TWI728762B - 減低機械手臂振動之方法 - Google Patents

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Abstract

一種減低機械手臂振動之方法,其包含下列步驟:將至少一慣性致動器及至少一振動訊號擷取單元安裝於一機械手臂之加工端;由振動訊號擷取單元感測機械手臂之加工端產生之振動,並產生振動訊號;由中央處理單元根據振動訊號及機械手臂之加工端之座標,擷取至少一組對應之控制參數,計算至少一輸出力;由慣性致動器將輸出力作用於機械手臂之加工端,以抵消機械手臂之加工端的振動力。

Description

減低機械手臂振動之方法
本發明涉及加工技術領域,尤指一種可用於降低機械手臂之加工端在加工過程時的振動之減低機械手臂振動之方法。
機械手臂具有較彈性的應用場合與多軸加工(例如,切削、拋光、研磨)的能力,但由於機械手臂相較於CNC加工機的剛性極低,因此目前的振動問題在高負載的應用(例如,切削)上仍難以克服。
機械手臂振動問題,將造成機械手臂在加工過程時產生顫振,尤其,機械手臂之加工端的振動問題,導致效率低落與表面粗糙度不佳等問題,且機械手臂隨姿態改變造成機械手臂本身共振頻率變化,因此,在金屬加工產業中,目前仍以CNC工具機為主要的加工設備。
若能夠控制機械手臂加工振動的發生,提升機械手臂動剛性,則加工深度可以再提升,加工效率也可以有效提升,並同時能夠保障刀具壽命。因此一般業者在加工過程中,會以阻尼器抑制振動的功能,藉此降低加工振動,同時由於阻尼係數的提升,使切削穩態圖的穩態區域向上提升,可增加加工深度並提升效率。
然由於目前在機械手臂加工應用上仍屬於前期發展階段,故對於機械手臂減振應用的專利或公開文件仍然稀少,且以被動式調諧質量阻尼裝置為主。而調諧質量阻尼裝置只可抑制固定頻率的振動,若結構共振頻率改變效果將明顯下降,不適合用於結構頻率時常改變的狀況。
據此,如何能有一種可有效降低機械手臂之加工端振動之「減低機械手臂振動之方法」,是相關技術領域人士亟待解決之課題。
於一實施例中,本發明提出一種減低機械手臂振動之方法,包含下列步驟: 將至少一慣性致動器及至少一振動訊號擷取單元安裝於一機械手臂之加工端; 由振動訊號擷取單元感測機械手臂之加工端產生之振動,並產生一振動訊號; 由一中央處理單元根據振動訊號及機械手臂之加工端之座標,擷取至少一組對應之控制參數,計算至少一輸出力;以及 由慣性致動器將輸出力作用於機械手臂之加工端,以抵消機械手臂之加工端的振動力。
請參閱圖1所示,本發明所提供之一種減低機械手臂振動之方法之流程S100,其包含下列步驟: 步驟S1:將至少一慣性致動器及至少一振動訊號擷取單元安裝於一機械手臂之加工端;機械手臂之加工端可為機械手臂之鼻端或機械手臂之應用模組,亦即,將慣性致動器及振動訊號擷取單元安裝於機械手臂靠近加工材料之一端; 步驟S2:由至少一振動訊號擷取單元感測機械手臂之加工端產生之振動,並產生一振動訊號; 步驟S3:由一中央處理單元根據振動訊號及機械手臂之加工端之座標,擷取一組對應之控制參數,計算一輸出力;以及 步驟S4:由慣性致動器將輸出力作用於機械手臂之加工端,以抵消機械手臂之加工端的振動力。
本發明技術領域人士經由上述流程S100皆可理解,流程S100中所提及之機械手臂、慣性致動器、振動訊號擷取單元、中央處理單元之間係電性連接,以達到減低機械手臂振動之方法之流程S100中述及之感測、傳送或接收訊號的作用。
請參閱圖2所示,其顯示於機械手臂1的應用模組(亦即加工端)11沿X軸向與Y軸向分別安裝一慣性致動器2及一振動訊號擷取單元3。慣性致動器2與振動訊號擷取單元3的種類不限,例如,慣性致動器2為電磁式主動控制阻尼裝置,振動訊號擷取單元3可為加速規、光學尺、位移計、速度計其中之一。藉由振動訊號擷取單元3分別感測機械手臂1之加工端11於加工時於X軸向與Y軸向的振動,並產生X軸向與Y軸向的振動訊號。
關於上述慣性致動器2採用電磁式主動控制阻尼裝置,其結構一般包括線圈、磁鐵、彈性元件,彈性元件的剛性將定義阻尼裝置本身的共振頻率。其組合的方式大致有二種,可將磁鐵安裝於一底座上,線圈透過支撐件與彈性元件相連,或者,將線圈安裝固定於底座上,磁鐵透過支撐件與彈性元件相連。無論上述任一組和結構,其作用原理皆為,當電流通過線圈時產生勞侖茲力推動線圈(慣性質量)移動。因此可藉由慣性致動器2對機械手臂1之加工端11施加一反推力,以抵消機械手臂1之加工端11的振動。
