KR101703717B1 - 반력상쇄장치 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 반력상쇄장치는, 이송시스템의 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력을 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체로 전달하고 질량체를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 상쇄시킴으로써, 반력시스템의 구성을 단순화시킬 수 있을 뿐만 아니라 이송시스템이 이동체의 이동방향이 아닌 다른 방향으로 이동되는 경우에도 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력을 상쇄할 수 있는 효과가 있다.

Description

반력상쇄장치 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서 {APPARATUS FOR OFFSETTING REACTION FORCE AND PASTE DISPENSER HAVING THE SAME}
본 발명은 이송시스템에 적용되어 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력을 상쇄하기 위한 장치에 관한 것이다.
액정디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display)를 포함하는 각종 평판디스플레이(FPD, Flat Panel Display)의 제조공정에는 기판, 액체 토출용 노즐 또는 노즐이송장치 등의 목적물을 이송하는 로봇, 크레인 등의 이송시스템이 적용되고 있다.
이러한 이송시스템은, 프레임과, 프레임상에 지지되는 지지체와, 지지체 상에 설치되어 일측방향으로 이동하는 이동체를 포함하여 구성되어, 이동체를 소정의 목적을 위하여 이동시키는 구성을 가지고 있다.
이송시스템의 동작과정에서는 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 이송시스템에 진동이 발생하고, 이러한 반력에 의한 진동에 의하여 작업의 정밀성이 떨어지는 문제점이 있다.
이러한 진동을 저감시키기 위하여 이송시스템에 반력상쇄장치를 적용하는 방안이 고려되고 있다. 예를 들어, 대한민국 공개특허 제10-2005-0003426호(발명의 명칭: 반송력 전송시스템)에도 반력상쇄장치에 관한 기술이 개시되어 있다.
그러나, 공개특허발명을 포함한 종래의 반력상쇄장치는 이송시스템과 별도로 배치되어 고정되기 때문에 이동체를 포함하는 이송시스템이 이동체의 이동방향이 아닌 다른 방향으로 이동되는 경우에는 이러한 반력상쇄장치를 적용할 수 없다는 문제점이 있다.
또한, 종래의 반력상쇄장치는 이송시스템과 별도로 배치되므로 그 구성 및 설치작업이 매우 복잡하다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 이송시스템의 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력을 이송시스템에 함께 구비되는 질량체로 전달하고 질량체를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 상쇄시킴으로써, 이동체의 이동에 의한 반력을 상쇄하기 위한 구성을 단순화시킬 수 있을 뿐만 아니라 이송시스템이 이동체의 이동방향이 아닌 다른 방향으로 이동되는 경우에도 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력을 상쇄할 수 있는 반력상쇄장치를 제공하는 데에 있다.
또한, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 반력상쇄장치를 구비한 페이스트 디스펜서를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반력상쇄장치는, 지지체와, 지지체상에서 이동되는 이동체와, 지지체가 슬라이드 가능하게 지지되는 프레임으로 구성되는 이송시스템에 설치되며, 지지체와 연결되어 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 이동체의 이동에 의하여 발생되어 지지체로 전달된 힘을 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체로 전달하기 위하여, 프레임에 회전이 가능하게 연결되며 그 회전중심을 기준으로 일측은 지지체에 연결되고 타측은 질량체에 연결되는 회전체를 더 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 회전체의 회전중심과 회전체가 지지체와 연결되는 접점 사이의 거리는 회전체의 회전중심과 회전체가 질량체와 연결되는 접점 사이의 거리에 비하여 작은 것이 바람직하다.
한편, 질량체는 이동체의 이동에 의한 반력에 의하여 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동된 후 자체적인 중량에 의하여 최초의 설치위치로 복귀되는데, 질량체가 최초의 설치위치로 복귀되는 방향으로 질량체에 보조적인 힘을 부여하는 복원체가 추가적으로 구비되는 것이 질량체를 신속하고 정확하게 초기의 위치로 복귀시키는 데에 있어 바람직하다.
또한, 질량체와 프레임 사이에는 질량체로 전달된 힘이 프레임으로 전달되는 것을 방지함과 아울러 질량체가 프레임에 연결되어 슬라이딩되도록 마찰방지수단이 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 헤드지지대와; 헤드지지대에 이동이 가능하게 설치되는 헤드유닛과; 헤드유닛을 헤드지지대의 길이방향으로 이동시키도록 헤드지지대에 슬라이드 가능하게 연결되는 지지체와, 헤드유닛에 장착되는 이동체를 포함하는 헤드이동장치와; 지지체와 연결되어 헤드유닛 및 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체를 포함하여 구성되는 반력상쇄장치를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 헤드유닛 및 이동체의 이동에 의하여 발생되어 지지체로 전달된 힘을 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체로 전달하기 위하여, 헤드지지대에 회전이 가능하게 연결되며 그 회전중심을 기준으로 일측은 지지체에 연결되고 타측은 질량체에 연결되는 회전체를 더 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 회전체의 회전중심과 회전체가 지지체와 연결되는 접점 사이의 거리는 회전체의 회전중심과 회전체가 질량체와 연결되는 접점 사이의 거리에 비하여 작은 것이 바람직하며, 질량체와 헤드지지대 사이에는 질량체로 전달된 힘이 헤드지지대로 전달되는 것을 방지함과 아울러 질량체가 헤드지지대에 연결되어 슬라이딩되도록 마찰방지수단이 구비되는 것이 바람직하다.
한편, 질량체가 이동된 경우 질량체가 자체의 중량에 의하여 초기의 위치로 복귀되는 것을 보조하는 복원체가 추가적으로 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 헤드유닛이 설치된 헤드지지대가 지지되는 지지대프레임과; 헤드지지대를 지지대프레임의 길이방향으로 이동시키도록, 지지대프레임에 슬라이드 가능하게 연결되는 지지체와, 헤드지지대에 장착되는 이동체를 포함하는 지지대이동장치와; 지지체와 연결되어 헤드지지대 및 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체를 포함하여 구성되는 반력상쇄장치를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 헤드지지대 및 이동체의 이동에 의하여 발생되어 지지체로 전달된 힘을 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체로 전달하기 위하여, 지지대프레임에 회전이 가능하게 연결되며 그 회전중심을 기준으로 일측은 지지체에 연결되고 타측은 질량체에 연결되는 회전체를 더 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 회전체의 회전중심과 회전체가 지지체와 연결되는 접점 사이의 거리는 회전체의 회전중심과 회전체가 질량체와 연결되는 접점 사이의 거리에 비하여 작은 것이 바람직하다.
또한, 질량체와 지지대프레임 사이에는 질량체로 전달된 힘이 지지대프레임으로 전달되는 것을 방지함과 아울러 질량체가 지지대프레임에 연결되어 슬라이딩되도록 마찰방지수단이 구비되는 것이 바람직하다.
한편, 질량체가 이동된 경우 질량체가 자체의 중량에 의하여 초기의 위치로 복귀되는 것을 보조하는 복원체가 추가적으로 구비되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 반력상쇄장치는, 이송시스템의 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력을 소멸시킬 수 있는 질량체를 이송시스템에 함께 구비함으로써, 이동체의 이동에 의한 반력을 상쇄하기 위한 구성을 단순화시킬 수 있다.
또한, 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력이, 지지체를 이동시키기 위한 에너지로 변환되는 것과, 회전체를 회전시키기 위한 에너지로 변환되는 것과, 질량체를 이동시키기 위한 에너지로 변환되는 것을 통하여 상쇄될 수 있으므로, 이와 같은 다중의 복합적인 반력상쇄효과에 의하여 반력상쇄성능을 효율적으로 발휘할 수 있는 효과가 있다. 또한, 회전체, 질량체 및 복원체 모두가 프레임에 연결되는 경우에는 이송시스템이 이동체의 이동방향이 아닌 다른 방향으로 이동되는 경우에도 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력을 상쇄할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 반력상쇄장치는, 이동체의 이동에 따른 반력에 의하여 질량체가 지지체의 이동방향에 수직인 방향인 중력의 반대방향으로 이동되도록 구성되고, 질량체가 이동된 후 그 자체적인 중량에 의하여 초기의 설치위치로 복귀되도록 구성됨으로써, 질량체를 초기의 설치위치로 복귀시키기 위한 별도의 구성요소가 요구되지 않으므로 반력상쇄장치의 구성을 단순화시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 반력상쇄장치가 페이스트 디스펜서의 헤드지지대에 적용되는 경우에는 헤드유닛 및 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력을 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체로 전달하고 질량체를 이동시키기 위한 에너지로 변환하는 것을 통하여 상쇄시킬 수 있으므로, 그 구성을 단순화시킬 수 있을 뿐만 아니라, 헤드지지대가 헤드유닛이 이동되는 방향의 수직방향으로 이동되는 경우에도 헤드유닛의 이동에 의하여 발생되는 반력을 상쇄할 수 있다는 효과가 있다. 또한, 헤드유닛 및 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력이, 회전체를 회전시키기 위한 에너지로 변환되는 것과, 질량체를 이동시키기 위한 에너지로 변환되는 것을 통하여 상쇄될 수 있으므로, 이와 같은 다중의 복합적인 반력상쇄효과에 의하여 반력상쇄성능을 효율적으로 발휘할 수 있는 효과가 있다.
또한, 반력상쇄장치가 페이스트 디스펜서의 지지대프레임에 적용되는 경우에는 헤드지지대 및 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력을 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체로 전달하고 질량체를 이동시키기 위한 에너지로 변환하는 것을 통하여 상쇄시킬 수 있으므로, 그 구성을 단순화시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 헤드지지대 및 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력이, 회전체를 회전시키기 위한 에너지로 변환되는 것과, 질량체를 이동시키기 위한 에너지로 변환되는 것을 통하여 상쇄될 수 있으므로, 이와 같은 다중의 복합적인 반력상쇄효과에 의하여 반력상쇄성능을 효율적으로 발휘할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 반력상쇄장치가 도시된 개략도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 반력상쇄장치의 동작상태도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 반력상쇄장치가 도시된 개략도이다.
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 반력상쇄장치가 도시된 개략도이다.
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 반력상쇄장치가 도시된 개략도이다.
도 7은 본 발명에 따른 반력상쇄장치가 설치된 페이스트 디스펜서가 도시된 사시도이다.
도 8은 도 7의 페이스트 디스펜서의 헤드유닛이 도시된 사시도이다.
도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 반력상쇄장치가 설치된 페이스트 디스펜서의 헤드지지대의 단면도이다.
도 11 및 도 12는 본 발명에 따른 반력상쇄장치가 설치된 페이스트 디스펜서의 지지대프레임의 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반력상쇄장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 반력상쇄장치(80)는, 이동체(93)가 소정의 목적을 위하여 이동되도록 설치되는 이송시스템(90)에 설치되어 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력을 상쇄시키는 반력상쇄부(81)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서, 이송시스템(90)은, 이동체(93)가 이동이 가능하게 지지되는 지지체(92)와, 지지체(92)가 슬라이드 가능하게 지지되는 프레임(91)을 포함하여 구성될 수 있다. 이동체(93)는 지지체(92)에 지지되어 지지체(92)의 연장방향을 따라 이동될 수 있으며, 지지체(92)는 이동체(93)의 이동에 의한 반력에 의하여 프레임(91)의 연장방향을 따라 이동체(93)의 이동방향에 반대되는 방향으로 이동될 수 있다.
반력상쇄부(81)는, 지지체(92)와 연결되어 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 회전되는 회전체(811)와, 회전체(811)와 연결되어 회전체(811)의 회전에 의하여 지지체(92)의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체(812)를 포함하여 구성될 수 있다.
지지체(92)와 회전체(811) 사이에는 지지체(92)와 회전체(811)를 연결하는 별도의 연결부재(82)가 구비될 수 있다.
회전체(811)는 지지체(92)로 전달된 이동체(93)의 이동에 의한 반력을 질량체(812)로 전달하는 역할을 수행한다. 회전체(811)는 프레임(91)에 회전이 가능하게 연결될 수 있는데, 이를 위하여, 프레임(91)에는 회전체(811)의 회전중심(C)과 연결되는 힌지유닛(94)이 구비될 수 있다. 여기에서, 힌지유닛(94)은, 프레임(91)으로부터 돌출되는 지지부재(95)와, 지지부재(95)에 고정되며 회전체(811)를 관통하거나 회전체(811)로부터 돌출되는 힌지축(96)을 포함하여 구성될 수 있다. 한편, 본 발명의 실시예에서는 회전체(811)가 프레임(91)에 직접 회전이 가능하게 연결되는 구성이 제시되나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 회전체(811)가 프레임(91) 이외의 다른 구성요소에 회전이 가능하게 지지되어 회전되면서 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되어 지지체(92)로 전달된 힘을 질량체(812)로 전달하는 구성이 적용될 수 있다. 회전체(811)가 프레임(91)에 직접 연결되는 구성은 회전체(811)가 프레임(91) 이외의 다른 구성요소에 연결되는 구성에 비하여 그 구성을 단순화시킬 수 있는 효과가 있다.
한편, 본 발명의 실시예에서는 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되어 지지체(92)로 전달된 힘의 작용방향을 변화시켜 지지체(92)의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체(812)로 전달하기 위하여, 프레임(91)에 회전이 가능하게 지지되는 회전체(811)가 제시되나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 지지체(92)로 전달된 힘을 지지체(92)의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체(812)로 전달하기 위하여 힘의 작용방향을 변화시키는 복수의 링크 등의 다양한 구성이 적용될 수 있다.
질량체(812)는 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 지지체(92)의 이동방향에 수직인 중력방향과 반대되는 방향으로 이동하면서 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력을 상쇄시키는 역할을 수행한다. 질량체(812)는 지지체(92) 및/또는 이동체(93)의 질량에 비하여 큰 질량을 가지도록 구성될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 질량체(812)가 지지체(92) 및/또는 이동체(93)의 질량에 비하여 큰 질량을 가지는 경우에는, 이동체(93)의 이동에 의하여 발생된 반력이 지지체(92) 및 회전체(811)를 통하여 질량체(812)로 전달되어 질량체(812)가 이동되는 경우, 질량체(812)의 미소량의 이동으로도 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력을 충분히 상쇄시킬 수 있다.
질량체(812)와 프레임(91) 사이에는 질량체(812)로 전달된 힘이 프레임(91)으로 전달되는 것을 방지함과 아울러 질량체(812)가 프레임(91)에 연결되어 슬라이딩되도록 마찰방지수단(97)이 구비될 수 있다. 마찰방지수단(97)으로, 예를 들면, 볼베어링, 롤러베어링, 롤러 또는 내부에 마찰유가 수용된 하우징 등 질량체(812)와 프레임(91) 사이의 진동전달 및 마찰을 방지할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 한편, 본 발명의 실시예에서는 질량체(812)가 프레임(91)에 슬라이드 가능하게 연결되는 구성이 제시되나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 질량체(812)가 프레임(91) 이외의 다른 구성요소에 슬라이드 가능하게 지지되어 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 이동하는 구성이 적용될 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 지지체(92)상에서 이동체(93)가 이동하는 경우, 이동체(93)의 이동방향에 반대되는 방향으로 반력이 발생하는데, 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력 중 일부는 지지체(92)로 전달되어 지지체(92)를 이동시키는 데에 필요한 에너지로 변환되어 소멸되고, 다른 일부는 지지체(92)를 통하여 회전체(811)로 전달되어 회전체(811)를 회전시키는 데에 필요한 에너지로 변환되어 소멸되며, 또한, 또 다른 일부는 회전체(811)를 통하여 질량체(812)로 전달되어 질량체(812)를 이동시키는 데에 필요한 에너지로 변환되어 소멸된다. 한편, 질량체(812)는 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 지지체(92)의 이동방향에 수직인 방향인 중력에 반대되는 방향으로 이동되며, 질량체(812)의 이동에 의하여 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력이 상쇄된 후에는 질량체(812)는 자체의 중량에 의하여 초기의 설치위치로 복귀될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 반력상쇄장치(80)는 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력의 작용방향을 회전체(811)의 회전에 의하여 변환한 후 질량체(812)로 전달하고, 질량체(812)를 지지체(92)의 이동방향에 수직인 방향으로 이동시키는 것을 통하여 반력을 상쇄시킬 수 있으므로, 반력시스템의 구성을 단순화시킬 수 있다. 또한, 이동체(93)의 이동에 의하여 발생하는 반력을, 지지체(92)를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시킬 수 있고, 회전체(811)를 회전시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시킬 수 있으며, 질량체(812)를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시킬 수 있으므로, 이와 같은 다중의 복합적인 반력상쇄효과에 의하여 반력상쇄성능을 효율적으로 발휘할 수 있는 효과가 있다. 또한, 회전체(811) 및 질량체(812)가 모두 프레임(91)에 연결되는 경우에는 반력상쇄부(81)가 설치된 이송시스템(90)이 이동체(93)의 이동방향이 아닌 다른 방향으로 이동되는 경우에도 이동체(93)의 이동에 따른 반력을 상쇄할 수 있는 효과가 있다. 또한, 질량체(812)의 이동에 의하여 이동체(93)의 이동에 의한 반력이 상쇄된 후에는 질량체(812)는 자체의 중량에 의하여 초기의 설치위치로 복귀될 수 있으므로, 질량체(812)를 초기의 설치위치로 복귀시키기 위한 별도의 구성요소가 요구되지 않고, 이에 따라, 반력상쇄장치(80)의 구성을 단순화시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 반력상쇄장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 제2실시예에 따른 반력상쇄장치(80)는, 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 지지체(92)와 연결되는 접점 사이의 거리(D1)는 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 질량체(812)와 연결되는 접점 사이의 거리(D2)에 비하여 작게 되도록 구성될 수 있다. 즉, 지렛대의 원리로부터, 회전체(811)가 지지체(92)와 연결되는 접점은 힘점이 되고, 회전체(811)가 질량체(812)와 연결되는 접점은 작용점이 되며, 회전체(811)의 회전중심(C)은 받침점이 되는 데, 힘점과 받침점 사이의 거리(D1)에 비하여 받침점과 작용점 사이의 거리(D2)가 크게 되므로, 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되어 지지체(92)로 전달된 힘의 크기에 비하여 작은 크기를 갖는 힘이 질량체(812)로 전달될 수 있다.
이와 같은 경우, 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 지지체(92)와 연결되는 접점 사이의 거리(D1)가 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 질량체(812)와 연결되는 접점 사이의 거리(D2)와 동일하거나 큰 경우에 비하여 질량체(812)의 이동변위를 줄일 수 있고, 이에 따라, 질량체(812)의 이동거리를 확보하기 위하여 이송시스템(90)의 높이가 지나치게 커지는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 5를 참조하여 본 발명의 제3실시예에 따른 반력상쇄장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 및 제2실시예와 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 반력상쇄장치(80)는, 질량체(812)의 일측에서 질량체(812)와 연결되어 질량체(812)가 이동체(93)의 이동에 의하여 발생된 반력에 의하여 이동된 경우 질량체(812)를 초기의 설치위치로 복원시키는 복원체(813)를 포함하여 구성될 수 있다.
복원체(813)는 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 질량체(812)가 이동한 경우, 질량체(812)를 초기의 설치위치로 복원시키는 역할을 하는 것으로, 복원체(813)는 질량체(812)와 연결되는 탄성코일스프링, 판스프링, 유압식 댐퍼, 공압식 댐퍼 또는 전자석을 이용한 리니어모터 등 질량체(812)에 대하여 소정의 복원력을 부여할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.
복원체(813)는 질량체(812)가 이동된 후 자체의 중량에 의하여 초기의 설치위치로 복귀되는 과정에서 질량체(812)가 초기의 설치위치로 복귀되는 방향으로 질량체(812)에 보조적인 힘을 부여하는 역할을 수행한다. 복원체(813)가 추가적으로 구비됨에 따라 질량체(812)를 신속하고 정확하게 초기의 설치위치로 복귀시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제4실시예에 따른 반력상쇄장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제2실시예와 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에 따른 반력상쇄장치(80)는, 프레임(91)과 마찰방지수단(97) 사이에 질량체(812)의 이동에 의하여 발생되는 진동이 마찰방지수단(97)을 통하여 프레임(91)으로 전달되는 것을 방지하는 진동절연체(99)가 구비될 수 있다.
이와 같은 진동절연체(99)로는, 방진고무, 방진합성수지, 내부에 유체가 수용된 밀폐튜브, 내부에 진공이 형성된 밀폐튜브, 스프링 등을 포함하는 탄성부재, 유압식 또는 댐퍼 등 질량체(812)의 이동에 의하여 발생되고 마찰방지수단(97)을 통하여 전달될 수 있는 진동을 흡수할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 제4실시예에 따른 반력상쇄장치(80)는, 프레임(91)과 마찰방지수단(97)의 사이에 진동절연체(99)를 구비함으로써, 이동체(93)의 이동에 의하여 발생되는 반력의 상쇄효과를 극대화 할 수 있으며, 질량체(812)의 이동에 의하여 발생될 수 있는 진동이 프레임(91)으로 전달되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
상기와 같이 구성되고 작용효과를 갖는 본 발명에 따른 반력상쇄장치(80)는 크레인, 로봇, FPD제조장비, LCD 제조 및/또는 검사장치 등 다양한 이송시스템에 적용될 수 있다. 이하, 본 발명에 따른 반력상쇄장치(80)가 페이스트 디스펜서에 적용되는 경우를 예를 들어 설명하기로 한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 베이스프레임(10)과, 베이스프레임(10)에 고정되며 기판(20)이 안착되는 스테이지(11)와, 스테이지(11)의 양측에 Y축방향으로 설치되는 한 쌍의 지지대프레임(40)과, 한 쌍의 지지대프레임(40)에 각각 지지되도록 설치되며 X축방향으로 연장되는 헤드지지대(50)와, 헤드지지대(50)에 설치되는 복수의 헤드유닛(60)과, 헤드유닛(60)을 헤드지지대(50)에 설치함과 아울러 헤드유닛(60)을 X축방향으로 수평 이동시키는 헤드이동장치(70)와, 헤드유닛(60) 및 헤드이동장치(70)의 동작을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
베이스프레임(10)에는 스테이지(11)를 베이스프레임(10)의 전후방향(Y축방향)으로 이동시키는 스테이지구동장치(미도시)가 구비될 수 있으며, 헤드지지대(50)에는 헤드지지대(50)를 지지대프레임(40)를 따라 이동시키는 지지대이동장치(30)가 구비될 수 있다. 헤드지지대(50)는 기판(20)이 대면적으로 이루어지는 경우에 페이스트 패턴형성의 생산성을 향상시킬 수 있도록 복수로 설치될 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 헤드유닛(60)은, 페이스트가 충진되는 시린지(61)와, 시린지(61)와 연통되며 페이스트가 토출되는 노즐(62)과, 노즐(62)에 인접되게 배치되어 노즐(62)과 기판(20) 사이의 갭데이터를 측정하는 레이저변위센서(63)와, 노즐(62) 및 레이저변위센서(63)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축구동부(64)와, 노즐(62) 및 레이저변위센서(63)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동부(65)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서, 레이저변위센서(63)는 레이저를 발광하는 발광부(631)와, 발광부(631)와 소정의 간격으로 이격되어 기판(20)에서 반사된 레이저가 수광되는 수광부(632)로 구성되며, 발광부(631)에서 발광되어 기판(20)에 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어부로 출력하여 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 계측하는 역할을 수행한다.
또한, 헤드유닛(60)에는 기판에 도포된 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하는 단면적센서(66)가 설치될 수 있다. 이와 같은 단면적센서(66)는 기판(20)으로 레이저를 연속적으로 방출하여 페이스트 패턴(P)을 스캔하는 것을 통하여 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정한다. 단면적센서(66)으로부터 측정된 페이스트 패턴(P)의 단면적 데이터는 페이스트 패턴(P)의 불량여부를 판단하는 데에 이용된다.
이하, 본 발명에 따른 반력상쇄장치(80)가 페이스트 디스펜서의 헤드지지대(50)에 적용되는 실시예에 대하여 설명한다.
도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드지지대(50)의 단면도로, 헤드지지대(50)에 반력상쇄장치(80)가 적용된 구성을 나타낸다.
도 9에 도시된 바와 같이, 도시된 바와 같이, 헤드지지대(50)에는 헤드이동장치(70)에 의하여 헤드유닛(60)이 연결된다. 헤드이동장치(70)는 헤드지지대(50)의 길이방향으로 연장되는 지지체(71)와, 헤드유닛(60)에 장착되는 이동체(72)를 포함하여 구성된다. 이에 따라, 지지체(71)와 이동체(72)의 상호작용에 의하여 헤드유닛(60)이 X축방향, 즉, 헤드지지대(50)의 길이방향으로 이동될 수 있다. 여기에서, 헤드이동장치(70)로는, 지지체(71)가 고정자로 구성되고 이동체(72)가 가동자로 구성되어 지지체(71)와 이동체(72)의 전자기적 상호작용에 의하여 헤드유닛(60)을 X축방향으로 이동시키는 리니어모터가 적용될 수 있으며, 지지체(71)가 볼스크류 축을 포함하여 구성되고 이동체(72)가 볼스크류 너트를 포함하여 구성되는 볼스크류장치가 적용될 수 있으며, 지지체(71)가 유압 또는 공압을 이용하는 실린더를 포함하여 구성되어 이동체(72)를 이동시키는 이송장치가 적용될 수 있다. 이와 같이, 헤드이동장치(70)로는 헤드유닛(60)을 X축방향으로 이동시키기 위한 다양한 구성이 적용될 수 있다.
반력상쇄장치(80)는 헤드지지대(50)의 양측 중 일측에만 설치될 수 있으며, 헤드지지대(50)의 양측에 모두 설치될 수 있다.
반력상쇄장치(80)는 헤드유닛(60) 및 이동체(72)의 이동에 의하여 발생되어 지지체(71)에 작용되는 힘의 작용방향을 변환하여 지지체(71)의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체(812)로 전달하고, 질량체(812)를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시키는 반력상쇄부(81)를 포함하여 구성될 수 있다. 반력상쇄부(81)는, 지지체(71)와 연결되어 헤드유닛(60) 및 이동체(72)의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 회전되는 회전체(811)와, 회전체(811)와 연결되어 회전체(811)의 회전에 의하여 지지체(71)의 이동방향에 수직인 방향인 중력의 반대방향으로 이동되는 질량체(812)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 지지체(71)와 회전체(811) 사이에는 지지체(71)와 회전체(811)를 연결하는 별도의 연결부재(82)가 구비될 수 있다.
회전체(811)가 헤드지지대(50)에 회전이 가능하게 연결될 수 있도록, 헤드지지대(50)에는 회전체(811)의 회전중심(C)이 연결되는 힌지유닛(94)이 구비될 수 있다. 여기에서, 힌지유닛(94)은, 헤드지지대(50)로부터 돌출되는 지지부재(95)와, 지지부재(95)에 고정되며 회전체(811)를 관통하거나 회전체(811)로부터 돌출되는 힌지축(96)을 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같은 경우, 회전체(811)가 헤드지지대(50)에 직접 회전이 가능하게 연결되므로, 그 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다. 한편, 본 발명의 실시예에서는 회전체(811)가 헤드지지대(50)에 회전이 가능하게 연결되는 구성이 제시되나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 회전체(811)가 헤드지지대(50) 이외의 다른 구성요소에 회전이 가능하게 지지되어 회전되면서 지지체(71)의 반력을 질량체(812)로 전달하는 구성이 적용될 수 있다.
한편, 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 지지체(71)와 연결되는 접점 사이의 거리(D1)는 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 질량체(812)와 연결되는 접점 사이의 거리(D2)에 비하여 작은 것이 바람직하다. 이에 따라, 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 지지체(71)와 연결되는 접점 사이의 거리(D1)가 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 질량체(812)와 연결되는 접점 사이의 거리(D2)와 동일하거나 큰 경우에 비하여 질량체(812)의 이동변위를 줄일 수 있다.
질량체(812)는 헤드유닛(60), 지지체(71) 및 이동체(72)의 질량에 비하여 충분히 큰 질량을 갖는 것으로, 헤드유닛(60) 및 이동체(72)의 이동에 의하여 발생된 반력이 지지체(71) 및 회전체(811)를 통하여 질량체(812)로 전달되어 질량체(812)를 이동시키는 경우, 질량체(812)의 미소량의 이동으로도 이동체(72)의 이동에 의하여 발생되는 반력을 충분히 상쇄시킬 수 있다.
