DE3047513A1 - Vorrichtung zum zufuehren von mikroplaettchen zu einer vakuumkammer - Google Patents

Vorrichtung zum zufuehren von mikroplaettchen zu einer vakuumkammer

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DE3047513A1 DE19803047513 DE3047513A DE3047513A1 DE 3047513 A1 DE3047513 A1 DE 3047513A1 DE 19803047513 DE19803047513 DE 19803047513 DE 3047513 A DE3047513 A DE 3047513A DE 3047513 A1 DE3047513 A1 DE 3047513A1
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Description

nete, mit Unterdruck arbeitende Einrichtung erfaßt das betreffende Plättchen während des Einführens in die Kammer, wobei dies durch das Schließen der Tür bewirkt wird. Innerhalb des Randes einer öffnung, mit der eine stehend angeordnete Tragplatte innerhalb des Kammereingangs angeordnete Klammern dienen dazu, das betreffende Plättchen an seinem Rand zu erfassen und es innerhalb der Öffnung der Platte zu unterstützen, solange es sich in der Behandlungskammer befindet. Nach dem Abschluß der Behandlung wird das Plättchen dadurch entnommen, daß die soeben beschriebenen Arbeitsschritte im umgekehrten Sinne durchgeführt werden. Bei der Behandlungskammer kann es sich um eine Vakuumkammer handeln, und bei der Vorrichtung läßt sich auf vorteilhafte Weise eine Beschickungsschleuse von minimalem Rauminhalt mit Hilfe eines in der Kammer angeordneten Dichtungselements abgrenzen, das sich an die Plättchentragplatte und eine Wand der Kammer pressen läßt, während die Kammertür geöffnet ist, um den Eingangsbereich gegenüber dem verbleibenden Teil der Kammer abzudichten. Die Plättchentragplatte ist innerhalb der Behandlungskammer bewegbar, so daß sie zu verschiedenen Plättchenbehandlungsstationen gebracht werden kann, nachdem die Tür geschlossen und das Dichtungselement zurückgezogen worden ist.
Die Erfindung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum automatischen Handhaben und Transportieren dünner Substrate, insbesondere von dünnen Halbleiterplättchen, aus denen jeweils eine sehr große Anzahl von einzelnen elektronischen Mikroschaltkreisen oder Schaltungselementen herge-
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stellt werden, wobei von bekannten Verfahren zum Beschichten, Maskieren und Einführen von Verunreinigungen Gebrauch gemacht wird. Solche Plättchen sind sehr zerbrechlich und können leicht beschädigt werden, da sie nur eine Dicke in der Größenordnung von etwa 0,25 bis etwa 0,5 mm und einen großen Durchmesser von etwa 50 bis etwa 125 mm haben; die Flachseiten der Plättchen sind auf Hochglanz poliert und können für die Herstellung der betreffenden Vorrichtungen unbrauchbar werden, wenn eine Verunreinigung, ein Zerkratzen od. dgl. erfolgt. Daher müssen von Anfang an besondere Vors ichtsmaßnahmen zur Handhabung der Plättchen getroffen werden, und hierbei ist es insbesondere erwünscht, ein Erfassen der Plättchen mit der Hand während des Transports möglichst zu vermeiden. Da die Plättchen eine große Anzahl von BehandlungsStationen durchlaufen, die z.B. dazu dienen, die vorstehend genannten Behandlungsverfahren durchzuführen, nimmt der Wert der Plättchen ständig zu, so daß es immer wichtiger wird, jede Beschädigung und Verunreinigung zu vermeiden; gleichzeitig wird die Gefahr einer Beschädigung ständig größer.
Bis jetzt werden zur Handhabung der Plättchen Pinzetten und mit Unterdruck beaufschlagbare Trageinrichtungen verwendet; hierdurch ließ sich bestenfalls eine Berührung mit der Hand weitgehend vermeiden. Ferner wurde versucht, die Handhabung der Plättchen dadurch mehr oder weniger weitgehend zu automatisieren, daß man zum Hindurchführen der Plättchen durch die BehandlungsStationen die verschiedensten Einrichtungen benutzte, z.B. Drehtische, Tragschlitten oder Platten mit endlosen Förderbändern, lineare Luftlager oder Führungen, schwingende Führungen und mit dem Rand des Plättchens zusammenarbeitende Klammern der verschiedensten Art. Bei diesen bekannten Vorrichtungen werden die Plättchen entweder chargenweise jeweils an einer Station behandelt, oder es erfolgt eine Behandlung jeweils eines einzel-
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nen Plättchens an einer bestimmten Station. Zwar ergeben sich hierbei in bestimmten Anwendungsfällen bestimmte Vorteile, doch sind viele dieser Vorrichtungen zu kompliziert, sie arbeiten nicht hinreichend zuverlässig, um eine Beschädigung und Verunreinigung zu vermeiden, sie sind mit den Transport- oder Behandlungseinrichtungen nicht kompatibel, es ist schwierig, die Plättchen einzusetzen und später wieder zu entnehmen, und sie ermöglichen es nicht ohne weiteres, die Plättchen einer Behandlungsstation zuzuführen und zu entnehmen, wenn eine Vakuumkammer benötigt wird, der eine Beschickungsschleuse zugeordnet ist.
Bei den chargenweise arbeitenden Vorrichtungen zum Handhaben von Mikroplättchen ergeben sich weitere Nachteile. Da Jeweils eine große Anzahl von Plättchen gehandhabt wird, vergrößert sich die Gefahr einer Beschädigung oder Verunreinigung an jeder der verschiedenen Stationen oder während der Überführung von einer Station zur nächsten, und es ergeben sich Schwierigkeiten beim Beschicken und Entladen der Vorrichtungen, insbesondere dann, wenn eine vollständige Charge in eine Vakuumkammer eingeführt bzw. ihr entnommen werden muß. Andererseits ergibt sich bei der Einzelhandhabung von Mikroplättchen der Nachteil, daß eine manuelle Handhabung in einem maximalen Ausmaß erforderlich ist, insbesondere beim Beschicken und Entladen der Vorrichtungen, daß sich die Behandlung insgesamt verlangsamt, und daß sich das Hindurchführen durch Beschickungsschleusen als kompliziert oder unzuverlässig erweist. Die Gefahr einer Beschädigung und Verunreinigung vergrößert sich weiter, wenn die Plättchen mehrmals Kassetten entnommen bzw. zugeführt werden müssen, wie es bei der Einzelbehandlung erforderlich 1st, denn gewöhnlich erfolgt die Handhabung der einzelnen Plättchen mittels einer Zunge bzw. eines Schiebers,, der von unten her in die Kassette eingeführt wird, um ein Plättchen zu erfassen, wobei die Plätt-
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chen gewöhnlich eine waagerechte Lage einnehmen. Die Verwendung von Förderbändern und Platten oder von Druckluftoder Vibrationsführungen steigert in Verbindung mit der waagerechten Anordnung der Plättchen ebenfalls die Gefahr einer Beschädigung. Außerdem muß man in Verbindung mit solchen Förderbändern, Führungen, Platten und Kassetten komplizierte Beschickungsschleusen und/oder Plättchen-Übergabeeinrichtungen vorsehen, damit die Plättchen in solche Behandlungsstationen überführt werden können, denen eine Vakuumkammer zugeordnet ist.
Der Erfindung liegt nunmehr die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Vorrichtung zum Handhaben von Substraten, Mikroplättchen od.dgl. zu schaffen, die es ermöglicht, Plättchen automatisch von einer Beschickungsstation oder einer anderen Station aus einzeln nacheinander einer Behandlungsstation zuzuführen, die es ermöglicht, eine Kassette aufzunehmen, in der Plättchen stehend angeordnet sind, die es ferner ermöglicht, die Plättchen einzeln nacheinander aus der Kassette in eine Behandlungsstation zu überführen und sie danach wieder von der Kassette aufnehmen zu lassen, bei der weiterhin eine verbesserte Plättchenunters tützungs- und -transporteinrichtung vorhanden ist, die es gestattet, die Plättchen automatisch nacheinander durch Beschickungsschleusen hindurchzuführen, damit sie verschiedene BehandlungsStationen durchlaufen, wobei die Gefahr einer Beschädigung und Verunreinigung der Plättchen möglichst weitgehend vermieden wird, und bei der eine verbesserte Beschickungsschleuse für Plättchen mit einem möglichst kleinen Rauminhalt mit einer zugehörigen Zuführungseinrichtung vorhanden ist, so daß die einzelnen Plättchen einzeln nacheinander automatisch einer Behandlungsstation mit einer Vakuumkammer zugeführt und wieder entnommen werden können, wobei die Vorrichtung im Vergleich zu bekannten Vorrichtungen mit höherer Zuverlässigkeit und Geschwindigkeit arbeitet.