除了圖2所示實施例之外,亦可於Y軸向設置安裝一慣性致動器2及一振動訊號擷取單元3,以此類推,可僅於X軸向、Y軸向、Z軸向其中之一,或其中任意二軸向設置慣性致動器2及振動訊號擷取單元3。更進一步地,每一軸向也不限於僅設置一組慣性致動器2及振動訊號擷取單元3。依實際所需而設計。
請參閱圖3及圖4所示,說明本發明所提供之一種減低機械手臂振動之方法之流程S200,其包含下列步驟: 步驟S1:將慣性致動器2及振動訊號擷取單元3安裝於一機械手臂1之加工端; 步驟S2:由振動訊號擷取單元3感測機械手臂1之加工端11產生之振動,並產生一振動訊號; 步驟S21:由一類比數位轉換單元4將振動訊號轉換為一數位振動訊號; 步驟S22:由一數位振動訊號處理器5將數位振動訊號進行過濾,並將過濾後之數位振動訊號傳送至中央處理單元6;數位振動訊號處理器5主要是用以過濾數位振動訊號之高低頻雜訊; 步驟S3:由中央處理單元6根據振動訊號及機械手臂1之加工端之座標,擷取一組對應之控制參數,計算一輸出力; 步驟S31:由一數位類比轉換器7將數位型態之輸出力轉換為類比控制訊號; 步驟S32:由一訊號輸出單元8將類比控制訊號輸出至慣性致動器2; 步驟S4:由慣性致動器2將輸出力作用於機械手臂1之加工端,以抵消機械手臂1之加工端的振動力。
圖3所揭露的實施例流程S200包含了圖1的主要步驟S1、S2、S3、S4,差異在於,圖3的流程S200於步驟S2之後更包含了步驟21、步驟22,以及,於步驟S3之後更包含了步驟31、步驟32。
本發明技術領域人士經由上述流程S200皆可理解,上述機械手臂1、慣性致動器2、振動訊號擷取單元3、類比數位轉換單元4、數位振動訊號處理器5、中央處理單元6、數位類比轉換器7、訊號輸出單元8之間係電性連接,以達到減低機械手臂振動之方法之流程S200中述及之感測、傳送或接收訊號的作用。
圖4顯示中央處理單元6連接一數據庫9,數據庫9為一預先建立有關之機械手臂姿態和自然頻率關係數據庫,數據庫9包含了複數組控制參數,每一組控制參數對應機械手臂1之加工端移動至不同區域時之一組座標。
請參閱圖5所示,說明建立機械手臂座標和自然頻率關係數據庫之方法。機械手臂1在不同姿態下有不同的振動頻率,由於機械手臂1如同懸臂一般,當手臂關節位置改變時,機械手臂1之加工端11的座標與頻率會改變,據此可建立針對不同座標與頻率的控制參數。
如圖5所示,依機械手臂1之加工端11的移動範圍劃分為六宮格A~F,每一宮格A~F皆包含X軸向、Y軸向、Z軸向三組控制參數,因此總共有十八組控制參數。
必須說明的是,依機械手臂的不同,可將機械手臂1之加工端11的移動範圍劃分為不同於六宮格A~F的其他區域,劃分的區域也不限於六個,依實際所需而設計。
當機械手臂1之加工端11移動到六宮格A~F其中之一且產生振動時,執行圖1及圖3所示步驟S2、S3,由振動訊號擷取單元3感測機械手臂1之加工端11產生之振動,並產生一振動訊號,再由中央處理單元6根據振動訊號及機械手臂1之加工端11的座標,擷取一組或多組對應的控制參數,計算最佳之輸出力,再執行圖1及圖3所示步驟S4,由慣性致動器2將輸出力作用於機械手臂1之加工端,即可抵消機械手臂1的振動力,達到抑振效果。
綜上所述,本發明所提供之減低機械手臂振動之方法,藉由安裝於機械手臂之加工端之慣性致動器及振動訊號擷取單元持續擷取機械手臂之加工端之振動訊號,並經由中央處理單元計算輸出力,由慣性致動器對機械手臂之加工端即時產生一反推力,因此可減低機械手臂之加工端的振動。
雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明的精神和範圍內,當可作些許的更動與潤飾,故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
1:機械手臂 11:應用模組/加工端 2:慣性致動器 3:振動訊號擷取單元 4:類比數位轉換單元 5:數位振動訊號處理器 6:中央處理單元 7:數位類比轉換器 8:訊號輸出單元 9:數據庫 A~F:六宮格 X,Y,Z:軸向 S100,S200:減低機械手臂振動之方法之流程 S1,S2,S21,S22,S3,S31,S32,S4:步驟
圖1為本發明之一實施例之流程圖。 圖2為本發明將慣性致動器與振動訊號擷取單元安裝於機械手臂之結構示意圖。 圖3為本發明基於圖1所示流程衍生而出之另一實施例之流程圖。 圖4為基於圖3實施例之各構件之電性連接架構示意圖。 圖5為本發明建立機械手臂之加工端座標和自然頻率關係數據庫之方法之架構示意圖。
S100:減低機械手臂振動之方法之流程
S1,S2,S3,S4:步驟

