JP2002172571A - ダブルアームおよびそれを備えたロボット - Google Patents
ダブルアームおよびそれを備えたロボットInfo
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- JP2002172571A JP2002172571A JP2000369505A JP2000369505A JP2002172571A JP 2002172571 A JP2002172571 A JP 2002172571A JP 2000369505 A JP2000369505 A JP 2000369505A JP 2000369505 A JP2000369505 A JP 2000369505A JP 2002172571 A JP2002172571 A JP 2002172571A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの取り扱いに必要とされるエンドエフ
ェクタの長手方向寸法に拘わらず可能な限り旋回動作専
有面積を小さくすることができるダブルアームおよびそ
れを備えたロボットを提供する。 【解決手段】 第１アーム２０と第２アーム３０とから
なるダブルアームであって、前記第１アーム２０および
第２アーム３０が少なくとも第１リンクおよび第２リン
ク２１Ｂ，３１Ｂを有し、前記第１アーム２０の第１リ
ンクと前記第２アーム３０の第１リンクとが一体化され
て旋回部材７２を形成し、前記第１アーム２０の第２リ
ンク２１Ｂと前記第２アーム３０の第２リンク３１Ｂと
が互いに干渉しないような位置関係でそれぞれの第１リ
ンクに旋回自在に装着されるとともに、待機状態で各第
２リンク２１Ｂ，３１Ｂとそれぞれの第１リンクとがな
す角度が、前記第１アーム２０および第２アーム３０に
それぞれ装着されるエンドエフェクタの前記旋回軸回り
の旋回動作専有面積を最小とする角度に調整されてなる
ものである。
ェクタの長手方向寸法に拘わらず可能な限り旋回動作専
有面積を小さくすることができるダブルアームおよびそ
れを備えたロボットを提供する。 【解決手段】 第１アーム２０と第２アーム３０とから
なるダブルアームであって、前記第１アーム２０および
第２アーム３０が少なくとも第１リンクおよび第２リン
ク２１Ｂ，３１Ｂを有し、前記第１アーム２０の第１リ
ンクと前記第２アーム３０の第１リンクとが一体化され
て旋回部材７２を形成し、前記第１アーム２０の第２リ
ンク２１Ｂと前記第２アーム３０の第２リンク３１Ｂと
が互いに干渉しないような位置関係でそれぞれの第１リ
ンクに旋回自在に装着されるとともに、待機状態で各第
２リンク２１Ｂ，３１Ｂとそれぞれの第１リンクとがな
す角度が、前記第１アーム２０および第２アーム３０に
それぞれ装着されるエンドエフェクタの前記旋回軸回り
の旋回動作専有面積を最小とする角度に調整されてなる
ものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はダブルアームおよび
それを備えてなるロボットに関する。さらに詳しくは、
１つのベース部に２つのアームがもうけられてなるダブ
ルアームおよびそれを備えたロボットに関する。
それを備えてなるロボットに関する。さらに詳しくは、
１つのベース部に２つのアームがもうけられてなるダブ
ルアームおよびそれを備えたロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、１つのベース部に２つのアームが
設けられてなるダブルアーム式ロボットとして、例えば
特開平１０−１６３２９６号公報（図３参照）には、基
台１００上端にくの字状の第１アームユニット１１０が
旋回自在に装着され、この第１アームユニット１１１の
両先端部に各支軸１１１、１１２を設けて、この各支軸
１１１，１１２により第２アームユニット１１３および
第３アームユニット１１４を支持させるとともに、この
第２アームユニット１１３および第３アームユニット１
１４が初めの待機状態で第１アームユニット１１０と対
称形状をなす長さ寸法になされ、さらにこの第２アーム
ユニット１１３および第３アームユニット１１４のそれ
ぞれにワークＷ´を把持するハンド１２１，１２２が装
着されてなるロボットＲ1が提案されている。
設けられてなるダブルアーム式ロボットとして、例えば
特開平１０−１６３２９６号公報（図３参照）には、基
台１００上端にくの字状の第１アームユニット１１０が