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Erfindungsgemäß ist diese Aufgabe durch die Schaffung einer Beschickungs- und Entnahmevorrichtung für Mikroplättchen gelöst, die mit einer Behandlungseinrichtung zusammenarbeitet, zu der eine Behandlungskammer gehört, deren Eingangsöffnung mit einer Tür versehen ist. Die Beschickungsvorrichtung ist so ausgebildet, daß sie mit Kassetten zusammenarbeiten kann, die jeweils mehrere Plättchen enthalten, welche stehend angeordnet und einander zugewandt sind, statt eine waagerechte Lage einzunehmen, wie es bei den bekannten Vorrichtungen bis jetzt häufig der Fall ist. Die Kassette macht die Plättchen von unten her zugänglich, und sie ist mit Führungseinrichtungen versehen. Ferner gehört zu der Beschickungsvorrichtung eine Kassettenfördereinrichtung, die unterhalb der Tür und des Eingangs der Behandlungskammer angeordnet ist und eine Antriebseinrichtung aufweist, welche zu der Kassettenführung passend ausgebildet ist, so daß sie mit einer auf der Fördereinrichtung angeordneten Kassette zusammenarbeiten kann, um die Kassette unterhalb des Kammereingangs an diesem vorbei zu bewegen. Weiterhin gehört zu der Vorrichtung eine unterhalb der Fördereinrichtung und des Kammereingangs angeordnete Einrichtung zum Heben und Senken jeweils eines Plättchens, die sich betätigen läßt, wenn die Kamniertür geöffnet ist, um der Kassette jeweils ein Plättchen zu entnehmen und das Plättchen in der Nähe der Innenseite der Tür anzuordnen; zu dieser Einrichtung gehört ein allgemein senkrechte bewegbarer Schieber mit einer konkav gekrümmten Oberkante, der jeweils mit dem Rand eines Plättchens zusammenarbeitet, wenn ein Plättchen gehoben bzw. abgesenkt werden soll. Weiterhin ist die Kammertür mit einer Einrichtung versehen, die es ermöglicht, das mit Hilfe des senkrecht^bewegbaTett-Schiebers in die Nähe der Innenfläche der Tür gebrachte Plättchen zu erfassen und festzuhalten. Außerdem sind in der Kammer an der Eingangs öffnung Einrichtungen vorhanden, mittels
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welcher jeweils ein Plättchen an seinem Rand elastisch erfaßt wird. Somit ermöglicht es die Vorrichtlang, die Plättchen einzeln nacheinander der Kassette zu entnehmen, jeweils ein Plättchen in Eingriff mit der Einrichtung zum Erfassen von Plättchen zu bringen, mit der die Tür versehen ist, das Plättchen in die Kammer zu überführen und das Plättchen schließlich durch das Schließen der Tür in Eingriff mit den seinen Rand erfassenden Einrichtungen zu bringen. Nach dem Abschluß der Behandlung wird die an der Tür angebrachte Einrichtung zum Erfassen eines Plättchens erneut betätigt, um das Plättchen zu erfassen und es der Halteeinrichtung in der Kammer beim Öffnen der Tür zu entnehmen, wobei das Plättchen wieder über dem erwähnten Schieber angeordnet wird, um dann in die Kassette zurückgeführt zu werden.
Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung werden eine Plättchen-Beschickungsschleuse und eine Zuführungseinrichtung ~für~eine ifakuumkammer angegeben, die eine Wand mit einer Eingangsöffnung aufweist, welcher eine Tür zum Abdichten der Öffnung zugeordnet ist. Zu der Beschickungsschleuse und der Zuführungseinrichtung gehört eine plattenähnliche Plättchenunterstützung innerhalb der Vakuumkammer, die unmittelbar hinter der Eingangsöffnung angeordnet ist und eine Öffnung aufweist, die sich in Deckung mit der Eingangsöffnung bringen läßt, wobei diese Öffnung einen größeren Durchmesser hat als das Plättchen. Weiterhin ist die Plättchenunterstützung innerhalb der Ebene ihrer Öffnung mit Klammern versehen, die elastisch mit dem Rand eines Plättchens zusammenarbeiten, um das Plättchen in der Ebene der öffnung zu unterstützen; die erwähnte Hebeeinrichtung dient dazu, jeweils ein Plättchen so anzuheben, daß es der Innenfläche der Kammertür'benachbart ist und sich allgemein parallel dazu erstreckt, wenn die Tür geöffnet ist. Weiterhin ist in die Tür eine mit Unterdruck
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. zuarbeitende Einrichtung zum Erfassen eines Plättchens eingebaut, damit das Plättchen durch Aufbringen von Unterdruck erfaßt und während des Schließens der Tür festgehalten werden kann, wobei das Plättchen in Eingriff mit den Klammern gebracht wird; zum Entnehmen des Plättchens wird sinngemäß umgekehrt verfahren. Schließlich ist eine Einrichtung vorhanden, zu der ein in der Kammer angeordnetes Element gehört, das mit abdichtender Wirkung mit der Plättchentragplatte gegenüber der Kammeröffnung, der Tür, der Wand der Kammer und den Klammern der Plättchentragplatte zusammenarbeitet, um eine Beschickungsschleuse von minimalem Rauminhalt abzugrenzen. Die Vorrichtung ermöglicht es, die Plättchen einzeln nacheinander ohne jede Schwierigkeit in die Vakuumkammer zu überführen bzw. sie daraus zu entnehmen, wobei ein kontinuierlicher Betrieb bei erhöhter Zuverlässigkeit und Geschwindigkeit möglich ist.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 eine Schrägansicht einer vollständigen erfindungsgemäßen Plättchentransportvorrichtung in ihrer Beziehung zu einer Plättchenbehandlungseinrichtung und einer Kassette, wobei zu erkennen ist, auf welche Weise die Plättchen einer Kassette entnommen und der Behandlungseinrichtung zugeführt werden, um danach wieder entnommen zu werden; und
Fig. 2 einen vergrößerten Axialschnitt des Behandlungskammer-Eingangsbereichs der Vorrichtung nach Fig. 1, wobei man die Kammertür erkennt, ferner auf welche Weise Jeweils ein Plättchen in die Behandlungskammer eingebracht und darin unterstützt wird, und auf welche Weise innerhalb der Kammer eine Beschickungsschleuse von minimalem Rauminhalt abgegrenzt wird.
