JP5065359B2 - 反力相殺装置及びそれを備えたペーストディスペンサー - Google Patents

Description

本発明は、移送システムに適用され、移動体の移動によって発生される反力を相殺するための装置に関するものである。

液晶ディスプレイ（LCD, Liquid Crystal Display）を含む各種平板ディスプレイ（FPD, Flat Panel Display）の製造工程には、基板、液体吐出用ノズル又はノズル移送装置など目的物を移送するロボット、クレーンなどの移送システムが適用されている。

このような移送システムは、移動体支持台と、移動体支持台上に支持される支持体と、支持体上に設けられ、一側方向に移動する移動体とからなり、移動体を所望の目的のために移動させる構成を有している。

移送システムの動作過程では、移動体の移動によって発生される反力によって移送システムに振動が発生し、このような反力による振動によって作業の精密性が劣る問題点がある。

このような振動を低減させるために移送システムに反力相殺装置を適用する方案が考慮されている。例えば、特許文献１には反力相殺装置に関する技術が開示されている。

しかし、上記特許文献１を含む従来の反力相殺装置は、移送システムとは別途に配置され、固定されることから、移動体を含む移送システムが移動体の移動方向でない他の方向に移動される場合、例えば、移動体の移動方向がＸ軸方向であり、移送システムの移動方向がＹ軸方向の場合には、このような反力相殺装置を適用することができないという問題点がある。

また、従来の反力相殺装置は、移送システムとは別途に配置されるので、その構成及び設置作業が非常に複雑であるという問題点がある。

韓国公開特許公報第１０−２００５−０００３４２６号

本発明は、上記した従来技術の問題点を解決するためのものであり、本発明の目的は、移送システムの移動体の移動によって発生される反力を移動体の移動方向と同じ方向に移動される質量体に伝達し、質量体を移動させるための駆動エネルギーに変換して相殺することによって、その構成を単純化することができるだけでなく、移送システムが移動体の移動方向でない他の方向に移動される場合にも、移動体の移動によって発生される反力を相殺することができる反力相殺装置を提供することにある。

また、本発明の別の目的は、上記したような反力相殺装置を備えたペーストディスペンサーを提供することにある。

上記した目的を達成するための本発明に係る反力相殺装置は、移動体支持台と、上記移動体支持台にスライド可能に支持される支持体と、上記支持体上で移動される移動体とからなる移送システムに設けられており、上記支持体と連結され、上記移動体の移動によって発生される反力によって上記移動体の移動方向と同じ方向に移動される質量体と；上記質量体が移動された場合、上記質量体を初期の位置へ復元させる復元機構と；上記移動体支持台にスライド可能に設けられ、上記支持体と上記質量体とが結合され、上記移動体の移動によって発生され、上記支持体に伝達された力を上記質量体に伝達する伝達部材と；で構成され得る。

ここで、伝達部材は、移動体支持台を取り囲む閉ループ構造であってもよく、伝達部材と移動体支持台との間には、伝達部材の内面と移動体支持台の外周面との間の摩擦を防止する摩擦防止機構が備えられることが好ましい。

また、本発明に係るペーストディスペンサーは、ヘッド支持台と；上記ヘッド支持台に移動可能に設けられるヘッドユニットと；上記ヘッドユニットを上記ヘッド支持台の長手方向に移動するように、上記ヘッド支持台にスライド可能に連結される固定子と上記ヘッドユニットに取り付けられる可動子とを含むヘッド移動装置と；上記固定子と連結され、上記ヘッドユニット及び上記可動子の移動によって発生される反力によって上記可動子の移動方向と同じ方向に移動される質量体と、上記質量体が移動された場合、上記質量体を初期の位置へ復元させる復元機構と、上記ヘッド支持台にスライド可能に設けられ、上記固定子と上記質量体とが結合され、上記可動子の移動によって発生され、上記固定子に伝達された力を上記質量体に伝達する伝達部材とからなる反力相殺装置と；で構成され得る。

ここで、伝達部材はヘッド支持台を取り囲む閉ループ構造からなっていてもよく、伝達部材とヘッド支持台との間には伝達部材の内面とヘッド支持台の外周面との間の摩擦を防止する摩擦防止機構が備えられることが好ましい。

