DE3051188C2

DE3051188C2 -

Info

Publication number: DE3051188C2
Application number: DE3051188A
Authority: DE
Inventors: Frederick Thomas Sunnyvale Calif. Us Turner; Martin Albert Santa Clara Calif. Us Hutchinson; Raymond Howard Palo Alto Calif. Us Shaw; Lawrence Turner Mountain View Calif. Us Lamont Jun.
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1979-12-21
Filing date: 1980-12-17
Publication date: 1992-02-27
Anticipated expiration: 2000-12-18
Also published as: GB2137664A; JPH0322465B2; GB2137663A; IT1206086B; GB8405237D0; GB2137661A; JPH0322466B2; IT8026866A0; JPS6386870A; JPS6386869A; JPH0344147B2; FR2475579B1; GB8405239D0; GB2137662B; JPS56103442A; GB2066300A; JPH0218385B2; JPS62122118A; NL194253B; JPH0751754B2

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln von allgemein flachen Gegenständen in einer Vakuumkammer, wie Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ätzen, oder dergleichen, mit einer Positionierungseinrichtung und einer Transporteinrichtung.

Während des letzten Jahrzehnts haben sich die Verfahren zum Herstellen von Halbleiterplättchen schnell weiterentwickelt. Dabei haben sich die zu stellenden Anforderungen in bezug auf die Behandlung der Plättchen ständig erhöht. Die bisher üblichen Vorrichtungen, die eine chargenweise Behandlung von Plättchen oder die Verwendung einer Beschickungsschleuse vorsahen, sind mit Nachteilen verbunden. Beispielsweise ergibt sich bezüglich der relativ großen Plättchencharge die Gefahr eines teilweisen oder vollständigen Verlustes, wenn während des Behandlungsvorgangs eine Störung auftritt, ganz abgesehen von der Gefahr einer Verunreinigung oder mechanischen Beschädigung. Mit Beschickungsschleusen lassen sich zwar einige Nachteile des Chargensystems vermeiden, jedoch auch hier wird neben anderen Nachteilen bei der gewöhnlich manuellen Behandlung die Gefahr von Verunreinigungen und Beschädigungen nicht ausgeschlossen.

Bei einem Verfahren mit Einzelbehandlung der Plättchen bereiten die Reproduzierbarkeit und die Beherrschung der Temperatur bei der Einzelbehandlung von Plättchen Schwierigkeiten, so daß keine Veranlassung bestand, vom Chargensystem oder der Benutzung einer Beschickungsschleuse zum Aufnehmen jeweils einer großen Anzahl von Plättchen abzugehen.

Ein Aufstäubungssystem, das eine gleichmäßige Beschichtung der Werkstücke erzielen soll, ist in der DE-OS 29 13 724 offenbart.

Um eine verbesserte gleichmäßige Beschichtung bei weitgehender Schonung der Halbleiterplättchen zu erreichen, ist gemäß der EP-PS 00 25 670 bereits vorgeschlagen worden, zur Behandlung eines Gegenstandes in einer Vakuumkammer ein Gas zwischen dem Gegenstand und dem Träger zur Leitung von Wärme zwischen dem Gegenstand und dem Träger einzuleiten.

Alle diese bekannten Vorrichtungen ermöglichen es nicht, eine Metallisierung oder eine andere im Vakuum erfolgende Behandlung einzelner Plättchen im Wege einer Serienfertigung durchzuführen, wobei neben einer schonenden Behandlung der Plättchen auch hohe Bearbeitungsgeschwindigkeiten möglich sind.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art verfügbar zu machen, die es im Vergleich zu bekannten Vorrichtungen ermöglicht, Plättchen einzeln zu behandeln, wobei neben der Einhaltung höchster Qualität eine Reproduzierbarkeit gegeben ist und eine Behandlung in einer automatisierten Fertigungsstraße möglich ist.

Die Erfindung besteht darin, daß die Transporteinrichtung die Halbleiterplättchen aufeinanderfolgend einer Behandlungsstation zuführt und nachfolgend von der Station weg und daß die Transporteinrichtung innerhalb der Vakuumbehandlungskammer vorgesehen ist.

Gemäß einer ersten Ausführungsform zur Behandlung von zwei sich gegenüberliegenden Flächen von Gegenständen in Form von Halbleiterplättchen schlägt die Erfindung vor, daß eine Plättchenfördereinrichtung senkrecht ausgerichtet in der Kammer vorgesehen ist, die um eine horizontale Achse bewegbar ist, daß die Fördereinrichtung wenigstens eine radial von der Achse versetzte Öffnung aufweist, daß die Fördereinrichtung mit Halteeinrichtungen versehen ist, die federnd ein einzelnes Plättchen fluchtend mit der Öffnung halten, wobei eine Offenstellung zur Aufnahme des Plättchens und eine Schließstellung zum Halten eines einzelnen Plättchens dient und die Schließstellung das Plättchen in der Weise hält, daß seine Flächen senkrecht ausgerichtet sind und nicht aus der senkrechten Lage seitlich herausfallen können, daß die Halteeinrichtung für die Plättchen auf der Fördereinrichtung außerhalb der Öffnungen angebracht ist und sich vom Umfang der Öffnungen nach innen erstrecken, um mit einem einzelnen Plättchen an seinem Umfang in Berührung zu kommen, so daß dieses mit beiden Seiten der Öffnung ausgesetzt ist mit Ausnahme des geringen Umfangsflächenbereichs, der von den Haltern bedeckt ist, daß wenigstens zwei auf den gegenüberliegenden Seiten der Fördereinrichtung angeordnete Behandlungsstationen zur Behandlung der gegenüberliegenden Flächen des Plättchens vorgesehen sind und daß ein Drehantrieb für die Fördereinrichtung, die erwähnte Öffnung in Ausfluchtung mit der Kammereingangsöffnung und der Behandlungsstation bringt.

Weitere Merkmale zu dieser Ausführungsform sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Eine andere Ausführungsform zeichnet sich dadurch aus, daß innerhalb einer Vakuumbehandlungskammer eine Plättchenhalteeinrichtung vorgesehen ist, die das Plättchen hält, um eine Fläche einer Behandlung auszusetzen, daß abgesetzt von der Eingangsöffnung eine Behandlungsstation für die Plättchen vorgesehen ist, die eine Fläche hat, die mit einer Plättchenfläche in Berührung kommen kann, daß eine Fördereinrichtung die Plättchenhalteeinrichtung längs einer ersten Bahn bewegt, um die in Ausfluchtung mit einer oder der anderen der Eingangsöffnungen zu bringen, wobei die Bewegungseinrichtung die Bewegung längs der ersten Bahn stoppt, wenn sich die Plättchenhalteeinrichtung in einer der Ausfluchtungsstellungen befindet, und daß eine Stelleinrichtung für eine Relativbewegung zwischen der Behandlungsstation und der Plättchenhalteeinrichtung in einer Richtung quer zur ersten Bahn, vorgesehen ist, wenn die Halteeinrichtung mit der Behandlungsstation ausgefluchtet ist, so daß eine Fläche des Plättchens in Kontakt mit der Fläche der Behandlungsstation tritt.

Weitere Ausbildungen dieser Ausführungsform sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Eine weitere abgewandelte Ausführungsform der Erfindung, wobei die Plättchen während der Behandlung senkrecht ausgerichtet sind, hat die Besonderheit, daß die Behandlungskammer zwei im Abstand voneinander angeordnete, sich gegenüberliegende Wände aufweist, die etwa parallel und senkrecht ausgerichtet sind, wobei die eine Wand eine Eingangsöffnung für ein Plättchen aufweist, daß ein Plättchenmitnehmer zwischen den Wänden angeordnet ist, der sich um eine senkrechte Achse dreht und mit einer ersten Seite auf die Eingangswand weist und mit einer zweiten, davon wegweisenden Seite, wobei der Mitnehmer mit einer Vielzahl von über den Umfang im Abstand voneinander angeordneten Öffnungen versehen ist und durch eine Drehung jede in Fluchtung mit der Eingangsöffnung bringbar ist, daß an der Mitnehmereinrichtung an dem Umfang einer jeden Öffnung Halter angebracht sind, um das einzelne Plättchen in einer senkrecht ausgefluchteten Stelle in bezug auf eine der Öffnungen festzuhalten, so daß die beiden gegenüberliegenden Seiten des Plättchens vollständig der Behandlung ausgesetzt sind, daß eine Vielzahl von Behandlungsstationen längs der Kreisbahn der Öffnungen zum Behandeln der Plättchen vorgesehen ist, wobei eine zur Steuerung der Temperatur des Plättchens dient, eine zweite für die Behandlung einer Fläche des Plättchens und die erste Behandlungsstation an der ersten Seite der Mitnehmer angeordnet ist, während die zweite Behandlungsstation an der zweiten Seite des Mitnehmers vorgesehen ist, und daß ein Antrieb den Plättchenmitnehmer intermittierend dreht zu einer Stellung, in der sich eine Öffnung wahlweise an der Eingangsöffnung oder an der Behandlungsstation befindet.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung besteht darin, daß in der Behandlungskammer eine Mitnehmereinrichtung vorgesehen ist, welche die Plättchen nachgiebig am Umfang hält und eine federnde Bewegung erlaubt, daß die Mitnehmereinrichtung Abdichtungen in Form einer ersten, fortlaufenden, ringförmigen Dichtungsfläche aufweist, daß eine Druckdichtungseinrichtung vorgesehen ist, die eine zweite fortlaufende Ringfläche besitzt, die mit der ersten zur Auflage kommen kann, daß die Halteeinrichtung auf der Mitnehmereinrichtung innerhalb der ersten ringförmigen Dichtung angeordnet ist, wobei ein Plättchen eine federnde Bewegung in bezug auf die erste ringförmige Dichtung ausführen kann, daß Behandlungsstationen im Abstand von der Eingangsöffnung vorgesehen sind, daß eine Antriebseinrichtung für eine Bewegung der Mitnehmereinrichtung die Halteeinrichtung längs einer ersten Bahn bewegt, um diese selektiv in Ausfluchtung mit der einen oder der anderen Öffnung und den Behandlungsstationen zu bringen, wobei eine Stoppeinrichtung die Bewegung längs der ersten Bahn anhält, wenn die Halteeinrichtung sich in Fluchtung entweder mit der Eingangsöffnung oder der Bearbeitungsstation befindet, und daß eine Einrichtung vorgesehen ist, um eine Relativbewegung zwischen der ersten und der zweiten Ringdichtungsfläche in Richtung quer zur ersten Bahn der Mitnehmereinrichtung durchzuführen, wenn deren Bewegung aufhört.

Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigt

Fig. 1 eine Vorrichtung zum Behandeln von im allgemeinen flachen Gegenständen unter Vakuum mit teilweise weggebrochener Vorderansicht;

Fig. 2 eine vergrößerte Schrägansicht der Vorrichtung nach Fig. 1;

Fig. 3 eine Schrägansicht der Vorrichtung nach Fig. 1, aus der die Kassettenzuführung und andere Einzelheiten entnehmbar sind;

Fig. 4 einen vergrößerten Axialschnitt der Kammertür und der Beschickungsschleuse nach Fig. 1;

Fig. 5 einen Axialschnitt entsprechend Fig. 1, wobei die relative Lage der Teile der Beschickungsanlage nach Abschluß des Eindringens eines Gegenstandes dargestellt ist;

Fig. 6 einen Axialschnitt entsprechend Fig. 4 und 5, der die Situation kurz nach dem Entnehmen eines Gegenstandes aus der inneren Plättchen unterstützung und vor dem Öffnen bzw. nach dem Schließen der Tür erkennen läßt;

Fig. 7 einen vergrößerten Teilschnitt längs der Linie 7-7in Fig. 1;

Fig. 8 einen vergrößerten Teilschnitt längs der Linie 8-8 in Fig. 1;

Fig. 9 einen vergrößerten Teilschnitt längs der Linie 9-9 in Fig. 1.

Zu der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung zum Beschichten von Plättchen gehört eine allgemein zylindrische Vakuumbehandlungskammer 10 mit fünf Arbeitsstationen, von denen eine mit einer Beschickungsschleuse 12 und eine andere mit einer Beschichtungsstation 14 versehen ist. Weitere in der Kammer 10 angeordnete Teile der Beschichtungseinrichtung sind in Fig. 2 zu erkennen, wo auch ein Plättchen 15 in der Schleuse 12 und ein weiteres Plättchen in der Beschichtungsstation 14 dargestellt ist. Zu den weiteren Teilen gehören eine Druckplatte 16, eine Plättchentragplatte 18 und mit weiteren Einzelheiten in Fig. 3 dargestellte Klammern 20, mittels welcher jeweils ein Plättchen innerhalb der Plättchentragplatte 18 unterstützt wird. Die Kammertür 22, mittels welcher die Kammereingangsöffnung 23 der Kammer 10 verschlossen wird, und die mit den soeben genannten Teilen zusammenarbeitet, um die Beschickungsschleuse 12 zu bilden, vervollständigt die Hauptteile der Vakuumbehandlungskammer 10. Diese Teile sind zusammen mit einer Beschickungs- und Entnahmeeinrichtung 24 zum Beschicken und Entleeren einer Kassette 70 sowie den verschiedenen Hilfsvakuumpumpen 25 zum Evakuieren der Kammer 10 und der Schleuse 12 sowie den benötigten Steuereinrichtungen sämtlich auf raumsparende Weise in einem Gehäuse 26 untergebracht.

