewegen, in welchem die Abdeckungseinheit und die Substratträger ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung versetzt positioniert sind, mit einem derartigen vertikalen Abstand zwischen der Abdeckungseinheit und dem obersten Substratträger in dem ungestapelten Zustand, dass der Substratsitz des obersten Substratträgers von der horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen eines plattenartigen Substrats von dem Substratsitz des obersten Substratträgers und einem Beladen eines plattenartigen Substrats auf den Substratsitz des obersten Substratträgers zugänglich ist. Ferner kann der Bewegungsmechanismus weiter dazu eingerichtet und betreibbar sein, die Abdeckungseinheit und die Substratträger des Substratträgerstapels, welcher momentan in dem ungestapelten Zustand ist, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in der Schließoperation derart zu bewegen, dass die Abdeckungseinheit und die Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel bilden, welcher die Abdeckungseinheit auf dem obersten Substratträger gestapelt aufweist. Der Bewegungsmechanismus kann ferner dazu eingerichtet und betreibbar sein, den obersten Substratträger des Substratträgerstapels von der Abdeckungseinheit in der Öffnungsoperation, durch Bewegen des obersten Substratträgers vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren. Der Bewegungsmechanismus kann ferner dazu eingerichtet und betreibbar sein, den obersten Substratträger der Abdeckungseinheit, welche ungestapelt ist, in der Schließoperation, durch Bewegen des obersten Substratträgers vertikal nach oben, vertikal anzunähern.
  • Die Öffnungsvorrichtung kann ferner dazu eingerichtet sein, einen Substratträgerstapel eines Typs aufzunehmen und zu öffnen, welcher eine Basiseinheit umfasst, an welcher die Mehrzahl von Substratträgern derart gestapelt ist, dass die Basiseinheit den untersten Substratträger der Substratträger trägt.
  • Es sei erwähnt, dass ein Substratträgerstapel, welcher durch eine Öffnungsvorrichtung gemäß der Erfindung aufzunehmen und zu behandeln ist, üblicherweise beides umfasst, nämlich eine Basiseinheit als auch eine Abdeckungseinheit. Solch ein Substratträgerstapel kann vorzugsweise in dem geschlossenen oder gestapelten Zustand für Spül- oder Reinigungsbehandlungen von Substraten in der Form von vorverarbeiteten Halbleiter-Wafern verwendet werden, welche innerhalb der Sitze des Substratträgerstapels gehalten werden. Zum Minimieren der Menge von benötigten Spülgases sollte diese Reinigung innerhalb des Innenaufnahmeraums des Substratträgerstapels durchgeführt werden, welcher von der Umgebung mittels Dichtungseingriffen zwischen als Nächstes benachbarten Substratträgern und zwischen dem obersten Substratträger und der Abdeckungseinheit und zwischen dem untersten Substratträger und der Basiseinheit abgedichtet ist. Jedoch sei es nicht ausgeschlossen, dass es Anwendungen gibt, wo keine Basiseinheit und keine Abdeckungseinheit benötigt werden. Tatsächlich könnte sogar ein Spülen oder Reinigen ohne eine Basiseinheit und ohne eine Abdeckungseinheit in einer Spülkammer einer geeigneten Spülvorrichtung erfolgen.
  • Die Öffnungsvorrichtung kann sogar dazu eingerichtet sein, einen derartigen Substratträgerstapel aufzunehmen und zu öffnen, welcher eine Anzahl von Substratträgern umfasst, welche die vordefinierte erste maximale Anzahl von Substratträgern überschreitet, aber nicht eine vordefinierte zweite maximale Anzahl von Substratträgern überschreitet. Zu diesem Zweck kann der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar sein, die Substratträger einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels relativ zu einander entlang der vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, um die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe aus dem gestapelten Zustand, in welchem alle Substratträger des Substratträgerstapels aufeinander gestapelt sind und dadurch den Substratträgerstapel bilden, in einen ungestapelten Zustand zu bringen, in welchem die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen versetzt positioniert sind, mit derartigen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern der ausgewählten Substratträger-Untergruppe von einer horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen wenigstens eines plattenartigen Substrats auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugänglich sind. Der Bewegungsmechanismus kann ferner dazu eingerichtet und betreibbar sein, die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe, welche momentan in dem ungestapelten Zustand ist, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation derart zu bewegen, dass diese Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem diese Substratträger aufeinander gestapelt sind, wobei sie zusammen mit einem oder mehreren Substratträgern, welche nicht zu der ausgewählten Substratträger-Untergruppe gehören, den Substratträgerstapel bilden.
  • Die Öffnungsvorrichtung gemäß diesem Vorschlag der Erfindung erlaubt es, Substratträgerstapel in Bezug auf das Öffnen und Schließen aufzunehmen und zu behandeln, welche mehr Substratträger aufeinander gestapelt aufweisen, als Einrichtungen zum Halten eines jeweiligen Substratträgers an vertikalen Abständen von dem als Nächstes benachbarten oberen und als Nächstes benachbarten unteren Substratträger oder an vertikalen Abständen von der Abdeckungseinheit und dem als Nächstes benachbarten unteren Substratträger vorhanden sind. Die vordefinierte erste maximale Anzahl von Substratträgern kann diese Einrichtungen widerspiegeln, zum Beispiel eine Anzahl von vertikal gestuften Trägern oder Sitzen von Halteelementen, welche als Eingriffsformationen bezeichnet werden können, welche mit einem jeweiligen Substratträger zum Halten desselben an einer jeweiligen vertikalen Position innerhalb der Öffnungsvorrichtung eingreifbar sind. Die vordefinierte zweite maximale Anzahl von Substratträgern kann widerspiegeln, wie viele Substratträger in dem Substratträgerstapel umfasst sein können, um geeignet zu sein, in der Öffnungsvorrichtung aufgenommen zu werden, und in jeweiligen Untergruppen mit einem jeweiligen Öffnen und Schließen durch die Öffnungsvorrichtung behandelt zu werden. Gemäß diesem Ansatz werden Belade- und Entladespalte in dem geöffneten Zustand nicht zwischen allen Substratträgern des Substratträgerstapels geöffnet werden, so dass der Durchsatz von Substraten geringer sein wird, aber der Vorteil einer höheren Lagerkapazität für ein Lagern von Substraten in dem Substratträgerstapel wird erreicht.
  • Vorzugsweise ist der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet und betreibbar, den jeweiligen unteren Substratträger von dem jeweiligen oberen Substratträger jedes jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in der Öffnungsoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und wobei der Bewegungsmechanismus ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger dem jeweiligen oberen Substratträger jedes jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern der vertikal versetzten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in der Schließoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach oben, vertikal anzunähern.
  • Ferner kann der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet und betreibbar sein, den obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe von einem vertikal benachbarten Substratträger, welcher nicht zu der ausgewählten Untergruppe gehört und auf den obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in dem gestapelten Zustand gestapelt ist, oder von der Abdeckungseinheit, durch Bewegen des obersten Substratträgers der ausgewählten Substratträger-Untergruppe vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und wobei der Bewegungsmechanismus ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, den obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe dem vertikal benachbarten Substratträger, welcher nicht zu der ausgewählten Untergruppe gehört, oder der Abdeckungseinheit in der Schließoperation, durch Bewegen des obersten Substratträgers der ausgewählten Substratträger-Untergruppe vertikal nach oben, vertikal anzunähern.
  • Vorzugsweise ist der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet und betreibbar, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe auszuführen, welche eine obere Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels ist und den obersten Substratträger des Substratträgerstapels umfasst. Zu diesem Zweck kann der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet sein, den obersten Substratträger einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe vertikal nach unten zu bewegen, um den erwähnten Belade- und Entladespalt zwischen diesem Substratträger und der Abdeckungseinheit zu öffnen, falls eine Abdeckungseinheit bereitgestellt ist. Entsprechend kann der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet sein, den obersten Substratträger dieser ausgewählten Substratträger-Untergruppe an die Abdeckungseinheit vertikal anzunähern, um diesen Belade- und Entladespalt wieder zu schließen.
  • Vorzugsweise ist der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet und betreibbar, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe auszuführen, welche eine untere Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels ist und den untersten Substratträger des Substratträgerstapels umfasst.
  • Vorzugsweise ist der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet und betreibbar, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe auszuführen, welche eine Zwischen-Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels ist und weder den untersten Substratträger noch den obersten Substratträger des Substratträgerstapels umfasst. Die Öffnungsvorrichtung kann dazu eingerichtet sein, an einer solchen Zwischen-Substratträger-Untergruppe oder alternativ an mehreren getrennten Zwischen-Substratträger-Untergruppen betreibbar zu sein. Ferner sei es nicht ausgeschlossen, dass es einen Überlapp zwischen verschiedenen solchen Substratträger-Untergruppen geben kann. Zu diesem Zweck kann die Öffnungsvorrichtung erlauben, auf der Grundlage verschiedener Zuordnungen der Substratträger zu alternierenden Substratträger-Untergruppen des Substratträgerstapels zu arbeiten.
  • Es sei erwähnt, dass das unterste Substrat des Substratträgerstapels auf der Basiseinheit (falls bereitgestellt) gesetzt in dem ungestapelten Zustand verbleiben kann, falls der Substratträgerstapel vollständig geöffnet wird, und dass der unterste Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe auf der Basiseinheit (falls bereitgestellt) oder auf einem Substratträger oder einem Teil-Substratträgerstapel, welcher nicht zu der ausgewählten Substratträger-Untergruppe gehört, gesetzt verbleiben kann, falls der Substratträgerstapel nur teilweise geöffnet wird.
  • Gemäß bevorzugten Ausführungsformen umfasst der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung einen Schlitten, welcher entlang der vertikalen Achse relativ zu einem Gestell oder einem Gehäuse der Öffnungsvorrichtung zwischen einer oberen Betriebsposition und einer unteren Betriebsposition, entsprechend oder nahe zu einer unteren Grenzposition, bewegbar gehaltert ist. Dieser Bewegungsmechanismus kann dazu eingerichtet und betreibbar sein, den Schlitten nach unten in Richtung der unteren Betriebsposition zu bewegen, um die Öffnungsoperation auszuführen, und den Schlitten nach oben in Richtung der oberen Betriebsposition zu bewegen, um die Schließoperation auszuführen. Die obere Betriebsposition kann eine Belade- und Entlade-Position sein, in welcher ein jeweiliger Substratträgerstapel an den Schlitten beladen oder von dem Schlitten entladen werden kann, oder kann eine Entlade-Position sein, in welcher ein jeweiliger Substratträgerstapel von dem Schlitten entladen werden kann.
  • Solch ein bewegbarer Schlitten, welcher als solches ein eher einfaches mechanisches Mittel ist, ist ein erstaunlich effektiver Lösungsansatz, um das Stapeln und Entstapeln der Substratträger des Substratträgerstapels in dem Verlauf der Öffnungsoperation und der Schließoperation hervorzurufen. Viele Vorteile können auf der Grundlage des bewegbaren Schlittens erreicht werden, wie es in dem Folgenden offensichtlich werden wird.
  • Vorzugsweise kann wenigstens eines aus dem Schlitten und dem Gestell oder dem Gehäuse mit wenigstens einem aus dem Folgenden bereitgestellt sein: a) Positionierungs- oder Führungsformationen, welche dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen der Substratträger zusammenzuwirken, b) Positionierungs- oder Führungsformationen, welche dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen der Basiseinheit des Substratträgerstapels zusammenzuwirken, und c) Positionierungs- oder Führungsformationen, welche dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels zusammenzuwirken; wobei die Positionierungs- oder Führungsformationen und die Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen dazu eingerichtet sind, eine definierte Positionierung des Substratträgerstapels auf dem Schlitten und eine definierte Positionierung der Substratträger und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem ungestapelten Zustand in Richtungen orthogonal in Bezug auf die vertikale Achse zu erhalten und aufrechtzuerhalten. Dadurch wird eine richtige Operation und Funktion der Öffnungsvorrichtung und eine richtige Wechselwirkung zwischen der Öffnungsvorrichtung und dem Substratträgerstapel und dessen Komponenten erreicht und sichergestellt.
  • Vorzugsweise kann der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung mit Eingriffsformationen bereitgestellt sein, welche durch das Gestell oder das Gehäuse an definierten festen vertikalen Positionen in einer vertikal versetzten Weise direkt oder indirekt gehaltert sind und zugeordneten Gegen-Eingriffsformationen eines jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit eines Substratträgerstapels, welcher auf den Schlitten geladen ist, zugeordnet sind und mit diesen eingreifbar sind, wobei die Eingriffsformationen selektiv betreibbar sind, einen jeweiligen Fang- und Haltezustand, in welchem die Eingriffsformationen mit einer jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation des jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels eingreifen oder eingreifbar sind, und einen jeweiligen Freigabe- und Durchlasszustand anzunehmen, in welchem die Eingriffsformationen mit einer jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation des jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit nicht eingreifen und nicht eingreifbar sind.
  • Durch die Eingriffsformationen, welche als solche in der Form von eher einfachen mechanischen Mitteln realisiert sein können, kann das Öffnen und das Schließen der Substratträgerstapel oder einer Untergruppe von Substratträgern davon wieder erstaunlich effektiv mittels einer koordinierten Operation des Schlittens und dessen Bewegung nach oben und nach unten und der Eingriffsformationen erreicht werden. Aus diesem Grund ist die Realisierung des Bewegungsmechanismus mit dem Schlitten und den Eingriffsformationen tatsächlich die bevorzugte Lösung der vorliegenden Erfindung, obwohl andere Wege, den Bewegungsmechanismus zu realisieren, nicht ausgeschlossen sind.
  • Vorzugsweise ist eine oder sind mehrere Eingriffsformationen jedem Substratträger des Substratträgerstapels zugeordnet. Jedoch ist dies nicht absolut notwendig. Insbesondere könnte dem untersten Substratträger des Substratträgerstapels keine Eingriffsformation zugeordnet sein. In diesem Fall kann der unterste Substratträger auf dem Schlitten auch in dem ungestapelten Zustand direkt oder indirekt, insbesondere über die Basiseinheit, falls bereitgestellt, getragen verbleiben. Zu diesem Zweck kann die vertikal geöffnete Position des untersten Substratträgers durch die untere Betriebsposition des Schlittens bestimmt werden oder dieser entsprechen. Ferner wird in einem Fall der Realisierung der Öffnungsvorrichtung dazu, in der Lage zu sein, an einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe zu arbeiten, natürlich üblicherweise eine Anzahl von Substratträgern vorhanden sein, welche nicht zu einer momentan ausgewählten Untergruppe in einem bestimmten Betriebsmodus des Öffners gehören und momentan keine dazu zugeordneten Eingriffsformationen aufweisen.
  • Die Zuordnung zwischen den Eingriffsformationen auf der einen Seite und den Substratträgern und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit und ihren Gegen-Eingriffsformationen auf der anderen Seite kann von einem momentanen Betriebsmodus der Öffnungsvorrichtung abhängen. Falls die Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels auszuführen, wird diese Zuordnung von der ausgewählten Substratträger-Untergruppe abhängen, insbesondere, falls die Anzahl von Substratträgern des Substratträgerstapels die erwähnte vordefinierte erste maximale Anzahl von Substratträgern überschreitet, was von der maximalen Anzahl von Substratträgern des Substratträgerstapels abhängt, welche gleichzeitig ihre Gegen-Eingriffsformationen durch zugeordnete Eingriffsformationen der Öffnungsvorrichtung in ihrem Fang- und Haltezustand eingegriffen aufweisen können.
  • Vorzugsweise sind die Eingriffsformationen in ihrem Freigabe- und Durchlasszustand mit beliebigen Gegen-Eingriffsformation eines beliebigen Substratträgers des Substratträgerstapels nicht eingreifbar, was zu einer sicheren Operation der Öffnungsvorrichtung beiträgt.
  • Es wird ferner vorgeschlagen, dass die Eingriffsformationen in der Öffnungsoperation nacheinander betreibbar sind, um den Fang- und Haltezustand in einer Reihenfolge und Timing anzunehmen, welche von ihren vertikalen Positionen und einer momentanen vertikalen Position des Schlittens abhängen, welcher schrittweise oder - vorzugsweise - kontinuierlich in Richtung der unteren Betriebsposition bewegt wird, und wobei die Eingriffsformationen in der Schließoperation nacheinander betreibbar sind, um den Freigabe- und Durchlasszustand in einer Reihenfolge und Timing anzunehmen, welche von ihren vertikalen Positionen und einer momentanen vertikalen Position des Schlittens abhängen, welcher schrittweise oder - vorzugsweise - kontinuierlich in Richtung der oberen Betriebsposition bewegt wird.
  • Vorzugsweise kann der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet sein, die Eingriffsformationen selektiv zu betreiben, um den Fang- und Haltezustand in der Öffnungsoperation in einer Weise anzunehmen, welche mit der Abwärtsbewegung des Schlittens derart koordiniert ist, dass aufeinanderfolgend ein jeweiliger oberster Substratträger des Substratträgerstapels oder eines Teil-Substratträgerstapels, welcher noch auf dem Schlitten geladen ist, nachfolgend durch wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation gefangen und gehalten wird, welche mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation dieses Substratträgers eingreift, so dass dieser Substratträger innerhalb der Öffnungsvorrichtung in einer jeweiligen definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, welche durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation bestimmt ist.
  • Ferner kann der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet sein, die Eingriffsformationen selektiv zu betreiben, um den Freigabe- und Durchlasszustand in der Schließoperation in einer Weise anzunehmen, welche mit der Aufwärtsbewegung des Schlittens derart koordiniert ist, dass aufeinanderfolgend ein jeweiliger unterster oder verbleibender Substratträger, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung durch die jeweilige wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in einer jeweiligen definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation freigegeben wird, welche sich von der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation dieses Substratträgers löst, so dass dieser Substratträger auf dem Schlitten platziert wird oder auf einem Substratträger oder - falls bereitgestellt - der Basiseinheit oder einem Teil-Substratträgerstapel, welcher an dem Schlitten beladen ist, gestapelt wird.
  • In dem Fall, dass der unterste Substratträger des Substratträgerstapels durch eine oder mehrere Eingriffsformationen in dem ungestapelten Zustand gehalten wird, wird dieser unterste Substratträger der erste sein, welcher wieder auf den Schlitten in dem Verlauf der Schließoperation geladen wird, entweder durch Platzieren des untersten Substratträgers auf dem Schlitten oder - falls bereitgestellt - auf der Basiseinheit.
  • Gemäß der hierin verwendeten Terminologie, gehören die Abdeckungseinheit (falls bereitgestellt) und die Basiseinheit (falls bereitgestellt) zu dem Substratträgerstapel, so dass die Basiseinheit, welche auf dem Schlitten in dem ungestapelten Zustand gehaltert verbleiben kann, identifiziert werden kann, ein Teil-Substratträgerstapel zu sein, welcher in dem ungestapelten Zustand auf dem Schlitten geladen ist. Jedoch, falls man denken würde, dass gemäß einer angemessenen Terminologie ein Teil-Substratträgerstapel wenigstens zwei Elemente umfassen sollte, welche aufeinander gestapelt sind, bilden die Basiseinheit (falls bereitgestellt) mit dem ersten daran gestapelten Substratträger oder zwei Substratträger, welche aufeinander gestapelt sind, einen Teil-Substratträgerstapel, welcher in einer sehr frühen Stadium der Schließoperation auf dem Schlitten getragen ist. In dem weiteren Verlauf der Schließoperation werden die anderen Substratträger nachfolgend auf diesen Teil-Substratträgerstapel gestapelt und werden Teil dieses Teil-Substratträgerstapels. Wenn der oberste Träger oder - falls bereitgestellt - die Abdeckungseinheit auf den Teil-Substratträgerstapel in diesem Stadium als letztes gestapelt wird, ist das „Wiederaufbauen“ des Substratträgerstapels und der Wechsel bzw. Übergang von dem ungestapelten Zustand in den gestapelten Zustand abgeschlossen.
  • Vorzugsweise kann der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet sein, die Eingriffsformationen selektiv (wahlweise) zu betreiben, um den Fang- und Haltezustand in der Öffnungsoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuerst die Abdeckungseinheit (falls bereitgestellt) des Substratträgerstapels durch wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation gefangen und gehalten wird, welche mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation der Abdeckungseinheit eingreift, so dass sie innerhalb der Öffnungsvorrichtung in einer definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, welche durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation bestimmt ist.
  • Ferner kann der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet sein, die Eingriffsformationen selektiv (wahlweise) zu betreiben, um den Freigabe- und Durchlasszustand in der Schließoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuletzt die Abdeckungseinheit (falls bereitgestellt), welche innerhalb der Öffnungsvorrichtung durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in der definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation freigegeben wird, welche sich von der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation der Abdeckungseinheit löst, so dass die Abdeckungseinheit auf den obersten Substratträger der Substratträger gestapelt wird, welche auf den Schlitten geladen sind.
  • Falls die Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet ist, an einer ausgewählten Untergruppe von Substratträgern des Substratträgerstapels zu arbeiten, kann der Bewegungsmechanismus der Öffnungsvorrichtung vorzugsweise dazu eingerichtet sein, die Eingriffsformationen selektiv (wahlweise) zu betreiben, um den Fang- und Haltezustand in der Öffnungsoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuerst ein ausgewählter Substratträger, welcher der vertikal benachbarte Substratträger ist, welcher auf dem obersten Substratträger einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels in dem gestapelten Zustand gestapelt ist, durch wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation gefangen und gehalten wird, welche mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation dieses ausgewählten Substratträgers eingreift, so dass er innerhalb der Öffnungsvorrichtung in einer definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, welche durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation bestimmt ist, und nachfolgend von dem obersten Substratträger einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe in dem Verlauf der Öffnungsoperation entstapelt wird.
  • Ferner kann der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet sein, die Eingriffsformationen selektiv (wahlweise) zu betreiben, um den Freigabe- und Durchlasszustand in der Schließoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuletzt der ausgewählte Substratträger, welcher von dem obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratstapels entstapelt worden ist, durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation freigegeben wird, welche sich von der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation des ausgewählten Substratträgers löst, so dass der ausgewählte Substratträger auf den obersten Substratträger der Substratträger gestapelt wird, welche auf den Schlitten geladen sind.
  • Zusammen mit dem ausgewählten Substratträger wird regelmäßig wenigstens ein anderer Substratträger, welcher auf den ausgewählten Substratträger gestapelt ist, typischerweise mehrere Substratträger und - falls bereitgestellt - die Abdeckungseinheit gemeinsam auf den ausgewählten Substratträger gestapelt sein, alle nicht zu der ausgewählten Substratträger-Untergruppe gehörend, innerhalb der Öffnungsvorrichtung als eine Konsequenz der Öffnungsoperation mittels der wenigstens einen Eingriffsformation gehalten werden und als eine Konsequenz der Schließoperation wieder auf den obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe gestapelt werden.
  • Im Allgemeinen können die Eingriffsformationen in ihrem Fang- und Haltezustand in einer Fang- und Halteposition positioniert sein, in welcher die Eingriffsformationen vertikal mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation überlappen, und die Eingriffsformationen können in ihrem Freigabe- und Durchlasszustand in einer Freigabe- und Durchlassposition positioniert sein, in welcher die Eingriffsformationen vertikal mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation nicht überlappen.
  • Vorzugsweise können die Eingriffsformationen in der Form von Eingriffselementen bereitgestellt sein, welche relativ zu dem Gestell oder dem Gehäuse gehaltert sind, um zwischen der Fang- und Halteposition und der Freigabe- und Durchlassposition bewegt, vorzugsweise verschwenkt, zu werden. Vorzugsweise sind die Eingriffselemente gehaltert, um um eine vertikale Schwenkachse schwenkbar zu sein.
  • Die Eingriffselemente können einen jeweiligen Hülsenabschnitt, welcher um eine vertikale Schwenkachse schwenkbar ist, und einen jeweiligen Eingriffsabschnitt aufweisen, welcher von dem Hülsenabschnitt radial vorsteht, und dazu eingerichtet ist, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation eingreifbar zu sein.
  • Es wird weiter vorgeschlagen, dass die Eingriffsformationen oder Eingriffsabschnitte dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Eingriffsformationen in Eingriff zu sein, welche horizontal von dem jeweiligen äußeren Trägerrahmen der Substratträger bzw. - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit nach außen vorstehen, oder welche in einem äußeren Umfangsrand des jeweiligen äußeren Trägerrahmens der Substratträger bzw. - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit gebildet sind.
  • Gemäß den bevorzugten Ausführungsformen der Öffnungsvorrichtung kann der Bewegungsmechanismus mit mehreren Sätzen von vertikal versetzten Eingriffsformationen versehen sein, so dass mehrere Eingriffsformationen mehreren Gegen-Eingriffsformationen eines jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels, welcher an dem Schlitten beladen ist, zugeordnet und mit diesen eingreifbar sind, wobei vertikal versetzte Eingriffsformationen des Satzes an verschiedenen Seiten des Schlittens und seines vertikalen Bewegungsbereichs angeordnet sind. Diese Realisierung trägt zu einer korrekten und sicheren Funktion der Öffnungsvorrichtung in Bezug auf den Substratträgerstapel und auch seine Komponenten bei.
  • Vorzugsweise sind verschiedene Typen von Eingriffsformationen in der vertikalen Richtung in einer alternierenden Weise innerhalb jedes Satzes von vertikal versetzten Eingriffsformationen bereitgestellt und angeordnet, wobei die verschiedenen Typen von Eingriffsformationen zugeordnete verschiedene Typen von Gegen-Eingriffsformationen der Substratträger und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit derart aufweisen, dass eine Eingriffsformation eines ersten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines ersten Typs eingreifbar ist und eine Eingriffsformation eines zweiten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines zweiten Typs eingreifbar ist, aber dass eine Eingriffsformation eines ersten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines zweiten Typs nicht eingreifbar ist und eine Eingriffsformation eines zweiten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines ersten Typs nicht eingreifbar ist, wenn die Eingriffsformationen ihren jeweiligen Fang- und Haltezustand annehmen.
  • Diese Realisierung der Eingriffsformationen und die entsprechende Realisierung der Gegen-Eingriffsformationen der Substratträger des Substratträgerstapels ist nicht absolut notwendig, aber ist zum Erreichen einer korrekten Operation der Öffnungsvorrichtung und dessen Interaktion mit den Substratträgern hoch effizient. Diese Realisierung ermöglicht es, die Eingriffsformationen und die Steuerung ihres Betriebs in einer relativ einfachen Weise zu realisieren, da unbeabsichtigte Interaktionen zwischen Eingriffsformationen und Gegen-Eingriffsformationen leichter verhindert werden können. Der vertikale Abstand zwischen vertikal als Nächstes benachbarten Gegen-Eingriffsformationen desselben Typs innerhalb des Substratträgerstapels ist gesteigert, falls Gegen-Eingriffsformationen des ersten und des zweiten Typs alternierend entlang der vertikalen Richtung bereitgestellt sind, so dass die zugehörigen Eingriffsformationen des ersten und des zweiten Typs mit der korrekten zugehörigen Gegen-Eingriffsformation eines jeweiligen Substratträgers einfach interagieren können. Natürlich können mehr Typen von Gegen-Eingriffsformationen und von zugeordneten Eingriffsformationen bereitgestellt werden, aber zwei derartige Typen zu haben ist klar bevorzugt.
  • Vorzugsweise können die Eingriffsabschnitte der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen von verschiedenen Typen realisieren, in einem Fall der schwenkbaren Realisierung, welche oben vorgeschlagen worden ist, variierende radiale Abstände zwischen der vertikalen Schwenkachse und einen jeweiligen Abschnitt aufweisen, welcher dazu dient, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition einzugreifen, so dass entlang der vertikalen Richtung solche unterschiedlichen Eingriffsabschnitte, welche verschiedene Abstände zwischen der vertikalen Schwenkachse und dem jeweiligen Abschnitt, welcher dazu dient, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition einzugreifen, in einer alternierenden Weise bereitgestellt sind.
  • Die Hülsenabschnitte der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen realisieren, können in der Form von Hülsenelementen bereitgestellt sein, an welchen gesonderte Eingriffselemente angebracht sind, welche die Eingriffsabschnitte der Eingriffselemente realisieren, wobei entlang der vertikalen Richtung verschiedene Typen von gesonderten Eingriffselementen an den Hülsenelementen in einer alternierenden Weise angebracht sind, wobei die Eingriffselemente variierende radiale Abstände zwischen der vertikalen Schwenkachse und dem jeweiligen Abschnitt aufweisen, welcher dazu dient, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition einzugreifen.
  • Die Hülsenabschnitte der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen realisieren, eines jeweiligen Satzes von vertikal versetzten Eingriffsformationen können mittels innerer Schwenklager an einer gemeinsamen Anbringungssäule der Öffnungsvorrichtung angebracht sein. Dies ist eine erstaunlich einfache, aber sehr effektive und bevorzugte Lösung zum Anbringen der Eingriffselemente. Natürlich kann dieser Ansatz, die Eingriffselemente anzubringen, auch angewendet werden, falls die Eingriffsformationen nur eines Typs bereitgestellt werden.
  • Gemäß bevorzugten Ausführungsformen, kann die Öffnungsvorrichtung einen ersten Belade- und Entladezugang an einer ersten Seite der Öffnungsvorrichtung aufweisen, wobei der erste Belade- und Entladezugang es ermöglicht, auf die Substratsitze der Substratträger in dem ungestapelten Zustand von einer ersten horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen wenigstens eines plattenartigen Substrats auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen wenigstens eines plattenartigen Substrats an einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zuzugreifen, und die Öffnungsvorrichtung kann einen zweiten Belade- und Entladezugang an der ersten Seite oder an einer anderen Seite der Öffnungsvorrichtung, vorzugsweise einer zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung, welche zu der ersten Seite entgegengesetzt ist, aufweisen, wobei der zweite Belade- und Entladezugang es ermöglicht, auf den Schlitten in der oberen Betriebsposition von der ersten horizontalen Richtung oder einer anderen horizontalen Richtung, vorzugsweise einer zweiten horizontalen Richtung, welche der ersten horizontalen Richtung entgegengesetzt ist, für wenigstens eines aus einem Entladen eines jeweiligen Substratträgerstapels von dem Schlitten und einem Beladen eines jeweiligen Substratträgerstapels auf den Schlitten zuzugreifen.
  • Vorzugsweise kann der zweite Belade- und Entladezugang mit Halteformationen bereitgestellt sein, welche dazu eingerichtet sind, eine Halteposition anzunehmen, in welcher die Halteformationen dazu eingerichtet sind, einen Substratträgerstapel innerhalb der Öffnungsvorrichtung an einem vertikalen Abstand über dem Schlitten zu halten, wenn er in der oberen Betriebsposition positioniert ist, wobei der Schlitten von der oberen Betriebsposition nach oben zu einer den Halteformationen zugeordneten oberen Aufnahmeposition in dem Verlauf einer Beladeoperation bewegbar ist, und von der oberen Aufnahmeposition in Richtung der unteren Betriebsposition in dem Verlauf der Öffnungsoperation bewegbar ist. Die Halteformationen sind ferner dazu eingerichtet, in dem Verlauf der Beladeoperation eine Freigabeposition anzunehmen, in welcher die Halteformationen einen Substratträgerstapel freigeben, welcher zuvor gehalten worden ist, um auf den Schlitten geladen zu werden, welcher sich momentan in der oberen Aufnahmeposition befindet oder sich dieser annähert. Der zweite Belade- und Entladezugang kann vorzugsweise ermöglichen, einen jeweiligen Substratträgerstapel auf die Halteformationen zu laden, wobei der vertikale Abstand über dem Schlitten, wenn in der oberen Betriebsposition positioniert, vorzugsweise derart ausgewählt ist, dass ein jeweiliger Substratträgerstapel, welcher eine vordefinierte Höhe nicht überschreitet, auf dem Schlitten getragen sein kann, welcher in der oberen Betriebsposition positioniert ist, unter einem jeweiligen Substratträgerstapel, welcher durch die Halteformationen gehalten wird. Es kann ein hoher Durchsatz von Substratträgerstapeln erreicht werden.
  • Den Halteformationen kann eine Aktuatoranordnung zugeordnet sein, welche dazu eingerichtet ist, die Halteformationen von der Halteposition zu der Freigabeposition und von der Freigabeposition zu der Halteposition zu bewegen. Jede Halteformation, welche in der Form eines hakenförmigen Halteelements bereitgestellt sein kann, kann mit einem jeweiligen individuellen elektromechanischen Aktuator, zum Beispiel einem Elektromagnetaktuator bereitgestellt sein. Jedoch sei es nicht ausgeschlossen, dass andere Einrichtungen die benötigte Bewegung zwischen der Halteposition und der Freigabeposition erreichen. Zum Beispiel können die Halteformationen durch eine Federanordnung in Richtung der Halteposition vorgespannt sein und der Schlitten kann auf die Halteformationen einwirken, um dieselben in Richtung der Freigabeposition zu bewegen, wenn sich der Schlitten der oberen Aufnahmeposition nähert.
  • Vorzugsweise ist wenigstens einer aus dem ersten Belade- und Entladezugang und dem zweiten Belade- und Entladezugang, vorzugsweise wenigstens der zweite Belade- und Entladezugang, mit einer Abschirmanordnung versehen, welche geöffnet und geschlossen werden kann, wie eine Schiebetür oder dergleichen, so dass der (jeweilige) Zugang geschlossen werden kann, zum Beispiel zum Ausführen der Öffnungs- und Schiießoperation.
  • Vorzugsweise kann die Öffnungsvorrichtung wenigstens eine erste lonisatorvorrichtung aufweisen, welche dem ersten Belade- und Entladezugang zugeordnet ist, oder/und eine zweite lonisatorvorrichtung aufweisen, welche dem zweiten Belade- und Entladezugang zugeordnet ist, um statische Elektrizität zu eliminieren oder zu reduzieren, welche für Halbleiter-Wafer schädlich sein könnte, welche in einem jeweiligen Substratsitz umfasst sind oder gehandhabt werden oder zu handhaben sind, zum Beispiel in Richtung eines jeweiligen Substratsitz ist oder von einem jeweiligen Substratsitz transferiert werden. Der Öffner kann ferner ein Liefer- und Messequipment aufweisen, um unter Druck stehende reine Luft zu der wenigstens einen lonisatorvorrichtung zu liefern, welche vorzugsweise über dem jeweiligen Belade- und Entladezugang angeordnet ist.
  • Vorteilhafterweise kann wenigstens eine Gehäusewand der Öffnungsvorrichtung, vorzugsweise eine Gehäusewand oder ein Gehäusewand-Abschnitt unter dem zweiten Belade- und Entladezugang, mit einer Anordnung oder Matrix von Belüftungsöffnungen versehen sein, welche sich transversal und vertikal über eine wesentliche Ausdehnung der Gehäusewand erstrecken, vorzugsweise vertikal über einen vertikalen Bereich der Öffnungsvorrichtung, welcher wenigstens einem wesentlichen Abschnitt der vertikalen Erstreckung des ersten Belade- und Entladezugangs entspricht, welcher vorzugsweise zu diesem Array oder dieser Matrix entgegengesetzt oder gegenüberliegende angeordnet sein kann. Die Belüftungsöffnungen können Belüftungsschlitze umfassen, welche sich in einer transversalen Richtung erstrecken. Die Belüftungsöffnungen können einstellbare effektive Öffnungsbreiten aufweisen, so dass ein gewünschtes Belüftungsströmungsprofil wenigstens entlang der vertikalen Richtung einstellbar sein kann. Dies kann erlauben, dass ein vertikal einheitlicher, vorzugsweise laminarer Belüftungsstrom von reiner Luft oder von allgemein Gas durch die Öffnungsvorrichtung eingestellt werden kann.
  • Die erste Seite und die zweite Seite der Öffnungsvorrichtung können einer ersten Seite und einer zweiten Seite des Schlittens und dessen vertikalem Bewegungsbereich entsprechen, wobei die Öffnungsvorrichtung mindestens einen Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen an einer dritten Seite des Schlittens und dessen vertikalen Bewegungsbereich und wenigstens einen Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen an einer vierten Seite des Schlittens und dessen vertikalen Bewegungsbereich, welche der dritten Seite entgegengesetzt ist, aufweisen kann. Vorzugsweise sind die dritte und die vierte Seite linke und rechte Seiten in Bezug auf den ersten Belade- und Entladezugang in einer Seitenansicht auf diesen Zugang oder/und in Bezug auf den zweiten Belade- und Entladezugang in einer Seitenansicht des Zugangs.
  • Vorzugsweise sind zwei Sätze von vertikal versetzten Eingriffsformationen an der dritten Seite bereitgestellt, welche voneinander in der ersten horizontalen Richtung versetzt sind, oder/und sind zwei Sätze von vertikal versetzten Eingriffsformationen an der vierten Seite bereitgestellt, welche voneinander in der ersten horizontalen Richtung versetzt sind. Demgemäß ist jeder Substratträger, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung in dem ungestapelten Zustand durch Eingriffsformationen gehaltert ist, durch wenigstens drei Eingriffsformationen, vorzugsweise wenigstens vier Eingriffsformationen, insbesondere exakt vier Eingriffsformationen gehalten. Eine genaue Operation des Öffners und eine korrekte Funktion des Öffners in Bezug auf die Interaktion mit den Substratträgern wird erreicht.
  • Die Eingriffsformationen können mittels Operations- und Betätigungsmitteln, welche im Stand der Technik üblicherweise bekannt sind, zum Beispiel mechanische, elektromechanische und pneumatische Operations- und Betätigungsmittel, betätigt werden. Es gibt viele Möglichkeiten, wie eine geeignete Interaktionsanordnung, welche dazu eingerichtet ist, Kräfte auf die Eingriffsformationen zum Betätigen derselben in einer geeigneten Weise auszuüben, realisiert werden könnte.
  • Gemäß bevorzugten Ausführungsformen der Öffnungsvorrichtung kann der Bewegungsmechanismus eine Interaktionsanordnung umfassen, welche dazu eingerichtet ist, Kräfte auf die Eingriffsformationen aufzuwenden, wobei die Kräfte wenigstens eines oder mehrere umfassen aus: a) Betätigungskräfte zum Bewegen einer jeweiligen Eingriffsformation von einer/der Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, zu einer/der Fang- und Halteposition, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht, b) Betätigungskräfte zum Bewegen einer jeweiligen Eingriffsformation von einer/der Fang- und Halteposition, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht, zu einer/der Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, c) Haltekräfte zum Halten einer jeweiligen Eingriffsformation in einer/der Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, und d) Haltekräfte zum Halten einer jeweiligen Eingriffsformation in einer/der Fang- und Halteposition, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht.
  • Die Interaktionsanordnung kann mehrere individuelle Interaktionsvorrichtungen umfassen, welche durch das Gestell oder das Gehäuse direkt oder indirekt gehaltert sind und an festen vertikalen versetzten Positionen bereitgestellt sind, welche den definierten vertikalen Positionen der Eingriffsformationen entsprechen oder diesen benachbart sind, wobei jede der individuellen Interaktionsvorrichtungen dazu eingerichtet ist, wenigstens eine Kraft der Betätigungskräfte und Haltekräfte auf wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation auszuüben. Die individuellen Interaktionsvorrichtungen können jeweils wenigstens einen selektiv betreibbaren Aktuator, vorzugsweise einen pneumatischen oder elektromechanischen Aktuator, zum Beispiel einen Elektromagnetaktuator, zum Einwirken wenigstens einer Kraft der Betätigungskräfte und der Haltekräfte auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation umfassen. Ferner können die individuellen Interaktionsvorrichtungen jeweils eine permanent einwirkende Interaktionsvorrichtung zum Ausüben von wenigstens einer der Haltekräfte und der Betätigungskräfte auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation umfassen. Insbesondere können die individuellen Interaktionsvorrichtungen jeweils wenigstens eines aus einer Vorspann-Federanordnung und einer Permanentmagnetanordnung umfassen.
  • Vorzugsweise sind nur individuelle Interaktionsvorrichtungen in der Form von permanent einwirkenden Interaktionsvorrichtungen, zum Beispiel Vorspann-Federanordnungen und/oder Permanentmagnetanordnungen, bereitgestellt. Permanentmagnetanordnungen sind besonders bevorzugt. Diese individuellen Interaktionsvorrichtungen tragen dazu bei oder stellen sicher, dass die Eingriffsformationen die jeweilige angemessene Position in dem Verlauf der Operation der Öffnungsvorrichtung annehmen, wenn die Öffnungsoperation und die Schließoperation ausgeführt werden. Betätigungskräfte werden vorzugsweise durch wenigstens eine bewegbare Interaktionsvorrichtung ausgeübt, auf welche sich im Folgenden bezogen wird, aber könnten auch durch individuelle Interaktionsvorrichtungen ausgeübt werden, umfassend selektiv betreibbare Aktuatoren, wie erwähnt.
  • Betreffend die individuellen Interaktionsvorrichtungen, umfassend eine Permanentmagnetanordnung, wird ferner vorgeschlagen, dass wenigstens einer aus den Hülsenabschnitten der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen realisieren, mit einem zugeordneten Anbringungsabschnitt der Anbringungssäule magnetisch interagieren, wobei einer aus dem Hülsenabschnitt und dem Anbringungsabschnitt mit wenigstens einem Permanentmagneten ausgestattet ist und der andere aus dem Hülsenabschnitt und dem Anbringungsabschnitt mit wenigstens einem magnetischen oder magnetisierbaren Element ausgestattet ist, so dass wenigstens eine aus einer magnetischen Kraft, welche das Eingriffselement in Richtung der Fang- und Halteposition vorspannt, wenn das Eingriffselement in oder nahe der Fang- und Halteposition ist, und einer magnetischen Kraft, welche das Eingriffselement in Richtung der Freigabe- und Durchlassposition vorspannt, wenn das Eingriffselement in oder nahe der Freigabe- und Durchlassposition ist, auftritt.
  • Der Hülsenabschnitt kann mit einem Paar von magnetisierbaren Anlageelementen ausgestattet sein, wobei der Anbringungsabschnitt mit einem Gegenanlageelement ausgestattet ist, welches zwischen den magnetisierbaren Anlageelementen des Hülsenabschnitts vorsteht. Das Gegenanlageelement ist magnetisierbar und der Hülsenabschnitt ist ferner mit wenigstens einem Permanentmagneten ausgestattet, welcher den magnetisierbaren Anlageelementen zugeordnet ist, oder das Gegenanlageelement umfasst einen Permanentmagneten oder ist durch diesen gebildet. Eines aus den magnetisierbaren Anlageelementen liegt gegen das Gegenanlageelement an, wenn das jeweilige Eingriffselement in der Fang- und Halteposition ist, und das andere aus den magnetisierbaren Anlageelementen liegt gegen das Gegenanlageelement an, wenn das jeweilige Eingriffselement in der Freigabe- und Durchlassposition ist. Solche Hülsenabschnitte mit zugeordneten Permanentmagneten tragen dazu bei oder stellen sicher, dass die Eingriffsformationen jeweils die korrekte Position annehmen, welche in einem jeweiligen Betriebszustand der Öffnungsvorrichtung erforderlich ist. Diese Realisierung ist in einem Fall bevorzugt, dass nur individuelle Interaktionsvorrichtungen in der Form von permanent einwirkenden Interaktionsvorrichtungen bereitgestellt sind, aber kann auch in dem Fall angemessen sein, dass individuelle Interaktionsvorrichtungen, umfassend selektiv betreibbare Aktuatoren, vorhanden sind, um Betätigungskräfte bereitzustellen, welche auf die Eingriffsformationen einwirken. Zur Realisierung dieser vorteilhaften technischen Lehre wird nicht viel Installationsraum benötigt.
  • Wie kurz erwähnt, kann die Interaktionsanordnung wenigstens eine bewegbare Interaktionsvorrichtung umfassen, welche in der vertikalen Richtung relativ zu dem Gestell oder dem Gehäuse zuan vertikal versetzten vertikalen Interaktionspositionen oder vertikalen Interaktionspositionsbereichen bewegbar gehaltert ist, welche den definierten vertikalen Positionen der Eingriffsformationen entsprechen, diese umfassen oder dazu benachbart sind, wobei die bewegbare Interaktionsvorrichtung dazu eingerichtet ist, wenigstens eine aus den Betätigungskräften auf wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation auszuüben, wenn die bewegbare Interaktionsvorrichtung zu einer jeweiligen aus den Interaktionspositionen oder einem jeweiligen aus den Interaktionspositionsbereichen bewegt worden ist oder eine jeweilige der Interaktionspositionen oder einen jeweiligen der Interaktionspositionsbereiche in dem Verlauf von ihrer vertikalen Bewegung passiert. Mit solch wenigstens einer bewegbaren Interaktionsvorrichtung kann die Notwendigkeit für eine Installation von zahlreichen individuellen Interaktionsvorrichtungen, umfassend selektiv betreibbare Aktuatoren, vermieden werden, wodurch wesentliche Vorteile in Bezug auf die Herstellkosten einer solchen Öffnungsvorrichtung gegeben werden. Ferner wird der benötigte Gesamt-Installationsraum zur Installation von Aktuatoren reduziert.
  • Die bewegbare Interaktionsvorrichtung kann wenigstens ein Betätigungselement umfassen, welches zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position, vorzugsweise longitudinal in einer horizontalen Richtung, bewegbar ist, wobei das Betätigungselement, wenn die bewegbare Interaktionsvorrichtung zu einer jeweiligen der vertikalen Interaktionspositionen oder einem jeweiligen der vertikalen Interaktionspositionsbereiche bewegt worden ist oder eine jeweilige der vertikalen Interaktionspositionen oder einen jeweiligen der vertikalen Interaktionspositionsbereiche in dem Verlauf von ihrer vertikalen Bewegung passiert, dazu eingerichtet ist, eine Betätigungskraft oder eine erste Betätigungskraft auf wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation auszuüben, wenn das Betätigungselement die erste Position annimmt oder auf Grundlage einer Bewegung des Betätigungselements in Richtung der ersten Position, und dazu eingerichtet ist, keine Betätigungskraft auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation auszuüben, wenn das Betätigungselement die zweite Position annimmt, oder eine zweite Betätigungskraft auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation auszuüben, wenn das Betätigungselement die zweite Position annimmt oder auf Grundlage einer Bewegung des Betätigungselements in Richtung der zweiten Position. Die Betätigungskraft oder die erste Betätigungskraft kann gerichtet sein, die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in Richtung von einer aus der jeweiligen Freigabe- und Durchlassposition und der jeweiligen Fang- und Halteposition zu bewegen, und die zweite Betätigungskraft kann gerichtet sein, die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in Richtung der anderen aus der jeweiligen Freigabe- und Durchlassposition und der jeweiligen Fang- und Halteposition zu bewegen.
  • Vorzugsweise wird eine betätigende Kraft zum Bewegen einen jeweiligen Eingriffsformation von der Freigabe- und Durchlassposition zu der Fang- und Halteposition benötigt und eine andere betätigende Kraft wird zum Bewegen einer jeweiligen Eingriffsformation von der Fang- und Halteposition zu der Freigabe- und Durchlassposition benötigt. Es ist ferner bevorzugt, dass diese Betätigungskräfte mittels des Betätigungselements ausgeübt werden, welches die erste Position bzw. die zweite Position annimmt oder auf Grundlage der Bewegung des Betätigungselements in Richtung der zweiten Position, üblicherweise von einer anfänglichen Position entsprechend oder nahe der ersten Position, bzw. auf Grundlage der Bewegung des Betätigungselements in Richtung der ersten Position, üblicherweise von einer anfänglichen Position entsprechend oder nahe der zweiten Position.