질량체(812)와 헤드지지대(50) 사이에는 질량체(812)로 전달된 힘이 헤드지지대(50)로 전달되는 것을 방지함과 아울러 질량체(812)가 헤드지지대(50)에 연결되어 슬라이딩되도록 마찰방지수단(97)이 구비될 수 있다. 마찰방지수단(97)로, 예를 들면, 볼베어링, 롤러베어링, 롤러 또는 내부에 마찰유가 수용된 하우징 등 질량체(812)와 헤드지지대(50) 사이의 진동전달 및 마찰을 방지할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 한편, 본 발명의 실시예에서는 질량체(812)가 헤드지지대(50)에 슬라이드 가능하게 연결되는 구성이 제시되나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 질량체(812)가 헤드지지대(50) 이외의 다른 구성요소에 슬라이드 가능하게 지지되어 전달된 헤드유닛(60) 및 이동체(72)의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 이동하는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서는 질량체(812)가 헤드지지대(50)의 일측에 배치되는 구성이 제시되지만, 질량체(812)가 헤드지지대(50)의 내부 공간에 배치되는 구성이 적용될 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여 지지체(71)상에서 이동체(72) 및 헤드유닛(60)이 이동하는 경우, 이동체(72)의 이동방향과 반대방향의 반력이 발생하는데, 이와 같은 반력은, 그 일부가 지지체(71)로 전달되어 지지체(71)를 이동시키기 위한 에너지로 변환되어 소멸되고, 다른 일부는 지지체(71)를 통하여 회전체(811)로 전달되어 회전체(811)를 회전시키기 위한 에너지로 변환되어 소멸되며, 또한, 또 다른 일부는 회전체(811)의 회전을 통하여 질량체(812)로 전달되어 질량체(812)를 이동시키기 위한 에너지로 변환되어 소멸된다. 이 경우, 질량체(812)의 질량은 지지체(71), 이동체(72) 및 헤드유닛(60)의 질량에 비하여 충분히 크므로 질량체(812)의 이동량은 근소하다. 한편, 질량체(812)로 전달된 힘에 의하여 질량체(812)가 이동된 후에는 질량체(812)는 자체의 중량에 의하여 초기의 설치위치로 복귀될 수 있다.
한편, 본 발명의 제3실시예에서 설명한 바와 같이, 질량체(812)가 이동한 후 질량체(812)가 자체의 중량에 의하여 초기의 설치위치로 복귀되는 것을 보조할 수 있도록, 질량체(812)와 연결되는 복원체(813)가 더 구비될 수 있다. 복원체(813)는 질량체(812)와 연결되는 탄성코일스프링, 판스프링 또는 유압식 또는 공압식 댐퍼 등 질량체(812)에 대하여 소정의 복원력을 부여할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.
또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에서 설명한 진동절연체(99)가 헤드지지대(50)와 마찰방지수단(97) 사이에 설치될 수 있으며, 이에 따라, 질량체(812)의 이동에 의하여 발생할 수 있는 진동이 헤드지지대(50)로 전달되는 것을 방지할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는 헤드유닛(60)이 이동이 가능하게 지지되는 헤드지지대(50)에 헤드유닛(60) 및 이동체(72)의 이동에 의하여 발생되는 반력의 작용방향을 회전체(811)의 회전에 의하여 변환한 후 질량체(812)로 전달하고, 질량체(812)를 지지체(71)의 이동방향에 수직인 방향으로 이동시키는 것을 통하여 반력을 상쇄시키는 반력상쇄장치(80)가 구비되므로, 그 구성을 단순화시킬 수 있을 뿐만 아니라, 헤드지지대(50)가 Y축방향으로 이동하는 경우에도 헤드유닛(60) 및 이동체(72)의 이동에 의하여 발생하는 반력을 상쇄할 수 있다는 효과가 있다. 또한, 헤드유닛(60) 및 이동체(72)의 이동에 의하여 발생되는 반력을 지지체(71)를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시킬 수 있고, 회전체(811)를 회전시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시킬 수 있으며, 질량체(812)를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시킬 수 있으므로, 이와 같은 다중의 복합적인 반력상쇄효과에 의하여 반력상쇄성능을 효율적으로 발휘할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는 반력상쇄장치(80)가 헤드지지대(50)의 양측 중 적어도 일측에 구비될 수 있으며, 양측에 모두 구비될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 반력상쇄장치(80)가 페이스트 디스펜서의 지지대프레임(40)에 적용되는 실시예에 대하여 설명한다.
도 11 및 도 12는 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 지지대프레임(40)의 단면도로, 지지대프레임(40)에 반력상쇄장치(80)가 적용된 구성을 나타낸다.
도 11에 도시된 바와 같이, 지지대프레임(40)에는 지지대이동장치(30)에 의하여 헤드지지대(50)가 연결된다. 지지대이동장치(30)는 지지대프레임(40)의 길이방향으로 연장되는 지지체(31)와, 헤드지지대(50)에 장착되는 이동체(32)를 포함하여 구성된다. 이에 따라, 지지체(31)와 이동체(32)의 상호작용에 의하여 헤드지지대(50)가 Y축방향, 즉, 지지대프레임(40)의 길이방향으로 이동될 수 있다. 여기에서, 지지대이동장치(30)로는, 지지체(31)가 고정자로 구성되고 이동체(32)가 가동자로 구성되어 지지체(31)와 이동체(32)의 전자기적 상호작용에 의하여 헤드지지대(50)를 Y축방향으로 이동시키는 리니어모터가 적용될 수 있으며, 지지체(31)가 볼스크류 축을 포함하여 구성되고 이동체(32)가 볼스크류 너트를 포함하여 구성되는 볼스크류장치가 적용될 수 있으며, 지지체(31)가 유압 또는 공압을 이용하는 실린더를 포함하여 구성되어 이동체(32)를 이동시키는 이송장치가 적용될 수 있다. 이와 같이, 지지대이동장치(30)로는 헤드지지대(50)를 Y축방향으로 이동시키기 위한 다양한 구성이 적용될 수 있다.
반력상쇄장치(80)는 헤드지지대(50) 및 이동체(32)의 이동에 의하여 발생되어 지지체(31)에 작용되는 힘의 작용방향을 변환하여 지지체(31)의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체(812)로 전달하고, 질량체(812)를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시키는 반력상쇄부(81)를 포함하여 구성될 수 있다. 반력상쇄부(81)는, 지지체(31)와 연결되어 헤드지지대(50) 및 이동체(32)의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 회전되는 회전체(811)와, 회전체(811)와 연결되어 회전체(811)의 회전에 의하여 지지체(31)의 이동방향에 수직인 방향인 중력의 반대방향으로 이동되는 질량체(812)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 지지체(31)와 회전체(811) 사이에는 지지체(31)와 회전체(811)를 연결하는 별도의 연결부재(82)가 구비될 수 있다.
회전체(811)가 지지대프레임(40)에 회전이 가능하게 연결될 수 있도록, 지지대프레임(40)에는 회전체(811)의 회전중심이 연결되는 힌지유닛(94)이 구비될 수 있다. 여기에서, 힌지유닛(94)은, 지지대프레임(40)로부터 돌출되는 지지부재(95)와, 지지부재(95)에 고정되며 회전체(811)를 관통하거나 회전체(811)로부터 돌출되는 힌지축(96)을 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같은 경우, 회전체(811)가 지지대프레임(40)에 직접 회전이 가능하게 연결되므로, 그 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다. 한편, 본 발명의 실시예에서는 회전체(811)가 지지대프레임(40)에 회전이 가능하게 연결되는 구성이 제시되나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 회전체(811)가 지지대프레임(40)외에 다른 구성요소에 회전이 가능하게 지지되어 회전되면서 지지체(31)의 반력을 질량체(812)로 전달하는 구성이 적용될 수 있다.
한편, 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 지지체(31)와 연결되는 접점 사이의 거리(D1)는 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 질량체(812)와 연결되는 접점 사이의 거리(D2)에 비하여 작은 것이 바람직하다. 이에 따라, 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 지지체(31)와 연결되는 접점 사이의 거리(D1)가 회전체(811)의 회전중심(C)과 회전체(811)가 질량체(812)와 연결되는 접점 사이의 거리(D2)와 동일하거나 큰 경우에 비하여 질량체(812)의 이동변위를 줄일 수 있다.
질량체(812)는 헤드지지대(50), 지지체(31) 및 이동체(32)의 질량에 비하여 충분히 큰 질량을 갖는 것으로, 헤드지지대(50) 및 이동체(32)의 이동에 의하여 발생된 반력이 지지체(31) 및 회전체(811)를 통하여 질량체(812)로 전달되어 질량체(812)를 이동시키는 경우, 질량체(812)의 미소량의 이동으로도 이동체(32)의 이동에 의하여 발생되는 반력을 충분히 상쇄시킬 수 있다.
질량체(812)와 지지대프레임(40) 사이에는 질량체(812)로 전달된 힘이 지지대프레임(40)으로 전달되는 것을 방지함과 아울러 질량체(812)가 지지대프레임(40)에 연결되어 슬라이딩되도록 마찰방지수단(97)이 구비될 수 있다. 마찰방지수단(97)로, 예를 들면, 볼베어링, 롤러베어링, 롤러 또는 내부에 마찰유가 수용된 하우징 등 질량체(812)와 지지대프레임(40) 사이의 진동전달 및 마찰을 방지할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 한편, 본 발명의 실시예에서는 질량체(812)가 지지대프레임(40)에 슬라이드 가능하게 연결되는 구성이 제시되나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 질량체(812)가 지지대프레임(40) 이외의 다른 구성요소에 슬라이드 가능하게 지지되어 전달된 헤드지지대(50) 및 이동체(32)의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 이동하는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서는 질량체(812)가 지지대프레임(40)의 일측에 배치되는 구성이 제시되지만, 질량체(812)가 지지대프레임(40)의 내부 공간에 배치되는 구성이 적용될 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여 지지체(31)상에서 이동체(32) 및 헤드지지대(50)가 이동하는 경우, 이동체(32)의 이동방향과 반대방향의 반력이 발생하는데, 이와 같은 반력은, 그 일부가 지지체(31)로 전달되어 지지체(31)를 이동시키기 위한 에너지로 변환되어 소멸되고, 다른 일부는 지지체(31)를 통하여 회전체(811)로 전달되어 회전체(811)를 회전시키기 위한 에너지로 변환되어 소멸되며, 또한, 또 다른 일부는 회전체(811)의 회전을 통하여 질량체(812)로 전달되어 질량체(812)를 이동시키기 위한 에너지로 변환되어 소멸된다. 이 경우, 질량체(812)의 질량은 지지체(31), 이동체(32) 및 헤드지지대(50)의 질량에 비하여 충분히 크므로 질량체(812)의 이동량은 근소하다. 한편, 질량체(812)로 전달된 힘에 의하여 질량체(812)가 이동된 후에는 질량체(812)는 자체의 중량에 의하여 초기의 설치위치로 복귀될 수 있다.
한편, 본 발명의 제3실시예에서 설명한 바와 같이, 질량체(812)가 이동한 후 질량체(812)가 자체의 중량에 의하여 초기의 설치위치로 복귀되는 것을 보조할 수 있도록, 질량체(812)와 연결되는 복원체(813)가 더 구비될 수 있다. 복원체(813)는 질량체(812)와 연결되는 탄성코일스프링, 판스프링 또는 유압식 또는 공압식 댐퍼 등 질량체(812)에 대하여 소정의 복원력을 부여할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.
또한, 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에서 설명한 진동절연체(99)가 지지대프레임(40)과 마찰방지수단(97) 사이에 설치될 수 있으며, 이에 따라, 질량체(812)의 이동에 의하여 발생할 수 있는 진동이 지지대프레임(40)으로 전달되는 것을 방지할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는 헤드지지대(50)가 이동이 가능하게 지지되는 지지대프레임(40)에 헤드지지대(50) 및 이동체(32)의 이동에 의하여 발생되는 반력의 작용방향을 회전체(811)의 회전에 의하여 변환한 후 질량체(812)로 전달하고, 질량체(812)를 지지체(31)의 이동방향에 수직인 방향으로 이동시키는 것을 통하여 반력을 상쇄시키는 반력상쇄장치(80)가 구비되므로, 그 구성을 단순화시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 헤드지지대(50) 및 이동체(32)의 이동에 의하여 발생되는 반력을 지지체(31)를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시킬 수 있고, 회전체(811)를 회전시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시킬 수 있으며, 질량체(812)를 이동시키기 위한 에너지로 변환하여 소멸시킬 수 있으므로, 이와 같은 다중의 복합적인 반력상쇄효과에 의하여 반력상쇄성능을 효율적으로 발휘할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는 반력상쇄장치(80)가 지지대프레임(40)의 양측 중 적어도 일측에 구비될 수 있으며, 양측에 모두 구비될 수 있다.
