JP2012514569A - 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボットシステム、装置、および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- チャンバと、
前記チャンバ内に受けられて基板を搬送するロボット装置であり、回転軸を中心として回転するブームリンク装置および第1のロボットアセンブリを有するロボット装置と
を備える電子デバイス処理システムであって、前記ロボットアセンブリが、
前記ブームリンク装置の回転軸からずれた第1の半径方向位置で前記ブームリンク装置に結合される上腕部と、
前記上腕部に結合されて、前記上腕部に対して回転する前腕部と、
前記前腕部に結合されて、前記前腕部に対して回転するリスト部材と、
前記リスト部材上に含まれて、前記基板を担持するエンドエフェクタと
をさらに備える、電子デバイス処理システム。 - 前記ブームリンク装置が、前記回転軸から1つの方向に延びるカンチレバービームを備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記ブームリンク装置が、前記回転軸から2つの方向に延びる第1および第2のカンチレバービームを備えており、前記第1のロボットアセンブリが前記第1のカンチレバービームに取り付けられている、請求項1に記載のシステム。
- 第2のロボットアセンブリが前記第2のカンチレバービーム上に取り付けられている、請求項3に記載のシステム。
- 前記第2のロボットアセンブリが、
前記ブームリンク装置の回転軸からずれた第2の半径方向位置で前記ブームリンク装置に結合される上腕部と、
前記上腕部に結合されて、前記上腕部に対して回転する前腕部と、
前記前腕部に結合されて、前記前腕部に対して回転するリスト部材と、
前記リスト部材上に含まれて、前記基板を担持するエンドエフェクタと
を備えている、請求項4に記載のシステム。 - 前記第1のロボット装置が2つのエンドエフェクタを備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記チャンバが、少なくとも1つのプロセスチャンバと前記少なくとも1つのプロセスチャンバに結合される少なくとも1つのロードロックチャンバとを有する搬送チャンバである、請求項1に記載のシステム。
- 前記ブームリンク装置が、前記回転軸から2つの方向に延びる第1および第2のカンチレバービームを備えており、前記第1のロボットアセンブリが前記第1のカンチレバービームに取り付けられており、第2のロボットが前記第2のカンチレバービームに取り付けられている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のロボットの肩軸と前記第2のロボットの肩軸との間に延びる線が、前記ブームリンク装置の前記回転軸からずれている、請求項8に記載のシステム。
- 前記ブームリンク装置が、前記回転軸から2つの方向に延びる第1および第2のカンチレバービームを備えており、前記第1のロボットアセンブリが、前記第1のカンチレバービームに取り付けられて、2つのエンドエフェクタを備えており、第2のロボットが、前記第2のカンチレバービームに取り付けられて、2つのエンドエフェクタを備えている、請求項1に記載のシステム。
- 電子デバイス処理システム内において基板を移動させるロボット装置であって、
回転軸を中心として回転するブームリンク装置と、
前記ブームリンク上の前記回転軸から半径方向にずれた位置で回転するように取り付けられている上腕部と、
前記上腕部の外側端部に結合される前腕部と、
前記前腕部の外側端部に結合されるリスト部材と、
前記リスト部材上に含まれるエンドエフェクタと
を備えている、ロボット装置。 - 前記ブームリンク装置が、前記回転軸から1つの方向にのみ延びるカンチレバービームを備えている、請求項11に記載の装置。
- 前記ブームリンク装置が、前記回転軸から、ほぼ反対の2つの方向に延びる第1および第2のカンチレバービームを備えている、請求項11に記載の装置。
- 電子デバイス処理システム内において基板を搬送する方法であって、
ブームリンク装置上に取り付けられたロボットアセンブリを用意するステップであり、前記ロボットアセンブリが、上腕部と、前記上腕部に結合された前腕部と、前記前腕部に結合されたリスト部材とを含むステップと、
送達位置の近傍の位置まで前記ブームリンク装置を回転させるステップと、
前記送達位置に前記基板を配置することおよび前記送達位置から前記基板を取り出すことの少なくとも一方を実施するように前記ロボットアセンブリを作動させるステップと
を含む方法。 - 前記ロボットアセンブリを作動させる前記ステップが、少なくとも前記ロボットアセンブリの前記上腕部および前記前腕部を回転させることを含む、請求項14に記載の方法。
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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---|---|---|---|
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014022598A (ja) * | 2012-07-19 | 2014-02-03 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送装置 |
JP2015526896A (ja) * | 2012-07-05 | 2015-09-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | ブーム駆動装置、マルチアームロボット装置、電子デバイス処理システム、および電子デバイス製造システムにおいて基板を搬送するための方法 |
JP2015536253A (ja) * | 2012-11-30 | 2015-12-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 振動が制御される基板ハンドリングロボット、システム及び方法 |
JP2016500473A (ja) * | 2012-11-30 | 2016-01-12 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法 |
JP2016512398A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-04-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板堆積システム、ロボット移送装置、及び電子デバイス製造のための方法 |
JP2017503666A (ja) * | 2014-01-05 | 2017-02-02 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボット装置、駆動アセンブリ、及び方法 |
US9905446B2 (en) | 2013-11-06 | 2018-02-27 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transferring apparatus |
KR20180126606A (ko) * | 2016-04-12 | 2018-11-27 | 반알엑스 파마시스템즈 인크. | 동결건조 시스템을 적재하기 위한 방법 및 장치 |
Families Citing this family (77)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9117859B2 (en) * | 2006-08-31 | 2015-08-25 | Brooks Automation, Inc. | Compact processing apparatus |
US8777547B2 (en) | 2009-01-11 | 2014-07-15 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus and methods for transporting substrates |