Claims (6)

  1. 一種減低機械手臂振動之方法,包含下列步驟:(a)將至少一慣性致動器及至少一振動訊號擷取單元安裝於一機械手臂之加工端;(b)由該振動訊號擷取單元感測該機械手臂之加工端產生之振動,並產生一振動訊號;(c)由一中央處理單元根據該振動訊號及該機械手臂之加工端的座標,擷取至少一組對應之控制參數,計算至少一輸出力;以及(d)由該慣性致動器將該輸出力作用於該機械手臂之加工端,以抵消該機械手臂之加工端的振動力;其中該中央處理單元連接於一數據庫,該數據庫具有複數組該控制參數,每一組該控制參數對應該機械手臂之加工端移動至不同區域時之一組座標,於該步驟(c),該中央處理單元根據該振動訊號及該機械手臂之加工端的座標,擷取至少一組對應之該控制參數,計算至少一該輸出力;其中該步驟(c)後更包括下列步驟:(c1)由一數位類比轉換器將數位型態之該輸出力轉換為類比控制訊號;以及(c2)由一訊號輸出單元將該類比控制訊號輸出至該慣性致動器。。
  2. 如請求項1之減低機械手臂振動之方法,其中該步驟(b)後更包括下列步驟:(b1)由一類比數位轉換單元將該振動訊號轉換為一數位振動訊號; (b2)由一數位振動訊號處理器將該數位振動訊號進行過濾,並將過濾後之數位振動訊號傳送至該中央處理單元。
  3. 如請求項2之減低機械手臂振動之方法,其中該數位振動訊號處理器係過濾該數位振動訊號之高低頻雜訊。
  4. 如請求項1之減低機械手臂振動之方法,其中該機械手臂之加工端為該機械手臂之鼻端或該機械手臂之應用模組。
  5. 如請求項1之減低機械手臂振動之方法,其中該振動訊號擷取單元為加速規、光學尺、位移計、速度計其中之一,用以感測該機械手臂於至少一軸向之振動。
  6. 如請求項1之減低機械手臂振動之方法,其中該慣性致動器為電磁式主動控制阻尼裝置。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1001184A2 (en) * 1998-11-09 2000-05-17 Lord Corporation Vibration-damped machine and control method therefor
CN103192408A (zh) * 2013-04-03 2013-07-10 重庆绿色智能技术研究院 高速高精度磁流变脂柔性机械臂连杆及多连杆机械臂系统
TW201429653A (zh) * 2012-11-30 2014-08-01 Applied Materials Inc 振動控制的基板傳送機械臂、系統及方法
TW201922437A (zh) * 2017-11-16 2019-06-16 財團法人工業技術研究院 機械手臂加工系統及其加工方法