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Um die Vorteile und die Wirkungsweise der in Fig. 1 dargestellten Plättchentransportvorrichtung erkennbar zu machen, ist die Vorrichtung in Verbindung mit einer Plättchenbehandlungs vorrichtung dargestellt; zu der Vorrichtung gehören als Hauptteilbaugruppen eine Baugruppe 1 zum Zu- und Abführen von Kassetten, ferner Kassetten 3 und 4, die jeweils mehrere Halbleiterplättchen 5 oder andere Substrate enthalten, eine der Kammer zugeordnete Beschickungsschleuse 8 sowie eine Plättchenbehandlungskammer 11. Allgemein gesprochen werden Kassetten, z.B. die Kassetten 3 und 4, mit Hilfe der Einrichtung 1 zum Zu- und Abführen von Kassetten in eine Lage unterhalb der Beschickungsschleuse 8 gebracht, woraufhin die Plättchen der Beschickungsschleuse einzeln nacheinander zugeführt werden, um in der Kammer 11 einer Behandlung unterzogen zu werden. Bei der Plättchenbehandlungskammer bzw. der Einrichtung 11 kann es sich um Einrichtungen der verschiedensten Art handeln, z.B. Maschinen zum Beschichten von Halbleiterplättchen, Maschinen zum Ätzen von Plättchen, Maschinen zum Durchführen lithografischer Arbeitsschritte, Maschinen zum Glühen der Plättchen usw. Eine solche Einrichtung, bei der sich die erfindungsgemäße Plättchentransport- bzw. -übergabevorrichtung als besonders vorteilhaft erweist, ist mit weiteren Einzelheiten in der Patentanmeldung V1 P528 D (U.S. Serial No. 1O6 343) beschrieben, die sich auf ein Plättchenbeschichtungssystem bezieht. Die Plättchenbehandlungskammer 11 weist einen kreisrunden Kammereingang 13 auf, die einen größeren Durchmesser hat als ein zu behandelndes Plättchen, und durch die hindurch das Innere der Plättchenbehandlungs-Vorrichtung zugänglich ist; die Beschickungsschleuse 8 ist auf den Eingang 13 ausgerichtet.
Die Beschickungsschleuse ist mit weiteren Einzelheiten in Fig. 2 dargestellt. Die eigentliche Schleuse wird durch mehrere zu einem Stapel vereinigte Elemente gebildet; hierzu
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gehören eine Kammertürbaugruppe 16, die in Fig. 2 ihre geschlossene Stellung einnimmt, die Vorderwand 17 einer Behandlungskammer 11, eine runde Öffnung 18 in einer Plättchentragplatten-Baugruppe 20, die in der Kammer 11 kurz hinter dem Kammereingang 13 parallel zu der Vorderwand 17 angeordnet ist, sowie eine Druckplatte 22, die in der Kammer hinter der Platteribaugruppe 20 angeordnet ist. Jeweils ein Plättchen 5 wird in der Beschickungsschleuse und der Plattenbaugruppe innerhalb der Öffnung 18 auf eine noch zu erläuternde Weise festgehalten. Die Behandlungskammer 11 kann zur Durchführung bestimmter Behandlungen bei den Plättchen eine geregelte Atmosphäre enthalten, deren Druck unter dem Druck der Atmosphäre liegt. Somit kann es erwünscht sein, den Kammereingang 13 gegen die übrigen Teile der Kammer abzudichten, um in dör Kammer einen Unterdruck aufrechtzuerhalten. Die Druckplatte 22 dient dazu, den Bereich der Beschickungsschleuse gegenüber dem Innenraum der Kammer abzugrenzen; zu diesem Zweck wird die Druckplatte an die Plattenbaugruppe 20 und die Wand 17 der Kammer mit Hilfe eines Stößels 23 angepreßt, wobei der Bereich des Kammereingangs gegenüber den übrigen Teilen der Kammer abgedichtet wird. Sowohl die Druckplatte 22 als auch die Vorderwand 17 der Kammer ist mit O-Ringen 25 versehen, die konzentrisch mit dem Kammereingang 13 angeordnet sind, um eine Abdichtung in der beschriebenen Weise zu ermöglichen. Die Kammertürbaugruppe 16, die mit einem mit ihr konzentrischen O-Ring 26 versehen ist, arbeitet mit abdichtender Wirkung mit der Außenfläche der Vorderwand 17 zusammen, um die Beschickungsschleuse dadurch abzuschließen, daß sie den Kammereingang 13 nach außen abdichtet. Gemäß Fig. 2 entsteht hierdurch eine Beschickungsschleuse von ungewöhnlich geringer Bauhöhe und kleinem Rauminhalt, deren Größe gerade ausreicht, um eines der Plättchen 5 aufzunehmen. Wenn es erwünscht ist, die Beschickungsschleuse zu evakuieren, um Störungen der geregelten Atmosphäre in der Kammer 11, in der
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ein Unterdruck herrscht, möglichst weitgehend auszusehalten, so kann dies ohne jede Schwierigkeit geschehen, da die Beschickungsschleuse nur einen kleinen Rauminhalt hat, da keine von außen her in die Schleuse hineinragenden Plättchenunterstützungen vorhanden sind, und da infolgedessen keine großen Verbindungsöffnungen zur Atmosphäre vorhanden sind, die ebenfalls evakuiert werden müßten. Eine Hilfsvakuumpumpe, die mit dem Innenraum der Beschickungssohleuse auf bekannte Weise verbunden ist, würde es dann ermöglichen, die Schleuse innerhalb kurzer Zeit im erforderlichen Ausmaß zu evakuieren.
Für die Brauchbarkeit der eine geringe Bauhöhe aufweisenden Beschickungsschleuse 8 ist die Verwendung mehrerer Klammerbaugruppen 28 von Bedeutung, die ein Plättchen jeweils an seinem Rand erfassen, in der Schleuse angeordnet sind und dazu dienen, mit dem Plättchen elastisch zusammenzuarbeiten und es in einer aufrechten Lage zu unterstützen. Fig. 2 zeigt die Einzelheiten einer besonders vorteilhaften Anordnung solcher Klammerbaugruppen 28, die in Abständen über den Umfang der runden Öffnung 18 der Plattenbaugruppe 20 verteilt sind. Diese Anordnung der Klammern ermöglicht einen ungehinderten Zugang zu beiden Flachseiten eines Plättchens 5, und zusammen mit der Plättchentragplatten-Baugruppe bilden sie eine Plättchenunterstützungseinrichtung, die das Plättchen gegen Stöße und mechanische Beschädigungen schützt. Diese Plättchenunterstützungseinrichtung ist mit weiteren Einzelheiten in der Patentanmeldung V1 P527 D (U.S. Serial No. 1O6 179) beschrieben, die eine Plättchenunterstützungs-Baugruppe zum Gegenstand hat.
Gemäß Fig. 1 sind vier Klammerbaugruppen 29 in einen Haltering 29 eingebaut, der lösbar mit der Plättchentragplatte 31 verbunden und konzentrisch mit der Öffnung 18 der Platte verbunden ist, um eine Plättchentragplatten-Baugruppe 20 zu bilden. Bei dieser Anordnung werden die Klammerbaugruppen
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28 längs des Umfangs der Öffnung 18 der Plättchentragplatte 31 in Abständen unterstützt. Die Öffnung 18 hat einen größeren Durchmesser als das Plättchen 5, so daß genügend Raum zur Aufnahme der Klammerbaugruppeη 28 und eines Plättchens vorhanden ist. Der Haltering 29 hat einen U-förmigen Querschnitt, und er weist Flansche 33 und 3^- auf, die sich längs des inneren bzw. des äußeren Randes erstrecken; die Klammerbaugruppen 28 sind vertieft zwischen den Flanschen 33 und 34 angeordnet.
Zu jeder Klammerbaugruppe 28 gehören ein allgemein rechteckiger Klotz 36, der aus Isoliermaterial bestehen kann, und eine langgestreckte federnde Klammer 37, welche um den Klotz 36 so herumgelegt ist, daß sie fest in ihrer Lage gehalten wird. Jede Klammer 39 weist an ihrem von dem Klotz 36 abgewandten Ende einen gekrümmten Finger 38 auf, dessen Krümmungsradius so gewählt ist, daß er es ermöglicht, ein Plättchen an ihrem Rand zu erfassen. Von dem Klotz 36 aus erstreckt sich ein flacher Abschnitt 39 in einer Ebene, die in einem kleinen Abstand von der Ebene der Öffnung 18 und parallel dazu verläuft. Der entgegengesetzte Abschnitt 40 der Klammer ist von dem flachen Abschnitt 39 weg in Richtung auf die Plattenöffnung 18 unter einem spitzen Winkel abgewinkelt. Bei dieser Konstruktion liegen die gekrümmten Fingerabschnitte 38 der Klammern 37 auf einem Kreis, der einen etwas größeren Durchmesser hat als ein typisches Plättchen 5, und dieser Kreis liegt ebenfalls innerhalb der Ebene der Plättchentragplatte 31. Ggf. kann man das Plättchen innerhalb der Klammerbaugruppen 28 elektrisch isolieren, indem man die Klötze 36 aus einem Isoliermaterial herstellt.