Zur Vorrichtung gehören zweckmäßig mehrere zusätzlich zu der Beschickungsschleuse 12 und der Beschichtungsstation 14 vorgesehene Arbeitsstationen, insbesondere eine Plättchenerhitzungsstation 28, eine Hilfsstation 29 und eine Plättchenkühlstation 130. Alle fünf Arbeitsstationen sind um die Mittelachse 36 der Vakuumkammer herum angeordnet und in gleichmäßigen Umfangsabständen verteilt. Jedoch könnte man auch anstelle von fünf Stationen eine größere oder kleinere Anzahl von Stationen vorsehen. Weiterhin sind mindestens zwei pneumatische Stößel 30 und 31 vorhanden, die gemäß Fig. 2 dazu dienen, die Druckplatte 16 und die Plättchentragplatte 18 an die Vorderwand 32 der Kammer 10 anzupressen. Schließlich ist eine Einrichtung 35 vorhanden, die dazu dient, die Plättchentragplatte 18 anzutreiben, die eine kreisrunde Form und nahezu den gleichen Durchmesser wie die Vorderwand 32 hat, so daß diese Platte um die Mittelachse 36 der Vakuumbehandlungskammer 10 gedreht werden kann.

Allgemein gesprochen, werden die Plättchen 15 einzeln mit Hilfe der Kammertürbaugruppe 22 der Beschickungsschleuse 12 gegenübergestellt und hierbei innerhalb der Plättchentragplatte 18 angeordnet. Danach wird das Plättchen 15 nacheinander jeder der Arbeitsstationen zugeführt, wo es erhitzt wird, um die Entgasung abzuschließen, bzw. wo es gegebenenfalls mit Hilfe eines Aufstäubungs- und Ätzverfahrens gereinigt wird, um dann beschichtet, gegebenenfalls mit einem zweiten Überzug versehen, abgekühlt und wieder in die Schleuse 12 überführt zu werden, wo es mit Hilfe der Kammertürbaugruppe 22 der Plättchentragplatte 18 entnommen wird. Zwar wird bei der vorstehend beschriebenen Vorrichtung mit einer Drehbewegung und mehreren Behandlungsstationen gearbeitet, doch könnte man die Arbeitsschritte unter Benutzung der Beschickungsschleuse 12 und die Beschichtungsvorgänge ebensogut auch bei einer Vorrichtung mit einer einzigen Station oder zwei Stationen durchführen, und es wäre auch möglich, auf eine Drehbewegung zu verzichten und die Stationen längs einer geraden Linie anzuordnen.

Betrachtet man nunmehr im einzelnen den Weg eines neu zugeführten Plättchens 15, ist zu erkennen, daß der Beschickungsschleuse 12, die von einem Plättchen 15 durchlaufen werden muß, um in den evakuierten Teil der Kammer 10 zu gelangen, die größte Bedeutung zukommt. Die Wirkungsweise der bewegbaren Teile der Schleuse 12 ist insbesondere aus Fig. 4 bis 6 ersichtlich. Wie erwähnt, gehören zur Schleuse 12 mehrere zu einem Stapel vereinigte Elemente, die zwischen der geschlossenen Tür der Kammer 10 und der Vorderwand 32 der Behandlungskammer 10 sowie der ihre Arbeitsstellung einnehmenden Druckplatte 16 angeordnet sind. Die Beschickungsschleuse 12 umschließt eine kreisrunde Öffnung 37 der Plättchentragplatte 18, die innerhalb der Kammer 10 kurz hinter dem Kammereingang 23 angeordnet ist, der zur Schleuse 12 gehört, wobei sich die Platte 18 allgemein parallel zur Wand 32 und der in der Kammer 10 hinter der Platte 18 angeordneten Druckplatte 16 erstreckt. Das Plättchen 15 wird auf eine noch zu erläuternde Weise eingeführt und innerhalb der Schleuse 12 sowie der Beschickungs- und Entnahmeeinrichtung 24 festgehalten. Bei der geregelten Unterdruckatmosphäre, die in der Kammer 10 vorhanden sein kann, wenn eine bestimmte Behandlung eines Plättchens 15 erforderlich ist, kann es sich z. B. um eine Argonatmosphäre oder ein anderes inertes Gas handeln, das unter einem Druck von bis zu 20 µbar steht und beim Beschichten der Plättchen 15 verwendet wird. Da die Kammer 10 somit evakuiert ist, muß der Bereich der Schleuse 12 gegenüber den verbleibenden Teilen der Kammer 10 stets dann abgedichtet sein, wenn die Kammertür 22 geöffnet wird, um den Unterdruck aufrechtzuerhalten. Die Druckplatte 16 dient dazu, den Bereich der Schleuse 12 gegenüber dem Innenraum der Kammer 10 zu isolieren, und außerdem erfüllt sie verschiedene weitere Aufgaben in Verbindung mit anderen Arbeitsstationen. Hierauf wird im folgenden näher eingegangen. Die in die hintere Platte der Behandlungskammer 10 eingebauten pneumatischen Stößel 30 und 31 dienen dazu, die Druckplatte 16 und die Tragplatte 18 an die Vorderwand 32 der Kammer anzupressen, wobei der pneumatische Stößel 30 in konzentrischer Lage mit der Beschickungsschleuse 12 zusammenarbeitet, um die Schleuse 12 abzudichten. Die Druckplatte 16 und die Vorderwand 32 der Kammer sind mit O-Ringen 38 versehen, die konzentrisch mit dem Kammereingang 23 angeordnet sind und eine Vakuumabdichtung der zu einem Stapel gebrachten Teile der Schleuse 12 bewirken. Die Kammertür 22, die in ihrer geschlossenen Stellung mit abdichtender Wirkung mit der Außenfläche der Kammervorderwand 32 zusammenarbeitet, ist ebenfalls mit einem O-Ring 39 versehen, um den Unterdruck aufrechtzuerhalten. Die Beschickungsschleuse 12 wird somit dadurch vervollständigt, daß der O-Ring 39 den Kammereingang 23 gegenüber der Atmosphäre abdichtet.

Fig. 4 und 5 zeigen die vollständige Beschickungsschleuse 12, wobei sich die Druckplatte 16 in ihrer vorgeschobenen vorderen Stellung befindet, während die Tragplatte 18 an der Kammerwand 32 anliegt, um die Öffnung 37 zu verschließen. Die Kammertür 22 ist geschlossen, um den Kammereingang 23 abzudichten und die Schleuse am Rand der Öffnung 37 abzuschließen, wobei die Schleuse 12 nur die Abmessungen hat, die erforderlich sind, um die Unterbringung eines einzelnen Plättchens 15 zu ermöglichen. Es ist ersichtlich, daß somit eine Schleuse 12 von ungewöhnlich geringer Bauhöhe und kleinem Rauminhalt vorhanden ist, die durch eine minimale Anzahl von Bauteilen gebildet ist und jeweils ein Plättchen 15 aufnimmt.

Fig. 5 zeigt die Druckplatte 16 im zurückgezogenen Zustand bzw. in ihrer Ruhestellung, wobei bereits ein Plättchen 15 von der Tragplatte 18 innerhalb der Kammer 10 aufgenommen worden ist.

Mit dieser Beschickungsschleuse 12 von geringer Bauhöhe arbeitet eine Plättchentragplatte 18 zusammen, die gemäß Fig. 2 mehrere kreisrunde Öffnungen 37 aufweist, die bezüglich ihrer Anzahl und Abstände den Arbeitsstationen in der Kammer 10 entsprechen. Die Öffnungen 37 haben einen größeren Durchmesser als die Plättchen 15, sie sind in gleichmäßigen Umfangsabständen verteilt, und sie sind in gleich großen radialen Abständen von der Mittelachse 36 der Behandlungskammer 10 angeordnet. Die schon erwähnten Arbeitsstationen sind entsprechend verteilt, so daß dann, wenn irgendeine der Öffnungen 37 der Plättchentragplatte 18 auf eine beliebige Arbeitsstation in der Behandlungskammer 10 ausgerichtet ist, die übrigen Öffnungen 37 entsprechend auf die anderen Arbeitsstationen ausgerichtet sind. Wenn ein Plättchen von jeder der Öffnungen 37 der Tragplatte 18 aufgenommen worden ist, können somit sämtliche Plättchen 15 an den verschiedenen Arbeitsstationen gleichzeitig einer Behandlung unterzogen werden. Auf diese Weise wird jeweils an einer bestimmten Stelle ein einzelnes Plättchen 15 behandelt, doch gleichzeitig können mehrere weitere Plättchen 15 an den übrigen Arbeitsstationen eine Behandlung erfahren. Während mit Hilfe der Schleuse 12 ein Plättchen 15 entnommen und/oder eingeführt wird, kann somit ein anderes Plättchen 15 an einer Beschichtungsstation 14 beschichtet werden, während ein weiteres Plättchen 15 an der Heizstation 26 erhitzt werden kann. Der Antrieb 35 für die Tragplatte 18 wird intermittierend betätigt, um die Tragplatte 18 jeweils bis zur nächsten Arbeitsstation zu drehen, so daß die Plättchen 15 nacheinander allen Behandlungsstationen zugeführt werden, wobei sich die Tragplatte 18 entgegen dem Uhrzeigersinn dreht, bis jeweils ein bestimmtes Plättchen 15 zur Beschickungsschleuse 12 zurückgeführt wird, der es dann entnommen werden kann.

Während ein Plättchen von einer Arbeitsstation zur nächsten transportiert wird, ist es wichtig, das Plättchen 15 mit Hilfe der Tragplatte 18 so zu unterstützen, daß während dieser Bewegung keine mechanischen Beschädigungen möglich sind und daß das Plättchen 15 gegen mechanische Stöße, Vibrationen und Reibung geschützt wird. Um dies zu ermöglichen, hat die Ausnehmung 38 der Tragplatte 18 einen solchen Durchmesser, daß sich innerhalb dieses Ausschnitts sowohl ein Plättchen 15 als auch mehrere Klammern 20 unterbringen lassen, wobei diese Teile parallel zur Tragplatte 18 und innerhalb ihres Profils angeordnet sind, um das Plättchen 15 zu schützen. Die Verwendung der eine geringe Bauhöhe aufweisenden, mit dem Rand eines Plättchens 15 zusammenarbeitenden Klammern 20 ist ferner deshalb von Bedeutung, weil sie die Schaffung einer Schleuse 12 von geringer Bauhöhe ermöglicht, wobei das Plättchen 15 innerhalb der Tragplatte 18 von seinem Rand her elastisch in aufrechter Stellung unterstützt wird. Eine besonders zweckmäßige Ausführungsform einer solchen Anordnung von Klammern 20 zum Erfassen des Randes eines Plättchens 15 ist in Fig. 4 bis 8 dargestellt. Es sind insgesamt vier Klammern 20 innerhalb eines zugehörigen Halterings 41 angeordnet, der lösbar mit der scheibenähnlichen kreisrunden Plättchentragplatte 42 verbunden und jeweils konzentrisch mit der zugehörigen Plattenöffnung 37 verbunden ist, um einen Bestandteil der vollständigen Plättchentragplatte 18 zu bilden. Hierbei sind die vier Klammern 20 in Abständen über den Umfang jeder der kreisrunden Öffnungen 37 verteilt. Die Halteringe 41 haben einen U-förmigen Querschnitt und weisen jeweils Flansche 46 und 47 auf, die sich längs des äußeren bzw. inneren Randes erstrecken, wobei die Klammern 20 zwischen den Flanschen 46, 47 vertieft angeordnet sind. Zwar wird es vorgezogen, innerhalb jeder Öffnung 37 vier Klammern zu verwenden, doch könnte man auch nur drei oder mehr als vier Klammern 20 vorsehen. Es hat sich jedoch gezeigt, daß ein Satz von vier Klammern 20 zuverlässiger arbeitet als drei Klammern 20.

Gemäß Fig. 3 bis 8 gehören zu jeder Klammer 20 ein Klotz 50 von allgemein rechteckiger Querschnittsform, der aus einem Isoliermaterial bestehen kann, wenn z. B. ein Abstäubungs-Ätz- Vorgang durchgeführt werden soll, bei dem eine elektrische Isolierung des Plättchens 15 erwünscht ist, sowie eine langgestreckte Feder 53, die fest um den Klotz 50 herumgelegt ist. Jede Feder 53 weist an ihrem vom Klotz 50 abgewandten Ende einen kreisbogenförmig gekrümmten Fingerabschnitt 55 auf, dessen Krümmungsradius so gewählt ist, daß er mit dem Rand eines Plättchens 15 zusammenarbeiten kann. Vom Klotz 50 weg erstreckt sich ein flacher Abschnitt 56 in einer Ebene, die der Ebene der Plattenöffnung 37 benachbart ist und parallel dazu verläuft. Gegenüber dem flachen Abschnitt 56 ist ein weiterer Abschnitt 57 in Richtung auf die Ebene der Öffnung 37 unter einem stumpfen Winkel abgewinkelt. Bei dieser Anordnung der Klammern 20 sind mehrere gekrümmte Fingerabschnitte 55 über den Umfang eines Kreises verteilt, dessen Durchmesser etwas kleiner ist als derjenige eines typischen Plättchens 15, wobei auch die Klammern 20 innerhalb der Ebene der Plättchentragplatte 42 angeordnet sind.

