JPH10209240A - 昇降台付方向転換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】部品搭載用搬送ケース等を移載するための方向
転換時におけ、回転テーブルのバックラッシュを防止す
る昇降台付方向転換装置に関する。 【解決手段】搬送ケース４を載置する回転テーブル５
と、回転テーブル５と対向して設けられたモータベース
７と、モータベース７に設けられたモータ６と、回転テ
ーブル５等を昇降させるエアシリンダー１０と、回転テ
ーブル５を所定角度の回転位置で停止させるためにモー
タ６の駆動停止を制御するようにモータベース７と回転
テーブルとに設けられた複数個のセンサー１４と１個以
上のドグ１６とを備えた本装置１において、モータベー
ス７にプランジャー取付板２２を介して設けられたプラ
ンジャー２３と、回転テーブルが所定角度回転したと
き、プランジャー２３と係合するように回転テーブルに
設けられたプランジャー用ドグ２４とを備えたものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は部品搭載用のカセッ
ト等の搬送ケースを搬送する場合における、搬送ケース
の方向を転換する昇降台付方向転換装置に関し、特に方
向転換の際のバックラッシュを防止する構造に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置の搬送機構間において、
半導体ウエハなどを搬送するカセット或いはキャリア等
の搬送ケースの受け渡しを行う際、搬送ケースを昇降さ
せると共に各搬送機構間で搬送ケースの向き（水平面で
の方向）を変えるための、昇降機能と回転機能とを備え
た移載機構である昇降台付方向転換装置（通称「リフタ
ー」という）が設置される。図５及び図６は、従来の昇
降台付方向転換装置１及び搬送機構２，３の一部と搬送
ケース４を仮想線（２点鎖線）で示すもので、図５
（ａ）は昇降台付方向転換装置１（以下本装置１とい
う）が待機状態である下降位置にあって方向転換前の側
面図、図５（ｂ）はその上面図である。図６（ａ）は本
装置１が動作状態である上昇位置にあって、搬送ケース
４を載置した状態での方向転換後の側面図、図６（ｂ）
はその上面図である。

【０００３】図５及び図６において、５は回転テーブ
ル、６はモータでモータベース７に固定され、モータ軸
８が中間プレート９を介して回転テーブル５に結合され
ている。１０はエアシリンダーで、そのピストン１１に
支持ベース１２が固定され、支持ベース１２に植立され
ている４本の各支持棒１３を介してモータベース７に昇
降作用を与えるようになっている。１４ａ，１４ｂは発
光素子と受光素子からなるセンサーでその両素子はスリ
ット１５ａ又は１５ｂを挟んで対向している。１６は回
転テーブル５に設けられたドグで、回転テーブル５が所
定角度、例えば図示のように１８０°回転したとき、ド
グ１６がセンサー１４ａ又は１４ｂのスリット１５ａ又
は１５ｂに係合する位置となるように設け、当該角度を
検知しモータ６の停止制御を行うようになっている。１
７は回転テーブル５の搬送ケース４載置面に設けられた
搬送ケース位置決めガイドである。なお、１８は本装置
１を図示してない所要の架台等に取り付けるための取付
部である。

【０００４】次に動作を説明する。図５は、本装置１に
隣接するフォーク型の搬送機構２の送出し動作（矢印
ａ）により、搬送ケース４の両側に設けられた鍔部４１
を下方から支持して運ばれてきた搬送ケース４を、本装
置１上の所定位置に到達したとき、例えばて図示してな
いマイクロスイッチ或いは光学的センサーの検知作用に
より搬送機構２が停止された状態である。なお、この方
向転換前の状態では、モータベース７のモータ軸８を挟
んで対向する同心円上の位置、即ち１８０°間隔で設置
された２つのセンサー１４ａ，１４ｂの内の、一方のセ
ンサー１４ａのスリット１５ａに回転テーブル５の下面
に取付けられたドグ１６が係合している。