Es ist möglich, ein Plättchen einfach dadurch in die Beschickungsschleuse einzuführen, daß man das Plättchen mit der Hand an seinem Rand oder seiner Rückseite erfaßt und
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es in Eingriff mit den Klammerbaugruppen 28 bringt. Hierbei wird jedoch in einem gewissen Ausmaß eine Reibung zwischen dem Plättchen und den Abschnitten 40 der Klammern 37 hervorgerufen, damit die Klammern etwas aufgespreizt werden, um das Plättchen von den Pingerabschnitten 38 aufnehmen zu lassen. Soll eine solche reibende Berührung vermieden werden, muß man beim Einsetzen eines Plättchens die Klammern zuerst etwas aufspreizen, woraufhin man sie gegen den Rand des Plättchens zurückfedern lassen kann, nachdem das Plättchen in die Schleuse eingeführt worden ist. Zwar ist es möglich, das Plättchen mit der Hand einzusetzen und die Klammern manuell aufzuspreizen, doch ist es bei weitem vorzuziehen, derartige Handgriffe zu vermeiden, um jede Gefahr von Beschädigungen, Fehlern und Verunreinigungen auszuschalten. Eine vollständig automatisierte Einrichtung zum Einsetzen und Entnehmen eines Plättchens, die mit der Beschickungsschleuse und der Behandlungskammer zusammenarbeitet, und bei der jede Handberührung vermieden wird, wird durch das Unterdruck-Spannfutter 42 und mehrere Klammerbetätigungseinrichtungen 44 der Kammertürbaugruppe 16 in Verbindung mit der damit zusammenarbeitenden Kassetten-Beschickungs- und -Entnahmeeinrichtung gebildet; hierauf wird im folgenden näher eingegangen.
Gemäß Fig. 1 ist die Kammertürbaugruppe 16 mit der Vorderwand 17 der Kammer 11 durch ein kräftiges Scharnier 45 mit senkrechter Schwenkachse verbunden, damit sich die Tür auf bekannte Weise öffnen und schließen läßt; ist die Tür vollständig geöffnet, nimmt ihre Innenfläche 47 eine senkrechte Stellung ein, und sie erstreckt sich im rechten Winkel zur Ebene des Kammereingangs 13 sowie zu der Plattenbaugruppe 20. In die Kammertürbaugruppe 16 ist das Unterdruck-Spannfutter 42 eingebaut, das sich in axialer Richtung so durch die Tür erstreckt, daß sein aktives Ende einen
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Bestandteil der Innenfläche 47 der Tür bildet. Das Spannfutter kann jeweils ein Plättchen erfassen, das der Innenfläche 47 der Tür in senkrechter Lage gegenübergestellt wird, um das Plättchen beim Schließen der Tür mit Hilfe von Unterdruck festzuhalten; danach wird das Spannfutter in axialer Richtung gegenüber der Innenfläche der Tür ausgefahren, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, um das Plättchen in Eingriff mit den Klammerbaugruppen 28 zu bringen. Hierauf wird das Spannfutter außer Betrieb gesetzt, um das Plättchen freizugeben, woraufhin das Spannfutter zurückgezogen wird; danach wird das Plättchen 5 in der Kammer durch die Klammerbaugruppen 28 in seiner Lage gehalten, so daß es einer Behandlung unterzogen werden kann.
Während das Plättchen 5 mit Hilfe des Spannfutters 42 eingeführt wird, werden die Klammern 37 automatisch aufgespreizt, um jede Reibungsberührung zwischen dem Plättchen und den Klammern zu vermeiden; zum Aufspreizen der Klammern dienen vier in die Türbaugruppe 16 eingebaute Klammerbetätigungseinrichtungen 44. Jede dieser Einrichtungen ist so angeordnet, daß sie in Fluchtung mit einer zugehörigen Klammerbaugruppe 28 steht, wenn die Tür 16 geschlossen worden ist. Wie im unteren Teil von Fig. 2 gezeigt, gehören zu jeder Klammerbetätigungseinrichtung 44 ein pneumatischer Zylinder 49, ein Druckstift 50, der sich axial nach innen und außen bewegen läßt und durch den Zylinder 49 betätigt werden kann, sowie auf dem Druckstift angeordnete Dichtungen 51. Die Druckstifte 50 sind jeweils auf einen der flachen Klammerabschnitte 39 ausgerichtet, wenn die Tür geschlossen ist. Bei geschlossener Tür 16 werden die Druckstifte 50 kurz vor dem Einführen eines Plättchens bzw. vor dem Entnehmen desselben vorgeschoben. Durch den Druck, den der Stift 50 auf den ihm benachbarten flachen Abschnitt 39 der betreffenden Klammer ausübt, wird die Klammer niedergedrückt, so daß der Fingerabschnitt 38 nach unten und außen geschwenkt wird; auf diese Weise werden die Klammern so aufgespreizt, daß
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ihre Fingerabschnitte 38 das Plättchen freigeben und jetzt auf einem Kreis liegen, der einen größeren Durchmesser hat als das Plättchen, so daß das Einführen bzw. Entnehmen eines Plättchens möglich ist, ohne daß Reibungskräfte zur Wirkung kommen.
Zum Entnehmen des Plättchens nach dem Abschluß seiner Behandlung werden diese Arbeitsschritte im umgekehrten Sinne ausgeführt, wobei das Spannfutter 42 erneut betätigt und die Rückseite des Plättchens wiederum mit Unterdruck beaufschlagt wird, um es zu erfassen, wobei die Klammerbetätigungseinrichtungen wiederum zusammenarbeiten, um die Klammern außer Eingriff mit dem Plättchen zu bringen; danach wird die Tür 16 geöffnet, wobei das Spannfutter das Plättchen durch Aufbringen von Unterdruck auf der Innenfläche der Tür festhält.
Handelt es sich bei der Behandlungskammer 11 um eine Vakuumkammer, wird die Druckplatte 22 vom Inneren der Kammer aus betätigt, um die Plattenöffnung 18 und den Kammereingangsbereich 13 gegenüber der geregelten Atmosphäre in der Kammer abzudichten; dies geschieht immer dann, wenn die Kammertür 16 zum Einbringen oder Entnehmen eines Plättchens geöffnet wird. Die Plattenbaugruppe 20 kann auch auf vorteilhafte Weise einen Bestandteil einer Plättchenbehandlungskammer mit mehreren Stationen bilden und so bewegbar sein,' daß die Kammer mehrere Plättchen aufnehmen kann, wenn die Plattenbaugruppe 20 mit einer entsprechenden Anzahl weiterer Öffnungen 53 versehen ist.
Ist die Türbaugruppe 16 vollständig geöffnet, kann ein Plättchen in die Beschickungsschleuse 8 eingeführt werden; alternativ hat sich die Tür gerade geöffnet, um der Schleuse 8 ein fertiges Plättchen zu entnehmen, das dann mit Hilfe des Spannfutters 42 entnommen werden muß. Die Aufgabe, je-
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weils ein Plättchen in die Nähe der Türbaugruppe 16 zu bringen, um die Beschickung vorzubereiten, bzw. ein behandeltes Plättchen zu entnehmen, wird gemäß Fig. 1 durch eine Kassetten-Beschickungs- und -Entnahmebaugruppe 1 erfüllt, zu der eine Plättchenhebeeinrichtung 55 und eine Fördereinrichtung 56 für Plättchen enthaltende Kassetten gehören. Unterhalb des Kammereingangs 13 und zu beiden Seiten des Eingangs ist mit der Vorderwand 17 der Kammer eine Fördereinrichtung 56 verbunden, mittels welcher Kassetten 3 und 4 gemäß Fig. 1 gegenüber dem Eingang 13 allgemein von rechts nach links bewegt werden. Die damit zusammenarbeitende Plättchenhebeeinrichtung 55 dient dazu, jeweils ein Plättchen den mit Hilfe der Fördereinrichtung 56 bewegten Kassetten zu entnehmen und es der Arbeitsseite des Unterdruck-Spannfutters 42 an der Innenfläche 47 der Türbaugruppe 16 zuzuführen bzw. dazu, ein Plättchen nach dem Abschluß seiner Behandlung gegenüber der Türbaugruppe nach unten zu bewegen.