Um ein Plättchen 15 in die Schleuse 12 einzuführen, kann man das Plättchen 15 mit der Hand an seinem Rand oder seiner Rückseite erfassen und es in Eingriff mit den Klammern 20 bringen. Hierbei wird jedoch in einem gewissen Ausmaß Reibung auf das Plättchen 15 ausgeübt, wenn dieses in Berührung mit den flachen Abschnitten 56 der Klammern 20 kommt, damit die Klammern 20 etwas aufgespreizt werden, so daß sich das Plättchen 15 von den Fingerabschnitten 55 aufnehmen läßt. Damit ein Plättchen 15 eingesetzt werden kann, ohne einer Reibung ausgesetzt zu werden, müssen die Klammern 20 zunächst etwas aufgespreizt werden, und danach kann man sie gegen den Rand des Plättchens 15 zurückfedern lassen, nachdem das Plättchen 15 von der Schleuse 12 aufgenommen worden ist. Zwar ist es möglich, das Plättchen 15 manuell einzuführen und hierbei die Klammern 20 aufzuspreizen, doch ist es bei weitem vorzuziehen, jede Handberührung zu vermeiden und hierdurch die Gefahr von Beschädigungen, Fehlern und Verunreinigungen auszuschließen. Die Kammertür 22 trägt ein Unterdruck- Spannfutter 60, das gleichachsig mit der Tür angeordnet ist und nahe seinem Umfang mehrere Klammerbetätigungseinrichtungen 62 aufweist. Diese Teile wirken zusammen mit der Beschickungs- und Entnahmeeinrichtung 24 zur automatisierten Beschickung und Entnahme aus der Schleuse 12, bei der jede manuelle Berührung der Plättchen 15 vermieden und der Beschickungsvorgang automatisiert ist.

Gemäß Fig. 1 und 3 ist die Kammertür 22 mit der Vorderwand 32 der Kammer 10 durch ein kräftiges Gelenk 63 mit senkrechter Schwenkachse verbunden, so daß die Tür 22 auf bekannte Weise geöffnet und geschlossen werden kann, um sich nach Bedarf in die gezeigte, vollständig geöffnete Stellung bringen zu lassen, bei der die Tür 22 eine senkrechte Lage einnimmt und sich im rechten Winkel zur Ebene des Kammereingangs 23 und der Tragplatte 18 erstreckt. Das Unterdruck-Spannfutter 60, das sich längs der Achse der Tür 22 erstreckt, so daß sein aktives Ende einen Bestandteil der Innenfläche 64 der Tür 22 bildet, arbeitet mit einem gegenüber der Innenfläche 64 der Tür 22 stehend angeordneten Plättchen 15 dadurch zusammen, daß es das Plättchen 15 beim Schließen der Tür 22 mit einem Druck beaufschlagt, woraufhin das Spannfutter 60 in axialer Richtung gegenüber der Innenfläche 64 der Tür in der in Fig. 4 gezeigten Weise ausgefahren wird, um das Plättchen 15 in Eingriff mit den Klammern 20 zu bringen. Hierauf wird das Spannfutter 60 wieder eingefahren, so daß das Plättchen 15 in der Kammer 10 durch die Klammern 22 festgehalten wird, um einer Behandlung unterzogen zu werden. Um das Plättchen 15 zu den verschiedenen Arbeitsstationen zu bringen, wird die Tragplatte 18 entsprechend gedreht. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform wird das Plättchen 15 in seiner senkrechten Stellung der Innenfläche 64 der Tür 22 auf eine noch zu erläuternde Weise mit Hilfe der Beschickungs- und Entnahmeeinrichtung 24 gegenübergestellt.

Es sei bemerkt, daß sich die Anordnung der Beschickungsschleuse 12, der Plättchentragplatte 18 und der Tür 22 nicht auf eine stehende Anordnung beschränkt, daß es sich hierbei jedoch um eine bevorzugte Anordnung handelt, die dazu beiträgt zu verhindern, daß sich Rückstände oder Fremdkörper auf irgendwelchen Flächen des Plättchens ablagern. Die Klammern 20, die Tragplatte 18 und die Beschickungsschleuse 12 nach der Erfindung würden ebenso wie sämtliche Arbeitsstationen auch dann einwandfrei arbeiten, wenn sie liegend angeordnet wären. Zwar ist die Beschickungs- und Entnahmeeinrichtung 24 nur bei Kassetten verwendbar, in denen die Plättchen 15 stehend angeordnet sind, doch könnte man die Tür 22 ebensogut auch so ausbilden, daß die Plättchen 15 in einer waagrechten Ebene in die Schleuse eingeführt werden, wobei sie jedoch stehend angeordnet sind. Zu diesem Zweck wäre es nur erforderlich, die betreffenden Teile auf entsprechende Weise in die Kammerwand einzubauen.

Wie erwähnt, ist es vorzuziehen zu vermeiden, daß die Plättchen 15 jeweils dadurch in die Klammern 20 der Beschickungsschleuse 12 eingeführt werden, daß man das Plättchen 15 gegen die abgewinkelten Abschnitte 57 der Klammern 20 drückt. Um ein Plättchen 15 so einzuführen, daß es keiner Reibung ausgesetzt wird, ist es erforderlich, zunächst die Klammern 20 etwas aufzuspreizen, woraufhin man sie nach dem Einführen des Plättchens 15 in die Schleuse 12 gegen den Rand des Plättchens 15 zurückfedern läßt. Dies geschieht automatisch, wenn das Plättchen 15 mit Hilfe des Spannfutters 60 eingeführt wird, und zwar durch die vier Klammerbetätigungseinrichtungen 62, die in die Tür 22 eingebaut sind. Jede der Einrichtungen 62 ist so angeordnet, daß sie in Fluchtung mit einer zugehörigen Klammer 20 steht, wenn die Tür 22 geschlossen ist. Wie aus des Figuren ersichtlich, gehört zu jeder Klammerbetätigungseinrichtung 62 ein pneumatischer Zylinder mit einem Betätigungsstift 66, der mit Hilfe des Zylinders axial nach innen und außen bewegt werden kann und mit Dichtungen versehen ist. Jeder der Stifte 66 steht in Fluchtung mit einem der flachen Klammerabschnitte 56, wenn die Tür 22 geschlossen ist. Die Stifte 66 werden kurz nach dem Einführen eines Plättchens 15 bzw. vor der Entnahme nach innen vorgeschoben. Sobald ein Stift 66 eine Druckkraft auf einem flachen Klammerabschnitt 56 ausübt, wird die Klammer 20 betätigt, um den Fingerabschnitt 55 nach hinten und außen zu schwenken, so daß sämtliche Klammern 20 freigegeben werden, um das Einsetzen bzw. Entnehmen eines Plättchens 15 zu erleichtern, ohne daß das Plättchen Reibungskräften ausgesetzt wird.

Beim Entnehmen eines Plättchens 15 nach dem Abschluß seiner Behandlung werden diese Arbeitsschritte im entgegengesetzten Sinne durchgeführt, wobei das Spannfutter 60 erneut ausgefahren wird, um die Rückseite des Plättchens 15 mit einem Unterdruck zu beaufschlagen und das Plättchen 15 zu erfassen, wobei die Klammerbetätigungseinrichtungen 62 ebenfalls zur Wirkung gebracht werden, um die Klammern 20 freizugeben, woraufhin die Tür 22 geöffnet wird, während das Spannfutter 60 das Plättchen 15 auf der Innenfläche der Tür 22 mit Hilfe des Unterdrucks festhält, bis das Plättchen 15 mit Hilfe der Einrichtung 24 eingesetzt bzw. entnommen worden ist.

Ist die Tür 22 vollständig geöffnet, kann sie ein Plättchen 15 aufnehmen, das in die Schleuse 12 überführt werden soll, oder die Tür ist soeben geöffnet worden, um der Schleuse 12 ein fertiges Plättchen 15 zu entnehmen, das dann von dem Spannfutter 60 abgegeben werden muß. Um jeweils ein Plättchen der Tür 22 gegenüberzustellen, damit es eingesetzt bzw. entnommen werden kann, ist die Einrichtung 24 mit einer Kassette 70 vorhanden, zu der eine Plättchenhebeeinrichtung 68 und eine Kassettenfördereinrichtung 69 gehören. Unterhalb des Kammereingangs 23 und zu beiden Seiten desselben erstreckt sich die an der Kammerwand 32 befestigte Fördereinrichtung 69, die dazu dient, Plättchen 15 enthaltende Kassetten 70 gemäß Fig. 3 von der rechten Seite der Kammereingangsöffnung 23 aus nach links und an der Kammereingangsöffnung 22 vorbeizubewegen. Die damit zusammenarbeitende Plättchenhebeeinrichtung 68 dient dazu, die Plättchen 15 einzeln den von der Kassettenfördereinrichtung 69 mitgeführten Kassetten 70 zu entnehmen, sie nach oben zu bewegen und sie der Arbeitsseite des Spannfutters 60 an der Innenfläche 64 der Kammertür 22 gegenüberzustellen bzw. die Plättchen nach dem Abschluß ihrer Behandlung von der Tür aus nach unten zu bewegen.

Zu der Plättchenfördereinrichtung 69 gehören zwei durch einen Querabstand getrennte parallele Schienen 72 und 73, die sich waagrecht entlang der Vorderseite der Behandlungskammer 10 erstrecken. Diese Schienen 72, 73 dienen zur Unterstützung und zum Bewegen der Kassetten 70, und ihr Querabstand ist so gewählt, daß die Kassettenseitenwände 77 die Schienen 72, 73 übergreifen, so daß die Kassetten 70 entlang der Schienen 72, 73 durch die Kassettenfördereinrichtung 69 bewegt werden können. Zum Antreiben der Kassetten 70 dient eine Kette 75 mit verschiedenen Führungen und Zahnradanordnungen, die sich längs der Schiene 72 bewegt. Die Kette 75 ist in gleichmäßigen Abständen mit Führungsstiften 76 versehen, die jeweils mit einem dazu passenden Ausschnitt am unteren Rand der Kassettenseitenwand 77 nahe der Schiene 72 zusammenarbeiten. Somit wird die Kassette 70 veranlaßt, sich mit der gleichen Geschwindigkeit wie die Kette 75 in Richtung auf die Plättchenhebeeinrichtung 68 zu bzw. von ihr weg zu bewegen. Als Antriebseinrichtung für die Kette 75 ist ein Schrittmotor 80 vorhanden, der es ermöglicht, die Bewegung der Kassetten 70 genau zu steuern, so daß jedes einzelne Plättchen 15 in einer Kassette 70 so angeordnet werden kann, daß mit ihm die Plättchenhebeeinrichtung 68 zusammenarbeitet. Mit dem Schrittmotor 80 ist ein Speicher bekannter Art zur Steuerung der Plättchenhebeeinrichtung 68 verbunden. In diesem ist die Lage jedes Plättchens 15 in der Kassette 70 gespeichert. Obwohl mehrere weitere Plättchen 15 in die Vakuumbehandlungskammer 10 eingeführt worden sein können und die Kassette 70 entsprechend nacheinander mehrere Stellungen eingenommen hat, nachdem ein erstes Plättchen 15 aufgenommen worden ist, ist es daher beim Austreten des fertiggestellten ersten Plättchens 15 möglich, den Schrittmotor 80 umzusteuern und ihn zu veranlassen, die erforderliche Anzahl von Schritten auszuführen, damit das fertige Plättchen 15 wieder in seine ursprüngliche Lage gebracht wird, woraufhin der Schrittmotor 80 wieder seine ursprüngliche Stellung einnimmt, um dann die Beschickung fortzusetzen.

Jede Kassette 70 enthält mehrere Plättchen 15, die stehend und gleichachsig in Abständen angeordnet sind. Die Kassetten sind sowohl an der Oberseite als auch über einen erheblichen Teil ihrer Unterseite offen, so daß die Plättchen von oben und unten her zugänglich sind. Die Plättchen müssen so in die Vorrichtung eingebracht werden, daß ihre vorderen Flächen, auf denen die Rillen, Stufen und andere Teile der Mikroschaltkreise angeordnet sind, von der Innenfläche 64 der geöffneten Tür 22 abgewandt sind, während die hinteren Flächen der Plättchen der Tür zugewandt sind. Hierdurch wird gewährleistet, daß dann, wenn das Spannfutter 60 ein Plättchen erfaßt, keine Berührung mit der Vorderseite stattfindet, auf der sich die empfindlichen Mikroschaltkreise befinden, und daß jedes Plättchen beim Einführen in die Schleuse 12 genau die richtige Lage einnimmt, damit es in der gewünschten Weise mit der betreffenden Behandlungseinrichtung in der Kammer 10 zusammenarbeitet.