  • Jedoch sei es nicht ausgeschlossen, dass die zweite Position des Betätigungselements nur eine Art von „neutraler“ Position ist, in welcher keine Betätigungskräfte auf einen jeweiligen Eingriffsabschnitt ausgeübt werden. Dies kann angemessen sein, falls zum Beispiel eine jeweilige permanent wirkende Interaktionsvorrichtung für die Eingriffsformationen bereitgestellt ist, welche dazu dient, die jeweilige Eingriffsformation von der einen Position der Freigabe- und Durchlassposition und der Fang- und Halteposition zu der anderen Position der Freigabe- und Durchlassposition und der Fang- und Halteposition zu bewegen, so dass das Betätigungselement des bewegbaren Elements nur zur Bewegung der jeweiligen Eingriffsformation von der anderen Position zu der einen Position benötigt wird, wo die jeweilige Eingriffsformation mittels einer zugeordneten individuellen Interaktionsvorrichtungen gehalten werden kann, welche eine Haltekraft ausübt, welche die Betätigungskraft der permanent wirkenden Interaktionsvorrichtung zum Halten des Eingriffs in dieser Position in einem ersten Betriebszustand überwindet, und keine derartige Haltekraft in einem zweiten Betriebszustand ausübt, wenn die Eingriffsformation zu der anderen Position zurückkehren soll. Solch eine individuelle Interaktionsvorrichtung kann einen Elektromagneten zum elektromagnetischen Erzeugen der Haltekraft umfassen, wohingegen die individuelle Interaktionsvorrichtung in der Form der permanent wirkenden Interaktionsvorrichtung in einer angemessenen Weise eine Vorspann-Federanordnung umfassen kann.
  • Vorzugsweise kann die bewegbare Interaktionsvorrichtung mit dem Schlitten für eine gemeinsame vertikale Bewegung verbunden sein und, vorzugsweise, direkt oder indirekt dadurch gehaltert sein. Durch Bereitstellen der bewegbaren Interaktionsvorrichtung an einer definierten vertikalen Position in Bezug auf einen Halterungsabschnitt des Schlittens, kann eine gemeinsame Bewegung des Schlittens mit der bewegbaren Interaktionsvorrichtung einen koordinierten Betrieb der Eingriffsformationen ermöglichen, um die Freigabe- und Durchlassposition und die Fang- und Halteposition anzunehmen, welcher in einer angemessenen Weise mit der vertikalen Bewegung des Schlittens koordiniert ist.
  • Falls die Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet ist an den Substratträgern einer ausgewählten Untergruppe von Substratträgern des Substratträgerstapels zu arbeiten, macht es insbesondere Sinn, mehrere bewegbare Interaktionsvorrichtungen bereitzustellen, welche verbunden sind mit und, vorzugsweise, direkt oder indirekt durch den Schlitten für eine gemeinsame vertikale Bewegung gehaltert sind und an unterschiedlichen vertikalen Positionen in Bezug auf einen Tragabschnitt des Schlittens angeordnet sind, welcher den Substratträgerstapel trägt, welcher auf den Schlitten geladen ist. Diese bewegbaren Interaktionsvorrichtungen können verschiedenen vordefinierten Substratträger-Untergruppen eines jeweiligen Substratträgerstapels zugeordnet sein, welcher auf den Schlitten geladen ist.
  • Vorzugsweise umfasst die (jeweilige) bewegbare Interaktionsvorrichtung wenigstens einen selektiv (wahlweise) betreibbaren Aktuator, vorzugsweise einen pneumatischen oder elektromechanischen Aktuator, zum Bewegen des Betätigungselements aus der ersten Position in Richtung der zweiten Position oder/und zum Bewegen des Betätigungselements aus der zweiten Position in Richtung der ersten Position.
  • Der selektiv betreibbare Aktuator kann dazu eingerichtet sein, die jeweilige Betätigungskraft auf die jeweilige Eingriffsformation mittels des Betätigungselements, durch Bewegen desselben in Richtung der ersten oder der zweiten Position, auszuüben, wobei das Betätigungselement wenigstens einen Anlageteil aufweist, welcher dazu eingerichtet ist, gegen einen zugeordneten Gegen-Anlageteil der jeweiligen Eingriffsformation in dem Verlauf von dessen Bewegung in Richtung der ersten oder der zweiten Position anzuliegen, um die jeweilige Betätigungskraft oder erste Betätigungskraft oder zweite Betätigungskraft auf die jeweilige Eingriffsformation über den Anlageteil auszuüben. Um die vertikal versetzten Eingriffsformationen von der Freigabe- und Durchlassposition zu der Fang- und Halteposition bzw. von der Fang- und Halteposition zu der Freigabedurch Durchlassposition zu bringen, wird der Anlageteil wiederholte Bewegungen von der jeweiligen anfänglichen Position in Richtung der jeweiligen der ersten Position und der zweiten Position und zurück zu der jeweiligen anfänglichen Position durchführen müssen zum Applizieren der Betätigungskräfte sequenziell auf die Anlageteil der Eingriffsformationen.
  • Alternativ kann das Betätigungselement wenigstens einen Reaktionsteil aufweisen, welcher dazu eingerichtet ist, mit wenigstens einem zugeordneten Gegen-Reaktionsteil der jeweiligen Eingriffsformation derart zu interagieren, dass, wenn das Betätigungselement in seiner ersten oder zweiten Position ist und die bewegbare Interaktionsvorrichtung eine jeweilige aus den vertikalen Interaktionspositionen oder den vertikalen Interaktionspositionsbereichen passiert, die resultierende vertikale Bewegung des Reaktionsteils relativ zu dem Gegen-Reaktionsteil, welches durch den Reaktionsteil eingegriffen ist, die Betätigungskraft oder die erste Betätigungskraft oder die zweite Betätigungskraft erzeugt, welche auf die jeweilige Eingriffsformation über den Gegen-Reaktionsteil ausgeübt wird. In diesem Zusammenhang wird ferner vorgeschlagen, dass der Reaktionsteil und der zugeordnete Gegen-Reaktionsteil dazu eingerichtet sind, wie ein Nocken und ein Nockenfolger in einer Nocken-Nockenfolger-Interaktion zum Erzeugen der Betätigungskraft oder der ersten Betätigungskraft oder der zweiten Betätigungskraft zu interagieren, welche in einer Richtung orthogonal zu der Richtung der vertikalen Bewegung des Reaktionsteils relativ zu dem Gegen-Reaktionsteil gerichtet ist. Gemäß diesem bevorzugten Ansatz, wird der Reaktionsteil nur einmal in eine Betriebsposition gemäß der ersten oder zweiten Position des Betätigungselements zum sequenziellen Betätigen der Gegen-Reaktionsteile der Eingriffsformationen, zum Bringen der Eingriffsformationen von der Freigabe- und Durchlassposition zu der Fang- und Halteposition bzw. von der Freigabe- und Halteposition zu der Freigabe- und Durchlassposition, zu bringen sein.
  • Vorzugsweise können die Eingriffsformationen Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile aufweisen, welche an definierten variierenden vertikalen Abständen von der der jeweiligen Eingriffsformation zugeordneten definierten vertikalen geöffneten Position des ungestapelten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit, angeordnet sind, um eine variierende vertikale Höhe des Substratträgerstapels oder des Teil-Substratträgers in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation zu berücksichtigen. Alternativ kann eine bewegbare Interaktionsvorrichtung, welche unabhängig vertikal bewegbar ist, unabhängig von der vertikalen Bewegung des Schlittens, oder, falls mit dem Schlitten verbunden oder indirekt durch den Schlitten gehaltert, kann eine bewegbare Interaktionsvorrichtung, welche relativ zu dem Schlitten bewegt werden kann, bereitgestellt sein, um diese variierende vertikalen Höhe des Substratträgerstapels oder Teil-Substratträgerstapels in dem Verlauf dieser Operationen der Öffnungsvorrichtung zu berücksichtigen.
  • Mit Bezug auf die oben erwähnten Ausführungsformen, welche durch Eingriffselemente mit Hülsenabschnitten gekennzeichnet sind, wird ferner vorgeschlagen, dass die Hülsenabschnitte in der Form von Hülsenelementen realisiert sind, an welchen gesonderte Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile angebracht sind, wobei verschiedene Arten von Gegen-Anlageteilen oder von Gegen-Reaktionsteilen bereitgestellt sind, welche verschiedene vertikale Längen zwischen einem Abschnitt, welcher dazu dient, mit dem Anlageteil bzw. dem Reaktionsteil des Betätigungselements zu interagieren, und einem Abschnitt aufweisen, welcher an dem jeweiligen Hülsenelement angebracht ist, oder/und wobei die getrennten Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile an dem jeweiligen Hülsenelement an verschiedenen vertikalen Höhen innerhalb der vertikalen Erstreckung der Hülsenelemente angebracht sind.
  • In diesem Zusammenhang wird ferner vorgeschlagen, dass gesonderte Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile eines ersten Typs an Hülsenelementen in einem oberen Bereich der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, welche ihren Abschnitt, welcher dazu dient, mit dem Anlageteil oder dem Reaktionsteil zu interagieren, unter der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements angeordnet aufweisen, an welches der jeweilige Gegen-Anlageteil oder der Gegen-Reaktionsteil angebracht aufweisen, dass gesonderte Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile eines zweiten Typs an Hülsenelementen in einem mittleren Bereich der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, welche ihren Abschnitt, welcher dazu dient, mit dem Anlageteil oder dem Reaktionsteil zu interagieren, innerhalb der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements angeordnet aufweisen, an welches der jeweilige Gegen-Anlageteil oder Gegen-Reaktionsteil angebracht ist, und dass gesonderte Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile eines dritten Typs oder des ersten Typs an Hülsenelementen in einem unteren Bereich der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, welche ihren Abschnitt, welcher dazu dient, mit dem Anlageteil oder dem Reaktionsteil zu interagieren, über der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements angeordnet aufweisen, an welches der jeweilige Gegen-Anlageteil oder Gegen-Reaktionsteil angebracht ist.
  • Demgemäß ermöglichen als solches eher einfache, aber erstaunlich effektive mechanische Mittel, der variierenden vertikalen Höhe des Substratträgerstapels oder Teil-Substratträgerstapels in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation Rechnung zu tragen, durch Anordnen der Gegen-Anlageteile bzw. Gegen-Reaktionsteile oder ihrer Abschnitte, welche dazu dienen, mit dem Anlageteil bzw. dem Reaktionsteil wechselzuwirken, an einer geeigneten definierten vertikalen Position innerhalb der Öffnungsvorrichtung.
  • Die Öffnungsvorrichtung kann vorzugsweise eine vertikale Führungsanordnung zum Führen des Schlittens während dessen vertikaler Bewegung in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation umfassen.
  • Der Bewegungsmechanismus kann eine vertikale Antriebsanordnung umfassen, welche dazu eingerichtet ist, den Schlitten selektiv vertikal in dem Verlauf der Öffnungsoperation nach unten und in dem Verlauf der Schließoperation und - falls bereitgestellt - in dem Verlauf der Beladeoperation nach oben zu bewegen. Die vertikale Antriebsanordnung kann wenigstens einen Riemenantrieb umfassen, welcher mit dem Schlitten gekoppelt ist und selektiv betreibbar ist, um den Schlitten zum Ausführen der Öffnungsoperation nach unten zu bewegen, und um den Schlitten zum Ausführen der Schließoperation und - falls bereitgestellt - zum Ausführen der Beladeoperation nach oben zu bewegen.
  • Die Öffnungsvorrichtung kann mit einer Sensoranordnung ausgestattet sein, welche dazu eingerichtet ist, wenigstens eines aus dem Betrieb der Öffnungsvorrichtung und Zuständen des Substratträgerstapels zu überwachen.
  • In diesem Zusammenhang wird vorgeschlagen, dass die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, wenigstens eines aus einer momentanen Position des Schlittens und einem momentanen Bewegungszustand des Schlittens zu erfassen, oder/und welcher dazu eingerichtet ist, zu erfassen, ob die Öffnungsvorrichtung einen oder mehrere aus einer Mehrzahl von definierten Zuständen annimmt, umfassend einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem kein Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist, während der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem ein Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist, während der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Aufnahmeposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem der Schlitten in der unteren Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem ein Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist und den gestapelten Zustand annimmt, und einen Zustand, in welchem die Substratträger des Substratträgerstapels oder einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe davon und - falls bereitgestellt und anwendbar - die Abdeckungseinheit ungestapelt sind und innerhalb der Öffnungsvorrichtung an ihrer jeweiligen vertikalen geöffneten Position gehalten sind. Die Sensoranordnung kann wenigstens einen Sensor umfassen, welcher dazu eingerichtet ist, zu erfassen, ob ein Substratträgerstapel durch die Halteformationen gehalten ist, falls bereitgestellt.
  • Zum Erfassen von wenigstens einer aus einer momentanen Position des Schlittens und einer momentanen Bewegungsbedingung des Schlittens, kann ein optischer Sensor, welcher Licht aussendet und reflektiertes Licht empfängt, und welcher in der Lage ist, daraus einen Abstand von einem Zielobjekt zu bestimmen, verwendet werden, wie beispielsweise ein so genannter Reflexlichttaster oder Reflextaster („diffuse sensor“ oder „diffuse reflective sensor“), vorzugsweise ein Typ mit Hintergrundunterdrückung. Solche Sensoren verwenden üblicherweise Lichtpulse. Alternativ oder zusätzlich kann eine Antriebswelle oder ein anderes rotierendes Element der vertikalen Antriebsanordnung mit einem Rotationsencoder zum Bestimmen eines aus der momentanen Position des Schlittens und des momentanen Bewegungszustands des Schlittens vorgesehen sein. Vorzugsweise ist der Rotationsencoder ein absoluter Encoder, welcher keine Referenzierung benötigt.
  • Die Sensoranordnung kann wenigstens einen Sensor umfassen, welcher dazu eingerichtet ist, einen momentanen Zustand einer jeweiligen aus den Eingriffsformationen zu erfassen. Jeder Eingriffsformation kann ein derartiger Sensor zugeordnet sein. Ferner kann die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor umfassen, welcher einer Mehrzahl der Eingriffsformationen zugeordnet ist und dazu eingerichtet ist, zu erfassen, ob die Mehrzahl von Eingriffsformationen den gleichen Zustand annimmt.
  • Ferner kann die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor umfassen, welcher dazu eingerichtet ist, eine Operation von wenigstens einer Interaktionsvorrichtung der Interaktionsanordnung zu überwachen, oder/und welcher dazu eingerichtet ist, einen momentanen Zustand von wenigstens einer Interaktionsvorrichtung der Interaktionsanordnung zu erfassen. Jeder Interaktionsvorrichtung, vorzugsweise wenigstens jeder selektiv betreibbaren Interaktionsvorrichtung, kann ein derartiger Sensor zugeordnet sein.
  • Die Sensoranordnung kann vorzugsweise wenigstens einen Sensor umfassen, welcher dazu eingerichtet ist, einen Wechsel oder Übergang zwischen dem gestapelten Zustand und dem ungestapelten Zustand in der Öffnungsoperation zu überwachen, oder/und welcher dazu eingerichtet ist, einen Wechsel oder Übergang zwischen dem ungestapelten Zustand und dem gestapelten Zustand in der Schließoperation zu überwachen.
  • Allgemein kann die Öffnungsvorrichtung mit wenigstens einer aus einen stationären Sensoranordnung und einer bewegbaren Sensoranordnung ausgestattet sein, welche dazu eingerichtet ist oder sind, die versetzte vertikale Positionierung der Substratträger und - falls bereitgestellt und anwendbar - der Abdeckungseinheit innerhalb der Öffnungsvorrichtung in dem Verlauf der Öffnungsoperation zu überwachen, oder/und welche dazu eingerichtet ist oder sind, auf wenigstens eines aus einer Anwesenheit, einer Abwesenheit und einem Zustand eines Substrats, welches auf einen jeweiligen Sitz aus wenigstens einem Substratträger geladen ist, welcher an seiner jeweiligen vertikalen geöffneten Position innerhalb der Öffnungsvorrichtung gehalten ist, in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation zu reagieren. Die bewegbare Sensoranordnung kann dazu eingerichtet sein, zusammen mit dem Schlitten, in der Öffnungsoperation nach unten und in der Schließoperation nach oben, bewegbar zu sein.
  • Allgemein können mehrere bewegbare Sensoranordnungen bereitgestellt sein, welche dazu eingerichtet sind, zusammen mit dem Schlitten, in der Öffnungsoperation nach unten und in der Schließoperation nach oben, bewegbar zu sein, wobei die bewegbaren Sensoranordnungen an verschiedenen vertikalen Positionen in Bezug auf einen/den Tragabschnitt des Schlittens angeordnet sind, welcher den Substratträgerstapel trägt, welcher auf den Schlitten geladen ist. Vorzugsweise können die bewegbaren Sensoranordnungen verschiedenen vordefinierten Substratträger-Untergruppen eines jeweiligen Substratträgerstapels zugeordnet sein, welcher auf den Schlitten geladen ist.
  • Vorzugsweise ist die wenigstens eine bewegbare Sensoranordnung mit dem Schlitten für eine gemeinsame vertikale Bewegung verbunden. Zu diesem Zweck kann die wenigstens eine bewegbare Sensoranordnung direkt oder indirekt durch den Schlitten getragen sein.
  • Die bewegbare Sensoranordnung kann dazu eingerichtet sein, auf wenigstens eines aus der Anwesenheit, der Abwesenheit und dem Zustand eines Substrats, welches auf einen jeweiligen Sitz von mehreren oder allen Substratträgern geladen ist, welche an ihren jeweiligen vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung gehalten sind, in dem Verlauf von wenigstens einem aus der Öffnungsoperation und der Schließoperation zu reagieren, wobei die bewegbare Sensoranordnung wenigstens einen bewegbaren Sensor aufweist, welcher in einer horizontalen Erfassungsrichtung reaktiv ist und an einem definierten vertikalen Abstand über einem/dem Tragabschnitt des Schlittens angeordnet ist, welcher dazu dient, einen Substratträgerstapel zu tragen, welcher auf den Schlitten geladen ist, so dass in dem Verlauf der jeweiligen Operation der Öffnungsoperation und der Schließoperation der bewegbare Sensor oder ein jeweiliger von mehreren bewegbaren Sensoren, welche an verschiedenen definierten vertikalen Abständen über dem Tragabschnitt angeordnet sind, nachfolgend vertikal seitwärts des Substratsitzes von wenigstens einem zugeordneten Substratträger oder mehreren zugeordneten Substratträgern der Substratträger passiert, welche innerhalb der Öffnungsvorrichtung an ihrer jeweiligen vertikalen geöffneten Position gehalten sind.
  • Zum Berücksichtigen der variierenden vertikalen Höhe des Substratträgerstapels oder Teil-Substratträgers in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation, kann die bewegbare Sensoranordnung oder jeweilige bewegbare Sensoranordnung vorzugsweise mehrere bewegbare Sensoren umfassen, welche jeweils in einer horizontalen Erfassungsrichtung empfänglich sind, und welche an verschiedenen definierten vertikalen Abständen über dem Tragabschnitt des Schlittens angeordnet sind.
  • Wie voranstehend erwähnt, kann der unterste Substratträger auf dem Schlitten auch in dem ungestapelten Zustand getragen verbleiben, zum Beispiel falls keine Eingriffsformation dem untersten Substratträger des Substratträgerstapels oder dem untersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe zugeordnet wäre. In diesem Fall könnte es höchst angemessen sein, wenigstens eine stationäre Sensoranordnung bereitzustellen, welche dazu eingerichtet ist, auf wenigstens eines aus der Anwesenheit, der Abwesenheit und dem Zustand eines Substrats reaktiv zu sein, welcher auf den Sitz dieses untersten Substratträgers geladen ist. Diese stationäre Sensoranordnung könnte wenigstens einen stationären Sensor umfassen, welcher in einer horizontalen Erfassungsrichtung reaktiv ist und an einem definierten vertikalen Abstand über der unteren Betriebsposition des Schlittens angeordnet ist.
  • Der Sensor, welcher in einer horizontalen Erfassungsrichtung reaktiv ist, kann vorzugsweise als ein Lichtstrahl- oder Lichtbarrieren-Sensor oder dergleichen realisiert sein. Dieser Sensor kann ein Einweg-Sensor, welcher ein Licht-Sendeelement und ein getrenntes Licht-Empfangselement umfasst, oder ein Reflexionssensor sein, welcher die Licht-Sendeschaltung und die Licht-Empfangsschaltung in einem Element integriert aufweist.
  • Die Öffnungsvorrichtung kann wenigstens eine Spülstruktur aufweisen, welche dazu eingerichtet ist, wenigstens einen definierten Spülgasstrom innerhalb der Öffnungsvorrichtung bereitzustellen. Vorzugsweise ist wenigstens ein Spülgasstrom bereitgestellt, welcher die Substratträger an ihren vertikalen geöffneten Positionen in dem ungestapelten Zustand passiert, wobei der Spülgasstrom vorzugsweise nach unten gerichtet ist, wenn er einen jeweiligen Substratträger passiert. Irgend welche Abrasionspartikel, welche auf Grund der Wechselwirkung von mechanischen Teilen innerhalb des Öffners in dem Verlauf der Öffnungsoperation und der Schließoperation hervorgerufen werden könnten, würden dadurch von dem vertikal benachbarten Substrat weg gespült werden, welches in dem Substratsitz des jeweiligen Substratträgers gehalten ist, welcher entstapelt wird oder bereits ungestapelt ist oder wieder zu stapeln ist oder wieder gestapelt ist.
  • Die vorliegende Erfindung stellt ferner eine Reinraumeinrichtung für wenigstens eines aus einem Speichern, Handhaben, Zuführen und Verarbeiten von Substraten in der Form von wenigstens einem aus Halbleiter-Wafern und Retikeln (Masken, Fotomasken) bereit. Die Reinraumeinrichtung umfasst wenigstens eine Öffnungsvorrichtung gemäß der Erfindung wie vorangehend angesprochen, welche dazu dient, auf Substratsitze von Substratträgern von Substratträgerstapeln eines Typs zuzugreifen, welche eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger einen äußeren Trägerrahmen aufweist, welcher sich horizontal um eine innere Öffnung erstreckt, und einen Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels definiert oder damit bereitgestellt ist.
  • Die Reinraumeinrichtung kann wenigstens eine erste Roboteranordnung umfassen, welche dazu eingerichtet und betreibbar ist, einen jeweiligen Substratträgerstapel in die Öffnungsvorrichtung (oder eine ausgewählte aus mehreren Öffnungsvorrichtungen) zu laden, und dazu eingerichtet und betreibbar ist, einen jeweiligen Substratträgerstapel aus der Öffnungsvorrichtung (oder einer ausgewählten aus mehreren Öffnungsvorrichtungen) zu entladen, und kann wenigstens eine zweite Roboteranordnung umfassen, welche dazu eingerichtet und betreibbar ist, auf wenigstens einen oder mehrere Substratsitze von ausgewählten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand zuzugreifen, wobei die zweite Roboteranordnung dazu eingerichtet und betreibbar ist, ein jeweiliges plattenartiges Substrat von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zu entladen, auf welchen zugegriffen wird, und dazu eingerichtet und betreibbar ist, ein jeweiliges plattenartiges Substrat auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zu laden, auf welchen zugegriffen wird. Die erste und die zweite Roboteranordnung können jeweils einen oder mehrere Roboterarme oder dergleichen aufweisen, welche einen Halteabschnitt oder einen Greifabschnitt zum Halten oder Greifen eines jeweiligen Substratträgerstapels zum Beladen und Entladen oder zum Halten oder Greifen eines jeweiligen Substrats zum Beladen und Entladen aufweisen. Solche Roboteranordnungen mit Roboterarmen sind im Stand der Technik gut bekannt, so dass keine weiteren Erklärungen zu geben sind.
  • Die erste Roboteranordnung kann zwischen einer Lagervorrichtung zum Speichern von Substratträgerstapeln und der Öffnungsvorrichtung angeordnet sein und kann dazu dienen, Substratträgerstapel zwischen der Lagervorrichtung und der Öffnungsvorrichtung zu transferieren.
  • Die zweite Roboteranordnung kann zwischen der Öffnungsvorrichtung und wenigstens einem Transferzugang (Transferport) angeordnet sein und kann dazu dienen, Substrate zwischen der Öffnungsvorrichtung und dem Transferzugang oder einer jeweiligen Vorrichtung, welche mit dem Transferzugang permanent verbunden oder vorübergehend daran angelegt oder angekoppelt ist, zu transferieren, und zu wenigstens einem aus einem Substratverarbeiten, einer Substratbehandlung, einer Substratspeicherung und einem Substrattransport dient. Zum Beispiel kann die zweite Robotereinrichtung dazu dienen, Substrate zwischen dem Öffner und einem Front Opening Unified Pod, FOUP, welcher an den Transferzugang angelegt oder angekoppelt ist, zu transferieren.
  • Der wenigstens eine Transferzugang kann durch ein sogenanntes Equipment Front End Module, EFEM, bereitgestellt sein und die Lagervorrichtung und das EFEM können zu der Reinraumeinrichtung gehören.
  • Im Fall, dass wenigstens eine Gehäusewand der Öffnungsvorrichtung mit einer Anordnung oder Matrix von Belüftungsöffnungen versehen ist, kann vorzugsweise für einen Strom von Reinluft durch die Öffnungsvorrichtung gesorgt sein, welcher einer Zone der Reinraumeinrichtung entstammen kann, in welcher die Lagervorrichtung angeordnet ist. Jedoch ist es bevorzugt, dass der Strom von Reinluft durch die Öffnungsvorrichtung in der entgegengesetzten Richtung gerichtet ist, in Richtung der Zone, in welcher die Lagervorrichtung angeordnet ist. Dies bietet den Vorteil, dass jegliche Abrasionspartikel, welche durch den Betrieb der Öffnungsvorrichtung und das Handhaben der individuellen Substrate hervorgerufen sein könnten, von den Bereichen weg gespült werden, in welchen Substrate zugänglich sind und Substrate individuell gehandhabt werden, ohne innerhalb eines Substratträgerstapels in dem geschlossenen Zustand abgeschirmt und geschützt zu sein.
  • Vorzugsweise kann die Reinraumeinrichtung wenigstens eine erste lonisatorvorrichtung aufweisen, welche der ersten Roboteranordnung zugeordnet ist, oder/und eine zweite lonisatorvorrichtung aufweisen, welche der zweiten Roboteranordnung zugeordnet ist, um statische Elektrizität zu eliminieren oder zu reduzieren, welche für Halbleiter-Wafer schädlich sein könnte, welche in einem jeweiligen Substratsitz aufgenommen sind oder gehandhabt werden oder zu handhaben sind. Die Reinraumeinrichtung kann ferner ein Liefer- und Messequipment aufweisen, um reine Luft unter Druck zu der wenigstens einen lonisatorvorrichtung zu liefern.
  • Die Öffnungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung ermöglicht es, einen Prozess zum Zugreifen auf einen oder mehrere Substratsitze eines jeweiligen Substratträgers eines Substratträgerstapels eines Typs auszuführen, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger einen äußeren Trägerrahmen aufweist, welcher sich in einer horizontalen Rahmenebene um eine innere Zone erstreckt, welche eine innere Öffnung umfasst, und einen Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels definiert oder damit versehen ist.
  • In einer ersten Phase werden die Substratträger des Substratträgerstapels oder die Substratträger einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels relativ in Bezug auf einander entlang einer vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation derart bewegt, dass die Substratträger aus einem gestapelten Zustand, in welchem alle Substratträger des Substratträgerstapels aufeinander gestapelt sind und dadurch den Substratträgerstapel bilden, in einen ungestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger des Substratträgerstapels bzw. die ausgewählte Substratträger-Untergruppe entstapelt und versetzt in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen positioniert sind, mit solchen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen dieser Substratträger von einer horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen wenigstens eines plattenartigen Substrats von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen wenigstens eines plattenartigen Substrats auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugänglich sind. Die erste Phase kann umfassen, den jeweiligen unteren Substratträger von dem jeweiligen oberen Substratträger von jedem jeweiligen Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels bzw. der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in der Öffnungsoperation durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach unten vertikal zu distanzieren.
  • In einer zweiten Phase wird auf einen oder mehrere der Sitze der ungestapelten Substratträger an ihren vertikalen geöffneten Positionen für wenigstens eines aus einem Entladen wenigstens eines plattenartigen Substrats aus einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen wenigstens eines plattenartigen Substrats auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugegriffen.
  • In einer dritten Phase werden die Substratträger des Substratträgerstapels, welcher sich momentan in dem ungestapelten Zustand befindet, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation derart bewegt, dass die Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem alle Substratträger den Substratträgerstapel bilden. Die dritte Phase kann umfassen, den jeweiligen unteren Substratträger dem jeweiligen oberen Substratträger von jedem jeweiligen Paar von vertikal benachbarten Substratträgern der vertikal versetzten Substratträger in der Schließoperation durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers nach vertikal oben vertikal anzunähern.
  • Der Prozess kann vorzugsweise unter Verwendung der Öffnungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung, auf welche sich vorangehend bezogen wurde, ausgeführt werden.
  • Die Öffnungsvorrichtung kann zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels eines vorteilhaften Typs eingerichtet sein und der Prozess zum Zugreifen auf einen oder mehrere Substratsitze eines jeweiligen Substratträgers eines Substratträgerstapels kann auf einen Substratträgerstapel dieses bevorzugten Typs, wie im Folgenden definiert, angewendet werden, und zwar einen Substratträgerstapel, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger einen äußeren Trägerrahmen aufweist, welcher sich in einer horizontalen Rahmenebene um eine eine innere Öffnung umfassende innere Zone erstreckt, und mit einem Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels versehen ist, wobei der innere Aufnahmeraum oder Abschnitte davon durch die inneren Öffnungen der Substratträger des Substratträgerstapels definiert sind.
  • Jeder der Substratträger weist an seinem äußeren Trägerrahmen wenigstens eine obere Halteformation und wenigstens eine untere Halteformation derart auf, dass ein unterer Substratträger eines jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels mit seiner wenigstens einen oberen Halteformation den oberen Substratträger von diesem Paar von vertikal benachbarten Substratträgern an seiner wenigstens einen unteren Halteformation trägt.
  • Jeder Substratträger des Substratträgerstapels erfüllt vorzugsweise ferner die folgenden Merkmale:
    • - der äußere Trägerrahmen umfasst: einen ersten Rahmensteg, welcher sich entlang einer ersten Rahmenstegachse erstreckt, einen zweiten Rahmensteg, welcher sich entlang einer zweiten Rahmenstegachse erstreckt, einen dritten Rahmensteg, welcher sich entlang einer dritten Rahmenstegachse erstreckt, und einen vierten Rahmensteg, welcher sich entlang einer vierten Rahmenstegachse erstreckt,
    • - die erste Rahmenstegachse schneidet die vierte Rahmenstegachse unter einem rechten Winkel an einer ersten Ecke (Eckpunkt), welche dem ersten Rahmensteg und dem vierten Rahmensteg und einem ersten Rahmeneckenbereich des äußeren Trägerrahmens zugeordnet ist, an welcher der erste Rahmensteg und der vierte Rahmensteg einstückig/integral verbunden sind,
    • - die erste Rahmenstegachse schneidet die zweite Rahmenstegachse unter einem rechten Winkel an einer zweiten Ecke (Eckpunkt), welche dem ersten Rahmensteg und dem zweiten Rahmensteg und einem zweiten Rahmeneckenbereich des äußeren Trägerrahmens zugeordnet ist, an welcher der erste Rahmensteg und der zweite Rahmensteg einstückig/integral verbunden sind,
    • - die dritte Rahmenstegachse schneidet die vierte Rahmenstegachse unter einem rechten Winkel an einer vierten Ecke (Eckpunkt), welche dem dritten Rahmensteg und dem vierten Rahmensteg und einem vierten Rahmeneckenbereich des äußeren Trägerrahmens zugeordnet ist, an welcher der dritte Rahmensteg und der vierte Rahmensteg einstückig/integral verbunden sind,
    • - die dritte Rahmenstegachse schneidet die zweite Rahmenstegachse unter einem rechten Winkel an einer dritten Ecke (Eckpunkt), welche dem dritten Rahmensteg und dem zweiten Rahmensteg und einem dritten Rahmeneckenbereich des äußeren Trägerrahmens zugeordnet ist, an welcher der dritte Rahmensteg und der zweite Rahmensteg einstückig/integral verbunden sind.
  • Der Begriff Ecke oder Eckpunkt (Englisch: „vertex“) ist hier geometrisch gemeint und bezeichnet hier den jeweiligen Schnittpunkt der genannten Achsen, also die jeweilige Ecke oder den jeweiligen Eckpunkt des von den Achsen definierten Rechtecks oder Quadrats. Dieser Ecke bzw. diesem Eckpunkt muss also nicht zwingend eine Struktur oder ein strukturelles Merkmal des äußeren Trägerrahmens entsprechen.
  • Die Substratträger des Substratträgerstapels dieses bevorzugten Typs können jeweils mit einem Satz von auch als Kopplungselemente bezeichenbaren Schnittstellenelementen bereitgestellt sein, welche an einem äußeren Umfang des äußeren Trägerrahmens angeordnet sind, an welchem mit ihm mit dem jeweiligen Substratträger individuell und direkt interagiert werden kann, ohne notwendigerweise mit anderen Substratträgern des Substratträgerstapels zu interagieren. Die Schnittstellenelemente können Vorsprungselemente sein, welche von einer Nachbarschaft des äußeren Umfangs des jeweiligen äußeren Trägerrahmens derart horizontal vorstehen, dass die Vorsprungselemente von unten für ein individuelles Stützen eines jeweiligen Substratträgers eingegriffen werden können und den jeweiligen Substratträger vertikal in Bezug auf wenigstens einen anderen Substratträger relativ zu bewegen, welcher unter dem jeweiligen Substratträger in dem Substratträgerstapel positioniert ist. Diese Schnittstellenelemente oder Vorsprungselemente eines jeweiligen Substratträgers können die oben erwähnten Gegen-Eingriffsformationen realisieren, welche durch zugeordnete Eingriffsformationen der Öffnungsvorrichtung eingegriffen werden können.
  • Die Anordnung kann derart sein, dass jeder Substratträger ein Paar von Vorsprungselementen, welche in einer gemeinsamen horizontalen Richtung vorstehen, und ein anderes Paar von Vorsprungselementen aufweist, welche in einer entgegengesetzten gemeinsamen horizontalen Richtung vorstehen, wobei die Vorsprungselemente an einem jeweiligen der Rahmeneckenbereiche, vorzugsweise an einem im Wesentlichen ebenen äußeren Eckenabschnitt des jeweiligen Rahmeneckenbereichs, oder an einem jeweiligen Rahmensteg, nahe zu einem jeweiligen Rahmeneckenbereich, derart vorgesehen sein können, dass die Vorsprungselemente an dem Substratträgerstapel in vier Sätzen von vertikal versetzten Vorsprungselementen angeordnet sind. Entsprechend kann die Öffnungsvorrichtung vier Sätze von vertikal versetzten Eingriffsformationen aufweisen.
  • Ein erstes Vorsprungselement kann an dem ersten Rahmeneckenbereich oder an dem vierten Rahmensteg nahe zu dem ersten Rahmeneckenbereich angeordnet sein und ein viertes Vorsprungselement kann an dem vierten Rahmeneckenbereich oder an dem vierten Rahmensteg nahe zu dem vierten Rahmeneckenbereich bereitgestellt sein, wobei das erste und das vierte Vorsprungselement in der gleichen horizontalen Richtung vorstehen, und ein zweites Vorsprungselement kann an dem zweiten Rahmeneckenbereich oder an dem zweiten Rahmensteg nahe zu dem zweiten Rahmeneckenbereich vorgesehen sein und ein drittes Vorsprungselement kann an dem dritten Rahmeneckenbereich oder an dem zweiten Rahmensteg nahe zu dem dritten Rahmeneckenbereich vorgesehen sein, wobei das zweite und das dritte Vorsprungselement in der gleichen Richtung vorstehen, welche zu der horizontalen Richtung entgegengesetzt ist, in welcher das erste und das vierte Vorsprungselement vorstehen.
  • Alternativ kann ein erstes Vorsprungselement an dem ersten Rahmeneckenbereich oder an den ersten Rahmensteg nahe zu dem ersten Rahmeneckenbereich bereitgestellt sein und ein zweites Vorsprungselement kann an dem zweiten Rahmeneckenbereich oder an dem ersten Rahmensteg nahe zu dem zweiten Rahmeneckenbereich bereitgestellt sein, wobei das erste und das zweite Vorsprungselement in der gleichen horizontalen Richtung vorstehen, und ein drittes Vorsprungselement kann an dem dritten Rahmeneckenbereich oder an dem dritten Rahmensteg nahe zu dem dritten Rahmeneckenbereich bereitgestellt sein und ein viertes Vorsprungselement kann an dem vierten Rahmeneckenbereich oder an dem dritten Rahmensteg nahe zu dem vierten Rahmeneckenbereich bereitgestellt sein, wobei das dritte und das vierte Vorsprungselement in der gleichen Richtung vorstehen, welche zu der horizontalen Richtung entgegengesetzt ist, in welcher das erste und das vierte Vorsprungselement vorstehen.
  • Das erste und das vierte Vorsprungselement oder das erste und das zweite Vorsprungselement können Vorsprungselemente eines ersten Typs sein und das zweite und das dritte Vorsprungselement oder das dritte und das vierte Vorsprungselement können Vorsprungselemente eines zweiten Typs sein, wobei ein Vorsprungselement des ersten Typs und ein Vorsprungselement des zweiten Typs unterschiedliche Formen aufweisen oder/und an oder relativ zu dem jeweiligen Rahmeneckenbereich unterschiedlich positioniert sind. Die Vorsprungselemente des ersten und des zweiten Typs können die oben erwähnten Gegen-Eingriffsformationen des ersten und zweiten Typs realisieren, welche durch eine jeweilige zugeordnete Eingriffsformation des ersten Typs bzw. des zweiten Typs der Öffnungsvorrichtung eingegriffen werden können.
  • Zum Beispiel kann ein Vorsprungselement des ersten Typs ein Vorsprungselement sein, welches nahe oder benachbart zu einem äußeren transversalen Rand des äußeren Trägerrahmens angeordnet ist, und ein Vorsprungselement des zweiten Typs kann ein Vorsprungselement sein, welches etwas weiter nach innen in Bezug auf den äußeren transversalen Rand des äußeren Trägerrahmens angeordnet ist als ein Vorsprungselement des ersten Typs. Natürlich können solche Vorsprungselemente in einer unterschiedlichen Weise einem ersten Typ und einem zweiten Typ von Vorsprungselementen zugeordnet werden, so dass ein Vorsprungselement des zweiten Typs ein Vorsprungselement sein kann, welches nahe oder benachbart dem äußeren transversalen Rand des äußeren Trägerrahmens angeordnet ist, und ein Vorsprungselement eines ersten Typs kann ein Vorsprungselement sein, welches etwas weiter nach innen angeordnet ist in Bezug auf den äußeren transversalen Rand des äußeren Trägerrahmens als ein Vorsprungselement des zweiten Typs.
  • Vorzugsweise können die Vorsprungselemente an dem Substratträgerstapel in mehreren Sätzen von vertikal versetzten Vorsprungselementen angeordnet sein, wobei die Vorsprungselemente eines jeweiligen Satzes derart angeordnet sind, dass vertikal direkt benachbarte Vorsprungselemente nicht vertikal überlappen oder nicht vollständig vertikal überlappen.
  • Der Substratträgerstapel, welcher die Substratträger des bevorzugten Typs umfasst, kann vorzugsweise ferner dadurch gekennzeichnet sein, dass jeder Substratträger des Substratträgerstapels wenigstens eine erste Positionierungsformation und wenigstens eine zweite Positionierungsformation aufweist, wobei für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern die wenigstens eine erste Positionierungsformation des unteren Substratträgers dieses Paares von vertikal benachbarten Substratträgern mit der wenigstens einen zweiten Positionierungsformation des oberen Substratträgers dieses Paares von vertikal benachbarten Substratträgern eingreift oder eingreifbar ist, um eine genaue relative Positionierung der beiden Substratträger dieses Paares von vertikal benachbarten Substratträgern sicherzustellen oder dazu beizutragen.
  • Jeder Substratträger des Substratträgerstapels des bevorzugten Typs kann eines oder mehrere der folgenden Merkmale ferner verwirklichen:
    • - eine Mehrzahl von Substrat-Haltearmen erstrecken sich von dem äußeren Trägerrahmen nach innen und nach oben, welche mit der inneren Zone überlappen und den Substratsitz bilden, welcher in einem Abstand über der vertikalen Erstreckung des Trägerrahmens angeordnet ist und dazu eingerichtet ist, ein plattenartiges Substrat mit einem kreisförmigen Umfang und einem Durchmesser zu tragen, welcher einem vorbestimmten erlaubbaren Durchmesser entspricht oder innerhalb eines vorbestimmten erlaubbaren Durchmesserbereichs liegt, welcher durch einen vorbestimmten erlaubbaren minimalen Durchmesser und einen vorbestimmten erlaubbaren maximalen Durchmesser gegeben ist;
    • - wenigstens ein erster bogenförmiger Abschnitt eines die innere Zone unterteilenden ersten Unterteilungsstegs des Substratträgers erstreckt sich in einem Raum zwischen dem vierten Rahmensteg und der inneren Öffnung und definiert wenigstens eine erste Hilfsöffnung,
    • - wenigstens ein zweiter bogenförmiger Abschnitt eines die innere Zone unterteilenden zweiten Unterteilungsstegs des Substratträgers erstreckt sich in einem Raum zwischen dem zweiten Rahmensteg und der inneren Öffnung und definiert wenigstens eine zweite Hilfsöffnung,
    • - die bogenförmigen Abschnitte weisen einen Krümmungsradius auf, welcher auf den vorbestimmten Durchmesser oder den vorbestimmten Durchmesserbereich angepasst ist.
  • Dieser Substratträgerstapel kann vorzugsweise ferner dadurch gekennzeichnet sein, dass die bogenförmigen Abschnitte der Unterteilungsstege der Substratträger des Substratträgerstapels den inneren Aufnahmeraum des Substratträgerstapels wenigstens in einer Richtung parallel zu einer ersten horizontalen Achse des Stapels von Trägern begrenzen, welche parallel zu der ersten und der dritten Rahmenstegachse der Substratträger ist; wobei die ersten Hilfsöffnungen und die zweiten Hilfsöffnungen der inneren Zonen der Substratträger des Substratträgerstapels wenigstens einen ersten Spülkanal und wenigstens einen zweiten Spülkanal des Substratträgerstapels bilden, welche sich vertikal parallel zu dem inneren Aufnahmeraum an entgegengesetzten Seiten davon erstrecken; und wobei der Substratträgerstapel mit Spülstrukturen bereitgestellt ist, welche horizontale Spülgasströme innerhalb des Substratträgerstapels durch Freiräume zwischen Substraten erlauben, welche durch die Substratsitze der Substratträger gehalten sind. Zum Ermöglichen einer Spülbehandlung der Substrate, welche innerhalb des Substratträgerstapels gehalten sind, kann eine Einheit der Abdeckungseinheit und der Basiseinheit einen ersten Anschluss aufweisen, welcher mit dem ersten Spülkanal in Verbindung steht, und eine Einheit der Abdeckungseinheit und der Basiseinheit kann einen zweiten Anschluss aufweisen, welcher mit dem zweiten Spülkanal in Verbindung steht, so dass Spülgas in den Substratträgerstapel über einen aus dem ersten Anschluss und dem zweiten Zugang zugeführt werden kann, welcher als Zuführanschluss dient, und aus dem Substratträgerstapel über den anderen aus dem ersten Anschluss und dem zweiten Anschluss abgegeben werden kann, welcher als Abgabeanschluss dient, um einen Spülgasstrom durch den inneren Aufnahmeraum über diesen ersten und zweiten Reinigungskanal und Spüldurchgänge der Spülstrukturen zu erreichen.
  • Die Reinraumeinrichtung, auf welche sich in dem Vorhergehenden bezogen worden ist, kann vorzugsweise mit Spülgasverbindungseinheiten bereitgestellt sein, um mit einem jeweiligen aus dem ersten Anschluss und dem zweiten Anschluss eines jeweiligen Substratträgerstapels zu verbinden, um eine Spülbehandlung von Substraten zu erlauben, welche innerhalb des Substratträgerstapels aufgenommen sind. Vorzugsweise kann die erwähnte Lagervorrichtung solche Sätze von Spülgasverbindungseinheiten aufweisen, so dass ein jeweiliger Substratträgerstapel, welcher innerhalb dieser Lagervorrichtung aufgenommen ist, zum Beispiel auf einem Speicherregal oder dergleichen positioniert ist, mit einer Spülgas-Versorgungsleitung und einer Spülgas-Abgabeleitung verbunden sein kann, so dass Substrate, welche innerhalb des Substratträgerstapels gehalten sind, einer Spülbehandlung unterzogen werden können.
  • Die Anordnung kann derart sein, dass die Basiseinheit eines jeweiligen Substratträgerstapels mit dem Zuführanschluss als auch mit dem Abgabeanschluss versehen ist, so dass die Verbindungen mit der zugeordneten Spülgas-Versorgungsleitung und der zugeordneten Spülgas-Abgabeleitung automatisch hergestellt werden können, wenn ein jeweiliger Substratträgerstapel genau an oder in einer Speicherposition der Lagervorrichtung positioniert wird. Zu diesem Zweck kann die Speicherposition passende Gegen-Verbindungseinheiten aufweisen, welche mit an der Bodenseite der Basiseinheit bereitgestellten, den Zuführanschluss und den Abgabeanschluss realisierenden passenden Verbindungseinheiten durch korrektes Positionieren des jeweiligen Substratträgerstapels an oder in der Speicherposition eingreifbar sind. Geeignete männliche und weibliche Verbindungseinheiten zum Herstellen von dichten Gasverbindungen sind im Stand der Technik gut bekannt, so dass keine zusätzlichen Informationen gegeben werden müssen.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform eines Substratträgerstapels, welcher mehrere Substratträger, eine Basiseinheit (oder eine Basis) und eine Abdeckungseinheit (oder eine Abdeckung oder einen Deckel) umfasst.
    • 2 ist eine perspektivische Ansicht des Substratträgerstapels gemäß 1, wobei Substrate durch die Substratträger gehalten sind, und die Basiseinheit und die Abdeckungseinheit entfernt sind.
    • 3 ist eine Ansicht von oben nach unten eines Substratträgers, welcher ein Substrat hält, gemäß einer zweiten Ausführungsform, welche sich von den Substratträgern der ersten Ausführungsform, wie durch den Substratträgerstapel gemäß 1 und 2 umfasst, leicht unterscheidet.
    • 4 ist eine Ansicht von oben nach unten des Substratträgers gemäß 3 ohne das Substrat.
    • 5 ist eine perspektivische Querschnittsansicht eines Substratträgerstapels mit einer Abdeckungseinheit und einer Basiseinheit gemäß einer weiteren Ausführungsform, welche zu der zweiten Ausführungsform sehr ähnlich ist.
    • 6 zeigt einen Substratträgerstapel, welcher Substratträger einer weiteren Ausführungsform umfasst, welche aufeinander zusammen mit einer Basiseinheit und einer Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels angemessen gestapelt sind.
    • 7A ist eine Seitenansicht des Substratträgerstapels aus 6; und
    • 7B ist eine seitliche Nahansicht von Interaktionselementen, welche in der Form von Vorsprungselementen der Substratträger gemäß einem Detail B in 7A bereitgestellt sind.
    • 8 ist eine perspektivische Ansicht von Eckenbereichen von vier Substratträgern des Substratträgerstapels aus 6, welche richtig aufeinander gestapelt sind, mit gegenseitig eingegriffenen Positionierungsformationen zum Erhalten und Behalten einer genauen relativen Positionierung der Substratträger innerhalb des Substratträgerstapels und
    • 9A stellt schematisch eine Reinraumeinrichtung dar, welche eine Lageranordnung zum Speichern von Substratträgerstapeln, wenigstens ein sog. Equipment Front End Module, EFEM, oder Geräte-Frontend-Modul mit wenigstens einem Belade- oder Verbindungszugang und einer Öffnungsvorrichtung, welche der Lageranordnung und dem EFEM zugeordnet ist, umfasst.