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01166087U (zh) 1988-05-13 1989-11-21
US5209326A (en) * 1989-03-16 1993-05-11 Active Noise And Vibration Technologies Inc. Active vibration control
JPH07328965A (ja) * 1994-06-03 1995-12-19 Toyota Motor Corp 制振制御方法および固有振動周期測定方法および制振制御装置
US5761940A (en) * 1994-11-09 1998-06-09 Amada Company, Ltd. Methods and apparatuses for backgaging and sensor-based control of bending operations
US5908122A (en) * 1996-02-29 1999-06-01 Sandia Corporation Sway control method and system for rotary cranes
US6872961B2 (en) * 2000-01-27 2005-03-29 Cymer, Inc. Vibration control utilizing signal detrending
TWI231843B (en) 2003-10-03 2005-05-01 China Inst Technology Active hybrid electromagnetic shock absorber and shock absorbing method thereof
JP4802838B2 (ja) * 2006-04-18 2011-10-26 シンフォニアテクノロジー株式会社 アクティブ制振装置及びアクティブ制振装置の制御方法
TWI346188B (en) 2009-04-02 2011-08-01 Univ Southern Taiwan Tech Electromagnetic device used for active vibration control
TWM370025U (en) 2009-06-25 2009-12-01 Univ Southern Taiwan Improved type hard vibration isolation module
JP5549129B2 (ja) * 2009-07-06 2014-07-16 セイコーエプソン株式会社 位置制御方法、ロボット
KR101703717B1 (ko) 2010-05-13 2017-02-08 주식회사 탑 엔지니어링 반력상쇄장치 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서
JP5685842B2 (ja) * 2010-07-12 2015-03-18 セイコーエプソン株式会社 ロボット装置およびロボット装置の制御方法
DE102010052503B4 (de) * 2010-11-26 2012-06-21 Wenzel Scantec Gmbh Verfahren zur Steuerung eines Koordinatenmessgeräts sowie Koordinatenmessgerät
US10058395B2 (en) 2014-08-01 2018-08-28 Intuitive Surgical Operations, Inc. Active and semi-active damping in a telesurgical system
US10251717B2 (en) 2014-08-01 2019-04-09 Intuitive Surgical Operations, Inc. Damping a telesurgical system
TWI498587B (zh) 2014-09-16 2015-09-01 Univ Southern Taiwan Sci & Tec 包含音圈致動器的感測驅動模組
EP3017911B1 (en) 2014-11-05 2017-04-19 Ideko, S. Coop Dynamically stable machine tool
JP6409743B2 (ja) * 2015-10-30 2018-10-24 オムロン株式会社 指令生成装置
JP2017087301A (ja) * 2015-11-02 2017-05-25 セイコーエプソン株式会社 ロボット、制御装置およびロボットシステム
JP6688681B2 (ja) * 2016-05-27 2020-04-28 住友理工株式会社 電磁式アクチュエータとそれを用いた能動型制振器、電磁式アクチュエータの製造方法
US10820951B2 (en) * 2017-03-14 2020-11-03 Verb Surgical Inc. Techniques for damping vibration in a robotic surgical system
JP6939024B2 (ja) * 2017-03-31 2021-09-22 セイコーエプソン株式会社 ロボット制御装置、ロボットおよびロボットシステム
CN107186754B (zh) * 2017-05-27 2020-09-04 西北工业大学 一种用于抑制空间机器人末端执行器振动的装置
US11458632B2 (en) * 2017-08-23 2022-10-04 Sony Corporation Robot having reduced vibration generation in in arm portion
JP6581162B2 (ja) * 2017-09-29 2019-09-25 ファナック株式会社 加工システム及び加工機の制御方法
ES2719927B2 (es) * 2018-01-15 2020-01-29 Soraluce S Coop Maquina herramienta con amortiguacion activa
JP6993242B2 (ja) 2018-01-15 2022-01-13 ジーケーエヌ オートモーティブ リミテッド デファレンシャル装置
JP6705851B2 (ja) * 2018-02-22 2020-06-03 ファナック株式会社 振動解析装置および振動解析方法
TWI681371B (zh) * 2018-03-31 2020-01-01 鈺紳科技股份有限公司 振動與聲波整合感測系統及方法
JP2020157402A (ja) * 2019-03-26 2020-10-01 セイコーエプソン株式会社 ロボット制御装置、ロボットの制御方法、およびロボットシステム

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1001184A2 (en) * 1998-11-09 2000-05-17 Lord Corporation Vibration-damped machine and control method therefor
TW201429653A (zh) * 2012-11-30 2014-08-01 Applied Materials Inc 振動控制的基板傳送機械臂、系統及方法
CN103192408A (zh) * 2013-04-03 2013-07-10 重庆绿色智能技术研究院 高速高精度磁流变脂柔性机械臂连杆及多连杆机械臂系统
TW201922437A (zh) * 2017-11-16 2019-06-16 財團法人工業技術研究院 機械手臂加工系統及其加工方法

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