【０００５】図６は、図５に示した状態から本装置１が
上昇動作して、回転テーブル５を１８０°回転させた後
の状態を示すものである。即ち、本装置１の上下駆動の
エアシリンダー１０が動作し、モータベース７と共に回
転テーブル５を上昇動作（矢印ｂ）をさせ、その過程で
搬送機構２に載置された搬送ケース４を回転テーブル５
上に移載させる。この移載後、搬送機構２は戻り動作
（矢印ｃ）し、この戻り動作を検知することにより、回
転テーブル５上に搬送ケース４を載置した状態でモータ
６を動作させて、回転テーブル５を回転させ、隣接する
別の搬送機構３の取出し動作（矢印ｄ）に対し、搬送ケ
ース４の向き（方向）が適切に対応できる水平面の角
度、例えば１８０°方向転換するよう回転テーブル５を
１８０°の回転動作（矢印ｅ）をさせる。

【０００６】モータ６が回転して回転テーブル５が１８
０°回転すると、回転テーブル５に設けられているドグ
１６がセンサー１４ｂのスリット１５ｂに係合し発光素
子の光が遮断され、受光素子が不動作状態となりモータ
６の動作を停止させる。この後、搬送機構３の取出し動
作（矢印ｄ）により搬送機構２と同様に、搬送ケース４
の鍔部４１の下側に搬送部が移動してきて、この移動動
作を検知してエアシリンダー１０が復旧動作を行い、回
転テーブル５が下降動作（矢印ｆ）することにより、搬
送ケース４は搬送機構３に移載されることになる。この
ように本装置１は、搬送機構２から搬送機構３に搬送ケ
ース４を方向転換させて授受させる移送機能を有するも
のである。なお、搬送ケース４を搬送機構３に移載させ
た後、回転テーブル５を当初の位置（図５に示す位置）
に戻してもよいし、回転後の位置に置いて、この位置か
ら次の動作をスターとさせるようにしてもよい。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本装置
１が回転テーブル５を、例えば１８０°回転させてスリ
ット１５にドグ１６が係合してセンサー１４が停止位置
を検知したとき、モータ６の動作を停止させるのである
が、停止時の反発力により回転テーブル５はモータ６が
固有に持つバックラッシュにより、回転動作（矢印ｅ）
の方向とは逆方向への反転動作（矢印ｇ）を行い、モー
タ６のバックラッシュの角度分戻り動作を行う現象を生
じていた。また、ドグ１６がセンサー１４ｂに作用し
て、図示してないモータ停止入力信号がシーケンサーに
取り込まれ、モータ停止出力信号として出力され、モー
タ６が停止するまでのスキャンタイムを起因とするモー
タ６の停止遅れが発生していた。このため停止信号の遅
れにより、モータ６は正規の回転停止位置より先に進ん
だ位置で停止しようとする動作特性を有していた。

【０００８】このように、従来の昇降台付方向転換装置
１においては、モータ６のバックラッシュに起因する回
転テーブル５の戻り動作（矢印ｇ）の発生と、シーケン
サーのスキャンタイムを起因とするモータ６の停止遅れ
の発生により、回転テーブル５の停止位置精度が得られ
ないという問題があった。また、モータ６にステッピン
グモータ或いはＡＣ，ＤＣサーボモータを使用すること
も考えられるが、これらのモータは高価であるという点
で問題があった。本発明は、前述した従来装置において
生じていた問題を解決するために成されたもので、所定
の位置に時間遅れを生じることなく正確に停止し得るよ
うにしたものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明による昇降台付方
向転換装置は、搬送ケースを載置する回転テーブルと、
該回転テーブルと対向して設けられたモータベースと、
該モータベースに前記回転テーブルを回転させるよう設
けられたモータと、前記モータベース及び回転テーブル
を昇降させるシリンダーと、前記回転テーブルを所定角
度の回転位置で停止させるために前記モータの駆動停止
を制御するように、前記モータベースと前記回転テーブ
ルとにそれぞ設けられた複数個のセンサーと１個以上の
ドグとを備えた昇降台付方向転換装置において、前記モ
ータベースに固定されたプランジャー取付板と、該プラ
ンジャー取付板に設けられたプランジャーと、前記セン
サーとドグにより前記回転テーブルが前記所定角度回転
したとき、前記プランジャーと係合するように前記回転
テーブルに設けられたプランジャー用ドグとを備えたこ
とを特徴とするものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明による昇降台付方向転換装
置２１（以下本装置２１という）を図１，図２及び図３
に示した一実施例にもとづいて説明する。図１（ａ）は
エアシリンダー１０の動作により回転テーブル５が上方
位置に上昇されると共に、モータ駆動により所定の回転
位置に停止され、回転テーブル上に搬送ケース４が載置
され得る状態の側面図で、構造が繁雑になるため一部の
構造が省略されている。図１（ｂ）はその上面図、図１
（ｃ）は回転テーブル５を除去した状態の上面図であ
る。図２は図１（ａ）の矢視Ｙ方向から見た側面図で、
構造が繁雑になるため一部の構造が省略されている。