Zu der Fördereinrichtung 56 gehören zwei durch einen Querabstand getrennte parallele Schienen 58 und 59, die sich waagerecht längs der Vorderseite der Plättchenbehandlungskammer 11 erstrecken. Diese Schienen dienen zum Unterstützen und Transportieren der Kassetten 3 und 4, und der Abstand zwischen den Schienen 58 und 59 ist so gewählt, daß die Seitenwände der Kassetten die Schienen so übergreifen, daß sich die Kassetten längs der Schienen verschieben und entlang der Fördereinrichtung 56 bewegen lassen. Zum Bewegen der Kassetten dteit ein Kettenantrieb 60 mit verschiedenen Führungen und Zahnradanordnungen, mittels dessen eine Rollenkette längs der Schiene 58 bewegt werden kann. Die Kette ist in gleichmäßigen Abständen mit Führungsstiften 62 versehen, die jeweils mit einem dazu passenden Ausschnitt am unteren Rand der Kassettenwand 63 nahe der Schiene 58 zusammenarbeiten. Somit wird jede Kassette ver-
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anlaßt, sich mit der gleichen Geschwindigkeit wie die Kette nach Bedarf auf die Hebeeinrichtung 55 zu bzw. von ihr weg zu bewegen. Ein Schrittmotor dient dazu, die Kette 60 anzutreiben, so daß sich die Bewegung der Kassetten genau steuern läßt, um jeweils ein einzelnes Plättchen innerhalb einer Kassette genau in die Lage zu bringen, bei der mit ihm die Hebeeinrichtung 55 zusammenarbeiten kann. An den Schrittmotor und die Hebeeinrichtung 55 ist ein Speicher bekannter Art angeschlossen, in dem die Lage jedes einzelnen Plättchens innerhalb einer Kassette gespeichert ist. Zwar können mehrere weitere Plättchen in die Behandlungskammer 11 eingeführt worden sein, wobei die Kassette nach dem Aufnehmen eines ersten Plättchens mehrmals weiterbewegt wurde, doch kann man nach dem Austreten des fertiggestellten ersten Plättchens den Schrittmotor die erforderliche Anzahl von Schritten in der Rückwartsrichtung ausführen lassen, um das fertige Plättchen wieder in seine Ausgangslage zu bringen, woraufhin der Schrittmotor wieder in die vorherige Stellung gebracht wird, um den Beschickungsvorgang fortzusetzen.
Die Kassetten 3 und 4 enthalten jeweils mehrere Plättchen 5, die in Abständen gleichachsig und parallel zueinander angeordnet sind, und sie sind an der Oberseite sowie innerhalb des größten Teils ihrer Unterseite offen, so daß die Plättchen von oben und unten zugänglich sind. Die Plättchen müssen so in die Vorrichtung eingeführt werden, daß ihre vorderen Flächen, die mit Nuten, Stufen und anderen Merkmalen versehen sind, durch welche die Teile von Mikroschaltkreisen gebildet werden, von der Innenfläche 47 der geöffneten Tür 16 abgewandt sind, und daß somit die Rückseite jedes Plättchens der Türbaugruppe zugewandt ist. Hierdurch wird gewährleistet, daß dann, wenn das Unterdruck-Spannfutter 42 ein Plättchen erfaßt, keine Berührung mit der Vorderseite stattfindet, auf der sich die empfindlichen Mikroschaltkreise befinden, und 'daß das Plättchen
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beim Einführen in die Beschickungsschleuse 8 die richtige Lage gegenüber der Behandlungseinrichtung in der Kammer 11 einnimmt.
Die Plättchenhebeeinrichtung 55 ist unterhalb des Kammereingangs 13 auf dessen linker Seite angeordnet; zu ihr gehören eine obere Führungsplatte 67, ein flacher Schieber 68 und ein mit dem unteren Ende des Schiebers gekuppelter Betätigungszylinder 69. Der Schieber 68 läßt sich nach oben und unten längs einer senkrechten Bahn bewegen, welche die Fördereinrichtung 56 zwischen den Schienen 58 und 59 im rechten Winkel zu der Innenfläche 47 der Tür 16 schneidet. Ein Schlitz 70 der Führungsplatte 67, der kurz unterhalb der Innenfläche der Tür liegt, wenn die Tür geöffnet ist, bildet die oberste Führung für den Schieber 68, und außerdem ist ein stehend angeordnetes Führungsteil vorhanden, das sich unterhalb der Fördereinrichtung auf den Betätigungszylinder zu erstreckt und dazu beiträgt, den Schieber 68 längs seiner senkrechten Bahn zu führen. Die Breite des Schiebers 68 ist etwas geringer als der Querabstand zwischen den Schienen 58 und 59 und auch kleiner als der Abstand zwischen den Hauptwänden der Kassetten 3 und 4, welche die Schienen 58 und 59 übergreifen. Außerdem ist die Dicke des Schiebers 68 kleiner als der Abstand zwischen je zwei benachbarten Plättchen 5> die sich in den Kassetten 3 und 4 befinden.
Der Schieber 68 ist an seinem oberen Ende bei 73 kreisbogenförmig abgerundet, so daß er zur Krümmung des Randes eines Plättchens paßt, und außerdem weist dieses Ende eine Nut auf, die der Dicke eines Plättchens angepaßt ist und dazu dient, einen Teil des Randes eines Plättchens aufzunehmen. Somit erstreckt sich der Schieber 68 der Hebeeinrichtung zwischen den Führungsschienen 58 und 59 hindurch, so daß er die Fördereinrichtung 56 und die Kassetten im rechten Winkel kreuzt, wenn der Schrittmotor und der Kettentrieb 60 eine Kassette mit einem Plättchen in Fluchtung mit
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der Bahn des Schiebers bringt. Gemäß Fig. 1 sind die Kassetten so ausgebildet, daß die Plättchen von unten her zugänglich sind und sich der Schieber 68 vollständig durch die betreffende Kassette hindurch erstrecken kann. Nachdem der Schrittmotor und die Kette 60 ein in einer Kassette enthaltenes Plättchen in Fluchtung mit der Bahn des Schiebers 68 gebracht haben, wird der Schieber zwischen den Schienen 58 und 59 nach oben bewegt, so daß er mit der Nut an seinem oberen Ende 73 ein Plättchen von unten her erfaßt, um das Plättchen nach oben zu bewegen und es in eine konzentrische Lage mit der Innenfläche 47 der geöffneten Kammertür 16 zu bringen, wobei das Plättchen der Kammertür unmittelbar benachbart ist. Da die Plättchen stehend angeordnet sind, trägt die Schwerkraft dazu bei, die Plättchen zuverlässig und doch schonend in der Nut 73 des Schiebers 68 in ihrer Lage zu halten. Eine Berührung mit der empfindlichen Vorderseite des Plättchens, auf der sich die empfindlichen Mikroschaltkreise befinden, wird hierdurch praktisch vollständig vermieden, was im Gegensatz zu typischen bekannten automatischen Handhabungsvorrichtungen steht, bei denen das Plättchen eine waagerechte Lage einnimmt, und hierdurch wird die Gefahr einer Beschädigung bzw. eines Zerkratzens des Plättchens erheblich verringert.