Die Hebeeinrichtung 68 ist unterhalb des Kammereingangs 23 auf dessen linker Seite angeordnet und besteht aus einer oberen Führungsplatte 82, einem plattenähnlichen Schieber 83 und einem mit dem unteren Ende des Schiebers gekuppelten Betätigungszylinder 84. Der Schieber 83 ist so geführt, daß er sich nach oben und unten längs einer senkrechten Bahn bewegen kann, welche die Fördereinrichtung 69 zwischen den Schienen 72 und 73 kreuzt, damit man die Plättchen der Innenfläche 64 der Tür 22 zuführen kann. Ein Führungsschlitz 85 der Führungsplatte 82 kurz unterhalb der Innenfläche der geöffneten Tür bildet die oberste Führung für den Schieber 83, und ein stehend angeordnetes Führungsteil 86 erstreckt sich unterhalb der Fördereinrichtung zu dem Betätigungszylinder 84, um den Schieber 83 längs einer senkrechten Bahn zu führen. Die Breite des Schiebers 83 ist kleiner als der Querabstand zwischen den Schienen 72 und 73 und auch kleiner als der Abstand zwischen den Hauptwänden jeder Kassette 70, welche die Schienen 72 und 73 übergreift. Außerdem ist die Dicke des Schiebers 83 kleiner als der Abstand zwischen je zwei einander in einer Kassette 70 benachbarten Plättchen.

Der Schieber 83 weist an seinem oberen Ende eine kreisbogenförmig gekrümmte Kante 87 auf, die zur Krümmung eines Plättchens paßt und mit einer Nut versehen ist, deren Breite ausreicht, um ein Plättchen aufzunehmen und das Plättchen mit Hilfe seines Randes zu unterstützen. Somit kann sich der Schieber 83 der Hebeeinrichtung zwischen den Führungsschienen 72 und 73 hindurch im rechten Winkel zu der Fördereinrichtung und einer Kassette bewegen, nachdem der Schrittmotor 80 und der Kettentrieb 75 ein in einer Kassette enthaltenes Plättchen in Fluchtung mit der Bahn des Schiebers 83 gebracht hat.

Gemäß Fig. 3 sind die Kassetten 70 so ausgebildet, daß die Plättchen von unten her zugänglich sind und sich der Schieber 83 vollständig durch die Kassette hindurchbewegen kann. Nachdem der Schrittmotor 80 und die Kette 75 ein in einer Kassette befindliches Plättchen in Fluchtung mit der Bahn des Schiebers 83 gebracht hat, wird der Schieber zwischen den Schienen der Fördereinrichtung hindurch nach oben bewegt, damit das Plättchen von der Nut am oberen Ende 87 des Plättchens aufgenommen wird. Nunmehr wird das Plättchen nach oben bewegt, bis es eine konzentrische Lage mit der unmittelbar benachbarten Innenfläche 64 der geöffneten Kammertür 22 einnimmt. Da die Plättchen stehend angeordnet sind, trägt die Schwerkraft dazu bei, die Plättchen auf schonende Weise, jedoch zuverlässig in der Nut am oberen Ende 87 des Schiebers festzuhalten. Eine Berührung mit der empfindlichen Vorderseite des Plättchens, auf der sich die Mikroschaltkreise befinden, wird daher praktisch vollständig vermieden, was im Gegensatz zu Anordnungen steht, bei denen eine automatische Handhabung der Plättchen erfolgt, während diese eine waagrechte Lage einnehmen. Auf diese Weise wird die Gefahr einer Beschädigung oder eines Zerkratzens der Plättchen erheblich verringert.

Sobald das Plättchen an der Tür 22 eintrifft, erfaßt das Spannfutter 60 das Plättchen durch Aufbringen von Unterdruck auf seine Rückseite. Dann wird der Schieber 83 in dem Führungsschlitz 85 und durch die Kassette 70 hindurch nach unten bewegt, bis er sich wieder unterhalb der Fördereinrichtung 69 befindet. Nunmehr wird die Tür 22 geschlossen, wobei das Plättchen durch das Spannfutter 60 festgehalten wird, um das Plättchen in die Schleuse 12 einzuführen, wobei der Kammereingang 23 gleichzeitig in der beschriebenen Weise geschlossen wird, woraufhin die Behandlung in der Kammer 10 erfolgen kann. Bevor die Behandlung des Plättchens 15 abgeschlossen ist, können weitere Plättchen in die übrigen Öffnungen 37 der Tragplatte 18 eingeführt werden.

Zu diesem Zweck bewirken der Schrittmotor und die Antriebskette, daß die Kassette um einen Schritt bewegt wird, um das nächste Plättchen über dem Schieber 83 anzuordnen, der dann nach oben bewegt wird, um dieses Plättchen nach oben zu bewegen und es gegenüber der geöffneten Tür anzuordnen, deren Spannfutter dann das Plättchen erfaßt, um es in die Beschickungsschleuse zu überführen. Nach dem Abschluß der Behandlung des ursprünglichen Plättchens 15, das nacheinander sämtliche Arbeitsstationen zugeführt worden ist, befindet sich das Plättchen wieder an der Schleuse 12, woraufhin das Spannfutter 60 wieder gegen die Rückseite des Plättchens ausgefahren wird, während die Tür 22 noch geschlossen ist. Gleichzeitig bewirken die Klammerbetätigungseinrichtungen 62, daß die Klammern 20 niedergedrückt werden, um sie außer Eingriff mit dem Plättchen zu bringen, damit dieses mit Hilfe des Spannfutters entnommen werden kann, woraufhin die Tür geöffnet wird und das Plättchen wieder über der Bahn des Schiebers 83 angeordnet ist. In der Zwischenzeit bewegen der Schrittmotor 80 und die Kette 75 die Kassette 70 zurück, so daß das seine ursprüngliche Position einnehmende Plättchen 15 über der Bahn des Schiebers 83 angeordnet wird. Hierauf bewegt sich der Schieber zwischen den Führungsschienen 72 und 73 und durch den Führungsschlitz 85 nach oben, um das Plättchen 15 am unteren Teil seines Randes zu erfassen, woraufhin das Spannfutter 60 das Plättchen freigibt, damit der Schieber 83 das Plättchen nach unten bewegen und wieder in seine ursprüngliche Lage in der Kassette bringen kann. Hierauf wird die Kassette in der Vorwärtsrichtung bewegt, damit das nächste Plättchen behandelt werden kann.

Vor dem Anheben der einzelnen Plättchen mit Hilfe der Hebeeinrichtung 68 und vor dem Einbringen in die Beschickungsschleuse ist es erwünscht, dafür zu sorgen, daß alle Plättchen auf eine bestimmte Wesie so orientiert werden, daß die normalerweise vorhandenen Führungsanflächungen 91, die sich jeweils längs einer Sehne jedes Plättchens erstrecken, eine solche Lage einnehmen, daß sie sich im untersten Teil der Kassette befinden. Auf diese Weise ist sichergestellt, daß alle Plättchen gegenüber den Behandlungseinrichtungen in der Kammer 10 die gleiche Lage einnehmen. Wird dafür gesorgt, daß die Führungsanflächungen in eine vorbestimmte Lage gebracht werden, besteht außerdem Gewähr dafür, daß die Klammern 20 der Tragplatte 18 einwandfrei arbeiten und nicht zufällig eine Anflächung eines Plättchens anstelle eines Teils des kreisbogenförmigen Randes erfassen. Um eine solche gleichmäßige Orientierung zu gewährleisten, sind gemäß Fig. 3 zwei parallele Rollen 90 vorhanden, die sich zwischen den Führungsschienen 72 und 73 und parallel zu ihnen erstrecken. Die Rollen 90 sind in der Bahn der Kassetten 70 kurz vor der Hebeeinrichtung 68 angeordnet, so daß die Orientierung der Plättchen abgeschlossen wird, bevor die Plättchen zu der Hebeeinrichtung gelangen. Nachdem eine Kassette über den Rollen 90 angeordnet worden ist, werden die Rollen angehoben und in entgegengesetzten Richtungen gedreht, d. h. die eine im Uhrzeigersinn und die andere entgegen dem Uhrzeigersinn, wobei sie in leichter Berührung mit den kreisrunden Rändern der Plättchen stehen. Durch die Berührung mit den umlaufenden Rollen 90 werden die Plättchen in den Kassetten gedreht, bis sich die Führungsanflächungen 91 sämtlicher Plättchen jeweils tangential zu den umlaufenden Rollen erstrecken, woraufhin die Berührung mit den Rollen aufgehoben wird. Jetzt sind sämtliche Plättchen so angeordnet, daß die Anflächungen 91 nach unten weisen und in Fluchtung miteinander stehen. Schließlich werden die Rollen 90 nach unten zurückgezogen.

Wie erwähnt, wird die Druckplatte 16 immer dann an die Tragplatte 18 und die Kammerwand 32 angepreßt, wenn die Tür 22 geöffnet ist, um den evakuierten Innenraum der Kammer 10 gegenüber der Atmosphäre abzusperren. Fig. 4 und 5 zeigen mit weiteren Einzelheiten die relative Anordnung der Druckplatte 16 und der Tragplatte 18, wobei aus Fig. 4 die Vereinigung der die Schleuse 12 bildenden Teile zu einem Stapel ersichtlich ist, während man in Fig. 5 die relative Anordnung dieser Teile für den Fall erkennt, daß sich die Druckplatte 16 in ihrer zurückgezogenen Stellung befindet. In Fig. 4 befindet sich das Spannfutter 60 in seiner ausgefahrenen Stellung, bei der ein Plättchen 15 von den Klammern 20 aufgenommen worden ist, wobei die Stifte 66 der Klammerbetätigungseinrichtungen 62 teilweise vorgeschoben sind, nachdem sie die Klammern 20 aufgespreizt haben. In Fig. 5 ist das Spannfutter 60 ebenso eingefahren wie die Stifte der Betätigungseinrichtungen 62, und das Plättchen 15 wird jetzt in der Tragplatte 18 zuverlässig festgehalten. Nachdem die Druckplatte 16 zurückgezogen worden ist, kann das Plättchen 15 jetzt durch eine Drehbewegung zur nächsten Behandlungsstation gebracht werden. In Fig. 6 befindet sich das Spannfutter 60 ebenfalls in seiner zurückgezogenen Stellung, doch ist der Unterdruck weiterhin wirksam, und das Plättchen 15 liegt jetzt an der Innenfläche 64 der Kammertür 22 an. Hierbei handelt es sich natürlich um die Stellung der Teile der Beschickungsschleuse 12 und des Plättchens 15 kurz nach dem Entnehmen des Plättchens 15 aus den Klammern 20 und vor der Entnahme aus der Beschickungsschleuse 12. Alternativ handelt es sich um die Stellung der genannten Teile kurz nach dem Schließen der Tür 22, bevor das Spannfutter 62 das Plättchen 15 in seine Lage in der Öffnung 37 der Tragplatte 18 gebracht hat. Die Stifte 66 der Klammerbetätigungseinrichtungen 62 stehen in Berührung mit den Klammern 20, bevor diese niedergedrückt werden, um sie aufzuspreizen, damit sie ein Plättchen 15 aufnehmen können.

Nach dem Beschicken der Schleuse 12 mit einem Plättchen 15 wird die Schleuse 12 während eines Arbeitszyklus, der erheblich weniger als eine Minute in Anspruch nimmt, vorbereitend auf einem Unterdruck evakuiert, bei dem die Evakuierung immer noch erheblich geringer ist als diejenige der Behandlungskammer 10, wobei jedoch die Atmosphäre in der Behandlungskammer 10 nicht erheblich gestört wird, wenn die Druckplatte 16 gemäß Fig. 5 zurückgezogen und das Plättchen 15 zur nächsten Arbeitsstation gedreht wird. Dies läßt sich auf zweckmäßige Weise innerhalb einer solch kurzen Zeit nicht nur deshalb durchführen, weil die Beschickungsschleuse 12 im Vergleich zur Kammer 10 einen sehr kleinen Rauminhalt hat, der im wesentlichen nur auszureichen braucht, um ein Plättchen 15 aufzunehmen, sondern auch deshalb, weil der Aufwand für die Entgasung im wesentlichen nur durch die Flächen des Plättchens 15 bestimmt wird, da keine Hilfsunterstützungen benutzt werden, die außerhalb der Schleuse 12 betätigt werden müssen, und da in jedem Fall die Oberfläche der das Plättchen 15 in der Kammer 10 unterstützenden Klammern 20 im Vergleich zu den Flächen des Plättchens 15 relativ klein ist. Dies steht im Gegensatz zu bekannten Vorrichtungen, bei denen Platten und andere äußere Unterstützungen in die Beschickungsschleuse 12 eingeführt werden müssen, wobei diese Einrichtungen eine erhebliche Oberfläche haben, die zu einer erheblichen Vergrößerung des Aufwandes für das Evakuieren führt. Natürlich trägt der Verzicht auf die Verwendung solcher von außen her einzuführender Unterstützungen erheblich zu einer Verringerung der Gefahr einer Verunreinigung bei. Ferner ist zu bemerken, daß sich sogar noch günstigere Bedingungen ergeben, wenn das Plättchen 15 nacheinander verschiedenen Arbeitsstationen zugeführt wird, denn derjenige Teil der Druckplatte 16 im Bereich der Beschickungsschleuse 12, welcher der Atmosphäre oder der Umgebung der Schleuse 12 ausgesetzt wird, wo die Atmosphäre vorzugsweise aus trockenem Stickstoff besteht, wird nicht zusammen mit dem Plättchen 15 gedreht, sondern er verbleibt innerhalb der Beschickungsschleuse 12 bzw. der Beschickungsstation, er kommt nicht in die Nähe der übrigen Stationen, und außerdem ist er während des Beschichtungsvorgangs gegenüber der Kammer 10 abgedichtet.

