JP2018001370A - 振動低減制御装置、及びロボット - Google Patents
振動低減制御装置、及びロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018001370A JP2018001370A JP2016134318A JP2016134318A JP2018001370A JP 2018001370 A JP2018001370 A JP 2018001370A JP 2016134318 A JP2016134318 A JP 2016134318A JP 2016134318 A JP2016134318 A JP 2016134318A JP 2018001370 A JP2018001370 A JP 2018001370A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- end effector
- robot
- actuator
- robot arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
一般的に言えば、ロボットアームの先端に取り付けられたエンドエフェクタにおける振動を低減したいという要望があった。
このような構成により、ロボットアームからエンドエフェクタに伝わる微小な振動を、エンドエフェクタをアクチュエータで加振することによって低減させることができる。その結果、例えば、エンドエフェクタによって細胞等を搬送する場合であっても、振動に起因する悪影響を細胞等に与えないようにすることができる。
このような構成により、100Hz以上といった、今まで低減の対象となっていなかった比較的高い周波数の振動を低減することができるようになる。
このような構成により、リファレンスセンサによって検知された振動をも用いてエンドエフェクタにおける振動を低減させることにより、より精度の高い振動の低減が可能となる。
このような構成により、ロボットアームからエンドエフェクタに伝わる微小な振動を、エンドエフェクタをアクチュエータで加振することによって低減させることができる。
このような構成により、例えば、エンドエフェクタに伝わる振動成分をダンパによって減衰させることができると共に、振動低減制御装置によってアクティブに振動を減衰させたことに起因する、高い周波数成分のより小さい振幅の振動もダンパで抑制することができる。
このような構成により、例えば、作業部に伝わる振動成分をダンパによって減衰させることができると共に、振動低減制御装置によってアクティブに振動を減衰させたことに起因する、高い周波数成分のより小さい振幅の振動もダンパで抑制することができる。
取得部11は、ロボットアーム2の先端に取り付けられたエンドエフェクタ24の振動を取得する。取得部11は、エンドエフェクタ24の振動を検知するセンサであってもよい。このセンサは、制御点の近傍における振動を検知するものであってもよい。その場合には、制御点における誤差としての振動が検知されることになる。ここでは、エンドエフェクタ24の振動を検知するセンサをエラーセンサと呼ぶことにする。なお、制御点とは、振動を低減したい位置のことである。例えば、細胞の入ったシャーレをエンドエフェクタ24によって搬送する場合には、そのシャーレの保持される位置が制御点であってもよい。取得部11がエラーセンサである場合には、制御部13は、取得部11によって検知された振動が小さくなるように制御を行うことになる。なお、取得部11は、エンドエフェクタ24以外の振動を検知するセンサ(以下、エラーセンサと区別するため、「リファレンスセンサ」と呼ぶ)と、そのリファレンスセンサによって検知された振動を用いて、エンドエフェクタ24の振動を推定する推定手段とを備えていてもよい。その推定手段は、リファレンスセンサの位置で取得された振動と、あらかじめ用意されたモデルとを用いて、エンドエフェクタ24の振動を推定する。なお、推定手段は、例えば、制御点の位置における振動を推定してもよく、アクチュエータ12の位置における振動を推定してもよく、または、エンドエフェクタ24のその他の位置の振動を推定してもよい。本実施の形態では、取得部11がエラーセンサである場合について主に説明し、取得部11がリファレンスセンサ等を有する場合については後述する。そのため、以下の説明において特に明記しない限りは、取得部11は、エラーセンサであるとする。
2 ロボットアーム
10、20 振動低減制御装置
11 取得部
12 アクチュエータ
13、15 制御部
14 リファレンスセンサ
24 エンドエフェクタ
24a 固定部
24b 作業部
31、32 ダンパ
Claims (6)
- ロボットアームの先端に取り付けられたエンドエフェクタの振動を取得する取得部と、
前記エンドエフェクタを加振するアクチュエータと、
前記取得部によって取得された振動に応じて、前記エンドエフェクタの振動が低減するように前記アクチュエータを制御する制御部と、を備えた振動低減制御装置。 - 前記制御部による前記アクチュエータの制御によって、前記エンドエフェクタの100Hz以上の周波数の振動が低減される、請求項1記載の振動低減制御装置。
- 前記取得部は、エンドエフェクタの振動を検知するエラーセンサであり、
前記エンドエフェクタに伝わる振動を検知するリファレンスセンサをさらに備え、
前記制御部は、前記リファレンスセンサによって検知された振動をも用いて前記アクチュエータを制御する、請求項1または請求項2記載の振動低減制御装置。 - ロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に取り付けられたエンドエフェクタと、
前記エンドエフェクタの振動が低減するように制御する、請求項1から請求項3のいずれか記載の振動低減制御装置と、を備えたロボット。 - 前記ロボットアームと前記エンドエフェクタとは、ダンパを介して接続されている、請求項4記載のロボット。
- 前記エンドエフェクタは、前記ロボットアームに固定される固定部と、作業を行う作業部と、を備えており、
前記固定部と前記作業部とは、ダンパを介して接続されている、請求項4記載のロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016134318A JP6739258B2 (ja) | 2016-07-06 | 2016-07-06 | 振動低減制御装置、及びロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016134318A JP6739258B2 (ja) | 2016-07-06 | 2016-07-06 | 振動低減制御装置、及びロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018001370A true JP2018001370A (ja) | 2018-01-11 |
JP6739258B2 JP6739258B2 (ja) | 2020-08-12 |
Family