また、本発明に係るペーストディスペンサーは、ヘッドユニットが設けられたヘッド支持台が支持される支持台フレームと；上記ヘッド支持台を上記支持台フレームの長手方向に移動するように、上記支持台フレームにスライド可能に連結される固定子と上記ヘッド支持台に取り付けられる可動子とを含む支持台移動装置と；上記固定子と連結され、上記ヘッド支持台及び上記可動子の移動によって発生される反力によって上記可動子の移動方向と同じ方向に移動される質量体と、上記質量体が移動された場合、上記質量体を初期の位置へ復元させる復元機構と、上記支持台フレームにスライド可能に設けられ、上記固定子と上記質量体とが結合され、上記可動子の移動によって発生されて上記固定子に伝達された力を上記質量体に伝達する伝達部材とからなる反力相殺装置と；で構成され得る。

ここで、伝達部材は、支持台フレームを取り囲む閉ループ構造からなっていてもよく、伝達部材と支持台フレームとの間には、伝達部材の内面と支持台フレームの外周面との間の摩擦を防止する摩擦防止機構が備えられることが好ましい。

本発明に係る反力相殺装置は、移動体の移動によって発生される反力を移動体の移動方向と同じ方向に移動される質量体に伝達し、質量体を移動させる駆動エネルギーに変換して相殺することができるので、その構成を単純化することができる。

また、移動体の移動によって発生される反力が、支持体を移動させるための駆動エネルギーに変換されることと、伝達部材をスライド移動させるための駆動エネルギーに変換されることと、質量体を移動させるための駆動エネルギーに変換されることを通じて相殺され得るので、このような多重の複合的な反力相殺効果によって反力相殺性能を効率的に発揮しうる効果がある。また、伝達部材、質量体及び復元機構の全てが移動体支持台に連結される場合には、移送システムが移動体の移動方向でない他の方向に移動される場合にも移動体の移動によって発生される反力を相殺することができる効果がある。

また、本発明に係る反力相殺装置は、移動体支持台にスライド可能に設けられる伝達部材を備え、伝達部材のスライド移動を通じて移動体の反力を質量体に伝達するので、移動体の反力を質量体に伝達する過程で衝撃又は振動などの発生を低減することができる効果がある。

また、反力相殺装置がペーストディスペンサーのヘッド支持台に適用される場合には、ヘッドユニット及び可動子の移動によって発生される反力を可動子の移動方向と同じ方向に移動される質量体に伝達し、質量体を移動させるための駆動エネルギーに変換することを通じて、相殺することができるので、その構成を単純化することができるだけでなく、ヘッド支持台がヘッドユニットが移動される方向の垂直方向に移動される場合にも、ヘッドユニットの移動によって発生される反力を相殺することができるという効果がある。また、ヘッドユニット及び可動子の移動によって発生される反力が、伝達部材をスライド移動させるための駆動エネルギーに変換されることと、質量体を移動させるための駆動エネルギーに変換されることを通じて相殺することができるので、このような多重の複合的な反力相殺効果によって反力相殺性能を効率的に発揮しうる効果がある。

また、反力相殺装置がペーストディスペンサーの支持台フレームに適用される場合には、ヘッド支持台及び可動子の移動によって発生される反力を可動子の移動方向と同じ方向に移動される質量体に伝達し、質量体を移動させるための駆動エネルギーに変換することを通じて相殺することができるので、その構成を単純化させることができる効果がある。また、ヘッド支持台及び可動子の移動によって発生される反力が、伝達部材をスライド移動させるための駆動エネルギーに変換されることと、質量体を移動させるための駆動エネルギーに変換されることを通じて相殺することができるので、このような多重の複合的な反力相殺効果によって反力相殺性能を効率的に発揮しうる効果がある。

本発明に係る反力相殺装置が示された概略図である。 本発明に係るペーストディスペンサーが示された斜視図である。 図２のペーストディスペンサーのヘッドユニットが示された斜視図である。 本発明に係る反力相殺装置が設けられたペーストディスペンサーのヘッド支持台の断面図である。 本発明に係る反力相殺装置が設けられたペーストディスペンサーの支持台フレームの断面図である。