Während ein Plättchen 15 der Beschickungsschleuse 12 zugeführt bzw. entnommen wird, befindet sich gemäß Fig. 4 die Druckplatte 16 in ihrer vorderen Arbeitsstellung, so daß die Tragplatte 18 an die Vorderwand 32 der Kammer 10 angepreßt wird. Entsprechend preßt die Druckplatte 16 das Plättchen 15 an den übrigen Stationen gegen entsprechende Teile dieser Stationen. Beispielsweise ist an der Plättchenerhitzungsstation 28, d. h. der nächsten Station jenseits der Beschickungsschleuse 12 bzw. gemäß Fig. 7 eine Heizeinrichtung 92 vorhanden, die die Entgasung fördert. Zur Heizeinrichtung 92 gehört eine zylindrische Unterstützung 93, die einen etwas kleineren Durchmesser hat als die Plättchen 15, und als Heizelement 94 eine keramische Scheibe aufweist, in die ein Widerstandsdraht so eingebettet ist, daß sich die Außenfläche der Scheibe auf regelbare Weise erhitzen läßt, so daß ihre gesamte ebene Fläche auf eine im wesentlichen gleichmäßige Temperatur gebracht wird. Die Plättchenheizeinrichtung 92 ist auf der Vorderwand 32 der Behandlungskammer 10 unter dichtem Abschluß in einer Öffnung so angeordnet, daß die beheizte Fläche des Heizelements 94 etwas gegenüber der Ebene der Vorderwand 32 vorspringt. Ist die Druckplatte 16 entlastet, ist sie in einem solchen Abstand von der Vorderwand 32 der Kammer 10 angeordnet, daß sich die Heizfläche nicht in unmittelbarer Nähe der Tragplatte 18 bzw. eines von ihr aufgenommenen Plättchens 15 befindet. Nimmt jedoch die Druckplatte 16 ihre vordere Arbeitsstellung ein, wird die Plättchentragplatte 42 an die Vorderwand 32 der Kammer 10 angepreßt, so daß sich ein sehr geringer Abstand zwischen der Heizfläche und dem an der Heizstation 28 angeordneten Plättchen 15 ergibt, wobei jedoch gemäß Fig. 6 keine Berührung mit der Heizfläche stattfindet.

In einer Unterdruckatmosphäre wird Wärme in erster Linie durch Strahlung übertragen. Siliziumplättchen 15 mit einer P-Dotierung, die bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen in großem Umfang verwendet werden, sind für Infrarotstrahlung ziemlich durchlässig. Daher ist die Geschwindigkeit der Erhöhung der Plättchentemperatur so gering, daß es nicht möglich ist, eine höhere Entgasungsgeschwindigkeit während des kurzen Entgasungsvorgangs zu erzielen, der bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung erforderlich ist. Da sich die Plättchen 15 nicht bewegen, während sie sich an der Heizstation 28 befinden, ist es zweckmäßig, den Übergang von Wärme von dem Heizelement 94 zu dem Plättchen 15 durch die Verwendung eines Gases als Wärmeträger zu beschleunigen. Zu diesem Zweck wird gemäß Fig. 7 durch eine zentral angeordnete Rohrleitung 114 einen Teil des Argongases, das für den Betrieb der Einrichtung 100 verwendet wird, unmittelbar in den Raum zwischen dem Heizelement 94 und dem Plättchen 15 einzuführen. Die Übertragung von Wärme wird dadurch bewirkt, daß Argonatome abwechselnd auf heiße und kalte Flächen auftreffen. Um eine ausreichende Wärmeübertragung zu gewährleisten, ist es erforderlich, das Argon der Heizstation 28 unter einem Druck im Bereich von 100 bis 1000 µbar zuzuführen, der somit um eine bis zwei Größenordnungen höher ist als der normale Druck des Argons in der Hauptkammer, der etwa 10 µbar beträgt.

Zur Plättchenheizeinrichtung 92 gehört ferner eine Stützplatte 98, an der gemäß Fig. 7 die zylindrische Unterstützung 93 befestigt ist. Zwischen der Stützplatte 98 und der Kammerwand 32 ist ein O-Ring 115 zum Aufrechterhalten des Unterdrucks angeordnet. Um eine Verschlechterung der Dichtungseigenschaften des O-Rings 115 als Folge einer Überhitzung durch das Heizelement 94 zu vermeiden, sind Rohrleitungen 96 und 97 vorhanden, die in die Stützplatte 89 eingebaut sind und dazu dienen, ein Kühlmittel durch die Stützplatte 89 hindurchzuleiten, um diese Platte zu kühlen und den O-Ring 115 gegen eine Überhitzung zu schützen.

In manchen Anwendungsfällen ist es erwünscht, die Plättchen 15 an der Heizstation 28 mit Hilfe eines Hochfrequenz-Aufstäubungs- und -Ätzverfahrens zu erhitzen und zu reinigen, wobei Verfahren bekannter Art angewendet werden. Um ein solches Verfahren während der kurzen Zykluszeit durchzuführen, die bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung eingehalten werden muß, kann die Zufuhr von Hochfrequenzenergie dazu führen, daß die Temperatur des Plättchens 15 auf einen unerwünschten oder zu hohen Wert ansteigt. Dieses Problem kann wiederum weitgehend durch die Verwendung eines Gases als Wärmeträger gelöst werden, wobei in diesem Fall Wärme aus dem Plättchen 15 abgeführt und einem gekühlten Bereich zugeführt wird.

Eine geeignete Plättchenkühleinrichtung 118 ist in Fig. 8 dargestellt. Hierzu gehört ein zylindrisches Bauteil 119 zum Abführen von Wärme, das auf einer Stützplatte 120 angeordnet ist. Zwischen der Stützplatte 120 und der vorderen Kammerwand 32 ist ein O-Ring 121 zum Halten des Unterdrucks angeordnet. Um die Temperatur des Wärmeabführungsteils 119 auf einem hinreichend niedrigen Wert zu halten, sind Rohrleitungen 128 und 129 vorhanden, die sich durch die Stützplatte 120 zu dem Bauteil 119 erstrecken, damit es möglich ist, ein Kühlmittel zirkulieren zu lassen, wodurch die Temperatur auf dem gewünschten Wert gehalten wird. Das Wärmeabführungsteil 119 hat eine ebene Fläche 125, die in einem kleinen Abstand von dem Plättchen 15, d. h. außer Berührung mit diesem, angeordnet ist, wenn sich die Druckplatte 16 in ihrer vorderen Arbeitsstellung befindet. Gemäß Fig. 8 ist eine zentral angeordnete Rohrleitung 126 vorhanden, die es ermöglicht, einen gewissen Teil des Argongases, das für den Betrieb der Einrichtung 100 benötigt wird, unmittelbar in den Raum zwischen dem Bauteil 119 und dem Plättchen 15 einzuleiten. Durch das Einführen von Argongas wird die Abkühlungsgeschwindigkeit gesteigert, da eine größere Wärmemenge von dem Plättchen 15 zum Bauteil 119 abgeführt wird, und zwar ebenso wie der Wärmetransport von dem Heizelement 94 zum Plättchen 15 an der Heizstation 28 gesteigert wird, wie es weiter oben anhand von Fig. 7 beschrieben ist.

Bei der nächsten Station, zu der das Plättchen transportiert wird, handelt es sich um die Beschichtungsstation 14, die auf der Rückwand 99 der Kammer 10 angeordnet ist und für welche die Druckplatte 16 eine runde Öffnung aufweist, damit es mit Hilfe der Einrichtung 100 möglich ist, unmittelbar ein Plättchen 15 zu beschichten, das mit Hilfe der Tragplatte 18 der Beschichtungsstation 14 gegenübergestellt worden ist. Ferner ist ein Verschluß 102 vorhanden, damit das Beschichtungsmaterial während der Drehung der Tragplatte 18 und, wenn sich an der Beschichtungsstation 14 kein Plättchen 15 befindet, aufgefangen werden kann.

Fig. 9 zeigt die Beziehung zwischen den Teilen der Beschichtungsstation 14. Fig. 9 zeigt die Teile kurz vor dem Augenblick, in dem die Druckplatte 16 in ihre vordere Stellung gebracht wird, um die Tragplatte 18 an die Vorderwand 32 der Kammer 10 anzupressen. Somit befindet sich das Plättchen 15 während des Beschichtens im Vergleich zu seiner Ruhestellung nach Fig. 9 in einem kleineren Abstand von der Vorderwand 32, so daß das Plättchen 15 konzentrisch mit der Einrichtung 100 fest in seiner Lage gehalten wird.

Ein Hauptvorteil der Unterstützung des Plättchens 15 mit Hilfe seines Randes und der Einzelbehandlung beim Beschichten wird nunmehr ersichtlich. Bekanntlich führt die Anwendung des Aufstäubens, mittels dessen ein metallischer Überzug auf der Vorderseite des Plättchens 15 aufgebracht wird, zu einer weiteren Erhitzung des Plättchens 15, so daß eine erhöhte Entgasung des Plättchens 15 gerade im ungünstigsten Zeitpunkt erfolgt. Jedoch führt der kleine Abstand zwischen der Einrichtung 100 und dem Plättchen 15, der die Erzielung einer hohen Beschichtungsgeschwindigkeit von etwa 1000 nm/min ermöglicht, in Verbindung mit der Verringerung der Gefahr einer Verunreinigung durch die Vermeidung der Verwendung äußerer Plättchenunterstützungen und wegen des Nichtvorhandenseins weiterer Plättchen 15, die unmittelbar vor der Vorderseite des Plättchens 15 zusätzliche Entgasungsprodukte abgeben, sowie mit der Tatsache, daß die von der Rückseite abgegebenen Entgasungsprodukte mit großer Wahrscheinlichkeit auf die die Einrichtung 100 umgebenden Abschirmteile auftreffen, zu einer erheblichen Verringerung der Konzentration der bei der Entgasung freiwerdenden Verunreinigungsstoffe, die sich auf der Vorderseite des Plättchens ablagern könnten. Dies steht im Gegensatz zu den bis jetzt bekannten Vorrichtungen. Bei den älteren, chargenweise arbeitenden Vorrichtungen sowie bei Beschickungsschleusen bekannter Art sind jeweils mehrere Plättchen einander benachbart, die z. B. auf einer Tragplatte angeordnet sind, wobei die geometrischen Verhältnisse der Einrichtung und der Plättchen gewöhnlich derart sind, daß sich die Plättchen nicht einzeln abschirmen lassen, um zu bewirken, daß sich die Verunreinigungen mit dem Beschichtungsmaterial vereinigen, statt sich auf der Oberfläche der Plättchen abzulagern.

Weitere Vorteile ergeben sich daraus, daß die Metallisierung jedes einzelnen Plättchens 15 durchgeführt wird, während sich das Plättchen 15 in einer senkrechten Lage befindet, wobei das Plättchen 15 keine Bewegung ausführt. Es liegt auf der Hand, daß dann, wenn irgendwelche Rückstände oder teilchenförmiges Material in der Vorrichtung vorhanden sind, die Gefahr, daß solche Stoffe auf einer senkrechten Plättchenfläche zur Ruhe kommen, erheblich geringer ist als bei einem liegend angeordneten Plättchen. Die Tatsache, daß während des Metallisierungsvorgangs in der Kammer 10 keinerlei Bewegung stattfindet, bedeutet, daß keine Stöße oder Vibrationen auftreten, die zum Entstehen von Rückständen führen könnten, z. B. durch das Ablösen von Metallisierungsmaterial, das auf Plättchentragkonstruktionen, Abschirmungen und andere ähnliche Flächen gelangt ist. Ferner wird bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Beanspruchung solcher Ablagerungen von Beschichtungsmaterial auf Abschirmungen und anderen inneren Teilen der Kammer dadurch weiter verringert, daß sich die mechanischen Beanspruchungen dadurch verringern, daß es nicht erforderlich ist, Bewegungen zu unterbrechen, sowie dadurch, daß man mit einer kleinen Anzahl bewegbarer Bauteile auskommt. Die sehr kleine Abmessungen aufweisenden Klammern 20, welche das Plättchen 15 unterstützen, werden während des normalen Betriebs nicht der Berührung mit Luft ausgesetzt, denn in der Beschickungsschleuse 12 ist normalerweise eine Atmosphäre aus trockenem Stickstoff vorhanden, d. h. Feuchtigkeit enthaltende Luft wird ferngehalten.