旋回自在に装着され、この第１アームユニット１１１の
両先端部に各支軸１１１、１１２を設けて、この各支軸
１１１，１１２により第２アームユニット１１３および
第３アームユニット１１４を支持させるとともに、この
第２アームユニット１１３および第３アームユニット１
１４が初めの待機状態で第１アームユニット１１０と対
称形状をなす長さ寸法になされ、さらにこの第２アーム
ユニット１１３および第３アームユニット１１４のそれ
ぞれにワークＷ´を把持するハンド１２１，１２２が装
着されてなるロボットＲ1が提案されている。
【０００３】ところが、ロボットＲ1においては、第１
アームユニット１１０と第２アームユニット１１３およ
び第３アームユニット１１４とが待機状態で対称形状を
なすものとされているので、この状態で第１アームユニ
ット１１０を旋回させたときのハンド１２１，１２２の
旋回半径が大きくなり、径の大きなワークＷを取り扱う
場合などハンド１２１，１２２に長さ寸法のより大きな
ものを用いる必要が生じた場合は、旋回動作専有面積が
必要以上に大きなものになってしまうという問題があ
る。
アームユニット１１０と第２アームユニット１１３およ
び第３アームユニット１１４とが待機状態で対称形状を
なすものとされているので、この状態で第１アームユニ
ット１１０を旋回させたときのハンド１２１，１２２の
旋回半径が大きくなり、径の大きなワークＷを取り扱う
場合などハンド１２１，１２２に長さ寸法のより大きな
ものを用いる必要が生じた場合は、旋回動作専有面積が
必要以上に大きなものになってしまうという問題があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、ワークの取り扱
いに必要とされるエンドエフェクタの長手方向寸法に拘
わらず可能な限り旋回動作専有面積を小さくすることが
できるダブルアームおよびそれを備えたロボットを提供
することを目的としている。
術の課題に鑑みなされたものであって、ワークの取り扱
いに必要とされるエンドエフェクタの長手方向寸法に拘
わらず可能な限り旋回動作専有面積を小さくすることが
できるダブルアームおよびそれを備えたロボットを提供
することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のダブルアーム
は、第１アームと第２アームとからなるダブルアームで
あって、前記第１アームおよび第２アームが少なくとも
第１リンクおよび第２リンクを有し、前記第１アームの
第１リンクと前記第２アームの第１リンクとが一体化さ
れて旋回部材を形成し、前記第１アームの第２リンクと
前記第２アームの第２リンクとが互いに干渉しないよう
な位置関係でそれぞれの第１リンクに旋回自在に装着さ
れるとともに、待機状態で各第２リンクとそれぞれの第
１リンクとがなす角度が、前記第１アームおよび第２ア
ームにそれぞれ装着されるエンドエフェクタの前記旋回
軸回りの旋回動作専有面積を最小とする角度に調整され
てなることを特徴とする。
は、第１アームと第２アームとからなるダブルアームで
あって、前記第１アームおよび第２アームが少なくとも
第１リンクおよび第２リンクを有し、前記第１アームの
第１リンクと前記第２アームの第１リンクとが一体化さ
れて旋回部材を形成し、前記第１アームの第２リンクと
前記第２アームの第２リンクとが互いに干渉しないよう
な位置関係でそれぞれの第１リンクに旋回自在に装着さ
れるとともに、待機状態で各第２リンクとそれぞれの第
１リンクとがなす角度が、前記第１アームおよび第２ア
ームにそれぞれ装着されるエンドエフェクタの前記旋回
軸回りの旋回動作専有面積を最小とする角度に調整され
てなることを特徴とする。
【０００６】本発明のダブルアームにおいては、第２ア
ームの第２リンクが、第１アームの第２リンクより前記
旋回部材に接近させられているのが好ましく、各アーム
に装着されるエンドエフェクタが前記旋回軸方向で隣接
するようにされてなるのがさらに好ましい。
ームの第２リンクが、第１アームの第２リンクより前記
旋回部材に接近させられているのが好ましく、各アーム
に装着されるエンドエフェクタが前記旋回軸方向で隣接
するようにされてなるのがさらに好ましい。
【０００７】しかして、本発明のダブルアームはロボッ
トに搭載される。
トに搭載される。
【０００８】
【作用】本発明のダブルアームは、待機状態における第
１アームおよび第２アームの各第２リンクとそれぞれの
第１リンクとのなす角度が、第１アームおよび第２アー
ムに装着されるエンドエフェクタの旋回動作専有面積を
最小とする角度に調整されるので、ワークの取り扱いに
必要とされるエンドエフェクタの長さ寸法に拘わらず旋
回動作専有面積を可能な限り小さくすることができる。
１アームおよび第２アームの各第２リンクとそれぞれの
第１リンクとのなす角度が、第１アームおよび第２アー
ムに装着されるエンドエフェクタの旋回動作専有面積を
最小とする角度に調整されるので、ワークの取り扱いに
必要とされるエンドエフェクタの長さ寸法に拘わらず旋
回動作専有面積を可能な限り小さくすることができる。
【０００９】
【発明の実施形態】以下、添付図面を参照しながら本発
明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実
施形態のみに限定されるものではない。
明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実
施形態のみに限定されるものではない。
【００１０】本発明の一実施形態に係るダブルアームを
備えたロボットの概略構成を図１に示し、ロボットＲ
は、円筒体形状のベース部１０と、このベース部１０の
上端部分に支持される、それぞれが３自由度の旋回機構
からなる第１および第２の各アーム２０、３０と、半導
体ウェハなどの円盤形状のワークＷを把持可能に構成さ
れる、第１アーム２０により支持される第１ハンド４０
および第２アーム３０により支持される第２ハンド５０
と、各アーム２０、３０を駆動するサーボモータ機構６
０とを備えてなる。
備えたロボットの概略構成を図１に示し、ロボットＲ
は、円筒体形状のベース部１０と、このベース部１０の
上端部分に支持される、それぞれが３自由度の旋回機構
からなる第１および第２の各アーム２０、３０と、半導
体ウェハなどの円盤形状のワークＷを把持可能に構成さ
れる、第１アーム２０により支持される第１ハンド４０
および第２アーム３０により支持される第２ハンド５０
と、各アーム２０、３０を駆動するサーボモータ機構６
０とを備えてなる。
【００１１】各アーム２０、３０は、ベース部１０に直
接設けられる共通の第１旋回機構７０を有している。こ
の第１旋回機構７０は軸心がベース部１０のセンタと一
致するように設けられる第１旋回支軸７１と、この第１
旋回支軸７１により水平面内で旋回自在に支持される旋
回部材７２とから構成されている。旋回部材７２は、例
えば各角が丸められた３角形形状を有する平板状部材と
され、１つの頂点にあたる部分が第１旋回支軸７１によ
り支持される回転中心部とされ、他の２つの頂点にあた
る部分がそれぞれ各アーム２０、３０の第２旋回機構２
１、３１を支持する駆動端部とされる。なお、図示例に
おいては、旋回部材７２は不等辺３角形とされ、第１ア
ーム２０が不等辺の長い方に形成され、第２アーム３０
が不等辺の短い方に形成されている。つまり、不等辺の
長い方が第１アーム２０の第１リンクとして機能し、不
等辺の短い方が第２アーム３０の第１リンクとして機能
している。
接設けられる共通の第１旋回機構７０を有している。こ
の第１旋回機構７０は軸心がベース部１０のセンタと一
致するように設けられる第１旋回支軸７１と、この第１
旋回支軸７１により水平面内で旋回自在に支持される旋
回部材７２とから構成されている。旋回部材７２は、例
えば各角が丸められた３角形形状を有する平板状部材と
され、１つの頂点にあたる部分が第１旋回支軸７１によ
り支持される回転中心部とされ、他の２つの頂点にあた
る部分がそれぞれ各アーム２０、３０の第２旋回機構２
１、３１を支持する駆動端部とされる。なお、図示例に
おいては、旋回部材７２は不等辺３角形とされ、第１ア
ーム２０が不等辺の長い方に形成され、第２アーム３０
が不等辺の短い方に形成されている。つまり、不等辺の
長い方が第１アーム２０の第１リンクとして機能し、不
等辺の短い方が第２アーム３０の第１リンクとして機能
している。
【００１２】また、旋回部材７２をこのような３角形形
状を有する平板状部材とすることによって、駆動力伝達
系をギアトレインで構成する場合に、旋回部材７２内部
で各ギアを自由にレイアウトすることが可能となる。
状を有する平板状部材とすることによって、駆動力伝達
系をギアトレインで構成する場合に、旋回部材７２内部
で各ギアを自由にレイアウトすることが可能となる。
【００１３】第１アーム２０の第２旋回機構２１は、旋
回部材７２の一方の駆動端部に設けられる第２旋回支軸
２１Ａと、この第２旋回支軸２１Ａにより水平面内で旋
