JP5116413B2 - ステージ装置、露光装置及び表示用パネルの製造方法 - Google Patents
ステージ装置、露光装置及び表示用パネルの製造方法 Download PDFInfo
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Description
なお、半導体素子製造プロセス等で用いられる露光装置の振動を防止するために除振装置を採用したものとして、例えば、特許文献1に記載のものが知られている。引用文献1に記載の露光装置は、エアベアリングとピエゾ素子との組み合わせからなるアクティブアイソレート(アクティブ除振装置)を振動防止に用いたものである。
表示用パネルの大画面化に伴って基板が大型化し、その基板の処理、検査又は測定のためのステージも大型化し、その搬送ストロークも大きくなる。これに伴って、この発明に係るステージ手段も少なくとも2分割された第1及び第2のステージで構成され、それぞれが結合されることによって一つのステージ装置を構成している。このステージ装置を構成する第1及び第2のステージのそれぞれの4隅にアクティブ除振手段を設ける。通常は、4隅に設けたアクティブ除振手段だけではステージ装置の総重量を支持(負担)することができないので、この発明では、第1及び第2のステージ手段の総重量の半分以上の荷重を支持(負担)するためのパッシブ除振手段を設けた。これによって、分割されたステージ間の結合部分に発生する歪みの影響を排除し、パッシブ除振部材を用いて有効に床振動を除去することができる。
これは、分割された第1及び第2のステージ間の結合部分に顕著に歪みが発生するので、アクティブ除振手段を各ステージの結合部を挟む対向位置に隣接して設けることによって、その影響を効率的に排除するようにしたものである。
これは、ステージ手段が3分割された第1、第2及び第3のステージで構成され、それぞれが結合されることによって一つのステージ装置を構成している。この発明では、第2のステージが露光用光源等を備えた露光部であり、第1及び第3ステージは、露光前の基板を受け取って第1及び第2のテーブル手段にロードし、露光後の基板をアンロードするロード/アンロード部として機能するものであり、それぞれのステージの4隅にアクティブ除振手段が設けられる。なお、第2のステージは、第1及び第3のステージよりも大きいので、この場合には、4隅以外にその中間部付近にもアクティブ除振手段及びパッシブ除振手段を設けることが好ましい。
これは、分割された第1、第2及び第3のステージ間の各結合部分に顕著に歪みが発生するので、アクティブ除振手段を各ステージの結合部を挟む対向位置に隣接して設けることによって、その影響を効率的に排除するようにしたものである。
200…第2サブステージ
300…メインステージ
101,201…移動テーブル
110…サブステージ本体部
120…サブベース部
130…PAフレーム部
210…サブステージ本体部
220…サブベース部
230…PAフレーム部
310…メインステージ本体部
320…トップフレーム
161〜163,261〜263,361〜366…パッシブアイソレータ
171〜174,271〜274,371〜376…アクティブアイソレータ
Claims (6)
- 基板を搭載するテーブル手段と、
第1及び第2のステージを結合することによって一体的に構成されたステージ手段と、
前記テーブル手段を前記第1及び第2のステージ間で移動させるガイド手段と、
前記第1及び第2のステージ手段のそれぞれの少なくとも4隅に設けられ、前記第1及び第2のステージ手段の結合部を挟む対向位置にそれぞれ隣接するように少なくとも2個ずつ設けられ、前記第1及び第2のステージ手段間を前記テーブル手段が移動することによって発生する荷重変動による浮き沈みの発生を防止すると共に床振動を打ち消し、前記第1及び第2のステージ手段に床振動を伝達させないように構成され、前記第1及び第2のステージ手段の総重量の約13分の4以下かつ約10分の1以上の荷重を負担する複数のアクティブ除振手段と、
前記第1及び第2のステージ手段の床面側に設けられ、前記第1及び第2のステージ手段の総重量の約13分の9以上かつ約10分の9以下の荷重を負担する複数のパッシブ除振手段と
を備えたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項1に記載のステージ装置において、前記アクティブ除振手段は、内蔵の加速度センサによって床振動を測定し、逆位相の振動を発生させることを特徴とするステージ装置。
- 基板を搭載する第1及び第2のテーブル手段と、
第1、第2及び第3のステージを結合することによって一体的に構成されたステージ手段と、
前記第1のテーブル手段を前記第1及び第2のステージ間で移動させ、前記第2のテーブル手段を前記第2及び第3のステージ間で移動させるガイド手段と、
前記第1、第2及び第3のステージ手段のそれぞれの少なくとも4隅に設けられ、前記第1、第2及び第3のステージ手段のそれぞれ結合部を挟む対向位置にそれぞれ隣接するように少なくとも2個ずつ設けられ、前記第1、第2及び第3のステージ手段間を前記第1及び第2のテーブル手段が移動することによって発生する荷重変動による浮き沈みの発生を防止すると共に床振動を打ち消し、前記第1、第2及び第3のステージ手段に床振動を伝達させないように構成され、前記第1、第2及び第3のステージ手段の総重量の約13分の4以下かつ約10分の1以上の荷重を負担する複数のアクティブ除振手段と、
前記第1、第2及び第3のステージ手段の床面側に設けられ、前記第1、第2及び第3のステージ手段の総重量の約13分の9以上かつ約10分の9以下の荷重を負担する複数のパッシブ除振手段と
を備えたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項3に記載のステージ装置において、前記アクティブ除振手段は、内蔵の加速度センサによって床振動を測定し、逆位相の振動を発生させることを特徴とするステージ装置。
- 請求項1、2、3又は4に記載されたステージ装置を用いて構成されたことを特徴とする露光装置。
- 請求項1、2、3若しくは4に記載されたステージ装置、又は請求項5に記載の露光装置を用いて表示用パネルを製造することを特徴とする表示用パネルの製造方法。
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JP2007237740A JP5116413B2 (ja) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | ステージ装置、露光装置及び表示用パネルの製造方法 |
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JP2009068600A JP2009068600A (ja) | 2009-04-02 |
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