    • 9B stellt schematisch eine weitere Reinraumeinrichtung dieser Art dar, welche mehrere solcher Öffnungsvorrichtungen umfasst, welche der Lageranordnung und dem EFEM zugeordnet sind.
    • 10 ist eine perspektivische Ansicht einer ersten Seite und einer vierten Seite einer beispielhaften Ausführungsform einer Öffnungsvorrichtung gemäß der Erfindung, wobei ein erster Belade- und Entladezugang zum Zugreifen auf Substratträger innerhalb eines geöffneten Substratträgerstapels an der ersten Seite der Öffnungsvorrichtung gesehen werden kann.
    • 11 ist eine perspektivische Ansicht einer zweiten Seite und einer dritten Seite der Öffnungsvorrichtung, wobei ein zweiter Belade- und Entladezugang zum Beladen und Entladen von Substratträgerstapeln in den und von dem Öffner an der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung gesehen werden kann.
    • 12 ist eine perspektivische Ansicht der vierten Seite und der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung ohne einige Gehäuse- und Paneelelemente der Öffnungsvorrichtung.
    • 13 ist eine perspektivische Ansicht der dritten Seite und der ersten Seite der Öffnungsvorrichtung ohne manche Gehäuse- und Paneelelemente der Öffnungsvorrichtung.
    • 14A ist eine perspektivische Ansicht einer oberen Seite eines Schlittens der Öffnungsvorrichtung; und
    • 14B ist eine perspektivische Ansicht einer unteren Seite des Schlittens der Öffnungsvorrichtung.
    • 15A ist eine Seitenansicht eines Satzes von vertikal versetzten Eingriffsformationen eines ersten und eines zweiten Typs, welche an eine Anbringungssäule der Öffnungsvorrichtung montiert sind;
    • 15B ist eine seitliche Nahansicht auf zwei benachbarte Eingriffsformationen gemäß einem Detail B in 15A;
    • 15C ist eine seitliche Nahansicht auf mehrere benachbarte Eingriffsformationen gemäß einem Detail C in 15A;
    • 15D ist eine seitliche Nahansicht auf eine Eingriffsformation gemäß einem Detail D in 15C; und
    • 15E ist eine nach unten gerichtete Schnittansicht der Anbringungssäule mit Eingriffsformationen des ersten und zweiten Typs, welche daran angebracht sind, gemäß einem Schnitt E-E in 15A.
    • 16A ist eine perspektivische Ansicht auf eine Eingriffsformation des ersten Typs;
    • 16B ist eine Seitenansicht der Eingriffsformation des ersten Typs; und
    • 16C ist eine Seitenquerschnittsansicht der Eingriffsformation des ersten Typs gemäß einem Schnitt C-C in 16B.
    • 17A ist eine Seitenansicht einer vertikal bewegbaren Interaktionsvorrichtung der Öffnungsvorrichtung, welche dazu dient, Betätigungskräfte auf zugeordnete Eingriffsformationen der Öffnungsvorrichtung mittels eines Betätigungselements zu applizieren, welches in einer transversalen Richtung bewegbar ist;
    • 17B ist eine perspektivische Ansicht der Interaktionsvorrichtung; und
    • 17C ist eine Ansicht der Interaktionsvorrichtung von oben nach unten.
    • 18 zeigt in Unterfiguren a), b) und c) eine nach unten gerichtete Schnittansicht auf die bewegbare Interaktionsvorrichtung, entsprechend 17C, für drei unterschiedliche transversale Positionen eines Betätigungselements der bewegbaren Interaktionsvorrichtung.
    • 19A ist eine weitere Seitenansicht der bewegbaren Interaktionsvorrichtung;
    • 19B ist eine nach oben gerichtete Schnittansicht der bewegbaren Interaktionsvorrichtung gemäß einem Schnitt B-B in 19A; und
    • 19C ist eine Seitenquerschnittsansicht der bewegbaren Interaktionsvorrichtung gemäß einem Schnitt C-C in 19A.
    • 20 ist eine Seitenansicht der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung ohne eine Stirnplatte, welche zu einem Gehäuse der Öffnungsvorrichtung gehört.
    • 21 ist eine Seitenansicht der vierten Seite der Öffnungsvorrichtung.
    • 22A ist eine Seitenansicht der ersten Seite der Öffnungsvorrichtung;
    • 22B ist eine nach unten gerichtete Schnittansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Schnitt B-B in 22A;
    • 22C ist eine nach oben gerichtete Schnittansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Schnitt C-C in 22A; und
    • 22D ist eine nach oben gerichtete Nahansicht einer Schnittansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Detail B in 22B.
    • 23A ist eine Seitenansicht der dritten Seite der Öffnungsvorrichtung;
    • 23B ist eine Nahansicht einer Seitenansicht der dritten Seite gemäß einem Detail B in 23A;
    • 23C ist eine Nahansicht einer Seitenansicht der dritten Seite gemäß einem Detail C in 23A;
    • 23D ist eine Seitenquerschnittsansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Schnitt D-D in 23A;
    • 23E ist eine Seitenquerschnittsansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Detail E in 23D;
    • 23F ist eine Seitenquerschnittsansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Detail F in 23D;
    • 23G ist eine nach unten gerichtete Schnittansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Schnitt G-G in 23A;
    • 23H ist eine Seitenquerschnittsansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Schnitt H-H in 23A;
    • 231 ist eine Seitenquerschnittsansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Detail 1 in 23G; und
    • 23J ist eine nach unten gerichtete Schnittansicht der Öffnungsvorrichtung gemäß einem Detail J in 23G.
    • 24A ist eine nach unten gerichtete Schnittansicht der Anbringungssäule analog zu 15E und zeigt alternative Eingriffsformationen eines ersten und zweiten Typs, welche an der Anbringungssäule angebracht sind, welche zu einer Variante der beispielhaften Ausführungsform der Öffnungsvorrichtung gehört.
    • 24B ist eine Teil-Seitenansicht, welche zu der Ansicht aus 17A im Wesentlichen analog ist, auf ein Betätigungselement einer alternativen bewegbaren Interaktionsvorrichtung, welche zu der Variante der Öffnungsvorrichtung gehört.
    • 25 stellt schematisch die Interaktion des Betätigungselements gemäß 24B mit Eingriffsformationen gemäß 24A in dem Verlauf einer Öffnungsoperation und einer Schließoperation der Variante der Öffnungsvorrichtung dar, wobei Teilfiguren a) bis e) einer Zeitabfolge von Interaktionszuständen in dem Verlauf der Öffnungsoperation entsprechen und Teilfiguren f) bis j) einer Zeitabfolge von Interaktionszuständen in dem Verlauf der Schließoperation entsprechen.
    • 26 zeigt in einer Teil-Seitenansicht Details einer bevorzugten Variante der Öffnungsvorrichtung, welche die Realisierung und Überwachung von deren Eingriffsformationen des ersten und zweiten Typs betreffen.
    • 27 ist eine Teil-Seitenansicht von weiteren Details einer bevorzugten Ausführungsform der Öffnungsvorrichtung, umfassend einen Aktuator zum Betätigen eines Halteelements, welches dazu dient, einen Substratträgerstapel in einer oberen Belade-Position innerhalb der Öffnungsvorrichtung zu halten, und einen Sensor, welcher dazu dient, die Anwesenheit eines Substratträgerstapels in der oberen Belade-Position zu erfassen.
    • 28 ist eine Teilansicht einer inneren Seite der Öffnungsvorrichtung, welche das Halteelement und ein weiteres Halteelement gemäß 27 zeigt, welche eine Halteposition annehmen.
    • 29A und 29B stellen schematisch eine Ausführungsform einer Öffnungsvorrichtung gemäß der Erfindung dar, und zeigen einen Substratträgerstapel, welcher auf einem Schlitten der Öffnungsvorrichtung platziert ist, in dem gestapelten Zustand ( 29A), und den Substratträgerstapel in dem ungestapelten Zustand (29B)
    • 30A und 30B und 30C stellen schematisch eine alternative Ausführungsform einer Öffnungsvorrichtung gemäß der Erfindung dar, und zeigen einen Substratträgerstapel, welcher auf einem Schlitten der Öffnungsvorrichtung platziert ist, in dem gestapelten Zustand (30A), und den Substratträgerstapel in einem ersten teilweisen ungestapelten Zustand (30B) und in einem zweiten teilweisen ungestapelten Zustand (30C).
    • 31 stellt schematisch den Schlitten einer Variante der Öffnungsvorrichtung gemäß 29A und 29B dar und zeigt einen Substratträgerstapel in dem gestapelten Zustand, welcher auf dem Schlitten platziert ist.
    • 32 stellt schematisch den Schlitten einer Variante der Öffnungsvorrichtung gemäß 30A bis 30C dar und zeigt einen Substratträgerstapel in dem gestapelten Zustand, welcher auf dem Schlitten platziert ist.
    • 33 stellt schematisch eine alternative Ausführungsform einer Öffnungsvorrichtung gemäß der Erfindung dar und zeigt einen Substratträgerstapel in einem teilweise ungestapelten Zustand, welcher einer aus drei möglichen teilweise ungestapelten Zuständen ist.
    • 34 stellt schematisch eine Variante der Öffnungsvorrichtung gemäß 29A und 29B dar und zeigt einen Substratträgerstapel mit einer Abdeckungseinheit und einer Basiseinheit in dem ungestapelten Zustand.
    • 35 stellt in Unterfiguren a) bis d) schematisch den obersten Substratträger eines Substratträgerstapels, welcher auf dem Schlitten positioniert ist, einer Öffnungsvorrichtung gemäß verschiedenen Varianten der Substratträger dar, um zugeordnete Varianten der Öffnungsvorrichtung anzuzeigen.
    • 36 stellt in Unterfiguren a) bis d) schematisch den obersten Substratträger eines Substratträgerstapels, welcher auf dem Schlitten positioniert ist, einer Öffnungsvorrichtung gemäß weiteren verschiedenen Varianten der Substratträger dar, um zugeordnete Varianten der Öffnungsvorrichtung anzuzeigen.
    • 37 ist ein schematisches Blockdiagramm von verschiedenen Verarbeitungs-, Erfassungs-, Antriebs- und Betätigungsmitteln einer Öffnungsvorrichtung, wie beispielsweise der Öffnungsvorrichtung und ihren Varianten, welche in den vorausgehenden Figuren gezeigt sind.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
  • 1 bis 5 entsprechen 1 bis 4 und 8A von US 2017/0372930 A1 und stellen bevorzugte Typen von Substratträgern und Substratträgerstapeln dar. Zusätzlich zu der folgenden Beschreibung wird sich auch auf die Beschreibung dieser und weiterer Ausführungsformen bezogen, welche in US 2017/0372930 A1 gegeben sind. Derartige Substratträger und ein Substratträgerstapel können bereitgestellt werden, um ein hochdichter Ersatz oder eine hochdichte Erweiterung zu bereits bestehenden Systemen und Transfermechanismen, wie beispielsweise FOUPs, zu sein, wobei sie eine höhere Speicherdichte und verbesserte und zusätzliche und vergrößerte Fähigkeiten bereitstellen, wie voranstehend erwähnt. Die Öffnungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung kann dazu eingerichtet sein, derartige Typen von Substratträgerstapeln aufzunehmen und zu öffnen und zu schließen.
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform eines Substratträgerstapels 10, umfassend mehrere Substratträger 12, welche aufeinander gestapelt sind, wobei die Substratträger auf einer Basiseinheit 14 des Substratträgerstapels gestapelt sind und eine Abdeckungseinheit 16 des Substratträgerstapels auf den Substratträgern gestapelt ist. Gemäß der hierin verwendeten Terminologie können die Basiseinheit 14 und die Abdeckungseinheit 16 als Teil des Substratträgerstapels 10 betrachtet werden.
  • Wie gezeigt in 1 kann die Basiseinheit 14 eine Gas-Verbindungseinheit 20 umfassen und die Abdeckungseinheit 16 kann eine Gas-Verbindungseinheit 22 umfassen, welche mit einer Gas-Versorgung und einer Gas-Rückführung verbunden sein können, so dass das Gas in die innere Umgebung der Substrate eingeführt werden kann, welche durch die Substratträger 12 innerhalb des Substratträgerstapels 10 gehalten werden, so dass die Substrate mit dem Gas interagieren oder durch das Gas behandelt werden. Alternativ kann die Basiseinheit zwei derartige Gas-Verbindungseinheiten aufweisen, welche als eine Versorgungs-Verbindungseinheit und eine Rückführungs-Verbindungseinheit dienen, oder die Abdeckungseinheit kann zwei derartiger Gas-Verbindungseinheiten aufweisen, welche als eine Versorgungs-Verbindungseinheit und eine Rückführungs-Verbindungseinheit dienen. Alternativ können überhaupt keine Gas-Verbindungseinheiten vorgesehen sein.
  • 2 ist eine perspektivische Ansicht der gestapelten Substratträger 18, das heißt der Mehrzahl von individuellen Substratträgern 12, welche aufeinander gestapelt sind, ohne die Basiseinheit 14 und die Abdeckungseinheit 16. Wie gezeigt in der Figur, kann jeder Substratträger 12 ein jeweiliges Substrat 30 halten. Zu diesem Zweck weist jeder Substratträger 12 eine Mehrzahl von Substrat-Haltearmen 32 auf, welche gemeinsam einen Substratsitz des jeweiligen Substratträgers bilden. Gemäß der gezeigten Ausführungsform weist ein jeweiliger Substratträger 12 vier Substrat-Haltearme 32 auf.
  • Die Mehrzahl 34 der Substrate 30, welche durch die Substratträger 12 des Substratträgerstapels 10 gehalten werden, sind an definierten vertikalen Positionen positioniert, mit definierten vertikalen Freiräumen zwischen vertikal benachbarten Substraten. Abhängig von dem Verwendungsszenario kann es möglich sein, dass nicht alle der Substratträger des Substratträgerstapels ein jeweiliges Substrat in ihrem jeweiligen Substratsitz halten. Falls alle Substratträger 12 des Substratträgerstapels 10 ein jeweiliges Substrat der gleichen Art halten, ist es bevorzugt, dass diese Substrate mittels der Substratsitze an gleichbeabstandeten vertikalen Positionen positioniert sind.
  • 3 ist eine Ansicht von oben nach unten eines Substratträgers 12 einer zweiten Ausführungsform, welcher ein Substrat 30 hält. Da die Substratträger der zweiten Ausführungsform sich nur leicht von den Substratträgern 12 des Substratträgerstapels 10 gemäß der ersten Ausführungsform unterscheiden, welche in 1 und 2 gezeigt ist, werden für beide Ausführungsformen die gleichen Bezugszeichen verwendet. 4 ist eine Ansicht des Substratträgers der zweiten Ausführungsform ohne das Substrat von oben nach unten.
  • Ähnlich zu den Substratträgern 12 der ersten Ausführungsform umfasst der Substratträger 12 der zweiten Ausführungsform einen äußeren Trägerrahmen 40, welcher vier Rahmenstege 42a, 42b, 42c und 42d aufweist, welche paarweise an einem jeweiligen Rahmeneckenbereich des äußeren Trägerrahmens integral verbunden sind. Die vier Rahmeneckenbereiche des äußeren Trägerrahmens 40 weisen zugeordnet die Bezugszeichen 44a, 44b, 44c und 44d auf. Der äußere Trägerrahmen ist wenigstens grob von einer quadratischen oder rechteckigen Form, in dem Fall der Ausführungsform, welche gezeigt ist, ist er in der Tat von im Wesentlichen quadratischer oder rechteckiger Form, wie aus 3 und 4 ersichtlich ist.
  • Der Substratträger 12 der zweiten Ausführungsform, ähnlich wie der Substratträger 12 der ersten Ausführungsform, weist vier Substrat-Haltearme 32 auf, welche zugeordnet die individuellen Bezugszeichen 32a, 32b, 32c und 32d aufweisen und mit ihrem jeweiligen freien Halteende den Substratsitz für das Substrat bilden. Das freie Halteende kann auch als Sitzabschnitt des jeweiligen Substrat-Haltearms bezeichnet werden. Wie in 4 gesehen werden kann, stehen die vier Substrat-Haltearme 32a, 32b, 32c und 32d nach innen von dem äußeren Trägerrahmen 40 vor, im Wesentlichen in einer Richtung zu einem Zentrum des Substrathalters.
  • Wie gezeigt in den Figuren, können die Substratträger 12 mit Vorsprüngen 50a, 50b und Ausnehmungen oder Öffnungen 52a, 52b versehen sein. Ein erstes Paar eines Vorsprungs 50a und einer benachbarten Ausnehmung oder einer benachbarten Öffnung 52a und ein zweites Paar eines Vorsprungs 50b und einer benachbarten Ausnehmung oder einer benachbarten Öffnung 52b sind an diametral entgegengesetzten Rahmeneckenbereichen 44a und 44c des äußeren Trägerrahmens 40 angeordnet. Jeder Vorsprung 50a, 50b kann in eine entsprechende jeweilige Öffnung oder Ausnehmung des vertikal benachbarten oberen Substratträgers ragen, welcher auf dem jeweiligen Substratträger gestapelt ist, und in jede Öffnung oder Ausnehmung 52a, 52b kann ein entsprechender jeweiliger Vorsprung des vertikal benachbarten unteren Substratträgers vorstehen, auf welchen der jeweilige Substratträger gestapelt ist. Hier werden nach oben vorstehende Vorsprünge angenommen, wie in den Figuren gezeigt. Alternativ sind nach unten vorstehende Vorsprünge möglich. In diesem Fall kann jeder Vorsprung in eine entsprechende jeweilige Öffnung oder Ausnehmung des vertikal benachbarten unteren Substratträgers vorstehen, auf welchen der jeweilige Substratträger gestapelt ist, und in jede Öffnung oder Ausnehmung kann ein entsprechender jeweiliger Vorsprung des vertikal benachbarten oberen Substratträgers vorstehen, welcher auf den jeweiligen Substratträger gestapelt ist. Auch eine Kombination von nach oben und nach unten vorstehenden Vorsprüngen ist möglich.
  • Es sei erwähnt, dass die Anordnung der Vorsprünge 50a, 50b und der Ausnehmungen oder Öffnungen 52a, 52b, wie in 3 und 4 gezeigt, derart ist, dass in einem Substratträgerstapel mit nur identischen Substratträgern, welche aufeinander gestapelt sind, die Vorsprünge aller Substratträger vertikal ausgerichtet wären und die Ausnehmungen oder Öffnungen aller Substratträger vertikal ausgerichtet wären, so dass kein Vorsprung mit einer zugeordneten Ausnehmung oder Öffnung des vertikal benachbarten unteren oder oberen Substratträgers eingreifen kann. Dies trifft auch in dem Fall zu, dass die Substratträger aufeinander in alternierenden relativen Rotationspositionen gestapelt wären, entsprechend Rotationen um 180° um eine vertikale Rotationsachse, so dass alternierend die Rahmeneckenbereiche 44a und 44c übereinander an diametral entgegengesetzten vertikalen Randbereichen des Substratträgerstapels angeordnet sind. Daher werden wenigstens zwei Untertypen von Substratträgern benötigt, und zwar der Substratträger 12 eines ersten Untertyps, wie gezeigt in 3 und 4, und ein Substratträger eines zweiten Untertyps, welcher im Wesentlichen identisch ist, aber die Positionen des jeweiligen Vorsprungs und der jeweiligen Ausnehmung oder Öffnung an dem jeweiligen Eckenbereich vertauscht aufweist, so dass ein gegenseitiger Eingriff zwischen vertikal als Nächstes benachbarten Substratträgern, ähnlich zu dem, was in 8 für eine andere Ausführungsform gezeigt ist, erreicht werden kann.
  • Die Substratträger 12 gemäß den beiden Untertypen sind an einem äußeren Umfang des äußeren Trägerrahmens 40 mit besonderen Formationen bereitgestellt, in dem vorliegenden Fall Vorsprüngen 54a, 54b, 54c und 54d, welche in einer seitwärtigen oder horizontalen Richtung vorstehen und erlauben, dass eine Interaktionsvorrichtung oder ein Mechanismus, zum Beispiel eine/einen Handhabungs- oder Halterungs- oder Bewegungsvorrichtung oder -Mechanismus, mit einem jeweiligen Substratträger in einem Substratträgerstapel wechselwirkt.
  • In dem vorliegenden Fall gibt es vier derartige Kopplungs- oder Schnittstellenvorsprünge 54a, 54b, 54c und 54d, welche an einem jeweiligen der Rahmeneckenbereiche 44a, 44b, 44c und 44d angeordnet sind. Ein erster Typ dieser Vorsprünge, nämlich die Vorsprünge 54a und 54d sind an dem Rahmeneckenbereichen 44a und 44d angeordnet und stehen in einer seitwärtigen Richtung in Bezug auf ein Rahmensteg 42d vor, und ein zweiter Typ von diesen Vorsprüngen, nämlich die Vorsprünge 54b und 54c sind an den Rahmeneckenbereichen 44b und 44c angeordnet und ragen in einer seitwärtigen Richtung in Bezug auf ein Rahmensteg 42b vor, so dass die Vorsprünge des ersten Typs auf der einen Seite und die Vorsprünge des zweiten Typs auf der anderen Seite in entgegengesetzte Richtungen von dem äußeren Trägerrahmen 40 vorstehen.
  • Die Vorsprünge 54b und 54c des zweiten Typs sind etwas weiter nach innen an dem jeweiligen Rahmeneckenbereich entlang einer Rahmensteg-Achse angeordnet, welche dem Rahmensteg 42b zugeordnet sein kann, als die Vorsprünge 54a und 54d des ersten Typs, welche an dem jeweiligen Rahmeneckenbereich entlang einer Rahmensteg-Achse angeordnet sind, welche dem Rahmensteg 42d zugeordnet werden kann. Dies erlaubt ein Stapeln der Substratträger 12 gemäß den beiden Untertypen alternierend aufeinander, um horizontal versetzte Kopplungsvorsprünge zu erreichen, ähnlich zu dem, was in 5 und in 6, 7A, 7B und 8 gezeigt ist. Zu diesem Zweck sind die Substratträger der beiden Untertypen aufeinander in relativ rotierten relativen Positionen auf Grundlage von Rotationen um 180° um eine vertikale Achse gestapelt, so dass alternierend Kopplungsvorsprünge des ersten Typs und Kopplungsvorsprünge des zweiten Typs in der seitwärtigen Richtung von dem Substratträgerstapel vorstehen, welche in vertikaler Richtung nicht überlappen oder nur leicht überlappen. Dies ist zur Vereinfachung des Eingriffs von Eingriffsformationen einer Interaktionsvorrichtung oder eines Mechanismus, wie erwähnt, mit einem jeweiligen der Substratträger des Substratträgerstapels bevorzugt.
  • Es sei erwähnt, dass die Substratträger 12 des Substratträgerstapels 10 aus 1 und 2 verschiedene Arten von Kopplungsvorsprüngen aufweisen, welche in einer seitwärtigen oder horizontalen Richtung von dem äußeren Trägerrahmen des jeweiligen Substratträgers vorstehen. Gemäß der gezeigten Anordnung überlappen Kopplungsvorsprünge eines jeweiligen identischen Typs, welche von einem jeweiligen Rahmensteg oder jeweiligen Rahmeneckenbereichen der jeweiligen Substratträger vorstehen, vollständig in vertikaler Richtung. Es sei angenommen, dass dies der einzig relevante Unterschied zwischen der Ausführungsform von 1 und 2 und den Ausführungsformen von 3, 4 und 5 ist.
  • Die Substratträierger der Ausführungsformen, welche bisher beschrieben worden sind, können alle mit Unterteilungsstegen oder Trennstegen 60a und 60b bereitgestellt sein, wie zum Beispiel in den Figuren gezeigt, welche eine innere Zone 62 des jeweiligen Substratträgers 12 in mehrere Öffnungen teilen. Der äußere Trägerrahmen 40 erstreckt sich um die innere Zone und die Trennstege 60a und 60b erstrecken sich zwischen den Rahmenstegen 42a und 42c und sind mit diesen Rahmenstegen 42a und 42c derart integral verbunden, dass eine große innere Öffnung 64 und zwei Paare von kleineren inneren Öffnungen 66a, 66b und 68a, 68b gebildet sind. Die große innere Öffnung 64 ist zwischen einem ersten Paar von kleineren inneren Öffnungen 66a, 66b, welche sich zwischen dem Rahmensteg 42d und dem Trennsteg 60a erstrecken, und einem zweiten Paar von kleineren inneren Öffnungen 68a, 68b angeordnet, welche sich zwischen dem Rahmensteg 42b und dem Trennsteg 60b erstrecken. Die kleineren inneren Öffnungen weisen eine identische oder entsprechend symmetrische Form auf, wie in den Figuren gesehen werden kann. Aus Stabilitätsgründen sind die Trennstege 60a und 60b an einem medialen Bereich mit dem jeweiligen benachbarten Rahmensteg 42d bzw. 42b integral verbunden, so dass ein jeweiliges Paar von kleineren inneren Öffnungen erhalten wird. Es könnte stattdessen eine jeweilige größere innere Öffnung an beiden Seiten der größeren inneren Öffnung 64 bereitgestellt werden, falls keine derartige integrale Verbindung mit dem benachbarten Rahmensteg an dem medialen Bereich des jeweiligen Trennsteges realisiert werden würde.
  • Die großen inneren Öffnungen 64 der Substratträger 12 definieren einen inneren Aufnahmeraum eines Substratträgerstapels, umfassend die Substratträger 12. In diesem inneren Aufnahmeraum werden die Substrate oder Halbleiter-Wafer durch einen jeweiligen der Substratträger gehalten, wie in 2 gesehen werden kann. Die Substrate oder Wafer werden in einem inneren Bereich des inneren Aufnahmeraums gehalten, welcher in entgegengesetzten seitwärtigen Richtungen durch einen jeweiligen bogenförmigen Abschnitt der Trennstege 60a und 60b der Substratträger 12 des Substratträgerstapels begrenzt ist. Wie in 3 gesehen werden kann, weisen die bogenförmigen Abschnitte der Trennstege einen Krümmungsradius auf, welcher an den Durchmesser des Substrats oder Wafers angepasst ist, so dass die bogenförmigen Abschnitte sich in der Ansicht von 3 von oben nach unten mit einem kleinen definierten radialen Abstand entlang eines Abschnitts des äußeren Umfangs des Substrats oder Wafers erstrecken. Dieser Abstand kann wesentlich kleiner sein als in dieser Figur angezeigt.
  • Die kleineren inneren Öffnungen 66a, 66b und 68a, 68b der Substratträger definieren Spülgas-Verteilungskanäle oder Spülkanäle 70 und 72 des Substratträgerstapels. Es wird sich auf 3 bezogen. Anstelle von Kanal 70 kann man ein Paar von Kanälen 70a und 70b identifizieren, welche den kleineren inneren Öffnungen 66a, 66b entsprechen, und anstelle von Kanal 72 kann man ein Paar von Kanälen 72a und 72b identifizieren, welche den kleineren inneren Öffnungen 68a, 68b entsprechen. Es wird sich auf 4 bezogen. Einer dieser Verteilungskanäle 70 und 72 (oder von Paaren von Kanälen 70a, 70b und 72a, 72b) kann als ein Versorgungskanal (oder als ein Paar von Versorgungskanälen) dienen und der andere davon kann als ein Entfernungs- oder Sammelkanal (oder als ein Paar von Entfernungs- oder Sammelkanälen) dienen.
  • Wie gezeigt, sind diese Kanäle oder Paare von Kanälen diagonal entgegengesetzt oder in entgegengesetzten seitwärtigen Richtungen angeordnet, so dass die Substrate oder Wafer dazwischen in dem Substratträgerstapel angeordnet sind.
  • Insbesondere und mit Bezug auf 1, kann jeder der Kanäle oder jedes Paar von Kanälen in dem Substratträgerstapel mit einer jeweiligen zugeordneten der Düsen oder Verbindungseinheiten des Substratträgerstapels verbunden sein, falls eine Spülbehandlung der Substrate auszuüben ist. Das Spülgas kann an die Substrate über einen der Kanäle oder Paare von Kanälen weitergeleitet werden, so dass das Spülgas zwischen benachbarten Substraten hindurchtritt, welche innerhalb des Substratträgerstapels durch einen jeweiligen Substratträger gehalten werden, und es wird durch den anderen der Kanäle oder Paare von Kanälen gesammelt, nachdem es zwischen den Substraten hindurchgetreten ist.
  • 5 ist eine perspektivische Querschnittsansicht einer weiteren Ausführungsform eines Substratträgerstapels, umfassend mehrere Substratträger. Jedoch kann man annehmen, dass die Substratträger im Allgemeinen identisch oder sehr ähnlich zu jeweiligen Substratträgern 12 der ersten und zweiten Untertypen der vorausgehenden Figuren sind, und dass das Gleiche für die Basiseinheit 14 und die Abdeckungseinheit 16 gilt.
  • Eine weitere Ausführungsform eines Substratträgerstapels und von Substratträgern davon ist in 6, 7A, 7B und 8 gezeigt. Mit Bezug auf die Substratträger 12, welche in zwei Untertypen bereitgestellt sein können, wie in dem Vorausgehenden erklärt, kann es angenommen werden, dass die Substratträger mehr oder weniger identisch den beiden Untertypen von Substratträgern entsprechen, welche in dem Vorausgehenden mit Bezug auf 3 und 4 beschrieben worden sind. Jedoch sind die Abdeckungseinheit 16 und die Basiseinheit 14 etwas anders ausgebildet als die Abdeckungseinheiten und die Basiseinheiten, wie gezeigt in 1 und 5.
  • Alternativ kann nur ein Typ von Substratträgern, ohne jegliche Untertypen, bereitgestellt sein, welcher im Wesentlichen dem Substratträger gemäß 3 entspricht, aber die Positionen des jeweiligen Vorsprungs und der jeweiligen Ausnehmung oder Öffnung an nur einem der beiden diametral entgegengesetzten Eckenbereichen vertauscht aufweisend, so dass ein gegenseitiger Eingriff zwischen vertikal als Nächstes benachbarten Substratträgern, wie in 8 gezeigt, auf Grundlage von nur einem Typ von Substratträgern erreicht werden kann. Dies wird in der folgenden weiteren Beschreibung angenommen.
  • Demgemäß sind diametral gegenüberliegende Rahmeneckenbereiche, und zwar zum Beispiel der erste Rahmeneckenbereich 44a und der dritte Rahmeneckenbereich 44c, mit Positionierungsformationen bereitgestellt, und zwar Positionierungsvorsprüngen und Positionierungsausnehmungen oder Positionierungsöffnungen. In der vorliegenden Ausführungsform ist der erste Rahmeneckenbereich 44a mit einem Paar eines Vorsprungs 50a und einer Öffnung oder Ausnehmung 52a bereitgestellt und der dritte Rahmeneckenbereich 44c ist mit einem Paar eines Vorsprungs 50b und einer Ausnehmung oder einer Öffnung 52b bereitgestellt. Es wird sich auf 8 bezogen. Diese Positionierungsformationen stellen eine genaue relative Positionierung von vertikal als Nächstes benachbarten Substratträgern 12 innerhalb des Substratträgerstapels 10 sicher, umfassend eine relative Positionierung derart, dass benachbarte Substratträger in dem Substratträgerstapel um 180° um eine vertikale Rotationsachse rotiert worden sind.
  • 8 zeigt die Rahmen-Eckenbereiche 44a und 44c von mehreren Substratträgern 12, welche richtig aufeinander gestapelt sind. Insbesondere kann der gegenseitige Eingriff des Vorsprungs 50a eines jeweiligen unteren Substratträgers mit der Öffnung 52b eines oberen Substratträgers sowie eine transversal versetzte Anordnung der Kopplungsvorsprünge 54a und 54c der benachbarten Substratträger innerhalb des Substratträgerstapels gesehen werden. Dies ermöglicht eine vereinfachte Interaktion von externen Schnittstellenvorrichtungen, wie beispielsweise Bewegungsvorrichtungen, mit jeweiligen der Substratträger, da eine relativ große vertikale Lücke zwischen vertikal ausgerichteten Kopplungsvorsprüngen vorliegt, und zwar zwischen vertikal als Nächstes benachbarten Kopplungsvorsprüngen 54a sowie zwischen vertikal als Nächstes benachbarten Kopplungsvorsprüngen 54c.
  • 6 zusammen mit 7A und 7B zeigen ein Beispiel solch eines Substratträgerstapels 10. In dem vorliegenden Fall sind weit über fünfundzwanzig Substratträger 12, zum Beispiel siebenundzwanzig oder achtundzwanzig Substratträger 12 aufeinander gestapelt, wobei der unterste Substratträger 12 auf einer Basiseinheit 14 gestapelt ist und eine Abdeckungseinheit 16 auf den obersten Substratträger 12 gestapelt ist. Wie von den transversal versetzten Kopplungsvorsprüngen 54a und 54c und den transversal versetzten Kopplungsvorsprüngen 54b und 54d gesehen werden kann, sind die Substratträger 12 in der erklärten Weise relativ in Bezug aufeinander um eine vertikale Achse um 180° rotiert gestapelt, was durch die beschriebenen Positionierungsformationen gewährleistet wird, in dem vorliegenden Fall die Vorsprünge 50a, 50b und die Öffnungen oder Ausnehmungen 52a, 52b. Die Zeichnung macht es offensichtlich, dass eine hohe Stapeldichte und damit eine hohe Speicherdichte für Substrate erhalten wird, welche innerhalb des Substratträgerstapels 10 in den Sitzen der Substratträger 12 gehalten sind. Im Prinzip kann ein derartiger Substratträgerstapel eine beliebige Anzahl von Substratträgern umfassen, in der Tat also vielmehr Substratträger als in dem gezeigten nicht begrenzenden Beispiel. Eine gerade Anzahl von Substratträgern oder alternativ eine ungerade Anzahl von Substratträgern kann in solch einem Substratträgerstapel bereitgestellt sein.
  • Gemäß der perspektivischen Ansicht aus 6 und den Seitenansichten aus 7A und 7B scheinen die Basiseinheit 14 und die Abdeckungseinheit 16 im Wesentlichen in der Form einer Basisplatte und einer Abdeckungsplatte bereitgestellt zu sein, was in der Tat eine prinzipielle Option ist. Die Abdeckungsplatte müsste nur an ihrer unteren Seite mit einer geeigneten Ausnehmung zum Aufnehmen der Substrat-Haltearme der obersten Substratträger und der dadurch gehaltenen Substrate bereitgestellt sein. Alternativ können die Basiseinheit 14 und die Abdeckungseinheit 16 mit Strukturen zum Ermöglichen einer Reinigungsbehandlung der Substrate 30 bereitgestellt sein, welche innerhalb des Substratträgerstapels 10 gehalten sind, wie es beispielsweise für die Ausführungsformen der 1 und 5 der Fall ist.
  • Betreffend alle Typen von Substratträgerstapeln und Substratträgern, wie in dem Vorausgehenden beschrieben, sowie betreffend andere Typen von Substratträgerstapeln und Substratträgern, können die Substratsitze eines jeweiligen Substratträgers, welcher in einem Substratträgerstapel umfasst ist, nur zum Beladen eines Substrats in den Sitz oder zum Entladen eines Substrats von dem Sitz durch geeignete Belademittel zugänglich sein, nachdem ein jeweiliger vertikaler Belade- und Entladespalt zwischen dem Substratträger mit dem Substratsitz, auf welchen zuzugreifen ist, und dem Substratträger, welcher auf diesen Substratträger gestapelt ist, oder - falls bereitgestellt - zwischen dem Substratträger mit dem Substratsitz, auf welchen zugegriffen werden soll, und der Abdeckungseinheit, welche auf diesen Substratträger gestapelt ist, geöffnet worden ist. Zu diesem Zweck stellt die vorliegende Erfindung eine vorteilhafte Öffnungsvorrichtung bereit, für welche beispielhafte, nicht begrenzende Ausführungsformen in dem Folgenden beschrieben werden. Eine oder mehrere von derartigen Öffnungsvorrichtungen 100, welche auch kurz als „Öffner“ bezeichnet werden, können Teil einer Reinraumeinrichtung 80 sein, welche vorzugsweise in einer Anlage zur Halbleiter-Herstellung verwendet wird.
  • Eine beispielhafte Ausführungsform einer Reinraumeinrichtung 80, wie gezeigt in 9A, umfasst eine Lageranordnung 82, welche eine Speicherkammer 84 zum Aufnehmen und Speichern von Substratträgerstapeln 10, zum Beispiel Substratträgerstapeln des Typs, welcher in dem Vorausgehenden beschrieben worden ist, auf Speicherregalen oder anderem Halterungs- oder Halteequipment aufweist, und eine erste Roboteranordnung 90 zum Transferieren eines ausgewählten Substratträgerstapels 10 zu einer Öffnerstation 94, welche eine Öffnungsvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst, und zum Zurückführen eines jeweiligen Substratträgerstapels 10 von der Öffnerstation 94 zurück zu der Speicherkammer 84.
  • Die Öffnerstation 94 und ihre Öffnungsvorrichtung 100 dienen dazu, den jeweiligen Substratträgerstapel 10 durch Bringen der Substratträger oder einer ausgewählten Untergruppe von Substratträgern des Substratträgerstapels aus einem gestapelten Zustand in einen ungestapelten Zustand zu öffnen, so dass auf die Substratsitze der Substratträger zugegriffen werden kann. Die Öffnungsvorrichtung 100 dient ferner dazu, den jeweiligen Substratträgerstapel durch Bringen der Substratträger oder der ausgewählten Untergruppe von Substratträgern des Substratträgerstapels 10 aus dem ungestapelten Zustand zurück in den gestapelten Zustand zu schließen.
  • Eine zweite Roboteranordnung 92 dient dazu, auf die Substratsitze der Substratträger in dem ungestapelten Zustand zum Entladen eines jeweiligen individuellen Substrats, zum Beispiel eines Halbleiter-Wafers, von dem Substratsitz eines ausgewählten Substratträgers und Transferieren dessen zu einem Zugang eines Equipment Front End Module, EFEM, 86 und zum Beispiel in ein Front Opening Unified Pod, FOUP, 88, welches an den Zugang des EFEM 86 angelegt oder angekoppelt ist, zuzugreifen. Die zweite Roboteranordnung 92 dient ferner dazu, ein jeweiliges individuelles Substrat, zum Beispiel einen Halbleiter-Wafer, von einem Zugang des EFEM 86 oder eines FOUP 88, welches an den Zugang angelegt oder angekoppelt ist, zu der Öffnungsvorrichtung 100 zu transferieren, und das Substrat in den Substratsitz eines ausgewählten Substratträgers des Substratträgerstapels 10 in dem ungestapelten Zustand zu beladen. Das EFEM 86 kann mehrere derartige Zugänge aufweisen, zum Beispiel zwei derartige Zugänge, wie in 6A angezeigt.
  • Die Reinraumeinrichtung 80 von 9B entspricht der Reinraumeinrichtung aus 9A, mit der Ausnahme, dass sie mehrere Öffnungsvorrichtungen 100 aufweist, und zwar drei Öffnungsvorrichtungen 100 in dem vorliegenden Fall, welche nebeneinander in der Öffnerstation 94 angeordnet sind, um ein EFEM 86 mit mehreren Zugängen zum Anlegen von FOUPs 88 oder anderem Equipment und anderen Vorrichtungen aufzuweisen, und um einen anderen Typ einer zweiten Roboteranordnung 92 aufzuweisen, welche alle diese Zugänge, in dem vorliegenden Fall vier derartige Zugänge, und alle drei Öffnungsvorrichtungen 100 bedienen kann.
  • Eine geeignete beispielhafte Ausführungsform einer Öffnungsvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Erfindung, welche als Öffnungsvorrichtung 100 in der Öffnerstation 94 einer Reinraumeinrichtung 80 des Typs verwendet werden kann, wie gezeigt in 9A & 9B, ist in verschiedenen Ansichten in 10 bis 23J und 27 und 28 gezeigt. 24A, 24B, 25 und 26 stellen Varianten davon und ihren Betrieb dar. Ferner stellen 29A, 29B, 30A, 30B und 30C, 31 bis 34 und 37 die generelle Funktionsweise einer Öffnungsvorrichtung gemäß der Erfindung dar und stellen bestimmte Merkmale dar, wie eine solche Öffnungsvorrichtung und Varianten davon realisiert werden könnten. Die Öffnungsvorrichtung kann dazu eingerichtet sein, an verschiedenen Typen von Substratträgerstapeln und Substratträgern zu arbeiten, zum Beispiel wie schematisch in 35 und 36 dargestellt.
  • Der Fachmann wird verstehen, was in diesen Figuren gezeigt ist, auf Grundlage der detaillierten Informationen, welche in der obigen Übersicht gegeben worden sind, der Definitionen des beanspruchten Gegenstands, welcher in dem angefügten Anspruchssatz gegeben ist, und der folgenden Beschreibung. In dieser Beschreibung wird sich auf die Öffnungsvorrichtung kurz auch als „neuer Öffner“ oder „Öffner“ bezogen und es wird sich auf die Substratträger (zum Beispiel Substratträger 12, wie in dem Vorausgehenden beschrieben) kurz auch auf „Träger“ und auf einen Substratträgerstapel (zum Beispiel einen Substratträgerstapel 10, wie in dem Vorausgehenden beschrieben) kurz auch als „Stapel von Trägern“ oder „Stapel“ bezogen.
  • Als Erstes wird eine allgemeine Übersicht der beschriebenen Ausführungsform der Öffnungsvorrichtung 100 und ihrer Konstruktion und Funktionsweise gegeben werden, welcher eine detailliertere Beschreibung folgt.
  • Der neue Öffner arbeitet dadurch in einer vollkommen anderen Weise als eine Lösung des Stands der Technik, dass der neue Öffner eine neue Art von Bewegungsmechanismus 101 zum Ausüben von relativen Bewegungen zwischen den Trägern eines jeweiligen Stapels von Trägern aufweist. Der Bewegungsmechanismus 101 erlaubt es, dass ein Stapel von Trägern von der Oberseite der Maschine nach unten bewegt wird, und etwa zum Beispiel alle 5 cm werden Haltearme oder andere geeignete Eingriffsformationen, welche zu dem Bewegungsmechanismus gehören, in dem Weg dieses Stapels eingeführt, wodurch der jeweilige oberste Träger des Stapels gefangen und gehaltert und an der vertikalen Höhe gehalten wird, welche erreicht ist. Das selbe gilt für ein Abdeckelement oder die Abdeckungseinheit des jeweiligen Substratträgerstapels, falls ein solches Abdeckelement oder eine solche Abdeckungseinheit bereitgestellt ist. Demgemäß wird eine versetzte Anordnung von Trägern mit einem gegenseitigen Abstand von zum Beispiel in etwa 5 cm zwischen benachbarten Trägern erhalten. Daher wird der gesamte Stapel, welcher aus zum Beispiel fünfundzwanzig oder mehr Trägern besteht, in Bezug auf alle Träger geöffnet, so dass alle fünfundzwanzig Träger und jeweilige Substrate oder Wafer, welche innerhalb des Sitzes eines jeweiligen Trägers gehalten sind, durch einen Handhabungsroboter oder dergleichen zur gleichen Zeit zugänglich sind, ohne zusätzliche Öffnungsschritte.
  • Um dies zu erreichen, wird der Stapel von Trägern, welcher auf einer Halterung oder einem Schlitten 112 des Öffners gehalten ist (vergleiche die Gesamtübersichten des Öffners gemäß 10 bis 13), mittels zum Beispiel einer Riemenantrieb-Anordnung 130a, 130b von oben nach unten in der negativen Z-Achsrichtung, das heißt nach unten, bewegt. Die Halterung kann kurz an der Fangposition für jeden Träger stoppen und dann werden vorzugsweise zwei entgegengesetzte Haltearme an beiden Seiten in einer transversalen Richtung (das heißt vorzugsweise insgesamt vier Haltearme) bewegt, und zwar vorzugsweise von einer jeweiligen momentanen Freigabeposition in eine jeweilige Fangposition geschwenkt, um exakt den jeweiligen obersten Träger des momentanen Stapels von Trägern zu fangen und zu haltern. Die Haltearme können durch zugeordnete Schlitze einer Öffnergehäusewand zum Erreichen ihrer Fangpositionen bewegt oder verschwenkt werden. Ein Satz von insgesamt vier vertikal versetzten Haltearmen ist in 15A gezeigt und 15B bis 15E zeigen Details davon.
  • Demgemäß bewegt sich die Halterung oder der Schlitten 112 (vergleiche 14A und 14B), auf welcher/welchem der Stapel von Trägern in dem Öffner platziert ist und welche/welcher zu dem Bewegungsmechanismus 101 gehört, in jedem Schritt um den bestimmten Abstand zwischen den geöffneten Trägern abzüglich der Höhe eines Trägers nach unten. Zusammen mit der Halterung wird eine jeweilige Aktuatorvorrichtung 114a; 114b, welche dazu dient, die Haltearme zu betätigen, nach unten bewegt, was in 17A bis 17C, 18 und 19A bis 19C in verschiedenen Ansichten gezeigt ist. Die Aktuatorvorrichtung wird an/auf einer Halterung oder an/auf einem Schlitten getragen, welche/welcher mit der Halterung oder dem Schlitten verbunden ist, welche/welcher den Substratträgerstapel trägt. Alternativ kann eine gemeinsame Halterung oder ein gemeinsamer Schlitten für den Substratträgerstapel und die Aktuatorvorrichtung oder die Aktuatorvorrichtungen bereitgestellt sein. Vorzugsweise werden zwei derartige Aktuatorvorrichtungen 114a, 114b an entgegengesetzten Seiten der Halterung oder des Schlittens 112 bereitgestellt, wie in 12 und 13 gesehen werden kann. Jede Aktuatorvorrichtung dient vorzugsweise dazu, auf zwei jeweilige Haltearme zu einer jeweiligen Zeit einzuwirken.
  • Zum Schließen des Stapels von Trägern wird die Halterung oder der Schlitten 112 zurück in der positiven Z-Achsrichtung, das heißt nach oben, bewegt und die vier Haltearme werden aus der jeweiligen Fangposition durch die jeweilige Aktuatorvorrichtung zurück zu der jeweiligen Freigabeposition in einer angemessenen Zeit in Bezug auf die intermittierende Aufwärtsbewegung der Halterung bewegt.
  • 18 zeigt jeweilige Betriebspositionen eines Aktuatorarms oder eines Betätigungselements einer derartigen Aktuatorvorrichtung.
  • Alternativ können kontinuierliche Bewegungen der Halterung oder des Schlittens nach unten und nach oben in dem Öffnungs- und Schließprozess anstelle der erwähnten intermittierenden Bewegungen nach unten und nach oben vorgesehen sein. Dies ist die bevorzugte Lösung.
  • Die Haltearme können an zylindrischen Elementen 210 angeordnet sein, welche die Haltearme in Eingriff mit einer geeigneten Formation, zum Beispiel einem Schlitz, in dem Stapel von Trägern schwenken, wenn dieser die korrekte vertikale Position erreicht hat.
  • Vorzugsweise können zwei Arten von Haltearmen 200 und 202 in einer vertikal versetzten Weise bereitgestellt sein, welche dazu dienen, mit einer jeweiligen zugeordneten Art von Formation eines jeweiligen Trägers des Stapels zu interagieren, wie in 15A bis 15E und 16A bis 16C gesehen werden kann. Diese Haltearme können aus Metallblech-Material, vorzugsweise aus rostfreiem Stahlblech-Material, hergestellt sein.