回自在に支持される第２リンク２１Ｂとからなる。第２
旋回支軸２１Ａは、第２リンク２１Ｂを旋回させたとき
に、この第２リンク２１Ｂが第２アーム３０および第２
ハンド５０と干渉しないように、第２リンク２１Ｂを旋
回部材７２から旋回面に対して垂直な方向に所定距離Ｌ
隔てた位置で支持するようにされる。
回部材７２の一方の駆動端部に設けられる第２旋回支軸
２１Ａと、この第２旋回支軸２１Ａにより水平面内で旋
回自在に支持される第２リンク２１Ｂとからなる。第２
旋回支軸２１Ａは、第２リンク２１Ｂを旋回させたとき
に、この第２リンク２１Ｂが第２アーム３０および第２
ハンド５０と干渉しないように、第２リンク２１Ｂを旋
回部材７２から旋回面に対して垂直な方向に所定距離Ｌ
隔てた位置で支持するようにされる。
【００１４】また、第１アーム２０の第２リンク２１Ｂ
がロボットＲの待機状態で第１リンクに対してなす角度
θ1は、旋回部材７２を第１旋回支軸７１回りに旋回さ
せたときの第１ハンド４０の旋回動作専有面積が最小と
なる角度となるように調整される。なお、この角度θ1
は、本実施形態では、第１旋回支軸７１と第２旋回支軸
２１Ａとを結ぶ線分と、第２旋回支軸２１Ａと後出の第
３旋回支軸２２Ａとを結ぶ線分とがなす角度とされる。
また、このとき、第１ハンド４０は後で説明するように
長手方向の中心線Ｌ1が第１旋回支軸７１を通るように
後出の第３旋回支軸２２Ａにより支持される。
がロボットＲの待機状態で第１リンクに対してなす角度
θ1は、旋回部材７２を第１旋回支軸７１回りに旋回さ
せたときの第１ハンド４０の旋回動作専有面積が最小と
なる角度となるように調整される。なお、この角度θ1
は、本実施形態では、第１旋回支軸７１と第２旋回支軸
２１Ａとを結ぶ線分と、第２旋回支軸２１Ａと後出の第
３旋回支軸２２Ａとを結ぶ線分とがなす角度とされる。
また、このとき、第１ハンド４０は後で説明するように
長手方向の中心線Ｌ1が第１旋回支軸７１を通るように
後出の第３旋回支軸２２Ａにより支持される。
【００１５】第１アーム２０の第３旋回機構２２は、第
２リンク２１Ｂの駆動端部に設けられ、第１ハンド４０
を水平面内で旋回自在に支持する第３旋回支軸２２Ａか
ら構成されている。
２リンク２１Ｂの駆動端部に設けられ、第１ハンド４０
を水平面内で旋回自在に支持する第３旋回支軸２２Ａか
ら構成されている。
【００１６】一方、第２アーム３０の第２旋回機構３１
は、旋回部材７２の他方の駆動端部に設けられる第２旋
回支軸３１Ａと、この第２旋回支軸３１Ａにより水平面
内で旋回自在に支持される第２リンク３１Ｂとからな
る。この第２アーム３０の第２リンク３１Ｂは、図示例
では第１アーム２０の第２リンク２１Ｂよりも短く形成
されている。このことおよび第２アーム３０の第１リン
クが第１アーム２０の第１リンクより短くされているこ
とにより、第２アーム３０の動作範囲が第１アーム２０
のそれより小さくなる。これにより、ダブルアームとし
てもシングルアームと同一の動作範囲とすることができ
る。
は、旋回部材７２の他方の駆動端部に設けられる第２旋
回支軸３１Ａと、この第２旋回支軸３１Ａにより水平面
内で旋回自在に支持される第２リンク３１Ｂとからな
る。この第２アーム３０の第２リンク３１Ｂは、図示例
では第１アーム２０の第２リンク２１Ｂよりも短く形成
されている。このことおよび第２アーム３０の第１リン
クが第１アーム２０の第１リンクより短くされているこ
とにより、第２アーム３０の動作範囲が第１アーム２０
のそれより小さくなる。これにより、ダブルアームとし
てもシングルアームと同一の動作範囲とすることができ
る。
【００１７】また、第２アーム３０の第２リンク３１Ｂ
がロボットＲの待機状態で第１リンクに対してなす角度
θ2は、旋回部材７２を第１旋回支軸７１回りに旋回さ
せたときの第２ハンド５０の旋回半径が最小となる角度
となるように調整される。なお、この角度θ2は、本実
施形態では、第１旋回支軸７１と第２旋回支軸３１Ａと
を結ぶ線分と、第２旋回支軸３１Ａと後出の第３旋回支
軸３２Ａとを結ぶ線分とがなす角度とされる。また、こ
のとき、第２ハンド５０は後で説明するように長手方向
の中心線Ｌ2が第１旋回支軸７１を通るように第３旋回
支軸３２Ａにより支持される。
がロボットＲの待機状態で第１リンクに対してなす角度
θ2は、旋回部材７２を第１旋回支軸７１回りに旋回さ
せたときの第２ハンド５０の旋回半径が最小となる角度
となるように調整される。なお、この角度θ2は、本実
施形態では、第１旋回支軸７１と第２旋回支軸３１Ａと