Nach dem Eintreffen des Plättchens an der Tür 16 erfaßt das Unterdruck-Spannfutter 42, das sich jetzt in seiner zurückgezogenen Stellung befindet, das Plättchen 5 durch Aufbringen von Unterdruck auf seine Rückseite; der Schieber 68 der Hebeeinrichtung 55 wird dann längs des Führungsschlitzes 70 und gegenüber der Kassette 3 bis zu einem Punkt unterhalb der Fördereinrichtung 56 nach unten bewegt. Hierauf wird die Tür 16 geschlossen, wobei das Plättchen 5 durch das Futter 42 festgehalten wird, und auf diese Weise wird das Plättchen in der beschriebenen Weise in die Beschickungsschleuse 8 überführt, um in der Kammer
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behandelt zu werden. Wenn die Kammer so ausgebildet ist, daß sie vor dem Abschluß der Behandlung des Plättchens 5 mit einem weiteren Plättchen beschickt werden kann, d.h. wenn die Plattenbaugruppe 20 mit einer weiteren Öffnung 53 versehen ist, veranlassen der Schrittmotor und der Kettentrieb die Kassette, sich um einen Schritt weiterzubewegen, damit das nächste Plättchen in die richtige Lage über dem Schieber 68 gebracht wird. Hierauf bewegt sich der Schieber nach oben, um dieses nächste Plättchen nach oben zu der geöffneten Tür zu bringen, deren Unterdruck-Spannfutter dann das Plättchen erfaßt, um es in die Beschickungsschleuse zu überführen. In der Zwischenzeit, d.h. nach dem Abschluß der Behandlung des ursprünglichen Plättchens 5, befindet sich das Plättchen wieder in der Schleuse 8, und das Spannfutter 52 wird in Richtung auf die Rückseite des Plättchens ausgefahren, während die Tür noch geschlossen ist; die Klammerbetätigungseinrichtungen 44 drücken gleichzeitig die Klammern 37 nieder, um sie außer Eingriff mit dem Plättchen zu bringen, damit das Plättchen mit Hilfe des Spannfutters 42 entnommen werden kann, woraufhin die Tür geöffnet und das Plättchen wieder in der Bahn des Schiebers 68 angeordnet wird. In der Zwischenzeit bewegen der Schrittmotor und die Kette 60 die Kassette so zurück, daß sich das ursprüngliche Plättchen 5 wieder in der Bahn des Schiebers befindet. Dann wird der Schieber zwischen den Schienen 58 und 59 in dem Schlitz 70 nach oben bewegt, um den unteren Teil des Randes des Plättchens 5 zu erfassen, woraufhin das Spannfutter 42 das Plättchen freigibt, damit der Schieber 68 das Plättchen wieder nach unten bwegen kann, damit es wieder seine ursprüngliche Lage in der Kassette einnimmt. Dann wird die Kassette in eine Position vorgeschoben, die dem nächsten zu behandelnden Plättchen entspricht.
Es ist erwünscht, dafür zu sorgen, daß die Plättchen vor
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ihrem Anheben durch die Hebeeinrichtung 55 und vor dem Einbringen in die Beschickungsschleuse 8 in eine bestimmte Lage gebracht werden, so daß die üblicherweise gemäß Fig. bei jedem Plättchen vorhandene Führungsanflächung 75, die sich längs einer Sehne des runden Plättchens erstreckt, auf die Fuhrungsanflächungeη der übrigen Plättchen in der Kassette ausgerichtet wird. Hierdurch wird sichergestellt, daß sämtliche Plättchen gegenüber der Behandlungseinrichtung in der Kammer die gleiche Lage einnehmen. Wenn man dafür sorgt, daß die Fuhrungsanflächung jeweils genau eine vorbestimmte Lage einnimmt, besteht ferner Gewähr dafür, daß die Klammerbaugruppen 28 in der Plattenbaugruppe 20 einwandfrei arbeiten, d.h. daß sie nicht zufällig eine Anflächung des Plättchens anstelle eines Teils des kreisrunden Randes erfassen. Um die Plättchen in dieser Weise gleichmäßig zu orientieren, sind gemäß Fig. 1 zwei parallele Rollen 76 vorhanden, die sich in der Längsrichtung zwischen den Schienen 58 und 59 erstrecken. Die Rollen sind längs der Bahn der Kassetten kurz vor der Hebeeinrichtung 55 angeordnet, so daß die Orientierung der Plättchen abgeschlossen ist, bevor die Plättchen zu der Hebeeinrichtung gelangen. Während sich die Kassette über die Rollen hinweg bewegt, werden die Rollen angehoben und in Berührung mit den Rändern der Plättchen gebracht; dann werden die Rollen in entgegengesetzten Richtungen gedreht, d.h. die eine im Uhrzeigersinne und die andere entgegen dem Uhrzeigersinne, wobei sie in leichter Berührung mit den runden Rändern der Plättchen stehen. Die Berührung mit den sich entgegengesetzt drehenden Rollen 76 führt dann dazu, daß die Plättchen in den Kassetten gedreht werden, bis sich die Anflächung 75 jedes Plättchens längs einer Tangente der umlaufenden Rollen erstreckt, so daß alle Plättchen eine Lage einnehmen, bei der die Anflächungen nach unten gerichtet sind, sich im untersten Teil der Kassetten befinden und in Fluchtung miteinander stehen. Danach werden die Rollen gegenüber der
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Kassette nach unten bewegt.
Es sei bemerkt, daß es nicht unbedingt erforderlich ist, die erfindungsgemäße Beschickungsschleuse stehend anzuordnen. Je nach den Erfordernissen bezüglich der betreffenden Behandlungskammer sind die Türbaugruppe, das Unterdruck-Spannfutter, die Druckplatte, die Plättchentragplatte und... die Klammerbaugruppe ebenso gut geeignet, eine in einer waagerechten Ebene liegende Schleuse zu bilden. Man könnte die Türbaugruppe leicht so ausbilden, daß sie von der Hebeeinrichtung und der Fördereinrichtung Plättchen aufnimmt, die stehend angeordnet sind, daß sie jedoch jeweils ein Plättchen in waagerechter Lage in die Beschickungsschleuse überführt; zu diesem Zweck müßte man die betreffenden Teile gegenüber der Kammer auf entsprechende Weise anordnen. Ferner braucht die Einrichtung zum Einbringen und Entnehmen von Plättchen nicht mit einer Schleuse vereinigt zu sein; vielmehr läßt sich diese Einrichtung auf vorteilhafte Weise bei jeder Plättchenbehandlungseinrichtung verwenden, bei der Plättchen einer Kassette entnommen, einer Arbeitsstation zugeführt und dann wieder zu der Kassette zurückgebracht werden müssen; die Verwendung von Kassetten mit stehend angeordneten Plättchen bietet jedoch erhebliche Vorteile bezüglich der Einfachheit, der Zuverlässigkeit und der Vermeidung von Beschädigungen und Verunreinigungen der Plättchen gegenüber den bis jetzt bekannten Einrichtungen zum Entnehmen von Plättchen aus Kassetten. Beispielsweise könnte eine solche Arbeitsstation eine einfache Plättchenprüfeinrichtung umfassen, bei der ein Plättchen durch den Schieber in senkrechter Stellung gehalten wird, während das Plättchen auf einer Seite oder beiden Seiten geprüft wird, woraufhin der Schieber nach unten bewegt wird, um das geprüfte Plättchen wieder in die Kassette einzuführen und das nächste Plättchen aufzunehmen, das auf ähnliche Weise behandelt werden soll. Es sei bemerkt, daß selbst
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dann, wenn das Plättchen nicht von dem Schieber getrennt wird, praktisch beide Flachseiten vollständig für eine Behandlung zugänglich sind, da das Plättchen stehend angeordnet ist. Weiterhin ist es beim Zuführen der Plättchen zu der Kammer mit Hilfe des Schiebers nicht unbedingt erforderlich, die beschriebene Tür vorzusehen oder den Kammereingang dicht zu verschließen. Vielmehr ist es möglich, zum Abdichten der Kammer eine gesonderte Tür vorzusehen; die beschriebene Tür kann so vereinfacht werden, daß sie lediglich eine Unterstützung für das Unterdruck-Spannfutter oder eine andere Einrichtung zum Aufnehmen von Plättchen bildet, und diese Unterstützung kann ggf. mit Klammerbetätigungseinrichtungen versehen sein. Diese Anordnung ist insbesondere für Fälle geeignet, in denen der Eingang der Behandlungseinrichtung während der Behandlung eines Plättchens nicht dicht verschlossen zu sein braucht.
