JPH08241851A - 基板回転装置 - Google Patents

基板回転装置

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JPH08241851A
JPH08241851A JP6668595A JP6668595A JPH08241851A JP H08241851 A JPH08241851 A JP H08241851A JP 6668595 A JP6668595 A JP 6668595A JP 6668595 A JP6668595 A JP 6668595A JP H08241851 A JPH08241851 A JP H08241851A
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JP
Japan
Prior art keywords
substrate
rotating
plate
pins
holding
Prior art date
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Pending
Application number
JP6668595A
Other languages
English (en)
Inventor
Manabu Matsuo
学 松尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Canon Marketing Japan Inc
Original Assignee
Canon Inc
Canon Marketing Japan Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc, Canon Marketing Japan Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP6668595A priority Critical patent/JPH08241851A/ja
Publication of JPH08241851A publication Critical patent/JPH08241851A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板回転装置に用いて、部品点数が少なく、
信頼性が高く、かつ設計の自由度の大きな基板受渡機構
を提供する。 【構成】 水平に配置された回転板3と、該回転板上に
配設されてその上に載置される基板1を垂直方向に支持
するとともに該基板の外周を位置規制する外周保持部1
と、該回転板を回転させる駆動手段6とを具備する基板
回転装置において、回転板3に複数個の開口4を設け、
かつ該回転板を所定の定位置で停止させる手段7,8
と、該回転板が前記定位置で停止したとき前記開口を通
って昇降する複数個のピン5を有し、該ピンの先端と前
記外周保持部との間で基板の受け渡しを行なう基板昇降
手段9,10を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基板を回転処理部に載
置し、外周保持にて基板の回転処理を行なう基板回転装
置に関し、特に該基板回転装置の基板受渡機構に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、基板外周を保持し回転処理を行な
う装置として、図3および図4に示す構成のものが知ら
れている。図において、1は基板、2は外周保持部、3
は回転板、4は回転板上の穴、5は基板保持ピン、6は
回転駆動源、7はセンサ板、8はセンサ、9はピン取付
板、10はピン上下動作源、11は搬送機構、12は基
板保持動作源、13は回転軸、14は貫通軸である。図
4において、(a)は回転処理中(受渡待機中)の状態
を、(b)は回転処理部からの基板の排出動作中の状態
を、そして(c)は基板排出後の状態を示す。
【0003】図3の装置(以下、第1の従来例という)
においては、該装置に基板を受け渡すために、回転軸1
3内に貫通軸14を通し、その貫通軸の上/下動にて基
板1を回転処理部(外周保持部2)に受け渡ししてい
た。
【0004】また、図4の装置(以下、第2の従来例と
いう)においては、基板を回転処理部から受け取る場
合、搬送機構11および12基板保持動作源12等から
なる基板受渡機構が図4(a)の位置から図4(b)の
位置に下降して搬送機構11が閉じ、次いで基板受渡機
構が上昇することにより、図4(c)に示すように基板
を受け取る。基板の回転処理部への引き渡しは上記と逆
の手順で行なわれる。また、該基板受渡機構と図示しな
い基板収納部または基板搬送部との間の基板受渡も同様
に行なわれる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第1の
従来例(図3)では、回転軸内に貫通軸を通すための穴
加工が必要なため、加工コストの上昇となりまた回転駆
動源6に回転処理部を直結する構成の場合は、部品選択
の幅が限られる欠点がある。また高速回転時は、振動な
どの不安定要因となる。一方、第2の従来例(図4)で
は、基板を保持または解除するための開閉動作と基板受
け渡しのための昇降動作の二動作が必要となり、図3の
方式のものと比べて受け渡しのための開閉動作が追加さ
れるため受け渡し搬送機構の構造が複雑となる欠点があ
る。
【0006】本発明は、上述の従来例における問題点に
鑑み、基板の外周を保持して回転させる基板回転装置に
用いて、部品点数の削減、信頼性の向上および設計の自
由度の改善が可能な基板受渡機構を提供することを目的
とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、水平に配置された回転板と、該回転板
上に配設されてその上に載置される基板を垂直方向に支
持するとともに該基板の外周を位置規制する外周保持部