KR101287000B1 (ko) | 2009-01-11 | 2013-07-23 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 로봇 및 로봇의 전기 엔드 이펙터로 전기 연결을 하기 위한 시스템, 장치 및 방법 |
JP5581338B2 (ja) | 2009-01-11 | 2014-08-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボットシステム、装置、および方法 |
JP5480562B2 (ja) * | 2009-08-26 | 2014-04-23 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
US8642448B2 (en) | 2010-06-22 | 2014-02-04 | Applied Materials, Inc. | Wafer dicing using femtosecond-based laser and plasma etch |
CN103476551B (zh) * | 2010-11-10 | 2016-08-10 | 布鲁克斯自动化公司 | 双臂机器人 |
JP5565345B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2014-08-06 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボット |
KR102392186B1 (ko) | 2011-03-11 | 2022-04-28 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 기판 처리 툴 |
DE102011101255A1 (de) * | 2011-05-11 | 2012-11-15 | Krones Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zum Transportieren von Behältnissen |
CN102709221A (zh) * | 2011-06-28 | 2012-10-03 | 清华大学 | 一种平面三自由度晶圆传输装置 |
US9076829B2 (en) | 2011-08-08 | 2015-07-07 | Applied Materials, Inc. | Robot systems, apparatus, and methods adapted to transport substrates in electronic device manufacturing |
US8768513B2 (en) | 2011-08-08 | 2014-07-01 | Applied Materials, Inc. | Systems having multi-linkage robots and methods to correct positional and rotational alignment in multi-linkage robots |
US9076830B2 (en) | 2011-11-03 | 2015-07-07 | Applied Materials, Inc. | Robot systems and apparatus adapted to transport dual substrates in electronic device manufacturing with wrist drive motors mounted to upper arm |
US20130149076A1 (en) * | 2011-12-12 | 2013-06-13 | Applied Materials, Inc. | Fully-independent robot systems, apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing |
TWI629743B (zh) * | 2012-02-10 | 2018-07-11 | 布魯克斯自動機械公司 | 基材處理設備 |
KR102359364B1 (ko) * | 2012-02-10 | 2022-02-07 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 기판 프로세싱 장치 |
KR20150003803A (ko) * | 2012-04-12 | 2015-01-09 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 독립적으로 회전가능한 웨이스트들을 갖는 로봇 시스템들, 장치 및 방법들 |
FR2989947B1 (fr) * | 2012-04-26 | 2014-05-09 | Delachaux Sa | Systeme de connexion pour la charge d'un vehicule electrique |
US10363665B2 (en) * | 2012-07-10 | 2019-07-30 | Persimmon Technologies Corporation | Linear robot arm with multiple end effectors |
CN102897335B (zh) * | 2012-09-14 | 2015-09-09 | 昆山古鳌电子机械有限公司 | 捆钞机夹钞手移位机构 |
US9190306B2 (en) * | 2012-11-30 | 2015-11-17 | Lam Research Corporation | Dual arm vacuum robot |
US9149936B2 (en) * | 2013-01-18 | 2015-10-06 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot having arm with unequal link lengths |
US10224232B2 (en) | 2013-01-18 | 2019-03-05 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having two arms with unequal link lengths |
US9378994B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-06-28 | Applied Materials, Inc. | Multi-position batch load lock apparatus and systems and methods including same |
US9548231B2 (en) * | 2013-06-05 | 2017-01-17 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot and adaptive placement system and method |
KR102297447B1 (ko) | 2013-08-12 | 2021-09-01 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 팩토리 인터페이스 환경 제어들을 갖는 기판 프로세싱 시스템들, 장치, 및 방법들 |
WO2015048303A1 (en) | 2013-09-26 | 2015-04-02 | Applied Materials, Inc | Pneumatic end effector apparatus, substrate transportation systems, and methods for transporting substrates |
US9441792B2 (en) | 2013-09-30 | 2016-09-13 | Applied Materials, Inc. | Transfer chamber gas purge apparatus, electronic device processing systems, and purge methods |
TWI657524B (zh) * | 2013-12-17 | 2019-04-21 | 美商布魯克斯自動機械公司 | 基板搬運設備 |