Der geringe Abstand zwischen dem Plättchen 15 und der Einrichtung 100 sowie das Fehlen jeder Bewegung des Plättchens 15 bieten weitere Vorteile bezüglich der erwünschten Eigenschaften und der Homogenität der aufgebrachten Filme. Die örtliche Beschichtungsgeschwindigkeit an einem bestimmten Punkt auf der Plättchenoberfläche richtet sich nach dem Abstand vom Mittelpunkt und nach der Topographie der Fläche, d. h. danach, ob die Fläche an dem betreffenden Punkt eben ist oder ob es sich um eine Seitenwand oder den Boden einer Stufe oder Rille handelt oder ob die betreffende Seitenwand nach innen oder außen gerichtet ist. Hierauf wird im folgenden näher eingegangen. Da sich das Plättchen gegenüber der Einrichtung 100 nicht bewegt, spielt sich die Beschichtung an jedem Punkt mit einer konstanten Geschwindigkeit ab; d. h. wenn man annimmt, daß der Einrichtung 100 je Zeiteinheit eine konstante Energiemenge zugeführt wird, ergibt sich eine gleichbleibende Beschichtungsgeschwindigkeit. Daher ist die Dicke des Niederschlags an verschiedenen Punkten von unterschiedlicher Topographie radialsymmetrisch zu einer gemeinsamen Achse, auf der die Einrichtung 100 und das Plättchen 15 konzentrisch angeordnet sind.

Wie erwähnt, richtet sich der Grad der Verunreinigung des Überzugs nach den relativen Geschwindigkeiten, mit denen auf die Plättchenoberfläche die Moleküle der eine Verunreinigung bewirkenden Hintergrundgase, z. B. Sauerstoff, sowie Atome des zerstäubten Beschichtungsmaterials, z. B. Aluminium, eintreffen. Wenn die Teildrücke der eine Verunreinigung bewirkenden Hintergrundgase während der Beschichtung mit konstanter Geschwindigkeit konstant bleiben, ergibt sich eine homogene örtliche Verunreinigung des Überzugs über dessen gesamte Dicke.

lm Gegensatz hierzu läßt sich dies bei den bekannten Beschickungsschleusen nicht erreichen, bei denen eine Bewegung des Plättchens gegenüber der Aufstäubungseinrichtung zu Beschichtungsgeschwindigkeiten führt, die während der Beschichtungszeit variieren. Dies führt dann zu Ungleichmäßigkeiten bezüglich der Verunreinigung des Überzugs während des Wachstums, wodurch wiederum die Ausbeute an einwandfreien Halbleitervorrichtungen verringert wird, die sich aus einem Plättchen herstellen lassen. Bei den bekannten Vorrichtungen, bei denen die Plättchen mehrmals an der Aufstäubungseinrichtung vorbeigeführt werden, wird der Metallfilm schichtweise erzeugt, und dies führt wiederum zu einer unerwünschten Schichtung bei dem Verunreinigungsprofil.

Gemäß Fig. 9 weist die Einrichtung 100 auf ihrer Abgabeseite ein ringförmiges Bauteil 112 auf, das in Fig. 9 nur mit gestrichelten Linien angedeutet ist, dessen Einzelheiten dagegen aus der Querschnittsdarstellung in Fig. 10 ersichtlich sind. Eine solche Einrichtung ist z. B. in der US-PS 41 00 055 beschrieben. Solche Einrichtungen werden unter der geschützten Bezeichnung "S-Gun" auf den Markt gebracht. Bei solchen Einrichtungen zum Erzeugen von Überzügen wird von einer magnetisch eingeschlossenen bzw. zusammengehaltenen Gasentladung Gebrauch gemacht, und es ist erforderlich, eine einem Unterdruck ausgesetzte inerte Gasatmosphäre zu verwenden, die z. B. aus Argon besteht. Ferner kann man andere Aufstäubungseinrichtungen mit solchen ringförmigen Targets verwenden, z. B. eine ebene Magnetronquelle.

Bei der Gasentladung entstehende positive Ionen treffen auf das Target 112 der Aufstäubungseinrichtung auf, die aus dem Material besteht, aus dem ein Überzug erzeugt werden soll, z. B. aus Aluminium. Somit wird dieses Material von dem Bauteil 112 aus nach außen abgestäubt. Der Vorgang wird in Unterdruckatmosphäre in der Vakuumkammer 10 durchgeführt, in der das vorherrschende Gas normalerweise Argon ist, das unter einem sehr niedrigen Druck zugeführt wird, um die Gasentladung aufrechtzuerhalten und liegt gewöhnlich im Bereich von 2 bis 20 µbar. Wie nachstehend erläutert, hat es sich gezeigt, daß die Qualität des Überzugs durch den Gasdruck beeinflußt wird. Es hat sich gezeigt, daß es sich bei dem zur Unterhaltung der Entladung benötigten Argon zweckmäßig um einen Teil des Argons handeln kann, das den verschiedenen Plättchenbehandlungsstationen zugeführt wird, wie es weiter oben in Verbindung mit der Plättchenheizstation 28 und der Plättchenkühlstation 118 beschrieben worden ist.

Im Gegensatz zu bekannten Vorrichtungen werden die Plättchen 15 in der erfindungsgemäßen Vorrichtung einer Einzelbehandlung unterzogen. Außerdem werden die Plättchen fest in ihrer Lage gehalten, während sie sich an den verschiedenen Behandlungsstationen 28, 14, 138, 130 befinden, und mit Ausnahme der mit der Beschickungsschleuse 12 versehenen Station werden sie in einem kleinen Abstand davon unterstützt. Da die Plättchen 15 jeweils mit Hilfe ihres Randes unterstützt werden, sind außerdem beide Flachseiten jedes Plättchens 15 für eine Behandlung zugänglich. Ein Vorteil dieser Merkmale besteht darin, daß es jetzt möglich ist, eine Einrichtung wie die in Fig. 7 bei 92 dargestellte vorzusehen, um die Temperatur der einzelnen Plättchen 15 an jeder Behandlungsstation 28, 14, 138, 130 zu regeln. Insbesondere wird eine Temperaturregelung in der vorstehend beschriebenen Weise mit Hilfe eines Wärmetransports durch ein Gas erreicht, wie es bezüglich der Plättchenheizstation 28 und der Plättchenkühleinrichtung 118 beschrieben worden ist. Diese Maßnahmen ermöglichen es, die Probleme zu vermeiden, die sich beim Erhitzen bzw. Abkühlen eines Plättchens 15 in einer evakuierten Kammer 10 ergeben, und zwar dadurch, daß ein Teil des Argongases, von dem in jedem Fall eine bestimmte Menge für den Betrieb der Sprüheinrichtung benötigt wird, in den Raum hinter der Rückseite des Plättchens 15 eingeleitet wird, wie es weiter oben beschrieben ist. Solche Einrichtungen 92, 118 zum Beheizen oder Abkühlen der Plättchen 15 können auch an anderen Stellen benutzt werden, z. B. an der eigentlichen Beschichtungsstation 14. Es ist bekannt, daß nicht nur die Überdeckung von Stufen, sondern auch verschiedene Schicht eigenschaften, z. B. das Reflexionsvermögen, der Widerstand und der Kontaktwiderstand, durch die Plättchentemperatur während der Behandlung beeinflußt werden. Zur gleichmäßigen und reproduzierbaren Erzielung eines bestimmten Satzes von erwünschten Schichteigenschaften ist es erforderlich, daß sich die Plättchentemperaturen während des gesamten Behandlungszyklus auf reproduzierbare Weise regeln lassen. Gemäß der vorstehenden Beschreibung werden Maßnahmen angegeben, die es ermöglichen, ständig und auf reproduzierbare Weise einen bestimmten Satz von erwünschten Schichteigenschaften einschließlich der Überdeckung von Stufen dadurch zu erreichen, daß die Temperatur jedes Plättchens 15 während des gesamten Behandlungszyklus geregelt wird. Gemäß Fig. 1 handelt es sich bei der nächsten Station, der das Plättchen 15 zugeführt wird, um eine zweite Beschichtungsstation 138. In manchen Fällen müssen auf dem Plättchen 15 nacheinander zwei verschiedene Metalle niedergeschlagen werden. Das erste Metall wird an der ersten Beschichtungsstation 14 und das zweite Metall an der zweiten Beschichtungsstation 138 aufgebracht. Wird nur ein einziges Metall verwendet, wird die zweite Beschichtungsstation 138 nicht in Betrieb gesetzt. Alternativ kann man die Station 138 verwenden, um die Menge des aufgestäubten Material zu verdoppeln, so daß sich eine Verdoppelung der Lebensdauer der ringförmigen Sprühelektroden 112 ergibt. Es ist möglich, beide Beschichtungsstationen gleichzeitig zu betreiben, wobei z. B. jede Station jeweils mit der halben normalen Beschichtungsgeschwindigkeit arbeitet. Alternativ kann man natürlich auch nur eine Beschichtungsstation allein benutzen, z. B. bis das Ende der Lebensdauer des Targets erreicht ist, woraufhin die andere Beschichtungsstation in Betrieb genommen wird.Bei der nächsten Station, der das Plättchen 15 zugeführt wird, handelt es sich um die Kühlstation 130. Wenn die Temperatur des Plättchens 15 nicht zu hoch ist, wenn es zur Kühlstation 130 gelangt, kann die normale Abstrahlung von Wärme ausreichen, um die Temperatur des Plättchens 15 so weit herabzusetzen, daß das Plättchen am Ende der Abkühlung der Vakuumkammer 10 gefahrlos entnommen werden kann. Läßt sich eine ausreichende Abkühlung durch Wärmeabstrahlung allein nicht erreichen, kann man die Plättchenkühleinrichtung 118 nach Fig. 7 benutzen, wie es weiter oben bezüglich des Abkühlens von Plättchen an der Heizstation während der Hochfrequenz-Aufstäubung beschrieben ist. Auch in diesem Fall kann die Benutzung von Wärmeleitung bei der Kühlstation 130 einen wichtigen Beitrag dazu leisten, daß sich eine kurze Behandlungsdauer ergibt, wie es bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung erforderlich ist.Bei der letzten Station, zu der das Plättchen 15 gebracht wird, handelt es sich um die Beschickungsschleuse 12, der das fertige Plättchen entnommen wird, um mit Hilfe der Beschickungs- und Entnahmeeinrichtung 24 z. B. wieder dem gleichen Schlitz einer nicht dargestellten Kassette 70 zugeführt zu werden, dem das Plättchen 15 ursprünglich entnommen wurde. Dieser Vorgang ist weiter oben mit weiteren Einzelheiten beschrieben.Zu der bevorzugten Ausführungsform der Vorrichtung gehören mehrere Behandlungsstationen zum Beheizen (28), Beschichten (14), Kühlen (130) und dergleichen sowie eine Plättchentragplatte 18, mittels welcher die Plättchen 15 einzeln nacheinander den verschiedenen Stationen 28, 14, 138, 130 zugeführt werden. Der Grundgedanke, die Plättchen 15 jeweils einzeln zu behandeln und jedes Plättchen 15 ortsfest in einem kleinen Abstand von der Einrichtung 100 anzuordnen, bietet zahlreiche Vorteile.Für bestimmte Anwendungsfälle sieht die Erfindung eine alternative Ausführungsform vor, bei welcher das Plättchen 15 oder ein anderes Substrat während der Behandlung in fester Verbindung mit der Tür 12 der Beschickungsschleuse 12 bleibt, so daß auf die Verwendung einer Plättchentragplatte 18 verzichtet werden kann. Ein Schieberventil auf der einem hohen Vakuum ausgesetzten Seite der Schleuse stellt eine Verbindung zwischen dem Plättchen 15 und der Einrichtung 100 her. Zu einem typischen Arbeitszyklus können z. B. die folgenden Schritte gehören: Einbringen eines Plättchens, Erhitzen des Plättchens (oder alternativ Durchführung einer Hochfrequenzaufstäubung), Beschichten des Plättchens mittels einer Aufstäubungseinrichtung, Abkühlen des Plättchens und schließlich Entnahme des Plättchens. Hierbei könnte man auf vorteilhafte Weise von der Abfuhr von Wärme mit Hilfe von Gas Gebrauch machen, um die Erhitzung oder Abkühlung zu beschleunigen und die Plättchentemperatur während des Beschichtens zu regeln. Zwar fehlt dieser abgeänderten Ausführungsform zum Teil die Vielseitigkeit und die hohe Produktionsgeschwindigkeit, die sich bei der zuerst beschriebenen Ausführungsform erreichen lassen, doch bietet sie verschiedene vorteilhafte Merkmale, denn sie ist von einfacher Konstruktion, sie arbeitet zuverlässig, die Plättchen 15 brauchen innerhalb der evakuierten Kammer 10 nicht evakuiert zu werden, und in jedem Augenblick ist jeweils nur ein Plättchen 15 einer Gefährdung ausgesetzt, womit in dieser Beziehung ein Minimum erreicht ist.Bei der bevorzugten Ausführungsform der Vorrichtung wird das Plättchen 15 der Innenfläche der Kammertür 22 in senkrechter Lage gegenübergestellt, um vom Unterdruck- Spannfutter 60 erfaßt zu werden. Das Spannfutter 60 und die Klammerbetätigungseinrichtungen 62 sind in die Kammertür 22 eingebaut. Bei der Kammertür 22 handelt es sich um die äußere Tür der Beschickungsschleuse 12.In manchen Fällen kann es erwünscht sein, die Beschickungs- und Entnahmeeinrichtung 24 für die Plättchen 15 getrennt von der Einrichtung zum Abdichten des evakuierten Raums anzuordnen.Bei einer weiteren Ausführungsform wird daher die Beschickungs- und Entnahmeeinrichtung 24 nach dem Einbringen eines Plättchens 15 in die Tragplatte 18 zurückgezogen, woraufhin eine zusätzliche, mittels O-Ringen abgedichtete Tür in ihre Arbeitsstellung gebracht wird, um die Beschickungsschleuse 12 auf der Außenseite abzudichten.Bezugszeichenliste  4-6
  7
  8
  9
10 Vakuumbehandlungskammer
12 Beschickungsschleuse
13
14 Beschichtungsstation
15 flacher Gegenstand, Plättchen
16 Druckplatte
18 Plättchentragplatte
20 Klammerbaugruppe
22 Türbaugruppe, Kammertür
23 Eingangsöffnung, Kammereingang
24 Baugruppe, Beschickungs- und Entnahmeeinrichtung
25 Hilfsvakuumpumpen
26 Gehäuse, S. 26: Heizstation
28 Plättchenerhitzungsstation
29 Hilfsstation
30, 31 pneumatische Stößel
32 Kammervorderwand
35 Einrichtung, S. 26: Antrieb
36 Mittelachse
37 keisrunde Öffnung
38, 39 O-Ringe, S. 27: 38 = Öffnung der Tragplatte
41 Haltering
42 Plättchentragplatte
46, 47 Flansche
50 Klotz
53 federnde Klammer
55 Fingerabschnitt
56 flacher (Klammer)Abschnitt
57 Abschnitt
60 Unterdruck-Spannfutter
62 Klammerbetätigungseinrichtung
63 Gelenk
64 Innenfläche
66 Betätigungsstift
68 Plättchenhebeeinrichtung
69 Kassettenfördereinrichtung
70 Kassette
72, 73 Schiene
75 Kette
76
77 Kassettenwand
80 Schrittmotor
82 Führungsplatte
83 Schieber
84 Betätigungszylinder
85 Führungsschlitz
86 Führungsteil
87 gekrümmte Kante
90 Rollen
91 Führungsflächen
92 Plättchenheizeinrichtung
93 Unterstützung
94 Heizelement
96, 97 Rohrleitungen
98 Stützplatte
99 Rückwand
100 Aufstäubungseinrichtung
102 Verschluß
112 Targets
114 Rohrleitung
115 O-Ring
118 Plättchenkühleinrichtung
119 zylindrischer Bauteil, S. 43: Wärmeabführungsteil
120 Stützplatte
121 O-Ring
124
125 ebene Fläche
126 Rohrleitung
128, 129 Rohrleitungen, S. 62: Beschickungsstation
130 Plättchenkühlstation, Abkühlstation