  • Insbesondere können die Haltearme 200 und 202 des Öffners, welche Eingriffselemente oder noch allgemeiner Eingriffsformationen der Öffnungsvorrichtung realisieren, mit zugeordneten Gegen-Eingriffsformationen eines jeweiligen Substratträgers 12 eingegriffen sein, um an einer bestimmten vertikalen Position innerhalb der Öffnungsvorrichtung 100 gehalten zu werden. Im Fall der Substratträger 12 und der Substratträgerstapel 10, welche oben auf Grundlage der 3 bis 8 beschrieben worden sind, sind diese Gegen-Eingriffsformationen durch die zwei Typen von Kopplungsvorsprüngen 54b, 54c und 54a und 54d realisiert, welche in Paaren in entgegengesetzten seitlichen Richtungen von dem Substratträgerrahmen 40 eines jeweiligen Substratträgers 12 vorstehen.
  • Wie in 12 und 13 gesehen werden kann, umfasst die Öffnungsvorrichtung 100 der dargestellten detaillierten Ausführungsform ein Chassis 102, welches im Wesentlichen aus einer Basisplatte 104, einer oberen Platte 106 und einer Anzahl von länglichen Strukturelementen zusammengesetzt ist, welche sich vertikal erstrecken und die Basisplatte und die obere Platte verbinden, welche sich jeweils in einer jeweiligen horizontalen Ebene erstrecken. Diese länglichen Strukturelemente bilden zusammen mit der Basisplatte und der oberen Platte eine Art von Montagerahmen für viele oder sogar alle Komponenten der Öffnungsvorrichtung und können weitere Funktionen erfüllen. Vorzugsweise sind alle Komponenten des Chassis, welches auch als Gestell der Öffnungsvorrichtung bezeichnet werden kann, aus metallischen Materialien hergestellt, wie beispielsweise einem rostfreien Stahlmaterial. Dieses Chassis oder Gestell 102 bildet mit anderen Komponenten, welche zu beschreiben sind, wie beispielsweise verschiedenen Paneelen, insbesondere Metallblech-Paneele, ein Gehäuse der Öffnungsvorrichtung 100, wie es aus 10 und 11 offensichtlich ist.
  • Diese länglichen Strukturelemente umfassen eine Halterungsstrebe 108 mit einem rechteckigen Querschnitt und eine Führungsstrebe 110 mit einem kreisförmigen Querschnitt, welche dazu dienen, eine Schlittenanordnung bewegbar zu führen, welche den bereits erwähnten Schlitten 112, welcher eine Halterung für einen Substratträgerstapel 10 in dem gestapelten Zustand ist, welcher in der Öffnungsvorrichtung aufgenommen ist, und weitere Komponenten umfasst, welche damit fest verbunden sind. Diese Komponenten umfassen zwei Aktuatorvorrichtungen 114a, 114b, welche an transversal entgegengesetzten Seiten des Schlittens 112 angeordnet sind, welche auch bereits erwähnt worden sind. Die Aktuatorvorrichtung 114b ist auch in 17A, 17B, 18 und 19A bis 19C gezeigt und umfasst einen Montagekörper 116b, an welchen eine Gleitführung 118b (vergleiche 23J) angebracht ist, welche in einem gleitenden Eingriff mit einer Führungsschiene 120 ist. Die Führungsschiene 120 ist an der Halterungsstrebe 108 angebracht. Es wird sich auf 23G zusammen mit 23J bezogen.
  • Auch die andere Aktuatorvorrichtung 114a weist einen Montagekörper 116a auf, an welchen Führungselemente 118a angebracht sind, welche in Führungseingriff mit der Führungsstrebe 110 sind. Es wird sich auf 23G zusammen mit 231 bezogen.
  • Demgemäß bilden die beiden Aktuatorvorrichtungen 114a, 114b mit ihren Montagekörpern 116a, 116b mit dem Schlitten 112 eine Schlittenanordnung, welche vertikal nach oben und nach unten entlang der Halterungsstrebe 108 und der Führungsstrebe 110 bewegbar ist. Zum Halten dieser Schlittenanordnung an einer bestimmten vertikalen Position und zum Antreiben dieser nach oben und nach unten sind zwei Riemenantriebe bereitgestellt. Ein erster Riemenantrieb umfasst einen ersten Zahnriemen 130a mit einer ersten Antriebsrolle 132a und einer ersten Umlenkrolle 134a und der zweite Riemenantrieb umfasst einen zweiten Zahnriemen 130b mit einer zweiten Antriebsrolle 132b und einer zweiten Umlenkrolle 134b. Die erste und die zweite Antriebsrolle 132a, 132b können in entgegengesetzten Antriebsrichtungen mittels eines Servomotors 136 und eines Zahnriemen-Getriebes 138 angetrieben werden, umfassend eine Antriebsrolle (antreibende Rolle)137 des Servomotors 136 und eine angetriebene Rolle 139, welches eine Geschwindigkeitsreduktion der Antriebsgeschwindigkeit des Servomotors 136 zu einer geringeren Antriebsgeschwindigkeit des ersten und des zweiten Riemenantriebs bereitstellt. Es wird sich auf 12 und 13 sowie auf 22B bezogen. Die beiden Antriebsrollen 132a, 132b und die angetriebenen Rolle 139 des Zahnriemen-Getriebes 138 sind an einer gemeinsamen Antriebswelle 140 angebracht.
  • Die angetriebene Rolle 139 des Zahnriemen-Getriebes 138, welches an der Antriebswelle 140 angebracht ist, kann in 23D gesehen werden. Die Antriebswelle 140 ist an der Basisplatte 104 über zwei Halterungen angebracht, wobei eine in 23E gezeigt ist, welche eine feste Lagerung für die Antriebswelle 140 aufweist, und die andere ist in 23F gezeigt, welche eine schwimmende Lagerung für die Antriebswelle 140 aufweist. Diese Lagerungen können als Rillenkugellager realisiert werden.
  • Es wird sich wieder auf die länglichen Strukturelemente bezogen, welche zusammen mit der Basisplatte 104 und der oberen Platte 106 das Chassis bilden. Diese länglichen Strukturelemente können ferner zwei Streben 150a, 150b umfassen, welche einen kreisförmigen Querschnitt gemäß der gezeigten Ausführungsform aufweisen. Diese Streben können an einer ersten Seite der Öffnungsvorrichtung (vergleiche 10) für eine zusätzliche Haltefunktion zwischen der Basisplatte 104 und der oberen Platte 106 bereitgestellt sein, und können dazu dienen, die Substratträger, welche durch den jeweiligen Satz von Haltearmen gehalten sind, in dem ungestapelten Zustand sowie den Substratträgerstapel in dem gestapelten Zustand an dem korrekten Platz innerhalb der Öffnungsvorrichtung zu sichern und zu führen. Üblicherweise wird eine derartige Sicherungs- und Führungsfunktion in Bezug auf die ungestapelten Substratträger und den Substratträgerstapel nicht benötigt, aber es kann angemessen sein, eine derartige Sicherungs- und Führungsfunktion für unübliche Bedingungen und Fehler bereitzustellen, umfassend Erdbeben-Auswirkungen. Ferner brauchen diese beiden länglichen Elemente 150a und 150b nicht zu den länglichen Strukturelementen gehören, welche das Chassis zusammen mit der Basisplatte 104 und der oberen Platte 106 bilden, sondern können vorzugsweise als Stäbe realisiert sein, welche aus einem geeigneten Kunststoffmaterial hergestellt sind, wie beispielsweise Polyethylen Terephthalat (PET), welche keine oder keine relevante Tragefunktion in Bezug auf die obere Platte 106 haben.
  • In der zusammengebauten Öffnungsvorrichtung 100 sind der Servomotor 136, das Zahnriemen-Getriebe 138, die Antriebswelle 140 und andere Komponenten durch eine Metallblech-Platte 142 abgedeckt. Ferner sind diese Komponenten in der zusammengebauten Öffnungsvorrichtung 100 in transversalen Richtungen durch eine Metallblech-Stirnplatte 160 an der ersten Seite der Öffnungsvorrichtung, durch ein Metallblech-Stirnpaneel 162 der Öffnungsvorrichtung an einer zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung (vergleiche 11), der ersten Seite entgegengesetzt, und ein erstes Paar von Metallblech-Trennpaneelen 164a und ein zweites Paar von Metallblech-Trennpaneelen 164b an einer dritten Seite (vergleiche 11) und an einer vierten Seite (vergleiche 10) der Öffnungsvorrichtung abgeschirmt. Diese Paare von Trennpaneelen sind etwas weiter innen angeordnet, so dass die Trennpaneele zwischen den Schlitten 112 und einer jeweiligen der Aktuatorvorrichtungen 114a, 114b angeordnet sind.
  • Ferner gibt es zwei schmale Metallblech-Stirnplatten 166a, 166b, welche an der ersten Seite der Öffnungsvorrichtung bereitgestellt sind und sich parallel zu den Halterungsstreben 150a, 150b über die vertikale Erstreckung der Öffnungsvorrichtung erstrecken, und zwei schlanke Metallblech-Stirnplatten 168a, 168b an der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung 100, welche sich analog über die vertikale Erstreckung der Öffnungsvorrichtung erstrecken und teilweise durch das Stirnpaneel 162 bedeckt sind.
  • Die Öffnungsvorrichtung 100 weist eine große Öffnung 176 zwischen den beiden Stirnplatten 166a, 166b an der ersten Seite auf, welche als Belade- und Entladezugang 176 der Öffnungsvorrichtung zum Entladen von Substraten aus einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen Substratträgers eines Substratträgerstapels, welcher sich in einem ungestapelten Zustand befindet, und zum Beladen von Substraten auf einem derartigen jeweiligen Sitz eines derartigen jeweiligen Substratträgers dient.
  • Ferner weist die Öffnungsvorrichtung 100 eine Öffnung 178 an der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung auf, welche über dem Stirnpaneel 162 angeordnet ist, zwischen den beiden Stirnplatten 168a, 168b. Vorzugsweise kann eine Schiebetür oder eine andere Abschirmanordnung bereitgestellt sein, welche es erlaubt, diese Öffnung zu öffnen und zu schließen, welche als Belade- und Entladezugang 178 zum Beladen eines jeweiligen Substratträgerstapels an den Schlitten 112 (oder alternative Haltemittel, wie unten in Bezug auf 27 und 28 beschrieben) oder zum Entladen eines jeweiligen Substratträgerstapels von dem Schlitten 112 dient, welcher zum Beladen und Entladen eine obere Betriebsposition oder obere Belade- und Entlade-Position innerhalb des vertikalen Bewegungsbereichs des Schlittens 112 annimmt. Die in den Figuren gezeigte Ausführungsform weist eine Schiebetür 170 auf, welche in 11 eine obere Schließposition annimmt und durch geeignete Bewegungsmittel zum Öffnen des Belade- und Entladezugangs nach unten bewegt werden kann.
  • Zwischen den beiden Trennpaneelen des ersten Paares von Metallblech-Trennpaneelen 164a und zwischen den beiden Trennpaneelen des zweiten Paares von Metallblech-Trennpaneelen 164b ist ein jeweiliger vertikaler Schlitz (vergleiche Schlitz 172b in 20) definiert, durch welchen sich ein jeweiliger von zwei schmalen Verbindungsabschnitten 174a und 174b des Schlittens 112 erstreckt, wie in 10 und 23D gesehen werden kann. Diese Trennpaneele weisen ferner kurze, sich transversal erstreckende Schlitze für die Haltearme 200 und 202, wie bereits erwähnt, auf, wie es in größerem Detail in dem Folgenden beschrieben werden wird.
  • Ein weiteres Metallblech-Trennpaneel 180 ist an der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung angeordnet, in Bezug auf das Stirnpaneel 162 und in Bezug auf die Schiebetür 170 nach innen, so dass die Schiebetür 170 zwischen dem Stirnpaneel 162 und dem Trennpaneel 180 angeordnet ist und nach unten bewegt werden kann, um zwischen dem Stirnpaneel 162 und dem Trennpaneel 180 versteckt zu sein, und um dadurch den Belade- und Entladezugang für die Substratträgerstapel zu öffnen. 20 zeigt eine Ansicht der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung 100 ohne dass externe Stirnpaneel 162. Es gibt zwei Führungsschienen 182a, 182b, welche an dem Trennpaneel 180 angebracht sind und sich in einer vertikalen Richtung erstrecken und mit Gleitführungen der Schiebetür 170 interagieren. Es gibt einen dritten Riemenantrieb mit einem dritten Zahnriemen 184, einer Antriebsrolle 186 und einer Umlenkrolle. Die Antriebsrolle 186 wird durch einen weiteren Servomotor 188 angetrieben, welcher in 22B gezeigt ist.
  • Demgemäß kann die Schiebetür 170 mittels dieses dritten Riemenantriebs und des zweiten Servomotors 188 nach unten bewegt werden, um den Zugang für wenigstens eines aus einem Entladen eines Substratträgerstapels von dem Schlitten 112 und einem Beladen eines Substratträgerstapels auf den Schlitten 112 (oder die alternativen Haltemittel) zu öffnen, und nach oben bewegt werden, um diesen Zugang wieder zu schließen. Für eine derartige Operation wird der Schlitten 112 in die obere Betriebsposition oder obere Belade- und Entlade-Position gebracht worden sein, welche vorzugsweise eine Position ist, in welcher eine obere Fläche 113 eines zentralen plattenartigen Abschnitts des Schlittens 112 mit der unteren Begrenzung dieses Zugangs ausgerichtet ist oder etwas höher als die untere Begrenzung dieses Zugangs positioniert ist. Die obere Fläche 113 kann als Halterungs- oder Stützfläche für einen Substratträgerstapel dienen, insbesondere dessen Basiseinheit (falls bereitgestellt, wie es üblicherweise der Fall sein wird). Aber stattdessen dienen vorzugsweise obere Flächenabschnitte 111 von erhabenen Halterungs- oder Stützstrukturen des Schlittens 112 (vergleiche 14A), welche in Bezug auf die obere Fläche 113 nach oben verlagert sind, den jeweiligen Substratträgerstapel zu haltern. Dies erleichtert es, einen Substratträgerstapel an den Schlitten 112 zu beladen und einen Substratträgerstapel von dem Schlitten 112 zu entladen, mittels geeigneter Belade- und Entlademittel, zum Beispiel einer Roboterarm-Anordnung, welche einen Halte- oder Greifabschnitt aufweist, welcher zwischen der unteren Seite der Basiseinheit und der oberen Fläche 113 eingreifen kann.
  • Vorzugsweise ist dieser Belade- und Entladezugang für die Substratträgerstapel nach dem Beladen eines Substratträgerstapels auf den Schlitten 112 für die weitere Operation der Öffnungsvorrichtung geschlossen, und zwar zum Bringen der Substratträger 12 des Substratträgerstapels 10 in einen vollständig oder teilweise ungestapelten Zustand, so dass auf die Sitze der Substratträger zum Entladen und Beladen eines jeweiligen Substrats, zum Beispiel eines Halbleiter-Wafers, zugegriffen werden kann.
  • Der dritte Zahnriemen 184 und die Antriebs- und Umlenkrollen dieses Riemenantriebs sind zwischen dem Stirnpaneel 162 und dem Trennpaneel 180 angeordnet. Die Umkehrrolle ist vorzugsweise an einem oberen Endabschnitt des Trennpaneels 180 angebracht, unterhalb der unteren Grenze der Zugangsöffnung. Wenigstens ein Sensor kann zum Erfassen der momentanen Position oder wenigstens des geschlossenen Zustands der Schiebetür 170 vorgesehen sein.
  • Das Trennpaneel 180 kann mit einer Anordnung (oder ein Feld oder eine Reihe) von horizontalen Belüftungsschlitzen 190 in einem mittleren Streifenabschnitt zwischen den Führungsschienen 182a und 182b bereitgestellt sein, wie in 20 gesehen werden kann. An der inneren Seite des Trennpaneels 180, das heißt an der Seite des Trennpaneels 180, welche zu der ersten Seite der Öffnungsvorrichtung weist, können sich horizontal erstreckende Verschlusselemente 192 vorgesehen sein und an dem Trennpaneel 180 angebracht sein, wie in 22A gesehen werden kann. Die vertikalen Positionen dieser Verschlusselemente können vorzugsweise in einer vertikalen Richtung in einem gewissen Ausmaß einstellbar sein, so dass eine effektive Schlitzöffnungsbreite der Belüftungsschlitze 190 eingestellt werden kann. Dies erlaubt es, einen gewünschten einheitlichen, vorzugsweise laminaren Strom von Reinluft durch die Öffnungsvorrichtung 100 zu erhalten, in einem Fall einer Reinraumeinrichtung 80, wie oben erwähnt, vorzugsweise von dem EFEM 86 in Richtung und in die Speicherkammer 84 der Lageanordnung 82. Von hier kann Reinluft kontinuierlich durch ein Luftansaug- oder -abgabesystem abgezogen werden. Natürlich kann alternativ ein Reinluft-Strom in der entgegengesetzten Richtung vorgesehen sein, falls erwünscht. Zum Ermöglichen des Reinluft-Stroms in beiden Richtungen kann das Stirnpaneel 162 mit einer Matrix von Belüftungsöffnungen 194 in einem mittleren Streifenabschnitt versehen sein, welcher mit der Anordnung von Belüftungsschlitzen 190 ausgerichtet ist. Ferner kann die Schiebetür 170 eine Matrix von Belüftungsöffnungen 196 in einem unteren mittleren Streifenabschnitt aufweisen, welcher mit einem oberen Abschnitt der Anordnung der Belüftungsschlitze 190 ausgerichtet ist, wenn die Schiebetür in ihrer oberen Position ist.
  • Es wird sich wieder auf die länglichen Strukturelemente bezogen, welche das Chassis zusammen mit der Basisplatte 104 und der oberen Platte 106 bilden. Diese länglichen Strukturelemente können ferner ein erstes Paar von Halterungsstreben 152a, 152b und ein zweites Paar von Halterungsstreben 154a, 154b umfassen, welche als Anbringungssäulen für die Eingriffsformationen, welche bereits erwähnt worden sind, dienen, und zwar die Haltearme, welche zwischen einer Freigabeposition und einer Fangposition in dem Verlauf der Öffnungs- und Schließoperationen der Öffnungsvorrichtung 100 zu bewegen oder zu verschwenken sind. Die beiden Paare von Halterungsstreben oder Anbringungssäulen sind an entgegengesetzten transversalen Seiten des Schlittens 112 angeordnet. Die Anbringungssäulen 152a, 152b sind an der Seite der Aktuatorvorrichtung 114b angeordnet, das heißt an der dritten Seite der Öffnungsvorrichtung 100, und die Anbringungssäulen 154a, 154b sind an der Seite der Aktuatorvorrichtung 114a angeordnet, das heißt an der vierten Seite der Öffnungsvorrichtung, in jedem Fall außerhalb in Bezug auf die Trennpaneele 164a bzw. 164b.
  • Vorzugsweise sind zwei Arten von Eingriffsformationen, nämlich zwei Arten von Haltearmen 200 und 202 in dem Fall der vorliegenden Ausführungsform bereitgestellt, wie bereits erwähnt. Diese Haltearme sind in der vertikalen Richtung in einer alternierenden Weise in Bezug auf die Anbringungssäulen angebracht, so dass vier Sätze von vertikal versetzten Eingriffsformationen realisiert werden. Die Anordnung ist derart, dass an jeder jeweiligen vertikalen Höhe der Öffnungsvorrichtung 100, welche der vertikalen Halteposition eines ungestapelten Substratträgers oder einer ungestapelten Abdeckungseinheit entspricht, vier derartige Eingriffsformationen bereitgestellt sind. Von diesen vier Eingriffsformationen, welche gemeinsam einen jeweiligen Substratträger an einer bestimmten vertikalen Position in dem ungestapelten Zustand haltern, sind vorzugsweise zwei Eingriffsformationen Eingriffsformationen eines ersten Typs und zwei Eingriffsformationen sind Eingriffsformationen eines zweiten Typs. Im Fall der vorliegenden Ausführungsform, in welchem die Eingriffsformationen als Elemente realisiert sind, welche als Haltearme bezeichnet werden können, sind vorzugsweise zwei Haltearme eines ersten Typs mit einer ersten Armlänge und zwei Haltearme eines zweiten Typs mit einer zweiten Armlänge an einer bestimmten vertikalen Höhe der Öffnungsvorrichtung 100 zum gemeinsamen Fangen und Halten (falls bereitgestellt) der Abdeckungseinheit bzw. eines jeweiligen Substratträgers zum Entstapeln und Halten desselben in dem ungestapelten Zustand vorgesehen.
  • Solch eine Anbringungssäule, welche der Anbringungssäule 152a und der Anbringungssäule 154a entspricht, ist in 15A bis 15E gezeigt. Wie in 15A gesehen werden kann, sind entlang der vertikalen Erstreckung der Anbringungssäule 152a/154b alternierend die kürzeren und die längeren Haltearme bereitgestellt. Der unterste Haltearm 200 weist eine längere Arm länge auf, der vertikal benachbarte Haltearm 202 weist eine kürzere Arm länge auf, der als Nächstes benachbarte obere Haltearm weist wieder eine längere Armlänge auf, usw., und der oberste Haltearm weist wieder eine kürzere Armlänge auf. Es wird sich in dem Folgenden auf lange Haltearme 200 und auf kurze Haltearme 202 bezogen.
  • Die anderen beiden Anbringungssäulen 152b und 154b sind analog mit vertikal alternierenden Haltearmen versehen. Der einzig relevante Unterschied kann sein, dass der jeweils unterste Haltearm ein kurzer Haltearm 202 ist, und das der jeweils oberste Haltearm ein langer Haltearm 200 ist, wie gemäß der beschriebenen Ausführungsform realisiert, wie in 10 und 11 gesehen werden kann.
  • Einen der beiden Arten von Haltearmen als Haltearme eines ersten Typs, welcher einer jeweiligen Gegen-Eingriffsformation, zum Beispiel einem Vorsprung, eines ersten Typs der Abdeckungseinheit (falls bereitgestellt) und eines jeweiligen Substratträgers, welcher zu fangen und zu halten ist, zugeordnet ist, und die andere Art der beiden Haltearme als Haltearme eines zweiten Typs zu identifizieren, welcher einer jeweiligen Gegen-Eingriffsformation, zum Beispiel einem Vorsprung, eines zweiten Typs der Abdeckungseinheit (falls bereitgestellt) und eines jeweiligen Substratträgers zugeordnet ist, welcher zu fangen und zu halten ist, macht vorrangig nur in Bezug auf den Satz von vertikal versetzten Haltearmen Sinn, welche an der selben Anbringungssäule angebracht sind. Die zugeordneten Gegen-Eingriffsformationen sind vorzugsweise in einer analogen vertikal versetzten alternierenden Weise entlang der vertikalen Höhe des Substratträgerstapels vorgesehen, so dass ein langer Haltearm 200 einen jeweiligen Substratträger (oder die Abdeckungseinheit) durch Eingriff mit einer Gegen-Eingriffsformation von einem Typ fängt und hält und ein jeweiliger kurzer Haltearm 202 einen jeweiligen Substratträger (oder die Abdeckungseinheit) durch Eingriff mit einer Gegen-Eingriffsformation eines anderen Typs fängt und hält.
  • Vorzugsweise sind diese Gegen-Eingriffsformationen an dem Substratträgerstapel in vier Sätzen von vertikal versetzten Gegen-Eingriffsformationen bereitgestellt, welche vorzugsweise als Vorsprünge oder Überstände realisiert sind. Innerhalb jedes Satzes, welcher gemeinsam einem Satz von Haltearmen zugeordnet ist, welche an der gleichen Anbringungssäule angebracht sind, sind die Gegen-Eingriffsformationen eines ersten und eines zweiten Typs alternierend in einer vertikalen Richtung bereitgestellt, zum Beispiel wie in 5 bis 8 gezeigt, welche oben beschrieben worden sind. Diese Gegen-Eingriffsformationen von benachbarten Substratträgern (vergleiche Vorsprünge 54a, 54b, 54c und 54d der Substratträger 12, welche oben beschrieben worden sind) sind transversal in Bezug aufeinander versetzt, und benachbarte Haltearme, und zwar ein Paar eines langen Haltearms 200 und eines als Nächstes benachbarten kurzen Haltearms 202, können entsprechende versetzte Eingriffsabschnitte 204 und 206 aufweisen, das heißt Eingriffsabschnitte 204 und 206, welche in Bezug aufeinander transversal versetzt sind, wobei der Eingriffsabschnitt 204 der Eingriffsabschnitt eines langen Haltearms 200 ist und der Eingriffsabschnitt 206 der Eingriffsabschnitt eines kurzen Haltearms 202 ist. Es wird sich auf 15E bezogen. 16A zeigt die Form eines derartigen kurzen Haltearms 202 und ein langer Haltearm 200 ist analog geformt, mit Ausnahme der längeren Armlänge.
  • Ob und welcher der vier Sätze von Haltearmen, welche an einer jeweiligen der Anbringungssäulen 152a, 152b, 154a, 154b angebracht sind, als obersten Haltearm einen kurzen Haltearm 202 und als untersten Haltearm einen langen Haltearm 200 aufweist, und ob und welcher dieser Sätze von Haltearmen als obersten Haltearm einen langen Haltearm 200 und als untersten Haltearm einen kurzen Haltearm 202 aufweist, spiegelt Annahmen und Anforderungen für die Substratträgerstapel 10 und ihre Substratträger 12 und die relative Anordnung der Substratträger 12 mit der Abdeckungseinheit 16 (falls bereitgestellt) darin und, wie der Substratträgerstapel 10 an dem Schlitten 112 positioniert ist, wieder. Dies ist in 35 und 36 dargestellt.
  • Unter der Annahme, dass Substratträger, wie die Substratträger 12 aus 3 und 4 und 6 bis 8, aufeinander gestapelt sind, um einen Substratträgerstapel 10 zu bilden, kann für die Öffnungsvorrichtung 100, welche in den detaillierten Figuren gezeigt ist, angenommen werden, dass sie zum Arbeiten an einem Substratträgerstapel bestimmt ist, wie schematisch in 35a) dargestellt, für den Fall, dass der Substratträgerstapel mit der Abdeckungseinheit versehen ist.
  • In diesem Fall soll der Substratträger 12, welcher in 35a) gezeigt ist, den obersten Substratträger 12 des Substratträgerstapels repräsentieren, welcher durch den obersten kurzen Haltearm 202, welcher an der Anbringungssäule 154b angebracht ist und mit einem Kopplungsvorsprung 54a dieses Substratträgers 12 eingreift, durch den obersten langen Haltearm 200, welcher an der Anbringungssäule 152a angebracht ist und mit einem Kopplungsvorsprung 54d dieses Substratträgers 12 eingreift, durch den obersten langen Haltearm 200, welcher an der Anbringungssäule 152a angebracht ist und mit einem Kopplungsvorsprung 54c dieses Substratträgers 12 eingreift, und durch den obersten kurzen Haltearm 202, welcher an der Anbringungssäule 152b angebracht ist und mit einem Kopplungsvorsprung 54b dieses Substratträgers 12 eingreift, gefangen und gehalten wäre. Die Abdeckungseinheit wäre durch den obersten Haltearm, welcher ein langer Haltearm 200 ist, welcher an der Anbringungssäule 154b angebracht ist, durch den obersten Haltearm, welcher ein kurzer Haltearm 202 ist, welcher an der Anbringungssäule 154a angebracht ist, durch den obersten Haltearm, welcher ein kurzer Haltearm 202 ist, welcher an der Anbringungssäule 152a angebracht ist, und durch den obersten Haltearm, welcher ein langer Haltearm 200 ist, welcher an der Anbringungssäule 152b angebracht ist, gehalten.
  • Wenn man annehmen würde, dass die Öffnungsvorrichtung 100 an einem Substratträgerstapel arbeiten soll, welcher keine Abdeckungseinheit aufweist, welche auf den obersten Substratträger gestapelt ist, dann würde 35c) eine derartige Situation repräsentieren. In diesem Fall würde 35c) den obersten Substratträger 12 des Substratträgerstapels zeigen, welcher durch den obersten Haltearm gefangen und gehalten werden würde, welcher ein langer Haltearm 200 ist, welcher an der Anbringungssäule 154b angebracht ist, durch den obersten Haltearm, welcher ein kurzer Haltearm 202 ist, welcher an der Anbringungssäule 154a angebracht ist, durch den obersten Haltearm, welcher ein kurzer Haltearm 202 ist, welcher an der Anbringungssäule 152a angebracht ist, und durch den obersten Haltearm, welcher ein langer Haltearm 200 ist, welcher an der Anbringungssäule 152b angebracht ist.
  • Dies ist jedoch nur eine Randnotiz, da ein Substratträgerstapel, welcher durch die Öffnungsvorrichtung zu öffnen und zu schließen ist, üblicherweise eine Abdeckungseinheit aufweist, welche auf den obersten Substratträger des Substratträgerstapels gestapelt ist. In diesem Fall repräsentiert 35c) eine Variante der Öffnungsvorrichtung, bei der die langen Haltearmen 200 und die kurzen Haltearmen 202 an der jeweiligen Anbringungssäule vertauscht angebracht sind, so dass der oberste Haltearm, welcher an der Anbringungssäule 154b angebracht ist, ein kurzer Haltearm 202 wäre, der oberste Haltearm, welcher an der Anbringungssäule 154a angebracht ist, ein langer Haltearm 200 wäre, der oberste Haltearm, welcher an der Anbringungssäule 152a angebracht ist, ein langer Haltearm 200 wäre und der oberste Haltearm, welcher an der Anbringungssäule 152b angebracht ist, ein kurzer Haltearm 202 wäre. Für eine derartige Realisierung der Öffnungsvorrichtung 100 würde der Stapel von Substratträgern in einer Position auf dem Schlitten zu platzieren sein, welche um 180 Grad um die vertikale Achse rotiert ist, im Vergleich zu der Ausführungsform von 35a), und ferner könnten Anpassungen der Öffnungsvorrichtung notwendig sein, so dass die Öffnungsvorrichtung sogar einer gespiegelten Kopie der Öffnungsvorrichtung entsprechen könnte, welche in den Figuren gezeigt ist.
  • 35b) und 35d) entsprechen weiteren Varianten der Öffnungsvorrichtung, welche die Anordnung der langen Haltearme 200 und der kurzen Haltearme 202 betreffen, um dazu eingerichtet zu sein, Substratträgerstapel zu handhaben, welche alternative Ausführungsformen von Substratträgern umfassen, und das Gleiche ist für 36a) bis 36d) zutreffend. All diese Teilfiguren zeigen jeweils den jeweiligen obersten Substratträger eines Substratträgerstapels einer jeweiligen alternativen Ausführungsform, welche von den Substratträgern, welche auf Grundlage von 3 bis 8 beschrieben worden sind, in Bezug auf die relative Anordnung der Kopplungsvorsprünge an dem äußeren Trägerrahmen des Substratträgers verschieden ist. Die Öffnungsvorrichtung könnte einfach angepasst werden, um mit jeglichen dieser Ausführungsformen durch entsprechendes Anordnen der langen Haltearme 200 und der kurzen Haltearme 202 an der jeweiligen Anbringungssäule 152a, 152b, 154a und 154b klar zukommen.
  • Weitere Varianten der Öffnungsvorrichtung könnten in Erwägung gezogen werden. Die gezeigten Ausführungsformen weisen die Anbringungssäulen derart in Bezug auf den auf dem Schlitten 112 platzierten Substratträgerstapel 10 angeordnet auf, dass die Haltearme in Richtung der Fang- und Halteposition in einer Richtung im Uhrzeigersinn zu verschwenken sind. Alternativ könnten die Anbringungssäulen derart in Bezug auf den Substratträgerstapel angeordnet sein, dass die Haltearme in Richtung der Fang- und Halteposition in einer Richtung entgegen des Uhrzeigersinns zu verschwenken wären. Zu diesem Zweck würden die Anbringungssäulen 154a und 154b in Richtung der ersten Seite der Öffnungsvorrichtung zu versetzen sein und die Anbringungssäulen 152a und 152b wären in Richtung der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung zu versetzen, im Vergleich zu 35 und 36.
  • Natürlich sind andere Ausführungsformen der Öffnungsvorrichtung, welche von der detaillierten Ausführungsform von 10 bis 25 vollständig verschieden sind und von dem vollständig verschieden sind, was hierin auf Grundlage von 32 und 33 betrachtet wurde und in dem Folgenden auf Grundlage der anderen Figuren betrachtet werden wird, möglich, umfassend Ausführungsformen, welche dazu eingerichtet sind, an einem Substratträgerstapel und an Substratträgern zu arbeiten, welche gegenüber dem, was hierin gezeigt und beschrieben ist, wesentlich anders geformt sind.
  • Der lange Haltearm 200 und der kurze Haltearm 202 gehören jeweils zu einem jeweiligen zylindrischen Element oder sind daran angebracht, welches dazu dient, den jeweiligen Haltearm an der jeweiligen Anbringungssäule anzubringen und es ermöglicht, dass der jeweilige Haltearm zwischen der Freigabeposition und der Fangposition verschwenkt werden kann. Jeder der Haltearme greift mit einem jeweiligen horizontalen Schlitz in dem jeweiligen Trennpaneel 164a oder 164b ein, wenigstens in der Fangposition, aber vorzugsweise zu einem gewissen Ausmaß auch in der Freigabeposition. In der Fangposition ist der jeweilige Haltearm weiter durch den jeweiligen Schlitz in dem jeweiligen Trennpaneel 164a oder 164b eingeführt, um mit einer zugeordneten Gegen-Eingriffsformation eines jeweiligen Substratträgers oder, in dem Fall der obersten Haltearme, mit einer zugehörigen Gegen-Eingriffsformation der Abdeckungseinheit (falls bereitgestellt) eingreifbar zu sein, so dass die Fangposition auch als (vollständig) eingeführte Position bezeichnet werden kann. In der Freigabeposition ist der Haltearm von dem inneren Raum der Öffnungsvorrichtung zurückgezogen, so dass dessen Eingriffsabschnitt mit einer Gegen-Eingriffsformation eines Substratträgers oder der Abdeckungseinheit nicht eingreifbar ist, so dass die Freigabeposition auch als zurückgezogene Position bezeichnet werden kann.
  • Wie für die beschriebene Ausführungsform realisiert, können die Haltearme 200 und 202 jeweils an einem jeweiligen Hülsenelement, vorzugsweise identischen Hülsenelementen 210 für beide Typen von Haltearmen, angebracht sein. Vorzugsweise werden identische Hülsenelemente 210 für alle Haltearme von allen vier Sätzen, welche an den vier Anbringungssäulen angebracht sind, verwendet.
  • Wie 16A bis 16C gesehen werden kann, ist der kurze Haltearm 202 als eine Metallblech-Platte von einer geeigneten Form realisiert, welche einen nach unten gebogenen Abschnitt aufweist, um den Eingriffsabschnitt 206 bereitzustellen. Das Gleiche gilt für den langen Haltearm 200, welcher etwas länger ist, und welcher zusätzlich entlang dessen Seite, welche zu der Seite mit dem Eingriffsabschnitt 204 entgegengesetzt ist, einen Abschnitt 212 aufweist, welcher nach unten gebogen ist, wie in 15B, 15D und 15E gesehen werden kann und auch in 10 und 11 erkannt werden kann. Dieser Abschnitt 212 erhöht die Steifigkeit der langen Haltearme 200.
  • Die Haltearme sind an dem jeweiligen Hülsenelement 210 mittels einer Mehrzahl, zum Beispiel drei, Schrauben (vergleiche 16A) oder anderer Montagemittel angebracht. Die Hülsenelemente 210 (vergleiche 16C), welche aus einem geeigneten Kunststoffmaterial oder - mehr bevorzugt - aus einem metallischen Material, zum Beispiel einem rostfreien Stahl oder Aluminium, hergestellt sein können, weisen jeweils eine Durchgangsöffnung 214 mit einer oberen radialen Erstreckung 214a und einer unteren radialen Erstreckung 214b auf, in welche ein jeweiliges Ringlager mit einem äußeren Ring, welcher dem Hülsenelement 210 zugeordnet ist und mit diesem wenigstens in Reib-Eingriff steht, und einem inneren Ring, welcher einer inneren Halterungshülse 218 zugeordnet ist, montiert ist. Die äußeren Ringe der jeweiligen beiden Ringlager haltern das Hülsenelement 210 mit seinem Haltearm. Der innere Ring des unteren Ringlagers 216b haltert die innere Halterungshülse 218, welche den inneren Ring des oberen Ringlagers 216a haltert. Herkömmliche Kugellager-Elemente sind zwischen dem inneren Ring und dem äußeren Ring des jeweiligen Ringlagers bereitgestellt, so dass der äußere Ring und dadurch das Hülsenelement 210 mit dem jeweiligen Haltearm auf Grundlage von eher kleinen Schwenkkräften in Bezug auf den inneren Ring des Ringlagers und dadurch die innere Halterungshülse 218 verschwenkt werden kann, und dadurch natürlich in Bezug auf das Chassis der Öffnungsvorrichtung 100, umfassend die vier Anbringungssäulen 152a, 152b, 154a, 154b.
  • Vertikal benachbarte innere Halterungshülsen 218 der vertikalen Reihe von Hülsenelementen 210, welche an der gleichen Anbringungssäule angebracht sind, sind aufeinander mittels kurzer Halterungshülsenelemente 220 gehaltert, so dass das untere Ringlager 216b des jeweiligen oberen Hülsenelements 210 mit seinem inneren Ring über das jeweilige kurze Halterungshülsenelement 220 auf dem inneren Ring des oberen Ringlagers 216a des jeweiligen unteren Hülsenelements 210 gehaltert ist.
  • Der innere Ring des unteren Ringlagers 216b des untersten Hülsenelements 210, welches den untersten Haltearm haltert, welcher ein langer Haltearm 200 in dem Fall des Satzes von Haltearmen, welche in 15A bis 15E gezeigt sind, ist, ist auf einer Halterungsröhre oder einem langen Halterungshülsenelement 222 gehaltert, welches an der Basisplatte 104 der zusammengebauten Öffnungsvorrichtung 100 gehaltert ist, und der innere Ring des oberen Ringlagers 216a des obersten Hülsenelements 210, welches den obersten Haltearm trägt, in dem vorliegenden Fall einen kurzen Haltearm 202, trägt eine Halterungsröhre oder ein langes Halterungshülsenelement 224, welches durch einen Klemmring 226 befestigt ist, welcher an die Anbringungssäule oder Halterungsstrebe des jeweiligen Satzes von Haltearmen geklemmt ist, und zwar die Anbringungssäule 152a oder 154a in dem Fall von 15A bis 15B.
  • Diese Anbringungssäule oder Halterungsstrebe erstreckt sich durch die vertikal ausgerichteten Elemente, und zwar durch die obere Halterungsröhre 224, die oberen und unteren Ringlager 216a und 216b und die jeweiligen Halterungshülsen 218 von jedem Hülsenelement 210, die kurzen Halterungshülsenelemente 220 und die untere Halterungsröhre 222. Der Klemmring 226 sichert diese Elemente in einem gegenseitig halternden Eingriff ohne unzulässiges vertikales Spiel. Vorzugsweise weisen die Halterungsröhren 222 und 224, die Halterungshülsen 218 und die kurzen Halterungshülsenelemente 220 identische Durchmesser auf und die jeweilige Anbringungssäule erstreckt sich durch diese Elemente festsitzend oder mit einem geringen radialen Spiel, wie in 15E gesehen werden kann.
  • Um zu gewährleisten, dass die Hülsenelemente 210 und daher auch die Haltearme 200 und 202 stets in nur einer der beiden definierten Positionen (zurückgezogene oder Freigabeposition oder eingeführte oder Fangposition) sind, kann jedes der Hülsenelemente 210 oder jeder der Haltearme 200, 202 eine zugeordnete individuelle Interaktionsvorrichtung aufweisen, welche dazu dient, die Haltearme in einer momentanen von diesen beiden definierten Positionen zu halten und, vorzugsweise, um die Hülsenelemente oder den Haltearm in Richtung einer jeweiligen dieser beiden definierten Positionen vorzuspannen, dass letztere zumindest falls das Hülsenelement oder der Haltearm sich bereits der jeweiligen definierten Position bis zu einem gewissen Ausmaß angenähert hat. Diese Interaktionsvorrichtungen können als magnetische Interaktionsvorrichtungen realisiert sein. Zu diesem Zweck kann ein Schlitz, zum Beispiel in der Form eines Sektors oder einer Öffnung oder einer anderen Art von Ausnehmung, in dem jeweiligen Hülsenelement 210 angeordnet sein, welches durch Weicheisen-Anschlagselemente 230 begrenzt sein kann, welche an dem Hülsenelement 210 angebracht sind. Die jeweilige Anbringungssäule (vergleiche Anbringungssäulen 152a oder 154b von 15A bis 15E) kann einen jeweiligen Permanentmagnet-Stift 232 tragen, welcher zwischen diesen Weicheisen-Anschlagselementen 230 vorsteht, so dass entweder magnetische Anziehungskräfte zwischen dem linken Anschlagselement 230 und dem magnetischen Stift oder magnetische Anziehungskräfte zwischen dem rechten Anschlagselement 230 und dem magnetischen Stift 232 überwiegen, so dass das Hülsenelement 210 in Richtung eines Anschlag-Eingriffs zwischen dem jeweiligen Anschlagselement 230 und dem magnetischen Stift 232 verschwenkt und in diesem gehalten wird.
  • Alternativ kann der jeweilige Stift 232 ein Weicheisen-Stift sein und das jeweilige Hülsenelement 210 kann in einer geeigneten Aufnahme wenigstens einen Permanentmagneten aufnehmen, welcher mit einem jeweiligen Ende in enger Nähe zu den beiden Anschlagselementen 230 angeordnet ist. Gemäß 16A bis 16C ist ein solcher Magnet 234 bereitgestellt, welcher seine entgegengesetzten Enden in enger Nähe zu einem jeweiligen der Anschlagselemente 230 angeordnet aufweist. Daher wird stets eines der Anschlagselemente 230 durch den Stift 232 angezogen werden und daher werden die Haltearme 200, 202 stets in einer definierten Position gehalten, und zwar der rückgezogenen oder Freigabeposition oder der eingeführten oder Fang- und Halteposition.
  • Gemäß einer weiteren möglichen Ausführungsform können die Anschlagselemente 230 als Permanentmagnete realisiert sein.
  • Gemäß der gezeigten Ausführungsform werden die Haltearme 200 und 202 der vier vertikalen Sätze von Haltearmen mittels der Aktuatorvorrichtung 114a, welche den Haltearmen zugeordnet ist, welche an den Anbringungssäulen 154a und 154b angebracht sind, und mittels der Aktuatorvorrichtung 114b betätigt, welche den Haltearmen zugeordnet ist, welche an den Anbringungssäulen 152a und 152b angebracht sind. Wie beschrieben, bilden diese Aktuatorvorrichtungen mit dem Schlitten 112 eine Schlittenanordnung, welche eine bewegbare Einheit ist, welche nach oben und nach unten mittels der beschriebenen Riemenantriebe zu bewegen ist. Für eine passende Funktion muss die jeweilige Aktuatorvorrichtung einen jeweiligen Haltearm in einer Weise betätigen, welche mit der vertikalen Bewegung des Schlittens koordiniert ist. Jedoch variiert die Anzahl von gestapelten Substratträgern und damit die vertikale Position des obersten Substratträgers 12 eines momentanen Stapels oder Teilstapels, welcher durch den Schlitten 112 gehaltert ist, relativ zu den Halterungs-Flächenabschnitten 111 des Schlittens 112, und zwar nimmt sie durch jeden Substratträger, welcher durch einen jeweiligen Satz von vier Haltearmen in dem Verlauf der Bewegung des Schlittens in der Öffnungsoperation nach unten ergriffen wird, ab und nimmt durch jeden Substratträger zu, welcher in dem Verlauf der Bewegung des Schlittens in der Schließoperation nach oben wieder gestapelt wird. Demgemäß kann ein Betätigungselement der jeweiligen Betätigungsvorrichtung, welches auf einen jeweiligen der Haltearme oder dessen Hülsenelemente einwirkt, nicht die geeignete vertikale Position für alle Haltearme eines jeweiligen vertikalen Satzes von Haltearmen aufweisen, außer eine Höhenkompensation ist bereitgestellt, welche dieses aufeinanderfolgende Entstapeln von Substratträgern von dem Stapel oder Teilstapel von Trägern in dem Verlauf der Öffnungsoperation und das nachfolgende Stapeln der Substratträger auf den Stapel oder Teilstapel von Trägern in dem Verlauf der Schließoperation kompensiert.
  • Um diese Reduktion in der Höhe des Stapels von Trägern, während der Stapel nach unten bewegt wird (üblicherweise wird er eher langsam nach unten bewegt) und ein Träger nach dem anderen durch den jeweiligen Satz von Haltearmen in dem Öffnungsprozess gefangen wird, und entsprechend für diesen Anstieg an Höhe des Stapels von Trägern, während der Stapel nach oben bewegt wird (üblicherweise wird er eher langsam nach oben bewegt) und ein Träger nach dem anderen als oberer Träger des Stapels hinzugefügt wird, zu kompensieren, kann eine elektromechanische, Software geregelte/gesteuerte Lösung angenommen werden. Zum Beispiel könnte man vorsehen, dass die beiden Aktuatorvorrichtungen 114a und 114b vertikal einstellbare Betätigungselemente aufweisen, welche relativ zu den Halterungs-Flächenabschnitten 111 des Schlittens 112 in dem Verlauf der Öffnungsoperation nach unten bewegt werden und relativ zu den Halterungs-Flächenabschnitten 111 in dem Verlauf der Schließoperation nach oben bewegt werden. Die vertikale Bewegung des jeweiligen Betätigungselements in Bezug auf den Schlitten 112 könnte durch Verarbeitungsmittel geregelt/gesteuert werden, welche einen geeigneten Servo-Antrieb regeln/steuern. Jedoch kann auch eine mechanische Lösung angemessen sein, wie gemäß der Ausführungsform realisiert, welche in den Figuren gezeigt ist.
  • Zu diesem Zweck ist ein jeweiliges Eingriffselement 246, welches jedem jeweiligen zylindrischen Element, in der vorliegenden Ausführungsform jedem jeweiligen Hülsenelement 210 zugeordnet ist, an dem jeweiligen Hülsenelement 210 mittels eines Verbindungselements angebracht, um eine bestimmte vertikale Position in Bezug auf die vertikale Erstreckung des Hülsenelements anzunehmen, und diese bestimmte vertikale Position hängt von der vertikalen Position des jeweiligen Hülsenelements 210 mit seinem Haltearm 200 oder 202 in der vertikalen Reihe von Hülsenelementen ab, welches an der jeweiligen Anbringungssäule innerhalb der Öffnungsvorrichtung angebracht ist. In diesem Bezug wird sich auf 15A bis 15E bezogen.
  • Die Hülsenelemente 210 sind mit wenigstens einer vertikalen Reihe von Schraubenlöchern 240 versehen, welche es erlauben, das jeweilige Verbindungselement 242 oder 244 an einer geeigneten vertikalen Position entlang der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements 210 anzuschrauben, so dass das jeweilige Eingriffselement innerhalb der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements jeweils angeordnet ist oder unter dem jeweiligen Hülsenelement oder über dem jeweiligen Hülsenelement. Dadurch kann das jeweilige Eingriffselement 246 an einer geeigneten vertikalen Position in Bezug auf den zugeordneten Haltearm 200 bzw. 202 gehalten werden.
  • Die Hülsenelemente 210, welche in den Figuren gezeigt sind, weisen eine vertikale Reihe von Schraubenlöchern 240 auf, aber zwei parallele Reihen von Schraubenlöchern zum Anbringen eines jeweiligen Verbindungselements unter Verwendung von zwei Schrauben ist auch sehr angemessen, um eine richtige Orientierung des Verbindungselements beizubehalten. Falls nur eine Schraube zum Anbringen des Verbindungselements verwendet wird, dann könnte man einen Formschluss-Eingriff zwischen dem Montageende des Verbindungselements und einer Struktur des Hülsenelements, welches das Verbindungselement in der richtigen Orientierung hält, vorsehen. Zu diesem Zweck kann die vertikale Reihe von Schraubenlöchern 240 in einer longitudinalen Aussparung des Hülsenelements oder an der Seite einer longitudinalen Rippe oder ähnlichem des Hülsenelements 210 angeordnet sein, so dass das Montageende des Verbindungselements in einem Formschluss-Eingriff mit wenigstens einem sich vertikal erstreckenden Flächenabschnitt ist, welcher das Verbindungselement in der korrekten Orientierung sichert. Dies ist für die Ausführungsform der Fall, welche in den Figuren gezeigt ist, mittels einer derartigen longitudinalen Aussparung, in welcher die vertikale Reihe von Schraubenlöchern angeordnet ist.