以下、添付された図面を参照して本発明に係る反力相殺装置について説明する。

図１は本発明に係る反力相殺装置が図示された概略図である。

図１に示されるように、本発明に係る反力相殺装置８０は、移動体９３が所望の目的のために移動するように設けられる移送システム９０に設けられ、移動体９３の移動によって発生される反力を相殺する反力相殺部８１を含んで構成され得る。ここで、移送システム９０は、移動体９３が移動可能に支持される支持体９２と、支持体９２がスライド可能に支持される移動体支持台９１とを含んで構成され得る。

反力相殺部８１は、支持体９２と連結され、移動体９３の移動によって発生される反力によって移動体９３の移動方向と同じ方向に移動される質量体８１２と、質量体８１２の一側又は両側と連結され、質量体８１２が移動された場合、質量体８１２を初期の設置位置へ復元させる復元機構８１３とを含んで構成され得る。

このような構成により、移動体９３の移動によって発生される反力は、支持体９２に伝達され、支持体９２を移動させ、支持体９２を移動させる力は質量体８１２に伝達され、質量体８１２に伝達された力は質量体８１２を移動させるためのエネルギーに変換され、相殺される。

反力相殺部８１は、移動体９３の移動によって発生され、支持体９２に伝達された力を移動体９３の移動方向と同じ方向に移動される質量体８１２に伝達するために、移動体支持台９１にスライド可能に設けられ、支持体９２と質量体８１２を連結して移動体９３の移動によって発生され、支持体９２に伝達された力を質量体８１２に伝達する伝達部材８１４を含んで構成され得る。

伝達部材８１４は、移動体支持台９１の外周を取り囲む閉ループ構造で形成されていてもよく、例えば、ベルト、チェーン又はロープなどからなっていてもよい。

図１に示されるように、伝達部材８１４の上側には支持体９２が結合され、伝達部材８１４の下側には質量体８１２が結合され、これにより、支持体９２と質量体８１２とは伝達部材８１４を介して連結される。但し、本発明は、図１に図示された方向に限定されず、移動体支持台９１を基準に、伝達部材８１４の一側には支持体９２が結合され、伝達部材８１４の他側には質量体８１２が結合された構成であってもよい。

従って、移動体９３の移動によって発生され、支持体９２に伝達される力によって支持体９２が移動すれば、伝達部材８１４は移動体支持台９１の周縁方向にスライド移動され、伝達部材８１４のスライド移動によって質量体８１２が移動体９３の移動方向と同じ方向に移動される。このような過程を通じて、移動体９３の移動によって発生された反力は、支持体９２を移動させる駆動エネルギー、伝達部材８１４を移動させる駆動エネルギー及び質量体８１２を移動させる駆動エネルギーに変換され、消滅される。

このように、伝達部材８１４は、移動体支持台９１の外周面にスライド移動されながら、支持体９２に伝達された移動体９３の移動によって発生された反力を質量体８１２に伝達する役割を遂行するが、このような伝達部材８１４のスライド移動を介した力の伝達は、支持体９２と質量体８１２とを連結する他のリンク構造による力の伝達に比べて、力の伝達過程で発生しうる振動、衝撃及び騷音を最小化することができる。

ここで、伝達部材８１４の移動体支持台９１の外周面に対するスライド移動過程で発生され得る伝達部材８１４の内面と移動体支持台９１の外面との間の摩擦を最小化するように、伝達部材８１４と移動体支持台９１との間には摩擦防止機構９７が備えられることが好ましい。摩擦防止機構９７としては、例えば、ボールベアリング、ローラーベアリング、ローラー又は内部に摩擦油が収納されたハウジングなど伝達部材８１４と移動体支持台９１との間の振動伝達及び摩擦を防止することができる様々な構成が適用され得る。

質量体８１２は、支持体９２及び移動体９３の質量に比べて十分に大きな質量を有するものであり、移動体９３の移動によって発生された反力が支持体９２及び伝達部材８１４を介して質量体８１２に伝達され、質量体８１２を移動させる場合、質量体８１２の僅かな移動量でも移動体９３の移動によって発生される反力を十分に相殺することができる。

復元機構８１３は、移動体９３の移動によって発生される反力によって質量体８１２が移動した場合、質量体８１２を初期の設置位置へ復元させる役割を果たすものであり、復元機構８１３は質量体８１２と連結される弾性コイルスプリング、板スプリング又は油圧式若しくは空圧式ダンパーなど質量体８１２に対して所定の復元力を付与することができる様々な構成が適用され得る。