ID=60947192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016134318A Active JP6739258B2 (ja) | 2016-07-06 | 2016-07-06 | 振動低減制御装置、及びロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6739258B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019141967A (ja) * | 2018-02-22 | 2019-08-29 | ファナック株式会社 | 振動解析装置および振動解析方法 |
WO2020045101A1 (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | Scivax株式会社 | 作業装置 |
WO2020208826A1 (ja) * | 2019-04-12 | 2020-10-15 | 株式会社ニコン | ロボットシステム、エンドエフェクタシステム、エンドエフェクタユニット、及びアダプタ |
US11597083B2 (en) | 2018-12-17 | 2023-03-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Robot apparatus, robot system, control method of robot apparatus, product manufacturing method using robot apparatus, and storage medium |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6020214A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-01 | Hitachi Ltd | ロボツトのサ−ボ装置 |
JPH04261790A (ja) * | 1991-02-15 | 1992-09-17 | Fujitsu Ltd | 関節型ロボットの制御装置 |
JPH0740268A (ja) * | 1993-07-23 | 1995-02-10 | Shinko Electric Co Ltd | ロボットアームの制御装置 |
JP2001293638A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-10-23 | Fanuc Ltd | 制御装置 |
JP2002134583A (ja) * | 2000-10-24 | 2002-05-10 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置 |
JP2005103649A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-21 | Daihen Corp | 搬送用ハンド、およびその制御装置 |
JP2008073803A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Toppan Printing Co Ltd | 制振制御機能を持ったロボットハンド |
JP2011152621A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-11 | Yaskawa Electric Corp | 基板搬送用装置 |
JP2013132697A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Seiko Epson Corp | 直動ロボット |
US20150251323A1 (en) * | 2014-03-10 | 2015-09-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Robot and substrate handling apparatus including the same |
JP2015536253A (ja) * | 2012-11-30 | 2015-12-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 振動が制御される基板ハンドリングロボット、システム及び方法 |
-
2016
- 2016-07-06 JP JP2016134318A patent/JP6739258B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6020214A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-01 | Hitachi Ltd | ロボツトのサ−ボ装置 |
JPH04261790A (ja) * | 1991-02-15 | 1992-09-17 | Fujitsu Ltd | 関節型ロボットの制御装置 |
JPH0740268A (ja) * | 1993-07-23 | 1995-02-10 | Shinko Electric Co Ltd | ロボットアームの制御装置 |
JP2001293638A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-10-23 | Fanuc Ltd | 制御装置 |
JP2002134583A (ja) * | 2000-10-24 | 2002-05-10 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置 |
JP2005103649A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-21 | Daihen Corp | 搬送用ハンド、およびその制御装置 |
JP2008073803A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Toppan Printing Co Ltd | 制振制御機能を持ったロボットハンド |
JP2011152621A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-11 | Yaskawa Electric Corp | 基板搬送用装置 |
JP2013132697A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Seiko Epson Corp | 直動ロボット |
JP2015536253A (ja) * | 2012-11-30 | 2015-12-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 振動が制御される基板ハンドリングロボット、システム及び方法 |