【００１１】図３は本発明に係る後述する部品のプラン
ジャー用ドグと、プランジャーの構造図で、図３（ａ）
はプランジャー用ドグの上面図、図３（ｂ）はプランジ
ャー用ドグの図３（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図である。図
３（ｃ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図として示した
プランジャー用ドグに、縦断面図として示したボールプ
ランジャーが係合している状態を示すもので、その下方
に示すナットはボールプランジャーの外周面のねじ部に
螺合するものである。なお、図５及び図６に示した従来
例と同一部分は同一記号で示し、その説明を省略する。

【００１２】図１，図２及び図３において、２２はボー
ルプランジャー取付板で、モータベース７に固定されて
いる。２３はボールプランジャー取付板２２に設けられ
ているボールプランジャーで、図３（ｃ）に示すように
有底の円筒本体２３１にコイルバネ２３２を内蔵し、そ
の上部先端にボール２３３が回動自在に挟持されてい
る。そして、円筒本体２３１の周囲にはねじ部２３４が
設けられており、ボールプランジャー取付板２２に設け
られているねじ孔に螺合させると共に、ナット２６によ
り高さ位置を調整して固定されるものである。２４ａ，
２４ｂは回転テーブル５の下面の中間プレート９に固定
されているプランジャー用ドグで、図３（ａ）（ｂ）に
示すようにその先端部には細長いＶ溝２５が設けられて
いる。このプランジャー用ドグ２４ａ，２４ｂは、ドグ
１６がセンサー１４ａ又は１４ｂのスリット１５ａ又は
１５ｂのいずれか一方に係合している状態において、ボ
ールプランジャー２３にＶ溝２５が係合する位置関係と
なるよう設けられている。

【００１３】次に本装置２１の動作を説明する。本装置
２１の上下駆動のエアシリンダー１０が動作し、モータ
ベース７と共に回転テーブル５を上昇動作（矢印ｂ）を
させ、その過程で図示してない搬送機構２に載置された
搬送ケース４を回転テーブル５上に移載させる。次にこ
の上昇動作後にモータ６を駆動して回転テーブル５を１
８０°回転させ、回転テーブル５に設けてあるドグ１６
がセンサー１４ａの係合位置から、センサー１４ｂの係
合位置に回転し、そのスリット１５ｂに入りセンサー１
４ｂを遮断すると、これと同時に回転テーブル５に設け
られている図３に示すプランジャー用ドグ２４ａ，２４
ｂのＶ溝２５が、モータベース７設けられているボール
プランジャー取付板２２のボールプランジャー２３の先
端部に係合する。なお、プランジャー用ドグ２４ａ，２
４ｂのＶ溝２５は、ボールプランジャー２３の取付精度
を緩和させるために長穴状に形成されている。

【００１４】従って、センサー１４ｂの遮断によるモー
タ停止信号により、モータ８の回転は停止され、このと
き回転テーブル５はバックラッシュ動作を行おうとする
が、プランジャー用ドグ２４ａ又は２４ｂのＶ溝２５が
ボールプランジャー２３の先端部に係合しているため、
バックラッシュ動作は抑制され直ちに所定位置で停止さ
れる。なお、プランジャー用ドグ２４ａ，２４ｂのＶ溝
２５とボールプランジャー２３のボール２３３との係合
力の調整は、モータ８が駆動された場合の回転力により
両者の係合が容易に外れるように調整される。また、こ
の実施例では、プランジャーをボールプランジャーとし
て説明したが、ピンプランジャーなどを用いても同様な
作用を奏するものであり、ボールプランジャーに限定さ
れるものではない。このように本発明は回転テーブル５
の所定角度回転後の停止時にバックラッシュを生じさせ
ないようにしているため、精度よくかつ速やかに停止動
作をさせることが可能となる。

【００１５】

【実施例】また、本発明の他の実施例として図４に上面
図（図４（ａ））と、回転テーブル５を除去した上面図
（図４（ｂ））を示してある。この実施例は、モータベ
ース７に、４個のセンサー１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１
４ｄを設けると共に、２つのボールプランジャー取付板
２２ａ，２２ｂを固定し、その各両端にボールプランジ
ャー２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄを設けてある。そ
して、４個のセンサー１４ａ〜１４ｄとボールプランジ
ャー２３ａ〜２３ｄは、各グループ毎にモータ軸８を中
心とした同心円上に９０°間隔に配置されている。ま
た、いずれかのセンサー１４のスリット１５にドグ１６
が係合したとき、いずれかのボールプランジャー２３に
プランジャー用ドグ２４のＶ溝２５が係合するようにな
っている。従って、回転テーブル５の回転角度を９０°
単位で制御することができるもので、搬送ケース４の移
載授受における方向転換の様々な要求に対応することが
できる。また、搬送機構２と搬送機構３との配置を、図
５及び図６で示した直線方向での搬送ケース４の移載授
受を、直角方向での移載授受にすることも可能である。

【００１６】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明は、モ
ータベースにプランジャーを取付けたプランジャー取付
板を固定し、回転テーブル下部に固定した中間プレート
にプランジャー用ドグを取付け、プランジャーとプラン
ジャー用ドグとの停止機構により、従来装置で生じてい
た回転テーブルのバックラッシュ動作及びシーケンサー
のスキャンタイムに起因するモータ停止出力信号の遅れ
によるモータの停止動作の遅れを防止することができ、
回転テーブルの停止位置の精度を向上させることができ
る。また、本発明は、従来装置に一部の部品追加や変更
により行い得るもので、ステッピングモータやＡＣ，Ｄ
Ｃサーボモータのような高価なモータを使用するもので
はないため、製作コストの上昇を押さえることができ
る。また、回転テーブルの停止位置精度を高めることが
できるため、本装置の前後に設けられた搬送装置との移
載時における搬送ケースの位置ずれによる揺動や振動な
どが緩和され、搬送部品の歩留まりを向上させ得るなど
の効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の昇降台付方向転換装置の一実施例を示
す一部構造を省略した側面図及び上面図である。

【図２】図１（ａ）に示した本発明の昇降台付方向転換
装置の上面図の矢視Ｙ方向から見た側面図である。

【図３】本発明装置に使用される一部構成部品の説明図
である。

【図４】本発明の昇降台付方向転換装置の他の実施例を
示す一部構造を省略した上面図である。

【図５】従来の昇降台付方向転換装置の一例の待機状態
の上面図及び側面図である。

【図６】従来の昇降台付方向転換装置の一例の動作状態
の上面図及び側面図である。

【符号の説明】

１，２１ 昇降台付方向転換装置 ２，３ 搬送装置 ４ 搬送ケース ５ 回転テーブル ６ モータ ７ モータベース ８ モータ軸 ９ 中間プレート １０ エアシリンダー １１ ピストン １２ 支持ベース １３ 支持棒 １４ センサー １５ センサーのスリット １６ ドグ １７ 搬送ケース位置決めガイド １８ 取付部 ２２ ボールプランジャー取付板 ２３ ボールプランジャー ２４ プランジャー用ドグ ２５ プランジャー用ドグのＶ溝 ２６ ナット

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送ケースを載置する回転テーブルと、 該回転テーブルと対向して設けられたモータベースと、 該モータベースに前記回転テーブルを回転させるよう設
   けられたモータと、 前記モータベース及び回転テーブルを昇降させるシリン
   ダーと、 前記回転テーブルを所定角度の回転位置で停止させるた
   めに前記モータの駆動停止を制御するように、前記モー
   タベースと前記回転テーブルとにそれぞれ設けられた複
   数個のセンサーと１個以上のドグとを備えた昇降台付方
   向転換装置において、 前記モータベースに固定されたプランジャー取付板と、 該プランジャー取付板に設けられたプランジャーと、 前記センサーとドグとにより前記回転テーブルが前記所
   定角度回転したとき、前記プランジャーと係合するよう
   に前記回転テーブルに設けられたプランジャー用ドグ
   と、 を備えたことを特徴とする昇降台付方向転換装置。