このような構成によって支持体９２上で移動体９３が移動する場合、移動体９３の移動方向と反対方向の反力が発生するが、このような反力は、その一部が支持体９２に伝達され、支持体９２を移動させるための駆動エネルギーに変換され消滅され、他の一部は支持体９２を介して伝達部材８１４に伝達され、伝達部材８１４を移動体支持台９１の外周面に対して、スライド移動させるための駆動エネルギーに変換され消滅される。また、さらに別の一部は伝達部材８１４を介して質量体８１２に伝達され、質量体８１２を移動させるための駆動エネルギーに変換され消滅される。この場合、質量体８１２の質量は、支持体９２及び移動体９３の質量に比べて十分に大きいので、質量体８１２の移動量はごく僅かである。

一方、質量体８１２に伝達された力によって質量体８１２が移動された後には、質量体８１２は復元機構８１３の復元力によって初期の設置位置へ復帰される。この時、復元機構８１３の復元力が質量体８１２を介して閉ループ構造を有する伝達部材８１４に伝達されれば、伝達部材８１４が移動体支持台９１にスライド移動され、これにより、伝達部材８１４に結合された支持体９２の初期の位置へ復帰され得る。

このように、本発明に係る反力相殺装置は、閉ループ構造を有する伝達部材８１４のスライド移動を通じて質量体８１２と共に支持体９２も初期の位置へ復帰できるので、支持体９２を初期の位置へ復帰させるための別途の構成を必要としない長所がある。

上記したような本発明に係る反力相殺装置８０は、移動体９３の移動によって発生される反力を伝達部材８１４のスライド移動を通じて質量体８１２に伝達し、質量体８１２を移動体９３の移動方向と同じ方向に移動させることによって、反力を相殺することができるので、反力システムの構成を単純化することができる。また、移動体９３の移動によって発生する反力を、支持体９２を移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅することができ、伝達部材８１４をスライド移動させる駆動エネルギーに変換して消滅することができ、質量体８１２を移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅することができるので、このような多重の複合的な反力相殺効果によって反力相殺性能を効率的に発揮しうる効果がある。また、伝達部材８１４、質量体８１２及び復元機構８１３の全てが移動体支持台９１に連結される場合には、反力相殺部８１が設けられた移送システム９０が移動体９３の移動方向でない他の方向に移動される場合にも、移動体９３の移動による反力を相殺することができる効果がある。

また、本発明に係る反力相殺装置８０は、移動体支持台９１にスライド可能に設けられる伝達部材８１４を備え、伝達部材８１４のスライド移動を通じて移動体９３の反力を質量体８１２に伝達するので、支持体９２と質量体８１２を複雑なリンク構造で連結するものに比べて、移動体９３の反力を質量体８１２に伝達する過程での衝撃又は振動などの発生を最小化することができる効果がある。

上記のように構成され、作用効果を有する反力相殺装置８０は、クレーン、ロボット、ＦＰＤ製造装置など様々な移送システムに適用することができる。以下、本発明に係る反力相殺装置８０がペーストディスペンサーに適用される場合を説明する。

図２は、本発明に係る反力相殺装置８０を備えたペーストディスペンサーが示された斜視図であり、図３は図２のペーストディスペンサーのヘッドユニットが図示された斜視図である。

図２に示されるように、本発明に係るペーストディスペンサーは、ベースフレーム１０と、ベースフレーム１０に固定され基板２０が安着されるステージ１１と、ステージ１１の両側にＹ軸方向に設けられる一対の支持台フレーム４０と、一対の支持台フレーム４０にそれぞれ支持されるように設けられ、Ｘ軸方向に延びるヘッド支持台５０と、ヘッド支持台５０に設けられる複数のヘッドユニット６０と、ヘッドユニット６０をヘッド支持台５０に設けると共に、ヘッドユニット６０をＸ軸方向に水平移動させるヘッド移動装置７０と、ヘッドユニット６０及びヘッド移動装置７０の動作を制御する制御部（未図示）と、を含んで構成され得る。

ベースフレーム１０には、ステージ１１をベースフレーム１０の前後方向（Ｙ軸方向）に移動させるステージ駆動装置（未図示）が備えられていてもよく、ヘッド支持台５０には、ヘッド支持台５０を支持台フレーム４０に沿って移動する支持台移動装置３０が備えられていてもよい。ヘッド支持台５０は、基板２０が大面積からなる場合に、ペーストパターン形成の生産性を向上させることができるように複数設けられていてもよい。