を結ぶ線分と、第２旋回支軸３１Ａと後出の第３旋回支
軸３２Ａとを結ぶ線分とがなす角度とされる。また、こ
のとき、第２ハンド５０は後で説明するように長手方向
の中心線Ｌ2が第１旋回支軸７１を通るように第３旋回
支軸３２Ａにより支持される。
【００１８】第２アーム３０の第３旋回機構３２は、第
２リンク３１Ｂの駆動端部に設けられ第２ハンド５０を
水平面内で旋回自在に支持する第３旋回支軸３２Ａから
構成されている。
２リンク３１Ｂの駆動端部に設けられ第２ハンド５０を
水平面内で旋回自在に支持する第３旋回支軸３２Ａから
構成されている。
【００１９】第１ハンド４０は、第１アーム２０の第２
リンク２１Ｂにおける旋回部材７２側の面、つまり図１
（ａ）で第２リンク２１Ｂにおける下側の面で第３旋回
支軸２２Ａにより支持されている。すなわち、第１ハン
ド４０を通常通り第２リンク２１Ｂの反旋回部材７２
側、つまり第２リンク２１Ｂの上側に設けると第２ハン
ド５０との間の旋回軸方向の距離が大きくなり、ワーク
取り扱い上不都合が生じる場合があるため、本実施形態
のロボットＲにおいては、第１ハンド４０と第２ハンド
５０とを旋回軸方向で隣接させるために、第１ハンド４
０を第２リンク２１Ｂの下側に設けるようにしている。
リンク２１Ｂにおける旋回部材７２側の面、つまり図１
（ａ）で第２リンク２１Ｂにおける下側の面で第３旋回
支軸２２Ａにより支持されている。すなわち、第１ハン
ド４０を通常通り第２リンク２１Ｂの反旋回部材７２
側、つまり第２リンク２１Ｂの上側に設けると第２ハン
ド５０との間の旋回軸方向の距離が大きくなり、ワーク
取り扱い上不都合が生じる場合があるため、本実施形態
のロボットＲにおいては、第１ハンド４０と第２ハンド
５０とを旋回軸方向で隣接させるために、第１ハンド４
０を第２リンク２１Ｂの下側に設けるようにしている。
【００２０】一方、第２ハンド５０は、第２アーム２０
の第２リンク３１Ｂにおける反旋回部材７２側の面、つ
まり図１（ａ）で第２リンク３１Ｂにおける上側の面で
第３旋回支軸２２Ａにより支持されている。なお、図１
（ｂ）中、点線で示した円Ｃ内部の領域は、待機状態に
おける各アーム２０，３０および各ハンド４０，５０を
第１旋回支軸７１を回転中心として旋回させた場合の旋
回領域を示す。
の第２リンク３１Ｂにおける反旋回部材７２側の面、つ
まり図１（ａ）で第２リンク３１Ｂにおける上側の面で
第３旋回支軸２２Ａにより支持されている。なお、図１
（ｂ）中、点線で示した円Ｃ内部の領域は、待機状態に
おける各アーム２０，３０および各ハンド４０，５０を
第１旋回支軸７１を回転中心として旋回させた場合の旋
回領域を示す。
【００２１】また、第１ハンド４０および第２ハンド５
０はそれぞれ長手方向中心線Ｌ1，Ｌ2が第１旋回支軸７
１を通るように第２リンク２１Ｂ、３１Ｂにより支持さ
れる。これは、ダブルアーム式ロボットの場合、いずれ
のワークＷをも第１旋回支軸７１を通る同一の直線を軌
跡として搬送するように設定されるのが通常だからであ
る。
０はそれぞれ長手方向中心線Ｌ1，Ｌ2が第１旋回支軸７
１を通るように第２リンク２１Ｂ、３１Ｂにより支持さ
れる。これは、ダブルアーム式ロボットの場合、いずれ
のワークＷをも第１旋回支軸７１を通る同一の直線を軌
跡として搬送するように設定されるのが通常だからであ
る。
【００２２】図２に各ハンドの動作態様を示す。例え
ば、第２ハンド５０を前記中心線Ｌ2（図１参照）上に
あるフルアウトポイントＰまで移動させる場合（同図
（ｂ）参照）は、ロボットＲの待機状態（図１参照）か
ら旋回部材７２を矢印Ａの方向に旋回させつつ、第２ハ
ンド５０がフルアウトポイントＰに向かって直線的に動
くように、第２旋回機構３１および第３旋回機構３２に
おける旋回角度位置を調節する。
ば、第２ハンド５０を前記中心線Ｌ2（図１参照）上に
あるフルアウトポイントＰまで移動させる場合（同図
（ｂ）参照）は、ロボットＲの待機状態（図１参照）か
ら旋回部材７２を矢印Ａの方向に旋回させつつ、第２ハ
ンド５０がフルアウトポイントＰに向かって直線的に動
くように、第２旋回機構３１および第３旋回機構３２に
おける旋回角度位置を調節する。
【００２３】また、第１ハンド４０を前記フルアウトポ
イントＰまで移動させる場合は、ロボットＲの待機状態
から旋回部材７２を矢印Ａの方向に各中心線Ｌ1，Ｌ2が
なす角θ3（図１参照）旋回させた後、旋回部材７２を
矢印Ａの逆方向に旋回させつつ、第１ハンド４０がフル