Ferner ist es möglich, ein Plättchen dem Schieber 68 der Hebeeinrichtung 55 nicht mit Hilfe des Futters 42 zu entnehmen, sondern eine andere Einrichtung vorzusehen. Beispielsweise kann das Plättchen unmittelbar von geeigneten Klammern aufgenommen werden, während es noch auf dem Schieber 68 ruht. Die einzelnen Klammern ähneln hierbei vorzugsweise den Klammern 37, und sie werden durch Einrichtungen betätigt, die den Klammerbetätigungseinrichtungen 44 ähneln, so daß sie das Plättchen an ihrem Rand elastisch erfassen, ohne daß eine Reibungsberührung stattfindet oder der Rand des Plättchens beschädigt wird. In manchen Anwendungsfällen kann es erforderlich sein, das Plättchen vom Schieber 68 der Hebeeinrichtung mit Hilfe einer Einrichtung abzunehmen, die mit der Vorderseite des Plättchens zusammenarbeitet, auf der sich die empfindlichen Mikroschaltkreise befinden.
Zwar könnte die Aufnahmeeinrichtung dem Unterdruck-Spannfutter 42 ähneln, bei dem das Plättchen durch Aufbringen von Unterdruck auf eine Flachseite zuverlässig erfaßt wird,
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doch ist es zur Vermeidung von Beschädigungen vorzuziehen, daß die Einrichtung berührungsfrei mit der Vorderseite des Plättchens zusammenarbeitet. Bei einer solchen Aufnahmeeinrichtung, die unter der Bezeichnung "Bernoulli-Luft-Aufnahmekopf" bekannt ist, wird ein Strom eines geeigneten Gases, z.B. Luft oder Stickstoff, verwendet, der zwischen dem Aufnahmekopf und der benachbarten Fläche des Plättchens hindurchgeleitet wird. Um eine Verunreinigung des Plättchens durch Staubteilchen und dgl. zu vermeiden, muß das strömende Gas vollkommen rein und vorzugsweise trocken sein.
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Claims (25)

  1. 29 D
    Patentansprüche
    orrichtung mit einer Schleuse und einer Einrichtung zum Zuführen von Mikroplättchen zu einer Vakuumkammer mit einer Eingangsöffnung in einer Wand und einer Tür zum Verschließen der Öffnung, gekennze ichn e t durch eine plattenähnliche Plättchenunterstützung· (31) in der Vakuumkammer (11) unmittelbar hinter der EintrittsÖffnung (13) mit einer Öffnung (18), die sich in Deckung mit der Eintritts öffnung bringen läßt und einen größeren Durchmesser hat als ein Mikroplättchen (5), Klammern (37), die auf der Plättchenunterstützung in Abständen über den Umfang der Öffnung verteilt sind und dazu dienen, jeweils ein Plättchen in der Öffnung elastisch zu erfassen und es mit Hilfe seines Randes in seiner Lage zu halten, eine Hebeeinrichtung (55), die dazu dient, jeweils ein Plättchen anzuheben und es nahe der Eintrittsöffnung der Kammer anzuordnen, zum Erfassen eines Plättchens geeignete Einrichtungen (42), die mit der Tür (16) der Kammer zusammenarbeiten und jeweils ein Plättchen erfassen und es in Eingriff mit den Klammern bringen, wobei das Plättchen der Vorrichtung auf ähnliche Weise entnommen werden kann, sowie eine Einrichtung mit in der Kammer angeordneten Elementen (25) zum Herbeiführen einer Abdichtung gegenüber der Plättchenunterstützung gegenüber der Öffnung der Kammer und zum Abdichten des Bereichs der Eintrittsöffnung gegenüber dem verbleibenden Teil der Vakuumkammer, so daß zusammen mit der Tür eine Beschickungsschleuse von sehr kleinem Rauminhalt im Vergleich zu dem Plättchen abgegrenzt wird, die es ermöglicht, Plättchen in die Vakuumkammer einzuführen bzw. sie aus der Vakuumkammer zu entnehmen, wobei dies kontinuierlich unter Erzielung einer erhöhten Zuverlässigkeit und Geschwindigkeit möglich ist.
    .../A2 13ÖÖ3fi/O6ß3 ORIGINAL INSPECTED
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mit einem Plättchen (5) zusammenarbeitenden Einrichtungen (42) innerhalb der Kammertür (16) angeordnet sind und das Plättchen festhalten, während die Tür geschlossen ist, so daß das Plättchen in Eingriff mit den Kammern (37) gebracht und gleichzeitig die Eingangsöffnung (13) der Kammer abgedichtet wird.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebeeinrichtung (55) jeweils ein Plättchen (5) senkrecht nach oben bewegt und nahe der Innenfläche der Tür (16) und allgemein parallel dazu anordnet, wenn die Tür geöffnet ist.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zu den Einrichtungen zum Erfassen eines Plättchens (5) ein Unterdruck-Spannfutter (42) gehört, das mit dem Plättchen durch Aufbringen von Unterdruck zusammenarbeitet, und das aus der Tür (16) herausragt, um das von ihm erfaßte Plättchen in Eingriff mit den Klammern (37) zu bringen, und das auf ähnliche Weise aus der Tür herausragt, um das Plättchen zu erfassen und es zum Zweck seiner Entnahme außer Eingriff mit den Klammern zu bringen.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zu den Einrichtungen zum Zusammenarbeiten mit einem Plättchen (5) ein Unterdruck-Spannfutter (42) gehört, das konzentrisch mit der Tür (16), der Öffnung (13) der Kammer (11) und der Öffnung (18) der Plättchenunterstützung (31) angeordnet ist.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß für jede Öffnung zum Aufnehmen eines Plättchens mehrere Klammern (37) vorhanden sind und daß zu jeder Klammer ein flacher Abschnitt (39) gehört, der von außen nach innen in die Öffnung (18) in Richtung auf ihren Mittelpunkt hineinragt.
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    - 3- 3QA7513
  7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Tür (16) mit mehreren ausfahrbaren Klammerbetätigungseinrichtungen (44) versehen ist, die jeweils einen Stift (50) aufweisen, welcher beim Schließen der Tür in Richtung auf den flachen Abschnitt (39) der betreffenden Klammer (37) ausfahrbar ist, um die Klammern während des Einführens bzw. Entnehmens eines Plättchens (5) zu öffnen und eine Beanspruchung und Beschädigung der Ränder des Plättchens durch die Klammern zu verhindern.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Tür (16) mit der Kammer (11) durch ein Gelenk (45) verbunden ist, und daß die Eintrittsöffnung (13) und die Plättchenunterstützung (31) stehend angeordnet sind, so daß sich die Tür beim Öffnen in eine Stellung
    bringen läßt, in der sie sich in einer senkrechten Ebene im rechten Winkel zur EintrittsÖffnung der Kammer erstreckt.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zu der Hebeeinrichtung (55) ein senkrecht bewegbarer Schieber (68) gehört, der mit dem Rand eines Plättchens (5) zusammenarbeitet, um das Plättchen nach oben zu bewegen und es in der Nähe der Innenfläche der Tür (16) und parallel dazu anzuordnen.
  10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Kassette (3» 4) zum Bereithalten mehrerer Plättchen (5), die in Abständen parallel zueinander angeordnet sind, eine Kassettenfördereinrichtung (56), die unterhalb der Tür (16) und der Eintrittsöffnung (13) der Kammer (11) angeordnet ist und jeweils mit einer Kassette zusammenarbeitet, um die Kassette an der EintrittsÖffnung vorbei zu bewegen, wobei die Hebeeinrichtung (55) von
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    unten her Zugang zu der Kassette hat, um jeweils ein Plättchen aus der Kassette herauszuheben und es in der Nähe der Eintrittsöffnung der Kammer anzuordnen.
  11. 11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die plattenähnliche Plättchenunterstützung (11) mehrere Öffnungen aufweist, von denen jede mit mehreren Klammern (37) versehen ist, daß die Plättchenunterunterstützung bewegbar ist, um nacheinander jeder Öffnung der Kammer (11) ein Plättchen zuzuführen, daß jede Öffnung durch die Tür und die genannten Elemente (25) abgedichtet wird, um die Beschickungsschleuse abzugrenzen, so daß es möglich ist, mehrere Plättchen (5) in kurzen Zeitabständen nacheinander in die Kammer zu überführen.