図３に示されるように、ヘッドユニット６０は、ペーストが充填されるシリンジ６１と、シリンジ６１と連通され、ペーストが吐出されるノズル６２と、ノズル６２に隣接するように配置され、ノズル６２と基板２０との間のギャップデータを測定するレーザー変位センサー６３と、ノズル６２及びレーザー変位センサー６３をＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動部６４と、ノズル６２及びレーザー変位センサー６３をＺ軸方向に移動させるＺ軸駆動部６５とを含んで構成され得る。ここで、レーザー変位センサー６３は、レーザーを発光する発光部６３１と、発光部６３１と所定の間隔で離隔され、基板２０より反射されたレーザーが受光される受光部６３２とで構成され、発光部６３１より発光され、基板２０に反射されたレーザーの結像位置による電気信号を制御部に出力し、基板２０とノズル６２との間のギャップデータを計測する役割を果たす。

また、ヘッドユニット６０には、基板に塗布されたペーストパターンＰの断面積を測定する断面積センサー６６が設けられる。このような断面積センサー６６は、基板２０にレーザーを連続的に放出し、ペーストパターンＰをスキャンすることによって、ペーストパターンＰの断面積を測定する。断面積センサー６６から測定されたペーストパターンＰの断面積データは、ペーストパターンＰの不具合の判断に用いられる。

以下、本発明に係る反力相殺装置８０がペーストディスペンサーのヘッド支持台５０に適用される実施例について説明する。

図４は本発明に係るペーストディスペンサーのヘッド支持台５０の断面図であり、ヘッド支持台５０に反力相殺装置８０が適用された構成を示す。

図４に示されるように、ヘッド支持台５０には、ヘッド移動装置７０を介してヘッドユニット６０が連結される。ヘッド移動装置７０はヘッド支持台５０の長手方向に延びる固定子７１とヘッドユニット６０に取り付けられる可動子７２とで構成される。これにより、固定子７１と可動子７２との電磁気的相互作用によってヘッドユニット６０がＸ軸方向、即ち、ヘッド支持台５０の長手方向に移動される。

反力相殺装置８０は、ヘッドユニット６０及び可動子７２の移動によって発生され、固定子７１に作用される力を可動子７２の移動方向と同じ方向に移動される質量体８１２に伝達し、質量体８１２を移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅させる反力相殺部８１を含んで構成され得る。反力相殺部８１は、固定子７１と連結され、ヘッドユニット６０及び可動子７２の移動によって発生される反力によって可動子７２の移動方向と同じ方向に移動される質量体８１２と、質量体８１２が移動された場合、質量体８１２を初期の設置位置へ復元させる復元機構８１３とを含んで構成され得る。

反力相殺部８１は、固定子７１に伝達された力を可動子７２の移動方向と同じ方向に移動される質量体８１２に伝達するために、ヘッド支持台５０にスライド可能に設けられ、固定子７１と質量体８１２を連結して可動子７２の移動によって発生されて固定子７１に伝達された力を質量体８１２に伝達する伝達部材８１４を含んで構成され得る。

ここで、ヘッド支持台５０を基準に、伝達部材８１４の一側には固定子７１が結合され、伝達部材８１４の他側には質量体８１２が結合される。伝達部材８１４はヘッド支持台５０の外周を取り囲む閉ループ構造であり、例えば、ベルト、チェーン又はロープなどからなっていてもよい。

質量体８１２はヘッドユニット６０、固定子７１及び可動子７２の質量に比べて十分に大きな質量を有するものであり、ヘッドユニット６０及び可動子７２の移動によって発生された反力が固定子７１及び伝達部材８１４を介して質量体８１２に伝達され、質量体８１２を移動させる場合、質量体８１２の僅かな移動量でも可動子７２の移動によって発生される反力を十分に相殺することができる。

伝達部材８１４とヘッド支持台５０との間には、伝達部材８１４の内面と移動体支持台９１の外周面との間の摩擦を防止する摩擦防止機構９７が備えられることが好ましい。摩擦防止機構９７として、例えば、ボールベアリング、ローラーベアリング、ローラー又は内部に摩擦油が収納されたハウジングなど伝達部材８１４とヘッド支持台５０との間の振動伝達及び摩擦を防止しうる様々な構成が適用され得る。