US20150251323A1 (en) * | 2014-03-10 | 2015-09-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Robot and substrate handling apparatus including the same |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102019103557B4 (de) | 2018-02-22 | 2022-04-21 | Fanuc Corporation | Schwingungsanalysator und Schwingungsanalyseverfahren |
CN110186553A (zh) * | 2018-02-22 | 2019-08-30 | 发那科株式会社 | 振动分析装置以及振动分析方法 |
US10960549B2 (en) | 2018-02-22 | 2021-03-30 | Fanuc Corporation | Vibration analyzer and vibration analysis method |
CN110186553B (zh) * | 2018-02-22 | 2021-05-07 | 发那科株式会社 | 振动分析装置以及振动分析方法 |
JP2019141967A (ja) * | 2018-02-22 | 2019-08-29 | ファナック株式会社 | 振動解析装置および振動解析方法 |
WO2020045101A1 (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | Scivax株式会社 | 作業装置 |
JPWO2020045101A1 (ja) * | 2018-08-29 | 2021-09-02 | Scivax株式会社 | 作業装置 |
US11597083B2 (en) | 2018-12-17 | 2023-03-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Robot apparatus, robot system, control method of robot apparatus, product manufacturing method using robot apparatus, and storage medium |
WO2020208826A1 (ja) * | 2019-04-12 | 2020-10-15 | 株式会社ニコン | ロボットシステム、エンドエフェクタシステム、エンドエフェクタユニット、及びアダプタ |
JPWO2020208826A1 (ja) * | 2019-04-12 | 2020-10-15 | ||
CN113795355A (zh) * | 2019-04-12 | 2021-12-14 | 株式会社尼康 | 机器人系统、终端效应器系统、终端效应器单元及配接器 |
EP3954508A4 (en) * | 2019-04-12 | 2023-05-17 | Nikon Corporation | ROBOT SYSTEM, EFFECTOR SYSTEM, EFFECTOR UNIT AND ADAPTER |
JP7327469B2 (ja) | 2019-04-12 | 2023-08-16 | 株式会社ニコン | 駆動システム、エンドエフェクタシステム、エンドエフェクタユニット、及びアダプタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6739258B2 (ja) | 2020-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6739258B2 (ja) | 振動低減制御装置、及びロボット | |
US9202496B2 (en) | Compensating for voice coil motor and microactuator disturbance in a hard drive | |
JP5113145B2 (ja) | 並列適応フィルター構成を用いるアクティブノイズコントロールのためのシステム | |
KR100342727B1 (ko) | 서보 제어식 액츄에이터 시스템을 안정화시키기 위한 능동 제어 방법 및 장치 | |
JP4802838B2 (ja) | アクティブ制振装置及びアクティブ制振装置の制御方法 | |
US20150112487A1 (en) | Robot control system, robot system, and sensor information processing apparatus | |
JP4802839B2 (ja) | アクティブ制振装置及びアクティブ制振装置の制御方法 | |
US8352086B2 (en) | Combined motion sensor for use in feedback control systems for vibration isolation | |
JPH10100085A (ja) | ロボットの振動抑制制御装置およびその制御方法 | |
Zhao et al. | Distributed-mass payload dynamics and control of dual cranes undergoing planar motions | |
CN105388914B (zh) | 位置控制设备 | |
WO2008066035A1 (fr) | Système de commande d'isolation sismique | |
JP2014136260A (ja) | 制御装置 | |
Zhao et al. | Zero time delay input shaping for smooth settling of industrial robots | |
WO2011101897A1 (ja) | 並列駆動システム | |
CN110246522B (zh) | 磁盘装置 | |
JP4842913B2 (ja) | 組み合わせ動作制御システム | |
JP2008004007A (ja) | 位置制御装置、位置制御方法、ロボット制御装置およびロボット制御方法 | |
US20170017216A1 (en) | Adaptive Multi-Stage Disturbance Rejection | |
JP2008073803A (ja) | 制振制御機能を持ったロボットハンド | |
CN110246520B (zh) | 磁盘装置 | |
JP2020189389A (ja) | 演算装置、制御プログラム、機械学習器及び把持装置 | |
JP2003071767A (ja) | ロボットアームの振動制御システム | |
JP2008015610A (ja) | 制御装置 | |
JP2016115218A (ja) | 振動抑制システム、振動抑制指令装置、制振仕様装置およびロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200318 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200721 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6739258 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |