JP2015536253A - 振動が制御される基板ハンドリングロボット、システム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001]本出願は、2012年11月30日に出願された「VIBRATION−CONTROLLED SUBSTRATE HANDLING ROBOT,SYSTEMS,AND METHODS」(代理人整理番号17490USA/L/FEG/SYNX/CROCKER S)と題する米国特許仮出願第61/731,816号の優先権を主張し、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
Yn=(b0/a0)Xn+(b1/a0)Xn−1+(b2/a0)Xn−2−(a1/a0)yn−1−(a2/a0)yn−2
及び
α=sin(ω0)/2Q
及び
ω0=2πf0/fs
このとき、係数は、以下のように計算できる。
b0=1
b1=−2cos(ωo)
b2=1
a0=1+α
a1=−2cos(ωo)
a2=1−α
Claims (15)
- 基板を搬送するように動作可能なエンドエフェクタを有するロボットと、
前記ロボットに連結されたセンサであって、前記ロボットが前記基板を搬送するときに振動を感知するように動作可能なセンサとを備え、
前記センサによって測定されるデータに基づいて、前記ロボットの振動を減少させることを含む、振動が制御されるロボット装置。 - 前記センサは微小電気機械システム(MEMS)加速度計である、請求項1に記載の振動が制御されるロボット装置。
- 前記ロボットへの幾つかの入力周波数をフィルタ処理するように動作可能なフィルタを備える、請求項1に記載の振動が制御されるロボット装置。
- 前記フィルタは、事前に設定された周波数での振動が基板に伝わらないようにすることによって振動を減少させるように動作可能なノッチフィルタを含む、請求項3に記載の振動が制御されるロボット装置。
- 許容可能な全振動が、0.1g未満の加速度である、請求項3に記載の振動が制御されるロボット装置。
- 前記振動を示す第一の信号を前記センサから受信するように動作可能な振動コントローラを更に備える、請求項1に記載の振動が制御されるロボット装置。
- 前記振動コントローラは、感知された振動を前記ロボットの特定の動きと互いに関係付けるための論理を備える、請求項6に記載の振動が制御されるロボット装置。
- 前記論理は、予期される振動を決定するために前記第一の信号をデータベースと比較する、請求項7に記載の振動が制御されるロボット装置。
- 基板をロボットのエンドエフェクタで支持すること、
前記ロボットに連結されたセンサを準備すること、
前記ロボットが前記基板を搬送するときに、前記ロボットの振動を前記センサで検出すること、
望ましくない量の振動が起こる一つ又は複数の条件を決定すること、及び
前記ロボットの前記エンドエフェクタの振動の少なくとも幾らかを最小化することを含む、ロボットの振動の減少方法。 - 前記ロボットの振動の少なくとも幾らかを最小化することは、
前記望ましくない量の振動が起こる一つ又は複数の周波数を遮断するフィルタをモータ駆動回路に適用することを含む、請求項9に記載の方法。 - 前記ロボットの振動の少なくとも幾らかを最小化することは、
前記望ましくない量の振動が起こる周波数で前記ロボットが動作しないようにすることを含む、請求項9に記載の方法。 - 望ましくない量の振動が起こる周波数を決定することは、
振動する質量で外的振動を人工的に誘発することを含む、請求項9に記載の方法。 - チャンバと、
前記チャンバの中に受け入れられるロボットであって、基板を搬送するように動作可能なエンドエフェクタを有するロボットと、
前記ロボットに連結されたセンサであって、前記ロボットが前記基板を支持するときに前記ロボットの振動を検出するように動作可能なセンサとを備える、振動が制御される基板搬送システム。 - 駆動モータのための駆動回路であって、前記エンドエフェクタの振動を減少させるように動作可能なフィルタを有する駆動回路を備える、請求項13に記載のシステム。
- 前記フィルタがノッチフィルタである、請求項13に記載のシステム。
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