  12. 12. Vorrichtung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch eine an die Beschickungsschleuse angeschlossene Einrichtung zum Evakuieren der Beschickungsschleuse.
  13. 13. Vorrichtung zum Einführen von Mikroplättchen in eine Behandlungsstation und zum Entnehmen der Mikroplättchen, bei der die Mikroplättchen in Kassetten bereitgehalten werden, von denen jede mehrere Plättchen enthält, die stehend angeordnet und aufeinander ausgerichtet sind, wobei die Plättchen von unten her zugänglich sind, und wobei die Kassetten Führungseinrichtungen aufweisen, gekennzeichnet durch eine unterhalb der Behandlungsstation angeordnete Kassettenfördereinrichtung (56) mit einer mit den Führungseinrichtungen (58, 59) zusammenarbeitenden Antriebseinrichtung (60) zum Erfassen der Kassette (3, 4) auf der Fördereinrichtung und zum Bewegen der Kassette unterhalb der Behandlungsstation an dieser vorbei, sowie eine unterhalb der Fördereinrichtung angeordnete Einrichtung (55) zum Anheben und Absenken jeweils eines der Plättchen (5) gegenüber der Kassette mit einem allgemein senkrecht bewegbaren Schie-
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    ber, der eine konkave Stirnkante (73) aufweist, mit welcher er jeweils ein Plättchen von unten her erfaßt, wobei sich der Schieber durch die Fördereinrichtung und die Kassette hindurch bewegt, um das Plättchen in senkrechter Lage nach oben bzw. unten zu bewegen, wobei die Kassetten in Richtung auf die Hebeeinrichtung bewegt werden, und wobei der Schieber nacheinander einzelne Plättchen in senkrechter Richtung auf der Kassette in die Behandlungsstation überführt, woraufhin das Plättchen nach dem Abschluß seiner Behandlungs wieder in die Kassette eingeführt wird.
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation mit einer Plättchenbehandlungskammer (11) versehen ist, die eine Eintrittsöffnung (13) aufweist, wobei der Kammer eine Einrichtung (42) zum Erfassen von Plättchen (5) zugeordnet ist, wobei der genannte Schieber (68) dazu dient, jeweils ein Plättchen nahe der Eintrittsöffnung anzuordnen, wobei die mit dem Plättchen zusammenarbeitende Einrichtung das Plättchen durch die Eintrittsöffnung hindurch und in die Behandlungskammer hinein bewegt, und wobei sie das Plättchen nach seiner Behandlung der Kammer wieder entnimmt und es auf dem Schieber (68) anordnet.
  15. 15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß zu der Kammer (11) ferner Einrichtungen (37) gehören, die innerhalb der Kammer in der Eintrittsöffnung (13) angeordnet sind und dazu dienen, jeweils ein Plättchen (5) an seinem Rand elastisch zu erfassen, wobei die Einrichtung zum Zusammenarbeiten mit einem Plättchen das betreffende Plättchen in Eingriff mit den genannten Einrichtungen bringt und es nach seiner Behandlung den Einrichtungen entnimmt.
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  16. 16. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation mit einer Plättchenbehandlungskammer (11) versehen ist, die eine EintrittsÖffnung (13) aufweist, und daß diese Öffnung mit einer Tür (16) zum Verschließen der Öffnung versehen ist.
  17. 17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Tür (16) mit der Einrichtung (42) versehen ist, welche die Plättchen (5) erfaßt, welche nach oben bewegt und nahe der Eintrittsöffnung (13) angeordnet worden sind, wobei diese Einrichtung das Plättchen beim Schliessen der Tür in die Kammer hinein bewegt, und wobei das Einbringen eines Plättchens und das Verschließen des Kammereingangs gleichzeitig erfolgen.
  18. 18. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Tür (16) und die Eintrittsöffnung (13) der Kammer (11) in senkrechten Ebenen angeordnet sind, daß die Tür auf einer Seite der.Eintrittsöffnung der Kammer mittels eines Gelenks (45) schwenkbar gelagert ist, daß sich die Tür beim Öffnen in eine Stellung bringen läßt, in der sie sich etwa im rechten Winkel zu ihrer Schließstellung erstreckt, und in einer senkrechten Ebene liegt, und daß sich der senkrecht bewegbare Schieber (68) in einer Ebene bewegt, die der Ebene der geschlossenen Tür unmittelbar benachbart ist und sich parallel dazu erstreckt.
  19. 19. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Fördereinrichtung (56) die Kassette (3, 4) in einer solchen Lage hält, daß die Plättchen (5) in Ebenen liegen, die parallel zur Ebene der geöffneten Tür (16) verlaufen, und daß sich die Fördereinrichtung im rechten Winkel zur Bahn des senkrecht be wegbar ein "Schiebers (68) erstreckt, wobei die Fördereinrichtung für
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    • τ ·
    den Schieber von unten her zugänglich ist, so daß sich der Schieber quer zur Bahn der Fördereinrichtung bewegen kann, um Plättchen anzuheben und sie der Tür (16) der Eintrittsöffnung (13) der Kammer zuzuführen.
  20. 20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß zu der Fördereinrichtung (56) zwei parallele Schienen (58, 59) gehören, daß sich längs einer der Schienen eine Antriebskette (60) erstreckt, daß die Kassette (3, 4) eine Führungseinrichtung aufweist, die mit einem dazu passenden Teil (62) der Kette zusammenarbeitet, so daß eine auf den Schienen angeordnete Kassette, die Schrittbewegungen ausführen soll, durch die Kette längs der Schienen bewegt wird, und daß sich der senkrecht bewegbare Schieber (68) zwischen den Schienen hindurch bewegt, um Plättchen (5) zwischen der Kassette und der Kammer (11) nach oben bzw. unten zu bewegen.
  21. 21. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Plättchen (5) eine allgemein kreisrunde Form haben und jeweils mit einer zum Positionieren dienenden Anflächung (75) versehen sind, die sich längs einer Sehne erstreckt, und daß zu der Fördereinrichtung (56) Rollen (76) gehören, an denen sich die Plättchen in der Kassette (3, 4-) abstützen, so daß die Plättchen gedreht werden, bis die Anflächungen aufeinander ausgerichtet sind.
  22. 22. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß ein Schrittmotor zum Antreiben der Kette (60) vorhanden ist, und daß mit dem Schrittmotor und der Einrichtung (55) zum Heben und Senken der Plättchen (5) ein Speicher zusammenarbeitet, um die Kassette (3, 4) in eine frühere Position zu bringen, damit ein Plättchen nach seiner Behandlung in seine ursprüngliche Lage zurückgeführt werden kann, nachdem danach ein oder mehrere
    .../A8 130035/0653
    - 3Q47513
    Plättchen eingebracht worden sind.
  23. 23. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Kammer eine Vakuumkammer (11) ist und eine Tür (16) zum Abdichten der Eintrittsöffnung (13) aufweist, und daß zu der Tür passende Schließeinrichtungen (25) vorhanden sind, die innerhalb der Kammer angeordnet sind und dazu dienen, die Einrichtungen (37) zum Erfassen eines Plättchens gegenüber dem verbleibenden Teil der Kammer abzudichten, wenn die Tür geöffnet ist.
  24. 24. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß zu den Einrichtungen zum elastischen Erfassen eines Plättchens (5) Klammern (37) gehören, die in eine mit einer Öffnung (18) versehene Unterstützung (31) eingebaut sind, und daß zu den Verschlußeinrichtungen Elemente (25) gehören, welche die Öffnung der Unterstützung gegenüber dem verbleibenden Teil der Kammer (11) abdichten, wenn die Tür (16) geöffnet ist.
  25. 25. Vorrichtung nach Anspruch 23, gekennzeichnet durch eine in die Tür (16) eingebaute Einrichtung (42), die mit den Einrichtungen (37) zum elastischen Erfassen eines Plättchens (5) zusammenarbeitet, um sie freizugeben, wenn sich die Tür in ihrer Schließstellung befindet, während ein Plättchen eingeführt bzw. entnommen wird.
    130035/0BS3
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