Claims

1. Vorrichtung zum Behandeln von allgemein flachen Gegenständen in einer Vakuumkammer, wie Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ätzen, oder dergleichen, mit einer Positionierungseinrichtung und einer Transporteinrichtung, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Transporteinrichtung (18) vorgesehen ist, die die flachen Gegenstände (15) aufeinanderfolgend zu der Station (14, 28, 29, 130) für die Behandlung bringt und nach dieser von der Station entfernt und
daß die Transporteinrichtung (18) innerhalb eines die Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) umgebenden Vakuums angeordnet ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, insbesondere zur Behandlung der zwei sich gegenüberliegenden Flächen von Gegenständen in Form von Halbleiterplättchen (15), die senkrecht und feststehend während der Behandlung ausgerichtet sind, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Plättchenfördereinrichtung (35, 42) senkrecht ausgerichtet in der Kammer (10) vorgesehen ist, die um eine horizontale Achse (36) bewegbar ist,
daß die Fördereinrichtung (35, 42) wenigstens eine radial von der Achse (36) versetzte Öffnung (37) aufweist,
daß die Fördereinrichtung (35, 40) mit Halteeinrichtungen (20, 41) versehen ist, die federnd ein einzelnes Plättchen (15) fluchtend mit der Öffnung (37) halten, wobei eine Offenstellung zur Aufnahme des Plättchens (15) und eine Schließstellung zum Halten eines einzelnen Plättchens (15) dient und die Schließstellung das Plättchen (15) in der Weise hält, daß seine Flächen senkrecht ausgerichtet sind und nicht aus der senkrechten Lage seitlich herausfallen können,
daß die Halteeinrichtung (20, 41) für die Plättchen (15) auf der Fördereinrichtung (35, 42) außerhalb der Öffnungen (34) angebracht ist und sich vom Umfang der Öffnungen (37) nach innen erstrecken, um mit einem einzelnen Plättchen (15) an seinem Umfang in Berührung zu kommen, so daß dieses mit beiden Seiten der Öffnung ausgesetzt ist mit Ausnahme des geringen Umfangsflächenbereichs, der von den Haltern (20) bedeckt ist,
daß wenigstens zwei auf den gegenüberliegenden Seiten der Fördereinrichtung (35, 42) angeordnete Behandlungsstationen (14, 28, 29, 130) zur Behandlung der gegenüberliegenden Flächen des Plättchens (15) vorgesehen sind und
daß ein Drehantrieb (35) für die Fördereinrichtung (42), die erwähnte Öffnung (37) in Ausfluchtung mit der Kammereingangsöffnung (23) und der Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) bringt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Halter (20) an den Halteeinrichtungen (41) von der übrigen Förderanordnung elektrisch isoliert sind, um eine Kathodenaufstäubungsbehandlung der Plättchen (15) zu ermöglichen.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Halter mit federnden Einrichtungen (20) versehen sind, um die Halbleiterplättchen (15) federnd abzustützen.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß um die Öffnungen (37) eine fortlaufende, ringförmige Dichtungsfläche vorgesehen ist und
daß weiter Druckdichtungen in der Kammer (10) vorgesehen sind, die eine fortlaufende, ringförmige Dichtungsfläche aufweisen, die mit der ringförmigen Dichtungsfläche an der Fördereinrichtung (42) zusammenwirkt und
daß eine Einrichtung die Druckdichtung längs der Bahn parallel zu der waagerecht ausgerichteten Achse (36) bewegt, um mit der Fördereinrichtung (42) in Berührung zu kommen und die Dichtung herzustellen.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß außerhalb der Kammer (10) eine Spannvorrichtung (60) vorgesehen ist, um federnd die Plättchen (15) zu tragen, mit einer Einrichtung (62, 66), die die Spannvorrichtung bewegt, um ein Plättchen (15) durch die Eingangsöffnung (23) einzuführen und automatisch direkt für die Halteeinrichtung auf der Fördereinrichtung (42) freizugeben, wenn die Öffnung (37) an der Eingangsöffnung (23) zum Halten kommt.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Betätigungseinrichtung (66) die Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) berührt, um diese in die Offenstellung zu bringen und
daß die Betätigungseinrichtung (66) mit der Spanneinrichtung (60) verbunden ist, um sich mit dieser zu bewegen.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung vorgesehen ist, um die Betätigungseinrichtung (66) relativ zur Spanneinrichtung (60) zu bewegen.

9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung für eine Relativbewegung zwischen einer Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) und einer Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) in einer horizontalen Richtung vorgesehen ist, wenn die Halteeinrichtung (20, 41) mit einer Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) ausgefluchtet ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Plättchenerhitzungsstation (28) eine Temperatursteuerfläche (92, 94) aufweist, die dem Plättchenförderer (35, 41) zugekehrt ist, und
daß eine Einrichtung zur Steuerung der Temperatur dieser Steuerfläche (94) vorgesehen ist, wobei die Relativbewegung zwischen der Plättchenerhitzungsstation (28) und der Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) so ist, daß die Temperatursteuerfläche nahe der Fläche des Plättchens (15) gebracht wird, wenn dieses die Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) hält, und
daß durch eine Einrichtung (114) Gas zwischen die Steuerfläche (94) und Fläche des Plättchens (15), die nahe beieinander angeordnet sind, von einer Quelle außerhalb der Kammer eingeführt wird.

11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß innerhalb einer Vakuumbehandlungskammer (10) eine Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) vorgesehen ist, die das Plättchen (15) während des Behandlungsvorgangs in Ruhe hält, um eine Fläche einer Behandlung auszusetzen,
daß abgesetzt von der Eingangsöffnung (37) eine Behandlungs station für die Plättchen (15) vorgesehen ist, die eine Fläche hat, die mit einer Plättchenfläche in Berührung kommen kann,
daß eine Fördereinrichtung (35, 42) die Plättchenhalteein richtung (20, 41) längs einer ersten Bahn bewegt, um die in Ausfluchtung mit einer oder der anderen der Eingangsöffnungen (23) zu bringen, wobei die Bewegungseinrichtung die Bewegung längs der ersten Bahn stoppt, wenn sich die Plättchenhalteein richtung (20, 41) in einer der Ausfluchtungsstellungen befindet, und daß eine Stelleinrichtung (16) für eine Relativbewegung zwischen der Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) und der Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) in einer Richtung quer zur ersten Bahn, vorgesehen ist, wenn die Halteeinrichtung (20, 41) mit der Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) ausgefluchtet ist, so daß eine Fläche des Plättchens (15) in Kontakt mit der Fläche der Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) tritt.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß die Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) ein Teil der Fördereinrichtung (42) ist, der drehbar in der Kammer (10) angeordnet ist,
daß die Einrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) und Halteeinrichtung (20, 41) in Querrichtung die Fördereinrichtung (42) zu der Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) bewegt.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) Einrichtungen aufweist, die in Kontakt mit dem Plättchen (15) an seinem Umfang kommen und von denen sich federnde Träger (20) erstrecken und mit der Fördereinrichtung (35, 42) verbunden sind, so daß die Plättchen (15) federnd in Berührung mit der Behandlungsstation treten.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet,
daß Steuereinrichtungen für die Temperatur der Plättchen (15) vorgesehen sind,
daß die Steuereinrichtungen eine im wesentlichen runde Wärmeübertragungsfläche (94) aufweisen, wobei die Relativbewegung in Querrichtung so erfolgt, daß eine Fläche des Plättchens (15) nahe der Wärmeübertragungsfläche (94) zu liegen kommt, und
daß die Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) mit einem Durchgang versehen ist, um Gas zwischen die benachbart angeordneten Flächen, die Plättchenfläche (15) und die Wärmeübertragungsfläche (94) einzuführen und daß eine Steuereinrichtung für die Temperatur der Wärmeübertragungsfläche (94) vorgesehen ist.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Fördereinrichtung (35, 42) bewegbar in der Kammer (10) angeordnet ist,
daß eine erste Seite der Eingangswand zugekehrt ist und die gegenüberliegende Seite dieser abgekehrt ist,
daß die Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) auf der Fördereinrichtung (35, 42) am Umfang einer Öffnung (37) in der Fördereinrichtung (35, 42) angeordnet ist, um die Plättchen (15) ausgefluchtet mit der Öffnung (37) zu halten, so daß beide Flächen des Plättchens (15) einer Behandlung ausgesetzt sind.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Abdichtung in Form einer ersten umlaufenden Ringdichtung (41), die die Öffnung (37) umgibt, vorgesehen ist,
daß die erste Dichtung in einen Dichtkontakt mit einer Druckdichtung kommt, die eine zweite fortlaufende Ringfläche aufweist und mit der ersten Dichtungsfläche zusammenwirkt,
daß eine Einrichtung (60) vorgesehen ist, die eine Relativbewegung zwischen den Dichtungsflächen zur Bildung einer Abdichtung ausführt, und
daß die Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) Federn (20) umfaßt, die innerhalb der ersten Ringdichtung (41) vorgesehen ist.

17. Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet,
daß Einrichtungen zur Steuerung der Temperatur eines Plättchens (15) vorgesehen sind,
daß die Steuereinrichtungen angeordnet sind, um der ersten Seite der Fördereinrichtung (35, 42) ausgesetzt zu sein, und
daß eine zweite Behandlungsstation vorgesehen ist, die der gegenüberliegenden Seite der Fördereinrichtung (35, 42) ausgesetzt ist.

18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite Behandlungsstation zu der ersten ausgefluchtet ist,
daß die zweite Behandlungsstation aus einer Beschichtungsstation besteht, die eine Antikathode für eine Aufstäubungsbeschichtung (100) eines Plättchens (15) aufweist, und
daß Temperatursteuereinrichtung und Aufstäubungsbeschichtungseinrichtung (100) so angeordnet sind, daß, wenn die eine Fläche des Plättchens (15) an der Halteeinrichtung in Berührung mit der Temperatursteuereinrichtung ist, die andere Fläche des Plättchens (15) sich von der Beschichtungskathode in Abstand befindet.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch gekennzeichnet,
daß sich die Fördereinrichtung (35, 42) um eine horizontale Achse (36) dreht,
daß die Öffnung (37) radial von der Achse (36) abgesetzt ist und
daß die Einrichtung (35) zur Bewegung der Halteeinrichtung längs der ersten Bahn die Einrichtung zum Drehen der Fördereinrichtung (35, 42) um seine Achse (36) umfaßt.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 19, dadurch gekennzeichnet,
daß außerhalb der Kammer (10) eine bewegbare Spanneinrichtung (60) für ein federndes Halten eines einzelnen Plättchens (15) vorgesehen ist und
daß eine Einrichtung die Spanneinrichtung (60) bewegt, um die Plättchen durch die Eingangsöffnung (23) einzuführen und automatisch direkt der Halteeinrichtung (20, 41) auf der Fördereinrichtung (35, 42) zu übergeben, wenn sich diese in Fluchtung mit der Eingangsöffnung (23) befindet.