US10134621B2 (en) * | 2013-12-17 | 2018-11-20 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
US11587813B2 (en) | 2013-12-17 | 2023-02-21 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus |
JP6608923B2 (ja) | 2014-07-02 | 2019-11-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 溝に経路指定された光ファイバーによる加熱を含む温度制御装置、基板温度制御システム、電子デバイス処理システム、及び処理方法 |
JP6822953B2 (ja) | 2014-11-25 | 2021-01-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板キャリア及びパージチャンバの環境制御を伴う基板処理のシステム、装置、及び方法 |
JP1534869S (ja) * | 2015-01-30 | 2015-10-13 | ||
CN107408526B (zh) | 2015-03-12 | 2022-03-15 | 柿子技术公司 | 具有从动末端执行器运动的机器人 |
CN107534000B (zh) * | 2015-04-20 | 2021-12-17 | 应用材料公司 | 缓冲腔室晶片加热机构和支撑机械臂 |
US10520371B2 (en) | 2015-10-22 | 2019-12-31 | Applied Materials, Inc. | Optical fiber temperature sensors, temperature monitoring apparatus, and manufacturing methods |
US9799544B2 (en) | 2015-10-23 | 2017-10-24 | Applied Materials, Inc. | Robot assemblies, substrate processing apparatus, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing |
JP6649768B2 (ja) * | 2015-12-28 | 2020-02-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
CN106015497B (zh) * | 2016-05-16 | 2017-11-14 | 太原理工大学 | 一种密闭空间定位操作机构 |
US20170353014A1 (en) * | 2016-06-07 | 2017-12-07 | Belden Canada Inc. | Rackmount case for the accommodation of optical equipment |
US10119191B2 (en) | 2016-06-08 | 2018-11-06 | Applied Materials, Inc. | High flow gas diffuser assemblies, systems, and methods |
TWI707754B (zh) | 2016-06-28 | 2020-10-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 包括間隔上臂與交錯腕部的雙機器人以及包括該者之方法 |
US10099377B2 (en) * | 2016-06-29 | 2018-10-16 | Applied Materials, Inc. | Methods and systems providing misalignment correction in robots |
US11270904B2 (en) * | 2016-07-12 | 2022-03-08 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
US10388547B2 (en) | 2017-06-23 | 2019-08-20 | Applied Materials, Inc. | Side storage pods, equipment front end modules, and methods for processing substrates |
WO2018236544A1 (en) | 2017-06-23 | 2018-12-27 | Applied Materials, Inc. | DETACHABLE SIDE STORAGE NACELLE APPARATUS, HEATED SIDE STORAGE NACELLE APPARATUS, SYSTEMS AND METHODS |
US10629472B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-04-21 | Persimmon Technologies Corporation | Material handling robot |
US10453725B2 (en) | 2017-09-19 | 2019-10-22 | Applied Materials, Inc. | Dual-blade robot including vertically offset horizontally overlapping frog-leg linkages and systems and methods including same |
CN109994358B (zh) | 2017-12-29 | 2021-04-27 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种等离子处理系统和等离子处理系统的运行方法 |
US10763134B2 (en) | 2018-02-27 | 2020-09-01 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing apparatus and methods with factory interface chamber filter purge |
US10943805B2 (en) | 2018-05-18 | 2021-03-09 | Applied Materials, Inc. | Multi-blade robot apparatus, electronic device manufacturing apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing |
JP7183635B2 (ja) * | 2018-08-31 | 2022-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送機構、基板処理装置及び基板搬送方法 |
CN110957931B (zh) | 2018-09-27 | 2020-11-27 | 台达电子工业股份有限公司 | 机器人系统 |
TWI691152B (zh) * | 2018-09-27 | 2020-04-11 | 台達電子工業股份有限公司 | 機器人系統 |
WO2020185841A1 (en) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | Persimmon Technologies Corporation | Asymmetric dual end effector robot arm |
JP1650339S (ja) * | 2019-03-27 | 2020-01-20 | ||
JP1644505S (ja) * | 2019-03-27 | 2019-10-28 | ||
JP1644507S (ja) * | 2019-03-27 | 2019-10-28 | ||
JP1644506S (ja) * | 2019-03-27 | 2019-10-28 | ||
US11279032B2 (en) | 2019-04-11 | 2022-03-22 | Applied Materials, Inc. | Apparatus, systems, and methods for improved joint coordinate teaching accuracy of robots |