  • Für Hülsenelemente 210 in einem oberen Bereich der vertikalen Reihe von Hülsenelementen 210, welche an der jeweiligen Anbringungssäule angebracht sind, ist das Eingriffselement 246 unter dem jeweiligen Hülsenelement innerhalb des vertikalen Höhenbereichs des benachbarten Hülsenelements gehalten. Dies wird durch ein longitudinales Verbindungselement 242 einer ersten Art erreicht, welches einen ersten Endabschnitt, welcher zum Anschrauben an das jeweilige Hülsenelement dient, und einen zweiten Endabschnitt aufweist, welcher das Eingriffselement 246 hält. In einem unteren Bereich der vertikalen Reihe von Hülsenelementen 210 ist das Eingriffselement eines jeweiligen Hülsenelements 210 über dem jeweiligen Hülsenelement gehalten, innerhalb des vertikalen Höhenbereichs des benachbarten Hülsenelements. Dies wird wieder durch ein longitudinales Verbindungselement 242 des ersten Typs erreicht, welches an dem jeweiligen Hülsenelement in einer entgegengesetzten Orientierung wie in dem oberen Teil der vertikalen Reihe von Hülsenelementen angebracht ist. In einem mittleren Bereich der vertikalen Reihe von Hülsenelementen 210 ist das jeweilige Eingriffselement 246 an dem jeweiligen Hülsenelement innerhalb des vertikalen Höhenbereichs dieses jeweiligen Hülsenelements gehalten. Dies wird durch ein eher kleines, kurzes Verbindungselement 244 eines zweiten Typs erreicht. Diese Verbindungselemente 242 und 244 sind an das jeweilige Hülsenelement 210 unter Verwendung eines geeigneten ausgewählten aus den Schraubenlöchern 240 angeschraubt, um das jeweilige Eingriffselement an der benötigten korrekten vertikalen Position zu positionieren.
  • Demgemäß ist die vertikale Position des jeweiligen Eingriffselements 246 relativ zu dem Hülsenelement 210, an welchem es angebracht ist, systematisch in inkrementellen Schritten entlang der vertikalen Reihe von Hülsenelementen 210 versetzt, und kann an einem maximalen Abstand über dem jeweiligen Hülsenelement 210 in einem Fall des untersten Hülsenelements angeordnet sein, kann innerhalb des vertikalen Höhenbereichs des jeweiligen Hülsenelements in einem mittleren Bereich der vertikalen Reihe von Hülsenelementen angeordnet sein und kann an einem maximalen Abstand unter dem jeweiligen Hülsenelement in einem Fall des obersten Hülsenelements angeordnet sein. Dadurch wird die erwähnte Reduktion der Höhe des Stapels von Substratträgern in dem Verlauf der Öffnungsoperation und der erwähnte Anstieg der Höhe des Stapels von Substratträgern in dem Verlauf der Schließoperation kompensiert, so dass ein Betätigungselement der jeweiligen Aktuatorvorrichtung 114a bzw. 114b an einer festen vertikalen Position in Bezug auf die Halterungs-Flächenabschnitte 111 des Schlittens 112 positioniert sein kann.
  • Es sei erwähnt, dass die Positionen des Eingriffselements 246 in Bezug auf ihr jeweiliges Hülsenelement 210 die vertikale Position eines jeweiligen Betätigungselements der jeweiligen Aktuatorvorrichtung relativ zu den Halterungs-Flächenabschnitten 111 des Schlittens 112, eine vertikale Abmessung einer Basiseinheit (falls bereitgestellt, wie beispielsweise der Basiseinheit 14 der obigen Ausführungsformen von Substratträgern 10) und die vertikalen Abmessungen der Substratträger 12 reflektieren. Falls man die Betätigungselemente der Aktuatorvorrichtungen an einer anderen vertikalen Position in Bezug auf den Schlitten 112 anordnen würde, dann würde das Eingriffselement 246 in Bezug auf ihre Hülsenelemente 210 anders zu positionieren sein, aber die erklärte versetzte vertikale Positionierung, umfassend diesen systematischen Versatz in inkrementellen Schritten der vertikalen Positionen, würde analog realisiert werden, falls solch eine mechanische Kompensation der Abnahme und Zunahme an Höhe des Stapels von Trägern einzusetzen ist.
  • Gemäß der gezeigten Ausführungsform sind die Eingriffselemente 246 separate Elemente, falls gewünscht, zylindrische Rollentyp-Elemente, welche an dem jeweiligen Verbindungselement in einer rotierbaren Weise angebracht sind. Jedoch könnten die Verbindungselemente und die Eingriffselemente alternativ Abschnitte von integralen Elementen oder einstückigen Elementen sein.
  • Vorzugsweise sind die Eingriffselemente 246 aus einem Kunststoffmaterial hergestellt, wie beispielsweise einem Polyoxymethylen (POM) oder einem Polyethylen Terephthalat (PET), welche in einer nicht rotierbaren Weise an dem jeweiligen metallischen Verbindungselement angebracht sind und mit dem metallischen Betätigungselement 250a oder 250b der jeweiligen Aktuatorvorrichtung 114a oder 114b wechselwirken, so dass ein Paar aus einem harten Material und einem weicheren Material einem Reib-Eingriff unterzogen wird, um eine Abrasion von Partikeln zu reduzieren, welche insbesondere in der Herstellung von Halbleiter-Schaltungen problematisch sein könnte. Abgeriebene Kunststoffpartikel (wenn überhaupt) wären weniger problematisch als abgeriebene metallische Partikel in diesem Zusammenhang. Vorzugsweise weisen die Aktuatorvorrichtungen Betätigungselemente 250a und 250b auf, welche aus Aluminium hergestellt sind. Jedoch können diese Betätigungselemente vorzugsweise Anschlagsteile aufweisen (oder alternativ Reaktionsteile, wie unten erklärt), welche aus rostfreiem Stahl hergestellt sind, welche mit dem jeweiligen Eingriffselement interagieren.
  • In dem vorliegenden Fall dienen die Eingriffselemente 246 dazu, eine Betätigungskraft aufzunehmen, welche gerichtet ist, das jeweilige Hülsenelement 210 mit seinem Haltearm in Richtung und in die Fang- und Halteposition in dem Verlauf der Öffnungsoperation zu schwenken, und eine Betätigungskraft aufzunehmen, welche gerichtet ist, das jeweilige Haltelement in Richtung und in die Freigabeposition in dem Verlauf der Öffnungsoperation zu schwenken. Zu diesem Zweck schlägt das Betätigungselement 250a oder 250b der jeweiligen Aktuatorvorrichtung 114a oder 114b mit einem Anlageteil oder einem jeweiligen Anlageteil von zwei Anlageteilen gegen die Eingriffselemente 246 an, welche entsprechend als Gegen-Anlageteil 246 der jeweiligen Eingriffsformation 210, 200 oder 210, 202 oder als Gegen-Anlageelement 246 bezeichnet werden kann. Zum Applizieren der jeweiligen Betätigungskraft auf dieses Eingriffselement oder Gegen-Anlageelement 246 muss das Betätigungselement nur in einer transversalen Richtung bewegt werden und die vertikale Bewegung der Betätigungsvorrichtung und damit des Betätigungselements mag nur erforderlich sein, um das Betätigungselement zu einer vertikalen Position oder einem Positionsbereich zu bringen, welcher dem jeweiligen Eingriffselement oder Gegen-Anlageelement 246 zugeordnet ist, so dass die transversale Bewegung des Betätigungselements das Betätigungselement mit seinem Anlageteil in Anlage-Eingriff mit dem jeweiligen Eingriffselement oder Gegen-Anlageelement 246 bringt, um die jeweilige Betätigungskraft daran und damit an dem Hülsenelement 210 mit seinem Haltearm 200 oder 202 zu applizieren.
  • Wie erwähnt, gibt es zwei Aktuatorvorrichtungen 114a und 114b an beiden Seiten in einer transversalen Richtung der Öffnungsvorrichtung 100, welche dazu dienen, die jeweiligen zwei entgegengesetzten Haltearme 200 und 202 an einer jeweiligen vertikalen Höhe der Öffnungsvorrichtung an der jeweiligen Öffnerseite durch ein längliches Betätigungselement 250a bzw. 250b zu betätigen. Die Betätigungsvorrichtung, welche in dem Folgenden auf der Grundlage von 17A bis 19C weiter erklärt wird, welche die Betätigungsvorrichtung 114b zeigen, umfasst einen elektromechanischen Antrieb, wie beispielsweise einen Magnetantrieb, einen Servomotor oder Schrittmotor oder dergleichen oder alternativ eine andere Art von Antrieb, zum Beispiel einen pneumatischen Antrieb. Der Antrieb dient dazu, das Betätigungselement 250b (oder entsprechend das Betätigungselement 250a) in einer von zwei entgegengesetzten transversalen Richtungen zu bewegen, um die jeweiligen Haltearme aus der Freigabeposition in die Fangposition auf Grundlage einer Bewegung des Betätigungselements in einer ersten transversalen Richtung zu bringen, und um die Haltearme aus der Fangposition in die Freigabeposition auf Grundlage einer Bewegung des Betätigungselements in einer zweiten transversalen Richtung zu bringen, welche der ersten transversalen Richtung entgegengesetzt ist. Zu diesem Zweck weist das Betätigungselement ein jeweiliges Paar von Anlageteilen 252a, 252b bzw. 254a, 254b an seinen beiden Enden auf, und ein Anlageteil des jeweiligen Paares von Anlageteilen, in dem Vorliegenden die Anlageteile 252b und 254b, dient dazu, gegen das jeweilige Eingriffselement oder Gegen-Anlageelement 246 anzuliegen, um den jeweiligen Haltearm in Richtung und in die Fang- und Halteposition zu schwenken, und der andere von diesen Anlageteilen, in dem vorliegenden Fall die Anlageteile 252a und 254a, dient dazu, gegen das jeweilige Eingriffselement oder Gegen-Anlageelement 246 anzuliegen, um den jeweiligen Haltearm in Richtung und in die Freigabeposition zu schwenken.
  • Demgemäß, um diesen Eingriff mit dem jeweiligen Eingriffselement oder Gegen-Anlageelementen 246 zu ermöglichen, müssen die beiden Paare von Anlageteilen an entgegengesetzten transversalen Seiten des jeweiligen Eingriffselements 246 positioniert werden, was durch eine geeignete transversale Bewegung des Betätigungselements in dem Verlauf der vertikalen Bewegung der jeweiligen Aktuatorvorrichtung zusammen mit dem Schlitten 112 durchgeführt wird. Wie 19A gesehen werden kann, weisen die Anlageteile 252a, 252b, 254a, 254b obere und untere geneigte Einfädelabschnitte auf, welche helfen, dass das jeweilige Eingriffselement oder Gegen-Anlageelemente 246 des jeweiligen Hülsenelements 210 eine eingefädelte Position zwischen den beiden Anlageteilen des jeweiligen Paares annimmt, um die benötigte Betätigungskraft mittels der jeweiligen transversalen Betätigungsbewegung des Betätigungselements aufzunehmen.
  • Die gesamte Bewegung des Betätigungselements in dem Verlauf des Öffnungs- oder Schließprozesses ist eine Zickzack-Bewegung. In dem Öffnungsprozess muss, der Bewegung nach unten mit dem Schlitten 112 überlagert, das Betätigungselement 250a, 250b in der ersten transversalen Richtung bewegt werden, um ein Paar von Haltearmen in die Fangposition zu bringen, das Betätigungselement muss dann zurück in der zweiten transversalen Richtung bewegt werden, um die Interaktion mit dem benachbarten unteren Paar von Haltearmen vorzubereiten, um dann wieder in der ersten transversalen Richtung bewegt zu werden, wenn das Betätigungselement mit dem Schlitten die geeignete vertikale Position erreicht hat, um in der Tat dieses Paar eines benachbarten unteren Paares von Haltearmen in die Fangposition zu bringen, usw., und eine entsprechende umgekehrte Zickzack-Bewegung des Betätigungselements, welche der Bewegung nach oben mit dem Schlitten 112 überlagert ist, ist in dem Schließprozess notwendig.
  • Es wäre natürlich ausreichend, falls das Betätigungselement nur einen jeweiligen Anlageteil an seinen beiden Enden aufweist, so dass das Betätigungselement mit einer Seite des jeweiligen Anlageteils gegen das jeweilige Eingriffselement oder Gegen-Anlageelement 246 in dem Öffnungsprozess und mit der anderen Seite des jeweiligen Anlageteils gegen das jeweilige Eingriffselement oder Gegen-Anlageelement 246 in dem Schließprozess anliegt.
  • 18 zeigt in Unterfiguren 18a), 18b) und 18c) Schnittansichten von oben nach unten auf die Aktuatorvorrichtung 114b ohne ein Motorgehäuse 260, welches von dem Montagekörper 116b abgebaut wurde. Das Motorgehäuse enthält vorzugsweise einen Schrittmotor, aber ein Servomotor kann geeignet und auch vorteilhaft sein. Eine Ausgabewelle 262 des Motors ist als ein Schnitt zusammen mit einem Ausgabehebel 264 und einer Ausgaberolle 266 gezeigt, welche rotierbar an dem Ausgabehebel exzentrisch in Bezug auf die Ausgabewelle angebracht ist. Die Ausgaberolle 266 ist mit einer kreisförmigen Rollenspur in Roll-Eingriff, welche eine kreisförmige Öffnung 268 des Montagekörpers 216b definiert, und greift in einen horizontalen Schlitz 270 eines Verlagerungsteils 272 ein, welcher gleitbar innerhalb des Montagekörpers 116a gehaltert ist, und an welchem das Betätigungselement 250b angebracht ist, wie es in 19B gesehen werden kann. Demgemäß kann durch Rotation der Ausgabewelle 262 mit dem Ausgabehebel 264 in der gleichen Richtung das Betätigungselement 250b vor und zurück in der transversalen Richtung bewegt werden. Natürlich ist es nicht ausgeschlossen, dass die Ausgabewelle 262 mit dem Ausgabehebel 264 durch den Motor in alternierenden Richtungen in dem Verlauf der Operation der Öffnungsvorrichtung rotiert wird. Dies kann alternativ durch eine einfachere Realisierung eines exzentrischen Antriebs erreicht werden, welcher dazu dient, eine transversale Bewegung auf Grundlage einer rotatorischen Antriebskraft zu erhalten.
  • Gemäß 18a) nimmt das Betätigungselement 250b eine mittlere oder Referenzposition an und die Aktuatorvorrichtung weist vorzugsweise eine Sensoranordnung zum Erfassen wenigstens der Anwesenheit des Betätigungselements in dieser mittleren oder Referenzposition oder das Durchtreten des Betätigungselements durch diese mittlere oder Referenzposition auf. Zum Beispiel kann ein induktiver Sensor 274 an der Seite des Montagekörpers 116b bereitgestellt sein, welcher auf ein magnetisches Element reagieren kann, welches an dem Verlagerungsteil 272 oder dem Betätigungselement 250b angebracht ist, oder kann auf eine andere Struktur reagieren, welche sich transversal mit dem Betätigungselement bewegt. Bestimmte induktive Sensoren, wie beispielsweise Sensoren eines Hochfrequenz-Oszillator-Typs, erfordern nicht ein bestimmtes magnetisches Element als Gegen-Teil, sondern reagieren auf die Anwesenheit oder Nicht-Anwesenheit von metallischem Material in der Nähe.
  • Gemäß der 18b) wurde der Ausgabehebel 264 um 140 Grad in einer Richtung entgegen dem Uhrzeigersinn rotiert und gemäß 18c) wurde der Ausgabehebel um 320 Grad in der Richtung entgegen dem Uhrzeigersinn rotiert, in beiden Fällen in Bezug auf die Hebel-Position gemäß 18a). Gemäß 18b) wurde das Betätigungselement 250b wesentlich in der Richtung bewegt, um die Haltearme in die Fang- und Halteposition zu bringen, und gemäß 18c) wurde das Betätigungselement 250b wesentlich in der Richtung bewegt, welche erforderlich ist, um die Haltearme in die Freigabe-Position zu bringen.
  • Natürlich kann die erwähnte Sensoranordnung die Anwesenheit des Betätigungselements in irgend einer geeigneten Position davon erfassen oder kann dazu geeignet sein, die transversale Bewegung und die jeweilige momentane transversale Position des Betätigungselements kontinuierlich zu erfassen, falls gewünscht.
  • Eine andere etwas einfachere Lösung, welche sich in strukturellen Merkmalen nur leicht von dieser Ausführungsform unterscheidet, ist möglich, welche die wiederholten Zickzack-Bewegungen des Betätigungselements vermeidet, und welche in 24A, 24B und 25 dargestellt ist. Gemäß dieser Variante sind geneigte Eingriffsflächen oder -kanten oder Ähnliches an den beiden Enden des Betätigungselements bereitgestellt, und zwar wenigstens eine oder wenigstens ein Paar (insbesondere wenigstens eine obere Eingriffsfläche oder -kante und eine untere Eingriffsfläche oder -kante) für jedes Eingriffselement der zylindrischen Elemente oder Hülsenelemente 210 oder - noch allgemeiner - der Haltearme 200 und 202. Diese geneigten Eingriffsflächen werden mittels der jeweiligen Aktuatorvorrichtung entweder in eine Öffnungsposition zum Bringen der Haltearme in die Fangposition in dem Verlauf der Bewegung nach unten des Öffnungsprozesses oder in eine Schließposition zum Bringen der Haltearme in die Freigabeposition in dem Verlauf der Bewegung nach oben des Schließprozesses gebracht.
  • Zum Öffnen wird eine erste geneigte Fläche, welche in einer ersten Richtung geneigt ist, entlang der Eingriffselemente an einer ersten Seite davon nach unten bewegt, um Schwenkkräfte in der Richtung der Fangposition über das jeweilige Eingriffselement an den jeweiligen Haltearm zu applizieren (vergleiche 25, Unterfiguren a) bis e)). Zum Schließen wird eine zweite geneigte Fläche, welche in einer zweiten Richtung geneigt ist, welche im Wesentlichen der ersten Richtung entspricht, entlang der Eingriffselemente an einer entgegengesetzten zweiten Seite davon nach oben bewegt, um Schwenkkräfte in der Richtung der Fangposition über das jeweilige Eingriffselement an den jeweiligen Haltearm zu applizieren (vergleiche 25, Unterfiguren f) bis j)). Diese Schwenkkräfte werden von dem Eingriff der jeweiligen geneigten Fläche mit der ersten oder zweiten Seite des jeweiligen Eingriffselements abgeleitet, während sich die geneigte Fläche nach unten oder nach oben in Bezug auf das Eingriffselement bewegt, welches dem jeweiligen Haltearm zugeordnet ist, auf Grund einer Art einer Nocken- und Nockenfolger-Interaktion. Die geneigten Eingriffsflächen können etwas elastisch gehalten sein, um Ausrichtungsfehler zu kompensieren.
  • 24A ist eine modifizierte Version von 15E, welche zeigt, dass das Hülsenelement 210 eine andere Art von Eingriffselement 246' aufweist, welches an dem Hülsenelement mittels eines geeigneten Verbindungselements angebracht ist (wie beispielsweise einem Verbindungselement 242' gemäß 24A). Das Eingriffselement 246' kann als Rollenelement mit einer Rotationsachse realisiert sein, welche in Bezug auf die Rotationsachse des Hülsenelements orthogonal ist. Die erwähnten geneigten Eingriffsflächen des Betätigungselements der jeweiligen Aktuatorvorrichtung können durch einen jeweiligen Teil des Betätigungselements 250b bereitgestellt sein, welcher in geeigneter Weise als Reaktionsteil anstelle von Anlageteil bezeichnet werden kann. 24B zeigt einen Reaktionsteil 254', welcher Anlageteile 254a und 254b ersetzt, und die Anlageteile 252a und 252b an dem anderen Ende des Betätigungselements 250b können durch einen entsprechenden Reaktionsteil mit entsprechend geneigten oberen und unteren Eingriffsflächen ersetzt werden, welche mit dem jeweiligen Eingriffselement 246' des jeweiligen Hülsenelements 210 interagieren, welches in einer geeigneten Weise als Gegen-Reaktionsteil oder Gegen-Reaktionselement des jeweiligen Hülsenelements 210 bezeichnet werden kann.
  • Die Ersetzung der Gegen-Anlageelemente 246 durch die Gegen-Reaktionselemente 246' und der beiden Paare von Anlageteilen 252a, 252b und 254a, 254b durch einen jeweiligen Reaktionsteil, wie den Reaktionsteil 254', für beide Aktuatorvorrichtungen 114a und 114b könnte der einzige strukturelle Unterschied zwischen der Öffnungsvorrichtung sein, welche in 10 bis 23J gezeigt ist, und der Variante der Öffnungsvorrichtung, welche in den 24A und 24B dargestellt ist. Jedoch stellt diese Variante eine wesentlich andere Art von Interaktion der jeweiligen Aktuatorvorrichtung 114a und 114b mit den jeweiligen Eingriffsformationen bereit, und zwar die Hülsenelemente 210 mit den Haltearmen 200 und 202 über den jeweiligen Reaktionsteil des Betätigungselements 250a und 250b und den Gegen-Reaktionsteil oder das Gegen-Reaktionselement 246' des Hülsenelements 210, wie in Unterfiguren a) bis e) von 25 für den Öffnungsprozess und in Unterfiguren f) bis j) für den Schließprozess dargestellt.
  • Die Unterfiguren von 25 repräsentieren einen jeweiligen Interaktionszustand zu einer jeweiligen Zeit von aufeinanderfolgenden Zeitpunkten t1 bis t10. Für den Öffnungsprozess und den Schließprozess muss der jeweilige Reaktionsteil 256' nur in eine geeignete Position gebracht werden, welche mit dem Gegen-Anlageteil 246'nahe zu einem Ende des Reaktionsteils 254' für den Öffnungsprozess und nahe zu dem anderen Ende des Reaktionsteils 254' für den Schließprozess vertikal ausgerichtet ist.
  • Für den Öffnungsprozess muss der Reaktionsteil 254' in eine Position gebracht werden, welche vertikal mit den Gegen-Reaktionselementen 246' in ihren Positionen ausgerichtet ist, entsprechend der Freigabe- oder der zurückgezogenen Position des jeweiligen Haltearms. Die Bewegung nach unten des Reaktionsteils zusammen mit der jeweiligen Aktuatorvorrichtung, welche durch die Bewegung nach unten des Schlittens 112 hervorgerufen wird, bringt die untere Fläche des Reaktionsteils 254' in Eingriff mit dem jeweiligen Gegen-Reaktionselement 246' (25a), t1) und die weitere Bewegung nach unten des Reaktionsteils 254' veranlasst, dass eine Betätigungskraft, welche in Richtung der Fang- und Halteposition gerichtet ist, auf das Gegen-Reaktionselement 246' appliziert wird, was die transversale Bewegung hervorruft, noch exakter eine Schwenkbewegung des Gegen-Reaktionselements 246' zusammen mit dem jeweiligen Hülsenelement 210 und dem jeweiligen Haltearm 200 oder 202, was in 25b) bis 25d) und zuletzt in 25e) gesehen werden kann. In 25e) hat das Gegen-Reaktionselement 246' seine Zielposition erreicht, entsprechend oder sehr nahe zu der Position, welche es annimmt, wenn der jeweilige Haltearm seine Halte- und Fangposition erreicht hat. In diesem Zusammenhang sei es erwähnt, dass die erwähnten individuellen Interaktionsvorrichtungen, zum Beispiel in der Form der erklärten magnetischen Interaktionsvorrichtungen, die finale Bewegung des jeweiligen Haltearms in die Fang- und Halteposition bewirken könnten.
  • Für den Schießprozess muss der Reaktionsteil 254' in eine Position gebracht werden, in welcher er vertikal mit den Gegen-Reaktionselementen 246' in ihren Positionen ausgerichtet ist, welche der Fang- und Halteposition des jeweiligen Haltearms entsprechen. Die Bewegung nach oben des Reaktionsteils 254' zusammen mit der jeweiligen Aktuatorvorrichtung und dem Schlitten 112 bringt die obere Fläche des Reaktionsteils 254' in Eingriff mit dem jeweiligen Gegen-Reaktionselement 246' (25f), t6) und die weitere Bewegung nach oben des Reaktionsteils 254' veranlasst die transversale Bewegung, noch genauer eine Schwenkbewegung des Gegen-Reaktionselements 246' zusammen mit dem jeweiligen Hülsenelement 210 und dem jeweiligen Haltearm 200 oder 202, was in 25g) bis 25i) und zuletzt in 25j) gesehen werden kann. In 25j) hat das Gegen-Reaktionselement 246' seine Zielposition erreicht, entsprechend oder sehr nahe zu der Position, welche es annimmt, wenn der jeweilige Haltearm seine Freigabeposition erreicht hat. In diesem Zusammenhang sei es erwähnt, dass die erwähnten individuellen Interaktionsvorrichtungen, zum Beispiel in der Form der erklärten magnetischen Interaktionsvorrichtungen, die finale Bewegung des jeweiligen Haltearms in die Freigabeposition bewirken könnten.
  • Was in den Unterfiguren von 25 schematisch dargestellt ist, wird in Bezug auf alle Gegen-Reaktionselemente und damit in Bezug auf alle Hülsenelemente mit ihrem jeweiligen Haltearm für alle vier vertikale Sätze von Haltearmen, welche an den vier Anbringungssäulen angebracht sind, in dem Verlauf des Öffnungsprozesses bzw. in dem Verlauf des Schließprozesses durchgeführt.
  • Gemäß dieser Variante ist eine wesentlich einfachere Regelung/Steuerung der Bewegung der Betätigungselemente 250a und 250b der beiden Aktuatorvorrichtungen 114a und 114b ausreichend, da das jeweilige Betätigungselement wahlweise nur in eine der beiden alternativen Betriebspositionen zu bringen ist, wobei eine die Öffnungsposition und die andere die Schließposition ist.
  • 26 zeigt eine Nahansicht auf Haltearme 200 und 202 mit ihrem jeweiligen Hülsenelement 200 gemäß einer Variante der Öffnungsvorrichtung 100. Zur Einfachheit, werden die gleichen Bezugszeichen für identische und analoge Elemente verwendet. Gemäß dieser Ausführungsform sind die Hülsenelemente 210 mit zwei parallelen Reihen 240a und 240b von Schraubenlöchern zum Anbringen des jeweiligen Verbindungselements versehen, in der vorliegenden Ansicht der langen Verbindungselemente 242, welche das jeweilige Eingriffselement 246 montieren, so dass es über dem Hülsenelement angeordnet ist, an welchem das Eingriffselement angebracht ist.
  • Die radial vorstehenden Anlagestifte 232, welche an der Anbringungssäule angebracht sind und magnetisch mit den Anlageelementen 230 interagieren, sind zwischen den beiden Anlageelementen 230 eines jeweiligen Hülsenelements 210 angeordnet, wie erklärt. Diese Elemente definieren die beiden Betriebspositionen des jeweiligen Hülsenelements und damit des jeweiligen langen Haltearms 200 oder kurzen Haltearms 202.
  • Die Haltearme 200 und 202 unterscheiden sich von den Haltearmen, welche in der vorausgehenden Beschreibung betrachtet wurden, dadurch, dass jeder Haltearm ein jeweiliges Durchgangsloch 203 aufweist. In dem Fall, dass alle Haltearme die gleiche Betriebsposition annehmen, zum Beispiel entweder die Fang- und Halteposition oder die Freigabeposition, sind all diese Durchgangslöcher 203 ausgerichtet, so dass ein Lichtstrahl, welcher durch eine Lichtstrahl-Sensoranordnung emittiert wird, durch alle Durchgangslöcher hindurchtreten kann und dadurch nicht unterbrochen wird. Dadurch kann eine Regel-/Steuereinheit der Öffnungsvorrichtung 100 erfassen, dass alle diese Haltearme diese gleiche Betriebsposition annehmen.
  • Vorzugsweise kann wenigstens die korrekte Positionierung aller dieser vertikal versetzten Haltearme in der Freigabeposition durch eine angemessen positionierte Lichtstrahl-Sensoranordnung erfasst werden, welche einen Lichtstrahl bereitstellt, welcher vertikal durch diese Durchgangslöcher 203 hindurchtritt, falls alle Haltearme diese Freigabeposition annehmen. Jedoch, falls der Lichtstrahl durch einen oder mehrere dieser Haltearme, welche diese Freigabeposition nicht annehmen, unterbrochen werden würde, dann könnte der Schlitten 112 mit der zugeordneten Aktuatorvorrichtung 114a oder 114b betrieben werden, um alle Haltearme in die Freigabe-Position zu bringen, um vorzubereiten, dass ein neuer Öffnungsprozess in Bezug auf einen Substratträgerstapel ausgeübt wird.
  • Natürlich ist es möglich, zwei derartige Lichtstrahl-Sensoranordnungen in Bezug auf jede der vier vertikalen Reihen von Haltearmen der Öffnungsvorrichtung 100 vorzusehen, wobei eine erfasst, dass alle Haltearme die Freigabeposition annehmen, und die andere erfasst, dass alle Haltearme die Fang- und Halteposition annehmen. Der jeweilige Lichtstrahl würde durch diese Durchgangslöcher 203 von allen Haltearmen in diesen beiden Zuständen des jeweiligen vertikalen Satzes von Haltearmen treten.
  • In 26 sind die Haltearme gezeigt, die Freigabeposition anzunehmen, in welcher die Haltearme in den jeweiligen horizontalen Schlitz 207 des Trennpaneels 164a nicht eingreifen oder nur leicht eingreifen. Ferner kann das Eingriffs- oder Anlageende des Betätigungselements 250a der Aktuatorvorrichtung 114a gesehen werden. Durch Bewegen des Schlittens 112 um eine kurze Distanz nach oben würde das benachbarte Eingriffselement 246 zwischen den beiden Anlageteilen dieses Eingriffs- oder Anlageendes angeordnet werden, so dass der lange Haltearm 200 des zugeordneten Hülsenelements 210 betätigt werden könnte, um die Fang- und Halteposition anzunehmen, durch angemessenes Betätigen der Aktuatorvorrichtung 114a.
  • Die Öffnungsvorrichtung 100 könnte wenigstens ein Lichtstrahl-Sensormittel aufweisen, zum Beispiel ein oberes und ein unteres Lichtstrahl-Sensormittel, welches sich nach oben und nach unten mit dem Schlitten 112 bewegt. In dem Öffnungsprozess passiert der vorzugsweise transversal oder horizontal gerichtete Lichtstrahl des oder eines jeweiligen der Lichtstrahl-Mittel nach unten entlang dem Substrat, insbesondere eines Wafers, eines jeweiligen gefangenen Substratträgers und dem gefangenen Substratträger selbst, und in dem Schließprozess passiert der Lichtstrahl des oder eines jeweiligen der Lichtstrahl-Mittel nach oben entlang dem nächsten Substratträger, welcher freizugeben und aufzunehmen ist, und dem Substrat, insbesondere eines Wafers, dieses Substratträgers, und diese Elemente sollten eine bestimmte Signatur in einem Ausgabesignal des (jeweiligen) Lichtstrahl-Sensormittels ergeben, wodurch es ermöglicht wird, den korrekten Verlauf des Öffnungs- und Schließprozesses, und ob die Substrate, insbesondere Wafer, korrekt an ihrer Stelle angeordnet und nicht gebrochen sind, zu überwachen.
  • Die Öffnungsvorrichtung 100 gemäß der beschriebenen Ausführungsform und Varianten, auf welche sich so weit bezogen wurde, weist wenigstens ein Paar von Lichtstrahl-Sensoren oder Lichtschranken-Sensoren auf, welches einen oberen Sensor und einen unteren Sensor umfasst, welche direkt oder indirekt an einer jeweiligen der beiden Aktuatorvorrichtungen 114a und 114b angebracht sind. Die Aktuatorvorrichtung 114b ist mit einem derartigen Paar von Sensoren bereitgestellt, und zwar einem oberen Sensor 280b und einem unteren Sensor 282b, welche an dem Montagekörper 116b mittels einer Halterung 284b angebracht sind, welche sich in einer vertikalen Richtung erstreckt, so dass die beiden Sensoren in Bezug aufeinander vertikal versetzt sind. Der untere Sensor 282b ist an etwa der gleichen vertikalen Höhe wie das Betätigungselement 250b angeordnet und der obere Sensor ist im Wesentlichen in Bezug auf den unteren Sensor nach oben versetzt angeordnet. Diese Sensoren können Reflexionssensoren sein, welche eine Lichtsende-Schaltung und eine Lichtempfangs-Schaltung in einem Element integriert aufweisen, und 17a und 17b könnten verstanden werden, die Anwesenheit einer Lichtausgabe und einer Lichteingabe, welche in Bezug aufeinander für beide Sensoren 280b und 282b leicht vertikal versetzt sind, anzuzeigen. In diesem Fall würden keine zugeordneten Elemente an der Seite der anderen Aktuatorvorrichtung 114a benötigt werden, aber nichtsdestotrotz könnte ein entsprechendes Paar von Sensoren des Reflexionstyps an der Seite der Aktuatorvorrichtung 114a ebenfalls bereitgestellt sein. Dies wird durch die Anwesenheit der Sensorhalterung 248a und 248b angezeigt, welche zu den Motorgehäusen der jeweiligen Aktuatorvorrichtung 114a und 114b an beiden Seiten des Schlittens 112 benachbart ist, wie in 12 und 13 gezeigt.
  • Alternativ könnte eine dieser Halterungen ein oberes Lichtsende-Element montieren und die andere dieser Halterungen könnte ein oberes Lichtaufnahme-Element montieren, und eine dieser Halterungen könnte ein unteres Lichtsende-Element montieren und die andere Halterung könnte ein unteres Lichtaufnahme-Element montieren, wodurch ein oberer Lichtstrahl- oder Lichtschranken-Sensor des Einweg-Typs und ein unterer Lichtstrahl- oder Lichtschanken-Sensor des Einweg-Typs realisiert wird. In der Tat ist dies die bevorzugte Realisierung dieser Lichtstrahl-Sensoren oder Lichtschranken-Sensoren auf Grund einer zuverlässigeren Erfassung und Überwachung der Substratträger 12 und der Substrate 30.
  • Durch Bereitstellen wenigstens eines oberen Sensors und wenigstens eines unteren Sensors kann die variierende Höhe des Stapels von Substratträgern, welche sich an dem Schlitten 112 nach oben bewegen und nach unten bewegen, durch Schalten von dem oberen Sensor zu dem unteren Sensor in dem Verlauf der Bewegung nach unten des Öffnungsprozesses und durch Schalten von dem unteren Sensor zu dem oberen Sensor in dem Verlauf der Bewegung nach oben des Schließprozesses berücksichtigt werden. Die vertikalen Positionen der beiden Sensoren sind angemessen ausgewählt, relativ zu den Halterungsflächen-Abschnitten 111 des Schlittens 112 und dadurch in Bezug auf die vertikalen Positionen der Substratträger und der Substrate, welche durch die Substratträger gehalten sind, in den geöffneten oder ungestapelten Positionen, wenn die Substratträger durch die Haltearme 200 und 202 gehalten werden. Falls noch höhere Stapel von Substratträgern durch die Öffnungsvorrichtung handzuhaben und wenigstens teilweise zu öffnen und zu schließen sein sollten, dann könnten sogar mehr als zwei derartige Sensoren an einer jeweiligen Seite des Schlittens bereitgestellt sein, welche in Bezug aufeinander angemessen vertikal versetzt sind.
  • Diese Lichtstrahl-Sensormittel erlauben es, den Öffnungs- und den Schließprozess zu überwachen, vorzugsweise umfassend sogar die korrekte Positionierung und den korrekten Zustand der Substrate, insbesondere von Halbleiter-Wafern.
  • Ferner, zum Überwachen der Operation und Funktionen der Öffnungsvorrichtung 100, kann der Schlitten 112 mit wenigstens einem Sensor bereitgestellt sein, welcher dazu eingerichtet ist, die Anwesenheit und korrekte Positionierung eines Substratträgerstapels auf den Halterungsflächen-Abschnitten 111 zu erfassen. Zum Beispiel kann ein induktiver Sensor 290 in einer geeigneten Aufnahme des Schlittens bereitgestellt sein, welcher dazu eingerichtet sein kann, auf ein magnetisches Element oder ein metallisches Element zu reagieren, welches in der Basiseinheit eines jeweiligen Substratträgerstapels integriert ist oder an dieser angebracht ist, oder kann dazu eingerichtet sein, auf die Basiseinheit als solche zu reagieren, falls aus einem metallischen Material hergestellt, wie beispielsweise einem rostfreien Stahl oder Aluminium. Der Schlitten 112 kann ferner ein oder mehrere Positionierungs- oder Zentrierungselemente, zum Beispiel Zentrierungsvorsprünge 292, umfassen, welche mit geeigneten Positionierungs- oder Zentrierungselementen eingreifen, zum Beispiel Zentrierungsöffnungen oder Zentrierungsausnehmungen einer angemessenen ausgelegten Basiseinheit eines jeweiligen Substratträgerstapels. In diesem Zusammenhang sei es erwähnt, dass das Design des Schlittens 112 gemäß 14A und 14B und der anderen Figuren nur ein Beispiel ist, und dass es auf einem Design der Basiseinheit und Varianten davon sowie auf einem Design des Halterungs- oder Greifabschnitts einer Handhabungsvorrichtung oder einer Roboterarm-Anordnung basiert, welche dazu dient, einen Substratträgerstapel auf oder von dem Schlitten 112 zu beladen und/oder zu entladen.
  • Zum Beispiel kann eine Basiseinheit eine ebene untere Fläche aufweisen, wie die Basiseinheit 14 gemäß dem dargestellten Beispiel, welches in 6, 7A und 7B gezeigt ist. In diesem Fall würde ein eher großer vertikaler Spalt zwischen der unteren Fläche der Basiseinheit 14, welche auf den Halterungsflächen-Abschnitten 111 des Schlittens 112 gehaltert ist, und der oberen Fläche 113 des zentralen plattenartigen Abschnitts des Schlittens vorliegen. Jedoch kann die Basiseinheit alternativ Strukturen an ihrer unteren Seite aufweisen, welche nach unten in Bezug auf jene Flächenabschnitte der Basiseinheit vorstehen, welche auf den Halterungsflächen-Abschnitten 111 des Schlittens gehaltert werden wird. Diese Strukturen, welche in diesen erwähnten Spalt aufgenommen werden würden, welcher sich aus dem vertikalen Versatz zwischen der oberen Fläche 113 und dem Halterungsflächen-Abschnitt 111 ergibt, könnten dazu dienen, Spülgas-Versorgungs- und Abgabeleitungen mit Spülgas-Verteilungsstrukturen der Basiseinheit zu verbinden. Eine Spülbehandlung von Substraten, welche in dem geschlossenen Substratträger gespeichert sind, kann vorteilhaft ausgeübt werden, wenn der Substratträgerstapel in einer Lagerungsanordnung gespeichert ist, zum Beispiel einer Lagerungsanordnung einer der Reinraumeinrichtungen, welche oben beschrieben worden sind. Natürlich könnte der Schlitten 112 eine vollständig andere Gestalt zum Haltern anderer Arten von Basiseinheiten aufweisen, falls gewünscht. Ferner ermöglicht dieser Spalt einen angemessenen Eingriff zwischen der Basiseinheit und einem Halterungs- oder Greifabschnitt einer Handhabungsvorrichtung oder einer Roboterarm-Anordnung, wie erwähnt.
  • Die beiden Aktuatorvorrichtungen 114a, 114b und die erwähnten Sensoren sind mit zugehörigen Regel-/Steuermitteln und elektrischen Energieversorgungsmitteln durch geeignete elektrische Kabel verbunden. Vorzugsweise führen alle elektrischen Kabel zu der Schlittenanordnung in einem Kabelstrang an einer Seite der Öffnungsvorrichtung 100. Der Kabelstrang kann vorzugsweise innerhalb einer sogenannten Energiekette oder E-Kette 294 geschützt sein, welche ein Ende an das Chassis der Öffnungsvorrichtung angebracht und das andere Ende direkt oder indirekt an den Montagekörper der Aktuatorvorrichtung angebracht aufweist, in dem vorliegenden Fall den Montagekörper 116b, welcher zu der Aktuatorvorrichtung 114b gehört, mittels geeigneter Komponenten, wie gezeigt in 23A und 23C. Wie gezeigt in 14B kann der Schlitten 112 an seiner unteren Seite mit Abdeckplattenelementen versehen sein, welche Freiräume oder Kanäle abdecken, durch welche elektrische Kabel zum Verbinden der Aktuatorvorrichtung und Sensoren geführt sein können, welche an der anderen Seite der oberen Fläche 113 angeordnet sind.
  • Die Öffnungsvorrichtung 100 kann vorzugsweise mit wenigstens einem Sensor zum Erfassen einer momentanen vertikalen Position des Schlittens 112 bereitgestellt sein. Zum Beispiel könnte die Antriebswelle 140 der beiden Riemenantriebe, welche dem Schlitten 112 zugeordnet sind, oder die Ausgabewelle des Servomotors 136 mit einem Rotationsencoder bereitgestellt sein, da die Bewegungen des Schlittens 112 nach oben und nach unten durch Umdrehungen und Umdrehungswinkel der Antriebswelle und der Ausgabewelle widergespiegelt werden. Jedoch sind direkte Messungen möglich, anstelle von derartigen indirekten Messungen der aktuellen vertikalen Position des Schlittens und dessen vertikaler Bewegung nach oben und nach unten. Zu diesem Zweck können optische Sensormittel vorteilhaft verwendet werden, welche es erlauben, den vertikalen Abstand zwischen einem jeweiligen Sensor und einem Referenzelement oder einem Referenz-Flächenabschnitt der Schlittenanordnung zu messen. Insbesondere könnte wenigstens ein optischer Distanzsensor, zum Beispiel ein so genannter Reflexlichttaster, der den Emitter und den Empfänger in dem gleichen Gehäuse angeordnet aufweist, an dem Chassis oder einer von den anderen stationären Komponenten der Öffnungsvorrichtung angebracht sein, wobei er als Reflexion-Ziel einen Abschnitt der Schlittenanordnung zugeordnet aufweist, zum Beispiel einen Abschnitt einer der Aktuatorvorrichtungen oder Komponenten, welche daran befestigt und zugehörig sind. Zum Beispiel könnte solch ein optischer Distanzsensor an einem der Trennpaneele 140a und 140b in einem oberen Bereich davon angebracht werden und könnte als Reflexion-Ziel das Betätigungselement 250b der Aktuatorvorrichtung 114b oder das Betätigungselement 250a der Aktuatorvorrichtung 144a zugeordnet aufweisen. Elektrische Kabel, welche diesen Sensor mit einer geeigneten elektrischen Energieversorgung und Regel-/Steuermitteln verbinden und andere benötigte elektrische Kabel, können durch die Öffnungsvorrichtung 100 und entlang von Komponenten davon geführt sein und an solchen Komponenten an geeigneten Stellen mittels üblicher Kabelverbinder und Kabelhalterungen befestigt sein. Ein solcher Kabelverbinder oder eine solche Kabelhalterung 298 ist in 23B gezeigt.
  • Solch ein optischer Distanzsensor würde eine exakte Erfassung der momentanen vertikalen Position des Schlittens 112 und seiner Bewegung nach oben und nach unten in dem Verlauf des Öffnungsprozesses und des Schließprozesses erlauben, welche durch die Öffnungsvorrichtung 100 ausgeübt werden. Ein Rotationsencoder, wie erwähnt, ist eine gute Alternative, welche eine indirekte, aber nichtsdestotrotz ausreichend exakte, Erfassung der momentanen vertikalen Position des Schlittens 112 und dessen Bewegung nach oben und nach unten in dem Verlauf des Öffnungsprozesses und des Schließprozesses erlaubt, und könnte sogar für eine dynamische Erfassung der momentanen vertikalen Position und der Bewegungen noch vorteilhafter sein. Dadurch kann der Schlitten 112 ausreichend exakt in eine obere Belade- und Entlade-Position gebracht werden, in welcher ein jeweiliger Substratträger auf den Schlitten geladen werden kann und von dem Schlitten entladen werden kann, und der Schlitten kann in einer geeigneten Weise nach unten in der Öffnungsoperation bewegt werden, und die Bewegung nach unten kann angemessen gestoppt werden, wenn der Schlitten eine untere Betriebsposition erreicht hat, zum Beispiel eine Position entsprechend einer oder nahe zu einer unteren Grenzposition, und der Schlitten kann in einer angemessenen Weise zurück nach oben zu der oberen Belade- und Entlade-Position bewegt werden und auch weiter nach oben zu einer oberen Aufnahmeposition, falls vorgesehen. Ferner, falls die Haltearme individuell mittels eines jeweiligen, an dem Chassis angebrachten individuellen Aktuators betätigt werden würden, anstelle der bewegbaren Aktuatorvorrichtungen 114a und 114b, könnten diese individuellen Aktuatorvorrichtungen angemessen geregelt/gesteuert werden, zum Betätigen der Haltearme koordiniert mit der Bewegung des Schlittens nach unten und koordiniert mit der Bewegung des Schlittens nach oben, auf Grundlage der vertikalen Positions- und Bewegungsdaten, welche durch den vertikalen Distanzsensor oder Rotationsencoder bereitgestellt werden und die momentane vertikale Position des Schlittens 112 anzeigen.
  • Bislang wurde es angenommen, dass die Öffnungsvorrichtung 100 nur eine obere Belade- und Entlade-Position für einen jeweiligen Substratträgerstapel aufweist, welche einer oberen Betriebsposition des Schlittens 112 in der Öffnungsvorrichtung entspricht. Diese obere Betriebsposition des Schlittens ermöglicht es, dass ein Substratträgerstapel auf den Schlitten durch den Belade- und Entlade-Zugang an der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung geladen werden kann und von dem Schlitten 112 durch diesen Belade- und Entlade-Zugang entladen werden kann. Dies ist in der Tat eine brauchbare Realisierung der Öffnungsvorrichtung und diese obere Betriebsposition des Schlittens 112 kann angemessen als Belade- und Entlade-Position des Schlittens bezeichnet werden.
  • Jedoch können weitere Vorteile erreicht werden, falls ein Substratträgerstapel durch den Belade- und Entlade-Zugang geladen werden kann, um innerhalb der Öffnungsvorrichtung 100 unabhängig von dem Schlitten 112 an einer Hilfshalteposition gehalten zu werden, über einem Substratträgerstapel, welcher auf den Schlitten geladen ist, wenn der Schlitten die erwähnte obere Betriebsposition annimmt, welche ein Entladen eines jeweiligen Substratträgerstapels von dem Schlitten ermöglicht, und welche im Prinzip ein Beladen eines jeweiligen Substratträgerstapels auf den Schlitten ermöglicht.
  • Mit dieser Möglichkeit, einen Substratträgerstapel in die Öffnungsvorrichtung 100 unabhängig von dem Schlitten 112 zu beladen, wird es ermöglicht, dass ein neuer Substratträgerstapel in die Öffnungsvorrichtung 100 in einem ersten Betriebsschritt beladen werden kann, bevor der vorherige Substratträgerstapel, an welchem die Öffnungs- und Schließprozesse bereits ausgeübt worden sind, von dem Schlitten 112 in einem zweiten Betriebsschritt entladen wird.