アウトポイントＰに向かって直線的に動くように、第２
旋回機構２１および第３旋回機構２２における旋回角度
位置を調節する。
イントＰまで移動させる場合は、ロボットＲの待機状態
から旋回部材７２を矢印Ａの方向に各中心線Ｌ1，Ｌ2が
なす角θ3（図１参照）旋回させた後、旋回部材７２を
矢印Ａの逆方向に旋回させつつ、第１ハンド４０がフル
アウトポイントＰに向かって直線的に動くように、第２
旋回機構２１および第３旋回機構２２における旋回角度
位置を調節する。
【００２４】このように、本実施形態のロボットＲは、
待機状態で各第２リンク２１Ｂ，３１Ｂとそれぞれの第
１リンクとがなす角度θ1，θ2が、各ハンド４０，５０
の第１旋回支軸７１回りの旋回動作専有面積を最小とす
る角度に調整されるので、取り扱うべきワークＷの径に
より決まる各ハンド４０，５０の長手方向寸法に拘わら
ず旋回動作専有面積を最小とすることができる。
待機状態で各第２リンク２１Ｂ，３１Ｂとそれぞれの第
１リンクとがなす角度θ1，θ2が、各ハンド４０，５０
の第１旋回支軸７１回りの旋回動作専有面積を最小とす
る角度に調整されるので、取り扱うべきワークＷの径に
より決まる各ハンド４０，５０の長手方向寸法に拘わら
ず旋回動作専有面積を最小とすることができる。
【００２５】また、第１アーム２０と第２アーム３０の
第１旋回機構を共通の旋回機構７０から構成するととも
に、第２アーム３０の動作範囲を第１アーム２０の動作
範囲より小さくしているので、ダブルアームとしてもシ
ングルアームと同一の動作範囲に納めることができる。
第１旋回機構を共通の旋回機構７０から構成するととも
に、第２アーム３０の動作範囲を第１アーム２０の動作
範囲より小さくしているので、ダブルアームとしてもシ
ングルアームと同一の動作範囲に納めることができる。
【００２６】また、第１アーム２０の第２リンク２１Ｂ
を旋回させたときに、この第２リンク２１Ｂおよび第２
ハンド５０が第２アーム３０および第２ハンド４０と干
渉しないように、第２リンク２１Ｂを旋回軸方向に旋回
部材７２と所定距離Ｌ隔てた位置で第２旋回支軸２１Ａ
により支持するようにしているので、各アーム２０、３
０の動作自由度を大きくすることができる。
を旋回させたときに、この第２リンク２１Ｂおよび第２
ハンド５０が第２アーム３０および第２ハンド４０と干
渉しないように、第２リンク２１Ｂを旋回軸方向に旋回
部材７２と所定距離Ｌ隔てた位置で第２旋回支軸２１Ａ
により支持するようにしているので、各アーム２０、３
０の動作自由度を大きくすることができる。
【００２７】さらに、第１ハンド４０を第２リンク２１
Ｂの旋回部材７２側の面で支持することによって、第１
ハンド４０と第２ハンド５０とが旋回軸方向で隣接する
ようにしているので、ワークＷの取り扱い上不都合が生
じる事態を回避することができる。
Ｂの旋回部材７２側の面で支持することによって、第１
ハンド４０と第２ハンド５０とが旋回軸方向で隣接する
ようにしているので、ワークＷの取り扱い上不都合が生
じる事態を回避することができる。
【００２８】なお、前記実施形態では、旋回部材７２を
角が丸められた不等長３角形形状の平板としたがこれに
限られるものではなく、２等辺３角形形状の平板とし、
第１アーム２０および第２アーム３０の各第１リンクを
等長とするとともに、第２リンク２１Ｂ、３１Ｂも各第
１リンクと等長としてよい。
角が丸められた不等長３角形形状の平板としたがこれに
限られるものではなく、２等辺３角形形状の平板とし、
第１アーム２０および第２アーム３０の各第１リンクを
等長とするとともに、第２リンク２１Ｂ、３１Ｂも各第
１リンクと等長としてよい。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のダブルア
ームは、待機状態における第１アームおよび第２アーム
の各第２リンクとそれぞれの第１リンクとのなす角度
が、第１アームおよび第２アームに装着されるエンドエ
フェクタの旋回動作専有面積を最小とする角度となるよ
うに調節されるので、ワークの取り扱いに必要とされる
エンドエフェクタの長手方向寸法に拘わらず旋回動作専
有面積を可能な限り小さくすることができるという優れ
た効果を奏することができる。
ームは、待機状態における第１アームおよび第２アーム
の各第２リンクとそれぞれの第１リンクとのなす角度
が、第１アームおよび第２アームに装着されるエンドエ
フェクタの旋回動作専有面積を最小とする角度となるよ
うに調節されるので、ワークの取り扱いに必要とされる