US10964584B2 (en) | 2019-05-20 | 2021-03-30 | Applied Materials, Inc. | Process kit ring adaptor |
US11850742B2 (en) | 2019-06-07 | 2023-12-26 | Applied Materials, Inc. | Dual robot including splayed end effectors and systems and methods including same |
US11883958B2 (en) * | 2019-06-07 | 2024-01-30 | Applied Materials, Inc. | Robot apparatus including dual end effectors with variable pitch and methods |
US11626305B2 (en) | 2019-06-25 | 2023-04-11 | Applied Materials, Inc. | Sensor-based correction of robot-held object |
US11211269B2 (en) | 2019-07-19 | 2021-12-28 | Applied Materials, Inc. | Multi-object capable loadlock system |
JP6880519B2 (ja) * | 2019-11-11 | 2021-06-02 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム、ロボットの制御方法、半導体製造システム |
US11370114B2 (en) | 2019-12-09 | 2022-06-28 | Applied Materials, Inc. | Autoteach enclosure system |
US12027397B2 (en) | 2020-03-23 | 2024-07-02 | Applied Materials, Inc | Enclosure system shelf including alignment features |
USD954769S1 (en) | 2020-06-02 | 2022-06-14 | Applied Materials, Inc. | Enclosure system shelf |
USD980176S1 (en) | 2020-06-02 | 2023-03-07 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing system carrier |
US20220009083A1 (en) * | 2020-07-07 | 2022-01-13 | Persimmon Technologies Corporation | Material-Handling Robot with Multiple Semi-Independent Arms |
USD1019725S1 (en) * | 2020-10-14 | 2024-03-26 | Daihen Corporation | Industrial robot |
CN113628994A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-11-09 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 |
KR102394121B1 (ko) * | 2021-10-08 | 2022-05-04 | (주) 티로보틱스 | 기판 이송 로봇을 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇 |
WO2023102497A1 (en) * | 2021-12-03 | 2023-06-08 | Lam Research Corporation | Direct-pick robot for multi station semiconductor processing chambers |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07142551A (ja) * | 1993-11-20 | 1995-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置 |
JPH10247674A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JPH11277467A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-12 | Mecs Corp | 薄型基板搬送ロボット |
JP2000072248A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Rorze Corp | 基板搬送装置 |
JP2004288720A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP2008235836A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及び記憶媒体 |
JP2009540613A (ja) * | 2006-06-15 | 2009-11-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数レベルのロードロックチャンバ、移送チャンバ、及びこれにインターフェイスするのに適したロボット |
JP2010166083A (ja) * | 2003-07-16 | 2010-07-29 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
Family Cites Families (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4597708A (en) | 1984-06-04 | 1986-07-01 | Tencor Instruments | Wafer handling apparatus |
JPH0825151B2 (ja) * | 1988-09-16 | 1996-03-13 | 東京応化工業株式会社 | ハンドリングユニット |
US5765444A (en) * | 1995-07-10 | 1998-06-16 | Kensington Laboratories, Inc. | Dual end effector, multiple link robot arm system with corner reacharound and extended reach capabilities |
US5954472A (en) * | 1996-07-15 | 1999-09-21 | Brooks Automation, Inc. | Batch loader arm |
JP3757016B2 (ja) | 1997-02-20 | 2006-03-22 | ローツェ株式会社 | ハンドリング用ロボット |
JPH1116981A (ja) | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US6543306B1 (en) | 1998-12-04 | 2003-04-08 | Daihen Corporation | Conveying device |
US6485250B2 (en) | 1998-12-30 | 2002-11-26 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation |
US6601468B2 (en) * | 2000-10-24 | 2003-08-05 | Innovative Robotic Solutions | Drive system for multiple axis robot arm |