  • Demgemäß, nach einem Beladen des neuen Substratträgerstapels in dieser Hilfshalteposition innerhalb der Öffnungsvorrichtung 100, kann der vorherige Substratträgerstapel dann von dem Schlitten 112 in seiner oberen Entlade-Position entladen werden und zu einer Belade-Stelle in einer Lagerungsanordnung oder dergleichen zurückgeführt werden. Der Schlitten 112, welcher nun frei ist, den neuen Substratträgerstapel zu tragen, kann dann in Richtung der oberen Aufnahmeposition, wie bereits erwähnt, in einen Halterungs-Eingriff mit dem neuen Substratträgerstapel, insbesondere dessen Basiseinheit, nach oben bewegt werden. Der neue Substratträgerstapel kann dann durch zugeordnete Haltemittel, welche die Hilfshalteposition definieren, freigegeben werden, und dann kann der Schlitten mit dem neuen Substratträgerstapel nach unten bewegt werden, um die Öffnungsoperation auszuüben, und kann dann wieder nach oben bewegt werden, um die Schließoperation auszuüben, und um nachfolgend diesen Substratträgerstapel von dem Schlitten 112 zu entladen.
  • Bevor dieser Substratträgerstapel von dem Schlitten entladen wird, könnte bereits der nächste Substratträgerstapel in die Öffnungsvorrichtung 100 geladen worden sein, um durch die Haltemitel gehalten zu werden. Eine entsprechende Handhabungs- oder Roboterarm-Anordnung, welche die Substratträgerstapel zwischen dem Belade- und Entlade-Zugang der Öffnungsvorrichtung und einer Lagerungsanordnung oder dergleichen transferiert, kann das Beladen eines neuen Substratträgerstapels in die Öffnungsvorrichtung 100 und das Entladen des vorherigen Substratträgerstapels aus der Öffnungsvorrichtung innerhalb eines Arbeitsablaufs ausführen. Es besteht kein Bedarf, den nächsten Substratträgerstapel in den Belade- und Entlade-Zugang der Öffnungsvorrichtung nur nach dem Entladen des vorherigen Substratträgerstapels aus dem Beladen- und Entlade-Zugang einzuführen. Der nächste Substratträgerstapel kann bereits dem Öffnungsprozess unterzogen werden, während der vorherige Substratträgerstapel zu der Lagerungsanordnung oder dergleichen zurückgeführt wird. Dadurch kann der Durchsatz von Substratträgerstapeln durch die Öffnungsvorrichtung 100 wesentlich gesteigert werden.
  • Die Öffnungsvorrichtung 100 und ihre Varianten, welche in den vorhergehenden Figuren gezeigt werden, stellt solch eine zusätzliche oder obere Hilfsbelade-Position für einen jeweiligen Substratträgerstapel bereit, welcher den Öffnungs- und Schließ-Operationen unterzogen werden soll. Zu diesem Zweck weist die Öffnungsvorrichtung 104 elektromagnetische Aktuatoren 300, insbesondere Magnet-Aktuatoren 300, auf, welche in einer schwenkbaren Weise an dem Chassis der Öffnungsvorrichtung in einem oberen Bereich davon angebracht sind. Zwei derartige elektromagnetische Aktuatoren 300 sind an der dritten Seite bereitgestellt und zwei derartige elektromagnetische Aktuatoren 300 sind an der vierten Seite der Öffnungsvorrichtung bereitgestellt, an der Außenseite des jeweiligen Trennpaneels 164a und 164b, wie in 10 und 11 gesehen werden kann.
  • Der elektromagnetische Aktuator 300, welcher an der dritten Seite, nahe zu der ersten Seite der Öffnungsvorrichtung angeordnet ist, ist in der teilweisen seitlichen Nahansicht von 27 gezeigt, zusammen mit einem benachbarten optischen reflektiven Sensor 296, zum Beispiel einem reflektiven Lichtstrahl-Sensor, insbesondere einem sogenannten Reflexionslichttaster, oder einem diffusen reflektiven Sensor 296, welcher an dem Trennpaneel 164b angebracht ist.
  • Ein Ausgabestab 320 des Aktuators 300 ist in einer schwenkbaren Weise mit einem jeweiligen hakenförmigen Halteelement 322 verbunden, welches in Bezug auf eine Schwenkhalterung 324 des Halteelements 322 exzentrisch ist, welches als Haltehaken 322 in dem Folgenden bezeichnet werden wird, obwohl das Halteelement alternativ anders geformt sein könnte und auch in einer vollständig anderen Weise bewegbar sein könnte.
  • Gemäß der gezeigten Ausführungsform kann der jeweilige Haltehaken 322 zwischen einer Halteposition, in welcher sich ein Halteabschnitt 326 des jeweiligen Haltehakens 322 durch einen vertikalen Schlitz 328 in dem jeweiligen Trennpaneel 164b in den inneren Raum der Öffnungsvorrichtung 100 erstreckt, um als Halterung für den nächsten Substratträgerstapel verfügbar zu sein, und einer Freigabeposition verschwenkt werden, in welcher der Haltehaken 322 sich nicht durch den jeweiligen vertikalen Schlitz 328 in diesen inneren Raum erstreckt oder sich weniger durch den jeweiligen vertikalen Schlitz 328 in diesen inneren Raum erstreckt. 27 und 28, welche eine Ansicht der inneren Seite der jeweiligen Trennpaneele 164b ist, zeigen die Haltehaken 322 an dieser Seite der Öffnungsvorrichtung 100, dass sie die Halteposition einnehmen. Der jeweilige elektromagnetische Aktuator 300 ist in dieser Position nicht betätigt. Vorspannende Federn könnten in die Aktuatoren 300 integriert sein, welche den jeweiligen Haltehaken 322 über den Ausgabestab in Richtung und in die Halteposition vorspannen. Gegenüberliegene Haltehaken 322 mit ihren Halteabschnitten 326, welche in den inneren Raum vorstehen, können auch in 28H gesehen werden.
  • Ein Betätigen des Aktuators 300 veranlasst den Ausgabestab 320, sich in Richtung des Haltehakens zu bewegen, im Wesentlichen in oder in Bezug auf die abwärtige Richtung leicht geneigt, so dass der Haltehaken 322 um etwa 90° verschwenkt wird. Dadurch schwenkt der Halteabschnitt 326 im Wesentlichen in einer Richtung nach oben aus dem inneren Raum bis der Haltehaken seine Freigabeposition annimmt. Natürlich kann man vollständig andere Kinetiken von hakenförmigen Halteelementen oder anderen Arten von Halteelementen vorsehen, zum Beispiel umfassend, dass Halteabschnitte im Wesentlichen in einer abwärtigen Richtung aus dem inneren Raum verschwenken bis das jeweilige Halteelement seine Freigabeposition annimmt.
  • Ein Substratträgerstapel, welcher durch diese beiden Haltehaken an dieser Seite der Öffnungsvorrichtung und die entsprechenden beiden weiteren Haltehaken an der entgegengesetzten Seite der Öffnungsvorrichtung gehaltert worden ist, wird nun, nach der Freigabe durch die Haltehaken, durch den Schlitten 112 getragen, welcher nach oben in den erwähnten Halterungseingriff bewegt worden ist. Nachfolgend kann der nächste Öffnungs- und Schließprozess ausgeübt werden.
  • Wie beschrieben, gibt es zwei solche Haltehaken 322, welche sich in den inneren Raum mit einem jeweiligen Halteabschnitt 326 in der Halteposition an der dritten Seite erstrecken (vergleiche 11), und es gibt zwei solche Haltehaken 322, welche sich in den inneren Raum mit einem jeweiligen Halteabschnitt 326 in der Halteposition an der vierten Seite (vergleiche 10) der Öffnungsvorrichtung erstrecken, so dass ein jeweiliger neuer Substratträger in der oberen oder Hilfsbelade-Position innerhalb der Öffnungsvorrichtung sicher gehalten werden kann. Jedoch können alternativ vollständig andere Haltestrukturen zum Erreichen des Vorteils der zusätzlichen oberen oder Hilfshalteposition für einen jeweiligen Substratträgerstapel vorgesehen sein, welcher den Öffnungs- und Schließprozessen zu unterziehen ist.
  • Die Ansicht auf die innere Seite der Trennpaneele 164b an der dritten Seite der Öffnungsvorrichtung, welche in 28 gezeigt ist, stellt ferner dar, dass ein Erfassungs-Lichtstrahl 330 durch eine Öffnung 332 in dem Trennpaneel transmittiert wird, welcher durch den Lichtstrahl-Sensor 296 an der anderen Seite des Trennpaneels emittiert wird. Dieser Lichtstrahl-Sensor 296 ist zum Erfassen der Anwesenheit eines neuen Substratträgerstapels vorgesehen, welcher durch die Haltehaken 322 gehalten wird, welcher dem Öffnungs- und Schließprozess unterzogen werden kann.
  • Ein weiterer solcher Lichtstrahl 334 ist unter dem Lichtstrahl 330 gezeigt, welcher durch eine weitere Öffnung 336 in dem Trennpaneel emittiert wird. Dieser Lichtstrahl wird durch einen weiteren solchen Lichtstrahl-Sensor 297 emittiert, welcher in 11 gezeigt ist, welcher an den gleichen Trennpaneel 194b angebracht ist und dazu dient, die Anwesenheit eines Substratträgerstapels zu erfassen, welcher auf dem Schlitten 112 in der oberen Betriebsposition gehalten wird, welche als eine Entlade-Position dient. In der Praxis wird dies ein Substratträgerstapel sein, an welchem die Öffnungs- und Schließprozesse bereits ausgeübt worden sind, und welcher zu der Lagerungsanordnung oder dergleichen zurückgeführt werden soll. Es sei erwähnt, dass die Lichtstrahlen 330 und 334 auch in 10 dargestellt sind.
  • Diese Sensoren, welche die Anwesenheit oder Nicht-Anwesenheit eines jeweiligen Substratträgerstapels an der jeweiligen Position innerhalb der Öffnungsvorrichtung 100 anzeigende Signale an eine Regel-/Steuereinheit der Öffnungsvorrichtung aussenden (wie beispielsweise die Regel-/Steuereinheit 340, welche in 37 schematisch gezeigt ist), ermöglichen einen korrekten Betrieb der Öffnungsvorrichtung mit hohem Durchsatz von S ubstratträgerstapel n.
  • Um eine Beschädigung von Komponenten im Fall einer Fehlfunktion der Riemenantriebe und der zugehörigen Regel-/Steuereinheit zu vermeiden, welche die Bewegung des Schlittens 112 nach oben und nach unten regelt/steuert, kann die Öffnungsvorrichtung mit einem oder mehreren Gummipuffern in einem oberen Abschnitt oder/und in einem unteren Abschnitt der Öffnungsvorrichtung 100 versehen sein. Solche Gummipuffer könnten Teil einer Notabschaltung der Riemenantriebe sein, so dass ein Anschlag von wenigstens einem geeigneten Teil der Schlittenanordnung gegen wenigstens einen solchen Gummipuffer eine Unterbrechung der Stromversorgung für den Servomotor 136 hervorrufen würde.
  • Vorzugsweise kann der Öffner an der ersten Seite über oder in einem oberen Bereich des Belade- und Entlade-Zugangs für die Substrate mit einer lonisatorvorrichtung 302 bereitgestellt sein, welche dazu dient, statische Elektrizität in dem Bereich dieses Entlade- und Belade-Zugangs zu eliminieren oder wenigstens zu reduzieren. Zu diesem Zweck werden Ionen erzeugt und emittiert, um sich einem Ionen-Ausgleich anzunähern, und vorzugsweise, um einen Ionen-Ausgleich zu erhalten und aufrecht zu halten. Die lonisatorvorrichtung 302 wird mit elektrischer Energie und reiner trockener Luft versorgt, insbesondere mit unter Druck stehender Reinluft. Ein zugeordnetes magnetisches Ventil 304 einer Versorgung für unter Druck gesetzte reine trockene Luft ist in 22B gezeigt. Die lonisatorvorrichtung 302 kann mit wenigstens einem Rückkopplungs-Sensor versehen sein, welcher an einer geeigneten Position innerhalb des Belade- und Entlade-Zugangs angeordnet sein kann. Die Öffnungsvorrichtung kann ferner mit einer lonisatorvorrichtung an der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung versehen sein, welche dem Belade- und Entlade-Zugang für die Substratträger zugeordnet ist.
  • Betreffend die Platzierung der Öffnungsvorrichtung 100 in einer Anlage zur Herstellung von Halbleitern oder ähnlichem, zum Beispiel als Teil einer Reinraumeinrichtung, wie beschrieben, sollte hinzugefügt werden, dass die Öffnungsvorrichtung in einer angemessenen Weise auf einer Halterungsstruktur platziert sein kann, welche wenigstens einen Kanal zum Aufnehmen von elektrischen Kabeln und benötigten Versorgungsleitungen aufweist, umfassend möglicherweise wenigstens eine Versorgungsleitung für unter Druck gesetzte reine Luft, in Richtung und in die Öffnungsvorrichtung. Zu diesem Zweck weist die Öffnungsvorrichtung eine Durchgangsöffnung 306 in ihrer Basisplatte 104 auf, welche auf der Halterungsstruktur mit einer geeigneten Ausrichtung der Durchgangsöffnung 306 und einer Durchgangsöffnung der Halterungsstruktur positioniert werden wird. Diese Durchgangsöffnung 306 in der Basisplatte oder andere Durchgangsöffnungen der Basisplatte können auch dazu dienen, Spülluft aus der Öffnungsvorrichtung über den erwähnten wenigstens einen Kanal oder dezidierte Spülkanäle der erwähnten Halterungsstruktur abzugeben.
  • Zum Erreichen einer guten Abfuhr von Luft von der Öffnungsvorrichtung 100 mit einem Spülluft-Strom nach unten in Richtung der Basisplatte und in solch einen Kanal oder dergleichen der Halterungsstruktur, können geeignete Lüfter oder Gebläse bereitgestellt sein. Vorzugsweise ist wenigstens ein solcher Lüfter bzw. ein solches Gebläse an der Basisplatte 104 an der dritten Seite und an der vierten Seite des Öffners angebracht, außerhalb der jeweiligen Trennpaneele 164a und 164b, und vorzugsweise auch an der zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung, außerhalb des Trennpaneels 180, so dass jegliche abgeriebenen Partikel, welche durch Abrasion auf Grund der mechanischen Interaktion von Komponenten der Öffnungsvorrichtung hervorgerufen werden, wie beispielsweise der Riemenantriebe, und insbesondere aus der Interaktion zwischen den Betätigungselementen mit den Eingriffselementen 246 und 246' der Haltearme 200 und 202 resultierend, von dem inneren Raum der Öffnungsvorrichtung ferngehalten werden, wo die Substrate in dem geöffneten oder teilweise geöffneten Zustand des jeweiligen Substratträgerstapels zugänglich sind. Im Hinblick auf ein Halten von derartigen Abrasionspartikeln weg von den Substraten können die Eingriffselemente 246 der Haltearme 200 und 202 der Öffnungsvorrichtung 100 relativ weit weg nach unten von der vertikalen Position des jeweiligen Substrats angeordnet sein, welches innerhalb des Sitzes eines jeweiligen Substratträgers gehalten wird, welcher in der geöffneten Bedingung durch den erwähnten Satz von vier Haltearmen gehaltert wird. Dies wird durch die erklärte Gestalt der Haltearme zusammen mit ihren Hülsenelementen und den Verbindungselementen, welche ein jeweiliges Eingriffselement halten, sowie durch eine geeignete Auslegung der Substratträger mit Substrat-Haltearmen, welche sich von einem Substratträger-Rahmen nach oben erstrecken, welcher an den Haltearmen der Öffnungsvorrichtung gehaltert ist, erreicht.
  • In dem vorliegenden Fall weist die Öffnungsvorrichtung drei solche Lüfter oder Gebläse, einen an jeder Seite der drei Seiten der Öffnungsvorrichtung, außerhalb des jeweiligen Trennpaneels, auf. Diese Lüfter oder Gebläse 308a, 308b und 308c können Axiallüfter oder Axialgebläse sein. In diesem Fall sind die Lüfter oder Gebläse auf der Basisplatte 104 ausgerichtet mit einem jeweiligen Durchgangsloch unter dem jeweiligen Lüfter oder Gebläse angebracht, um Spülluft über die jeweilige Durchgangsöffnung in und über die erwähnte Halterungsstruktur abzugeben, auf welcher die Öffnungsvorrichtung 100 platziert ist. Alternativ können diese Lüfter oder Gebläse Radiallüfter oder Radialgebläse sein, welche Spülluft durch eine Öffnung in dem jeweiligen Trennpaneel in den Raum der Öffnungsvorrichtung unter der Metallblech-Platte 142 seitwärts abgeben, welches von der Umgebung auch durch eine Metallblech-Stirnplatte 160 und die erwähnten Trennpaneele abgeschirmt ist. In diesem Fall kann die Spülluft über die Durchgangsöffnung 306 der Basisplatte 104 in und über die erwähnte Halterungsstruktur abgegeben werden.
  • Demgemäß kann die Öffnungsvorrichtung 100 vorzugsweise mit geeigneten nach unten gerichteten Spülgas-Strömen bereitgestellt sein, welche sicherstellen, dass Abrasionspartikel, welche durch die mechanische Interaktion von mechanischen Komponenten erzeugt werden könnten, von den Substraten ferngehalten werden, insbesondere von Halbleiter-Wafern, welche auf einem jeweiligen Substratträger in dem geöffneten Zustand gehalten sind, oder von oder in Richtung des Sitzes eines jeweiligen Substratträgers in dem geöffneten Zustand transportiert werden könnten.
  • In dem Folgenden wird sich auch schematische Figuren bezogen, welche dazu dienen, den Betrieb von geeigneten Ausführungsformen einer Öffnungsvorrichtung gemäß der Erfindung darzustellen, umfassend die bisher beschriebenen Ausführungsformen der Öffnungsvorrichtung sowie Varianten davon. Zur Vereinfachung werden die gleichen Bezugszeichen für identische oder analoge Komponenten verwendet. Die jeweilige Öffnungsvorrichtung ist nur durch einige ihrer strukturellen Komponenten repräsentiert, umfassend Komponenten, welche ihren jeweiligen Bewegungsmechanismus 101 repräsentieren.
  • 29A zeigt einen Stapel von Substratträgern, welche auf einem schematischen Schlitten 112 der Öffnungsvorrichtung angeordnet ist. Der Substratträgerstapel 10 ist ohne eine Basiseinheit und ohne eine Abdeckungseinheit gezeigt. Jedoch kann der Substratträgerstapel 10 natürlich eine Basiseinheit und eine Abdeckungseinheit neben den Substratträgern 12, welche aufeinander gestapelt sind, umfassen. Die Substratträger 12 sind mit Substraten 30 gezeigt, welche durch den jeweiligen Substratträger 12 gehalten werden. Der Schlitten 112 ist in einer oberen Betriebsposition gezeigt, insbesondere in einer oberen Belade- und Entlade-Position oder einer oberen Entlade-Position, oder in einer oberen Startposition der Öffnungsvorrichtung.
  • 29B zeigt die Substratträger 12 in dem ungestapelten Zustand, wobei der Schlitten 112 in einer unteren Betriebsposition innerhalb der Öffnungsvorrichtung angeordnet ist.
  • In beiden diesen Figuren ist der Schlitten 112 mit einem schematischen Betätigungselement 250a und 250b an jeder Seite des Substratträgerstapels 10 gezeigt, welches auch die jeweilige Aktuatorvorrichtung repräsentiert, wie die Aktuatorvorrichtung 114a und die Aktuatorvorrichtung 114b, welche durch den Schlitten 112 für eine gemeinsame Bewegung nach unten und nach oben gehaltert ist oder damit verbunden ist. Gemäß 29B sind die Substratträger 12 durch schematisch gezeigte Haltearme gehalten, nämlich lange Haltearme 200 oder kurze Haltearme 202 oder kurze und lange Haltearme 200 und 202, welche alternierend entlang der vertikalen Richtung angeordnet sind. Demgemäß kann die Situation wie für die Öffnungsvorrichtung gemäß den detaillierten Figuren sein, aber es sei nicht ausgeschlossen, dass nur eine Art von Haltearmen zum Bilden eines jeweiligen sich vertikal erstreckenden Satzes von Haltearmen verwendet wird.
  • Die Haltearme sind mit einem jeweiligen Eingriffselement 246 gezeigt, welches durch ein jeweiliges Verbindungselement in einer definierten vertikalen Position in Bezug auf die vertikale Position des jeweiligen Haltearms 200 oder 202 gehalten ist, um die beschriebene Kompensation der Höhenvariation des Substratträgerstapels 10 in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation zu erreichen.
  • Gemäß 29B ist der unterste Substratträger 12 an seiner geöffneten Position auf dem Schlitten 112 platziert. Stattdessen könnte der unterste Substratträger in dem ungestapelten geöffneten Zustand durch einen jeweiligen zusätzlichen Satz von Haltearmen gehalten werden, welche eine vertikale Halteposition definieren. Ferner könnte der unterste Substratträger 12 durch die erwähnte Basiseinheit des Substratträgerstapels 10 ersetzt sein und der oberste Substratträger 12 könnte durch die erwähnte Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels 10 ersetzt sein.
  • Die Öffnungsvorrichtung könnte dazu eingerichtet sein, Stapel von Substratträgern zu behandeln, welche mehr Träger aufweisen, als Sätze von Haltearmen, welche in der Öffnungsvorrichtung an einer bestimmten vertikalen Position bereitgestellt sind, so dass nur eine ausgewählte Untergruppe von Substratträgern des Stapels geöffnet werden würde und durch den jeweiligen zugeordneten Satz von Haltearmen in der Öffnungsvorrichtung in der vertikal versetzten Weise, wie es beschrieben worden ist, gehalten werden würde.
  • 30A bis 30C stellen solch eine Öffnungsvorrichtung und entsprechend teilweise geöffnete Zustände des jeweiligen Substratträgerstapels 10 dar. Wieder sind keine Basiseinheit und keine Abdeckungseinheit gezeigt, aber der Substratträgerstapel kann natürlich eine Basiseinheit, welche auf dem Schlitten 112 gehaltert ist, und eine Abdeckungseinheit umfassen, welche auf dem obersten Substratträger 12 gestapelt ist.
  • Für einen selektiven Betrieb an einem oberen Satz der Substratträger und an einem unteren Satz der Substratträger des Substratträgerstapels sind nicht nur die Betätigungselemente 250a und 250b mit ihren zugeordneten Aktuatorvorrichtungen bereitgestellt, um mit dem Schlitten 112 gemeinsam bewegbar zu sein, sondern ein zusätzliches oberes Betätigungselement 250c auf der Seite des Betätigungselements 250a und ein zusätzliches oberes Betätigungselement 250d auf der Seite des Betätigungselements 250b, welche ebenfalls eine jeweilige Aktuatorvorrichtung repräsentieren. Die oberen Betätigungselemente 250d und 250c sind von den unteren Betätigungselementen 250a und 250b unabhängig bewegbar. Für einen Betrieb an dem oberen Satz von Substratträgern 12 des Substratträgerstapels 10 werden die oberen Aktuatorvorrichtungen mit dem jeweiligen oberen Betätigungselement 250c und 250d betrieben, um mit den Eingriffselementen 246 der Haltearme 200/202 einzugreifen, um den teilweise ungestapelten Zustand des Substratträgerstapels gemäß 30B zu erreichen, in welchem eine obere Untergruppe der Substratträger 12 des Substratträgerstapels geöffnet ist. Durch alternatives Betreiben der unteren Aktuatorvorrichtungen mit ihren Betätigungselementen 250a und 250b kann der teilweise ungestapelte Zustand gemäß 30C erreicht werden, in welchem eine untere Untergruppe der Substratträger 12 des Substratträgerstapels teilweise ungestapelt und geöffnet ist. Wieder könnte der unterste Substratträger 12 durch eine Basiseinheit des Substratträgerstapels 10 ersetzt sein und der oberste Substratträger 12 könnte durch eine Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels 10 ersetzt sein.
  • Wie mit Bezug auf die detaillierten Figuren der Öffnungsvorrichtung 100 beschrieben, könnte die Öffnungsvorrichtung 100 mit Lichtstrahl-Sensormitteln bereitgestellt sein, umfassend einen oberen Lichtstrahl-Sensor 280b und einen unteren Lichtstrahl-Sensor 282b auf der Seite des Betätigungselements 250b, und entsprechend einen oberen Lichtstrahl-Sensor 280a und einen unteren Lichtstrahl-Sensor 282a auf der Seite des Betätigungselements 250a, welche mit dem Schlitten 112 für eine gemeinsame Bewegung nach oben und nach unten verbunden sind. Wie erwähnt, können diese Sensoren Sensoren des Reflexions-Typs sein. Alternativ könnte eines der Elemente 280a und 280b ein einen Lichtstrahl emittierender Teil und das andere dieser Elemente könnte ein einen Lichtstrahl empfangender Teil eines oberen Lichtstrahl-Sensors sein, und entsprechend könnte ein Element von Elementen 282a und 282b ein Licht emittierender Teil sein und das andere dieser Elemente könnte ein Licht empfangender Teil eines unteren Lichtstrahl-Sensors sein, wie bereits erwähnt. Es wird sich auf 31 bezogen, welche derartige Lichtstrahl-Sensoren schematisch zeigt.
  • Mit diesen Lichtstrahl-Sensoren kann das Stapeln und das Entstapeln und der Zustand der Substrate 30 überwacht werden. Zum Aufnehmen der variierenden Höhe des Stapels von Substratträgern kann von dem jeweiligen oberen Sensor zu dem jeweiligen unteren Sensor in dem Verlauf der Bewegung nach unten und von dem jeweiligen unteren Sensor zu dem jeweiligen oberen Sensor in dem Verlauf der Bewegung nach oben gewechselt werden.
  • Das Gleiche kann analog für den Fall erreicht werden, dass ein teilweises Entstapeln eines Substratträgerstapels 10 mit mehr Substratträgern ausgeübt werden soll, wie in 30A bis 30C dargestellt. Zu diesem Zweck kann ein zusätzlicher Satz wenigstens eines oberen Lichtstrahl-Sensors oder von zwei Lichtstrahl-Sensorteilen und wenigstens ein unterer Lichtstrahl-Sensor oder von zwei Lichtstrahl-Sensorteilen bereitgestellt sein, in dem vorliegenden Fall ein oberer Lichtstrahl-Sensor 280c oder Lichtstrahl-Sensorteil 280c und ein unterer Lichtstrahl-Sensor 282c oder Lichtstrahl-Sensorteil 282c auf der Seite des Betätigungselements 250c und ein oberer Lichtstrahl-Sensor 280d oder Lichtstrahl-Sensorteil 280d und ein unterer Lichtstrahl-Sensor 282d oder Lichtstrahl-Sensorteil 282d auf der Seite des Betätigungselements 250d. Es wird sich auf 32 bezogen, welche schematisch ein oberes und ein unteres Betätigungselement sowie wenigstens einen oberen Satz von Lichtstrahl-Sensoren 280c, 282c, 280d, 282d und wenigstens einen unteren Satz von Lichtstrahl-Sensoren 280a, 282a, 280b, 282b zeigt. Wenn die Betätigungselemente 250c und 250d zum teilweisen Entstapeln der oberen Untergruppe der Substratträger betätigt werden, werden das obere Paar von Sensoren oder Sensorteilen 280c und 282d auf der Seite des Betätigungselements 250c und das obere Paar von Sensoren oder Sensorteilen 280d und 282d auf der Seite des Betätigungselements 250d verwendet. Zum Arbeiten an der unteren Untergruppe von Trägern des Substratträgerstapels, welches durch die unteren Betätigungselemente 250a und 250b durchgeführt wird, werden das untere Paar von Sensoren oder Sensorteilen 280a und 282a auf der Seite des Betätigungselements 250a und das untere Paar von Sensoren oder Sensorteilen 280b und 282b auf der Seite des Betätigungselements 250b verwendet.
  • 33 stellt eine Öffnungsvorrichtung dar, welche dazu eingerichtet ist, selektiv an einer aus drei Untergruppen von Substratträgern eines Substratträgerstapels zu arbeiten, und zwar an einer oberen Untergruppe oder einer mittleren Untergruppe oder einer unteren Untergruppe. 30 zeigt die mittlere Untergruppe von Substratträgern in dem ungestapelten Zustand. Anstelle eines Bereitstellens einer weiteren Aktuatorvorrichtung mit einem jeweiligen Betätigungselement an jeder Seite des Substratträgerstapels, so dass drei Betätigungselemente vorhanden wären, welche in Bezug aufeinander vertikal versetzt sind, werden die Haltearme 200/202 mittels individueller Aktuatorvorrichtungen 115 betätigt, welche an dem Chassis der Öffnungsvorrichtung oder an damit fest verbundenen Strukturelemente fest angebracht sind. Jeder Haltearm der Öffnungsvorrichtung könnte seine eigene Aktuatorvorrichtung aufweisen.
  • Alternativ könnte jedes Paar von Haltearmen an einer jeweiligen Seite der Öffnungsvorrichtung eine gemeinsame Aktuatorvorrichtung 115 aufweisen. Demgemäß ist der Schlitten 112 nur mit Lichtstrahl-Sensormitteln versehen, um gemeinsam mit dem Schlitten 112 bewegbar zu sein, um das Stapeln und Entstapeln der Substratträger 12 und den Zustand des jeweiligen Substrats 30 zu überwachen. Ein zusätzliches Paar eines oberen Lichtstrahl-Sensors 280e oder Lichtstrahl-Sensorteils 280e und eines unteren Lichtstrahl-Sensors 282e oder Lichtstrahl-Sensorteils 282e und ein zusätzliches Paar eines oberen Lichtstrahl-Sensors 280f oder Lichtstrahl-Sensorteils 280f und eines unteren Lichtstrahl-Sensors 282f oder Lichtstrahl-Sensorteils 282f ist an beiden Seiten der Öffnungsvorrichtung vorgesehen, um sich mit dem Schlitten 112 gemeinsam zu bewegen.
  • Zum Überwachen des Stapelns und des Entstapelns der Substratträger 12 und des Zustands der Substrate 30 der unteren Untergruppe von Substratträgern sind die Lichtstrahl-Sensoren 280a, 282a und 280b, 282b zu verwenden. Zum Überwachen des Stapelns und des Entstapelns der Substratträger 12 und des Zustands der Substrate 30 der mittleren Untergruppe von Substratträgern sind die Lichtstrahl-Sensoren 280c, 282c und 280d, 282d zu verwenden. Zum Überwachen des Stapelns und des Entstapelns der Substratträger 12 und des Zustands der Substrate 30 der oberen Untergruppe von Substratträgern sind die Lichtstrahl-Sensoren 280e, 282e und 280f, 282f zu verwenden.
  • Zusätzlich zu den individuellen Aktuatorvorrichtungen 115, welche in 33 durch ein jeweiliges Betätigungselement schematisch repräsentiert sind, sind individuelle Sensoren 310 in der Öffnungsvorrichtung in der Nähe der Haltearme 200/202 bereitgestellt und angebracht, um die momentane Position des jeweiligen Haltearms zu erfassen. Diese Sensoren 310 können zum Beispiel optische Sensoren oder induktive Sensoren sein.
  • Alternativ oder zusätzlich kann einer oder mehrere Lichtstrahl-Sensoren für jeden vertikalen Satz von Haltearmen bereitgestellt sein, um zu überwachen, ob alle Haltearme die gleiche korrekte Position annehmen, welche eine aus der Fang- und Haltepositionen und der Freigabeposition ist, bevor die Öffnungsvorrichtung für das Öffnen bzw. Schließen eines Stapels oder Teilstapels von Substratträgern betrieben wird. Solch eine Überwachung könnte vorzugsweise mittels der jeweiligen Sensoren ausgeübt werden, bevor ein Substratträgerstapel auf den Schlitten 112 geladen wird. Es wird sich auf die obige Beschreibung mit Bezug auf 26 bezogen.
  • Wie bereits erwähnt, wird der Substratträgerstapel 10, an welchem die Öffnungsvorrichtung arbeitet, üblicherweise eine Basiseinheit 14, auf welcher die Substratträger 12 in dem gestapelten Zustand gestapelt sind, und eine Abdeckungseinheit 16 aufweisen, welche auf dem obersten Substratträger 12 des Substratträgerstapels 10 in dem gestapelten Zustand gestapelt ist. Solch ein Substratträgerstapel ist in 34 in dem ungestapelten Zustand gezeigt, wie durch eine geeignete Öffnungsvorrichtung erreicht. Hier ist der Schlitten 112 mit der Basiseinheit 14 in einem eher großen vertikalen Abstand von dem untersten Substratträger gezeigt, welcher durch einen jeweiligen Haltearm gehalten wird. Solch ein großer vertikaler Abstand ist nicht notwendig. Der Schlitten könnte in dem ungestapelten Zustand des Substratträgerstapels in einem kleineren Abstand von dem untersten Substratträger positioniert sein, zum Beispiel derart, dass die unteren optischen Sensoren oder Sensorteile 282a und 282b gerade unter dem unteren Rand des untersten Substratträgers positioniert sind.
  • In den 29B, 30B, 30C, 33 und 34 ist die Anwesenheit von Anbringungssäulen 152a, 152b, 154a, 154b für die Haltearme 200/202 nur schematisch angezeigt, ohne jegliche Halterung der Anbringungssäulen an einer Basisplatte, wie der Basisplatte 104 der Öffnungsvorrichtung 100, welche in den detaillierten Figuren gezeigt ist. Für solch eine Halterung würden sich die Anbringungssäulen natürlich weiter nach unten erstrecken, um unter dem Schlitten 112 gehaltert zu werden. Ferner sind keine die Haltearme halternde Hülsenelemente gezeigt, was ohnehin nur eine Option für die Realisierung der Öffnungsvorrichtung ist. Demgemäß sind die Eingriffselemente 246 in den Figuren, mit Ausnahme von 33, schematisch so gezeigt, dass sie direkt mit dem zugeordneten Haltearm mittels eines geeigneten Verbindungselements verbunden sind, was in der Tat eine Option für die Realisierung der Öffnungsvorrichtung ist.
  • Von der vorausgehenden Beschreibung wird es klar, dass die Öffnungsvorrichtung eine geeignete Regel-/Steuereinheit 340 aufweisen wird, vorzugsweise mit wenigstens einem Prozessor 342, einem Festwertspeicher oder Flash-Speicher 344 und einem Direktzugriffsspeicher 346. Wie in 37 schematisch gezeigt sind die verschiedenen steuerbaren Komponenten der Öffnungsvorrichtung, und zwar wenigstens die beiden Aktuatorvorrichtungen 114a und 114b, die beiden Servomotoren 136 und 188, das Ventil 304, der Ionisator 302 und die Lüfter oder Gebläse 308a, 308b und 308c usw., über geeignete elektrische Kabel mit der Regel-/Steuereinheit 340 verbunden, um durch die Regel-/Steuereinheit 340 geregelt/gesteuert zu werden. Diese Regelung/Steuerung wird durch die Regel-/Steuereinheit 340 auf Grundlage von Signalen oder Daten ausgeübt, welche von den verschiedenen Sensoren empfangen werden, umfassend einen vertikalen Abstandssensor oder Drehsensor 350, welcher die momentane vertikale Position des Schlittens 112 anzeigt, die Lichtstrahl-Sensoren 280a, 280b, 282a, 282b, 296 und 297, den Haltearmen 200, 202 zugeordnete Sensoren, die induktiven Sensoren 274 der beiden Aktuatorvorrichtungen 114a und 114b, den induktiven Sensor 290 des Schlittens 112 und alle anderen Sensoren, welche in der vorausgehenden Beschreibung erwähnt worden sind, und beliebige weitere Sensoren, welche bereitgestellt werden könnten. Die Regel-/Steuereinheit 340 kann einer übergeordneten Regel-/Steuereinheit einer Reinraumeinrichtung, wie erwähnt, oder einer Anlage zur Herstellung von Halbleitern zugeordnet oder zugehörig oder damit verbunden sein, falls angemessen.
  • Im Fall einer Betätigung der Haltearme mittels individueller Aktuatorvorrichtungen, welche an dem Chassis der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, wie beispielsweise schematisch in 33 dargestellt, wird die Regel-/Steuereinheit 340 diese Aktuatorvorrichtungen 115 regeln/steuern, um die benötigte sequenzielle Betätigung der Haltearme mit der Bewegung des Schlittens 112 koordiniert auszuüben, wobei die abnehmende Höhe des Stapels von Substratträgern in dem Verlauf der Öffnungsoperation und die zunehmende Höhe des Stapels von Substratträgern in dem Verlauf der Schließoperation angemessen berücksichtigt wird.
  • Eine Anzahl von Ausführungsformen und Varianten davon sind beschrieben worden. Nichtsdestotrotz ist es offensichtlich, dass vielfältige Modifikationen und Änderungen an diesen Ausführungsformen gemacht werden können, ohne von dem breiteren Sinn und Umfang der beanspruchten Erfindung abzuweichen. Demgemäß sollen die Beschreibung und die Zeichnungen in einem eher veranschaulichendem beispielhaften Sinn als in einem beschränkenden Sinn betrachtet werden.
  • GEGENSTÄNDE, WELCHE OFFENBART SIND
  • Hiermit werden unter anderem die folgenden Gegenstände offenbart:
    1. 1. Öffnungsvorrichtung zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels von einem Typ, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger einen äußeren Trägerrahmen aufweist, welcher sich in einer horizontalen Rahmenebene um eine innere Zone erstreckt, welche eine innere Öffnung umfasst und einen Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels definiert oder damit versehen ist,
      • - wobei die Öffnungsvorrichtung einen Bewegungsmechanismus aufweist, welcher dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger eines solchen Substratträgerstapels, der eine Anzahl von Substratträgern umfasst, welche eine vorbestimmte erste maximale Anzahl von Substratträgern nicht überschreitet, relativ in Bezug auf einander entlang einer vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, so dass die Substratträger aus einem gestapelten Zustand, in welchem die Substratträger aufeinander gestapelt sind und dadurch den Substratträgerstapel bilden, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung getragen ist, in einen ungestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung versetzt positioniert sind, mit derartigen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern von einer horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugänglich sind,
      • - wobei der Bewegungsmechanismus ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger des Substratträgerstapels zu bewegen, welche sich momentan in dem ungestapelten Zustand befinden, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation, so dass die Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel bilden,
      • - wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger von dem jeweiligen oberen Substratträger von jedem jeweiligen Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels in der Öffnungsoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und
      • - wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger dem jeweiligen oberen Substratträger jedes jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern der vertikal versetzten Substratträger in der Schließoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach oben, vertikal anzunähern.
    2. 2. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 1, wobei die Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet ist, einen Substratträgerstapel eines Typs aufzunehmen und zu öffnen, welcher eine Abdeckungseinheit umfasst, welche auf der Mehrzahl von Substratträgern derart gestapelt ist, dass der oberste Substratträger der Substratträger die Abdeckungseinheit trägt,
      • - wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den obersten Substratträger des Substratträgerstapels relativ in Bezug auf die Abdeckungseinheit entlang der vertikalen Achse in der Öffnungsoperation zum Erreichen des ungestapelten Zustands zu bewegen, in welchem die Abdeckungseinheit und die Substratträger ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung versetzt positioniert sind, mit einem derartigen vertikalen Abstand zwischen der Abdeckungseinheit und dem obersten Substratträger in dem ungestapelten Zustand, dass der Substratsitz des obersten Substratträgers von der horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen eines plattenartigen Substrats von dem Substratsitz des obersten Substratträgers und einem Beladen eines plattenartigen Substrats auf den Substratsitz des obersten Substratträgers zugänglich ist,
      • - wobei der Bewegungsmechanismus ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Abdeckungseinheit und die Substratträger des Substratträgerstapels, welche momentan in dem ungestapelten Zustand sind, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in der Schließoperation derart zu bewegen, dass die Abdeckungseinheit und die Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel bilden, welcher die Abdeckungseinheit auf dem obersten Substratträger gestapelt aufweist,
      • - wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den obersten Substratträger des Substratträgerstapels von der Abdeckungseinheit in der Öffnungsoperation, vorzugsweise durch Bewegen des obersten Substratträgers vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und
      • - wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den obersten Substratträger der Abdeckungseinheit, welche ungestapelt ist, in der Schließoperation, vorzugsweise durch Bewegen des obersten Substratträgers vertikal nach oben, vertikal anzunähern.
    3. 3. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 1 oder 2, wobei die Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet ist, einen Substratträgerstapel eines Typs aufzunehmen und zu öffnen, welcher eine Basiseinheit umfasst, auf welcher die Mehrzahl von Substratträgern derart gestapelt ist, dass die Basiseinheit den untersten Substratträger der Substratträger trägt.
    4. 4. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 1 bis 3, wobei die Öffnungsvorrichtung dazu eingerichtet ist, einen derartigen Substratträgerstapel aufzunehmen und zu öffnen, welcher eine Anzahl von Substratträgern umfasst, welche die vordefinierte erste maximale Anzahl von Substratträgern überschreitet, aber nicht eine vordefinierte zweite maximale Anzahl von Substratträgern überschreitet,
      • - wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels relativ zu einander entlang der vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, um die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe aus dem gestapelten Zustand, in welchem alle Substratträger des Substratträgerstapels aufeinander gestapelt sind und dadurch den Substratträgerstapel bilden, in einen ungestapelten Zustand zu bringen, in welchem die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen versetzt positioniert sind, mit derartigen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern der ausgewählten Substratträger-Untergruppe von einer horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen wenigstens eines plattenartigen Substrats auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugänglich sind,
      • - wobei der Bewegungsmechanismus ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe, welche momentan in dem ungestapelten Zustand ist, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation derart zu bewegen, dass diese Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem diese Substratträger aufeinander gestapelt sind und zusammen mit einem oder mehreren Substratträgern, welche nicht zu der ausgewählten Substratträger-Untergruppe gehören, den Substratträgerstapel bilden.
    5. 5. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 4, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger von dem jeweiligen oberen Substratträger jedes jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in der Öffnungsoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger dem jeweiligen oberen Substratträger jedes jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern der vertikal versetzten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in der Schließoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach oben, vertikal anzunähern.
    6. 6. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 4 oder 5, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe von einem vertikal benachbarten Substratträger, welcher nicht zu der ausgewählten Untergruppe gehört und auf dem obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in dem gestapelten Zustand gestapelt ist, oder von der Abdeckungseinheit, durch Bewegen des obersten Substratträgers der ausgewählten Substratträger-Untergruppe vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe dem vertikal benachbarten Substratträger, welcher nicht zu der ausgewählten Untergruppe gehört, oder der Abdeckungseinheit in der Schließoperation, durch Bewegen des obersten Substratträgers der ausgewählten Substratträger-Untergruppe vertikal nach oben, vertikal anzunähern.
    7. 7. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 4 bis 6, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe auszuführen, welche eine obere Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels ist und den obersten Substratträger des Substratträgerstapels umfasst.
    8. 8. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 4 bis 7, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe auszuführen, welche eine untere Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels ist und den untersten Substratträger des Substratträgerstapels umfasst.
    9. 9. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 4 bis 8, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe auszuführen, welche eine Zwischen-Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels ist und weder den untersten Substratträger noch den obersten Substratträger des Substratträgerstapels umfasst.
    10. 10. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 1 bis 9, wobei der Bewegungsmechanismus einen Schlitten umfasst, welcher entlang der vertikalen Achse relativ zu einem Gestell oder einem Gehäuse der Öffnungsvorrichtung zwischen einer oberen Betriebsposition und einer unteren Betriebsposition, entsprechend oder nahe zu einer unteren Grenzposition, bewegbar gehaltert ist, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, den Schlitten nach unten in Richtung der unteren Betriebsposition zu bewegen, um die Öffnungsoperation auszuführen, und den Schlitten nach oben in Richtung der oberen Betriebsposition zu bewegen, um die Schließoperation auszuführen, wobei die obere Betriebsposition eine Belade- und Entlade-Position ist, in welcher ein jeweiliger Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen oder von dem Schlitten entladen werden kann, oder eine Entlade-Position ist, in welcher ein jeweiliger Substratträgerstapel von dem Schlitten entladen werden kann.
    11. 11. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 10, wobei wenigstens eines aus dem Schlitten und dem Gestell oder dem Gehäuse mit wenigstens einem aus dem Folgenden bereitgestellt ist a) Positionierungs- oder Führungsformationen, welche dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen der Substratträger zusammenzuwirken, b) Positionierungs- oder Führungsformationen, welche dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen der Basiseinheit des Substratträgerstapels zusammenzuwirken, und c) Positionierungs- oder Führungsformationen, welche dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels zusammenzuwirken; wobei die Positionierungs- oder Führungsformationen und die Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen dazu eingerichtet sind, eine definierte Positionierung des Substratträgerstapels auf dem Schlitten und eine definierte Positionierung der Substratträger und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem ungestapelten Zustand in Richtungen orthogonal in Bezug auf die vertikale Achse zu erhalten und aufrechtzuerhalten.
    12. 12. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 10 oder 11, wobei der Bewegungsmechanismus mit Eingriffsformationen bereitgestellt ist, welche durch das Gestell oder das Gehäuse an definierten festen vertikalen Positionen in einer vertikal versetzten Weise direkt oder indirekt gehaltert sind und zugeordneten Gegen-Eingriffsformationen eines jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit eines Substratträgerstapels, welcher auf dem Schlitten geladen ist, zugeordnet und mit diesen eingreifbar sind, wobei die Eingriffsformationen selektiv betreibbar sind, einen jeweiligen Fang- und Haltezustand, in welchem die Eingriffsformationen mit einer jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation des jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels eingreifen oder eingreifbar sind, und einen jeweiligen Freigabe- und Durchlasszustand anzunehmen, in welchem die Eingriffsformationen mit einer jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation des jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels nicht eingreifen und nicht eingreifbar sind.
    13. 13. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 12, wobei die Eingriffsformationen in ihrem Freigabe- und Durchlasszustand mit keiner Gegen-Eingriffsformation eines jeden Substratträgers des Substratträgerstapels eingreifbar sind.
    14. 14. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 12 oder 13, wobei die Eingriffsformationen in der Öffnungsoperation nacheinander betreibbar sind, um den Fang- und Haltezustand in einer Reihenfolge und zeitlichem Verlauf (Timing) anzunehmen, welche von ihren vertikalen Positionen und einer momentanen vertikalen Position des Schlittens abhängen, welcher schrittweise oder - vorzugsweise - kontinuierlich in Richtung der unteren Betriebsposition bewegt wird, und wobei die Eingriffsformationen in der Schließoperation nacheinander betreibbar sind, um den Freigabe- und Durchlasszustand in einer Reihenfolge und zeitlichem Verlauf (Timing) anzunehmen, welche von ihren vertikalen Positionen und einer momentanen vertikalen Position des Schlittens abhängen, welcher schrittweise oder - vorzugsweise - kontinuierlich in Richtung der oberen Betriebsposition bewegt wird.
    15. 15. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 12 bis 14, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen selektiv zu betreiben, um den Fang- und Haltezustand in der Öffnungsoperation in einer Weise anzunehmen, welche mit der Abwärtsbewegung des Schlittens derart koordiniert ist, dass aufeinanderfolgend ein jeweiliger oberster Substratträger des Substratträgerstapels oder eines Teil-Substratträgerstapels, welcher noch auf den Schlitten geladen ist, durch wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation gefangen und gehalten wird, welche mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation dieses Substratträgers eingreift, so dass dieser Substratträger innerhalb der Öffnungsvorrichtung in einer jeweiligen definierten vertikalen geöffneten Position gehalten wird, welche durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation bestimmt ist.