본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 반력상쇄장치(80)는 상술한 실시예에서 제시한 구성 외에 스테이지(11)를 이동시키는 스테이지구동장치 등 페이스트 디스펜서 내의 구성부품을 이동시키는 다수의 장치에 적용될 수 있다.
10: 베이스프레임 11: 스테이지
20: 기판 30: 지지대이동장치
40: 지지대프레임 50: 헤드지지대
60: 헤드유닛 70: 헤드이동장치
80: 반력상쇄장치 811: 회전체
812: 질량체 813: 복원체
90: 이송시스템 91: 프레임
92: 지지체 93: 이동체

Claims (16)

  1. 지지체와, 상기 지지체상에서 이동되는 이동체와, 상기 지지체가 슬라이드 가능하게 지지되는 프레임으로 구성되는 이송시스템에 설치되며,
    상기 지지체와 연결되어 상기 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 상기 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체; 및
    상기 프레임에 회전이 가능하게 연결되며 그 회전중심을 기준으로 일측은 상기 지지체에 연결되고 타측은 상기 질량체에 연결되는 회전체를 포함하는 반력상쇄장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 회전체의 회전중심과 상기 회전체가 상기 지지체와 연결되는 접점 사이의 거리는 상기 회전체의 회전중심과 상기 회전체가 상기 질량체와 연결되는 접점 사이의 거리에 비하여 작은 것을 특징으로 하는 반력상쇄장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 질량체가 이동된 경우 상기 질량체를 초기의 위치로 복원시키는 복원체를 포함하는 반력상쇄장치.
  5. 지지체와, 상기 지지체상에서 이동되는 이동체와, 상기 지지체가 슬라이드 가능하게 지지되는 프레임으로 구성되는 이송시스템에 설치되고,
    상기 지지체와 연결되어 상기 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 상기 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체를 포함하며,
    상기 질량체와 상기 프레임의 사이에는 마찰방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 반력상쇄장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 프레임과 상기 마찰방지수단의 사이에는 진동절연체가 구비되는 것을 특징으로 하는 반력상쇄장치.
  7. 헤드지지대;
    상기 헤드지지대에 이동이 가능하게 설치되는 헤드유닛;
    상기 헤드유닛을 상기 헤드지지대의 길이방향으로 이동시키도록, 상기 헤드지지대에 슬라이드 가능하게 연결되는 지지체와, 상기 헤드유닛에 장착되는 이동체를 포함하는 헤드이동장치; 및
    상기 지지체와 연결되어 상기 헤드유닛 및 상기 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 상기 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체 및 상기 헤드지지대에 회전이 가능하게 연결되며 그 회전중심을 기준으로 일측은 상기 지지체에 연결되고 타측은 상기 질량체에 연결되는 회전체를 포함하여 구성되는 반력상쇄장치를 포함하는 페이스트 디스펜서.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 회전체의 회전중심과 상기 회전체가 상기 지지체와 연결되는 접점 사이의 거리는 상기 회전체의 회전중심과 상기 회전체가 상기 질량체와 연결되는 접점 사이의 거리에 비하여 작은 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 반력상쇄장치는, 상기 질량체와 연결되어 상기 질량체가 이동된 경우 상기 질량체를 초기의 위치로 복원시키는 복원체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  11. 헤드지지대;
    상기 헤드지지대에 이동이 가능하게 설치되는 헤드유닛;
    상기 헤드유닛을 상기 헤드지지대의 길이방향으로 이동시키도록, 상기 헤드지지대에 슬라이드 가능하게 연결되는 지지체와, 상기 헤드유닛에 장착되는 이동체를 포함하는 헤드이동장치; 및
    상기 지지체와 연결되어 상기 헤드유닛 및 상기 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 상기 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체를 포함하는 반력상쇄장치를 포함하며,
    상기 질량체와 상기 헤드지지대의 사이에는 마찰방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  12. 헤드유닛이 설치된 헤드지지대가 지지되는 지지대프레임;
    상기 헤드지지대를 상기 지지대프레임의 길이방향으로 이동시키도록, 상기 지지대프레임에 슬라이드 가능하게 연결되는 지지체와, 상기 헤드지지대에 장착되는 이동체를 포함하는 지지대이동장치; 및
    상기 지지체와 연결되어 상기 헤드지지대 및 상기 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 상기 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체 및 상기 지지대프레임에 회전이 가능하게 연결되며 그 회전중심을 기준으로 일측은 상기 지지체에 연결되고 타측은 상기 질량체에 연결되는 회전체를 포함하여 구성되는 반력상쇄장치를 포함하는 페이스트 디스펜서.
  13. 삭제
  14. 제12항에 있어서,
    상기 회전체의 회전중심과 상기 회전체가 상기 지지체와 연결되는 접점 사이의 거리는 상기 회전체의 회전중심과 상기 회전체가 상기 질량체와 연결되는 접점 사이의 거리에 비하여 작은 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 반력상쇄장치는, 상기 질량체와 연결되어 상기 질량체가 이동된 경우 상기 질량체를 초기의 위치로 복원시키는 복원체를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  16. 헤드유닛이 설치된 헤드지지대가 지지되는 지지대프레임;
    상기 헤드지지대를 상기 지지대프레임의 길이방향으로 이동시키도록, 상기 지지대프레임에 슬라이드 가능하게 연결되는 지지체와, 상기 헤드지지대에 장착되는 이동체를 포함하는 지지대이동장치; 및
    상기 지지체와 연결되어 상기 헤드지지대 및 상기 이동체의 이동에 의하여 발생되는 반력에 의하여 상기 지지체의 이동방향에 수직인 방향으로 이동되는 질량체를 포함하는 반력상쇄장치를 포함하며,
    상기 질량체와 상기 지지대프레임의 사이에는 마찰방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
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