エンドエフェクタの長手方向寸法に拘わらず旋回動作専
有面積を可能な限り小さくすることができるという優れ
た効果を奏することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係るロボットの概略構成
を示す模式図であって、同（ａ）は該ロボットの一側面
図、同（ｂ）は上面図、同（ｃ）は同（ａ）におけるの
と９０°異なる方向から見たときのロボット上部を示す
側面図である。
を示す模式図であって、同（ａ）は該ロボットの一側面
図、同（ｂ）は上面図、同（ｃ）は同（ａ）におけるの
と９０°異なる方向から見たときのロボット上部を示す
側面図である。
【図２】同ロボットアームの動作態様を示す模式図であ
る。
る。
【図３】特開平１０−１６３２９６号公報の提案に係る
ダブルアーム式ロボットの外観を示す斜視図である。
ダブルアーム式ロボットの外観を示す斜視図である。
１０ ベース部 ２０ 第１アーム ２１ 第２旋回機構 ２１Ｂ 第２リンク ２２ 第３旋回機構 ３０ 第２アーム ３１ 第２旋回機構 ３１Ｂ 第２リンク ３２ 第３旋回機構 ４０ 第１ハンド ５０ 第２ハンド ７０ 第１旋回機構 ７１ 第１旋回支軸 ７２ 旋回部材 Ｒ ロボット
Claims (4)
- 【請求項１】 第１アームと第２アームとからなるダブ
ルアームであって、 前記第１アームおよび第２アームが少なくとも第１リン
クおよび第２リンクを有し、 前記第１アームの第１リンクと前記第２アームの第１リ
ンクとが一体化されて旋回部材を形成し、 前記第１アームの第２リンクと前記第２アームの第２リ
ンクとが互いに干渉しないような位置関係でそれぞれの
第１リンクに旋回自在に装着されるとともに、待機状態
で各第２リンクとそれぞれの第１リンクとがなす角度
が、前記第１アームおよび第２アームにそれぞれ装着さ
れるエンドエフェクタの前記旋回軸回りの旋回動作専有
面積を最小とする角度に調整されてなることを特徴とす
るダブルアーム。 - 【請求項２】 第２アームの第２リンクが第１アームの
第２リンクより前記旋回部材に接近させられていること
を特徴とする請求項１記載のダブルアーム。 - 【請求項３】 各アームに装着されるエンドエフェクタ
が前記旋回軸方向で隣接するようにされてなることを特
徴とする請求項１または請求項２記載のダブルアーム。 - 【請求項４】 請求項１ないし３記載のダブルアームを
備えてなることを特徴とするロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000369505A JP4682378B2 (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000369505A JP4682378B2 (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002172571A true JP2002172571A (ja) | 2002-06-18 |
| JP4682378B2 JP4682378B2 (ja) | 2011-05-11 |
Family
ID=18839530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000369505A Expired - Lifetime JP4682378B2 (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4682378B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010080983A2 (en) * | 2009-01-11 | 2010-07-15 | Applied Materials, Inc. | Robot systems, apparatus and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing |
| US8918203B2 (en) | 2011-03-11 | 2014-12-23 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| US9033644B2 (en) | 2012-07-05 | 2015-05-19 | Applied Materials, Inc. | Boom drive apparatus, multi-arm robot apparatus, electronic device processing systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing systems with web extending from hub |