    16. 16. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 12 bis 15, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen selektiv zu betreiben, um den Freigabe- und Durchlasszustand in der Schließoperation in einer Weise anzunehmen, welche mit der Aufwärtsbewegung des Schlittens derart koordiniert ist, dass aufeinanderfolgend ein jeweiliger unterster oder verbleibender Substratträger, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung durch die jeweilige wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in einer jeweiligen definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation freigegeben wird, welche sich von der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation dieses Substratträgers löst, so dass dieser Substratträger auf dem Schlitten platziert wird oder auf einen Substratträger oder - falls bereitgestellt - der Basiseinheit oder einen Teil-Substratträgerstapel, welcher auf den Schlitten geladen ist, gestapelt wird.
    17. 17. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 15 oder 16 und nach Gegenstand 2, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen selektiv zu betreiben, um den Fang- und Haltezustand in der Öffnungsoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuerst die Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels durch wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation gefangen und gehalten wird, welche mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation der Abdeckungseinheit eingreift, so dass sie innerhalb der Öffnungsvorrichtung in einer definierten vertikalen geöffneten Position gehalten wird, welche durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation bestimmt ist.
    18. 18. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 17, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen selektiv zu betreiben, um den Freigabe- und Durchlasszustand in der Schließoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuletzt die Abdeckungseinheit, welche innerhalb der Öffnungsvorrichtung durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in der definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation freigegeben wird, welche sich von der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation der Abdeckungseinheit löst, so dass die Abdeckungseinheit auf den obersten Substratträger der Substratträger gestapelt wird, welche auf den Schlitten geladen sind.
    19. 19. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 15 bis 18 und nach einem der Gegenstände 4 bis 9, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen selektiv zu betreiben, um den Fang- und Haltezustand in der Öffnungsoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuerst ein ausgewählter Substratträger, welcher der vertikal benachbarte Substratträger ist, welcher auf dem obersten Substratträger einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels in dem gestapelten Zustand gestapelt ist, durch wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation gefangen und gehalten wird, welche mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation dieses ausgewählten Substratträgers eingreift, so dass er innerhalb der Öffnungsvorrichtung in einer definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, welche durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation bestimmt ist, und nachfolgend von dem obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in dem Verlauf der Öffnungsoperation entstapelt wird.
    20. 20. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 19, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen selektiv zu betreiben, um den Freigabe- und Durchlasszustand in der Schließoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuletzt der ausgewählte Substratträger, welcher von dem obersten Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratstapels entstapelt worden ist, durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation freigegeben wird, welche sich von der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation des ausgewählten Substratträgers löst, so dass der ausgewählte Substratträger auf den obersten Substratträger der Substratträger gestapelt wird, welche auf den Schlitten geladen sind.
    21. 21. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 12 bis 20, wobei die Eingriffsformationen in ihrem Fang- und Haltezustand in einer Fang- und Halteposition positioniert sind, in welcher die Eingriffsformationen vertikal mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation überlappen, und wobei die Eingriffsformationen in ihrem Freigabe- und Durchlasszustand in einer Freigabe- und Durchlassposition positioniert sind, in welcher die Eingriffsformationen vertikal mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation nicht überlappen.
    22. 22. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 21, wobei die Eingriffsformationen in der Form von Eingriffselementen bereitgestellt sind, welche relativ zu dem Gestell oder dem Gehäuse gehaltert sind, um zwischen der Fang- und Halteposition und der Freigabe- und Durchlassposition bewegt, vorzugsweise verschwenkt, zu werden.
    23. 23. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 22, wobei die Eingriffselemente einen jeweiligen Hülsenabschnitt, welcher um eine vertikale Schwenkachse schwenkbar ist, und einen jeweiligen Eingriffsabschnitt aufweisen, welcher von dem Hülsenabschnitt radial vorsteht, und dazu eingerichtet ist, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation eingreifbar zu sein.
    24. 24. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 21 bis 23, wobei die Eingriffsformationen oder Eingriffsabschnitte dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Eingriffsformationen in Eingriff zu treten, welche horizontal von dem jeweiligen äußeren Trägerrahmen der Substratträger bzw. - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit nach außen vorstehen, oder welche in einem äußeren Umfangsrand des jeweiligen äußeren Trägerrahmens der Substratträger bzw. - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit gebildet sind.
    25. 25. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 12 bis 24, wobei der Bewegungsmechanismus mit mehreren Sätzen von vertikal versetzten Eingriffsformationen versehen ist, so dass mehrere Eingriffsformationen mehreren Gegen-Eingriffsformationen eines jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels, welcher auf den Schlitten geladen ist, zugeordnet und mit diesen eingreifbar sind, wobei vertikal versetzte Eingriffsformationen der Sätze an verschiedenen Seiten des Schlittens und seines vertikalen Bewegungsbereichs angeordnet sind.
    26. 26. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 25, wobei verschiedene Typen von Eingriffsformationen in der vertikalen Richtung in einer alternierenden Weise innerhalb jedes Satzes von vertikal versetzten Eingriffsformationen bereitgestellt und angeordnet sind, wobei die verschiedenen Typen von Eingriffsformationen verschiedenen Typen von Gegen-Eingriffsformationen der Substratträger und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit derart zugeordnet sind, dass eine Eingriffsformation eines ersten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines ersten Typs eingreifbar ist und eine Eingriffsformation eines zweiten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines zweiten Typs eingreifbar ist, aber dass eine Eingriffsformation eines ersten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines zweiten Typs nicht eingreifbar ist und eine Eingriffsformation eines zweiten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines ersten Typs nicht eingreifbar ist, wenn die Eingriffsformationen ihren jeweiligen Fang- und Haltezustand annehmen.
    27. 27. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 26 und nach Gegenstand 23, wobei die Eingriffsabschnitte der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen von verschiedenen Typen realisieren, variierende radiale Abstände zwischen der vertikalen Schwenkachse und einem jeweiligen Abschnitt aufweisen, welcher dazu dient, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition einzugreifen, so dass entlang der vertikalen Richtung solche unterschiedlichen Eingriffsabschnitte, welche verschiedene Abstände zwischen der vertikalen Schwenkachse und dem jeweiligen Abschnitt, welcher dazu dient, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition einzugreifen, in einer alternierenden Weise bereitgestellt sind.
    28. 28. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 27, wobei die Hülsenabschnitte der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen realisieren, in der Form von Hülsenelementen bereitgestellt sind, an welchen gesonderte Eingriffselemente angebracht sind, welche die Eingriffsabschnitte der Eingriffselemente realisieren, wobei entlang der vertikalen Richtung verschiedene Typen von gesonderten Eingriffselementen an den Hülsenelementen in einer alternierenden Weise angebracht sind, wobei die Eingriffselemente variierende radiale Abstände zwischen der vertikalen Schwenkachse und dem jeweiligen Abschnitt aufweisen, welcher dazu dient, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition einzugreifen.
    29. 29. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 25 bis 28 und nach Gegenstand 23, wobei die Hülsenabschnitte der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen realisieren, eines jeweiligen Satzes von vertikal versetzten Eingriffsformationen mittels innerer Schwenklager an einer gemeinsamen Anbringungssäule der Öffnungsvorrichtung angebracht sind.
    30. 30. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 10 bis 29, wobei die Öffnungsvorrichtung einen ersten Belade- und Entladezugang an einer ersten Seite der Öffnungsvorrichtung aufweist, wobei der erste Belade- und Entladezugang es ermöglicht, auf die Substratsitze der Substratträger in dem ungestapelten Zustand von einer ersten horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen wenigstens eines plattenartigen Substrats von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen wenigstens eines plattenartigen Substrats auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zuzugreifen, und wobei die Öffnungsvorrichtung einen zweiten Belade- und Entladezugang an der ersten Seite oder an einer anderen Seite der Öffnungsvorrichtung, vorzugsweise einer zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung, welche zu der ersten Seite entgegengesetzt ist, aufweist, wobei der zweite Belade- und Entladezugang es ermöglicht, auf den Schlitten in der oberen Betriebsposition von der ersten horizontalen Richtung oder einer anderen horizontalen Richtung, vorzugsweise einer zweiten horizontalen Richtung, welche der ersten horizontalen Richtung entgegengesetzt ist, für wenigstens eines aus einem Entladen eines jeweiligen Substratträgerstapels von dem Schlitten und einem Beladen eines jeweiligen Substratträgerstapels auf den Schlitten zuzugreifen.
    31. 31. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 30, wobei der zweite Belade- und Entladezugang mit Halteformationen bereitgestellt ist, welche dazu eingerichtet sind, eine Halteposition anzunehmen, in welcher die Halteformationen dazu eingerichtet sind, einen Substratträgerstapel innerhalb der Öffnungsvorrichtung an einem vertikalen Abstand über dem Schlitten zu halten, wenn er in der oberen Betriebsposition positioniert ist, wobei der Schlitten in dem Verlauf einer Beladeoperation von der oberen Betriebsposition nach oben zu einer oberen Aufnahmeposition bewegbar ist, welche den Halteformationen zugeordnet ist, und von der oberen Aufnahmeposition in Richtung der unteren Betriebsposition in dem Verlauf der Öffnungsoperation bewegbar ist, und wobei die Halteformationen ferner dazu eingerichtet sind, in dem Verlauf der Beladeoperation eine Freigabeposition anzunehmen, in welcher die Halteformationen einen zuvor gehaltenen Substratträgerstapel freigeben, um auf den Schlitten geladen zu werden, welcher sich momentan in der oberen Aufnahmeposition befindet oder sich dieser annähert.
    32. 32. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 31, wobei der zweite Belade- und Entladezugang es ermöglicht, einen jeweiligen Substratträgerstapel auf die Halteformationen zu laden, wobei der vertikale Abstand über dem Schlitten, wenn er in der oberen Betriebsposition positioniert ist, vorzugsweise derart ausgewählt ist, dass ein jeweiliger Substratträgerstapel, welcher eine vordefinierte Höhe nicht überschreitet, auf dem Schlitten getragen sein kann, welcher in der oberen Betriebsposition unter einem jeweiligen Substratträgerstapel positioniert ist, welcher durch die Halteformationen gehalten ist.
    33. 33. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 30 bis 32 und nach Gegenstand 25, wobei die erste Seite und die zweite Seite der Öffnungsvorrichtung einer ersten Seite und einer zweiten Seite des Schlittens und dessen vertikalen Bewegungsbereichs entsprechen, und wobei die Öffnungsvorrichtung mindestens einen Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen an einer dritten Seite des Schlittens und dessen vertikalen Bewegungsbereichs und wenigstens einen Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen an einer vierten Seite des Schlittens und dessen vertikalen Bewegungsbereichs, welche der dritten Seite entgegengesetzt ist, aufweist.
    34. 34. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 33, wobei zwei Sätze von vertikal versetzten Eingriffsformationen an der dritten Seite bereitgestellt sind, welche voneinander in der ersten horizontalen Richtung versetzt sind, oder/und wobei zwei Sätze von vertikal versetzten Eingriffsformationen an der vierten Seite bereitgestellt sind, welche voneinander in der ersten horizontalen Richtung versetzt sind.
    35. 35. Öffnungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Gegenstände, in jedem Fall nach Gegenstand 12, wobei der Bewegungsmechanismus eine Interaktionsanordnung umfasst, welche dazu eingerichtet ist, Kräfte auf die Eingriffsformationen anzuwenden, wobei die Kräfte wenigstens eines oder mehrere umfassen aus: a) Betätigungskräfte zum Bewegen einer jeweiligen Eingriffsformation von einer/der Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, zu einer/der Fang- und Halteposition, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht, b) Betätigungskräfte zum Bewegen einer jeweiligen Eingriffsformation von einer/der Fang- und Halteposition, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht, zu einer/der Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, c) Haltekräfte zum Halten einer jeweiligen Eingriffsformation in einer/der Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, und d) Haltekräfte zum Halten einer jeweiligen Eingriffsformation in einer/der Fang- und Halteposition, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht.
    36. 36. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 35, wobei die Interaktionsanordnung mehrere individuelle Interaktionsvorrichtungen umfasst, welche durch das Gestell oder das Gehäuse direkt oder indirekt gehaltert sind und an festen vertikalen versetzten Positionen bereitgestellt sind, welche den definierten vertikalen Positionen der Eingriffsformationen entsprechen oder diesen benachbart sind, wobei jede der individuellen Interaktionsvorrichtungen dazu eingerichtet ist, wenigstens eine Kraft der Betätigungskräfte und Haltekräfte auf wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation anzuwenden.
    37. 37. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 36, wobei die individuellen Interaktionsvorrichtungen jeweils wenigstens einen selektiv betreibbaren Aktuator, vorzugsweise einen pneumatischen oder elektromechanischen Aktuator, zum Anwenden wenigstens einer Kraft der Betätigungskräfte und der Haltekräfte auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation umfassen.
    38. 38. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 36 oder 37, wobei die individuellen Interaktionsvorrichtungen jeweils eine permanent einwirkende Interaktionsvorrichtung zum Anwenden von wenigstens einer der Haltekräfte und der Betätigungskräfte auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation umfassen.
    39. 39. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 38, wobei die individuellen Interaktionsvorrichtungen jeweils wenigstens eines aus einer Vorspann-Federanordnung und einer Permanentmagnetanordnung umfassen.
    40. 40. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 39 und nach Gegenstand 29, wobei wenigstens einer aus den Hülsenabschnitten der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen realisieren, mit einem zugeordneten Anbringungsabschnitt der Anbringungssäule magnetisch interagiert, wobei einer aus dem Hülsenabschnitt und dem Anbringungsabschnitt mit wenigstens einem Permanentmagneten ausgestattet ist und der andere aus dem Hülsenabschnitt und dem Anbringungsabschnitt mit wenigstens einem magnetischen oder magnetisierbaren Element ausgestattet ist, so dass wenigstens eine aus einer magnetischen Kraft, welche das Eingriffselement in Richtung der Fang- und Halteposition vorspannt, wenn das Eingriffselement in oder nahe der Fang- und Halteposition ist, und einer magnetischen Kraft, welche das Eingriffselement in Richtung der Freigabe- und Durchlassposition vorspannt, wenn das Eingriffselement in oder nahe der Freigabe- und Durchlassposition ist, auftritt.
    41. 41. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 40, wobei der Hülsenabschnitt mit einem Paar von magnetisierbaren Anlageelementen ausgestattet ist, und wobei der Anbringungsabschnitt mit einem Gegenanlageelement ausgestattet ist, welches zwischen den magnetisierbaren Anlageelementen des Hülsenabschnitts vorsteht, wobei das Gegenanlageelement magnetisierbar ist und der Hülsenabschnitt ferner mit wenigstens einem Permanentmagneten ausgestattet ist, welcher den magnetisierbaren Anlageelementen zugeordnet ist, oder wobei das Gegenanlageelement einen Permanentmagneten umfasst oder durch diesen gebildet ist, wobei eines aus den magnetisierbaren Anlageelementen gegen das Gegenanlageelement anliegt, wenn das jeweilige Eingriffselement in der Fang- und Halteposition ist, und das andere aus den magnetisierbaren Anlageelementen gegen das Gegenanlageelement anliegt, wenn das jeweilige Eingriffselement in der Freigabe- und Durchlassposition ist.
    42. 42. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 35 bis 41, wobei die Interaktionsanordnung wenigstens eine bewegbare Interaktionsvorrichtung umfasst, welche in der vertikalen Richtung relativ zu dem Gestell oder dem Gehäuse zu vertikal versetzten vertikalen Interaktionspositionen oder vertikalen Interaktionspositionsbereichen bewegbar gehaltert ist, welche den definierten vertikalen Positionen der Eingriffsformationen entsprechen, umfassen oder zu diesen benachbart sind, wobei die bewegbare Interaktionsvorrichtung dazu eingerichtet ist, wenigstens eine aus den Betätigungskräften auf wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation anzuwenden, wenn die bewegbare Interaktionsvorrichtung zu einer jeweiligen aus den Interaktionspositionen oder einem jeweiligen aus den Interaktionspositionsbereichen bewegt worden ist oder eine jeweilige der Interaktionspositionen oder einen jeweiligen der Interaktionspositionsbereiche in dem Verlauf ihrer vertikalen Bewegung passiert.
    43. 43. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 42, wobei die bewegbare Interaktionsvorrichtung wenigstens ein Betätigungselement umfasst, welches zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position, vorzugsweise longitudinal in einer horizontalen Richtung, bewegbar ist, wobei das Betätigungselement, wenn die bewegbare Interaktionsvorrichtung zu einer jeweiligen der vertikalen Interaktionspositionen oder einem jeweiligen der vertikalen Interaktionspositionsbereiche bewegt worden ist oder eine jeweilige der vertikalen Interaktionspositionen oder einen jeweiligen der vertikalen Interaktionspositionsbereiche in dem Verlauf ihrer vertikalen Bewegung passiert, dazu eingerichtet ist, eine Betätigungskraft oder eine erste Betätigungskraft auf wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation anzuwenden, wenn das Betätigungselement die erste Position annimmt oder auf Grundlage einer Bewegung des Betätigungselements in Richtung der ersten Position, und dazu eingerichtet ist, keine Betätigungskraft auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation anzuwenden, wenn das Betätigungselement die zweite Position annimmt, oder eine zweite Betätigungskraft auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation einzuwirken, wenn das Betätigungselement die zweite Position annimmt oder auf Grundlage einer Bewegung des Betätigungselements in Richtung der zweiten Position, wobei die Betätigungskraft oder die erste Betätigungskraft gerichtet ist, die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in Richtung von einer aus der jeweiligen Freigabe- und Durchlassposition und der jeweiligen Fang- und Halteposition zu bewegen, und die zweite Betätigungskraft gerichtet ist, die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in Richtung der anderen aus der jeweiligen Freigabe- und Durchlassposition und der jeweiligen Fang- und Halteposition zu bewegen.
    44. 44. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 42 oder 43, wobei die bewegbare Interaktionsvorrichtung verbunden ist mit und, vorzugsweise, direkt oder indirekt durch den Schlitten gehaltert ist, für eine gemeinsame vertikale Bewegung.
    45. 45. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 44 und nach einem der Gegenstände 4 bis 9, wobei mehrere bewegbare Interaktionsvorrichtungen bereitgestellt sind, welche für eine gemeinsame vertikale Bewegung verbunden sind mit und, vorzugsweise, direkt oder indirekt durch den Schlitten gehaltert sind und an unterschiedlichen vertikalen Positionen in Bezug auf einen Tragabschnitt des Schlittens angeordnet sind, welcher den Substratträgerstapel trägt, welcher auf den Schlitten geladen ist, wobei die bewegbaren Interaktionsvorrichtungen verschiedenen vordefinierten Substratträger-Untergruppen eines jeweiligen Substratträgerstapels zugeordnet sind, welcher auf den Schlitten geladen ist.
    46. 46. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 43 bis 45, wobei die bewegbare Interaktionsvorrichtung wenigstens einen selektiv betreibbaren Aktuator, vorzugsweise einen pneumatischen oder elektromechanischen Aktuator, zum Bewegen des Betätigungselements aus der ersten Position in Richtung der zweiten Position oder/und zum Bewegen des Betätigungselements aus der zweiten Position in Richtung der ersten Position umfasst.
    47. 47. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 46, wobei der selektiv betreibbare Aktuator dazu eingerichtet ist, die jeweilige Betätigungskraft auf die jeweilige Eingriffsformation mittels des Betätigungselements, durch Bewegen desselben in Richtung der ersten oder der zweiten Position, anzuwenden, und wobei das Betätigungselement wenigstens einen Anlageteil aufweist, welcher dazu eingerichtet ist, in dem Verlauf von dessen Bewegung in Richtung der ersten oder der zweiten Position gegen einen zugeordneten Gegen-Anlageteil der jeweiligen Eingriffsformation anzuliegen, um die jeweilige Betätigungskraft oder erste Betätigungskraft oder zweite Betätigungskraft auf die jeweilige Eingriffsformation über den Anlageteil anzuwenden.
    48. 48. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 46, wobei das Betätigungselement wenigstens einen Reaktionsteil aufweist, welcher dazu eingerichtet ist, mit wenigstens einem zugeordneten Gegen-Reaktionsteil der jeweiligen Eingriffsformation derart zu interagieren, dass, wenn das Betätigungselement in seiner ersten oder zweiten Position ist und die bewegbare Interaktionsvorrichtung eine jeweilige aus den vertikalen Interaktionspositionen oder den vertikalen Interaktionspositionsbereichen passiert, die resultierende vertikale Bewegung des Reaktionsteils relativ zu dem Gegen-Reaktionsteil, welches durch den Reaktionsteil eingegriffen ist, die Betätigungskraft oder die erste Betätigungskraft oder die zweite Betätigungskraft erzeugt, welche auf die jeweilige Eingriffsformation über den Gegen-Reaktionsteil angewendet wird.
    49. 49. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 48, wobei der Reaktionsteil und der zugeordnete Gegen-Reaktionsteil dazu eingerichtet sind, wie ein Nocken und ein Nockenfolger in einer Nocken-Nockenfolger-Interaktion zum Erzeugen der Betätigungskraft oder der ersten Betätigungskraft oder der zweiten Betätigungskraft zu interagieren, welche in einer Richtung orthogonal zu der Richtung der vertikalen Bewegung des Reaktionsteils relativ zu dem Gegen-Reaktionsteil gerichtet ist.
    50. 50. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 47 bis 49, wobei die Eingriffsformationen Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile aufweisen, welche an definierten variierenden vertikalen Abständen von der der jeweiligen Eingriffsformation zugeordneten jeweiligen definierten vertikalen geöffneten Position des ungestapelten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit angeordnet sind, um einer variierenden vertikalen Höhe des Substratträgerstapels oder des Teil-Substratträgerstapels in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation Rechnung zu tragen.
    51. 51. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 50 und nach Gegenstand 23, wobei die Hülsenabschnitte in der Form von Hülsenelementen realisiert sind, an welchen gesonderte Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile angebracht sind, wobei verschiedene Arten von Gegen-Anlageteilen oder von Gegen-Reaktionsteilen bereitgestellt sind, welche verschiedene vertikale Längen zwischen einem Abschnitt, welcher dazu dient, mit dem Anlageteil bzw. dem Reaktionsteil des Betätigungselements zu interagieren, und einem Abschnitt aufweisen, welcher an dem jeweiligen Hülsenelement angebracht ist, oder/und wobei die gesonderten Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile an dem jeweiligen Hülsenelement an verschiedenen vertikalen Höhen innerhalb der vertikalen Erstreckung der Hülsenelemente angebracht sind.
    52. 52. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 51, wobei gesonderte Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile eines ersten Typs an Hülsenelementen in einem oberen Bereich der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, welche ihren Abschnitt, welcher dazu dient, mit dem Anlageteil oder dem Reaktionsteil zu interagieren, unter der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements angeordnet aufweisen, an welches der jeweilige Gegen-Anlageteil oder der Gegen-Reaktionsteil angebracht ist, wobei gesonderte Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile eines zweiten Typs an Hülsenelementen in einem mittleren Bereich der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, welche ihren Abschnitt, welcher dazu dient, mit dem Anlageteil oder dem Reaktionsteil zu interagieren, innerhalb der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements angeordnet aufweisen, an welches der jeweilige Gegen-Anlageteil oder Gegen-Reaktionsteil angebracht ist, und wobei gesonderte Gegen-Anlageteile oder Gegen-Reaktionsteile eines dritten Typs oder des ersten Typs an Hülsenelementen in einem unteren Bereich der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, welche ihren Abschnitt, welcher dazu dient, mit dem Anlageteil oder dem Reaktionsteil zu interagieren, über der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements angeordnet aufweisen, an welches der jeweilige Gegen-Anlageteil oder Gegen-Reaktionsteil angebracht ist.
    53. 53. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 10 bis 52, wobei die Öffnungsvorrichtung eine vertikale Führungsanordnung zum Führen des Schlittens während dessen vertikaler Bewegung in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation umfasst.
    54. 54. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 10 bis 53, wobei der Bewegungsmechanismus eine vertikale Antriebsanordnung umfasst, welche dazu eingerichtet ist, den Schlitten selektiv vertikal in dem Verlauf der Öffnungsoperation nach unten und in dem Verlauf der Schließoperation und - falls bereitgestellt - in dem Verlauf der Beladeoperation nach oben zu bewegen.
    55. 55. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 54, wobei die vertikale Antriebsanordnung wenigstens einen Riemenantrieb umfasst, welcher mit dem Schlitten gekoppelt ist und selektiv betreibbar ist, um den Schlitten zum Ausführen der Öffnungsoperation nach unten zu bewegen, und um den Schlitten zum Ausführen der Schließoperation und - falls bereitgestellt - zum Ausführen der Beladeoperation nach oben zu bewegen.
    56. 56. Öffnungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Gegenstände, welche mit einer Sensoranordnung ausgestattet ist, welche dazu eingerichtet ist, wenigstens eines aus dem Betrieb der Öffnungsvorrichtung und Zuständen des Substratträgerstapels zu überwachen.
    57. 57. Öffnungsvorrichtung nach den Gegenständen 10 und 56, wobei die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, wenigstens eines aus einer momentanen Position des Schlittens und einem momentanen Bewegungszustand des Schlittens zu erfassen, oder/und welcher dazu eingerichtet ist, zu erfassen, ob die Öffnungsvorrichtung einen oder mehrere aus einer Mehrzahl von definierten Zuständen annimmt, umfassend einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem kein Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist, während der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem ein Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist, während der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Aufnahmeposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem der Schlitten in der unteren Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem ein Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist und den gestapelten Zustand annimmt, und einen Zustand, in welchem die Substratträger des Substratträgerstapels oder eine ausgewählte Substratträger-Untergruppe davon und - falls bereitgestellt und anwendbar - die Abdeckungseinheit ungestapelt sind und innerhalb der Öffnungsvorrichtung an ihrer jeweiligen vertikalen geöffneten Position gehalten sind.
    58. 58. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 56 oder 57 und nach Gegenstand 31, wobei die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, zu erfassen, ob ein Substratträgerstapel durch die Halteformationen gehalten ist.
    59. 59. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 56 bis 58 und nach Gegenstand 12, wobei die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, einen momentanen Zustand einer jeweiligen aus den Eingriffsformationen zu erfassen, oder/und wenigstens einen Sensor umfasst, welcher einer Mehrzahl der Eingriffsformationen zugeordnet ist und dazu eingerichtet ist, zu erfassen, ob die Mehrzahl von Eingriffsformationen den gleichen Zustand annehmen.
    60. 60. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 56 bis 59 und nach Gegenstand 35, wobei die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, eine Operation von wenigstens einer Interaktionsvorrichtung der Interaktionsanordnung zu überwachen, oder/und welcher dazu eingerichtet ist, einen momentanen Zustand von wenigstens einer Interaktionsvorrichtung der Interaktionsanordnung zu erfassen.
    61. 61. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 56 bis 60, wobei die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, einen Wechsel oder Übergang zwischen dem gestapelten Zustand und dem ungestapelten Zustand in der Öffnungsoperation zu überwachen, oder/und welcher dazu eingerichtet ist, einen Wechsel oder Übergang zwischen dem ungestapelten Zustand und dem gestapelten Zustand in der Schließoperation zu überwachen.
    62. 62. Öffnungsvorrichtung nach einem der Gegenstände 1 bis 61, welche mit wenigstens einem von einer stationären Sensoranordnung und einer bewegbaren Sensoranordnung ausgestattet ist, welche dazu eingerichtet ist oder sind, die versetzte vertikale Positionierung der Substratträger und - falls bereitgestellt und anwendbar - der Abdeckungseinheit innerhalb der Öffnungsvorrichtung in dem Verlauf der Öffnungsoperation zu überwachen, oder/und welche dazu eingerichtet ist oder sind, auf wenigstens eines aus einer Anwesenheit, einer Abwesenheit und einem Zustand eines Substrats, welches auf einen jeweiligen Sitz von wenigstens einem Substratträger geladen ist, welcher an seiner jeweiligen vertikalen geöffneten Position innerhalb der Öffnungsvorrichtung gehalten ist, in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation zu reagieren.
    63. 63. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 62 und nach Gegenstand 10, wobei die bewegbare Sensoranordnung dazu eingerichtet ist, zusammen mit dem Schlitten, in der Öffnungsoperation nach unten und in der Schließoperation nach oben, bewegbar zu sein.
    64. 64. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 63 und nach einem der Gegenstände 4 bis 9, wobei mehrere bewegbare Sensoranordnungen bereitgestellt sind, welche dazu eingerichtet sind, zusammen mit dem Schlitten, in der Öffnungsoperation nach unten und in der Schließoperation nach oben, bewegbar zu sein, wobei die bewegbaren Sensoranordnungen an verschiedenen vertikalen Positionen in Bezug auf einen/den Tragabschnitt des Schlittens angeordnet sind, welcher den Substratträgerstapel trägt, welcher auf den Schlitten geladen ist, wobei die bewegbaren Sensoranordnungen verschiedenen vordefinierten Substratträger-Untergruppen eines jeweiligen Substratträgerstapels zugeordnet sind, welcher auf den Schlitten geladen ist.
    65. 65. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 63 oder 64, wobei die bewegbare Sensoranordnung dazu eingerichtet ist, auf wenigstens eines aus der Anwesenheit, der Abwesenheit und dem Zustand eines jeweiligen Substrats, welches auf einen jeweiligen Sitz von mehreren oder allen Substratträgern geladen ist, welche an ihren jeweiligen vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung gehalten sind, in dem Verlauf von wenigstens einem aus der Öffnungsoperation und der Schließoperation zu reagieren, wobei die bewegbare Sensoranordnung wenigstens einen bewegbaren Sensor aufweist, welcher in einer horizontalen Erfassungsrichtung reaktiv ist und an einem definierten vertikalen Abstand über einem/dem Tragabschnitt des Schlittens angeordnet ist, welcher dazu dient, einen Substratträgerstapel zu tragen, welcher auf den Schlitten geladen ist, so dass in dem Verlauf der jeweiligen Operation der Öffnungsoperation und der Schließoperation der bewegbare Sensor oder ein jeweiliger von mehreren bewegbaren Sensoren, welche an verschiedenen definierten vertikalen Abständen über dem Tragabschnitt angeordnet sind, nachfolgend vertikal seitwärts des Substratsitzes von wenigstens einem zugeordneten Substratträger oder mehreren zugeordneten Substratträgern der Substratträger passiert, welche innerhalb der Öffnungsvorrichtung an ihrer jeweiligen vertikalen geöffneten Position gehalten sind.
    66. 66. Öffnungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Gegenstände, welche wenigstens eine Spülstruktur aufweist, welche dazu eingerichtet ist, wenigstens einen definierten Spülgasstrom innerhalb der Öffnungsvorrichtung bereitzustellen, vorzugsweise umfassend einen Spülgasstrom, welcher die Substratträger an ihren vertikalen geöffneten Positionen in dem ungestapelten Zustand passiert, wobei der Spülgasstrom vorzugsweise nach unten gerichtet ist, wenn er einen jeweiligen Substratträger passiert.
    67. 67. Öffnungsvorrichtung zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels, welche eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welche in einer vertikalen Richtung aufeinander gestapelt angeordnet sind, und Substratsitze zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels aufweisen, gekennzeichnet durch einen Bewegungsmechanismus, welcher dazu eingerichtet und betreibbar ist, alle Substratträger oder eine definierte Untergruppe der Substratträger relativ in Bezug auf einander entlang einer vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, um einen ungestapelten Zustand anzunehmen und an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung positioniert zu sein, mit solchen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern oder von der definierten Untergruppe von Substratträgern für wenigstens eines aus einem Beladen und einem Entladen eines jeweiligen Substrats zugänglich sind, und welcher ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger, welche momentan in dem ungestapelten Zustand sind, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation zu bewegen, um den gestapelten Zustand wieder anzunehmen, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, benachbarte Substratträger durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers in der Öffnungsoperation nach unten vertikal zu distanzieren, und benachbarte Substratträger durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers in der Schließoperation nach oben vertikal anzunähern.
    68. 68. Öffnungsvorrichtung nach Gegenstand 67, gekennzeichnet durch weitere Merkmale, wie in einem oder mehreren der vorhergehenden Gegenstände 1 bis 66 definiert.
    69. 69. Reinraumeinrichtung für wenigstens eines aus einem Speichern, Handhaben, Zuführen und Verarbeiten von Substraten in der Form von wenigstens einem aus Halbleiter-Wafern und Masken/Fotomasken (Retikeln; Englisch: „reticles“), umfassend wenigstens eine Öffnungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Gegenstände, welche dazu dient, auf Substratsitze von Substratträgern von Substratträgerstapeln eines Typs zuzugreifen, welche eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger einen äußeren Trägerrahmen aufweist, welcher sich horizontal um eine innere Öffnung erstreckt, und einen Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels definiert oder damit bereitgestellt ist.
    70. 70. Reinraumeinrichtung nach Gegenstand 69, umfassend wenigstens eine erste Roboteranordnung, welche dazu eingerichtet und betreibbar ist, einen jeweiligen Substratträgerstapel in die Öffnungsvorrichtung zu laden, und dazu eingerichtet und betreibbar ist, einen jeweiligen Substratträgerstapel aus der Öffnungsvorrichtung zu entladen, und umfassend wenigstens eine zweite Roboteranordnung, welche dazu eingerichtet und betreibbar ist, auf wenigstens einen oder mehrere Substratsitze von ausgewählten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand zuzugreifen, wobei die zweite Roboteranordnung dazu eingerichtet und betreibbar ist, ein jeweiliges plattenartiges Substrat von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zu entladen, auf welchen zugegriffen wird, und dazu eingerichtet und betreibbar ist, ein jeweiliges plattenartiges Substrat auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zu laden, auf welchen zugegriffen wird.
    71. 71. Reinraumeinrichtung nach Gegenstand 70, wobei die erste Roboteranordnung zwischen einer Lagervorrichtung zum Speichern von Substratträgerstapeln und der Öffnungsvorrichtung angeordnet ist und dazu dient, Substratträgerstapel zwischen der Lagervorrichtung und der Öffnungsvorrichtung zu transferieren.
    72. 72. Reinraumeinrichtung nach Gegenstand 70 oder 71, wobei die zweite Roboteranordnung zwischen der Öffnungsvorrichtung und wenigstens einem Transferport (Transferzugang, Transferanschluß, Transferschnittstelle) angeordnet ist und dazu dient, Substrate zwischen der Öffnungsvorrichtung und dem Transferzugang oder einer jeweiligen Vorrichtung zu transferieren, welche mit dem Transferport permanent verbunden oder vorübergehend daran angelegt oder angekoppelt ist und zu wenigstens einem aus einem Substratverarbeiten, einer Substratbehandlung, einer Substratspeicherung und einem Substrattransport dient.
    73. 73. Reinraumeinrichtung nach Gegenstand 71, wobei die zweite Robotereinrichtung dazu dient, Substrate zwischen der Öffnungsvorrichtung und einem Front Opening Unified Pod, FOUP, welcher an den Transferport angelegt oder angekoppelt ist, zu transferieren.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • WO 2014/107818 A2 [0006]
    • US 2017/0372930 A1 [0007, 0012, 0042, 0153]
    • WO 2005/006407 A1 [0008]
    • WO 2007/006166 A2 [0008]
    • US 2006/0151404 A1 [0008]
    • US 2010/0179681 A1 [0008]
    • KR 1020170029119 [0012]
    • KR 1020180002001 A [0012]
    • KR 1020170029130 [0012]
    • KR 1020170029136 [0012]
    • KR 1020180002004 A [0012]
    • KR 1020170029137 [0012]
    • KR 1020180002005 A [0012]

Claims (89)

  1. Öffnungsvorrichtung (100) zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels (10) von einem Typ, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern (12) umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger (12) einen äußeren Trägerrahmen (40) aufweist, welcher sich in einer horizontalen Rahmenebene um eine innere Zone erstreckt, welche eine innere Öffnung umfasst und einen Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats (30) innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels definiert oder damit versehen ist, - wobei die Öffnungsvorrichtung einen Bewegungsmechanismus (101) aufweist, welcher dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger (12) eines solchen Substratträgerstapels (10), der eine Anzahl von Substratträgern umfasst, welche eine vorbestimmte erste maximale Anzahl von Substratträgern nicht überschreitet, relativ in Bezug auf einander entlang einer vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, so dass die Substratträger (12) aus einem gestapelten Zustand, in welchem die Substratträger aufeinander gestapelt sind und dadurch den Substratträgerstapel bilden, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung getragen ist, in einen ungestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger (12) ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung versetzt positioniert sind, mit derartigen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern von einer horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat (30) von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat (30) auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugänglich ist, - wobei der Bewegungsmechanismus (101) ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger (12) des Substratträgerstapels (10) zu bewegen, welche sich momentan in dem ungestapelten Zustand befinden, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation, so dass die Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel bilden, - wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger (12) von dem jeweiligen oberen Substratträger (12) von jedem jeweiligen Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels in der Öffnungsoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und - wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger (12) dem jeweiligen oberen Substratträger (12) jedes jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern der vertikal versetzten Substratträger in der Schließoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach oben, vertikal anzunähern.
  2. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Öffnungsvorrichtung (100) dazu eingerichtet ist, einen Substratträgerstapel (10) eines Typs aufzunehmen und zu öffnen, welcher eine Abdeckungseinheit (16) umfasst, welche auf der Mehrzahl von Substratträgern (12) derart gestapelt ist, dass der oberste Substratträger der Substratträger die Abdeckungseinheit trägt, - wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den obersten Substratträger des Substratträgerstapels relativ in Bezug auf die Abdeckungseinheit entlang der vertikalen Achse in der Öffnungsoperation zum Erreichen des ungestapelten Zustands zu bewegen, in welchem die Abdeckungseinheit (16) und die Substratträger (12) ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung versetzt positioniert sind, mit einem derartigen vertikalen Abstand zwischen der Abdeckungseinheit (16) und dem obersten Substratträger (12) in dem ungestapelten Zustand, dass der Substratsitz des obersten Substratträgers von der horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen eines plattenartigen Substrats (30) von dem Substratsitz des obersten Substratträgers und einem Beladen eines plattenartigen Substrats (30) auf den Substratsitz des obersten Substratträgers zugänglich ist, - wobei der Bewegungsmechanismus (101) ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Abdeckungseinheit (16) und die Substratträger (12) des Substratträgerstapels, welche momentan in dem ungestapelten Zustand sind, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in der Schließoperation derart zu bewegen, dass die Abdeckungseinheit und die Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel bilden, welcher die Abdeckungseinheit auf dem obersten Substratträger gestapelt aufweist.
  3. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den obersten Substratträger (12) des Substratträgerstapels von der Abdeckungseinheit (16) in der Öffnungsoperation, durch Bewegen des obersten Substratträgers vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den obersten Substratträger (12) der Abdeckungseinheit (16), welche ungestapelt ist, in der Schließoperation, durch Bewegen des obersten Substratträgers vertikal nach oben, vertikal anzunähern.
  4. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Öffnungsvorrichtung (100) dazu eingerichtet ist, einen Substratträgerstapel (10) eines Typs aufzunehmen und zu öffnen, welcher eine Basiseinheit (14) umfasst, auf welcher die Mehrzahl von Substratträgern (12) derart gestapelt ist, dass die Basiseinheit den untersten Substratträger der Substratträger trägt.
  5. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Öffnungsvorrichtung (100) dazu eingerichtet ist, einen derartigen Substratträgerstapel (10) aufzunehmen und zu öffnen, welcher eine Anzahl von Substratträgern (12) umfasst, welche die vordefinierte erste maximale Anzahl von Substratträgern überschreitet, aber nicht eine vordefinierte zweite maximale Anzahl von Substratträgern überschreitet, - wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger (12) einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels relativ zu einander entlang der vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, um die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe aus dem gestapelten Zustand, in welchem alle Substratträger des Substratträgerstapels aufeinander gestapelt sind und dadurch den Substratträgerstapel bilden, in einen ungestapelten Zustand zu bringen, in welchem die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen versetzt positioniert sind, mit derartigen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern der ausgewählten Substratträger-Untergruppe von einer horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat (30) von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen wenigstens eines plattenartigen Substrats (30) auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugänglich sind, - wobei der Bewegungsmechanismus (101) ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger (12) der ausgewählten Substratträger-Untergruppe, welche momentan in dem ungestapelten Zustand ist, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation derart zu bewegen, dass diese Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem diese Substratträger aufeinander gestapelt sind, und zusammen mit einem oder mehreren Substratträgern, welche nicht zu der ausgewählten Substratträger-Untergruppe gehören, den Substratträgerstapel (10) bilden.
  6. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 5, wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern (12) einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe auszuführen, welche eine obere Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels (10) ist und den obersten Substratträger des Substratträgerstapels umfasst.
  7. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern (12) einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe auszuführen, welche eine untere Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels (10) ist und den untersten Substratträger des Substratträgerstapels umfasst.
  8. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Öffnungsoperation und die Schließoperation an den Substratträgern (12) einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe auszuführen, welche eine Zwischen-Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels (10) ist und weder den untersten Substratträger noch den obersten Substratträger des Substratträgerstapels umfasst.
  9. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei der Bewegungsmechanismus (101) einen Schlitten (112) umfasst, welcher entlang der vertikalen Achse relativ zu einem Gestell (102) oder einem Gehäuse der Öffnungsvorrichtung zwischen einer oberen Betriebsposition und einer unteren Betriebsposition, entsprechend oder nahe zu einer unteren Grenzposition, bewegbar gehaltert ist, wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den Schlitten (112) nach unten in Richtung der unteren Betriebsposition zu bewegen, um die Öffnungsoperation auszuführen, und den Schlitten (112) nach oben in Richtung der oberen Betriebsposition zu bewegen, um die Schließoperation auszuführen, wobei die obere Betriebsposition eine Belade- und Entlade-Position ist, in welcher ein jeweiliger Substratträgerstapel (10) auf den Schlitten (112) geladen oder von dem Schlitten (112) entladen werden kann, oder eine Entlade-Position ist, in welcher ein jeweiliger Substratträgerstapel (10) von dem Schlitten entladen werden kann.
  10. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 9, wobei wenigstens eines aus dem Schlitten (112) und dem Gestell (102) oder dem Gehäuse mit wenigstens einem aus dem Folgenden bereitgestellt ist a) Positionierungs- oder Führungsformationen (150a, 150b), welche dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen der Substratträger zusammenzuwirken, b) Positionierungs- oder Führungsformationen (292), welche dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen der Basiseinheit (14) des Substratträgerstapels (10) zusammenzuwirken, und c) Positionierungs- oder Führungsformationen (150a, 150b), welche dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels zusammenzuwirken; wobei die Positionierungs- oder Führungsformationen und die Gegen-Positionierungs- oder Führungsformationen dazu eingerichtet sind, eine definierte Positionierung des Substratträgerstapels (10) auf dem Schlitten (112) und eine definierte Positionierung der Substratträger (12) und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit (16) in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem ungestapelten Zustand in Richtungen orthogonal in Bezug auf die vertikale Achse zu erhalten und aufrechtzuerhalten.
  11. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, wobei der Bewegungsmechanismus (101) mit Eingriffsformationen (200, 202) bereitgestellt ist, welche durch das Gestell (102) oder das Gehäuse an definierten festen vertikalen Positionen in einer vertikal versetzten Weise direkt oder indirekt gehaltert sind und zugeordneten Gegen-Eingriffsformationen (54a, 54b, 54c, 54d) eines jeweiligen zugeordneten Substratträgers (12) und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit (16) eines Substratträgerstapels (10), welcher auf dem Schlitten (112) geladen ist, zugeordnet sind oder mit diesen eingreifbar sind, wobei die Eingriffsformationen (200, 202) selektiv betreibbar sind, einen jeweiligen Fang- und Haltezustand, in welchem die Eingriffsformationen mit einer jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation des jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels eingreifen oder eingreifbar sind, und einen jeweiligen Freigabe- und Durchlasszustand anzunehmen, in welchem die Eingriffsformationen (200, 202) mit einer jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation des jeweiligen zugeordneten Substratträgers und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels nicht eingreifen und nicht eingreifbar sind.
  12. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 11, wobei die Eingriffsformationen (200, 202) in ihrem Freigabe- und Durchlasszustand mit keiner Gegen-Eingriffsformation eines jeden Substratträgers des Substratträgerstapels eingreifbar sind.
  13. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, wobei die Eingriffsformationen (200, 202) in der Öffnungsoperation nacheinander betreibbar sind, um den Fang- und Haltezustand in einer Reihenfolge und zeitlichen Verlauf anzunehmen, welche von ihren vertikalen Positionen und einer momentanen vertikalen Position des Schlittens (112) abhängen, welcher schrittweise oder - vorzugsweise - kontinuierlich in Richtung der unteren Betriebsposition bewegt wird, und wobei die Eingriffsformationen (200, 202) in der Schließoperation nacheinander betreibbar sind, um den Freigabe- und Durchlasszustand in einer Reihenfolge und zeitlichen Verlauf anzunehmen, welche von ihren vertikalen Positionen und einer momentanen vertikalen Position des Schlittens (112) abhängen, welcher schrittweise oder - vorzugsweise - kontinuierlich in Richtung der oberen Betriebsposition bewegt wird.
  14. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen (200, 202) selektiv zu betreiben, um den Fang- und Haltezustand in der Öffnungsoperation in einer Weise anzunehmen, welche mit der Abwärtsbewegung des Schlittens (112) derart koordiniert ist, dass aufeinanderfolgend ein jeweiliger oberster Substratträger (12) des Substratträgerstapels (10) oder eines Teil-Substratträgerstapels, welcher noch auf den Schlitten (112) geladen ist, durch wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation (200, 202) gefangen und gehalten wird, welche mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation dieses Substratträgers eingreift, so dass dieser Substratträger innerhalb der Öffnungsvorrichtung (100) in einer jeweiligen definierten vertikalen geöffneten Position gehalten wird, welche durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation bestimmt ist.
  15. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 14, wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen (200, 202) selektiv zu betreiben, um den Freigabe- und Durchlasszustand in der Schließoperation in einer Weise anzunehmen, welche mit der Aufwärtsbewegung des Schlittens (112) derart koordiniert ist, dass aufeinanderfolgend ein jeweiliger unterster oder verbleibender Substratträger (12), welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung durch die jeweilige wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in einer jeweiligen definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation freigegeben wird, welche sich von der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation dieses Substratträgers löst, so dass dieser Substratträger auf dem Schlitten (112) platziert wird oder auf einen Substratträger oder - falls bereitgestellt - die Basiseinheit oder einen Teil-Substratträgerstapel, welche(r) auf den Schlitten geladen ist, gestapelt wird.
  16. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 14 oder 15 und nach Anspruch 2, wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen (200, 202) selektiv zu betreiben, um den Fang- und Haltezustand in der Öffnungsoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuerst die Abdeckungseinheit (16) des Substratträgerstapels durch wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation gefangen und gehalten wird, welche mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation der Abdeckungseinheit eingreift, so dass sie innerhalb der Öffnungsvorrichtung in einer definierten vertikalen geöffneten Position gehalten wird, welche durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation bestimmt ist.
  17. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 16, wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet ist, die Eingriffsformationen selektiv zu betreiben, um den Freigabe- und Durchlasszustand in der Schließoperation in solch einer Weise anzunehmen, dass zuletzt die Abdeckungseinheit (16), welche innerhalb der Öffnungsvorrichtung durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation in der definierten vertikalen geöffneten Position gehalten ist, durch die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation freigegeben wird, welche sich von der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation der Abdeckungseinheit löst, so dass die Abdeckungseinheit (16) auf den obersten Substratträger (12) der Substratträger gestapelt wird, welche auf den Schlitten (112) geladen sind.
  18. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 17, wobei die Eingriffsformationen (200, 202) in ihrem Fang- und Haltezustand in einer Fang- und Halteposition positioniert sind, in welcher die Eingriffsformationen vertikal mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation (54a, 54b, 54c, 54d) überlappen, und wobei die Eingriffsformationen (200, 202) in ihrem Freigabe- und Durchlasszustand in einer Freigabe- und Durchlassposition positioniert sind, in welcher die Eingriffsformationen vertikal mit der jeweiligen zugeordneten Gegen-Eingriffsformation (54a, 54b, 54c, 54d) nicht überlappen.