本発明の実施例では、質量体８１２がヘッド支持台５０の内側に配置される構成が提示されているが、質量体８１２がヘッド支持台５０の外部に配置される構成であってよい。

復元機構８１３は、ヘッドユニット６０及び固定子７１の移動によって発生される反力によって質量体８１２が移動した場合、質量体８１２を初期の設置位置へ復元させる役割を果たすものであり、復元機構８１３は質量体８１２と連結される弾性コイルスプリング、板スプリング又は油圧式若しくは空圧式ダンパーなど質量体８１２に対して、所定の復元力を付与することができる様々な構成が適用され得る。

このような構成によって固定子７１上で可動子７２及びヘッドユニット６０が移動する場合、可動子７２の移動方向と反対方向の反力が発生するが、このような反力は、その一部が固定子７１に伝達され、固定子７１を移動させるための駆動エネルギーに変換され消滅され、他の一部は固定子７１を介して伝達部材８１４に伝達され、伝達部材８１４をスライド移動させるための駆動エネルギーに変換され消滅され、また、さらに別の一部は伝達部材８１４を介して質量体８１２に伝達され、質量体８１２を移動させるための駆動エネルギーに変換され消滅される。この場合、質量体８１２の質量は固定子７１、可動子７２及びヘッドユニット６０の質量に比べて十分に大きいので、質量体８１２の移動量はごく僅かである。一方、質量体８１２に伝達された力によって質量体８１２が移動された後には、質量体８１２は復元機構８１３によって初期の設置位置へ復帰され、これと同時に、固定子７１の初期の位置へ復帰される。

上記したような本発明に係るペーストディスペンサーは、ヘッドユニット６０が移動可能に支持されるヘッド支持台５０にヘッドユニット６０及び可動子７２の移動によって発生される反力をヘッド支持台５０にスライド可能に設けられる伝達部材８１４を介して質量体８１２に伝達し、質量体８１２を可動子７２の移動方向と同じ方向に移動させることを通じて、反力を相殺する反力相殺装置８０が備えられるので、その構成を単純化することができるだけでなく、ヘッド支持台５０がＹ軸方向に移動する場合にもヘッドユニット６０及び可動子７２の移動によって発生する反力を相殺することができるという効果がある。また、ヘッドユニット６０及び可動子７２の移動によって発生される反力を固定子７１を移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅することができ、伝達部材８１４をスライド移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅することができ、質量体８１２を移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅することができるので、このような多重の複合的な反力相殺効果によって反力相殺性能を効率的に発揮しうる効果がある。

また、本発明に係るペーストディスペンサーは、伝達部材８１４のスライド移動を通じて、ヘッドユニット６０及び可動子７０の移動によって発生される反力を質量体８１２に伝達することができるので、反力の伝達及び相殺過程での衝撃又は振動の発生を低減することができる。

以下、本発明に係る反力相殺装置８０がペーストディスペンサーの支持台フレーム４０に適用される実施例について説明する。

図５は本発明に係るペーストディスペンサーの支持台フレーム４０の断面図であり、支持台フレーム４０に反力相殺装置８０が適用された構成を示す。

図５に示されるように、支持台フレーム４０には、支持台移動装置３０を介してヘッド支持台５０が連結される。支持台移動装置３０は支持台フレーム４０の長手方向に延びる固定子３１とヘッド支持台５０に取り付けられる可動子３２とを含んで構成される。これにより、固定子３１と可動子３２との電磁気的相互作用によってヘッド支持台５０がＹ軸方向、即ち、支持台フレーム４０の長手方向に移動できる。

反力相殺装置８０は、ヘッド支持台５０及び可動子３２の移動によって発生され、固定子３１に作用される力の作用方向を変換し、可動子３２の移動方向と同じ方向に移動される質量体８１２に伝達し、質量体８１２を移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅させる反力相殺部８１を含んで構成され得る。反力相殺部８１は、固定子３１と連結され、ヘッド支持台５０及び可動子３２の移動によって発生される反力によって可動子３２の移動方向と同じ方向に移動される質量体８１２と、質量体８１２が移動された場合、質量体８１２を初期の設置位置へ復元させる復元機構８１３とを含んで構成され得る。