JP2002158272A (ja) | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Tatsumo Kk | ダブルアーム基板搬送装置 |
JP2002166376A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Hirata Corp | 基板搬送用ロボット |
JP4682378B2 (ja) | 2000-12-05 | 2011-05-11 | 川崎重工業株式会社 | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
JP4435443B2 (ja) * | 2001-04-17 | 2010-03-17 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
KR100583724B1 (ko) * | 2003-10-29 | 2006-05-25 | 삼성전자주식회사 | 기판 이송 장치 |
JP4276534B2 (ja) | 2003-12-26 | 2009-06-10 | 株式会社ダイヘン | 搬送ロボット |
US8376685B2 (en) * | 2004-06-09 | 2013-02-19 | Brooks Automation, Inc. | Dual scara arm |
US20060216137A1 (en) * | 2004-07-02 | 2006-09-28 | Katsunori Sakata | Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate |
KR101041685B1 (ko) | 2005-02-12 | 2011-06-14 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 다축 진공 모터 조립체 |
KR20080002818A (ko) * | 2005-04-11 | 2008-01-04 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 다관절형 로보트 |
JP4648161B2 (ja) | 2005-11-14 | 2011-03-09 | 平田機工株式会社 | ダブルアーム列式基板搬送用ロボット |
WO2007061603A2 (en) | 2005-11-21 | 2007-05-31 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for transferring substrates during electronic device manufacturing |
CN101375385B (zh) | 2006-01-13 | 2012-05-30 | 纳博特斯克株式会社 | 包括冷却循环路径的基板搬运机器人的驱动设备 |
KR100758298B1 (ko) * | 2006-03-03 | 2007-09-12 | 삼성전자주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
US7955043B2 (en) * | 2006-05-29 | 2011-06-07 | Ulvac, Inc. | Substrate transfer apparatus |
US8061232B2 (en) | 2006-08-11 | 2011-11-22 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for a robot wrist assembly |
US20080175694A1 (en) * | 2007-01-19 | 2008-07-24 | Dong-Seok Park | Unit and method for transferring substrates and apparatus and method for treating substrates with the unit |
US7946800B2 (en) | 2007-04-06 | 2011-05-24 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms |
JP4970128B2 (ja) | 2007-04-27 | 2012-07-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット及び集合処理装置 |
WO2008140728A2 (en) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
US8752449B2 (en) * | 2007-05-08 | 2014-06-17 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
KR101366651B1 (ko) | 2007-05-31 | 2014-02-25 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 이중 스카라 로봇 링키지의 리치를 연장하기 위한 방법 및 장치 |
US8777547B2 (en) | 2009-01-11 | 2014-07-15 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus and methods for transporting substrates |
KR101287000B1 (ko) | 2009-01-11 | 2013-07-23 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 로봇 및 로봇의 전기 엔드 이펙터로 전기 연결을 하기 위한 시스템, 장치 및 방법 |
JP5581338B2 (ja) | 2009-01-11 | 2014-08-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボットシステム、装置、および方法 |
JP5480562B2 (ja) | 2009-08-26 | 2014-04-23 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
US20120063874A1 (en) | 2010-09-15 | 2012-03-15 | Applied Materials, Inc. | Low profile dual arm vacuum robot |
CN103476551B (zh) | 2010-11-10 | 2016-08-10 | 布鲁克斯自动化公司 | 双臂机器人 |
US9076829B2 (en) | 2011-08-08 | 2015-07-07 | Applied Materials, Inc. | Robot systems, apparatus, and methods adapted to transport substrates in electronic device manufacturing |
US9076830B2 (en) | 2011-11-03 | 2015-07-07 | Applied Materials, Inc. | Robot systems and apparatus adapted to transport dual substrates in electronic device manufacturing with wrist drive motors mounted to upper arm |
US20130149076A1 (en) | 2011-12-12 | 2013-06-13 | Applied Materials, Inc. | Fully-independent robot systems, apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing |
KR20150003803A (ko) | 2012-04-12 | 2015-01-09 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 독립적으로 회전가능한 웨이스트들을 갖는 로봇 시스템들, 장치 및 방법들 |