  19. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 18, wobei die Eingriffsformationen in der Form von Eingriffselementen (200, 202) bereitgestellt sind, welche relativ zu dem Gestell oder dem Gehäuse gehaltert sind, um zwischen der Fang- und Halteposition und der Freigabe- und Durchlassposition bewegt, vorzugsweise verschwenkt, zu werden.
  20. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 19, wobei die Eingriffselemente (200, 202) einen jeweiligen Hülsenabschnitt (210), welcher um eine vertikale Schwenkachse schwenkbar ist, und einen jeweiligen Eingriffsabschnitt aufweisen, welcher von dem Hülsenabschnitt radial vorsteht, und dazu eingerichtet ist, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation eingreifbar zu sein.
  21. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 18 bis 20, wobei die Eingriffsformationen (200, 202) oder Eingriffsabschnitte dazu eingerichtet sind, mit Gegen-Eingriffsformationen (54a, 54b, 54c, 54d) in Eingriff zu treten, welche horizontal von dem jeweiligen äußeren Trägerrahmen (40) der Substratträger (12) bzw. - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit nach außen vorstehen, oder welche in einem äußeren Umfangsrand des jeweiligen äußeren Trägerrahmens der Substratträger bzw. - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit gebildet sind.
  22. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 21, wobei der Bewegungsmechanismus (101) mit mehreren Sätzen von vertikal versetzten Eingriffsformationen (200, 202) versehen ist, so dass mehrere Eingriffsformationen (200, 202) mehreren Gegen-Eingriffsformationen (54a, 54b, 54c, 54d) eines jeweiligen zugeordneten Substratträgers (12) und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit des Substratträgerstapels, welcher auf den Schlitten geladen ist, zugeordnet und mit diesen eingreifbar sind, wobei vertikal versetzte Eingriffsformationen der Sätze an verschiedenen Seiten des Schlittens (112) und seines vertikalen Bewegungsbereichs angeordnet sind.
  23. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 22, wobei verschiedene Typen von Eingriffsformationen (200, 202) in der vertikalen Richtung in einer alternierenden Weise innerhalb jedes Satzes von vertikal versetzten Eingriffsformationen bereitgestellt und angeordnet sind, wobei die verschiedenen Typen von Eingriffsformationen verschiedenen Typen von Gegen-Eingriffsformationen der Substratträger und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit derart zugeordnet sind, dass eine Eingriffsformation (200) eines ersten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines ersten Typs eingreifbar ist und eine Eingriffsformation (202) eines zweiten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines zweiten Typs eingreifbar ist, aber dass eine Eingriffsformation (200) eines ersten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines zweiten Typs nicht eingreifbar ist und eine Eingriffsformation (202) eines zweiten Typs mit einer Gegen-Eingriffsformation eines ersten Typs nicht eingreifbar ist, wenn die Eingriffsformationen ihren jeweiligen Fang- und Haltezustand annehmen.
  24. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 23 und nach Anspruch 20, wobei die Eingriffsabschnitte der Eingriffselemente (200, 202), welche die Eingriffsformationen von verschiedenen Typen realisieren, variierende radiale Abstände zwischen der vertikalen Schwenkachse und einem jeweiligen Abschnitt (204, 206) aufweisen, welcher dazu dient, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition einzugreifen, so dass entlang der vertikalen Richtung solche unterschiedlichen Eingriffsabschnitte, welche verschiedene Abstände zwischen der vertikalen Schwenkachse und dem jeweiligen Abschnitt, welcher dazu dient, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition einzugreifen, in einer alternierenden Weise bereitgestellt sind.
  25. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 24, wobei die Hülsenabschnitte (210) der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen (200, 202) realisieren, in der Form von Hülsenelementen (210) bereitgestellt sind, an welchen gesonderte Eingriffselemente angebracht sind, welche die Eingriffsabschnitte der Eingriffselemente realisieren, wobei entlang der vertikalen Richtung verschiedene Typen von gesonderten Eingriffselementen an den Hülsenelementen (210) in einer alternierenden Weise angebracht sind, wobei die Eingriffselemente variierende radiale Abstände zwischen der vertikalen Schwenkachse und dem jeweiligen Abschnitt (204, 206) aufweisen, welcher dazu dient, mit der zugeordneten Gegen-Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition einzugreifen.
  26. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 25 und nach Anspruch 20, wobei die Hülsenabschnitte (210) der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen (200, 202) realisieren, eines jeweiligen Satzes von vertikal versetzten Eingriffsformationen mittels innerer Schwenklager (216a, 216b) an einer gemeinsamen Anbringungssäule (152a; 152b; 154a; 154b) der Öffnungsvorrichtung angebracht sind.
  27. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 26, wobei die Öffnungsvorrichtung (100) einen ersten Belade- und Entladezugang (176) an einer ersten Seite der Öffnungsvorrichtung aufweist, wobei der erste Belade- und Entladezugang es ermöglicht, auf die Substratsitze der Substratträger (12) in dem ungestapelten Zustand von einer ersten horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen wenigstens eines plattenartigen Substrats (30) von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen wenigstens eines plattenartigen Substrats (30) auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers (12) zuzugreifen, und wobei die Öffnungsvorrichtung einen zweiten Belade- und Entladezugang (178) an der ersten Seite oder an einer anderen Seite der Öffnungsvorrichtung, vorzugsweise einer zweiten Seite der Öffnungsvorrichtung, welche zu der ersten Seite entgegengesetzt ist, aufweist, wobei der zweite Belade- und Entladezugang (178) es ermöglicht, auf den Schlitten (112) in der oberen Betriebsposition von der ersten horizontalen Richtung oder einer anderen horizontalen Richtung, vorzugsweise einer zweiten horizontalen Richtung, welche der ersten horizontalen Richtung entgegengesetzt ist, für wenigstens eines aus einem Entladen eines jeweiligen Substratträgerstapels (10) von dem Schlitten (112) und einem Beladen eines jeweiligen Substratträgerstapels (10) auf den Schlitten (112) zuzugreifen.
  28. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 27, wobei der zweite Belade- und Entladezugang (178) mit Halteformationen (322) bereitgestellt ist, welche dazu eingerichtet sind, eine Halteposition anzunehmen, in welcher die Halteformationen dazu eingerichtet sind, einen Substratträgerstapel (10) innerhalb der Öffnungsvorrichtung (100) an einem vertikalen Abstand über dem Schlitten (112) zu halten, wenn er in der oberen Betriebsposition positioniert ist, wobei der Schlitten (112) in dem Verlauf einer Beladeoperation von der oberen Betriebsposition nach oben zu einer oberen Aufnahmeposition bewegbar ist, welche den Halteformationen (322) zugeordnet ist, und von der oberen Aufnahmeposition in Richtung der unteren Betriebsposition in dem Verlauf der Öffnungsoperation bewegbar ist, und wobei die Halteformationen (322) ferner dazu eingerichtet sind, in dem Verlauf der Beladeoperation eine Freigabeposition anzunehmen, in welcher die Halteformationen (322) einen zuvor gehaltenen Substratträgerstapel (10) freigeben, um auf den Schlitten (112) geladen zu werden, welcher sich momentan in der oberen Aufnahmeposition befindet oder sich dieser annähert.
  29. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 28, wobei der zweite Belade- und Entladezugang (178) es ermöglicht, einen jeweiligen Substratträgerstapel (10) auf die Halteformationen (322) zu laden, wobei der vertikale Abstand über dem Schlitten (112), wenn er in der oberen Betriebsposition positioniert ist, vorzugsweise derart ausgewählt ist, dass ein jeweiliger Substratträgerstapel (10), welcher eine vordefinierte Höhe nicht überschreitet, auf dem Schlitten (112) getragen sein kann, welcher in der oberen Betriebsposition unter einem jeweiligen Substratträgerstapel (10) positioniert ist, welcher durch die Halteformationen (322) gehalten ist.
  30. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 27 bis 29 und nach Anspruch 25, wobei die erste Seite und die zweite Seite der Öffnungsvorrichtung (100) einer ersten Seite und einer zweiten Seite des Schlittens (112) und dessen vertikalen Bewegungsbereichs entsprechen, und wobei die Öffnungsvorrichtung mindestens einen Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen (200, 202) an einer dritten Seite des Schlittens (112) und dessen vertikalen Bewegungsbereichs und wenigstens einen Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen (200, 202) an einer vierten Seite des Schlittens und dessen vertikalen Bewegungsbereichs, welche der dritten Seite entgegengesetzt ist, aufweist.
  31. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 30, wobei zwei Sätze von vertikal versetzten Eingriffsformationen (200, 202) an der dritten Seite bereitgestellt sind, welche voneinander in der ersten horizontalen Richtung versetzt sind, oder/und wobei zwei Sätze von vertikal versetzten Eingriffsformationen (200, 202) an der vierten Seite bereitgestellt sind, welche voneinander in der ersten horizontalen Richtung versetzt sind.
  32. Öffnungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, in jedem Fall nach Anspruch 11, wobei der Bewegungsmechanismus (101) eine Interaktionsanordnung (114a, 114b, 230, 232, 234; 115) umfasst, welche dazu eingerichtet ist, Kräfte auf die Eingriffsformationen (200, 202) anzuwenden, wobei die Kräfte wenigstens eines oder mehrere umfassen aus: a) Betätigungskräfte zum Bewegen einer jeweiligen Eingriffsformation (200; 202) von einer/der Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, zu einer/der Fang- und Halteposition, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht, b) Betätigungskräfte zum Bewegen einer jeweiligen Eingriffsformation (200; 202) von einer/der Fang- und Halteposition, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht, zu einer/der Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, c) Haltekräfte zum Halten einer jeweiligen Eingriffsformation (200; 202) in einer/der Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, und d) Haltekräfte zum Halten einer jeweiligen Eingriffsformation (200; 202) in einer/der Fang- und Halteposition, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht.
  33. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 32, wobei die Interaktionsanordnung mehrere individuelle Interaktionsvorrichtungen (230, 232, 234; 115) umfasst, welche durch das Gestell (102) oder das Gehäuse direkt oder indirekt gehaltert sind und an festen vertikalen versetzten Positionen bereitgestellt sind, welche den definierten vertikalen Positionen der Eingriffsformationen (200, 202) entsprechen oder diesen benachbart sind, wobei jede der individuellen Interaktionsvorrichtungen dazu eingerichtet ist, wenigstens eine Kraft der Betätigungskräfte und Haltekräfte auf wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation (200; 202) anzuwenden.
  34. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 33, wobei die individuellen Interaktionsvorrichtungen jeweils wenigstens einen selektiv betreibbaren Aktuator (115), vorzugsweise einen pneumatischen oder elektromechanischen Aktuator, zum Anwenden wenigstens einer Kraft der Betätigungskräfte und der Haltekräfte auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation (200; 202) umfassen.
  35. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 33 oder 34, wobei die individuellen Interaktionsvorrichtungen jeweils eine permanent einwirkende Interaktionsvorrichtung (230, 232, 234) zum Anwenden von wenigstens einer der Haltekräfte und der Betätigungskräfte auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation (200, 202) umfassen.
  36. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 35, wobei die individuellen Interaktionsvorrichtungen jeweils wenigstens eines aus einer Vorspann-Federanordnung und einer Permanentmagnetanordnung (230, 232, 234) umfassen.
  37. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 36 und nach Anspruch 26, wobei wenigstens einer aus den Hülsenabschnitten (210) der Eingriffselemente, welche die Eingriffsformationen (200, 202) realisieren, mit einem zugeordneten Anbringungsabschnitt der Anbringungssäule (152a; 154b) magnetisch interagiert, wobei einer (210) aus dem Hülsenabschnitt (210) und dem Anbringungsabschnitt mit wenigstens einem Permanentmagneten (234) ausgestattet ist und der andere aus dem Hülsenabschnitt (210) und dem Anbringungsabschnitt mit wenigstens einem magnetischen oder magnetisierbaren Element (232) ausgestattet ist, so dass wenigstens eine aus einer magnetischen Kraft, welche das Eingriffselement in Richtung der Fang- und Halteposition vorspannt, wenn das Eingriffselement in oder nahe der Fang- und Halteposition ist, und einer magnetischen Kraft, welche das Eingriffselement in Richtung der Freigabe- und Durchlassposition vorspannt, wenn das Eingriffselement in oder nahe der Freigabe- und Durchlassposition ist, auftritt.
  38. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 32, wobei der Hülsenabschnitt (210) mit einem Paar von magnetisierbaren Anlageelementen (230) ausgestattet ist, und wobei der Anbringungsabschnitt mit einem Gegenanlageelement (232) ausgestattet ist, welches zwischen den magnetisierbaren Anlageelementen (230) des Hülsenabschnitts (210) vorsteht, wobei das Gegenanlageelement (232) magnetisierbar ist und der Hülsenabschnitt (210) ferner mit wenigstens einem Permanentmagneten (234) ausgestattet ist, welcher den magnetisierbaren Anlageelementen (230) zugeordnet ist, oder wobei das Gegenanlageelement einen Permanentmagneten umfasst oder durch diesen gebildet ist, wobei eines aus den magnetisierbaren Anlageelementen (230) gegen das Gegenanlageelement (232) anliegt, wenn das jeweilige Eingriffselement in der Fang- und Halteposition ist, und das andere aus den magnetisierbaren Anlageelementen (230) gegen das Gegenanlageelement (232) anliegt, wenn das jeweilige Eingriffselement in der Freigabe- und Durchlassposition ist.
  39. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 32 bis 38, wobei die Interaktionsanordnung wenigstens eine bewegbare Interaktionsvorrichtung (114a, 114b) umfasst, welche in der vertikalen Richtung relativ zu dem Gestell (102) oder dem Gehäuse zu vertikal versetzten vertikalen Interaktionspositionen oder vertikalen Interaktionspositionsbereichen bewegbar gehaltert ist, welche den definierten vertikalen Positionen der Eingriffsformationen (200, 202) entsprechen, umfassen oder zu diesen benachbart sind, wobei die bewegbare Interaktionsvorrichtung dazu eingerichtet ist, wenigstens eine aus den Betätigungskräften auf wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation (200; 202) anzuwenden, wenn die bewegbare Interaktionsvorrichtung zu einer jeweiligen aus den Interaktionspositionen oder einem jeweiligen den Interaktionspositionsbereichen bewegt worden ist oder eine jeweilige der Interaktionspositionen oder einen jeweiligen Interaktionspositionsbereiche in dem Verlauf ihrer vertikalen Bewegung passiert.
  40. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 39, wobei die bewegbare Interaktionsvorrichtung (114a, 114b) wenigstens ein Betätigungselement (250a; 250b) umfasst, welches zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position, vorzugsweise longitudinal in einer horizontalen Richtung, bewegbar ist, wobei das Betätigungselement (250a; 250b), wenn die bewegbare Interaktionsvorrichtung zu einer jeweiligen der vertikalen Interaktionspositionen oder einem jeweiligen der vertikalen Interaktionspositionsbereiche bewegt worden ist oder eine jeweilige der vertikalen Interaktionspositionen oder einen jeweiligen der vertikalen Interaktionspositionsbereiche in dem Verlauf ihrer vertikalen Bewegung passiert, dazu eingerichtet ist, eine Betätigungskraft oder eine erste Betätigungskraft auf wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation (200; 202) anzuwenden, wenn das Betätigungselement die erste Position annimmt oder auf Grundlage einer Bewegung des Betätigungselements in Richtung der ersten Position, und dazu eingerichtet ist, keine Betätigungskraft auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation einzuwirken, wenn das Betätigungselement die zweite Position annimmt, oder eine zweite Betätigungskraft auf die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation anzuwenden, wenn das Betätigungselement die zweite Position annimmt oder auf Grundlage einer Bewegung des Betätigungselements in Richtung der zweiten Position, wobei die Betätigungskraft oder die erste Betätigungskraft gerichtet ist, die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation (200; 202) in Richtung von einer aus der jeweiligen Freigabe- und Durchlassposition und der jeweiligen Fang- und Halteposition zu bewegen, und die zweite Betätigungskraft gerichtet ist, die wenigstens eine zugeordnete Eingriffsformation (200; 202) in Richtung der anderen aus der jeweiligen Freigabe- und Durchlassposition und der jeweiligen Fang- und Halteposition zu bewegen.
  41. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 39 oder 40, wobei die bewegbare Interaktionsvorrichtung (114a; 114b) verbunden ist mit und, vorzugsweise, direkt oder indirekt durch den Schlitten (112) gehaltert ist, für eine gemeinsame vertikale Bewegung.
  42. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 41 und nach einem der Ansprüche 5 bis 8, wobei mehrere bewegbare Interaktionsvorrichtungen (250a, 250b, 250c, 250d) bereitgestellt sind, welche für eine gemeinsame vertikale Bewegung verbunden sind mit und, vorzugsweise, direkt oder indirekt durch den Schlitten (112) gehaltert sind und an unterschiedlichen vertikalen Positionen in Bezug auf einen Tragabschnitt des Schlittens (112) angeordnet sind, welcher den Substratträgerstapel (10) trägt, welcher auf den Schlitten (112) geladen ist, wobei die bewegbaren Interaktionsvorrichtungen (250a, 250b, 250c, 250d) verschiedenen vordefinierten Substratträger-Untergruppen eines jeweiligen Substratträgerstapels (10) zugeordnet sind, welcher auf den Schlitten (112) geladen ist.
  43. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 40 bis 42, wobei die bewegbare Interaktionsvorrichtung (114a; 114b) wenigstens einen selektiv betreibbaren Aktuator, vorzugsweise einen pneumatischen oder elektromechanischen Aktuator (250a; 250b), zum Bewegen des Betätigungselements aus der ersten Position in Richtung der zweiten Position oder/und zum Bewegen des Betätigungselements aus der zweiten Position in Richtung der ersten Position umfasst.
  44. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 43, wobei der selektiv betreibbare Aktuator (114a; 114b) dazu eingerichtet ist, die jeweilige Betätigungskraft auf die jeweilige Eingriffsformation (200; 202) mittels des Betätigungselements (250a; 250b), durch Bewegen desselben in Richtung der ersten oder der zweiten Position, anzuwenden, und wobei das Betätigungselement (250a; 250b) wenigstens einen Anlageteil (252a; 252b; 254a; 254b) aufweist, welcher dazu eingerichtet ist, in dem Verlauf von dessen Bewegung in Richtung der ersten oder der zweiten Position gegen einen zugeordneten Gegen-Anlageteil (246) der jeweiligen Eingriffsformation (200; 202) anzuliegen, um die jeweilige Betätigungskraft oder erste Betätigungskraft oder zweite Betätigungskraft auf die jeweilige Eingriffsformation über den Anlageteil anzuwenden.
  45. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 43, wobei das Betätigungselement (250b) wenigstens einen Reaktionsteil (254') aufweist, welcher dazu eingerichtet ist, mit wenigstens einem zugeordneten Gegen-Reaktionsteil (246') der jeweiligen Eingriffsformation (200; 202) derart zu interagieren, dass, wenn das Betätigungselement (250b) in seiner ersten oder zweiten Position ist und die bewegbare Interaktionsvorrichtung eine jeweilige aus den vertikalen Interaktionspositionen oder den vertikalen Interaktionspositionsbereichen passiert, die resultierende vertikale Bewegung des Reaktionsteils (254') relativ zu dem Gegen-Reaktionsteil (246`), welches durch den Reaktionsteil eingegriffen ist, die Betätigungskraft oder die erste Betätigungskraft oder die zweite Betätigungskraft erzeugt, welche auf die jeweilige Eingriffsformation über den Gegen-Reaktionsteil angewendet wird.
  46. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 45, wobei der Reaktionsteil (254') und der zugeordnete Gegen-Reaktionsteil (246') dazu eingerichtet sind, wie ein Nocken und ein Nockenfolger in einer Nocken-Nockenfolger-Interaktion zum Erzeugen der Betätigungskraft oder der ersten Betätigungskraft oder der zweiten Betätigungskraft zu interagieren, welche in einer Richtung orthogonal zu der Richtung der vertikalen Bewegung des Reaktionsteils relativ zu dem Gegen-Reaktionsteil gerichtet ist.
  47. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 44 bis 46, wobei die Eingriffsformationen (200, 202) Gegen-Anlageteile (246) oder Gegen-Reaktionsteile (246') aufweisen, welche an definierten variierenden vertikalen Abständen von der der jeweiligen Eingriffsformation zugeordneten jeweiligen definierten vertikalen geöffneten Position des ungestapelten Substratträgers (12) und - falls bereitgestellt - der Abdeckungseinheit, angeordnet sind, um einer variierenden vertikalen Höhe des Substratträgerstapels (10) oder des Teil-Substratträgerstapels in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation Rechnung zu tragen.
  48. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 47 und nach Anspruch 20, wobei die Hülsenabschnitte (210) in der Form von Hülsenelementen (210) realisiert sind, an welchen gesonderte Gegen-Anlageteile (246) oder Gegen-Reaktionsteile (246') angebracht sind, wobei verschiedene Arten von Gegen-Anlageteilen (246) oder von Gegen-Reaktionsteilen (246') bereitgestellt sind, welche verschiedene vertikale Längen zwischen einem Abschnitt, welcher dazu dient, mit dem Anlageteil (252a; 252b; 254a; 254b) bzw. dem Reaktionsteil (254') des Betätigungselements zu interagieren, und einem Abschnitt aufweisen, welcher an dem jeweiligen Hülsenelement (210) angebracht ist, oder/und wobei die gesonderten Gegen-Anlageteile (246) oder Gegen-Reaktionsteile (246') an dem jeweiligen Hülsenelement an verschiedenen vertikalen Höhen innerhalb der vertikalen Erstreckung der Hülsenelemente (210) angebracht sind.
  49. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 48, wobei gesonderte Gegen-Anlageteile (242, 246) oder Gegen-Reaktionsteile (242', 246') eines ersten Typs an Hülsenelementen in einem oberen Bereich der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, welche ihren Abschnitt (246; 246'), welcher dazu dient, mit dem Anlageteil oder dem Reaktionsteil zu interagieren, unter der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements (210) angeordnet aufweisen, an welches der jeweilige Gegen-Anlageteil oder der Gegen-Reaktionsteil angebracht ist, wobei gesonderte Gegen-Anlageteile (244, 246) oder Gegen-Reaktionsteile (246') eines zweiten Typs an Hülsenelementen (210) in einem mittleren Bereich der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, welche ihren Abschnitt (246; 246'), welcher dazu dient, mit dem Anlageteil oder dem Reaktionsteil zu interagieren, innerhalb der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements (212) angeordnet aufweisen, an welches der jeweilige Gegen-Anlageteil oder Gegen-Reaktionsteil angebracht ist, und wobei gesonderte Gegen-Anlageteile (242, 246) oder Gegen-Reaktionsteile (242', 246') eines dritten Typs oder des ersten Typs an Hülsenelementen in einem unteren Bereich der Öffnungsvorrichtung angebracht sind, welche ihren Abschnitt (246; 246'), welcher dazu dient, mit dem Anlageteil oder dem Reaktionsteil zu interagieren, über der vertikalen Erstreckung des jeweiligen Hülsenelements angeordnet aufweisen, an welches der jeweilige Gegen-Anlageteil oder Gegen-Reaktionsteil angebracht ist.
  50. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 49, wobei die Öffnungsvorrichtung eine vertikale Führungsanordnung (108, 110) zum Führen des Schlittens (112) während dessen vertikaler Bewegung in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation umfasst.
  51. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 50, wobei der Bewegungsmechanismus (101) eine vertikale Antriebsanordnung (130a, 130b, 136) umfasst, welche dazu eingerichtet ist, den Schlitten (112) selektiv vertikal in dem Verlauf der Öffnungsoperation nach unten und in dem Verlauf der Schließoperation und - falls bereitgestellt - in dem Verlauf der Beladeoperation nach oben zu bewegen.
  52. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 51, wobei die vertikale Antriebsanordnung wenigstens einen Riemenantrieb (130a, 130b, 136) umfasst, welcher mit dem Schlitten (112) gekoppelt ist und selektiv betreibbar ist, um den Schlitten zum Ausführen der Öffnungsoperation nach unten zu bewegen, und um den Schlitten zum Ausführen der Schließoperation und - falls bereitgestellt - zum Ausführen der Beladeoperation nach oben zu bewegen.
  53. Öffnungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, welche mit einer Sensoranordnung (290, 274, 280a, 280b, 282a, 282b, 296, 297) ausgestattet ist, welche dazu eingerichtet ist, wenigstens eines aus dem Betrieb der Öffnungsvorrichtung und Zuständen des Substratträgerstapels zu überwachen.
  54. Öffnungsvorrichtung nach den Ansprüchen 9 und 53, wobei die Sensoranordnung (290, 274, 280a, 280b, 282a, 282b, 296, 297) wenigstens einen Sensor umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, wenigstens eines aus einer momentanen Position des Schlittens und einem momentanen Bewegungszustand des Schlittens zu erfassen, oder/und welcher dazu eingerichtet ist, zu erfassen, ob die Öffnungsvorrichtung einen oder mehrere aus einer Mehrzahl von definierten Zuständen annimmt, umfassend einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem kein Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist, während der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem ein Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist, während der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Aufnahmeposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem der Schlitten in der unteren Betriebsposition angeordnet ist, einen Zustand, in welchem ein Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist und den gestapelten Zustand annimmt, und einen Zustand, in welchem die Substratträger des Substratträgerstapels oder eine ausgewählte Substratträger-Untergruppe davon und - falls bereitgestellt und anwendbar - die Abdeckungseinheit ungestapelt sind und innerhalb der Öffnungsvorrichtung an ihrer jeweiligen vertikalen geöffneten Position gehalten sind.
  55. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 53 oder 54 und nach Anspruch 28, wobei die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor (296) umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, zu erfassen, ob ein Substratträgerstapel (10) durch die Halteformationen (322) gehalten ist.
  56. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 53 bis 55 und nach Anspruch 11, wobei die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor (310) umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, einen momentanen Zustand einer jeweiligen aus den Eingriffsformationen zu erfassen, oder/und wenigstens einen Sensor umfasst, welcher einer Mehrzahl der Eingriffsformationen zugeordnet ist und dazu eingerichtet ist, zu erfassen, ob die Mehrzahl von Eingriffsformationen den gleichen Zustand annehmen.
  57. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 53 bis 56 und nach Anspruch 32, wobei die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor (274) umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, eine Operation von wenigstens einer Interaktionsvorrichtung (114b) der Interaktionsanordnung zu überwachen, oder/und welcher dazu eingerichtet ist, einen momentanen Zustand von wenigstens einer Interaktionsvorrichtung der Interaktionsanordnung zu erfassen.
  58. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 53 bis 57, wobei die Sensoranordnung wenigstens einen Sensor (280a, 280b, 282a, 282b; 280c, 280d, 282c, 282d; 280e, 280f, 282e, 282f) umfasst, welcher dazu eingerichtet ist, einen Wechsel oder Übergang zwischen dem gestapelten Zustand und dem ungestapelten Zustand in der Öffnungsoperation zu überwachen, oder/und welcher dazu eingerichtet ist, einen Wechsel oder Übergang zwischen dem ungestapelten Zustand und dem gestapelten Zustand in der Schließoperation zu überwachen.
  59. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 58, welche mit wenigstens einem von einer stationären Sensoranordnung und einer bewegbaren Sensoranordnung (280a, 280b, 282a, 282b; 280c, 280d, 282c, 282d; 280e, 280f, 282e, 282f) ausgestattet ist, welche dazu eingerichtet ist oder sind, die versetzte vertikale Positionierung der Substratträger (12) und - falls bereitgestellt und anwendbar - der Abdeckungseinheit (16) innerhalb der Öffnungsvorrichtung in dem Verlauf der Öffnungsoperation zu überwachen, oder/und welche dazu eingerichtet ist oder sind, auf wenigstens eines aus einer Anwesenheit, einer Abwesenheit und einem Zustand eines Substrats (30), welches auf einen jeweiligen Sitz von wenigstens einem Substratträger geladen ist, welcher an seiner jeweiligen vertikalen geöffneten Position innerhalb der Öffnungsvorrichtung gehalten ist, in dem Verlauf der Öffnungsoperation und in dem Verlauf der Schließoperation zu reagieren.
  60. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 59 und nach Anspruch 9, wobei die bewegbare Sensoranordnung (280a, 280b, 282a, 282b; 280c, 280d, 282c, 282d; 280e, 280f, 282e, 282f) dazu eingerichtet ist, zusammen mit dem Schlitten (112), in der Öffnungsoperation nach unten und in der Schließoperation nach oben, bewegbar zu sein.
  61. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 60 und nach einem der Ansprüche 5 bis 8, wobei mehrere bewegbare Sensoranordnungen (280a, 280b, 282a, 282b; 280c, 280d, 282c, 282d; 280e, 280f, 282e, 282f) bereitgestellt sind, welche dazu eingerichtet sind, zusammen mit dem Schlitten (112), in der Öffnungsoperation nach unten und in der Schließoperation nach oben, bewegbar zu sein, wobei die bewegbaren Sensoranordnungen an verschiedenen vertikalen Positionen in Bezug auf einen/den Tragabschnitt (111) des Schlittens (112) angeordnet sind, welcher den Substratträgerstapel (10) trägt, welcher auf dem Schlitten geladen ist, wobei die bewegbaren Sensoranordnungen verschiedenen vordefinierten Substratträger-Untergruppen eines jeweiligen Substratträgerstapels zugeordnet sind, welcher auf den Schlitten geladen ist.
  62. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 60 oder 61, wobei die bewegbare Sensoranordnung (280a, 280b, 282a, 282b; 280c, 280d, 282c, 282d; 280e, 280f, 282e, 282f) dazu eingerichtet ist, auf wenigstens eines aus der Anwesenheit, der Abwesenheit und dem Zustand eines jeweiligen Substrats, welches auf einen jeweiligen Sitz von mehreren oder allen Substratträgern geladen ist, welche an ihren jeweiligen vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung gehalten sind, in dem Verlauf von wenigstens einem aus der Öffnungsoperation und der Schließoperation zu reagieren, wobei die bewegbare Sensoranordnung wenigstens einen bewegbaren Sensor aufweist, welcher in einer horizontalen Erfassungsrichtung reaktiv ist und an einem definierten vertikalen Abstand über einem/dem Tragabschnitt (111) des Schlittens (112) angeordnet ist, welcher dazu dient, einen Substratträgerstapel (10) zu tragen, welcher auf den Schlitten geladen ist, so dass in dem Verlauf der jeweiligen Operation der Öffnungsoperation und der Schließoperation der bewegbare Sensor oder ein jeweiliger von mehreren bewegbaren Sensoren, welche an verschiedenen definierten vertikalen Abständen über dem Tragabschnitt angeordnet sind, nachfolgend vertikal seitwärts des Substratsitzes von wenigstens einem zugeordneten Substratträger oder mehreren zugeordneten Substratträgern der Substratträger passiert, welche innerhalb der Öffnungsvorrichtung an ihrer jeweiligen vertikalen geöffneten Position gehalten sind.
  63. Öffnungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, welche wenigstens eine Spülstruktur (308a, 308b, 308c) aufweist, welche dazu eingerichtet ist, wenigstens einen definierten Spülgasstrom innerhalb der Öffnungsvorrichtung bereitzustellen, vorzugsweise umfassend einen Spülgasstrom, welcher die Substratträger an ihren vertikalen geöffneten Positionen in dem ungestapelten Zustand passiert, wobei der Spülgasstrom vorzugsweise nach unten gerichtet ist, wenn er einen jeweiligen Substratträger passiert.
  64. Reinraumeinrichtung (80) für wenigstens eines aus einem Speichern, Handhaben, Zuführen und Verarbeiten von Substraten (30) in der Form von wenigstens einem aus Halbleiter-Wafern und Masken/Fotomasken, umfassend wenigstens eine Öffnungsvorrichtung (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, welche dazu dient, auf Substratsitze von Substratträgern (12) von Substratträgerstapeln (10) eines Typs zuzugreifen, welche eine Mehrzahl von Substratträgern (12) umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger (12) einen äußeren Trägerrahmen (40) aufweist, welcher sich horizontal um eine innere Öffnung erstreckt, und einen Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats (30) innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels definiert oder damit bereitgestellt ist.
  65. Reinraumeinrichtung (80) nach Anspruch 64, umfassend wenigstens eine erste Roboteranordnung (90), welche dazu eingerichtet und betreibbar ist, einen jeweiligen Substratträgerstapel (10) in die Öffnungsvorrichtung (100) zu laden, und dazu eingerichtet und betreibbar ist, einen jeweiligen Substratträgerstapel (10) aus der Öffnungsvorrichtung (100) zu entladen, und umfassend wenigstens eine zweite Roboteranordnung (92), welche dazu eingerichtet und betreibbar ist, auf wenigstens einen oder mehrere Substratsitze von ausgewählten Substratträgern (12) in dem ungestapelten Zustand zuzugreifen, wobei die zweite Roboteranordnung (92) dazu eingerichtet und betreibbar ist, ein jeweiliges plattenartiges Substrat (30) von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zu entladen, auf welchen zugegriffen wird, und dazu eingerichtet und betreibbar ist, ein jeweiliges plattenartiges Substrat (30) auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zu beladen, auf welchen zugegriffen wird.
  66. Reinraumeinrichtung (80) nach Anspruch 65, wobei die erste Roboteranordnung (90) zwischen einer Lagervorrichtung (82) zum Speichern von Substratträgerstapeln (10) und der Öffnungsvorrichtung (100) angeordnet ist und dazu dient, Substratträgerstapel (10) zwischen der Lagervorrichtung und der Öffnungsvorrichtung zu transferieren.
  67. Reinraumeinrichtung nach Anspruch 65 oder 66, wobei die zweite Roboteranordnung (92) zwischen der Öffnungsvorrichtung (100) und wenigstens einem Transferzugang angeordnet ist und dazu dient, Substrate (30) zwischen der Öffnungsvorrichtung und dem Transferzugang oder einer jeweiligen Vorrichtung zu transferieren, welche mit dem Transferzugang permanent verbunden oder vorübergehend daran angelegt oder angekoppelt ist, und zu wenigstens einem aus einem Substratverarbeiten, einer Substratbehandlung, einer Substratspeicherung und einem Substrattransport dient.
  68. Reinraumeinrichtung nach Anspruch 67, wobei die zweite Robotereinrichtung (92) dazu dient, Substrate zwischen der Öffnungsvorrichtung und einem Front Opening Unified Pod (88), FOUP (88), welcher an den Transferzugang angelegt ist, zu transferieren.
  69. Öffnungsvorrichtung zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern der Mehrzahl von Substratträgern ein unterer Substratträger einen oberen Substratträger trägt, wobei jeder der Mehrzahl von Substratträgern mit einem Substratsitz versehen ist, um ein Substrat aufzunehmen und zu tragen, wobei die Öffnungsvorrichtung umfasst: ein Gehäuse; und einen Bewegungsmechanismus, welcher einen Schlitten, welcher den Substratträgerstapel trägt und relativ zu dem Gehäuse in der vertikalen Richtung bewegbar ist, Eingriffsformationen, welche durch das Gehäuse gehaltert sind, und einen Aktuator umfasst, welcher mit den Eingriffsformationen interagiert; wobei der Bewegungsmechanismus die Substratträger in Bezug aufeinander in der vertikalen Richtung in einer Öffnungsoperation derart bewegt, dass die Substratträger von einem gestapelten Zustand, in welchem die Substratträger aufeinander gestapelt sind und den Substratträgerstapel definieren, welcher in der Öffnungsvorrichtung getragen ist, in einen ungestapelten Zustand bewegt werden, in welchem die Substratträger in geöffneten Positionen mit vertikalen Abständen zwischen den vertikal benachbarten Substratträgern ungestapelt sind, was den Substratsitzen der Substratträger ermöglicht, von einer horizontalen Richtung aus zugreifbar zu sein, um ein Substrat von den Substratsitzen zu entladen und/oder ein Substrat auf die Substratsitze zu laden; wenn die Substratträger in dem ungestapelten Zustand sind, bewegt der Bewegungsmechanismus die Substratträger in Bezug aufeinander in der vertikalen Richtung in einer Schließoperation, so dass die Substratträger aus dem ungestapelten Zustand in den gestapelten Zustand bewegt werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel definieren; in der Öffnungsoperation bewegt der Bewegungsmechanismus den unteren Substratträger nach unten, um den unteren Substratträger von dem oberen Substratträger des jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern vertikal zu distanzieren; und in der Schließoperation bewegt der Bewegungsmechanismus den unteren Substratträger nach oben, um den unteren Substratträger in Richtung des oberen Substratträgers des jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern zu bewegen.
  70. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 69, wobei der Bewegungsmechanismus die Substratträger einer ausgewählten Substratträger-Untergruppe des Substratträgerstapels in Bezug aufeinander in der vertikalen Richtung derart bewegt, dass die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe von dem gestapelten Zustand in den ungestapelten Zustand bewegt werden, in welchem die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in geöffneten Positionen mit vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern ungestapelt sind, was es den Substratsitzen der ausgewählten Substratträger-Untergruppe ermöglicht, von der horizontalen Richtung aus zugreifbar zu sein, um ein Substrat von den Substratsitzen zu entladen und/oder ein Substrat auf die Substratsitze zu laden; und wenn die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in dem ungestapelten Zustand sind, bewegt der Bewegungsmechanismus die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe in Bezug aufeinander in der vertikalen Richtung in einer Schließoperation derart, dass die Substratträger der ausgewählten Substratträger-Untergruppe aus dem ungestapelten Zustand in den gestapelten Zustand bewegt werden, in welchem die Substratträger aufeinander gestapelt sind, um den Substratträgerstapel zusammen mit einem oder mehreren Substratträgern zu definieren, welche nicht zu der ausgewählten Substratträger-Untergruppe gehören.
  71. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 69 oder 70, wobei der Schlitten zwischen einer oberen Betriebsposition und einer unteren Betriebsposition bewegbar ist; sich der Schlitten nach unten in Richtung der unteren Betriebsposition bewegt, um die Öffnungsoperation auszuüben, und sich nach oben in Richtung der oberen Betriebsposition bewegt, um die Schließoperation auszuüben; und die obere Betriebsposition eine Position des Schlittens ist, in welcher der Substratträgerstapel in der Lage ist, auf den Schlitten geladen zu werden und/oder von dem Schlitten entladen zu werden.
  72. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 69 bis 71, wobei die Eingriffsformationen durch das Gehäuse an festen vertikalen Positionen gehalten sind und mit Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers eingreifen; und die Eingriffsformationen in einen Fang- und Haltezustand, in welchem die Eingriffsformationen mit den Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers eingreifen, und in einen Freigabe- und Durchlasszustand bewegbar sind, in welchem die Eingriffsformationen nicht mit den Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers eingegriffen sind.
  73. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 72, wobei in der Öffnungsoperation der Bewegungsmechanismus die Eingriffsformationen selektiv betätigt, um sich in den Fang- und Haltezustand in einer mit der Bewegung des Schlitten nach unten koordinierten Weise derart zu bewegen, dass ein oberster Substratträger des Substratträgerstapels, welcher noch auf dem Schlitten geladen ist, nachfolgend durch die Eingriffsformationen gefangen und gehalten wird, welche mit den Gegen-Eingriffsformationen des obersten Substratträgers eingreifen, so dass der oberste Substratträger innerhalb der Öffnungsvorrichtung in einer vertikal geöffneten Position gehalten wird.
  74. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 72 oder 73, wobei in der Schließoperation der Bewegungsmechanismus die Eingriffsformationen selektiv betätigt, um sich in den Freigabe- und Durchlasszustand in einer mit der Bewegung des Schlittens nach oben koordinierten Weise derart zu bewegen, dass ein unterster Substratträger, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung durch die Eingriffsformationen gehalten wird, nachfolgend durch die Eingriffsformationen freigegeben wird, welche von den Gegen-Eingriffsformationen des untersten Substratträgers außer Eingriff treten, so dass der unterste Substratträger auf den Schlitten platziert wird.
  75. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 72 bis 74, wobei die Eingriffsformationen in dem Fang- und Haltezustand in einer Fang- und Halteposition positioniert sind, in welcher die Eingriffsformationen vertikal mit den Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers überlappen; und die Eingriffsformationen in dem Freigabe- und Durchlasszustand in einer Freigabe- und Durchlassposition positioniert sind, in welcher die Eingriffsformationen vertikal nicht mit den Gegen-Eingriffsformationen des Substratträgers überlappen.
  76. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 75, wobei die Eingriffsformationen zwischen der Fang- und Halteposition und der Freigabe- und Durchlassposition verschwenkt werden; und die Eingriffsformationen jeweils einen Hülsenabschnitt, welcher um eine vertikale Schwenkachse schwenkt, und einen Eingriffsabschnitt umfassen, welcher radial von dem Hülsenabschnitt vorsteht und mit der Gegen-Eingriffsformation in Eingriff tritt.
  77. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 72 bis 76, ferner umfassend eine Sensoranordnung; wobei die Sensoranordnung einen Sensor umfasst, welcher erfasst, ob alle der Eingriffsformationen in dem Fang- und Haltezustand sind, und/oder ob alle der Eingriffsformationen in dem Freigabe- und Durchlasszustand sind.
  78. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 72 bis 77, wobei der Aktuator eine Kraft auf die Eingriffsformationen anwendet, wobei die Kraft wenigstens eines umfasst aus: einer Betätigungskraft, welche die Eingriffsformation aus einer Freigabe- und Durchlassposition, welche dem Freigabe- und Durchlasszustand entspricht, in eine Fang- und Halteposition bewegt, welche dem Fang- und Haltezustand entspricht; eine Betätigungskraft, welche die Eingriffsformation von der Fang- und Halteposition in die Freigabe- und Durchlassposition bewegt; eine Haltekraft, welche die Eingriffsformation in der Freigabe- und Durchlassposition hält; und eine Haltekraft, welche die Eingriffsformation in der Fang- und Halteposition hält.
  79. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 78, wobei der Aktuator eine Mehrzahl von individuell und selektiv betreibbaren Aktuatoren umfasst, welche die Kraft auf die Eingriffsformationen anwenden.
  80. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 78 oder 79, wobei der Aktuator einen Betätigungselementabschnitt umfasst, welcher sich longitudinal zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position in der horizontalen Richtung bewegt; und der Betätigungselementabschnitt die Kraft auf die Eingriffsformation anwendet, wenn der Betätigungselementabschnitt eine Betätigungsbewegung ausführt, umfassend wenigstens eines aus einer Bewegung in der vertikalen Richtung und einer Bewegung in Richtung eines aus der ersten Position und der zweiten Position, wobei sich der Betätigungselementabschnitt in der vertikalen Richtung bewegt, wenn sich der Aktuator in der vertikalen Richtung bewegt.
  81. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 69 bis 80, ferner umfassend eine Sensoranordnung; wobei die Sensoranordnung einen Sensor umfasst, welcher erfasst, ob die Öffnungsvorrichtung in einen oder mehrere einer Mehrzahl von Zuständen übergeht, umfassend: einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem kein Substratträgerstapel an dem Schlitten geladen ist und der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem der Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist und der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem der Schlitten in der oberen Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem der Schlitten in der unteren Betriebsposition angeordnet ist; einen Zustand, in welchem der Substratträgerstapel auf den Schlitten geladen ist und den gestapelten Zustand annimmt, und einen Zustand, in welchem die Substratträger des Substratträgerstapels ungestapelt sind und innerhalb der Öffnungsvorrichtung in den vertikal geöffneten Position gehalten sind.
  82. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 69 bis 81, wobei der Bewegungsmechanismus eine vertikale Antriebseinheit umfasst, umfassend einen Riemenantrieb, welcher mit dem Schlitten gekoppelt ist und selektiv betreibbar ist, um den Schlitten nach unten zu bewegen, um die Öffnungsoperation auszuüben, und den Schlitten nach oben zu bewegen, um die Schließoperation auszuüben.
  83. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 71 bis 82, wobei das Gehäuse einen ersten Belade- und Entladezugang an einer ersten Seite des Gehäuses umfasst, wobei der erste Belade- und Entladezugang einen Zugriff auf die Substratsitze der Substratträger in dem ungestapelten Zustand von einer ersten horizontalen Richtung aus ermöglicht, um ein Substrat von den Substratsitzen zu entladen, und/oder um ein Substrat auf die Substratsitze zu laden; und das Gehäuse einen zweiten Belade- und Entladezugang an der ersten Seite des Gehäuses oder an einer zweiten Seite des Gehäuses umfasst, welche der ersten Seite des Gehäuses entgegengesetzt ist, wobei der zweite Belade- und Entladezugang einen Zugriff auf den Schlitten in der oberen Betriebsposition von der ersten horizontalen Richtung oder einer zweiten horizontalen Richtung aus ermöglicht, welche der ersten horizontalen Richtung entgegengesetzt ist, um einen Substratträgerstapel von dem Schlitten zu entladen, und/oder um einen Substratträgerstapel auf den Schlitten zu laden.
  84. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 83, wobei die erste Seite des Gehäuses und die zweite Seite des Gehäuses einer ersten Seite des Schlittens bzw. einer zweiten Seite des Schlittens entsprechen; und die Eingriffsformationen einen ersten Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen an einer dritten Seite des Schlittens und einen zweiten Satz von vertikal versetzten Eingriffsformationen an einer vierten Seite des Schlittens umfassen.
  85. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 83 oder 84, ferner umfassend einen Haltehaken; wobei der zweite Belade- und Entladezugang mit dem Haltehaken versehen ist, welcher zu einer Halteposition bewegbar ist, in welcher der Haltehaken einen Substratträgerstapel innerhalb des Gehäuses in einem vertikalen Abstand über dem Schlitten hält; und der Haltehaken zu einer Freigabeposition, in einer Belade-Operation, bewegbar ist, in welcher der Haltehaken den Substratträgerstapel freigibt, um den Substratträgerstapel auf den Schlitten zu laden.
  86. Öffnungsvorrichtung nach Anspruch 85, ferner umfassend einen Sensor, welcher erfasst, ob der Substratträgerstapel durch den Haltehaken gehalten wird.
  87. Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 69 bis 86, wobei der Aktuator mit dem Schlitten verbunden ist, um sich mit dem Schlitten in der vertikalen Richtung zu bewegen.
  88. Öffnungsvorrichtung zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern umfasst, welcher in einer vertikalen Richtung aufeinander gestapelt angeordnet sind, und Substratsitze zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels aufweisen, gekennzeichnet durch einen Bewegungsmechanismus, welcher dazu eingerichtet und betreibbar ist, alle Substratträger oder eine definierte Untergruppe der Substratträger relativ in Bezug aufeinander entlang einer vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, um einen ungestapelten Zustand anzunehmen und an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung positioniert zu sein, mit solchen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern oder von der definierten Untergruppe von Substratträgern für wenigstens eines aus einem Beladen und einem Entladen eines jeweiligen Substrats zugänglich sind, und welcher ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger, welche momentan in dem ungestapelten Zustand sind, relativ in Bezug aufeinander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation zu bewegen, um einen gestapelten Zustand wieder anzunehmen, wobei der Bewegungsmechanismus dazu eingerichtet und betreibbar ist, benachbarte Substratträger durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers in der Öffnungsoperation nach unten vertikal zu distanzieren, und benachbarte Substratträger durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers in der Schließoperation nach oben vertikal anzunähern.
  89. Reinraumeinrichtung für wenigstens eines aus einem Lagern, Handhaben, Zuführen und Verarbeiten eines Substrats, wobei die Reinraumeinrichtung umfasst: die Öffnungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 69 bis 88; einen ersten Roboter, welcher den Substratträgerstapel in die Öffnungsvorrichtung lädt und den Substratträgerstapel aus der Öffnungsvorrichtung entlädt; und einen zweiten Roboter, welcher auf den Substratsitz des Substratträgers zugreift, welcher in dem Substratträgerstapel umfasst ist.
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