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtung (20, 41) auf der Fördereinrichtung (35, 42) eine Einrichtung für eine Bewegung zwischen einer Offenstellung zur Aufnahme eines Plättchens (15) und einer Schließstellung zum Halten des Plättchens umfaßt.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Spanneinrichtung durch Berührung eine Bewegung zwischen der Aufnahme- und Haltestellung bewirkt.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Fördereinrichtung (35, 42) sich intermittierend um ihre horizontale Achse (36) dreht, um die Plättchen (15) mit der Eingangsöffnung (23) und der Behandlungsstation (14, 28, 29, 130) in Fluchtung zu bringen.

24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die automatische Betätigungseinrichtung für die Plättchen (15) auf der Spanneinrichtung (60) für eine Bewegung mit dieser montiert sind und daß eine Einrichtung für eine Relativbewegung zwischen der Spanneinrichtung (60) und der Betätigungseinrichtung (62) vorgesehen ist.

25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß zur Außenabdichtung der Eingangsöffnung (23) eine bewegbare Tür (22) vorgesehen ist und daß die Spanneinrichtung (60) auf der bewegbaren Tür (22) für eine Bewegung mit dieser vorgesehen ist.

26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Spanneinrichtung (60) und die Tür (22) voneinander getrennt sind, so daß die Spanneinrichtung (60) von der Eingangsöffnung (23) zurückgezogen werden kann, nachdem ein Plättchen (15) durch die Eingangsöffnung (23) eingeführt wurde und die Tür unabhängig zur Abdichtung schließbar ist.

27. Vorrichtung nach Anspruch 1 zur einzelnen Behandlung von Plättchen, deren gegenüberliegende Seiten im wesentlichen während der Behandlung senkrecht ausgerichtet sind, dadurch gekennzeichnet,
daß die Behandlungskammer (10) zwei im Abstand voneinander angeordnete, sich gegenüberliegende Wände (32) aufweist, die etwa parallel und senkrecht ausgerichtet sind, wobei die eine Wand (32) eine Eingangsöffnung (23) für ein Plättchen (15) aufweist,
daß ein Plättchenmitnehmer (42) zwischen den Wänden (32) angeordnet ist, der sich um eine senkrechte Achse dreht und mit einer ersten Seite auf die Eingangswand (32) weist und mit einer zweiten, davon wegweisenden Seite, wobei der Mitnehmer (42) mit einer Vielzahl von über den Umfang im Abstand voneinander angeordneten Öffnungen (37) versehen ist und durch eine Drehung jede in Fluchtung mit der Eingangsöffnung (32) bringbar ist,
daß an der Mitnehmereinrichtung (42) an dem Umfang einer jeden Öffnung (37) Halter (20) angebracht sind, um das einzelne Plättchen (15) in einer senkrecht ausgefluchteten Stelle in bezug auf eine der Öffnungen (32) festzuhalten, so daß die beiden gegenüberliegenden Seiten des Plättchens (15) vollständig der Behandlung ausgesetzt sind,
daß eine Vielzahl von Behandlungsstationen (4, 28, 29, 130) längs der Kreisbahn der Öffnungen zum Behandeln der Plättchen (15) vorgesehen ist, wobei eine zur Steuerung der Temperatur des Plättchens (15) dient, eine zweite für die Behandlung einer Fläche des Plättchens (15) und die erste Behandlungsstation an der ersten Seite des Mitnehmers (42) angeordnet ist, während die zweite Behandlungsstation an der zweiten Seite des Mitnehmers (42) vorgesehen ist, und
daß ein Antrieb (35) den Plättchenmitnehmer (42) intermittierend dreht zu einer Stellung, in der sich eine Öffnung (37) wahlweise an der Eingangsöffnung oder an der Behandlungsstation befindet.

28. Vorrichtung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß eine bewegbare Einspanneinrichtung (20) zum lösbaren Halten eines Plättchens (15) vorgesehen ist mit einer ersten Stellung außerhalb der Kammer (10) und einer Einrichtung (60) zum Bewegen der Einspanneinrichtung (20) von der ersten Stellung, um ein Plättchen (15) durch die Eingangsöffnung (23) zum Fördereinrichtung (42) zuzuführen, wenn eine Mitnehmeröffnung (37) an der Eingangsöffnung (23) angeordnet ist, wobei die Einspanneinrichtung (20) geeignet ist, das Plättchen (15) durch Berührung mit nur einer seiner Fläche zu halten.

29. Vorrichtung nach Anspruch 27 oder 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtungen (20) einen Kontaktteil umfassen für die direkte Berührung eines einzelnen Plättchens (15) an seinem Umfang in einer Weise, die verhindert, daß das Plättchen (15) von der einen oder der anderen Seite fällt und die Halteteile (20) keine der Plättchenflächen beschatten.

30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 27 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Behandlungsstation miteinander ausgefluchtet sind.

31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 27 bis 30, dadurch gekennzeichnet,
daß die Behandlungsstation eine Wärmeübertragungsfläche (94) umfaßt und
daß weiter eine Einrichtung (60) vorgesehen ist, die eine Relativbewegung zwischen der ersten Behandlungsstation und der Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) bewirkt, wobei die eine Seite eines Plättchens (15) an der Wärmeübertragungsfläche (94) zu liegen kommt.

32. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß in der Behandlungskammer (10) eine Mitnehmereinrichtung (20, 42) vorgesehen ist, welche die Plättchen (15) nachgiebig am Umfang hält und eine federnde Bewegung erlaubt,
daß die Mitnehmereinrichtung Abdichtungen (41) in Form einer ersten, fortlaufenden, ringförmigen Dichtungsfläche aufweist,
daß eine Druckdichtungseinrichtung vorgesehen ist, die eine zweite fortlaufende Ringfläche besitzt, die mit der ersten zur Auflage kommen kann,
daß die Halteeinrichtung (20) auf der Mitnehmereinrichtung (42) innerhalb der ersten ringförmigen Dichtung (41) angeordnet ist, wobei ein Plättchen (15) eine federnde Bewegung in bezug auf die erste ringförmige Dichtung (41) ausführen kann,
daß Behandlungsstationen (14, 28, 29, 130) im Abstand von der Eingangsöffnung (23) vorgesehen sind,
daß eine Antriebseinrichtung (35) für eine Bewegung der Mitnehmereinrichtung (42) die Halteeinrichtung (20) längs einer ersten Bahn bewegt, um diese selektiv in Ausfluchtung mit der einen oder der anderen Öffnungen (37) und den Behandlungsstationen (14, 28, 29, 130) zu bringen, wobei eine Stoppeinrichtung die Bewegung längs der ersten Bahn anhält, wenn die Halteeinrichtung (20) sich in Fluchtung entweder mit der Eingangsöffnung (23) oder der Bearbeitungsstation befindet, und
daß eine Einrichtung vorgesehen ist, um eine Relativbewegung zwischen der ersten und der zweiten Ringdichtungsfläche in Richtung quer zur ersten Bahn der Mitnehmereinrichtung (42) durchzuführen, wenn deren Bewegung aufhört.

33. Vorrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Dichtungseinrichtung in Fluchtung mit der Eingangsöffnung (23) befindet.

34. Vorrichtung nach Anspruch 32 oder 33, dadurch gekennzeichnet,
daß die Halteeinrichtungen (20, 41) eine Bewegung zwischen einer offenen Stellung zur Aufnahme der Plättchen (15) und einer geschlossenen Stellung durchführen,
daß bewegbare Spanneinrichtungen (60) außerhalb der Kammer (10) nachgiebig die Plättchen (15) tragen und
daß eine Einrichtung die Spanneinrichtung bewegt, um die Plättchen durch die Eingangsöffnung (23) einzuführen und automatisch der Halteeinrichtung (20, 41) auf der Mitnehmereinrichtung (42) zu übergeben, wenn sich deren Öffnung (37) in Fluchtung mit der Eingangsöffnung (37) befindet.

35. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet,
daß Betätigungseinrichtungen (62) vorgesehen sind, die mit den bewegbaren Halteeinrichtungen (20) in Berührung kommen und diese bewegen und
daß die Betätigungseinrichtungen (62) mit der Spanneinrichtung (60) für eine Bewegung mit dieser verbunden sind.

36. Vorrichtung nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungseinrichtung (62) relativ zur Spanneinrichtung (60) bewegbar ist.

37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 36, dadurch gekennzeichnet,
daß außerhalb der Kammer (10) Kassetten (70) vorgesehen sind, um eine Vielzahl von Plättchen (15), senkrecht ausgerichtet und waagerecht im Abstand voneinander, aufzunehmen,
daß eine Plättchenhebeeinrichtung zur senkrechten Bewegung vorgesehen ist, wobei die Plättchen senkrecht ausgerichtet bleiben,
daß eine Einrichtung (69) die Hebeeinrichtung (68) in die Kassette (70) bewegt, um ein Plättchen (15) zu ergreifen und nach oben über die Kassette (70) in eine Zuführeinrichtung zu bewegen, in der das Plättchen (15) auf der Hebeeinrichtung (68) von der Kassette (70) angehoben ist, und
daß eine Einrichtung die Plättchen (15) von der Zuführstellung durch die Eingangsöffnung (23) bewegt.

38. Vorrichtung nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet,
daß neben der außenliegenden Kassette (70) die Vakuumbehandlungskammer (10) geeignet ist, eine Vielzahl von Plättchen (15) aufzunehmen,
daß eine Fördereinrichtung (35, 42) ausgewählte Plättchen (15) von der Kassette (70) entnimmt und in einer Zwischenstellung außerhalb der Vakuumbehandlungskammer (10) anordnet,
daß Spanneinrichtungen (60) die Plättchen (15) von dieser Zwischenstellung aufnehmen und sie gegenüber der Schwerkraft lösbar tragen,
daß innerhalb der Vakuumbehandlungskammer (10) ein drehbar angeordneter Plättchenmitnehmer (42) vorgesehen ist, der gegenüber der Schwerkraft die Plättchen (15) lösbar in einer senkrecht ausgerichteten Stellung radial versetzt von dessen Achse (36) hält,
daß die Behandlungsstationen (14, 28, 130, 138) im Abstand von der Eingangsöffnung (23) vorgesehen sind, um das Plättchen (15) auf dem Mitnehmer (42) einer Behandlung zu unterziehen,
daß eine Antriebseinrichtung (35) intermittierend den Plättchenmitnehmer (42) dreht, um die Halteeinrichtung (20) wahlweise in Ausfluchtung mit dem Eingang (37) und der Behandlungsstation (14, 28, 130, 138) zu bringen, und
daß bewegbare Spanneinrichtungen (60) vorgesehen sind, die die Plättchen (15) erfassen und durch die Öffnung (37) automatisch zuführen direkt von den Halteeinrichtungen (20), wenn sich diese in Fluchtung mit den Öffnungen (37) befinden.

39. Vorrichtung nach Anspruch 37 oder 38, dadurch gekennzeichnet,
daß eine ringförmige Dichtungsfläche (41) die Plättchenhalteeinrichtung (20, 41) umgibt und
daß eine Druckdichtungseinrichtung eine komplementäre Ringdichtung zur Abdichtung dagegendrückt.

40. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 37 bis 39, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtungen zwischen einer offenen Stellung zur Aufnahme der Plättchen (15) und einer Schließstellung, in der sie die Plättchen (15) festhalten, bewegbar sind.

41. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 37 bis 40, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Einrichtung (62) die Plättchenhalteeinrichtungen (20, 41) automatisch in die Offenstellung bringt,
daß die Betätigungseinrichtung (62) auf der Spanneinrichtung (60) für eine Bewegung mit dieser montiert ist.

42. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 37 bis 41, dadurch gekennzeichnet,
daß eine bewegbare Kammertür (22) zur Abdichtung der Außenseite der Eingangsöffnung (23) vorgesehen ist und daß die Kammertür von der Spanneinrichtung (60) getrennt ist,
so daß diese nach Einsetzen des Plättchens (15) von der Eingangsöffnung (23) zurückgezogen werden kann und die Kammertür (22) getrennt zur Abdichtung schließbar ist.

43. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 37 bis 42, dadurch gekennzeichnet,
daß die Behandlungsstation (14) eine Steuereinrichtung für die Temperatur des Plättchens (15) umfaßt, wobei eine Fläche des Heizelements (94) mit dem Plättchen (15) in Berührung kommt und
daß eine Einrichtung eine Relativbewegung zwischen der Halteeinrichtung (20, 41) und dem Heizelement (94) ermöglicht, um die Halteeinrichtung (20, 41) mit einem Plättchen (15) in Berührung mit dem Heizelement (94) zu bringen.

44. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 37 bis 43, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck des Gases, das zwischen dem Heizelement (94) und die Seitenfläche des Plättchens (15) eingeführt ist, wesentlich geringer als atmosphärischer Druck ist.

45. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 37 bis 44, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Halteeinrichtung (20, 41) an der Öffnung der Plättchenmitnehmereinrichtung (42) angeordnet ist und
daß die Vakuumbehandlungskammer (10) eine Beschickungsschleuse (12) aufweist, um die Öffnung (23) von dem Inneren der Vakuumkammer (10) abzudichten, wenn die Spanneinrichtung (60) ein Plättchen (15) durch die Eingangsöffnung (23) einführt.