と、該回転板を回転させる駆動手段とを具備する基板回
転装置において、前記回転板に複数個の開口を設け、か
つ該回転板を所定の定位置で停止させる手段と、該回転
板が前記定位置で停止したとき前記開口を通って昇降す
る複数個のピンを有し、該ピンの先端と前記外周保持部
との間で基板の受け渡しを行なう基板昇降手段を設けた
ことを特徴とする。
【0008】本発明の好ましい実施例において、前記開
口は、前記駆動手段の回転軸と同心の円周上に等間隔で
配置されている。ピンの数は3個が好ましい。開口の数
はピンと同数の他、その整数倍とすることもできる。
【0009】
【作用】本発明では、基板の外周を保持し回転処理を行
なう回転駆動源に定位置停止の手段を設け、かつ回転処
理部とは別体の受け渡し構造とすることで、部品点数の
削減、信頼性の向上および設計の自由度の改善が可能と
なった。
【0010】
【実施例】図1および図2は、本発明の一実施例に係る
基板回転装置の構成を示す断面図と平面図を示す。図に
おいて、1は基板、2は外周保持部、3は回転板、4は
回転板上の穴、5は基板保持ピン、6は回転駆動源(モ
ータ)、7はセンサ板、8はセンサ板7の回転位置を検
知するセンサ、9はピン取付板、10はピン上下動作
源、11は搬送機構を示す。ピン取付板9には3本のピ
ン5が、回転板3の回転軸と同心の円周上に120°間
隔で取りつけられ、回転板3にはこれらのピン5が通過
できる3個の穴4が設けられている。
【0011】回転処理部からの基板1の排出時、回転板
3はセンサ板7の位置に応じたセンサ8の信号により回
転板3上の穴4と基板保持ピン5の中心が合う位置に回
転駆動源6により位置出しされる。続いてピン取付板9
がピン上下動作源10により駆動されて、ピン取付板9
および基板保持ピン5はそれぞれ9′および5′の位置
まで上昇し、基板1は1′の位置に持ち上げられる。次
に搬送機構11が11′の位置に入り、ピン上下動作源
10の下降により、基板1は搬送機構11に引き渡され
る。受け取り動作は上記の逆順となる。基板の回転処理
中は保持ピン5は図1の実線で示す位置(下側位置)で
待機する。
【0012】ここで、回転駆動源を定位置で停止させる
手段としては、前記回転板の穴4に対応する位置に開口
または切り欠きを設けたセンサ板7と、このセンサ板7
を上下から挟んで配置され前記開口または切り欠きを通
過する光を検出するフォトカプラからなるセンサ8とで
構成される。なお、フォトカプラ8は、センサ板7から
の反射光を検出する反射形のものであってもよい。この
場合、センサ板7は開口または切り欠きの代わりに白色
部または反射部を設けるようにしてもよい。さらにはセ
ンサ板7の一部または全部を磁化し、ホール素子等の磁
気センサ8で特定の磁化部分を検出するようにしてもよ
い。回転駆動源を停止させる位置は、基板排出後の基板
の向きを揃える意味では1か所とすることが好ましい
が、回転板上の穴4と基板保持ピン5の中心が合う位置
であれば、複数箇所に設定することも可能である。
【0013】
【発明の効果】以上のように基板の外周を保持し回転処
理を行う回転駆動源に定位置停止の手段を設け、回転処
理部とは別体の受け渡し構造とすることで、部品点数の
削減、設計自由度の改善、信頼性の向上を図ることがで
きた。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係る基板回転装置の断面
図である。
【図2】 図1の装置の上面図である。
【図3】 従来の基板回転装置の断面図である。
【図4】 他の従来例の要部断面図である。
【符号の説明】
1:基板、2:外周保持部、3:回転板、4:回転板上
の穴、5:基板保持ピン、6:回転駆動源、7:センサ
板、8:センサ、9:ピン取付板、10:ピン上下動作
源、11:搬送機構、12:基板保持動作源。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水平に配置された回転板と、該回転板上
    に配設されてその上に載置される基板を垂直方向に支持
    するとともに該基板の外周を位置規制する外周保持部
    と、該回転板を回転させる駆動手段とを具備する基板回
    転装置において、 前記回転板に複数個の開口を設けるとともに、該回転板
    を所定の定位置で停止させる手段と、該回転板が前記定
    位置で停止したとき前記開口を通って昇降する複数個の
    ピンを有し、該ピンの先端と前記外周保持部との間で基
    板の受け渡しを行なう基板昇降手段を設けたことを特徴
    とする基板回転装置。
  2. 【請求項2】 前記開口は、前記駆動手段の回転軸と同
    心の円周上に等間隔で配置されている請求項1記載の基
    板回転装置。
JP6668595A 1995-03-02 1995-03-02 基板回転装置 Pending JPH08241851A (ja)

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JPH08241851A true JPH08241851A (ja) 1996-09-17

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100469360B1 (ko) * 2002-02-22 2005-02-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자의 제조 장비용 진공 합착 장치 및 구동 방법
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CN111232600A (zh) * 2020-01-16 2020-06-05 佛山普瑞威尔科技有限公司 一种芯片下料装置

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