反力相殺部８１は、固定子３１に伝達された力を可動子３２の移動方向と同じ方向に移動される質量体８１２に伝達するために、支持台フレーム４０にスライド可能に設けられ、固定子３１と質量体８１２とを連結し、可動子３２の移動によって発生され固定子３１に伝達された力を質量体８１２に伝達する伝達部材８１４を含んで構成され得る。

支持台フレーム４０を基準に、伝達部材８１４の一側には固定子３１が結合され、伝達部材８１４の他側には質量体８１２が結合される。伝達部材８１４は支持台フレーム４０の外周を取り囲む閉ループ構造であり、例えば、ベルト、チェーン又はロープなどからなっていてもよい。

質量体８１２は、ヘッド支持台５０、固定子３１及び可動子３２の質量に比べて十分に大きな質量を有するものであり、ヘッド支持台５０及び可動子３２の移動によって発生された反力が固定子３１及び伝達部材８１４を介して質量体８１２に伝達され、質量体８１２を移動させる場合、質量体８１２の僅かな移動量でも可動子３２の移動によって発生される反力を十分に相殺することができる。

伝達部材８１４と支持台フレーム４０との間には、伝達部材８１４の内面と支持台フレーム４０の外周面との間の摩擦を防止する摩擦防止機構９７が備えられることが好ましい。摩擦防止機構９７として、例えば、ボールベアリング、ローラーベアリング、ローラー又は内部に摩擦油が収納されたハウジングなど伝達部材８１４と支持台フレーム４０との間の振動伝達及び摩擦を防止しうる様々な構成が適用されることができる。

本発明の実施例では、質量体８１２が支持台フレーム４０の内部空間に配置される構成が提示されているが、質量体８１２が支持台フレーム４０の一側に配置される構成であってもよい。

復元機構８１３は、ヘッド支持台５０及び固定子３１の移動によって発生される反力によって質量体８１２が移動した場合、質量体８１２を初期の設置位置へ復元させる役割を果たすものであり、復元機構８１３は質量体８１２と連結される弾性コイルスプリング、板スプリング又は油圧式若しくは空圧式ダンパーなど質量体８１２に対して、所定の復元力を付与することができる様々な構成が適用され得る。

このような構成によって固定子３１上で可動子３２及びヘッド支持台５０が移動する場合、可動子３２の移動方向と反対方向の反力が発生するが、このような反力は、その一部が固定子３１に伝達され、固定子３１を移動させるための駆動エネルギーに変換され消滅され、他の一部は固定子３１を介して伝達部材８１４に伝達され、伝達部材８１４をスライド移動させるための駆動エネルギーに変換され消滅され、また、さらに別の一部は伝達部材８１４を介して質量体８１２に伝達され、質量体８１２を移動させるための駆動エネルギーに変換され消滅される。この場合、質量体８１２の質量は固定子３１、可動子３２及びヘッド支持台５０の質量に比べて十分に大きいので、質量体８１２の移動量はごく僅かである。一方、質量体８１２に伝達された力によって質量体８１２が移動された後には、質量体８１２は復元機構８１３によって初期の設置位置へ復帰され、これと同時に、固定子３１も初期の位置へ復帰される。

上記したような本発明に係るペーストディスペンサーは、ヘッド支持台５０が移動可能に支持される支持台フレーム４０にヘッド支持台５０及び可動子３２の移動によって発生される反力を支持台フレーム４０にスライド可能に設けられる伝達部材８１４を介して質量体８１２に伝達し、質量体８１２を可動子３２の移動方向と同じ方向に移動させることを通じて、反力を相殺させる反力相殺装置８０が備えられるので、その構成を単純化することができる効果がある。また、ヘッド支持台５０及び可動子３２の移動によって発生される反力を固定子３１を移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅することができ、伝達部材８１４をスライド移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅することができ、質量体８１２を移動させるための駆動エネルギーに変換して消滅することができるので、このような多重の複合的な反力相殺効果によって反力相殺性能を効率的に発揮しうる効果がある。

また、本発明に係るペーストディスペンサーは、伝達部材８１４のスライド移動を通じて、ヘッド支持台５０及び可動子３２の移動によって発生される反力を質量体８１２に伝達することができるので、反力の伝達及び相殺過程での衝撃又は振動の発生を低減することができる。