| CN105313113A (zh) * | 2014-07-10 | 2016-02-10 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
| WO2020247740A1 (en) * | 2019-06-07 | 2020-12-10 | Applied Materials, Inc. | Dual robot including splayed end effectors and systems and methods including same |
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|---|---|---|---|---|
| JP6880519B2 (ja) | 2019-11-11 | 2021-06-02 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム、ロボットの制御方法、半導体製造システム |
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| JPH07171778A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-07-11 | Hightech Prod:Kk | 多関節搬送装置，その制御方法及び半導体製造装置 |
| JPH10163296A (ja) * | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Rootsue Kk | 基板搬送装置 |
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| JP2000127067A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-09 | Daikin Ind Ltd | ウェハ搬送装置 |
-
2000
- 2000-12-05 JP JP2000369505A patent/JP4682378B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| KR101781808B1 (ko) * | 2009-01-11 | 2017-10-23 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 전자 디바이스 제조시에 기판을 이송하기 위한 로봇 시스템, 장치 및 방법 |
| KR101778519B1 (ko) * | 2009-01-11 | 2017-09-15 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 전자 디바이스 제조시에 기판을 이송하기 위한 로봇 시스템, 장치 및 방법 |
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| US9230841B2 (en) | 2011-03-11 | 2016-01-05 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
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| US10325795B2 (en) | 2011-03-11 | 2019-06-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| US8918203B2 (en) | 2011-03-11 | 2014-12-23 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| US11978649B2 (en) | 2011-03-11 | 2024-05-07 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
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