CN104428884B (zh) | 2012-07-05 | 2017-10-24 | 应用材料公司 | 吊杆驱动装置、多臂机械手装置、电子器件处理系统及用于在电子器件制造系统中传送基板的方法 |
KR20210014778A (ko) | 2013-03-15 | 2021-02-09 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판 증착 시스템, 로봇 이송 장치, 및 전자 디바이스 제조 방법 |
-
2010
- 2010-01-08 JP JP2011545450A patent/JP5581338B2/ja active Active
- 2010-01-08 US US12/684,780 patent/US8784033B2/en active Active
- 2010-01-08 WO PCT/US2010/020477 patent/WO2010080983A2/en active Application Filing
- 2010-01-08 KR KR1020117018755A patent/KR101781808B1/ko active IP Right Grant
- 2010-01-08 CN CN201080008862.9A patent/CN102326244B/zh active Active
- 2010-01-08 KR KR1020167024097A patent/KR101778519B1/ko active IP Right Grant
- 2010-01-11 TW TW099100591A patent/TWI515095B/zh active
-
2014
- 2014-06-06 US US14/297,675 patent/US9457464B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07142551A (ja) * | 1993-11-20 | 1995-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置 |
JPH10247674A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JPH11277467A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-12 | Mecs Corp | 薄型基板搬送ロボット |
JP2000072248A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Rorze Corp | 基板搬送装置 |
JP2004288720A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP2010166083A (ja) * | 2003-07-16 | 2010-07-29 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
JP2009540613A (ja) * | 2006-06-15 | 2009-11-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数レベルのロードロックチャンバ、移送チャンバ、及びこれにインターフェイスするのに適したロボット |
JP2008235836A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及び記憶媒体 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015526896A (ja) * | 2012-07-05 | 2015-09-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | ブーム駆動装置、マルチアームロボット装置、電子デバイス処理システム、および電子デバイス製造システムにおいて基板を搬送するための方法 |
JP2014022598A (ja) * | 2012-07-19 | 2014-02-03 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送装置 |
JP2015536253A (ja) * | 2012-11-30 | 2015-12-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 振動が制御される基板ハンドリングロボット、システム及び方法 |
JP2016500473A (ja) * | 2012-11-30 | 2016-01-12 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法 |
JP2016502393A (ja) * | 2012-11-30 | 2016-01-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | モータモジュール、多軸モータ駆動アセンブリ、多軸ロボット装置、並びに、電子デバイス製造のシステム及び方法 |
JP2016512398A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-04-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板堆積システム、ロボット移送装置、及び電子デバイス製造のための方法 |
US9905446B2 (en) | 2013-11-06 | 2018-02-27 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transferring apparatus |
JP2017503666A (ja) * | 2014-01-05 | 2017-02-02 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボット装置、駆動アセンブリ、及び方法 |
KR20180126606A (ko) * | 2016-04-12 | 2018-11-27 | 반알엑스 파마시스템즈 인크. | 동결건조 시스템을 적재하기 위한 방법 및 장치 |
KR102123998B1 (ko) * | 2016-04-12 | 2020-06-24 | 반알엑스 파마시스템즈 인크. | 동결건조 시스템을 적재하기 위한 방법 및 장치 |
US11047622B2 (en) | 2016-04-12 | 2021-06-29 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Method and apparatus for loading a lyophilization system |
US11821687B2 (en) | 2016-04-12 | 2023-11-21 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Method and apparatus for loading a lyophilization system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101778519B1 (ko) | 2017-09-15 |
JP5581338B2 (ja) | 2014-08-27 |
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TW201032970A (en) | 2010-09-16 |
CN102326244B (zh) | 2014-12-17 |
US20140286741A1 (en) | 2014-09-25 |
US8784033B2 (en) | 2014-07-22 |
US20100178147A1 (en) | 2010-07-15 |
WO2010080983A3 (en) | 2010-08-26 |
TWI515095B (zh) | 2016-01-01 |
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