本発明の各実施例で説明した技術的思想らはそれぞれ独立的に実施することができ、互いに組み合わせて実施することができる。

また、本発明に係る反力相殺装置８０は、上述した実施例で提示した構成の他に、ステージ１１を移動させるステージ駆動装置などペーストディスペンサー内の構成部品を移動させる多数の装置に適用することができる。

１０ ベースフレーム
１１ ステージ
２０ 基板
３０ 持台移動装置
４０ 支持台フレーム
５０ ヘッド支持台
６０ ヘッドユニット
７０ ヘッド移動装置
８０ 反力相殺装置
８１４ 伝達部材
８１２ 質量体
８１３ 復元機構
９１ 移動体支持台
９２ 支持体
９３ 移動体
９７ 摩擦防止機構

Claims (9)

1. 移動体支持台と、上記移動体支持台にスライド可能に支持される支持体と、上記支持体上で移動される移動体とからなる移送システムに設けられており、
   上記支持体と連結され、上記移動体の移動によって発生される反力によって上記移動体の移動方向と同じ方向に移動される質量体；
   上記質量体が移動された場合、上記質量体を初期の位置へ復元させる復元機構；及び
   上記移動体支持台にスライド可能に設けられ、上記支持体と上記質量体とが結合され、上記移動体の移動によって発生され、上記支持体に伝達された力を上記質量体に伝達する伝達部材；
   を含む反力相殺装置。
2. 上記伝達部材は、上記移動体支持台を取り囲む閉ループ構造からなることを特徴とする請求項１に記載の反力相殺装置。
3. 上記伝達部材と上記移動体支持台との間には、上記伝達部材の内面と上記移動体支持台の外周面との間の摩擦を防止する摩擦防止機構が備えられることを特徴とする請求項１又は２に記載の反力相殺装置。
4. ヘッド支持台；
   上記ヘッド支持台に移動可能に設けられるヘッドユニット；
   上記ヘッドユニットを上記ヘッド支持台の長手方向に移動するように、上記ヘッド支持台にスライド可能に連結される固定子と、上記ヘッドユニットに取り付けられる可動子とを含むヘッド移動装置；及び
   上記固定子と連結され、上記ヘッドユニット及び上記可動子の移動によって発生される反力によって上記可動子の移動方向と同じ方向に移動される質量体と、上記質量体が移動された場合、上記質量体を初期の位置へ復元させる復元機構と、上記ヘッド支持台にスライド可能に設けられ、上記固定子と上記質量体とが結合され、上記可動子の移動によって発生され、上記固定子に伝達された力を上記質量体に伝達する伝達部材とからなる反力相殺装置；
   を含むペーストディスペンサー。
5. 上記伝達部材は、上記ヘッド支持台を取り囲む閉ループ構造からなることを特徴とする請求項４に記載のペーストディスペンサー。
6. 上記伝達部材と上記ヘッド支持台との間には、上記伝達部材の内面と上記ヘッド支持台の外周面との間の摩擦を防止する摩擦防止機構が備えられることを特徴とする請求項４又は５に記載のペーストディスペンサー。
7. ヘッドユニットが設けられたヘッド支持台が支持される支持台フレーム；
   上記ヘッド支持台を上記支持台フレームの長手方向に移動するように、上記支持台フレームにスライド可能に連結される固定子と上記ヘッド支持台に取り付けられる可動子とを含む支持台移動装置；及び
   上記固定子と連結され、上記ヘッド支持台及び上記可動子の移動によって発生される反力によって上記可動子の移動方向と同じ方向に移動される質量体と、上記質量体が移動された場合、上記質量体を初期の位置へ復元させる復元機構と、上記支持台フレームにスライド可能に設けられ、上記固定子と上記質量体とが結合され、上記可動子の移動によって発生され、上記固定子に伝達された力を上記質量体に伝達する伝達部材とからなる反力相殺装置；
   を含むペーストディスペンサー。
8. 上記伝達部材は、上記支持台フレームを取り囲む閉ループ構造からなることを特徴とする請求項７に記載のペーストディスペンサー。
9. 上記伝達部材と上記支持台フレームの間には、上記伝達部材の内面と上記支持台フレームの外周面間の摩擦を防止する摩擦防止機構が備えられることを特徴とする請求項７又は８に記載のペーストディスペンサー。

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